KR20240015567A - Automatic exchange apparatus - Google Patents

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KR20240015567A
KR20240015567A KR1020230081046A KR20230081046A KR20240015567A KR 20240015567 A KR20240015567 A KR 20240015567A KR 1020230081046 A KR1020230081046 A KR 1020230081046A KR 20230081046 A KR20230081046 A KR 20230081046A KR 20240015567 A KR20240015567 A KR 20240015567A
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cutting
cutting blade
blade
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axis
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KR1020230081046A
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료 곤도
겐타로 데라시
다쿠토 오나야
신타로 마츠오카
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 오퍼레이터의 육안에 기초하는 절삭 블레이드의 관리가 불필요한 자동 교환 장치를 제공한다.
(해결 수단) 자동 교환 장치는, 복수의 절삭 블레이드를 보관하는 절삭 블레이드 보관 수단과, 절삭 블레이드 보관 수단으로부터 반출한 절삭 블레이드를 절삭 장치의 절삭 수단까지 반송함과 함께 절삭 장치의 절삭 수단으로부터 이탈한 절삭 블레이드를 반입하는 반출입 수단과, 절삭 블레이드 관리 수단을 포함한다. 절삭 블레이드 관리 수단은, 절삭 블레이드 보관 수단에 보관되어 있는 절삭 블레이드의 종류 및 종류마다 절삭 블레이드의 재고수를 관리하는 관리부와, 종류마다 절삭 블레이드의 재고수가 보급값에 도달했을 때에 절삭 블레이드의 보급을 독촉하는 보급 독촉부를 포함한다.(Problem) To provide an automatic replacement device that does not require management of cutting blades based on the operator's visual observation.
(Solution) The automatic exchange device includes a cutting blade storage means for storing a plurality of cutting blades, and a cutting blade taken out from the cutting blade storage means to be transported to the cutting means of the cutting device and to remove the cutting blade from the cutting means of the cutting device. It includes means for carrying in and out of the cutting blade, and means for managing the cutting blade. The cutting blade management means includes a management unit that manages the types of cutting blades stored in the cutting blade storage means and the number of cutting blades in stock for each type, and a management unit that manages the supply of cutting blades when the number of cutting blades in stock for each type reaches the supply value. It includes a supply reminder department that provides reminders.

Description

자동 교환 장치{AUTOMATIC EXCHANGE APPARATUS}AUTOMATIC EXCHANGE APPARATUS}

본 발명은, 절삭 장치에 연결되는 자동 교환 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an automatic changing device connected to a cutting device.

IC, LSI 등의 복수의 디바이스가 교차하는 분할 예정 라인에 의해 구획되어 표면에 형성된 웨이퍼는, 절삭 장치에 의해 개개의 디바이스 칩으로 분할되고, 분할된 각 디바이스 칩은 휴대 전화, 퍼스널 컴퓨터 등의 전기 기기에 이용된다.The wafer formed on the surface is divided by division lines that intersect multiple devices such as ICs and LSIs, and is divided into individual device chips by a cutting device, and each divided device chip is used in electronic devices such as mobile phones and personal computers. Used in devices.

절삭 장치는, 웨이퍼를 유지하는 유지면을 구비한 척 테이블과, 척 테이블에 유지된 웨이퍼를 절삭하는 절삭 블레이드를 고정 너트로 장착한 절삭 수단과, 척 테이블을 X 축 방향으로 가공 이송하는 X 축 이송 수단과, 절삭 수단을 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 산출 이송하는 Y 축 이송 수단과, X 축 방향 및 Y 축 방향과 직교하는 Z 축 방향으로 절삭 수단을 절입 이송하는 Z 축 이송 수단을 구비하고, 유지면은 X 축 방향 및 Y 축 방향에서 규정되어 있고, 웨이퍼를 고정밀도로 개개의 디바이스 칩으로 분할할 수 있다.The cutting device includes a chuck table with a holding surface for holding the wafer, a cutting means equipped with a fixing nut and a cutting blade for cutting the wafer held on the chuck table, and an A feed means, a Y-axis feed means for cutting and feeding the cutting means in the Y-axis direction orthogonal to the X-axis direction, and a Z-axis feed means for cutting and feeding the cutting means in the Z-axis direction orthogonal to the Provided, the holding surface is defined in the X-axis direction and the Y-axis direction, and the wafer can be divided into individual device chips with high precision.

또, 본 출원인은, 절삭 수단에 장착된 절삭 블레이드를 자동적으로 교환할 수 있는 자동 교환 장치를 제안하였다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).In addition, the present applicant proposed an automatic replacement device that can automatically replace the cutting blade mounted on the cutting means (for example, see Patent Document 1).

일본 공개특허공보 2022-103852호Japanese Patent Publication No. 2022-103852

그러나, 자동 교환 장치의 절삭 블레이드 보관 수단에 보관되어 있는 절삭 블레이드의 종류 및 재고수의 관리는, 오퍼레이터의 육안에 기초하고 있기 때문에, 절삭 블레이드의 종류를 오인하는 것이나, 절삭 블레이드의 재고수를 잘못 계산하는 경우가 일어날 수 있다. 이와 같은 일이 일어나면, 절삭 블레이드의 자동 교환을 적절히 수행할 수 없다는 문제가 있다.However, since the management of the type and number of cutting blades stored in the cutting blade storage means of the automatic exchange device is based on the operator's visual observation, it is possible to misidentify the type of cutting blade or incorrectly determine the number of cutting blades in stock. Calculation may occur. If something like this happens, there is a problem that automatic replacement of the cutting blade cannot be properly performed.

따라서, 본 발명의 목적은, 오퍼레이터의 육안에 기초하는 절삭 블레이드의 관리가 불필요한 자동 교환 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an automatic changing device that does not require management of the cutting blade based on the operator's visual observation.

본 발명에 의하면, 피가공물을 유지하는 유지면을 구비한 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 그 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 고정 너트로 장착한 절삭 수단과, 그 척 테이블을 X 축 방향으로 가공 이송하는 X 축 이송 수단과, 그 절삭 수단을 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 산출 이송하는 Y 축 이송 수단과, X 축 방향 및 Y 축 방향과 직교하는 Z 축 방향으로 그 절삭 수단을 절입 이송하는 Z 축 이송 수단을 포함한 절삭 장치에 연결되는 자동 교환 장치로서, 복수의 절삭 블레이드를 보관하는 절삭 블레이드 보관 수단과, 그 절삭 블레이드 보관 수단으로부터 반출한 그 절삭 블레이드를 그 절삭 수단까지 반송함과 함께 그 절삭 수단으로부터 이탈한 그 절삭 블레이드를 반입하는 반출입 수단과, 절삭 블레이드 관리 수단을 구비하고, 그 절삭 블레이드 관리 수단은, 그 절삭 블레이드 보관 수단에 보관되어 있는 그 절삭 블레이드의 종류 및 종류마다 그 절삭 블레이드의 재고수를 관리하는 관리부와, 종류마다 그 절삭 블레이드의 재고수가 보급값에 도달했을 때에 그 절삭 블레이드의 보급을 독촉하는 보급 독촉부를 포함하는 자동 교환 장치가 제공된다.According to the present invention, there is provided a chuck table provided with a holding surface for holding a workpiece, a cutting means equipped with a fixing nut and a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table, and the chuck table is positioned in the X-axis direction. X-axis feed means for processing and feeding the cutting means in the Y-axis direction orthogonal to the An automatic exchange device connected to a cutting device including a Z-axis transportation means for cutting and transporting a cutting blade, including a cutting blade storage means for storing a plurality of cutting blades, and transporting the cutting blades taken out from the cutting blade storage means to the cutting means. In addition, it is provided with a loading/unloading means for carrying in the cutting blade that has separated from the cutting means, and a cutting blade management means, wherein the cutting blade management means determines the type and type of the cutting blade stored in the cutting blade storage means. An automatic exchange device is provided, including a management unit that manages the number of cutting blades in stock for each type, and a replenishment reminder unit that prompts for replenishment of the cutting blade when the stock number of the cutting blades reaches the replenishment value for each type.

바람직하게는, 자동 교환 장치는, 그 반출입 수단을 그 절삭 블레이드 보관 수단에 대해 Y 축 방향의 작용 위치와 퇴피 위치에 위치시키는 Y 축 이동 수단과, 그 반출입 수단을 Z 축 방향으로 이동시키는 Z 축 이동 수단과, 그 반출입 수단을 X 축 방향으로 이동시켜 그 절삭 수단의 스핀들에 장착된 절삭 블레이드에 작용하는 작용 위치에 위치시키는 X 축 이동 수단을 추가로 구비하고, 그 반출입 수단은, Z 축 방향으로 연장되는 Z 회전축과, 그 Z 회전축에 방사상으로 연결되어 절삭 블레이드를 흡인 유지하는 블레이드 유지부와, 그 고정 너트를 그 스핀들의 선단에 형성된 수나사에 나사 장착 및 나사 분리하는 고정 너트 유지부를 포함한다.Preferably, the automatic exchange device includes Y-axis moving means for positioning the loading/unloading means at an operating position and retracted position in the Y-axis direction with respect to the cutting blade storage means, and a Z-axis moving means for moving the loading/unloading means in the Z-axis direction. It is further provided with a moving means and an It includes a Z rotation axis extending to, a blade holder radially connected to the Z rotation axis to attract and hold the cutting blade, and a fixation nut holder for screwing and unscrewing the fixing nut to the male thread formed at the tip of the spindle. .

바람직하게는, 그 반출입 수단은, 그 X 축 이동 수단의 굴곡 아암을 개재하여 프레임체에 배치 형성되고, 그 프레임체는 승강 테이블에 배치 형성된 Y 축 방향으로 연장되는 가이드 레일에 슬라이딩 가능하게 지지되고, 그 Y 축 이동 수단에 의해 그 절삭 블레이드 보관 수단에 대해 Y 축 방향의 그 작용 위치와 그 퇴피 위치에 위치된다.Preferably, the loading/unloading means is disposed on a frame through a bending arm of the X-axis moving means, and the frame is slidably supported on a guide rail extending in the Y-axis direction arranged on the lifting table , is positioned at its operating position and its retracted position in the Y-axis direction with respect to the cutting blade storage means by the Y-axis moving means.

본 발명의 자동 교환 장치에 의하면, 오퍼레이터의 육안에 기초하는 절삭 블레이드의 관리가 불필요하다. 따라서, 본 발명의 자동 교환 장치에 의하면, 절삭 블레이드의 종류를 오인하는 것이나, 절삭 블레이드의 재고수를 잘못 계산하는 경우가 없고, 절삭 블레이드의 자동 교환을 적절히 수행 가능하다.According to the automatic changing device of the present invention, management of the cutting blade based on the operator's visual observation is unnecessary. Therefore, according to the automatic exchange device of the present invention, there is no case of misidentifying the type of cutting blade or miscalculating the number of cutting blades in stock, and automatic replacement of the cutting blade can be appropriately performed.

도 1 은, 본 발명 실시형태의 자동 교환 장치의 사시도이다.
도 2 는, 도 1 에 나타내는 절삭 블레이드 보관 수단의 분해 사시도이다.
도 3 은, 도 2 에 나타내는 블레이드 지지축의 사시도이다.
도 4 는, 도 2 에 나타내는 블레이드 지지축의 단면도이다.
도 5 는, 도 1 에 나타내는 반출입 수단의 사시도이다.
도 6 은, 도 1 에 나타내는 프레임체, 승강 테이블 및 베이스 가대의 분해 사시도이다.
도 7 은, 도 1 에 나타내는 프레임체의 분해 사시도이다.
도 8(a) 는, 도 1 에 나타내는 절삭 블레이드 관리 수단의 관리 대상 항목을 나타내는 표, 도 8(b) 는, 보급 독촉 화면이 표시되어 있는 모니터의 모식도이다.
도 9 는, 도 1 에 나타내는 자동 교환 장치가 연결되는 절삭 장치의 사시도이다.
도 10 은, 도 9 에 나타내는 척 테이블의 사시도이다.
도 11 은, 도 9 에 나타내는 절삭 수단의 사시도이다.
도 12 는, 도 11 에 나타내는 블레이드 커버가 개방된 상태에 있어서의 절삭 수단의 사시도이다.
도 13 은, 도 9 에 나타내는 절삭 수단의 분해 사시도이다.
도 14 는, 도 1 에 나타내는 자동 교환 장치가 도 9 에 나타내는 절삭 장치에 연결된 상태를 나타내는 사시도이다.
도 15 는, 도 1 에 나타내는 자동 교환 장치의 절삭 블레이드 보관 수단과 반출입 수단이 대면하고 있는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 16 은, 도 15 에 나타내는 상태로부터 프레임체가 절삭 블레이드 보관 수단을 향하여 전진한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 17 은, 도 16 에 나타내는 상태로부터 프레임체가 후퇴함과 함께, 승강 테이블이 상승한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 18 은, 도 17 에 나타내는 상태로부터 반출입 수단이 절삭 장치를 향하여 전진한 상태를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view of an automatic switching device according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is an exploded perspective view of the cutting blade storage means shown in Fig. 1.
Fig. 3 is a perspective view of the blade support shaft shown in Fig. 2.
FIG. 4 is a cross-sectional view of the blade support shaft shown in FIG. 2.
Fig. 5 is a perspective view of the loading/unloading means shown in Fig. 1.
Fig. 6 is an exploded perspective view of the frame, lifting table, and base stand shown in Fig. 1.
Fig. 7 is an exploded perspective view of the frame shown in Fig. 1.
FIG. 8(a) is a table showing management target items of the cutting blade management means shown in FIG. 1, and FIG. 8(b) is a schematic diagram of a monitor on which a replenishment reminder screen is displayed.
Fig. 9 is a perspective view of a cutting device to which the automatic switching device shown in Fig. 1 is connected.
Fig. 10 is a perspective view of the chuck table shown in Fig. 9.
Fig. 11 is a perspective view of the cutting means shown in Fig. 9.
Fig. 12 is a perspective view of the cutting means when the blade cover shown in Fig. 11 is opened.
Fig. 13 is an exploded perspective view of the cutting means shown in Fig. 9.
FIG. 14 is a perspective view showing a state in which the automatic switching device shown in FIG. 1 is connected to the cutting device shown in FIG. 9.
FIG. 15 is a perspective view showing a state in which the cutting blade storage means and the loading/unloading means of the automatic exchange device shown in FIG. 1 are facing each other.
Fig. 16 is a perspective view showing a state in which the frame has advanced toward the cutting blade storage means from the state shown in Fig. 15.
Fig. 17 is a perspective view showing a state in which the frame is retracted and the lifting table is raised from the state shown in Fig. 16.
Fig. 18 is a perspective view showing a state in which the loading/unloading means advances toward the cutting device from the state shown in Fig. 17.

