KR20220102101A - 보조 장치 - Google Patents

Abstract

(과제) 드레싱 보드를 자동적으로 절삭 장치에 반입할 수 있는 보조 장치를 제공한다.
(해결 수단) 절삭 장치에 연결되는 보조 장치는, 절삭 블레이드를 드레싱하기 위한 드레싱 보드를 수용하는 드레싱 보드 수용부와, 드레싱 보드 수용부에 수용된 드레싱 보드를 유지하는 유지 수단을 구비하고, 척 테이블에 인접해서 배치 형성된 서브 테이블에 유지 수단이 유지한 드레싱 보드를 반입한다.

Description

보조 장치{ASSISTANT DEVICE}

본 발명은 절삭 장치에 연결되는 보조 장치에 관한 것이다.

IC, LSI 등의 복수의 디바이스가 교차하는 복수의 분할 예정 라인에 의해 구획되어 표면에 형성된 웨이퍼는, 절삭 장치에 의해 개개의 디바이스 칩으로 분할되고, 분할된 각 디바이스 칩은 휴대 전화, 퍼스널 컴퓨터 등의 전기 기기에 이용된다.

절삭 장치는, 웨이퍼를 유지하는 유지면을 구비한 척 테이블과, 척 테이블에 유지된 웨이퍼를 절삭하는 절삭 블레이드를 고정 너트로 장착한 절삭 유닛과, 척 테이블을 X 축 방향으로 가공 이송하는 X 축 이송 수단과, 절삭 유닛을 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 산출 이송하는 Y 축 이송 수단과, X 축 방향 및 Y 축 방향과 직교하는 Z 축 방향으로 절삭 유닛을 절입 이송하는 Z 축 이송 수단을 구비하고, 유지면은 X 축 방향 및 Y 축 방향으로 규정되어 있어, 웨이퍼를 고정밀도로 개개의 디바이스 칩으로 분할할 수 있다.

피가공물의 절삭 가공을 반복하면, 절삭 블레이드에 날 무뎌짐이 발생하여 절삭 성능이 저하되어 버리므로, 적시에, 절삭 블레이드의 절삭날을 수정하는 드레싱 (날 세우기) 을 실시할 필요가 있으며, 드레싱은, 결합재를 사용하여 지립을 판상으로 형성한 드레싱 보드를 척 테이블에 재치 (載置) 하고, 절삭 블레이드로 드레싱 보드를 절삭함으로써 실시된다 (예를 들어 특허문헌 1 참조).

일본 공개특허공보 2007-203429호

그러나, 절삭 블레이드의 절삭날을 수정하는 드레싱을 실시하는 경우, 오퍼레이터가 드레싱 보드를 준비하지 않으면 안되어 번거롭기 그지없다는 문제가 있다.

따라서, 본 발명의 목적은, 드레싱 보드를 자동적으로 절삭 장치에 반입할 수 있는 보조 장치를 제공하는 것이다.

본 발명에 의하면, 피가공물을 유지하는 유지면을 구비한 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 장착한 절삭 유닛과, 그 척 테이블을 X 축 방향으로 가공 이송하는 X 축 이송 수단과, 그 절삭 유닛을 그 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 산출 이송하는 Y 축 이송 수단과, 그 X 축 방향 및 그 Y 축 방향과 직교하는 Z 축 방향으로 그 절삭 유닛을 절입 이송하는 Z 축 이송 수단을 구비하고, 그 유지면은 그 X 축 방향 및 그 Y 축 방향으로 규정된 절삭 장치에 연결되는 보조 장치로서, 절삭 블레이드를 드레싱하기 위한 드레싱 보드를 수용하는 드레싱 보드 수용부와, 그 드레싱 보드 수용부에 수용된 드레싱 보드를 유지하는 유지 수단을 구비하고, 그 척 테이블에 인접해서 배치 형성된 서브 테이블에 그 유지 수단이 유지한 드레싱 보드를 반입하는 보조 장치가 제공된다.

바람직하게는, 그 유지 수단은, 프레임체의 내부에 배치 형성된 제1 이동체에 배치 형성되고, 그 제1 이동체는 제2 이동체의 하부에 배치 형성된 X 축 방향으로 연장되는 제1 가이드 레일에 매달린 상태로 슬라이딩 가능하게 지지되고, 그 제2 이동체는 그 프레임체의 천정부에 배치 형성된 X 축 방향으로 연장되는 제2 가이드 레일에 매달린 상태로 슬라이딩 가능하게 지지되고, 그 유지 수단은 그 제1 이동체 및 그 제2 이동체에 의해 X 축 방향으로 자유롭게 진출할 수 있도록 구성된다. 바람직하게는, 그 프레임체는 승강 테이블에 배치 형성된다.

본 발명의 보조 장치는, 드레싱 보드를 자동적으로 절삭 장치에 반입할 수 있다.

도 1 은, 본 발명 실시형태의 보조 장치의 사시도이다.
도 2 는, 도 1 에 나타내는 절삭 블레이드 보관 유닛의 분해 사시도이다.
도 3 은, 도 2 에 나타내는 지지축의 사시도이다.
도 4 는, 도 2 에 나타내는 지지축의 단면도이다.
도 5 는, 도 1 에 나타내는 반출입 유닛의 사시도이다.
도 6 은, 도 1 에 나타내는 프레임체, 승강 테이블 및 베이스 가대의 분해 사시도이다.
도 7 은, 도 1 에 나타내는 프레임체의 분해 사시도이다.
도 8 은, 유지 수단이 배치 형성된 프레임체의 분해 사시도이다.
도 9 는, 도 8 에 나타내는 드레싱 보드 및 단면 수정 지그의 사시도이다.
도 10 은, 도 1 에 나타내는 보조 장치가 연결되는 절삭 장치의 사시도이다.
도 11 은, 도 10 에 나타내는 척 테이블의 사시도이다.
도 12 는, 도 10 에 나타내는 절삭 유닛의 사시도이다.
도 13 은, 도 12 에 나타내는 블레이드 커버가 개방된 상태에 있어서의 절삭 유닛의 사시도이다.
도 14 는, 도 10 에 나타내는 절삭 유닛의 분해 사시도이다.
도 15 는, 도 1 에 나타내는 보조 장치가 도 10 에 나타내는 절삭 장치에 연결된 상태를 나타내는 사시도이다.
도 16 은, 도 1 에 나타내는 보조 장치의 절삭 블레이드 보관 유닛과 반출입 유닛이 대면하고 있는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 17 은, 도 16 에 나타내는 상태로부터 프레임체가 절삭 블레이드 보관 유닛을 향하여 전진한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 18 은, 도 17 에 나타내는 상태로부터 프레임체가 후퇴함과 동시에, 승강 테이블이 상승한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 19 는, 도 18 에 나타내는 상태로부터 제1 이동체가 절삭 장치를 향하여 전진한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 20 은, 도 19 에 나타내는 상태로부터 제2 이동체가 절삭 장치를 향하여 전진한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 21 은, 도 8 에 나타내는 반출입 유닛에 의해 드레싱 보드를 반입하고 있는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 22 는, 드레싱을 실시하고 있는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 23 은, 도 8 에 나타내는 반출입 유닛에 의해 단면 수정 지그를 반입하고 있는 상태를 나타내는 사시도이다.

이하, 본 발명 실시형태의 보조 장치에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1 을 참조하여 설명하면, 전체를 부호 2 로 나타내는 보조 장치는, 복수의 절삭 블레이드를 보관하는 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 과, 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 으로부터 절삭 블레이드를 반출 및 반입하는 반출입 유닛 (6) 과, 반출입 유닛 (6) 을 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 대하여 Y 축 방향의 작용 위치와 퇴피 위치에 위치 부여하는 Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 과, 반출입 유닛 (6) 을 Z 축 방향으로 이동하는 Z 축 이동 기구 (10) 와, 반출입 유닛 (6) 을 X 축 방향으로 이동하여, 절삭 장치의 절삭 유닛의 스핀들에 장착된 절삭 블레이드에 작용하는 X 축 이동 기구 (12), 를 적어도 구비한다. 또한, X 축 방향은 도 1 에 화살표 X 로 나타내는 방향이고, Y 축 방향은 도 1 에 화살표 Y 로 나타내는 방향으로서 X 축 방향으로 직교하는 방향이며, Z 축 방향은 도 1 에 화살표 Z 로 나타내는 방향으로서 X 축 방향 및 Y 축 방향으로 직교하는 상하 방향이다. 또, X 축 방향 및 Y 축 방향이 규정하는 평면은 실질상 수평이다.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 은, Y 축 방향으로 연장되는 회전축 (14) 을 갖는 구동 기어 (16) 와, 구동 기어 (16) 와 Z 축 방향으로 이간하고 Y 축 방향으로 연장되는 회전축 (18) 을 갖는 종동 기어 (20) 와, 구동 기어 (16) 와 종동 기어 (20) 에 감긴 무한 궤도 (22) 와, 무한 궤도 (22) 에 소정의 간격으로 배치 형성되고 절삭 블레이드의 중앙 개구부에 삽입되어 절삭 블레이드를 지지하는 Y 축 방향으로 연장되는 지지축 (24) 을 포함한다.

