JP6313963B2 - 産業用ロボット - Google Patents
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Description
減することが可能になる。
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1が有機ELディスプレイの製造システム3に組み込まれた状態を示す平面図である。図2は、図1に示す産業用ロボット1の図であり、(A)は平面図、(B)は側面図である。図3は、図2に示す産業用ロボット1の内部構造を側面から説明するための断面図である。
図4は、図3に示す第1アーム部23および関節部26の拡大図である。図5は、図3に示す第2アーム部24および関節部27の拡大図である。
ている。
上述のように、製造システム3は、チャンバー4を囲むように配置される複数のチャンバー5〜10を備えている。本形態の製造システム3では、チャンバー4を囲むように6個のチャンバー5〜10が配置されている。以下では、図1において、互いに直交する3つの方向のそれぞれをX方向、Y方向およびZ方向とする。ロボット1は、その上下方向がZ方向と一致するように配置されている。したがって、以下では、Z方向を上下方向とする。また、以下では、X1方向側を「右」側、X2方向側を「左」側、Y1方向側を「前」側、Y2方向側を「後(後ろ)」側とする。
図6は、図1に示すプロセスチャンバー5から基板2を搬出してプロセスチャンバー6へ基板2を搬入する際の産業用ロボット1の動きを説明するための図である。図7は、図1に示すプロセスチャンバー7へ基板2を搬入する際の産業用ロボット1の動きを説明するための図である。
以上説明したように、本形態では、アーム14の全体が中空状に形成され、アーム14の内部空間45、66が大気圧となっている。そのため、本形態では、ハンド13に搭載されて真空中で搬送される基板2の温度が高くても、アーム14の内部からアーム14の全体を冷却して、アーム14全体の温度上昇を抑制することが可能になる。したがって、本形態では、ハンド13に搭載されて搬送される基板2の温度が高くても、アーム14全体の熱膨張を抑制することが可能になり、その結果、チャンバー5〜10の所定の位置へ基板2を精度良く搬送することが可能になる。すなわち、本形態では、ハンド13に搭載されて搬送される基板2の温度が高くても、基板2の目標到達位置からのずれを抑制して基板2の搬送精度を高めることが可能になる。
図8は、本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボット1の平面図である。
図9は、本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボット1の平面図である。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
13 ハンド
14 アーム
15 本体部
23 第1アーム部(アーム部)
24 第2アーム部(アーム部)
26 関節部(第1関節部)
27 関節部(第2関節部)
45、66 内部空間
46 モータ(第1モータ)
47 モータ(第2モータ)
48 減速機(第1減速機)
61 減速機(第2減速機)
Claims (2)
- 本体部と、前記本体部にその基端側が回動可能に連結される第1アーム部と前記第1アーム部の先端側にその基端側が回動可能に連結される第2アーム部とから構成されるアームと、前記第2アーム部の先端側に回動可能に連結されるハンドと、前記第1アーム部に対して前記第2アーム部を回動させるための第1モータと、前記第2アーム部に対して前記ハンドを回動させるための第2モータと、前記第1モータの回転を減速して前記第2アーム部に伝達する第1減速機と、前記第2モータの回転を減速して前記ハンドに伝達する第2減速機と、前記第1減速機の出力側に固定される中空回転軸とを備え、
前記ハンドと前記アームとは、真空中に配置され、
前記第2アーム部は、前記第1アーム部よりも上側に配置され、
前記第1アーム部と前記第2アーム部とから構成される前記アームの全体は、中空状に形成され、
前記アームの内部空間は、大気圧となっており、
前記第1減速機は、前記第1アーム部と前記第2アーム部とを繋ぐ第1関節部の少なくとも一部を構成するとともに前記第1アーム部の内部に配置され、
前記第2減速機は、前記第2アーム部と前記ハンドとを繋ぐ第2関節部の少なくとも一部を構成するとともに前記第2アーム部の内部に配置され、
前記第1モータおよび前記第2モータは、前記第1アーム部の内部に配置され、
前記第1減速機は、その径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機であるとともに、前記貫通孔の軸中心と前記中空回転軸の軸中心とが一致するように配置され、
前記中空回転軸の下端は、前記第1減速機の出力側に固定され、前記中空回転軸の上端は、前記第2アーム部の基端側の下面に固定されていることを特徴とする産業用ロボット。 - 前記内部空間に配置される冷却機構を備えることを特徴とする請求項1記載の産業用ロボット。
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