KR20180041186A - 접합 장치 및 가요성 디스플레이 모듈의 접합 방법 - Google Patents

접합 장치 및 가요성 디스플레이 모듈의 접합 방법 Download PDF

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Abstract

베이스 프레임과, 이 베이스 프레임 상에 배치되는 접합 플랫폼, 인장 기구 및 승강 기구를 포함하는 접합 장치가 제공된다. 인장 기구는 접합 플랫폼의 양 측부 상에 각각 배치된 제 1 인장부 및 제 2 인장부를 포함한다. 제 1 인장부 및 제 2 인장부는 피접합체의 양 단부에 각각 연결되고, 피접합체를 인장하는데 사용된다. 접합 플랫폼은 접합 평면을 포함하고, 접합 평면은 피접합체와 접촉하는데 사용된다. 승강 기구는, 접합 평면 및/또는 인장 기구를 구동시켜 접합 평면과 인장 기구 사이의 상대 변위를 발생시키고, 접합 평면 및 인장 기구 모두의 작용하에서, 접합 평면과 접촉하는 피접합체의 표면을 평탄하게 하는데 사용된다. 본 개시의 접합 장치는 높은 양품률을 갖는다. 가요성 디스플레이 모듈의 접합 방법이 또한 제공된다.

Description

접합 장치 및 가요성 디스플레이 모듈의 접합 방법
본 개시는 가요성 디스플레이 모듈 기술의 분야에 관한 것으로, 특히 접합 장치, 및 이 접합 장치를 채용하는 가요성 디스플레이 모듈의 접합 방법에 관한 것이다.
디스플레이 기술이 진보함에 따라, 가요성 디스플레이 모듈은 점점 더 많은 응용을 가질 것이다. 가요성 디스플레이 모듈은 가요성 디스플레이 패널 및 대응하는 구동 회로를 주로 포함한다. 가요성 디스플레이 패널이 제조된 후에, 외부 구동 칩이 가요성 디스플레이 패널 상에 전도성 매체를 통해 접속될 필요가 있다. 이러한 프로세스는 일반적으로 접합(bonding)으로 알려져 있다. 접합 프로세스에서, 접속을 가능하게 하기 위한 전도성 매체는 일반적으로 이방성 전도 필름(anisotropic conductive film; AFC)에 의해 달성되고, 이러한 필름은 압력을 받는 방향으로만 전기 전도성을 나타내고, 압력이 없는 다른 방향으로는 비전도성인 것으로 특징지어진다. 그러나, 접합이 가요성 디스플레이 패널 상에 직접 수행되면, 접합 프로세스에서의 고온 및 열압(hot pressure) 환경으로 인해, 가요성 디스플레이 패널은 쉽게 변형되어, 접합 동안에 부정확한 정렬을 초래하고, 그에 따라 제품 품질에 악영향을 미칠 수 있다.
본 개시의 실시예는 높은 양품률(yield rate)을 갖는 접합 장치, 및 이 접합 장치를 채용하는 가요성 디스플레이 모듈의 접합 방법을 제공한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 개시의 구현예는 하기의 기술적 해결책을 제공한다.
본 개시의 일 측면에 따르면, 접합 장치가 제공된다. 접합 장치는 베이스 프레임과, 이 베이스 프레임 상에 배치되는 접합 플랫폼(bonding platform), 인장 기구(tensioning mechanism) 및 승강 기구(elevating mechanism)를 포함한다.
인장 기구는 접합 플랫폼의 일 측부 상에 배치된 제 1 인장부와, 접합 플랫폼의 타 측부 상에 배치된 제 2 인장부를 포함한다. 제 1 인장부는 피접합체(object)의 일 단부에 연결되고, 제 2 인장부는 피접합체의 타 단부에 연결된다. 제 1 인장부 및 제 2 인장부는 피접합체를 인장하는데 사용된다.
접합 플랫폼은 접합 평면을 포함하고, 접합 평면은 피접합체와 접촉하는데 사용된다.
승강 기구는, 접합 평면 및 인장 기구 중 적어도 하나를 구동시켜 접합 평면과 인장 기구 사이의 상대 변위를 발생시키고, 접합 평면 및 인장 기구 모두의 작용하에서, 접합 평면과 접촉하는 피접합체의 표면을 평탄하게 하는데 사용된다.
본 개시의 다른 측면에 따르면, 가요성 디스플레이 모듈의 접합 방법이 제공된다. 상기 방법은 가요성 디스플레이 패널의 제 1 접합 영역에 집적 회로를 접합하는데 사용된다. 상기 방법은 하기의 동작을 포함한다.
인장 기구는 가요성 디스플레이 패널을 인장한다.
승강 기구는 접합 플랫폼의 접합 평면 및 인장 기구 중 적어도 하나를 이동하도록 구동시켜서, 접합 평면이 제 1 접합 영역을 밀어 올리게 한다.
집적 회로는 제 1 접합 영역과 정렬된다.
집적 회로 및 제 1 접합 영역은 서로 가압된다.
관련 기술과 비교하여, 본 개시의 실시예는 하기의 유리한 효과를 갖는다.
본 개시의 접합 장치에 따르면, 피접합체를 인장하기 위해, 인장 기구의 제 1 인장부가 피접합체의 일 단부에 연결되고, 인장 기구의 제 2 인장부가 피접합체의 타 단부에 연결된다. 접합 플랫폼의 접합 평면은 제 1 인장부와 제 2 인장부 사이에 위치되고, 피접합체의 중간 부분과 접촉하는데 사용된다. 승강 기구가 접합 평면 및/또는 인장 기구를 구동시켜, 접합 평면 및 인장 기구 모두의 작용하에서 접합 평면과 인장 기구 사이에 상대 변위가 일어나는 경우, 피접합체 전체가 인장되고, 피접합체의 일부가 접합 평면 상에 밀착 가압되고, 그에 따라 접합 평면과 접촉하는 피접합체의 표면이 평탄해진다. 또한, 피접합체의 피접합 영역은 접합 평면과 접촉하여 접합 프로세스에서 접합 정렬의 정밀도를 보장한다. 즉, 피접합체는 하나의 가압 동작에 의해 접합될 수 있고, 이러한 방식으로, 피접합체의 접합 효율 및 양품률을 효과적으로 향상시키는 것이 가능하다.