이하, 본 발명 실시형태의 자동 교환 장치에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다.Hereinafter, an automatic switching device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

(자동 교환 장치 (2)) (Automatic Exchange Unit (2))

도 1 을 참조하여 설명하면, 전체를 부호 2 로 나타내는 자동 교환 장치는, 복수의 절삭 블레이드를 보관하는 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 과, 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 으로부터 반출한 절삭 블레이드를 절삭 장치의 절삭 수단까지 반송함과 함께 절삭 장치의 절삭 수단으로부터 이탈한 절삭 블레이드를 반입하는 반출입 수단 (6) 과, 절삭 블레이드 관리 수단 (7) 을 포함한다.When explained with reference to FIG. 1, the automatic exchange device, overall denoted by symbol 2, includes a cutting blade storage means 4 that stores a plurality of cutting blades, and a cutting device that stores the cutting blades taken out from the cutting blade storage means 4. It includes a loading/unloading means (6) for transporting the cutting blade that has separated from the cutting means of the cutting device while conveying it to the cutting means, and a cutting blade management means (7).

또한, 본 실시형태의 자동 교환 장치 (2) 는, 반출입 수단 (6) 을 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 에 대해 Y 축 방향의 작용 위치와 퇴피 위치에 위치시키는 Y 축 이동 수단 (8) 과, 반출입 수단 (6) 을 Z 축 방향으로 이동시키는 Z 축 이동 수단 (10) 과, 반출입 수단 (6) 을 X 축 방향으로 이동시켜, 절삭 장치의 절삭 수단의 스핀들에 장착된 절삭 블레이드에 작용하는 작용 위치에 위치시키는 X 축 이동 수단 (12) 을 구비한다.In addition, the automatic exchange device (2) of the present embodiment includes Y-axis moving means (8) for positioning the loading/unloading means (6) at the operating position and retracting position in the Y-axis direction with respect to the cutting blade storage means (4), Z-axis moving means (10) for moving the carrying-in/out means (6) in the Z-axis direction, and an action for moving the carrying-in/out means (6) in the X-axis direction to act on the cutting blade mounted on the spindle of the cutting means of the cutting device. It is provided with an X-axis moving means (12) for positioning it in position.

X 축 방향은, 도 1 에 화살표 X 로 나타내는 방향이고, Y 축 방향은, 도 1 에 화살표 Y 로 나타내는 방향으로서 X 축 방향과 직교하는 방향이다. 또, Z 축 방향은, 도 1 에 화살표 Z 로 나타내는 방향으로서 X 축 방향 및 Y 축 방향과 직교하는 상하 방향이다. X 축 방향 및 Y 축 방향이 규정하는 평면은 실질상 수평이다.The X-axis direction is the direction indicated by arrow In addition, the Z-axis direction is the direction indicated by arrow Z in FIG. 1 and is a vertical direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction. The plane defined by the X-axis direction and the Y-axis direction is substantially horizontal.

(절삭 블레이드 보관 수단 (4)) (Cutting blade storage means (4))

도 2 에 나타내는 바와 같이, 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 은, Y 축 방향으로 연장되는 회전축 (14) 을 갖는 구동 기어 (16) 와, 구동 기어 (16) 와 Z 축 방향으로 이간되고 Y 축 방향으로 연장되는 회전축 (18) 을 갖는 종동 기어 (20) 와, 구동 기어 (16) 와 종동 기어 (20) 에 감긴 무한 궤도 (22) 와, 무한 궤도 (22) 에 소정의 간격으로 배치 형성되고 절삭 블레이드의 중앙 개구부에 삽입되어 절삭 블레이드를 지지하는 Y 축 방향으로 연장되는 블레이드 지지축 (24) 을 포함한다.As shown in FIG. 2, the cutting blade storage means 4 includes a drive gear 16 having a rotation axis 14 extending in the Y-axis direction, and a drive gear 16 spaced apart from the drive gear 16 in the Z-axis direction and extending in the Y-axis direction. a driven gear 20 having a rotating shaft 18 extending to the driven gear 16 and a crawler 22 wound around the driven gear 20, and arranged at predetermined intervals on the crawler 22 and cut. It includes a blade support shaft 24 that is inserted into the central opening of the blade and extends in the Y-axis direction to support the cutting blade.

(구동 기어 (16)) (Drive gear (16))

도 1 및 도 2 를 참조하여 설명하면, 본 실시형태의 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 은, 베이스판 (26) (도 1 참조) 과, 베이스판 (26) 의 상면으로부터 상방으로 연장되는 지지벽 (28) 과, 지지벽 (28) 의 편면에 고정된 모터 (30) 를 포함한다. 도 2 에 나타내는 바와 같이, 모터 (30) 에는 구동 기어 (16) 의 회전축 (14) 이 연결되어 있고, 모터 (30) 는 Y 축 방향을 축심으로 하여 구동 기어 (16) 를 회전시키도록 되어 있다.1 and 2, the cutting blade storage means 4 of the present embodiment includes a base plate 26 (see FIG. 1) and a support wall extending upward from the upper surface of the base plate 26. (28) and a motor (30) fixed to one side of the support wall (28). As shown in FIG. 2, the rotation shaft 14 of the drive gear 16 is connected to the motor 30, and the motor 30 rotates the drive gear 16 with the Y-axis direction as its axis. .

(종동 기어 (20)) (driven gear (20))

도 2 에 나타내는 바와 같이, 종동 기어 (20) 는 구동 기어 (16) 의 상방에 배치되고, 종동 기어 (20) 의 회전축 (18) 은, Y 축 방향을 축심으로 하여 자유롭게 회전할 수 있고 또한 Z 축 방향으로 자유롭게 승강할 수 있도록 지지벽 (28) 에 지지되어 있다. 지지벽 (28) 에는, 종동 기어 (20) 를 Z 축 방향으로 승강시키는 승강 수단 (도시하지 않음) 이 형성되어 있다. 승강 수단은, 종동 기어 (20) 의 회전축 (18) 에 연결되어 Z 축 방향으로 연장되는 볼 나사와, 이 볼 나사를 회전시키는 모터를 갖는 구성이면 된다.As shown in FIG. 2, the driven gear 20 is disposed above the driving gear 16, and the rotation axis 18 of the driven gear 20 can freely rotate around the Y-axis direction and Z. It is supported on a support wall 28 so that it can freely move up and down in the axial direction. The support wall 28 is provided with lifting means (not shown) for raising and lowering the driven gear 20 in the Z-axis direction. The lifting means may be configured to include a ball screw connected to the rotation shaft 18 of the driven gear 20 and extending in the Z-axis direction, and a motor that rotates the ball screw.

(무한 궤도 (22)) (Caterpillar (22))

무한 궤도 (22) 는, 서로 연결된 다수의 링크편 (부호 생략) 으로 구성되어 있고, 구동 기어 (16) 와 종동 기어 (20) 에 감겨 있다. 무한 궤도 (22) 는, 모터 (30) 에 의해 구동 기어 (16) 가 회전함에 따라 회전하도록 되어 있다.The crawler 22 is composed of a plurality of link pieces (symbols omitted) connected to each other, and is wound around the drive gear 16 and the driven gear 20. The crawler 22 rotates as the drive gear 16 rotates by the motor 30.

본 실시형태의 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 에 있어서는, 승강 수단으로 종동 기어 (20) 의 Z 축 방향의 위치를 바꿈으로써, 구동 기어 (16) 와 종동 기어 (20) 의 Z 축 방향의 간격을 조정할 수 있도록 되어 있다. 또한, 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 에 있어서는, 무한 궤도 (22) 의 링크편의 수량을 적절하게 증감시킴으로써, 무한 궤도 (22) 의 길이도 조정할 수 있게 되어 있다.In the cutting blade storage means 4 of the present embodiment, the gap in the Z-axis direction between the drive gear 16 and the driven gear 20 is increased by changing the position of the driven gear 20 in the Z-axis direction with the lifting means. It is adjustable. In addition, in the cutting blade storage means 4, the length of the crawler 22 can also be adjusted by appropriately increasing or decreasing the number of link pieces of the crawler 22.

(블레이드 지지축 (24)) (Blade support shaft (24))

도 2 에 나타내는 바와 같이, 블레이드 지지축 (24) 은, 소정의 간격을 두고 무한 궤도 (22) 에 복수 배치 형성되어 있다. 또한, 도 2 와 함께 도 3 을 참조함으로써 이해되는 바와 같이, 블레이드 지지축 (24) 은, 무한 궤도 (22) 에 연결된 원기둥상의 기부 (32) 와, 기부 (32) 의 단면으로부터 Y 축 방향으로 연장되는 원기둥상의 축부 (34) 를 갖는다. 축부 (34) 의 직경은 기부 (32) 의 직경보다 작다.As shown in FIG. 2, a plurality of blade support shafts 24 are formed on the crawler 22 at predetermined intervals. Additionally, as understood by referring to FIG. 3 together with FIG. 2 , the blade support shaft 24 includes a cylindrical base 32 connected to the caterpillar 22 and a Y-axis direction from the cross section of the base 32. It has an extending cylindrical shaft portion 34. The diameter of the shaft portion 34 is smaller than the diameter of the base portion 32.

(절삭 블레이드 (36))(Cutting Blade (36))

도 3 에는, 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 에 보관되는 절삭 블레이드 (36) 도 나타나 있다. 절삭 블레이드 (36) 는, 환상의 기대 (38) 와, 기대 (38) 의 외주에 배치 형성된 환상의 절삭날 (40) 을 갖는다. 기대 (38) 는, 알루미늄 합금 등의 적절한 금속 재료로 형성될 수 있다. 기대 (38) 의 중앙부에는, 원형의 중앙 개구부 (38a) 가 형성되어 있다. 절삭날 (40) 은, 다이아몬드 등의 지립과, 금속이나 수지 등의 결합재로 소정의 두께 (예를 들어 10 ∼ 30 ㎛ 정도) 로 형성되어 있고, 기대 (38) 의 외주 가장자리로부터 직경 방향 외측으로 돌출되어 있다.3 also shows the cutting blade 36 stored in the cutting blade storage means 4. The cutting blade 36 has an annular base 38 and an annular cutting edge 40 disposed on the outer periphery of the base 38. The base 38 may be formed of a suitable metal material such as aluminum alloy. A circular central opening 38a is formed in the central portion of the base 38. The cutting edge 40 is formed of abrasive grains such as diamond and a binder such as metal or resin to a predetermined thickness (for example, about 10 to 30 μm), and extends radially outward from the outer peripheral edge of the base 38. It protrudes.

본 실시형태의 블레이드 지지축 (24) 의 축부 (34) 는, 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 의 내경에 대응하는 외경을 구비하고 있고, 블레이드 지지축 (24) 에 있어서는, 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 에 축부 (34) 가 삽입되어, 복수 (예를 들어 5 개) 의 절삭 블레이드 (36) 를 축부 (34) 로 지지하도록 되어 있다. 또한, 동일한 블레이드 지지축 (24) 에는, 동일 종류의 절삭 블레이드 (36) 가 삽입되지만, 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 전체로는, 재료나 형상이 상이한 복수 종류의 절삭 블레이드 (36) 가 보관될 수 있다.The shaft portion 34 of the blade support shaft 24 of the present embodiment has an outer diameter corresponding to the inner diameter of the central opening 38a of the cutting blade 36, and in the blade support shaft 24, the cutting blade The shaft portion 34 is inserted into the central opening 38a of the 36, and a plurality of (for example, five) cutting blades 36 are supported by the shaft portion 34. In addition, the same type of cutting blade 36 is inserted into the same blade support shaft 24, but the cutting blade storage means 4 as a whole can store a plurality of types of cutting blades 36 of different materials and shapes. You can.

본 실시형태에서는, 도 2 를 참조함으로써 이해되는 바와 같이, 복수의 블레이드 지지축 (24) 중 절반수의 블레이드 지지축 (24) 에 절삭 블레이드 (36) 가 지지되어 있다. 또한, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 축부 (34) 의 선단측에는, 축부 (34) 로 지지한 절삭 블레이드 (36) 가 튀어나오는 것을 방지하기 위한 복수의 볼 플런저 (42) 가 둘레 방향으로 간격을 두고 장착되어 있다.In this embodiment, as will be understood by referring to FIG. 2, the cutting blades 36 are supported on half of the blade support axes 24 among the plurality of blade support axes 24. Additionally, as shown in FIG. 3, on the distal end side of the shaft portion 34, a plurality of ball plungers 42 are placed at intervals in the circumferential direction to prevent the cutting blade 36 supported by the shaft portion 34 from jumping out. It is equipped.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 블레이드 지지축 (24) 의 각 기부 (32) 의 내부에는 유로 (32a) 가 형성되어 있고, 각 유로 (32a) 의 일단부에 연통하는 복수의 유로 (22a) 가 무한 궤도 (22) 에 형성되어 있다. 각 유로 (32a) 의 타단부는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 축부 (34) 보다 직경 방향 외측의 기부 (32) 의 단면에 있어서 개구되어 있다.As shown in Fig. 4, a flow path 32a is formed inside each base 32 of the blade support shaft 24, and a plurality of flow paths 22a communicating with one end of each flow path 32a are infinite. It is formed in orbit (22). As shown in FIG. 3 , the other end of each flow passage 32a is open in the cross section of the base 32 radially outside the shaft portion 34.

또한, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 지지벽 (28) 에는, 구동 기어 (16) 의 하방에 있어서 Y 축 방향으로 돌출되는 에어 노즐 (44) 이 형성되어 있고, 에어 노즐 (44) 은, 고압 에어 공급 수단 (도시하지 않음) 에 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 무한 궤도 (22) 의 회전에 수반하는 블레이드 지지축 (24) 의 궤도에 있어서 최하단에 위치하는 블레이드 지지축 (24) 과, 에어 노즐 (44) 의 선단이 대면하고 있다.In addition, as shown in FIG. 2, an air nozzle 44 is formed below the drive gear 16 and protrudes in the Y-axis direction on the support wall 28, and the air nozzle 44 supplies high-pressure air. It is connected to a supply means (not shown). In this embodiment, the tip of the air nozzle 44 faces the blade support shaft 24 located at the lowest position in the orbit of the blade support shaft 24 accompanying the rotation of the crawler 22.

