KR20210124364A - 유량 제어 장치, 유량 제어 방법, 유량 제어 장치의 제어 프로그램 - Google Patents

유량 제어 장치, 유량 제어 방법, 유량 제어 장치의 제어 프로그램 Download PDF

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Abstract

응답 정확도가 높은 유량 제어 장치를 얻는다. 유체의 유량을 계측하는 유량 센서(102)와, 유체의 유량이 유량 설정값이 되도록 유량을 조정하는 제어부(104)를 구비하고, 제어부는, 유량을 변화시키는 제어 밸브(105)와, 제어 밸브를 구동하는 구동 회로(41)와, 유량 센서의 측정값의 주파수 특성을 보정하는 센서 응답 조정 회로(43)와, 센서 응답 조정 회로의 출력의, 소정의 주파수 대역을 감쇠시키는 제1 필터(44)를 구비하며, 구동 회로, 유량 센서, 센서 응답 조정 회로 및 제1 필터를 포함하는 피드백 루프가 구성되어, 유량 설정값과 제1 필터의 출력값 간의 편차가 구동 회로에 입력되는 유량 제어 장치(1).

Description

유량 제어 장치, 유량 제어 방법, 유량 제어 장치의 제어 프로그램
본 발명은, 유량 제어 장치, 유량 제어 방법 및 유량 제어 장치의 제어 프로그램에 관한 것이다.
유량 센서로 측정한 유량에 기초하여 제어 밸브를 조정함으로써, 하류로 흘러나오는 유체의 유량을 설정값으로 조정하는 유량 제어 장치 및 매스 플로우 컨트롤러(이하, 「MFC」라고도 함)가 알려져 있다.
특허문헌 1에는, 입구측과 출구측을 가진 유체 유로에 결합되는 플로우 센서를 포함하는 유량 제어 장치에서, 플로우 센서는 유로를 지나는 감지된 유체 흐름을 나타내는 센서 출력 신호를 제공하도록 적합화되며, 유로의 적어도 1개의 압력을 측정하는 것과, 적어도 1개의 압력을 측정하는 것에 기초하여 센서 출력 신호를 조정하는 것을 포함하는, 유체의 유량 제어 방법이 개시되어 있다.
특허문헌 2에는, 제어부에 미리 복수의 유량 설정값과 복수의 유체 압력값에 따른 제어 정수를 기억해 두고, 유량 설정값과 압력 센서의 검출값에 기초하여 제어 정수를 선택하여 유량 제어하는, 유량 제어 장치가 개시되어 있다.
MFC에서, 응답 속도가 빠른 피드백 제어를 실현하기 위해서는, 제어의 입력을 주는 센서의 응답 특성이 중요한 팩터 중 하나이다. 센서는, 열식(熱式) MFC에서는, 예를 들어 열식 유량 센서이다. 그렇지만, 열식 MFC의 응답 특성은, 실측정 상, 열식 유량 센서의 응답 특성에서 예측되는 이론값보다도 낮아지고, 시정수가 10초 정도의 지연된 응답밖에 얻을 수 없다. 이는, 유로를 흐르는 가스 등의 유체에 의한 열의 수송 속도가, 센서 튜브나 발열 저항체의 열 용량에 대해 작기 때문이다.
특허문헌 1 및 2에 기재된 유량 제어 장치는, 모두 압력식 MFC가 개시되어 있다. 어느 장치나, MFC에서 빠른 응답 속도의 피드백 제어를 실현하는 것은 아니다.
