KR20220102101A - Assistant device - Google Patents

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KR20220102101A
KR20220102101A KR1020210179812A KR20210179812A KR20220102101A KR 20220102101 A KR20220102101 A KR 20220102101A KR 1020210179812 A KR1020210179812 A KR 1020210179812A KR 20210179812 A KR20210179812 A KR 20210179812A KR 20220102101 A KR20220102101 A KR 20220102101A
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KR1020210179812A
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겐타로 데라시
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

The present invention is to provide an assistant device capable of automatically loading a dressing board into a cutting device. The assistant device connected to the cutting device includes a dressing board accommodating unit for accommodating a dressing board for dressing a cutting blade and a holding means for holding the dressing board accommodated in the dressing board accommodating unit, and the dressing board held by the holding means is carried onto a sub table disposed adjacent to a chuck table.

Description

보조 장치{ASSISTANT DEVICE}ASSISTANT DEVICE

본 발명은 절삭 장치에 연결되는 보조 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an auxiliary device connected to a cutting device.

IC, LSI 등의 복수의 디바이스가 교차하는 복수의 분할 예정 라인에 의해 구획되어 표면에 형성된 웨이퍼는, 절삭 장치에 의해 개개의 디바이스 칩으로 분할되고, 분할된 각 디바이스 칩은 휴대 전화, 퍼스널 컴퓨터 등의 전기 기기에 이용된다.A wafer divided by a plurality of division lines intersecting a plurality of devices such as IC and LSI and formed on the surface thereof is divided into individual device chips by a cutting device, and each divided device chip is used for a mobile phone, a personal computer, etc. used in electrical equipment.

절삭 장치는, 웨이퍼를 유지하는 유지면을 구비한 척 테이블과, 척 테이블에 유지된 웨이퍼를 절삭하는 절삭 블레이드를 고정 너트로 장착한 절삭 유닛과, 척 테이블을 X 축 방향으로 가공 이송하는 X 축 이송 수단과, 절삭 유닛을 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 산출 이송하는 Y 축 이송 수단과, X 축 방향 및 Y 축 방향과 직교하는 Z 축 방향으로 절삭 유닛을 절입 이송하는 Z 축 이송 수단을 구비하고, 유지면은 X 축 방향 및 Y 축 방향으로 규정되어 있어, 웨이퍼를 고정밀도로 개개의 디바이스 칩으로 분할할 수 있다.The cutting device includes: a chuck table having a holding surface for holding a wafer; a cutting unit having a cutting blade for cutting the wafer held on the chuck table mounted with a fixing nut; and an X axis for machining and feeding the chuck table in the X-axis direction. A feeding means, Y-axis feeding means for calculating and feeding the cutting unit in the Y-axis direction perpendicular to the X-axis direction, and Z-axis feeding means for cutting and feeding the cutting unit in the X-axis direction and the Z-axis direction orthogonal to the Y-axis direction and the holding surface is defined in the X-axis direction and the Y-axis direction, so that the wafer can be divided into individual device chips with high precision.

피가공물의 절삭 가공을 반복하면, 절삭 블레이드에 날 무뎌짐이 발생하여 절삭 성능이 저하되어 버리므로, 적시에, 절삭 블레이드의 절삭날을 수정하는 드레싱 (날 세우기) 을 실시할 필요가 있으며, 드레싱은, 결합재를 사용하여 지립을 판상으로 형성한 드레싱 보드를 척 테이블에 재치 (載置) 하고, 절삭 블레이드로 드레싱 보드를 절삭함으로써 실시된다 (예를 들어 특허문헌 1 참조).If the cutting of the workpiece is repeated, the cutting blade becomes dull and the cutting performance decreases. Therefore, it is necessary to perform dressing (sharpening) to correct the cutting edge of the cutting blade in a timely manner. Silver is performed by placing a dressing board in which abrasive grains are formed in a plate shape using a binder on a chuck table, and cutting the dressing board with a cutting blade (see, for example, Patent Document 1).

일본 공개특허공보 2007-203429호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2007-203429

그러나, 절삭 블레이드의 절삭날을 수정하는 드레싱을 실시하는 경우, 오퍼레이터가 드레싱 보드를 준비하지 않으면 안되어 번거롭기 그지없다는 문제가 있다.However, when performing dressing which corrects the cutting edge of a cutting blade, there exists a problem that an operator must prepare a dressing board, and it is troublesome.

따라서, 본 발명의 목적은, 드레싱 보드를 자동적으로 절삭 장치에 반입할 수 있는 보조 장치를 제공하는 것이다.Therefore, an object of this invention is to provide the auxiliary apparatus which can carry in a dressing board to a cutting device automatically.

본 발명에 의하면, 피가공물을 유지하는 유지면을 구비한 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 장착한 절삭 유닛과, 그 척 테이블을 X 축 방향으로 가공 이송하는 X 축 이송 수단과, 그 절삭 유닛을 그 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 산출 이송하는 Y 축 이송 수단과, 그 X 축 방향 및 그 Y 축 방향과 직교하는 Z 축 방향으로 그 절삭 유닛을 절입 이송하는 Z 축 이송 수단을 구비하고, 그 유지면은 그 X 축 방향 및 그 Y 축 방향으로 규정된 절삭 장치에 연결되는 보조 장치로서, 절삭 블레이드를 드레싱하기 위한 드레싱 보드를 수용하는 드레싱 보드 수용부와, 그 드레싱 보드 수용부에 수용된 드레싱 보드를 유지하는 유지 수단을 구비하고, 그 척 테이블에 인접해서 배치 형성된 서브 테이블에 그 유지 수단이 유지한 드레싱 보드를 반입하는 보조 장치가 제공된다.According to the present invention, there is provided a chuck table having a holding surface for holding a workpiece, a cutting unit equipped with a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table, and machining and feeding the chuck table in the X-axis direction. X-axis feeding means, Y-axis feeding means for calculating and feeding the cutting unit in the Y-axis direction orthogonal to the X-axis direction, and the cutting unit in the X-axis direction and the Z-axis direction orthogonal to the Y-axis direction A dressing board containing a dressing board for dressing a cutting blade as an auxiliary device having a Z-axis feeding means for plunging feed, the holding surface of which is connected to a cutting device defined in its X-axis direction and its Y-axis direction There is provided an auxiliary device comprising a portion and holding means for holding a dressing board accommodated in the dressing board accommodating portion, and for loading the dressing board held by the holding means into a sub-table disposed and formed adjacent to the chuck table.

바람직하게는, 그 유지 수단은, 프레임체의 내부에 배치 형성된 제1 이동체에 배치 형성되고, 그 제1 이동체는 제2 이동체의 하부에 배치 형성된 X 축 방향으로 연장되는 제1 가이드 레일에 매달린 상태로 슬라이딩 가능하게 지지되고, 그 제2 이동체는 그 프레임체의 천정부에 배치 형성된 X 축 방향으로 연장되는 제2 가이드 레일에 매달린 상태로 슬라이딩 가능하게 지지되고, 그 유지 수단은 그 제1 이동체 및 그 제2 이동체에 의해 X 축 방향으로 자유롭게 진출할 수 있도록 구성된다. 바람직하게는, 그 프레임체는 승강 테이블에 배치 형성된다.Preferably, the holding means is disposed on a first movable body disposed and formed inside the frame body, and the first movable body is suspended from a first guide rail extending in the X-axis direction disposed below the second movable body. and the second movable body is slidably supported while being suspended from a second guide rail extending in the X-axis direction disposed on the ceiling of the frame body, and the holding means includes the first movable body and its holding means. It is configured so that it can advance freely in the X-axis direction by the second moving body. Preferably, the frame body is arranged and formed on the lifting table.

본 발명의 보조 장치는, 드레싱 보드를 자동적으로 절삭 장치에 반입할 수 있다.The auxiliary apparatus of this invention can carry in a dressing board to a cutting apparatus automatically.

도 1 은, 본 발명 실시형태의 보조 장치의 사시도이다.
도 2 는, 도 1 에 나타내는 절삭 블레이드 보관 유닛의 분해 사시도이다.
도 3 은, 도 2 에 나타내는 지지축의 사시도이다.
도 4 는, 도 2 에 나타내는 지지축의 단면도이다.
도 5 는, 도 1 에 나타내는 반출입 유닛의 사시도이다.
도 6 은, 도 1 에 나타내는 프레임체, 승강 테이블 및 베이스 가대의 분해 사시도이다.
도 7 은, 도 1 에 나타내는 프레임체의 분해 사시도이다.
도 8 은, 유지 수단이 배치 형성된 프레임체의 분해 사시도이다.
도 9 는, 도 8 에 나타내는 드레싱 보드 및 단면 수정 지그의 사시도이다.
도 10 은, 도 1 에 나타내는 보조 장치가 연결되는 절삭 장치의 사시도이다.
도 11 은, 도 10 에 나타내는 척 테이블의 사시도이다.
도 12 는, 도 10 에 나타내는 절삭 유닛의 사시도이다.
도 13 은, 도 12 에 나타내는 블레이드 커버가 개방된 상태에 있어서의 절삭 유닛의 사시도이다.
도 14 는, 도 10 에 나타내는 절삭 유닛의 분해 사시도이다.
도 15 는, 도 1 에 나타내는 보조 장치가 도 10 에 나타내는 절삭 장치에 연결된 상태를 나타내는 사시도이다.
도 16 은, 도 1 에 나타내는 보조 장치의 절삭 블레이드 보관 유닛과 반출입 유닛이 대면하고 있는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 17 은, 도 16 에 나타내는 상태로부터 프레임체가 절삭 블레이드 보관 유닛을 향하여 전진한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 18 은, 도 17 에 나타내는 상태로부터 프레임체가 후퇴함과 동시에, 승강 테이블이 상승한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 19 는, 도 18 에 나타내는 상태로부터 제1 이동체가 절삭 장치를 향하여 전진한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 20 은, 도 19 에 나타내는 상태로부터 제2 이동체가 절삭 장치를 향하여 전진한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 21 은, 도 8 에 나타내는 반출입 유닛에 의해 드레싱 보드를 반입하고 있는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 22 는, 드레싱을 실시하고 있는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 23 은, 도 8 에 나타내는 반출입 유닛에 의해 단면 수정 지그를 반입하고 있는 상태를 나타내는 사시도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view of the auxiliary|assistant apparatus of embodiment of this invention.
FIG. 2 is an exploded perspective view of the cutting blade storage unit shown in FIG. 1 .
FIG. 3 is a perspective view of the support shaft shown in FIG. 2 .
4 : is sectional drawing of the support shaft shown in FIG.
5 : is a perspective view of the carrying in/out unit shown in FIG.
Fig. 6 is an exploded perspective view of the frame body, the elevating table, and the base mount shown in Fig. 1 .
Fig. 7 is an exploded perspective view of the frame body shown in Fig. 1 .
Fig. 8 is an exploded perspective view of a frame in which holding means are arranged.
It is a perspective view of the dressing board and cross-section correction jig shown in FIG.
Fig. 10 is a perspective view of a cutting device to which the auxiliary device shown in Fig. 1 is connected.
11 is a perspective view of the chuck table shown in FIG. 10 .
12 is a perspective view of the cutting unit shown in FIG. 10 .
Fig. 13 is a perspective view of the cutting unit in a state in which the blade cover shown in Fig. 12 is opened.
Fig. 14 is an exploded perspective view of the cutting unit shown in Fig. 10 .
Fig. 15 is a perspective view showing a state in which the auxiliary device shown in Fig. 1 is connected to the cutting device shown in Fig. 10 .
It is a perspective view which shows the state in which the cutting blade storage unit of the auxiliary device shown in FIG. 1 and the carrying-in/out unit are facing each other.
Fig. 17 is a perspective view showing a state in which the frame body has advanced toward the cutting blade storage unit from the state shown in Fig. 16 .
Fig. 18 is a perspective view showing a state in which the elevating table is raised while the frame body retreats from the state shown in Fig. 17 .
Fig. 19 is a perspective view showing a state in which the first movable body has advanced toward the cutting device from the state shown in Fig. 18 .
Fig. 20 is a perspective view showing a state in which the second movable body has advanced toward the cutting device from the state shown in Fig. 19 .
It is a perspective view which shows the state which is carrying in the dressing board by the carrying-in/out unit shown in FIG.
It is a perspective view which shows the state which is performing dressing.
FIG. 23 : is a perspective view which shows the state which is carrying in the cross-section correction jig by the carrying-out unit shown in FIG.

이하, 본 발명 실시형태의 보조 장치에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the auxiliary apparatus of embodiment of this invention is demonstrated, referring drawings.

도 1 을 참조하여 설명하면, 전체를 부호 2 로 나타내는 보조 장치는, 복수의 절삭 블레이드를 보관하는 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 과, 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 으로부터 절삭 블레이드를 반출 및 반입하는 반출입 유닛 (6) 과, 반출입 유닛 (6) 을 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 대하여 Y 축 방향의 작용 위치와 퇴피 위치에 위치 부여하는 Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 과, 반출입 유닛 (6) 을 Z 축 방향으로 이동하는 Z 축 이동 기구 (10) 와, 반출입 유닛 (6) 을 X 축 방향으로 이동하여, 절삭 장치의 절삭 유닛의 스핀들에 장착된 절삭 블레이드에 작용하는 X 축 이동 기구 (12), 를 적어도 구비한다. 또한, X 축 방향은 도 1 에 화살표 X 로 나타내는 방향이고, Y 축 방향은 도 1 에 화살표 Y 로 나타내는 방향으로서 X 축 방향으로 직교하는 방향이며, Z 축 방향은 도 1 에 화살표 Z 로 나타내는 방향으로서 X 축 방향 및 Y 축 방향으로 직교하는 상하 방향이다. 또, X 축 방향 및 Y 축 방향이 규정하는 평면은 실질상 수평이다.Referring to FIG. 1 , the auxiliary device indicated by reference numeral 2 in its entirety includes a cutting blade storage unit 4 for storing a plurality of cutting blades, and carrying in/out for carrying out and carrying in cutting blades from the cutting blade storage unit 4 . A Y-axis direction positioning unit 8 for positioning the unit 6 and the carrying-in/out unit 6 at an action position and a retracted position in the Y-axis direction with respect to the cutting blade storage unit 4, and a carrying-in/out unit 6 A Z-axis movement mechanism 10 for moving in the Z-axis direction, and an X-axis movement mechanism 12 for moving the loading/unloading unit 6 in the X-axis direction to act on the cutting blade mounted on the spindle of the cutting unit of the cutting device. ), at least. In addition, the X-axis direction is a direction indicated by an arrow X in FIG. 1 , the Y-axis direction is a direction indicated by an arrow Y in FIG. 1 , and is orthogonal to the X-axis direction, and the Z-axis direction is a direction indicated by an arrow Z in FIG. 1 . as the vertical direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction. Further, the planes defined by the X-axis direction and the Y-axis direction are substantially horizontal.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 은, Y 축 방향으로 연장되는 회전축 (14) 을 갖는 구동 기어 (16) 와, 구동 기어 (16) 와 Z 축 방향으로 이간하고 Y 축 방향으로 연장되는 회전축 (18) 을 갖는 종동 기어 (20) 와, 구동 기어 (16) 와 종동 기어 (20) 에 감긴 무한 궤도 (22) 와, 무한 궤도 (22) 에 소정의 간격으로 배치 형성되고 절삭 블레이드의 중앙 개구부에 삽입되어 절삭 블레이드를 지지하는 Y 축 방향으로 연장되는 지지축 (24) 을 포함한다.As shown in FIG. 2 , the cutting blade storage unit 4 is spaced apart from the drive gear 16 having the rotation shaft 14 extending in the Y-axis direction, and the drive gear 16 in the Z-axis direction, in the Y-axis direction. A driven gear 20 having a rotating shaft 18 extending from and a support shaft 24 that is inserted into the central opening of the blade and extends in the Y-axis direction for supporting the cutting blade.

