KR101876076B1

KR101876076B1 - Apparatus for digital light source

Info

Publication number: KR101876076B1
Application number: KR1020160152490A
Authority: KR
Inventors: 안정선; 류제황; 여승준; 안영근; 박상준; 정재익; 민흥식
Original assignee: 경희대학교 산학협력단
Priority date: 2016-11-16
Filing date: 2016-11-16
Publication date: 2018-07-06
Also published as: KR20180055090A

Abstract

개시된 본 발명에 의한 디지털 광원장치는, 내부에 공간을 가지는 중공의 몸체유닛, 몸체유닛의 내부에서 전자를 방출하는 소스유닛, 소스유닛로부터 방출된 전자와의 충돌에 의해 엑스선 또는 광을 발생시켜 몸체유닛의 외부로 안내하는 애노드유닛을 포함하며, 몸체유닛과 애노드유닛은 상호 이종 접합되되, 몸체유닛의 외면을 따라 몸체유닛에 대해 애노드유닛이 접합된다. 이러한 구성에 의하면, 소스유닛이 내부에 마련된 몸체유닛 내부의 절연성을 향상시킬 수 있게 되어, 광학 효율 향상에 기여할 수 있게 된다. The digital light source apparatus according to the present invention includes a hollow body unit having a space therein, a source unit emitting electrons from the inside of the body unit, and an electron emitted from the source unit to generate X-rays or light, And an anode unit for guiding the outside of the unit, wherein the body unit and the anode unit are mutually heterojunctioned, and the anode unit is bonded to the body unit along the outer surface of the body unit. According to such a configuration, the source unit can improve the insulating property inside the body unit provided therein, contributing to improvement in optical efficiency.

Description

디지털 광원장치{APPARATUS FOR DIGITAL LIGHT SOURCE}[0001] APPARATUS FOR DIGITAL LIGHT SOURCE [0002]

본 발명은 디지털 광원장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 몸체유닛의 외면을 따라 애노드유닛을 이종 접합시킴으로써 내부의 광학 성능을 향상시킬 수 있는 디지털 광원장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a digital light source device, and more particularly, to a digital light source device capable of improving internal optical performance by hetero-bonding an anode unit along an outer surface of a body unit.

일반적으로 X선관(X-ray tube)은 X선을 발생시키기 위한 진공관이다. 이러한 X선관의 음극은 텅스텐 필라멘트로 형성되며, 전류에 의해 가열되어 열 전자를 방출시킨다. 이에 대하여, 수만 볼트 이상의 고전압이 X선관의 양극에 인가되면, 음극에서 방출된 전자류가 고속으로 양극을 향해서 운동한다. 이때, 전자류가 양극의 텅스텐, 몰리브덴 등으로 만든 대항극에 충돌하였을 때 가지고 있는 에너지를 X선으로 방출한다.Generally, an X-ray tube is a tube for generating X-rays. The cathode of such an X-ray tube is formed of a tungsten filament and is heated by an electric current to emit thermal electrons. On the other hand, when a high voltage of tens of thousands of volts or more is applied to the anode of the X-ray tube, the electron currents emitted from the cathode move toward the anode at high speed. At this time, the energy that the electron current has when it collides with the counter electrode made of tungsten or molybdenum of the anode is emitted as X-rays.

방사선학적 접근법을 이용한 인간의 인체 조직 관측은 비침습성 등의 장점으로 인류 문명에 큰 혜택을 주고 있다. 또한, 생명 공학 및 의학 계열의 방사선학적 접근법으로 인해, 수 밀리미터부터 수 마이크로미터 크기 조직의 관찰은 많은 연구 개발 활동 및 인류 보건 향상에 큰 기여를 하고 있다.The observation of human body tissue using radiological approach is very beneficial to human civilization because of advantages such as non - invasiveness. In addition, due to the radiological approach of biotechnology and medical science, observation of tissues ranging in size from a few millimeters to several micrometers has made a significant contribution to many R & D activities and human health improvement.

그러나, 종래의 마이크로미터 크기의 해상도를 갖는 방사선기기는 공간 분해능의 부족으로 미세 조직의 관측이 어려워 입자가속기를 활용한 거대한 방사광을 이용하여 관측해야 하는 한계가 있었다. 또한, 종래의 마이크로 엑스레이 장치는 필라멘트 기반의 전자 방출원을 사용함으로써, 방출 엑스레이 선량(flux)이 부족하여 다양한 영상 기기로의 응용에 한계가 있었다. 이에 따라, 근래에는 디지털 신호를 이용해 엑스레이를 촬영할 수 있는 다양한 연구가 지속적으로 이루어지고 있는 추세이다.
However, conventional radiation apparatuses having a micrometer-sized resolution have difficulties in observing microstructures due to a lack of spatial resolution, and thus, there has been a limitation in observing them using giant synchrotron radiation utilizing particle accelerators. In addition, since the conventional micro-X-ray apparatus uses a filament-based electron emission source, the emission x-ray dose is insufficient to be applied to various imaging apparatuses. Accordingly, in recent years, a variety of researches for photographing x-rays using digital signals have been continuously carried out.

국내등록특허 제10-1341672호(등록일: 2013.12.09)Korean Registered Patent No. 10-1341672 (Registered on December 19, 2013) 국내등록특허 제10-1070091호(등록일: 2011.09.27)Korean Registered Patent No. 10-1070091 (Registered on September 27, 2011)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 몸체유닛의 외면을 따라 애노드유닛과의 접합 포인트를 마련함으로써 몸체유닛 내부의 광학 성능을 향상시킬 수 있는 디지털 광원장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a digital light source device capable of improving the optical performance inside a body unit by providing junction points with the anode unit along the outer surface of the body unit .

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 디지털 광원장치는, 내부에 공간을 가지는 중공의 몸체유닛, 상기 몸체유닛의 내부에서 전자를 방출하는 소스유닛, 상기 소스유닛로부터 방출된 상기 전자와의 충돌에 의해 엑스선 또는 광을 발생시켜 상기 몸체유닛의 외부로 안내하는 애노드유닛을 포함하며, 상기 몸체유닛과 상기 애노드유닛은 상호 이종 접합되되, 상기 몸체유닛의 외면을 따라 상기 몸체유닛에 대해 상기 애노드유닛이 접합된다. According to an aspect of the present invention, there is provided a digital light source device including a hollow body unit having a space therein, a source unit emitting electrons from the inside of the body unit, And an anode unit for generating X-rays or light to guide the X-rays or light to the outside of the body unit, wherein the body unit and the anode unit are heterogeneously bonded to each other along the outer surface of the body unit, .

일측에 의하면, 상기 몸체유닛은 원형의 바닥부와 상기 바닥부에 대해 수직방향으로 연장되는 측부를 가지는 중공의 원통 형상을 가지며, 상기 소스유닛은 상기 바닥부에 설치되고, 상기 애노드유닛은 상기 소스유닛과 마주하도록 상기 몸체유닛 축부의 상부에 이종 접합될 수 있다. According to one aspect, the body unit has a hollow cylindrical shape having a circular bottom portion and a side extending in a direction perpendicular to the bottom portion, the source unit is installed on the bottom portion, May be bonded to the upper portion of the body unit shaft portion so as to face the unit.

일측에 의하면, 상기 몸체유닛은 바닥부로부터 수직 상방향으로 연장된 측부의 외면을 따라 내부를 향해 단차진 복수의 결합턱을 가지는 애노드 결합부가 마련되며, 상기 애노드유닛은 상기 애노드 결합부의 상기 복수의 결합턱 중 어느 하나의 결합턱에 이종 접합되되 다른 결합턱에 대해서는 이격될 수 있다. According to one aspect of the present invention, the body unit is provided with an anode coupling unit having a plurality of coupling jaws stepped inward along an outer surface of a side extending vertically upward from a bottom portion of the body unit, The coupling jaws may be bonded to any one of the coupling jaws, but may be spaced apart from the other coupling jaws.

일측에 의하면, 상기 애노드 결합부는 상기 몸체유닛의 측부로부터 내부를 향해 단차진 제1결합턱 및 상기 제1결합턱으로부터 상기 몸체유닛의 내부를 향해 단차진 제2결합턱을 가지며, 상기 애노드유닛은 상기 제1결합턱에 이종 접합되고 상기 제2결합턱에 대해서는 이격되도록 돌출된 결합돌기를 구비할 수 있다. According to one aspect of the present invention, the anode coupling unit has a first coupling jaw that is stepped inward from the side of the body unit, and a second coupling jaw that is stepped toward the inside of the body unit from the first coupling jaw, And a coupling protrusion which is differentially joined to the first coupling jaw and protruded to be spaced apart from the second coupling jaw.

일측에 의하면, 상기 제2결합턱과 결합돌기 사이에 상기 몸체유닛의 내부의 잔여가스를 흡입하는 게터(Getter)가 설치 가능하다. According to one aspect of the present invention, a getter for sucking residual gas inside the body unit can be installed between the second coupling jaw and the coupling protrusion.

일측에 의하면, 상기 애노드유닛은, 상기 전자와의 충돌에 의해 상기 광을 발생시켜 외부로 안내하는 반사면을 구비하는 애노드 및 상기 애노드를 지지하여 상기 몸체유닛에 대해 결합시키는 애노드 지지부재를 포함하며, 상기 애노드 지지부재는, 상기 애노드를 지지하는 지지체, 상기 지지체로부터 연장되어 상기 몸체유닛의 측부와 동일 외경을 가지는 지지 측벽 및, 상기 지지 측벽으로부터 연장되어 상기 제1결합턱에 결합되는 상기 결합돌기를 포함할 수 있다. According to one aspect of the present invention, the anode unit includes an anode having a reflecting surface for generating the light by collision with the electrons and guiding the light to the outside, and an anode supporting member for supporting the anode to couple the anode unit to the body unit The anode support member includes a support for supporting the anode, support side walls extending from the support body and having the same outer diameter as the side portion of the body unit, and connection protrusions extending from the support side wall, . &Lt; / RTI >

일측에 의하면, 상기 애노드는 구리, 텡스텐, 망간, 몰리브덴 및 이의 조합으로 이루어진 금속 중 어느 하나의 재질로 형성되며, 상기 반사면은 상기 애노드유닛과 동일 재질로 형성되거나 형광물질로 형성되어, 엑스선, 가시광선, 적외선, 자외선 중 적어도 어느 하나의 광을 발생시킬 수 있다. According to one aspect, the anode is formed of any one material selected from among copper, tungsten, manganese, molybdenum, and a combination thereof, and the reflective surface is formed of the same material as the anode unit or formed of a fluorescent material, , Visible light, infrared light, and ultraviolet light.

일측에 의하면, 상기 몸체유닛은 세라믹 재질로 형성되고 상기 애노드유닛은 금속 재질로 형성되되, 상기 몸체유닛의 외면을 따라 금속화(metallization)시켜 상기 몸체유닛과 상기 애노드유닛이 상호 이종 접합될 수 있다. According to one aspect of the present invention, the body unit is formed of a ceramic material, the anode unit is formed of a metal material, and the body unit and the anode unit are mutually bonded by metallization along the outer surface of the body unit .