그리고, 축부 (34) 의 선단측에 위치하는 절삭 블레이드 (36) 가 반출된 경우에, 에어 노즐 (44) 로부터 무한 궤도 (22) 의 유로 (22a) 를 통하여, 최하단에 위치하는 블레이드 지지축 (24) 의 기부 (32) 의 유로 (32a) 에 고압 에어를 공급함으로써, 축부 (34) 에 남겨진 절삭 블레이드 (36) 를 축부 (34) 의 선단측으로 압출할 수 있게 되어 있다. 단, 볼 플런저 (42) 의 작용에 의해 절삭 블레이드 (36) 가 축부 (34) 로부터 낙하하는 경우는 없다.Then, when the cutting blade 36 located on the distal end side of the shaft portion 34 is taken out, the blade support shaft ( By supplying high-pressure air to the passage 32a of the base 32 of 24), the cutting blade 36 remaining on the shaft portion 34 can be extruded toward the distal end of the shaft portion 34. However, the cutting blade 36 does not fall from the shaft 34 due to the action of the ball plunger 42.

(반출입 수단 (6))(Means of entry and exit (6))

도 5 를 참조하여 반출입 수단 (6) 에 대해서 설명한다. 반출입 수단 (6) 은, Z 축 방향으로 연장되는 Z 회전축 (46) 과, Z 회전축 (46) 에 방사상으로 연결되어 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지하는 블레이드 유지부 (48) 와, 고정 너트를 절삭 장치의 스핀들의 선단에 형성된 수나사에 나사 장착 및 나사 분리하는 고정 너트 유지부 (50) 를 적어도 구비한다.The carrying-in/out means 6 will be described with reference to FIG. 5 . The loading and unloading means 6 includes a Z rotation shaft 46 extending in the Z axis direction, a blade holding portion 48 radially connected to the Z rotation shaft 46 to suction and hold the cutting blade 36, and a fixing nut. The cutting device is provided with at least a fixing nut holding portion 50 for attaching and unscrewing the external thread formed at the tip of the spindle.

도 5 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 반출입 수단 (6) 은 추가로 케이싱 (52) 을 구비하고, 케이싱 (52) 은, 정육각형상의 천판 (54) 과, 천판 (54) 의 둘레 가장자리로부터 수하 (垂下) 하는 직사각형 판상의 6 개의 측벽 (56) 을 갖는다. 천판 (54) 의 상면으로부터는 상기 Z 회전축 (46) 이 돌출되어 있다. 케이싱 (52) 의 내부에는, Z 회전축 (46) 에 연결된 모터 (도시하지 않음) 가 수용되어 있다.As shown in FIG. 5 , the loading/unloading means 6 of the present embodiment further includes a casing 52, and the casing 52 includes a regular hexagon-shaped top plate 54 and a peripheral edge of the top plate 54. It has six side walls 56 in the shape of a rectangular plate. The Z rotation axis 46 protrudes from the upper surface of the top plate 54. Inside the casing 52, a motor (not shown) connected to the Z rotation axis 46 is accommodated.

본 실시형태에서는, 케이싱 (52) 의 6 개의 측벽 (56) 중, 4 개의 측벽 (56) 에는 블레이드 유지부 (48) 가 장착되고, 2 개의 측벽 (56) 에는 고정 너트 유지부 (50) 가 장착되어 있으며, 2 개의 고정 너트 유지부 (50) 는 대향하는 1 쌍의 측벽 (56) 에 형성되어 있다.In this embodiment, among the six side walls 56 of the casing 52, four side walls 56 are equipped with blade holding parts 48, and two side walls 56 are equipped with fixing nut holding parts 50. It is mounted, and two fixing nut holding portions 50 are formed on a pair of opposing side walls 56.

(블레이드 유지부 (48)) (Blade maintenance part (48))

블레이드 유지부 (48) 는 원통상으로 형성되어 있고, 블레이드 유지부 (48) 의 단면 (58) 에는, 상기 블레이드 지지축 (24) 의 축부 (34) 및 절삭 장치의 스핀들의 선단부를 수용 가능한 원형의 중앙 개구부 (60) 와, 중앙 개구부 (60) 의 주위에 둘레 방향으로 등간격을 두고 배치된 복수 개의 흡인공 (61) 이 형성되어 있다. 각 흡인공 (61) 은, 흡인 수단 (도시하지 않음) 에 접속되어 있다.The blade holding portion 48 is formed in a cylindrical shape, and the cross section 58 of the blade holding portion 48 has a circular shape that can accommodate the shaft portion 34 of the blade supporting shaft 24 and the distal end of the spindle of the cutting device. A central opening 60 and a plurality of suction holes 61 arranged at equal intervals in the circumferential direction are formed around the central opening 60. Each suction hole 61 is connected to suction means (not shown).

블레이드 유지부 (48) 는, 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 에 보관되어 있는 절삭 블레이드 (36) 의 기대 (38) 에 블레이드 유지부 (48) 의 단면 (58) 이 접촉하는 위치에 위치된 상태에 있어서, 흡인 수단에 의해 흡인공 (61) 에 흡인력을 생성함으로써 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지한다.The blade holding portion 48 is positioned at a position where the end surface 58 of the blade holding portion 48 is in contact with the base 38 of the cutting blade 36 stored in the cutting blade storage means 4. In this case, the cutting blade 36 is held by suction by generating a suction force in the suction hole 61 by the suction means.

(고정 너트 유지부 (50)) (Fixing nut holding part (50))

도 5 를 참조하여 설명을 계속하면, 고정 너트 유지부 (50) 는, 케이싱 (52) 의 측벽 (56) 에 고정된 원통상의 하우징 (64) 과, 하우징 (64) 의 내부에 자유롭게 회전할 수 있도록 수용된 환상의 회전체 (66) 와, 회전체 (66) 를 회전시키는 모터 (도시하지 않음) 를 포함한다.Continuing the description with reference to FIG. 5, the fixing nut holding portion 50 includes a cylindrical housing 64 fixed to the side wall 56 of the casing 52 and a freely rotatable structure inside the housing 64. It includes an annular rotating body 66 accommodated so that the rotating body 66 can be rotated, and a motor (not shown) that rotates the rotating body 66.

회전체 (66) 에는, 절삭 장치의 스핀들의 선단부를 수용 가능한 중앙 개구부 (68) 가 형성되어 있다. 회전체 (66) 의 단면 (66a) 에는, 복수 개의 흡인공 (70) 과, 복수 개의 핀 (72) 이 교대로 둘레 방향으로 간격을 두고 형성되어 있다.The rotating body 66 is formed with a central opening 68 capable of receiving the tip of the spindle of the cutting device. On the end surface 66a of the rotating body 66, a plurality of suction holes 70 and a plurality of pins 72 are formed alternately at intervals in the circumferential direction.

각 흡인공 (70) 은 흡인 수단 (도시하지 않음) 에 접속되어 있다. 핀 (72) 은, 회전체 (66) 에 내장된 스프링 (도시하지 않음) 에 의해 회전체 (66) 의 단면 (66a) 으로부터 돌출되는 위치 (도 5 에 나타내는 위치) 에 위치되어 있음과 함께, 회전체 (66) 의 내부를 향하여 가압되면, 스프링이 수축하여 회전체 (66) 의 내부에 수용된다. 또한, 핀 (72) 은, 고정 너트에 형성된 핀공의 위치에 대응하여 배치되어 있다.Each suction hole 70 is connected to suction means (not shown). The pin 72 is positioned at a position (position shown in FIG. 5) protruding from the end surface 66a of the rotating body 66 by a spring (not shown) built into the rotating body 66, When pressed toward the inside of the rotating body 66, the spring contracts and is accommodated inside the rotating body 66. Additionally, the pin 72 is arranged corresponding to the position of the pin hole formed in the fixing nut.

고정 너트 유지부 (50) 에 있어서는, 흡인 수단으로 각 흡인공 (70) 에 흡인력을 생성하여 고정 너트를 흡인 유지함과 함께, 고정 너트에 형성된 핀공에 핀 (72) 을 삽입한 상태에 있어서, 모터에 의해 회전체 (66) 를 회전시킴으로써, 절삭 장치의 스핀들에 절삭 블레이드 (36) 를 고정시키기 위한 고정 너트를 스핀들의 선단에 형성된 수나사에 나사 장착 및 나사 분리할 수 있도록 되어 있다.In the fixing nut holding portion 50, a suction means generates a suction force in each suction hole 70 to suction and hold the fixing nut, and when the pin 72 is inserted into the pin hole formed in the fixing nut, the motor By rotating the rotating body 66, the fixing nut for fixing the cutting blade 36 to the spindle of the cutting device can be screwed onto and unscrewed from the male thread formed at the tip of the spindle.

또한, 고정 너트를 스핀들로부터 나사 분리할 (떼어낼) 때에, 고정 너트 유지부 (50) 의 핀 (72) 의 위치와, 고정 너트의 핀공의 위치가 어긋나 있는 경우라도, 스핀들에 장착되어 있는 고정 너트의 단면에 회전체 (66) 의 단면 (66a) 을 위치시켜, 핀 (72) 을 회전체 (66) 의 내부에 수용한 후에, 모터에 의해 회전체 (66) 를 회전시키면, 핀 (72) 의 위치가 핀공의 위치에 정합했을 때에 스프링에 의해 핀 (72) 이 압출되고, 핀공에 핀 (72) 이 삽입된다.In addition, when the fixing nut is screwed off (removed) from the spindle, even if the position of the pin 72 of the fixing nut holding portion 50 and the position of the pin hole of the fixing nut are misaligned, the fixing nut mounted on the spindle After placing the end face (66a) of the rotating body (66) on the end face of the nut and housing the pin (72) inside the rotating body (66), when rotating the rotating body (66) by a motor, the pin (72) ) When the position of matches the position of the pin hole, the pin 72 is extruded by the spring, and the pin 72 is inserted into the pin hole.

상기와 같이 구성될 수 있는 반출입 수단 (6) 은, 본 실시형태에서는 도 1 에 나타내는 바와 같이, 프레임체 (74) 의 내부에 배치 형성되어 있다. 프레임체 (74) 는, 승강 테이블 (76) 에 Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 지지되고, 승강 테이블 (76) 은, 베이스 가대 (78) 에 Z 축 방향으로 자유롭게 승강할 수 있도록 지지되어 있다.In the present embodiment, the loading/unloading means 6 that can be configured as described above are arranged inside the frame 74 as shown in FIG. 1 . The frame 74 is supported on a lifting table 76 so that it can freely move in the Y-axis direction, and the lifting table 76 is supported on a base stand 78 so that it can freely move up and down in the Z-axis direction.

(프레임체 (74)) (Frame font (74))

도 6 및 도 7 을 참조하여 설명하면, 프레임체 (74) 는, 직사각형 판상의 바닥부 (80) 와, 바닥부 (80) 의 상면의 네 모퉁이로부터 상방으로 연장되는 4 개의 지주 (82) 와, 각 지주 (82) 의 상단에 고정된 판상의 천장부 (84) (도 7 참조) 를 포함한다. 바닥부 (80) 의 하면에는, Y 축 방향으로 연장되는 홈 (86a) 이 형성된 피가이드 부재 (86) 가 X 축 방향으로 간격을 두고 1 쌍 형성되어 있다.6 and 7, the frame 74 includes a rectangular plate-shaped bottom portion 80, four supports 82 extending upward from the four corners of the upper surface of the bottom portion 80, and , and includes a plate-shaped ceiling portion 84 (see FIG. 7) fixed to the top of each support 82. On the lower surface of the bottom portion 80, a pair of guided members 86 having grooves 86a extending in the Y-axis direction are formed at intervals in the X-axis direction.

(승강 테이블 (76))(elevating table (76))

도 6 에 나타내는 바와 같이, 승강 테이블 (76) 은, 직사각형 판상의 천판 (88) 과, 천판 (88) 의 하면 네 모퉁이로부터 하방으로 연장되는 4 개의 원기둥상의 다리부 (90) 를 포함한다. 천판 (88) 의 상면에는, X 축 방향으로 간격을 두고 Y 축 방향으로 연장되는 1 쌍의 가이드 레일 (92) 이 형성되어 있고, 1 쌍의 가이드 레일 (92) 은, 프레임체 (74) 의 1 쌍의 피가이드 부재 (86) 의 홈 (86a) 에 자유롭게 슬라이딩할 수 있도록 끼워 맞춰져 있다.As shown in FIG. 6 , the lifting table 76 includes a rectangular plate-shaped top plate 88 and four cylindrical leg portions 90 extending downward from the four corners of the lower surface of the top plate 88. On the upper surface of the top plate 88, a pair of guide rails 92 extending in the Y-axis direction are formed at intervals in the It is fitted so as to slide freely in the groove 86a of a pair of guided members 86.

(Y 축 이동 수단 (8)) (Y axis movement means (8))

또한, 승강 테이블 (76) 의 천판 (88) 의 상면에는, Y 축 이동 수단 (8) 이 형성되어 있다. Y 축 이동 수단 (8) 은, 1 쌍의 가이드 레일 (92) 사이에 있어서 Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (94) 와, 볼 나사 (94) 를 회전시키는 모터 (96) 를 갖는다. 볼 나사 (94) 의 너트부 (도시하지 않음) 는, 프레임체 (74) 의 바닥부 (80) 의 하면에 고정되어 있다.Additionally, Y-axis moving means 8 is formed on the upper surface of the top plate 88 of the lifting table 76. The Y-axis moving means 8 has a ball screw 94 extending in the Y-axis direction between a pair of guide rails 92, and a motor 96 that rotates the ball screw 94. The nut portion (not shown) of the ball screw 94 is fixed to the lower surface of the bottom portion 80 of the frame 74.

Y 축 이동 수단 (8) 에 있어서는, 볼 나사 (94) 에 의해 모터 (96) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 프레임체 (74) 에 전달하고, 1 쌍의 가이드 레일 (92) 을 따라 프레임체 (74) 를 Y 축 방향으로 이동시킨다. 이와 같이, 반출입 수단 (6) 이 배치 형성된 프레임체 (74) 는, 승강 테이블 (76) 에 배치 형성된 Y 축 방향으로 연장되는 가이드 레일 (92) 에 슬라이딩 가능하게 지지되고, Y 축 이동 수단 (8) 에 의해 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 에 대해 Y 축 방향의 작용 위치와 퇴피 위치에 위치되도록 되어 있다.In the Y-axis moving means 8, the rotational motion of the motor 96 is converted into linear motion by the ball screw 94 and transmitted to the frame 74, and the frame is moved along a pair of guide rails 92. Move the sieve 74 in the Y-axis direction. In this way, the frame 74 on which the loading and unloading means 6 are arranged is slidably supported on the guide rail 92 extending in the Y-axis direction arranged on the lifting table 76, and the Y-axis moving means 8 ) is positioned at the operating position and retracted position in the Y-axis direction with respect to the cutting blade storage means (4).