도 1 및 도 2 를 참조하여 설명하면, 본 실시형태의 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 은, 베이스판 (26) (도 1 참조) 과, 베이스판 (26) 의 상면으로부터 상방으로 연장되는 지지벽 (28) 과, 지지벽 (28) 의 편면에 고정된 모터 (30) 를 포함한다. 도 2 에 나타내는 바와 같이, 모터 (30) 에는, 구동 기어 (16) 의 회전축 (14) 이 연결되어 있고, 모터 (30) 는, Y 축 방향을 축심으로 하여 구동 기어 (16) 를 회전시키도록 되어 있다.1 and 2 , the cutting blade storage unit 4 of the present embodiment includes a base plate 26 (refer to FIG. 1 ) and a support wall extending upward from the upper surface of the base plate 26 . (28) and a motor (30) fixed to one side of the support wall (28). As shown in FIG. 2 , the rotation shaft 14 of the drive gear 16 is connected to the motor 30 , and the motor 30 rotates the drive gear 16 with the Y-axis direction as an axial center. has been

도 2 에 나타내는 바와 같이, 종동 기어 (20) 는 구동 기어 (16) 의 상방에 배치되고, 종동 기어 (20) 의 회전축 (18) 은, Y 축 방향을 축심으로 하여 자유롭게 회전할 수 있도록 또한 Z 축 방향으로 자유롭게 승강할 수 있도록 지지벽 (28) 에 지지되어 있다. 지지벽 (28) 에는, 종동 기어 (20) 를 Z 축 방향으로 승강시키는 승강 수단 (도시되어 있지 않다) 이 형성되어 있다. 승강 수단은, 종동 기어 (20) 의 회전축 (18) 에 연결되고 Z 축 방향으로 연장되는 볼 나사와, 이 볼 나사를 회전시키는 모터를 갖는 구성이어도 된다.As shown in FIG. 2 , the driven gear 20 is disposed above the drive gear 16 , and the rotation shaft 18 of the driven gear 20 can rotate freely with the Y axis direction as the axis, and Z It is supported by the support wall 28 so that it can raise/lower freely in the axial direction. The support wall 28 is provided with lifting means (not shown) for raising and lowering the driven gear 20 in the Z-axis direction. The lifting means may have a configuration including a ball screw connected to the rotation shaft 18 of the driven gear 20 and extending in the Z-axis direction, and a motor that rotates the ball screw.

무한 궤도 (22) 는, 상호 연결된 다수의 링크편 (부호 생략) 으로 구성되어 있고, 구동 기어 (16) 와 종동 기어 (20) 에 감겨 있다. 무한 궤도 (22) 는, 모터 (30) 에 의해 구동 기어 (16) 가 회전하는 데 따라서 회전하도록 되어 있다.The caterpillar 22 is constituted by a plurality of interconnected link pieces (symbols omitted), and is wound around a driving gear 16 and a driven gear 20 . The caterpillar 22 rotates as the drive gear 16 rotates by the motor 30 .

본 실시형태의 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 있어서는, 승강 수단으로 종동 기어 (20) 의 Z 축 방향의 위치를 바꿈으로써, 구동 기어 (16) 와 종동 기어 (20) 의 Z 축 방향의 간격을 조정할 수 있도록 되어 있다. 또, 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 있어서는, 무한 궤도 (22) 의 링크편의 수량을 적절히 증감함으로써, 무한 궤도 (22) 의 길이도 조정할 수 있도록 되어 있다.In the cutting blade storage unit 4 of the present embodiment, by changing the position of the driven gear 20 in the Z axis direction with the lifting means, the distance in the Z axis direction between the drive gear 16 and the driven gear 20 is reduced. It is adjustable. Moreover, in the cutting blade storage unit 4, the length of the caterpillar 22 can also be adjusted by increasing/decreasing the quantity of the link piece of the caterpillar 22 suitably.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 지지축 (24) 은, 소정의 간격을 두고 무한 궤도 (22) 에 복수 배치 형성되어 있다. 또, 도 2 와 함께 도 3 을 참조함으로써 이해되는 바와 같이, 지지축 (24) 은, 무한 궤도 (22) 에 연결된 원기둥 형상의 기부 (32) 와, 기부 (32) 의 단면 (端面) 으로부터 Y 축 방향으로 연장되는 원기둥 형상의 축부 (34) 를 갖는다. 축부 (34) 의 직경은 기부 (32) 의 직경보다 작다.As shown in FIG. 2, the support shaft 24 is arrange|positioned in multiple numbers by the caterpillar 22 at predetermined intervals. Moreover, as understood by referring to FIG. 3 together with FIG. 2, the support shaft 24 is Y from the cylindrical base 32 connected to the caterpillar 22, and the cross section of the base 32. It has a cylindrical shaft part 34 extending in the axial direction. The diameter of the shaft portion 34 is smaller than the diameter of the base portion 32 .

도 3 에는, 지지축 (24) 에 지지되는 절삭 블레이드 (36) 도 도시되어 있다. 절삭 블레이드 (36) 는, 환상 (環狀) 의 기대 (38) 와, 기대 (38) 의 외주부에 고정된 환상의 절삭날 (40) 을 갖는다. 기대 (38) 는, 알루미늄 합금 등의 적절한 금속 재료로부터 형성될 수 있다. 기대 (38) 의 중앙부에는, 원형의 중앙 개구부 (38a) 가 형성되어 있다. 절삭날 (40) 은, 다이아몬드 등의 지립과, 금속이나 수지 등의 결합재로부터 소정의 두께 (예를 들어 10 ∼ 30 ㎛ 정도) 로 형성되어 있고, 기대 (38) 의 외주연으로부터 지름 방향 외측으로 돌출되어 있다.3 also shows a cutting blade 36 supported on a support shaft 24 . The cutting blade 36 has an annular base 38 and an annular cutting edge 40 fixed to the outer periphery of the base 38 . The base 38 may be formed from a suitable metallic material, such as an aluminum alloy. A circular central opening 38a is formed in the central portion of the base 38 . The cutting edge 40 is formed from abrasive grains such as diamond and a binder such as metal or resin to a predetermined thickness (for example, about 10 to 30 µm), and radially outward from the outer periphery of the base 38 . is protruding

지지축 (24) 에 있어서는, 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 에 축부 (34) 가 삽입되고, 복수 (예를 들어 5 개) 의 절삭 블레이드 (36) 를 축부 (34) 로 지지하도록 되어 있다. 본 실시형태에서는, 도 2 를 참조함으로써 이해되는 바와 같이, 복수의 지지축 (24) 중 절반수의 지지축 (24) 에 절삭 블레이드 (36) 가 지지되어 있다. 또, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 축부 (34) 의 선단측에는, 축부 (34) 로 지지한 절삭 블레이드 (36) 의 튀어나옴을 방지하기 위한 복수의 볼 플런저 (42) 가 둘레 방향으로 간격을 두고 장착되어 있다.In the support shaft 24 , the shaft portion 34 is inserted into the central opening 38a of the cutting blade 36 , and a plurality (for example, five) of the cutting blades 36 are supported by the shaft portion 34 . has been In this embodiment, the cutting blade 36 is supported by the support shaft 24 of the half number among the some support shaft 24 so that it may understand by referring FIG. Moreover, as shown in FIG. 3, at the front-end|tip side of the shaft part 34, the some ball plunger 42 for preventing the protrusion of the cutting blade 36 supported by the shaft part 34 is spaced in the circumferential direction. is fitted

도 4 에 나타내는 바와 같이, 지지축 (24) 의 각 기부 (32) 의 내부에는 유로 (32a) 가 형성되어 있고, 각 유로 (32a) 의 일단부에 연통하는 복수의 유로 (22a) 가 무한 궤도 (22) 에 형성되어 있다. 각 유로 (32a) 의 타단부는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 축부 (34) 보다 직경 방향 외측의 기부 (32) 의 단면에 있어서 개구되어 있다. 또, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 지지벽 (28) 에는, 구동 기어 (16) 의 하방에 있어서 Y 축 방향으로 돌출하는 에어 노즐 (44) 이 형성되어 있고, 에어 노즐 (44) 은, 고압 에어 공급 수단 (도시되어 있지 않다) 에 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 무한 궤도 (22) 의 회전에 수반하는 지지축 (24) 의 궤도에 있어서 최하단에 위치하는 지지축 (24) 과, 에어 노즐 (44) 의 선단이 대면하고 있다.As shown in FIG. 4, the flow path 32a is formed in the inside of each base 32 of the support shaft 24, and the some flow path 22a communicating with one end of each flow path 32a is a caterpillar. (22) is formed. The other end of each flow path 32a is opened in the cross section of the base 32 radially outward from the shaft part 34, as shown in FIG. Moreover, as shown in FIG. 2, the air nozzle 44 which protrudes in the Y-axis direction below the drive gear 16 is formed in the support wall 28, The air nozzle 44 is high-pressure air It is connected to a supply means (not shown). In this embodiment, in the orbit of the support shaft 24 accompanying rotation of the caterpillar 22, the support shaft 24 located at the lowest stage and the front-end|tip of the air nozzle 44 are facing.

그리고, 축부 (34) 의 선단측에 위치하는 절삭 블레이드 (36) 가 반출된 경우에, 에어 노즐 (44) 로부터 무한 궤도 (22) 의 유로 (22a) 를 통해서, 최하단에 위치하는 지지축 (24) 의 기부 (32) 의 유로 (32a) 에 고압 에어를 공급함으로써, 축부 (34) 에 남겨진 절삭 블레이드 (36) 를 축부 (34) 의 선단측으로 밀어 낼 수 있도록 되어 있다. 단, 볼 플런저 (42) 의 작용에 의해 절삭 블레이드 (36) 가 축부 (34) 로부터 낙하하는 경우는 없다.And when the cutting blade 36 located on the tip side of the shaft portion 34 is taken out, the support shaft 24 located at the lowest end from the air nozzle 44 through the flow passage 22a of the caterpillar 22 . ), by supplying high-pressure air to the flow path 32a of the base portion 32 , the cutting blade 36 left in the shaft portion 34 can be pushed out toward the tip side of the shaft portion 34 . However, the cutting blade 36 does not fall from the shaft portion 34 by the action of the ball plunger 42 .

도 5 를 참조하여 반출입 유닛 (6) 에 대해서 설명한다. 반출입 유닛 (6) 은, Z 축 방향으로 연장되는 Z 회전축 (46) 과, Z 회전축 (46) 에 방사상으로 연결되고 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지하는 블레이드 유지부 (48) 와, 고정 너트를 절삭 장치의 스핀들의 선단에 형성된 수나사에 나사조임 및 나사풀림하는 고정 너트 유지부 (50) 를 적어도 구비한다.The carrying in/out unit 6 is demonstrated with reference to FIG. The carry-in/out unit 6 includes a Z-rotation shaft 46 extending in the Z-axis direction, a blade holding part 48 radially connected to the Z-rotation shaft 46 and holding the cutting blade 36 by suction, and a fixing nut. At least a fixing nut holding portion 50 for screwing and unscrewing a male screw formed at the tip of the spindle of the cutting device is provided.

도 5 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 반출입 유닛 (6) 은 추가로 케이싱 (52) 을 구비하고, 케이싱 (52) 은, 정육각형상의 천판 (54) 과, 천판 (54) 의 둘레 가장자리로부터 수하 (垂下) 하는 직사각형 판상의 6 개의 측벽 (56) 을 갖는다. 천판 (54) 의 상면으로부터는 상기 Z 회전축 (46) 이 돌출되어 있다. 케이싱 (52) 의 내부에는, Z 회전축 (46) 에 연결된 모터 (도시되어 있지 않다) 가 수용되어 있다.As shown in FIG. 5, the carrying in/out unit 6 of this embodiment is further equipped with the casing 52, The casing 52 is lowered from the periphery of the regular hexagon-shaped top plate 54 and the top plate 54. It has six sidewalls 56 in the shape of a rectangular plate. The Z rotation shaft 46 protrudes from the upper surface of the top plate 54 . A motor (not shown) connected to the Z rotation shaft 46 is accommodated inside the casing 52 .

본 실시형태에서는, 케이싱 (52) 의 6 개의 측벽 (56) 중, 4 개의 측벽 (56) 에는 블레이드 유지부 (48) 가 장착되고, 2 개의 측벽 (56) 에는 고정 너트 유지부 (50) 가 장착되어 있고, 2 개의 고정 너트 유지부 (50) 는 대향하는 1 쌍의 측벽 (56) 에 형성되어 있다. 이와 같이 반출입 유닛 (6) 은, 1 개의 고정 너트 유지부 (50) 에 대하여 2 개의 블레이드 유지부 (48) 를 구비하고 있다.In the present embodiment, of the six side walls 56 of the casing 52 , the blade holding parts 48 are mounted on four side walls 56 , and the fixing nut holding parts 50 are mounted on the two side walls 56 . mounted, and two fixing nut retaining portions 50 are formed on a pair of opposing sidewalls 56 . In this way, the carrying-in/out unit 6 is provided with the two blade holding|maintenance part 48 with respect to the one fixed nut holding|maintenance part 50. As shown in FIG.

블레이드 유지부 (48) 는 원통상으로 형성되어 있고, 블레이드 유지부 (48) 의 단면 (58) 에는, 상기 지지축 (24) 의 축부 (34) 및 절삭 장치의 스핀들의 선단부를 수용 가능한 원형의 중앙 개구부 (60) 와, 중앙 개구부 (60) 의 주위에 둘레 방향으로 등간격을 두고 배치된 복수 개의 흡인공 (62) 이 형성되어 있다. 각 흡인공 (62) 은, 흡인 수단 (도시되어 있지 않다) 에 접속되어 있다.The blade holding part 48 is formed in a cylindrical shape, and the end face 58 of the blade holding part 48 has a circular shape that can accommodate the shaft part 34 of the support shaft 24 and the tip of the spindle of the cutting device. A central opening 60 and a plurality of suction holes 62 arranged at equal intervals in the circumferential direction are formed around the central opening 60 . Each suction hole 62 is connected to a suction means (not shown).

블레이드 유지부 (48) 에 있어서는, 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 보관되어 있는 절삭 블레이드 (36) 의 기대 (38) 에 블레이드 유지부 (48) 의 단면 (58) 이 접촉하는 위치에 위치 부여된 상태에 있어서, 흡인 수단에 의해 각 흡인공 (62) 에 흡인력을 생성함으로써 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지하도록 되어 있다.In the blade holding part 48, the end face 58 of the blade holding part 48 is in contact with the base 38 of the cutting blade 36 stored in the cutting blade storage unit 4 It is positioned at a position In the state, the cutting blade 36 is held by suction by generating a suction force in each suction hole 62 by the suction means.

도 5 를 참조하여 설명을 계속하면, 고정 너트 유지부 (50) 는, 케이싱 (52) 의 측벽 (56) 에 고정된 원통상의 하우징 (64) 과, 하우징 (64) 의 내부에 자유롭게 회전할 수 있도록 수용된 환상의 회전체 (66) 와, 회전체 (66) 를 회전시키는 모터 (도시되어 있지 않다) 를 포함한다.Continuing the description with reference to FIG. 5 , the fixing nut holding part 50 includes a cylindrical housing 64 fixed to the side wall 56 of the casing 52 , and freely rotating inside the housing 64 . It includes an annular rotating body 66 accommodated so as to be able to do so, and a motor (not shown) for rotating the rotating body 66 .

회전체 (66) 에는, 절삭 장치의 스핀들의 선단부를 수용 가능한 중앙 개구부 (68) 가 형성되어 있다. 회전체 (66) 의 단면 (66a) 에는, 복수 개의 흡인공 (70) 과, 복수 개의 핀 (72) 이 번갈아 둘레 방향으로 간격을 두고 형성되어 있다. 각 흡인공 (70) 은, 흡인 수단 (도시되어 있지 않다) 에 접속되어 있다. 핀 (72) 은, 회전체 (66) 에 내장된 스프링 (도시되어 있지 않다) 에 의해 회전체 (66) 의 단면 (66a) 으로부터 돌출하는 위치 (도 5 에 나타내는 위치) 에 위치 부여되어 있음과 함께, 회전체 (66) 의 내부를 향하여 눌려지면, 스프링이 수축하여 회전체 (66) 의 내부에 수용된다. 또, 핀 (72) 은, 고정 너트에 형성된 핀 구멍의 위치에 대응해서 배치되어 있다.The rotating body 66 is formed with a central opening 68 that can accommodate the tip of the spindle of the cutting device. A plurality of suction holes 70 and a plurality of pins 72 are alternately formed in the end surface 66a of the rotating body 66 at intervals in the circumferential direction. Each suction hole 70 is connected to a suction means (not shown). The pin 72 is positioned at a position (a position shown in FIG. 5) protruding from the end face 66a of the rotating body 66 by a spring (not shown) incorporated in the rotating body 66; Together, when pressed toward the inside of the rotating body (66), the spring is contracted and accommodated in the rotating body (66). Moreover, the pin 72 is arrange|positioned corresponding to the position of the pin hole formed in the fixing nut.

