KR20200101038A - 불투명 영역을 포함하는 대상물의 불량을 검사하는 검사 장치 및 방법 - Google Patents

불투명 영역을 포함하는 대상물의 불량을 검사하는 검사 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

불투명 영역을 포함하는 대상물의 불량을 검사하는 검사 장치 및 방법이 개시된다. 개시된 검사 장치는 불투명 영역을 포함하는 대상물의 제1 면 방향으로 하여 상기 불투명 영역으로 광을 조사하는 광원부; 상기 제1 면 방향에 배치되며, 상기 대상물로부터 반사된 광을 감지하는 제1 광 감지부; 및 상기 제1 면과 반대되는 제2 면 방향에 배치되며, 상기 대상물의 균열을 통하여 출력되는 광을 감지하는 제2 광 감지부를 포함한다.

Description

불투명 영역을 포함하는 대상물의 불량을 검사하는 검사 장치 및 방법{Apparatus and Method for inspecting defect of object including opacity area}
본 발명의 실시예들은 적어도 일부의 불투명 영역을 포함하는 대상물, 예를 들어 유리 기판의 불량을 정확하게 검출할 수 있는 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.
박막 트랜지스터 액정 표시 장치는 크게 박막 트랜지스터가 형성되는 하부 유리 기판과, 컬러 필터가 형성되는 상부 유리 기판 및 하부 유리 기판과 상부 유리 기판 사이에 주입된 액정으로 구성된다.
이러한 박막 트랜지스터와 컬러 필터를 형성하기 위한 유리 기판의 경우 그 표면에 대한 얼룩과 스크래치 및 이 물질이 존재할 수 있고, 더불어 두께가 일정하게 형성되지 않는 너울 현상이 발생할 수 있다. 이 경우, 공정이 이루어지는 챔버 내부의 전극 등에 손상을 가하거나 깨진 유리 기판의 파편이 날려 챔버 내부를 오염시키고, 아울러 유리기판에 필름의 증착이나 식각 등이 균일하게 이루어지지 않게 되면서 박막 트랜지스터 액정 표시 장치의 액정에서 표현되는 색깔에 이상이 발생하는 디스 컬러가 발생하여 제품 불량이 초래될 수 밖에 없었다
이에, 종래에는 유리 기판을 공정 챔버에 넣어 증착이나 식각, 스퍼터링 등의 플라즈마를 이용하는 공정을 행하기 전에 유리 기판에 대한 전반적인 품질 검사를 진행하게 된다
한편, 백라이트 등에 사용되는 유리 기판의 경우 전부 또는 일부가 불투명 재질일 수 있으며, 이 경우 기존의 유리 기판 검사 방법을 사용할 수 없으며, 관리자가 수작업으로 유리 기판의 검사를 수행하는 단점이 있다.
상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해, 대상물, 예를 들어 유리 기판의 불투명 영역으로 광을 조사하여 상기 대상물로부터 반사된 광 및 상기 대상물을 투과한 광을 감지하여 불량을 검사하는 검사 장치 및 방법을 제안하고자 한다.
본 발명의 다른 목적들은 하기의 실시예를 통해 당업자에 의해 도출될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따르면, 불투명 영역을 포함하는 대상물의 제1 면 방향으로 하여 상기 불투명 영역으로 광을 조사하는 광원부; 상기 제1 면 방향에 배치되며, 상기 대상물로부터 반사된 광을 감지하는 제1 광 감지부; 및 상기 제1 면과 반대되는 제2 면 방향에 배치되며, 상기 대상물의 균열을 통하여 출력되는 광을 감지하는 제2 광 감지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치가 제공된다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 불투명 영역 및 투명 영역을 가지는 대상물에서 불투명 영역으로 제1 세기의 광을 조사하고, 상기 투명 영역으로 제2 세기의 광을 조사하는 광원부; 상기 불투명 영역에 의해 반사된 광, 상기 불투명 영역을 투과한 광, 상기 투명 영역을 투과한 광 중 적어도 하나를 감지하는 광 감지부를 포함하되, 상기 제1 세기가 상기 제2 세기보다 큰 것을 특징으로 하는 검사 장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 불투명 영역을 포함하는 대상물의 제1 면으로 상기 광원부가 광을 조사하는 단계; 상기 제1 면 방향에 배치되는 제1 광 감지부가 상기 제1 면에서 출사되는 광을 감지하는 단계; 및 상기 제1 면의 반대측인 제2 면 방향에 배치되는 제2 광 감지부가 상기 제2 면에서 출사되는 광을 감지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 방법이 제공된다.