상기 작용 위치는, 반출입 수단 (6) 의 블레이드 유지부 (48) 가 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 에 접근한 위치로서, 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 에 지지되어 있는 절삭 블레이드 (36) 를 블레이드 유지부 (48) 에 의해 흡인 유지 가능한 위치이다. 또한, 상기 퇴피 위치는, 상기 작용 위치보다 반출입 수단 (6) 의 블레이드 유지부 (48) 가 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 으로부터 이간된 위치이다.The operating position is a position where the blade holding portion 48 of the carrying in and out means 6 approaches the cutting blade storage means 4, and the cutting blade 36 supported on the cutting blade storage means 4 is held therein. This is a position that can be suctioned and maintained by the portion 48. Additionally, the retracted position is a position where the blade holding portion 48 of the loading/unloading means 6 is spaced further away from the cutting blade storage means 4 than the operating position.

(베이스 가대 (78)) (Base stand (78))

도 6 에 나타내는 바와 같이, 베이스 가대 (78) 는, 프레임 (98) 과, 프레임 (98) 의 상부에 고정된 직사각형상의 베이스판 (100) 을 포함한다. 베이스판 (100) 의 네 모퉁이에는, 승강 테이블 (76) 의 다리부 (90) 가 자유롭게 슬라이딩할 수 있도록 삽입되는 4 개의 원형공 (102) 이 형성되어 있다. 또한, 베이스판 (100) 의 중앙부에는 암나사 (104) 가 형성되어 있다.As shown in Fig. 6, the base stand 78 includes a frame 98 and a rectangular base plate 100 fixed to the upper part of the frame 98. Four circular holes 102 are formed at the four corners of the base plate 100 into which the leg portion 90 of the lifting table 76 can slide freely. Additionally, a female thread 104 is formed in the central portion of the base plate 100.

(Z 축 이동 수단 (10)) (Z axis movement means (10))

도 6 을 참조하여 설명을 계속하면, 승강 테이블 (76) 및 베이스 가대 (78) 에는, Z 축 이동 수단 (10) 이 연결되어 있다. Z 축 이동 수단 (10) 은, Z 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (106) 와, 볼 나사 (106) 를 회전시키는 모터 (108) 와, 모터 (108) 의 상단에 고정된 연결판 (110) 을 포함한다. 볼 나사 (106) 는, 베이스판 (100) 의 암나사 (104) 에 나사 결합되어 있다. 연결판 (110) 은 승강 테이블 (76) 의 천판 (88) 의 하면에 볼트 (도시하지 않음) 등의 적절한 연결 수단에 의해 고정되어 있다.Continuing the explanation with reference to FIG. 6 , Z-axis moving means 10 is connected to the lifting table 76 and the base stand 78. The Z-axis moving means 10 includes a ball screw 106 extending in the Z-axis direction, a motor 108 that rotates the ball screw 106, and a connection plate 110 fixed to the top of the motor 108. Includes. The ball screw 106 is screwed to the female screw 104 of the base plate 100. The connecting plate 110 is fixed to the lower surface of the top plate 88 of the lifting table 76 by an appropriate connecting means such as a bolt (not shown).

Z 축 이동 수단 (10) 에 있어서는, 볼 나사 (106) 에 의해 모터 (108) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하고, 베이스 가대 (78) 에 대해 승강 테이블 (76) 을 승강시킴으로써, 반출입 수단 (6) 이 배치 형성된 프레임체 (74) 를 Z 축 방향으로 이동시킨다.In the Z-axis moving means 10, the rotational motion of the motor 108 is converted into linear motion by the ball screw 106, and the lifting table 76 is raised and lowered with respect to the base stand 78, thereby carrying out the loading/unloading means ( 6) The frame 74 formed in this arrangement is moved in the Z-axis direction.

(X 축 이동 수단 (12))(X axis movement means (12))

도 7 을 참조하여 설명하면, X 축 이동 수단 (12) 은, 프레임체 (74) 에 장착된 굴곡 아암 (112) 과, 굴곡 아암 (112) 을 작동시키는 제 1 모터 (114) 및 제 2 모터 (115) 를 포함한다. 굴곡 아암 (112) 은, 스페이서 (116) 를 통해 프레임체 (74) 의 천장부 (84) 의 하면으로 자유롭게 요동할 수 있도록 연결된 제 1 아암편 (118) 과, 제 1 아암편 (118) 의 하면으로 자유롭게 요동할 수 있도록 연결된 제 2 아암편 (120) 을 갖는다.7 , the X-axis moving means 12 includes a bending arm 112 mounted on the frame 74, a first motor 114 and a second motor that operate the bending arm 112. Includes (115). The bending arm 112 includes a first arm piece 118 that is connected to the lower surface of the ceiling portion 84 of the frame 74 through a spacer 116 so that it can swing freely, and a lower surface of the first arm piece 118. It has a second arm piece 120 connected so that it can swing freely.

스페이서 (116) 는, 제 1 아암편 (118) 의 일단부에 배치되어 있다. 제 1 아암편 (118) 은 스페이서 (116) 측을 요동 중심으로 하여 천장부 (84) 에 연결되어 있다. 또, 제 1 아암편 (118) 의 타단부의 상면에도 스페이서 (122) 가 형성되어 있다. 제 2 아암편 (120) 은, 스페이서 (122) 측을 요동 중심으로 하여 제 1 아암편 (118) 에 연결되어 있다.The spacer 116 is disposed at one end of the first arm piece 118. The first arm piece 118 is connected to the ceiling portion 84 with the spacer 116 side as the center of rotation. Additionally, a spacer 122 is formed on the upper surface of the other end of the first arm piece 118. The second arm piece 120 is connected to the first arm piece 118 with the spacer 122 side as the center of rotation.

제 2 아암편 (120) 의 선단 (스페이서 (122) 와는 반대측의 단부) 에는, 원형공 (도시하지 않음) 이 형성되어 있다. 이 원형공에는, 반출입 수단 (6) 의 Z 회전축 (46) 이 삽입되고, Z 회전축 (46) 은 제 2 아암편 (120) 에 회전 불가능하게 고정된다. Z 회전축 (46) 에 연결되어 있는 반출입 수단 (6) 의 모터가 구동하면, 제 2 아암편 (120) 에 대해 반출입 수단 (6) 의 케이싱 (52) 이 회전하고, 블레이드 유지부 (48) 및 고정 너트 유지부 (50) 가 임의의 방향으로 위치된다. 이와 같이, 반출입 수단 (6) 은, X 축 이동 수단 (12) 의 굴곡 아암 (112) 에 연결되어 있고, 굴곡 아암 (112) 을 통해 프레임체 (74) 에 배치 형성되어 있다.A circular hole (not shown) is formed at the tip of the second arm piece 120 (the end opposite to the spacer 122). The Z rotation axis 46 of the loading/unloading means 6 is inserted into this circular hole, and the Z rotation axis 46 is non-rotatably fixed to the second arm piece 120. When the motor of the loading/unloading means 6 connected to the Z rotation shaft 46 is driven, the casing 52 of the loading/unloading means 6 rotates with respect to the second arm piece 120, and the blade holding portion 48 and The fixing nut holding portion 50 is positioned in any direction. In this way, the loading/unloading means 6 is connected to the bending arm 112 of the X-axis moving means 12, and is disposed on the frame 74 via the bending arm 112.

X 축 이동 수단 (12) 에 있어서는, 제 1 모터 (114) 에 의해, 스페이서 (116) 측을 요동 중심으로 하여 제 1 아암편 (118) 를 요동시킴과 함께, 제 2 모터 (115) 에 의해, 스페이서 (122) 측을 요동 중심으로 하여 제 2 아암편 (120) 을 요동시킴으로써, 굴곡 아암 (112) 을 굴곡 또는 신장시켜, 반출입 수단 (6) 을 X 축 방향으로 이동시키도록 되어 있다.In the By swinging the second arm piece 120 with the spacer 122 side as the swing center, the bending arm 112 is bent or extended to move the loading/unloading means 6 in the X-axis direction.

(절삭 블레이드 관리 수단 (7)) (Cutting blade care measures (7))

절삭 블레이드 관리 수단 (7) 은, 프로세서 및 메모리를 갖는 컴퓨터로 구성되어 있다. 도 1 에 나타내는 바와 같이, 절삭 블레이드 관리 수단 (7) 은, 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 에 보관되어 있는 절삭 블레이드 (36) 의 종류 및 종류마다 절삭 블레이드 (36) 의 재고수를 관리하는 관리부 (124) 와, 종류마다 절삭 블레이드 (36) 의 재고수가 보급값에 도달했을 때에 절삭 블레이드 (36) 의 보급을 독촉하는 보급 독촉부 (126) 를 구비하고 있다.The cutting blade management means 7 is comprised of a computer having a processor and memory. As shown in FIG. 1, the cutting blade management means 7 includes a management unit ( 124) and a replenishment reminder unit 126 for prompting replenishment of the cutting blades 36 when the stock number of the cutting blades 36 reaches the replenishment value for each type.

(관리부 (124))(Management Department (124))

관리부 (124) 는, 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 의 블레이드 지지축 (24) 의 넘버 (1, 2, 3, …, n), 절삭 블레이드 (36) 의 종류, 절삭 블레이드 (36) 의 재고수를 기억한다 (도 8(a) 참조). 절삭 블레이드 (36) 의 재고수에 대해서는, 예를 들어, 블레이드 지지축 (24) 마다, 오퍼레이터에 의해 입력된 절삭 블레이드 (36) 의 보충 수량으로부터, 볼 플런저 (42) 의 출입 횟수 (즉, 절삭 블레이드 (36) 가 반출된 횟수) 를 뺌으로써, 잔존하고 있는 절삭 블레이드 (36) 의 수량을 구할 수 있다.The management unit 124 controls the number (1, 2, 3,..., n) of the blade support shaft 24 of the cutting blade storage means 4, the type of the cutting blade 36, and the number of cutting blades 36 in stock. Remember (see Figure 8(a)). Regarding the number of cutting blades 36 in stock, for example, for each blade support shaft 24, the number of entering and exiting of the ball plunger 42 (i.e., cutting By subtracting the number of times the blade 36 has been taken out, the quantity of the remaining cutting blades 36 can be obtained.

(보급 독촉부 (126)) (Supply Reminder Department (126))

보급 독촉부 (126) 는, 절삭 블레이드 (36) 의 종류마다 (혹은, 블레이드 지지축 (24) 마다) 의 보급값을 기억하고 있어, 절삭 블레이드 (36) 의 재고수가 보급값에 도달했을 때에 절삭 블레이드 (36) 의 보급을 독촉하도록 되어 있다.The replenishment reminder unit 126 remembers the replenishment value for each type of cutting blade 36 (or for each blade support shaft 24), and performs cutting when the stock number of cutting blades 36 reaches the replenishment value. It is designed to promote the supply of blades 36.

도 8(a) 에 나타내는 예에 있어서는, 넘버 2 의 블레이드 지지축 (24) (ZI-002형의 절삭 블레이드 (36) 를 지지하고 있는 축) 에 있어서, 절삭 블레이드 (36) 의 재고수 (2 개) 가 보급값 (2 개) 에 도달하고 있다. 또한, 넘버 n 의 블레이드 지지축 (24) (WC-009형의 절삭 블레이드 (36) 를 지지하고 있는 축) 에 있어서도, 절삭 블레이드 (36) 의 재고수 (4 개) 가 보급값 (4 개) 에 도달하고 있다.In the example shown in Fig. 8(a), on the number 2 blade support shaft 24 (the shaft supporting the cutting blade 36 of type ZI-002), the stock number of cutting blades 36 is 2. units) is reaching the supply value (2 units). Also, for the blade support shaft 24 of number n (the shaft supporting the cutting blade 36 of type WC-009), the number of cutting blades 36 in stock (4) is the supply value (4). is reaching.

이 때문에, 보급 독촉부 (126) 는, 절삭 블레이드 (36) 의 보급을 독촉할 수 있도록, 자동 교환 장치 (2) 의 알람 (도시하지 않음) 을 작동시킴과 함께, 보급이 필요한 블레이드 지지축 (24) 의 넘버, 보급해야 할 절삭 블레이드 (36) 의 종류 및 매수, 보급 기한 등이 나타난 보급 독촉 화면을 자동 교환 장치 (2) 의 모니터에 표시시킨다.For this reason, the replenishment reminder unit 126 activates an alarm (not shown) of the automatic exchange device 2 to remind the replenishment of the cutting blade 36, and also activates the blade support shaft ( A supply reminder screen showing the number of 24), the type and number of cutting blades 36 to be supplied, the supply deadline, etc. is displayed on the monitor of the automatic exchange device 2.

예를 들어, 도 8(b) 에 나타내는 바와 같이, 보급 독촉부 (126) 는, 넘버 2 의 블레이드 지지축 (24) 에 ZI-002형의 절삭 블레이드 (36) 를 5 장, 넘버 n 의 블레이드 지지축 (24) 에 WC-009형의 절삭 블레이드 (36) 를 10 장, 24 시간 이내에 보급해야 하는 취지를 나타내는 보급 독촉 화면을 자동 교환 장치 (2) 의 모니터 (M) 에 표시시킬 수 있다.For example, as shown in Fig. 8(b), the replenishment reminder unit 126 attaches five cutting blades 36 of the ZI-002 type to the blade support shaft 24 of number 2 and one blade of number n. A replenishment reminder screen indicating that 10 pieces of cutting blades 36 of the WC-009 type must be supplied to the support shaft 24 within 24 hours can be displayed on the monitor M of the automatic exchange device 2.

또한, 보급 독촉부 (126) 는, 호스트 컴퓨터에 대하여, 보급해야 할 절삭 블레이드 (36) 의 발주서의 작성을 지시하고, 작성한 발주서를 절삭 블레이드 메이커에 송신할 것을 지시할 수 있도록 되어 있어도 된다.Additionally, the supply reminder unit 126 may be configured to instruct the host computer to create an order form for the cutting blades 36 to be supplied, and to transmit the created order form to the cutting blade manufacturer.

또한, 상기의 예에서는, 2 종류의 절삭 블레이드 (36) 가 보급값에 도달한 경우에 절삭 블레이드 (36) 의 보급을 독촉하도록 되어 있지만, 보급 독촉부 (126) 는, 임의의 종류 (1 종류여도 되고, 혹은 복수 종류여도 된다) 의 절삭 블레이드 (36) 가 보급값에 도달한 경우에, 절삭 블레이드 (36) 의 보급을 독촉할 수 있다.In addition, in the above example, when the two types of cutting blades 36 reach the replenishment value, the replenishment reminder unit 126 prompts for replenishment of the cutting blades 36. When the number of cutting blades 36 (or multiple types) reaches the supply value, supply of the cutting blades 36 can be promoted.