고정 너트 유지부 (50) 에 있어서는, 흡인 수단으로 각 흡인공 (70) 에 흡인력을 생성하여 고정 너트를 흡인 유지함과 함께, 고정 너트에 형성된 핀 구멍에 핀 (72) 을 삽입한 상태에 있어서, 모터에 의해 회전체 (66) 를 회전시킴으로써, 절삭 장치의 스핀들에 절삭 블레이드 (36) 를 고정시키기 위한 고정 너트를 스핀들의 선단에 형성된 수나사에 나사조임 및 나사풀림할 수 있도록 되어 있다.In the fixing nut holding part 50, a suction force is generated in each suction hole 70 by a suction means to hold the fixing nut by suction, and the pin 72 is inserted into the pin hole formed in the fixing nut. By rotating the rotating body 66 by a motor, a fixing nut for fixing the cutting blade 36 to the spindle of the cutting device can be screwed and unscrewed to the male screw formed at the tip of the spindle.

또한, 고정 너트를 스핀들로부터 풀어낼 (떼어낼) 때에, 고정 너트 유지부 (50) 의 핀 (72) 의 위치와, 고정 너트의 핀 구멍의 위치가 어긋나 있는 경우에도, 스핀들에 장착되어 있는 고정 너트의 단면에 회전체 (66) 의 단면 (66a) 을 위치 부여하여, 핀 (72) 을 회전체 (66) 의 내부에 수용한 후에, 회전체 (66) 에 의해 모터를 회전시키면, 핀 (72) 의 위치가 핀 구멍의 위치에 정합했을 때에 스프링에 의해 핀 (72) 이 밀려 나와, 핀 구멍에 핀 (72) 이 삽입된다.In addition, even when the position of the pin 72 of the fixing nut holding part 50 and the position of the pin hole of the fixing nut are displaced when the fixing nut is unscrewed (removed) from the spindle, the fixing attached to the spindle is After positioning the end face 66a of the rotating body 66 on the end face of the nut and accommodating the pin 72 inside the rotating body 66, when the motor is rotated by the rotating body 66, the pin ( When the position of 72) matches the position of the pin hole, the pin 72 is pushed out by the spring, and the pin 72 is inserted into the pin hole.

상기와 같이 구성될 수 있는 반출입 유닛 (6) 은, 본 실시형태에서는 도 1 에 나타내는 바와 같이, 프레임체 (74) 의 내부에 배치 형성되어 있다. 프레임체 (74) 는, 승강 테이블 (76) 에 Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 지지되고, 승강 테이블 (76) 은, 베이스 가대 (78) 에 Z 축 방향으로 자유롭게 승강할 수 있도록 지지되어 있다.The carrying in/out unit 6 which can be comprised as mentioned above is arrange|positioned inside the frame body 74, as shown in FIG. 1 in this embodiment. The frame body 74 is supported by the raising/lowering table 76 so that it can move freely in the Y-axis direction, and the raising/lowering table 76 is supported by the base mount 78 so that it can freely move up and down in the Z-axis direction.

도 1 과 함께 도 6 을 참조하여 설명하면, 프레임체 (74) 는, 직사각형 판상의 저부 (80) 와, 저부 (80) 의 상면 네 귀퉁이로부터 상방으로 연장되는 4 개의 지주 (82) 와, 각 지주 (82) 의 상단에 고정된 판상의 천정부 (84) (도 1 참조) 를 포함한다. 저부 (80) 의 하면에는, Y 축 방향으로 연장되는 홈 (86a) 이 형성된 피가이드 부재 (86) 가 X 축 방향으로 간격을 두고 1 쌍 형성되어 있다.When it demonstrates with reference to FIG. 6 together with FIG. 1, the frame body 74 has the rectangular plate-shaped bottom part 80, the four support|pillars 82 extending upward from the upper surface four corners of the bottom part 80, and each and a plate-shaped ceiling portion 84 (see Fig. 1) fixed to the upper end of the post 82. On the lower surface of the bottom part 80, a pair of guide members 86 with grooves 86a extending in the Y-axis direction are formed at intervals in the X-axis direction.

승강 테이블 (76) 은, 직사각형 판상의 천판 (88) 과, 천판 (88) 의 하면 네 귀퉁이로부터 하방으로 연장되는 4 개의 원기둥 형상의 다리부 (90) 를 포함한다. 천판 (88) 의 상면에는, X 축 방향으로 간격을 두고 Y 축 방향으로 연장되는 1 쌍의 가이드 레일 (92) 이 형성되어 있고 1 쌍의 가이드 레일 (92) 은, 프레임체 (74) 의 한 쌍의 피가이드 부재 (86) 의 홈 (86a) 에 자유롭게 슬라이딩 할 수 있도록 끼워 맞춰져 있다.The lifting table 76 includes a rectangular plate-shaped top plate 88 and four columnar leg portions 90 extending downward from the four lower surfaces of the top plate 88 . A pair of guide rails 92 extending in the Y-axis direction at intervals in the X-axis direction are formed on the upper surface of the top plate 88 , and the pair of guide rails 92 are one of the frame body 74 . It is fitted so that it can slide freely in the groove|channel 86a of the pair to be guided member 86.

또, 승강 테이블 (76) 의 천판 (88) 의 상면에는, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 이 형성되어 있다. Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 은, 1 쌍의 가이드 레일 (92) 사이에 있어서 Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (94) 와, 볼 나사 (94) 를 회전시키는 모터 (96) 를 갖는다. 볼 나사 (94) 의 너트부 (도시되어 있지 않다) 는, 프레임체 (74) 의 저부 (80) 의 하면에 고정되어 있다.Moreover, the Y-axis direction positioning unit 8 is formed in the upper surface of the top plate 88 of the raising/lowering table 76. As shown in FIG. The Y-axis direction positioning unit 8 includes a ball screw 94 extending in the Y-axis direction between a pair of guide rails 92 , and a motor 96 for rotating the ball screw 94 . A nut portion (not shown) of the ball screw 94 is being fixed to the lower surface of the bottom portion 80 of the frame body 74 .

Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 에 있어서는, 볼 나사 (94) 에 의해 모터 (96) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 프레임체 (74) 에 전달하고, 1 쌍의 가이드 레일 (92) 을 따라서 프레임체 (74) 를 Y 축 방향으로 이동시킨다. 이와 같이, 반출입 유닛 (6) 이 배치 형성된 프레임체 (74) 는, 승강 테이블 (76) 에 배치 형성된 Y 축 방향으로 연장되는 가이드 레일 (92) 에 슬라이딩 가능하게 지지되고, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 에 의해 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 대하여 Y 축 방향의 작용 위치와 퇴피 위치에 위치 부여되도록 되어 있다.In the Y-axis direction positioning unit 8, the rotational motion of the motor 96 is converted into a linear motion by the ball screw 94 and transmitted to the frame body 74, and a pair of guide rails 92 are Accordingly, the frame body 74 is moved in the Y-axis direction. In this way, the frame body 74 in which the carrying-in/out unit 6 was arranged is supported slidably by the guide rail 92 extending in the Y-axis direction arranged and formed on the elevating table 76, and is a Y-axis direction positioning unit. By (8), it is positioned with respect to the cutting blade storage unit 4 at the operating position and the retracted position in the Y-axis direction.

상기 작용 위치는, 반출입 유닛 (6) 의 블레이드 유지부 (48) 가 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 접근한 위치로서, 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 지지되어 있는 절삭 블레이드 (36) 를 블레이드 유지부 (48) 에 의해 흡인 유지 가능한 위치이다. 또, 상기 퇴피 위치는, 상기 작용 위치보다 반출입 유닛 (6) 의 블레이드 유지부 (48) 가 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 으로부터 이간한 위치이다.The operating position is a position where the blade holding portion 48 of the carry-in/out unit 6 approaches the cutting blade storage unit 4, and holds the cutting blade 36 supported by the cutting blade storage unit 4 as a blade. It is a position which can be held by suction by the part 48. Moreover, the said retracted position is a position where the blade holding part 48 of the carrying-in/out unit 6 is spaced apart from the cutting blade storage unit 4 rather than the said action position.

도 6 에 나타내는 바와 같이, 베이스 가대 (78) 는, 프레임 (98) 과, 프레임 (98) 의 상부에 고정된 직사각형상의 베이스판 (100) 을 포함한다. 베이스판 (100) 의 네 귀퉁이에는, 승강 테이블 (76) 의 다리부 (90) 가 자유롭게 슬라이딩 할 수 있도록 삽입되는 4 개의 원형 구멍 (102) 이 형성되어 있다. 또, 베이스판 (100) 의 중앙부에는 암나사 (104) 가 형성되어 있다.As shown in FIG. 6 , the base mount 78 includes a frame 98 and a rectangular base plate 100 fixed to the upper portion of the frame 98 . Four circular holes 102 are formed in the four corners of the base plate 100 so that the leg part 90 of the raising/lowering table 76 can slide freely. Moreover, the female screw 104 is formed in the center part of the base plate 100. As shown in FIG.

도 6 을 참조하여 설명을 계속하면, 승강 테이블 (76) 및 베이스 가대 (78) 에는, Z 축 이동 기구 (10) 가 연결되어 있다. Z 축 이동 기구 (10) 는, Z 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (106) 와, 볼 나사 (106) 를 회전시키는 모터 (108) 와, 모터 (108) 의 상단에 고정된 연결판 (110) 을 포함한다. 볼 나사 (106) 는, 베이스판 (100) 의 암나사 (104) 에 나사 결합되어 있다. 연결판 (110) 은, 승강 테이블 (76) 의 천판 (88) 의 하면에 볼트 (도시되어 있지 않다) 등의 적절한 연결 수단에 의해 고정되어 있다.If the description is continued with reference to FIG. 6 , the Z-axis movement mechanism 10 is connected to the lifting table 76 and the base mount 78 . The Z-axis movement mechanism 10 includes a ball screw 106 extending in the Z-axis direction, a motor 108 rotating the ball screw 106 , and a connecting plate 110 fixed to the upper end of the motor 108 . includes The ball screw 106 is screwed to the female screw 104 of the base plate 100 . The connecting plate 110 is being fixed to the lower surface of the top plate 88 of the elevating table 76 by appropriate connecting means such as bolts (not shown).

Z 축 이동 기구 (10) 에 있어서는, 볼 나사 (106) 에 의해 모터 (108) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하고, 베이스 가대 (78) 에 대하여 승강 테이블 (76) 을 승강시킴으로써, 반출입 유닛 (6) 이 배치 형성된 프레임체 (74) 를 Z 축 방향으로 이동시킨다.In the Z-axis movement mechanism 10, the rotary motion of the motor 108 is converted into a linear motion by the ball screw 106, and the lifting table 76 is raised and lowered with respect to the base mount 78, whereby the carrying-in/out unit ( 6) The arranged frame 74 is moved in the Z-axis direction.

도 7 을 참조하여 설명하면, 반출입 유닛 (6) 은, 프레임체 (74) 의 내부에 배치 형성된 제1 이동체 (112) 에 배치 형성되고, 제1 이동체 (112) 는 제2 이동체 (114) 의 하부에 배치 형성된 X 축 방향으로 연장되는 제1 가이드 레일 (116) 에 매달린 상태로 슬라이딩 가능하게 지지되고, 제2 이동체 (114) 는 프레임체 (74) 의 천정부 (84) 에 배치 형성된 X 축 방향으로 연장되는 제2 가이드 레일 (118) 에 매달린 상태로 슬라이딩 가능하게 지지되어 있다.When it demonstrates with reference to FIG. 7, the carrying in/out unit 6 is arrange|positioned and formed in the 1st movable body 112 arrange|positioned inside the frame body 74, The 1st movable body 112 is the 2nd movable body 114. The second movable body 114 is slidably supported in a state of being suspended by the first guide rail 116 extending in the X-axis direction disposed at the lower portion, and the second movable body 114 is disposed and formed on the ceiling portion 84 of the frame body 74 in the X-axis direction. It is slidably supported in a state of being suspended on the second guide rail 118 extending to the .

제1 이동체 (112) 는, 직사각형 판상의 본체 (120) 를 갖는다. 본체 (120) 의 중앙부에는, 원형 구멍 (122) 이 형성되어 있다. 원형 구멍 (122) 에는, 반출입 유닛 (6) 의 Z 회전축 (46) 이 삽입되고, Z 회전축 (46) 은 본체 (120) 에 회전 불가능하게 고정된다. Z 회전축 (46) 에 연결되어 있는 반출입 유닛 (6) 의 모터가 구동하면, 제1 이동체 (112) 에 대하여 반출입 유닛 (6) 의 케이싱 (52) 이 회전하고, 블레이드 유지부 (48) 및 고정 너트 유지부 (50) 가 임의의 방향으로 위치 부여된다.The first movable body 112 has a rectangular plate-shaped body 120 . A circular hole 122 is formed in the central portion of the main body 120 . The Z rotation shaft 46 of the carry-in/out unit 6 is inserted into the circular hole 122 , and the Z rotation shaft 46 is non-rotatably fixed to the main body 120 . When the motor of the carry-in/out unit 6 connected to the Z-rotation shaft 46 is driven, the casing 52 of the carry-in/out unit 6 rotates with respect to the first moving body 112, and the blade holding part 48 and fixed The nut holding portion 50 is positioned in any direction.

제1 이동체 (112) 의 본체 (120) 의 상면에는, X 축 방향으로 연장되는 홈 (124a) 이 형성된 피가이드 부재 (124) 가 Y 축 방향으로 간격을 두고 1 쌍 형성되어 있음과 함께, X 축 방향으로 연장되는 관통공 (126a) 이 형성된 블록 (126) 이 고정되어 있다.On the upper surface of the main body 120 of the first movable body 112, a pair of guide members 124 having grooves 124a extending in the X-axis direction are formed at intervals in the Y-axis direction, and X A block 126 in which a through hole 126a extending in the axial direction is formed is fixed.

제2 이동체 (114) 는, 직사각형 판상의 본체 (128) 를 가지며, 제1 가이드 레일 (116) 은, 본체 (128) 의 하면에 Y 축 방향으로 간격을 두고 1 쌍 형성되어 있다. 제1 가이드 레일 (116) 은, 제1 이동체 (112) 의 한 쌍의 피가이드 부재 (124) 의 홈 (124a) 에 자유롭게 슬라이딩 할 수 있도록 끼워 맞춰져 있고, 제1 이동체 (112) 는, 제2 이동체 (114) 에 배치 형성된 제1 가이드 레일 (116) 에 매달린 상태로 슬라이딩 가능하게 지지되어 있다.The second movable body 114 has a rectangular plate-shaped main body 128 , and a pair of first guide rails 116 are formed on the lower surface of the main body 128 at intervals in the Y-axis direction. The first guide rail 116 is fitted so as to be freely slidable in the grooves 124a of the pair of guided members 124 of the first movable body 112, and the first movable body 112 includes the second It is slidably supported in the state suspended by the 1st guide rail 116 arrange|positioned on the movable body 114. As shown in FIG.