본 개시의 가요성 디스플레이 모듈의 접합 방법에 따르면, 가요성 디스플레이 패널이 평탄하게 유지되기 때문에, 즉 제 1 접합 영역이 양호한 평탄도(flatness)를 갖기 때문에, 접합 프로세스에서의 접합 정렬의 정밀도가 보장될 수 있다. 다시 말해서, 가요성 디스플레이 패널 및 집적 회로는 하나의 가압 동작에 의해 접합될 수 있고, 이에 의해 보다 높은 접합 효율 및 보다 높은 양품률을 달성할 수 있다.
본 개시의 실시예에 있어서의 기술적인 해결책을 보다 명확하게 설명하기 위해서, 실시예를 설명하는데 필요한 첨부 도면을 하기에 간략하게 소개한다. 명백하게는, 하기의 설명에 있어서의 첨부 도면은 본 개시의 일부 실시예를 나타내고 있다. 본 기술분야의 통상의 기술자에게는, 또한 창조적인 노력 없이도 이들 첨부 도면에 기초하여 다른 도면이 용이하게 얻어질 수도 있다.
도 1은 본 개시의 일 실시예에 따른 접합 장치를 도시하는 개략적인 구조도,
도 2는 본 개시의 일 실시예에 따른 접합 장치의 접합 플랫폼을 도시하는 개략적인 구조도,
도 3은 본 개시의 일 실시예에 따른 접합 장치의 접합 플랫폼을 도시하는 다른 개략적인 구조도,
도 4는 본 개시의 일 실시예에 따른 접합 장치의 접합 플랫폼을 도시하는 또 다른 개략적인 구조도,
도 5는 도 4의 실시예를 도시하는 개략적인 평면 구조도,
도 6은 본 개시의 일 실시예에 따른 접합 장치의 인장 기구를 도시하는 개략적인 구조도,
도 7 및 도 9 내지 도 11은 본 개시의 일 실시예에 따른 가요성 디스플레이 모듈의 접합 방법의 다양한 단계에 대응하는 제조 프로세스를 도시하는 개략적인 구조도,
도 8은 도 7의 구조를 도시하는 평면도,
도 12는 본 개시의 일 실시예에 따른 가요성 디스플레이 모듈의 접합 방법에 있어서 피접합체가 접합 평면 상에 밀착 가압되는 것을 도시하는 개략적인 구조도.
이하에서, 본 개시의 실시예의 첨부 도면을 참조하여 본 개시의 실시예의 기술적인 해결책이 명확하고 완벽하게 설명될 것이다. 명백하게는, 설명되는 실시예는 본 개시의 실시예의 일부일 뿐 전부는 아니다. 창조적인 노력 없이도 본 개시의 실시예에 기초하여 본 기술분야의 통상의 기술자에 의해 얻어지는 모든 다른 실시예는 본 개시의 보호 범위에 속하는 것이다.
도 1을 참조하면, 본 개시의 실시예에 따르면, 피접합체(object)를 접합하기 위한 접합 장치가 제공된다. 예를 들면, 이 접합 장치는 가요성 디스플레이 패널 및 집적 회로의 접합 프로세스를 달성할 수 있다. 본 명세서에서의 피접합체는 가요성 디스플레이 패널 또는 집적 회로일 수 있다. 일반적으로, 피접합체는 가요성 디스플레이 패널이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 접합 장치는 베이스 프레임(1)과, 이 베이스 프레임 상에 배치된 접합 플랫폼(bonding platform)(2), 인장 기구(tensioning mechanism)(3) 및 승강 기구(elevating mechanism)(6)를 포함한다. 인장 기구(3)는 접합 플랫폼(2)의 일 측부 상에 배치된 제 1 인장부(31)와, 접합 플랫폼(2)의 타 측부 상에 배치된 제 2 인장부(32)를 포함한다. 제 1 인장부(31)는 피접합체의 일 단부에 연결되고, 제 2 인장부(32)는 피접합체의 타 단부에 연결된다. 제 1 인장부(31) 및 제 2 인장부(32)는 피접합체를 인장하는데 사용된다. 접합 플랫폼(2)은 접합 평면(20)을 포함하고, 접합 평면(20)은 피접합체와 접촉하는데 사용된다. 승강 기구(6)는, 접합 평면(20) 및 인장 기구(3) 중 적어도 하나를 구동시켜 접합 평면(20)과 인장 기구(3) 사이의 상대 변위를 발생시키고, 접합 평면(20) 및 인장 기구(3) 모두의 작용하에서, 접합 평면(20)과 접촉하는 피접합체의 표면을 평탄하게 하는데 사용된다.
본 실시예에 있어서, 접합 장치의 인장 기구(3)의 제 1 인장부(31)는 피접합체의 일 단부에 연결되고, 접합 장치의 인장 기구(3)의 제 2 인장부(32)는 피접합체의 타 단부에 연결된다. 제 1 인장부(31) 및 제 2 인장부(32)는 피접합체를 인장하는데 사용된다. 접합 플랫폼(2)의 접합 평면(20)은 제 1 인장부(31)와 제 2 인장부(32) 사이에 위치되고, 피접합체의 중간 부분과 접촉하는데 사용된다. 승강 기구(6)가 접합 평면(20) 및/또는 인장 기구(3)를 구동시켜, 접합 평면(20) 및 인장 기구(3) 모두의 작용하에서 접합 평면(20)과 인장 기구(3) 사이의 상대 변위를 야기하는 경우, 피접합체 전체가 인장되고, 피접합체의 일부가 접합 평면(20) 상에 밀착 가압되어서, 접합 평면(20)과 접촉하는 피접합체의 표면이 평탄해진다. 또한, 피접합체의 피접합 영역은 접합 평면(20)과 접촉하여 접합 프로세스에서 접합 정렬의 정밀도를 보장한다. 그러므로, 피접합체의 접합 동작은 하나의 가압 동작에 의해 완료될 수 있고, 그 결과, 피접합체의 접합 효율 및 양품률이 효과적으로 향상될 수 있다.