도 1 및 도 2 를 참조하여 설명하면, 본 실시형태의 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 은, 베이스판 (26) (도 1 참조) 과, 베이스판 (26) 의 상면으로부터 상방으로 연장되는 지지벽 (28) 과, 지지벽 (28) 의 편면에 고정된 모터 (30) 를 포함한다. 도 2 에 나타내는 바와 같이, 모터 (30) 에는, 구동 기어 (16) 의 회전축 (14) 이 연결되어 있고, 모터 (30) 는, Y 축 방향을 축심으로 하여 구동 기어 (16) 를 회전시키도록 되어 있다.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 종동 기어 (20) 는 구동 기어 (16) 의 상방에 배치되고, 종동 기어 (20) 의 회전축 (18) 은, Y 축 방향을 축심으로 하여 자유롭게 회전할 수 있도록 또한 Z 축 방향으로 자유롭게 승강할 수 있도록 지지벽 (28) 에 지지되어 있다. 지지벽 (28) 에는, 종동 기어 (20) 를 Z 축 방향으로 승강시키는 승강 수단 (도시되어 있지 않다) 이 형성되어 있다. 승강 수단은, 종동 기어 (20) 의 회전축 (18) 에 연결되고 Z 축 방향으로 연장되는 볼 나사와, 이 볼 나사를 회전시키는 모터를 갖는 구성이어도 된다.

무한 궤도 (22) 는, 상호 연결된 다수의 링크편 (부호 생략) 으로 구성되어 있고, 구동 기어 (16) 와 종동 기어 (20) 에 감겨 있다. 무한 궤도 (22) 는, 모터 (30) 에 의해 구동 기어 (16) 가 회전하는 데 따라서 회전하도록 되어 있다.

본 실시형태의 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 있어서는, 승강 수단으로 종동 기어 (20) 의 Z 축 방향의 위치를 바꿈으로써, 구동 기어 (16) 와 종동 기어 (20) 의 Z 축 방향의 간격을 조정할 수 있도록 되어 있다. 또, 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 있어서는, 무한 궤도 (22) 의 링크편의 수량을 적절히 증감함으로써, 무한 궤도 (22) 의 길이도 조정할 수 있도록 되어 있다.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 지지축 (24) 은, 소정의 간격을 두고 무한 궤도 (22) 에 복수 배치 형성되어 있다. 또, 도 2 와 함께 도 3 을 참조함으로써 이해되는 바와 같이, 지지축 (24) 은, 무한 궤도 (22) 에 연결된 원기둥 형상의 기부 (32) 와, 기부 (32) 의 단면 (端面) 으로부터 Y 축 방향으로 연장되는 원기둥 형상의 축부 (34) 를 갖는다. 축부 (34) 의 직경은 기부 (32) 의 직경보다 작다.

도 3 에는, 지지축 (24) 에 지지되는 절삭 블레이드 (36) 도 도시되어 있다. 절삭 블레이드 (36) 는, 환상 (環狀) 의 기대 (38) 와, 기대 (38) 의 외주부에 고정된 환상의 절삭날 (40) 을 갖는다. 기대 (38) 는, 알루미늄 합금 등의 적절한 금속 재료로부터 형성될 수 있다. 기대 (38) 의 중앙부에는, 원형의 중앙 개구부 (38a) 가 형성되어 있다. 절삭날 (40) 은, 다이아몬드 등의 지립과, 금속이나 수지 등의 결합재로부터 소정의 두께 (예를 들어 10 ∼ 30 ㎛ 정도) 로 형성되어 있고, 기대 (38) 의 외주연으로부터 지름 방향 외측으로 돌출되어 있다.

지지축 (24) 에 있어서는, 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 에 축부 (34) 가 삽입되고, 복수 (예를 들어 5 개) 의 절삭 블레이드 (36) 를 축부 (34) 로 지지하도록 되어 있다. 본 실시형태에서는, 도 2 를 참조함으로써 이해되는 바와 같이, 복수의 지지축 (24) 중 절반수의 지지축 (24) 에 절삭 블레이드 (36) 가 지지되어 있다. 또, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 축부 (34) 의 선단측에는, 축부 (34) 로 지지한 절삭 블레이드 (36) 의 튀어나옴을 방지하기 위한 복수의 볼 플런저 (42) 가 둘레 방향으로 간격을 두고 장착되어 있다.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 지지축 (24) 의 각 기부 (32) 의 내부에는 유로 (32a) 가 형성되어 있고, 각 유로 (32a) 의 일단부에 연통하는 복수의 유로 (22a) 가 무한 궤도 (22) 에 형성되어 있다. 각 유로 (32a) 의 타단부는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 축부 (34) 보다 직경 방향 외측의 기부 (32) 의 단면에 있어서 개구되어 있다. 또, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 지지벽 (28) 에는, 구동 기어 (16) 의 하방에 있어서 Y 축 방향으로 돌출하는 에어 노즐 (44) 이 형성되어 있고, 에어 노즐 (44) 은, 고압 에어 공급 수단 (도시되어 있지 않다) 에 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 무한 궤도 (22) 의 회전에 수반하는 지지축 (24) 의 궤도에 있어서 최하단에 위치하는 지지축 (24) 과, 에어 노즐 (44) 의 선단이 대면하고 있다.

그리고, 축부 (34) 의 선단측에 위치하는 절삭 블레이드 (36) 가 반출된 경우에, 에어 노즐 (44) 로부터 무한 궤도 (22) 의 유로 (22a) 를 통해서, 최하단에 위치하는 지지축 (24) 의 기부 (32) 의 유로 (32a) 에 고압 에어를 공급함으로써, 축부 (34) 에 남겨진 절삭 블레이드 (36) 를 축부 (34) 의 선단측으로 밀어 낼 수 있도록 되어 있다. 단, 볼 플런저 (42) 의 작용에 의해 절삭 블레이드 (36) 가 축부 (34) 로부터 낙하하는 경우는 없다.

도 5 를 참조하여 반출입 유닛 (6) 에 대해서 설명한다. 반출입 유닛 (6) 은, Z 축 방향으로 연장되는 Z 회전축 (46) 과, Z 회전축 (46) 에 방사상으로 연결되고 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지하는 블레이드 유지부 (48) 와, 고정 너트를 절삭 장치의 스핀들의 선단에 형성된 수나사에 나사조임 및 나사풀림하는 고정 너트 유지부 (50) 를 적어도 구비한다.

도 5 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 반출입 유닛 (6) 은 추가로 케이싱 (52) 을 구비하고, 케이싱 (52) 은, 정육각형상의 천판 (54) 과, 천판 (54) 의 둘레 가장자리로부터 수하 (垂下) 하는 직사각형 판상의 6 개의 측벽 (56) 을 갖는다. 천판 (54) 의 상면으로부터는 상기 Z 회전축 (46) 이 돌출되어 있다. 케이싱 (52) 의 내부에는, Z 회전축 (46) 에 연결된 모터 (도시되어 있지 않다) 가 수용되어 있다.

본 실시형태에서는, 케이싱 (52) 의 6 개의 측벽 (56) 중, 4 개의 측벽 (56) 에는 블레이드 유지부 (48) 가 장착되고, 2 개의 측벽 (56) 에는 고정 너트 유지부 (50) 가 장착되어 있고, 2 개의 고정 너트 유지부 (50) 는 대향하는 1 쌍의 측벽 (56) 에 형성되어 있다. 이와 같이 반출입 유닛 (6) 은, 1 개의 고정 너트 유지부 (50) 에 대하여 2 개의 블레이드 유지부 (48) 를 구비하고 있다.

블레이드 유지부 (48) 는 원통상으로 형성되어 있고, 블레이드 유지부 (48) 의 단면 (58) 에는, 상기 지지축 (24) 의 축부 (34) 및 절삭 장치의 스핀들의 선단부를 수용 가능한 원형의 중앙 개구부 (60) 와, 중앙 개구부 (60) 의 주위에 둘레 방향으로 등간격을 두고 배치된 복수 개의 흡인공 (62) 이 형성되어 있다. 각 흡인공 (62) 은, 흡인 수단 (도시되어 있지 않다) 에 접속되어 있다.

블레이드 유지부 (48) 에 있어서는, 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 보관되어 있는 절삭 블레이드 (36) 의 기대 (38) 에 블레이드 유지부 (48) 의 단면 (58) 이 접촉하는 위치에 위치 부여된 상태에 있어서, 흡인 수단에 의해 각 흡인공 (62) 에 흡인력을 생성함으로써 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지하도록 되어 있다.

도 5 를 참조하여 설명을 계속하면, 고정 너트 유지부 (50) 는, 케이싱 (52) 의 측벽 (56) 에 고정된 원통상의 하우징 (64) 과, 하우징 (64) 의 내부에 자유롭게 회전할 수 있도록 수용된 환상의 회전체 (66) 와, 회전체 (66) 를 회전시키는 모터 (도시되어 있지 않다) 를 포함한다.

회전체 (66) 에는, 절삭 장치의 스핀들의 선단부를 수용 가능한 중앙 개구부 (68) 가 형성되어 있다. 회전체 (66) 의 단면 (66a) 에는, 복수 개의 흡인공 (70) 과, 복수 개의 핀 (72) 이 번갈아 둘레 방향으로 간격을 두고 형성되어 있다. 각 흡인공 (70) 은, 흡인 수단 (도시되어 있지 않다) 에 접속되어 있다. 핀 (72) 은, 회전체 (66) 에 내장된 스프링 (도시되어 있지 않다) 에 의해 회전체 (66) 의 단면 (66a) 으로부터 돌출하는 위치 (도 5 에 나타내는 위치) 에 위치 부여되어 있음과 함께, 회전체 (66) 의 내부를 향하여 눌려지면, 스프링이 수축하여 회전체 (66) 의 내부에 수용된다. 또, 핀 (72) 은, 고정 너트에 형성된 핀 구멍의 위치에 대응해서 배치되어 있다.