제2 이동체 (114) 의 본체 (128) 의 하방에는, 제2 이동체 (114) 에 대하여 제1 이동체 (112) 를 X 축 방향으로 이동시키는 제1 X 축 이동 기구가 형성되어 있다. 본 실시형태의 제1 X 축 이동 기구는, 에어 실린더 (130) 로 구성되어 있다. 에어 실린더 (130) 의 실린더 튜브 (130a) 는, 본체 (128) 의 하면에 고정되고, 1 쌍의 제1 가이드 레일 (116) 사이에 있어서 X 축 방향으로 연장되어 있다. 에어 실린더 (130) 의 피스톤 로드 (130b) 의 선단은, 제1 이동체 (112) 의 블록 (126) 의 관통공 (126a) 에 끼워 맞춰 연결되어 있다.A first X-axis movement mechanism for moving the first movable body 112 in the X-axis direction with respect to the second movable body 114 is formed below the main body 128 of the second movable body 114 . The 1st X-axis movement mechanism of this embodiment is comprised by the air cylinder 130. As shown in FIG. The cylinder tube 130a of the air cylinder 130 is fixed to the lower surface of the main body 128, and extends in the X-axis direction between a pair of 1st guide rails 116. As shown in FIG. The front end of the piston rod 130b of the air cylinder 130 is connected to fit into the through hole 126a of the block 126 of the first movable body 112 .

제1 X 축 이동 기구로서의 에어 실린더 (130) 는, 피스톤 로드 (130b) 를 진퇴시킴으로써, 제2 이동체 (114) 에 대하여 제1 이동체 (112) 를 제1 가이드 레일 (116) 을 따라서 X 축 방향으로 이동시킨다.The air cylinder 130 as the first X-axis movement mechanism moves the first movable body 112 with respect to the second movable body 114 along the first guide rail 116 in the X-axis direction by moving the piston rod 130b forward and backward. move to

제2 이동체 (114) 의 본체 (128) 의 상면에는, X 축 방향으로 연장되는 홈 (132a) 이 형성된 피가이드 부재 (132) 가 Y 축 방향으로 간격을 두고 1 쌍 형성되어 있음과 함께, X 축 방향으로 연장되는 암나사 (134a) 가 형성된 블록 (134) 이 고정되어 있다.On the upper surface of the main body 128 of the second movable body 114, a pair of guide members 132 having grooves 132a extending in the X-axis direction are formed at intervals in the Y-axis direction, and X A block 134 in which an axially extending female thread 134a is formed is fixed.

제2 가이드 레일 (118) 은, 프레임체 (74) 의 천정부 (84) 의 하면에 Y 축 방향으로 간격을 두고 1 쌍 형성되어 있다. 제2 가이드 레일 (118) 은, 제2 이동체 (114) 의 한 쌍의 피가이드 부재 (132) 의 홈 (132a) 에 자유롭게 슬라이딩 할 수 있도록 끼워 맞춰져 있고, 제2 이동체 (114) 는, 제2 이동체 (114) 에 배치 형성된 제1 가이드 레일 (116) 에 매달린 상태로 슬라이딩 가능하게 지지되어 있다.A pair of 2nd guide rails 118 are formed in the lower surface of the ceiling part 84 of the frame body 74 at intervals in the Y-axis direction. The second guide rail 118 is fitted so as to be freely slidable in the groove 132a of the pair of guided members 132 of the second movable body 114, and the second movable body 114 is It is slidably supported in the state suspended by the 1st guide rail 116 arrange|positioned on the movable body 114. As shown in FIG.

프레임체 (74) 의 천정부 (84) 의 하방에는, 천정부 (84) 에 대하여 제2 이동체 (114) 를 X 축 방향으로 이동시키는 제2 X 축 이동 기구 (136) 가 형성되어 있다. 본 실시형태의 제2 X 축 이동 기구 (136) 는, 1 쌍의 제2 가이드 레일 (118) 사이에 있어서 X 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (138) 와, 볼 나사 (138) 를 회전시키는 모터 (140) 를 갖는다. 볼 나사 (138) 는, 제2 이동체 (114) 의 블록 (134) 의 암나사 (134a) 에 나사 결합되어 있고, 모터 (140) 는 천정부 (84) 의 하면에 고정되어 있다.A second X-axis movement mechanism 136 for moving the second movable body 114 in the X-axis direction with respect to the ceiling portion 84 is provided below the ceiling portion 84 of the frame body 74 . The 2nd X-axis movement mechanism 136 of this embodiment includes the ball screw 138 extending in the X-axis direction between a pair of 2nd guide rails 118, and the motor which rotates the ball screw 138. (140). The ball screw 138 is screwed to the female screw 134a of the block 134 of the second movable body 114 , and the motor 140 is fixed to the lower surface of the ceiling portion 84 .

제2 X 축 이동 기구 (136) 는, 볼 나사 (138) 에 의해 모터 (140) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 제2 이동체 (114) 에 전달하고, 천정부 (84) 에 대하여 제2 이동체 (114) 를 제2 가이드 레일 (118) 을 따라서 X 축 방향으로 이동시킨다.The second X-axis movement mechanism 136 converts the rotational motion of the motor 140 into a linear motion by the ball screw 138 and transmits it to the second movable body 114 , and the second movable body with respect to the ceiling 84 . 114 is moved along the second guide rail 118 in the X-axis direction.

본 실시형태의 X 축 이동 기구 (12) 는, 제1 X 축 이동 기구로서의 에어 실린더 (130) 와, 볼 나사 (138) 및 모터 (140) 를 갖는 제2 X 축 이동 기구 (136) 를 포함한다. 본 실시형태에 있어서는, 제1 X 축 이동 기구로서의 에어 실린더 (130) 로 제1 이동체 (112) 를 이동시킴으로써, 반출입 유닛 (6) 을 재빠르게 X 축 방향으로 전진시킬 수 있음과 함께, 제2 X 축 이동 기구 (136) 로 제2 이동체 (114) 를 이동시킴으로써, 반출입 유닛 (6) 의 X 축 방향 위치를 용이하게 미세 조정할 수 있도록 되어 있다. 이와 같이, 반출입 유닛 (6) 은, 제1 이동체 (112) 및 제2 이동체 (114) 에 의해 X 축 방향으로 자유롭게 진출할 수 있도록 구성되어 있다.The X-axis movement mechanism 12 of the present embodiment includes an air cylinder 130 as a first X-axis movement mechanism, and a second X-axis movement mechanism 136 having a ball screw 138 and a motor 140 . do. In this embodiment, by moving the 1st movable body 112 by the air cylinder 130 as a 1st X-axis movement mechanism, while being able to advance the carrying in/out unit 6 to an X-axis direction quickly, 2nd By moving the 2nd movable body 114 by the X-axis movement mechanism 136, the X-axis direction position of the carrying-in/out unit 6 can be finely adjusted easily. In this way, the carrying in/out unit 6 is comprised so that it can advance freely in the X-axis direction by the 1st movable body 112 and the 2nd movable body 114. As shown in FIG.

또한, 보조 장치 (2) 는, 상기 서술한 형태에 한정되지 않고, 또한 도 8 및 도 9 에 나타내는 바와 같은 구성을 구비하는 형태여도 된다. 도 8 및 도 9 에 나타내는 형태에 있어서는, 프레임체 (74) 의 저부 (80) 에 절삭 블레이드 (36) 를 드레싱하기 위한 드레싱 보드 (142) 를 수용하는 드레싱 보드 수용부 (144) (도 9 참조) 가 배치 형성되고, 제1 이동체 (112) 에는, 드레싱 보드 수용부 (144) 에 수용된 드레싱 보드 (142) 를 유지하는 유지 수단 (146) (도 8 참조) 이 배치 형성되어 있다.In addition, the auxiliary apparatus 2 is not limited to the form mentioned above, The form provided with the structure as shown to FIG. 8 and FIG. 9 may be sufficient. In the form shown in FIG. 8 and FIG. 9, the dressing board accommodating part 144 which accommodates the dressing board 142 for dressing the cutting blade 36 in the bottom part 80 of the frame body 74 (refer FIG. 9) ) is arranged, and the holding means 146 (refer FIG. 8) which hold|maintains the dressing board 142 accommodated in the dressing board accommodating part 144 is arrange|positioned in the 1st moving body 112.

드레싱 보드 (142) 는, 레진 본드 등의 결합재를 사용하여, 그린 카바이드, 알런덤계의 지립을 직사각형 판상으로 형성한 것이어도 된다. 드레싱 보드 (142) 의 한 변은, 예를 들어 5 ㎝ 정도이다. 본 실시형태의 드레싱 보드 수용부 (144) 는, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 직사각형상의 트레이 (148) 의 상면의 Y 축 방향 양측 단부 (端部) 에 3 개씩 형성된 직사각형상 오목 개소로 구성되고, 트레이 (148) 는, 프레임체 (74) 의 저부 (80) 의 상면에 배치되어 있다.What formed the abrasive grain of green carbide and an alundum system in the shape of a rectangular plate may be sufficient as the dressing board 142 using binders, such as a resin bond. One side of the dressing board 142 is, for example, about 5 cm. As shown in FIG. 9, the dressing board receiving portion 144 of the present embodiment is composed of rectangular concave portions formed three each at the Y-axis direction both ends of the upper surface of the rectangular tray 148, The tray 148 is disposed on the upper surface of the bottom 80 of the frame 74 .

도 8 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 유지 수단 (146) 은, 제1 이동체 (112) 의 Y 축 방향 양측 단부에 1 쌍 형성되어 있다. 유지 수단 (146) 은, 제1 이동체 (112) 의 본체 (120) 의 Y 축 방향 단부에 고정된 고정편 (150) 과, 고정편 (150) 의 하면에 Z 축 방향으로 자유롭게 승강할 수 있도록 지지된 승강편 (152) 과, 승강편 (152) 을 승강시키는 승강 수단 (도시되어 있지 않다) 과, 승강편 (152) 의 하면에 배치된 복수의 흡인 패드 (154) 를 포함한다. 승강 수단은, 예를 들어 에어 실린더 등의 적절한 액추에이터로 구성될 수 있다. 각 흡인 패드 (154) 는, 흡인 수단에 접속되어 있다.As shown in FIG. 8 , a pair of holding means 146 of the present embodiment is provided at both ends of the first movable body 112 in the Y-axis direction. The holding means 146 includes the fixing piece 150 fixed to the Y-axis direction end of the main body 120 of the first movable body 112 and the lower surface of the fixing piece 150 so that it can freely ascend and descend in the Z-axis direction. It includes a supported elevating piece 152 , elevating means (not shown) for elevating the elevating piece 152 , and a plurality of suction pads 154 disposed on the lower surface of the elevating piece 152 . The lifting means may be constituted by a suitable actuator, such as an air cylinder, for example. Each suction pad 154 is connected to a suction means.

유지 수단 (146) 에 있어서는, 승강 수단으로 승강편 (152) 을 하강시켜, 드레싱 보드 수용부 (144) 에 수용된 드레싱 보드 (142) 에 각 흡인 패드 (154) 를 접촉시킴과 함께, 흡인 수단으로 각 흡인 패드 (154) 에 흡인력을 생성하여, 각 흡인 패드 (154) 로 드레싱 보드 (142) 를 흡인 유지하도록 되어 있다.In the holding means 146, the lifting and lowering pieces 152 are lowered by the lifting means, and the respective suction pads 154 are brought into contact with the dressing board 142 accommodated in the dressing board accommodating part 144, and the suction means are used. A suction force is generated in each suction pad 154 to hold the dressing board 142 by suction with each suction pad 154 .

또, 프레임체 (74) 의 저부 (80) 에는, 절삭 유닛의 스핀들의 선단에 형성되고 절삭 블레이드 (36) 의 등부분을 지지하는 마운트 플랜지의 외주 단면을 정돈하는 단면 수정 지그 (156) 를 수용하는 단면 수정 지그 수용부 (158) (도 9 참조) 가 배치 형성되어 있다. 단면 수정 지그 (156) 는, 직사각형상의 기판 (160) 과, 기판 (160) 의 상면에 고정된 지석 (162) 을 갖는다. 본 실시형태의 단면 수정 지그 수용부 (158) 는, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 트레이 (148) 의 상면의 Y 축 방향 양측 단부에 형성된 1 쌍의 직사각형상 오목 개소로 구성되어 있다.In addition, in the bottom portion 80 of the frame body 74, a cross-section correction jig 156 formed at the tip of the spindle of the cutting unit and for arranging the outer circumferential section of the mount flange supporting the back portion of the cutting blade 36 is accommodated. A cross-section correction jig receiving portion 158 (refer to Fig. 9) to be disposed is formed. The cross-section correction jig 156 includes a rectangular substrate 160 and a grindstone 162 fixed to the upper surface of the substrate 160 . As shown in FIG. 9, the cross-section correction jig accommodating part 158 of this embodiment is comprised from a pair of rectangular recessed parts formed in the Y-axis direction both ends of the upper surface of the tray 148.

단면 수정 지그 수용부 (158) 에 수용된 단면 수정 지그 (156) 는, 제1 이동체 (112) 에 배치 형성된 유지 수단 (146) 의 흡인 패드 (154) 에 의해 흡인 유지되도록 되어 있다.The end face correcting jig 156 accommodated in the end face correcting jig accommodating part 158 is sucked and held by the suction pad 154 of the holding means 146 disposed and formed in the first moving body 112 .

다음으로, 도 10 내지 도 15 를 참조하여, 상기 서술한 보조 장치 (2) 가 연결되는 절삭 장치 (170) 에 대해서 설명한다.Next, with reference to FIGS. 10-15, the cutting device 170 to which the above-mentioned auxiliary device 2 is connected is demonstrated.

도 10 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (170) 는, 피가공물을 유지하는 유지면을 구비한 척 테이블 (172) 과, 척 테이블 (172) 에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 고정 너트로 장착한 절삭 유닛 (174) 과, 척 테이블 (172) 을 X 축 방향으로 가공 이송하는 X 축 이송 수단 (176) 과, 절삭 유닛 (174) 을 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 산출 이송하는 Y 축 이송 수단 (178) 과, X 축 방향 및 Y 축 방향과 직교하는 Z 축 방향으로 절삭 유닛 (174) 을 절입 이송하는 Z 축 이송 수단 (180) 을 구비한다.As shown in FIG. 10 , the cutting device 170 includes a chuck table 172 provided with a holding surface for holding a workpiece, and a cutting blade for cutting the workpiece held by the chuck table 172 as a fixing nut. The mounted cutting unit 174, an X-axis feed means 176 for machining and feeding the chuck table 172 in the X-axis direction, and a Y-axis direction orthogonal to the X-axis direction for calculating and feeding the cutting unit 174 The Y-axis feed means 178 and the Z-axis feed means 180 for cutting and feeding the cutting unit 174 in the X-axis direction and the Z-axis direction orthogonal to the Y-axis direction are provided.

도 10 및 도 11 을 참조하여 설명하면, 절삭 장치 (170) 는, 기대 (182) (도 10 참조) 의 상면에 X 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 형성된 X 축 가동판 (184) 과, X 축 가동판 (184) 의 상면에 고정된 지주 (186) 와, 지주 (186) 의 상단에 고정된 커버판 (188) 을 구비한다. 커버판 (188) 에는, 원형 개구 (188a) 가 형성되어 있다. 척 테이블 (172) 은, 지주 (186) 의 상단에 자유롭게 회전할 수 있도록 탑재되고, 커버판 (188) 의 원형 개구 (188a) 를 통과하여 상방으로 연장되어 있다. 척 테이블 (172) 은, 지주 (186) 에 내장된 모터 (도시되어 있지 않다) 에 의해 Z 축 방향을 축심으로 하여 회전된다.10 and 11 , the cutting device 170 includes an X-axis movable plate 184 formed on the upper surface of a base 182 (see FIG. 10 ) so as to be freely movable in the X-axis direction, and the X-axis A support post 186 fixed to the upper surface of the movable plate 184 and a cover plate 188 fixed to the upper end of the support post 186 are provided. A circular opening 188a is formed in the cover plate 188 . The chuck table 172 is mounted rotatably on the upper end of the post 186 , and extends upward through the circular opening 188a of the cover plate 188 . The chuck table 172 is rotated with the Z-axis direction as an axial center by a motor (not shown) incorporated in the post 186 .

