KR20200077854A - Dual x-ray source unit and dual x-ray apparatus - Google Patents

Dual x-ray source unit and dual x-ray apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR20200077854A
KR20200077854A KR1020180167139A KR20180167139A KR20200077854A KR 20200077854 A KR20200077854 A KR 20200077854A KR 1020180167139 A KR1020180167139 A KR 1020180167139A KR 20180167139 A KR20180167139 A KR 20180167139A KR 20200077854 A KR20200077854 A KR 20200077854A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
dual
source
focusing
ray
Prior art date
Application number
KR1020180167139A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102131665B1 (en
Inventor
류제황
여승준
정재익
Original Assignee
주식회사 씨에이티빔텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 씨에이티빔텍 filed Critical 주식회사 씨에이티빔텍
Priority to KR1020180167139A priority Critical patent/KR102131665B1/en
Publication of KR20200077854A publication Critical patent/KR20200077854A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102131665B1 publication Critical patent/KR102131665B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/14—Arrangements for concentrating, focusing, or directing the cathode ray
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/06—Cathodes
    • H01J35/064—Details of the emitter, e.g. material or structure
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/06—Cathodes
    • H01J35/065—Field emission, photo emission or secondary emission cathodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2201/00—Electrodes common to discharge tubes
    • H01J2201/30—Cold cathodes
    • H01J2201/304—Field emission cathodes
    • H01J2201/30446—Field emission cathodes characterised by the emitter material
    • H01J2201/30453—Carbon types
    • H01J2201/30469—Carbon nanotubes (CNTs)
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
    • H01J2329/02—Electrodes other than control electrodes
    • H01J2329/04—Cathode electrodes
    • H01J2329/0407—Field emission cathodes
    • H01J2329/0439—Field emission cathodes characterised by the emitter material
    • H01J2329/0444—Carbon types
    • H01J2329/0455—Carbon nanotubes (CNTs)

Abstract

The present invention relates to a dual X-ray source unit having a source unit generating at least two electrons and a dual X-ray device and, more specifically, to a dual X-ray source unit capable of selectively using source units of different sizes or source units made of different materials, and a dual X-ray device. The dual X-ray source unit comprises: source units generating electrons; a focusing unit provided with at least two installation grooves in different sizes and selectively using one of the source units inserted and aligned to the installation grooves to focus the generated electrons outside, wherein the installation grooves are in a shape corresponding to the source units so that the source units may be inserted and aligned; a focusing body surrounding the outer circumferential surface of the focusing unit with an outer wall; and an electrode unit located in the installation grooves and providing a voltage to the source units to enable electron emission of the source units.

Description

듀얼 엑스레이 소스유닛 및 듀얼 엑스레이장치{DUAL X-RAY SOURCE UNIT AND DUAL X-RAY APPARATUS}Dual X-ray source unit and dual X-ray device {DUAL X-RAY SOURCE UNIT AND DUAL X-RAY APPARATUS}

본 발명은 적어도 두 개의 전자를 발생시키는 소스부가 구비된 듀얼 엑스레이 소스유닛 및 듀얼 엑스레이장치에 관한 것으로, 상세하게는 크기가 서로 다른 소스부 또는 다른 재질로 이루어진 소스부를 선택적으로 사용 가능한 듀얼 엑스레이 소스유닛 및 듀얼 엑스레이장치에 관한 것이다.The present invention relates to a dual X-ray source unit and a dual X-ray apparatus equipped with a source unit generating at least two electrons, and specifically, a dual X-ray source unit capable of selectively using a source unit having different sizes or a source unit made of different materials. And a dual x-ray apparatus.

일반적으로 X선관(X-ray tube)은 X선을 발생시키기 위한 진공관이다. 이러한 X선관의 음극은 텅스텐 필라멘트로 형성되며, 전류에 의해 가열되어 열 전자를 방출시킨다. 이에 대하여, 수만 볼트 이상의 고전압이 X선관의 양극에 인가되면, 음극에서 방출된 전자류가 고속으로 양극을 향해서 운동한다. 이때, 전자류가 양극의 텅스텐, 몰리브덴 등으로 만든 대항극에 충돌하였을 때 가지고 있는 에너지를 X선으로 방출한다.In general, an X-ray tube is a vacuum tube for generating X-rays. The cathode of the X-ray tube is formed of tungsten filament, and heated by electric current to emit thermal electrons. In contrast, when a high voltage of tens of thousands of volts or more is applied to the positive electrode of the X-ray tube, electrons emitted from the negative electrode move toward the positive electrode at high speed. At this time, when the electrons collide with the counter electrode made of tungsten, molybdenum, etc. of the anode, the energy possessed is emitted by X-rays.

방사선학적 접근법을 이용한 인간의 인체 조직 관측은 비침습성 등의 장점으Observing human tissues using a radiological approach has advantages such as non-invasiveness.

로 인류 문명에 큰 혜택을 주고 있다. 또한, 생명 공학 및 의학 계열의 방사선학적 접근법으로 인해, 수 밀리미터부터 수 마이크로미터 크기 조직의 관찰은 많은 연구 개발 활동 및 인류 보건 향상에 큰 기여를 하고 있다.As a result, it is giving great benefits to human civilization. In addition, due to the biotechnological and medical departments' radiological approaches, observations of tissues ranging from millimeters to several micrometers have contributed greatly to many research and development activities and to improving human health.

그러나, 종래의 마이크로미터 크기의 해상도를 갖는 방사선기기는 공간 분해능의 부족으로 미세 조직의 관측이 어려워 입자가속기를 활용한 거대한 방사광을 이용하여 관측해야 하는 한계가 있었다. 또한, 종래의 마이크로 엑스레이 장치는 필라멘트 기반의 전자 방출원을 사용함으로써, 방출 엑스레이 선량(flux)이 부족하여 다양한 영상 기기로의 응용에 한계가 있었다.However, the conventional radiometer having a micrometer-sized resolution has a limitation in that it is difficult to observe microstructure due to a lack of spatial resolution, and thus must be observed using a huge radiation light utilizing a particle accelerator. In addition, the conventional micro x-ray apparatus has a limitation in application to various imaging devices due to a lack of emission x-ray flux by using a filament-based electron emission source.

이에 따라, 근래에는 고품질의 엑스레이를 촬영할 수 있는 다양한 연구가 지속적으로 이루어지고 있는 추세이다.Accordingly, in recent years, various researches capable of photographing high-quality X-rays have been continuously conducted.

국내 등록특허공보 제10-1341672호 (등록일: 2013.12.09)Domestic registered patent publication No. 10-1341672 (Registration date: 2013.12.09) 국내 등록특허공보 제10-1701047호 (등록일: 2017.01.23)Domestic registered patent publication No. 10-1701047 (Registration date: 2017.01.23)

본 발명은 피조사물의 크기, 두께에 따라 선택적으로 전계가 가능한 엑스레이 소스유닛을 제공하고자 한다.The present invention is to provide an X-ray source unit capable of selectively electric field according to the size and thickness of the irradiated object.

본 발명은 전자를 발생시키는 필라멘트와 CNT를 겸용 또는 선택적으로 사용하고자 한다.The present invention seeks to combine or selectively use filaments and CNTs that generate electrons.

본 발명은 상기 목적이 달성된 엑스레이 소스유닛을 구비하는 엑스레이장치를 제공하고자 한다.The present invention is to provide an X-ray apparatus having an X-ray source unit for which the above object has been achieved.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 전자를 발생시키는 소스부와, 상기 소스부에 대응되는 형상으로 상기 소스부가 삽입되어 정렬 가능하게 하는 적어도 두 개의 설치홈이 서로 다른 크기로 마련되며, 상기 설치홈에 삽입 정렬된 상기 소스부 중 어느 하나를 선택적으로 사용하여 발생된 상기 전자를 외부로 포커싱하는 포커싱부와, 상기 포커싱부의 외주면을 외벽으로 둘러싸는 포커싱 몸체 및 상기 설치홈에 위치하며, 상기 소스부에 전압을 제공하여 상기 소스부의 전자 방출을 가능하게 하는 전극부를 포함한다.The present invention for achieving this object is provided with a source portion for generating electrons, and at least two installation grooves in which the source portion is inserted and aligned in a shape corresponding to the source portion in different sizes, and the installation groove A focusing part for focusing the electrons generated by selectively using any one of the source parts aligned and inserted into the focusing body, and a focusing body surrounding the outer peripheral surface of the focusing part with an outer wall, and the installation groove, wherein the source part It includes an electrode portion to provide a voltage to enable electron emission of the source portion.

바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 소스부는 필라멘트 기반의 열전자 방출 방식 또는 탄소나노튜브(CNT) 기반의 전계 방출 방식 중 적어도 어느 하나의 방식으로 상기 전자를 발생시킨다.Preferably, in the present invention, the source unit generates the electrons in at least one of a filament-based thermal electron emission method or a carbon nanotube (CNT)-based field emission method.

