KR20220128315A - 레티클 저장 포드 및 레티클 고정 방법 - Google Patents

레티클 저장 포드 및 레티클 고정 방법 Download PDF

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KR20220128315A
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치아-호 츄앙
진-민 슈에
싱-민 웬
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구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드
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Abstract

본 발명은 외부 커버와 외부 베이스를 포함하는 외부 포드를 구비하는 레티클 보관 포드를 개시한다. 외부 커버와 외부 베이스는 외부 포드에서 서로 다르게 구성되는 제1 내부 포드와 제2 내부 포드 사이에 하나를 안전하게 수납하도록 결합될 수 있다. 제1 내부 포드 및 제2 내부 포드는 레티클을 개별적으로 수납하기 위한 것이다. 외부 커버에는 적어도 하나의 제1 홀드다운 장치 및 적어도 하나의 제2 홀드다운 장치가 제공되고, 상기 제1 홀드다운 장치 및 상기 제2 홀드다운 장치는 각각 구조가 다른 제1 내부 포드 제2 내부 포드의 커버에 작용한다.

Description

레티클 보관 포드 및 레티클 고정 방법{RETICLE STORAGE POD AND METHOD FOR SECURING RETICLE}
본 발명은 레티클 보관 포드 및 레티클 고정 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 외부 포드와 내부 포드를 포함하는 레티클 보관 포드 및 외부 포드와 내부 포드에 의해 구현되는 레티클 고정 방법에 관한 것이다. 레티클 보관 포드는 레티클 보관 시스템 및 방법에 적용된다.
현재의 극자외선(EUV) 리소그래피 공정에서, 레티클은 EUV 내부 포드(EIP)와 EUV 외부 포드(EOP)로 구성된 기존의 2층 레티클 이송 포드(EUV 포드)에 의해 보호되어야 한다. 레티클을 보관하려면, 내부 포드에 레티클을 넣고 외부 포드에 내부 포드를 보관하며, 기존의 레티클 이송 포드 전체를 질소 캐비닛에 넣은 다음 질소로 채워서 레티클을 보관한다.
더욱이, 이러한 종래의 레티클 이송 포드의 설계는 레티클을 포함하는 내부 포드의 장거리 운송 동안 진동 및 편향에 의해 야기되는 파티클 오염 및 레티클 손상을 방지할 수 있다. 또한, 종래의 레티클 이송 포드는 다양한 유형의 시험 및 검사를 받기 위해 상이한 공정 장치에 적합하게 적재되도록 구성될 수 있다. 그 결과, 내부 포드의 구조가 외부 포드에 비해 복잡하고 따라서 비용이 많이 든다. 위의 설계 목적을 가진 레티클 운반 포드의 내부 포드는 이러한 내부 포드가 장기간 질소 캐비닛에 보관되는 경우 최대 이점을 갖고도 완전히 활용되지 않을 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 레티클 이송 포드(10)는 듀얼 포드 구조로 내부 포드(11)와 외부 포드(12)를 포함한다. 내부 포드(11)에 레티클(R)이 보관되고, 외부 포드(12)에 내부 포드(11)가 수납된다. 내부 포드(11)는 베이스(20)와 커버(30)를 포함하며, 이들은 레티클(R)을 밀봉 수용하기 위해 서로 협력한다. 외부 포드(12)는 외부 베이스(40)와 외부 커버(50)를 포함한다. 외부 베이스(40)는 내부 포드(11)용 지지 수단을 포함하고, 외부 커버(50)와 외부 베이스(40)가 결합되어 내부 포드(11)의 수용 공간을 형성한다. 외부 커버(50)와 외부 베이스(40)가 결합될 때 내부 포드(11)가 하방으로 지지될 수 있도록 외부 커버(50)의 내측에는 통상적으로 적절한 홀드-다운(hold-down) 수단이 마련될 수 있으며, 이로써 안전한 수용 설비를 형성한다. 외부 베이스(40)는 일반적으로 상기 외부 베이스(40)에서 외부 커버(50)를 고정시키기 위한 래치 수단을 더 포함한다. 공장에서 크레인 시스템에 의해 레티클 이송 포드(10)의 이송이 수행되기 때문에, 외부 커버(50)의 상단에는 크레인 암이 파지하기 위한 핸들(52)이 마련될 수 있다. 따라서, 종래의 레티클 이송 포드(10)의 핸들(52)의 높이는 적층 방식으로 보관에 불리할 수 있고, 핸들(52)의 높이도 또한 추가적인 보관 공간을 차지한다.
더욱이, 공통 설계에서, 종래의 내부 포드와 종래의 외부 포드 사이에 대응하는 상호 조정 메커니즘이 존재하므로, 종래의 외부 포드는 다른 메커니즘 디자인의 내부 포드와 협력하여 순응해 사용되는 대신에 대응하는 내부 포드와 협력하여만 사용될 수 있다. 즉, 호환되는 특정 외부 포드와 내부 포드만이 레티클을 단단히 수용하는 효과를 얻을 수 있고, 서로 호환되지 않는 외부 포드와 내부 포드를 사용하면 기대한 안정성을 얻을 수 없다. 레티클 보관 포드의 현재 외부 포드 설계는 생산 비용과 보관 효율성을 고려할 때 요구 사항을 충족할 수 없다.
따라서, 산업계에서는 전용 레티클 보관 포드 및 장기 보관에 적합한 관련 방법, 및 상기 전용 레티클 보관 포드를 보관하기 위한 레티클 보관 시스템 및 방법이 필요하다. 더욱이, 본 발명의 적어도 2가지 유형의 상이한 메커니즘 설계의 내부 포드와 호환되도록 하나의 단일 외부 포드를 개발하는 기술은 보관 비용을 줄이는 데 도움이 된다.
일반적으로 알려진 레티클 이송 포드에서, 내부 포드에는 외부 포드, 즉 홀드-다운 핀에 의해 가해지는 힘을 이용하는 고정 장치가 제공된다. 이 메커니즘은 내부 포드가 외부 포드에 수용된 경우에만 내부 포드의 레티클에 작용한다. 예를 들어, 홀드-다운 핀의 상단은 내부 포드의 상단 부분 외부로 노출된다. 외부 포드를 사용하지 않고 내부 포드를 운송하는 경우, 내부 포드에서 레티클의 안정성이 충분하지 않아 진동 및 충격이 발생할 수 있다.
또한, 레티클이 전용 레티클 보관 캐비닛 시스템에 장기간 보관되는 경우, 이중층의 레티클 이송 포드에서 레티클을 꺼내 전용 포드로 이송해야 한다. 따라서, 레티클을 레티클 보관 캐비닛 시스템에 보관하기 전에, 호환 가능한 관련 레티클 적재 시스템 및 관련 방법도 개발해야 한다.
또한, 레티클은 반도체 제조 장치의 고정밀 공정에 적합하기 때문에, 이러한 레티클을 높은 생산 비용으로 장기간 보관 캐비닛에 보관하기 위해서는 엄격한 환경 조건 및 요건을 완전히 충족해야 한다. 따라서, 레티클 보관 캐비닛 파이프라인 팽창 시스템 및 레티클의 장기 보관을 위한 관련 방법뿐만 아니라 레티클 보관 캐비닛 시스템의 스케줄링에 적합한 레티클 보관 캐비닛 관리 시스템 및 관련 방법의 개발이 필요하다.
본 발명은 상기의 단점을 개선한 레티클 보관 포드 및 레티클 고정 방법을 제공하는 것이다.
동일한 공간 내에 더 많은 레티클을 보관하기 위해, 본 발명은 레티클의 보관 효율을 향상시키기 위한 보관 수단을 제공한다. 보다 상세하게, 본 발명은 종래의 레티클 이송 포드와 다른 전용 레티클 보관 포드를 제공한다. 본원의 명세서에서, 구별을 위해, "레티클 이송 포드"라는 용어는 종래의 레티클 포드를 의미하고, "레티클 보관 포드"라는 용어는 효율성이 개선된 보관 수단에 응하여 본 발명이 제공하는 전용 레티클 포드를 의미한다.
레티클 보관 포드가 레티클 적재 시스템과 레티클 보관 캐비닛 시스템의 보관 랙에서만 운송되는 경우, 외부 입자의 침입을 방지하기 위한 보호 기구가 필요함을 제외하고, 상기 목적을 위한 레티클 보관 포드의 설계는 복잡한 구조나 가공이 전혀 필요하지 않아 원가절감에 도움이 된다.
본 발명의 목적은 각각이 레티클의 코너를 지지하도록 구성되고 각각이 코너의 두 측면에 각각 위치한 한 쌍의 제한 블록을 형성하도록 위로 뻗어 있는 복수의 지지 부재를 갖는 베이스; 및 상기 복수의 지지 부재에 각각 대응하는 복수의 탄성 홀드-다운 장치를 갖는 커버를 포함하고, 상기 각각의 탄성 홀드-다운 장치는 상기 지지 부재에 의해 지지된 레티클의 코너에 작용하는 적어도 하나의 탄성암을 포함하며, 상기 커버가 레티클을 수용하기 위해 베이스를 덮을 때, 상기 한 쌍의 제한 블록이 상기 탄성암의 수평 이동을 제한하는 레티클 보관 포드를 제공하는 것이다.
특정 실시예에서, 지지 부재는 한 쌍의 경사면을 가지며, 상기 한 쌍의 경사면은 코너의 양측 하부 에지와 각각 맞물린다.
특정 실시예에서, 탄성 홀드-다운 장치는 바디 및 상기 바디로부터 서로 다른 방향으로 뻗어 있는 한 쌍의 탄성암을 포함하고, 각각의 탄성암은 제한부 및 상기 제한부로부터 연장되는 경사면을 가지며, 상기 한 쌍의 탄성암의 두 경사면은 코너의 두 측면의 상부 에지와 각각 맞물린다.
특정 실시예에서, 한 쌍의 제한 블록은 한 쌍의 탄성암의 두 제한부를 제한한다.
특정 실시예에서, 한 쌍의 탄성암의 두 경사면은 상기 제한부로부터 멀리 연장되어 서로 결합된다.
본 발명의 다른 목적은 커버, 베이스 및 고정 장치를 포함하고, 상기 커버와 베이스가 서로 맞물리며 보관 공간을 형성하며, 상기 고정 장치가 상기 보관 공간에 레티클을 고정하도록 구성된 내부 포드; 및 외부 커버와 외부 베이스를 포함하고, 상기 외부 커버와 외부 베이스가 서로 맞물리면서 내부 포드를 수용하는 외부 포드를 포함하고, 상기 외부 커버는 평평한 상부면과 상기 평평한 상부면으로부터 아래쪽으로 뻗어 있는 주변 측벽을 가지며, 상기 주변 측벽에는 적어도 한 쌍의 핸들이 제공되고, 상기 한 쌍의 핸들은 평평한 상부면의 높이를 초과하지 않는 레티클 보관 포드를 제공하는 것이다.
특정 실시예에서, 외부 베이스의 상부면에는 상기 내부 포드의 베이스를 지지하는 복수의 커플링 핀이 제공된다.
특정 실시예에서, 외부 커버에는 내부 포드를 고정하기 위해 커버에 작용하는 적어도 하나의 홀드-다운 장치가 제공된다.
특정 실시예에서, 홀드-다운 장치는 내부 포드의 커버에 작용하는 홀드-다운 컬럼이다.
특정 실시예에서, 고정 장치는 베이스 상에 제공된 적어도 하나의 지지 부재 및 커버 상의 지지 부재에 대응하게 제공된 적어도 하나의 탄성 홀드-다운 장치를 포함한다. 외부 커버와 외부 베이스는 내부 포드를 수용하도록 맞물리며, 홀드-다운 컬럼은 탄성 홀드-다운 장치에 압력을 가하여 탄성 홀드-다운 장치가 레티클을 고정하게 된다.
특정 실시예에서, 홀드-다운 장치는 홀드-다운 리브이고, 상기 홀드-다운 리브는 외부 커버와 외부 베이스가 내부 포드를 수용하기 위해 결합될 때 내부 포드의 커버의 상부면에 대해 가압한다.
특정 실시예에서, 커버의 상부면에는 홀드-다운 리브에 대응하는 위치에 리세스가 형성되어, 외부 커버와 외부 베이스가 결합되어 내부 포드를 수용할 때 상기 홀드-다운 리브가 대응하는 리세스를 가압한다.
특정 실시예에서, 홀드-다운 리브는 베이스와 커버를 단단히 위치시키고 맞물리게 하기 위해 대응하는 리세스를 가압한다.
특정 실시예에서, 고정 장치는 베이스 상에 제공된 적어도 하나의 지지 부재, 및 커버 상의 지지 부재에 대응하게 제공된 적어도 하나의 레티클 리테이너를 포함하고, 상기 레티클 리테이너는 적어도 하나의 탄성암을 포함하며, 상기 커버와 베이스가 결합되어 레티클을 수용할 때, 상기 지지 부재가 레티클의 코너를 지지하고 상기 레티클 리테이너의 탄성암이 해당 코너와 결합하여 고정 장치가 레티클을 고정한다.
본 발명의 또 다른 목적은 외부 포드에 수용되도록 구성된 내부 포드를 포함하고, 상기 외부 포드의 내부면에 복수의 고정 장치가 제공되며, 상기 내부 포드는 커버, 베이스 및 복수의 고정 장치를 포함하고, 상기 커버와 베이스가 결합되어 보관 공간을 정의하며, 상기 고정 장치는 레티클이 보관 공간에 수용되게 고정하도록 구성된 레티클 보관 포드를 제공하는 것이다. 상기 커버의 상부면에는 복수의 홀드-다운 장치에 각각 대응하는 위치에 복수의 리세스가 형성되고, 상기 내부 포드가 상기 외부 포드에 수용될 때, 상기 커버의 리세스가 상기 홀드-다운 장치와 각각 맞물려 내부 포드를 고정 및 위치 설정하기 위한 고정력을 획득하고, 상기 고정 장치에 의한 레티클의 고정을 더욱 개선시킨다.
특정 실시예에서, 리세스는 하부면과 상기 하부면을 둘러싸는 주변 측면을 갖고, 상기 주변 측면은 외곽선을 가지며, 커버가 리세스 아래의 하부면에 고정 장치를 노출시킨다.
특정 실시예에서, 홀드-다운 장치는 리세스에 대응하는 외곽선을 갖는 홀드-다운 리브이고, 내부 포드가 외부 포드에 수용될 때, 상기 홀드-다운 리브는 그에 따라 리세스의 하부면을 가압한다.
본 발명의 또 다른 목적은 외부 커버와 외부 베이스를 포함하고, 상기 외부 커버와 외부 베이스가 서로 맞물리면서 구조적으로 다른 제1 내부 포드와 제2 내부 포드 중 하나를 안전하게 수용하고, 상기 제1 내부 포드 및 상기 제2 내부 포드는 각각 레티클을 보관하도록 구성된 외부 포드를 포함하는 레티클 보관 포드를 제공하는 것이다. 상기 외부 커버에는 적어도 하나의 제1 홀드-다운 장치 및 제2 홀드-다운 장치가 제공되고, 상기 제1 홀드-다운 장치 및 제2 홀드-다운 장치는 상기 제1 내부 포드의 커버 및 상기 제2 내부 포드의 커버에 각각 작용하도록 구성된다.
특정 실시예에서, 제 1 홀드-다운 장치 및 제 2 홀드-다운 장치는 각각 다른 높이로 외부 커버의 하부면으로부터 연장되어, 상기 제 1 홀드-다운 장치 및 제 2 홀드-다운 장치가 제1 내부 포드의 커버의 대응하는 구조 및 제2 내부 포드의 커버의 다른 대응하는 구조와 각각 맞물릴 수 있다.
특정 실시예에서, 제1 홀드-다운 장치는 홀드-다운 컬럼이고, 제2 홀드-다운 장치는 편자 외곽선을 갖는 홀드-다운 리브이며, 상기 홀드-다운 컬럼이 홀드-다운 리브의 편자 외곽선 안쪽 면에 위치된다.
특정 실시예에서, 제1 내부 포드의 커버에는 제1 홀드-다운 장치에 대응하는 위치에 탄성 홀드-다운 장치가 제공된다. 상기 탄성 홀드-다운 장치는 홀드-다운 핀을 포함하고, 제1 내부 포드가 외부 포드에 수용될 때 홀드-다운 컬럼이 홀드-다운 핀을 가압하여, 상기 제1 내부 포드에 수용된 레티클을 고정시킨다.
특정 실시예에서, 탄성 홀드-다운 장치는 홀드-다운 핀을 제한하는 캡을 포함하고, 홀드-다운 리브의 편자 외곽선은 제1 내부 포드가 외부 포드에 수용될 때 캡의 수평 운동을 제한한다.
특정 실시예에서, 제2 내부 포드의 커버에는 제2 홀드-다운 장치에 대응하는 위치에 리세스가 제공된다. 상기 리세스는 바닥면과 하부면을 둘러싸는 주변 측면을 가지며, 상기 주변 측면은 홀드-다운 리브에 해당하는 편자 외곽선을 갖는다. 제2 내부 포드가 외부 포드에 수용될 때, 홀드-다운 리브는 리세스의 하부면을 가압하며, 상기 홀드-다운 리브는 커버의 수평 이동을 제한한다.
본 발명의 또 다른 목적은 레티클을 고정하는 방법을 제공하는 것이다. 상기 방법은 레티클을 고정하기 위해 레티클 보관 포드에 적용되는 레티클 고정 방법으로서, 레티클 보관 포드의 베이스 상에, 각각이 한 쌍의 제한 블록을 형성하기 위해 상방으로 뻗어 있는 복수의 지지 부재를 제공하는 단계; 상기 레티클 보관 포드의 커버에, 상기 복수의 지지 부재에 각각 대응하며 각각이 적어도 하나의 탄성암을 갖는 복수의 탄성 홀드-다운 장치를 제공하는 단계; 및 각각의 지지 부재가 레티클의 코너를 지지하고 각각의 탄성 홀드-다운 장치의 탄성암이 대응하는 코너에 작용하며, 한 쌍의 제한 블록이 탄성암의 수평 이동을 제한도록 레티클을 수용하기 위해 베이스와 커버를 결합하는 단계를 포함한다.