본 발명의 검사 장치 및 검사 방법은 대상물, 예를 들어 유리 기판의 불투명 영역으로 광을 조사하여 상기 대상물로부터 반사된 광 및 상기 대상물을 투과한 광을 감지하여 불량을 검사하며, 그 결과 불투명 영역을 포함하는 대상물의 불량을 정확하게 검출할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유리 기판 검사 장치의 개략적인 구조를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 유리 기판의 구조를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유리 기판 검사 장치의 다른 구조를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 검사 방법의 흐름도를 도시한 도면이다.
도 5 내지 도 8은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유리 기판 검사 장치의 동작의 개념을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유리 기판 검사 장치의 개략적인 구조를 도시한 도면이다.
본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 또한, 명세서에 기재된 "...부", "모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어 또는 소프트웨어로 구현되거나 하드웨어와 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
이하, 본 발명의 다양한 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상술한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유리 기판 검사 장치의 개략적인 구조를 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 유리 기판 검사 장치(100)는 광원부(110), 제1 광 감지부(120), 제2 광 감지부(130) 및 검사부(140)를 포함한다.
한편, 유리 기판 검사 장치(100)를 통해 검사가 수행되는 유리 기판(160)는 적어도 일부가 불투명 재질이다. 즉, 유리 기판(160)은 전부가 불투명 재질일 수 있고, 일부는 불투명 재질이고 다른 일부는 투명 재질일 수 있다. 여기서, 불투명 재질은 메탈 재질일 수 있다. 도 2에서는 일부가 불투명 재질이고, 다른 일부가 투명 재질인 유리 기판(160)의 일례를 도시하고 있다.
이하, 도 1을 참조하여, 각 구성 요소 별로 그 기능을 상세하게 설명하기로 한다.
광원부(110)는 유리 기판(160)의 제1 면(161)으로 광을 조사한다. 이 때, 도 1의 일례에서, 유리 기판(160)의 제1 면(161)은 유리 기판(160)의 하부면이고, 유리 기판(160)의 제1 면(161)과 반대쪽 면인 제2 면(162)은 유리 기판(160)의 상부면일 수 있다. 그러나, 본 발명이 이에 한정되지 않는다. 이하, 설명의 편의를 위해, "제1 면"을 "하부면", "제2 면"을 "상부면"이라 호칭하기로 한다.
보다 상세하게, 도 1을 참조하면, 유리 기판(160)은 이송 수단, 예를 들어 컨베이어 벨트들(151, 152)을 통해 이동되고, 컨베이어 벨트들(151, 152)를 구성하는 제1 컨베이어 벨트(151)와 제2 컨베이어 벨트(152)는 일정 간격으로 떨어져서 배치된다. 그리고, 제1 컨베이어 벨트(151)와 제2 컨베이어 벨트(152) 사이의 공간에 유리 기판(160)이 위치되는 경우, 광원부(110)는 상기 사이의 공간을 통해 유리 기판(160)의 하부면(161)으로 광을 조사한다.
한편, 광원부(110)는 조사되는 광의 세기를 조절할 수 있다. 즉, 광원부(110)는 유리 기판(160) 내의 불투명 영역에 조사되는 광의 세기와 유리 기판(160) 내의 투명 영역에 조사되는 광의 세기를 각각 다른 값으로 조절할 수 있다. 이는 아래에서 보다 상세하게 설명하기로 한다.