특허문헌 1: 일본 공표특허 2005-534110호 공보 특허문헌 2: 일본 공개특허 2011-090405호 공보
본 발명은, 응답 정확도가 높은 유량 제어 장치를 얻는 것을 목적의 하나로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 하나의 관점에 관한 유량 제어 장치는, 유체의 유량을 계측하는 유량 센서와, 상기 유체의 유량이 유량 설정값이 되도록 유량을 조정하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 유량을 변화시키는 제어 밸브와, 상기 제어 밸브를 구동하는 구동 회로와, 상기 유량 센서의 측정값의 주파수 특성을 보정하는 센서 응답 조정 회로와, 상기 센서 응답 조정 회로의 출력의, 소정의 주파수 대역을 감쇠시키는 제1 필터를 구비하며, 상기 구동 회로, 상기 유량 센서, 상기 센서 응답 조정 회로 및 상기 제1 필터를 적어도 포함하는 피드백 루프가 구성되어, 상기 유량 설정값과 상기 제1 필터의 출력값 간의 편차가 상기 구동 회로에 입력된다.
상기 제어부는, 상기 피드백 루프 외에, 상기 센서 응답 조정 회로의 출력 중 소정의 주파수 대역을 증폭시키고, 상기 주파수 대역과는 다른 주파수의 게인(gain)은 변화시키지 않는 제2 필터를 더 구비하는 것으로 해도 된다.
상기 센서 응답 조정 회로와 상기 제1 필터는, 아날로그 신호를 처리하는 아날로그 필터인 것으로 해도 된다.
상기 유량 센서는, 열식 유량 센서인 것으로 해도 된다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 다른 관점에 관한 유량 제어 방법은, 유체의 유량을 계측하는 유량 센서와, 상기 유체의 유량이 유량 설정값이 되도록 유량을 조정하는 제어부와, 상기 유량을 변화시키는 제어 밸브를 구비하는 유량 제어 장치를 이용하는 유량 제어 방법으로서, 상기 제어 밸브를 구동하는 구동 단계와, 상기 유량을 계측하는 계측 단계와, 상기 유량 센서의 측정값의 주파수 특성을 보정하는 센서 응답 조정 단계와, 상기 센서 응답 조정 단계의 출력의, 소정의 주파수 대역을 감쇠시키는 감쇠 단계를 포함하고, 상기 구동 단계, 상기 계측 단계, 상기 센서 응답 조정 단계 및 상기 감쇠 단계를 적어도 포함하는 피드백 루프가 구성되어, 상기 유량 설정값과 상기 감쇠 단계의 취득값 간의 편차가 상기 구동 단계의 입력이 된다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 또 다른 관점에 관한 유량 제어 장치의 제어 프로그램은, 유체의 유량을 계측하는 유량 센서와, 상기 유체의 유량이 유량 설정값이 되도록 유량을 조정하는 제어부와, 상기 유량을 변화시키는 제어 밸브를 구비하는 유량 제어 장치의 제어 프로그램으로서, 상기 제어 밸브를 구동하는 구동 명령과, 상기 유량을 계측하는 계측 명령과, 상기 유량 센서의 측정값의 주파수 특성을 보정하는 센서 응답 조정 명령과, 상기 센서 응답 조정 명령의 출력의, 소정의 주파수 대역을 감쇠시키는 감쇠 명령을 컴퓨터에 실행시키고, 상기 구동 명령, 상기 계측 명령, 상기 센서 응답 조정 명령 및 상기 감쇠 명령을 적어도 포함하는 피드백 루프가 구성되어, 상기 유량 설정값과 상기 감쇠 명령의 취득값 간의 편차가 상기 구동 명령의 입력이 된다.
또, 컴퓨터 프로그램은, 인터넷 등의 네트워크를 개재한 다운로드에 의해 제공하거나, CD-ROM 등의 컴퓨터가 판독 가능한 각종 기록 매체에 기록하여 제공하거나 할 수 있다.
본 발명에 의하면, 응답 정확도가 높은 유량 제어 장치를 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명에 관한 유량 제어 장치의 실시형태를 나타내는 전체 개략도이다.
도 2는 상기 유량 제어 장치의 제어 블럭도이다.
도 3은 상기 유량 제어 장치가 가진, 제1 필터, 제2 필터 및 센서 응답 조정 회로의 보드 선도의 예이다.
도 4는 관련 기술의 유량 제어 장치가 가진 제어 블럭도이다.