바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 포커싱부는, 서로 마주보는 상면이 절곡된 형상으로 연결되는 제1경사면과 제2경사면이 마련되며, 상기 소스부가 상기 설치홈에 삽입될 수 있도록 상기 제1경사면과 상기 제2경사면에 각각 제1설치홈과 제2설치홈이 형성된다.Preferably, in the present invention, the focusing unit is provided with a first inclined surface and a second inclined surface that are connected in a curved shape with the upper surfaces facing each other, and the first inclined surface so that the source portion can be inserted into the installation groove A first installation groove and a second installation groove are respectively formed on the second inclined surface.

바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 포커싱 몸체는, 상기 외벽이 상기 포커싱부와 이격된 간격을 형성하며 둘러싸고 있으며, 상기 간격에 단차가 형성된다.Preferably, in the present invention, the focusing body, the outer wall is surrounded by forming a spaced apart from the focusing portion, a step is formed in the gap.

바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 전극부는 상기 소스부에 대응할 수 있도록 상기 설치홈을 향해 상기 포커싱부의 일면을 통과하며, 상기 설치홈에 극성이 다른 두개의 전극이 배치되는 것을 특징으로 한다.Preferably, in the present invention, the electrode portion passes through one surface of the focusing portion toward the installation groove so as to correspond to the source portion, and is characterized in that two electrodes having different polarities are disposed in the installation groove.

바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 전극부는 상기 소스부에 마련된 단자와 탈부착 가능하게 결합하는 결합부가 형성되어 상기 소스부의 교체 사용을 가능하게 한다.Preferably, in the present invention, the electrode portion is formed with a coupling portion that is detachably coupled to the terminal provided on the source portion to enable replacement of the source portion.

바람직하게는 본 발명에 있어서, 중공형의 몸체유닛과, 상기 몸체유닛의 일측에 위치하며, 전자를 방출하는 듀얼 엑스레이 소스유닛 및 상기 듀얼 엑스레이 소스유닛과 마주하도록 상기 몸체유닛에 위치하며, 상기 전자와 충돌에 의해 발생하는 엑스선 또는 광을 상기 몸체유닛의 외부로 안내하는 애노드 유닛을 포함하며, 상기 듀얼 엑스레이 소스유닛은, 전자를 발생시키는 소스부와, 상기 소스부에 대응되는 형상으로 상기 소스부가 삽입되어 정렬 가능하게 하는 적어도 두 개의 설치홈이 서로 다른 크기로 마련되며, 상기 설치홈에 삽입 정렬된 상기 소스부 중 어느 하나를 선택적으로 사용하여 발생된 상기 전자를 외부로 포커싱하는 포커싱부, 상기 포커싱부의 외주면을 외벽으로 둘러싸며, 상기 포커싱부와 외벽이 이격되게 위치하여 마련되는 간격에 단차가 형성되는 포커싱 몸체 및 상기 설치홈에 위치하며, 상기 소스부에 전압을 제공하여 상기 소스부의 전자 방출을 가능하게 하는 전극부를 포함하며, 상기 몸체유닛과 결합하는 상기 듀얼 엑스레이 소스유닛은 상기 몸체유닛의 외주면이 상기 포커싱 몸체에 형성되는 단차에 삽입 결합한다.Preferably in the present invention, the hollow body unit, and located on one side of the body unit, the dual X-ray source unit for emitting electrons and located on the body unit to face the dual X-ray source unit, the electronic And an anode unit for guiding X-rays or light generated by collision with the outside of the body unit, wherein the dual X-ray source unit includes a source unit for generating electrons, and the source unit in a shape corresponding to the source unit. At least two installation grooves to be inserted and aligned to be provided in different sizes, and a focusing unit to focus the electrons generated by selectively using any one of the source portions inserted and aligned in the installation groove, the Surrounding the outer circumferential surface of the focusing portion with an outer wall, the focusing portion and the outer wall are spaced apart from each other and provided in the focusing body and the installation groove where a step is formed, and the source portion emits electrons by providing voltage to the source The dual X-ray source unit coupled to the body unit includes an electrode unit enabling the insertion, and the outer peripheral surface of the body unit is inserted and coupled to the step formed in the focusing body.

바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 몸체유닛과 결합하는 상기 듀얼 엑스레이 소스유닛 및 상기 애노드 유닛은 브레이징 결합하게 되며, 상기 듀얼 엑스레이 소스유닛 및 상기 애노드 유닛이 결합된 상기 몸체유닛은 내부를 진공 분위기로 형성한다.Preferably, in the present invention, the dual X-ray source unit and the anode unit coupled with the body unit are brazed, and the body unit to which the dual X-ray source unit and the anode unit are combined is inside a vacuum atmosphere. To form.

바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 소스부는 필라멘트 기반의 열전자 방출 방식 및 탄소나노튜브(CNT) 기반의 전계 방출 방식 중 적어도 어느 하나의 방식으로 상기 전자를 발생시킨다.Preferably, in the present invention, the source unit generates the electrons in at least one of a filament-based thermal electron emission method and a carbon nanotube (CNT)-based field emission method.

바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 포커싱부는, 서로 마주보는 상면이 절곡된 형상으로 연결되는 제1경사면과 제2경사면이 마련되며, 상기 소스부가 상기 설치홈에 삽입될 수 있도록 상기 제1경사면과 상기 제2경사면에 각각 제1설치홈과 제2설치홈이 형성된다.Preferably, in the present invention, the focusing unit is provided with a first inclined surface and a second inclined surface that are connected in a curved shape with the upper surfaces facing each other, and the first inclined surface so that the source portion can be inserted into the installation groove A first installation groove and a second installation groove are respectively formed on the second inclined surface.

바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 전극부는 상기 소스부에 대응할 수 있도록 상기 설치홈을 향해 상기 포커싱부의 일면을 통과하며, 상기 설치홈에 극성이 다른 두개의 전극이 배치되는 것을 특징으로 한다.Preferably, in the present invention, the electrode portion passes through one surface of the focusing portion toward the installation groove so as to correspond to the source portion, and is characterized in that two electrodes having different polarities are disposed in the installation groove.

바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 전극부는 상기 소스부에 마련된 단자와 탈부착 가능하게 결합하는 결합부가 형성되어 상기 소스부의 교체를 가능하게 한다.Preferably, in the present invention, the electrode portion is formed with a coupling portion that is detachably coupled to the terminal provided on the source portion to enable replacement of the source portion.

바람직하게는 본 발명에 있어서, 상기 몸체유닛과 결합하는 상기 듀얼 엑스레이 소스유닛 및 상기 애노드 유닛의 접합면은 브레이징(brazing) 방식에 의하여 결합된다.Preferably, in the present invention, the bonding surface of the dual X-ray source unit and the anode unit coupled to the body unit is combined by a brazing method.

본 발명에 따른 듀얼 엑스레이 소스유닛은 포커싱부에 마련된 적어도 두 개의 설치홈에 대해 소스부가 삽입 설치되며, 소스부는 필라멘트 또는 탄소나노튜브(CNT) 중 적어도 하나가 설치되어 선택적으로 사용할 수 있다.In the dual X-ray source unit according to the present invention, the source portion is inserted into at least two installation grooves provided in the focusing portion, and the source portion can be selectively used by installing at least one of a filament or a carbon nanotube (CNT).

본 발명은 전자를 발생시키는 소스부가 서로 다른 크기로 이루어져 있어, 피조사물의 조건에 따라 소스부를 선택하여 최적의 조건으로 엑스레이 촬영이 이루어지는 효과가 있다.According to the present invention, since the source parts for generating electrons are made of different sizes, X-ray imaging is performed under optimal conditions by selecting the source parts according to the conditions of the irradiated object.

본 발명은 필라멘트를 가열하여 얻어진 열전자 또는 나노탄소튜브(CNT) 성장을 이용한 전계 방출 방식 중 적어도 어느 하나의 방식으로 전자를 각각 발생시킬 수 있는 복수의 소스부를 선택 사용함에 따라, 다양한 조건에 대한 엑스선 방출 효율이 향상되는 효과가 있다.According to the present invention, X-rays for various conditions are selected by using a plurality of source units capable of generating electrons by at least one of a field emission method using thermal electrons or nanocarbon tube (CNT) growth obtained by heating a filament. There is an effect that the release efficiency is improved.