특정 실시예에서, 한 쌍의 제한 블록이 코너의 양측에 각각 위치된다.
특정 실시예에서, 탄성 홀드-다운 장치는 바디 및 한 쌍의 탄성암을 포함하고, 각각의 탄성암은 제한부 및 상기 제한부로부터 뻗어 있는 경사면을 갖는다.
특정 실시예에서, 커버와 베이스가 결합되어 레티클을 수용할 때, 한 쌍의 탄성암의 두 경사면을 코너 양측의 상부 에지에 각각 결합시키는 단계를 포함한다.
특정 실시예에서, 한 쌍의 탄성암은 바디로부터 서로 다른 방향으로 연장된다.
특정 실시예에서, 한 쌍의 탄성암의 말단부가 서로 결합된다.
본 발명의 내용에 포함됨.
본 발명을 더 잘 이해하기 위해 하기의 도면 및 명세서를 참조할 수 있다. 아래 도면을 참조하여 비제한적이고 비배타적인 실시예를 설명한다. 또한, 도면의 구성요소는 반드시 실제 크기로 도시된 것은 아니며, 구조 및 원리에 대한 설명을 중심으로 도시하였다.
도 1은 종래의 레티클 보관 포드의 분해 측면도이다.
도 2는 종래의 내부 포드와 레티클의 3차원 분해도이다.
도 3은 본 발명의 레티클 보관 시스템의 블록도이다.
도 4는 본 발명의 레티클 보관 시스템의 3차원 도면이다.
도 5a는 본 발명의 레티클 보관 포드의 분해 측면도이다.
도 5b는 본 발명의 전용 외부 포드의 외부 커버의 3차원 도면이다.
도 5c는 본 발명의 전용 외부 포드의 외부 베이스의 3차원 도면이다.
도 5d는 본 발명의 전용 내부 포드의 3차원 분해도이다.
도 5e는 본 발명의 전용 내부 포드의 커버의 평면도이다.
도 5f는 본 발명의 전용 내부 포드의 커버의 저면도이다.
도 5g는 도 5e의 점선을 따른 본 발명의 내부 포드 전용 커버의 단면도이다.
도 5h는 본 발명의 전용 내부 포드의 베이스의 평면도이다.
도 5i는 본 발명의 전용 내부 포드의 베이스의 저면도이다.
도 5j는 도 5h의 점선을 따른 본 발명의 전용 내부 포드의 베이스의 단면도이다.
도 5k는 본 발명의 전용 내부 포드의 베이스의 3차원 도면이다.
도 5l은 본 발명의 베이스 코너의 3차원 도면이다.
도 5m은 본 발명의 베이스의 다른 코너의 3차원 도면이다.
도 5n은 본 발명의 커버의 내측에 제공된 레티클 리테이너의 도면이다.
도 6a는 레티클 리테이너 및 레티클의 코너를 보유하는 본 발명의 전용 내부 포드의 대응하는 지지 부재의 도면이다.
도 6b는 레티클 리테이너의 수평 이동을 제한하는 본 발명의 지지 부재의 부분 확대도이다.
도 7a는 본 발명의 전용 내부 포드의 3차원 도면이다.
도 7b는 도 7a의 점선을 따른 본 발명의 전용 내부 포드의 단면도이다.
도 8a는 본 발명의 전용 외부 포드의 외부 커버의 저면도이다.
도 8b는 전용 내부 포드의 커버에 작용하는 홀드-다운 장치의 확대도이다.
도 9a는 결합된 도 5a의 레티클 보관 포드의 단면도이다.
도 9b는 도 9a에서 점선으로 나타낸 영역의 부분 확대도이다.
도 10a는 종래의 레티클 이송 내부 포드의 3차원 도면이다.
도 10b는 종래의 레티클 이송 내부 포드의 커버의 대응하는 장치에 작용하는 홀드-다운 장치의 도면이다.
도 10c는 레티클 이송 포드의 내부 포드의 홀드-다운 장치 및 대응하는 장치의 확대도이다.
도 11a는 본 발명의 레티클 보관 포드의 전용 내부 포드를 수용하는 전용 외부 포드의 단면도이다.
도 11b는 본 발명의 레티클 보관 포드의 비전용 내부 포드를 수용하는 전용 외부 포드의 단면도이다.
도 12는 본 발명의 레티클 이송 포드의 내부 포드의 커버와 전용 내부 포드의 커버의 중첩 다이어그램을 도시한다.
도 13은 본 발명의 레티클 적재 시스템의 3차원 외관도이다.
도 14는 본 발명의 레티클 적재 시스템의 개략도이다.
도 15는 본 발명의 레티클 보관 방법의 적재 흐름도이다.
도 16은 본 발명의 레티클 보관 방법의 하적 흐름도이다.
도 17은 본 발명의 레티클 이송의 특정 흐름도이다.
도 18은 본 발명의 특정 실시예에 따른 레티클 적재 시스템의 도면이다.
도 19a는 본 발명의 특정 실시예에 따른 레티클 적재 시스템에 사용되는 레티클 클램핑 장치의 도면이다.
도 19b는 레티클 클램핑 장치의 정면도이다.
도 19c는 레티클 클램핑 장치의 평면도이다.
도 20은 레티클 클램핑 장치와 리프트의 조정도이다.
도 21은 레티클 적재 시스템의 이상 처리 절차의 예이다.
도 22는 레티클 적재 시스템의 다른 이상 처리 절차의 예이다.
도 23은 레티클 클램핑 장치의 이상 처리 순서의 일례이다.
도 24는 본 발명의 레티클 적재 시스템 및 레티클 보관 시스템의 개략적인 블록도이다.
도 25는 본 발명의 레티클 보관 시스템의 평면도이며, 레티클 보관 시스템 내부의 특정 구성을 도시한다.
도 26a는 본 발명의 특정 실시예에 따른 보관 랙의 3차원 도면이다.
도 26b는 보관 랙의 바닥부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 27a는 레티클 보관 포드를 갖는 보관 랙의 도면이다.
도 27b는 보관 랙에 레티클 보관 포드가 있는 경우의 저면부에서 본 도면이다.
도 27c는 보관 랙에 레티클 보관 포드가 있는 경우의 다른 각도에서 본 도면이다.
도 28a는 특정 실시예에 따른 보관 랙 및 기계적 암의 평면도로서, 기계적 암은 레티클 보관 포드 아래에 위치되고 보관 랙의 레티클 보관 포드의 바닥부에 포지셔닝 슬롯이 점선으로 표시되어 있다.
도 28b는 보관 랙 아래로 들어가 레티클 보관 포드를 집어 올리는 기계식 암의 측면도이다.
도 28c는 보관 랙으로부터 레티클 보관 포드를 분리하는 기계식 암의 측면도이다.
도 29는 보관 랙의 상류 공기 공급 파이프라인 및 그 질량 유량 제어 수단의 도면이다.
도 30은 2개의 특정 실시예에 따른 보관 랙의 상류 공기 공급 파이프라인에 대한 연결의 도면이다.
도 31은 레티클 보관 캐비닛 시스템의 기계적 암의 이상 처리 순서의 일례이다.
도 32는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레티클 적재 장치 및 레티클 보관 시스템의 개략도이다.
도 33은 도 32의 실시예에 따른 레티클의 적재의 흐름도이다.
도 34는 도 32의 실시예에 따른 레티클의 하적을 나타내는 흐름도이다.
도 35는 도 32의 실시예에 따른 레티클의 이송의 구체적인 흐름도이다.
도 36은 내부 포드의 이송의 흐름도이다.
도 37은 본 발명의 다른 실시예에 따른 레티클 적재 장치 및 레티클 보관 시스템의 개략도이다.
도 38a는 본 발명의 특정 실시예에 따른 보관 챔버의 도면이다.
도 38b는 보관 챔버 내측의 상방을 향하는 캐리어면의 구성을 나타내는 도면이다.
도 38c는 보관 챔버 내의 싱글 포드의 도면이다.
도 38d는 싱글 포드의 바닥부를 지지하는 보관 챔버의 캐리어 표면 메커니즘의 다이어그램이다.
도 39a는 도 37의 실시예에 따른 레티클 적재의 흐름도이다.
도 39b는 도 37의 실시예에 따른 레티클 하적의 흐름도이다.
도 40은 도 37의 실시예에 따른 레티클의 이송의 구체적인 흐름도이다.
도 41a는 상호작용 실시예에 따른 보관 챔버에 포드를 배치하기 위한 캐비닛 시스템의 보관 챔버 및 기계적 암의 예이다.
도 41b는 상호작용 실시예에 따른 보관 챔버에서 포드를 꺼내기 위한 캐비닛 시스템의 기계적 암과 보관 챔버의 예이다.
도 42a는 다른 상호작용 실시예에 따른 보관 챔버에 포드를 배치하기 위한 캐비닛 시스템의 보관 챔버 및 기계적 암의 예이다.
도 42b는 다른 상호작용 실시예에 따른 보관 챔버로부터 포드를 꺼내기 위한 캐비닛 시스템의 기계적 암 및 보관 챔버의 예이다.
도 43은 본 발명의 실시예에 따른 레티클 보관 캐비닛 파이프라인 팽창 시스템의 개략도이다.
도 44는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레티클 적재 장치 및 레티클 보관 시스템의 개략도이다.
도 45a는 도 44의 실시예에 따른 레티클의 적재의 흐름도이다.
도 45b는 도 44의 실시예에 따른 레티클의 하적의 흐름도이다.
도 46a는 도 44의 실시예에 따른 레티클 적재의 다른 흐름도이다.
도 46b는 도 44의 실시예에 따른 레티클의 하적의 다른 흐름도이다.
본 발명을 보다 잘 설명하기 위해, 구체적인 예 및 구체적인 실시예가 아래 첨부된 도면과 함께 제공된다. 그러나, 본 출원의 주제는 구체적으로 다양한 상이한 형태로 구현될 수 있고, 응용의 주제에 의해 커버되거나 주장되는 구성은 응용의 상세한 설명에 개시된 임의의 예시적인 특정 실시예에 국제한되지 않는다; 특정 실시예는 비제한적이며 한정적인 것으로 해석되어서는 안 된다는 것을 이해해야 한다. 마찬가지로, 본 발명은 주제에 의해 적용되거나 커버되는 주제에 대해 합리적으로 넓은 범위를 제공하는 것이다.
본 출원의 문헌에서 사용된 "일 실시예에서"라는 표현은 반드시 동일한 특정 실시예를 지칭하는 것은 아니며, 본 출원의 문헌에서 사용된 "다른(일부/특정) 실시예에서"라는 표현은 반드시 다른 특정 실시예를 지칭하는 것은 아니다. 상기 목적은, 예를 들어, 설명된 주제에 의해 예시적인 특정 실시예의 전부 또는 일부의 조합을 포함하는 것이다.
이하의 실시예에서 "전용"이라는 용어는 본 발명이 해결하고자 하는 보관 문제에 응하여 제공되는 기술적 수단, 예를 들어 전용 포드, 전용 외부 포드 또는 전용 내부 포드에 관한 것이다. 또한, "비전용"이라는 용어는 비보관 목적에 응하여관련된 기술적 수단을 말하며, 기존 또는 기타 새로운 레티클 내부 또는 외부 포드일 수 있다. 본 문헌에서 비전용 포드는 도 1에 도시된 종래의 듀얼 포드와 같은 기존의 레티클 포드로 이해될 수 있지만, 비전용 포드만 기존 레티클 포드가 될 수 있다는 의미는 아니다. 보다 구체적으로, 문헌에서 비전용 포드는 전용으로 보관 목적으로 사용되지 않는 레티클 포드로 이해되어야 하며, 예를 들어 공장에서 일반적인 운송 목적에 적합한 레티클 포드이다.
도 3은 본 발명의 레티클 보관 시스템의 블록도를 도시한다. 본 발명은 레티클 이송 포드(10) 내부에 레티클을 보관하는 레티클 보관 수단을 제공한다. 레티클 보관 시스템은 레티클 적재 시스템(200) 및 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)을 포함한다. 레티클 적재 시스템(200)은 레티클 이송 포드(10)와 전용 레티클 보관 포드(100) 사이에서 레티클을 이송하거나, 레티클을 수용하는 내부 포드를 레티클 이송 포드(10) 또는 전용 레티클 보관 포드(100)에 배치하기 위한 것이다. 본 명세서에 설명된 레티클 이송 포드(10)는 종래 레티클 이송 포드 또는 공장에서 크레인 시스템으로 조정되는 레티클 이송 포드일 수 있음을 이해해야 한다. 본 발명에서 제공하는 레티클 보관 포드(100)는 기존의 레티클 포드와 다른 보관 수단으로, 본 발명의 레티클 보관 캐비닛 시스템(600) 전용으로 사용된다.
레티클 적재 시스템(200)은 공장 환경에 연결된 제1 포트(202) 및 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)에 연결된 제2 포트(204)를 포함한다. 제1 포트(202)는 레티클 이송 포드(10)가 공장 환경과 레티클 적재 시스템(200)에 의해 제공되는 적재 환경 사이에서 이동되도록 하고, 제2 포트(204)는 레티클 보관 포드(100)가 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 적재 환경과 보관 환경 사이에서 이동되도록 한다. 제1 포트(202) 및 제2 포트(204)는 공장 환경, 적재 환경 및 보관 환경을 개별적으로 분리하기 위한 밸브 수단을 포함할 수 있다. 제1 포트(202)는 크레인 시스템과 조정하도록 더 구성될 수 있다.
레티클 보관 캐비닛 시스템(600)은 복수의 레티클 보관 포드(100)를 보관할 수 있는 하나 이상의 레티클 캐비닛 랙(미도시), 레티클 보관 포드(100)를 보관 및 인출을 담당하는 레티클 보관 캐비닛 제어 시스템(300), 각 레티클 캐비닛 랙의 가스 환경을 담당하는 레티클 보관 캐비닛 파이프라인 팽창 시스템(400) 및 모든 프로세스를 담당하는 레티클 보관 캐비닛 관리 시스템(500)을 포함하고, 관련된 세부 사항은 나중에 설명한다.
도 4는 본 발명의 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 특정 외부 구성의 예를 도시한 것으로, 레티클 적재 시스템(200)은 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 일측에 가까우나, 본 발명은 상기 예에 국한되지 않는다. 레티클 적재 시스템(200)의 제1 포트(202)는 레티클 이송 포드(10)를 수직으로 적재 또는 인출하기 위해 크레인 시스템과의 조정을 용이하게 하기 위해 기본적으로 위쪽을 향한다. 제2 포트(미도시)는 레티클 적재 시스템(200)의 측면에 위치되어 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)과 마주하여 레티클 보관 포드(100)를 수평으로 적재 또는 인출한다.
레티클 적재 시스템(200)은, 예를 들어, 무선 주파수 식별(RFID) 또는 내부 포드 및/또는 외부 포드 상의 2차원 바코드를 식별하기 위한 레티클 이송 포드(10) 및 레티클 보관 포드(100)와 관련한 식별 수단을 포함하도록 구성될 수 있고, 이러한 정보는 포드 또는 레티클의 식별 번호와 연관될 수 있다. 식별 수단은 포드의 윈도우를 통해 포드 내의 펠리클(pellicle) 손상 여부를 감지하고 2차원 바코드를 판독하는 단계를 더 포함할 수 있다.
제 1 포트(202) 및 제 2 포트(204)는 각각 레티클 적재 시스템(200)의 상이한 리프트 수단에 대응하며, 이는 레티클 이송 포드(10) 및 레티클 보관 포드(100)가 적재 환경에 들어간 후 각각의 리프트 수단에 의해 각각 유지되는 것을 의미한다. 적재 환경은 레티클 이송 포드(10)와 레티클 보관 포드(100) 사이에서 레티클을 이송하기 위해 레티클에 대한 클램핑 수단을 더 포함한다. 리프팅 수단 및 클램핑 수단과 관련된 세부 사항은 아래 단락에 설명되어 있다.
레티클 적재 시스템(200)을 사용할 수 없는 경우(예를 들어, 유지보수 중인 경우), 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)은 필요한 레티클과 함께 레티클 보관 포드(100)를 제2 포트(204)로 보낼 수 있다.레티클 보관 캐비닛 시스템(600)은 작업자가 수동 도어를 사용하여 레티클 보관 포드(100)를 꺼낼 수 있도록 수동 조작 도어를 제공하여, 레티클 보관 포드(100)의 보호하에 레티클을 안전하게 꺼낼 수 있다. 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 상부에는 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 사용을 위해 외부로부터 공기를 끌어들이는 팬 필터 유닛(FFU)이 구성될 수 있다. 또한, 해당 배기 장치도 필요하다.
도 5a는 본 발명의 레티클 보관 포드의 분해 측면도로서, 본 발명의 레티클 보관 포드는 전용 내부 포드와 전용 외부 포드를 포함한다. 본 발명의 바람직한 실시예에서, 레티클 보관 포드(100)는 듀얼 포드 구조로, 본 발명의 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 보관 캐비닛 랙 전용으로 사용된다. 본 발명의 레티클 보관용 포드(100)는 전용으로 사용함에도 불구하고, 종래의 레티클 이송용 포드(10)와 마찬가지로, 레티클 보호를 위한 밀봉수단을 포함한다. 즉, 포드 바디의 접촉면은 우수한 밀봉 및 입자 차단 설계를 갖는다.
본 발명의 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)에 전용으로 사용되는 레티클 보관 포드(100)는 전용 외부 포드(102)와 전용 내부 포드(101)를 포함한다. 전용 외부 포드(102)는 전용 내부 포드(101)를 수용하고, 레티클(R)은 전용 내부 포드(101)에 안치된다. 전용 외부 포드(102)는 외부 커버(150)와 외부 베이스(160)(또는 도어라고 함)로 구성되며, 전용 내부 포드(101)는 커버(110)와 베이스( 130)로 구성된다.