예를 들면, 접합 장치가 집적 회로의 제 2 접합 영역을 가요성 디스플레이 패널의 제 1 접합 영역에 접합하는 경우, 제 1 접합 영역은 접합 평면(20) 상에 밀착 가압되어, 제 1 접합 영역을 평탄하게 하고, 그 후에 제 1 접합 영역 및 제 2 접합 영역의 접합 정렬 및 가압 동작이 수행되고, 그에 따라 피접합체의 접합 효율 및 양품률을 효과적으로 향상시킨다.
본 실시예에 있어서, 접합 평면(20)은, 접합 프로세스에서 피접합 영역이 평탄한 상태로 있는 것을 더욱 보장하기 위해, 평탄한 평면이고, 피접합체의 피접합 영역의 면적보다 크거나 동일한 면적을 가져야 한다. 또한, 접합 평면(20)의 면적은 피접합체의 피접합 영역의 면적보다 단지 약간 커서, 가압 프로세스에서 고온의 영향을 받는 피접합체의 기재의 면적을 감소시켜, 피접합체의 양품률을 더욱 증대시킨다. 하나의 구현예로서, 피접합체의 피접합 영역의 면적에 대한 접합 평면(20)의 면적의 비는 1 내지 1.5의 범위이다.
본 실시예에 있어서, 제 1 인장부(31)는 제 1 방향으로 인장력을 제공하는데 사용될 수 있고, 제 2 인장부(32)는 제 2 방향으로 인장력을 제공하는데 사용될 수 있으며, 제 2 방향은 제 1 방향과는 반대이다. 제 1 방향과 제 2 방향 사이의 관계는 반대 관계를 포함하지만 이에 한정되지 않으며, 피접합체의 양 단부가 인장될 수 있는 한, 다른 관계일 수도 있다는 것에 주목해야 한다.
또한, 도 1 및 도 2를 참조하면, 하나의 구현예로서, 승강 기구(6)는 제 1 구동 구성요소(61)를 포함한다. 제 1 구동 구성요소(61)는, 접합 플랫폼(2)과 베이스 프레임(1)을 연결하며, 베이스 프레임(1)을 향해 또는 그로부터 멀리 이동하도록 접합 플랫폼(2)을 구동시켜서 접합 평면(20)과 인장 기구(3) 사이의 상대 변위를 야기하는데 사용되고, 그에 따라 접합 평면(20)이 피접합체 상에 밀착 가압되거나, 그와 정합하거나, 또는 그로부터 멀리 이동할 수 있다.
또한, 도 1 및 도 2를 참조하면, 제 1 구동 구성요소(61)는 피치 조정 구조체(612), 제 1 연결 로드(611) 및 제 2 연결 로드(613)를 포함하고, 제 1 연결 로드(611) 및 제 2 연결 로드(613)는 동일한 길이를 갖는다. 제 1 연결 로드(611)의 중간 부분은 제 2 연결 로드(613)의 중간 부분과 힌지 결합된다. 피치 조정 구조체(612)는 제 1 연결 로드(611)의 일 단부와 제 2 연결 로드(613)의 일 단부 사이의 거리를 조정하는데 사용된다. 도 2에 도시된 바와 같이, 피치 조정 구조체(612)가 제 1 연결 로드(611)의 일 단부(6111)와 제 2 연결 로드(613)의 일 단부(6131) 사이의 거리를 감소시키도록 조정하는 경우, 제 1 연결 로드(611)의 타 단부(6112)와 제 2 연결 로드(613)의 타 단부(6132) 사이의 거리도 감소되고, 따라서, 제 1 연결 로드(611)의 일 단부(6111)와 제 2 연결 로드(613)의 타 단부(6132) 사이의 거리뿐만 아니라, 제 2 연결 로드(613)의 일 단부(6131)와 제 1 연결 로드(611)의 타 단부(6112) 사이의 거리가 증가된다. 즉, 접합 플랫폼(2)이 베이스 플랫폼(1)으로부터 멀리 이동하여, 접합 평면(20)과 인장 기구(3) 사이에 상대 변위가 일어나고, 결과적으로 접합 평면(20)이 피접합체를 밀착 가압할 수 있다. 유사하게, 피치 조정 구조체(612)가 제 1 연결 로드(611)의 일 단부(6111)와 제 2 연결 로드(613)의 일 단부(6131) 사이의 거리를 증가시키도록 조정하는 경우, 제 1 연결 로드(611)의 타 단부(6112)와 제 2 연결 로드(613)의 타 단부(6132) 사이의 거리도 증가되고, 따라서, 제 1 연결 로드(611)의 일 단부(6111)와 제 2 연결 로드(613)의 타 단부(6132) 사이의 거리, 및 제 2 연결 로드(613)의 일 단부(6131)와 제 1 연결 로드(611)의 타 단부(6112) 사이의 거리가 감소된다. 다시 말해서, 접합 플랫폼(2)이 베이스 플랫폼(1)에 근접하게 이동하여, 접합 평면(20)과 인장 기구(3) 사이에 상대 변위가 일어나고, 그 결과 접합 평면(20)이 피접합체로부터 멀리 이동할 수 있다.
또한, 도 1 및 도 3을 참조하면, 다른 구현예로서, 승강 기구(6)는 제 1 구동 구성요소(61)를 포함한다. 접합 플랫폼(2)은 제 1 부분(2a) 및 제 2 부분(2b)을 포함하고, 제 1 부분(2a)의 상측 표면은 접합 평면(20)이고, 제 2 부분(2b)은 베이스 프레임(1)에 고정되어 있다. 제 1 구동 구성요소(61)는, 제 1 부분(2a)과 제 2 부분(2b) 사이에 배치되며, 제 2 부분(2b)에 근접하게 또는 그로부터 멀리 이동하도록 제 1 부분(2a)을 구동시켜서 접합 평면(20)과 인장 기구(3) 사이의 상대 변위를 야기하는데 사용되고, 그에 따라 접합 평면(20)이 피접합체 상에 밀착 가압되거나, 그와 정합하거나, 또는 그로부터 멀리 이동할 수 있다.