제1 광 감지부(120)는 유리 기판(160)의 하부면(161) 쪽의 방향에 배치되며, 유리 기판(160)의 하부면(161)에서 출사되는 광을 이용하여 제1 영상을 생성한다.
즉, 광원부(110)가 상기 사이의 공간을 통해 유리 기판(160)의 하부면(161)으로 광을 조사하는 경우, 조사된 광은 유리 기판(160)의 하부면(161)을 통해 반사되어 출사되고, 제1 광 감지부(120)는 유리 기판(160)의 하부면(161)을 통해 반사된 광을 이용하여 제1 영상을 생성한다.
한편, 도 1에서는 제1 광 감지부(120)가 상기 사이의 공간의 바로 밑 공간에 배치되어 있는 경우를 도시하였으나, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 제1 광 감지부(120)는 광원부(110)를 기준으로 하부면(161)의 측면에 배치될 수도 있다. 이는 도 3에 도시한 바와 같다.
제2 광 감지부(130)는 유리 기판(160)의 상부면(162) 쪽의 방향에 배치되며, 유리 기판(160)의 상부면(162)에서 출사되는 광을 이용하여 제2 영상을 생성한다.
즉, 광원부(110)가 상기 사이의 공간을 통해 유리 기판(160)의 하부면(162)으로 광을 조사하는 경우, 조사된 광은 유리 기판(160)의 투명 영역을 통과하여 투과됨으로써 출사하거나, 불투명 영역에 존재하는 균열을 통해 투과하여 출사하며, 제2 광 감지부(130)는 유리 기판(160)의 상부면(162)에서 출사된 광을 이용하여 제2 영상을 생성한다.
예를 들어, 불투명 영역으로 광을 조사하는 경우, 상기 불투명 영역에 균열(불량)이 있으면, 유리 기판(160)의 하부면(162)으로 조사된 광은 상기 균열을 통하여 유리 기판(160)의 상부면(162)을 통하여 출사되며, 유리 기판(160)의 상부면(162) 위에 배치되는 제2 광 감지부(130)가 상기 출사된 광을 감지하여 영상을 생성할 수 있다. 즉, 유리 기판(160)의 일면 방향으로 불투명 영역으로 광을 조사하면, 균열이 있는 경우, 유리 기판(160)의 양측에서 모두 광을 감지할 수 있다. 물론, 균열이 없으면 유리 기판(160)의 일측 방향에서만 광이 감지될 것이다.
다른 예로, 투명 영역으로 광을 조사하는 경우, 광은 상기 투명 영역을 관통하여 출력되고, 해당 광 감지부가 출력된 광을 감지할 수 있다.
다만, 투명 영역으로 조사되는 광의 세기는 불투명 영역으로 조사되는 광의 세기보다 높을 수 있다. 불투명일 경우에는 균열을 통하여 광이 반대 방향으로 출력되어야 하기 때문에 상대적으로 높은 세기의 광을 출력한다. 이러한 광의 세기로 투명 영역으로 조사하면, 감지된 광에 해당하는 이미지가 너무 밝은 광으로 인하여 제대로 형성되지 않는다. 따라서, 이러한 유리 기판(160)의 투명도를 고려하여 광의 세기가 조절될 수 있다.
유리 기판(160)이 모두 불투명한 경우에는, 높은 세기의 광만을 유리 기판(160)으로 조사하면 되고, 유리 기판(160)이 투명 영역과 불투명 영역을 포함한 경우에는 높은 세기의 광과 상대적으로 낮은 세기의 광을 해당 영역에 조사하여 불량을 검사할 수 있다.
한편, 도 1을 참조하면, 제2 광 감지부(130)는 상기 사이의 공간의 바로 윗 공간에 배치되어 있을 수 있다. 즉, 상기 사이의 공간을 기준으로, 제1 광 감지부(120)는 제2 광 감지부(130)와 마주보게 배치될 수 있다.