이하, 본 발명에 관한 유량 제어 장치 및 그 제어 방법 및 제어 프로그램의 실시형태에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다.
● 유량 제어 장치의 개요
도 1에 나타낸 바와 같이, 유량 제어 장치(1)는, 밸브 몸체(101), 유량 센서(102), 변환부(103), 제어부(104), 및 제어 밸브(105)를 구비한다. 유량 제어 장치(1)는, 매스 플로우 컨트롤러(「MFC」라고도 함)라고도 불리는 장치이다.
밸브 몸체(101)는, 상류 유로(101a) 및 하류 유로(101b)를 획정하는 대략 통(筒)형상의 부재이다. 상류 유로(101a)의 상류측 및 하류 유로(101b)의 하류측은, 제어 대상의 유체가 흐르는 관이나 유로 블록에 각각 접속되어 있다.
상류 유로(101a)는, 상류측으로부터 유체로부터 유입되는 유로이다. 상류 유로(101a)는 도중에, 유량 센서(102)를 지나는 유로와 바이패스 유로(101c)로 분기한 후에 합류하여, 제어 밸브(105)로 유출된다. 제어 밸브(105)는, 다이어프램(110)과, 다이어프램(110)에 대향하는 밸브 시트(112)를 갖는다. 다이어프램(110)과 밸브 시트(112) 사이의 공간은 상류 유로(101a)와 하류 유로(101b) 사이를 연통시키는 공간이 되어 있다. 다이어프램(110)을 액츄에이터(111)에 의해 변형시킴으로써, 다이어프램(110)이 밸브 시트(112)에 대해 개폐함으로써 유체의 유량이 조정 가능하다. 도 1에서 액츄에이터(111)의 내부 구조는 도시를 생략하고 있지만, 제어 밸브(105)는, 예를 들어 금속제 다이어프램을, 액츄에이터(111) 내부의 피에조 소자(피에조 액츄에이터)를 이용하여 개폐하는 피에조 소자 구동형 제어 밸브이다.
하류 유로(101b)는, 상류측으로부터 제어 밸브(105)에 의해 유량 제어된 유체가 유입되어, 유량 제어 장치(1)의 하류측으로 유출되도록 구성되어 있다.
바이패스 유로(101c)는, 유체가 층류가 될 정도로 좁은 유로가 다수 병렬로 된 구조의 층류 소자를 가진 유로이다. 본 실시예에서는, 식각 가공에 의해 홈이 형성된 판(바이패스 시트)을 복수매 겹쳐 쌓음으로써 층류 소자가 구성되어 있다.
유량 센서(102)는, 센서 튜브(102a)에 흐르는 유체의 유량을 계측하는 센서이다. 유량 센서(102)는, 예를 들어 센서 튜브(102a)의 상류 및 하류에 발열 저항체(102b, 102c)를 갖고 있으며, 발열 저항체(102b, 102c)의 온도 차이에 기초하여, 센서 튜브(102a)에 흐르는 유체의 유량을 전압으로 변환한다. 바이패스 유로(101c)에 흐르는 유량과 센서 튜브(102a)에 흐르는 유량의 비율은 기지(旣知)이므로, 센서 튜브(102a)에 흐르는 유량을 계측함으로써, 상류 유로(101a)의 유량을 산출할 수 있다. 유량 센서(102)는, 유량이 계속 증가되면 출력값이 포화하기 때문에, 계측 가능한 유량의 범위는 한정되어 있지만, 바이패스 유로(101c)를 조정함으로써, 상류 유로(101a)의 유량, 즉 유량 제어 장치(1)로서 계측 가능한 유량의 범위를 조절할 수가 있다.
