KR20180031020A - Framework for molded element, wall element, and clean gas chamber - Google Patents

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KR20180031020A
KR20180031020A KR1020187004297A KR20187004297A KR20180031020A KR 20180031020 A KR20180031020 A KR 20180031020A KR 1020187004297 A KR1020187004297 A KR 1020187004297A KR 20187004297 A KR20187004297 A KR 20187004297A KR 20180031020 A KR20180031020 A KR 20180031020A
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plate
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frame
gas chamber
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KR1020187004297A
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걸하드 스프리트절
마틴 코이피키
젠 루폴드
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엠. 브라운 이너르트가스-시스템 게엠베하
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Abstract

본 발명은 클린 가스 챔버의 프레임 형성된 요소, 벽 요소, 및 프레임워크에 관한 것이다. 클린 가스 챔버의 구조는 클린 가스 챔버의 사용 위치에서 클린 가스 챔버의 간단한 조립을 가능하게 하고, 이 경우 클린 가스 챔버의 치수는 둘러싸여질 시스템의 요구 사항에 쉽게 적합하게 될 수 있다.The present invention relates to a framed element, wall element, and framework of a clean gas chamber. The structure of the clean gas chamber allows simple assembly of the clean gas chamber at the location of use of the clean gas chamber, in which case the dimensions of the clean gas chamber can be easily adapted to the requirements of the enclosed system.

Description

프레임 성형된 요소, 벽 요소, 및 클린 가스 챔버용 프레임워크Framework for molded element, wall element, and clean gas chamber

본 발명은 프레임 프로필(profile), 벽 요소(wall element), 및 프레임 프로필들로부터 형성된 클린 가스(clean gas) 챔버의 프레임워크에 관한 것이다.The present invention relates to a framework of a clean gas chamber formed from a frame profile, a wall element, and frame profiles.

생산 및 연구 개발에서의 다수의 제작 공정과 과정들은 정상적인 대기 조건 하에서 행해질 수 없고, 분리된 대기를 필요로 한다. 이들과 같은 제작 공정들은 예를 들면 반도체를 제작할 때에는 코팅 조작일 수 있고, LCD 또는 OLED 생산에서는 캡슐화(encapsulation) 과정들일 수 있으며, 또는 예를 들면 의료 또는 제약 엔지니어링과 용접 적용예, 특히 티타늄 용접에서는 초순수 원 재료에 관한 생산 공정들일 수 있다. 그러한 공정들은, 예를 들면 청정실 조건, 낮은 습도, 불활성 기체 분위기 또는 이러한 타입의 상이한 조건들의 결합과 추가 조건들을 요구할 수 있다.Many manufacturing processes and processes in production and R & D can not be done under normal atmospheric conditions and require a separate atmosphere. These fabrication processes can be, for example, coating operations when fabricating semiconductors, encapsulation processes in LCD or OLED production, or in medical or pharmaceutical engineering and welding applications, particularly titanium welding And may be production processes related to ultrapure water raw materials. Such processes may require, for example, clean room conditions, low humidity, an inert gas atmosphere or a combination of these different types of conditions and additional conditions.

요구된 조건에 따라 대기가 확립될 수 있는 둘러싸인 공간에서 그러한 제작 공정 또는 과정을 실행하는 것이 알려져 있다. 둘러싸인 공간에는 필수적인 재료들이 그러한 둘러싸인 공간 내로 도입될 수 있고 생성물이 꺼내질 수 있는 에어로크(airlock)가 제공된다.It is known to perform such fabrication processes or processes in an enclosed space where the atmosphere can be established in accordance with the required conditions. The enclosed space is provided with an airlock in which the necessary materials can be introduced into such enclosed space and the product can be removed.

그러한 공간은 예를 들면, 문헌에 적절히 설명된 것들과 같은 글러브 박스(glove box)들에서 형성된다("Reinraumtechnik" [clean-room engineering], 3rd updated and extended edition, Springer, pp. 202-207 참조). 그러한 글러브 박스들은 보통 스테인레스 스틸로 만들어진다. 그것들은 글러브 피드스루(glove feedthrough)들을 통해 글러브 박스 안쪽에서 바라는 과정들이 실행되는 것을 허용한다. 요구된 대기를 확립하기 위해, 적절한 기체 공급 또는 순환 라인들이 제공되고, 이들을 통해 기체가 글러브 박스로부터 추출되고, 적어도 하나의 기체 처리를 통해 가이드된 다음, 글러브 박스로 다시 공급될 수 있다. 그것들의 구조로 인해, 그러한 글러브 박스들을 생산 라인들 내로 특히 큰 제작 유닛들과 통합하는 것이 어려운데, 이는 둘러싸일 시스템들이 오직 제공된 에어로크들을 통해 글러브 박스 내로 운반될 수 있기 때문이다. 따라서 불활성 기체 하우징 또는 후드(hood) 디자인이 있는 클린 가스 챔버가 알려져 있다. 베이스 플레이트와 함께, 요구된 대기가 확립될 수 있는 둘러싸인 공간을 후드(hood)가 형성한다. 미리 조립된 후드는 위에서부터 베이스 플레이트 상에 놓이고 밀봉된다. 요구된 피드스루, 에어로크, 업스트림 챔버, 및 다른 필수적인 유닛들과 조립체들이 바람직하게 이미 후드에서 조립되었고 테스트되었다. 그러므로 불활성 기체 하우징이 의도된 작업 장소 또는 워크 스테이션(work station)에 신속하게 놓일 수 있다. 후드 디자인을 사용하면 임의의 시스템들 또는 시스템 부품들이 둘러싸인 공간에서 동작하는 것을 가능하게 하고, 그것의 대기는 요구 조건에 따라 확립될 수 있다. 이를 위해, 후드의 사이즈는 각각의 시스템에 적합하게 될 수 있다. 불활성 기체 하우징을 구성하기 위해 사용된 재료들은, 예를 들면 오염(contamination)이나 기체를 빼는 것에 의한 것처럼, 그것들이 그 내부에서의 대기를 수정하지 않도록 설계된다. 또한 울타리(enclosure)는 불활성 기체 하우징의 내부와 둘러싸는 것들 사이에 어떠한 기체 교환도 발생하지 않는 방식으로 설계된다.Such a space is formed, for example, in glove boxes such as those adequately described in the literature (see " Reinraumtechnik ", 3rd updated and extended edition, Springer, pp. 202-207 ). Such glove boxes are usually made of stainless steel. They allow glob feedthroughs to execute the desired processes from inside the glove box. To establish the required atmosphere, suitable gas supply or circulation lines are provided through which gases can be extracted from the glove box, guided through at least one gas treatment, and then fed back to the glove box. Due to their structure, it is difficult to integrate such glove boxes into production lines, especially with large production units, since enclosure systems can only be carried into the glove box through the provided air locks. Thus, a clean gas chamber with an inert gas housing or hood design is known. Along with the base plate, the hood forms an enclosed space in which the required atmosphere can be established. The preassembled hood is placed on the base plate from above and is sealed. The required feedthrough, airlock, upstream chamber, and other necessary units and assemblies were preferably assembled and tested in the hood already. The inert gas housing can therefore be quickly placed in the intended working place or work station. Using a hood design allows any systems or system components to operate in the enclosed space, and its atmosphere can be established according to requirements. To this end, the size of the hood can be adapted to each system. The materials used to construct the inert gas housing are designed such that they do not modify the atmosphere inside it, such as by contamination or gas removal. The enclosure is also designed in such a way that no gas exchange occurs between the interior of the inert gas housing and the enclosures.

