KR20190023483A - 리니어 부싱 - Google Patents

Abstract

본 발명은 리니어 부싱에 관한 것으로, 상하로 관통된 관통공이 형성된 원통 형태의 몸체와, 상기 몸체의 상측 외주면을 따라 형성되는 가상의 원주상에 등간격으로 형성된 복수의 제1 롤러 삽입홀과, 상기 몸체의 하측 외주면을 따라 형성되는 가상의 원주상에 등간격으로 형성된 복수의 제2 롤러 삽입홀을 포함하는 하우징부; 상기 제1 롤러 삽입홀에 각각 회전 가능하도록 설치되되, 일부가 상기 관통공 내측으로 노출되도록 설치된 복수의 제1 롤러; 및 상기 제2 롤러 삽입홀에 각각 회전 가능하도록 설치되되, 일부가 상기 관통공 내측으로 노출되도록 설치된 복수의 제2 롤러;를 포함한다. 이러한 구성으로, 상측에 3개의 롤러를 120도의 등간격으로 배치하고, 하측에 3개의 롤러를 120도의 등간격으로 배치하되 상측의 롤러와 엇갈리도록 60도 회전된 위치에 배치함으로써, 삼각형 형태로 배치된 롤러에 지지대가 적어도 두 개 이상의 롤러와 밀착되도록 하여 하나의 롤러만 마모되어 지지대가 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

Description

리니어 부싱{LINEAR BUSHING}

본 발명은 리니어 부싱에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 지지하는 지지대가 상하 이동할 때 발생되는 유격 및 마찰력을 최소화 하기 위한 리니어 부싱에 관한 것이다.

박막 트랜지스터는 모니터, 평판 디스플레이, 태양 전지, 개인 휴대 단말(PDA), 휴대 전화 등에 사용되는 대형유리 기판 또는 플레이트 상에서 제조되어 왔다. 이들 트랜지스터는 진공 챔버에서의 비결정 실리콘, 도핑 및 비도핑 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 등을 포함하는 각종 박막의 순차적 증착에 의해 제조된다. 막의 증착은 단일 증착 챔버 또는 시스템에서 일어나거나, 혹은 처리되고 있는 기판이 다수의 증착 챔버 사이로 이송된다. 각 증착 챔버 내에서 처리되고 있는 기판은 통상적으로 챔버 내에 위치하는 지지판 상에 얹혀진다. 증착 과정 사이에서 기판의 이송을 용이하게 하기 위해, 기판이 지지판과 떨어져 일정한 간격을 유지하도록, 예를 들어, 다수의 핀과 같은 지지 부재들이 지지판 윗면에 설치된다. 이는 이송 기구가 지지판이나 기판을 손상시키지 않으면서 기판 뒷면 아래로 미끄러지고 지지판으로부터 기판을 들어올릴 수 있게 한다.

지지대로는 일정한 높이를 가지며 지지판 윗면에 고정된 수직 포스트가 가장 흔하다. 지지대는 일반적으로 단단하며, 그 위에 배치된 유리 기판과 마찰을 일으킨다. 이 마찰은 흔히 불필요한 입자 오염을 일으킨다. 부가적으로, 지지대는 기판의 반복적인 로드 및 언로드로 인해 깎이거나 구부러지거나 깨지는 경향이 있다. 이는 기판이 처리 챔버에 들어가고 나갈 때 기판의 오정렬로 인해 일어난다. 또한 조작자 오류로 인해 핀의 손상이 발생할 수도 있고, 가장 흔하게는 전형적인 마멸로 인해 손상이 발생한다. 이에 따라, 지지대는 일반적으로 장기간의 사용 후 교체되며, 이는 손상된 핀을 제거하고 교체품을 설치하기 위한 중단 시간의 원인이 된다.

지지대 상에 배치된 기판과의 마찰을 감소시킬 수 있는 지지대가 필요하며, 지지대의 수명을 연장시키며 중단 시간을 감소시킬 필요가 있다.