고정 너트 유지부 (50) 에 있어서는, 흡인 수단으로 각 흡인공 (70) 에 흡인력을 생성하여 고정 너트를 흡인 유지함과 함께, 고정 너트에 형성된 핀 구멍에 핀 (72) 을 삽입한 상태에 있어서, 모터에 의해 회전체 (66) 를 회전시킴으로써, 절삭 장치의 스핀들에 절삭 블레이드 (36) 를 고정시키기 위한 고정 너트를 스핀들의 선단에 형성된 수나사에 나사조임 및 나사풀림할 수 있도록 되어 있다.

또한, 고정 너트를 스핀들로부터 풀어낼 (떼어낼) 때에, 고정 너트 유지부 (50) 의 핀 (72) 의 위치와, 고정 너트의 핀 구멍의 위치가 어긋나 있는 경우에도, 스핀들에 장착되어 있는 고정 너트의 단면에 회전체 (66) 의 단면 (66a) 을 위치 부여하여, 핀 (72) 을 회전체 (66) 의 내부에 수용한 후에, 회전체 (66) 에 의해 모터를 회전시키면, 핀 (72) 의 위치가 핀 구멍의 위치에 정합했을 때에 스프링에 의해 핀 (72) 이 밀려 나와, 핀 구멍에 핀 (72) 이 삽입된다.

상기와 같이 구성될 수 있는 반출입 유닛 (6) 은, 본 실시형태에서는 도 1 에 나타내는 바와 같이, 프레임체 (74) 의 내부에 배치 형성되어 있다. 프레임체 (74) 는, 승강 테이블 (76) 에 Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 지지되고, 승강 테이블 (76) 은, 베이스 가대 (78) 에 Z 축 방향으로 자유롭게 승강할 수 있도록 지지되어 있다.

도 1 과 함께 도 6 을 참조하여 설명하면, 프레임체 (74) 는, 직사각형 판상의 저부 (80) 와, 저부 (80) 의 상면 네 귀퉁이로부터 상방으로 연장되는 4 개의 지주 (82) 와, 각 지주 (82) 의 상단에 고정된 판상의 천정부 (84) (도 1 참조) 를 포함한다. 저부 (80) 의 하면에는, Y 축 방향으로 연장되는 홈 (86a) 이 형성된 피가이드 부재 (86) 가 X 축 방향으로 간격을 두고 1 쌍 형성되어 있다.

승강 테이블 (76) 은, 직사각형 판상의 천판 (88) 과, 천판 (88) 의 하면 네 귀퉁이로부터 하방으로 연장되는 4 개의 원기둥 형상의 다리부 (90) 를 포함한다. 천판 (88) 의 상면에는, X 축 방향으로 간격을 두고 Y 축 방향으로 연장되는 1 쌍의 가이드 레일 (92) 이 형성되어 있고 1 쌍의 가이드 레일 (92) 은, 프레임체 (74) 의 한 쌍의 피가이드 부재 (86) 의 홈 (86a) 에 자유롭게 슬라이딩 할 수 있도록 끼워 맞춰져 있다.

또, 승강 테이블 (76) 의 천판 (88) 의 상면에는, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 이 형성되어 있다. Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 은, 1 쌍의 가이드 레일 (92) 사이에 있어서 Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (94) 와, 볼 나사 (94) 를 회전시키는 모터 (96) 를 갖는다. 볼 나사 (94) 의 너트부 (도시되어 있지 않다) 는, 프레임체 (74) 의 저부 (80) 의 하면에 고정되어 있다.

Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 에 있어서는, 볼 나사 (94) 에 의해 모터 (96) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 프레임체 (74) 에 전달하고, 1 쌍의 가이드 레일 (92) 을 따라서 프레임체 (74) 를 Y 축 방향으로 이동시킨다. 이와 같이, 반출입 유닛 (6) 이 배치 형성된 프레임체 (74) 는, 승강 테이블 (76) 에 배치 형성된 Y 축 방향으로 연장되는 가이드 레일 (92) 에 슬라이딩 가능하게 지지되고, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 에 의해 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 대하여 Y 축 방향의 작용 위치와 퇴피 위치에 위치 부여되도록 되어 있다.

상기 작용 위치는, 반출입 유닛 (6) 의 블레이드 유지부 (48) 가 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 접근한 위치로서, 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 지지되어 있는 절삭 블레이드 (36) 를 블레이드 유지부 (48) 에 의해 흡인 유지 가능한 위치이다. 또, 상기 퇴피 위치는, 상기 작용 위치보다 반출입 유닛 (6) 의 블레이드 유지부 (48) 가 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 으로부터 이간한 위치이다.

도 6 에 나타내는 바와 같이, 베이스 가대 (78) 는, 프레임 (98) 과, 프레임 (98) 의 상부에 고정된 직사각형상의 베이스판 (100) 을 포함한다. 베이스판 (100) 의 네 귀퉁이에는, 승강 테이블 (76) 의 다리부 (90) 가 자유롭게 슬라이딩 할 수 있도록 삽입되는 4 개의 원형 구멍 (102) 이 형성되어 있다. 또, 베이스판 (100) 의 중앙부에는 암나사 (104) 가 형성되어 있다.

도 6 을 참조하여 설명을 계속하면, 승강 테이블 (76) 및 베이스 가대 (78) 에는, Z 축 이동 기구 (10) 가 연결되어 있다. Z 축 이동 기구 (10) 는, Z 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (106) 와, 볼 나사 (106) 를 회전시키는 모터 (108) 와, 모터 (108) 의 상단에 고정된 연결판 (110) 을 포함한다. 볼 나사 (106) 는, 베이스판 (100) 의 암나사 (104) 에 나사 결합되어 있다. 연결판 (110) 은, 승강 테이블 (76) 의 천판 (88) 의 하면에 볼트 (도시되어 있지 않다) 등의 적절한 연결 수단에 의해 고정되어 있다.

Z 축 이동 기구 (10) 에 있어서는, 볼 나사 (106) 에 의해 모터 (108) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하고, 베이스 가대 (78) 에 대하여 승강 테이블 (76) 을 승강시킴으로써, 반출입 유닛 (6) 이 배치 형성된 프레임체 (74) 를 Z 축 방향으로 이동시킨다.

도 7 을 참조하여 설명하면, 반출입 유닛 (6) 은, 프레임체 (74) 의 내부에 배치 형성된 제1 이동체 (112) 에 배치 형성되고, 제1 이동체 (112) 는 제2 이동체 (114) 의 하부에 배치 형성된 X 축 방향으로 연장되는 제1 가이드 레일 (116) 에 매달린 상태로 슬라이딩 가능하게 지지되고, 제2 이동체 (114) 는 프레임체 (74) 의 천정부 (84) 에 배치 형성된 X 축 방향으로 연장되는 제2 가이드 레일 (118) 에 매달린 상태로 슬라이딩 가능하게 지지되어 있다.

제1 이동체 (112) 는, 직사각형 판상의 본체 (120) 를 갖는다. 본체 (120) 의 중앙부에는, 원형 구멍 (122) 이 형성되어 있다. 원형 구멍 (122) 에는, 반출입 유닛 (6) 의 Z 회전축 (46) 이 삽입되고, Z 회전축 (46) 은 본체 (120) 에 회전 불가능하게 고정된다. Z 회전축 (46) 에 연결되어 있는 반출입 유닛 (6) 의 모터가 구동하면, 제1 이동체 (112) 에 대하여 반출입 유닛 (6) 의 케이싱 (52) 이 회전하고, 블레이드 유지부 (48) 및 고정 너트 유지부 (50) 가 임의의 방향으로 위치 부여된다.

제1 이동체 (112) 의 본체 (120) 의 상면에는, X 축 방향으로 연장되는 홈 (124a) 이 형성된 피가이드 부재 (124) 가 Y 축 방향으로 간격을 두고 1 쌍 형성되어 있음과 함께, X 축 방향으로 연장되는 관통공 (126a) 이 형성된 블록 (126) 이 고정되어 있다.

제2 이동체 (114) 는, 직사각형 판상의 본체 (128) 를 가지며, 제1 가이드 레일 (116) 은, 본체 (128) 의 하면에 Y 축 방향으로 간격을 두고 1 쌍 형성되어 있다. 제1 가이드 레일 (116) 은, 제1 이동체 (112) 의 한 쌍의 피가이드 부재 (124) 의 홈 (124a) 에 자유롭게 슬라이딩 할 수 있도록 끼워 맞춰져 있고, 제1 이동체 (112) 는, 제2 이동체 (114) 에 배치 형성된 제1 가이드 레일 (116) 에 매달린 상태로 슬라이딩 가능하게 지지되어 있다.