그러한 불활성 기체 하우징의 단점은 그것들의 사이즈와 무거운 무게인데, 이는 생산 장소에서의 운반 및 설치에 드는 수고를 복잡하게 한다.A disadvantage of such inert gas housings is their size and heavy weight, which complicates the labor of transporting and installing at the production site.

그러므로 본 발명의 목적은 클린 가스 챔버의 디자인을 단순화시키거나 사용 위치에서 클린 가스 챔버의 간단하고 비용면에서 효율적인 조립을 허용하는 방식으로, 클린 가스 챔버의 디자인을 구성하는 것이다.It is therefore an object of the present invention to configure the design of the clean gas chamber in a manner that simplifies the design of the clean gas chamber or permits a simple and cost effective assembly of the clean gas chamber at the location of use.

본 발명의 목적은 프레임 프로필을 가지고 청구항 1에 따라 달성되고, 이 경우 그러한 프레임 프로필의 인접측들에 고정(fastening) 부분들이 배치되고, 각 경우에 밀봉 요소들을 받기 위한 적어도 하나의 세로로 배향된 밀봉 부분이 적어도 하나의 받침대 측에 배치되며, 플레이트 요소의 밀봉된 받기를 위한 세로로 배향된 플레이트 연결 구역이 플레이트 연결측에 배치된다. 그러므로 프레임 프로필은 플레이트 요소와 형성된 클린 가스 챔버의 벽 요소에 가스가 새지 않게 연결될 수 있다. 벽 요소의 플레이트 요소는 이 경우 바람직하게는 프레임 프로필들에 의해 주위에서 경계가 정해진다. 고정 부분들은 상기 플레이트 요소가 프레임 프로필의 세로 연장부(extent)에 맞닿아 놓여 있는 클린 가스 챔버의 다른 구조상 요소들에 결합되는 것을 가능하게 한다. 밀봉 요소들은 벽 요소와 다른 구조상 요소 사이의 가스가 새지 않는 결합이 이루어지도록 밀봉 부분들에 연결될 수 있다. 이러한 식으로, 복수의 벽 요소가 예를 들면 가스가 새지 않게 서로 연결될 수 있고, 따라서 클린 가스 챔버를 구성한다.The object of the invention is achieved in accordance with claim 1 with a frame profile, in which case fastening parts are arranged on the proximal sides of such a frame profile, and in each case at least one vertically oriented A sealing portion is disposed on at least one pedestal side, and a vertically oriented plate connection region for sealing reception of the plate element is disposed on the plate connection side. Therefore, the frame profile can be gas-tightly connected to the wall elements of the clean gas chamber formed with the plate element. The plate elements of the wall elements are in this case preferably bounded around by the frame profiles. The fastening portions enable the plate element to engage other structural elements of the clean gas chamber that are abutted against the longitudinal extent of the frame profile. The sealing elements may be connected to the sealing portions such that a gas-tight connection between the wall element and the other structural element is achieved. In this way, a plurality of wall elements can be connected together, for example, without leaking gas, thus constituting a clean gas chamber.

본 발명의 상황에서, '가스가 새지 않게(gas-tight)'라는 용어는, 예를 들면 0.25vol.%/h 미만인 범위에서 허용 가능한 누설율을 가지는 배치(arrangement)를 의미한다. 이는 예를 들면 불활성 기체 작동된 시스템에 적용된다. 더 바람직하게는, 본 발명의 상황에서 또한 '가스가 새지 않게'는, 만약 작동시 잔여 산소 농도가 1ppm 이하이어야 한다면, 0.01vol.%/h 미만인 범위에 있는 누설율을 의미할 수 있다.In the context of the present invention, the term " gas-tight " means an arrangement having an acceptable leakage rate in the range of less than 0.25 vol.% / H, for example. This applies, for example, to an inert gas actuated system. More preferably, in the context of the present invention, 'no gas leaking' can also mean a leaking rate in the range of less than 0.01 vol.% / H, if the residual oxygen concentration in operation is below 1 ppm.