더불어, 종래의 대한민국특허청 출원번호 제10-2011-0049336호에 개시된 바와 같이, 지지대가 상하 이동될 때 상하측에 각각 4면에 4개의 롤러를 배치하여 지지대가 미끄러지며 상하 이동될 수 있도록 리니어 부싱이 개발되었으나, 지지대가 4개의 롤러 중 어느 한 롤러에만 밀착되면서 그 밀착된 부분의 롤러가 마모되어 손상되며, 이로 인해 지지대가 하우징 내에 끼여 기판이 파손되는 문제점이 발생된다.

대한민국특허청 출원번호 제10-2011-0049336호 대한민국특허청 출원번호 제10-2011-0059222호 대한민국특허청 출원번호 제10-2005-0007378호

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로, 롤러와 지지대 간의 유격을 최소화하고, 지지대와 밀착되는 롤러의 내구성을 향상시키는 리니어 부싱을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 리니어 부싱은, 상하로 관통된 관통공이 형성된 원통 형태의 몸체와, 상기 몸체의 상측 외주면을 따라 형성되는 가상의 원주상에 등간격으로 형성된 복수의 제1 롤러 삽입홀과, 상기 몸체의 하측 외주면을 따라 형성되는 가상의 원주상에 등간격으로 형성된 복수의 제2 롤러 삽입홀을 포함하는 하우징부; 상기 제1 롤러 삽입홀에 각각 회전 가능하도록 설치되되, 일부가 상기 관통공 내측으로 노출되도록 설치된 복수의 제1 롤러; 및 상기 제2 롤러 삽입홀에 각각 회전 가능하도록 설치되되, 일부가 상기 관통공 내측으로 노출되도록 설치된 복수의 제2 롤러;를 포함한다.

또한, 상기 복수의 제1 롤러 삽입홀 및 복수의 제2 롤러 삽입홀은 각각, 120도의 등간격으로 형성되되, 상기 제1 롤러 삽입홀과 제2 롤러 삽입홀은 상기 몸체의 외주면에 형성되는 임의의 원주를 따라 서로 등간격으로 교차되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 몸체부에는 제1 롤러 삽입홀과 제2 롤러 삽입홀 각각에 수평으로 직교 교차되도록 통공되는 제1 샤프트 삽입홀과 제2 샤프트 삽입홀이 형성되고, 상기 제1 롤러와 제2 롤러는 각각 양단이 상기 제1 샤프트 삽입홀과 제2 샤프트 삽입홀에 회전 가능하도록 결합된 제1 샤프트와 제2 샤프트에 연동회전되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 롤러 및 제2 롤러는 외주면이 오목하게 형성되거나 볼록하게 형성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의한 리니어 부싱에 따르면, 상측에 3개의 롤러를 120도의 등간격으로 배치하고, 하측에 3개의 롤러를 120도의 등간격으로 배치하되 상측의 롤러와 엇갈리도록 배치함으로써, 삼각형 형태로 배치된 롤러에 지지대가 적어도 두 개 이상의 롤러와 밀착되도록 하여 하나의 롤러만 마모되어 지지대가 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 리니어 부싱의 사시도이다.
도 2는 도 1의 투과사시도이다.
도 3은 도 1의 측단면도이다.
도 4는 도 1의 평단면이다.
도 5는 종래 기술에 따른 리니어 부싱의 사시도이다.
도 6은 도 5의 투과사시도이다.
도 7은 도 5의 측단면도이다.
도 8은 도 5의 평단면도이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.

그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다

이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 리니어 부싱을 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 리니어 부싱의 사시도, 도 2는 투과사시도, 도 3은 측단면도, 도 4는 평단면이다.

이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 리니어 부싱(100)은 기판을 들어 올리는 지지대(200)가 상하측으로 이동될 때의 유격 및 마찰력을 최소화할 수 있도록 한 것이다.

이러한 효과를 제공할 수 있는 본 실시예에 따른 리니어 부싱(100)은 하우징부(110), 제1 롤러(120), 제1 샤프트(130), 제2 롤러(140) 및 제2 샤프트(150)를 포함한다.