제2 이동체 (114) 의 본체 (128) 의 하방에는, 제2 이동체 (114) 에 대하여 제1 이동체 (112) 를 X 축 방향으로 이동시키는 제1 X 축 이동 기구가 형성되어 있다. 본 실시형태의 제1 X 축 이동 기구는, 에어 실린더 (130) 로 구성되어 있다. 에어 실린더 (130) 의 실린더 튜브 (130a) 는, 본체 (128) 의 하면에 고정되고, 1 쌍의 제1 가이드 레일 (116) 사이에 있어서 X 축 방향으로 연장되어 있다. 에어 실린더 (130) 의 피스톤 로드 (130b) 의 선단은, 제1 이동체 (112) 의 블록 (126) 의 관통공 (126a) 에 끼워 맞춰 연결되어 있다.

제1 X 축 이동 기구로서의 에어 실린더 (130) 는, 피스톤 로드 (130b) 를 진퇴시킴으로써, 제2 이동체 (114) 에 대하여 제1 이동체 (112) 를 제1 가이드 레일 (116) 을 따라서 X 축 방향으로 이동시킨다.

제2 이동체 (114) 의 본체 (128) 의 상면에는, X 축 방향으로 연장되는 홈 (132a) 이 형성된 피가이드 부재 (132) 가 Y 축 방향으로 간격을 두고 1 쌍 형성되어 있음과 함께, X 축 방향으로 연장되는 암나사 (134a) 가 형성된 블록 (134) 이 고정되어 있다.

제2 가이드 레일 (118) 은, 프레임체 (74) 의 천정부 (84) 의 하면에 Y 축 방향으로 간격을 두고 1 쌍 형성되어 있다. 제2 가이드 레일 (118) 은, 제2 이동체 (114) 의 한 쌍의 피가이드 부재 (132) 의 홈 (132a) 에 자유롭게 슬라이딩 할 수 있도록 끼워 맞춰져 있고, 제2 이동체 (114) 는, 제2 이동체 (114) 에 배치 형성된 제1 가이드 레일 (116) 에 매달린 상태로 슬라이딩 가능하게 지지되어 있다.

프레임체 (74) 의 천정부 (84) 의 하방에는, 천정부 (84) 에 대하여 제2 이동체 (114) 를 X 축 방향으로 이동시키는 제2 X 축 이동 기구 (136) 가 형성되어 있다. 본 실시형태의 제2 X 축 이동 기구 (136) 는, 1 쌍의 제2 가이드 레일 (118) 사이에 있어서 X 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (138) 와, 볼 나사 (138) 를 회전시키는 모터 (140) 를 갖는다. 볼 나사 (138) 는, 제2 이동체 (114) 의 블록 (134) 의 암나사 (134a) 에 나사 결합되어 있고, 모터 (140) 는 천정부 (84) 의 하면에 고정되어 있다.

제2 X 축 이동 기구 (136) 는, 볼 나사 (138) 에 의해 모터 (140) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 제2 이동체 (114) 에 전달하고, 천정부 (84) 에 대하여 제2 이동체 (114) 를 제2 가이드 레일 (118) 을 따라서 X 축 방향으로 이동시킨다.

본 실시형태의 X 축 이동 기구 (12) 는, 제1 X 축 이동 기구로서의 에어 실린더 (130) 와, 볼 나사 (138) 및 모터 (140) 를 갖는 제2 X 축 이동 기구 (136) 를 포함한다. 본 실시형태에 있어서는, 제1 X 축 이동 기구로서의 에어 실린더 (130) 로 제1 이동체 (112) 를 이동시킴으로써, 반출입 유닛 (6) 을 재빠르게 X 축 방향으로 전진시킬 수 있음과 함께, 제2 X 축 이동 기구 (136) 로 제2 이동체 (114) 를 이동시킴으로써, 반출입 유닛 (6) 의 X 축 방향 위치를 용이하게 미세 조정할 수 있도록 되어 있다. 이와 같이, 반출입 유닛 (6) 은, 제1 이동체 (112) 및 제2 이동체 (114) 에 의해 X 축 방향으로 자유롭게 진출할 수 있도록 구성되어 있다.

또한, 보조 장치 (2) 는, 상기 서술한 형태에 한정되지 않고, 또한 도 8 및 도 9 에 나타내는 바와 같은 구성을 구비하는 형태여도 된다. 도 8 및 도 9 에 나타내는 형태에 있어서는, 프레임체 (74) 의 저부 (80) 에 절삭 블레이드 (36) 를 드레싱하기 위한 드레싱 보드 (142) 를 수용하는 드레싱 보드 수용부 (144) (도 9 참조) 가 배치 형성되고, 제1 이동체 (112) 에는, 드레싱 보드 수용부 (144) 에 수용된 드레싱 보드 (142) 를 유지하는 유지 수단 (146) (도 8 참조) 이 배치 형성되어 있다.

드레싱 보드 (142) 는, 레진 본드 등의 결합재를 사용하여, 그린 카바이드, 알런덤계의 지립을 직사각형 판상으로 형성한 것이어도 된다. 드레싱 보드 (142) 의 한 변은, 예를 들어 5 ㎝ 정도이다. 본 실시형태의 드레싱 보드 수용부 (144) 는, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 직사각형상의 트레이 (148) 의 상면의 Y 축 방향 양측 단부 (端部) 에 3 개씩 형성된 직사각형상 오목 개소로 구성되고, 트레이 (148) 는, 프레임체 (74) 의 저부 (80) 의 상면에 배치되어 있다.

도 8 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 유지 수단 (146) 은, 제1 이동체 (112) 의 Y 축 방향 양측 단부에 1 쌍 형성되어 있다. 유지 수단 (146) 은, 제1 이동체 (112) 의 본체 (120) 의 Y 축 방향 단부에 고정된 고정편 (150) 과, 고정편 (150) 의 하면에 Z 축 방향으로 자유롭게 승강할 수 있도록 지지된 승강편 (152) 과, 승강편 (152) 을 승강시키는 승강 수단 (도시되어 있지 않다) 과, 승강편 (152) 의 하면에 배치된 복수의 흡인 패드 (154) 를 포함한다. 승강 수단은, 예를 들어 에어 실린더 등의 적절한 액추에이터로 구성될 수 있다. 각 흡인 패드 (154) 는, 흡인 수단에 접속되어 있다.

유지 수단 (146) 에 있어서는, 승강 수단으로 승강편 (152) 을 하강시켜, 드레싱 보드 수용부 (144) 에 수용된 드레싱 보드 (142) 에 각 흡인 패드 (154) 를 접촉시킴과 함께, 흡인 수단으로 각 흡인 패드 (154) 에 흡인력을 생성하여, 각 흡인 패드 (154) 로 드레싱 보드 (142) 를 흡인 유지하도록 되어 있다.

또, 프레임체 (74) 의 저부 (80) 에는, 절삭 유닛의 스핀들의 선단에 형성되고 절삭 블레이드 (36) 의 등부분을 지지하는 마운트 플랜지의 외주 단면을 정돈하는 단면 수정 지그 (156) 를 수용하는 단면 수정 지그 수용부 (158) (도 9 참조) 가 배치 형성되어 있다. 단면 수정 지그 (156) 는, 직사각형상의 기판 (160) 과, 기판 (160) 의 상면에 고정된 지석 (162) 을 갖는다. 본 실시형태의 단면 수정 지그 수용부 (158) 는, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 트레이 (148) 의 상면의 Y 축 방향 양측 단부에 형성된 1 쌍의 직사각형상 오목 개소로 구성되어 있다.

단면 수정 지그 수용부 (158) 에 수용된 단면 수정 지그 (156) 는, 제1 이동체 (112) 에 배치 형성된 유지 수단 (146) 의 흡인 패드 (154) 에 의해 흡인 유지되도록 되어 있다.

다음으로, 도 10 내지 도 15 를 참조하여, 상기 서술한 보조 장치 (2) 가 연결되는 절삭 장치 (170) 에 대해서 설명한다.

도 10 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (170) 는, 피가공물을 유지하는 유지면을 구비한 척 테이블 (172) 과, 척 테이블 (172) 에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 고정 너트로 장착한 절삭 유닛 (174) 과, 척 테이블 (172) 을 X 축 방향으로 가공 이송하는 X 축 이송 수단 (176) 과, 절삭 유닛 (174) 을 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 산출 이송하는 Y 축 이송 수단 (178) 과, X 축 방향 및 Y 축 방향과 직교하는 Z 축 방향으로 절삭 유닛 (174) 을 절입 이송하는 Z 축 이송 수단 (180) 을 구비한다.

도 10 및 도 11 을 참조하여 설명하면, 절삭 장치 (170) 는, 기대 (182) (도 10 참조) 의 상면에 X 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 형성된 X 축 가동판 (184) 과, X 축 가동판 (184) 의 상면에 고정된 지주 (186) 와, 지주 (186) 의 상단에 고정된 커버판 (188) 을 구비한다. 커버판 (188) 에는, 원형 개구 (188a) 가 형성되어 있다. 척 테이블 (172) 은, 지주 (186) 의 상단에 자유롭게 회전할 수 있도록 탑재되고, 커버판 (188) 의 원형 개구 (188a) 를 통과하여 상방으로 연장되어 있다. 척 테이블 (172) 은, 지주 (186) 에 내장된 모터 (도시되어 있지 않다) 에 의해 Z 축 방향을 축심으로 하여 회전된다.