도 1의 종래의 레티클 이송 포드(10)와 비교하여, 도 5a의 레티클 보관 포드(100)의 외부 커버(150)는 크레인 시스템과 조정할 필요가 없으므로, 기존 레티클 이송 포드(10)의 핸들(52)이 제거된다. 그 결과, 레티클 보관 포드(100)의 전체 높이는 종래의 레티클 이송 박스(10)의 전체 높이보다 낮다. 또한, 도 1의 종래 레티클 이송 포드(10)에 비해, 도 5a의 본 발명의 외부 베이스(160) 내측에 결합핀(161)도 또한 짧아, 본 발명의 외부 커버(150)와 외부 베이스(160)의 높이가 도 1의 종래 레티클 이송 포드(10)의 외부 커버(40) 및 외부 베이스(50)의 높이보다 짧다. 본 발명의 레티클 보관 포드(100)의 전체 높이를 최소화하기 위해, 외부 커버(150)의 양측에 구비된 한 쌍의 핸들(151)은 외부 커버(150)의 상부면보다 높지 않다. 단축된 결합핀(161)은 전용 내부 포드(101)를 수용하기 위한 공간의 높이 또한 감소되게 한다. 따라서, 본 발명의 레티클 보관 포드(100)의 전체 높이는 기존의 레티클 이송 포드(10)의 높이보다 현저히 낮아, 본 발명의 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)이 더 많은 수의 전용 레티클 보관 포드(100) 및 레티클을 수용할 수 있게 한다.
도 5b는 본 발명의 전용 외부 포드의 외부 커버(150)의 3차원 다이어그램을 도시한 것으로, 크레인 시스템과의 조정을 위한 구조적 설계가 제거되어 있다. 외부 커버(150)는 평평한 상부면(152)과 상기 평평한 상부면(152)으로부터 하방으로 연장되는 주변 측면을 갖는다. 핸들(151)은 주변 측면으로부터 외부로 연장되며 기본적으로 평평한 상부면(152)을 초과하지 않거나 매우 작은 높이만큼 평평한 상부면(152)을 초과한다.
도 5c는 본 발명의 전용 외부 포드의 외부 베이스(160)의 3차원 도면으로서, 그 바닥부의 구성은 복수의 에어 밸브(162)와 포지셔닝 슬롯(163)을 포함한다. 에어 밸브(162)는 소정의 연결 포트와 협력하여 전용 외부 포드(102)에 소정의 가스를 공급하거나 전용 외부 포드(102)로부터 소정의 가스를 배출할 수 있다. 포지셔닝 슬롯(163)은 장치의 특정 위치에 전용 외부 포드(102)를 포지셔닝하기 위한 것이다.
도 5d는 본 발명의 전용 내부 포드(101)의 3차원 분해도를 도시한 것으로, 전용 내부 포드(101)는 커버(110), 베이스(130) 및 고정 장치를 포함한다. 커버(110)와 베이스(130)가 서로 맞물리면서 보관 공간을 형성하고, 고정 장치는 레티클(R)이 보관 공간에 수납될 수 있도록 레티클(R)을 지지 및 제한되도록 구성된다. 커버(110)의 상부는 기본적으로 평평한 면이고, 필터 멤브레인 커버(112)로 구성되며, 소정 형상 및 배열이 형성된 복수의 리세스(114)를 갖는다. 본 실시예에서는 소정 형상 및 배열을 갖는 4개의 리세스(114)가 예시적으로 구성된다.
도 1의 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드(11)의 구조에 비해 도 5e 내지 도 5j를 참조하면, 본 발명의 레티클 보관 포드(100)의 전용 내부 포드(101)의 고정 장치와 레티클(R)은 면취 접촉되어 있다. 도 5f 및 도 5h에 도시된 바와 같이, 고정 장치는 커버(110)의 4개의 내측 코너에 배치된 탄성 홀드-다운 장치(즉, 레티클 리테이너(120))와 베이스(130)의 상측에 배치된 4개의 지지 부재(134)를 포함한다. 탄성 홀드-다운 장치 및 지지 부재(134)의 개수 및 위치는 커버(110) 상부에 리세스(114)의 위치와 일치하도록 설계된다. 따라서, 레티클 리테이너(120)와 지지 부재(134)의 위치는 서로 일치한다. 레티클(R)을 수용하기 위해 커버(110)와 베이스(130)가 맞물리면, 4개의 지지 부재(134)와 대응하는 레티클 리테이너(120)가 레티클(R)의 네 코너에 접촉되어 유지된다. 커버(110)의 중앙에는 복수의 에어 채널이 마련되고, 그 위에는 에어 채널을 덮도록 필터 멤브레인 커버(112)가 마련된다. 보다 구체적으로, 필터 멤브레인 커버(112)가 커버(110)의 상부면에서 돌출되지 않게 하는 식으로, 도 5g에 도시된 바와 같이, 필터 멤브레인 커버(112)가 커버(110) 상부면의 중앙 함몰 위치에 장착된다. 각각 커버(110)의 측면으로부터 외측으로 연장하는 한 쌍의 핸들(111)이 레티클 적재 시스템(200)의 커버 개방 프로세스 동안 미리 결정된 장치와 상호작용할 수 있으며, 관련된 세부사항은 아래 단락에서 설명될 것이다.
또한, 커버(110) 상부의 리세스(114)의 위치는 레티클 리테이너(120)의 위치에 일치한다. 따라서, 전용 내부 포드(101)가 전용 외부 포드(102)에 수용될 때, 커버(110)의 리세스(114)는 커버(150)의 내측에 배치된 홀드-다운 장치와 일치하게 맞물릴 수 있어 커버(110)에 하향 압력을 제공함으로써, 전용 내부 포드(101)의 결합을 강화하고 레티클(R)을 고정하며, 관련 세부 사항은 아래 단락에서 설명한다.
도 1의 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드(11)와 비교하면, 본 발명의 레티클 보관 포드(100)의 전용 내부 포드(101)는 레티클(R)을 보다 확실하게 수용한다. 전용 내부 포드(101)의 커버(110) 상부면에 전용 외부 포드(102)의 외부 커버(150)가 외력을 가함으로써, 커버(110)의 내측면에 배치된 탄성 홀드-다운 장치(즉, 레티클 리테이너(120))가 레티클(R)의 네 코너를 단단히 누르도록 유도된다. 보다 구체적으로, 장거리 운송시 레티클을 고정하기 위하여, 도 1의 레티클 이송 포드(10)의 외부 포드(12)의 외부 커버(50)가 내부 포드(11)의 커버(30)에 배치된 탄성 홀드-다운 장치에 외력을 직접 가하여 레티클의 상부면에 탄성 홀드-다운 장치가 작용한다. 즉, 도 1의 외부 커버(50)는 커버(30)에 작용하지 않는다.
도 1의 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드(11)의 베이스(20)에 비해, 본 발명의 레티클 보관 포드(100)의 전용 내부 포드(101)의 베이스(130)로부터 베이스(20)의 복잡한 구조가 제거되며, 제거된 복잡한 구조는 베이스(20)의 바닥면, 윈도우 프레임의 일부 및 단차 구조에 반사 레이저 각인을 포함할 수 있어, 별도의 가공 작업 없이도 본 발명의 베이스(130)의 비용을 크게 줄일 수 있고 포지셔닝 슬롯(132)과 윈도우(W)를 제외한 베이스(130)의 바닥면의 구성은 평평한 표면일 수 있다. 베이스(130)는 2차원 코드를 감지하기 위한 윈도우(W)와 레티클(R) 상의 펠리클을 포함한다. 베이스(130)의 바닥면과 측면은 연속적으로 평평한 면으로 되어 있으며, 이러한 단차가 없는 디자인으로 인해 블로잉(blowing) 및 청소가 보다 용이해 진다.
또한, 베이스(130) 상의 펠리클 그루브(131)는 도 1의 베이스(20)의 펠리클 그루브의 깊이에 비해 더 큰 깊이를 가져, 포드 내부의 더 나은 기류 교체 효율을 제공하고 상대 습도(RH%)의 강하율을 증가시켜 레티클의 장기 보관을 더욱 용이하게 한다. 베이스(130)에는 (도 6에 도시된 바와 같이) 써라운딩 그루브(133)가 형성되고, 상기 써라운딩 그루브(133)에는 레티클(R)의 네 코너에 대응하는 위치에 네 개의 지지 부재(134)가 마련된다. 커버(110)와 베이스(130)가 기밀하게 결합될 때, 써라운딩 그루브(133)의 구성으로 포드에 유입되는 파티클의 포획을 일조한다.
도 5k는 본 발명의 전용 내부 포드의 베이스(130)의 3차원 다이어그램을 도시한 것이고, 5l 및 도 5m은 도 5k의 점선 프레임을 따라 써라운딩 그루브에 배치된 지지 부재(134)의 확대도를 각각 도시한다.
도 5n은 본 발명의 커버(110) 내측에 구비된 개별 레티클 리테이너(120)를 도시한 도면이다. 본 발명의 커버(110)의 탄성 홀드-다운 장치는 도 5n에 도시된 레티클 리테이너(120)에 의해 구현될 수 있다. 레티클 리테이너(120)는 바디(121)와 상기 바디(121)의 양측에서 서로 다른 방향으로 연장되는 한 쌍의 탄성암(122)을 포함한다. 탄성암(122)의 일단은 바디(121)에 연결되고, 타단은 제한부(123)에 연결된다. 제한부(123)의 일단은 탄성암(122)에 연결되고, 타단은 경사면(124)에 연결된다. 2개의 경사면(124)은 제한부(123)로부터 경사지게 상방으로 연장되며, 제한부(123)로부터 멀리 있는 2개의 경사면(124)의 끝단이 연결된다. 구체적으로, 두 개의 경사면(124)의 끝단은 가압부(125)에 공통으로 연결된다. 그러나, 본 발명은 위의 예에 국한되지 않으며; 예를 들어, 가압부(125)는 생략될 수 있다.
레티클 리테이너(120)의 바디(121)에는 나사 구멍이 제공되어, 레티클 리테이너(120)가 공지된 잠금 수단에 의해 커버(110)의 내측에 고정될 수 있다. 한 쌍의 탄성암(122)을 연결하는 2개의 경사면(124)은 레티클 코너의 양측 상단 에지에 각각 접촉하기 위한 것이다. 본 실시예에서, 제한부(123)는 기본적으로 5l 및 도 5m에 도시된 지지 부재(134)와 협력하기 위한 수평 연장 구조여서, 한 쌍의 탄성암(122)의 수평 이동을 제한하고 레티클 코너의 요동을 더로 제한하는 효과를 달성한다.
도 6a는 레티클의 코너를 유지 및 지지하는 본 발명의 전용 내부 포드의 레티클 리테이너(120) 및 대응하는 지지 부재(134)의 도면을 도시한다. 도 6b는 레티클 리테이너(120)의 수평 이동을 제한하는 본 발명의 지지 부재(134)의 부분 확대도를 도시한다.
본 발명의 베이스(130)의 4개의 지지 부재(134)는 베이스(130)의 4개의 코너의 써라운딩 그루브(133)에 각각 배치되며, 레티클(R)의 대응하는 코너를 각각 지지하기 위한 것이다. 상기 지지 부재(134)는 상기 써라운딩 그루브(133) 내측으로부터 상방으로 돌출된 2개의 지지부를 가지며, 각각의 지지부는 레티클(R)을 대면하고 상기 레티클(R)을 향하여 하방으로 경사진 경사면(135)을 갖는다. 한 쌍의 경사면(135)은 기본적으로 직교하며, 도 6a에 도시된 바와 같이 레티클(R)의 대응하는 코너 양측의 하부 에지와 각각 접촉하여 맞물린다. 지지 부재(134)의 지지부 각각의 상단부는 제한 블록(136)을 형성하도록 상방으로 연장된다. 제한 블록(136)은 경사면(135)의 상단부에 위치하며, 레티클(R)과 간섭하지 않는다. 레티클(R)이 지지 부재(134)에 안착될 때, 각 지지 부재(134)의 2개의 제한 블록(136)은 레티클(R)의 코너의 2개의 측면에 각각 위치된다. 커버(110)와 베이스(130)가 결합되면, 각 지지 부재(134)의 2개의 제한 블록(136)이 레티클 리테이너(120)의 제한부(123) 외측에 위치되어, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이 한 쌍의 탄성암(122)에 연결된 제한부(123)의 수평이동을 제한한다. 따라서, 커버(110)와 베이스(130)가 결합될 때, 레티클 리테이너(120)의 두 개의 제한부(123)는 각 지지 부재(134)의 두 개의 지지부 사이에 유지되어 한 쌍의 제한부(123)의 수평 이동이 제한되고, 따라서 레티클 리테이너(120)의 좌우 흔들림이 감소된다. 다른 가능한 실시예에서, 제한 블록(136)은 또한 제한부(123)의 내측에 위치될 수 있다. 바람직하게는, 도 6b에 도시된 바와 같이, 제한부(123)와 제한 블록(136) 사이에 버퍼 갭이 있어 하드웨어 마모에 의한 파티클 발생을 방지한다.
도 7a는 본 발명의 전용 내부 포드의 3차원 다이어그램을 도시하고, 도 7b는 도 7a의 점선을 따른 본 발명의 전용 내부 포드의 단면도를 도시한다. 도 1의 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드(11)의 구조와 비교하면, 전용 내부 포드(101)의 커버(110)와 베이스(130)는 사이에 특정한 결합 방향이 없고, 커버(110)의 상부면은 단차 구조가 없이 넓은 면적을 갖는 평탄면이다. 즉, 슬롯 및 코너와 같은 구조가 전체적으로 커버(110)에서 크게 제거된다. 베이스(130) 바닥면에서 레이저 마킹, 윈도우, 평형추 블록, 단차 구조 등의 디자인도 크게 줄이거나 없어져 본 발명의 전용 내부 포드(101)의 커버(110)와 베이스(130)는 가공 공정을 줄여 제조를 용이하게 하고 수율 향상에 도움을 준다. 또한, 베이스(130)에는 펠리클 그루브(131)가 깊게 형성되어, 전용 내부 포드(101)의 보관 공간으로 인해 내부 공기와 외부 공기의 교환 효율이 더 좋아져 보관 공간의 상대 습도(RH%) 제어에 도움을 줄 수 있다.
또한, 본 발명의 전용 내부 포드(101)의 고정 장치는 레티클 리테이너(120)의 한 쌍의 탄성암(122)에 의해 레티클의 에지와 일치하는 챔퍼 및 지지 부재(134)의 한 쌍의 제한 블록(136)에 의해 레티클 리테이너(120)를 제한하여 레티클을 고정하는 한 쌍의 제한부(123)를 포함한다. 지지 부재(134)와 레티클 리테이너(120)는 경사면(135)을 통해 접촉되어 레티클의 상하부면에 마크가 생기는 것을 방지하고, 또한 레티클의 수평 상태를 유지하고 레티클을 가이드하는데 도움을 준다. 커버(110)와 베이스(130) 사이의 접촉면은 공지된 수단에 의해 밀봉된 접촉을 형성할 수 있다. 본 실시예에서, 베이스(130)의 접촉면은 베이스(130)의 최고면보다 낮고, 베이스(130)의 접촉면은 써라운딩 그루브(133)에 의해 최고면과 분리되며, 따라서 입자가 펠리클 영역에 들어가는 것을 방지한다.
도 8a는 본 발명의 전용 외부 포드(102)의 외부 커버(150)의 저면도이며, 4개의 홀드-다운 장치가 있음을 알 수 있다. 도 8b는 전용 내부 포드의 커버(110)에 작용하는 홀드-다운 장치의 상세 내용을 도시한 것으로, 외부 커버(150)는 도면에서 생략되어 있다. 도 9a는 결합된 도 5a의 레티클 보관 포드(100)의 단면도를 도시한다. 도 9b는 도 9a에서 점선으로 나타낸 영역의 부분 확대도이다.
본 발명의 전용 외부 포드(102)는 내측에 홀드-다운 장치가 구성되어 전용 내부 포드(101)를 수용하기 위해 사용되는 경우, 외부 커버(150)는 전용 외부 포드(102)에 수용된 전용 내부 포드(101)에 작용하는 하향 가공력을 제공한다. 또한 도 5b 및 도 5c를 참조하면, 본 발명의 전용 외부 포드(102)는 외부 커버(150)와 외부 베이스(160)를 포함한다. 본 발명에 의해 더 제공되는 홀드-다운 장치에 따르면, 외부 커버(150)와 외부 베이스(160)는 서로 다른 구조의 내부 포드, 즉 도 2의 내부 포드(11) 또는 도 5d의 전용 내부 포드(101)를 수용하는데 사용될 수 있다. 이 실시예에서, 상이한 구조의 내부 포드는 본 발명의 전용 내부 포드(101)와 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드(11)로 예시되며, 상기 내부 포드들은 커버(110 및 30)의 상부면에서 서로 다른 구성을 갖는다. 그러나, 본 발명은 이들 2가지 유형의 내부 포드에 한정되지 않는다.
외부 커버(150)의 내측의 하향 대향면에 제공된 개별 홀드-다운 장치의 위치는 실질적으로 레티클을 고정시키는 서로 다른 구조의 내부 포드(101, 11)의 네 코너의 위치에 각각 대응한다. 각각의 홀드-다운 장치는 제1 홀드-다운 장치 및 제2 홀드-다운 장치를 포함한다. 제1 홀드-다운 장치는 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드(11)의 커버(30)에만 작용하고 본 발명의 전용 내부 포드(101)의 커버(110)에는 작용하지 않는 하향 가압력을 제공하도록 구성된다. 이에 반해, 제2 홀드-다운 장치는 본 발명의 전용 내부 포드(101)의 커버(110)에만 작용하고 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드(11)의 커버(30)에는 작용하지 않는 하향 가압력을 제공하도록 구성된다. 더욱이, 본 발명은 제1 홀드-다운 장치 및 제2 홀드-다운 장치가 개별 요소인지 또는 일체로 형성된 하나의 단일 요소인지를 정의하지 않는다.