다음으로, 도 9 내지 도 13 을 참조하여, 상기 서술한 자동 교환 장치 (2) 가 연결되는 절삭 장치 (170) 에 대해 설명한다.Next, with reference to FIGS. 9 to 13, the cutting device 170 to which the above-described automatic switching device 2 is connected will be described.

(절삭 장치 (170))(Cutting device 170)

도 9 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (170) 는, 피가공물을 유지하는 유지면을 구비한 척 테이블 (172) 과, 척 테이블 (172) 에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드 (36) 를 고정 너트로 장착한 절삭 수단 (174) 과, 척 테이블 (172) 을 X 축 방향으로 가공 이송하는 X 축 이송 수단 (176) 과, 절삭 수단 (174) 을 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 산출 이송하는 Y 축 이송 수단 (178) 과, X 축 방향 및 Y 축 방향과 직교하는 Z 축 방향으로 절삭 수단 (174) 을 절입 이송하는 Z 축 이송 수단 (180) 을 구비한다.As shown in FIG. 9, the cutting device 170 includes a chuck table 172 provided with a holding surface for holding the workpiece, and a cutting blade 36 for cutting the workpiece held on the chuck table 172. The cutting means 174 mounted with a fixing nut, the It is provided with a Y-axis feed means 178 for cutting and feeding, and a Z-axis feed means 180 for cutting and feeding the cutting means 174 in the X-axis direction and the Z-axis direction orthogonal to the Y-axis direction.

(척 테이블 (172)) (Chuck Table (172))

도 9 및 도 10 을 참조하여 설명하면, 절삭 장치 (170) 는, 기대 (182) (도 9 참조) 의 상면에 X 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 형성된 X 축 가동판 (184) 과, X 축 가동판 (184) 의 상면에 고정된 지주 (186) 와, 지주 (186) 의 상단에 고정된 커버판 (188) 을 구비한다. 커버판 (188) 에는, 원형 개구 (188a) 가 형성되어 있다. 척 테이블 (172) 은, 지주 (186) 의 상단에 자유롭게 회전할 수 있도록 탑재되고, 커버판 (188) 의 원형 개구 (188a) 를 통하여 상방으로 연장되어 있다. 척 테이블 (172) 은, 지주 (186) 에 내장된 모터 (도시하지 않음) 에 의해 Z 축 방향을 축심으로 하여 회전된다.9 and 10, the cutting device 170 includes an It is provided with a support 186 fixed to the upper surface of the movable plate 184, and a cover plate 188 fixed to the top of the support 186. A circular opening 188a is formed in the cover plate 188. The chuck table 172 is mounted so as to be freely rotatable on the upper end of the support 186 and extends upward through the circular opening 188a of the cover plate 188. The chuck table 172 is rotated around the Z-axis direction by a motor (not shown) built into the support 186.

도 10 에 나타내는 바와 같이, 척 테이블 (172) 의 상단 부분에는, 흡인 수단 (도시하지 않음) 에 접속된 다공질의 원형상의 흡착 척 (190) 이 배치되어 있다. 척 테이블 (172) 에 있어서는, 흡인 수단으로 흡착 척 (190) 의 상면에 흡인력을 생성함으로써, 흡착 척 (190) 의 상면에 실린 피가공물을 흡인 유지하도록 되어 있다.As shown in Fig. 10, a porous circular suction chuck 190 connected to suction means (not shown) is disposed at the upper end of the chuck table 172. The chuck table 172 is designed to attract and hold the workpiece loaded on the upper surface of the suction chuck 190 by generating a suction force on the upper surface of the suction chuck 190 with suction means.

이와 같이 척 테이블 (172) 에 있어서는, 흡착 척 (190) 의 상면이 피가공물을 유지하는 유지면으로 되어 있고, 유지면은 X 축 방향 및 Y 축 방향에서 규정되는 XY 평면 상에 위치되어 있다. 또한, 척 테이블 (172) 의 둘레 가장자리에는, 둘레 방향으로 간격을 두고 복수의 클램프 (192) 가 배치되어 있다.In this way, in the chuck table 172, the upper surface of the suction chuck 190 serves as a holding surface for holding the workpiece, and the holding surface is located on the XY plane defined in the X-axis direction and Y-axis direction. In addition, a plurality of clamps 192 are disposed on the peripheral edge of the chuck table 172 at intervals in the circumferential direction.

(X 축 이송 수단 (176))(X axis transport means (176))

도 10 에 나타내는 바와 같이, X 축 이송 수단 (176) 은, X 축 가동판 (184) 에 연결되고 X 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (198) 와, 볼 나사 (198) 를 회전시키는 모터 (200) 를 갖는다. X 축 이송 수단 (176) 은, 볼 나사 (198) 에 의해 모터 (200) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 X 축 가동판 (184) 에 전달하고, 기대 (182) 의 안내 레일 (182a) 을 따라 X 축 가동판 (184) 을 이동시킴과 함께, 척 테이블 (172) 을 X 축 방향으로 가공 이송한다.As shown in FIG. 10, the X-axis transfer means 176 includes a ball screw 198 connected to the X-axis movable plate 184 and extending in the ) has. The X-axis transfer means 176 converts the rotational motion of the motor 200 into linear motion by the ball screw 198 and transmits it to the The X-axis movable plate 184 is moved along and the chuck table 172 is processed and transferred in the X-axis direction.

도 9 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (170) 는, 척 테이블 (172) 에 걸쳐 배치된 도어형의 프레임 (202) 을 포함한다. 프레임 (202) 은, Y 축 방향으로 간격을 두고 기대 (182) 의 상면으로부터 상방으로 연장되는 1 쌍의 지주 (204) 와, 1 쌍의 지주 (204) 의 상단 사이에 걸쳐지고 Y 축 방향으로 연장되는 빔 (206) 을 갖는다.As shown in FIG. 9 , the cutting device 170 includes a door-shaped frame 202 disposed across a chuck table 172 . The frame 202 spans between a pair of struts 204 extending upward from the upper surface of the base 182 at intervals in the Y-axis direction and the upper ends of the pair of struts 204 and extends in the Y-axis direction. It has an extending beam 206.

(절삭 수단 (174))(Cutting Means 174)

절삭 수단 (174) 은, 빔 (206) 의 편측의 측면 (도 9 에 있어서 배면측의 측면) 에 Y 축 방향으로 간격을 두고 1 쌍 형성되어 있다. 본 실시형태의 절삭 장치 (170) 에 있어서는, 절삭 블레이드 (36) 가 대면하도록 1 쌍의 절삭 수단 (174) 이 형성되어 있고, 척 테이블 (172) 에 유지된 피가공물을 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 에 의해 동시에 절삭 가공을 실시할 수 있게 되어 있다. 또한, 절삭 수단 (174) 은 1 개여도 된다.A pair of cutting means 174 is formed on one side of the beam 206 (the back side in Fig. 9) at intervals in the Y-axis direction. In the cutting device 170 of this embodiment, a pair of cutting means 174 is formed so that the cutting blades 36 face each other, and the workpiece held on the chuck table 172 is cut by a pair of cutting blades ( 36), it is possible to perform cutting processing simultaneously. Additionally, the number of cutting means 174 may be one.

도 11 에 나타내는 바와 같이, 각 절삭 수단 (174) 은, Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 빔 (206) 의 편측의 측면에 지지되는 직사각형상의 Y 축 가동 부재 (208) 와, Y 축 가동 부재 (208) 에 Z 축 방향으로 자유롭게 승강할 수 있도록 지지된 단면 L 자상의 Z 축 가동 부재 (210) 와, Z 축 가동 부재 (210) 의 하단에 고정된 스핀들 하우징 (212) 을 구비한다.As shown in FIG. 11, each cutting means 174 includes a rectangular Y-axis movable member 208 supported on one side of the beam 206 so that it can move freely in the Y-axis direction, and a Y-axis movable member ( It is provided with a Z-axis movable member 210 having an L-shaped cross-section supported so that it can freely move up and down in the Z-axis direction, and a spindle housing 212 fixed to the lower end of the Z-axis movable member 210.

Y 축 가동 부재 (208) 의 편측의 측면 (도 11 에 있어서 앞쪽 측면) 에는, Z 축 방향으로 간격을 두고 Y 축 방향으로 연장되는 1 쌍의 피안내홈 (208a) 이 형성되고, 피안내홈 (208a) 은 빔 (206) 의 편측의 측면에 있어서 상하 방향으로 간격을 두고 Y 축 방향으로 연장되는 1 쌍의 안내 레일 (도시하지 않음) 에 자유롭게 슬라이딩할 수 있도록 연결된다.On one side of the Y-axis movable member 208 (the front side in FIG. 11), a pair of guided grooves 208a extending in the Y-axis direction at intervals in the Z-axis direction are formed, and the guided grooves (208a) is freely slidably connected to a pair of guide rails (not shown) extending in the Y-axis direction at intervals in the vertical direction on one side of the beam 206.

(Y 축 이송 수단 (178))(Y axis transport means (178))

Y 축 이송 수단 (178) 은, 빔 (206) 의 편측의 측면에 있어서 Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (214) 와, 볼 나사 (214) 를 회전시키는 모터 (216) 를 갖는다. 볼 나사 (214) 는 Y 축 가동 부재 (208) 에 연결되어 있다. Y 축 이송 수단 (178) 은, 볼 나사 (214) 에 의해 모터 (216) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 Y 축 가동 부재 (208) 에 전달하고, 빔 (206) 의 편측의 측면에 부설된 안내 레일을 따라 Y 축 가동 부재 (208) 를 Y 축 방향으로 산출 이송한다.The Y-axis transfer means 178 has a ball screw 214 extending in the Y-axis direction on one side of the beam 206, and a motor 216 that rotates the ball screw 214. The ball screw 214 is connected to the Y-axis movable member 208. The Y-axis transfer means 178 converts the rotational motion of the motor 216 into linear motion by the ball screw 214 and transmits it to the Y-axis movable member 208, and is installed on one side of the beam 206. The Y-axis movable member 208 is transported in the Y-axis direction along the guide rail.

Y 축 가동 부재 (208) 의 타측의 측면 (도 11 에 있어서 배면측의 측면) 에는, Y 축 방향으로 간격을 두고 Z 축 방향으로 연장되는 1 쌍의 안내 레일 (도시하지 않음) 이 형성되어 있고, Z 축 가동 부재 (210) 는, Y 축 가동 부재 (208) 의 1 쌍의 안내 레일에 자유롭게 슬라이딩할 수 있도록 연결되는 1 쌍의 피안내홈 (도시하지 않음) 을 갖는다.On the other side of the Y-axis movable member 208 (the back side in Fig. 11), a pair of guide rails (not shown) extending in the Z-axis direction are formed at intervals in the Y-axis direction. , the Z-axis movable member 210 has a pair of guided grooves (not shown) that are freely slidably connected to a pair of guide rails of the Y-axis movable member 208.

(Z 축 이송 수단 (180))(Z axis transport means (180))

Z 축 이송 수단 (180) 은, Z 축 가동 부재 (210) 에 연결되어 Z 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (도시하지 않음) 와, 이 볼 나사를 회전시키는 모터 (218) 를 갖는다. Z 축 이송 수단 (180) 은, 볼 나사에 의해 모터 (218) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 Z 축 가동 부재 (210) 에 전달하고, Y 축 가동 부재 (208) 의 안내 레일을 따라 Z 축 가동 부재 (210) 를 Z 축 방향으로 절입 이송한다.The Z-axis transfer means 180 has a ball screw (not shown) connected to the Z-axis movable member 210 and extending in the Z-axis direction, and a motor 218 that rotates the ball screw. The Z-axis transfer means 180 converts the rotational motion of the motor 218 into linear motion by a ball screw and transmits it to the Z-axis movable member 210, and moves the Z-axis along the guide rail of the Y-axis movable member 208. The axial movable member 210 is incised and fed in the Z-axis direction.

도 12 를 참조하여 설명하면, 스핀들 하우징 (212) 에는, Y 축 방향을 축심으로 하여 자유롭게 회전할 수 있도록 원기둥상의 스핀들 (220) 이 지지되어 있음과 함께, 스핀들 (220) 을 회전시키는 모터 (도시하지 않음) 가 수용되어 있다. 스핀들 (220) 의 선단에는, 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드 (36) 가 고정 너트 (222) 에 의해 자유롭게 착탈할 수 있도록 고정되어 있다.12 , a cylindrical spindle 220 is supported in the spindle housing 212 so that it can freely rotate around the Y-axis direction, and a motor (as shown) rotates the spindle 220. not) is accepted. At the tip of the spindle 220, a cutting blade 36 for cutting the workpiece is fixed to be freely removable by a fixing nut 222.

스핀들 하우징 (212) 의 선단에는, 절삭 블레이드 (36) 를 덮는 블레이드 커버 (224) 가 장착되어 있다. 블레이드 커버 (224) 는, 스핀들 하우징 (212) 의 선단에 고정된 제 1 커버 부재 (224a) 와, 제 1 커버 부재 (224a) 의 선단에 자유롭게 이동할 수 있도록 장착된 제 2 커버 부재 (224b) 를 갖는다. 제 2 커버 부재 (224b) 는, 에어 실린더 등의 적절한 액추에이터 (도시하지 않음) 에 의해 X 축 방향으로 이동되도록 되어 있고, 절삭 블레이드 (36) 의 교환시에는 도 12 에 나타내는 개방 위치에 위치되고, 절삭 가공시에는 도 11 에 나타내는 폐색 위치에 위치된다.A blade cover 224 covering the cutting blade 36 is mounted on the tip of the spindle housing 212. The blade cover 224 includes a first cover member 224a fixed to the tip of the spindle housing 212, and a second cover member 224b movably mounted on the tip of the first cover member 224a. have The second cover member 224b is moved in the During cutting, it is positioned at the blocked position shown in Fig. 11.