변환부(103)는, 유량 설정값을 유량 센서(102)의 출력값과 비교 가능한 상태로 변환한 다음, 유량 센서(102)의 출력값과 함께 제어부(104)에 출력하는 기능부이다. 변환부(103)는, 유량 센서(102)의 출력값을 정류 및 증폭하거나, 노이즈 제거를 위해 출력값에 로우 패스 필터를 적용하거나 해도 된다. 변환부(103)는, 유량 설정값에 대해, 유체의 종류에 따른 차이, 및 유량 제어 장치(1)의 개체차 등에 의해 생기는 측정 오차를 보정한 다음, 센서 출력 목표값으로서 제어부(104)에 출력한다.
제어부(104)는, 유량 센서(102)의 출력값과, 센서 출력 목표값을 비교하고, 비교의 결과에 기초하여 제어 밸브(105)를 제어하는 기능부이다.
제어부(104)는, 피드백 제어를 행함으로써, 하류 유로(101b)에서 배출되는 유량이 유량 설정값이 되도록, 제어 밸브(105)의 개방도를 제어한다. 제어부(104)는, CPU, 메모리(M), A/D 컨버터 등을 내장하고 있다. 제어부(104)는, 후술하는 동작을 실행하도록 구성된 컴퓨터 프로그램을 포함하고 있어도 되고, 하드웨어 및 소프트웨어의 조합에 의해 실현될 수 있다.
● 관련 기술의 유량 제어 장치의 제어 블럭도
도 4에 나타낸 바와 같이, 관련 기술의 유량 제어 장치는, 제어 블록으로서, 구동 회로(141), 유량 센서(102) 및 센서 응답 조정 회로(143)를 갖는다.
구동 회로(141)는, 구동 전류를 제어 밸브(105)에 인가하는 회로이다. 구동 회로(141)는, 입력되는 유량 설정값에 기초하여 제어 밸브(105)를 개폐시켜서, 실유량(Q)을 변화시킨다. 실유량(Q)은, 유량 제어 장치(1)에 물리적으로 흐르고 있는 유체의 유량이다.
유량 센서(102)는, 실유량(Q)을 계측하여, 실유량(Q)에 대응하는 전압값을 센서 응답 조정 회로(143)에 입력한다.
센서 응답 조정 회로(143)는, 유량 센서(102)의 측정값의 주파수 특성을 보정하는 회로이다. 센서 응답 조정 회로(143)는, 예를 들어 소정 대역에 큰 게인을 가지며, 직류에서의 게인이 0dB인, 대역 증폭 필터이다.
구동 회로(141), 유량 센서(102) 및 센서 응답 조정 회로(143)는, 이 순서로 접속되어, 피드백 루프를 형성하고 있다. 유량 설정값과 센서 응답 조정 회로(143)의 출력값 간의 편차가 구동 회로(141)에 입력된다. 구동 회로(141)는, 유량 설정값과 센서 응답 조정 회로(143)의 출력값 간의 편차에 기초하여, 제어 밸브(105)를 구동시킨다. 또한, 센서 응답 조정 회로(143)의 출력은, 표시부(도시하지 않음)에 입력되어, 현재의 유량을 나타내는 유량 표시값으로 표시된다.
관련 기술의 유량 제어 장치에서의 응답 속도 보증값은, 예를 들어 1초 정도이다.
● 유량 제어 장치(1)의 제어 블럭도 및 각 필터의 주파수 특성
도 2에 나타낸 바와 같이, 유량 제어 장치(1)는, 제어 블록으로서, 구동 회로(41), 유량 센서(102), 센서 응답 조정 회로(43), 제1 필터(44) 및 제2 필터(45)를 갖는다. 구동 회로(41), 유량 센서(102), 센서 응답 조정 회로(43) 및 제1 필터(44)는, 유량 설정값을 입력으로 하고, 실유량(Q)을 출력으로 하는 피드백 루프를 구성한다. 유량 설정값과 제1 필터(44)의 출력값 간의 편차가 구동 회로(41)에 입력된다.