본 발명의 바람직한 구성은 프레임 프로필이 복수의 받침대 측을 가지도록 하는 것으로, 인접하는 받침대 측들은 바람직하게는 서로에 대해 직각을 이루고 있다. 그럴 경우 2개의 프레임 프로필을 사용하는 다양한 모서리 연결이 만들어질 수 있다. 특히 바람직하게, 3개의 받침대 측과 플레이트-연결측이 하나의 프레임 프로필 상에 제공된다.A preferred configuration of the present invention is such that the frame profile has a plurality of pedestal sides, and the adjoining pedestal sides are preferably perpendicular to each other. In this case, various corner connections using two frame profiles can be made. Particularly preferably, three pedestal side and plate-connected side are provided on one frame profile.

적어도 하나의 밀봉 부분이 받침대 측 상에 배치된 2개의 고정 부분들 사이에 배치되는 것이 유리하게 제공될 수 있다. 그러므로 밀봉 부분과 연결된 밀봉 요소는 프레임 프로필의 중심 구역에서 보호되게 위치한다. 그 배치는 예를 들면 하나의 밀봉 요소만을 사용하여 2개의 접하는 프레임의 밀봉된 결합을 가능하게 한다.It can be advantageously provided that at least one sealing portion is disposed between the two fixing portions disposed on the pedestal side. The sealing element associated with the sealing portion is thus located in a protected area in the central region of the frame profile. The arrangement allows sealing engagement of two tangent frames, for example, using only one sealing element.

적어도 하나의 밀봉 부분이 고정 부분의 측에 그리고 받침대 측의 가장자리를 따라 배치된다. 밀봉은 오염이 축적될 수 있는, 프레임 프로필과 인접하는 구조상 요소 사이의 남아 있는 간극이 클린 가스 챔버의 내부로부터 분리되도록, 프레임 프로필의 가장자리들을 따라서 유리하게 제공된다. 프레임 프로필과 인접하는 구조상 요소 사이의 2개의 프레임 프로필의 가장자리를 따라서 2개의 밀봉 요소를 사용하는 것은 그것들 사이의 중복되게 밀봉된 연결을 초래한다.At least one sealing portion is disposed on the side of the fixing portion and along the edge of the pedestal side. The seal is advantageously provided along the edges of the frame profile such that the remaining clearance between the frame profile and the adjacent structural elements, from which contamination can build up, is separated from the interior of the clean gas chamber. The use of two sealing elements along the edges of the two frame profiles between the frame profile and the adjacent structural elements results in a redundantly sealed connection between them.

인접하는 구조상 요소들에 프레임 프로필들을 간단히 결합하는 것은, 고정 부분들이 고정 요소들의 행(row)들에 의해 또는 프레임 프로필에 세로로 배향된 고정 슬롯들에 의해 형성되는 것으로 달성될 수 있다. 예를 들면, 슬롯 너트(nut)들은 고정 슬롯들 내로 도입될 수 있는데, 그 경우에는 인접한 구조상 요소가 보유되는 나사 조임이 이루어진 볼트에 의해서 이루어진다.A simple coupling of frame profiles to adjacent structural elements can be achieved with the fixed portions being formed by rows of fixed elements or by fixed slots oriented vertically in the frame profile. For example, the slot nuts can be introduced into the fixing slots, in which case they are made by screwed bolts in which adjacent structural elements are retained.

따라서 플레이트 요소들은 프레임 프로필에 간단하게, 기계적으로 튼튼하게, 그리고 가스가 새지 않게 연결될 수 있고, 플레이트-연결 구역은 플레이트 용기의 형태를 취하며, 마주보는 접촉 표면들은 플레이트 용기에 배치되며, 접촉 표면들 중 적어도 하나의 구역에서는 접착제를 담기 위한 저장 슬롯들이 배치된다. 그러므로 플레이트 용기가 있는 프레임 프로필들은 연관된 플레이트 요소의 가장자리 상에 꼭 맞게 될 수 있다. 그렇게 함으로써, 접촉 표면에 걸쳐 측면 유도(lateral guidance)가 진행된다. 프레임 프로필들은 바람직하게는 접촉 표면들의 구역에서 플레이트 요소들에 부착된다. 플레이트 요소들이 그 가장자리들이 플레이트 용기들 내로 완전히 들어간 채로 삽입될 수 있도록, 나머지 접착제는 이 경우 저장 슬롯들에 의해 받아들여질 수 있다.Thus, the plate elements can be connected simply, mechanically robustly and gas-tightly to the frame profile, the plate-connecting area takes the form of a plate container, the opposing contact surfaces are disposed in the plate container, The storage slots for containing the adhesive are disposed in at least one of the areas. Frame profiles with plate containers can therefore fit onto the edges of the associated plate elements. By doing so, lateral guidance proceeds across the contact surface. The frame profiles are preferably attached to the plate elements in the area of the contact surfaces. The remaining adhesive can then be received by the storage slots in this case so that the plate elements can be inserted with their edges fully inserted into the plate containers.