도 1은 본 발명에 따른 듀얼 엑스레이장치의 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 듀얼 엑스레이장치의 분해 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 듀얼 엑스레이 소스유닛의 CNT가 안착하는 포커싱부에 대한 상세도,
도 4는 본 발명에 따른 듀얼 엑스레이 소스유닛의 필라멘트가 안착하는 포커싱부에 대한 상세도,
도 5는 본 발명에 따른 듀얼 엑스레이 소스유닛의 CNT가 안착하는 포커싱부의 분해 사시도,
도 6은 도 1에 도시된 듀얼 엑스레이장치에 대한 A-A'의 단면도.1 is a perspective view of a dual X-ray apparatus according to the present invention,
Figure 2 is an exploded perspective view of a dual X-ray apparatus according to the present invention,
3 is a detailed view of the focusing unit seated by the CNT of the dual X-ray source unit according to the present invention;
Figure 4 is a detailed view of the focusing unit seating the filament of the dual X-ray source unit according to the present invention,
Figure 5 is an exploded perspective view of the focusing unit seated by the CNT of the dual X-ray source unit according to the present invention,
6 is a cross-sectional view of A-A' for the dual X-ray apparatus shown in FIG. 1;

본 발명의 실시예에서 제시되는 특정한 구조 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 개념에 따른 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있다. 또한 본 명세서에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 되며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경물, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The specific structure or functional descriptions presented in the embodiments of the present invention are exemplified for the purpose of explaining the embodiments according to the concept of the present invention, and the embodiments according to the concept of the present invention may be implemented in various forms. Also, it should not be construed as being limited to the embodiments described herein, but should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1과 도 2는 본 발명에 따른 듀얼 엑스레이장치를 개략적으로 도시한 사시도와 듀얼 엑스레이장치의 분해 사시도에 관한 것이다. 1 and 2 relates to a perspective view schematically showing a dual X-ray apparatus according to the present invention and an exploded perspective view of the dual X-ray apparatus.

듀얼 엑스레이장치(1)는 몸체유닛(10)과 듀얼 엑스레이 소스유닛(20) 및 애노드 유닛(30)을 포함하며, 바람직하게는 중공형의 몸체유닛(10)과, 몸체유닛(10)의 일측에 위치하며, 전자(E)를 방출하는 듀얼 엑스레이 소스유닛(20) 및 듀얼 엑스레이 소스유닛(20)과 마주하도록 몸체유닛(10)에 위치하며, 전자(E)와의 충돌에 의해 발생하는 엑스선(L) 또는 광(L)을 몸체유닛(10)의 외부로 안내하는 애노드 유닛(30)으로 구성된다.The dual X-ray apparatus 1 includes a body unit 10, a dual X-ray source unit 20, and an anode unit 30, preferably a hollow body unit 10 and one side of the body unit 10 Located on the body unit 10 to face the dual X-ray source unit 20 and the dual X-ray source unit 20 that emit electrons (E), and X-rays generated by collision with the electrons (E) L) or light (L) is composed of an anode unit 30 that guides the body unit 10 to the outside.

몸체유닛(10)은 내부에 공간이 형성된 중공형으로 마련되어, 몸체유닛(10)의 하단에는 듀얼 엑스레이 소스유닛(20)이 위치하고, 상단에는 애노드 유닛(30)이 위치하게 된다. 몸체유닛(10)은 몸체유닛(10)의 측면부(12)가 듀얼 엑스레이 소스유닛(20)과 결합하게 되며, 측면부(12)는 듀얼 엑스레이 소스유닛(20)의 형상과 대응하는 곡면의 원통형을 형성한다.The body unit 10 is provided in a hollow shape with a space formed therein, and the dual X-ray source unit 20 is located at the bottom of the body unit 10, and the anode unit 30 is located at the top. In the body unit 10, the side portion 12 of the body unit 10 is combined with the dual X-ray source unit 20, and the side portion 12 has a curved cylindrical shape corresponding to the shape of the dual X-ray source unit 20. To form.

측면부(12)는 세라믹이나 유리와 같은 비금속인 절연 재질로 이루어져 있으며, 듀얼 엑스레이 소스유닛(20)으로부터 발생되는 전자와의 전기적 간섭을 방지하는 재질을 사용하는 것이 좋을 것이다.The side portion 12 is made of an insulating material that is a non-metal such as ceramic or glass, and it would be better to use a material that prevents electrical interference with electrons generated from the dual X-ray source unit 20.

한편, 측면부(12)는 몸체유닛(10)의 내부에서 외부로 방출되는 엑스선의 출입구(미도시)가 구비되어 있다. 출입구는 유리재질로, 표면에 베릴륨, 알루미늄 등의 금속재질 또는 형광물질이 도포될 수 있다. 즉, 출입구가 금속재질로 도포될 경우에는 소정의 파장 이하의 엑스선만 방출될 수 있도록 필터링이 이루어지며, 형광물질로 도포될 경우에는 가시광선만 방출된다. 출입구는 반드시 유리재질을 사용하거나, 금속재질 또는 형광물질을 도포할 필요는 없을 것이며, 상황에 따라 얼마든지 다른 재질을 사용할 수 있을 것이다.On the other hand, the side portion 12 is provided with an exit (not shown) of X-rays emitted from the inside of the body unit 10 to the outside. The doorway is made of glass, and metal or fluorescent materials such as beryllium and aluminum may be applied to the surface. That is, when the door is coated with a metal material, filtering is performed so that only X-rays having a predetermined wavelength or less are emitted, and when applied with a fluorescent material, only visible light is emitted. It is not necessary to use a glass material, a metal material or a fluorescent material for the doorway, and other materials may be used depending on the situation.

듀얼 엑스레이 소스유닛(20)은 몸체유닛(10)에 구비되어, 전자(E)를 방출하는 것으로, 듀얼 엑스레이 소스유닛(20)에 마련된 단차(27)에 몸체유닛(10)의 측면부(12)가 삽입되어 결합하게 된다. 듀얼 엑스레이 소스유닛(20)에 마련된 단차(27)는 전자를 발생시키는 소스부(22)(23)가 위치하는 포커싱부(24)와 포커싱부(24)의 외주면을 감싸는 외벽이 구비된 포커싱 몸체(26) 사이에 형성된다. 상세하게는 포커싱부(24)의 외주면을 외벽으로 둘러싸며, 포커싱부(24)와 외벽이 이격되게 위치하여 마련되는 소정의 간격에 단차(27)가 형성된다. 이때, 단차(27)의 간격은 몸체유닛(10)의 측면부(12)가 삽입되어 결합할 수 있도록 측면부(12)의 두께와 대응할 수 있을 정도의 너비로 이루어지는 것이 좋을 것이다.The dual X-ray source unit 20 is provided in the body unit 10 to emit electrons (E), and the side portion 12 of the body unit 10 is provided in the step 27 provided in the dual X-ray source unit 20. Is inserted and combined. The step 27 provided in the dual X-ray source unit 20 is a focusing body having an outer wall surrounding the outer peripheral surface of the focusing unit 24 and the focusing unit 24 in which the source units 22 and 23 for generating electrons are located. It is formed between 26. Specifically, the outer peripheral surface of the focusing unit 24 is surrounded by an outer wall, and the step 27 is formed at a predetermined interval provided by the focusing unit 24 and the outer wall being spaced apart. At this time, the gap of the step 27 will be preferably made of a width sufficient to correspond to the thickness of the side portion 12 so that the side portion 12 of the body unit 10 can be inserted and coupled.

애노드 유닛(30)은 듀얼 엑스레이 소스유닛(20)과 마주보며 몸체유닛(10)에 위치하여 전자(E)와 충돌에 의해 발생하는 엑스선(L) 또는 광(L)을 몸체유닛(10)의 외부로 방출할 수 있도록 안내한다. 애노드 유닛(30)은 듀얼 엑스레이 소스유닛(20)과 마주볼 수 있도록 몸체유닛(10)의 상단에 위치한다. The anode unit 30 faces the dual X-ray source unit 20 and is located in the body unit 10 to provide X-rays (L) or light (L) generated by collision with the electrons (E) of the body unit (10). It is guided to release to the outside. The anode unit 30 is located at the top of the body unit 10 so as to face the dual X-ray source unit 20.

애노드 유닛(30)으로부터 발생하는 광(L)은 애노드 유닛(30)의 재질과 듀얼 엑스레이 소스유닛(20) 및 애노드 유닛(30)에 인가되는 전압의 크기에 따라 엑스선, 가시광선, 적외선, 자외선 가운데 어느 하나가 될 수 있다. 본 실시예에서는 애노드 유닛(30)이 구리, 텡스텐, 망간, 몰리브덴 및 이의 조합으로 이루어진 금속 중 어느 하나의 재질로 형성되어 엑스선(L)을 발생시키는 것으로 예시한다.The light L generated from the anode unit 30 depends on the material of the anode unit 30 and the magnitude of the voltage applied to the dual X-ray source unit 20 and the anode unit 30, X-rays, visible rays, infrared rays, ultraviolet rays It can be either. In this embodiment, it is illustrated that the anode unit 30 is formed of any one of metal made of copper, tungsten, manganese, molybdenum, and combinations thereof to generate X-rays L.