도 8a를 참조하면, 본 발명의 홀드-다운 장치는 외부 커버(150)의 하방을 향하는 면에 구성되고, 실질적으로 레티클의 코너에 대응한다. 이 실시예에서, 제1 홀드-다운 장치는 편자 홀드-다운 리브(153)이고, 제2 홀드-다운 장치는 홀드-다운 컬럼(154)이며, 상기 리브와 컬럼은 탄성 재료일 수 있다. 구체적으로, 편자 홀드-다운 리브(153)는 권취 U자형 연장구조이며, 홀드-다운 컬럼(154)은 편자 홀드-다운 리브(153)의 내측에 위치하거나, 홀드-다운 컬럼(154)은 편자 홀드-다운 리브(153)로 둘러싸여 있다. 본 실시예의 홀드-다운 컬럼(154)은 Y자형 구조이다; 그러나, 본 발명은 상기 예에 국한되지 않는다.
도 8b를 참조하면, 커버(110)의 리세스(114)와 제1 홀드-다운 장치 사이의 조정을 가능하게 하기 위해, 편자 홀드-다운 리브(153)는 소정의 크기 및 형상을 갖는다. 본 발명의 레티클 보관 포드(100)의 전용 외부 포드(102)에 전용 내부 포드(101)를 수납할 때, 전용 외부 포드(102)의 외부 커버(150)의 내측면에 구성된 편자 홀드-다운 리브(153)는 커버(110)의 대응하는 리세스(114)에 정확히 들어가고, 편자 홀드-다운 리브(153)의 하부면이 리세스(114)의 바닥면과 접촉하게 되어, 외부 커버(150)의 무게가 편자 홀드-다운 리브(153)를 통해 커버(110)에 작용하지만, 크기 때문에 홀드-다운 컬럼(154)이 리세스(114)의 바닥면과 접촉하지 않는다. 도 9a 및 도 9b에 도시된 바와 같이, 외부 커버(150)가 외부 베이스(160)와 결합되어 전용 내부 포드(101)를 수용할 때, 편자 홀드-다운 리브(153)의 수직 치수가 홀드-다운 컬럼(154)의 수직 치수보다 크기 때문에, 편자 홀드-다운 리브(153)의 하단이 리세스(114)로 들어가 리세스(114)의 바닥면을 누르는 반면, 홀드-다운 컬럼(154)은 리세스(114)에 현가된다. 즉, 전용 외부 포드(102)가 전용 내부 포드(101)를 수용할 때, 홀드-다운 컬럼(154)이 커버(110)에 작용하지 않는다. 또한, 리세스(114)의 측벽은 편자 홀드-다운 리브(153)의 수평 이동을 제한하여 전용 내부 포드(101)가 전용 외부 포드(102)에서 수평으로 흔들리는 것을 방지할 수 있다.
도 10a는 레티클 이송 내부 포드(11)의 3차원 도면을 도시한다. 도 10b는 외부 커버(150)가 도면에서 생략된 상태에서 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드(11)의 커버(30)의 대응하는 장치에 작용하는 홀드-다운 장치의 다이어그램을 도시한다. 도 10c는 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드(11)의 홀드-다운 장치 및 대응하는 장치의 확대도를 도시한다.
레티클의 코너에 실질적으로 대응하는 위치에서, 대응하는 탄성 홀드-다운 장치가 내부 포드(11)의 커버(30)에 제공된다. 각각의 탄성 홀드-다운 장치는 홀드-다운 핀(32) 및 상기 홀드-다운 핀(32)을 고정하는 캡(34)을 포함한다. 구체적으로, 홀드-다운 핀(32)의 상단이 커버(30)의 상부에서 노출되고, 홀드-다운 핀(32)의 하단이 커버(30)의 내측으로 연장되며 내부 포드(11)의 보관 공간에 노출된다. 내부 포드(11)가 레티클을 수용하고 홀드-다운 핀(32)의 상단부에 하향 가공력이 가해지면, 홀드-다운 핀(32)이 강제로 하강하여 홀드-다운 핀(32)의 하단부가 레티클의 상부면을 가압하여 레티클을 고정시킨다.
본 발명의 레티클 보관 포드(100)의 전용 외부 포드(102)가 도 10a의 내부 포드(11)를 수용할 때, 전용 외부 포드(102)의 외부 커버(150) 내측면에 마련되는 홀드-다운 장치는 내부 포드(11)의 탄성 홀드-다운 장치에 작용할 수 있다. 구체적으로, 도 10b에 도시된 바와 같이, 편자 홀드-다운 리브(153)와 홀드-다운 컬럼(154)의 수직 치수가 다르기 때문에, 홀드-다운 장치의 홀드-다운 컬럼(154)의 하단부가 홀드-다운 핀(32)의 노출된 상단부를 가압하여, 외부 커버(150)의 무게로 인해 홀드-다운 컬럼(154)을 통해 홀드-다운 핀(32)의 노출된 상단면에서 아래쪽으로 가압되는 반면, 편자 홀드-다운 리브(153)는 캡(34) 주위에 있고 커버(30)에 작용하지 않는다. 도 10c에 도시된 바와 같이, 편자 홀드-다운 리브(153)의 내벽은 캡(34)의 수평 이동을 제한할 수 있어 내부 포드(11)가 전용 외부 포드(102)에서 수평으로 흔들리는 것을 방지할 수 있다.
본 실시예의 홀드-다운 컬럼(154)의 Y형 구조의 목적은 홀드-다운 컬럼(154)과 캡(34) 사이에 구조적 간섭을 생성하여 홀드-다운 컬럼(154)이 홀드-다운 핀(32)을 과도하게 누르는 것을 방지하고 따라서 레티클이 부적절한 힘을 받는 것을 방지한다. 바람직하게는, 편자 홀드-다운 리브(153)와 캡(34) 사이에 버퍼 갭이 있어 하드웨어의 마모로 인한 입자 발생을 방지한다.
도 11a는 본 발명의 레티클 보관 포드의 전용 내부 포드(101)를 수용하는 전용 외부 포드(102)의 단면도이다. 도 11b는 본 발명의 레티클 보관 포드의 비전용 내부 포드(11)를 수용하는 전용 외부 포드(102)의 단면도이다. 즉, 2개의 구조로 이루어진 홀드-다운 장치를 포함한 본 발명에서 제공하는 전용 외부 포드(102)는 현장에서 광범위하게 적용되고 있는 기존의 내부 포드(11)를 수용할 수 있을 뿐만 아니라 보관 목적에 따라 제공되는 전용 내부 포드(101)를 수용할 수 있다. 더욱이, 이러한 홀드-다운 장치는 상이한 구성 및 이용 목적을 갖는 내부 포드(11, 101) 모두를 위한 안전한 수용의 효과를 달성할 수 있다.
도 12는 본 발명의 전용 내부 포드(101)의 커버(110)와 비전용 내부 포드(11)의 커버(30)를 중첩하여 나타낸 도면이다. 리세스(114)의 체적은 홀드-다운 장치의 캡(34)의 체적보다 크고, 탄성 홀드-다운 장치의 홀드-다운 핀(32)의 상단 부분의 높이는 도면에서 수직차(H)로 도시된 바와 같이, 리세스(114)의 바닥면보다 더 높다. 따라서, 전용 내부 포드(101) 또는 비전용 내부 포드(11)가 전용 외부 포드(102)에 수용될 때, 편자 홀드-다운 리브(153)는 리세스(114)의 바닥면을 정확히 누를 수 있거나 외부 커버(150)의 홀드-다운 컬럼(154)의 바닥면이 홀드-다운 핀(32)의 상단부를 정확히 누를 수 있다. 즉, 전용 내부 포드 및 비전용 내부 포드와 조화를 이루기 위해, 예를 들어, 본 발명의 외부 커버(150)의 내측에 구비된 (편자 홀드-다운 리브(153)와 같이) 제1 홀드-다운 장치 및 (홀드-다운 컬럼(154)과 같이) 제2 홀드-다운 장치는 기본적으로 수직차(H)와 유사한 높이차를 갖는다.
도 13은 본 발명의 레티클 적재 시스템(200)의 3차원 외관도를 도시한다. 도 14는 본 발명의 레티클 적재 시스템(200)의 구성의 개략도를 도시한다.
본 발명의 레티클 적재 시스템(200)은 레티클 보관 포드(100)의 적재 또는 하적을 허용하기 위해 레티클 이송 포드(10)의 적재 또는 하적을 가능하게 하는 E84 표준을 지원하는 제1 포트(202) 및 도 4의 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 연결 채널과 같이 연결된 제2 포트(204)를 갖는다. 구체적으로, 공장의 크레인 시스템은 레티클 적재 시스템(200)에 레티클 이송 포드(10)를 적재하거나 레티클 적재 시스템(200)에서 레티클 이송 포드(10)를 꺼내기 위해 제1 포트(202)와 협력할 수 있다; 제2 포트(204)는 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 환경과 레티클 적재 시스템(200)의 환경 사이에서 레티클 보관 포드(100)를 이송하기 위해 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 기계적 암과 협력할 수 있다. 이 실시예에서, 제2 포트(204)는 레티클 적재 시스템(200)의 후면에 위치하므로, 도 13에서는 보이지 않는다.
레티클 적재 시스템(200)은 RFID 판독 수단, 2차원 바코드 판독 수단 및 포드 바디 및 레티클과 관련된 레티클 펠리클 검사 수단과 같은 레티클 이송 포드(10) 및 레티클 보관 포드(100)용 식별 및 검사 수단을 포함하도록 구성된다.
제1 포트(202) 및 제2 포트(204)는 각각 제1 리프팅 수단 및 제2 리프팅 수단에 대응한다. 본 실시예에서, 제1 리프팅 수단(A)은 레티클 이송 포드(10)를 운반하기 위한 리프트를 1차로 제어하고, 제2 리프팅 수단(B)은 레티클 보관 포드(100)를 운반하기 위한 다른 리프트를 1차로 제어한다. 제1 리프팅 수단(A)은 리프트가 서로 다른 수직 높이, 즉 높은 곳에서 낮은 곳으로 각각 A0, A1 내지 A2에 있게 한다. 마찬가지로, 제2 리프팅 수단(B)은 리프트가 서로 다른 수직 높이, 즉 높은 곳에서 낮은 곳으로 각각 B0, B1 내지 B2에 있게 한다. 도 14에 도시된 바와 같이, 높이(A0) 및 높이(B0)에서의 레티클 이송 포드(10) 및 레티클 보관 포드(100)는 모두 비개방 상태이고, 높이(A1)와 높이(B1)에서 레티클 이송 포드(10) 및 레티클 보관 포드(100)는 모두 개방 상태(도면에 미도시)이며, 높이(A2)와 높이(B2)에서 레티클 이송 포드(10)와 레티클 보관 포드(100)는 모두 개방되어 그 중하나가 레티클을 노출시킬 수 있다. 보다 구체적으로, 레티클 이송 포드(10) 및 레티클 보관 포드(100)가 높이(A1, B1)에 있을 때, 커버 개방 수단이 개재되어 외부 커버 및 내부 커버를 외부 베이스 및 이너 베이스로부터 분리시킨다. 보다 구체적으로, 레티클 이송 포드(10) 및 레티클 보관 포드(100)가 높이(A2 및 B2)에 위치하는 경우, 각각의 외부 베이스 및 내부 베이스만이 리프트에 남아 있고, 내부 및 외부 커버는 차단된 상태로서 높이(A2, B2)로 하강하며, 이때 레티클은 레티클 이송 환경(206)에 위치할 수 있다.
레티클 이송 환경(206)의 조건은 레티클 이송의 더 낮은 위험을 보장하기 위해 높이(A0, A1, B0 및 B1)에서의 조건과 다를 수 있다. 레티클 이송 환경(206)은 레티클을 베이스로부터 픽업하거나 베이스 상에 위치시키도록 구성된 레티클 클램핑 장치를 포함하여, 레티클이 레티클 이송 포드(10)의 베이스와 레티클 보관 포드(100)의 베이스 사이에서 이송될 수 있다.
또한, 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 기계적 암은 제2 포트(204)를 통해 레티클 적재 시스템(200)에서 레티클 보관 포드(100)를 가져올 수 있다. 레티클 적재 시스템(200)이 내부에 레티클 보관 포드(100)가 있는 동안 오작동하고 작동 불가능하게 되면, 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 기계적 암이 레티클 보관 포드(100)를 일시적으로 꺼낼 수 있으므로, 레티클 적재 시스템(200)의 유지 보수로 인해 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 전용 포드가 오염되지 않게 보장한다.
레티클 적재 시스템(200)의 환경이 도 13에 도시된 바와 같이 일정 수준의 청정도를 갖는 것을 보장하기 위해, 공기 흡입, 여과 및 배기를 담당하는 팬 필터 유닛(FFU)이 캐비닛 상부에 제공된다.
도 15 및 도 16은 도 14의 실시예에 따른 레티클의 적재 및 하적의 흐름도이다.
단계(1500A)에서, 레티클 이송 포드(10)는 제1 포트(202)를 통해 적재된다. 레티클 이송 포드(10)는 레티클을 수용하는 내부 포드와 상기 내부 포드를 수용하는 외부 포드를 포함하며, 아직 사용되지 않았거나 사용한 레티클을 보관될 필요가 있다. 내부 포드 및 외부 포드는 각각 도 1의 내부 포드(11) 및 외부 포드(12)에 해당할 수 있다.
단계(1500B)에서, 레티클 보관 포드(100)는 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)으로부터 적재되며, 레티클 보관 포드(100)는 빈 전용 내부 포드 및 상기 전용 내부 포드를 수용하는 전용 외부 포드를 포함한다. 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)은 내부에 보관된 복수의 레티클 보관 포드(100)를 갖는다. 이 단계에서 빈 전용 포드가 적재된다. 전용 내부 포드 및 전용 외부 포드는 각각 도 5a의 전용 내부 포드(101) 및 전용 외부 포드(102)에 대응할 수 있다.
단계(1502)에서, 레티클 적재 시스템(200)은 레티클 이송 포드(10) 및 레티클 보관 포드(100)를 개별적으로 검사하고, 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드 및 외부 포드의 커버를 열며, 레티클 보관 포드(100)의 전용 외부 포드 및 전용 내부 포드의 커버를 열고, 레티클 이송 포드(10)의 외부 베이스 및 레티클 보관 포드(100)의 외부 베이스를 레티클 이송 환경(206)까지 내린다. 구체적으로, 이 단계는 도 14의 제1 리프팅 수단(A) 및 제2 리프팅 수단(B)의 위치(A0 내지 A2 및 B0 내지 B2)를 포함할 수 있다.
단계(1504)에서, 레티클은 레티클 이송 포드(10)의 베이스로부터 페치되고, 레티클은 레티클 보관 포드(100)의 베이스 상에 이송된다. 이 단계에서 이송은 레티클 클램핑 장치에 의해 구현되며, 레티클의 오염 위험을 줄이기 위해 높은 청정도를 갖는 레티클 이송 환경(206)에서 레티클을 이동시킨다.
단계(1506)에서, 레티클 이송 포드(10) 및 레티클 보관 포드(100)는 폐쇄 상태로 복귀된다. 이때, 레티클 이송 포드(10)는 빈 포드이며, 레티클 보관 포드(100)에는 보관할 레티클이 적재된다.
단계(1508)에서, 레티클이 적재된 레티클 보관 포드(100)는 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 지정된 보관 랙으로 운반된다. 바람직하게는, 상기 보관 랙은 도 14에서 상기 보관 랙과 상기 제2 포트(204) 사이의 기계적 암의 최단 이동 경로에 따라 지정된다.
단계(1510)에서, 레티클의 보관을 완료하기 위해 비반응성 가스로 레티클 보관 포드(100)를 채우도록 에어 충전 수단이 수행된다. 구체적으로, 보관 랙은 레티클 보관 포드(100)에 연결되는 전용 파이프라인 및 커넥터를 가지며, 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 전용 외부 포드를 질소로 채울 수 있다. 즉, 보관용 전용 내부 포드는 특정 가스 환경에 배치된다.
단계(1600A)에서, 레티클 이송 포드(10)는 제1 포트(202)를 통해 적재되고, 레티클 이송 포드(10)는 빈 내부 포드 및 상기 내부 포드를 수용하는 외부 포드를 포함한다. 내부 포드 및 외부 포드는 각각 도 1의 내부 포드(11) 및 외부 포드(12)에 해당할 수 있다.
단계(1600B)에서, 레티클 보관 포드(100)는 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)으로부터 레티클 적재 시스템(200)으로 적재되며, 레티클 보관 포드(100)는 레티클을 수용하는 전용 내부 포드 및 상기 전용 내부 포드를 수용하는 전용 외부 포드를 포함한다. 전용 내부 포드 및 전용 외부 포드는 각각 도 5a의 전용 내부 포드(101) 및 전용 외부 포드(102)에 대응할 수 있다. 이 단계에서 레티클은 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)에 미리 보관되어 있으며 다양한 용도로 꺼낼 수 있다.
단계(1602)에서, 레티클 적재 시스템(200)은 레티클 이송 포드(10) 및 레티클 보관 포드(100)를 개별적으로 검사하고, 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드 및 외부 포드를 개방하며, 레티클 보관 포드(100)의 외부 포드 및 내부 포드를 연결하고, 레티클 이송 포드(10) 및 레티클 보관 포드(100)의 외부 베이스를 레티클 이송 환경(206)으로 내린다.