도 11 에 나타내는 바와 같이, 척 테이블 (172) 의 상단 부분에는, 흡인 수단 (도시되어 있지 않다) 에 접속된 다공질의 원형상의 흡착 척 (190) 이 배치되어 있다. 척 테이블 (172) 에 있어서는, 흡인 수단으로 흡착 척 (190) 의 상면에 흡인력을 생성함으로써, 흡착 척 (190) 의 상면에 실린 피가공물을 흡인 유지하도록 되어 있다. 이와 같이 척 테이블 (172) 에 있어서는, 흡착 척 (190) 의 상면이 피가공물을 유지하는 유지면으로 되어 있고, 유지면은 X 축 방향 및 Y 축 방향으로 규정되는 XY 평면 상에 위치 부여되어 있다. 또, 척 테이블 (172) 의 둘레 가장자리에는, 둘레 방향으로 간격을 두고 복수의 클램프 (192) 가 배치되어 있다.As shown in FIG. 11 , a porous circular suction chuck 190 connected to a suction means (not shown) is disposed at the upper end of the chuck table 172 . In the chuck table 172 , by generating a suction force on the upper surface of the suction chuck 190 by a suction means, the to-be-processed object mounted on the upper surface of the suction chuck 190 is sucked and held. In this way, in the chuck table 172, the upper surface of the suction chuck 190 serves as a holding surface for holding a workpiece, and the holding surface is positioned on the XY plane defined in the X-axis direction and the Y-axis direction. . Moreover, at the peripheral edge of the chuck table 172, the some clamp 192 is arrange|positioned at intervals in the circumferential direction.

도 11 을 참조하여 설명을 계속하면, 커버판 (188) 의 상면에는, Y 축 방향으로 간격을 두고 1 쌍의 직사각형상의 서브 테이블 (194) 이 배치되어 있다. 각 서브 테이블 (194) 의 상면에는, 흡인 수단 (도시되어 있지 않다) 에 접속된 복수의 흡인공 (196) 이 형성되어 있다. 서브 테이블 (194) 에 있어서는, 흡인 수단으로 각 흡인공 (196) 에 흡인력을 생성함으로써, 제1 이동체 (112) 에 배치 형성된 유지 수단 (146) 의 흡인 패드 (154) 에 의해 흡인 유지되어 반입된 드레싱 보드 (142) 또는 단면 수정 지그 (156) 를 흡인 유지하도록 되어 있다.If description is continued with reference to FIG. 11, on the upper surface of the cover plate 188, a pair of rectangular-shaped sub-tables 194 are arrange|positioned at intervals in the Y-axis direction. A plurality of suction holes 196 connected to suction means (not shown) are formed on the upper surface of each sub table 194 . In the sub-table 194, by generating a suction force in each suction hole 196 by the suction means, the suction is held by the suction pad 154 of the holding means 146 arranged and formed in the first moving body 112 and carried in. The dressing board 142 or the section correction jig 156 is suction-holding.

도 11 에 나타내는 바와 같이, X 축 이송 수단 (176) 은, X 축 가동판 (184) 에 연결되어 X 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (198) 와, 볼 나사 (198) 를 회전시키는 모터 (200) 를 갖는다. X 축 이송 수단 (176) 은, 볼 나사 (198) 에 의해 모터 (200) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 X 축 가동판 (184) 에 전달하고, 기대 (182) 의 안내 레일 (182a) 을 따라서 X 축 가동판 (184) 을 이동시킴과 함께, 척 테이블 (172) 을 X 축 방향으로 가공 이송한다.As shown in FIG. 11 , the X-axis feeding means 176 includes a ball screw 198 connected to the X-axis movable plate 184 and extending in the X-axis direction, and a motor 200 for rotating the ball screw 198 . ) has The X-axis feeding means 176 converts the rotational motion of the motor 200 into a linear motion by the ball screw 198 and transmits it to the X-axis movable plate 184, and the guide rail 182a of the base 182 Along with moving the X-axis movable plate 184, the chuck table 172 is processed and fed in the X-axis direction.

도 10 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (170) 는, 척 테이블 (172) 에 걸쳐 배치된 도어형의 프레임 (202) 을 포함한다. 프레임 (202) 은, Y 축 방향으로 간격을 두고 기대 (182) 의 상면으로부터 상방으로 연장되는 1 쌍의 지주 (204) 와, 1 쌍의 지주 (204) 의 상단 사이에 걸쳐 놓여 Y 축 방향으로 연장되는 들보 (206) 를 갖는다. 절삭 유닛 (174) 은, 들보 (206) 의 편측의 측면 (도 10 에 있어서 배면측의 측면) 에 Y 축 방향으로 간격을 두고 1 쌍 형성되어 있다. 본 실시형태의 절삭 장치 (170) 에 있어서는, 절삭 블레이드 (36) 가 대면하도록 1 쌍의 절삭 유닛 (174) 이 형성되어 있고, 척 테이블 (172) 에 유지된 피가공물을 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 에 의해 동시에 절삭 가공을 실시할 수 있도록 되어 있다. 또한, 절삭 유닛 (174) 은 1 개여도 된다.As shown in FIG. 10 , the cutting device 170 includes a door-shaped frame 202 disposed over the chuck table 172 . The frame 202 is placed between a pair of posts 204 extending upwardly from the upper surface of the base 182 at intervals in the Y-axis direction, and the upper ends of the pair of posts 204, in the Y-axis direction. It has an extending beam 206 . A pair of cutting units 174 is formed in the Y-axis direction at intervals on the side surface (the back side side in FIG. 10) of one side of the beam 206. As shown in FIG. In the cutting device 170 of the present embodiment, a pair of cutting units 174 are formed so that the cutting blades 36 face each other, and the workpiece held by the chuck table 172 is applied to a pair of cutting blades ( 36) allows simultaneous cutting. In addition, the number of the cutting unit 174 may be one.

도 12 에 나타내는 바와 같이, 각 절삭 유닛 (174) 은, Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 들보 (206) 의 편측의 측면에 지지되는 직사각형상의 Y 축 가동 부재 (208) 와, Y 축 가동 부재 (208) 에 Z 축 방향으로 자유롭게 승강할 수 있도록 지지된 단면 (斷面) L 자상의 Z 축 가동 부재 (210) 와, Z 축 가동 부재 (210) 의 하단에 고정된 스핀들 하우징 (212) 을 구비한다.12 , each cutting unit 174 includes a rectangular Y-axis movable member 208 supported by a side surface of one side of the beam 206 so as to be freely movable in the Y-axis direction, and a Y-axis movable member ( 208) is provided with a Z-axis movable member 210 having an L-shaped cross-section supported so as to be able to freely move up and down in the Z-axis direction, and a spindle housing 212 fixed to the lower end of the Z-axis movable member 210 do.

Y 축 가동 부재 (208) 의 편측의 측면 (도 12 에 있어서 앞측의 측면) 에는, Z 축 방향으로 간격을 두고 Y 축 방향으로 연장되는 1 쌍의 피안내홈 (208a) 이 형성되고, 피안내홈 (208a) 은, 들보 (206) 의 편측의 측면에 있어서 상하 방향으로 간격을 두고 Y 축 방향으로 연장되는 1 쌍의 안내 레일 (도시되어 있지 않다) 에 자유롭게 슬라이딩 할 수 있도록 연결된다.A pair of guide grooves 208a extending in the Y-axis direction at intervals in the Z-axis direction are formed on one side of the Y-axis movable member 208 (the front side in Fig. 12), The groove 208a is slidably connected to a pair of guide rails (not shown) extending in the Y-axis direction at intervals in the up-down direction on one side of the beam 206 .

Y 축 이송 수단 (178) 은, 들보 (206) 의 편측의 측면에 있어서 Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (214) 와, 볼 나사 (214) 를 회전시키는 모터 (216) 를 갖는다. 볼 나사 (214) 는 Y 축 가동 부재 (208) 에 연결되어 있다. Y 축 이송 수단 (178) 은, 볼 나사 (214) 에 의해 모터 (216) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 Y 축 가동 부재 (208) 에 전달하고, 들보 (206) 의 편측의 측면에 부설된 안내 레일을 따라서 Y 축 가동 부재 (208) 를 Y 축 방향으로 산출 이송한다.The Y-axis feed means 178 has a ball screw 214 extending in the Y-axis direction on one side of the beam 206 and a motor 216 that rotates the ball screw 214 . The ball screw 214 is connected to the Y-axis movable member 208 . The Y-axis feeding means 178 converts the rotational motion of the motor 216 into a linear motion by the ball screw 214 and transmits it to the Y-axis movable member 208, and is installed on the side surface of one side of the beam 206 The Y-axis movable member 208 is calculated and transported in the Y-axis direction along the guide rail.

Y 축 가동 부재 (208) 의 타측의 측면 (도 12 에 있어서 배면측의 측면) 에는, Y 축 방향으로 간격을 두고 Z 축 방향으로 연장되는 1 쌍의 안내 레일 (도시되어 있지 않다) 이 형성되어 있고, Z 축 가동 부재 (210) 는, Y 축 가동 부재 (208) 의 한 쌍의 안내 레일에 자유롭게 슬라이딩 할 수 있도록 연결되는 1 쌍의 피안내 홈 (도시되어 있지 않다) 을 갖는다.A pair of guide rails (not shown) extending in the Z-axis direction at intervals in the Y-axis direction are formed on the other side surface (the rear side in FIG. 12 ) of the Y-axis movable member 208, and the Z-axis movable member 210 has a pair of guided grooves (not shown) connected to a pair of guide rails of the Y-axis movable member 208 so as to be freely slidable.

Z 축 이송 수단 (180) 은, Z 축 가동 부재 (210) 에 연결되어 Z 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (도시되어 있지 않다) 와, 이 볼 나사를 회전시키는 모터 (218) 를 갖는다. Z 축 이송 수단 (180) 은, 볼 나사에 의해 모터 (218) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 Z 축 가동 부재 (210) 에 전달하고, Y 축 가동 부재 (208) 의 안내 레일을 따라서 Z 축 가동 부재 (210) 를 Z 축 방향으로 절입 이송한다.The Z-axis transport means 180 includes a ball screw (not shown) that is connected to the Z-axis movable member 210 and extends in the Z-axis direction, and a motor 218 that rotates the ball screw. The Z-axis transfer means 180 converts the rotational motion of the motor 218 into a linear motion by means of a ball screw and transmits it to the Z-axis movable member 210, and Z along the guide rail of the Y-axis movable member 208 The shaft movable member 210 is cut-feed in the Z-axis direction.

도 13 을 참조하여 설명하면, 스핀들 하우징 (212) 에는, Y 축 방향을 축심으로 하여 자유롭게 회전할 수 있도록 원기둥 형상의 스핀들 (220) 이 지지되어 있음과 함께, 스핀들 (220) 을 회전시키는 모터 (도시되어 있지 않다) 가 수용되어 있다. 스핀들 (220) 의 선단에는, 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드 (36) 가 고정 너트 (222) 에 의해 자유롭게 착탈할 수 있도록 고정되어 있다.Referring to FIG. 13 , the spindle housing 212 has a cylindrical spindle 220 supported so that it can freely rotate about the Y-axis direction as an axis, and a motor for rotating the spindle 220 ( not shown) is accepted. A cutting blade 36 for cutting a workpiece is fixed to the tip of the spindle 220 so that it can be freely attached and detached by a fixing nut 222 .

스핀들 하우징 (212) 의 선단에는, 절삭 블레이드 (36) 를 덮는 블레이드 커버 (224) 가 장착되어 있다. 블레이드 커버 (224) 는, 스핀들 하우징 (212) 의 선단에 고정된 제1 커버 부재 (224a) 와, 제1 커버 부재 (224a) 의 선단에 자유롭게 이동할 수 있도록 장착된 제2 커버 부재 (224b) 를 갖는다. 제2 커버 부재 (224b) 는, 에어 실린더 등의 적절한 액추에이터 (도시되어 있지 않다) 에 의해 X 축 방향으로 이동되도록 되어 있고, 절삭 블레이드 (36) 의 교환 시에는 도 13 에 나타내는 개방 위치에 위치 부여되고, 절삭 가공 시에는 도 12 에 나타내는 폐색 위치에 위치 부여된다.A blade cover 224 that covers the cutting blade 36 is attached to the tip of the spindle housing 212 . The blade cover 224 includes a first cover member 224a fixed to the tip of the spindle housing 212 and a second cover member 224b mounted to the tip of the first cover member 224a to be freely movable. have The second cover member 224b is moved in the X-axis direction by an appropriate actuator (not shown) such as an air cylinder, and is positioned at the open position shown in FIG. 13 when the cutting blade 36 is replaced. and is positioned at the closed position shown in FIG. 12 at the time of cutting.

도 14 에 나타내는 바와 같이, 스핀들 (220) 의 선단측 외주면에는, 직경 방향 외측으로 돌출하는 환상의 마운트 플랜지 (226) 가 형성되어 있다. 마운트 플랜지 (226) 의 선단면의 지름 방향 내측 부분에는 환상의 오목 개소 (226a) 가 형성되어 있고, 마운트 플랜지 (226) 의 선단면의 외주측 부분은, 축 방향으로 돌출한 환상의 받이부 (226b) 로 되어 있다. 또, 마운트 플랜지 (226) 보다 더욱 선단측의 스핀들 (220) 의 외주면에는, 수나사 (228) 가 형성되어 있다.As shown in FIG. 14 , an annular mount flange 226 protruding outward in the radial direction is formed on the outer peripheral surface on the tip side of the spindle 220 . An annular recessed portion 226a is formed in the radially inner portion of the distal end surface of the mount flange 226, and the outer peripheral portion of the distal end surface of the mount flange 226 has an annular receiving portion protruding in the axial direction ( 226b). Further, an external screw 228 is formed on the outer peripheral surface of the spindle 220 on the tip side further than the mount flange 226 .

그리고, 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 가 스핀들 (220) 의 선단부에 끼워 맞춰지고, 스핀들 (220) 의 수나사 (228) 와 고정 너트 (222) 가 나사조임 (체결) 됨으로써, 마운트 플랜지 (226) 의 받이부 (226b) 와 고정 너트 (222) 에 절삭 블레이드 (36) 가 끼워 넣어져 스핀들 (220) 의 선단에 자유롭게 착탈할 수 있도록 고정된다. 또, 고정 너트 (222) 의 측면에는, 반출입 유닛 (6) 의 고정 너트 유지부 (50) 의 핀 (72) 이 삽입되는 복수 개의 핀 구멍 (222a) 이 둘레 방향으로 등간격을 두고 형성되어 있다.Then, the central opening 38a of the cutting blade 36 is fitted to the distal end of the spindle 220, and the male screw 228 of the spindle 220 and the fixing nut 222 are screwed (fastened), whereby the mount flange The cutting blade 36 is inserted into the receiving portion 226b of the 226 and the fixing nut 222 to be freely detachably fixed to the tip of the spindle 220 . Moreover, in the side surface of the fixing nut 222, the several pin hole 222a into which the pin 72 of the fixing nut holding part 50 of the carrying in/out unit 6 is inserted is formed at equal intervals in the circumferential direction. .

도 10 에 나타내는 바와 같이, 프레임 (202) 의 들보 (206) 의 타측의 측면 (도 10 에 있어서 앞측의 측면) 에는, 척 테이블 (172) 에 유지된 피가공물을 촬상하는 1 쌍의 촬상 수단 (230) 이 Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 장착되어 있음과 함께, 촬상 수단 (230) 을 Y 축 방향으로 이동시키는 1 쌍의 이동 수단 (232) 이 장착되어 있다. 이동 수단 (232) 은, 들보 (206) 의 타측의 측면에 있어서 Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (234) 와, 볼 나사 (234) 를 회전시키는 모터 (236) 를 갖는다. 볼 나사 (234) 는 촬상 수단 (230) 에 연결되어 있다. 그리고, 이동 수단 (232) 은, 모터 (236) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 촬상 수단 (230) 에 전달하고, 들보 (206) 의 타측의 측면에 부설된 안내 레일 (206a) 을 따라서 촬상 수단 (230) 을 Y 축 방향으로 이동시킨다. 또한, 촬상 수단 (230) 은 1 개여도 된다.As shown in FIG. 10, on the other side side of the beam 206 of the frame 202 (the front side side in FIG. 10), a pair of imaging means for imaging the to-be-processed object hold|maintained by the chuck table 172 ( 230) is attached so that it can move freely in the Y-axis direction, and a pair of moving means 232 which moves the imaging means 230 in the Y-axis direction is attached. The moving means 232 has the ball screw 234 extended in the Y-axis direction in the side surface of the other side of the beam 206, and the motor 236 which rotates the ball screw 234. As shown in FIG. The ball screw 234 is connected to the imaging means 230 . And the moving means 232 converts the rotational motion of the motor 236 into a linear motion, transmits it to the imaging means 230, and captures an image along the guide rail 206a laid on the other side of the beam 206. The means 230 is moved in the Y-axis direction. In addition, the number of imaging means 230 may be one.