또한, 도 1 및 도 3을 참조하면, 제 1 구동 구성요소(61)는 피치 조정 구조체(612), 제 1 연결 로드(611), 및 제 1 연결 로드(611)의 길이와 동일한 길이를 갖는 제 2 연결 로드(613)를 포함한다. 제 1 연결 로드(611)의 중간 부분은 제 2 연결 로드(613)의 중간 부분과 힌지 결합된다. 피치 조정 구조체(612)는 제 1 연결 로드(611)의 일 단부와 제 2 연결 로드(613)의 일 단부 사이의 거리를 조정하는데 사용된다. 도 3에 도시된 바와 같이, 피치 조정 구조체(612)가 제 1 연결 로드(611)의 일 단부(6111)와 제 2 연결 로드(613)의 일 단부(6131) 사이의 거리를 감소시키도록 조정하는 경우, 제 1 연결 로드(611)의 타 단부(6112)와 제 2 연결 로드(613)의 타 단부(6132) 사이의 거리도 감소되고, 따라서, 제 1 연결 로드(611)의 일 단부(6111)와 제 2 연결 로드(613)의 타 단부(6131) 사이의 거리, 및 제 2 연결 로드(613)의 일 단부(6131)와 제 1 연결 로드(611)의 타 단부(6112) 사이의 거리가 증가된다. 즉, 제 1 부분(2a)이 제 2 부분(22)으로부터 멀리 이동하여, 접합 평면(20)과 인장 기구(3) 사이에 상대 변위가 발생되고, 결과적으로 접합 평면(20)이 피접합체와 밀착할 수 있다. 마찬가지로, 피치 조정 구조체(612)가 제 1 연결 로드(611)의 일 단부(6111)와 제 2 연결 로드(613)의 일 단부(6131) 사이의 거리를 증가시키도록 조정하는 경우, 제 1 연결 로드(611)의 타 단부(6112)와 제 2 연결 로드(613)의 타 단부(6132) 사이의 거리도 증가되고, 따라서, 제 1 연결 로드(611)의 일 단부(6111)와 제 2 연결 로드(613)의 타 단부(6132) 사이의 거리, 및 제 2 연결 로드(613)의 일 단부(6131)와 제 1 연결 로드(611)의 타 단부(6112) 사이의 거리가 감소된다. 다시 말해서, 제 1 부분(2a)이 제 2 부분(2b) 근처로 이동하여, 접합 평면(20)과 인장 기구(3) 사이에 상대 변위가 발생되고, 그 결과 접합 평면(20)이 피접합체로부터 멀리 이동할 수 있다.
본 실시예의 접합 플랫폼(2)이 더 많은 부분, 예를 들어 3개의 부분을 포함할 수 있으며, 인접 부분이 이 인접 부분 사이의 거리를 조정하도록 제 1 구동 구성요소(61)와 유사한 구조를 통해 연결될 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 접합 플랫폼(2)의 구성 부분이 많아질수록, 접합 평면(20)의 조정 범위가 커질 수 있고, 따라서 접합 장치의 다용성(versatility)이 향상될 수 있다.
또한, 제 1 구동 구성요소(61)의 피치 조정 구조체(612)는 볼트 구조체, 나사 구조체 등과 같은, 피치 조정을 달성할 수 있는 임의의 구조체일 수 있다.
또한, 도 1, 도 4 및 도 5를 참조하면, 또 다른 구현예로서, 접합 장치의 접합 플랫폼(2)은 제 1 돌출부(21), 제 2 돌출부(22) 및 제 3 돌출부(23)를 포함한다. 제 1 구동 구성요소(61)는 제 1 돌출부(21)를 상승 구동시키는데 사용되어, 제 1 돌출부(21)의 상측 표면(210)이 접합 평면(20)을 형성하게 한다. 대안적으로, 제 1 구동 구성요소(61)는 제 1 돌출부(21) 및 제 2 돌출부(22)를 상승 구동시키는데 사용되어, 제 1 돌출부(21)의 상측 표면(210) 및 제 2 돌출부(22)의 상측 표면(220)이 동일 평면 상에 있게 하여 접합 평면(20)을 형성하게 한다. 대안적으로, 제 1 구동 구성요소(61)는 제 1 돌출부(21), 제 2 돌출부(22) 및 제 3 돌출부(23)를 상승 구동시키는데 사용되어, 제 1 돌출부(21)의 상측 표면(210), 제 2 돌출부(22)의 상측 표면(220) 및 제 3 돌출부(23)의 상측 표면(230)이 동일 평면 상에 있게 하여 접합 평면(20)을 형성하게 한다. 즉, 접합 평면은 상이한 접합 면적을 가질 수 있고, 그에 따라 접합 장치가 상이한 접합 면적을 갖는 다수의 피접합 구성요소에 적용될 수 있고, 이에 의해 접합 장치의 적용의 유연성 및 범위를 향상시킨다. 제 1 구동 구성요소(61)는 전술한 실시예에서 설명된 제 1 구동 구성요소의 구조를 참조하여 배치될 수 있으며, 여기서는 다시 설명되지 않는다.
또한, 도 1 및 도 6을 참조하면, 승강 기구(6)는 제 2 구동 구성요소(62)를 포함하고, 제 2 구동 구성요소(62)는 접합 플랫폼의 일 측부 상에 배치된 제 1 브래킷(621)과, 접합 플랫폼의 타 측부 상에 배치된 제 2 브래킷(623)을 포함한다. 제 1 브래킷(621)에는 제 1 슬라이딩 레일(622)이 제공되고, 제 2 브래킷(623)에는 제 2 슬라이딩 레일(624)이 제공되며, 제 1 슬라이딩 레일(622) 및 제 2 슬라이딩 레일(624)의 슬라이딩 경로는 모두 접합 평면(20)에 수직하다. 제 1 인장부(31)는 제 1 슬라이딩 레일(622)에 이동가능하게 연결되고, 제 2 인장부(32)는 제 2 슬라이딩 레일(624)에 이동가능하게 연결된다. 본 실시예에 있어서, 제 1 인장부(31)는 제 1 슬라이딩 레일(622) 상에서 슬라이딩하고, 제 2 인장부(32)는 제 2 슬라이딩 레일(624) 상에서 슬라이딩하고, 그에 따라 접합 평면(20)과 인장 기구(3) 상의 인장된 피접합체 사이의 상대 변위가 발생되고, 따라서 접합 평면(20)이 피접합체와 밀착하거나, 그와 정합하거나, 그로부터 멀리 이동할 수 있다.