일측에 의하면, 상기 몸체유닛은 바닥부와 상기 바닥부로부터 수직 상방향으로 연장된 측부를 가지되, 상기 바닥부와 측부는 연결부에 의해 상호 연결되며, 상기 연결부는, 상기 측부로부터 상기 몸체유닛의 내부를 향해 단차진 제1연결턱, 상기 제1연결턱으로부터 상기 몸체유닛의 내부를 향해 단차진 제2연결턱, 상기 바닥부로부터 상기 몸체유닛의 내부를 향해 단차진 제3연결턱 및, 상기 제1 및 제3연결턱에 접합되되, 상기 제2연결턱에 대해 이격되도록 마련되는 연결체를 포함할 수 있다. According to one aspect, the body unit has a bottom portion and a side extending vertically upward from the bottom portion, the bottom portion and the side portion being interconnected by a connecting portion, A second connecting jaw that is stepped toward the inside of the body unit from the first connecting jaw, a third connecting jaw which is stepped from the bottom toward the inside of the body unit, And a connecting member joined to the first and third connecting jaws and spaced apart from the second connecting jaw.

일측에 의하면, 상기 제2연결턱과 상기 연결체 사이의 이격된 간격에 상기 몸체유닛의 내부의 잔여가스를 흡입하는 게터(Getter)가 설치 가능하다. According to one aspect of the present invention, a getter for sucking residual gas inside the body unit may be installed at a spaced distance between the second connection step and the connecting body.

일측에 의하면, 상기 소스유닛은, 박판으로 형성되는 음극기판 전극, 상기 음극기판 전극의 상부에 위치하는 에미터, 상기 에미터의 상부에 위치하고, 박판으로 형성되는 게이트 전극 및 상기 에미터와 상기 애노드 유닛 사이에 위치하는 포커싱 전극을 포함하고, 상기 음극기판 전극 및 상기 게이트 전극 사이에는 박판으로 형성되는 제1절연부재가 구비되고, 상기 게이트 전극 및 상기 포커싱 전극 사이에는 박판으로 형성되는 제2절연부재가 구비될 수 있다. According to one aspect of the present invention, the source unit includes a cathode substrate electrode formed of a thin plate, an emitter positioned above the cathode substrate electrode, a gate electrode formed on the upper portion of the emitter and formed of a thin plate, And a second insulation member formed between the gate electrode and the focusing electrode, the second insulation member being formed as a thin plate between the gate electrode and the focusing electrode, May be provided.

일측에 의하면, 상기 음극기판 전극 및 상기 게이트 전극 가운데 적어도 하나는 일 부분이 절곡되어 연장되고, 외부 전원과 연결되는 전원 연결부를 구비할 수 있다. According to one aspect of the present invention, at least one of the cathode substrate electrode and the gate electrode may include a power connection part that is bent and extended at one portion and is connected to an external power source.

일측에 의하면, 상기 게이트 전극은 상기 제1절연부재에 의하여 지지되는 게이트 본체부와, 상기 게이트 본체부에서 절곡되어 연장되는 게이트 전원 연결부를 포함하고, 상기 게이트 본체부와 상기 게이트 전원 연결부는 한 몸으로 형성될 수 있다. According to one aspect of the present invention, the gate electrode includes a gate body portion supported by the first insulating member, and a gate power connection portion bent and extended from the gate body portion, wherein the gate body portion and the gate power- As shown in FIG.

일측에 의하면, 상기 게이트 본체부의 중앙부에는 전자가 진행할 수 있는 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀에는 금속 재질의 메쉬가 형성되며, 상기 메쉬는 상기 에미터에서 기설정된 간격만큼 이격될 수 있다. According to one aspect of the present invention, a through hole is formed in the central portion of the gate body to allow electrons to pass therethrough, and a metal mesh is formed in the through hole, and the mesh may be spaced apart from the emitter by a predetermined distance.

일측에 의하면, 상기 메쉬는 다수의 원형, 사각형 또는 육각형의 개구가 형성되는 벌집 형상으로 형성될 수 있다. According to one aspect, the mesh may be formed in a honeycomb shape in which a plurality of round, square or hexagonal openings are formed.

일측에 의하면, 상기 포커싱 전극에는 외부 전원과 연결되는 포커싱 전원 연결부가 구비되고, 상기 음극기판 전극의 일부분이 절곡되어 연장되고, 외부 전원과 연결되는 음극기판 전원 연결부를 형성하며, 상기 게이트 전극의 일부분이 절곡되어 연장되고, 외부 전원과 연결되는 게이트 전원 연결부를 형성하고, 상기 음극기판 전극의 하부에는 모듈 지지부가 결합되며, 상기 포커싱 전원 연결부, 상기 음극기판 전원 연결부, 상기 게이트 전원 연결부 가운데 적어도 하나는 상기 모듈 지지부를 관통하여 외부로 노출되며, 상기 모듈 지지부의 저면에는 상기 포커싱 전원 연결부, 상기 음극기판 전원 연결부, 상기 게이트 전원 연결부 가운데 적어도 하나와 브레이징 방식으로 결합되는 결합부재가 구비될 수 있다. According to one aspect of the present invention, the focusing electrode includes a focusing power connection part connected to an external power source, a portion of the cathode substrate electrode is bent and extended, and a cathode substrate power connection part connected to an external power source is formed. Wherein at least one of the focusing power connection unit, the negative electrode substrate power connection unit, and the gate power connection unit is connected to the module power supply unit, And a coupling member that is coupled to at least one of the focusing power source connection portion, the negative electrode substrate power connection portion, and the gate power connection portion by brazing may be provided on the bottom surface of the module support portion through the module support portion.

본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 디지털 광원장치는, 전자를 방출하는 소스유닛이 내부에 마련되는 몸체유닛 및 상기 소스유닛으로부터 방출된 상기 전자와의 충돌에 의해 엑스선 또는 광을 발생시켜 상기 몸체유닛의 외부로 안내하는 애노드유닛을 포함하며, 상기 몸체유닛은 비금속성 재질로 형성되고 상기 애노드유닛은 금속성 재질로 형성되어, 상기 애노드유닛이 상기 몸체유닛의 외면을 따라 이종 접합될 수 있다. A digital light source device according to a preferred embodiment of the present invention generates X-rays or light by collision between a body unit having a source unit for emitting electrons and an electron emitted from the source unit, And the anode unit may be formed of a metallic material, and the anode unit may be heterojunctioned along the outer surface of the body unit. The anode unit may be formed of a non-metallic material.

일측에 의하면, 상기 몸체유닛은 상기 소스유닛을 지지하는 바닥부에 대해 수직 상방향으로 연장된 측부의 외면을 따라 내부를 향해 단차진 복수의 결합턱을 가지는 애노드 결합부가 마련되며, 상기 애노드유닛은 상기 애노드 결합부의 상기 복수의 결합턱 중 어느 하나의 결합턱에 이종 접합되되 다른 결합턱에 대해서는 이격될 수 있다. According to one aspect, the body unit is provided with an anode coupling unit having a plurality of coupling jaws stepped inward along an outer surface of a side portion extending in a vertical upward direction with respect to a bottom portion supporting the source unit, The plurality of joining jaws of the anode coupling portion may be differentially bonded to the joining jaws of the plurality of joining jaws of the anode coupling portion.

일측에 의하면, 상기 몸체유닛의 상기 바닥부와 상기 측부는 연결부에 의해 상호 연결되며, 상기 연결부는, 상기 측부로부터 상기 몸체유닛의 내부를 향해 단차진 제1연결턱, 상기 제1연결턱으로부터 상기 몸체유닛의 내부를 향해 단차진 제2연결턱, 상기 바닥부로부터 상기 몸체유닛의 내부를 향해 단차진 제3연결턱 및 상기 제1 및 제3연결턱에 접합되되, 상기 제2연결턱에 대해 이격되도록 마련되는 연결체를 포함할 수 있다. According to one aspect of the present invention, the bottom portion and the side portion of the body unit are interconnected by a connecting portion, and the connecting portion includes a first connecting jaw which is stepped toward the inside of the body unit from the side portion, A second connecting jaw which is stepped toward the inside of the body unit, a third connecting jaw which is stepped toward the inside of the body unit from the bottom portion, and a second connecting jaw which is connected to the first and third connecting jaws, And may include a connecting body provided to be spaced apart.

일측에 의하면, 상기 제2결합턱과 상기 결합돌기 사이의 이격된 간격과, 상기 연결체와 제2연결턱 사이의 이격된 간격에 상기 몸체유닛의 내부의 잔여가스를 흡입하는 게터(Getter)가 각각 설치 가능하다.
According to one aspect of the present invention, a getter for sucking residual gas inside the body unit at a spaced distance between the second engaging jaw and the engaging projection and a spaced distance between the connecting body and the second connecting jaw Respectively.

상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의하면, 첫째, 애노드유닛이 몸체유닛의 외면을 따라 이종 접합됨으로써, 금속성 재질로 형성되는 애노드유닛이 비금속 재질로 형성되는 몸체유닛의 내면에 영향을 미치지 않게 된다. 즉, 소스유닛으로 인가되는 고전압의 전류가 몸체유닛의 내면을 따라 흐르더라도 금속성 재질의 애노드유닛의 접합 포인트에 대해 비간섭될 수 있어, 광학 성능을 향상시킬 수 있게 된다. According to the present invention having the above-described configuration, first, the anode unit is bonded to the outer surface of the body unit in a heterogeneous manner, so that the anode unit formed of a metallic material does not affect the inner surface of the body unit formed of a non-metallic material. That is, even if a high voltage current applied to the source unit flows along the inner surface of the body unit, it can be interfered with the junction point of the anode unit of the metallic material, thereby improving the optical performance.

둘째, 몸체유닛과 애노드유닛의 접합 포인트가 몸체유닛에 대해 소정 간격 이격되도록 마련됨으로써, 몸체유닛의 내면을 따라 전자의 경로를 길게 하여 절연성 향상에 기여할 수 있다. Second, since the junction points of the body unit and the anode unit are spaced apart from the body unit by a predetermined distance, the path of the electrons can be lengthened along the inner surface of the body unit, contributing to improvement in insulation.

셋째, 잔여가스를 흡입하여 몸체유닛의 내부로 유입됨을 차단함으로써, 기밀성 향상에 유리하다.
Third, it is advantageous to improve the airtightness by blocking the introduction of residual gas into the inside of the body unit.

도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 디지털 광원장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 절단하여 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 A영역을 확대하여 개략적으로 도시한 확대도이다.
도 4는 도 1에 도시된 소스유닛을 개략적으로 분해 도시한 분해 사시도이다.
도 5는 도 3에 분해 도시된 소스유닛을 다른 각도에서 바라본 분해 사시도이다. 그리고,
도 6은 도 2에 도시된 B영역을 확대하여 개략적으로 도시한 확대도이다. 1 is a perspective view schematically showing a digital light source device according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view schematically taken along the line II-II shown in FIG. 1. FIG.
3 is an enlarged view schematically showing an enlarged view of the area A shown in Fig.
4 is an exploded perspective view schematically illustrating the source unit shown in Fig.
FIG. 5 is an exploded perspective view of the source unit shown in FIG. 3, viewed from another angle. FIG. And,
6 is an enlarged view schematically showing an enlarged view of the area B shown in Fig.