검사부(140)는 제1 영상 및 제2 영상 중 적어도 하나를 이용하여 유리 기판(160)을 검사한다. 이 때, 검사부(140)는 프로세서가 포함된 장치일 수 있으며, 일례로 데스크탑 컴퓨터, 모바일 단말, PDA, 노트북, 태블릿 PC 등일 수 있다.
이하, 도 4를 참조하여 유리 기판 검사 장치(100)에서 수행되는 검사 방법을 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 검사 방법의 흐름도를 도시한 도면이다.
이하, 도 4를 참조하여, 각 단계 별로 수행되는 과정을 설명하기로 한다.
먼저, 단계(410)에서, 광원부(110)는 유리 기판(110)의 하부면(162)으로 광을 조사한다. 이 때, 광은 제1 컨베이어 벨트(151)와 제2 컨베이어 벨트(152)의 사이의 공간에 조사된다.
다음으로, 단계(420)에서, 제1 광 감지부(120)는 유리 기판(160)의 하부면(161)에서 출사되는 광을 이용하여 제1 영상을 생성한다.
그리고, 단계(430)에서, 제2 광 감지부(130)는 유리 기판(160)의 상부면(162)에서 출사되는 광을 이용하여 제2 영상을 생성한다.
한편, 단계(420)와 단계(430)는 동시에 수행될 수 있고, 하나의 단계가 다른 하나의 단계에 선행하여 수행될 수도 있다. 또한, 유리 기판(160)의 상부면(162)에서 광이 출사되지 않는 경우, 제2 광 감지부(130)에 수행되는 제2 영상의 생성 동작, 즉 단계(430)는 수행되지 않을 수 있다.
마지막으로, 단계(440)에서, 검사부(140)는 제1 영상 및 제2 영상 중 적어도 하나를 이용하여 유리 기판(160)을 검사한다. 즉, 검사부(140)는 제1 영상을 이용하고, 제2 영상을 선택적으로 이용하여 유리 기판(160)을 검사한다.
한편, 상기에서 언급한 바와 같이, 광원부(110)는 조사되는 광의 세기를 조절할 수 있다. 이 때, 상기 사이의 공간에 유리 기판(160)의 불투명 영역이 배치되는 경우 단계(410)에서 광원부(110)는 유리 기판(160) 내의 불투명 영역에 강한 빛을 조사할 수 있고, 상기 사이의 공간에 유리 기판(160)의 투명 영역이 배치되는 경우 단계(410)에서 광원부(110)는 유리 기판(160) 내의 투명 영역에 약한 빛을 조사할 수 있다. 이 때, 강한 빛은 265,000 럭스(lux) 이상의 세기일 수 있으며, 약한 빛은 80,000 럭스 이하의 세기일 수 있다.
보다 상세하게, 광이 조사되는 유리 기판(160)의 영역이 불투명 재질이고 상기한 영역에 균열(기판이 깨지는 경우 등)이 존재하지 않는 경우, 광원부(110)에서 조사되는 광은 유리 기판(160)을 통과하지 못하며, 유리 기판(160)의 상부면 방향에 존재하는 제2 광 감지부(130)에서 생성되는 제2 영상에는 결함이 표시되지 않는다(도 5의 (a) 및 도 6의 (a) 참조). 그러나, 광원부(110)에서 조사되는 광은 유리 기판(160)의 하부면(161)을 통해 반사되고, 상기 반사된 광은 유리 기판(160)의 하부면 방향에 존재하는 제1 광 감지부(120)에서 수신되고, 제1 광 감지부(120)는 상기 반사된 광을 이용하여 제1 영상을 생성하며, 제1 영상에서는 유리 기판(160)에 존재하는 결함이 명확하게 표시된다(도 5의 (b) 및 도 6의 (b) 참조). 즉, 본 발명에 따르면, 유리 기판(160)의 하부면 방향에 추가적인 광 감지부(즉, 제1 광 감지부(120))를 배치함으로써 결함을 용이하고 정확하게 판단할 수 있다.