또한, 도 1, 도 6 및 도 7을 참조하면, 접합 장치의 제 1 인장부(31)는 서로 이격되어 배치된 한쌍의 제 1 롤러(311, 312)를 포함한다. 제 1 롤러(311, 312)는 이 제 1 롤러(311, 312) 사이에 배치된 피접합체(예를 들면, 도 7에 도시된 바와 같은 가요성 디스플레이 패널(4))의 일 단부를 클램핑하는데 사용된다. 즉, 제 1 롤러(311)는 가요성 디스플레이 패널(4)의 제 1 표면(41)을 클램핑하고, 제 1 롤러(312)는 제 1 표면(41)과 대향하는 가요성 디스플레이 패널(4)의 제 2 표면(42)을 클램핑한다. 제 1 롤러(311, 312)와 피접합체(즉, 가요성 디스플레이 패널(4)) 사이의 제 1 마찰(f)(도 7에 도시된 바와 같이, 마찰(f)이 제 1 방향을 나타냄)이 사전결정된 값보다 작거나 동일한 경우, 제 1 롤러(311, 312)는 롤링(rolling)하지 않으며; 제 1 마찰(f)이 사전결정된 값보다 큰 경우, 제 1 롤러(311, 312)는 롤링한다. 제 1 롤러(311, 312)가 롤링을 정지하는 경우, 이것은 제 1 마찰(f)이 사전결정된 값보다 작거나 동일한 값으로 감소하는 것을 나타낸다. 그러므로, 제 1 인장부(31)는 사전결정된 값보다 작거나 동일한 인장력을 가요성 디스플레이 패널(4)에 인가할 수 있다. 본 실시예에 있어서, 가요성 디스플레이 패널(4)의 일 단부가 변형되지 않는 것을 보장하기 위해, 제 1 롤러(311)와 제 1 표면(41) 사이의 제 1 마찰은 제 1 롤러(312)와 제 2 표면(42) 사이의 제 1 마찰과 동일하다.
본 실시예에 있어서, 제 2 인장부(32)는 서로 이격되어 배치된 한쌍의 제 2 롤러(321, 322)를 포함한다. 제 2 롤러(321, 322)는 이 제 2 롤러(321, 322) 사이에 배치된 피접합체(예를 들면, 도 7에 도시된 바와 같은 가요성 디스플레이 패널(4))의 타 단부를 클램핑하는데 사용된다. 즉, 제 2 롤러(321)는 가요성 디스플레이 패널(4)의 제 1 표면(41)을 클램핑하고, 제 2 롤러(322)는 제 1 표면(41)과 대향하는 가요성 디스플레이 패널(4)의 제 2 표면(42)을 클램핑한다. 제 2 롤러(321, 322)와 피접합체(즉, 가요성 디스플레이 패널(4)) 사이의 제 2 마찰(f')(도 7에 도시된 바와 같이, 마찰(f')이 제 2 방향을 나타냄)이 사전결정된 값보다 작거나 동일한 경우, 제 2 롤러(321, 322)는 롤링하지 않으며; 제 2 마찰(f')이 사전결정된 값보다 큰 경우, 제 2 롤러(321, 322)는 롤링한다. 제 2 롤러(321, 322)가 롤링을 정지하는 경우, 이것은 제 2 마찰(f')이 사전결정된 값보다 작거나 동일한 값으로 감소하는 것을 의미한다. 그러므로, 제 2 인장부(32)는 사전결정된 값보다 작거나 동일한 인장력을 가요성 디스플레이 패널(4)에 인가할 수 있다. 본 실시예에 있어서, 가요성 디스플레이 패널(4)의 타 단부가 변형되지 않는 것을 보장하기 위해, 제 2 롤러(321)와 제 1 표면(41) 사이의 제 2 마찰은 제 2 롤러(322)와 제 2 표면(42) 사이의 제 2 마찰과 동일하다.
본 실시예에 있어서, 제 1 롤러(311, 312) 및 제 2 롤러(321, 322)에 롤링 문턱값(즉, 사전결정된 값)을 설정함으로써, 제 1 인장부(31) 및 제 2 인장부(32)에 의해 제공된 인장력은 사전결정된 값보다 작다. 다시 말해서, 접합 장치가 피접합체(예를 들면, 가요성 디스플레이 패널)를 접합할 때, 가요성 디스플레이 패널에 인가되는 인장력의 최대값은 사전결정된 값의 크기를 설정함으로써 제어될 수 있어, 인장력이 가요성 디스플레이 패널의 합리적인 허용 범위 이내에 있을 수 있다. 결과적으로, 인장 기구(3)는 가요성 디스플레이 패널을 손상시키지 않고서 가요성 디스플레이 패널을 평탄하게 신장시키고, 그에 따라 접합 프로세스에서의 접합 정렬의 정밀도를 보장할 수 있다. 다시 말해서, 가요성 디스플레이 패널 및 집적 회로는 하나의 가압 동작에 의해 접합될 수 있고, 따라서 보다 높은 접합 효율 및 보다 높은 양품률이 달성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 사전결정된 값을 설정하는데 다수의 방식이 사용될 수 있다. 예를 들면, 사전결정된 값은 피접합체의 재료 특성을 시험 또는 계산함으로써 얻어질 수 있고; 사전결정된 값은 실험 데이터에 따라 유도될 수 있으며; 피접합체를 접합하는 실험이 수행될 수 있고 사전결정된 값이 또한 최상의 접합 효과로부터 역 추산될 수 있다. 본 개시의 목적을 달성하기 위해 합리적인 사전결정된 값을 도출할 수 있는 한, 본 개시는 특별히 제한되지 않는다.
또한, 제 1 롤러(311, 312)의 외경은 제 2 롤러(321, 322)의 외경과 동일할 수 있고, 제 1 롤러(311, 312)의 외측 표면은 제 2 롤러(321, 322)의 외측 표면과 동일한 재료로 제조될 수 있어, 제 1 인장부(31)와 가요성 디스플레이 패널 사이뿐만 아니라, 제 2 인장부(32)와 가요성 디스플레이 패널 사이의 마찰의 크기의 동시 관리 및 조정을 용이하게 한다.