한편, 듀얼 엑스레이 소스유닛(20) 및 애노드 유닛(30)과 결합한 몸체유닛(10)은 내부를 진공 분위기로 형성하기 때문에 몸체유닛(10)의 내부로 공기가 유입되지 않는 브레이징(brazing) 방식 또는 접착제를 이용한 결합을 하는 것이 좋을 것이다. 브레이징 방식은 금속판 사이에 놋쇠, 납, 은납 등을 접착제로 하여 이를 가열하고 용해시켜서 접합시키는 방식으로, 몸체유닛(10)과 듀얼 엑스레이 소스유닛(20)의 접합면, 몸체유닛(10)과 애노드 유닛(30)의 접합면을 브레이징 방식으로 결합하여 접합면 사이의 결합을 견고하게 할 수 있을 것이다.On the other hand, since the body unit 10 combined with the dual X-ray source unit 20 and the anode unit 30 forms an inside in a vacuum atmosphere, a brazing method in which air does not flow into the body unit 10 or It would be a good idea to use adhesive bonding. The brazing method is a method in which brass, lead, silver lead, etc. are used as an adhesive between metal plates to heat and melt them for bonding, and the bonding surface of the body unit 10 and the dual X-ray source unit 20, the body unit 10 and the anode The bonding surfaces of the units 30 may be combined in a brazing manner to secure the bonding between the bonding surfaces.

몸체부 내부의 진공 분위기를 지속적으로 유지할 수 있다면, 브레이징 또는 접착제를 이용한 결합 이외에도 다양한 방식의 결합 방법 및 수단을 사용할 수 있을 것이다.If the vacuum atmosphere inside the body part can be continuously maintained, various methods and means of bonding may be used in addition to bonding using brazing or adhesive.

도 3과 도 4는 각각 본 발명에 따른 듀얼 엑스레이 소스유닛의 CNT와 필라멘트가 안착하는 포커싱부에 대한 상세도를 보여주고 있다.3 and 4 show detailed views of the focusing unit on which the CNT and the filament of the dual X-ray source unit according to the present invention are respectively seated.

듀얼 엑스레이 소스유닛(20)은 전자를 방출하는 것으로, 소스부(22)(23)와 포커싱부(24), 포커싱 몸체(26) 및 전극부(28)를 포함한다. 상세하게는 전자를 발생시키는 소스부(22)(23)와, 소스부(22)(23)에 대응되는 형상으로 소스부(22)(23)가 삽입되어 정렬 가능하게 하는 적어도 두 개의 설치홈(243)(244)이 서로 다른 크기로 마련되어 있으며, 소스부(22)(23)로부터 발생된 전자(E)를 외부로 포커싱하는 포커싱부(24)와, 포커싱부(24)의 외주면을 외벽으로 둘러싸며, 포커싱부(24)와 외벽 사이에 단차(27)가 형성되는 포커싱 몸체(26) 및 설치홈(243)(244)에 위치하며, 소스부(22)(23)에 전압을 제공하여 소스부(22)(23)의 전자 방출을 선택적으로 사용 가능하게 하는 전극부(28)로 구성된다.The dual X-ray source unit 20 emits electrons, and includes a source part 22, 23, a focusing part 24, a focusing body 26, and an electrode part 28. Specifically, at least two installation grooves to be inserted into the source portion 22 and 23 to generate electrons and source portions 22 and 23 in a shape corresponding to the source portions 22 and 23 to be aligned. (243) (244) is provided in different sizes, the focusing unit 24 for focusing the electrons (E) generated from the source unit (22, 23) to the outside, and the outer peripheral surface of the focusing unit (24) Surrounded by, it is located in the focusing body 26 and the installation grooves 243, 244 where a step 27 is formed between the focusing part 24 and the outer wall, and provides a voltage to the source parts 22, 23 It consists of an electrode portion 28 to selectively enable the electron emission of the source portion 22, 23.

소스부(22)(23)는 포커싱부(24)에 구비된 설치홈(243)(244)에 안착하여 전자를 발생시키는 것으로, 바람직하게는 필라멘트 기반의 열전자 방출 방식 또는 탄소나노튜브(CNT) 기반의 전계 방출 방식 중 적어도 어느 하나의 방식으로 전자를 발생시킨다.The source parts 22 and 23 are settled in the installation grooves 243 and 244 provided in the focusing part 24 to generate electrons, preferably a filament-based thermal electron emission method or a carbon nanotube (CNT). Electrons are generated by at least one of the field emission methods.

포커싱부(24)는 서로 마주보는 상면이 절곡된 형상으로 연결되는 제1경사면(241)과 제2경사면(242)이 마련되며, 소스부(22)(23)가 설치홈(243)(244)에 삽입될 수 있도록 상기 제1경사면(241)과 상기 제2경사면(242)에 각각 제1설치홈(243)과 제2설치홈(244)이 형성된다.The focusing unit 24 is provided with a first inclined surface 241 and a second inclined surface 242, which are connected in a bent shape with the upper surfaces facing each other, and the source parts 22, 23 are provided with installation grooves 243, 244 ), the first installation groove 243 and the second installation groove 244 are formed in the first inclined surface 241 and the second inclined surface 242, respectively.

제1경사면(241)과 제2경사면(242)에는 제1소스부(22)와 제2소스부(23)가 각각 삽입 가능한 제1설치홈(243)과 제2설치홈(244)이 형성된다. 제1경사면(241)과 제2경사면(242)은 애노드 유닛(30)을 향해 제1소스부(22) 및 제2소스부(23)로부터 방출되는 전자(E)를 경사지게 안내하기 위해 제1소스부(22)와 제2소스부(23)를 경사지게 지지한다.The first inclined surface 241 and the second inclined surface 242 are formed with a first installation groove 243 and a second installation groove 244 into which the first source portion 22 and the second source portion 23 can be inserted, respectively. do. The first inclined surface 241 and the second inclined surface 242 are first to guide the electrons E emitted from the first source portion 22 and the second source portion 23 toward the anode unit 30 in an inclined manner. The source portion 22 and the second source portion 23 are supported obliquely.

제1설치홈(243)과 제2설치홈(244)은 제1소스부(22)와 제2소스부(23)와 대응되는 형상으로 이루어져 있어, 제1설치홈(243)과 제2설치홈(244)에 제1소스부(22)와 제2소스부(23)가 각각 삽입 정렬이 이루어진다.The first installation groove 243 and the second installation groove 244 are formed in a shape corresponding to the first source portion 22 and the second source portion 23, so that the first installation groove 243 and the second installation groove The first source portion 22 and the second source portion 23 are inserted and aligned in the groove 244, respectively.

제1설치홈(243)과 제2설치홈(244)은 제1설치홈(243)의 크기(a)와 제2설치홈(244)의 크기(b)가 서로 다르게 형성되어 있다. 본 실시예에서는 제1설치홈(243)의 크기(a)가 제2설치홈(244)의 크기(b)보다 작은 것을 예로 들어 설명하기로 한다. The first installation groove 243 and the second installation groove 244 have different sizes (a) of the first installation groove 243 and a size (b) of the second installation groove 244. In the present embodiment, the size (a) of the first installation groove 243 is smaller than the size (b) of the second installation groove 244 will be described as an example.

제1설치홈(243)의 크기(a)는 0.1mm이하로, 크기가 작거나, 얇은 두께의 피조사물을 촬영할 때 주로 사용되며, 제2설치홈(244)의 크기(b)는 0.3mm이상으로 형성되어 두께가 두꺼운 피조사물을 촬영할 때 사용하게 된다. 즉, 제1설치홈(243)과 제2설치홈(244)의 크기가 다르기 때문에 제1설치홈(243)과 제2설치홈(244)에 정렬되는 소스부(22)(23)도 그에 대응하는 크기로 이루어지며, 소스부(22)(23)의 크기에 따라 초점 전극에 차이가 발생하게 된다. 따라서 피조사물의 크기와 두께에 따라 정확한 초점 전극을 형성하는 설치홈(243)(244)과 소스부(22)(23)의 크기를 선택하여 피조사물을 촬영하면 될 것이다.The size (a) of the first installation groove 243 is 0.1 mm or less, and is mainly used when photographing an object having a small or thin thickness, and the size (b) of the second installation groove 244 is 0.3 mm. The above-described formation is used when photographing an object having a thick thickness. That is, since the sizes of the first installation groove 243 and the second installation groove 244 are different, the source parts 22 and 23 aligned with the first installation groove 243 and the second installation groove 244 are also provided. It is made of a corresponding size, and a difference occurs in the focus electrode according to the size of the source parts 22 and 23. Accordingly, the size of the installation grooves 243 and 244 and the source parts 22 and 23 that form the correct focus electrode according to the size and thickness of the object to be inspected may be photographed.