절삭 장치 (170) 를 사용하여, 웨이퍼 등의 피가공물에 대하여 절삭 가공을 실시할 때는, 먼저, 척 테이블 (172) 에 피가공물을 흡착시킨다. 이어서, X 축 이송 수단 (176) 으로 척 테이블 (172) 을 촬상 수단 (230) 의 하방으로 이동시킴과 함께, 이동 수단 (232) 으로 촬상 수단 (230) 의 Y 축 방향 위치를 조정한다. 이어서, 촬상 수단 (230) 으로 상방으로부터 피가공물을 촬상하여 피가공물의 절삭 영역을 검출한다.When cutting is performed on a workpiece, such as a wafer, using the cutting device 170 , first, the chuck table 172 adsorbs the workpiece. Next, while moving the chuck table 172 below the imaging means 230 by the X-axis feeding means 176, the Y-axis direction position of the imaging means 230 is adjusted by the moving means 232. Next, the to-be-processed object is imaged from upper direction by the imaging means 230, and the cutting area|region of a to-be-processed object is detected.

이어서, 촬상 수단 (230) 으로 검출한 피가공물의 절삭 영역에 기초하여, 척 테이블 (172) 을 회전시켜, 절삭 유닛 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 에 대한 피가공물의 절삭 영역의 방향을 조정한다. 이어서, X 축 이송 수단 (176) 으로 척 테이블 (172) 을 X 축 방향으로 이동시킴과 함께, Y 축 이송 수단 (178) 으로 스핀들 하우징 (212) 을 Y 축 방향으로 이동시켜, 피가공물의 절삭 영역의 상방에 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 를 위치 부여한다.Then, based on the cutting area of the work piece detected by the imaging means 230 , the chuck table 172 is rotated to adjust the direction of the cutting area of the work piece with respect to the cutting blade 36 of the cutting unit 174 . do. Next, the chuck table 172 is moved in the X-axis direction by the X-axis feed means 176 and the spindle housing 212 is moved in the Y-axis direction by the Y-axis feed means 178 to cut the workpiece. A pair of cutting blades 36 are positioned above the area.

이어서, Z 축 이송 수단 (180) 으로 스핀들 하우징 (212) 을 하강시켜, 고속 회전시킨 절삭 블레이드 (36) 의 절삭날 (40) 을 피가공물의 절삭 영역에 절입시킴과 함께, 절삭 블레이드 (36) 의 절삭날 (40) 을 절입시킨 부분에 절삭수를 공급하면서, 척 테이블 (172) 을 X 축 방향으로 가공 이송함으로써, 피가공물의 절삭 영역에 소정의 절삭 가공을 실시한다. Y 축 이송 수단 (178) 으로 스핀들 하우징 (212) 을 Y 축 방향으로 산출 이송하면서, 상기 절삭 가공을 적절히 반복하고, 피가공물의 절삭 영역 모두에 절삭 가공을 실시한다. 절삭 공정이 종료된 절삭 가공이 끝난 피가공물은 다음 공정으로 반송된다.Next, the spindle housing 212 is lowered by the Z-axis feed means 180, and the cutting edge 40 of the cutting blade 36 rotated at high speed is cut into the cutting area of the workpiece, and the cutting blade 36 Predetermined cutting is performed in the cutting region of the workpiece by feeding the chuck table 172 in the X-axis direction while supplying cutting water to the portion into which the cutting edge 40 of While calculating and feeding the spindle housing 212 in the Y-axis direction by the Y-axis feed means 178, the cutting process is repeated appropriately, and the cutting process is applied to all of the cutting regions of the workpiece. The workpiece after the cutting process has been completed is conveyed to the next process.

절삭 공정을 반복 실시하면 절삭 블레이드 (36) 는 마모되고, 절삭 블레이드 (36) 의 마모가 소정량에 이르면 절삭 정밀도가 유지되지 않게 되기 때문에, 스핀들 (220) 에 장착되어 있는 절삭 블레이드 (36) 를 새로운 절삭 블레이드 (36) 로 교환할 필요가 있다. 또, 스핀들 (220) 에 장착되어 있는 절삭 블레이드 (36) 의 마모가 소정량에 이르러 있지 않은 경우에도, 전에 절삭 가공을 실시한 피가공물의 소재와 상이한 소재의 피가공물에 절삭 가공을 실시할 때에는, 피가공물의 소재에 따른 절삭 블레이드 (36) 로 교환할 필요가 생기기도 한다.If the cutting process is repeated, the cutting blade 36 is worn, and when the wear of the cutting blade 36 reaches a predetermined amount, the cutting precision is not maintained. It needs to be replaced with a new cutting blade (36). In addition, even when the wear of the cutting blade 36 mounted on the spindle 220 has not reached a predetermined amount, when cutting is performed on a workpiece made of a material different from that of the workpiece previously subjected to cutting, It may be necessary to replace the cutting blade 36 according to the material of the workpiece.

본 실시형태에서는 도 15 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (170) 의 절삭 블레이드 (36) 를 자동적으로 교환할 수 있는 보조 장치 (2) 가 절삭 장치 (170) 에 연결되어 있고, 이하, 보조 장치 (2) 를 사용하여 절삭 블레이드 (36) 를 교환하는 방법에 대해서 설명한다.In the present embodiment, as shown in FIG. 15 , an auxiliary device 2 capable of automatically replacing the cutting blade 36 of the cutting device 170 is connected to the cutting device 170, hereinafter, the auxiliary device ( A method for replacing the cutting blade 36 using 2) will be described.

도 15 에 나타내는 바와 같이, 보조 장치 (2) 는, 절삭 장치 (170) 의 X 축 방향 안측에 배치되어 있으며, 사용자에게 이미 납품한 절삭 장치 (170) 에 나중에 장착할 수 있도록 되어 있다. 보조 장치 (2) 를 사용하여, 절삭 장치 (170) 에 장착되어 있는 절삭 블레이드 (36) 를 교환할 때는, 먼저, 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 의 무한 궤도 (22) 를 회전시켜, 절삭 장치 (170) 에 반입해야 할 새로운 절삭 블레이드 (36) 를 지지하고 있는 지지축 (24) 을 소정 위치 (예를 들어, 지지축 (24) 의 궤도에 있어서의 최하단의 위치) 에 위치 부여한다.As shown in FIG. 15 , the auxiliary device 2 is disposed inside the cutting device 170 in the X-axis direction, and can be attached later to the cutting device 170 that has already been delivered to the user. When replacing the cutting blade 36 attached to the cutting device 170 using the auxiliary device 2, first, the caterpillar 22 of the cutting blade storage unit 4 is rotated to rotate the cutting device ( 170), the support shaft 24 supporting the new cutting blade 36 to be carried in is positioned at a predetermined position (for example, the lowest position in the track of the support shaft 24).

이어서, 도 16 에 나타내는 바와 같이, 반출입 유닛 (6) 의 Z 회전축 (46) 에 연결되어 있는 모터에 의해 케이싱 (52) 을 회전시킴으로써, 블레이드 유지부 (48) 가 장착되어 있는 케이싱 (52) 의 측벽 (56) 을 X 축 방향에 따르게 하여, 블레이드 유지부 (48) 를 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 대면시킨다. 또, X 축 이동 기구 (12) 및 Z 축 이동 기구 (10) 를 작동시켜, 상기 소정 위치의 지지축 (24) 의 축부 (34) 를 블레이드 유지부 (48) 의 중앙 개구부 (60) (도 5 참조) 에 삽입할 수 있도록, 블레이드 유지부 (48) 의 X 축 방향 위치 및 Z 축 방향 위치를 조정한다.Next, as shown in FIG. 16, by rotating the casing 52 with the motor connected to the Z rotation shaft 46 of the carrying in/out unit 6, the blade holding part 48 is attached to the casing 52 of The side wall 56 is made along the X-axis direction so that the blade holding portion 48 faces the cutting blade storage unit 4 . Further, by operating the X-axis movement mechanism 12 and the Z-axis movement mechanism 10, the shaft portion 34 of the support shaft 24 at the predetermined position is moved to the central opening 60 of the blade holding portion 48 (Fig. 5), adjust the X-axis direction position and the Z-axis direction position of the blade holding part 48 so that it can be inserted.

이어서, 도 17 에 나타내는 바와 같이, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 에 의해 프레임체 (74) 를 Y 축 방향으로 이동시켜, 지지축 (24) 에 지지되어 있는 절삭 블레이드 (36) 를 블레이드 유지부 (48) 에 의해 유지 가능한 작용 위치에 반출입 유닛 (6) 을 위치 부여한다. 이에 따라, 상기 소정 위치의 지지축 (24) 의 축부 (34) 를 블레이드 유지부 (48) 의 중앙 개구부 (60) 에 삽입함과 함께, 축부 (34) 의 선단측에 위치하는 절삭 블레이드 (36) 의 단면에 블레이드 유지부 (48) 의 단면 (58) 을 접촉시킨다. 이어서, 블레이드 유지부 (48) 의 각 흡인공 (62) 에 흡인력을 생성하고, 축부 (34) 의 선단측에 위치하는 절삭 블레이드 (36) 를 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지한다.Next, as shown in FIG. 17 , the frame body 74 is moved in the Y-axis direction by the Y-axis direction positioning unit 8, and the cutting blade 36 supported by the support shaft 24 is held by the blade. The carry-in/out unit 6 is positioned at an operating position that can be maintained by the portion 48 . Accordingly, the shaft portion 34 of the supporting shaft 24 at the predetermined position is inserted into the central opening 60 of the blade holding portion 48, and the cutting blade 36 located on the tip side of the shaft portion 34. ), the end face 58 of the blade holding part 48 is brought into contact with the end face. Next, a suction force is generated in each suction hole 62 of the blade holding part 48 , and the cutting blade 36 located on the tip side of the shaft part 34 is suctioned and held by the blade holding part 48 .

이어서, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 을 작동시켜, 반출입 유닛 (6) 을 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 으로부터 Y 축 방향으로 이간시켜 퇴피 위치에 위치 부여한다. 이어서, 반출입 유닛 (6) 의 케이싱 (52) 을 180° 회전시켜, 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지한 블레이드 유지부 (48) 의 반대측의 블레이드 유지부 (48) 를 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 대면시킨다. 이어서, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 을 작동시켜, 반대측의 블레이드 유지부 (48) 에 의해 지지축 (24) 의 절삭 블레이드 (36) 를 유지 가능한 작용 위치에 반출입 유닛 (6) 을 위치 부여한다. 이어서, 반대측의 블레이드 유지부 (48) 의 각 흡인공 (62) 에 흡인력을 생성하고, 축부 (34) 의 선단측에 위치하는 절삭 블레이드 (36) 를 블레이드 유지부 (48) 에 의해 흡인 유지한다. 이에 따라, 4 개의 블레이드 유지부 (48) 중 대향하는 1 쌍의 블레이드 유지부 (48) 로, 새로운 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지한 상태가 된다.Next, the Y-axis direction positioning unit 8 is operated, the carrying-in/out unit 6 is spaced apart from the cutting blade storage unit 4 in the Y-axis direction, and it is positioned at the retracted position. Next, the casing 52 of the carry-in unit 6 is rotated 180°, and the blade holder 48 on the opposite side of the blade holder 48 that holds the cutting blade 36 by suction is transferred to the cutting blade storage unit 4 face to face Next, the Y-axis direction positioning unit 8 is operated to position the carry-in/out unit 6 in an operating position capable of holding the cutting blade 36 of the support shaft 24 by the blade holding part 48 on the opposite side. do. Next, a suction force is generated in each suction hole 62 of the blade holder 48 on the opposite side, and the cutting blade 36 located on the tip side of the shaft portion 34 is suctioned and held by the blade holder 48 . . Thereby, it will be in the state which attracted|sucked and hold|maintained the new cutting blade 36 by a pair of blade holding part 48 which opposes among the four blade holding parts 48.

이어서, 도 18 에 나타내는 바와 같이, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 에 의해 프레임체 (74) 를 Y 축 방향으로 이동시킴과 함께, Z 축 이동 기구 (10) 로 승강 테이블 (76) 을 Z 축 방향으로 이동시킨다. 이에 따라, 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 으로부터 반출입 유닛 (6) 을 이간시켜 퇴피 위치에 위치 부여함과 함께, 절삭 장치 (170) 에 대한 반출입 유닛 (6) 의 Y 축 방향 위치 및 Z 축 방향 위치를 조정한다. 위치 조정 후의 반출입 유닛 (6) 의 Y 축 방향 위치는, 절삭 장치 (170) 의 한 쌍의 절삭 유닛 (174) 의 사이이며, 위치 조정 후의 반출입 유닛 (6) 의 Z 축 방향 위치는, 척 테이블 (172) 의 유지면보다 상방이다.Next, as shown in FIG. 18 , while moving the frame body 74 in the Y-axis direction by the Y-axis direction positioning unit 8, the Z-axis movement mechanism 10 moves the lifting table 76 to Z move in the axial direction. Thereby, the carrying-in/out unit 6 is spaced apart from the cutting blade storage unit 4, and while positioning it at the retracted position, the Y-axis direction position and Z-axis direction position of the carrying-in/out unit 6 with respect to the cutting device 170. to adjust The Y-axis direction position of the carrying-in/out unit 6 after positioning is between a pair of cutting units 174 of the cutting device 170, and the Z-axis direction position of the carrying-in/out unit 6 after positioning is a chuck table. (172) is above the holding surface.

이어서, 도 19 에 나타내는 바와 같이, 제1 X 축 이동 기구로서의 에어 실린더 (130) 에 의해 제1 이동체 (112) 를 X 축 방향으로 이동시켜, 반출입 유닛 (6) 을 절삭 장치 (170) 의 한 쌍의 절삭 유닛 (174) 의 사이를 향하여 전진시킨다. 이어서, 도 20 에 나타내는 바와 같이, 제2 X 축 이동 기구 (136) 에 의해 제2 이동체 (114) 를 X 축 방향으로 이동시켜, 1 쌍의 절삭 유닛 (174) 에 대한 반출입 유닛 (6) 의 X 축 방향 위치를 조정한다. 구체적으로는, 반출입 유닛 (6) 의 한 쌍의 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지하고 있는 새로운 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 중심의 X 축 방향 위치와, 1 쌍의 절삭 유닛 (174) 에 장착되어 있는 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 중심의 X 축 방향 위치를 정합시킨다. 또, 보조 장치 (2) 의 Z 축 이동 기구 (10) 또는 절삭 장치 (170) 의 Z 축 이송 수단 (180) 을 작동시켜, 블레이드 유지부 (48) 의 절삭 블레이드 (36) 의 중심의 Z 축 방향 위치와, 절삭 유닛 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 의 중심의 Z 축 방향 위치를 정합시킨다.Then, as shown in FIG. 19, the 1st movable body 112 is moved in the X-axis direction by the air cylinder 130 as a 1st X-axis movement mechanism, and the carrying-in/out unit 6 is one of the cutting devices 170. It advances toward between the pair of cutting units 174. Then, as shown in FIG. 20, the 2nd moving body 114 is moved in the X-axis direction by the 2nd X-axis movement mechanism 136, and the carrying-in/out unit 6 with respect to a pair of cutting units 174 is Adjust the position in the X-axis direction. Specifically, the position in the X-axis direction of the center of the new pair of cutting blades 36 that is suctioned and held by the pair of blade holding portions 48 of the carry-in/out unit 6, and the pair of cutting units 174 The positions in the X-axis direction of the centers of the pair of cutting blades 36 mounted on the poles are matched. Further, by operating the Z-axis movement mechanism 10 of the auxiliary device 2 or the Z-axis feed means 180 of the cutting device 170 , the Z-axis of the center of the cutting blade 36 of the blade holder 48 is operated. The directional position and the Z-axis direction position of the center of the cutting blade 36 of the cutting unit 174 are matched.