도 13 에 나타내는 바와 같이, 스핀들 (220) 의 선단측 외주면에는, 직경 방향 외측으로 돌출되는 환상의 고정 플랜지 (226) 가 형성되어 있다. 고정 플랜지 (226) 의 선단면의 직경 방향 내측 부분에는 환상의 오목부 (226a) 가 형성되어 있고, 고정 플랜지 (226) 의 선단면의 외주측 부분은, 축 방향으로 돌출된 환상의 지지 단면 (226b) 으로 되어 있다. 또한, 고정 플랜지 (226) 보다 더 선단측의 스핀들 (220) 의 외주면에는, 수나사 (228) 가 형성되어 있다.As shown in Fig. 13, an annular fixing flange 226 is formed on the outer peripheral surface of the distal end of the spindle 220, protruding radially outward. An annular concave portion 226a is formed in the radially inner portion of the distal end surface of the fixing flange 226, and the outer peripheral portion of the distal end surface of the fixing flange 226 has an annular support end surface protruding in the axial direction ( 226b). Additionally, a male thread 228 is formed on the outer peripheral surface of the spindle 220 further on the distal end side than the fixing flange 226.

그리고, 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 가 스핀들 (220) 의 선단부에 끼워 맞춰지고, 스핀들 (220) 의 수나사 (228) 와 고정 너트 (222) 가 나사 장착 (체결) 됨으로써, 고정 플랜지 (226) 의 지지 단면 (226b) 과 고정 너트 (222) 에 절삭 블레이드 (36) 가 협지되어 스핀들 (220) 의 선단에 자유롭게 착탈할 수 있도록 고정된다. 또한, 고정 너트 (222) 의 측면에는, 반출입 수단 (6) 의 고정 너트 유지부 (50) 의 핀 (72) 이 삽입되는 복수 개의 핀공 (222a) 이 둘레 방향으로 등간격을 두고 형성되어 있다.Then, the central opening 38a of the cutting blade 36 is fitted into the distal end of the spindle 220, and the external screw 228 of the spindle 220 and the fixing nut 222 are screwed (fastened), so that the fixing flange The cutting blade 36 is held between the support end surface 226b of 226 and the fixing nut 222 and is fixed to the tip of the spindle 220 so that it can be freely attached and detached. Additionally, on the side of the fixing nut 222, a plurality of pin holes 222a into which the pins 72 of the fixing nut holding portion 50 of the carrying-in/out means 6 are inserted are formed at equal intervals in the circumferential direction.

도 9 에 나타내는 바와 같이, 프레임 (202) 의 빔 (206) 의 타측의 측면 (도 9 에 있어서 앞측의 측면) 에는, 척 테이블 (172) 에 유지된 피가공물을 촬상하는 1 쌍의 촬상 수단 (230) 이 Y 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 장착되어 있음과 함께, 촬상 수단 (230) 을 Y 축 방향으로 이동시키는 1 쌍의 이동 수단 (232) 이 장착되어 있다.As shown in FIG. 9, on the other side of the beam 206 of the frame 202 (the front side in FIG. 9), a pair of imaging means ( 230) is mounted so as to move freely in the Y-axis direction, and a pair of moving means 232 for moving the imaging means 230 in the Y-axis direction is mounted.

이동 수단 (232) 은, 빔 (206) 의 타측의 측면에 있어서 Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (234) 와, 볼 나사 (234) 를 회전시키는 모터 (236) 를 갖는다. 볼 나사 (234) 는 촬상 수단 (230) 에 연결되어 있다. 그리고, 이동 수단 (232) 은, 모터 (236) 의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 촬상 수단 (230) 에 전달하고, 빔 (206) 의 타측의 측면에 부설된 안내 레일 (206a) 을 따라 촬상 수단 (230) 을 Y 축 방향으로 이동시킨다. 또한, 촬상 수단 (230) 은 1 개여도 된다.The moving means 232 has a ball screw 234 extending in the Y-axis direction on the other side of the beam 206, and a motor 236 that rotates the ball screw 234. The ball screw 234 is connected to the imaging means 230. Then, the moving means 232 converts the rotational motion of the motor 236 into linear motion and transmits it to the imaging means 230, and captures the image along the guide rail 206a installed on the other side of the beam 206. The means 230 is moved in the Y-axis direction. Additionally, the number of imaging means 230 may be one.

(절삭 가공) (cutting processing)

절삭 장치 (170) 를 사용하여, 웨이퍼 등의 피가공물에 대해 절삭 가공을 실시할 때에는, 먼저, 척 테이블 (172) 에 피가공물을 흡착시킨다. 이어서, X 축 이송 수단 (176) 으로 척 테이블 (172) 을 촬상 수단 (230) 의 하방으로 이동시킴과 함께, 이동 수단 (232) 으로 촬상 수단 (230) 의 Y 축 방향 위치를 조정한다. 이어서, 촬상 수단 (230) 으로 상방으로부터 피가공물을 촬상하여 피가공물의 절삭 영역을 검출한다.When cutting a workpiece such as a wafer using the cutting device 170, the workpiece is first adsorbed to the chuck table 172. Next, the chuck table 172 is moved below the imaging means 230 by the Next, the workpiece is captured by the imaging means 230 from above to detect the cutting area of the workpiece.

이어서, 촬상 수단 (230) 으로 검출한 피가공물의 절삭 영역에 기초하여, 척 테이블 (172) 을 회전시켜, 절삭 수단 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 에 대한 피가공물의 절삭 영역의 방향을 조정한다. 이어서, X 축 이송 수단 (176) 으로 척 테이블 (172) 을 X 축 방향으로 이동시킴과 함께, Y 축 이송 수단 (178) 으로 스핀들 하우징 (212) 을 Y 축 방향으로 이동시켜, 피가공물의 절삭 영역의 상방에 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 를 위치시킨다.Next, based on the cutting area of the workpiece detected by the imaging means 230, the chuck table 172 is rotated to adjust the direction of the cutting area of the workpiece with respect to the cutting blade 36 of the cutting means 174. do. Next, the chuck table 172 is moved in the X-axis direction by the Position a pair of cutting blades 36 on top of the area.

이어서, Z 축 이송 수단 (180) 으로 스핀들 하우징 (212) 을 하강시켜, 고속 회전시킨 절삭 블레이드 (36) 의 절삭날 (40) 을 피가공물의 절삭 영역에 절입시킴과 함께, 절삭 블레이드 (36) 의 절삭날 (40) 을 절입시키는 부분에 절삭수를 공급하면서, 척 테이블 (172) 을 X 축 방향으로 가공 이송함으로써, 피가공물의 절삭 영역에 소정의 절삭 가공을 실시한다. Y 축 이송 수단 (178) 으로 스핀들 하우징 (212) 을 Y 축 방향으로 산출 이송하면서, 상기 절삭 가공을 적절히 반복하여, 피가공물의 절삭 영역 전부에 절삭 가공을 실시한다. 절삭 공정이 종료된 절삭 가공이 완료된 피가공물은 다음 공정으로 반송된다.Next, the spindle housing 212 is lowered by the Z-axis transfer means 180, and the cutting edge 40 of the cutting blade 36 rotated at high speed is cut into the cutting area of the workpiece, and the cutting blade 36 is cut into the cutting area. A predetermined cutting process is performed on the cutting area of the workpiece by machining and transferring the chuck table 172 in the While the spindle housing 212 is calculated and transferred in the Y-axis direction by the Y-axis transfer means 178, the above-described cutting process is repeated appropriately, and the cutting process is performed on the entire cutting area of the workpiece. The workpiece for which the cutting process has been completed is returned to the next process.

(절삭 블레이드 (36) 의 교환) (Replacement of cutting blade (36))

절삭 공정을 반복 실시하면 절삭 블레이드 (36) 는 마모되고, 절삭 블레이드 (36) 의 마모가 소정량에 달하면, 절삭 정밀도가 유지되지 않게 되기 때문에, 스핀들 (220) 에 장착되어 있는 절삭 블레이드 (36) 를 새로운 절삭 블레이드 (36) 로 교환할 필요가 있다. 또한, 스핀들 (220) 에 장착되어 있는 절삭 블레이드 (36) 의 마모가 소정량에 달하지 않은 경우라도, 전에 절삭 가공을 실시한 피가공물의 소재와 상이한 소재의 피가공물에 절삭 가공을 실시할 때에는, 피가공물의 소재에 따른 절삭 블레이드 (36) 로 교환할 필요가 발생하는 경우도 있다.If the cutting process is repeated, the cutting blade 36 is worn, and when the wear of the cutting blade 36 reaches a predetermined amount, the cutting precision is not maintained, so the cutting blade 36 mounted on the spindle 220 It is necessary to replace it with a new cutting blade (36). In addition, even if the wear of the cutting blade 36 mounted on the spindle 220 does not reach a predetermined amount, when cutting a workpiece made of a material different from the material of the workpiece previously cut, There may be cases where it is necessary to replace the cutting blade 36 depending on the material of the workpiece.

본 실시형태에서는 도 14 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (170) 의 절삭 블레이드 (36) 를 자동적으로 교환할 수 있는 자동 교환 장치 (2) 가 절삭 장치 (170) 에 연결되어 있고, 이하, 자동 교환 장치 (2) 를 사용하여 절삭 블레이드 (36) 를 교환하는 방법에 대해 설명한다.In this embodiment, as shown in FIG. 14, an automatic replacement device 2 capable of automatically replacing the cutting blade 36 of the cutting device 170 is connected to the cutting device 170, and hereinafter referred to as automatic replacement. A method of replacing the cutting blade 36 using the device 2 will be described.

도 14 에 나타내는 바와 같이, 자동 교환 장치 (2) 는 절삭 장치 (170) 의 X 축 방향 안쪽에 배치되어 있고, 사용자에게 이미 납품한 절삭 장치 (170) 에 나중에 장착할 수 있도록 되어 있다. 자동 교환 장치 (2) 를 사용하여, 절삭 장치 (170) 에 장착되어 있는 절삭 블레이드 (36) 를 교환할 때에는, 먼저, 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 의 무한 궤도 (22) 를 회전시키고, 절삭 장치 (170) 에 반입해야 할 새로운 절삭 블레이드 (36) 를 지지하고 있는 블레이드 지지축 (24) 을 소정 위치 (예를 들어, 블레이드 지지축 (24) 의 궤도에 있어서의 최하단의 위치) 에 위치시킨다.As shown in Fig. 14, the automatic exchange device 2 is arranged inside the cutting device 170 in the X-axis direction, and can be later mounted on the cutting device 170 already delivered to the user. When replacing the cutting blade 36 mounted on the cutting device 170 using the automatic exchange device 2, first, the caterpillar 22 of the cutting blade storage means 4 is rotated and the cutting device 170 is replaced. The blade support shaft 24, which supports the new cutting blade 36 to be brought into 170, is positioned at a predetermined position (for example, the lowest position in the orbit of the blade support shaft 24).

이어서, 도 15 에 나타내는 바와 같이, 반출입 수단 (6) 의 Z 회전축 (46) 에 연결되어 있는 모터로 케이싱 (52) 을 회전시켜, 블레이드 유지부 (48) 가 장착되어 있는 케이싱 (52) 의 측벽 (56) 을 X 축 방향을 따르게 하여, 블레이드 유지부 (48) 를 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 에 대면시킨다.Next, as shown in FIG. 15, the casing 52 is rotated by a motor connected to the Z rotation shaft 46 of the loading/unloading means 6, and the side wall of the casing 52 on which the blade holding portion 48 is mounted is rotated. (56) is aligned along the X-axis direction, so that the blade holding portion (48) faces the cutting blade storage means (4).

또한, X 축 이동 수단 (12) 및 Z 축 이동 수단 (10) 을 작동시켜, 상기 소정 위치의 블레이드 지지축 (24) 의 축부 (34) 를 블레이드 유지부 (48) 의 중앙 개구부 (60) (도 5 참조) 에 삽입할 수 있도록, 블레이드 유지부 (48) 의 X 축 방향 위치 및 Z 축 방향 위치를 조정한다.In addition, the Adjust the X-axis direction position and Z-axis direction position of the blade holding portion 48 so that it can be inserted (see FIG. 5).

이어서, 도 16 에 나타내는 바와 같이, Y 축 이동 수단 (8) 에 의해 프레임체 (74) 를 Y 축 방향으로 이동시켜, 블레이드 지지축 (24) 에 지지되어 있는 절삭 블레이드 (36) 를 블레이드 유지부 (48) 에 의해 유지 가능한 작용 위치에 반출입 수단 (6) 을 위치시킨다. 이로써, 상기 소정 위치의 블레이드 지지축 (24) 의 축부 (34) 를 블레이드 유지부 (48) 의 중앙 개구부 (60) 에 삽입함과 함께, 축부 (34) 의 선단측에 위치하는 절삭 블레이드 (36) 의 단면에 블레이드 유지부 (48) 의 단면 (58) 을 접촉시킨다. 이어서, 블레이드 유지부 (48) 의 흡인공 (61) 에 흡인력을 생성하여, 축부 (34) 의 선단측에 위치하는 절삭 블레이드 (36) 를 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지한다.Next, as shown in FIG. 16, the frame 74 is moved in the Y-axis direction by the Y-axis moving means 8, and the cutting blade 36 supported on the blade support shaft 24 is moved to the blade holder. The loading and unloading means (6) is placed in an operating position that can be maintained by (48). As a result, the shaft portion 34 of the blade support shaft 24 at the predetermined position is inserted into the central opening 60 of the blade holding portion 48, and the cutting blade 36 located on the distal end side of the shaft portion 34 is inserted into the central opening 60 of the blade holding portion 48. ) The end face 58 of the blade holding portion 48 is brought into contact with the end face of the blade holding portion 48 . Next, a suction force is generated in the suction hole 61 of the blade holding portion 48, and the cutting blade 36 located on the distal end side of the shaft portion 34 is suction-held by the blade holding portion 48.

이어서, Y 축 이동 수단 (8) 을 작동시켜, 반출입 수단 (6) 을 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 으로부터 Y 축 방향으로 이간시켜 퇴피 위치에 위치시킨다. 이어서, 반출입 수단 (6) 의 케이싱 (52) 을 180°회전시켜, 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지한 블레이드 유지부 (48) 의 반대측의 블레이드 유지부 (48) 를 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 에 대면시킨다.Next, the Y-axis moving means 8 is activated to move the loading/unloading means 6 away from the cutting blade storage means 4 in the Y-axis direction and position it in the retracted position. Next, the casing 52 of the loading and unloading means 6 is rotated by 180°, and the blade holding part 48 on the opposite side of the blade holding part 48 that suction-holds the cutting blade 36 is held by the cutting blade holding means 4. face it.