이하, 본 발명의 바람직한 일 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 설명한다.
Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 디지털 광원장치를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 디지털 광원장치의 내부를 설명하기 위해 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 절단하여 개략적으로 도시한 단면도이다. FIG. 1 is a perspective view schematically showing a digital light source device according to a preferred embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1 for explaining the inside of the digital light source device. Sectional view.

도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 디지털 광원장치(1) 는 몸체유닛(10), 소스유닛(20) 및 애노드유닛(30)을 포함한다.
1 and 2, a digital light source device 1 according to a preferred embodiment of the present invention includes a body unit 10, a source unit 20, and an anode unit 30.

참고로, 본 발명에서 설명하는 디지털 광원장치(1)는 디지털 엑스레이 장치의 광원으로써 적용되는 디지털 엑스레이 소스인 것으로 도시 및 예시한다. 그러나, 꼭 이에 한정되지 않으며, 전자신호로 빛 에너지를 발생시키는 다양한 디지털 광원분야에 본 발명에 의한 디지털 광원장치(1)가 적용될 수 있음은 당연하다.
For reference, the digital light source device 1 described in the present invention is shown and exemplified as a digital x-ray source applied as a light source of a digital x-ray device. However, it is needless to say that the digital light source device 1 according to the present invention can be applied to various digital light source fields that generate light energy by electronic signals.

상기 몸체유닛(10)는 원통형 몸체로 형성되며, 내부가 진공인 중공으로 형성된다. 상기 몸체유닛(10)의 원반 형상을 가지는 바닥부(11)와 바닥부(11)에 대해 수직 상방향으로 연장되는 형상을 가지는 측부(12)를 가진다. The body unit 10 is formed as a cylindrical body and has a hollow interior. A bottom portion 11 having a disc shape and a side portion 12 having a shape extending vertically upward with respect to the bottom portion 11 of the body unit 10.

상기 몸체유닛(10)의 측부(12)에는 몸체유닛(10)의 내부에서 외부로 방출되는 엑스선(L)(도 2 참고)의 출입구인 윈도우(13)가 마련된다. 상기 윈도우(13)는 베릴륨, 알루미늄 등의 금속재질 또는 형광물질이 도포된 유리재질로 형성될 수 있다. 상기 윈도우(13)가 베릴륨 등의 금속 재질로 형성되는 경우에는, 소정 파장 이하의 엑스선(L)만 방출되도록 필터링될 수 있다. 또한, 상기 원도우(13)가 형광물질이 도포된 유리재질로 형성되는 경우에는 윈도우(13)를 통하여 가시광선이 방출될 수 있다. A window 13 serving as an entrance and exit of an X-ray L (see FIG. 2) emitted from the inside to the outside of the body unit 10 is provided on a side portion 12 of the body unit 10. The window 13 may be formed of a metallic material such as beryllium or aluminum or a glass material coated with a fluorescent material. When the window 13 is formed of a metal such as beryllium, it may be filtered so that only the x-rays L of a predetermined wavelength or less are emitted. In addition, when the window 13 is formed of a glass material coated with a fluorescent material, visible light may be emitted through the window 13.

한편, 도 3의 도시와 같이, 상기 몸체유닛(10)의 바닥부(11)와 측부(12)는 연결부(14)에 의해 상호 연결된다. 이러한 연결부(14)는 측부(12)로부터 몸체유닛(10)의 내부를 향해 단차진 제1연결턱(15), 제1연결턱(15)으로부터 몸체유닛(10)의 내부를 향해 단차진 제2연결턱(16), 바닥부(11)로부터 몸체유닛(10)의 내부를 향해 단차진 제3연결턱(17) 그리고, 제1 및 제3연결턱(15)(17)에 접합되는 연결체(18)를 포함한다. 3, the bottom portion 11 and the side portion 12 of the body unit 10 are connected to each other by a connecting portion 14. As shown in FIG. The connecting portion 14 is connected to the first connecting jaw 15 and the first connecting jaw 15 toward the inside of the body unit 10 from the side portion 12 toward the inside of the body unit 10, A second connecting jaw 16 and a third connecting jaw 17 which is stepped toward the inside of the body unit 10 from the bottom 11 and a connection jointed to the first and third connecting jaws 15, (18).

여기서, 상기 바닥부(11)와 측부(12)는 세라믹과 같은 비금속성 재질로 형성되며 연결체(18)는 금속성 재질로 형성됨으로써, 연결체(18)는 바닥부(11) 및 측부(12)에 대해 이종 접합된다. 또한, 상기 연결체(18)에는 접합되는 제1연결턱(15)과 제3연결턱(17)에 안착될 수 있도록 단턱진 제1 및 제2안착홈(18a)(18b)이 단차지게 형성된다. 그로 인해, 상기 연결체(18)가 제1 및 제3연결턱(15)(17)의 사이에 유동되지 않으며 정위치에 위치하도록 가이드될 수 있다.The bottom portion 11 and the side portion 12 are formed of a non-metallic material such as ceramic and the connecting body 18 is formed of a metallic material so that the connecting body 18 is divided into the bottom portion 11 and the side portions 12 ). &Lt; / RTI > The first connection step 15 and the third connection step 17 are connected to the connecting body 18 so that the stepped first and second mounting recesses 18a and 18b are stepped do. Thereby, the connecting body 18 can be guided so as not to flow between the first and third connecting jaws 15 and 17 and to be positioned in the correct position.

한편, 상기 연결체(18)는 제2연결턱(16)에 대해 이격되도록 마련된다. 이렇게 연결체(18)와 측부(12)의 제2연결턱(16) 사이의 이격된 공간으로 인해, 후술할 소스유닛(20)으로 인가되는 7만 볼트 이상의 고압의 전류가 연결체(18)를 통해 몸체유닛(10)의 내벽을 따라 흐름을 방지할 수 있게 된다. 즉, 상기 금속성 재질로 형성되는 연결체(18)가 몸체유닛(10)의 내부로 노출되지 않음으로써, 절연성을 확보할 수 있다. 아울러, 상기 연결체(18)와 제2연결턱(16) 사이의 간격으로 인해, 전류가 몸체유닛(10)의 내벽을 따라 흐르는 경로를 길게 하여 절연의 효과를 증대시킬 수 있다. On the other hand, the connecting body 18 is provided so as to be spaced apart from the second connecting step 16. Due to the spaced space between the connecting body 18 and the second connecting step 16 of the side part 12, a high voltage of at least 70,000 volts applied to the source unit 20, It is possible to prevent a flow along the inner wall of the body unit 10 through the opening. That is, the connection member 18 formed of the metallic material is not exposed to the interior of the body unit 10, thereby ensuring insulation. In addition, due to the distance between the connecting body 18 and the second connecting protrusion 16, a current flowing along the inner wall of the body unit 10 can be lengthened to enhance the insulation effect.

상기 소스유닛(20)은 몸체유닛(10)의 내부에서 전자(E)(도 2 참고)를 방출한다. 상기 소스유닛(20)은 엑스선(L)을 발생시키기 위해 전자(E)를 방출하는 전자방출 모듈 내지 전자총을 포함한다. 이러한 소스유닛(20)은 몸체유닛(10)의 바닥부(11)에 설치되어 상부에 위치하는 애노드유닛(30)을 향해 전자(E)를 방출한다. The source unit 20 emits electrons E (see FIG. 2) inside the body unit 10. The source unit 20 includes an electron emission module or an electron gun that emits electrons E to generate X-rays L. The source unit 20 is installed on the bottom portion 11 of the body unit 10 and emits electrons E toward the anode unit 30 positioned at the top.

참고로, 상기 소스유닛(20)은 진공 상태에서 작동된다. 이를 위해, 도 2의 도시와 같이, 상기 몸체유닛(10) 내부에 마련된 소스유닛(20)의 일측에는 산소, 질소 등과 같은 불순물을 화학적으로 흡착시켜 진공시키는 진공수단(20a)이 마련된다. 상기 진공수단(20a)은 전자의 진행방향을 방해하는 것을 방지하기 위해 상기 소스유닛(20)의 하부에 배치됨이 좋다. For reference, the source unit 20 is operated in a vacuum state. 2, a vacuum unit 20a is provided at one side of the source unit 20 provided inside the body unit 10 to chemically adsorb and purge impurities such as oxygen, nitrogen, and the like. The vacuum means 20a may be disposed at a lower portion of the source unit 20 to prevent the traveling direction of the electrons from being disturbed.

이러한 소스유닛(20)은 음극 전자를 발생시키는 음극 전극, 음극 전자를 방출 및 추출하여 애노드유닛(30)으로 전자(E)를 포커싱시키는 디지털 소스이다. 이러한 소스유닛(20)의 구체적인 구성이 도 3 및 도 4에 도시된다. The source unit 20 is a digital source for emitting and extracting cathode electrons, cathode electrons, which generate cathode electrons, and focusing the electrons E to the anode unit 30. [ The specific configuration of such a source unit 20 is shown in Figs. 3 and 4. Fig.

도 3 및 도 4를 참고하면, 상기 소스유닛(20)은 얇은 판상으로 형성되는 음극기판 전극(23)과, 음극기판 전극(23)의 상부에 위치하는 에미터(22)와, 에미터(22)의 상부에 위치하고 얇은 판상으로 형성되는 게이트 전극(24)과, 에미터(22)와 애노드유닛(30) 사이에 위치하는 포커싱 전극(27)을 포함할 수 있다.3 and 4, the source unit 20 includes a cathode substrate electrode 23 formed in a thin plate shape, an emitter 22 located above the cathode substrate electrode 23, And a focusing electrode 27 positioned between the emitter 22 and the anode unit 30. The gate electrode 24 and the focusing electrode 27 are formed on the upper surface of the emitter 22 and the emitter 22,

상기 음극기판 전극(23) 및 게이트 전극(24) 사이에는 얇은 판상의 제1절연부재(25)가 구비되고, 게이트 전극(24) 및 포커싱 전극(27) 사이에는 얇은 판상의 제2절연부재(28)가 구비될 수 있다.A thin plate-like first insulating member 25 is provided between the cathode substrate electrode 23 and the gate electrode 24 and a thin plate-like second insulating member 25 is provided between the gate electrode 24 and the focusing electrode 27 28 may be provided.

상기 음극기판 전극(23)은 비교적 얇은 판상으로 형성될 수 있다. 다시 말해, 상기 음극기판 전극(23)은 박판으로 형성될 수 있다. 이러한 음극기판 전극(23)은 금속 재질로 형성될 수 있고, 음극기판 전극(23)의 상부에는 후술될 면 광원 형태의 에미터(22)가 위치할 수 있다. 여기서, 상기 에미터(22)는 방출되는 전자의 궤적을 조절하는 전극으로서, 나노 소재인 탄소나노튜브(Carbon Nano Tube, CNT)와 같은 금속, 탄소계열 물질로 구성되는 전도성 물질을 포함한다.The cathode substrate electrode 23 may be formed in a relatively thin plate shape. In other words, the cathode substrate electrode 23 may be formed as a thin plate. The cathode substrate electrode 23 may be formed of a metal material, and an emitter 22 of a planar light source, which will be described later, may be disposed on the cathode substrate electrode 23. Here, the emitter 22 is an electrode for adjusting the trajectory of emitted electrons, and includes a conductive material composed of a metal such as a carbon nano tube (CNT) or a carbon-based material.