그리고, 광이 조사되는 유리 기판(160)의 영역이 불투명 재질이고, 상기한 영역에 균열이 존재하는 경우, 광원부(110)에서 조사되는 광은 유리 기판(160)의 균열을 통해 유리 기판(160)의 상부면(162)으로 투과되어 출사되고, 더불어 상기 조사된 광은 유리 기판(160)의 하부면(161)으로 반사되어 출사된다. 따라서, 제2 광 감지부(130)는 유리 기판(160)의 상부면(162)으로 투과된 광을 이용하여 제2 영상을 생성하고, 제1 광 감지부(120)는 유리 기판(160)의 하부면(161)으로 투과된 광을 이용하여 제1 영상을 생성하며, 검사부(140)는 제1 영상 및 제2 영상을 모두 이용하여 유리 기판(160)를 검사한다. 이에 따라 더욱 정확한 결함 검사가 수행되는 장점이 있다.
한편, 유리 기판(160)의 불투명 영역에 약한 빛을 조사하는 경우, 유리 기판(160)에 존재하는 결함이 영상에서 제대로 표현되지 않는다(도 7의 (a) 참조). 따라서, 광의 세기를 조절 가능한 광원부(110)는 강한 빛을 유리 기판(160)의 불투명 영역에 조사하며, 이 경우 유리 기판(160)에 존재하는 결함이 영상에 명확하게 표현될 수 있다(도 7의 (b) 참조).
또한, 광이 조사되는 유리 기판(160)의 영역이 투명 재질인 경우, 광원부(110)에서 조사되는 광은 유리 기판(160)을 통과할 수 있다. 따라서, 광원부(110)에서 조사되는 광은 유리 기판(160)의 상부면(162)을 통과하여 출사되며, 더불어 상기 조사된 광은 유리 기판(160)의 하부면(161)으로 반사되어 출사된다. 따라서, 제2 광 감지부(130)는 유리 기판(160)의 상부면(162)으로 통과된 광을 이용하여 제2 영상을 생성하고, 제1 광 감지부(120)는 유리 기판(160)의 하부면(161)으로 투과된 광을 이용하여 제1 영상을 생성하며, 검사부(140)는 제1 영상 및 제2 영상을 모두 이용하여 유리 기판(160)를 검사한다. 이에 따라, 더욱 정확한 결함 검사가 수행되는 장점이 있다.
한편, 유리 기판(160)의 투명 영역에 강한 빛을 조사하는 경우, 광이 포화(saturation)되어 유리 기판(160)에 존재하는 결함이 영상에서 제대로 표현되지 않는다(도 8의 (a) 참조). 따라서, 광의 세기를 조절 가능한 광원부(110)는 약한 빛을 유리 기판(160)의 투명 영역에 조사하며, 이 경우 유리 기판(160)에 존재하는 결함이 영상에 명확하게 표현될 수 있다(도 8의 (b) 참조).
요컨대, 본 발명에 따른 광원부(110)는 조사되는 빛의 세기를 조절할 수 있되, 유리 기판(160)의 투명 영역으로는 약한 빛을 조사하고, 유리 기판(160)의 불투명 영역으로는 강한 빛을 조사할 수 있다. 이를 통해 유리 기판(160)의 하부면 영상(161)과 상부면 영상(162)를 모두 생성하여 유리 기판(160)의 결함을 정확하게 검사하는 장점이 있다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유리 기판 검사 장치의 개략적인 구조를 도시한 도면이다.
도 9를 참조하면, 유리 기판 검사 장치(900)는 제1 광원부(911), 제2 광원부(912), 제1 광 감지부(921), 제2 광 감지부(922), 제3 광 감지부(931), 제4 광 감지부(932) 및 검사부(140)를 포함한다.
한편, 유리 기판 검사 장치(900)를 통해 검사가 수행되는 유리 기판(160)는 불투명 영역과 투명 영역을 포함하는 기판일 수 있다.