도 11 에 나타내는 바와 같이, 척 테이블 (172) 의 상단 부분에는, 흡인 수단 (도시되어 있지 않다) 에 접속된 다공질의 원형상의 흡착 척 (190) 이 배치되어 있다. 척 테이블 (172) 에 있어서는, 흡인 수단으로 흡착 척 (190) 의 상면에 흡인력을 생성함으로써, 흡착 척 (190) 의 상면에 실린 피가공물을 흡인 유지하도록 되어 있다. 이와 같이 척 테이블 (172) 에 있어서는, 흡착 척 (190) 의 상면이 피가공물을 유지하는 유지면으로 되어 있고, 유지면은 X 축 방향 및 Y 축 방향으로 규정되는 XY 평면 상에 위치 부여되어 있다. 또, 척 테이블 (172) 의 둘레 가장자리에는, 둘레 방향으로 간격을 두고 복수의 클램프 (192) 가 배치되어 있다.

도 11 을 참조하여 설명을 계속하면, 커버판 (188) 의 상면에는, Y 축 방향으로 간격을 두고 1 쌍의 직사각형상의 서브 테이블 (194) 이 배치되어 있다. 각 서브 테이블 (194) 의 상면에는, 흡인 수단 (도시되어 있지 않다) 에 접속된 복수의 흡인공 (196) 이 형성되어 있다. 서브 테이블 (194) 에 있어서는, 흡인 수단으로 각 흡인공 (196) 에 흡인력을 생성함으로써, 제1 이동체 (112) 에 배치 형성된 유지 수단 (146) 의 흡인 패드 (154) 에 의해 흡인 유지되어 반입된 드레싱 보드 (142) 또는 단면 수정 지그 (156) 를 흡인 유지하도록 되어 있다.

도 11 에 나타내는 바와 같이, X 축 이송 수단 (176) 은, X 축 가동판 (184) 에 연결되어 X 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (198) 와, 볼 나사 (198) 를 회전시키는 모터 (200) 를 갖는다. X 축 이송 수단 (176) 은, 볼 나사 (198) 에 의해 모터 (200) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 X 축 가동판 (184) 에 전달하고, 기대 (182) 의 안내 레일 (182a) 을 따라서 X 축 가동판 (184) 을 이동시킴과 함께, 척 테이블 (172) 을 X 축 방향으로 가공 이송한다.

도 10 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (170) 는, 척 테이블 (172) 에 걸쳐 배치된 도어형의 프레임 (202) 을 포함한다. 프레임 (202) 은, Y 축 방향으로 간격을 두고 기대 (182) 의 상면으로부터 상방으로 연장되는 1 쌍의 지주 (204) 와, 1 쌍의 지주 (204) 의 상단 사이에 걸쳐 놓여 Y 축 방향으로 연장되는 들보 (206) 를 갖는다. 절삭 유닛 (174) 은, 들보 (206) 의 편측의 측면 (도 10 에 있어서 배면측의 측면) 에 Y 축 방향으로 간격을 두고 1 쌍 형성되어 있다. 본 실시형태의 절삭 장치 (170) 에 있어서는, 절삭 블레이드 (36) 가 대면하도록 1 쌍의 절삭 유닛 (174) 이 형성되어 있고, 척 테이블 (172) 에 유지된 피가공물을 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 에 의해 동시에 절삭 가공을 실시할 수 있도록 되어 있다. 또한, 절삭 유닛 (174) 은 1 개여도 된다.

도 12 에 나타내는 바와 같이, 각 절삭 유닛 (174) 은, Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 들보 (206) 의 편측의 측면에 지지되는 직사각형상의 Y 축 가동 부재 (208) 와, Y 축 가동 부재 (208) 에 Z 축 방향으로 자유롭게 승강할 수 있도록 지지된 단면 (斷面) L 자상의 Z 축 가동 부재 (210) 와, Z 축 가동 부재 (210) 의 하단에 고정된 스핀들 하우징 (212) 을 구비한다.

Y 축 가동 부재 (208) 의 편측의 측면 (도 12 에 있어서 앞측의 측면) 에는, Z 축 방향으로 간격을 두고 Y 축 방향으로 연장되는 1 쌍의 피안내홈 (208a) 이 형성되고, 피안내홈 (208a) 은, 들보 (206) 의 편측의 측면에 있어서 상하 방향으로 간격을 두고 Y 축 방향으로 연장되는 1 쌍의 안내 레일 (도시되어 있지 않다) 에 자유롭게 슬라이딩 할 수 있도록 연결된다.

Y 축 이송 수단 (178) 은, 들보 (206) 의 편측의 측면에 있어서 Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (214) 와, 볼 나사 (214) 를 회전시키는 모터 (216) 를 갖는다. 볼 나사 (214) 는 Y 축 가동 부재 (208) 에 연결되어 있다. Y 축 이송 수단 (178) 은, 볼 나사 (214) 에 의해 모터 (216) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 Y 축 가동 부재 (208) 에 전달하고, 들보 (206) 의 편측의 측면에 부설된 안내 레일을 따라서 Y 축 가동 부재 (208) 를 Y 축 방향으로 산출 이송한다.

Y 축 가동 부재 (208) 의 타측의 측면 (도 12 에 있어서 배면측의 측면) 에는, Y 축 방향으로 간격을 두고 Z 축 방향으로 연장되는 1 쌍의 안내 레일 (도시되어 있지 않다) 이 형성되어 있고, Z 축 가동 부재 (210) 는, Y 축 가동 부재 (208) 의 한 쌍의 안내 레일에 자유롭게 슬라이딩 할 수 있도록 연결되는 1 쌍의 피안내 홈 (도시되어 있지 않다) 을 갖는다.

Z 축 이송 수단 (180) 은, Z 축 가동 부재 (210) 에 연결되어 Z 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (도시되어 있지 않다) 와, 이 볼 나사를 회전시키는 모터 (218) 를 갖는다. Z 축 이송 수단 (180) 은, 볼 나사에 의해 모터 (218) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 Z 축 가동 부재 (210) 에 전달하고, Y 축 가동 부재 (208) 의 안내 레일을 따라서 Z 축 가동 부재 (210) 를 Z 축 방향으로 절입 이송한다.

도 13 을 참조하여 설명하면, 스핀들 하우징 (212) 에는, Y 축 방향을 축심으로 하여 자유롭게 회전할 수 있도록 원기둥 형상의 스핀들 (220) 이 지지되어 있음과 함께, 스핀들 (220) 을 회전시키는 모터 (도시되어 있지 않다) 가 수용되어 있다. 스핀들 (220) 의 선단에는, 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드 (36) 가 고정 너트 (222) 에 의해 자유롭게 착탈할 수 있도록 고정되어 있다.

스핀들 하우징 (212) 의 선단에는, 절삭 블레이드 (36) 를 덮는 블레이드 커버 (224) 가 장착되어 있다. 블레이드 커버 (224) 는, 스핀들 하우징 (212) 의 선단에 고정된 제1 커버 부재 (224a) 와, 제1 커버 부재 (224a) 의 선단에 자유롭게 이동할 수 있도록 장착된 제2 커버 부재 (224b) 를 갖는다. 제2 커버 부재 (224b) 는, 에어 실린더 등의 적절한 액추에이터 (도시되어 있지 않다) 에 의해 X 축 방향으로 이동되도록 되어 있고, 절삭 블레이드 (36) 의 교환 시에는 도 13 에 나타내는 개방 위치에 위치 부여되고, 절삭 가공 시에는 도 12 에 나타내는 폐색 위치에 위치 부여된다.

도 14 에 나타내는 바와 같이, 스핀들 (220) 의 선단측 외주면에는, 직경 방향 외측으로 돌출하는 환상의 마운트 플랜지 (226) 가 형성되어 있다. 마운트 플랜지 (226) 의 선단면의 지름 방향 내측 부분에는 환상의 오목 개소 (226a) 가 형성되어 있고, 마운트 플랜지 (226) 의 선단면의 외주측 부분은, 축 방향으로 돌출한 환상의 받이부 (226b) 로 되어 있다. 또, 마운트 플랜지 (226) 보다 더욱 선단측의 스핀들 (220) 의 외주면에는, 수나사 (228) 가 형성되어 있다.

그리고, 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 가 스핀들 (220) 의 선단부에 끼워 맞춰지고, 스핀들 (220) 의 수나사 (228) 와 고정 너트 (222) 가 나사조임 (체결) 됨으로써, 마운트 플랜지 (226) 의 받이부 (226b) 와 고정 너트 (222) 에 절삭 블레이드 (36) 가 끼워 넣어져 스핀들 (220) 의 선단에 자유롭게 착탈할 수 있도록 고정된다. 또, 고정 너트 (222) 의 측면에는, 반출입 유닛 (6) 의 고정 너트 유지부 (50) 의 핀 (72) 이 삽입되는 복수 개의 핀 구멍 (222a) 이 둘레 방향으로 등간격을 두고 형성되어 있다.