받침대 측들에서 제공된 밀봉 요소들은 적어도 하나의 밀봉 부분이 밀봉 용기로서 구성되고/되거나 밀봉 용기가 반원 또는 직사각형 단면을 가짐으로써 정확하게 위치하고 보유된다. 밀봉 용기의 단면은 사용된 자가 부착성(self-adhesive) 밀봉 요소의 단면을 바람직하게 따른다. 사용된 자가 부착성 밀봉 요소는 밀봉 용기 내로 놓이고 그로 인해 보유될 수 있다. 밀봉 용기와 밀봉 요소의 디자인은 프레임 프로필의 받침대 측 위로 얼마나 멀리 밀봉 요소가 돌출하는지와 추가 구조상 요소와 결합될 때 어떻게 형성되는지를 정의한다. 밀봉 용기와 밀봉 요소들의 단면은 결합하는 동안 밀봉 요소의 정의된 변형이 진행됨으로써, 밀봉 효과가 보장될 수 있고 따라서 허용되기 어려움 파쇄(crushing)가 방지되도록, 서로에 대해 바람직하게 적합하게 된다.The sealing elements provided on the pedestal sides are precisely positioned and retained by the at least one sealing portion being configured as a sealing container and / or the sealing container having a semicircular or rectangular cross-section. The cross-section of the sealed container preferably follows the cross-section of the self-adhesive sealing element used. The self-adhesive seal element used is placed in the sealed container and can be retained thereby. The design of the sealing container and the sealing element defines how far the sealing element protrudes above the pedestal side of the frame profile and how it is formed when combined with additional structural elements. The cross section of the sealing container and the sealing elements is preferably adapted to each other such that defined deformation of the sealing element during engagement can be ensured thereby ensuring a sealing effect and thus preventing unacceptable crushing.

본 발명의 목적은 또한 벽 요소를 가지고 달성되는데, 이는 그러한 벽 요소가 적어도 주위에서 가스가 새지 않게 연결된 프레임 프로필들을 갖는 플레이트 요소로 형성되고, 그러한 프레임 프로필들의 받침대 측들에 고정 부분들이 배치되며, 밀봉 요소들을 받기 위한 적어도 하나의 세로로 배향된 밀봉 부분이 각각의 경우에 받침대 측들에 배치되고, 플레이트 요소의 밀봉된 고정을 위한 세로로 배향된 플레이트 연결 구역이 플레이트 연결측에 배치됨으로써 이루어진다. 그러므로 그러한 벽 요소는 프레임 프로필들에 의해 둘러싸인 구조상 유닛을 구성한다. 프레임 프로필들은 예를 들면 다른 벽 요소들로와 같이, 클린 가스 챔버의 다른 구조상 요소들로의 벽 요소의 간단한 연결을 허용한다. 고정 부분들은 프레임 프로필들과 인접하는 구조상 요소들 사이의 간단하고 안전한 연결을 가능하게 한다. 밀봉 부분들에는 밀봉 요소들이 배치될 수 있다. 이들은 벽 요소와 인접한 구조상 요소들 사이의 접하는 표면들을 밀봉한다. 따라서, 이들과 같은 벽 요소들을 사용하는 것은 가스가 새지 않는 클린 가스 챔버가, 예를 들면 그 다음 사용 위치에서 신속하고 용이하게 구성되는 것을 가능하게 한다.The object of the invention is also achieved with a wall element, wherein such wall element is formed of a plate element with at least peripherally connected frame profiles, the fixing parts being arranged on the pedestal sides of such frame profiles, At least one longitudinally oriented sealing portion for receiving the elements is arranged in each case on the pedestal sides and a vertically oriented plate connection region for sealingly fixing the plate elements is arranged on the plate connection side. Such a wall element thus constitutes a structural unit surrounded by frame profiles. The frame profiles allow simple connection of wall elements to other structural elements of the clean gas chamber, such as, for example, with other wall elements. The fixed portions enable a simple and secure connection between the frame profiles and adjacent structural elements. The sealing portions may be provided with sealing elements. These seal the tangential surfaces between the wall elements and adjacent structural elements. Thus, the use of such wall elements makes it possible for the clean gas chamber, which does not leak, to be quickly and easily constructed, for example, at the next use position.

클린 가스 챔버의 무게는 특히 알루미늄 허니콤(honeycomb) 코어 플레이트와 같은 구조상 코어 플레이트의 형태를 플레이트 요소가 취함으로써 적게 유지될 수 있다. 구조상 코어 플레이트들은 그것의 형성된 벽 요소들이 부하가 걸린 상태에서 탄력 있는 휨(bending)을 거의 받지 않거나 전혀 받지 않도록, 상당한 휨 강성을 가진다. 양측에 배치된 그것들의 커버 플레이트로 인해, 그것들은 사용된 커버 플레이트들의 투과성에 따라, 그것들의 표면에 수직인 방향(surface normal)으로는 가스가 새지 않는다. 커버 플레이트와 구조상 코어가 알루미늄으로 형성되는 알루미늄 허니콤 코어 플레이트들은, 클린 가스 챔버의 가스가 새지 않는 측벽들을 만들기에 특히 적합하다. 이러한 구조상 코어는 구조상 코어 플레이트 내의 가스가 그것들의 표면에 수직인 방향에 가로질러 흐르는 것을 방지한다. 이는 예를 들면 커버 플레이트들 내로 서로에 대해 오프셋(offset)을 도입한 개구들을 통해, 클린 가스 챔버 내로 확실하게 어떠한 가스도 들어가거나 클린 가스 챔버로부터 어떠한 가스도 흘러 나오지 않게 한다.The weight of the clean gas chamber can be kept low, particularly by the plate element taking on the form of a structural core plate such as an aluminum honeycomb core plate. Structurally, the core plates have significant bending stiffness so that their formed wall elements receive little or no elastic bending under load. Due to their cover plates arranged on both sides, they do not leak gas in surface normals, depending on the permeability of the cover plates used. The aluminum honeycomb core plates, in which the cover plate and the structural core are formed of aluminum, are particularly suitable for making gas-tight sidewalls of the clean gas chamber. These structural cores prevent the gas in the core plate from flowing across in a direction perpendicular to their surfaces. This ensures that no gas enters or enters the clean gas chamber through openings which introduce offset, for example, into each other, into the cover plates, and no gas flows out of the clean gas chamber.