이하, 도 9를 참조하여, 각 구성 요소 별로 그 기능을 상세하게 설명하기로 한다.
제1 광원부(911)는 유리 기판(960)의 하부면(961) 중에서 불투명 영역인 유리 기판(960)의 제1-A 면으로 광을 조사한다. 즉, 제1 광원부(911)는 컨베이어 벨트들(951, 952, 953) 중 제1 컨베이어 벨트(951)와 제2 컨베이어 벨트(952) 사이의 공간인 제1 공간으로 광을 조사한다. 이 때, 제1 광원부(911)는 강한 빛을 조사한다.
제2 광원부(921)는 유리 기판(960)의 하부면(961) 중에서 투명 영역인 유리 기판(960)의 제2-A 면으로 광을 조사한다. 즉, 제2 광원부(921)는 컨베이어 벨트들(951, 952, 953) 중 제2 컨베이어 벨트(952)와 제3 컨베이어 벨트(953) 사이의 공간인 제2 공간으로 광을 조사한다. 이 때, 제2 광원부(921)는 약한 빛을 조사한다.
제1 광 감지부(921)는 상기 제1-A 면 쪽의 방향에 배치되며, 상기 제1-A 면에서 출사되는 광을 이용하여 제1 영상을 생성한다.
제2 광 감지부(922)는 상기 제1-A 면의 반대편 면인 유리 기판(960)의 상부면(962)의 제2-A 면 쪽의 방향에 배치되며, 상기 제2-A 면에서 출사되는 광을 이용하여 제2 영상을 생성한다.
제3 광 감지부(931)는 상기 제1-B 면 쪽의 방향에 배치되며, 상기 제1-B 면에서 출사되는 광을 이용하여 제3 영상을 생성한다.
제4 광 감지부(932)는 상기 제1-B 면의 반대편 면인 유리 기판(960)의 제상부면(962)의 제2-B 면 쪽의 방향에 배치되며, 상기 제2-B 면에서 출사되는 광을 이용하여 제4 영상을 생성한다.
검사부(940)는 제1 영상, 제2 영상, 제3 영상 및 제4 영상 중 적어도 하나를 이용하여 유리 기판(960)을 검사한다. 이 때, 검사부(940)는 프로세서가 포함된 장치일 수 있으며, 일례로 데스크탑 컴퓨터, 모바일 단말, PDA, 노트북, 태블릿 PC 등일 수 있다.
요컨대, 본 발명의 제2 일시예에 따른 유리 기판 검사 장치(900)는, 불투명 영역을 검사하기 위한 제1 광원부(911), 제1 광 감지부(921), 제2 광 감지부(922)와, 투명 영역을 검사하기 위한 제2 광원부(912), 제3 광 감지부(931), 제4 광 감지부(932)를 포함할 수 있다. 즉, 본 발명의 제1 일시예에 따른 유리 기판 검사 장치(100)에 비해, 본 발명의 제2 일시예에 따른 유리 기판 검사 장치(900)는 투명 영역과 불투명 영역을 검사하는 구성 요소들을 별개로 포함할 수 있다. 이 때, 제1 광원부(911)의 광의 조사와 제2 광원부(912)의 광의 조사는 동시에 수행될 수 있으며, 광 감지부들(921, 922, 931, 932)는 영상들을 동시에 생성할 수 있다. 한편, 각 구성 요소들의 동작의 설명은 앞서 언급한 유리 기판 검사 장치(100)의 구성 요소들의 동작과 유사하므로, 상세한 설명은 생략하기로 한다.
위의 실시예들에서는, 불량 검사 대상으로 유리 기판으로 언급하였으나, 불투명 영역을 포함하는 한 대상물에는 제한이 없다. 예를 들어, 대상물은 플렉서블한 필름일 수도 있다.
또한, 유리 기판은 특정 위치에 고정된 상태로 불량 검사가 이루어질 수도 있고, 이동하면서 불량 검사가 이루어질 수도 있다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.