단계(1604)에서, 레티클 보관 포드(100)의 베이스로부터 레티클을 페치하고, 레티클을 레티클 이송 포드(10)의 베이스 상에 위치시킨다. 마찬가지로, 레티클 적재 시스템(200)은 레티클 클램핑 장치에 의해 레티클 보관 포드(100)의 베이스로부터 레티클 이송 포드(10)의 베이스로 레티클을 이송하고, 레티클은 레티클 이송 환경(206)에서 이동된다.
단계(1606)에서, 레티클 이송 포드(10) 및 레티클 보관 포드(100)는 폐쇄 상태로 복귀된다. 이때, 레티클 이송 포드(10)에는 레티클이 실리고, 레티클 보관 포드(100)는 빈 포드이다.
단계(1608)에서, 레티클이 적재된 레티클 이송 포드(10)는 제1 포트(202)를 통해 레티클 적재 시스템(200) 외부로 이동된다. 구체적으로, 제1 포트(202)는 레티클 이송 포드(10)를 꺼내기 위해 크레인 시스템과 협력할 수 있다. 빈 레티클 보관 포드(100)는 다음 사용을 대기하기 위해 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 적절한 영역으로 다시 보내진다.
도 17은 본 발명의 레티클 이송의 특정 흐름도를 도시한다. 이하의 설명은 도 14를 참조하여 주어지며, 좌측 절반은 제1 리프팅 수단(A)에 의해 수행되고, 우측 절반은 제2 리프팅 수단(B)에 의해 수행되고, 나머지는 함께 수행된다.
단계(1700A)에서, 레티클 이송 포드(10)는 제1 포트(202)를 통해 레티클 적재 시스템(200)의 제1 리프팅 수단(A)에 적재되고, 레티클 이송 포드(10)는 내부 포드 및 상기 내부 포드를 수용하는 외부 포드를 포함한다. 구체적으로, 제1 리프팅 수단(A)의 리프트는 레티클 이송 포드(10)를 수용 및 운반하기 위해 높이(A0)에 상주한다.
단계(1700B)에서, 레티클 보관 포드(100)는 연결 채널을 통해 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)으로부터 레티클 적재 시스템(200)의 제2 리프팅 수단(B)으로 적재되고, 레티클 보관 포드(100)는 전용 내부 포드와 상기 전용 내부 포드를 수용하는 전용 외부 포드를 포함한다. 구체적으로, 제2 리프팅 수단(B)의 리프트는 레티클 보관 포드(100)를 수용하여 운반하기 위해 높이(B0)에 있다.
단계(1702A)에서, 레티클 이송 포드(10)의 외부 포드의 커버를 파지하여, 1차 리프팅 수단(A)의 리프트를 높이(A0)에서 높이(A1)까지 내림에 따라 외부 포드의 커버와 외부 포드의 베이스가 나란히 분리된다. 리프트가 높이(A1)에 도달하면 외부 포드의 커버가 제거되고, 외부 포드의 베이스와 내부 포드만 리프트에 남는다.
단계(1702B)에서, 레티클 보관 포드(100)의 외부 포드의 커버를 파지하여, 2차 리프팅 수단(B)의 리프트를 높이(B0)에서 높이(B1)까지 내림에 따라 외부 포드의 커버와 외부 포드의 베이스가 나란히 분리된다. 리프트가 높이(B1)에 도달하면 외부 포드의 커버가 제거되고, 외부 포드의 베이스와 내부 포드만 리프트에 남는다.
단계(1704A)에서, 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드의 커버를 파지하여, 1차 리프팅 수단(A)의 리프트를 높이(A1)에서 높이(A2)까지 내림에 따라 내부 포드의 커버와 내부 포드의 베이스가 나란히 분리된다. 리프트가 높이(A2)에 도달하면 내부 포드의 커버가 제거되고, 외부 포드의 베이스와 내부 포드의 베이스만 리프트에 남는다. 리프트가 높이(A0)에서 높이(A2)로 하강하는 동안, 레티클 적재 시스템(200)은 내부 포드의 2차원 바코드, 레티클의 2차원 바코드를 적시에 판독 및/또는 펠리클의 상태를 감지할 수 있다.
단계(1704B)에서, 레티클 보관 포드(100)의 내부 포드의 커버를 파지하여, 제2 리프팅 수단(B)의 리프트를 높이(B1)에서 높이(B2)까지 내림에 따라 내부 포드의 커버와 베이스가 나란히 분리된다. 리프트가 높이(B2)에 도달하면, 내부 포드의 커버가 제거되고 외부 포드의 베이스와 내부 포드의 베이스만 리프트에 남는다. 리프트가 높이(B0)에서 높이(B2)로 하강하는 동안, 레티클 적재 시스템(200)은 내부 포드의 2차원 바코드, 레티클의 2차원 바코드를 적시에 판독 및/또는 펠리클의 상태를 감지할 수 있다.
단계(1706)에서, 레티클 적재 시스템(200)의 레티클 클램핑 장치에 의해 레티클이 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드의 베이스와 레티클 보관 포드(100)의 내부 포드의 베이스 사이에서 이송된다. 레티클 클램핑 장치의 특정 실시예는 도 19a 내지 도 19c 및 및 관련 설명에서 참조될 수 있다.
단계(1708A)에서, 제1 리프팅 수단(A)의 리프트는 높이(A2)에서 높이(A1)로 상승하여, 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드의 커버가 내부 포드의 베이스와 측부로 결합되도록 한다.
단계(1708B)에서, 제2 리프팅 수단(B)의 리프트는 높이(B2)에서 높이(B1)로 상승하여, 레티클 보관 포드(100)의 내부 포드의 커버가 내부 포드의 베이스와 측부로 결합되도록 한다.
단계(1710A)에서, 제1 리프팅 수단(A)의 리프트는 높이(A1)에서 높이(A0)로 상승하여, 레티클 이송 포드(10)의 외부 포드의 커버가 외부 포드의 베이스와 측부로 결합되도록 한다.
단계(1710B)에서, 제2 리프팅 수단(B)의 리프트가 높이(B1)에서 높이(B0)로 상승하여, 레티클 보관 포드(100)의 외부 포드의 커버가 외부 포드의 베이스와 측부로 결합된다.
단계(1712A)에서, 레티클 이송 포드(10)는 제1 포트(202)를 통해 밖으로 이동된다. 제1 리프팅 수단(A)의 리프트가 높이(A0)보다 높고, 레티클 적재 시스템(200)의 제1 포트(202)에서 레티클 이송 포드(10)가 노출되어 크레인 시스템의 후속 작업을 대기한다.
단계(1712B)에서, 레티클 보관 포드(100)는 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 연결 채널을 통해 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)에 적재된다. 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 기계적 암이 레티클 적재 시스템(200)에 진입하고 제2 리프팅 수단(B)으로부터 레티클 보관 포드(100)를 페치할 수 있다.
위의 실시예에서, 제1 리프팅 수단(A) 및 제2 리프팅 수단(B)은 각각 레티클 이송 포드(10) 및 레티클 보관 포드(100)에 대해 각각 맞춤식 동작을 수행할 수 있다. 예를 들어, 제1 리프팅 수단(A)은 레티클 보관 포드(100)의 외부 포드의 잠금 및 잠금 해제를 수행하도록 구성될 수 있다.
도 18은 본 발명의 특정 실시예에 따른 레티클 적재 시스템의 다이어그램을 도시한 것으로, 레티클 적재 시스템은 도 14의 제1 리프팅 수단(A) 및 제2 리프팅 수단(B)을 포함한다. 제1 리프팅 수단(A)은 기본적으로 레티클 이송 포드(10)의 외부 포드의 커버에만 접촉하는 외부 포드 커버 지지면(1800A)을 갖는 것으로 보여진다. 즉, 외부 포드 커버 지지면(1800A)의 중앙에는 기본적으로 외부 포드의 베이스가 떨어지는 것을 허용하는 중공이 있다. 레티클 이송 포드(10)의 외부 포드의 베이스는 리프트(1802A)에 의해 운반된다. 따라서, 레티클 이송 포드(10)의 외부 포드가 잠겨 있지 않을 때, 리프트(1802A)의 하강으로 인해 외부 포드의 베이스와 커버가 측부로 분리되어, 외부 포드의 베이스가 내부 포드와 함께 하강할 수 있어, 포드 개방의 목적을 달성한다. 포드 폐쇄도 비슷하다. 리프트(1802A)가 외부 포드 커버 지지면(1800A)과 실질적으로 수평을 이루는 높이까지 상승하면, 레티클 이송 포드(10)의 외부 포드의 커버가 베이스와 측부로 결합된다.
제2 리프팅 수단(B)은 레티클 보관 포드(100)에 대한 동작을 구현하기 위해 유사한 구성을 가질 수 있다. 도 18이 레티클 이송 포드(10)의 외부 포드의 개방만을 도시함에도 불구하고, 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드의 개방도 또한 다른 메커니즘의 개입에 의해 개방될 수 있다. 레티클 보관 포드(100)도 동일한 메커니즘에 의해 개폐될 수 있다. 또한, 레티클 적재 시스템(200)은 적절한 식별 장치 또는 감지 유닛이 내부에 제공되어, 레티클 운송 포드(10)와 레티클 저장 포드(100)가 개방될 때 포드 상의 RFID 또는 2차원 바코드와 같은 관련 정보를 적시에 식별할 수 있다.
도 19a, 도 19b 및 도 19c는 본 발명의 특정 실시예에 따른 레티클 적재 시스템에 사용되는 레티클 클램핑 장치(1900)의 다이어그램을 도시한다. 레티클 클램핑 장치(1900)는 예를 들어 도 14의 레티클 이송 환경(206)에서 구성되고, 트랙(1902) 및 클램프 어셈블리(1904)를 갖는다. 트랙(1902)은 레티클 적재 시스템(200)의 내측에 고정되며, 도 20에 도시된 바와 같이, 클램프 어셈블리(1904)는 트랙(1902) 상에서 수평으로 이동할 수 있도록 제어된다. 클램프 어셈블리(1904)는 한 쌍의 클램프 암(1906)과 한 쌍의 접촉판(1908)을 갖는다. 한 쌍의 접촉판(1908)은 구동되어 서로 접근할 수 있으며, 걸림부(1910)를 통해 레티클(R)의 둘레에 결합되어, 레티클(R)을 고정하는 목적을 달성한다. 레티클 클램핑 장치(1900)는 수직으로 움직일 수 있는 능력이 없고, 레티클(R)은 리프트가 하강해야만 베이스에서 이탈할 수 있다.
도 20은 레티클 클램핑 장치(1900)와 리프트(2000)의 조정 측면도를 도시한다. 외부 포드(12)의 외부 베이스(40), 내부 포드(11)의 베이스(20) 및 레티클(미도시)을 운반하는 리프트(2000)가 도 20의 우측에 도시된 바와 같이 레티클 클램핑 장치(1900) 아래로 하강한다. 다음으로, 클램프 어셈블리(1904)는 리프트(2000)에 의해 운반되는 레티클(R) 위로 수평으로 이동한다. 리프트(2000)는 도 20의 좌측에 도시된 바와 같이 레티클이 클램핑될 수 있는 높이까지 상승한다. 리프트(2000)는 클램프 어셈블리(1904)가 레티클을 클램핑한 후 하강한다. 클램프 어셈블리(1904)는 다른 리프트(미도시) 위로 수평으로 이동한다. 마찬가지로, 다른 리프트는 내부 포드의 베이스가 레티클을 수용할 수 있는 높이까지 상승한다. 클램프 어셈블리(1904)는 레티클을 해제하여 이송을 완료한다. 레티클 클램핑 장치(1900)의 작동이 필요하지 않은 기간에는, 작동 간섭을 방지하기 위해 클램프 어셈블리(1904)가 2개의 리프팅 수단 사이로 이동할 수 있다. 도 20에서, 점선은 클램프 어셈블리(1904)가 이동 과정 동안 동일한 높이로 유지됨을 나타낸다.
도 21은 레티클 적재 시스템의 이상 처리 과정의 일 예로서, 보다 상세하게는 도 14의 제1 리프팅 수단(A) 또는 제2 리프팅 수단(B)의 승강에 의해 적재된 레티클 이송 포드(10)의 이상 처리 과정을 도시한다.
레티클 이송 포드(10)가 적재 이상 및 셧다운이 발생할 경우, 레티클 적재 시스템(200)은 이상 상태를 표시하고 초기화 키가 활성화되었는지 여부를 감지할 수 있다. 초기화 키가 활성화되면, 전체 레티클 적재 시스템(200)이 초기화된다. 리프트는 레티클 이송 포드(10)를 높이(A0)로 복귀시킨다.
레티클 이송 포드(10)가 적재 이상 및 셧다운이 발생할 경우, 레티클 적재 시스템(200)은 이상 상태를 표시하고 초기화 키가 활성화되었는지 여부를 감지할 수 있다. 초기화 키가 활성화되면, 전체 레티클 적재 시스템(200)이 초기화된다. 리프트는 레티클 보관 포드(100)를 높이(B0)로 복귀시킨다.
높이(A2, B2)에 위치한 제1 리프팅 수단(A)과 제2 리프팅 수단(B)의 이송 이상 및 셧다운이 발생할 경우, 레티클 적재 시스템(200)은 이상 상태를 표시할 수 있고, 초기화 키가 활성화되었는지 여부를 감지한다. 초기화 키가 활성화되면, 전체 레티클 적재 시스템(200)이 초기화된다. 레티클 클램핑 장치(1900)는 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드 또는 레티클 보관 포드(100)의 내부 포드에 레티클을 위치시킨다. 제1 리프팅 수단(A)과 제2 리프팅 수단(B)의 리프트가 각각 높이(A0, B0)로 복귀된다.
도 22는 레티클 적재 시스템(200)의 다른 이상 처리 절차의 일례로서, 펠리클의 상태를 확인하는 단계를 더 포함한다. 레티클 적재 시스템(200)은 레티클을 레티클 이송 포드(10) 또는 레티클 보관 포드(100)로 복귀하거나 레티클 보관 포드(100)를 지정된 보관 랙에 복귀하도록 다양한 작업을 수행하기 위해 키 배출이 활성화되었는지 여부를 추가로 감지할 수 있다.
도 23은 레티클 클램핑 장치의 이상 처리 순서를 도시한다. 레티클이 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드로부터 또는 레티클 보관 포드(100)의 내부 포드로부터 유래하는지 여부에 따라, 레티클 클램핑 장치(1900)는 레티클을 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드(10) 또는 레티클 보관 포드(100)의 내부 포드로 복귀시킨 다음, 레티클 이송 포드(10) 또는 레티클 보관 포드(100)를 초기화 절차에 의해 지정된 위치로 복귀시킨다.
도 24는 본 발명의 레티클 적재 시스템 및 레티클 보관 캐비닛 시스템의 개략적인 블록도를 도시한다. 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)은 하나 이상의 보관 캐비닛(602)을 포함한다. 캐비닛(602)은 수직으로 적층된 복수의 보관 랙(604)을 포함한다. 보관 캐비닛(602)은 실질적으로 상부 영역과 하부 영역으로 구분될 수 있다. 보관 캐비닛(602)의 각 보관 랙(604)에는 전용 외부 포드 및 전용 내부 포드로 구성된 하나의 전용 레티클 보관 포드(100)가 배치될 수 있으며, 전용 외부 포드는 전용 내부 포드를 수용하고 고정하는 데 적합하고, 전용 내부 포드는 레티클을 수용하고 고정하는 데 적합하다. 전용 내부 포드 및 전용 외부 포드는 각각 도 5a의 전용 내부 포드(101) 및 전용 외부 포드(102)에 해당할 수 있다.
보관 캐비닛(602)의 보관 랙(604)의 일부는 버퍼 구역(606)으로 계획될 수 있다. 버퍼 구역(606)은 세척된 레티클 보관 포드(100) 또는 사용된 레티클 보관 포드(100)를 보관하기 위한 것이다. 세척된 레티클 보관 포드(100)는 빈 포드이며, 레티클 적재 시스템(200)에 제공된 레티클을 수용하여 보관하기 위해 대기한다. 사용된 레티클 보관 포드(100)는 레티클 적재 시스템(200)에서 회수된 빈 포드를 말하며, 레티클 이송 과정에서 청정도가 낮은 환경에 노출되므로 오염의 위험이 있다.
레티클 보관 캐비닛 시스템(600)은 주로 보관 캐비닛(602)에 보관된 레티클의 정보를 관리하고 보관 캐비닛(602)의 주변 온도 및 습도를 모니터링하도록 구성된 관리 수단(608)을 포함한다. 예를 들어, 산소 감지 장치가 캐비닛의 주변 산소 농도를 감지하는 데 사용된다. 바람직하게는, 보관 캐비넷(602)의 환경은 Class 10 청정도를 만족하고, 충전된 가스는 Class 1 청정도를 만족한다. 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)은 레티클 보관 포드를 지정된 공통 보관 구역 또는 버퍼 구역(606)의 보관 랙(604)으로 운반하기 위해 기계적 암(609)을 제어하는 제어 수단(610)을 더 포함한다. 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)은 보관 캐비닛(602)의 다양한 질량 유량의 제어를 담당하는 질량 유량 제어 수단(612) 및 특히 개개의 보관 랙(604)에 연결된 비반응성 가스를 더 포함한다. 예를 들어, 질량 유량 컨트롤러는 하나 이상의 질소 파이프라인의 질량 유량을 제어하는 데 사용된다. 상기 질량 유량 제어수단(612)은 상기 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 상부에 배치된 팬 필터 유닛(FFU)과, 상기 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 하부에 배치된 배기 모듈을 더 포함한다.
레티클 보관 캐비닛 시스템(600)은 버퍼 구역(606)에 근접하여 깨끗한 레티클 보관 포드(100)를 보관 캐비닛(602)에 제공하고, 보관 캐비넷(602)으로부터 사용된 레티클 보관 포드(100)를 수용하는 세척 장치(614)를 더 포함한다.
도 25는 본 발명의 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 평면도를 도시하고, 레티클 보관 캐비닛 시스템 내부의 특정 구성을 나타낸다. 보관 캐비닛(602)은 주로 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 내벽면을 따라 배치되며, 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 중앙에 기계식 암(609)이 위치하여 이러한 보관 캐비닛(602)의 각 보관 랙(604)에 접근할 수 있다.