이어서, Y 축 이동 수단 (8) 을 작동시켜, 반대측의 블레이드 유지부 (48) 에 의해 블레이드 지지축 (24) 의 절삭 블레이드 (36) 를 유지 가능한 작용 위치에 반출입 수단 (6) 을 위치시킨다. 이어서, 반대측의 블레이드 유지부 (48) 의 흡인공 (61) 에 흡인력을 생성하여, 축부 (34) 의 선단측에 위치하는 절삭 블레이드 (36) 를 블레이드 유지부 (48) 에 의해 흡인 유지한다. 이것에 의해, 4 개의 블레이드 유지부 (48) 중 대향하는 1 쌍의 블레이드 유지부 (48) 로, 새로운 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지한 상태가 된다.Next, the Y-axis moving means 8 is activated to position the loading/unloading means 6 at an operating position where the cutting blade 36 of the blade support shaft 24 can be held by the blade holding portion 48 on the opposite side. Next, a suction force is generated in the suction hole 61 of the blade holding portion 48 on the opposite side, and the cutting blade 36 located on the distal end side of the shaft portion 34 is held by suction by the blade holding portion 48. As a result, the new cutting blade 36 is held by the opposing pair of blade holding parts 48 among the four blade holding parts 48 by suction.

절삭 블레이드 보관 수단 (4) 으로부터 절삭 블레이드 (36) 를 반출할 때에는, 블레이드 지지축 (24) 의 볼 플런저 (42) 가 출입하는 점에서, 절삭 블레이드 관리 수단 (7) 의 관리부 (124) 에 의해 볼 플런저 (42) 의 출입을 검출하여, 절삭 블레이드 (36) 가 반출된 블레이드 지지축 (24) 에 잔존하고 있는 절삭 블레이드 (36) 의 수량 (재고수) 을 구한다.When taking out the cutting blade 36 from the cutting blade storage means 4, the ball plunger 42 of the blade support shaft 24 is moved in and out by the management unit 124 of the cutting blade management means 7. By detecting the entry and exit of the ball plunger 42, the quantity (stock number) of the cutting blades 36 remaining on the blade support shaft 24 from which the cutting blades 36 were taken out is determined.

그리고, 절삭 블레이드 관리 수단 (7) 의 보급 독촉부 (126) 는, 절삭 블레이드 (36) 의 재고수가 보급값에 도달해 있으면, 자동 교환 장치 (2) 의 알람을 작동시킴과 함께, 보급이 필요한 블레이드 지지축 (24) 의 넘버, 보급해야 할 절삭 블레이드 (36) 의 종류 및 매수, 보급 기한 등이 나타난 보급 독촉 화면을 자동 교환 장치 (2) 의 모니터에 표시시켜, 절삭 블레이드 (36) 의 보급을 독촉한다.Then, the replenishment reminder unit 126 of the cutting blade management means 7, when the stock number of the cutting blades 36 reaches the replenishment value, activates the alarm of the automatic exchange device 2 and indicates that replenishment is necessary. A supply reminder screen showing the number of the blade support shaft 24, the type and number of cutting blades 36 to be supplied, the supply deadline, etc. is displayed on the monitor of the automatic exchange device 2, and the cutting blades 36 are supplied. urges.

1 쌍의 블레이드 유지부 (48) 에 의해 새로운 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지한 후, 도 17 에 나타내는 바와 같이, Y 축 이동 수단 (8) 에 의해 프레임체 (74) 를 Y 축 방향으로 이동시킴과 함께, Z 축 이동 수단 (10) 으로 승강 테이블 (76) 을 Z 축 방향으로 이동시킨다. 이로써, 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 으로부터 반출입 수단 (6) 을 이간시켜 퇴피 위치에 위치시킴과 함께, 절삭 장치 (170) 에 대한 반출입 수단 (6) 의 Y 축 방향 위치 및 Z 축 방향 위치를 조정한다. 위치 조정 후의 반출입 수단 (6) 의 Y 축 방향 위치는, 절삭 장치 (170) 의 1 쌍의 절삭 수단 (174) 사이이고, 위치 조정 후의 반출입 수단 (6) 의 Z 축 방향 위치는, 척 테이블 (172) 의 유지면보다 상방이다.After the new cutting blade 36 is held by the pair of blade holding portions 48, the frame 74 is moved in the Y-axis direction by the Y-axis moving means 8, as shown in FIG. 17. With this, the lifting table 76 is moved in the Z-axis direction by the Z-axis moving means 10. As a result, the carrying-in/out means (6) is separated from the cutting blade storage means (4) and placed in the retracted position, and the Y-axis direction position and Z-axis direction positions of the carrying-in/out means (6) with respect to the cutting device (170) are adjusted. do. The Y-axis direction position of the loading/unloading means 6 after position adjustment is between the pair of cutting means 174 of the cutting device 170, and the Z-axis direction position of the loading/unloading means 6 after position adjustment is between the chuck table ( 172) It is above the holding surface of .

이어서, 도 18 에 나타내는 바와 같이, X 축 이동 수단 (12) 에 의해 반출입 수단 (6) 을 X 축 방향으로 이동시켜, 1 쌍의 절삭 수단 (174) 에 대한 반출입 수단 (6) 의 X 축 방향 위치를 조정한다. 구체적으로는, 반출입 수단 (6) 의 1 쌍의 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지하고 있는 새로운 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 중심의 X 축 방향 위치와, 1 쌍의 절삭 수단 (174) 에 장착되어 있는 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 중심의 X 축 방향 위치를 정합시킨다.Next, as shown in FIG. 18, the carrying-in/out means 6 is moved in the X-axis direction by the Adjust the position. Specifically, the position in the The X-axis direction positions of the centers of the pair of cutting blades 36 mounted on are aligned.

또한, 자동 교환 장치 (2) 의 Z 축 이동 수단 (10) 또는 절삭 장치 (170) 의 Z 축 이송 수단 (180) 을 작동시켜, 블레이드 유지부 (48) 의 절삭 블레이드 (36) 의 중심의 Z 축 방향 위치와, 절삭 수단 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 의 중심의 Z 축 방향 위치를 정합시킨다.Additionally, the Z-axis moving means 10 of the automatic changing device 2 or the Z-axis moving means 180 of the cutting device 170 is operated to shift the Z axis of the center of the cutting blade 36 of the blade holding portion 48. The axial position and the Z-axis position of the center of the cutting blade 36 of the cutting means 174 are aligned.

이어서, 반출입 수단 (6) 의 케이싱 (52) 을 60°회전시켜, 1 쌍의 고정 너트 유지부 (50) 를 1 쌍의 절삭 수단 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 에 대면시킨다. 또한, 반출입 수단 (6) 을 전진시키기 전에, 케이싱 (52) 을 60°회전시켜 두어도 된다.Next, the casing 52 of the loading/unloading means 6 is rotated by 60°, so that the pair of fixing nut holding portions 50 face the cutting blades 36 of the pair of cutting means 174. Additionally, before advancing the loading/unloading means 6, the casing 52 may be rotated by 60°.

이어서, 1 쌍의 절삭 수단 (174) 의 각각의 블레이드 커버 (224) 의 제 2 커버 부재 (224b) 를 개방 위치 (도 12 참조) 에 위치시킨다. 계속해서, 절삭 장치 (170) 의 Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 수단 (174) 을 Y 축 방향으로 이동시켜, 스핀들 (220) 에 절삭 블레이드 (36) 를 고정시키고 있는 고정 너트 (222) 를 고정 너트 유지부 (50) 의 회전체 (66) 의 단면 (66a) 에 접촉시킨다. 그러면, 고정 너트 유지부 (50) 의 핀 (72) 이 고정 너트 (222) 에 가압되어 회전체 (66) 의 내부에 수용됨과 함께, 스핀들 (220) 의 선단이 회전체 (66) 의 중앙 개구부 (68) 에 수용된다.Next, the second cover member 224b of each blade cover 224 of the pair of cutting means 174 is placed in the open position (see FIG. 12). Subsequently, the cutting means 174 is moved in the Y-axis direction by the Y-axis transport means 178 of the cutting device 170, and the fixing nut 222 that secures the cutting blade 36 to the spindle 220 is moved. is brought into contact with the end surface (66a) of the rotating body (66) of the fixing nut holding portion (50). Then, the pin 72 of the fixing nut holding portion 50 is pressed against the fixing nut 222 and received inside the rotating body 66, and the tip of the spindle 220 is positioned at the central opening of the rotating body 66. (68) is accepted.

이어서, 고정 너트 유지부 (50) 의 모터로 회전체 (66) 를 회전시키면, 각 핀 (72) 이 고정 너트 (222) 의 핀공 (222a) 과 합치했을 때에, 각 핀 (72) 이 핀공 (222a) 에 끼워 맞춰지고, 회전체 (66) 의 회전 운동이 각 핀 (72) 을 통해 고정 너트 (222) 에 전달되어, 고정 너트 (222) 가 느슨해진다. 이로써, 절삭 수단 (174) 의 스핀들 (220) 의 수나사 (228) 로부터 고정 너트 (222) 를 나사 분리 (떼어냄) 할 수 있다. 또한, 고정 너트 유지부 (50) 의 각 흡인공 (70) 에 흡인력을 생성하고, 떼어낸 고정 너트 (22) 를 고정 너트 유지부 (50) 로 흡인 유지한다.Next, when the rotating body 66 is rotated by the motor of the fixing nut holding part 50, when each pin 72 is aligned with the pin hole 222a of the fixing nut 222, each pin 72 is made into a pin hole ( 222a), the rotational movement of the rotating body 66 is transmitted to the fixing nut 222 through each pin 72, and the fixing nut 222 is loosened. In this way, the fixing nut 222 can be screwed off (removed) from the external screw 228 of the spindle 220 of the cutting means 174. Additionally, a suction force is generated in each suction hole 70 of the fixing nut holding part 50, and the removed fixing nut 22 is suction-held by the fixing nut holding part 50.

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 수단 (174) 을 반출입 수단 (6) 으로부터 이간시킴과 함께, 반출입 수단 (6) 의 케이싱 (52) 을 60°회전시켜, 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지하고 있지 않은 빈 블레이드 유지부 (48) 를 절삭 수단 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 에 대면시킨다.Next, the cutting means 174 is separated from the loading/unloading means 6 by the Y-axis transfer means 178, and the casing 52 of the loading/unloading means 6 is rotated by 60° to remove the cutting blade 36. The empty blade holding portion 48 that is not being suction-held is placed against the cutting blade 36 of the cutting means 174.

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 수단 (174) 을 반출입 수단 (6) 에 접근시켜, 절삭 수단 (174) 의 스핀들 (220) 을 블레이드 유지부 (48) 의 중앙 개구부 (60) 에 삽입함과 함께, 절삭 수단 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 의 단면에, 빈 블레이드 유지부 (48) 의 단면 (58) 을 접촉시킨다. 이어서, 블레이드 유지부 (48) 의 흡인공 (61) 에 흡인력을 생성하여, 절삭 수단 (174) 의 절삭 블레이드 (36) 를 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지한다.Next, the cutting means 174 is brought close to the loading/unloading means 6 by the Y-axis conveying means 178, and the spindle 220 of the cutting means 174 is inserted into the central opening 60 of the blade holding portion 48. Upon insertion, the end face 58 of the empty blade holding portion 48 is brought into contact with the end face of the cutting blade 36 of the cutting means 174. Next, a suction force is generated in the suction hole 61 of the blade holding portion 48, and the cutting blade 36 of the cutting means 174 is suction-held by the blade holding portion 48.

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 수단 (174) 을 반출입 수단 (6) 으로부터 이간시킴과 함께, 반출입 수단 (6) 의 케이싱 (52) 을 60°회전시켜, 새로운 절삭 블레이드 (36) 를 흡인 유지하고 있는 블레이드 유지부 (48) 를 절삭 수단 (174) 의 스핀들 (220) 에 대면시킨다.Next, the cutting means 174 is separated from the loading/unloading means 6 by the Y-axis transfer means 178, and the casing 52 of the loading/unloading means 6 is rotated by 60° to form a new cutting blade 36. The blade holding portion 48, which suctions and holds the blade, is placed against the spindle 220 of the cutting means 174.

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 수단 (174) 을 반출입 수단 (6) 에 접근시키고, 스핀들 (220) 을 새로운 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 에 삽입하여, 스핀들 (220) 의 고정 플랜지 (226) 의 지지 단면 (226b) 에 절삭 블레이드 (36) 의 단면을 접촉시킨다. 이어서, 블레이드 유지부 (48) 의 흡인력을 해제하고, 블레이드 유지부 (48) 로부터 스핀들 (220) 에 새로운 절삭 블레이드 (36) 를 전달한다.Then, the cutting means 174 is brought close to the loading and unloading means 6 by the Y-axis conveying means 178, and the spindle 220 is inserted into the central opening 38a of the new cutting blade 36, so that the spindle 220 ) The end surface of the cutting blade 36 is brought into contact with the support end surface 226b of the fixed flange 226. Next, the suction force of the blade holding portion 48 is released, and the new cutting blade 36 is transferred from the blade holding portion 48 to the spindle 220.

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 수단 (174) 을 반출입 수단 (6) 으로부터 이간시킴과 함께, 반출입 수단 (6) 의 케이싱 (52) 을 60°회전시켜, 떼어낸 고정 너트 (222) 를 흡인 유지하고 있는 고정 너트 유지부 (50) 를 절삭 수단 (174) 의 스핀들 (220) 에 대면시킨다.Next, the cutting means 174 is separated from the loading/unloading means 6 by the Y-axis transfer means 178, and the casing 52 of the loading/unloading means 6 is rotated by 60° to remove the fixed nut 222. ) is placed against the spindle 220 of the cutting means 174.

이어서, Y 축 이송 수단 (178) 에 의해 절삭 수단 (174) 을 반출입 수단 (6) 에 접근시켜, 고정 너트 유지부 (50) 로 흡인 유지한 고정 너트 (222) 를 스핀들 (220) 의 선단부에 끼워 맞춘다. 이어서, 고정 너트 (222) 를 떼어냈을 때와는 역방향으로 고정 너트 유지부 (50) 의 모터를 작동시켜 고정 너트 (222) 를 회전시키고, 스핀들 (220) 의 수나사 (228) 에 고정 너트 (222) 를 나사 장착 (체결) 시킨다.Next, the cutting means 174 is brought close to the loading/unloading means 6 by the Y-axis transfer means 178, and the fixing nut 222 suction-held by the fixing nut holding portion 50 is placed on the distal end of the spindle 220. Fit it in. Next, the motor of the fixing nut holder 50 is operated in the opposite direction to when the fixing nut 222 was removed to rotate the fixing nut 222, and the fixing nut 222 is attached to the external screw 228 of the spindle 220. ) and install (fasten) the screws.