반드시 제1설치홈(243)이 제2설치홈(244)보다 작은 크기로 제작할 필요는 없을 것이며, 그 반대로 크기가 설정되어도 무관할 것이다. 다만 크기가 작은 설치홈(243)(244)은 0.1mm이하로 형성하고, 크기가 큰 설치홈(243)(244)은 0.3mm이상의 크기로 제작하는 것이 좋을 것이다.The first installation groove 243 does not necessarily need to be manufactured in a smaller size than the second installation groove 244, and vice versa. However, the smaller installation grooves 243 and 244 are formed to be 0.1 mm or less, and the larger installation grooves 243 and 244 may be manufactured to a size of 0.3 mm or more.

한편, 제1설치홈(243)과 제2설치홈(244)에 삽입되어 정렬 가능하게 되는 제1소스부(22)와 제2소스부(23)는 필라멘트와 탄소나노튜브(CNT)를 사용할 수 있을 것이다. 따라서 제1설치홈(243)과 제2설치홈(244)에는 각각 필라멘트와 탄소나노튜브(CNT) 중 어느 하나가 설치되어, 하나의 설치홈(243)(244)에는 필라멘트 기반의 열전자 방출 방식으로 전자를 방출하게 되고, 다른 하나의 설치홈(243)(244)에는 탄소나노튜브(CNT) 기반의 전계 방출 방식으로 전자를 방출하게 된다. On the other hand, the first source portion 22 and the second source portion 23, which are inserted into the first installation groove 243 and the second installation groove 244 for alignment, can use filaments and carbon nanotubes (CNT). Will be able to. Therefore, one of the filaments and the carbon nanotubes (CNT) is installed in the first installation groove 243 and the second installation groove 244, respectively, and the filament-based thermal electron emission method is provided in one installation groove 243 and 244. Electrons, and emits electrons to the other installation grooves 243 and 244 using a carbon nanotube (CNT)-based field emission method.

소스부(22)(23)인 필라멘트와 탄소나노튜브는 제1설치홈(243)과 제2설치홈(244) 어느 곳에서 삽입 정렬될 수 있을 것이며, 제1설치홈(243)과 제2설치홈(244)에 모두 필라멘트가 삽입 정렬되어, 필라멘트 기반의 열전자 방출 방식으로 전자를 방출시킬 수 있을 것이다. 또한 제1설치홈(243)과 제2설치홈(244)에 모두 탄소나노튜브가 삽입 정렬되어, 탄소나노튜브 기반의 전계 방출 방식으로 전자를 방출할 수도 있을 것이다.The filaments and carbon nanotubes that are the source parts 22 and 23 may be inserted and aligned at any of the first installation groove 243 and the second installation groove 244, and the first installation groove 243 and the second All of the filaments are inserted and aligned in the installation groove 244, so that electrons can be emitted through a filament-based thermal electron emission method. In addition, the carbon nanotubes are inserted and aligned in both the first installation groove 243 and the second installation groove 244, so that electrons may be emitted through a carbon nanotube-based field emission method.

전극부(28)는 소스부(22)(23)에 대응할 수 있도록 설치홈(243)(244)에 극성이 다른 두개의 전극이 배치되는 것으로, 바람직하게는 제1소스부(22) 또는 제2소스부(23)가 전자를 방출할 수 있도록 제1소스부(22)와 제2소스부(23)에 각각 제1전극부(28a)와 제2전극부(28b)가 연결되어 제1소스부(22)와 제2소스부(23)에 전원을 제공한다.The electrode portion 28 is provided with two electrodes having different polarities in the installation grooves 243 and 244 so as to correspond to the source portions 22 and 23, preferably the first source portion 22 or the second The first electrode portion 28a and the second electrode portion 28b are respectively connected to the first source portion 22 and the second source portion 23 so that the second source portion 23 can emit electrons. Power is provided to the source unit 22 and the second source unit 23.

예컨대, 제1전극부(28a)는 제1설치홈(243)에 삽입 정렬된 제1소스부(22)에 전원을 제공하기 위해 포커싱부(24) 하단을 통과하여 제1설치홈(243)을 향해 위치하게 되며, 극성이 다른 두 개의 전극이 배치된다. 또한 제1전극부(28a)는 제1소스부(22)에 마련된 단자와 탈부착 가능하게 결합하는 결합부(29)가 형성된다. 이로인해 제1소스부(22)가 수명이 다하거나 고장났을 경우, 듀얼 엑스레이 소스유닛(20)을 통째로 교체할 필요 없이, 고장난 제1소스부(22)만을 교체할 수 있어, 교체 비용을 절약할 수 있을 것이다.For example, the first electrode portion 28a passes through the lower end of the focusing portion 24 to provide power to the first source portion 22 inserted and aligned in the first installation groove 243 and the first installation groove 243. The two electrodes having different polarities are disposed. In addition, the first electrode portion 28a is formed with a coupling portion 29 that is detachably coupled to a terminal provided in the first source portion 22. Due to this, when the first source unit 22 has reached the end of its life or has failed, it is possible to replace only the failed first source unit 22 without having to completely replace the dual X-ray source unit 20, thereby saving replacement cost. You will be able to.

즉, 하나의 설치홈(243)(244)에는 극성이 서로 다른 적어도 두 개의 전극부(28)가 위치하게 되며, 소스부(22)(23)와 접촉하는 전극부(28)의 결합부(29)는 탈부착 가능하게 형성된 홈 또는 클립과 같은 형상으로 이루어져 있어, 소스부(22)(23)의 단자와 교체 가능하게 결합할 수 있다.That is, at least two electrode portions 28 having different polarities are positioned in one installation groove 243 and 244, and the coupling portion of the electrode portion 28 contacting the source portion 22 and 23 ( 29) is formed in a shape such as a groove or clip formed detachably, so that the terminals of the source portions 22 and 23 can be replaced interchangeably.

본 실시예에서는 포커싱부(24)에 형성된 제1경사면(241)과 제2경사면(242)에 각각 제1소스부(22)와 제2소스부(23)가 삽입 정렬되는 것으로, 두 개의 소스부(22)(23)를 사용하지만, 본 실시예 이외에도 경사면에 다수의 삽입홀을 마련하여 복수개의 소스부(22)(23)를 삽입 정렬하여 사용할 수도 있을 것이며, 포커싱부(24)에 복수개의 경사면을 상호 마주하는 절곡된 형상으로 형성하여 복수개의 소스부(22)(23)를 삽입 정렬하여 사용할 수도 있을 것이다.In this embodiment, the first source portion 22 and the second source portion 23 are respectively inserted and aligned in the first inclined surface 241 and the second inclined surface 242 formed in the focusing portion 24. Although the parts 22 and 23 are used, in addition to the present embodiment, a plurality of insertion holes may be provided on the inclined surface, and a plurality of source parts 22 and 23 may be inserted and aligned to be used, and a plurality of focusing parts 24 may be used. The inclined surfaces of the dogs may be formed in a bent shape facing each other to insert and align the plurality of source parts 22 and 23.

도 5는 본 발명에 따른 듀얼 엑스레이 소스유닛의 CNT가 안착하는 포커싱부의 분해 사시도이다.5 is an exploded perspective view of a focusing unit seated by the CNT of the dual X-ray source unit according to the present invention.

탄소나노튜브(CNT)를 기반으로 하는 소스부(22)(23)에 관한 것으로, 얇은 판상으로 형성되어 음극의 전극을 인가하는 음전극(230)과, 음전극(230)의 상부에 적층되어 전자(E)를 방출하는 에미터(231) 및 에미터(231)의 상부에 적층되어 에미터(231)로부터 전자(E)를 추출하는 얇은 판상의 패터닝 전극(233)을 포함한다.Regarding the source parts 22 and 23 based on carbon nanotubes (CNT), the negative electrode 230 is formed in a thin plate to apply an electrode of the negative electrode, and is stacked on top of the negative electrode 230 to form an electron ( It includes an emitter 231 that emits E) and a thin patterned electrode 233 that is stacked on top of the emitter 231 to extract electrons E from the emitter 231.

음전극(230)은 얇은 판상형의 박판으로 형성되며, 금속 재질로 이루어진다. 음전극(230)은 음극인 (-)전극으로 캐소드(cathode) 전극으로 칭할 수 있다. 듀얼 엑스레이장치(1)는 진공에서 작동하기 때문에, 캐소드 전극을 구성하는 재질로는 니켈, 철, 코발트 등의 합금이나 단일 전이금속을 사용할 수 있다.The negative electrode 230 is formed of a thin plate-shaped thin plate and is made of a metal material. The negative electrode 230 may be referred to as a cathode electrode as a negative electrode. Since the dual X-ray apparatus 1 operates in a vacuum, an alloy or a single transition metal such as nickel, iron, or cobalt may be used as a material constituting the cathode electrode.