도 10 에 나타내는 바와 같이, 프레임 (202) 의 들보 (206) 의 타측의 측면 (도 10 에 있어서 앞측의 측면) 에는, 척 테이블 (172) 에 유지된 피가공물을 촬상하는 1 쌍의 촬상 수단 (230) 이 Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 장착되어 있음과 함께, 촬상 수단 (230) 을 Y 축 방향으로 이동시키는 1 쌍의 이동 수단 (232) 이 장착되어 있다. 이동 수단 (232) 은, 들보 (206) 의 타측의 측면에 있어서 Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (234) 와, 볼 나사 (234) 를 회전시키는 모터 (236) 를 갖는다. 볼 나사 (234) 는 촬상 수단 (230) 에 연결되어 있다. 그리고, 이동 수단 (232) 은, 모터 (236) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 촬상 수단 (230) 에 전달하고, 들보 (206) 의 타측의 측면에 부설된 안내 레일 (206a) 을 따라서 촬상 수단 (230) 을 Y 축 방향으로 이동시킨다. 또한, 촬상 수단 (230) 은 1 개여도 된다.

절삭 장치 (170) 를 사용하여, 웨이퍼 등의 피가공물에 대하여 절삭 가공을 실시할 때는, 먼저, 척 테이블 (172) 에 피가공물을 흡착시킨다. 이어서, X 축 이송 수단 (176) 으로 척 테이블 (172) 을 촬상 수단 (230) 의 하방으로 이동시킴과 함께, 이동 수단 (232) 으로 촬상 수단 (230) 의 Y 축 방향 위치를 조정한다. 이어서, 촬상 수단 (230) 으로 상방으로부터 피가공물을 촬상하여 피가공물의 절삭 영역을 검출한다.

이어서, 촬상 수단 (230) 으로 검출한 피가공물의 절삭 영역에 기초하여, 척 테이블 (172) 을 회전시켜, 절삭 유닛 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 에 대한 피가공물의 절삭 영역의 방향을 조정한다. 이어서, X 축 이송 수단 (176) 으로 척 테이블 (172) 을 X 축 방향으로 이동시킴과 함께, Y 축 이송 수단 (178) 으로 스핀들 하우징 (212) 을 Y 축 방향으로 이동시켜, 피가공물의 절삭 영역의 상방에 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 를 위치 부여한다.

이어서, Z 축 이송 수단 (180) 으로 스핀들 하우징 (212) 을 하강시켜, 고속 회전시킨 절삭 블레이드 (36) 의 절삭날 (40) 을 피가공물의 절삭 영역에 절입시킴과 함께, 절삭 블레이드 (36) 의 절삭날 (40) 을 절입시킨 부분에 절삭수를 공급하면서, 척 테이블 (172) 을 X 축 방향으로 가공 이송함으로써, 피가공물의 절삭 영역에 소정의 절삭 가공을 실시한다. Y 축 이송 수단 (178) 으로 스핀들 하우징 (212) 을 Y 축 방향으로 산출 이송하면서, 상기 절삭 가공을 적절히 반복하고, 피가공물의 절삭 영역 모두에 절삭 가공을 실시한다. 절삭 공정이 종료된 절삭 가공이 끝난 피가공물은 다음 공정으로 반송된다.

절삭 공정을 반복 실시하면 절삭 블레이드 (36) 는 마모되고, 절삭 블레이드 (36) 의 마모가 소정량에 이르면 절삭 정밀도가 유지되지 않게 되기 때문에, 스핀들 (220) 에 장착되어 있는 절삭 블레이드 (36) 를 새로운 절삭 블레이드 (36) 로 교환할 필요가 있다. 또, 스핀들 (220) 에 장착되어 있는 절삭 블레이드 (36) 의 마모가 소정량에 이르러 있지 않은 경우에도, 전에 절삭 가공을 실시한 피가공물의 소재와 상이한 소재의 피가공물에 절삭 가공을 실시할 때에는, 피가공물의 소재에 따른 절삭 블레이드 (36) 로 교환할 필요가 생기기도 한다.

본 실시형태에서는 도 15 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (170) 의 절삭 블레이드 (36) 를 자동적으로 교환할 수 있는 보조 장치 (2) 가 절삭 장치 (170) 에 연결되어 있고, 이하, 보조 장치 (2) 를 사용하여 절삭 블레이드 (36) 를 교환하는 방법에 대해서 설명한다.

도 15 에 나타내는 바와 같이, 보조 장치 (2) 는, 절삭 장치 (170) 의 X 축 방향 안측에 배치되어 있으며, 사용자에게 이미 납품한 절삭 장치 (170) 에 나중에 장착할 수 있도록 되어 있다. 보조 장치 (2) 를 사용하여, 절삭 장치 (170) 에 장착되어 있는 절삭 블레이드 (36) 를 교환할 때는, 먼저, 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 의 무한 궤도 (22) 를 회전시켜, 절삭 장치 (170) 에 반입해야 할 새로운 절삭 블레이드 (36) 를 지지하고 있는 지지축 (24) 을 소정 위치 (예를 들어, 지지축 (24) 의 궤도에 있어서의 최하단의 위치) 에 위치 부여한다.

이어서, 도 16 에 나타내는 바와 같이, 반출입 유닛 (6) 의 Z 회전축 (46) 에 연결되어 있는 모터에 의해 케이싱 (52) 을 회전시킴으로써, 블레이드 유지부 (48) 가 장착되어 있는 케이싱 (52) 의 측벽 (56) 을 X 축 방향에 따르게 하여, 블레이드 유지부 (48) 를 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 대면시킨다. 또, X 축 이동 기구 (12) 및 Z 축 이동 기구 (10) 를 작동시켜, 상기 소정 위치의 지지축 (24) 의 축부 (34) 를 블레이드 유지부 (48) 의 중앙 개구부 (60) (도 5 참조) 에 삽입할 수 있도록, 블레이드 유지부 (48) 의 X 축 방향 위치 및 Z 축 방향 위치를 조정한다.

이어서, 도 17 에 나타내는 바와 같이, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 에 의해 프레임체 (74) 를 Y 축 방향으로 이동시켜, 지지축 (24) 에 지지되어 있는 절삭 블레이드 (36) 를 블레이드 유지부 (48) 에 의해 유지 가능한 작용 위치에 반출입 유닛 (6) 을 위치 부여한다. 이에 따라, 상기 소정 위치의 지지축 (24) 의 축부 (34) 를 블레이드 유지부 (48) 의 중앙 개구부 (60) 에 삽입함과 함께, 축부 (34) 의 선단측에 위치하는 절삭 블레이드 (36) 의 단면에 블레이드 유지부 (48) 의 단면 (58) 을 접촉시킨다. 이어서, 블레이드 유지부 (48) 의 각 흡인공 (62) 에 흡인력을 생성하고, 축부 (34) 의 선단측에 위치하는 절삭 블레이드 (36) 를 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지한다.

이어서, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 을 작동시켜, 반출입 유닛 (6) 을 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 으로부터 Y 축 방향으로 이간시켜 퇴피 위치에 위치 부여한다. 이어서, 반출입 유닛 (6) 의 케이싱 (52) 을 180° 회전시켜, 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지한 블레이드 유지부 (48) 의 반대측의 블레이드 유지부 (48) 를 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 대면시킨다. 이어서, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 을 작동시켜, 반대측의 블레이드 유지부 (48) 에 의해 지지축 (24) 의 절삭 블레이드 (36) 를 유지 가능한 작용 위치에 반출입 유닛 (6) 을 위치 부여한다. 이어서, 반대측의 블레이드 유지부 (48) 의 각 흡인공 (62) 에 흡인력을 생성하고, 축부 (34) 의 선단측에 위치하는 절삭 블레이드 (36) 를 블레이드 유지부 (48) 에 의해 흡인 유지한다. 이에 따라, 4 개의 블레이드 유지부 (48) 중 대향하는 1 쌍의 블레이드 유지부 (48) 로, 새로운 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지한 상태가 된다.

이어서, 도 18 에 나타내는 바와 같이, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 에 의해 프레임체 (74) 를 Y 축 방향으로 이동시킴과 함께, Z 축 이동 기구 (10) 로 승강 테이블 (76) 을 Z 축 방향으로 이동시킨다. 이에 따라, 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 으로부터 반출입 유닛 (6) 을 이간시켜 퇴피 위치에 위치 부여함과 함께, 절삭 장치 (170) 에 대한 반출입 유닛 (6) 의 Y 축 방향 위치 및 Z 축 방향 위치를 조정한다. 위치 조정 후의 반출입 유닛 (6) 의 Y 축 방향 위치는, 절삭 장치 (170) 의 한 쌍의 절삭 유닛 (174) 의 사이이며, 위치 조정 후의 반출입 유닛 (6) 의 Z 축 방향 위치는, 척 테이블 (172) 의 유지면보다 상방이다.

이어서, 도 19 에 나타내는 바와 같이, 제1 X 축 이동 기구로서의 에어 실린더 (130) 에 의해 제1 이동체 (112) 를 X 축 방향으로 이동시켜, 반출입 유닛 (6) 을 절삭 장치 (170) 의 한 쌍의 절삭 유닛 (174) 의 사이를 향하여 전진시킨다. 이어서, 도 20 에 나타내는 바와 같이, 제2 X 축 이동 기구 (136) 에 의해 제2 이동체 (114) 를 X 축 방향으로 이동시켜, 1 쌍의 절삭 유닛 (174) 에 대한 반출입 유닛 (6) 의 X 축 방향 위치를 조정한다. 구체적으로는, 반출입 유닛 (6) 의 한 쌍의 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지하고 있는 새로운 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 중심의 X 축 방향 위치와, 1 쌍의 절삭 유닛 (174) 에 장착되어 있는 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 중심의 X 축 방향 위치를 정합시킨다. 또, 보조 장치 (2) 의 Z 축 이동 기구 (10) 또는 절삭 장치 (170) 의 Z 축 이송 수단 (180) 을 작동시켜, 블레이드 유지부 (48) 의 절삭 블레이드 (36) 의 중심의 Z 축 방향 위치와, 절삭 유닛 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 의 중심의 Z 축 방향 위치를 정합시킨다.