상기 음극기판 전극(23)은 음극, 즉 (-)전극으로 캐소드(cathode) 전극으로 칭할 수 있다. 본 발명에 의한 디지털 광원장치(1)는 진공에서 작동하기 때문에, 캐소드 전극의 재료에는 니켈, 철, 코발트 등의 합금이나 단일 전이금속이 있다.The cathode substrate electrode 23 may be referred to as a cathode, that is, a (-) electrode and a cathode electrode. Since the digital light source device 1 according to the present invention operates in vacuum, the material of the cathode electrode is an alloy such as nickel, iron, cobalt, or a single transition metal.

상기 음극기판 전극(23)은 에미터(22)을 지지하는 음극기판 본체부와, 상기 음극기판 본체부에서 절곡되어 연장되는 음극기판 전원 연결부(231)를 포함할 수 있다. 상기 음극기판 본체와 음극기판 전원 연결부(231)는 한 몸으로 형성될 수 있다.The cathode substrate electrode 23 may include a cathode substrate main body portion for supporting the emitter 22 and a cathode substrate power connection portion 231 extending from the cathode substrate body portion by being bent. The negative electrode substrate main body and the negative electrode substrate power connection portion 231 may be formed as one body.

상기 음극기판 전원 연결부(231)는 외부 전원과 연결되는 부분으로서 음극기판 전원 연결부(231)를 통하여 전원이 인가될 수 있다. 상기 음극기판 전원 연결부(231)는 금속 재질로 형성될 수 있고, 종래의 전선을 대체하여 소스유닛(20) 및 디지털 광원장치(1)를 소형화시킬 수 있는 효과가 있다.The negative electrode substrate power connection part 231 is connected to an external power source and can be powered via the negative electrode substrate power connection part 231. The negative electrode substrate power connection part 231 can be formed of a metal material and has an effect of miniaturizing the source unit 20 and the digital light source device 1 by replacing the conventional electric wire.

상기 음극기판 전극(23)의 하부에는 음극기판 전극(23)을 지지하는 절연 재질의 모듈 지지부(21)가 구비된다. 상기 모듈 지지부(21)는 절연체인 알루미나 또는 석영 재질로 형성된다. 또한, 상기 모듈 지지부(21)는 원통형상으로 형성될 수 있고, 모듈 지지부(21)에는 관통홀(211)이 적어도 하나 이상 형성될 수 있고, 각각의 관통홀(211)에는 후술할 절연기둥(273)이 삽입된다. 이러한 절연기둥(273)을 통하여 음극기판 전원 연결부(231)뿐만 아니라, 게이트 전원 연결부(242), 포커싱 전원 연결부(272)도 관통할 수 있다. And a module supporting portion 21 of an insulating material for supporting the cathode substrate electrode 23 is provided below the cathode substrate electrode 23. [ The module supporting portion 21 is made of alumina or quartz, which is an insulator. The module supporting portion 21 may be formed in a cylindrical shape and at least one through hole 211 may be formed in the module supporting portion 21. Each through hole 211 may be formed with an insulating pillar 273 are inserted. Not only the negative electrode substrate power connection portion 231 but also the gate power connection portion 242 and the focusing power connection portion 272 can be penetrated through the insulating column 273.

상기 에미터(22)는 음극기판 전극(23)의 상부에 위치함이 좋다. 본 발명의 실시예에 의한 에미터(22)는 전자를 방출하는 역할을 할 수 있다. 이러한 에미터(22)는 전자를 방출하는 전극이며, 나노 소재인 탄소나노튜브(Carbon Nano Tube, CNT)를 이용하여 단위 면적당 높은 전류 방출이 가능하다.The emitter 22 may be positioned above the cathode substrate electrode 23. The emitter 22 according to the embodiment of the present invention may serve to emit electrons. The emitter 22 is an electrode that emits electrons and can emit a high current per unit area using a carbon nano tube (CNT).

상기 게이트 전극(24)은 에미터(22)의 상측에 위치할 수 있고, 비교적 얇은 판상으로 형성될 수 있다. 즉, 상기 게이트 전극(24)은 박판으로 형성될 수 있고, 금속 재질로 형성될 수 있다.The gate electrode 24 may be located above the emitter 22 and may be formed in a relatively thin plate shape. That is, the gate electrode 24 may be formed of a thin plate, or may be formed of a metal material.

상기 게이트 전극(24)은 에미터(22)으로부터 전자를 추출하는 역할을 할 수 있다. 게이트 전극(24)은 제1절연부재(25)에 의하여 지지되는 게이트 본체부(미도시)와, 상기 게이트 본체부(미도시)에서 절곡되어 연장되는 게이트 전원 연결부(242)를 포함할 수 있다. 상기 게이트 본체부(미도시)와 상기 게이트 전원 연결부(242)는 한 몸으로 형성됨이 좋다.The gate electrode 24 may serve to extract electrons from the emitter 22. The gate electrode 24 may include a gate body portion (not shown) supported by the first insulating member 25 and a gate power connection portion 242 bent and extended from the gate body portion (not shown) . The gate body portion (not shown) and the gate power connection portion 242 may be formed as one body.

상기 게이트 본체부(미도시)의 중앙부에는 에미터(22)에서 방출된 전자가 관통할 수 있는 관통홀이 형성되고, 관통홀에는 금속재질의 망 형상으로 형성되는 메쉬(241)가 구비된다. 상기 메쉬(241)는 에미터(22)의 상면과 기설정된 간격만큼 이격될 수 있고, 에미터(22)의 가운데 부분까지 전기장이 잘 인가될 수 있도록 가이드하여 에미터(22)에서 전자 추출이 균일하게 되도록 하는 역할을 한다. In the central portion of the gate body portion (not shown), a through hole through which electrons emitted from the emitter 22 can pass is formed. In the through hole, a mesh 241 formed of a metallic mesh is provided. The mesh 241 may be spaced apart from the upper surface of the emitter 22 by a predetermined distance and guide the middle portion of the emitter 22 so that an electric field can be applied, So that it becomes uniform.

상기 메쉬(241)는 금속망 사이의 다수의 개구가 형성되고, 개구의 형상이 육각형의 벌집 형상으로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 메쉬(241)의 개구의 형상이 육각형으로 형성됨에 따라, 메쉬(241)가 전자를 효율적으로 추출하면서, 전자가 금속망에 의하여 충돌되지 않고 안정적으로 배출되는 개구율이 극대화 될 수 있다.It is preferable that the mesh 241 has a plurality of openings between the metal meshes, and the shape of the openings is a hexagonal honeycomb. Since the shape of the opening of the mesh 241 is hexagonal, the mesh 241 efficiently extracts electrons, and maximizes the aperture ratio at which electrons are stably discharged without being collided by the metal mesh.

참고로, 상기 메쉬(241)가 육각형의 벌집 형상을 가지는 것으로 한정되지 않으며, 다수의 원형 또는 사각형의 개구가 형성되는 다양한 변형예도 가능하다. For reference, the mesh 241 is not limited to a hexagonal honeycomb shape, and various modifications are possible in which a large number of circular or square openings are formed.

상기 제1절연부재(25)와 에미터(22) 사이에는 에지효과 방지부(26)가 구비될 수 있다. 상기 에지효과 방지부(26)는 금속 재질의 얇은 판상, 즉 박막으로 형성될 수 있고, 중심부에 개구부(261)가 형성될 수 있다. An edge effect preventing portion 26 may be provided between the first insulating member 25 and the emitter 22. The edge effect preventing portion 26 may be formed of a thin plate, that is, a thin film of metal, and an opening 261 may be formed at the center portion.

상기 에미터(22)의 상단 모서리부를 커버할 수 있고, 이에 따라 에지효과 방지부(26)는 에미터(22)의 상단 모서리부에서 발생할 수 있는 에지효과(edge effect)를 방지한다. It is possible to cover the upper edge portion of the emitter 22 so that the edge effect preventing portion 26 prevents an edge effect that may occur at the upper edge portion of the emitter 22.

상기 에지효과 방지부(26)가 제1절연부재(25)의 하부에 설치되지 않는 경우에는 에미터(22)에서 배출된 전자가 제1절연부재(25)의 개구부(257)의 내주면에 부착되어 제1절연부재(25)의 내주면이 손상되는 에지효과가 발생할 수 있다. 또한, 상기 에지효과 방지부(26)가 제1절연부재(25)의 하부에 설치되는 경우에는 이러한 에지 효과를 방지할 수 있다.When the edge effect preventing portion 26 is not provided under the first insulating member 25, electrons emitted from the emitter 22 are adhered to the inner peripheral surface of the opening 257 of the first insulating member 25 So that the edge effect of damaging the inner circumferential surface of the first insulating member 25 may occur. In addition, when the edge effect preventing portion 26 is provided below the first insulating member 25, the edge effect can be prevented.

상기 에지효과 방지부(26)의 개구부(261)가 제1절연부재(25)의 개구부(257)보다 면적이 더 크게 형성될 수 있고, 이에 따라 제1절연부재(25)의 내측이 에지효과 방지부(26)의 내측보다 중심부로 더 연장됨이 좋다. The edge portion 261 of the edge effect preventing portion 26 may be formed to have a larger area than the opening portion 257 of the first insulating member 25 so that the inside of the first insulating member 25 has an edge effect It is preferable to further extend to the center portion from the inside of the preventing portion 26. [

상기 포커싱 전극(27)은 포커싱 개구(271)를 구비하여 소스유닛(20)의 상단, 즉 에미터(22)와 애노드유닛(30)의 사이에 위치한다. 이러한 포커싱 전극(27)은 에미터(22)으로부터 방출된 전자가 퍼지거나 산란되지 않고 애노드유닛(30)을 향하여 이동할 수 있도록 한다.The focusing electrode 27 has a focusing opening 271 and is positioned at the top of the source unit 20, that is, between the emitter 22 and the anode unit 30. This focusing electrode 27 allows electrons emitted from the emitter 22 to move toward the anode unit 30 without being scattered or scattered.

상기 포커싱 전극(27)은 제2절연부재(28)에 의하여 지지되는 포커싱 본체부와, 상기 포커싱 본체부에서 절곡되어 연장되는 포커싱 전원 연결부(272)를 포함한다. 상기 포커싱 전원 연결부(272)는 상기 포커싱 본체부에 와이어 본딩 또는 용접에 의하여 결합됨이 좋다. 이때, 상기 제2절연부재(28)는 포커싱 전극(27)의 포커싱 개구(271)과 연통 가능한 개구(281)가 관통 형성된다. The focusing electrode 27 includes a focusing main body supported by the second insulating member 28 and a focusing power connecting portion 272 extending from the focusing main body portion. The focusing power connection part 272 may be coupled to the focusing body part by wire bonding or welding. At this time, the second insulating member 28 is formed with an opening 281 communicating with the focusing opening 271 of the focusing electrode 27.