도 26a는 본 발명의 특정 실시예에 따른 보관 랙(604)의 3차원 도면을 도시한다. 도 26b는 보관 랙(604)의 바닥부의 구성을 나타내는 도면이다.
각각의 보관 랙(604)은 전방 단부(2600) 및 후방 단부(2602)를 갖는 태블릿 랙이다. 랙에는 위쪽을 향한 캐리어 표면과 아래쪽을 향한 하부면이 있다. 랙의 전단(2600)에는 노치가 형성되어 있다. 노치는 기계식 암(609)이 작동할 공간을 제공하여 기계식 암(609)이 레티클 보관 포드(100)를 보관 랙(604)에 부드럽게 배치하거나 레티클 보관 포드(100)를 보관 랙(604)에서 빼낼 수 있도록 한다. 랙의 후단부(2602)는 질소 팽창 파이프라인(2604)으로 구성되며, 그 중 상류는 질소 소스에 연결되고 하류는 태블릿 랙의 한 쌍의 노즐(2606)에 연결되어 동시에 질소를 제공한다.
각각의 보관 랙(604)의 캐리어 표면에는 레티클 보관 포드(100)의 바닥부를 지지하기 위한 3개의 운동학적 커플링 핀(2608)이 제공된다. 커플링 핀(2608) 중 2개는 전방 단부(2600)에 가깝고 노치의 양측에 위치하며, 다른 커플링 핀(2608)은 랙의 후방 단부(2602)에 위치하므로 보관 랙(604)이 주로 지지되고 레티클 보관 포드(100)는 이 3개의 커플링 핀(2608)에 의해 위치 설정된다. 구체적으로, 이들 3개의 커플링 핀(2608)은 각각 도 5c에 도시된 외부 베이스의 포지셔닝 슬롯(163)에 대응한다. 보관 랙(604)이 전용 포드의 외부 포드 또는 내부 포드를 지원하는지 여부에 따라, 베이스(130)의 포지셔닝 슬롯(132)이 도 5i에 도시되어 있다.
보관 랙(604)의 캐리어 표면에는 레티클 보관 포드(100)를 제한하기 위한 정지부(2610)가 더 제공된다. 바람직하게는, 정지부(2610)에는 기계적 암(609)의 식별 정보가 라벨링될 수 있다. 상기 정보는 또한 보관 랙(604)의 전방 단부(2600)에 라벨링될 수 있다. 도시된 바와 같이, 상기 랙의 양측에는 레티클 보관 포드(100)를 제한하는 측벽이 더 형성될 수 있다. 보관 랙(604)의 랙의 양측면은 한 쌍의 연결암(2612)에 의해 프레임의 벽면 또는 수직 브랜치에 고정되어 복수의 보관 랙(604)이 수직으로 적층될 수 있도록 한다. 커플링 핀(2608), 정지부(2610) 및 측벽은 마모로 인해 생성될 수 있는 입자를 줄이기 위해 PEEK 플라스틱 재료일 수 있다.
도 27a는 레티클 보관 포드(100)를 갖는 보관 랙(604)의 도면을 도시한다. 도 27b는 보관 랙(604)이 레티클 보관 포드(100)를 구비한 경우의 저면부에서 본 도면이다. 도 27c는 보관 랙(604)이 레티클 보관 포드(100)를 구비한 경우의 다른 각도에서 본 도면이다.
도 5a에 도시된 바와 같이, 레티클 보관 포드(100)에 포함된 전용 내부 포드(101)와 전용 외부 포드(102) 사이에서, 전용 외부 포드(102)는 외부 커버(150)와 외부 베이스(160)를 갖는다. 외부 베이스(160)의 바닥부에는 외부 커버(150)와 외부 베이스(160)를 서로 잠금 또는 잠금 해제하기 위한 래치 장치(2700)가 구성되어 있다. 도 14의 레티클 적재 시스템(200)의 리프트에 의해 레티클 보관 포드(100)가 적재될 때, 제2 리프팅 수단(B)에 제공된 작동 장치가 외부 베이스(160)의 래치 장치(2700)와 협력하여 전용 외부 포드(102)를 잠그거나 잠금 해제할 수 있다.
레티클 보관 포드(100)가 지정된 보관 랙(604)에 배치되면, 보관 랙(604)의 커플링 핀(2608)이 레티클 보관 포드(100)의 바닥부에 있는 포지셔닝 슬롯(163)과 협력하여, 레티클 보관 포드(100)를 보관 랙(604)에 위치시킨다. 구체적으로, 보관 랙(604)의 커플링 핀(2608)은 대응하는 포지셔닝 슬롯(163)의 외측 단부, 즉 래치 장치(2700)로부터 멀리 떨이진 일단에 위치되고, 래치 장치(2700)에 가까운 각 포지셔닝 슬롯(163)의 내측 단부는 노치에 의해 노출되어 기계적 암(609)이 레티클 보관 포드(100)의 바닥부에 접근할 때 기계식 암(609)의 포지셔닝 핀(2804)이 해당 슬롯(163)의 근위 단부와 맞물릴 수 있다.
도 28c는 특정 실시예에 따른 보관 랙(604) 및 기계적 암(609)의 평면도를 도시한 것으로, 기계적 암(609)은 레티클 보관 포드(100) 아래에 위치되고, 보관 랙(604) 상의 레티클 보관 포드(100)의 바닥부에서 포지셔닝 슬롯(163)은 점선으로 표시되어 있다. 도 28b는 보관 랙(604) 아래로 들어가 레티클 보관 포드(100)를 집어 올리는 기계적 암(609)의 측면도를 도시한다. 도 28c는 보관 랙(604)으로부터 레티클 보관 포드(100)를 빼내는 기계적 암(609)의 측면도를 도시한다.
기계적 암(609)은 전방 단부(2800) 및 후방 단부(2802)를 갖는다. 전방 단부(2800)는 기본적으로 화살표 모양의 태블릿이며 위쪽을 향한 캐리어 표면에는 3개의 포지셔닝 핀(2804)이 있다. 3개의 포지셔닝 핀(2804)은 레티클 보관 포드(100)의 바닥부에 있는 포지셔닝 슬롯(163)의 내부 단부와 정확히 일치하고, 보관 랙(604)의 포지셔닝 핀(2808)은 포지셔닝 슬롯(163)의 외부 단부와 상응하게 맞물립니다. 즉, 본 발명의 레티클 보관 포드(100)의 바닥부에 있는 포지셔닝 슬롯(163)은 적어도 보관 랙(604)의 태블릿 랙의 범위로부터 노치의 범위까지 연장된다; 그러나, 본 발명은 상기 예에 국한되지 않는다. 후방 단부(2802)는 이송 장치에 연결되고, 따라서 기계적 암(609)은 적어도 수평 및 수직으로 이동할 수 있다.
도 28a 및 도 28b에 도시된 바와 같이, 기계적 암(609)이 레티클 보관 포드(100)에 접근할 때, 기계적 암(609)의 전방 단부(2800)는 먼저 타겟 보관 랙(604)의 노치 아래로 연장되고, 기계적 암(609)의 포지셔닝 핀(2804)은 레티클 보관 포드(100)의 바닥부에서 대응하는 포지셔닝 슬롯(163)과 정렬된다.
기계적 암(609)이 상승하여 포지셔닝 핀(2804)이 레티클 보관 포드(100)의 바닥부에 있는 포지셔닝 슬롯(163)과 맞물린다. 기계적 암(609)은 레티클 보관 포드(100)를 보관 랙(604)에서 들어올리기 위해 계속 상승하고, 상승 높이는 적어도 보관 랙(604)의 전방 단부(2600)의 높이를 초과하여, 기계적 암(609)이 도 28c에 도시된 바와 같이 보관 랙(604)으로부터 철수할 수 있도록 한다.
기계적 암(609)이 각 레티클 보관 포드(100)에 접근할 수 있는 최소 공간이 확보되면, 상부 및 하부 보관 랙(604) 사이의 높이가 최소화되어 최대 보관 효율을 달성할 수 있다.
도 29는 보관 랙(604)의 상류 공기 공급 파이프라인(2900) 및 그 질량 유량 제어 수단의 다이어그램을 도시한다. 공기 공급 파이프라인(2900)의 하류는 도 26a의 팽창 파이프라인(2604)과 같이 연결된다. 따라서, 질소가 보관 랙(604)의 노즐(2606) 및 도 5c의 레티클 보관 포드(100)의 2개의 대응하는 에어 밸브(162)를 통해 포드 내로 공급될 수 있다. 레티클 보관 포드(100)의 나머지 2개의 연결되지 않은 에어 밸브(162)는 포드 내부의 공기를 배출하므로 보관 랙(604)에 위치한 레티클 보관 포드(100)의 레티클 수용 공간은 대류성 가스를 갖는다. 각 공기 공급 파이프라인(2900)의 상류에 있는 질량 유량 제어 수단은 볼 밸브(2901), 질량 유량 디스플레이(2902), 제한 밸브(2903), 필터(2904), 비중계/온도계(2905), 기계식 압력계(2906), 전자식 압력계(2907), 압력 조절기(2908), 압력계(2910)와 에어 밸브(2911)가 있는 메인 파이프라인(2909)을 포함할 수 있다; 그러나, 본 발명은 상기 예에 국한되지 않는다.
도 30은 2개의 특정 실시예에 따른 보관 랙(604)의 상류 공기 공급 파이프라인에 대한 연결의 다이어그램을 도시한다. 질량 유량 컨트롤러(3000)를 갖는 구성에서, 보관 랙(604)에 제공된 하나 이상의 센서는 레티클 보관 포드(100)가 보관 랙(604) 상에 있는지 여부에 따라 감지 신호를 전송할 수 있으므로, 질량 유량 컨트롤러(3000)는 그에 따라 보관 랙(604)으로 들어가는 가스의 질량 유량을 제어한다. 예를 들어, 보관 랙(604)에 전용 포드가 있는 경우 질소가 공급되고, 보관 랙(604)에 전용 포드가 없을 경우 질소 공급이 차단된다. 니들 밸브(3002)를 갖는 구성에서, 보관 랙(604)으로 공급되는 가스의 질량 유량은 수동으로 조절될 수 있거나, 연속적인 가스 공급 상태가 유지될 수 있다. 사용되는 가스 유형에 관계없이 필터(3001)가 가스의 불순물을 감소시킨다.
도 31은 펠리클의 상태를 확인하고 레티클 이송 포드(비전용 포드) 또는 레티클 보관 포드(전용 포드)를 선택적으로 프롬프팅하여 펠리클의 상태에 따라 소정의 동작을 수행하여 지정된 위치로 복귀하게 하는 레티클 보관 캐비닛 시스템(600)의 기계적 암(609)의 이상 처리 절차의 예를 도시한다.
도 32는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레티클 적재 장치(200') 및 레티클 보관 캐비닛 시스템(600')의 개략도를 도시한다. 본 실시예의 보관 캐비닛(602)의 각 보관 랙(604)은 도 5a에 도시된 전용 레티클 보관 포드(100)의 전용 외부 포드(102)만을 제공하나, 레티클 보관 포드(100)의 전용 내부 포드(101)를 제공하지 않는다. 그러나, 전용 외부 포드(102)는 레티클 적재 시스템(200')에서 얻은 내부 포드, 즉, 도 1에 도시된 비전용 레티클 이송 포드(100)의 내부 포드(11)를 수용할 수 있다. 따라서, 본 실시예의 레티클 적재 시스템(200')의 목적은 내부에 레티클이 수용된 내부 포드를 이송하는 것이다. 또한, 나머지 구성은 도 24의 실시예와 동일하고, 관련된 세부사항은 여기에서 생략된다. 레티클 적재 시스템(200') 및 레티클 보관 캐비닛 시스템(600')과 관련된 세부 사항을 간단히 설명한다.
본 실시예의 레티클 보관 캐비닛 시스템(600')이 전용 내부 포드를 제공하지 않는 이유는, 본 발명의 레티클 보관 포드(100)의 전용 외부 포드(102)가 도 8a에 도시된 바와 같은 홀드-다운 장치를 갖고 비전용 내부 포드와 호환되기 때문이다. 도 8a 및 도 11b에 도시된 바와 같이, 보관 캐비닛(602)의 전용 외부 포드(102)가 비전용 내부 포드(11)를 수용할 때, 전용 외부 포드(102)의 편자 홀드-다운 리브(153)가 캡(34)을 둘러싸고 제한하고 홀드-다운 컬럼(154)이 내부 포드(11)의 커버(30)에 있는 홀드-다운 핀(32)을 눌러 비전용 내부 포드(11)와 레티클의 보관을 구현한다. 위의 장점 중 하나는 이송 과정에서 레티클이 포드 외부의 환경에 노출되지 않아 입자에 오염될 위험이 줄어든다는 것이다.
도 33은 도 32의 실시예에 따른 레티클의 적재의 흐름도를 도시한 것으로, 좌측 절반은 제1 리프팅 수단(A)에 의해 수행되고 우측 절반은 제2 리프팅 수단(B)에 의해 수행된다.
단계(3300A)에서, 레티클 이송 포드(10)는 크레인 시스템에 의해 또는 수동으로 제1 포트(202)를 통해 레티클 적재 시스템(200')에 적재되며, 레티클 이송 포드(10)는 레티클 및 외부 포드(12)를 수용하는 내부 포드(11)를 포함한다. 적재된 레티클 이송 포드(10)는 높이(A0)에서 제1 리프팅 수단(A)의 리프트에 의해 수용된다.
단계(3300B)에서, 전용 외부 포드(102)는 레티클 보관 캐비닛 시스템(600')으로부터 제2 포트(204)를 통해 레티클 적재 시스템(200')으로 적재되고, 적재된 전용 외부 포드(102)는 내부 포드를 수용하지 않는 빈 포드이다. 구체적으로, 레티클 보관 캐비닛 시스템(600')의 기계적 암(609)은 제2 리프팅 수단(B)의 리프트에, 즉 높이(B0)의 위치에 전용 외부 포드(102)를 놓는다.
단계(3302)에서, 레티클 이송 포드(10) 및 전용 외부 포드(102)가 검사되며, 예를 들어 포드 또는 포드에 표시된 정보 및 펠리클의 상태를 식별한다. 제1 리프팅 수단(A)과 제2 리프팅 수단(B)의 리프트가 각각 높이(A2, B2)로 하강한다. 하강 과정에서, 비전용 외부 포드(12)와 전용 외부 포드(102)는 유사한 메커니즘에 의해 측부로 개방된다. 높이(A2 및 B2)에서 제1 리프팅 수단(A)의 리프트는 외부 베이스(40)의 내부 포드(11)만을 운반하고, 제2 리프팅 수단(B)의 리프트는 전용 포드의 외부 베이스(160)만을 운반하며, 둘 다 레티클 전송 환경(206)에 위치한다. 이 실시예에서 내부 포드(11)는 개방될 필요가 없고, 레티클 이송 환경(206)은 내부 포드를 이송하기 위한 청정도 수준을 만족하기만 하면 된다는 것을 이해해야 한다. 또한, 본 실시예에서는 레티클을 이송하기 위해 내부 포드(11)를 개방할 필요가 없기 때문에, 도 14의 실시예에 비해, 제1 리프팅 수단(A) 및 제2 리프팅 수단(B)에 대해 높이(A1, A2)와 관련된 작업이 생략될 수 있다.
단계(3304)에서, 레티클 적재 시스템(200')의 클램프 장치는 내부 포드(11)를 페치해서 내부 포드(11)를 전용 포드의 외부 베이스(160)로 전달한다. 클램프 장치는 도 19a의 구성과 유사할 수 있고 내부 포드(11)에 더 적합하다. 클램프 장치의 작동은 도 20과 관련된 설명의 작동과 유사하다.
단계(3306)에서, 내부 포드(11)의 이송이 완료되면, 제1 리프팅 수단(A)과 제2 리프팅 수단(B)의 리프트가 높이(A0, B0)로 상승하여, 비전용 외부 포드(12)가 측부로 닫히고 전용 외부 포드(102)가 측부로 닫혀 내부 포드(11)를 수용한다.
단계(3308)에서, 내부 포드(11)를 수용하는 전용 외부 포드(102)가 보관 캐비닛(602)의 지정된 보관 랙(604)에 보관된다. 레티클 보관 캐비닛 시스템(600')은 기계식 암(609)의 최단 이동 경로에 따라 타겟 보관 랙(604)을 지정할 수 있다.
단계(3310)에서, 보관 랙(604)은 전용 외부 포드(102)를 질소로 채운다. 마찬가지로, 본 실시예의 전용 외부 포드(102) 및 보관 랙(604)은 가스 충전을 구현하기 위해 도 27a 및 도 27b의 실시예의 전용 외부 포드 및 보관 랙들로 구성될 수 있다.
도 34는 도 32의 실시예에 따른 레티클의 하적의 흐름도를 도시한 것으로, 좌측 절반은 제1 리프팅 수단(A)에 의해 수행되고 우측 절반은 제2 리프팅 수단(B)에 의해 수행된다.
단계(3400A)에서, 비전용 이송 포드(10)의 빈 외부 포드(12)는 제1 포트(202)를 통해 적재된다. 적재된 외부 포드(12)는 내부 포드를 포함하지 않으며 높이(A0)에서 제1 리프팅 수단(A)의 리프트에 의해 운반된다.
단계(3400B)에서, 전용 외부 포드(102)는 제2 포트(204)를 통해 레티클 보관 캐비닛 시스템(600')으로부터 적재되며, 적재된 전용 외부 포드(102)는 레티클을 포함하는 내부 포드(11)를 수용한다. 적재된 전용 외부 포드(102) 및 내부 포드(11)는 높이(B0)에서 제2 리프팅 수단(B)의 리프트에 의해 운반된다.