상기 하우징부(110)는 원통 형상으로 몸체(111)가 형성되며, 상하로 관통공(112)이 형성된다. 여기서 상기 관통공(112)으로는 지지대(200)가 상하 이동하게 된다. 상기 몸체(111)의 상측에는 120도 간격으로 등간격 배치된 제1 롤러 삽입홀(113)이 형성된다.

여기서, 상기 제1 롤러 삽입홀(113)의 각 양측에는 제1 샤프트 삽입홀(114)이 형성되는데, 이때 상기 제1 샤프트 삽입홀(114)은 상기 제1 롤러 삽입홀(113)을 관통하며 연통되도록 형성되는 것이 바람직하다.

상기 몸체(111)의 하측에는 상기 제1 롤러 삽입홀(113) 및 제1 샤프트 삽입홀(114)과 동일한 구성인 제2 롤러 삽입홀(115)과 제2 샤프트 삽입홀(116)이 형성되는데, 여기서 상기 제2 롤러 삽입홀(115)과 제2 샤프트 삽입홀(116)은 상기 제1 롤러 삽입홀(113)과 제1 샤프트 삽입홀(114)과 대향하되 서로 엇갈리도록 소정 각도, 바람직하게는 60도 회전된 위치에 배치된다.

이때, 상기 제1 샤프트 삽입홀(114)과 제2 샤프트 삽입홀(116)은 상기 관통공(112)과 연통되도록 형성되는 것이 바람직하다.

상기 제1 롤러(120)는 상기 제1 롤러 삽입홀(113)에 삽입되되, 상기 몸체(111)의 관통공(112) 내측으로 일부분이 돌출되도록 배치된다.

상기 제1 샤프트(130)는 상기 제1 샤프트 삽입홀(114)에 결합되는데, 이때 상기 제1 롤러(120)의 축방향인 측면을 관통하며 결합된다.

이는, 상기 제1 롤러(120)는 상기 제1 샤프트(130)에 의해 회전 가능하게 결합되며, 상기 지지대(200)가 상하로 이동할 때 회전하며 마찰력이 발생되지 않도록 하기 위함이다.

상기 제2 롤러(140)는 상기 제2 롤러 삽입홀(115)에 삽입되되, 상기 몸체(111)의 관통공(112) 내측으로 일부분이 돌출되도록 배치된다.

상기 제2 샤프트(150)는 상기 제2 샤프트 삽입홀(116)에 결합되는데, 이때 상기 제2 롤러(140)의 축방향인 측면을 관통하며 결합된다.

이는, 상기 제2 롤러(140)는 상기 제2 샤프트(150)에 의해 회전 가능하게 결합되며, 상기 지지대(200)가 상하로 이동할 때 회전하며 마찰력이 발생되지 않도록 하기 위함이다.

아울러, 상기 제1 롤러(120) 및 제2 롤러(140)는 상기 지지대(200)의 외주면과 밀착될 때 마찰력을 최소화하기 위해 각 외주면을 오목하게 형성하는 것이 바람직하다.

물론, 상기 제1 롤러(120) 및 제2 롤러(140)의 각 외주면이 볼록하게 형성될 수도 있다.

또한, 상기 제1 롤러(120) 및 제2 롤러(140)의 외주면이 마모되는 것을 방지하기 위한 고무패킹(미도시)이 외주면에 더 결합될 수도 있다.

도 5는 종래 기술에 따른 리니어 부싱의 사시도, 도 6은 투과사시도, 도 7은 측단면도, 도 8은 평단면도이다.

도 5 내지 8을 참조하면, 종래의 리니어 부싱(10)은 롤러(12)가 상하로 각각 4개씩 배치되며, 각 90도의 각도로 등간격 배치된다.

이러한 90도 등간격 배치는 도 8에서 보는 바와 같이 지지대(20)가 롤러(12) 사이의 유격으로 인해 지지대(20)가 하나의 롤러(12)에만 밀착하게 되므로, 하나의 롤러(12)에만 마모가 발생하여 내구성이 저하되는 문제점이 있다.