상기 에미터(22)과 게이트 전극(24) 사이에는 얇은 판상, 즉 박판형상의 제1절연부재(25)가 결합될 수 있고, 게이트 전극(24)과 포커싱 전극(27) 사이에는 얇은 판상, 즉 박판 형상의 제2절연부재(28)가 결합될 수 있다. 상기 제1절연부재(25) 및 제2절연부재(28)는 각 전극들을 개별적으로 절연시킨다. A thin plate-like or thin plate-like first insulating member 25 can be coupled between the emitter 22 and the gate electrode 24 and a thin plate-like, That is, the second insulating member 28 in the form of a thin plate. The first insulating member 25 and the second insulating member 28 individually insulate the respective electrodes.

상기 절연기둥(273)은 내부에 빈 공간이 형성되는 원통형으로 형성되고, 상단이 포커싱 전극(27)의 저면에 결합될 수 있으며, 제2절연부재(28)와, 게이트 전극(24)과, 제1절연부재(25)와, 음극기판 전극(23)과, 음극기판 전극(23)을 지지하는 모듈 지지부(21)를 관통할 수 있다.The insulating column 273 is formed in a cylindrical shape having an empty space therein and the upper end of the insulating column 273 can be coupled to the bottom surface of the focusing electrode 27. A second insulating member 28, The first insulating member 25, the cathode substrate electrode 23, and the module supporting portion 21 that supports the cathode substrate electrode 23 can be penetrated.

상기 절연기둥(273)은 음극기판 전원 연결부(231), 게이트 전원 연결부(242), 포커싱 전원 연결부(272)를 수용한다. 또한, 음극기판 전원 연결부(231), 게이트 전원 연결부(242), 포커싱 전원 연결부(272)의 적어도 일부는 절연기둥(273)의 내부에 배치되고, 다른 일부는 절연기둥(273)의 외부로 노출됨이 좋다.The insulating column 273 receives the negative electrode substrate power connection portion 231, the gate power connection portion 242, and the focusing power connection portion 272. At least a part of the cathode substrate power connection portion 231, the gate power connection portion 242 and the focusing power connection portion 272 is disposed inside the insulation pillar 273 and the other part is exposed to the outside of the insulation pillar 273 This is good.

본 실시예에는 절연기둥(273)이 두 개만 도시되었지만, 모듈 지지부(21)에는 상술한 바와 같이 절연기둥(273)이 관통할 수 있는 관통홀(211)이 적어도 4개 형성될 수 있고, 이들 각각의 관통홀(211)에는 절연기둥(273)이 구비될 수 있다. Although only two insulation pillars 273 are shown in this embodiment, at least four through holes 211 through which the insulation pillars 273 can pass, as described above, may be formed in the module supporting portion 21, Each of the through holes 211 may be provided with an insulating column 273.

상기 음극기판 전원 연결부(231), 게이트 전원 연결부(242), 포커싱 전원 연결부(272)는 일부가 소스유닛(20)의 외부로 노출될 수 있고, 노출된 부분을 통해 외부로부터 전원을 공급받아 각각의 전극으로 적절한 전원을 인가할 수 있다.Part of the negative electrode substrate power connection unit 231, the gate power connection unit 242 and the focusing power connection unit 272 may be exposed to the outside of the source unit 20, It is possible to apply an appropriate power to the electrode.

한편, 상기 모듈 지지부(21)의 저면에는 결합부재(29)가 결합될 수 있고, 모듈 지지부(21)의 하부로 노출된 음극기판 전원 연결부(231), 게이트 전원 연결부(242), 포커싱 전원 연결부(272)는 결합부재(29)에 삽입될 수 있다. A coupling member 29 may be coupled to the bottom surface of the module support portion 21 and may include a negative electrode substrate power connection portion 231 exposed at a lower portion of the module support portion 21, a gate power connection portion 242, (272) can be inserted into the engagement member (29).

상기 결합부재(29)은 속이 빈 원통형의 링 형상으로 형성될 수 있고, 금속재질, 일례로 코바르 재질로 형성됨이 좋다. 상기 포커싱 전극(27), 제1절연부재(28), 게이트 전극(24), 제2절연부재(25), 에지효과 방지부(26), 에미터(22), 음극기판 전극(23), 모듈지지부(21)가 서로 밀착되고, 결합부재(29)에 전원 연결부(231, 242, 272)들이 삽입된 상태에서, 결합부재(29)의 내부, 즉 결합부재(29)의 내주면과 전원 연결부(231, 242, 272) 사이의 공간에 필러를 주입한 상태에서 열을 가하여 브레이징 방식에 의하여 결합부재(29)와 전원 연결부(231, 242, 272)를 상호 결합시킴이 바람직하다. 참고로, 상기 필러는 금속재질로 형성될 수 있고, 적어도 은(Ag)와 구리(Cu) 재질을 포함할 수 있다. The engaging member 29 may be formed as a hollow cylindrical ring shape, and may be formed of a metal material, for example, a Kovar material. The focusing electrode 27, the first insulating member 28, the gate electrode 24, the second insulating member 25, the edge effect preventing portion 26, the emitter 22, the cathode substrate electrode 23, The inside of the coupling member 29, that is, the inner peripheral surface of the coupling member 29, and the power supply connection portion 231, 242, and 272 are inserted into the coupling member 29, It is preferable that the coupling member 29 and the power connection portions 231, 242, and 272 are coupled to each other by brazing by applying heat in a state where the filler is injected into the space between the connection portions 231, 242, and 272. For reference, the filler may be formed of a metal material, and may include at least silver (Ag) and copper (Cu) material.

상기 결합부재(29)와 전원 연결부(231, 242, 272)가 견고하게 결합됨에 따라서, 포커싱 전극(27), 제1절연부재(28), 게이트 전극(24), 제2절연부재(25), 에지효과 방지부(26), 에미터(22), 음극기판 전극(23), 모듈지지부(21)가 서로 밀착된 상태로 서로 긴밀하게 결합될 수 있다.The focusing electrode 27, the first insulating member 28, the gate electrode 24, the second insulating member 25, and the second insulating member 25, as the coupling member 29 and the power connection portions 231, 242, and 272 are firmly coupled, The edge effect preventing portion 26, the emitter 22, the cathode substrate electrode 23, and the module supporting portion 21 can be tightly coupled to each other in a state in which they are in close contact with each other.

상기 애노드유닛(30)은 소스유닛(20)으로부터 방출된 전자(E)와 충돌하여 광 일례로, 엑스선(L)을 발생시켜 몸체유닛(10)의 외부로 안내한다. 상기 애노드유닛(30)에서 발생하는 엑스선(L)을 포함하는 광은 애노드유닛(30)의 재질과, 디지털 광원장치(1)에 인가되는 전압의 크기에 따라서 달라질 수 있으며, 구체적으로 엑스선, 가시광선, 적외선, 자외선 가운데 어느 하나가 될 수 있다. The anode unit 30 collides with the electrons E emitted from the source unit 20 to generate an X-ray L, for example, to guide the X-ray L to the outside of the body unit 10. The light including the X-ray L generated in the anode unit 30 may vary depending on the material of the anode unit 30 and the magnitude of the voltage applied to the digital light source device 1. Specifically, It can be either light, infrared, or ultraviolet.

상기 애노드유닛(30)은 전자(E)와 충돌되며, 충돌되어 발생된 엑스선(L) 또는 광을 몸체유닛(10)의 외부로 안내한다. 이러한 애노드유닛(30)은 전자(E)와의 충돌에 의해 엑스선(L)을 발생시켜 외부로 안내하는 반사면(31a)을 구비하는 애노드(31)와, 애노드(31)를 지지하여 몸체유닛(10)에 대해 결합시키는 애노드 지지부재(32)를 포함한다. The anode unit 30 collides with the electrons E and guides the X-ray L or light generated from the collision to the outside of the body unit 10. [ The anode unit 30 includes an anode 31 having a reflecting surface 31a for generating an X-ray L by collision with an electron E and guiding the X-ray L to the outside, 10). &Lt; / RTI >

여기서, 상기 반사면(31a)은 엑스선(L)을 포함하는 광을 방향 전환시켜 안내하기 위한 것으로써, 몸체유닛(10)에 마련된 엑스선(L)의 출입구인 윈도우(13)와 마주하도록 일직선 상에 배치된다. 이러한 반사면(31a)을 구비하는 애노드유닛(30)은 구리, 텡스텐, 망간, 몰리브덴 및 이의 조합으로 이루어진 금속 중 어느 하나의 재질로 형성된다. 참고로, 상기 반사면(31a)은 애노드유닛(30)과 동일 재질로 형성되거나, 형광물질로 형성되어 엑스선, 가시광선, 적외선, 자외선 중 적어도 어느 하나의 광을 발생시킨다. 아울러, 상기 반사면(31a)이 금속이 아닌 유리와 같은 재질로 형성될 경우, 전자(E)와의 충돌에 의해 조명을 위한 광(L)을 발생시키는 변형예도 가능하다.The reflecting surface 31a guides the light including the X-ray L and guides the light to the X-ray L in a straight line . The anode unit 30 having such a reflecting surface 31a is formed of any one material selected from the group consisting of copper, tungsten, manganese, molybdenum, and combinations thereof. The reflective surface 31a may be formed of the same material as the anode unit 30 or may be formed of a fluorescent material to generate at least one of X-ray, visible ray, infrared ray, and ultraviolet ray. In addition, when the reflecting surface 31a is formed of a material such as glass rather than metal, a modification that generates light L for illumination by collision with electrons E is also possible.

상기 애노드 지지부재(32)는 애노드(31)를 지지하는 지지체(33), 지지체(33)로부터 수직하게 연장되어 몸체유닛(10)의 측부와 동일 직경을 가지는 지지 측벽(34) 및, 지지 측벽(34)으로부터 연장되어 제1결합턱(41)에 결합되는 결합돌기(35)를 포함한다. 여기서, 상기 지지체(33)는 애노드(31)의 저면을 지지하며, 애노드(31)와의 결합력을 위해 지지돌기(33a)가 애노드(31)에 삽입 가능하도록 돌출 형성된다. 이러한 애노드 지지부재(32)는 애노드(31)를 소스유닛(20)과 마주하도록 몸체유닛(10)의 상부에 설치시킨다. The anode support member 32 includes a support 33 for supporting the anode 31, support side walls 34 extending vertically from the support 33 and having the same diameter as the side of the body unit 10, And an engaging projection 35 extending from the engaging projection 34 to be engaged with the first engaging jaw 41. The supporting member 33 supports the bottom surface of the anode 31 and is protruded to be insertable into the anode 31 for supporting force with the anode 31. [ This anode support member 32 installs the anode 31 on the top of the body unit 10 so as to face the source unit 20.

상기 애노드유닛(30)은 소스유닛(20)과 마주하도록 몸체유닛(10)의 외면을 따라 이종 접합된다. 이를 위해, 도 6의 도시와 같이, 상기 몸체유닛(10)의 측부(12)의 외면을 따라 내부를 향해 단차진 복수의 결합턱(41)(42)을 가지는 애노드 결합부(40)가 몸체유닛(10)과 애노드유닛(30)을 상호 이종 접합시킨다. The anode unit 30 is heterojointed along the outer surface of the body unit 10 to face the source unit 20. 6, an anode joint portion 40 having a plurality of joint jaws 41 and 42 stepped inward along the outer surface of the side portion 12 of the body unit 10 is formed in a body The unit 10 and the anode unit 30 are hetero-bonded to each other.