또한, 제 1 롤러 및 제 2 롤러의 외경 크기 및 외측 표면 재료와, 제 1 롤러와 제 2 롤러 사이의 거리는, 제 1 인장부와 피접합체 사이뿐만 아니라, 제 2 인장부와 피접합체 사이의 마찰 크기의 변화를 실현하기 위해 교체되거나 변경될 수 있다. 한편, 인장 기구의 사전결정된 값의 크기는 또한 상이한 요구 조건을 갖는 보다 많은 접합 프로세스에 적응시키고 접합 장치의 다용성을 향상시키기 위해 변경될 수도 있다.
본 개시의 실시예에 따르면, 가요성 디스플레이 패널의 접합 방법이 또한 제공된다. 도 1 및 도 7 내지 도 11에 따르면, 상기 방법은 가요성 디스플레이 패널(4)의 제 1 접합 영역(40)에 집적 회로(5)를 접합하는데 사용된다. 상기 방법은 하기의 작동을 포함한다.
단계 1에서, 도 1, 도 7 및 도 8을 참조하면, 가요성 디스플레이 패널(4)은 인장 기구(3)에 의해 가요성 디스플레이 패널(4)을 평탄한 상태로 유지하도록 인장된다.
단계 2에서, 도 1, 도 9 및 도 10을 참조하면, 접합 플랫폼(2)의 접합 평면(20) 및/또는 인장 기구(3)는 승강 기구(6)에 의해 이동하도록 구동되어, 제 1 접합 영역(40)이 접합 평면(20)에 의해 밀어 올려진다. 밀어 올려진다는 것은 아래로부터 아치형이 된다는 것으로 이해되어야 한다. 제 1 접합 영역(40)이 밀어 올려질 때, 가요성 디스플레이 패널(4)의 제 1 접합 영역(40)은, 도 10에 도시된 바와 같이, 양 측부로부터 상대적으로 돌출한다. 이러한 상황에서, 제 1 접합 영역(40)은 접합 플랫폼 상에 인장 및 가압되어 평탄한 상태를 유지한다.
단계 3에서, 도 11을 참조하면, 집적 회로(5)는 제 1 접합 영역(40)과 정렬된다. 또한, 이러한 단계에서, 집적 회로(5)의 제 2 접합 영역(50)은 제 1 접합 영역(40)과 정렬된다.
단계 4에서, 집적 회로(5) 및 제 1 접합 영역(40)은 서로 가압되어 가요성 디스플레이 모듈을 형성한다. 또한, 이러한 단계에서, 집적 회로(5)의 제 2 접합 영역(50) 및 제 1 접합 영역(40)은 서로 가압된다.
본 실시예에 있어서, 가요성 디스플레이 패널(4)은 단계 1에서 인장되고, 따라서 제 1 접합 영역(40)은 예비적인 소정의 평탄도를 갖는다. 그 후에, 단계 2에서, 제 1 접합 영역(40)은 접합 평면(20) 상에 밀착 가압되고, 이러한 순간에, 제 1 접합 영역(40)은 양호한 평탄도를 갖는다. 결과적으로, 접합 프로세스에서의 접합 정렬(즉, 단계 3)의 정밀도가 보장될 수 있고, 즉 가요성 디스플레이 패널 및 집적 회로가 하나의 가압 동작(즉, 단계 4)에 의해 접합될 수 있고, 따라서 피접합체의 접합 효율 및 양품률이 효과적으로 향상될 수 있다.
또한, 도 1, 도 7 및 도 8을 참조하면, 가요성 디스플레이 패널(4)의 제 1 접합 영역(40)은 복수의 접합 패드(400)를 구비한다. 인장 기구(3)가 가요성 디스플레이 패널(4)을 인장하는 경우, 인장 기구(3)에 의해 인가된 인장력의 방향(도 8에 도시된 "F")은 각각의 접합 패드(400)의 연장 방향과 일치한다. 접합 패드(400)가 그 길이 방향으로 인장되기 때문에, 인접한 접합 패드(400) 사이의 거리는 인장 동작 동안에 변하지 않은 채로 유지되고, 그에 따라 후속의 정렬 프로세스를 용이하게 한다.
또한, 단계 2에서, 접합 플랫폼(2)의 접합 평면(20) 및/또는 인장 기구(3)가 승강 기구(6)에 의해 이동하도록 구동되는 것은 하기를 포함한다.
접합 평면(20)은 승강 기구(6)에 의해 상승 구동된다.
대안적으로, 인장 기구(3)는 승강 기구(6)에 의해 하강 구동된다.
대안적으로, 승강 기구(6)에 의해 접합 평면(20)은 상승 구동되고 인장 기구(3)는 하강 구동된다.
상기 단계들이 접합 평면(20)과 인장 기구(3) 사이의 상대 변위를 발생시키도록 수행되고, 그에 따라 접합 플랫폼(2) 및 인장 기구(3) 모두의 작용하에서, 접합 평면(20)과 접촉하는 가요성 디스플레이 패널(4)의 표면이 평탄해지는 것에 주목해야 한다.
예를 들면, 하나의 구현예로서, 도 1, 도 9 및 도 10을 참조하면, 단계 2에서, 접합 플랫폼(2)의 접합 평면(20) 및 인장 기구(3) 중 적어도 하나가 승강 기구(6)에 의해 이동하도록 구동되어 접합 평면(20)에 의해 제 1 접합 영역(40)을 밀어 올리는 것은 하기를 포함한다.
도 9에 도시된 바와 같이, 가요성 디스플레이 패널(4)은 인장 기구(3)에 의해 이동되어, 제 1 접합 영역(40)의 중심을 접합 평면(20)의 중심과 정렬 및 정합시킨다.