이어서, 반출입 유닛 (6) 의 케이싱 (52) 을 60° 회전시켜, 1 쌍의 고정 너트 유지부 (50) 를 1 쌍의 절삭 유닛 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 에 대면시킨다. 또한, 제1·제2 이동체 (112, 114) 를 전진시키기 전에, 케이싱 (52) 을 60° 회전시켜 두어도 된다.Next, the casing 52 of the carrying-in/out unit 6 is rotated by 60 degrees, and the pair of fixed nut holding parts 50 are made to face the cutting blade 36 of the pair of cutting units 174. In addition, before moving the 1st and 2nd movable bodies 112 and 114 forward, you may rotate the casing 52 by 60 degrees.

이어서, 1 쌍의 절삭 유닛 (174) 의 각각의 블레이드 커버 (224) 의 제2 커버 부재 (224b) 를 개방 위치 (도 13 참조) 에 위치 부여한다. 이어서, 절삭 장치 (170) 의 Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 유닛 (174) 을 Y 축 방향으로 이동시켜, 스핀들 (220) 에 절삭 블레이드 (36) 를 고정시키고 있는 고정 너트 (222) 를 고정 너트 유지부 (50) 의 회전체 (66) 의 단면 (66a) 에 접촉시킨다. 그렇게 하면, 고정 너트 유지부 (50) 의 핀 (72) 이 고정 너트 (222) 에 눌려 회전체 (66) 의 내부에 수용됨과 함께, 스핀들 (220) 의 선단이 회전체 (66) 의 중앙 개구부 (68) 에 수용된다.Next, the second cover member 224b of each blade cover 224 of the pair of cutting units 174 is positioned in the open position (see FIG. 13 ). Next, the cutting unit 174 is moved in the Y-axis direction by the Y-axis feed means 178 of the cutting device 170, and the fixing nut 222 fixing the cutting blade 36 to the spindle 220 is tightened. The end face 66a of the rotating body 66 of the fixing nut holding part 50 is brought into contact. Then, the pin 72 of the fixing nut holding part 50 is pressed by the fixing nut 222 and accommodated in the rotating body 66 , and the front end of the spindle 220 is the central opening of the rotating body 66 . (68) is accepted.

이어서, 고정 너트 유지부 (50) 의 모터로 회전체 (66) 를 회전시키면, 각 핀 (72) 이 고정 너트 (222) 의 핀 구멍 (222a) 과 합치했을 때에, 각 핀 (72) 이 핀 구멍 (222a) 에 끼워 맞춰지고, 회전체 (66) 의 회전 운동이 각 핀 (72) 을 통해서 고정 너트 (222) 에 전달되어, 고정 너트 (222) 가 느슨해진다. 이에 따라, 절삭 유닛 (174) 의 스핀들 (220) 의 수나사 (228) 로부터 고정 너트 (222) 를 풀어낼 (떼어낼) 수 있다. 또, 고정 너트 유지부 (50) 의 각 흡인공 (70) 에 흡인력을 생성하고, 떼어낸 고정 너트 (222) 를 고정 너트 유지부 (50) 로 흡인 유지한다.Next, if the rotating body 66 is rotated by the motor of the fixed nut holding part 50, when each pin 72 is matched with the pin hole 222a of the fixed nut 222, each pin 72 is a pin Fitted into the hole 222a, the rotational motion of the rotating body 66 is transmitted to the fixing nut 222 through each pin 72, so that the fixing nut 222 is loosened. Accordingly, it is possible to unscrew (remove) the fixing nut 222 from the male thread 228 of the spindle 220 of the cutting unit 174 . Moreover, a suction force is produced|generated in each suction hole 70 of the fixing nut holding part 50, and the removed fixing nut 222 is suction-held by the fixing nut holding part 50.

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 유닛 (174) 을 반출입 유닛 (6) 으로부터 이간시킴과 함께, 반출입 유닛 (6) 의 케이싱 (52) 을 60° 회전시켜, 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지하고 있지 않은 빈 블레이드 유지부 (48) 를 절삭 유닛 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 에 대면시킨다.Next, the cutting unit 174 is separated from the carrying-in/out unit 6 by the Y-axis feed means 178, and the casing 52 of the carrying-in/out unit 6 is rotated by 60 degrees, and the cutting blade 36 is The empty blade holding portion 48 that is not suction-held is made to face the cutting blade 36 of the cutting unit 174 .

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 유닛 (174) 을 반출입 유닛 (6) 에 접근시켜, 절삭 유닛 (174) 의 스핀들 (220) 을 블레이드 유지부 (48) 의 중앙 개구부 (60) 에 삽입함과 함께, 절삭 유닛 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 의 단면에, 빈 블레이드 유지부 (48) 의 단면 (58) 을 접촉시킨다. 이어서, 블레이드 유지부 (48) 의 각 흡인공 (62) 에 흡인력을 생성하고, 절삭 유닛 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 를 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지한다.Next, the cutting unit 174 is brought close to the carrying-in/out unit 6 by the Y-axis feed means 178, and the spindle 220 of the cutting unit 174 is attached to the central opening 60 of the blade holding part 48. During insertion, the end face 58 of the empty blade holding portion 48 is brought into contact with the end face of the cutting blade 36 of the cutting unit 174 . Next, a suction force is generated in each suction hole 62 of the blade holder 48 , and the cutting blade 36 of the cutting unit 174 is suction-held by the blade holder 48 .

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 유닛 (174) 을 반출입 유닛 (6) 으로부터 이간시킴과 함께, 반출입 유닛 (6) 의 케이싱 (52) 을 60° 회전시켜, 새로운 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지하고 있는 블레이드 유지부 (48) 를 절삭 유닛 (174) 의 스핀들 (220) 에 대면시킨다.Next, the cutting unit 174 is separated from the carrying-in/out unit 6 by the Y-axis feed means 178, and the casing 52 of the carrying-in/out unit 6 is rotated by 60 degrees, and a new cutting blade 36 is rotated. The blade holding portion 48 holding the suction power is opposed to the spindle 220 of the cutting unit 174 .

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 유닛 (174) 을 반출입 유닛 (6) 에 접근시켜, 스핀들 (220) 을 새로운 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 에 삽입하여, 스핀들 (220) 의 마운트 플랜지 (226) 의 받이부 (226b) 에 절삭 블레이드 (36) 의 단면을 접촉시킨다. 이어서, 블레이드 유지부 (48) 의 흡인력을 해제하고, 블레이드 유지부 (48) 로부터 스핀들 (220) 에 새로운 절삭 블레이드 (36) 를 주고 받는다.Then, the cutting unit 174 is brought close to the carrying-in/out unit 6 by the Y-axis feeding means 178, and the spindle 220 is inserted into the central opening 38a of the new cutting blade 36, and the spindle 220 ), the end face of the cutting blade 36 is brought into contact with the receiving portion 226b of the mount flange 226 of the . Next, the suction force of the blade holding part 48 is released, and a new cutting blade 36 is sent and received from the blade holding part 48 to the spindle 220 .

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 유닛 (174) 을 반출입 유닛 (6) 으로부터 이간시킴과 함께, 반출입 유닛 (6) 의 케이싱 (52) 을 60° 회전시켜, 떼어낸 고정 너트 (222) 를 흡인 유지하고 있는 고정 너트 유지부 (50) 를 절삭 유닛 (174) 의 스핀들 (220) 에 대면시킨다.Next, while separating the cutting unit 174 from the carrying-in/out unit 6 by the Y-axis feeding means 178, the casing 52 of the carrying-in/out unit 6 is rotated by 60 degrees, and the fixed nut 222 removed ), the fixing nut holding part 50 holding the suction power is placed against the spindle 220 of the cutting unit 174 .

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 유닛 (174) 을 반출입 유닛 (6) 에 접근시키고, 고정 너트 유지부 (50) 로 흡인 유지한 고정 너트 (222) 를 스핀들 (220) 의 선단부에 끼워 맞춘다. 이어서, 고정 너트 (222) 를 떼어냈을 때와는 역방향으로 고정 너트 유지부 (50) 의 모터를 작동시켜 고정 너트 (222) 를 회전시키고, 스핀들 (220) 의 수나사 (228) 에 고정 너트 (222) 를 나사조임 (체결) 시킨다. 이에 따라, 절삭 유닛 (174) 에 장착해야 할 새로운 절삭 블레이드 (36) 를 스핀들 (220) 의 마운트 플랜지 (226) 의 받이부 (226b) 와 고정 너트 (222) 로 끼워 넣어 스핀들 (220) 에 고정시킬 수 있다. 이어서, 고정 너트 유지부 (50) 의 흡인력을 해제한 후, 절삭 유닛 (174) 의 블레이드 커버 (224) 의 제2 커버 부재 (224b) 를 폐색 위치에 위치 부여한다. 또한, 상기 서술한 바와 같은 고정 너트 (222) 및 절삭 블레이드 (36) 의 해체, 장착에 대해서는, 1 쌍의 절삭 유닛 (174) 에 대해서 동시에 실시해도 되고, 따로 따로 실시해도 된다.Next, the cutting unit 174 is brought close to the carrying-in/out unit 6 by the Y-axis feed means 178 , and the fixing nut 222 sucked and held by the fixing nut holding part 50 is attached to the tip of the spindle 220 . fit Next, the motor of the fixing nut holding part 50 is operated in the opposite direction from when the fixing nut 222 is removed to rotate the fixing nut 222 , and the fixing nut 222 is attached to the male screw 228 of the spindle 220 . ) is screwed (tightened). Accordingly, the new cutting blade 36 to be mounted on the cutting unit 174 is inserted into the receiving portion 226b of the mount flange 226 of the spindle 220 and the fixing nut 222 to be fixed to the spindle 220 . can do it Next, after releasing the suction force of the fixing nut holding portion 50 , the second cover member 224b of the blade cover 224 of the cutting unit 174 is positioned at the closed position. In addition, about the disassembly and attachment of the fixing nut 222 and the cutting blade 36 as mentioned above, you may implement simultaneously with respect to a pair of cutting unit 174, and may implement separately.

이어서, 제1·제2 이동체 (112, 114) 를 후퇴시킴과 함께, 반출입 유닛 (6) 의 케이싱 (52) 을 60° 회전시켜, 떼어낸 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 일방을 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 대면시킨다. 또, 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 의 무한 궤도 (22) 를 회전시켜, 절삭 블레이드 (36) 를 지지하고 있지 않은 빈 지지축 (24) 을 소정 위치 (예를 들어, 지지축 (24) 의 궤도에 있어서의 최하단의 위치) 에 위치 부여한다.Next, while the first and second movable bodies 112 and 114 are retreated, the casing 52 of the carry-in/out unit 6 is rotated by 60°, and one of the removed pair of cutting blades 36 is used as a cutting blade. It faces the storage unit (4). Moreover, by rotating the caterpillar 22 of the cutting blade storage unit 4, the empty support shaft 24 which does not support the cutting blade 36 is moved to a predetermined position (for example, the orbit of the support shaft 24) position at the lowermost position in ).

이어서, X 축 이동 기구 (12) 및 Z 축 이동 기구 (10) 를 작동시켜, 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지하고 있는 일방의 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 에 상기 소정 위치의 지지축 (24) 의 축부 (34) 를 삽입할 수 있도록, 블레이드 유지부 (48) 의 X 축 방향 위치 및 Z 축 방향 위치를 조정한다.Next, the X-axis movement mechanism 12 and the Z-axis movement mechanism 10 are operated, and the central opening 38a of one of the cutting blades 36 suctioned and held by the blade holder 48 is positioned at the predetermined position. The X-axis direction position and the Z-axis direction position of the blade holding part 48 are adjusted so that the shaft part 34 of the support shaft 24 can be inserted.

이어서, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 에 의해 프레임체 (74) 를 Y 축 방향으로 이동시켜, 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지하고 있는 일방의 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 에 상기 소정 위치의 지지축 (24) 의 축부 (34) 를 삽입함과 함께, 일방의 절삭 블레이드 (36) 의 단면을 지지축 (24) 의 기부 (32) 의 단면에 접촉시킨다. 이어서, 블레이드 유지부 (48) 의 흡인력을 해제하고, 떼어낸 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 일방을 지지축 (24) 에 주고 받는다.Next, the frame body 74 is moved in the Y-axis direction by the Y-axis direction positioning unit 8, and the central opening 38a of one of the cutting blades 36 is sucked and held by the blade holding part 48. While inserting the shaft portion 34 of the support shaft 24 at the predetermined position, the end face of one of the cutting blades 36 is brought into contact with the end face of the base 32 of the support shaft 24 . Next, the suction force of the blade holding part 48 is canceled, and one of the removed pair of cutting blades 36 is sent and received to the support shaft 24 .

또, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 에 의해 반출입 유닛 (6) 을 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 으로부터 이간시킴과 함께, 반출입 유닛 (6) 의 케이싱 (52) 을 180° 회전시켜, 떼어낸 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 타방을 흡인 유지하고 있는 반대측의 블레이드 유지부 (48) 를 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 대면시킨다. 이어서, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 에 의해 프레임체 (74) 를 Y 축 방향으로 이동시켜, 반대측의 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지하고 있는 타방의 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 에 상기 소정 위치의 지지축 (24) 의 축부 (34) 를 삽입함과 함께, 타방의 절삭 블레이드 (36) 의 단면을, 지지축 (24) 에 지지되어 있는 절삭 블레이드 (36) 의 단면에 접촉시킨다. 이어서, 블레이드 유지부 (48) 의 흡인력을 해제하고, 떼어낸 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 타방을 지지축 (24) 에 주고 받는다.In addition, the carrying-in/out unit 6 is separated from the cutting blade storage unit 4 by the Y-axis direction positioning unit 8, and the casing 52 of the carrying-in/out unit 6 is rotated 180° to remove The blade holding unit 48 on the opposite side holding the other side of the pair of cutting blades 36 by suction is made to face the cutting blade storage unit 4 . Then, the frame body 74 is moved in the Y-axis direction by the Y-axis direction positioning unit 8, and the central opening ( Inserting the shaft portion 34 of the support shaft 24 at the predetermined position in 38a), and inserting the other cutting blade 36 cross-section. make contact with Next, the suction force of the blade holding part 48 is released, and the other of the removed pair of cutting blades 36 is exchanged with the support shaft 24 .

이상과 같이, 본 실시형태의 보조 장치 (2) 에 있어서는, 사용자에게 이미 납품한 절삭 장치 (170) 에 나중에 장착하여, 절삭 장치 (170) 의 절삭 유닛 (174) 에 장착된 절삭 블레이드 (36) 를 교환할 수 있도록 되어 있다.As described above, in the auxiliary device 2 of the present embodiment, the cutting blade 36 is attached later to the cutting device 170 that has already been delivered to the user, and the cutting blade 36 is attached to the cutting unit 174 of the cutting device 170 . are available for exchange.

다음으로, 도 8 및 도 9 에 나타내는 구성을 보조 장치 (2) 가 구비하는 경우에 있어서, 드레싱 보드 (142) 또는 단면 수정 지그 (156) 를 절삭 장치 (170) 에 반입하는 방법에 대해서 설명한다.Next, when the auxiliary apparatus 2 is equipped with the structure shown in FIGS. 8 and 9, the method of carrying in the dressing board 142 or the cross-section correction jig 156 into the cutting apparatus 170 is demonstrated. .