본 실시예에서는 상기 애노드 결합부(40)가 몸체유닛(10)의 측부(12)로부터 몸체유닛(10)의 내부를 향해 단차진 제1결합턱(41) 및 제1결합턱(41)으로부터 몸체유닛(10)의 내부를 향해 단차진 제2결합턱(42)을 가지는 것으로 예시한다. 이때, 상기 애노드(31)를 지지하는 애노드 지지부재(32)의 결합돌기(35)가 제1결합턱(41)과 이종 결합되되, 제2결합턱(42)에 대해서는 이격된다. The anode coupling portion 40 is connected to the first coupling jaw 41 and the first coupling jaw 41 from the side portion 12 of the body unit 10 toward the inside of the body unit 10 And has a stepped second engaging jaw 42 directed toward the inside of the body unit 10. At this time, the engaging projections 35 of the anode support member 32 supporting the anode 31 are differentiated from the first engaging jaw 41 and the second engaging jaws 42 are spaced apart from each other.

즉, 상기 애노드 지지부재(32)의 결합돌기(35)는 제1 및 제2결합턱(41)(42) 중에서 상대적으로 몸체유닛(10)의 외부를 향해 위치하는 제1결합턱(41)에 이종 접합됨으로써, 몸체유닛(10)의 외면을 따라 애노드유닛(30)의 접합 포인트가 마련된다. 이렇게 애노드유닛(30)과 몸체유닛(10) 사이의 접합 포인트가 몸체유닛(10)의 외면을 따라 마련됨으로써, 몸체유닛(10)의 내부에서 금속 접합 포인트가 마련되지 않음으로써 전류가 몸체유닛(10)의 내면을 따라 흐름을 방지할 수 있게 된다. 즉, 상기 소스유닛(20)에 인가되는 고전압의 전류가 세라믹 재질로 형성되는 몸체유닛(10)의 내부에서 안전하게 절연될 수 있는 것이다. That is, the coupling protrusion 35 of the anode support member 32 has a first coupling protrusion 41, which is positioned relatively to the outside of the body unit 10 among the first and second coupling protrusions 41 and 42, The junction point of the anode unit 30 along the outer surface of the body unit 10 is provided. The junction point between the anode unit 30 and the body unit 10 is provided along the outer surface of the body unit 10 so that no metal junction point is provided inside the body unit 10, 10). That is, the high-voltage current applied to the source unit 20 can be insulated from the inside of the body unit 10 formed of a ceramic material.

아울러, 상기 애노드 지지부재(32)의 결합돌기(35)가 상대적으로 몸체유닛(10)의 내부를 향해 위치하는 제2결합턱(42)에 대해서는 이격되도록 마련됨으로써, 소스유닛(20)에 인가되는 고전압의 전류가 몸체유닛(10)의 내면을 따라 흐름을 보다 안전하게 차단시킬 수 있게 된다. 즉, 상기 제2결합턱(42)과 결합돌기(35) 사이의 이격된 간격으로 인해, 몸체유닛(10)의 내부에서 금속 접합 포인트가 연결되지 않음으로써, 절연성 향상에 보다 기여할 수 있게 된다. 뿐만 아니라, 상기 제2결합턱(42)과 결합돌기(35) 사이의 이격된 간격으로 인해, 전자의 이동 경로가 길어져 절연성 유지를 도모할 수 있다. The coupling protrusions 35 of the anode support member 32 are spaced apart from the second coupling protrusions 42 that are relatively positioned toward the inside of the body unit 10, So that the flow of the high-voltage current through the inner surface of the body unit 10 can be cut off more safely. That is, due to the spaced distance between the second engaging protrusion 42 and the engaging protrusion 35, the metal joint point is not connected to the inside of the body unit 10, thereby contributing to the improvement of the insulation. In addition, due to the spaced distance between the second engaging protrusion 42 and the engaging protrusion 35, the movement path of electrons becomes longer, and insulation can be maintained.

이때, 자세히 도시되지 않았으나, 상기 제2결합턱(42)에 요철이 형성되는 것과 같이 제2결합턱(42)의 외면이 비평면으로 형성되어 전자의 이동 경로를 더욱 증가시키는 변형예도 가능하다. At this time, although not shown in detail, the outer surface of the second engaging step 42 may be formed as a non-planar surface, such that the second engaging jaw 42 is provided with concavities and convexities, thereby further increasing the traveling path of the electrons.

이러한 애노드유닛(30)은 몸체유닛(10)의 측부(12) 외면에 필러가 주입되어 브레이징과 같은 이종 접합법에 의해 접합된다. 이때, 상기 필러는 자세히 도시되지 않았으나, 은(Ag) 또는 구리(Cu)와 같이 비금속성 재질인 세라믹으로 형성되는 몸체유닛(10)에 형성된 제1결합턱(41)을 금속화(metallization)시킨다. The anode unit 30 is filled with a filler on the outer surface of the side portion 12 of the body unit 10 and bonded by a heterojunction such as brazing. At this time, although the filler is not shown in detail, the first joining jaw 41 formed on the body unit 10 formed of a non-metallic ceramics such as silver (Ag) or copper (Cu) is metallized .

또한, 상기 제2결합턱(42)과 결합돌기(35) 사이의 간격에 게터(Getter)(50)가 설치되어, 몸체유닛(10) 내부의 잔여가스를 흡입할 수 있다. 이러한 제2결합턱(42)과 결합돌기(35) 사이의 간격과 게터(50)의 마련으로 인해, 몸체유닛(10) 내부의 광학 성능이 보다 향상될 수 있게 된다. 이러한 게터(50)는 도 3의 도시와 같이, 제2연결턱(16)과 연결체(18) 사이의 이격된 간격에도 배치되어 잔여가스를 흡입 가능하다. In addition, a getter 50 is provided at the interval between the second engaging protrusion 42 and the engaging projection 35 to absorb the residual gas inside the body unit 10. [ The optical performance inside the body unit 10 can be further improved due to the spacing between the second coupling protrusions 42 and the coupling protrusions 35 and the provision of the getter 50. [ 3, the getter 50 is also disposed at a spaced distance between the second connection step 16 and the connecting body 18, so that the residual gas can be sucked in.

한편, 본 실시예에서는 상기 애노드 결합부(40)가 2개의 결합턱(41)(42)을 가지는 것으로 도시 및 예시하나 꼭 이에 한정되지 않는다. 즉, 상기 애노드 결합부(40)가 3개 이상의 복수의 결합턱을 가지되, 어느 하나의 결합턱과는 애노드 지지부재(32)의 결합돌기(35)와 이종 접합되고 다른 결합턱과는 이격되는 다양한 변형예가 가능하다.
Meanwhile, in the present embodiment, the anode coupling portion 40 has two coupling jaws 41 and 42, but the present invention is not limited thereto. That is, the anode coupling portion 40 has three or more coupling jaws, one of the coupling jaws is hetero-bonded to the coupling protrusion 35 of the anode supporting member 32, and is spaced apart from the other coupling jaws Various modifications are possible.

상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 디지털 광원장치(1)의 동작을 도 2를 참고하여 설명한다. The operation of the digital light source device 1 according to the present invention having the above-described configuration will be described with reference to FIG.

도 2의 도시와 같이, 상기 몸체유닛(10)의 내부 바닥면(11)에 설치되는 소스유닛(20)으로부터 전자(E)가 방출되어 가속된다. 이렇게 가속된 전자(E)는 애노드유닛(30)의 반사면(31a)에 충돌함으로써 가지고 있는 에너지를 빛으로 방출하며, 반사면(31a)의 재질 특성에 의해 엑스선(L)으로 방출한다. 상기 방출된 엑스선(L)은 반사면(31a)의 반사각도에 의해 몸체유닛(10)의 측벽(12)에 마련된 윈도우(13)(도 1 참고)를 통해 외부로 안내된다. As shown in FIG. 2, electrons E are emitted from the source unit 20 installed on the inner bottom surface 11 of the body unit 10 and accelerated. The accelerated electrons E collide with the reflecting surface 31a of the anode unit 30 to emit the energy into light and emit to the X-ray L by the material characteristics of the reflecting surface 31a. The emitted X-rays L are guided to the outside through the window 13 (see FIG. 1) provided on the side wall 12 of the body unit 10 by the reflection angle of the reflecting surface 31a.

한편, 상기 애노드유닛(30)은 애노드(31)를 지지하는 애노드 지지부재(32)로부터 돌출된 결합돌기(35)가 몸체유닛(10)의 외면을 따라 형성되는 제1결합턱(41)에 이종 결합되어 제2결합턱(42)에 대해 이격된 상태로 접합된다. 이때, 상기 제1결합턱(41)의 외면에 소정의 필러(미도시)가 주입되어 제1결합턱(41)의 외면이 금속화됨으로써, 금속성 재질로 형성되는 애노드유닛(30)이 세라믹 재질로 형성되는 몸체유닛(10)의 외면을 따라 브레이징 공정과 같은 이종 접합법에 의해 상호 접합되게 된다.
The anode unit 30 includes a first protrusion 35 projecting from the anode support member 32 supporting the anode 31 and a first protrusion 35 formed along the outer surface of the body unit 10 And are bonded to each other in a state of being spaced apart from the second coupling step 42. At this time, a predetermined filler (not shown) is injected into the outer surface of the first coupling jaw 41 so that the outer surface of the first coupling jaw 41 is metallized, so that the anode unit 30, which is formed of a metallic material, Are bonded to each other along the outer surface of the body unit 10 formed by the brazing process by the heterojunction method.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
Although the present invention has been described with reference to the preferred embodiments thereof, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the following claims. It can be understood that

1: 디지털 광원장치 10: 몸체유닛
11: 바닥부 12: 측부
13: 윈도우 14: 연결부
20: 소스유닛 30: 애노드유닛
31: 애노드 32: 애노드 지지부재
33: 지지체 34: 지지측벽
35: 결합돌기 40: 애노드 결합부
41: 제1결합턱 42: 제2결합턱
50: 게터1: Digital light source device 10: Body unit
11: bottom part 12: side part
13: Windows 14: Connection
20: source unit 30: anode unit
31: anode 32: anode supporting member
33: support body 34: support side wall
35: engaging projection 40: anode engaging portion
41: first coupling jaw 42: second coupling jaw
50: Getter

Claims

내부에 공간을 가지는 중공의 몸체유닛;
상기 몸체유닛의 내부에서 전자를 방출하는 소스유닛;
상기 소스유닛로부터 방출된 상기 전자와의 충돌에 의해 엑스선 또는 광을 발생시켜 상기 몸체유닛의 외부로 안내하는 애노드유닛;
을 포함하며,
상기 몸체유닛과 상기 애노드유닛은 상호 이종 접합되되, 상기 몸체유닛의 외면을 따라 상기 몸체유닛에 대해 상기 애노드유닛이 접합되되,
상기 몸체유닛은 바닥부로부터 수직 상방향으로 연장된 측부의 외면을 따라 내부를 향해 단차진 복수의 결합턱을 가지는 애노드 결합부가 마련되며,
상기 애노드유닛은 상기 애노드 결합부의 상기 복수의 결합턱 중 어느 하나의 결합턱에 이종 접합되는 디지털 광원장치.
A hollow body unit having a space therein;
A source unit for emitting electrons inside the body unit;
An anode unit for generating X-rays or light by collision with the electrons emitted from the source unit and guiding the X-rays or light to the outside of the body unit;
/ RTI >
Wherein the anode unit and the anode unit are bonded to each other along the outer surface of the body unit,
Wherein the body unit is provided with an anode coupling unit having a plurality of coupling jaws stepped inward along an outer surface of a side portion extending vertically upward from a bottom portion,
Wherein the anode unit is differentially bonded to one of the plurality of coupling jaws of the anode coupling unit.