또한, 한쪽의 롤러(12)에만 마모가 발생할 경우 지지대(20)가 파손되거나 관통공(11) 및 롤러(12) 사이에 끼어 지지대(20)가 들어 올리던 기판을 손상시킬 수 있는 문제점이 있다.

그러나, 본 발명에 따른 리니어 부싱(100)은 도 4에서 보는 바와 같이, A-A 단면의 경우 상기 지지대(200)가 상측에서는 하나의 상기 제1 롤러(120)와 밀착되더라도 B-B 단면처럼 하측에서 두 개의 상기 제2 롤러(140)와 밀착되므로 보다 안정적이고, 뛰어난 내구성을 가질 수 있다.

더 나아가, 상기 제1 롤러(120)와 제2 롤러(140)를 서로 엇갈린 각도의 위치에 배치됨으로써, 상기 제1 롤러(120)가 마모되더라도 마모된 부분과 대향되는 부분의 상기 제2 롤러(140)가 상기 지지대(200)를 지지할 수 있는 장점을 가진다.

본 발명에 의한 리니어 부싱에 따르면, 상측에 3개의 롤러를 120도의 등간격으로 배치하고, 하측에 3개의 롤러를 120도의 등간격으로 배치하되 상측의 롤러와 엇갈리도록 배치함으로써, 삼각형 형태로 배치된 롤러에 지지대가 적어도 두 개 이상의 롤러와 밀착되도록 하여 하나의 롤러만 마모되어 지지대가 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

100: 리니어 부싱 110: 하우징부
111: 몸체 112: 관통공
113: 제1 롤러 삽입홀 114: 제1 샤프트 삽입홀
115: 제2 롤러 삽입홀 116: 제2 샤프트 삽입홀
120: 제1 롤러 130: 제1 샤프트
140: 제2 롤러 150: 제2 샤프트
200: 지지대

Claims (4)

1. 상하로 관통된 관통공이 형성된 원통 형태의 몸체와, 상기 몸체의 상측 외주면을 따라 형성되는 가상의 원주상에 등간격으로 형성된 복수의 제1 롤러 삽입홀과, 상기 몸체의 하측 외주면을 따라 형성되는 가상의 원주상에 등간격으로 형성된 복수의 제2 롤러 삽입홀을 포함하는 하우징부;
   상기 제1 롤러 삽입홀에 각각 종 방향으로 회전 가능하도록 설치되되, 일부가 상기 관통공 내측으로 노출되도록 설치된 복수의 제1 롤러;
   상기 제2 롤러 삽입홀에 각각 종 방향으로 회전 가능하도록 설치되되, 일부가 상기 관통공 내측으로 노출되도록 설치된 복수의 제2 롤러;를 포함하는 리니어 부싱.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 복수의 제1 롤러 삽입홀 및 복수의 제2 롤러 삽입홀은 각각, 120도의 등간격으로 형성되되,
   상기 제1 롤러 삽입홀과 제2 롤러 삽입홀은 상기 몸체의 외주면에 형성되는 임의의 원주를 따라 서로 등간격으로 교차되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 리니어 부싱.
   
3. 제 1항에 있어서,
   상기 몸체부에는 제1 롤러 삽입홀과 제2 롤러 삽입홀 각각에 수평으로 직교 교차되도록 통공되는 제1 샤프트 삽입홀과 제2 샤프트 삽입홀이 형성되고,
   상기 제1 롤러와 제2 롤러는 각각 양단이 상기 제1 샤프트 삽입홀과 제2 샤프트 삽입홀에 회전 가능하도록 결합된 제1 샤프트와 제2 샤프트에 연동회전되는 것을 특징으로 하는 리니어 부싱.
   
4. 제 1항에 있어서,
   상기 제1 롤러 및 제2 롤러는 외주면이 오목하게 형성되거나 볼록하게 형성되는 것을 특징으로 하는 리니어 부싱.

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