구동 회로(41)는, 제어 밸브(105)에 구동 전류를 인가하는 회로이다. 구동 회로(41)는, 입력되는 유량 설정값에 기초하여 제어 밸브(105)를 개폐시켜서, 실유량(Q)을 변화시킨다. 실유량(Q)은, 유량 제어 장치(1)에 물리적으로 흐르고 있는 유체의 유량이다.
유량 센서(102)는, 실유량(Q)을 계측하여, 실유량(Q)에 대응하는 전압값을 센서 응답 조정 회로(43)에 입력한다.
센서 응답 조정 회로(43)는, 유량 센서(102)의 측정값의 주파수 특성을 보정하는 회로이다. 열식 유량 센서(102)에서는, 유로를 흐르는 가스 등의 유체에 의한 열의 수송 속도가, 센서 튜브(102a)나 발열 저항체의 열용량에 대해 작은 경우, 유체에 의한 열의 수송 속도가 이론값보다도 낮아져서, 계측값이 넓어진다. 즉, 유량 센서(102)의 계측값은, 실유량(Q)에 강력한 로우 패스 필터(이하, 「LPF」라고도 함)가 적용된 값이 된다. 그래서, 도 3에 나타낸 바와 같이, 센서 응답 조정 회로(43)는, 이 유량 센서(102)에 기인하는 LPF의 감쇠를 없애도록, LPF의 차단 대역에 게인을 가진 대역 증폭 필터이다. 또한, 센서 응답 조정 회로(43)는, 증폭되는 주파수대보다도 고역측을 감쇠시키는, 로우 패스·하이 커트 필터의 성질을 더 갖고 있어도 된다.
도 2에 나타내는 제1 필터(44)는, 센서 응답 조정 회로(43)의 출력이 입력되는 주파수 필터이다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 제1 필터(44)는, 센서 응답 조정 회로(43)의 출력의, 소정의 주파수 대역을 감쇠시킨다. 제1 필터(44)는, 감쇠시키는 주파수 대역과는 다른 주파수의 게인은 변화시키지 않는다. 즉, 그 주파수 대역 이외의 주파수대의 게인은, 대개 1이다. 제1 필터(44)에서의 감쇠 대역의 중심 주파수는, 센서 응답 조정 회로(43)에서의 통과 대역의 중심 주파수보다도 높다.
제1 필터(44)는, 소정의 주파수 대역을 감쇠시키고, 저주파 대역의 신호는 통과시키기 때문에, 신호가 단조(單調)로 변화하고 있는 상황에서는 입력되는 신호가 지연되어 출력되는 거동을 나타낸다. 따라서, 이 피드백 루프에서는, 실유량(Q)보다도 지연된 신호와 유량 설정값 간의 편차를 얻게 된다. 실유량(Q)이 유량 설정값에 대해 서서히 가까워지는 과도 응답을 고려했을 때에, 그 지연된 신호는, 실유량(Q)보다도 유량 설정값 간의 편차가 커지기 때문에, 제1 필터(44)를 개재하지 않는 경우와 비교하여, 제어 밸브(105)의 구동을 크게 할 수 있다. 그 때문에, 피드백 제어를 앞당길 수 있어, 응답 속도를 고속화할 수 있다. 유량 제어 장치(1)의 응답 속도는, 예를 들어 0.5초 정도이며, 제1 필터(44)가 없는 관련 기술의 유량 제어 장치에 비해, 2배 정도의 응답 속도를 실현할 수 있다. 이 구성에 의하면, 특히, 유량 설정값이 크게 변경될 때의 과도 응답에 대해서도, 고속으로 응답할 수 있다.
제2 필터(45)는, 센서 응답 조정 회로(43)의 출력이 입력되는 주파수 필터이며, 피드백 루프의 밖에 배치되어 있다. 제2 필터(45)의 출력은, 표시부(도시하지 않음)에 입력된다. 표시부는, 제2 필터(45)의 출력에 기초하여 산출되는 현재의 유량을, 유량 표시값으로 표시한다. 또, 표시부는, 유량 제어 장치(1)가 가진 구성이어도 되고, 유량 제어 장치(1)에 접속되는 외부 기기에 마련되어 있어도 된다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 제2 필터(45)는, 센서 응답 조정 회로(143)의 출력 중, 소정의 주파수 대역을 증폭시키고, 상기 주파수 대역과는 다른 주파수의 게인은 변화시키지 않는다. 제1 필터(44) 및 제2 필터(45)의 중심 주파수는, 거의 동등하다.
제2 필터(45)는, 소정 대역의 주파수를 증폭하기 때문에, 시간 영역에서는 신호의 변화를 강조하게 되고, 입력값이 단조롭게 변화하고 있는 상황에서는 그 변화하는 방향에 대해 값이 보정을 받기 때문에, 이 필터를 통과시킴으로써 신호가 가속되었다고 표현할 수도 있다. 제2 필터(45)의 출력값에 기초하여 유량 표시값을 산출하는 구성에 의하면, 센서 응답 조정 회로(43)의 출력 신호를 가속시킴으로써, 실유량(Q)을 보다 정확하게 반영한 값을 유량 표시값으로 표시시킬 수 있다.
센서 응답 조정 회로(43), 제1 필터(44) 및 제2 필터(45)는, 아날로그 신호를 처리하는 아날로그 필터여도 된다. 본 구성에 의하면, 예를 들어 마이크로 컴퓨터 등의 디지털 회로로 구성하는 경우와 비교하여, 염가로 구성할 수 있으며, 작은 소비 전력으로 고속으로 처리를 행할 수 있다.
센서 응답 조정 회로(43)와 제2 필터(45)는, 모두 소정 대역을 증폭시키는 BPF이다. 여기서, 센서 응답 조정 회로(43)와 제2 필터(45)의 특성을 합성하여 얻어지는 주파수 특성을 1개의 회로에 의해 실현하는 것으로 하면, 주파수 특성이 가파르게 되어, 노이즈가 발생할 우려가 있다. 유량 센서(102)의 출력값을, 센서 응답 조정 회로(43) 및 제2 필터(45)를 개재하여 유량 표시값의 산출에 이용하는 구성에 의하면, SN비를 담보할 수 있다.
제1 필터(44) 및 제2 필터(45)는, 게인의 음양이 다르다는 의미에서, 서로 반대의 주파수 특성을 가진 필터이다. 또한, 센서 응답 조정 회로(43) 및 제1 필터(44)도, 중심 주파수는 다르지만, 서로 대략 반대의 주파수 특성을 갖는다. 서로 반대의 주파수 특성을 가진 필터를 동일한 신호에 적용하는 것으로 하면, 일단 증폭되는 신호를 감쇠시키게 되기 때문에, SN비를 유지하는데 바람직하지 않다. 센서 응답 조정 회로(43)에서의 출력을 분기시키고, 제1 필터(44) 및 제2 필터(45)를 각각의 경로상에 배치하는 구성에 의하면, 반대의 주파수 특성을 가진 필터의 사용을 최소한으로 고정하여, SN비를 담보할 수 있다.
또한, 센서 응답 조정 회로(43), 제1 필터(44) 및 제2 필터(45)를 별개의 제어 블록으로 하는 구성에 의하면, 센서 응답 조정 회로(43), 제1 필터(44) 및 제2 필터(45)를 아날로그 회로로 구성한 경우에도, 각 아날로그 소자에 인가되는 전압폭으로 신호를 제어할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 관한 유량 제어 장치에 의하면, 응답 정확도가 높은 유량 제어 장치를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 관한 유량 제어 장치에 의하면, 제2 필터의 출력값에 기초하여 유량 표시값을 산출함으로써, 실유량을 보다 정확하게 반영한 값을 유량 표시값으로 표시시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 관한 유량 제어 장치에 의하면, 각 주파수 필터를 아날로그 필터로 구성함으로써, 예를 들어 마이크로 컴퓨터 등의 디지털 회로로 구성하는 경우와 비교하여, 염가로 구성할 수 있으며, 작은 소비 전력으로 고속으로 처리를 행할 수 있다.
또한, 본 발명에 관한 유량 제어 장치에 의하면, 유량 센서가 열식 유량 센서인 경우에도, 높은 응답 정확도를 실현할 수 있다.
1...유량 제어 장치
41...구동 회로
43...센서 응답 조정 회로
44...제1 필터
45...제2 필터
102...유량 센서
104...제어부
105...제어 밸브

Claims (6)

  1. 유체의 유량을 계측하는 유량 센서와,
    상기 유체의 유량이 유량 설정값이 되도록 유량을 조정하는 제어부를 구비하고,
    상기 제어부는,
    상기 유량을 변화시키는 제어 밸브와,
    상기 제어 밸브를 구동하는 구동 회로와,
    상기 유량 센서의 측정값의 주파수 특성을 보정하는 센서 응답 조정 회로와,
    상기 센서 응답 조정 회로의 출력의, 소정의 주파수 대역을 감쇠시키는 제1 필터를 구비하며,
    상기 구동 회로, 상기 유량 센서, 상기 센서 응답 조정 회로 및 상기 제1 필터를 포함하는 피드백 루프가 구성되어,
    상기 유량 설정값과 상기 제1 필터의 출력값 간의 편차가 상기 구동 회로에 입력되는 유량 제어 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 피드백 루프의 밖에, 상기 센서 응답 조정 회로의 출력 중 소정의 주파수 대역을 증폭시키고, 상기 주파수 대역과는 다른 주파수의 게인은 변화시키지 않는 제2 필터를 더 구비하는 유량 제어 장치.
  3. 청구항 1 또는 2에 있어서,
    상기 센서 응답 조정 회로와 상기 제1 필터는, 아날로그 신호를 처리하는 아날로그 필터인 유량 제어 장치.
  4. 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유량 센서는, 열식(熱式) 유량 센서인 유량 제어 장치.
  5. 유체의 유량을 계측하는 유량 센서와,
    상기 유체의 유량이 유량 설정값이 되도록 유량을 조정하는 제어부와,
    상기 유량을 변화시키는 제어 밸브를 구비하는 유량 제어 장치를 이용하는 유량 제어 방법으로서,
    상기 제어 밸브를 구동하는 구동 단계와,
    상기 유량을 계측하는 계측 단계와,
    상기 유량 센서의 측정값의 주파수 특성을 보정하는 센서 응답 조정 단계와,
    상기 센서 응답 조정 단계의 출력의, 소정의 주파수 대역을 감쇠시키는 감쇠 단계를 포함하고,
    상기 구동 단계, 상기 계측 단계, 상기 센서 응답 조정 단계 및 상기 감쇠 단계를 포함하는 피드백 루프가 구성되어,
    상기 유량 설정값과 상기 감쇠 단계의 취득값 간의 편차가 상기 구동 단계의 입력이 되는 유량 제어 방법.
  6. 유체의 유량을 계측하는 유량 센서와,
    상기 유체의 유량이 유량 설정값이 되도록 유량을 조정하는 제어부와,
    상기 유량을 변화시키는 제어 밸브를 구비하는 유량 제어 장치의 제어 프로그램으로서,
    상기 제어 밸브를 구동하는 구동 명령과,
    상기 유량을 계측하는 계측 명령과,
    상기 유량 센서의 측정값의 주파수 특성을 보정하는 센서 응답 조정 명령과,
    상기 센서 응답 조정 명령의 출력의, 소정의 주파수 대역을 감쇠시키는 감쇠 명령을 컴퓨터에 실행시키고,
    상기 구동 명령, 상기 계측 명령, 상기 센서 응답 조정 명령 및 상기 감쇠 명령을 포함하는 피드백 루프가 구성되어,
    상기 유량 설정값과 상기 감쇠 명령의 취득값 간의 편차가 상기 구동 명령의 입력이 되는 유량 제어 장치의 제어 프로그램.
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