그 후에, 도 10에 도시된 바와 같이, 인장 기구(3)는 접합 평면에 수직한 방향(A)을 따라 가요성 디스플레이 패널(4)을 계속 이동시켜, 제 1 접합 영역(40)을 접합 평면(20)에 대해 가압한다. 이러한 상황에서, 인장 기구(3)는 실제로 가요성 디스플레이 패널(4)의 양 단부를 이동시키고, 제 1 접합 영역(40)은 가요성 디스플레이 패널(4)의 양 단부의 인장력하에서 접합 평면(20)에 대해 가압되고, 가요성 디스플레이 패널(4)은 "볼록" 형상을 취한다.
또한, 다른 구현예로서, 도 1, 도 9 및 도 10을 참조하면, 단계 2에서, 접합 플랫폼(2)의 접합 평면(20) 및 인장 기구(3) 중 적어도 하나가 승강 기구(6)에 의해 이동하도록 구동되어 접합 평면(20)에 의해 제 1 접합 영역(40)을 밀어 올리는 것은 하기를 포함한다.
가요성 디스플레이 패널(4)은 인장 기구(3)에 의해 이동되어, 제 1 접합 영역(40)의 중심을 접합 평면(20)의 중심과 정렬시킨다.
그 후에, 접합 평면(20)은 제 1 접합 영역(40)이 접합 평면(20) 상에 밀착 가압되도록 이동된다. 이러한 상황에서, 접합 평면(20)은 제 1 접합 영역(40)을 밀착 가압하고, 가요성 디스플레이 패널(4)은 "볼록" 형상을 취한다.
또한, 접합 방법에 있어서, 인장 기구(3)에 의해 제공된 인장력은 소정의 사전결정된 값보다 작거나 동일하고, 그래서 인장 기구(3)에 의해 제공된 인장력의 최대값은 사전결정된 값의 크기를 설정함으로써 제어될 수 있다. 다시 말해서, 접합 방법의 단계 1 및 단계 2에서, 인장 기구(3)에 의해 가요성 디스플레이 패널(4)에 인가된 인장력은 사전결정된 값보다 작으며, 사전결정된 값의 크기는 가요성 디스플레이 패널의 합리적인 허용 범위를 초과하지 않아서, 가요성 디스플레이 패널을 손상시키지 않고서 평탄하게 유지하도록 가요성 디스플레이 패널을 신장시킨다.
본 실시예에서, 제 1 접합 영역(40)이 접합 프로세스 동안에 평탄한 상태로 있는 것을 더욱 보장하기 위해, (도 9 및 도 10의 굵은 선으로 나타낸 위치에서) 접합 평면(20)은 평탄한 평면이고, 제 1 접합 영역(40)의 면적보다 크거나 동일한 면적을 갖는다는 것에 주목해야 한다. 또한, 접합 평면(20)의 면적은 제 1 접합 영역(40)의 면적보다 단지 약간 커서, 가압 프로세스에서 고온의 영향을 받는 가요성 디스플레이 패널(4)의 가요성 기판의 면적을 감소시켜, 가요성 디스플레이 패널의 양품률을 더욱 향상시킬 수 있다. 하나의 구현예로서, 제 1 접합 영역(40)의 면적에 대한 접합 평면(20)의 면적의 비는 1.2 내지 1이다. 도 12를 참조하면, 접합 평면(20)은 제 1 접합 영역(40)의 면적보다 약간 큰 면적을 갖는다.
본 실시예에 있어서, 본 개시의 목적을 달성하기 위해 합리적인 사전결정된 값을 도출할 수 있는 한, 사전결정된 값은 다수의 방식으로 설정될 수 있다. 예를 들면, 사전결정된 값은 피접합체의 재료 특성을 시험 또는 계산함으로써 얻어지거나, 실험 데이터에 따라 유도될 수 있다. 또한, 사전결정된 값은 피접합체에 접합 실험을 수행함으로써 최상의 접합 효과로부터 역 추산될 수 있다. 상세한 예에 대해서는 여기서 설명되지는 않는다.
또한, 도 1 및 도 7을 참조하면, 단계 1에서, 인장 기구(3)가 가요성 디스플레이 패널(4)을 인장할 때, 인장 기구(4)에 의해 제공된 인장력의 값은 사전결정된 값보다 작다. 이러한 상황에서, 인장 기구(3)의 제 1 롤러(311, 312) 및 제 2 롤러(321, 322)는 롤링하지 않는다. 단계 1에서, 가요성 디스플레이 패널(4)만이 예비 인장될 필요가 있기 때문에, 큰 인장력을 인가할 필요가 없으며, 그 후에, 단계 2에서, 인장력은 더욱 증가되어 가요성 디스플레이 패널(4)의 평탄도를 달성할 수 있다.
본 개시는 상기에서 예시적인 실시예를 참조하여 상세하게 설명되었지만, 본 개시의 범위는 이에 한정되지 않는다. 본 기술분야에 숙련된 자에게 이루어지는 바와 같이, 본 개시는 본 개시의 사상 및 원리로부터 벗어남이 없이 다양한 변형 및 변경의 가능성이 있다. 그러므로, 본 개시의 범위는 청구범위의 범위에 의해 결정되어야 한다.