이어서, 반출입 유닛 (6) 의 케이싱 (52) 을 60° 회전시켜, 1 쌍의 고정 너트 유지부 (50) 를 1 쌍의 절삭 유닛 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 에 대면시킨다. 또한, 제1·제2 이동체 (112, 114) 를 전진시키기 전에, 케이싱 (52) 을 60° 회전시켜 두어도 된다.

이어서, 1 쌍의 절삭 유닛 (174) 의 각각의 블레이드 커버 (224) 의 제2 커버 부재 (224b) 를 개방 위치 (도 13 참조) 에 위치 부여한다. 이어서, 절삭 장치 (170) 의 Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 유닛 (174) 을 Y 축 방향으로 이동시켜, 스핀들 (220) 에 절삭 블레이드 (36) 를 고정시키고 있는 고정 너트 (222) 를 고정 너트 유지부 (50) 의 회전체 (66) 의 단면 (66a) 에 접촉시킨다. 그렇게 하면, 고정 너트 유지부 (50) 의 핀 (72) 이 고정 너트 (222) 에 눌려 회전체 (66) 의 내부에 수용됨과 함께, 스핀들 (220) 의 선단이 회전체 (66) 의 중앙 개구부 (68) 에 수용된다.

이어서, 고정 너트 유지부 (50) 의 모터로 회전체 (66) 를 회전시키면, 각 핀 (72) 이 고정 너트 (222) 의 핀 구멍 (222a) 과 합치했을 때에, 각 핀 (72) 이 핀 구멍 (222a) 에 끼워 맞춰지고, 회전체 (66) 의 회전 운동이 각 핀 (72) 을 통해서 고정 너트 (222) 에 전달되어, 고정 너트 (222) 가 느슨해진다. 이에 따라, 절삭 유닛 (174) 의 스핀들 (220) 의 수나사 (228) 로부터 고정 너트 (222) 를 풀어낼 (떼어낼) 수 있다. 또, 고정 너트 유지부 (50) 의 각 흡인공 (70) 에 흡인력을 생성하고, 떼어낸 고정 너트 (222) 를 고정 너트 유지부 (50) 로 흡인 유지한다.

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 유닛 (174) 을 반출입 유닛 (6) 으로부터 이간시킴과 함께, 반출입 유닛 (6) 의 케이싱 (52) 을 60° 회전시켜, 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지하고 있지 않은 빈 블레이드 유지부 (48) 를 절삭 유닛 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 에 대면시킨다.

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 유닛 (174) 을 반출입 유닛 (6) 에 접근시켜, 절삭 유닛 (174) 의 스핀들 (220) 을 블레이드 유지부 (48) 의 중앙 개구부 (60) 에 삽입함과 함께, 절삭 유닛 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 의 단면에, 빈 블레이드 유지부 (48) 의 단면 (58) 을 접촉시킨다. 이어서, 블레이드 유지부 (48) 의 각 흡인공 (62) 에 흡인력을 생성하고, 절삭 유닛 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 를 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지한다.

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 유닛 (174) 을 반출입 유닛 (6) 으로부터 이간시킴과 함께, 반출입 유닛 (6) 의 케이싱 (52) 을 60° 회전시켜, 새로운 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지하고 있는 블레이드 유지부 (48) 를 절삭 유닛 (174) 의 스핀들 (220) 에 대면시킨다.

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 유닛 (174) 을 반출입 유닛 (6) 에 접근시켜, 스핀들 (220) 을 새로운 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 에 삽입하여, 스핀들 (220) 의 마운트 플랜지 (226) 의 받이부 (226b) 에 절삭 블레이드 (36) 의 단면을 접촉시킨다. 이어서, 블레이드 유지부 (48) 의 흡인력을 해제하고, 블레이드 유지부 (48) 로부터 스핀들 (220) 에 새로운 절삭 블레이드 (36) 를 주고 받는다.

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 유닛 (174) 을 반출입 유닛 (6) 으로부터 이간시킴과 함께, 반출입 유닛 (6) 의 케이싱 (52) 을 60° 회전시켜, 떼어낸 고정 너트 (222) 를 흡인 유지하고 있는 고정 너트 유지부 (50) 를 절삭 유닛 (174) 의 스핀들 (220) 에 대면시킨다.

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 유닛 (174) 을 반출입 유닛 (6) 에 접근시키고, 고정 너트 유지부 (50) 로 흡인 유지한 고정 너트 (222) 를 스핀들 (220) 의 선단부에 끼워 맞춘다. 이어서, 고정 너트 (222) 를 떼어냈을 때와는 역방향으로 고정 너트 유지부 (50) 의 모터를 작동시켜 고정 너트 (222) 를 회전시키고, 스핀들 (220) 의 수나사 (228) 에 고정 너트 (222) 를 나사조임 (체결) 시킨다. 이에 따라, 절삭 유닛 (174) 에 장착해야 할 새로운 절삭 블레이드 (36) 를 스핀들 (220) 의 마운트 플랜지 (226) 의 받이부 (226b) 와 고정 너트 (222) 로 끼워 넣어 스핀들 (220) 에 고정시킬 수 있다. 이어서, 고정 너트 유지부 (50) 의 흡인력을 해제한 후, 절삭 유닛 (174) 의 블레이드 커버 (224) 의 제2 커버 부재 (224b) 를 폐색 위치에 위치 부여한다. 또한, 상기 서술한 바와 같은 고정 너트 (222) 및 절삭 블레이드 (36) 의 해체, 장착에 대해서는, 1 쌍의 절삭 유닛 (174) 에 대해서 동시에 실시해도 되고, 따로 따로 실시해도 된다.

이어서, 제1·제2 이동체 (112, 114) 를 후퇴시킴과 함께, 반출입 유닛 (6) 의 케이싱 (52) 을 60° 회전시켜, 떼어낸 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 일방을 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 대면시킨다. 또, 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 의 무한 궤도 (22) 를 회전시켜, 절삭 블레이드 (36) 를 지지하고 있지 않은 빈 지지축 (24) 을 소정 위치 (예를 들어, 지지축 (24) 의 궤도에 있어서의 최하단의 위치) 에 위치 부여한다.

이어서, X 축 이동 기구 (12) 및 Z 축 이동 기구 (10) 를 작동시켜, 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지하고 있는 일방의 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 에 상기 소정 위치의 지지축 (24) 의 축부 (34) 를 삽입할 수 있도록, 블레이드 유지부 (48) 의 X 축 방향 위치 및 Z 축 방향 위치를 조정한다.

이어서, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 에 의해 프레임체 (74) 를 Y 축 방향으로 이동시켜, 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지하고 있는 일방의 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 에 상기 소정 위치의 지지축 (24) 의 축부 (34) 를 삽입함과 함께, 일방의 절삭 블레이드 (36) 의 단면을 지지축 (24) 의 기부 (32) 의 단면에 접촉시킨다. 이어서, 블레이드 유지부 (48) 의 흡인력을 해제하고, 떼어낸 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 일방을 지지축 (24) 에 주고 받는다.

또, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 에 의해 반출입 유닛 (6) 을 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 으로부터 이간시킴과 함께, 반출입 유닛 (6) 의 케이싱 (52) 을 180° 회전시켜, 떼어낸 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 타방을 흡인 유지하고 있는 반대측의 블레이드 유지부 (48) 를 절삭 블레이드 보관 유닛 (4) 에 대면시킨다. 이어서, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 에 의해 프레임체 (74) 를 Y 축 방향으로 이동시켜, 반대측의 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지하고 있는 타방의 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 에 상기 소정 위치의 지지축 (24) 의 축부 (34) 를 삽입함과 함께, 타방의 절삭 블레이드 (36) 의 단면을, 지지축 (24) 에 지지되어 있는 절삭 블레이드 (36) 의 단면에 접촉시킨다. 이어서, 블레이드 유지부 (48) 의 흡인력을 해제하고, 떼어낸 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 타방을 지지축 (24) 에 주고 받는다.

이상과 같이, 본 실시형태의 보조 장치 (2) 에 있어서는, 사용자에게 이미 납품한 절삭 장치 (170) 에 나중에 장착하여, 절삭 장치 (170) 의 절삭 유닛 (174) 에 장착된 절삭 블레이드 (36) 를 교환할 수 있도록 되어 있다.

다음으로, 도 8 및 도 9 에 나타내는 구성을 보조 장치 (2) 가 구비하는 경우에 있어서, 드레싱 보드 (142) 또는 단면 수정 지그 (156) 를 절삭 장치 (170) 에 반입하는 방법에 대해서 설명한다.