이 경우에서는, 구조상 코어 플레이트가 특히 플레이트 모양의 구성 성분들을 의미하는데, 이러한 구성 성분들은 샌드위치와 같이 구성되고, 사이에 구조상 코어가 배치되는 2개 또는 복수의 커버 플레이트를 가진다. 이러한 구조상 코어는, 특히 임의의 바라는 경량 구조물일 수 있다. 이는, 예를 들면 허니콤 코어, 골이 진(corrugated) 또는 지그재그(zigzag) 재료, 거품(foam) 재료 등으로 형성될 수 있다.In this case, the structural core plate means in particular plate-like components, these components being constructed as sandwiches and having two or more cover plates between which the core is arranged structurally. Such structured cores may be, in particular, any desired lightweight structure. It may be formed, for example, of a honeycomb core, a corrugated or zigzag material, a foam material, or the like.

프레임 프로필들과 플레이트 요소들 사이의 안전하고 가스가 새지 않는 결합은, 플레이트 요소가 그것의 외부 가장자리가 플레이트 용기들로서 구성되고 그것에 달라붙은 주위에 배치된 프레임 프로필들의 플레이트 연결 구역들 내로 들어가게 삽입됨으로써 달성될 수 있다.The secure, gas-tight engagement between the frame profiles and the plate elements is accomplished by inserting the plate element into the plate connection areas of the frame profiles whose outer edges are configured as plate receptacles and attached to it, .

본 발명의 목적은 또한 플레이트 요소로의 가스가 새지 않는 연결을 위한 플레이트 연결 구역을 갖는 플레이트 연결측이 각각의 경우에 프레임워크의 프레임 프로필들에 배치되고, 밀봉 요소들을 받기 위한 적어도 하나의 세로로 배향된 밀봉 부분을 갖는 적어도 하나의 받침대 측이 각각의 경우에 프레임 프로필들에 배치되며, 복수의 프레임 프로필이 플레이트 요소들에 대해 주위에 배치되고 그것에 가스가 새지 않게 연결되며, 프레임 프로필들 중 적어도 하나가 그것의 받침대 측을 가지고 가스가 새지 않게 추가 프레임 프로필의 받침대 측에 연결되고/되거나 프레임 프로필들 중 적어도 하나가 연결 프로필을 갖는 받침대 측에, 특히 모서리 연결기 및/또는 추가 플레이트 요소의 표면에 가스가 새지 않게 연결됨으로써 프레임워크를 가지고 달성된다. 따라서, 그러한 프레임워크는 플레이트 요소를 둘러싸는 프레임 프로필들로 형성된다. 주위 프레임 프로필들과 함께, 플레이트 요소들은 수고와 비용을 거의 들이지 않는 사용 위치에서 클린 가스 챔버가 구성될 수 있는 가스가 새지 않는 벽 요소들을 동시에 형성한다. 따라서, 프레임 프로필들은 복수의 작업, 즉 가스가 새지 않는 연결을 플레이트 요소들과 인접한 구조상 요소들에 제공하는 것과, 클린 가스 챔버의 지지 구조물을 제공하는 것을 수행한다. 미리 조립된 벽 요소들은 클린 가스 챔버의 설치 위치에 전달되고 클린 가스 챔버 내로 신속하고 용이하게 구성될 수 있다. 밀봉 요소들은 클린 가스 챔버의 내부와 주위 환경 사이에 원치 않는 가스 교환이 일어나지 않는 것을 보장한다.It is also an object of the present invention to provide a method of manufacturing a plate element in which the plate connecting side having a plate connecting area for a gas-tight connection to the plate element is arranged in each case in the frame profiles of the framework, At least one pedestal side having an oriented sealing portion is disposed in the frame profiles in each case, a plurality of frame profiles are disposed around and connected to the plate elements without gas leakage, and at least one of the frame profiles One of which is connected to the pedestal side of the additional frame profile with its pedestal side and / or at least one of the frame profiles is provided on the pedestal side with a connecting profile, in particular on the edge connector and / Achieved with the framework by connecting the gas leak The. Thus, such a framework is formed with frame profiles that surround the plate element. Along with the peripheral frame profiles, the plate elements simultaneously form non-leaking wall elements in which the clean gas chamber can be constructed in a use position with little labor and cost. Thus, the frame profiles perform a plurality of operations, namely providing a gas-tight connection to the structural elements adjacent to the plate elements, and providing a support structure for the clean gas chamber. The pre-assembled wall elements can be delivered to the installed position of the clean gas chamber and can be quickly and easily configured into the clean gas chamber. The sealing elements ensure that there is no undesired gas exchange between the interior of the clean gas chamber and the surrounding environment.

프레임워크와 클린 가스 챔버의 각각의 조립은, 프레임 프로필의 적어도 하나의 받침대 측에 고정 부분들이 배치되고, 연결 요소들을 통해 인접하는 프레임 프로필들이 서로 연결되며, 고정 요소들에 의해 프레임 프로필들의 고정 부분들에 연결 요소들이 고정됨으로써 달성될 수 있다. 예를 들면, 관통된 플레이트 또는 개구가 있는 다른 표면 요소들이 연결 요소들로서 사용될 수 있는데, 특히 또한 보어(bore)가 있는 플레이트들이 그러하고 이들은 예를 들면 고정 부분들에 나사로 조임이 이루어진다.Each assembly of the framework and the clean gas chamber is characterized in that the fixing parts are arranged on at least one pedestal side of the frame profile and the adjacent frame profiles are connected to one another via the connecting elements, Can be accomplished by fixing the connecting elements to each other. For example, perforated plates or other surface elements with openings can be used as connecting elements, particularly those with bores, which are screwed onto, for example, the fixing parts.