에미터(231)는 방출되는 전자의 궤적을 조절하는 전극으로서, 나노 소재이면서 단위 면적당 높은 전류 방출이 가능한 탄소나노튜브와 같은 금속, 탄소계열 물질로 구성되는 전도성 물질을 포함한다.The emitter 231 is an electrode that controls the trajectory of emitted electrons, and is a nano material and includes a conductive material composed of a metal such as carbon nanotubes capable of emitting high current per unit area and a carbon-based material.

음전극(230)과 패터닝 전극(233)은 각각 금속재질의 메쉬(Mesh) 형상으로 형성되어, 전자(E)의 방출을 가이드할 수 있을 것이다. 음전극(230)과 패터닝 전극(233)에 형성된 메쉬는 금속망 사이의 다수의 홀이 형성되고, 홀의 형상이 육각형으로 형성되어 있다. 메쉬에 형성된 홀의 형상이 육각형으로 형성됨에 따라, 음전극(230)과 패터닝 전극(233)은 전자(E)를 효율적으로 추출하면서, 전자(E)가 금속망에 의하여 충돌되지 않고 안정적으로 배출되는 개구율이 극대화 될 수 있다.The negative electrode 230 and the patterning electrode 233 may be formed in a mesh shape of a metal material, respectively, to guide the emission of electrons E. In the mesh formed on the negative electrode 230 and the patterning electrode 233, a plurality of holes are formed between the metal meshes, and the shape of the holes is formed in a hexagonal shape. As the shape of the hole formed in the mesh is formed in a hexagonal shape, the negative electrode 230 and the patterning electrode 233 efficiently extract electrons (E), while the electrons (E) are not collided by the metal mesh and are discharged stably. This can be maximized.

메쉬에 형성된 홀의 형상은 반드시 육각형으로 한정하지 않으며, 다수의 원형 또는 사각형의 홀과 같은 다양한 형상으로 형성될 수 있을 것이다.The shape of the hole formed in the mesh is not necessarily limited to a hexagon, and may be formed in various shapes such as a plurality of circular or square holes.

한편, 에미터(231)의 상부인 에미터(231)와 패터닝 전극(233) 사이에는 커버홀(232a)이 관통 형성된 에미터 커버(232)가 적층되어 에미터(231)로부터 방출되는 전자(E)의 에지효과(edge effect)를 방지하여 전자(E)가 균일하게 추출될 수 있도록 가이드한다. 또한 에미터(231)와 에미터 커버(232)의 사이에는 제1절연홀(234a)이 관통 형성된 제1절연체(234)가 적층되며, 에미터 커버(232)와 패터닝 전극(233)의 사이에는 제2절연홀(235a)이 관통 형성된 제2절연체(235)가 적층된다. 그로 인해, 에미터(231), 에미터 커버(232), 패터닝 전극(233)의 사이가 제1절연체(234)와 제2절연체(237)에 의해 절연된다.On the other hand, between the emitter 231 that is the upper portion of the emitter 231 and the patterning electrode 233, an emitter cover 232 through which a cover hole 232a is formed is stacked and electrons emitted from the emitter 231 ( The edge effect of E) is prevented and guided so that the electron E can be uniformly extracted. In addition, between the emitter 231 and the emitter cover 232, a first insulator 234 through which a first insulating hole 234a is formed is stacked, and between the emitter cover 232 and the patterning electrode 233. A second insulator 235 through which the second insulator hole 235a is formed is stacked therein. Therefore, the first insulator 234 and the second insulator 237 are insulated between the emitter 231, the emitter cover 232, and the patterning electrode 233.

아울러, 음전극(230)의 하부에는 제1지지체(236)가 적층되어 지지되며, 제2절연체(235)의 상부에는 전자(E)가 방출될 수 있도록 개구(237a)가 관통 형성된 제2지지체(237)가 적층된다. 그로 인해, 소스부(22)(23)의 하부 및 상부가 제1지지체(236)와 제2지지체(237)에 의해 지지되어 보호된다.In addition, the first support 236 is stacked and supported on the lower portion of the negative electrode 230, and the second support (through which the opening 237a is formed through the second insulator 235 to allow electrons E to be released ( 237) are stacked. Therefore, the lower and upper portions of the source portions 22 and 23 are supported and protected by the first support 236 and the second support 237.

절연체(234)(237)와 지지체(236)(237)는 모두 세라믹 재질로 이루어져 있으며, 세라믹 이외에 다른 절연재질로 이루어져 있어도 무방할 것이다.The insulator 234, 237 and the support 236, 237 are both made of a ceramic material, and may be made of an insulating material other than ceramic.

한편, 음전극(230) 및 패터닝 전극(233)은 각각 음전극단자(230a) 및 패터닝 전극단자(233a)가 마련되어, 외부 전원과 연결된다. 음전극단자(230a)는 제1지지체(236)에 관통 형성된 전극홀을 통해 제1지지체(236)를 통과하여 포커싱부(24)의 내부와 연결 가능하다. 또한, 패터닝 전극(233)의 패터닝 전극단자(233a)는 제2절연체(235), 에미터 커버(232), 제1절연체(234) 및 제1지지체(236)에 관통 형성되어 상호 연통하는 전극홀을 통해 포커싱부(24)의 내부와 연결 가능하다. Meanwhile, the negative electrode 230 and the patterning electrode 233 are provided with a negative electrode terminal 230a and a patterning electrode terminal 233a, respectively, and are connected to an external power source. The negative electrode terminal 230a may be connected to the inside of the focusing unit 24 by passing through the first support 236 through an electrode hole formed through the first support 236. In addition, the patterning electrode terminal 233a of the patterning electrode 233 is formed through the second insulator 235, the emitter cover 232, the first insulator 234, and the first support 236 to communicate with each other. It is possible to connect to the inside of the focusing unit 24 through the hole.

이상과 같은 소스부(22)(23)는 제1지지체(236)에 지지된 음전극(230)에 음극의 전극이 인가되면, 에미터(231)로부터 전자(E)가 방출된다. 에미터(231)로부터 방출된 전자(E)는 제1절연체(234)의 제1절연홀(234a), 에미터 커버(232)의 커버홀(232a), 제2절연체(235)의 제2절연홀(235a), 패터닝 전극(233) 및 제2지지체(237)의 개구(237a)를 순차적으로 통과하여 방출된다.As described above, when the negative electrode 230 is applied to the negative electrode 230 supported on the first support 236, the source units 22 and 23 emit electrons E from the emitter 231. The electron E emitted from the emitter 231 is the first insulator hole 234a of the first insulator 234, the cover hole 232a of the emitter cover 232, and the second of the second insulator 235. The insulating hole 235a, the patterning electrode 233, and the opening 237a of the second support 237 are sequentially passed through and discharged.

도 6은 도 1에 도시된 듀얼 엑스레이장치에 대한 A-A'의 단면도에 관한 것이다.FIG. 6 is a cross-sectional view of A-A' for the dual X-ray apparatus shown in FIG. 1.

듀얼 엑스레이 소스유닛(20)에는 적어도 두 개의 소스부(22)(23)가 구비되어 있으며, 전극부(28)에서 소스부(22)(23)로 전압을 제공하면, 소스부(22)(23)는 전자를 발생시키게 된다. 소스부(22)(23)는 진공상태의 몸체유닛(10) 내부에서 필라멘트를 가열하여 발생된 열을 고전압으로 가속하는 열전자 방출 방식 및 탄소나노튜브 기반의 전계 방출(field emission) 중 적어도 어느 하나의 방식이 채용되어, 전자(E)를 방출한다.The dual X-ray source unit 20 is provided with at least two source portions 22 and 23, and when a voltage is supplied from the electrode portion 28 to the source portion 22 and 23, the source portion 22 and ( 23) generates electrons. The source parts 22 and 23 are at least one of a heat electron emission method for accelerating heat generated by heating the filament inside the body unit 10 in a vacuum to a high voltage and a carbon nanotube-based field emission. The method of is adopted to emit electrons (E).

방출된 전자(E)는 애노드 유닛(30)으로 향하게 되며, 애노드 유닛(30)의 반사면(32)과 충돌한 전자(E)는 엑스선(L) 또는 광(L)으로 전환되어 몸체유닛(10)의 윈도우를 통과하여 외부로 향하게 된다. 이때 반사면(32)은 듀얼 엑스레이 소스유닛(20)과 대면하게 되어, 전자(E)와 충돌에 의해 엑스선(L) 또는 광(L)을 발생시키게 된다. 또한 반사면(32)은 윈도우를 향해 경사지게 형성되어 있어, 엑스선(L) 또는 광(L)을 윈도우를 통해 외부로 향하도록 안내한다.The emitted electrons E are directed to the anode unit 30, and the electrons E colliding with the reflective surface 32 of the anode unit 30 are converted into X-rays L or light L, and the body unit ( It passes through the window of 10) and goes outward. At this time, the reflective surface 32 faces the dual X-ray source unit 20, thereby generating X-rays L or light L by collision with the electrons E. In addition, the reflective surface 32 is formed to be inclined toward the window, guiding the X-ray (L) or light (L) to the outside through the window.