Claims (10)

  1. 베이스 프레임과, 상기 베이스 프레임 상에 배치되는 접합 플랫폼, 인장 기구 및 승강 기구를 포함하는 접합 장치에 있어서,
    상기 인장 기구는 제 1 인장부 및 제 2 인장부를 포함하고, 상기 제 1 인장부는 상기 접합 플랫폼의 일 측부 상에 배치되고, 상기 제 2 인장부는 상기 접합 플랫폼의 타 측부 상에 배치되고, 상기 제 1 인장부는 피접합체의 일 단부에 연결되고, 상기 제 2 인장부는 상기 피접합체의 타 단부에 연결되고, 상기 제 1 인장부 및 상기 제 2 인장부는 상기 피접합체를 인장하도록 구성되며,
    상기 접합 플랫폼은 접합 평면을 포함하고, 상기 접합 평면은 상기 피접합체와 접촉하도록 구성되고,
    상기 승강 기구는, 상기 접합 평면 및 상기 인장 기구 중 적어도 하나를 구동시켜 상기 접합 평면과 상기 인장 기구 사이의 상대 변위를 발생시키고, 상기 접합 평면 및 상기 인장 기구 모두의 작용하에서, 상기 접합 평면과 접촉하는 상기 피접합체의 표면을 평탄하게 하도록 구성되는
    접합 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 승강 기구는 제 1 구동 구성요소를 포함하며, 상기 제 1 구동 구성요소는, 상기 접합 플랫폼과 상기 베이스 프레임을 연결하고 상기 베이스 프레임을 향해 또는 그로부터 멀리 이동하도록 상기 접합 플랫폼을 구동시키도록 구성되는
    접합 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 승강 기구는 제 1 구동 구성요소를 포함하며, 상기 접합 플랫폼은 제 1 부분 및 제 2 부분을 포함하고,
    상기 제 1 부분의 상측 표면은 상기 접합 평면이고, 상기 제 2 부분은 상기 베이스 프레임에 고정되며,
    상기 제 1 구동 구성요소는, 상기 제 1 부분과 상기 제 2 부분 사이에 배치되고, 상기 제 2 부분을 향해 또는 그로부터 멀리 이동하도록 상기 제 1 부분을 구동시키도록 구성되는
    접합 장치.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 구동 구성요소는 피치 조정 구조체, 제 1 연결 로드, 및 상기 제 1 연결 로드의 길이와 동일한 길이를 갖는 제 2 연결 로드를 포함하며, 상기 제 1 연결 로드의 중간 부분은 상기 제 2 연결 로드의 중간 부분과 힌지 결합되고, 상기 피치 조정 구조체는 상기 제 1 연결 로드의 일 단부와 상기 제 2 연결 로드의 일 단부 사이의 거리를 조정하도록 구성되는
    접합 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 접합 플랫폼은 제 1 돌출부, 제 2 돌출부 및 제 3 돌출부를 포함하며,
    상기 제 1 구동 구성요소는 상기 제 1 돌출부를 상승 구동시키도록 구성되고, 이에 의해 상기 제 1 돌출부의 상측 표면이 상기 접합 평면을 형성하거나, 또는
    상기 제 1 구동 구성요소는 상기 제 1 돌출부 및 상기 제 2 돌출부를 상승 구동시키도록 구성되고, 이에 의해 상기 제 1 돌출부 및 상기 제 2 돌출부의 상측 표면이 동일 평면 상에 있게 하여 상기 접합 평면을 형성하거나, 또는
    상기 제 1 구동 구성요소는 상기 제 1 돌출부, 상기 제 2 돌출부 및 상기 제 3 돌출부를 상승 구동시키도록 구성되고, 이에 의해 상기 제 1 돌출부, 상기 제 2 돌출부 및 상기 제 3 돌출부의 상측 표면이 동일 평면 상에 있게 하여 상기 접합 평면을 형성하는
    접합 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 승강 기구는 제 2 구동 구성요소를 포함하며, 상기 제 2 구동 구성요소는 상기 접합 플랫폼의 일 측부 상에 배치된 제 1 브래킷과, 상기 접합 플랫폼의 타 측부 상에 배치된 제 2 브래킷을 포함하고,
    상기 제 1 브래킷에는 제 1 슬라이딩 레일이 제공되고, 상기 제 2 브래킷에는 제 2 슬라이딩 레일이 제공되며, 상기 제 1 슬라이딩 레일 및 상기 제 2 슬라이딩 레일의 슬라이딩 경로는 모두 상기 접합 평면에 수직하고,
    상기 제 1 인장부는 상기 제 1 슬라이딩 레일에 이동가능하게 연결되고, 상기 제 2 인장부는 상기 제 2 슬라이딩 레일에 이동가능하게 연결되는
    접합 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 인장부는 서로 이격되어 대향하여 배치된 한쌍의 제 1 롤러를 포함하며, 상기 제 1 롤러는 상기 피접합체의 일 단부를 클램핑하도록 구성되고, 상기 제 1 롤러와 상기 피접합체 사이의 제 1 마찰이 사전결정된 값보다 작거나 동일한 경우, 상기 제 1 롤러는 롤링하지 않으며, 상기 제 1 마찰이 상기 사전결정된 값보다 큰 경우, 상기 제 1 롤러는 롤링하고,
    상기 제 2 인장부는 서로 이격되어 대향하여 배치된 한쌍의 제 2 롤러를 포함하며, 상기 제 2 롤러는 상기 피접합체의 타 단부를 클램핑하도록 구성되고, 상기 제 2 롤러와 상기 피접합체 사이의 제 2 마찰이 상기 사전결정된 값보다 작거나 동일한 경우, 상기 제 2 롤러는 롤링하지 않으며, 상기 제 2 마찰이 상기 사전결정된 값보다 큰 경우, 상기 제 2 롤러는 롤링하는
    접합 장치.
  8. 가요성 디스플레이 패널의 제 1 접합 영역에 집적 회로를 접합하도록 구성되는 가요성 디스플레이 모듈의 접합 방법에 있어서,
    인장 기구에 의해 상기 가요성 디스플레이 패널을 인장하는 단계와,
    승강 기구에 의해 상기 인장 기구 및 접합 플랫폼의 접합 평면 중 적어도 하나를 이동하도록 구동시켜서, 상기 접합 평면이 상기 제 1 접합 영역을 밀어 올리게 하는 단계와,
    상기 집적 회로를 상기 제 1 접합 영역과 정렬시키는 단계와,
    상기 집적 회로 및 상기 제 1 접합 영역을 서로 가압하는 단계를 포함하는
    가요성 디스플레이 모듈의 접합 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 접합 영역은 복수의 접합 패드를 구비하고, 상기 인장 기구가 상기 가요성 디스플레이 패널을 인장하는 방향은 각각의 접합 패드의 연장 방향과 일치하는
    가요성 디스플레이 모듈의 접합 방법.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 승강 기구에 의해 상기 인장 기구 및 접합 플랫폼의 접합 평면 중 적어도 하나를 이동하도록 구동시키는 단계는,
    상기 승강 기구에 의해 상기 접합 평면을 상승 구동시키는 단계, 또는
    상기 승강 기구에 의해 상기 인장 기구를 하강 구동시키는 단계, 또는
    상기 승강 기구에 의해 상기 접합 평면을 상승 구동시키고 상기 인장 기구를 하강 구동시키는 단계를 포함하는
    가요성 디스플레이 모듈의 접합 방법.
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