제1항에 있어서,
상기 몸체유닛은 원형의 바닥부와 상기 바닥부에 대해 수직방향으로 연장되는 측부를 가지는 중공의 원통 형상을 가지며,
상기 소스유닛은 상기 바닥부에 설치되고, 상기 애노드유닛은 상기 소스유닛과 마주하도록 상기 몸체유닛 축부의 상부에 이종 접합되는 디지털 광원장치.
The method according to claim 1,
Wherein the body unit has a hollow cylindrical shape having a bottom portion of a circular shape and a side portion extending in a direction perpendicular to the bottom portion,
Wherein the source unit is installed on the bottom portion, and the anode unit is heterogeneously bonded to an upper portion of the body unit shaft portion so as to face the source unit.

제1항에 있어서,
상기 애노드유닛은 상기 복수의 결합턱 중에서 상기 애노드유닛과 이종 접합되지 않은 다른 결합턱에 대해서는 이격되는 디지털 광원장치.
The method according to claim 1,
Wherein the anode unit is spaced apart from other joining jaws not differentially bonded to the anode unit among the plurality of joining jaws.

제3항에 있어서,
상기 애노드 결합부는 상기 몸체유닛의 측부로부터 내부를 향해 단차진 제1결합턱 및 상기 제1결합턱으로부터 상기 몸체유닛의 내부를 향해 단차진 제2결합턱을 가지며,
상기 애노드유닛은 상기 제1결합턱에 이종 접합되고 상기 제2결합턱에 대해서는 이격되도록 돌출된 결합돌기를 구비하는 디지털 광원장치.
The method of claim 3,
Wherein the anode coupling portion has a first coupling jaw that is stepped inward from the side of the body unit and a second coupling jaw that is stepped toward the inside of the body unit from the first coupling jaw,
Wherein the anode unit is provided with a coupling protrusion which is differentially joined to the first coupling jaw and protruded to be spaced apart from the second coupling jaw.

제4항에 있어서,
상기 제2결합턱과 결합돌기 사이에 상기 몸체유닛의 내부의 잔여가스를 흡입하는 게터(Getter)가 설치 가능한 디지털 광원장치.
5. The method of claim 4,
And a getter for sucking residual gas inside the body unit can be installed between the second engaging jaw and the engaging projection.

제4항에 있어서,
상기 애노드유닛은,
상기 전자와의 충돌에 의해 상기 광을 발생시켜 외부로 안내하는 반사면을 구비하는 애노드; 및
상기 애노드를 지지하여 상기 몸체유닛에 대해 결합시키는 애노드 지지부재;
를 포함하며,
상기 애노드 지지부재는,
상기 애노드를 지지하는 지지체;
상기 지지체로부터 연장되어 상기 몸체유닛의 측부와 동일 외경을 가지는 지지 측벽; 및
상기 지지 측벽으로부터 연장되어 상기 제1결합턱에 결합되는 상기 결합돌기;
를 포함하는 디지털 광원장치.
5. The method of claim 4,
The anode unit includes:
An anode having a reflecting surface for generating the light by collision with the electrons and guiding the light to the outside; And
An anode supporting member for supporting the anode and coupling the anode to the body unit;
/ RTI >
Wherein the anode-
A support for supporting the anode;
A support side wall extending from the support and having the same outer diameter as the side of the body unit; And
The coupling protrusion extending from the support sidewall and coupled to the first coupling jaw;
The digital light source device comprising:

제6항에 있어서,
상기 애노드는 구리, 텡스텐, 망간, 몰리브덴 및 이의 조합으로 이루어진 금속 중 어느 하나의 재질로 형성되며,
상기 반사면은 상기 애노드유닛과 동일 재질로 형성되거나 형광물질로 형성되어, 엑스선, 가시광선, 적외선, 자외선 중 적어도 어느 하나의 광을 발생시키는 일체형 디지털 광원장치.
The method according to claim 6,
The anode may be formed of any one material selected from the group consisting of copper, tungsten, manganese, molybdenum, and combinations thereof,
Wherein the reflective surface is formed of the same material as the anode unit or formed of a fluorescent material to generate light of at least one of X-ray, visible light, infrared ray, and ultraviolet ray.

제1항에 있어서,
상기 몸체유닛은 세라믹 재질로 형성되고 상기 애노드유닛은 금속 재질로 형성되되,
상기 몸체유닛의 외면을 따라 금속화(metallization)시켜 상기 몸체유닛과 상기 애노드유닛이 상호 이종 접합되는 디지털 광원장치.
The method according to claim 1,
Wherein the body unit is formed of a ceramic material and the anode unit is formed of a metal material,
Wherein the body unit and the anode unit are bonded to each other by metallization along an outer surface of the body unit.

제1항에 있어서,
상기 몸체유닛은 바닥부와 상기 바닥부로부터 수직 상방향으로 연장된 측부를 가지되, 상기 바닥부와 측부는 연결부에 의해 상호 연결되며,
상기 연결부는,
상기 측부로부터 상기 몸체유닛의 내부를 향해 단차진 제1연결턱;
상기 제1연결턱으로부터 상기 몸체유닛의 내부를 향해 단차진 제2연결턱;
상기 바닥부로부터 상기 몸체유닛의 내부를 향해 단차진 제3연결턱; 및
상기 제1 및 제3연결턱에 접합되되, 상기 제2연결턱에 대해 이격되도록 마련되는 연결체;
를 포함하는 디지털 광원장치.
The method according to claim 1,
Wherein the body unit has a bottom portion and a side extending vertically upward from the bottom portion, the bottom portion and the side portion being interconnected by a connecting portion,
The connecting portion
A first connecting jaw having a stepped portion from the side portion toward the inside of the body unit;
A second connecting jaw that is stepped from the first connecting jaw toward the inside of the body unit;
A third connecting jaw having a stepped portion from the bottom to the inside of the body unit; And
A connecting body joined to the first and third connecting jaws and spaced apart from the second connecting jaw;
The digital light source device comprising:

제9항에 있어서,
상기 제2연결턱과 상기 연결체 사이의 이격된 간격에 상기 몸체유닛의 내부의 잔여가스를 흡입하는 게터(Getter)가 설치 가능한 디지털 광원장치.
10. The method of claim 9,
And a getter for sucking residual gas inside the body unit at a spaced distance between the second connecting jaw and the connecting body.

제1항에 있어서,
상기 소스유닛은,
박판으로 형성되는 음극기판 전극;
상기 음극기판 전극의 상부에 위치하는 에미터;
상기 에미터의 상부에 위치하고, 박판으로 형성되는 게이트 전극; 및
상기 에미터와 상기 애노드 유닛 사이에 위치하는 포커싱 전극;
을 포함하고,
상기 음극기판 전극 및 상기 게이트 전극 사이에는 박판으로 형성되는 제1절연부재가 구비되고, 상기 게이트 전극 및 상기 포커싱 전극 사이에는 박판으로 형성되는 제2절연부재가 구비되는 일체형 디지털 광원장치.
The method according to claim 1,
Wherein the source unit comprises:
A cathode substrate electrode formed as a thin plate;
An emitter positioned above the cathode substrate electrode;
A gate electrode formed on the emitter and formed of a thin plate; And
A focusing electrode positioned between the emitter and the anode unit;
/ RTI >
A first insulating member formed of a thin plate is provided between the cathode substrate electrode and the gate electrode, and a second insulating member formed of a thin plate is provided between the gate electrode and the focusing electrode.

제11항에 있어서,
상기 음극기판 전극 및 상기 게이트 전극 가운데 적어도 하나는 일 부분이 절곡되어 연장되고, 외부 전원과 연결되는 전원 연결부를 구비하는 일체형 디지털 광원장치.
12. The method of claim 11,
Wherein at least one of the cathode substrate electrode and the gate electrode is bent and extended at one portion and has a power connection portion connected to an external power source.

제11항에 있어서,
상기 게이트 전극은 상기 제1절연부재에 의하여 지지되는 게이트 본체부와,
상기 게이트 본체부에서 절곡되어 연장되는 게이트 전원 연결부를 포함하고, 상기 게이트 본체부와 상기 게이트 전원 연결부는 한 몸으로 형성되는 일체형 디지털 광원장치.
12. The method of claim 11,
The gate electrode includes a gate body portion supported by the first insulating member,
Wherein the gate body portion and the gate power connection portion are formed as a single body.

제13항에 있어서,
상기 게이트 본체부의 중앙부에는 전자가 진행할 수 있는 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀에는 금속 재질의 메쉬가 형성되며, 상기 메쉬는 상기 에미터에서 기설정된 간격만큼 이격되는 일체형 디지털 광원장치.
14. The method of claim 13,
Wherein the gate body portion has a through hole through which electrons can pass, a metal mesh is formed in the through hole, and the mesh is spaced apart from the emitter by a predetermined interval.

제14항에 있어서,
상기 메쉬는 다수의 원형, 사각형 또는 육각형의 개구가 형성되는 벌집 형상으로 형성되는 일체형 디지털 광원장치.
15. The method of claim 14,
Wherein the mesh is formed in a honeycomb shape in which a plurality of circular, square or hexagonal openings are formed.

제11항에 있어서,
상기 포커싱 전극에는 외부 전원과 연결되는 포커싱 전원 연결부가 구비되고,
상기 음극기판 전극의 일부분이 절곡되어 연장되고, 외부 전원과 연결되는 음극기판 전원 연결부를 형성하며,
상기 게이트 전극의 일부분이 절곡되어 연장되고, 외부 전원과 연결되는 게이트 전원 연결부를 형성하고,
상기 음극기판 전극의 하부에는 모듈 지지부가 결합되며, 상기 포커싱 전원 연결부, 상기 음극기판 전원 연결부, 상기 게이트 전원 연결부 가운데 적어도 하나는 상기 모듈 지지부를 관통하여 외부로 노출되며,
상기 모듈 지지부의 저면에는 상기 포커싱 전원 연결부, 상기 음극기판 전원 연결부, 상기 게이트 전원 연결부 가운데 적어도 하나와 브레이징 방식으로 결합되는 결합부재가 구비되는 일체형 디지털 광원장치.
12. The method of claim 11,
The focusing electrode includes a focusing power connection unit connected to an external power source,
A portion of the cathode substrate electrode is bent and extended to form a cathode substrate power connection portion connected to an external power source,
A portion of the gate electrode is bent and extended to form a gate power connection portion connected to an external power source,
At least one of the focusing power connection part, the negative electrode substrate power connection part, and the gate power connection part is exposed to the outside through the module supporting part,
And a coupling member coupled to at least one of the focusing power connection unit, the negative electrode substrate power connection unit, and the gate power connection unit in a brazed manner on a bottom surface of the module support unit.