애노드 유닛(30)의 반사면(32)이 금속이 아닌 유리와 같은 재질로 형성될 경우, 전자(E)와의 충돌에 의해 발생하는 광(L)을 조명으로 사용할 수도 있을 것이다.When the reflective surface 32 of the anode unit 30 is formed of a material such as glass rather than metal, light L generated by collision with the electrons E may be used as illumination.

한편, 듀얼 엑스레이 소스유닛(20)에는 적어도 두 개의 소스부(22)(23)가 구비되어 있으며, 소스부(22)(23)는 필라멘트 또는 탄소나노튜브 중 적어도 하나를 선택하여 사용할 수 있을 것이다. 바람직하게는 포커싱부(24)에 구비된 제1설치홈(243)과 제2설치홈(244)의 크기가 서로 다르기 때문에 설치홈(243)(244)에 삽입 정렬되는 소스부(22)(23)의 크기도 다를 것이며, 크기가 다른 소스부(22)(23)는 피조사물의 두께나 크기에 따라 선택적으로 사용될 수 있을 것이다.Meanwhile, the dual X-ray source unit 20 is provided with at least two source parts 22 and 23, and the source parts 22 and 23 may be used by selecting at least one of filaments or carbon nanotubes. . Preferably, since the sizes of the first installation groove 243 and the second installation groove 244 provided in the focusing portion 24 are different from each other, the source portion 22 is inserted and aligned in the installation grooves 243 and 244 ( The size of 23) will also be different, and the source parts 22 and 23 having different sizes may be selectively used according to the thickness or size of the irradiated object.

즉, 포커싱부(24)에서는 적어도 하나의 소스부(22)(23)가 전자를 방출하며, 방출된 전자는 애노드 유닛(30)과 충돌로 인해 전환된 엑스선(L) 또는 광(L)이 피조사물을 향하게 된다. That is, in the focusing unit 24, at least one source unit 22, 23 emits electrons, and the emitted electrons are X-rays L or light L converted due to collision with the anode unit 30. It will be directed to the object.

듀얼 엑스레이 소스유닛(20)은 항상 하나의 소스부(22)(23)에서만 전자가 방출될 필요는 없을 것이며, 사용자의 편의에 따라 포커싱부(24)에 구비된 모든 소스부(22)(23)에서 전자가 방출될 수 있도록 할 수도 있을 것이다. 또는 사용자의 선택에 따라 하나 또는 그 이상의 소스부(22)(23)를 선택하여 전자가 방출될 수 있도록 할 수 있을 것이다.The dual X-ray source unit 20 does not always need to emit electrons from only one source unit 22 and 23, and all source units 22 and 23 provided in the focusing unit 24 according to user convenience ). Alternatively, one or more source units 22 and 23 may be selected according to a user's selection so that electrons can be emitted.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.The present invention described above is not limited by the above-described embodiments and accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes are possible within the scope of the present invention without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those who have the knowledge of.

1 : 듀얼 엑스레이장치 10 : 몸체유닛
12 : 측면부 20 : 듀얼 엑스레이 소스유닛
22 : 제1소스부 23 : 제2소스부
24 : 포커싱부 26 : 포커싱 몸체
27 : 단차 28 : 전극부
29 : 결합부 30 : 애노드 유닛
32 : 반사면1: Dual X-ray device 10: Body unit
12: Side 20: Dual X-ray source unit
22: first source section 23: second source section
24: focusing unit 26: focusing body
27: step 28: electrode portion
29: engaging portion 30: anode unit
32: reflective surface

Claims (13)

전자를 발생시키는 소스부;
상기 소스부에 대응되는 형상으로 상기 소스부가 삽입되어 정렬 가능하게 하는 적어도 두 개의 설치홈이 서로 다른 크기로 마련되며, 상기 설치홈에 삽입 정렬된 상기 소스부 중 어느 하나를 선택적으로 사용하여 발생된 상기 전자를 외부로 포커싱하는 포커싱부;
상기 포커싱부의 외주면을 외벽으로 둘러싸는 포커싱 몸체; 및
상기 설치홈에 위치하며, 상기 소스부에 전압을 제공하여 상기 소스부의 전자 방출을 가능하게 하는 전극부;
를 포함하는 듀얼 엑스레이 소스유닛.A source unit that generates electrons;
At least two installation grooves are provided in different sizes to allow the source portion to be inserted and aligned in a shape corresponding to the source portion. A focusing unit for focusing the electrons outside;
A focusing body surrounding the outer peripheral surface of the focusing part with an outer wall; And
An electrode portion positioned in the installation groove and providing voltage to the source portion to enable electron emission of the source portion;
Dual X-ray source unit comprising a. 제1항에 있어서,
상기 소스부는 필라멘트 기반의 열전자 방출 방식 또는 탄소나노튜브(CNT) 기반의 전계 방출 방식 중 적어도 어느 하나의 방식으로 상기 전자를 발생시키는 듀얼 엑스레이 소스유닛.According to claim 1,
The source unit is a dual X-ray source unit for generating the electrons in at least one of a filament-based thermal electron emission method or a carbon nanotube (CNT)-based field emission method. 제1항에 있어서,
상기 포커싱부는,
서로 마주보는 상면이 절곡된 형상으로 연결되는 제1경사면과 제2경사면이 마련되며, 상기 소스부가 상기 설치홈에 삽입될 수 있도록 상기 제1경사면과 상기 제2경사면에 각각 제1설치홈과 제2설치홈이 형성되는 듀얼 엑스레이 소스유닛.According to claim 1,
The focusing unit,
A first inclined surface and a second inclined surface are provided in which the upper surfaces facing each other are connected in a bent shape, and the first and second inclined surfaces are respectively provided in the first inclined surface and the second inclined surface so that the source part can be inserted into the installation groove. 2 Dual X-ray source unit with installation groove. 제1항에 있어서,
상기 포커싱 몸체는,
상기 외벽이 상기 포커싱부와 이격된 간격을 형성하며 둘러싸고 있으며, 상기 간격에 단차가 형성되는 듀얼 엑스레이 소스유닛.According to claim 1,
The focusing body,
A dual X-ray source unit in which the outer walls surround and form a spaced apart portion from the focusing portion, and a step is formed in the gap. 제1항에 있어서,
상기 전극부는 상기 소스부에 대응할 수 있도록 상기 설치홈을 향해 상기 포커싱부의 일면을 통과하며, 상기 설치홈에 극성이 다른 두개의 전극이 배치되는 것을 특징으로 하는 듀얼 엑스레이 소스유닛.According to claim 1,
The electrode unit passes through one surface of the focusing unit toward the installation groove so as to correspond to the source unit, and the dual X-ray source unit, characterized in that two electrodes having different polarities are disposed in the installation groove. 제5항에 있어서,
상기 전극부는 상기 소스부에 마련된 단자와 탈부착 가능하게 결합하는 결합부가 형성되어 상기 소스부의 교체 사용을 가능하게 하는 듀얼 엑스레이 소스유닛.The method of claim 5,
The electrode portion is a dual X-ray source unit to form a coupling portion detachably coupled to the terminal provided in the source portion to enable the replacement of the source portion. 중공형의 몸체유닛;
상기 몸체유닛의 일측에 위치하며, 전자를 방출하는 듀얼 엑스레이 소스유닛; 및
상기 듀얼 엑스레이 소스유닛과 마주하도록 상기 몸체유닛에 위치하며, 상기 전자와 충돌에 의해 발생하는 엑스선 또는 광을 상기 몸체유닛의 외부로 안내하는 애노드 유닛;
을 포함하며,
상기 듀얼 엑스레이 소스유닛은,
전자를 발생시키는 소스부;
상기 소스부에 대응되는 형상으로 상기 소스부가 삽입되어 정렬 가능하게 하는 적어도 두 개의 설치홈이 서로 다른 크기로 마련되며, 상기 설치홈에 삽입 정렬된 상기 소스부 중 어느 하나를 선택적으로 사용하여 발생된 상기 전자를 외부로 포커싱하는 포커싱부;
상기 포커싱부의 외주면을 외벽으로 둘러싸며, 상기 포커싱부와 외벽이 이격되게 위치하여 마련되는 간격에 단차가 형성되는 포커싱 몸체; 및
상기 설치홈에 위치하며, 상기 소스부에 전압을 제공하여 상기 소스부의 전자 방출을 가능하게 하는 전극부;
를 포함하며,
상기 몸체유닛과 결합하는 상기 듀얼 엑스레이 소스유닛은 상기 몸체유닛의 외주면이 상기 포커싱 몸체에 형성되는 단차에 삽입 결합하는 듀얼 엑스레이장치.Hollow body unit;
A dual X-ray source unit located on one side of the body unit and emitting electrons; And
An anode unit positioned on the body unit to face the dual X-ray source unit and guiding X-rays or light generated by collision with the electrons to the outside of the body unit;
It includes,
The dual X-ray source unit,
A source unit that generates electrons;
At least two installation grooves are provided in different sizes to allow the source portion to be inserted and aligned in a shape corresponding to the source portion, and generated by selectively using any one of the source portions inserted and aligned in the installation groove. A focusing unit for focusing the electrons outside;
A focusing body surrounding the outer circumferential surface of the focusing portion with an outer wall, and having a step formed at a gap provided by the focusing portion and the outer wall being spaced apart; And
An electrode portion positioned in the installation groove and providing voltage to the source portion to enable electron emission of the source portion;
It includes,
The dual X-ray source unit coupled to the body unit is a dual X-ray device that is inserted into and coupled to a step in which the outer peripheral surface of the body unit is formed in the focusing body. 제7항에 있어서,
상기 몸체유닛과 결합하는 상기 듀얼 엑스레이 소스유닛 및 상기 애노드 유닛은 브레이징 결합하게 되며,
상기 듀얼 엑스레이 소스유닛 및 상기 애노드 유닛이 결합된 상기 몸체유닛은 내부를 진공 분위기로 형성하는 듀얼 엑스레이장치.The method of claim 7,
The dual X-ray source unit and the anode unit coupled to the body unit are brazed,
The dual X-ray source unit and the anode unit is combined with the body unit dual X-ray apparatus to form the inside in a vacuum atmosphere. 제7항에 있어서,
상기 소스부는 필라멘트 기반의 열전자 방출 방식 및 탄소나노튜브(CNT) 기반의 전계 방출 방식 중 적어도 어느 하나의 방식으로 상기 전자를 발생시키는 듀얼 엑스레이장치.The method of claim 7,
The source unit is a dual X-ray apparatus for generating the electrons in at least one of a filament-based thermal electron emission method and a carbon nanotube (CNT)-based field emission method. 제7항에 있어서,
상기 포커싱부는,
서로 마주보는 상면이 절곡된 형상으로 연결되는 제1경사면과 제2경사면이 마련되며, 상기 소스부가 상기 설치홈에 삽입될 수 있도록 상기 제1경사면과 상기 제2경사면에 각각 제1설치홈과 제2설치홈이 형성되는 듀얼 엑스레이장치.The method of claim 7,
The focusing unit,
A first inclined surface and a second inclined surface are provided in which the upper surfaces facing each other are connected in a bent shape, and the first and second inclined surfaces are respectively provided in the first inclined surface and the second inclined surface so that the source part can be inserted into the installation groove. 2 Dual X-ray device where the installation groove is formed. 제7항에 있어서,
상기 전극부는 상기 소스부에 대응할 수 있도록 상기 설치홈을 향해 상기 포커싱부의 일면을 통과하며, 상기 설치홈에 극성이 다른 두개의 전극이 배치되는 것을 특징으로 하는 듀얼 엑스레이장치.The method of claim 7,
The electrode portion passes through one surface of the focusing portion toward the installation groove so as to correspond to the source portion, the dual X-ray apparatus, characterized in that two electrodes having different polarities are disposed in the installation groove. 제11항에 있어서,
상기 전극부는 상기 소스부에 마련된 단자와 탈부착 가능하게 결합하는 결합부가 형성되어 상기 소스부의 교체를 가능하게 하는 듀얼 엑스레이장치.The method of claim 11,
The electrode unit is a dual X-ray apparatus that allows a replacement portion of the source portion is formed by a coupling portion detachably coupled to the terminal provided in the source portion. 제7항에 있어서,
상기 몸체유닛과 결합하는 상기 듀얼 엑스레이 소스유닛 및 상기 애노드 유닛의 접합면은 브레이징(brazing) 방식에 의하여 결합되는 듀얼 엑스레이장치.The method of claim 7,
The dual X-ray apparatus coupled to the body unit and the bonding surface of the anode unit and the anode unit are combined by a brazing method.
KR1020180167139A 2018-12-21 2018-12-21 Dual x-ray source unit and dual x-ray apparatus KR102131665B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180167139A KR102131665B1 (en) 2018-12-21 2018-12-21 Dual x-ray source unit and dual x-ray apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180167139A KR102131665B1 (en) 2018-12-21 2018-12-21 Dual x-ray source unit and dual x-ray apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200077854A true KR20200077854A (en) 2020-07-01
KR102131665B1 KR102131665B1 (en) 2020-07-08