클린 가스 챔버의 임의의 원하는 모서리 각도들은, 모서리 연결기가 서로에 대해 일정한 각을 이루어 배치된 적어도 2개의 암(arm)을 가지고, 각각의 암이 프레임 프로필의 하나의 받침대 측에 맞닿아 놓여 있으며, 특히 볼트와 같은 고정 수단을 통해 그것에 연결됨으로써 얻어질 수 있다.Any desired corner angles of the clean gas chamber may have at least two arms in which the corner connectors are arranged at a constant angle relative to one another and each arm is abutted to one pedestal side of the frame profile, In particular by means of a fixing means such as a bolt.

모서리 연결기는 일정한 각도로 서로 연결될 프레임 프로필들의 전체 길이에 걸쳐 유리하게 연장한다. 밀봉 요소(들)는 프레임 프로필들의 연관된 밀봉 부분들에 연결되고, 모서리 연결기의 각각의 암들에 맞닿아 놓여 있다. 이는 프레임 프로필들과 모서리 연결기 사이의 접착 표면들을 밀봉한다. 프레임 프로필들 내로 도입된 고정 부분들은 유리하게는 고정 슬롯(slot)들의 형태를 취할 수 있다. 슬롯 너트들은 모서리 연결기를 향해 있는 프로필의 측에서 상기 고정 슬롯들 내로 삽입될 수 있고, 이러한 모서리 연결기에 모서리 연결기의 암들이 볼트들에 의해 고정된다. 볼트들의 조이는 힘 때문에, 최적의 밀봉 효과가 달성되는 방식으로 밀봉 요소들의 변형이 조정될 수 있다. 유리하게, 볼트들은 한계 멈춤(limit stop)까지 조여진 다음 밀봉 요소들의 알맞은 변형이 달성된다는 사실이 제공될 수 있다. 한계 멈춤은 밀봉 용기 외측의 모서리 연결기의 암에 맞닿아 프레임 프로필의 접촉에 의해 형성될 수 있다.The corner connectors extend advantageously over the entire length of the frame profiles to be connected to each other at a constant angle. The sealing element (s) are connected to the associated sealing portions of the frame profiles and abut the respective arms of the edge connector. Which seals the adhesive surfaces between the frame profiles and the edge connector. The fixed portions introduced into the frame profiles may advantageously take the form of fixed slots. The slot nuts can be inserted into the securing slots at the side of the profile facing the edge connector, and the arms of the edge connector are secured to these edge connectors by bolts. Due to the tightening force of the bolts, the deformation of the sealing elements can be adjusted in such a way that an optimum sealing effect is achieved. Advantageously, the fact that the bolts are tightened to the limit stop and then the correct deformation of the sealing elements is achieved can be provided. The limit stop may be formed by abutment of the frame profile against the arm of the edge connector outside the sealed container.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 모서리 연결기의 암들이 굴곡부(bend)에 의해 서로에 대해 직접 합쳐지거나, 암들이 웹(web)에 의해 연결되고/되거나 암들이 적어도 하나의 안정화 요소에 의해 연결된다는 사실이 제공될 수 있다. 굴곡부와 웹 모두 모서리 연결기의 2개의 암 사이의 가스가 새지 않는 연결을 만들어낸다. 모서리 구역은 웹의 길이와 클린 가스 챔버의 윤곽에 걸쳐 연장될 수 있어서 각각의 요구 사항에 적합하게 될 수 있다. 암들 사이에 바람직하게 부착된 안정화 요소들은, 암들 사이, 따라서 그것에 고정된 벽 요소들 사이의 각도가 변하는 것을 방지할 수 있다. 안정화 요소들은 또한 프레임 프로필들의 세로 단부들 상에 배치될 수 있다. 그런 다음, 그것들은 또한 인접한 프레임 프로필들 사이의 전이(transition) 구역에서의 모서리 연결의 단부면(end face)을 밀봉하기 위해 사용될 수 있다.According to one embodiment of the invention, the arms of the corner connector are directly joined to each other by a bend, or the arms are connected by a web and / or the arms are connected by at least one stabilizing element Facts can be provided. Both the bend and the web create a gas-tight connection between the two arms of the corner connector. The edge zone can extend over the length of the web and the contour of the clean gas chamber to suit each requirement. The stabilizing elements preferably attached between the arms can prevent the angle between the arms and thus the wall elements fixed to it from varying. The stabilizing elements may also be placed on the longitudinal edges of the frame profiles. They can then also be used to seal the end face of the corner connection in the transition zone between adjacent frame profiles.

본 발명은 도면들에 도시된 전형적인 실시예에 기초하여 아래에 더 상세하게 설명된다.The invention is described in more detail below on the basis of an exemplary embodiment shown in the drawings.