단계(3402)에서, 마찬가지로, 비전용 외부 포드(12)뿐만 아니라 전용 외부 포드(102) 및 내부 포드(11)가 제1 리프팅 수단(A) 및 제2 리프팅 수단(B)에 의해 검사된다. 외부 포드(12)와 전용 외부 포드(102)가 개방되고, 외부 포드(12)의 외부 베이스(40)와 전용 외부 포드(102)의 외부 베이스(160)가 높이(A2 및 B2)로 하강하여 내부 포드(11)를 레티클 이송 환경(206)에 위치시킨다.
단계(3404)에서, 내부 포드(11)가 페치되어 외부 포드(12)의 외부 베이스(40)로 이송된다. 이송은 레티클 이송 환경(206) 또는 내부 포드를 이송하기에 적합한 청정도를 갖는 다른 환경에서 수행된다.
단계(3406)에서, 제1 리프팅 수단(A)과 제2 리프팅 수단(B)의 리프트를 높이(A0, B0)로 상승시켜 비전용 외부포드(12)를 측부로 폐쇄하고, 내부 포드(11)를 수용하며, 전용 외부 포드(102)가 측부로 닫힌다. 이때, 폐쇄된 전용 외부 포드(102)는 빈 포드이고, 비전용 내부 포드(11)와 외부 포드(12)는 레티클 이송 포드(10)를 형성한다.
단계(3408)에서, 제1 리프팅 수단(A)은 제1 포트(202)를 통해 레티클 적재 시스템(200') 외부로 레티클 이송 포드(10)를 이동시키고, 레티클 이송 포드(10)를 다양한 처리 환경으로 보낸다.
도 35는 도 32의 실시예에 따른 내부 포드(11)의 이송의 흐름도를 도시한 것으로, 좌측 절반은 제1 리프팅 수단(A)에 의해 수행되고 우측 절반은 제2 리프팅 수단(B)에 의해 수행된다.
단계(3500A 및 3500B)에서, 제1 리프팅 수단(A)은 높이(A0)에서 적재된 비전용 레티클 이송 포드(10)의 외부 포드(12)를 수용하고, 제2 리프팅 수단(B)은 높이(B0)에서 적재된 전용 레티클 보관 포드(100)의 전용 외부 포드(102)를 수용한다. 비전용 외부 포드(12)와 전용 외부 포드(102) 사이에는 레티클을 갖는 내부 포드(11)가 수용되며, 상기 내부 포드(11)는 비전용 외부 포드(12) 및 전용 외부 포드(102)와 구조적으로 호환 가능하다.
단계(3502A 및 3502B)에서, 제1 리프팅 수단(A) 및 제2 리프팅 수단(B)은 각각 비전용 외부 포드(12) 및 전용 외부 포드(102)를 잠금 해제하는 동작을 수행한다. 잠금해제 후, 제1 리프팅 수단(A)과 제2 리프팅 수단(B)이 각각 비전용 외부 포드(12)와 전용 외부 포드(102)의 외부 커버를 파지하고 높이(A0 및 B0)에서 높이(A2 및 B2)로 리프트가 하강되어, 상기 하강 과정에서 비전용 외부 포드(12)와 전용 외부 포드(102)가 측부로 열린다.
단계(3504A 및 3504B)에서, 제1 리프팅 수단(A) 및 제2 리프팅 수단(B)은 각각 비전용 외부 포드(12), 전용 외부 포드(102), 2차원 바코드 및 펠리클의 상태와 같은 하강 과정에서 수용된 내부 포드(11) 및/또는 레티클에 라벨링된 정보를 식별하기 위한 동작을 수행한다. 식별 결과가 예상 타겟과 일치하지 않는 경우, 레티클 적재 시스템(200')은 관련된 이상 처리 절차를 수행할 수 있다.
단계(3506)에서, 예를 들어, 도 19a의 레티클 클램핑 장치(1900)는 비전용 외부 베이스(40)와 전용 외부 베이스(160) 사이에서 내부 포드(11)를 이송한다. 예를 들어, 도 19a의 레티클 클램핑 장치(1900)의 클램핑 암(1906) 및 접촉판(1908)은 내부 포드(11)의 이동을 구현하기 위해 내부 포드(11)의 치수 및 구조에 순응해 수정될 수 있다.
단계(3508A, 3508B)에서, 제1 리프팅 수단(A)과 제2 리프팅 수단(B)은 각각 높이(A0, B0)까지 리프트를 상승시키는 동작을 수행하여, 비전용 외부포드(12)와 전용 외부 포드(102)가 측부로 닫히고 상기 두 포드를 더 잠근다.
단계(3510A 및 3510B)에서, 비어 있는 비전용 외부 포드(12) 또는 내부 포드(11)를 갖는 레티클 이송 포드(10)가 제1 포트(202)를 통해 레티클 적재 시스템(200') 외부로 이동될 수 있거나, 빈 전용 외부 포드(102) 또는 비전용 내부 포드(11)를 수용하는 전용 외부 포드(102)가 제2 포트(204)를 통해 레티클 보관 캐비닛 시스템(600')으로 복귀될 수 있다.
도 36은 내부 포드(11)의 이송 흐름도를 도시한다. 이 기간 동안, 제1 리프팅 수단(A) 및 제2 리프팅 수단(B)의 동작은 레티클 이송 환경(206) 또는 요구되는 청정도를 만족하는 다른 환경에서 수행된다.
도면에 도시된 바와 같이, 리프트는 모두 레티클 클램핑 장치(1900') 아래로 하강한다. 클램핑 장치(1900')는 내부 포드(11) 위로 수평으로 이동한다. 내부 포드 클램핑 장치(1900')가 상승 또는 이동하지 않는 경우, 제 1 리프팅 수단(A)의 리프트는 내부 포드(11)가 클램핑될 수 있는 높이까지 상승한다. 내부 포드(11)가 고정되면, 리프트가 하강하여 분리가 완료된다. 내부 포드(11)는 제2 리프팅 수단(B)의 리프트를 위해 수평으로 이동된다. 제2 리프팅 수단(B)의 리프트는 내부 포드(11)를 운반하기 위해 상승하고, 동시에 레티클 클램핑 장치(1900')가 해제되어 내부 포드(11)의 이송을 구현한다.
도 37은 본 발명의 다른 실시예에 따른 레티클 적재 장치(200) 및 레티클 보관 캐비닛 시스템(600")의 개략도를 도시한 것으로, 레티클 보관 캐비닛 시스템(600")의 구성은 전술한 실시예에서의 구성과 실질적으로 동일하고, 주로 보관 캐비넷(602)이 복수의 보관 챔버(604')를 제공한다는 점에서 다르다. 각각의 보관 챔버(604')는 도 5a에 도시된 레티클 보관 포드(100)와 같이 전용 듀얼 포드를 보관할 수 있다. 대안으로, 각각의 보관 챔버(604')는 싱글 포드(3700)를 보관할 수 있다. 이러한 싱글 포드(3700)는 주로 커버와 베이스로 구성되며, 레티클 이송 포드(10)에서 얻은 레티클을 수용하기 위한 것이다.
도 38a는 본 발명의 특정 실시예에 따른 보관 챔버(604')의 도면을 도시한다. 도 38b는 보관 챔버(604')의 내측에서 상방을 향하는 캐리어 표면의 구성의 다이어그램을 도시한다. 도 38c는 보관 챔버(604')에 포함된 싱글 포드(3700)의 도면을 도시한다. 도 38d는 싱글 포드(3700)의 바닥을 지지하는 보관 챔버(604')의 캐리어 표면 장치의 다이어그램을 도시한다.
이들 보관 챔버(604')는 유사한 수단에 의해 보관 캐비닛(602)의 프레임에 고정되어 수직 적층 형태를 형성할 수 있다. 각 보관 챔버(604')는 기본적으로 개구가 있는 포드이며, 싱글 포드(3700)를 수용하기에 충분한 보관 공간을 제공한다. 개구를 통해 기계식 암(609)이 싱글 포드(3700)에 액세스할 수 있다. 보관 챔버(604')는 후면에 두 개의 커넥터(3800)가 제공되고 상류에 질소 소스가 연결되어 보관 챔버(604')를 질소로 채운다. 보관 챔버(604') 내측의 위쪽을 향한 캐리어 표면에는 싱글 포드(3700)를 배치하고 지지하기 위한 3개의 운동학적 커플링 핀(3802)과 2개의 보조 가이드 핀(3804)이 제공된다. 다른 실시예에서, 싱글 포드(3700)가 떨어지는 것을 방지하고 보관 챔버(604') 내의 질소 상태를 유지하기 위해 보관 챔버(604')의 개구에는 밸브가 제공될 수 있다.
도 39a는 도 37의 실시예에 따른 레티클의 적재의 흐름도를 도시한다. 도 39b는 도 37의 실시예에 따른 레티클의 하적의 흐름도를 도시한다.
단계(3900A)에서, 듀얼 포드가 제1 포트(202)를 통해 레티클 적재 시스템(200)의 제1 리프팅 수단(A)의 리프트 상에 적재되고, 레티클 이송 포드(10)는 레티클을 내부 레티클을 수용하는 내부 포드 및 상기 내부 포드를 수용하는 외부 포드를 포함한다.
단계(3900B)에서, 빈 싱글 포드(3700)가 레티클 보관 캐비닛 시스템(600")으로부터 제2 포트(204)를 통해 제2 리프팅 수단(B)의 리프트 상으로 적재된다.
단계(3902)에서, 레티클 이송부(10)의 내부 포드에 수용된 레티클을 꺼내어 빈 싱글 포드로 이송한다. 도 24의 실시예와 마찬가지로, 제1 리프팅 수단(A)의 리프르를 높이(A0)에서 높이(A2)로 하강하는 과정에서 외부 포드와 내부 포드가 측방으로 개방되어 레티클을 노출하고, 제2 리프팅 수단(B)의 리프트가 높이(B0)에서 높이(B2)로 하강하는 과정에서 싱글 포드(3700)가 측방으로 개방되어 내측 베이스를 노출한다. 다음으로, 레티클 클램핑 장치는 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드 베이스로부터 싱글 포드(3700)의 베이스로 레티클을 이송한다. 마지막으로, 제2 리프팅 수단(B)의 리프트는 높이(B2)에서 높이(B0)로 상승하여 레티클을 싱글 포드(3700)에 측부로 수용한다.
단계(3904)에서, 레티클을 수용하는 싱글 포드(3700)는 레티클 적재 시스템(200)에서 레티클 보관 캐비닛 시스템(600")으로 이송되고 보관 캐비닛(602)의 지정된 보관 챔버(604')에 따라 이동된다. 바람직하게는, 지정된 보관 챔버(604')는 기계적 암(609)의 최단 경로에 의해 결정된다.
단계(3906)에서, 기계적 암(609)은 보관 챔버(604')의 게이트를 열고 싱글 포드(3700)를 보관 챔버(604')에 둔다. 레티클의 보관을 완료하기 위해 게이트를 닫은 후 보관 챔버(604')는 질소로 채워진다. 게이트가 없는 실시예에서, 기계적 암(609)은 게이트를 열 필요가 없다. 게이트는 질소를 지속적으로 채우는 것으로 대체될 수 있다.
단계(3908A)에서, 빈 듀얼 포드(예를 들어, 레티클 이송 포드(10)) 또는 빈 싱글 포드(3700)가 레티클 적재 시스템( 200)의 제1 리프팅 수단(A)의 리프트에 적재된다.
단계(3908B)에서, 기계적 암(609)은 지정된 보관 챔버(604')에서 지정된 레티클을 수용하는 싱글 포드(3700)를 꺼내고 싱글 포드(3700)를 레티클 적재 시스템(200)의 제2 리프팅 수단(B)의 리프트에 적재한다.
단계(3910)에서, 제1 리프팅 수단(A)과 제2 리프팅 수단(B)은 각각 레티클 이송 포드(10)의 내부 포드 베이스와 싱글 포드(3700)의 레티클을 레티클 이송 환경(206)으로 하강시켜 싱글 포드의 레티클을 레티클 이송 포드(10)로 이송한다.
단계(3912)에서, 레티클을 수용하는 레티클 이송 포드(10)는 크레인 시스템에 의해 제1 포트(204)를 통해 꺼내져 목적지 스테이션으로 보내진다.
도 40은 도 37의 실시예에 따른 레티클의 하적의 특정 흐름도를 도시한 것으로, 좌측 절반은 제1 리프팅 수단(A)에 의해 수행되는 단계이고 우측 절반은 제2 리프팅 수단(B)에 의해 수행되는 단계이다. 단계(4000A)에서, 듀얼 포드(예를 들어, 레티클 이송 포드(10))가 제1 포트(202)를 통해 제1 리프팅 수단(A)의 리프트에 적재된다. 단계(4000B)에서, 싱글 포드(3700)가 레티클 보관 캐비닛 시스템(600")으로부터 제2 리프팅 수단(B)의 리프트로 적재된다. 단계(4002A)에서, 외부 포드의 커버를 파지하고 외부 포드를 잠금 해제하며, 제1 리프팅 수단(A)의 리프트를 높이(A0)에서 높이(A1)까지 하강시킨다. 단계(4002B)에서, 싱글 포드(3700)의 커버를 높이(B0 또는 B1)에서 파지하고, 싱글 포드(3700)의 베이스를 운반하는 리프트를 높이(B0)에서 높이(B1)까지 하강시킨다. 단계(4004A)에서, 내부 포드의 베이스를 운반하는 리프트가 높이(A1)에서 높이(A2)로 하강한다. 단계(4004B)에서, 싱글 포드(3700)의 베이스를 운반하는 리프트는 위치(B1)에서 위치(B2)로 하강한다. 단계(4006)에서, 레티클 클램핑 장치는 내부 포드의 베이스와 싱글 포드(3700)의 베이스 사이에서 레티클을 이동시킨다. 단계(4008A)에서, 리프트가 높이(A2)에서 높이(A1)로 상승하면, 내부 포드가 측부로 닫힌다. 단계(4008A)에서, 리프트가 위치(B2)에서 위치(B1)로 상승하면, 싱글 포드(3700)가 측부로 폐쇄된다. 단계(4010A)에서, 외부 포드는 측부로 닫히고 리프트가 높이(A1)에서 높이(A0)로 상승하면 잠긴다. 단계(4010B)에서 리프트는 위치(B1)서 위치(B0) 상승한다. 단계(4012A)에서, 듀얼 포드가 크레인 시스템에서 꺼내진다. 단계(4012B)에서, 싱글 포드(3700)는 레티클 보관 캐비닛 시스템(600")으로 복귀시킨다.
레티클이 결국 싱글 포드에 의해 보관되는지 또는 듀얼 포드에 의해 보관되는지에 관계없이, 보관 환경은 레티클의 보관에 중요하다. 게이트가 있는 보관 챔버는 보관 환경의 조건을 유지하는 데 유리하다. 게이트의 작동 옵션도 캐비닛 시스템의 내부 구성에 의해 제한된다는 점에 유의해야 한다. 본 발명의 캐비닛 시스템의 보관 챔버 게이트의 작동 메커니즘의 예는 다음과 같다.
도 41a는 포드(P)를 보관 챔버(4104)에 배치하기 위한 기계적 암(4100 및 4102)과 보관 챔버(4104)의 상호 작용 프로세스의 예를 도시한다. 도 41b는 보관 챔버(4104)로부터 포드(P)를 꺼내는 기계적 암(4100, 4102)과 보관 챔버(4104)의 상호작용 과정의 일 예를 도시한다. 도시된 보관 챔버(4104)는 게이트를 갖고, 기계적 암의 전방 단부(4102)는 보관 챔버(4104)의 게이트와 상호작용하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 기계적 암의 전방 단부(4102)는 게이트의 바닥부에 있는 노치로 연장되고 보관 챔버(4104)의 공간을 노출시키기 위해 게이트를 들어 올려 개방하기 위한 미리 결정된 메커니즘을 가질 수 있다; 그러나, 본 발명은 상기 예에 국한되지 않는다. 보다 구체적으로, 기계적 암은 적어도 두 부분으로 구성될 수 있다: 그 중 하나는 파지 메커니즘(4100)이고 다른 하나는 게이트에 대한 상호작용 메커니즘(4102)이며, 둘은 별개로 작동 가능하다. 도 41a에 도시된 바와 같이, 기계적 암의 일부가 먼저 게이트를 들어 올려 개방되고, 그런 다음 다른 부분이 포드(P)를 배치한다. 배치가 완료되면, 게이트는 닫힌 상태로 복귀된다. 도 41b의 프로세스는 반대이다.
도 42a는 다른 상호작용 실시예에 따른 보관 챔버에 포드를 배치하기 위한 캐비닛 시스템의 보관 챔버 및 기계적 암의 예를 도시한다. 도 42b는 다른 상호작용 실시예에 따른 보관 챔버로부터 포드를 꺼내기 위한 캐비닛 시스템의 기계적 암 및 보관 챔버의 예를 도시한다. 본 실시예의 기계식 암은 2개의 별도의 부분, 즉 파지부(4200)와 푸시부(4202)를 포함한다. 파지부(4200)는 포드(P)를 운반하거나 클램핑하기 위한 것으로, 보관 챔버(4204)의 공간에 접근할 수 있다. 보관 챔버(4204)는 피벗 게이트(4206)를 갖는다. 푸시부(4202)는 게이트(4206) 상의 플레이트(4208)를 밀도록 파지부(4200)에 대해 전방으로 연장될 수 있으며, 이에 따라 게이트(4206)가 지렛대 방식으로 들어올려져 개방될 수 있어 파지부(4200)가 포드(P)를 보관 챔버(4204) 내로 전달하게 한다. 상기를 완료한 후, 푸시부(4208)는 게이트(4206)가 닫힌 상태로 복귀될 수 있도록 후퇴한다.