이로써, 절삭 수단 (174) 에 장착해야 할 새로운 절삭 블레이드 (36) 를 스핀들 (220) 의 고정 플랜지 (226) 의 지지 단면 (226b) 과 고정 너트 (222) 로 협지하여 스핀들 (220) 에 고정시킬 수 있다.As a result, the new cutting blade 36 to be mounted on the cutting means 174 can be fixed to the spindle 220 by sandwiching it with the support end surface 226b of the fixing flange 226 of the spindle 220 and the fixing nut 222. You can.

이어서, 고정 너트 유지부 (50) 의 흡인력을 해제한 후, 절삭 수단 (174) 의 블레이드 커버 (224) 의 제 2 커버 부재 (224b) 를 폐색 위치에 위치시킨다. 또한, 상기 서술한 바와 같은 고정 너트 (222) 및 절삭 블레이드 (36) 의 떼어냄, 장착에 대해서는, 1 쌍의 절삭 수단 (174) 에 대해 동시에 실시해도 되고, 따로따로 실시해도 된다.Next, after releasing the suction force of the fixing nut holding portion 50, the second cover member 224b of the blade cover 224 of the cutting means 174 is placed in the closed position. In addition, the removal and installation of the fixing nut 222 and the cutting blade 36 as described above may be performed simultaneously or separately for a pair of cutting means 174.

이어서, 반출입 수단 (6) 을 후퇴시킴과 함께, 반출입 수단 (6) 의 케이싱 (52) 을 60°회전시켜, 떼어낸 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 일방을 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 에 대면시킨다. 또한, 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 의 무한 궤도 (22) 를 회전시켜, 절삭 블레이드 (36) 를 지지하고 있지 않은 빈 블레이드 지지축 (24) 을 소정 위치 (예를 들어, 블레이드 지지축 (24) 의 궤도에 있어서의 최하단의 위치) 에 위치시킨다.Next, the carrying-in/out means (6) is retracted, and the casing (52) of the carrying-in/out means (6) is rotated by 60°, and one of the removed pair of cutting blades (36) is placed in the cutting blade storage means (4). Face it. Additionally, the caterpillar 22 of the cutting blade storage means 4 is rotated to move the empty blade support shaft 24, which does not support the cutting blade 36, to a predetermined position (e.g., the blade support shaft 24). It is located at the lowest position in the orbit.

이어서, X 축 이동 수단 (12) 및 Z 축 이동 수단 (10) 을 작동시켜, 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지하고 있는 일방의 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 에 상기 소정 위치의 블레이드 지지축 (24) 의 축부 (34) 를 삽입할 수 있도록, 블레이드 유지부 (48) 의 X 축 방향 위치 및 Z 축 방향 위치를 조정한다.Next, the The X-axis direction position and Z-axis direction position of the blade holding portion 48 are adjusted so that the shaft portion 34 of the blade support shaft 24 can be inserted.

이어서, Y 축 이동 수단 (8) 에 의해 프레임체 (74) 를 Y 축 방향으로 이동시켜, 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지하고 있는 일방의 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 에 상기 소정 위치의 블레이드 지지축 (24) 의 축부 (34) 를 삽입함과 함께, 일방의 절삭 블레이드 (36) 의 단면을 블레이드 지지축 (24) 의 기부 (32) 의 단면에 접촉시킨다. 이어서, 블레이드 유지부 (48) 의 흡인력을 해제하고, 떼어낸 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 일방을 블레이드 지지축 (24) 에 전달한다.Next, the frame 74 is moved in the Y-axis direction by the Y-axis moving means 8, and is inserted into the central opening 38a of one of the cutting blades 36, which is suction-held by the blade holding portion 48. The shaft portion 34 of the blade support shaft 24 is inserted at a predetermined position, and the end surface of one cutting blade 36 is brought into contact with the end surface of the base 32 of the blade support shaft 24. Next, the suction force of the blade holding portion 48 is released, and one of the removed pair of cutting blades 36 is transferred to the blade support shaft 24.

또한, Y 축 이동 수단 (8) 에 의해 반출입 수단 (6) 을 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 으로부터 이간시킴과 함께, 반출입 수단 (6) 의 케이싱 (52) 을 180°회전시켜, 떼어낸 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 타방을 흡인 유지하고 있는 반대측의 블레이드 유지부 (48) 를 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 에 대면시킨다.In addition, the carrying-in/out means (6) is separated from the cutting blade storage means (4) by the Y-axis moving means (8), and the casing (52) of the carrying-in/out means (6) is rotated 180° to remove one pair. The blade holding portion 48 on the opposite side, which suction-holds the other side of the cutting blade 36, is placed against the cutting blade storage means 4.

이어서, Y 축 이동 수단 (8) 에 의해 프레임체 (74) 를 Y 축 방향으로 이동시켜, 반대측의 블레이드 유지부 (48) 로 흡인 유지하고 있는 타방의 절삭 블레이드 (36) 의 중앙 개구부 (38a) 에 상기 소정 위치의 블레이드 지지축 (24) 의 축부 (34) 를 삽입함과 함께, 타방의 절삭 블레이드 (36) 의 단면을, 블레이드 지지축 (24) 에 지지되어 있는 절삭 블레이드 (36) 의 단면에 접촉시킨다. 이어서, 블레이드 유지부 (48) 의 흡인력을 해제하고, 떼어낸 1 쌍의 절삭 블레이드 (36) 의 타방을 블레이드 지지축 (24) 에 전달한다.Next, the frame 74 is moved in the Y-axis direction by the Y-axis moving means 8, and the central opening 38a of the other cutting blade 36 is suction-held by the blade holding portion 48 on the opposite side. By inserting the shaft portion 34 of the blade support shaft 24 at the predetermined position, the cross section of the other cutting blade 36 is changed to the cross section of the cutting blade 36 supported on the blade support shaft 24. contact with. Next, the suction force of the blade holding portion 48 is released, and the other of the separated pair of cutting blades 36 is transferred to the blade support shaft 24.

이와 같이, 본 실시형태의 자동 교환 장치 (2) 에 있어서는, 사용자에게 이미 납품한 절삭 장치 (170) 에 나중에 장착하여, 절삭 장치 (170) 의 절삭 수단 (174) 에 장착된 절삭 블레이드 (36) 를 교환할 수 있다.In this way, in the automatic exchange device 2 of the present embodiment, the cutting blade 36 is later mounted on the cutting device 170 already delivered to the user, and is mounted on the cutting means 174 of the cutting device 170. can be exchanged.

또한, 자동 교환 장치 (2) 에 있어서는, 절삭 블레이드 보관 수단 (4) 에 보관되어 있는 절삭 블레이드 (36) 의 종류 및 종류마다 절삭 블레이드 (36) 의 재고수를 관리하고, 종류마다 절삭 블레이드 (36) 의 재고수가 보급값에 도달했을 때에 절삭 블레이드 (36) 의 보급을 독촉하므로, 오퍼레이터의 육안에 기초한 절삭 블레이드 (36) 의 관리가 불필요하다. 따라서, 자동 교환 장치 (2) 에 의하면, 절삭 블레이드 (36) 의 종류를 오인하는 것이나, 절삭 블레이드 (36) 의 재고수를 잘못 계산하는 경우가 없고, 절삭 블레이드 (36) 의 자동 교환을 적절히 수행 가능하다.In addition, in the automatic exchange device 2, the type of cutting blade 36 stored in the cutting blade storage means 4 and the number of cutting blades 36 in stock for each type are managed, and the cutting blade 36 is stored for each type. ) Since replenishment of the cutting blade 36 is prompted when the inventory number reaches the replenishment value, management of the cutting blade 36 based on the operator's visual observation is unnecessary. Therefore, according to the automatic exchange device 2, there is no case of misidentifying the type of the cutting blade 36 or miscalculating the number of cutting blades 36 in stock, and automatic replacement of the cutting blade 36 is performed appropriately. possible.

또한, 본 실시형태에서는, 절삭 블레이드 (36) 가, 환상의 기대 (38) 와, 기대 (38) 의 외주에 배치 형성된 환상의 절삭날 (40) 을 갖는 허브 블레이드를 취급하는 예를 설명하였으나, 자동 교환 장치 (2) 에 있어서, 교환 가능하고 또한 재고수의 관리ㆍ보급 독촉이 가능한 절삭 블레이드는 상기 허브 블레이드에 한정되지 않고, 환상의 절삭날로 구성되는 와셔 블레이드 (기대가 없는 블레이드) 여도 된다. 이 경우에는, 블레이드 유지부 (48) 에 와셔 블레이드를 흡인 유지하기 위한 흡인공이 형성된다.In addition, in this embodiment, an example has been described in which the cutting blade 36 is a hub blade having an annular base 38 and an annular cutting edge 40 disposed on the outer periphery of the base 38. In the automatic exchange device 2, the cutting blade that is exchangeable and capable of managing and replenishing the number of stocks is not limited to the above hub blade, and may be a washer blade (blade without a base) composed of annular cutting edges. In this case, a suction hole for suction-holding the washer blade is formed in the blade holding portion 48.

2 : 자동 교환 장치
4 : 절삭 블레이드 보관 수단
6 : 반출입 수단
7 : 절삭 블레이드 관리 수단
8 : Y 축 이동 수단
10 : Z 축 이동 수단
12 : X 축 이동 수단
36 : 절삭 블레이드
46 : Z 회전축
48 : 블레이드 유지부
50 : 고정 너트 유지부
74 : 프레임체
76 : 승강 테이블
92 : 가이드 레일 (승강 테이블)
112 : 굴곡 아암
124 : 관리부
126 : 보급 독촉부
170 : 절삭 장치
172 : 척 테이블
174 : 절삭 수단
176 : X 축 이송 수단
178 : Y 축 이송 수단
180 : Z 축 이송 수단
220 : 스핀들
222 : 고정 너트2: Automatic exchange device
4: Cutting blade storage means
6: Means of entry and exit
7: Cutting Blade Care Means
8: Y axis movement means
10: Z axis movement means
12: X axis movement means
36: cutting blade
46: Z rotation axis
48: Blade maintenance part
50: fixing nut holding part
74: frame
76: Elevating table
92: Guide rail (elevating table)
112: bending arm
124: Management Department
126: Supply reminder department
170: cutting device
172: Chuck table
174: cutting means
176: X axis transport means
178: Y axis transport means
180: Z axis transport means
220: spindle
222: fixing nut

Claims (3)

피가공물을 유지하는 유지면을 구비한 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 그 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 고정 너트로 장착한 절삭 수단과, 그 척 테이블을 X 축 방향으로 가공 이송하는 X 축 이송 수단과, 그 절삭 수단을 X 축 방향과 직교하는 Y 축 방향으로 산출 이송하는 Y 축 이송 수단과, X 축 방향 및 Y 축 방향과 직교하는 Z 축 방향으로 그 절삭 수단을 절입 이송하는 Z 축 이송 수단을 포함한 절삭 장치에 연결되는 자동 교환 장치로서,
복수의 절삭 블레이드를 보관하는 절삭 블레이드 보관 수단과,
그 절삭 블레이드 보관 수단으로부터 반출한 그 절삭 블레이드를 그 절삭 수단까지 반송함과 함께 그 절삭 수단으로부터 이탈한 그 절삭 블레이드를 반입하는 반출입 수단과,
절삭 블레이드 관리 수단을 구비하고,
그 절삭 블레이드 관리 수단은, 그 절삭 블레이드 보관 수단에 보관되어 있는 그 절삭 블레이드의 종류 및 종류마다 그 절삭 블레이드의 재고수를 관리하는 관리부와, 종류마다 그 절삭 블레이드의 재고수가 보급값에 도달했을 때에 그 절삭 블레이드의 보급을 독촉하는 보급 독촉부를 포함하는 자동 교환 장치.A chuck table provided with a holding surface for holding a workpiece, a cutting means equipped with a fixing nut and a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table, and Axial feed means, Y-axis feed means for cutting and feeding the cutting means in the Y-axis direction orthogonal to the X-axis direction, and Z-axis feed means for cutting and feeding the cutting means in the Z-axis direction orthogonal to the An automatic exchange device connected to a cutting device including axial transport means, comprising:
a cutting blade storage means for storing a plurality of cutting blades;
Carry-in/out means for transporting the cutting blade taken out from the cutting blade storage means to the cutting means and carrying in the cutting blade taken out from the cutting means;
Provided with cutting blade management means,
The cutting blade management means includes a management unit that manages the types of cutting blades stored in the cutting blade storage means and the number of cutting blades in stock for each type, and An automatic exchange device including a replenishment reminder unit that prompts replenishment of the cutting blade. 제 1 항에 있어서,
그 반출입 수단을 그 절삭 블레이드 보관 수단에 대해 Y 축 방향의 작용 위치와 퇴피 위치에 위치시키는 Y 축 이동 수단과,
그 반출입 수단을 Z 축 방향으로 이동시키는 Z 축 이동 수단과,
그 반출입 수단을 X 축 방향으로 이동시켜 그 절삭 수단의 스핀들에 장착된 그 절삭 블레이드에 작용하는 작용 위치에 위치시키는 X 축 이동 수단을 추가로 구비하고,
그 반출입 수단은, Z 축 방향으로 연장되는 Z 회전축과, 그 Z 회전축에 방사상으로 연결되어 그 절삭 블레이드를 흡인 유지하는 블레이드 유지부와, 그 고정 너트를 그 스핀들의 선단에 형성된 수나사에 나사 장착 및 나사 분리하는 고정 너트 유지부를 포함하는 자동 교환 장치.According to claim 1,
Y-axis moving means for positioning the loading/unloading means at an operating position and a retracting position in the Y-axis direction with respect to the cutting blade storage means;
Z-axis moving means for moving the loading/unloading means in the Z-axis direction;
It is further provided with an X-axis moving means that moves the loading/unloading means in the
The loading and unloading means includes a Z rotation axis extending in the Z axis direction, a blade holding portion radially connected to the Z rotation axis to suction and hold the cutting blade, and screwing the fixing nut to a male thread formed at the tip of the spindle, and An automatic exchange device that includes a retaining nut that removes the screw. 제 2 항에 있어서,
그 반출입 수단은, 그 X 축 이동 수단의 굴곡 아암을 개재하여 프레임체에 배치 형성되고, 그 프레임체는 승강 테이블에 배치 형성된 Y 축 방향으로 연장되는 가이드 레일에 슬라이딩 가능하게 지지되고, 그 Y 축 이동 수단에 의해 그 절삭 블레이드 보관 수단에 대해 Y 축 방향의 그 작용 위치와 그 퇴피 위치에 위치되는 자동 교환 장치.
According to claim 2,
The loading/unloading means is disposed on a frame via a bending arm of the An automatic exchange device positioned by a moving means at its operating position and its retracted position in the Y-axis direction with respect to the cutting blade storage means.
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