전자를 방출하는 소스유닛이 내부에 마련되는 몸체유닛; 및
상기 소스유닛으로부터 방출된 상기 전자와의 충돌에 의해 엑스선 또는 광을 발생시켜 상기 몸체유닛의 외부로 안내하는 애노드유닛;
을 포함하며,
상기 몸체유닛은 비금속성 재질로 형성되고 상기 애노드유닛은 금속성 재질로 형성되어, 상기 애노드유닛이 상기 몸체유닛의 외면을 따라 이종 접합되되,
상기 몸체유닛은 상기 소스유닛을 지지하는 바닥부에 대해 수직 상방향으로 연장된 측부의 외면을 따라 내부를 향해 단차진 복수의 결합턱을 가지는 애노드 결합부가 마련되며,
상기 애노드유닛은 상기 애노드 결합부의 상기 복수의 결합턱 중 어느 하나의 결합턱에 이종 접합되는 디지털 광원장치.
A body unit having a source unit for emitting electrons therein; And
An anode unit for generating X-rays or light by collision with the electrons emitted from the source unit and guiding the X-rays or light to the outside of the body unit;
/ RTI >
Wherein the body unit is formed of a non-metallic material and the anode unit is formed of a metallic material, wherein the anode unit is heterogeneously bonded along an outer surface of the body unit,
Wherein the body unit is provided with an anode coupling unit having a plurality of coupling jaws stepped inward along an outer surface of a side portion extending in a vertical upward direction with respect to a bottom portion supporting the source unit,
Wherein the anode unit is differentially bonded to one of the plurality of coupling jaws of the anode coupling unit.

제17항에 있어서,
상기 애노드유닛은 상기 복수의 결합턱 중에서 상기 애노드유닛과 이종 접합되지 않은 다른 결합턱에 대해서는 이격되는 디지털 광원장치.
18. The method of claim 17,
Wherein the anode unit is spaced apart from other joining jaws not differentially bonded to the anode unit among the plurality of joining jaws.

제18항에 있어서,
상기 애노드 결합부는 상기 몸체유닛의 측부로부터 내부를 향해 단차진 제1결합턱 및 상기 제1결합턱으로부터 상기 몸체유닛의 내부를 향해 단차진 제2결합턱을 가지며,
상기 애노드유닛은 상기 제1결합턱에 이종 접합되고 상기 제2결합턱에 대해서는 이격되도록 돌출된 결합돌기를 구비하는 디지털 광원장치.
19. The method of claim 18,
Wherein the anode coupling portion has a first coupling jaw that is stepped inward from the side of the body unit and a second coupling jaw that is stepped toward the inside of the body unit from the first coupling jaw,
Wherein the anode unit is provided with a coupling protrusion which is differentially joined to the first coupling jaw and protruded to be spaced apart from the second coupling jaw.

제19항에 있어서,
상기 제2결합턱과 결합돌기 사이에 상기 몸체유닛의 내부의 잔여가스를 흡입하는 게터(Getter)가 설치 가능한 디지털 광원장치.
20. The method of claim 19,
And a getter for sucking residual gas inside the body unit can be installed between the second engaging jaw and the engaging projection.

제19항에 있어서,
상기 애노드유닛은,
상기 전자와의 충돌에 의해 상기 광을 발생시켜 외부로 안내하는 반사면을 구비하는 애노드; 및
상기 애노드를 지지하여 상기 몸체유닛에 대해 결합시키는 애노드 지지부재;
를 포함하며,
상기 애노드 지지부재는,
상기 애노드를 지지하는 지지체;
상기 지지체로부터 연장되어 상기 몸체유닛의 측부와 동일 외경을 가지는 지지 측벽; 및
상기 지지 측벽으로부터 연장되어 상기 제1결합턱에 결합되는 상기 결합돌기;
를 포함하는 디지털 광원장치.
20. The method of claim 19,
The anode unit includes:
An anode having a reflecting surface for generating the light by collision with the electrons and guiding the light to the outside; And
An anode supporting member for supporting the anode and coupling the anode to the body unit;
/ RTI >
Wherein the anode-
A support for supporting the anode;
A support side wall extending from the support and having the same outer diameter as the side of the body unit; And
The coupling protrusion extending from the support sidewall and coupled to the first coupling jaw;
The digital light source device comprising:

제21항에 있어서,
상기 애노드는 구리, 텡스텐, 망간, 몰리브덴 및 이의 조합으로 이루어진 금속 중 어느 하나의 재질로 형성되며,
상기 반사면은 상기 애노드유닛과 동일 재질로 형성되거나 형광물질로 형성되어, 엑스선, 가시광선, 적외선, 자외선 중 적어도 어느 하나의 광을 발생시키는 일체형 디지털 광원장치.
22. The method of claim 21,
The anode may be formed of any one material selected from the group consisting of copper, tungsten, manganese, molybdenum, and combinations thereof,
Wherein the reflective surface is formed of the same material as the anode unit or formed of a fluorescent material to generate light of at least one of X-ray, visible light, infrared ray, and ultraviolet ray.

제19항에 있어서,
상기 몸체유닛의 상기 바닥부와 상기 측부는 연결부에 의해 상호 연결되며,
상기 연결부는,
상기 측부로부터 상기 몸체유닛의 내부를 향해 단차진 제1연결턱;
상기 제1연결턱으로부터 상기 몸체유닛의 내부를 향해 단차진 제2연결턱;
상기 바닥부로부터 상기 몸체유닛의 내부를 향해 단차진 제3연결턱; 및
상기 제1 및 제3연결턱에 접합되되, 상기 제2연결턱에 대해 이격되도록 마련되는 연결체;
를 포함하는 디지털 광원장치.
20. The method of claim 19,
Wherein the bottom portion and the side portion of the body unit are interconnected by a connecting portion,
The connecting portion
A first connecting jaw having a stepped portion from the side portion toward the inside of the body unit;
A second connecting jaw that is stepped from the first connecting jaw toward the inside of the body unit;
A third connecting jaw having a stepped portion from the bottom to the inside of the body unit; And
A connecting body joined to the first and third connecting jaws and spaced apart from the second connecting jaw;
The digital light source device comprising:

제23항에 있어서,
상기 제2결합턱과 상기 결합돌기 사이의 이격된 간격과, 상기 연결체와 제2연결턱 사이의 이격된 간격에 상기 몸체유닛의 내부의 잔여가스를 흡입하는 게터(Getter)가 각각 설치 가능한 디지털 광원장치.
24. The method of claim 23,
A getter for sucking residual gas inside the body unit at a spaced distance between the second joint jaw and the engaging projection and a spaced distance between the joint body and the second joint jaw, Light source device.

제17항에 있어서,
상기 소스유닛은,
박판으로 형성되는 음극기판 전극;
상기 음극기판 전극의 상부에 위치하는 에미터;
상기 에미터의 상부에 위치하고, 박판으로 형성되는 게이트 전극; 및
상기 에미터와 상기 애노드 유닛 사이에 위치하는 포커싱 전극;
을 포함하고,
상기 음극기판 전극 및 상기 게이트 전극 사이에는 박판으로 형성되는 제1절연부재가 구비되고, 상기 게이트 전극 및 상기 포커싱 전극 사이에는 박판으로 형성되는 제2절연부재가 구비되는 일체형 디지털 광원장치.
18. The method of claim 17,
Wherein the source unit comprises:
A cathode substrate electrode formed as a thin plate;
An emitter positioned above the cathode substrate electrode;
A gate electrode formed on the emitter and formed of a thin plate; And
A focusing electrode positioned between the emitter and the anode unit;
/ RTI >
A first insulating member formed of a thin plate is provided between the cathode substrate electrode and the gate electrode, and a second insulating member formed of a thin plate is provided between the gate electrode and the focusing electrode.

제25항에 있어서,
상기 음극기판 전극 및 상기 게이트 전극 가운데 적어도 하나는 일 부분이 절곡되어 연장되고, 외부 전원과 연결되는 전원 연결부를 구비하는 일체형 디지털 광원장치.
26. The method of claim 25,
Wherein at least one of the cathode substrate electrode and the gate electrode is bent and extended at one portion and has a power connection portion connected to an external power source.

제25항에 있어서,
상기 게이트 전극은 상기 제1절연부재에 의하여 지지되는 게이트 본체부와,
상기 게이트 본체부에서 절곡되어 연장되는 게이트 전원 연결부를 포함하고, 상기 게이트 본체부와 상기 게이트 전원 연결부는 한 몸으로 형성되는 일체형 디지털 광원장치.
26. The method of claim 25,
The gate electrode includes a gate body portion supported by the first insulating member,
Wherein the gate body portion and the gate power connection portion are formed as a single body.

제27항에 있어서,
상기 게이트 본체부의 중앙부에는 전자가 진행할 수 있는 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀에는 금속 재질의 메쉬가 형성되며, 상기 메쉬는 상기 에미터에서 기설정된 간격만큼 이격되는 일체형 디지털 광원장치.
28. The method of claim 27,
Wherein the gate body portion has a through hole through which electrons can pass, a metal mesh is formed in the through hole, and the mesh is spaced apart from the emitter by a predetermined interval.

제28항에 있어서,
상기 메쉬는 다수의 원형, 사각형 또는 육각형의 개구가 형성되는 벌집 형상으로 형성되는 일체형 디지털 광원장치.
29. The method of claim 28,
Wherein the mesh is formed in a honeycomb shape in which a plurality of circular, square or hexagonal openings are formed.

제25항에 있어서,
상기 포커싱 전극에는 외부 전원과 연결되는 포커싱 전원 연결부가 구비되고,
상기 음극기판 전극의 일부분이 절곡되어 연장되고, 외부 전원과 연결되는 음극기판 전원 연결부를 형성하며,
상기 게이트 전극의 일부분이 절곡되어 연장되고, 외부 전원과 연결되는 게이트 전원 연결부를 형성하고,
상기 음극기판 전극의 하부에는 모듈 지지부가 결합되며, 상기 포커싱 전원 연결부, 상기 음극기판 전원 연결부, 상기 게이트 전원 연결부 가운데 적어도 하나는 상기 모듈 지지부를 관통하여 외부로 노출되며,
상기 모듈 지지부의 저면에는 상기 포커싱 전원 연결부, 상기 음극기판 전원 연결부, 상기 게이트 전원 연결부 가운데 적어도 하나와 브레이징 방식으로 결합되는 결합부재가 구비되는 일체형 디지털 광원장치.
26. The method of claim 25,
The focusing electrode includes a focusing power connection unit connected to an external power source,
A portion of the cathode substrate electrode is bent and extended to form a cathode substrate power connection portion connected to an external power source,
A portion of the gate electrode is bent and extended to form a gate power connection portion connected to an external power source,
At least one of the focusing power connection part, the negative electrode substrate power connection part, and the gate power connection part is exposed to the outside through the module supporting part,
And a coupling member coupled to at least one of the focusing power connection unit, the negative electrode substrate power connection unit, and the gate power connection unit in a brazed manner on a bottom surface of the module support unit.