도 1은 프레임 프로필(A)로 만들어진 프레임워크를 갖는 부분적으로 조립된 클린 가스 챔버의 사시도.
도 2는 프레임 프로필(B)로 만들어진 프레임워크를 가지고, 도 1에서와 같은 동일한 부분적으로 조립된 클린 가스 챔버의 사시도를 반대 방향으로부터 본 도면.
도 3은 프레임 프로필(A)의 단면적 표현을 나타내는 도면.
도 4는 클린 가스 챔버의 제5 모서리의 위로부터 본 단면적 표현을 나타내는 도면.
도 5는 클린 가스 챔버의 제3 모서리의 위로부터 본 단면적 표현을 나타내는 도면.
도 6은 프레임 프로필(B)의 단면적 표현을 나타내는 도면.
도 7은 클린 가스 챔버의 제2 모서리의 위로부터 본 단면적 표현을 나타내는 도면.
도 8은 클린 가스 챔버의 제4 모서리의 위로부터 본 단면적 표현을 나타내는 도면.
도 9는 하나 위에 다른 하나가 겹쳐지게 배치된 2개의 측벽 요소의 연결을 도시하는 도면.
도 10은 클린 가스 챔버의 제5 모서리의 사시도.Figure 1 is a perspective view of a partially assembled clean gas chamber having a framework made of a frame profile (A).
Figure 2 is a perspective view of the same partially assembled clean gas chamber as in Figure 1, with a framework made of a frame profile B, viewed from the opposite direction.
3 is a view showing a sectional area representation of the frame profile A. Fig.
4 is a view showing the sectional area view from the top of the fifth corner of the clean gas chamber;
Fig. 5 is a view showing the sectional area view from above the third corner of the clean gas chamber; Fig.
6 is a view showing the sectional area representation of the frame profile B. Fig.
7 is a view showing a sectional area view from above the second edge of the clean gas chamber;
8 is a view showing a sectional area view from above the fourth edge of the clean gas chamber;
Figure 9 shows the connection of two side wall elements arranged one over the other one over the other.
10 is a perspective view of a fifth corner of the clean gas chamber;

도 1은 도 3에 더 상세히 도시되어 있는 프레임 프로필(A)(20)로 만들어진 프레임워크를 갖는 부분적으로 조립된 클린 가스 챔버(10)의 사시도를 보여준다.FIG. 1 shows a perspective view of a partially assembled clean gas chamber 10 having a framework made of a frame profile (A) 20 as shown in more detail in FIG.

도 2는 도 6에서 단면도로 도시되어 있는 프레임 프로필(B)(27)로 만들어진, 도 1에서와 같은 프레임워크를 갖는 동일한 부분적으로 조립된 클린 가스 챔버의 사시도를 반대 방향으로부터 본 것을 보여준다.Fig. 2 shows a perspective view of the same partially assembled clean gas chamber with a framework as in Fig. 1, made from a frame profile (B) 27 shown in cross-section in Fig. 6, viewed from the opposite direction.

도 1과 도 2에 도시된 클린 가스 챔버(10)는 5개의 모서리(16.1, 16.2, 16.3, 16.4, 16.5)를 갖는 아우트라인(outline)을 가진다. 이를 위해, 측벽 요소들의 형태를 지닌 벽 요소(11)들이 베이스(13)의 외부 가장자리를 따라 놓이고, 보유 브래킷(retaining bracket)(15)들을 통해 연결된다. 베이스(13)는 구조상 코어 플레이트(12)로 형성되는데, 이 경우에서는 알루미늄 허니콤 코어 플레이트로 형성된다. 벽 요소(11)들은 프레임 프로필(20,27)에 의해 경계가 정해진 플레이트 요소들로 형성된다. 이러한 전형적인 실시예에서는, 플레이트 요소들이 바람직하게는 알루미늄 허니콤 코어 플레이트와 같은 구조상 코어 플레이트(12)로 만들어진다. 프레임 프로필(20,27)은 벽 요소(11)들의 모서리 구역들에서 연귀이음이 만들어지고(mitred), 제1 연결 요소(14.1)들에 의해 서로 연결된다. 그러므로 플레이트 요소들은 프레임 프로필(20,27)에서 주위에 경계가 정해지고, 그것에 가스가 새지 않게 연결된다.The clean gas chamber 10 shown in Figures 1 and 2 has an outline with five corners 16.1, 16.2, 16.3, 16.4, 16.5. To this end, wall elements 11 in the form of sidewall elements lie along the outer edge of the base 13 and are connected via retaining brackets 15. The base 13 is structurally formed of a core plate 12, which in this case is formed of an aluminum honeycomb core plate. The wall elements 11 are formed of plate elements delimited by the frame profiles 20, 27. In this exemplary embodiment, the plate elements are preferably made of a structural core plate 12, such as an aluminum honeycomb core plate. The frame profiles 20,27 are mitered and joined together by the first connecting elements 14.1 in the corner areas of the wall elements 11. Thus, the plate elements are delimited in the periphery of the frame profiles 20, 27 and connected to it without gas leakage.

서로 인접하는 평면에 배치된 벽 요소(11)들을 가지고, 그것들의 세로 연장부를 따라 서로 접하는 프레임 프로필(20,27)은 제2 연결 요소(14.2)들을 통해 서로 연결된다. 제2 연결 요소(14.2)들은 프레임 프로필(20,27)의 쌍들 사이에서, 클린 가스 챔버(10)의 안쪽과 바깥쪽 모두로 조립된다.The frame profiles 20,27, which have wall elements 11 arranged in mutually adjacent planes and which abut each other along their longitudinal extension, are connected to each other via second connection elements 14.2. The second connecting elements 14.2 are assembled both inside and outside the clean gas chamber 10, between the pairs of frame profiles 20, 27.