Claims (10)

  1. 불투명 영역을 포함하는 대상물의 제1 면 방향으로 하여 상기 불투명 영역으로 광을 조사하는 광원부;
    상기 제1 면 방향에 배치되며, 상기 대상물로부터 반사된 광을 감지하는 제1 광 감지부; 및
    상기 제1 면과 반대되는 제2 면 방향에 배치되며, 상기 대상물의 균열을 통하여 출력되는 광을 감지하는 제2 광 감지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    검사부를 더 포함하되,
    상기 대상물은 유리 기판이며, 상기 제1 광 감지부는 상기 반사된 광에 해당하는 제1 영상을 출력하고, 상기 제2 광 감지부는 상기 출력되는 광에 해당하는 제2 영상을 출력하며, 상기 검사부는 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상 중 적어도 하나를 이용하여 상기 대상물을 검사하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 유리 기판은 상기 불투명 영역과 투명 영역을 포함하되,
    상기 불투명 영역의 불량 검사 시 상기 광원부로부터 조사되는 광의 세기가 상기 투명 영역의 불량 검사 시 상기 광원부로부터 조사되는 강의 세기보다 높은 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 광원부가 상기 유리 기판 내의 불투명 영역에 상기 광을 조사하고, 상기 불투명 영역에 균열이 존재하지 않는 경우,
    상기 제1 면에서만 상기 광이 반사되어 출사되고,
    상기 제1 광 감지부는 상기 제1 면에서 출사된 광을 이용하여 상기 제1 영상을 생성하고,
    상기 검사부는 상기 제1 영상을 이용하여 상기 유리 기판을 검사하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 광원부가 상기 유리 기판 내의 불투명 영역에 상기 광을 조사하고, 상기 불투명 영역에 균열이 존재하는 경우,
    상기 제1 면에서는 상기 광이 반사되어 출사되고, 상기 제2 면에서는 상기 균열을 통해 상기 광이 투과되어 출사되고,
    상기 제1 광 감지부는 상기 제1 면에서 출사된 광을 이용하여 제1 영상을 생성하고, 상기 제2 광 감지부는 상기 제2 면에서 출사된 광을 이용하여 제2 영상을 생성하고,
    상기 검사부는 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 모두 이용하여 상기 유리 기판을 검사하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  6. 불투명 영역 및 투명 영역을 가지는 대상물에서 불투명 영역으로 제1 세기의 광을 조사하고, 상기 투명 영역으로 제2 세기의 광을 조사하는 광원부;
    상기 불투명 영역에 의해 반사된 광, 상기 불투명 영역을 투과한 광, 상기 투명 영역을 투과한 광 중 적어도 하나를 감지하는 광 감지부를 포함하되,
    상기 제1 세기가 상기 제2 세기보다 큰 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 광 감지부에 의해 감지된 광에 해당하는 영상을 통하여 불량을 검사하는 검사부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  8. 불투명 영역을 포함하는 대상물의 제1 면으로 상기 광원부가 광을 조사하는 단계;
    상기 제1 면 방향에 배치되는 제1 광 감지부가 상기 제1 면에서 출사되는 광을 감지하는 단계; 및
    상기 제1 면의 반대측인 제2 면 방향에 배치되는 제2 광 감지부가 상기 제2 면에서 출사되는 광을 감지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 감지된 광들에 해당하는 이미지들을 분석하여 상기 대상물의 불량을 검사하는 단계를 더 포함하되,
    상기 대상물은 유리 기판인 것을 특징으로 하는 검사 방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기 유리 기판은 상기 불투명 영역과 투명 영역을 포함하되,
    상기 불투명 영역의 불량 검사 시 상기 광원부로부터 조사되는 광의 세기가 상기 투명 영역의 불량 검사 시 상기 광원부로부터 조사되는 강의 세기보다 높은 것을 특징으로 하는 검사 방법.

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