보조 장치 (2) 를 사용하여, 드레싱 보드 (142) 를 절삭 장치 (170) 에 반입하는 경우에는, 먼저, 유지 수단 (146) 의 승강 수단으로 1 쌍의 승강편 (152) 을 하강시키고, 드레싱 보드 수용부 (144) 에 수용된 드레싱 보드 (142) 중, 2 매의 드레싱 보드 (142) 에 각 흡인 패드 (154) 를 접촉시킨다. 이어서, 흡인 수단으로 각 흡인 패드 (154) 에 흡인력을 생성하고, 각 흡인 패드 (154) 로 드레싱 보드 (142) 를 흡인 유지한다. 이어서, 드레싱 보드 (142) 를 흡인 유지한 승강편 (152) 을 상승시킨다.When carrying in the dressing board 142 to the cutting device 170 using the auxiliary apparatus 2, first, a pair of raising/lowering piece 152 is lowered by the raising/lowering means of the holding means 146, and dressing Of the dressing boards 142 accommodated in the board accommodating portion 144 , the two dressing boards 142 are brought into contact with each suction pad 154 . Then, a suction force is generated on each suction pad 154 by suction means, and the dressing board 142 is held by suction with each suction pad 154 . Next, the lifting piece 152 holding the dressing board 142 by suction is raised.

이어서, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 및 Z 축 이동 기구 (10) 에 의해, 절삭 장치 (170) 에 대한 반출입 유닛 (6) 의 Y 축 방향 위치 및 Z 축 방향 위치를 조정한 후, 도 21 에 나타내는 바와 같이, X 축 이동 기구 (12) (제1 X 축 이동 기구로서의 에어 실린더 (130) 및 제2 X 축 이동 기구 (136)) 로 반출입 유닛 (6) 을 절삭 장치 (170) 를 향하여 전진시키고, 승강편 (152) 으로 흡인 유지한 드레싱 보드 (142) 를 서브 테이블 (194) 의 상방에 위치 부여한다.Next, after adjusting the Y-axis direction position and the Z-axis direction position of the carrying-in/out unit 6 with respect to the cutting device 170 by the Y-axis direction positioning unit 8 and the Z-axis movement mechanism 10, FIG. As shown in 21, the carrying-in/out unit 6 is carried out by the X-axis movement mechanism 12 (the air cylinder 130 and the 2nd X-axis movement mechanism 136 as a 1st X-axis movement mechanism), and the cutting device 170 is used. The dressing board 142 advancing toward the upper part of the sub-table 194 is positioned above the sub-table 194, which is advancing toward and held by the raising/lowering piece 152.

이어서, 승강편 (152) 을 하강시켜, 드레싱 보드 (142) 의 하면을 서브 테이블 (194) 의 상면에 접촉시킨다. 이어서, 서브 테이블 (194) 의 각 흡인공 (196) 에 흡인력을 생성하고, 드레싱 보드 (142) 를 서브 테이블 (194) 에 의해 흡인 유지함과 함께, 유지 수단 (146) 의 흡인력을 해제한다. 이와 같이 보조 장치 (2) 에 있어서는, 사용자에게 이미 납품한 절삭 장치 (170) 에 나중에 장착하여, 드레싱 보드 (142) 를 절삭 장치 (170) 에 반입할 수 있다.Next, the lifting piece 152 is lowered so that the lower surface of the dressing board 142 is brought into contact with the upper surface of the sub table 194 . Next, while generating a suction force in each suction hole 196 of the sub table 194 and holding the dressing board 142 by suction by the sub table 194, the suction force of the holding means 146 is cancelled. Thus, in the auxiliary apparatus 2, it can attach to the cutting apparatus 170 already delivered to a user, and can carry in the dressing board 142 into the cutting apparatus 170 in this way.

그리고, 도 22 에 나타내는 바와 같이, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 스핀들 하우징 (212) 을 Y 축 방향으로 이동시켜, 절삭 유닛 (174) 에 장착되어 있는 절삭 블레이드 (36) 를 드레싱 보드 (142) 의 상방에 위치 부여한 후, Z 축 이송 수단 (180) 에 의해 스핀들 하우징 (212) 을 하강시키고, 화살표 R 로 나타내는 방향으로 고속 회전시킨 절삭 블레이드 (36) 의 절삭날 (40) 로 드레싱 보드 (142) 를 절삭한다. 이에 따라, 절삭 블레이드 (36) 의 절삭날 (40) 을 수정하는 드레싱 (날 세우기) 을 실시할 수 있다.And, as shown in FIG. 22, the spindle housing 212 is moved in the Y-axis direction by the Y-axis feed means 178, and the cutting blade 36 attached to the cutting unit 174 is moved to the dressing board 142. ), the spindle housing 212 is lowered by the Z-axis feed means 180, and the dressing board ( 142) is cut. Thereby, dressing (sharpening) which corrects the cutting edge 40 of the cutting blade 36 can be performed.

또, 보조 장치 (2) 를 사용하여, 단면 수정 지그 (156) 를 절삭 장치 (170) 에 반입하는 경우에는, 먼저, 유지 수단 (146) 의 승강 수단으로 1 쌍의 승강편 (152) 를 하강시켜, 단면 수정 지그 수용부 (158) 에 수용된 1 쌍의 단면 수정 지그 (156) 의 기판 (160) 의 상면에 각 흡인 패드 (154) 를 접촉시킨다. 이어서, 흡인 수단으로 각 흡인 패드 (154) 에 흡인력을 생성하고, 각 흡인 패드 (154) 로 단면 수정 지그 (156) 를 흡인 유지한다. 이어서, 단면 수정 지그 (156) 를 흡인 유지한 승강편 (152) 을 상승시킨다.Moreover, when carrying in the cross-section correction jig 156 to the cutting device 170 using the auxiliary device 2, first, the pair of raising/lowering pieces 152 are lowered by the raising/lowering means of the holding means 146. Thus, each suction pad 154 is brought into contact with the upper surface of the substrate 160 of the pair of end face correction jigs 156 accommodated in the end face correction jig accommodating portion 158 . Then, a suction force is generated in each suction pad 154 by suction means, and the end face correction jig 156 is held by suction by each suction pad 154 . Next, the lifting piece 152 holding the cross-section correction jig 156 by suction is raised.

이어서, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 및 Z 축 이동 기구 (10) 에 의해, 절삭 장치 (170) 에 대한 반출입 유닛 (6) 의 Y 축 방향 위치 및 Z 축 방향 위치를 조정한 후, 도 22 에 나타내는 바와 같이, X 축 이동 기구 (12) 로 반출입 유닛 (6) 을 절삭 장치 (170) 를 향하여 전진시켜, 승강편 (152) 으로 흡인 유지한 단면 수정 지그 (156) 를 서브 테이블 (194) 의 상방에 위치 부여한다.Next, after adjusting the Y-axis direction position and the Z-axis direction position of the carrying-in/out unit 6 with respect to the cutting device 170 by the Y-axis direction positioning unit 8 and the Z-axis movement mechanism 10, FIG. As shown in 22, the carrying-in/out unit 6 is advanced toward the cutting device 170 by the X-axis movement mechanism 12, and the cross-section correction jig 156 which was attracted|sucked and held by the raising/lowering piece 152 is sub-table 194. ) is positioned above the

이어서, 승강편 (152) 을 하강시켜, 단면 수정 지그 (156) 의 기판 (160) 의 하면을 서브 테이블 (194) 의 상면에 접촉시킨다. 이어서, 서브 테이블 (194) 의 각 흡인공 (196) 에 흡인력을 생성하고, 단면 수정 지그 (156) 를 서브 테이블 (194) 에 의해 흡인 유지함과 함께, 유지 수단 (146) 의 흡인력을 해제한다. 이와 같이 보조 장치 (2) 에 있어서는, 사용자에게 이미 납품한 절삭 장치 (170) 에 나중에 장착하여, 단면 수정 지그 (156) 를 절삭 장치 (170) 에 반입할 수 있다.Next, the lifting piece 152 is lowered, and the lower surface of the board|substrate 160 of the cross-section correction jig 156 is made to contact the upper surface of the sub-table 194. As shown in FIG. Next, a suction force is generated in each suction hole 196 of the sub table 194 , and the end face correction jig 156 is suction held by the sub table 194 , and the suction force of the holding means 146 is released. In this way, in the auxiliary device 2 , it can be later attached to the cutting device 170 already delivered to the user, and the cross-section correction jig 156 can be loaded into the cutting device 170 .

그리고, 반출입 유닛 (6) 의 블레이드 유지부 (48) 및 고정 너트 유지부 (50) 에 의해 절삭 유닛 (174) 의 스핀들 (220) 로부터 고정 너트 (222) 및 절삭 블레이드 (36) 를 떼어낸 후, Z 축 이송 수단 (180) 을 작동하여, 스핀들 (220) 의 마운트 플랜지 (226) 의 받이부 (226b) 를 단면 수정 지그 (156) 의 지석 (162) 에 대면시킨다. 이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 스핀들 하우징 (212) 을 Y 축 방향으로 이동시켜, 회전시킨 스핀들 (220) 의 마운트 플랜지 (226) 의 받이부 (226b) 를 단면 수정 지그 (156) 의 지석 (162) 에 접촉시킨다. 이에 따라, 지석 (162) 에 의해 마운트 플랜지 (226) 의 받이부 (226b) (외주 단면) 를 연삭하여 평탄하게 정돈할 수 있다.Then, after removing the fixing nut 222 and the cutting blade 36 from the spindle 220 of the cutting unit 174 by the blade holding part 48 and the fixing nut holding part 50 of the carrying-in/out unit 6 , the Z-axis feed means 180 is operated to make the receiving portion 226b of the mount flange 226 of the spindle 220 face the grindstone 162 of the cross-section correction jig 156 . Next, the spindle housing 212 is moved in the Y-axis direction by the Y-axis transfer means 178 and the receiving portion 226b of the mount flange 226 of the rotated spindle 220 is attached to the end face correction jig 156 . It is brought into contact with the grindstone 162 . Thereby, the receiving part 226b (outer peripheral end surface) of the mount flange 226 can be grinded by the grindstone 162, and it can be leveled.

또한, 본 실시형태에 있어서는, 절삭 장치 (170) 에 1 쌍의 절삭 유닛 (174) 이 형성되어 있는 것에 대응하여, 보조 장치 (2) 의 반출입 유닛 (6) 이, 4 개의 블레이드 유지부 (48) 와, 2 개의 고정 너트 유지부 (50) 를 구비하는 예를 설명했지만, 절삭 장치 (170) 에 단일의 절삭 유닛 (174) 이 형성되어 있는 경우, 반출입 유닛 (6) 은, 2 개의 블레이드 유지부 (48) 와, 1 개의 고정 너트 유지부 (50) 를 구비하고 있으면 된다. 또, 절삭 장치 (170) 에 단일의 절삭 유닛 (174) 이 형성되어 있는 경우에는, 드레싱 보드 (142) 및 단면 수정 지그 (156) 를 유지하는 유지 수단 (146) 은 1 개여도 된다.In addition, in this embodiment, in response to the one pair of cutting units 174 being formed in the cutting device 170, the carrying in/out unit 6 of the auxiliary device 2 has four blade holding parts 48 ) and the example provided with the two fixing nut holding parts 50 was demonstrated, but when the single cutting unit 174 is formed in the cutting device 170, the carrying-in unit 6 is two blade holding|maintenance. What is necessary is just to provide the part 48 and the one fixing nut holding part 50. Moreover, when the single cutting unit 174 is formed in the cutting device 170, the one holding means 146 which hold|maintains the dressing board 142 and the cross-section correction jig 156 may be sufficient.

2 : 보조 장치
4 : 절삭 블레이드 보관 유닛
6 : 반출입 유닛
8 : Y 축 방향 위치 부여 유닛
10 : Z 축 이동 기구
12 : X 축 이동 기구
14 : 회전축
16 : 구동 기어
18 : 회전축
20 : 종동 기어
22 : 무한 궤도
24 : 지지축
36 : 절삭 블레이드
38a : 중앙 개구부
46 : Z 회전축
48 : 블레이드 유지부
50 : 고정 너트 유지부
74 : 프레임체
76 : 승강 테이블
80 : 저부 (프레임체)
84 : 천정부 (프레임체)
92 : 가이드 레일 (승강 테이블)
112 : 제1 이동체
114 : 제2 이동체
116 : 제1 가이드 레일
118 : 제2 가이드 레일
142 : 드레싱 보드
144 : 드레싱 보드 수용부
146 : 유지 수단
156 : 단면 수정 지그
158 : 단면 수정 지그 수용부2: Auxiliary device
4: Cutting blade storage unit
6: Carry-in/out unit
8: Y-axis direction positioning unit
10: Z-axis movement mechanism
12: X-axis movement mechanism
14: rotation axis
16: drive gear
18: rotation shaft
20: driven gear
22 : caterpillar
24: support shaft
36: cutting blade
38a: central opening
46: Z rotation axis
48: blade holding part
50: fixing nut holding part
74: frame body
76: elevating table
80: bottom (frame body)
84: ceiling (frame body)
92: guide rail (elevating table)
112: first moving body
114: second moving body
116: first guide rail
118: second guide rail
142: dressing board
144: dressing board receiving part
146: maintenance means
156: section modification jig
158: section modification jig receiving part

Claims (3)

피가공물을 유지하는 유지면을 구비한 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 장착한 절삭 유닛과, 그 척 테이블을 X 축 방향으로 가공 이송하는 X 축 이송 수단과, 그 절삭 유닛을 그 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 산출 이송하는 Y 축 이송 수단과, 그 X 축 방향 및 그 Y 축 방향과 직교하는 Z 축 방향으로 그 절삭 유닛을 절입 이송하는 Z 축 이송 수단을 구비하고, 그 유지면은 그 X 축 방향 및 그 Y 축 방향으로 규정된 절삭 장치에 연결되는 보조 장치로서,
절삭 블레이드를 드레싱하기 위한 드레싱 보드를 수용하는 드레싱 보드 수용부와, 그 드레싱 보드 수용부에 수용된 드레싱 보드를 유지하는 유지 수단을 구비하고, 그 척 테이블에 인접해서 배치 형성된 서브 테이블에 그 유지 수단이 유지한 드레싱 보드를 반입하는 보조 장치.A chuck table having a holding surface for holding a workpiece, a cutting unit equipped with a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table, and an X-axis feeding means for processing and feeding the chuck table in the X-axis direction; , Y-axis feeding means for calculating and feeding the cutting unit in the Y-axis direction orthogonal to the X-axis direction, and Z-axis for cutting and feeding the cutting unit in the X-axis direction and the Z-axis direction orthogonal to the Y-axis direction An auxiliary device comprising a conveying means, the holding surface of which is connected to a cutting device defined in its X-axis direction and its Y-axis direction,
A dressing board accommodating part for accommodating a dressing board for dressing the cutting blade, and holding means for holding the dressing board accommodated in the dressing board accommodating part, wherein the holding means is provided on a sub-table disposed and formed adjacent to the chuck table Auxiliary device for carrying in the maintained dressing board. 제 1 항에 있어서,
그 유지 수단은, 프레임체의 내부에 배치 형성된 제1 이동체에 배치 형성되고, 그 제1 이동체는 제2 이동체의 하부에 배치 형성된 X 축 방향으로 연장되는 제1 가이드 레일에 매달린 상태로 슬라이딩 가능하게 지지되고, 그 제2 이동체는 그 프레임체의 천정부에 배치 형성된 X 축 방향으로 연장되는 제2 가이드 레일에 매달린 상태로 슬라이딩 가능하게 지지되고, 그 유지 수단은 그 제1 이동체 및 그 제2 이동체에 의해 X 축 방향으로 자유롭게 진출할 수 있도록 구성되는 보조 장치.The method of claim 1,
The holding means is disposed on a first movable body disposed and formed inside the frame body, and the first movable body is slidably suspended from a first guide rail extending in the X-axis direction disposed below the second movable body. supported, and the second movable body is slidably supported while being suspended from a second guide rail extending in the X-axis direction disposed on the ceiling portion of the frame body, and the holding means is attached to the first movable body and the second movable body. Auxiliary device configured to freely advance in the X-axis direction by 제 2 항에 있어서,
그 프레임체는 승강 테이블에 배치 형성되는 보조 장치.3. The method of claim 2,
The frame body is an auxiliary device arranged and formed on the lifting table.
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