보조 장치 (2) 를 사용하여, 드레싱 보드 (142) 를 절삭 장치 (170) 에 반입하는 경우에는, 먼저, 유지 수단 (146) 의 승강 수단으로 1 쌍의 승강편 (152) 을 하강시키고, 드레싱 보드 수용부 (144) 에 수용된 드레싱 보드 (142) 중, 2 매의 드레싱 보드 (142) 에 각 흡인 패드 (154) 를 접촉시킨다. 이어서, 흡인 수단으로 각 흡인 패드 (154) 에 흡인력을 생성하고, 각 흡인 패드 (154) 로 드레싱 보드 (142) 를 흡인 유지한다. 이어서, 드레싱 보드 (142) 를 흡인 유지한 승강편 (152) 을 상승시킨다.

이어서, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 및 Z 축 이동 기구 (10) 에 의해, 절삭 장치 (170) 에 대한 반출입 유닛 (6) 의 Y 축 방향 위치 및 Z 축 방향 위치를 조정한 후, 도 21 에 나타내는 바와 같이, X 축 이동 기구 (12) (제1 X 축 이동 기구로서의 에어 실린더 (130) 및 제2 X 축 이동 기구 (136)) 로 반출입 유닛 (6) 을 절삭 장치 (170) 를 향하여 전진시키고, 승강편 (152) 으로 흡인 유지한 드레싱 보드 (142) 를 서브 테이블 (194) 의 상방에 위치 부여한다.

이어서, 승강편 (152) 을 하강시켜, 드레싱 보드 (142) 의 하면을 서브 테이블 (194) 의 상면에 접촉시킨다. 이어서, 서브 테이블 (194) 의 각 흡인공 (196) 에 흡인력을 생성하고, 드레싱 보드 (142) 를 서브 테이블 (194) 에 의해 흡인 유지함과 함께, 유지 수단 (146) 의 흡인력을 해제한다. 이와 같이 보조 장치 (2) 에 있어서는, 사용자에게 이미 납품한 절삭 장치 (170) 에 나중에 장착하여, 드레싱 보드 (142) 를 절삭 장치 (170) 에 반입할 수 있다.

그리고, 도 22 에 나타내는 바와 같이, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 스핀들 하우징 (212) 을 Y 축 방향으로 이동시켜, 절삭 유닛 (174) 에 장착되어 있는 절삭 블레이드 (36) 를 드레싱 보드 (142) 의 상방에 위치 부여한 후, Z 축 이송 수단 (180) 에 의해 스핀들 하우징 (212) 을 하강시키고, 화살표 R 로 나타내는 방향으로 고속 회전시킨 절삭 블레이드 (36) 의 절삭날 (40) 로 드레싱 보드 (142) 를 절삭한다. 이에 따라, 절삭 블레이드 (36) 의 절삭날 (40) 을 수정하는 드레싱 (날 세우기) 을 실시할 수 있다.

또, 보조 장치 (2) 를 사용하여, 단면 수정 지그 (156) 를 절삭 장치 (170) 에 반입하는 경우에는, 먼저, 유지 수단 (146) 의 승강 수단으로 1 쌍의 승강편 (152) 를 하강시켜, 단면 수정 지그 수용부 (158) 에 수용된 1 쌍의 단면 수정 지그 (156) 의 기판 (160) 의 상면에 각 흡인 패드 (154) 를 접촉시킨다. 이어서, 흡인 수단으로 각 흡인 패드 (154) 에 흡인력을 생성하고, 각 흡인 패드 (154) 로 단면 수정 지그 (156) 를 흡인 유지한다. 이어서, 단면 수정 지그 (156) 를 흡인 유지한 승강편 (152) 을 상승시킨다.

이어서, Y 축 방향 위치 부여 유닛 (8) 및 Z 축 이동 기구 (10) 에 의해, 절삭 장치 (170) 에 대한 반출입 유닛 (6) 의 Y 축 방향 위치 및 Z 축 방향 위치를 조정한 후, 도 22 에 나타내는 바와 같이, X 축 이동 기구 (12) 로 반출입 유닛 (6) 을 절삭 장치 (170) 를 향하여 전진시켜, 승강편 (152) 으로 흡인 유지한 단면 수정 지그 (156) 를 서브 테이블 (194) 의 상방에 위치 부여한다.

이어서, 승강편 (152) 을 하강시켜, 단면 수정 지그 (156) 의 기판 (160) 의 하면을 서브 테이블 (194) 의 상면에 접촉시킨다. 이어서, 서브 테이블 (194) 의 각 흡인공 (196) 에 흡인력을 생성하고, 단면 수정 지그 (156) 를 서브 테이블 (194) 에 의해 흡인 유지함과 함께, 유지 수단 (146) 의 흡인력을 해제한다. 이와 같이 보조 장치 (2) 에 있어서는, 사용자에게 이미 납품한 절삭 장치 (170) 에 나중에 장착하여, 단면 수정 지그 (156) 를 절삭 장치 (170) 에 반입할 수 있다.

그리고, 반출입 유닛 (6) 의 블레이드 유지부 (48) 및 고정 너트 유지부 (50) 에 의해 절삭 유닛 (174) 의 스핀들 (220) 로부터 고정 너트 (222) 및 절삭 블레이드 (36) 를 떼어낸 후, Z 축 이송 수단 (180) 을 작동하여, 스핀들 (220) 의 마운트 플랜지 (226) 의 받이부 (226b) 를 단면 수정 지그 (156) 의 지석 (162) 에 대면시킨다. 이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 스핀들 하우징 (212) 을 Y 축 방향으로 이동시켜, 회전시킨 스핀들 (220) 의 마운트 플랜지 (226) 의 받이부 (226b) 를 단면 수정 지그 (156) 의 지석 (162) 에 접촉시킨다. 이에 따라, 지석 (162) 에 의해 마운트 플랜지 (226) 의 받이부 (226b) (외주 단면) 를 연삭하여 평탄하게 정돈할 수 있다.

또한, 본 실시형태에 있어서는, 절삭 장치 (170) 에 1 쌍의 절삭 유닛 (174) 이 형성되어 있는 것에 대응하여, 보조 장치 (2) 의 반출입 유닛 (6) 이, 4 개의 블레이드 유지부 (48) 와, 2 개의 고정 너트 유지부 (50) 를 구비하는 예를 설명했지만, 절삭 장치 (170) 에 단일의 절삭 유닛 (174) 이 형성되어 있는 경우, 반출입 유닛 (6) 은, 2 개의 블레이드 유지부 (48) 와, 1 개의 고정 너트 유지부 (50) 를 구비하고 있으면 된다. 또, 절삭 장치 (170) 에 단일의 절삭 유닛 (174) 이 형성되어 있는 경우에는, 드레싱 보드 (142) 및 단면 수정 지그 (156) 를 유지하는 유지 수단 (146) 은 1 개여도 된다.

2 : 보조 장치
4 : 절삭 블레이드 보관 유닛
6 : 반출입 유닛
8 : Y 축 방향 위치 부여 유닛
10 : Z 축 이동 기구
12 : X 축 이동 기구
14 : 회전축
16 : 구동 기어
18 : 회전축
20 : 종동 기어
22 : 무한 궤도
24 : 지지축
36 : 절삭 블레이드
38a : 중앙 개구부
46 : Z 회전축
48 : 블레이드 유지부
50 : 고정 너트 유지부
74 : 프레임체
76 : 승강 테이블
80 : 저부 (프레임체)
84 : 천정부 (프레임체)
92 : 가이드 레일 (승강 테이블)
112 : 제1 이동체
114 : 제2 이동체
116 : 제1 가이드 레일
118 : 제2 가이드 레일
142 : 드레싱 보드
144 : 드레싱 보드 수용부
146 : 유지 수단
156 : 단면 수정 지그
158 : 단면 수정 지그 수용부

Claims (3)

1. 피가공물을 유지하는 유지면을 구비한 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 장착한 절삭 유닛과, 그 척 테이블을 X 축 방향으로 가공 이송하는 X 축 이송 수단과, 그 절삭 유닛을 그 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 산출 이송하는 Y 축 이송 수단과, 그 X 축 방향 및 그 Y 축 방향과 직교하는 Z 축 방향으로 그 절삭 유닛을 절입 이송하는 Z 축 이송 수단을 구비하고, 그 유지면은 그 X 축 방향 및 그 Y 축 방향으로 규정된 절삭 장치에 연결되는 보조 장치로서,
   절삭 블레이드를 드레싱하기 위한 드레싱 보드를 수용하는 드레싱 보드 수용부와, 그 드레싱 보드 수용부에 수용된 드레싱 보드를 유지하는 유지 수단을 구비하고, 그 척 테이블에 인접해서 배치 형성된 서브 테이블에 그 유지 수단이 유지한 드레싱 보드를 반입하는 보조 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   그 유지 수단은, 프레임체의 내부에 배치 형성된 제1 이동체에 배치 형성되고, 그 제1 이동체는 제2 이동체의 하부에 배치 형성된 X 축 방향으로 연장되는 제1 가이드 레일에 매달린 상태로 슬라이딩 가능하게 지지되고, 그 제2 이동체는 그 프레임체의 천정부에 배치 형성된 X 축 방향으로 연장되는 제2 가이드 레일에 매달린 상태로 슬라이딩 가능하게 지지되고, 그 유지 수단은 그 제1 이동체 및 그 제2 이동체에 의해 X 축 방향으로 자유롭게 진출할 수 있도록 구성되는 보조 장치.
3. 제 2 항에 있어서,
   그 프레임체는 승강 테이블에 배치 형성되는 보조 장치.

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