Family

ID=71601070

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180167139A KR102131665B1 (en) 2018-12-21 2018-12-21 Dual x-ray source unit and dual x-ray apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102131665B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220058109A (en) * 2020-10-30 2022-05-09 주식회사 씨에이티빔텍 Electron emission source and x-ray apparatus having the same

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002216682A (en) * 2001-01-22 2002-08-02 Toshiba Corp High voltage cable apparatus for x ray tube and x ray tube apparatus using the same
JP2012530340A (en) * 2009-06-17 2012-11-29 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ X-ray tube for generating two focal spots and medical device having the same
KR101341672B1 (en) 2012-07-27 2013-12-16 경희대학교 산학협력단 A digital x-ray source
KR101701047B1 (en) 2015-07-09 2017-01-31 경희대학교 산학협력단 Digital x-ray source
KR20170081867A (en) * 2016-01-05 2017-07-13 주식회사바텍 Field Emission X-Ray Source Device
JP2018060621A (en) * 2016-10-03 2018-04-12 東芝電子管デバイス株式会社 X-ray tube
JP2018186070A (en) * 2017-01-26 2018-11-22 ヴァレックス イメージング コーポレイション Cathode head with multiple filaments for high emission focal spot

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002216682A (en) * 2001-01-22 2002-08-02 Toshiba Corp High voltage cable apparatus for x ray tube and x ray tube apparatus using the same
JP2012530340A (en) * 2009-06-17 2012-11-29 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ X-ray tube for generating two focal spots and medical device having the same
KR101341672B1 (en) 2012-07-27 2013-12-16 경희대학교 산학협력단 A digital x-ray source
KR101701047B1 (en) 2015-07-09 2017-01-31 경희대학교 산학협력단 Digital x-ray source
KR20170081867A (en) * 2016-01-05 2017-07-13 주식회사바텍 Field Emission X-Ray Source Device
JP2018060621A (en) * 2016-10-03 2018-04-12 東芝電子管デバイス株式会社 X-ray tube
JP2018186070A (en) * 2017-01-26 2018-11-22 ヴァレックス イメージング コーポレイション Cathode head with multiple filaments for high emission focal spot

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220058109A (en) * 2020-10-30 2022-05-09 주식회사 씨에이티빔텍 Electron emission source and x-ray apparatus having the same

Also Published As

Publication number Publication date
KR102131665B1 (en) 2020-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101810349B1 (en) Electron source, x-ray source and device using the x-ray source
KR101701047B1 (en) Digital x-ray source
US9728367B2 (en) Digital X-ray source
KR101876076B1 (en) Apparatus for digital light source
KR101916711B1 (en) X-Ray Generating Device Using Field Emission X-Ray Source
KR102047436B1 (en) X-ray source unit and x-ray apparatus
JP2010186694A (en) X-ray source, x-ray generation method, and method for manufacturing x-ray source
KR101986413B1 (en) Electron emission source unit and digital x-ray source
KR20160118637A (en) Field Emission X-Ray Source Device
KR101325210B1 (en) A vaccum-sealed miniature x-ray tube based on carbon nanotube field emitters
KR102131665B1 (en) Dual x-ray source unit and dual x-ray apparatus
KR20050090556A (en) A large-area shower electron beam irradiator with field emitters as an electron source
KR102316133B1 (en) Apparatus for generating x-ray using replaceable x-ray source cartridge
KR101862939B1 (en) Electron emission source unit and digital x-ray source
KR20210083040A (en) X-ray tube
KR102005638B1 (en) Bipolar digital x-ray apparatus
WO2011052971A2 (en) X-ray generating system using carbon nano-tube (cnt) yarn
JP5036376B2 (en) Electron beam irradiation device
KR101749858B1 (en) Apparatus for intergral digital light source
KR102324260B1 (en) X-ray source with carbon nano tube and gate linearly aligned to each other
KR20130049644A (en) X-ray tube using cold cathode
KR20160102748A (en) Field Emission X-Ray Source Device
KR20100005858A (en) X-ray generation apparatus using carbon nano-tube
KR102646636B1 (en) Field Emission X-ray Source
JP2002022899A (en) Electron beam irradiator

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant