TWI755704B - 流量控制裝置、流量控制方法、流量控制裝置的控制程式 - Google Patents

流量控制裝置、流量控制方法、流量控制裝置的控制程式 Download PDF

Info

Publication number
TWI755704B
TWI755704B TW109112189A TW109112189A TWI755704B TW I755704 B TWI755704 B TW I755704B TW 109112189 A TW109112189 A TW 109112189A TW 109112189 A TW109112189 A TW 109112189A TW I755704 B TWI755704 B TW I755704B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
flow
sensor
filter
control device
flow rate
Prior art date
Application number
TW109112189A
Other languages
English (en)
Other versions
TW202045847A (zh
Inventor
野澤崇浩
中村剛
Original Assignee
日商富士金股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商富士金股份有限公司 filed Critical 日商富士金股份有限公司
Publication of TW202045847A publication Critical patent/TW202045847A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI755704B publication Critical patent/TWI755704B/zh

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
    • G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/005—Valves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F5/00—Measuring a proportion of the volume flow
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B6/00—Internal feedback arrangements for obtaining particular characteristics, e.g. proportional, integral or differential
    • G05B6/02—Internal feedback arrangements for obtaining particular characteristics, e.g. proportional, integral or differential electric
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0623—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the set value given to the control element

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Flow Control (AREA)

Abstract

本發明之課題在於獲得一種響應精度高的流量控制裝置。流量控制裝置(1)係具備：流量感測器(102)，係計測流體之流量；控制部(104)，係以流體之流量成為流量設定值的方式來調整流量；以及控制閥(105)，係使流量變化；控制部係具備：驅動電路(41)，係驅動控制閥；感測器響應調整電路(43)，係修正流量感測器之測量值的頻率特性；以及第一濾波器(44)，係使感測器響應調整電路之輸出的預定之頻帶衰減；且構成有包含驅動電路、流量感測器、感測器響應調整電路及第一濾波器之回授迴圈；流量設定值與第一濾波器之輸出值的偏差係輸入至驅動電路。

Description

流量控制裝置、流量控制方法、流量控制裝置的控制程式
本發明係關於一種流量控制裝置、流量控制方法及流量控制裝置的控制程式。
已知有依據流量感測器所測量出的流量來調整控制閥，以將往下游流出的流體之流量調整成設定值的流量控制裝置及質量流量控制器(mass flow controller，以下亦稱為「MFC」)。
專利文獻1揭示一種流體之流量控制方法，係包含：在包含有結合於具有入口側及出口側的流體流路之流量感測器的流量控制裝置中，流量感測器係設為適於提供用以表示通過流路之感測到的流體流動之感測器輸出信號，而測量流路之至少一個壓力之步驟；以及依據測量至少一個壓力來調整感測器輸出信號之步驟。
專利文獻2揭示一種流量控制裝置，係在控制部預先記憶對應於複數個流量設定值與複數個流體壓力值的控制常數，且依據流量設定值與壓力感測器之檢測值來選擇控制常數而進行流量控制。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本特表2005-534110號公報
專利文獻2：日本特開2011-090405號公報
MFC中，提供控制之輸入的感測器之響應特性是為了實現響應速度快的回授控制的重要因素之一。熱式MFC中，感測器可舉例如熱式流量感測器。然而，實際測量上，熱式MFC之響應特性係會變得比由熱式流量感測器之響應特性所預測的理論值更低，只能獲得時間常數為10秒左右之較慢的響應。此係由於對感應管、發熱電阻等之熱容量而言，流動於流路的氣體等流體所進行之熱的輸送速度慢所致。
專利文獻1及專利文獻2所記載的流量控制裝置皆揭示了壓力式MFC。不論是何種裝置，皆非在MFC中實現快速之響應速度的回授控制者。
對此，本發明之一目的係在於獲得一種響應精度高的流量控制裝置。
為了達成上述目的，本發明之一觀點的流量控制裝置係具備：流量感測器，係計測流體之流量；控制部，係以前述流體之流量成為流量設定值的方式來調整流量；以及控制閥，係使前述流量變化；前述控制部係具備：驅動電 路，係驅動前述控制閥；感測器響應調整電路，係修正前述流量感測器之測量值的頻率特性；以及第一濾波器，係使前述感測器響應調整電路之輸出的預定之頻帶衰減；且構成有包含前述驅動電路、前述流量感測器、前述感測器響應調整電路及前述第一濾波器之回授迴圈；前述流量設定值與前述第一濾波器之輸出值的偏差係輸入至前述驅動電路。
前述控制部除了前述回授迴圈以外，亦可更具備第二濾波器，該第二濾波器係使前述感測器響應調整電路的輸出之中預定之頻帶放大，且不使與前述頻帶不同的頻率之增益變化。
前述感測器響應調整電路與前述第一濾波器亦可為處理類比信號的類比濾波器。
前述流量感測器亦可為熱式流量感測器。
為了達成上述目的，本發明之另一觀點的流量控制方法係使用流量控制裝置來進行流量控制，該流量控制裝置係具備：流量感測器，係計測流體之流量；控制部，係以前述流體之流量成為流量設定值的方式來調整流量；以及控制閥，係使前述流量變化；前述流量控制方法包含：驅動步驟，係驅動前述控制閥；計測步驟，係計測前述流量；感測器響應調整步驟，係修正前述流量感測器之測量值的頻率特性；以及衰減步驟，係使前述感測器響應調整步驟之輸出的預定之頻帶衰減；並且構成有包含前述驅動步驟、前述計測步驟、前述感測器響應調整步驟及前述衰減步驟之回授迴圈；前述流量設定值與前述衰減步驟之取得值的偏差係成為前述驅動步驟之輸入。
為了達成上述目的，本發明之又一觀點的流量控制裝置的控制程式係控制流量控制裝置，該流量控制裝置係具備：流量感測器，係計測流體之流 量；控制部，係以前述流體之流量成為流量設定值的方式來調整流量；以及控制閥，係使前述流量變化；該控制程式係使電腦執行下列命令：驅動命令，係驅動前述控制閥；計測命令，係計測前述流量；感測器響應調整命令，係修正前述流量感測器之測量值的頻率特性；以及衰減命令，係使前述感測器響應調整命令之輸出的預定之頻帶衰減；並且構成有包含前述驅動命令、前述計測命令、前述感測器響應調整命令及前述衰減命令之回授迴圈；前述流量設定值與前述衰減命令之取得值的偏差係成為前述驅動命令之輸入。
再者，電腦程式係可藉由經網際網路等網路的下載來提供，亦可記錄於CD-ROM等電腦可讀取的各種記錄媒體來提供。
依據本發明，可獲得一種響應精度高的流量控制裝置。
1:流量控制裝置
41、141:驅動電路
43、143:感測器響應調整電路
44:第一濾波器
45:第二濾波器
101:閥主體
101a:上游流路
101b:下游流路
101c:旁通流路
102:流量感測器
102a:感應管
102b、102c:發熱電阻
103:轉換部
104:控制部
105:控制閥
110:隔膜
111:致動器
112:閥座
Q:實際流量
第1圖係顯示本發明的流量控制裝置之實施型態的整體概略圖。
第2圖係上述流量控制裝置的控制方塊圖。
第3圖係上述流量控制裝置所具有之第一濾波器、第二濾波器及感測器響應調整電路的波德圖之例。
第4圖係相關技術之流量控制裝置所具有的控制方塊圖。
以下，參照圖式，說明本發明的流量控制裝置、流量控制方法及 流量控制裝置的控制程式之實施型態。
●流量控制裝置之概要
如第1圖所示，流量控制裝置1係具備閥主體101、流量感測器102、轉換部103、控制部104及控制閥105。流量控制裝置1係稱為質量流量控制器(亦稱為「MFC」)的裝置。
閥主體101係劃定上游流路101a及下游流路101b的大致筒狀之構件。上游流路101a之上游側及下游流路101b之下游側係分別連接於供控制對象之流體流動的管、流路區間。
上游流路101a係供流體從上游側流入的流路。上游流路101a係在途中分歧成通過流量感測器102的流路與旁通流路101c之後匯合，且往控制閥105延伸。控制閥105係具有隔膜110以及與隔膜110對向的閥座112。隔膜110與閥座112之間的空間係成為連通上游流路101a與下游流路101b之間的空間。藉由致動器111使隔膜110變形以使隔膜110對閥座112開閉，而可藉此調整流體之流量。第1圖中，省略了致動器111之內部結構圖示，惟，控制閥105可舉例如使用致動器111之內部的壓電元件(壓電致動器)來開閉金屬製隔膜的壓電元件驅動式控制閥。
下游流路101b係構成為供藉由控制閥105控制流量的流體從上游側流入，而朝向流量控制裝置1之下游側流出。
旁通流路101c係具有層流元件的流路，該層流元件之結構係並列有多數個致使流體成為層流之程度的細小流路。本實施例中，層流元件係藉由積層複數片之藉由蝕刻加工而形成溝槽的板(旁通薄板)所構成。
流量感測器102係計測流過感應管102a的流體之流量的感測器。 流量感測器102係例如在感應管102a之上游及下游具有發熱電阻102b、102c，依據發熱電阻102b、102c之溫度的差異，將流過感應管102a的流體之流量轉換成電壓。由於流過旁通流路101c的流量與流過感應管102a的流量之比例為已知，故可藉由計測流過感應管102a的流量來算出上游流路101a之流量。流量感測器102係由於流量增加時輸出值會達飽和，故能夠計測的流量之範圍受到限制，但可藉由調整旁通流路101c來調節上游流路101a之流量，亦即流量控制裝置1所能夠計測之流量的範圍。
轉換部103係將流量設定值轉換成能夠與流量感測器102之輸出值進行比較的狀態，且與流量感測器102之輸出值一起輸出至控制部104的功能部。轉換部103亦可將流量感測器102之輸出值進行整流及放大，或為了去除雜訊而對輸出值施以低通濾波等。轉換部103係對流量設定值修正因相應於流體之種類的差異及流量控制裝置1之個體差等而產生的測量誤差，且對控制部104輸出感測器輸出目標值。
控制部104係比較流量感測器102之輸出值與感測器輸出目標值且依據比較之結果來控制控制閥105的功能部。
控制部104係藉由進行回授控制來控制控制閥105之開啟度，以使從下游流路101b排出的流量成為流量設定值。控制部104係內置CPU、記憶體、A/D轉換器等。控制部104亦可包含以執行後述的動作之方式而構成的電腦程式，而能藉由硬體及軟體之組合來實現。
●相關技術之流量控制裝置的控制方塊圖
如第4圖所示，相關技術之流量控制裝置中，就控制方塊而言，係具有驅動電路141、流量感測器102及感測器響應調整電路143。
驅動電路141係將驅動電流施加於控制閥105的電路。驅動電路141係依據所輸入的流量設定值來使控制閥105開閉，使實際流量Q變化。實際流量Q係物理性地流經流量控制裝置1的流體之流量。
流量感測器102係計測實際流量Q，且將與實際流量Q對應的電壓值輸入至感測器響應調整電路143。
感測器響應調整電路143係修正流量感測器102的測定值之頻率特性的電路。感測器響應調整電路143係例如在預定頻帶具有較大的增益，而直流中的增益為0dB的頻帶放大濾波器。
驅動電路141、流量感測器102及感測器響應調整電路143係依此順序連接而構成回授迴圈。流量設定值與感測器響應調整電路143之輸出值的偏差係輸入至驅動電路141。驅動電路141係依據流量設定值與感測器響應調整電路143之輸出值的偏差來使控制閥105驅動。又，感測器響應調整電路143之輸出亦輸入至未圖示的顯示部，以顯示現在流量之流量顯示值。
相關技術之流量控制裝置中的響應速度保證值，例如是1秒左右。
●流量控制裝置1之控制方塊圖及各個濾波器之頻率特性
如第2圖所示，流量控制裝置1中，就控制方塊而言，係具有驅動電路41、流量感測器102、感測器響應調整電路43、第一濾波器44及第二濾波器45。驅動電路41、流量感測器102、感測器響應調整電路43及第一濾波器44係構成以流量設定值作為輸入而以實際流量Q作為輸出的回授迴圈。流量設定值與第一濾波器44之輸出值的偏差係輸入至驅動電路41。
驅動電路41係對控制閥105施加驅動電流的電路。驅動電路41係依據所輸入的流量設定值來使控制閥105開閉，使實際流量Q變化。實際流 量Q係物理性地流經流量控制裝置1的流體之流量。
流量感測器102係計測實際流量Q，且將與實際流量Q對應的電壓值輸入至感測器響應調整電路43。
感測器響應調整電路43係修正流量感測器102的測定值之頻率特性的電路。熱式流量感測器102中，對感應管、發熱電阻等之熱容量而言，流動於流路的氣體等流體所進行之熱的輸送速度慢的情況下，流體所進行之熱的輸送速度會變得比理論值低，計測值係成為寬頻帶。亦即，流量感測器102之計測值係成為對實際流量Q施以強力之低通濾波(以下亦稱為「LPF」)後的值。對此，如第3圖所示，感測器響應調整電路43係抵銷起因於該流量感測器102的LPF之衰減而在LPF之阻斷頻帶具有增益的頻帶放大濾波器。又，感測器響應調整電路43亦可更具有使比要放大之頻帶更高頻側的信號衰減的低通高截濾波器之性質。
第2圖所示的第一濾波器44係輸入感測器響應調整電路43之輸出的頻率濾波器。如第3圖所示，第一濾波器44係使感測器響應調整電路43之輸出的預定之頻帶衰減。第一濾波器44係不使相異於要被衰減之頻帶的頻率之增益變化。亦即，該頻帶以外的頻帶之增益大概為1。第一濾波器44中的衰減頻帶之中心頻率係高於感測器響應調整電路43中的通過頻帶之中心頻率。
第一濾波器44係使預定之頻帶衰減且使低頻帶之信號通過，故在信號單調變化的狀況下，呈現輸入的信號會延遲輸出之舉動。因此，在此回授迴圈中係取得比實際流量Q更延遲的信號與流量設定值之偏差。考慮到實際流量Q慢慢地接近流量設定值的過渡響應時，因該延遲信號與流量設定值之偏差會變得比實際流量Q更大，故相較於不經由第一濾波器44的情況，可加大控制 閥105之驅動。因此，可快速進行回授控制，而可使響應速度高速化。流量控制裝置1之響應速度，例如是0.5秒左右，比起沒有第一濾波器44的相關技術之流量控制裝置，可實現兩倍左右的響應速度。依據此構成，特別是即便對流量設定值被大幅變更時的過渡響應，仍可高速地響應。
第二濾波器45係輸入感測器響應調整電路43之輸出的頻率濾波器，且配置於回授迴圈之外。第二濾波器45之輸出係輸入至未圖示的顯示部。顯示部係以流量顯示值顯示依據第二濾波器45之輸出所算出的現在之流量。再者，顯示部既可為流量控制裝置1所具有的構成，又可設於與流量控制裝置1連接的外部機器。
如第3圖所示，第二濾波器45係使感測器響應調整電路43的輸出之中之預定之頻帶放大，而不使與前述頻帶不同的頻帶之增益變化。第一濾波器44及第二濾波器45之中心頻率係大致同等。
第二濾波器45亦可表示為：由於要放大預定頻帶之頻率，故在時域中強調信號之變化，而由於在輸入值單調變化之狀況下，值係相對於其變化之方向受到修正，故信號係因通過此濾波器而被加速。若為依據第二濾波器45之輸出值來算出流量顯示值的構成，則可使感測器響應調整電路43之輸出信號加速，而以流量顯示值顯示更正確地反映實際流量Q的值。
感測器響應調整電路43、第一濾波器44及第二濾波器45亦可為處理類比信號的類比濾波器。依據本構成，相較於例如由微電腦等之數位電路所構成的情況，可廉價地構成，且能以較小之消耗功率高速地進行處理。
感測器響應調整電路43與第二濾波器45皆為使預定頻帶放大的帶通濾波器(band pass filter；BPF)。在此，若藉由一個電路來實現將感測器響應 調整電路43與第二濾波器45之特性合成而獲得的頻率特性時，頻率特性會變得急劇變化，而有產生雜訊之虞。若為將流量感測器102之輸出值經由感測器響應調整電路43及第二濾波器45而使用於算出流量顯示值之構成，則可確保SN比(Signal/Noise ratio；訊噪比)。
第一濾波器44及第二濾波器45係在增益之正負不同的意義上，具有互為相反之頻率特性的濾波器。又，感測器響應調整電路43及第一濾波器44係中心頻率不同，但亦具有互為大致相反之頻率特性。若將具有互為相反之頻率特性的濾波器作用於同一信號時，由於會使已放大的信號再次衰減，故就確保SN比而言較為不佳。若為使來自感測器響應調整電路43之輸出分歧，而將第一濾波器44及第二濾波器45配置於個別之路徑上的構成，則可將具有相反之頻率特性的濾波器之使用抑制於最小限度，可確保SN比。
又，若為感測器響應調整電路43、第一濾波器44及第二濾波器45為個別之控制方塊的構成，則即便是以類比電路來構成感測器響應調整電路43、第一濾波器44及第二濾波器45的情況，仍能以施加於各個類比元件的電壓頻寬來控制信號。
如此，依據本發明的流量控制裝置，可獲得一種響應精度高的流量控制裝置。
又，依據本發明的流量控制裝置，藉由依據第二濾波器之輸出值來算出流量顯示值，而能以流量顯示值顯示更正確地反映實際流量值的值。
更且，依據本發明的流量控制裝置，藉由以類比濾波器來構成各個頻率濾波器，相較於以例如微電腦等數位電路來構成的情況，可廉價地構成，且能以較小之消耗功率高速地進行處理。
更且，依據本發明的流量控制裝置，即便是流量感測器為熱式流量感測器的情況，仍可實現較高的響應精度。
41:驅動電路
43:感測器響應調整電路
44:第一濾波器
45:第二濾波器
102:流量感測器

Claims (6)

  1. 一種流量控制裝置，係具備：流量感測器，係計測流體之流量；控制部，係以前述流體之流量成為流量設定值的方式來調整流量；以及控制閥，係使前述流量變化；前述控制部係具備：驅動電路，係驅動前述控制閥；感測器響應調整電路，係修正前述流量感測器之測量值的頻率特性；以及第一濾波器，係使前述感測器響應調整電路之輸出的預定之頻帶衰減；且構成有包含前述驅動電路、前述流量感測器、前述感測器響應調整電路及前述第一濾波器之回授迴圈；前述流量設定值與前述第一濾波器之輸出值的偏差係輸入至前述驅動電路。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之流量控制裝置，其中前述控制部係除了前述回授迴圈以外，更具備第二濾波器，該第二濾波器係使前述感測器響應調整電路的輸出之中之預定之頻帶放大，且不使與前述頻帶不同的頻率之增益變化。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所述之流量控制裝置，其中前述感測器響應調整電路與前述第一濾波器為處理類比信號的類比濾波器。
  4. 如申請專利範圍第1或2項所述之流量控制裝置，其中前述流量感測器係熱式流量感測器。
  5. 一種流量控制方法，係使用流量控制裝置來進行流量控制，該流量控制裝置係具備：流量感測器，係計測流體之流量；控制部，係以前述流體之流量成為流量設定值的方式來調整流量；以及控制閥，係使前述流量變化；前述流量控制方法包含：驅動步驟，係驅動前述控制閥；計測步驟，係計測前述流量；感測器響應調整步驟，係修正前述流量感測器之測量值的頻率特性；以及衰減步驟，係使前述感測器響應調整步驟之輸出的預定之頻帶衰減；並且構成有包含前述驅動步驟、前述計測步驟、前述感測器響應調整步驟及前述衰減步驟之回授迴圈；前述流量設定值與前述衰減步驟之取得值的偏差係成為前述驅動步驟之輸入。
  6. 一種流量控制裝置的控制程式，該流量控制裝置係具備：流量感測器，係計測流體之流量；控制部，係以前述流體之流量成為流量設定值的方式來調整流量；以及控制閥，係使前述流量變化；該控制程式係使電腦執行下列命令：驅動命令，係驅動前述控制閥； 計測命令，係計測前述流量；感測器響應調整命令，係修正前述流量感測器之測量值的頻率特性；以及衰減命令，係使前述感測器響應調整命令之輸出的預定之頻帶衰減；並且構成有包含前述驅動命令、前述計測命令、前述感測器響應調整命令及前述衰減命令之回授迴圈；前述流量設定值與前述衰減命令之取得值的偏差係成為前述驅動命令之輸入。
TW109112189A 2019-05-14 2020-04-10 流量控制裝置、流量控制方法、流量控制裝置的控制程式 TWI755704B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019091491 2019-05-14
JP2019-091491 2019-05-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202045847A TW202045847A (zh) 2020-12-16
TWI755704B true TWI755704B (zh) 2022-02-21

Family

ID=73290189

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW109112189A TWI755704B (zh) 2019-05-14 2020-04-10 流量控制裝置、流量控制方法、流量控制裝置的控制程式

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20220307882A1 (zh)
JP (1) JPWO2020230574A1 (zh)
KR (1) KR102608260B1 (zh)
CN (1) CN113544620A (zh)
TW (1) TWI755704B (zh)
WO (1) WO2020230574A1 (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2022239447A1 (zh) * 2021-05-13 2022-11-17

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0916268A (ja) * 1995-06-29 1997-01-17 Hisashi Takahashi 遅れ補償機能付流量制御弁
JP2003157114A (ja) * 2001-11-19 2003-05-30 Toshiba Mach Co Ltd ロストモーション補正方法およびロストモーション補正装置
US20120298220A1 (en) * 2009-12-01 2012-11-29 Fujikin Incorporated Pressure type flow rate control device
WO2013115298A1 (ja) * 2012-02-03 2013-08-08 日立金属株式会社 流量制御装置及びプログラム
WO2014156042A1 (ja) * 2013-03-25 2014-10-02 株式会社フジキン 流量モニタ付流量制御装置
JP2018156557A (ja) * 2017-03-21 2018-10-04 株式会社日立産機システム 遅れ補償器のフィルタの設計方法、及びそれを用いたフィードバック制御方法、モータ制御装置
TW201841090A (zh) * 2017-03-28 2018-11-16 日商富士金股份有限公司 壓力式流量控制裝置及流量控制方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6963184B2 (en) * 2002-09-26 2005-11-08 3M Innovative Properties Company Adaptable spatial notch filter
WO2006045032A2 (en) * 2004-10-20 2006-04-27 Fisher Controls International Llc Lead-lag input filter arrangement for electro-pneumatic control loops
US20070255125A1 (en) * 2006-04-28 2007-11-01 Moberg Sheldon B Monitor devices for networked fluid infusion systems
US7603186B2 (en) * 2006-04-28 2009-10-13 Advanced Energy Industries, Inc. Adaptive response time closed loop control algorithm
JP5499381B2 (ja) 2009-10-20 2014-05-21 日立金属株式会社 流量制御装置
KR101550255B1 (ko) * 2011-05-10 2015-09-04 가부시키가이샤 후지킨 유량 모니터 부착 압력식 유량 제어 장치와, 이것을 사용한 유체 공급계의 이상 검출 방법 및 모니터 유량 이상 시의 처치 방법

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0916268A (ja) * 1995-06-29 1997-01-17 Hisashi Takahashi 遅れ補償機能付流量制御弁
JP2003157114A (ja) * 2001-11-19 2003-05-30 Toshiba Mach Co Ltd ロストモーション補正方法およびロストモーション補正装置
US20120298220A1 (en) * 2009-12-01 2012-11-29 Fujikin Incorporated Pressure type flow rate control device
WO2013115298A1 (ja) * 2012-02-03 2013-08-08 日立金属株式会社 流量制御装置及びプログラム
WO2014156042A1 (ja) * 2013-03-25 2014-10-02 株式会社フジキン 流量モニタ付流量制御装置
JP2018156557A (ja) * 2017-03-21 2018-10-04 株式会社日立産機システム 遅れ補償器のフィルタの設計方法、及びそれを用いたフィードバック制御方法、モータ制御装置
TW201841090A (zh) * 2017-03-28 2018-11-16 日商富士金股份有限公司 壓力式流量控制裝置及流量控制方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW202045847A (zh) 2020-12-16
US20220307882A1 (en) 2022-09-29
KR102608260B1 (ko) 2023-11-30
WO2020230574A1 (ja) 2020-11-19
KR20210124364A (ko) 2021-10-14
CN113544620A (zh) 2021-10-22
JPWO2020230574A1 (zh) 2020-11-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1196833B1 (en) System and method for a variable gain proportional-integral (pi) controller
JP4528617B2 (ja) マスフローコントローラにおける圧力補償のための方法および装置
KR101722304B1 (ko) 매스 플로우 컨트롤러
US7775865B2 (en) Set and forget exhaust controller
US8195312B2 (en) Multi-mode control loop with improved performance for mass flow controller
KR20130086519A (ko) 일관된 응답을 제공하는 온-툴(on-tool) 및 온-사이트(on-site) 질량 유량계 최적화를 위한 방법 및 시스템
JP2007205916A (ja) 流量測定装置
KR20020039316A (ko) 디지털 유량 조절기용 시스템 및 방법
US11269362B2 (en) Flow rate control method and flow rate control device
TWI755704B (zh) 流量控制裝置、流量控制方法、流量控制裝置的控制程式
CN112272809A (zh) 流量控制方法以及流量控制装置
US11029175B2 (en) Method for processing a measurement signal from a pressure measurement cell, and a measurement cell arrangement
KR20180051520A (ko) 질량 유량 제어 장치
JP3893115B2 (ja) マスフローコントローラ
JP2020013269A (ja) 流量制御装置
CN114063658A (zh) 流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质
US8056579B2 (en) Mass flow controller
US10684632B2 (en) Pressure control device and pressure control system
TWI643048B (zh) 流量訊號修正方法及使用其之流量控制裝置
JP3637270B2 (ja) マスフローコントローラ
JP4578607B2 (ja) マスフローコントローラ
JP2002082722A (ja) 質量流量制御装置
JP7194421B2 (ja) 流量制御装置および流量制御方法
JPH06318102A (ja) センサ補償装置
TW202230067A (zh) 壓力控制系統、壓力控制方法及壓力控制程序