도 43은 본 발명의 실시예에 따른 레티클 보관 캐비닛 파이프라인 팽창 시스템의 개략도를 도시한다. 적어도 하나의 메인 파이프라인(4300)은 질소 소스(4302)에 연결된 상류 및 복수의 브랜치 파이프라인(4304)에 연결된 하류를 갖는다. 각각의 브랜치 파이프라인(4304)은 보관 캐비닛(602)에 있는 하나의 대응하는 보관 챔버(604')에 연결된다. 적어도 하나의 질량 유량 컨트롤러(4306)가 메인 파이프라인(4300)에 연결된다. 레티클 포드가 보관 캐비닛(602)의 보관 챔버(604')에 지정된 위치에 놓이면, 질량 유량 컨트롤러(4306)는 그에 따라 지정된 보관 챔버(604')를 질소(604')로 채우도록 미리 정해진 밸브의 개폐를 결정한다. 예를 들어, 질량 유량 컨트롤러(4306)는 메인 파이프라인(4306)의 가스의 질량 유량을 모니터링하고 각 브랜치 파이프라인(4304)에서 조절 밸브(4308)의 개폐를 제어하도록 구성될 수 있으며, 상기 조절 밸브(4308)는 각 브랜치 파이프라인(4304)의 가스 유속을 조절하는 데 사용할 수 있다. 도면에 도시된 바와 같이, 메인 파이프라인(4300)의 상류단은 파티클 필터(4310), 압력계(4312), 압력 센서(4314), 레귤레이터(4316) 및 볼 밸브(4318)를 포함할 수 있다; 그러나, 본 발명은 상기 예에 국한되지 않는다.
도 44는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레티클 적재 시스템 및 레티클 보관 캐비닛 시스템의 개략도를 도시한다. 전술한 실시예와 비교하여, 본 실시예의 레티클 적재 시스템(200")은 단 하나의 리프팅 수단(A)에 의해 레티클의 이송을 구현함을 알 수 있다. 마찬가지로, 레티클 이송 포드(10)는 높이(A0)에서 높이(A1)로 하강하는 과정에서 개방되어 결국 내부 포드(11)가 노출된다. 높이(A1)에서 내부 포드(11)는 기계적 암(609)과 상호 작용하도록 허용되고 이에 따라 클램핑되어 레티클의 이송 경로가 더욱 단축되어 레티클이 흔들리는 위험이 감소된다.
도 45a는 도 44의 실시예에 따른 레티클의 적재의 흐름도를 도시한다. 도 45b는 도 44의 실시예에 따른 레티클의 하적의 흐름도를 도시한다. 단계(4500)에서, 듀얼 포드(예를 들어, 레티클 운반 포드(10))가 리프트에 적재되고, 상기 듀얼 포드는 레티클을 수용하는 내부 포드(11) 및 상기 내부 포드(11)를 수용하는 외부 포드를 포함한다. 단계(4502)에서, 듀얼 포드의 내부 포드는 높이(A1)에서, 즉 레티클 이송 환경에서 노출된다. 단계(4504)에서, 내부 포드(11)는 보관 캐비닛(602)의 지정된 보관 챔버(604')로 이송된다. 단계(4506)에서, 지정된 보관 챔버(604')의 게이트를 열어 내부 포드(11)에 넣고, 게이트를 닫은 후 보관 챔버(604')에 질소를 채워 보관을 완료한다. 단계(4508)에서, 듀얼 포드의 외부 포드(예를 들어, 도 1의 외부 포드(12))가 리프트에 적재되고, 상기 외부 포드는 커버 및 베이스를 포함한다. 단계(4510)에서, 리프트가 하강하여 외부 포드를 측부로 개방하고 베이스를 높이(A1)에 놓는다. 단계(4512)에서, 레티클을 수용하는 내부 포드(11)를 보관 캐비닛(602)의 지정된 보관 챔버(604')에서 꺼내어, 높이(A1)에 위치한 베이스에 이 내부 포드를 내려놓는다. 단계(4514)에서, 리프트가 상승하여 측부로 듀얼 포드를 닫고 듀얼 포드를 잠근다. 단계(4516)에서, 듀얼 포드를 꺼낸다.
도 46a는 도 44의 실시예에 따른 레티클의 적재의 다른 흐름도를 도시한다. 도 46b는 도 44의 실시예에 따른 레티클의 하적의 다른 흐름도를 도시한다. 단계(4600)에서, 듀얼 포드는 포트를 통해 리프트에 적재되며, 상기 듀얼 포드는 내부 포드(11) 및 상기 내부 포드를 수용하는 외부 포드를 포함한다. 단계(4602)에서, 외부 포드의 커버를 파지하고 내부 포드(11)와 외부 포드의 베이스를 운반하는 리프트를 높이(A0)에서 높이(A1)까지 하강시켜, 외부 포드를 측부로 연다. 단계(4604)에서, 리프트가 높이(A0)에서 높이(A1)까지 하강하는 동안, 내부 포드(11)의 2차원 바코드를 판독하고 식별 수단에 의해 펠리클의 상태를 식별한다. 단계(4606)에서, 캐비닛 시스템(600")의 기계적 암은 외부 포드의 베이스에 의해 운반되는 내부 포드(11)를 제거하여 듀얼 포드의 외부 포드만 레티클 적재 시스템(200")에 남는다. 단계(4608)에서, 듀얼 포드의 외부 포드는 측부로 닫히고 리프트가 높이(A1)에서 높이(A0)로 상승하는 동안 잠긴다. 단계(4610)에서, 포트를 통해 듀얼 포드의 외부 포드를 꺼낸다. 단계(4612)에서, 듀얼 포드의 외부 포드가 포트를 통해 리프트에 적재되어 레티클 보관 캐비닛 시스템(600")에 내부 포드(11)를 수용한다. 단계(4614)에서, 외부 포드의 커버를 파지하고 외부 포드의 베이스를 운반하는 리프트를 높이(A0)에서 높이(A1)까지 하강시켜 외부 포드를 측부로 연다. 단계(4616)에서, 레티클 보관 캐비닛 시스템(600")의 기계적 암은 지정된 내부 포드(11)를 리프트의 외부 포드 베이스에 배치한다. 단계(4618)에서, 리프트가 높이(A1)에서 높이(A0)로 상승하는 동안, 내부 포드(11)에 있는 2차원 바코드를 판독하고 식별 수단에 의해 펠리클의 상태를 식별한다. 단계(4620)에서, 듀얼 포드는 측부로 폐쇄되고 리프트가 높이(A1)에서 높이(A0)로 상승한 후 잠긴다. 단계(4622)에서, 포트를 통해 듀얼 포드를 꺼낸다.
100: 레티클 보관 포드
101: 전용 내부 포드
110: 커버
130: 베이스
134: 지지 부재
R: 레티클
102: 전용 외부 포드
150: 외부 커버
151: 외부 베이스
153 : 편자 홀드-다운 리브
154: 홀드-다운 컬럼
160: 외부 베이스
161: 커플링 핀

Claims (29)

  1. 각각이 레티클의 코너를 지지하도록 구성되고 각각이 코너의 두 측면에 각각 위치한 한 쌍의 제한 블록을 형성하도록 위로 뻗어 있는 복수의 지지 부재를 갖는 베이스; 및
    상기 복수의 지지 부재에 각각 대응하는 복수의 탄성 홀드-다운 장치를 갖는 커버를 포함하고,
    상기 각각의 탄성 홀드-다운 장치는 상기 지지 부재에 의해 지지된 레티클의 코너에 작용하는 적어도 하나의 탄성암을 포함하며,
    상기 커버가 레티클을 수용하기 위해 베이스를 덮을 때, 상기 한 쌍의 제한 블록이 상기 탄성암의 수평 이동을 제한하는 레티클 보관 포드.
  2. 제1항에 있어서,
    지지 부재는 한 쌍의 경사면을 가지며, 상기 한 쌍의 경사면은 코너의 양측 하부 에지와 각각 맞물리는 레티클 보관 포드.
  3. 제1항에 있어서,
    탄성 홀드-다운 장치는 바디 및 상기 바디로부터 서로 다른 방향으로 뻗어 있는 한 쌍의 탄성암을 포함하고, 각각의 탄성암은 제한부 및 상기 제한부로부터 연장되는 경사면을 가지며, 상기 한 쌍의 탄성암의 두 경사면은 코너의 두 측면의 상부 에지와 각각 맞물리는 레티클 보관 포드.
  4. 제3항에 있어서,
    한 쌍의 제한 블록은 한 쌍의 탄성암의 두 제한부를 제한하는 레티클 보관 포드.
  5. 제3항에 있어서,
    한 쌍의 탄성암의 두 경사면은 상기 제한부로부터 멀리 연장되어 서로 결합되는 레티클 보관 포드.
  6. 커버, 베이스 및 고정 장치를 포함하고, 상기 커버와 베이스가 서로 맞물리며 보관 공간을 형성하며, 상기 고정 장치가 상기 보관 공간에 레티클을 고정하도록 구성된 내부 포드; 및
    외부 커버와 외부 베이스를 포함하고, 상기 외부 커버와 외부 베이스가 서로 맞물리면서 내부 포드를 수용하는 외부 포드를 포함하고,
    상기 외부 커버는 평평한 상부면과 상기 평평한 상부면으로부터 아래쪽으로 뻗어 있는 주변 측벽을 가지며, 상기 주변 측벽에는 적어도 한 쌍의 핸들이 제공되고, 상기 한 쌍의 핸들은 평평한 상부면의 높이를 초과하지 않는 레티클 보관 포드.
  7. 제6항에 있어서,
    외부 베이스의 상부면에는 내부 포드의 베이스를 지지하는 복수의 커플링 핀이 제공되는 레티클 보관 포드.
  8. 제6항에 있어서,
    외부 커버에는 내부 포드를 고정하기 위해 커버에 작용하는 적어도 하나의 홀드-다운 장치가 제공되는 레티클 보관 포드.
  9. 제8항에 있어서,
    홀드-다운 장치는 내부 포드의 커버에 작용하는 홀드-다운 컬럼인 레티클 보관 포드.
  10. 제9항에 있어서,
    홀드-다운 장치는 베이스 상에 제공된 적어도 하나의 지지 부재 및 커버 상의 지지 부재에 대응하게 제공된 적어도 하나의 탄성 홀드-다운 장치를 포함하고, 외부 커버 및 외부 베이스가 내부 포드를 수용하도록 맞물리면, 상기 탄성 홀드-다운 장치가 레티클을 고정하도록 홀드-다운 컬럼이 상기 탄성 홀드-다운 장치에 압력을 가하는 레티클 보관 포드.
  11. 제8항에 있어서,
    홀드-다운 장치는 홀드-다운 리브이고, 상기 홀드-다운 리브는 외부 커버와 외부 베이스가 내부 포드를 수용하기 위해 결합될 때 내부 포드의 커버의 상부면을 가압하는 레티클 보관 포드.
  12. 제11항에 있어서,
    커버의 상부면에는 홀드-다운 리브에 대응하는 위치에 리세스가 형성되어, 외부 커버와 외부 베이스가 결합되어 내부 포드를 수용할 때 상기 홀드-다운 리브가 대응하는 리세스를 가압하는 레티클 보관 포드.
  13. 제12항에 있어서,
    홀드-다운 리브는 베이스와 커버를 단단히 위치시키고 맞물리게 하기 위해 대응하는 리세스를 가압하는 레티클 보관 포드.
  14. 제6항에 있어서,
    고정 장치는 베이스 상에 제공된 적어도 하나의 지지 부재, 및 커버 상의 지지 부재에 대응하게 제공된 적어도 하나의 레티클 리테이너를 포함하고, 상기 레티클 리테이너는 적어도 하나의 탄성암을 포함하며, 상기 커버와 베이스가 결합되어 레티클을 수용할 때, 상기 지지 부재가 레티클의 코너를 지지하고 상기 레티클 리테이너의 탄성암이 해당 코너와 결합하여 고정 장치가 레티클을 고정하게 되는 레티클 보관 포드.
  15. 외부 포드에 수용되도록 구성된 내부 포드를 포함하고, 상기 외부 포드의 내부면에 복수의 고정 장치가 제공되며, 상기 내부 포드는 커버, 베이스 및 복수의 고정 장치를 포함하고, 상기 커버와 베이스가 결합되어 보관 공간을 정의하며, 상기 고정 장치는 레티클이 보관 공간에 보관될 수 있게 고정되도록 구성되고,
    상기 커버의 상부면에는 복수의 홀드-다운 장치에 각각 대응하는 위치에 복수의 리세스가 형성되고, 상기 내부 포드가 상기 외부 포드에 수용될 때, 상기 커버의 리세스가 상기 홀드-다운 장치와 각각 맞물려 내부 포드를 고정 및 위치 설정하기 위한 고정력을 획득하고, 상기 고정 장치에 의한 레티클의 고정을 더욱 개선시키는 레티클 보관 포드.
  16. 제15항에 있어서,
    리세스는 하부면과 상기 하부면을 둘러싸는 주변 측면을 갖고, 상기 주변 측면은 외곽선을 가지며, 커버가 리세스 아래의 하부면에 고정 장치를 노출시키는 레티클 보관 포드.
  17. 제16항에 있어서,
    홀드-다운 장치는 리세스에 대응하는 외곽선을 갖는 홀드-다운 리브이고, 내부 포드가 외부 포드에 수용될 때, 상기 홀드-다운 리브는 그에 따라 리세스의 하부면을 가압하는 레티클 보관 포드.
  18. 외부 커버와 외부 베이스를 포함하고, 상기 외부 커버와 외부 베이스가 서로 맞물리면서 구조적으로 다른 제1 내부 포드와 제2 내부 포드 중 하나를 안전하게 수용하고, 상기 제1 내부 포드 및 상기 제2 내부 포드는 각각 레티클을 보관하도록 구성되며,
    상기 외부 커버에는 적어도 하나의 제1 홀드-다운 장치 및 제2 홀드-다운 장치가 제공되고, 상기 제1 홀드-다운 장치 및 제2 홀드-다운 장치는 상기 제1 내부 포드의 커버 및 상기 제2 내부 포드의 커버에 각각 작용하도록 구성된 레티클 보관 포드.
  19. 제 18 항에 있어서,
    제 1 홀드-다운 장치 및 제 2 홀드-다운 장치는 각각 다른 높이로 외부 커버의 하부면으로부터 연장되어, 상기 제 1 홀드-다운 장치 및 제 2 홀드-다운 장치가 제1 내부 포드의 커버의 대응하는 구조 및 제2 내부 포드의 커버의 다른 대응하는 구조와 각각 맞물릴 수 있는 레티클 보관 포드.
  20. 제18항에 있어서,
    제1 홀드-다운 장치는 홀드-다운 컬럼이고, 제2 홀드-다운 장치는 편자 외곽선을 갖는 홀드-다운 리브이며, 상기 홀드-다운 컬럼이 홀드-다운 리브의 편자 외곽선 안쪽 면에 위치하는 레티클 보관 포드.
  21. 제 20 항에 있어서,
    제 1 내부 포드의 커버에는 제 1 홀드-다운 장치에 대응하는 위치에 탄성 홀드-다운 장치가 제공되고, 상기 탄성 홀드-다운 장치는 상기 제1 내부 포드가 외부 포드에 수용될 때 홀드-다운 컬럼이 홀드-다운 핀을 가압하여 상기 제1 내부 포드에 수용된 레티클을 고정시키는 레티클 보관 포드.
  22. 제21항에 있어서,
    탄성 홀드-다운 장치는 홀드-다운 핀을 제한하는 캡을 포함하고, 제1 내부 포드가 외부 포드에 수용될 때 홀드-다운 리브의 편자 외곽선이 캡의 수평 이동을 제한하는 레티클 보관 포드.
  23. 제20항에 있어서,
    제2 내부 포드의 커버에는 제2 홀드-다운 장치에 대응하는 위치에 리세스가 제공되고, 상기 리세스는 하부면과 상기 하부면을 둘러싸는 주변 측면을 가지며, 상기 주변 측면은 홀드-다운 리브에 해당하는 편자 외곽선을 갖고, 제2 내부 포드가 외부 포드에 수용될 때 홀드-다운 리브는 리세스의 하부면을 가압하며, 상기 홀드-다운 리브는 커버의 수평 이동을 제한하는 레티클 보관 포드.
  24. 레티클을 고정하기 위해 레티클 보관 포드에 적용되는 레티클 고정 방법으로서,
    레티클 보관 포드의 베이스 상에, 각각이 한 쌍의 제한 블록을 형성하기 위해 상방으로 뻗어 있는 복수의 지지 부재를 제공하는 단계;
    상기 레티클 보관 포드의 커버에, 상기 복수의 지지 부재에 각각 대응하며 각각이 적어도 하나의 탄성암을 갖는 복수의 탄성 홀드-다운 장치를 제공하는 단계; 및
    각각의 지지 부재가 레티클의 코너를 지지하고 각각의 탄성 홀드-다운 장치의 탄성암이 대응하는 코너에 작용하며, 한 쌍의 제한 블록이 탄성암의 수평 이동을 제한도록 레티클을 수용하기 위해 베이스와 커버를 결합하는 단계를 포함하는 레티클 고정 방법.
  25. 제24항에 있어서,
    한 쌍의 제한 블록이 코너의 양측에 각각 위치되는 레티클 고정 방법.
  26. 제24항에 있어서,
    탄성 홀드-다운 장치는 바디 및 한 쌍의 탄성암을 포함하고, 각각의 탄성암은 제한부 및 상기 제한부로부터 뻗어 있는 경사면을 갖는 레티클 고정 방법.
  27. 제26항에 있어서,
    커버와 베이스가 결합되어 레티클을 수용할 때, 한 쌍의 탄성암의 두 경사면을 코너 양측의 상부 에지에 각각 결합시키는 단계를 포함하는 레티클 고정 방법.
  28. 제26항에 있어서,
    한 쌍의 탄성암은 바디로부터 서로 다른 방향으로 연장되는 레티클 고정 방법.
  29. 제26항에 있어서,
    한 쌍의 탄성암의 말단부가 서로 결합되는 레티클 고정 방법.
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