직접 서로 인접하는 벽 요소(11)들의 경우에 그리고 제2 및 제5 모서리(16.2, 16.5)에 도시된 것처럼 직각으로 배치된, 도시된 전형적인 실시예에서는 그것들의 세로 연장부를 따라 서로 접하는 프레임 프로필(20,27)이 제3 연결 요소(14.3)들을 통해 서로 연결된다. 제3 연결 요소(14.3)들은 모서리 브래킷들의 형태를 취하고, 제2 모서리(16.2)와 제5 모서리(16.5)의 내부 모서리들 상에 배치된다. 프레임 프로필(20,27)은 직사각형, 이러한 전형적인 실시예에서는 정사각형인 단면을 바람직하게 가진다. 도 3과 도 6에 도시된 것처럼, 벽 요소(11)의 프레임 프로필(20,27)은 플레이트의 평면의 방향으로 이어지는 제1 받침대 측(26.1) 또는 제3 받침대 측(26.3)에서 제2 모서리(16.2)와 제5 모서리(16.5)에서 접하고, 플레이트의 평면을 가로 질러 이어지는 제2 받침대 측(26.2)에서 제2 모서리(16.2)와 제5 모서리(16.5)에서 접한다. 이는 제2 모서리(16.2)와 제5 모서리(16.5)에서 서로 접하는 벽 요소(11)들 사이에 직각을 형성한다.In the case of the directly adjacent wall elements 11 and in the exemplary embodiment shown at right angles as shown in the second and fifth edges 16.2 and 16.5, a frame profile tangent to each other along their longitudinal extension 20 and 27 are connected to each other via the third connection elements 14.3. The third connecting elements 14.3 take the form of edge brackets and are disposed on the inner edges of the second edge 16.2 and the fifth edge 16.5. The frame profiles 20,27 preferably have a rectangular, cross-section in this exemplary embodiment. 3 and 6, the frame profiles 20 and 27 of the wall element 11 are arranged on the first pedestal side 26.1 or the third pedestal side 26.3, which extend in the direction of the plane of the plate, At a second edge 16.2 and at a fifth edge 16.5 at a second pedestal side 26.2 which abuts at a second edge 16.2 and a fifth edge 16.5 and which traverses the plane of the plate. This forms a right angle between the wall elements 11 tangential to each other at the second edge 16.2 and the fifth edge 16.5.

클린 가스 챔버(10)의 제4 모서리(16.4)를 따라 인접하는 측벽 요소(11)들 사이에는 제1 모서리 연결기(30)가 배치된다. 제4 모서리(16.4)를 따라 수직으로 이어지는 인접하는 벽 요소(11)들의 프레임 프로필(20,27)은 각각의 경우에 도 8에 도시된 제1 모서리 연결기(30)의 제1 암(31.1)과 제2 암(31.2)에 의해 제2 받침대 측(26.2)에 연결된다. 인접하는 프레임 프로필(20,27)은 제4 모서리(16.4)의 내부 각도를 통해 제4 연결 요소(14.4)에 연결된다. 제1 모서리 연결기(30)를 통해 간접적으로 연결된 벽 요소(11)들 사이의 각도는 제1 암(31.1)과 제2 암(31.2) 사이의 각도에 의해 미리 결정된다. 따라서, 서로 간접적으로 인접하는 벽 요소(11)들 사이의 임의의 바라는 각도는 제1 암(31.1)과 제2 암(31.2) 사이의 각도를 적절하게 고름으로써 실현될 수 있다. 각도를 안정화하기 위해, 제1 암(31.1)과 제2 암(31.2) 사이에는 안정화 요소들이 제공되고, 이들은 도시된 전형적인 실시예에서, 3각형 안정화 요소(32)이다.A first edge connector 30 is disposed between adjacent sidewall elements 11 along the fourth edge 16.4 of the clean gas chamber 10. The frame profiles 20,27 of adjacent wall elements 11 extending vertically along the fourth edge 16.4 are in each case connected to the first arm 31.1 of the first edge connector 30 shown in Figure 8, And to the second pedestal side 26.2 by the second arm 31.2. The adjacent frame profiles 20,27 are connected to the fourth connecting element 14.4 via the internal angle of the fourth edge 16.4. The angle between the wall elements 11 connected indirectly through the first edge connector 30 is predetermined by the angle between the first arm 31.1 and the second arm 31.2. Thus, any desired angle between the wall elements 11 that are indirectly adjacent to one another can be realized by appropriately drawing the angle between the first arm 31.1 and the second arm 31.2. In order to stabilize the angle, stabilizing elements are provided between the first arm 31.1 and the second arm 31.2, which in the exemplary embodiment shown is a triangular stabilizing element 32.

클린 가스 챔버(10)의 제3 모서리(16.3)를 따라서 인접한 벽 요소(11)들 사이에는 제2 모서리 연결기(40)가 배치된다. 제3 모서리(16.3)를 따라서 수직으로 이어지는 인접한 벽 요소(11)들의 프레임 프로필(20,27)은 각각의 경우에 도 5에 도시된 제2 모서리 연결기(40)의 제3 암(41.2)과 제4 암(41.3)에 의해 그것들의 제2 받침대 측(26.2)에 연결된다. 제2 모서리 연결기(40)를 통해 간접적으로 연결된 벽 요소(11)들 사이의 각도는 제3 암(41.2)과 제4 암(41.3) 사이의 각도에 의해 미리 결정된다. 따라서, 서로 간접적으로 인접하는 벽 요소(11)들 사이의 임의의 바라는 각도는 제3 암(41.2)과 제4 암(41.3) 사이의 각도를 적절하게 고름으로써 제2 모서리 연결기(40)에 의해 또한 실현될 수 있다. 제1 모서리 연결기(30)와는 대조적으로, 제2 모서리 연결기(40)의 경우에는, 제3 암(41.2)과 제4 암(41.3)이 웹(41.1)에 의해 이격되어 있다. 이는 각도뿐만 아니라 2개의 간접적으로 접하는 벽 요소(11) 사이의 거리가 미리 결정되는 것을 가능하게 한다. 각도를 안정화하기 위해, 제3 암(41.2)과 제4 암(41.3) 사이에는 안정화 요소(42)들이 제공된다.A second corner connector 40 is disposed between adjacent wall elements 11 along the third edge 16.3 of the clean gas chamber 10. [ The frame profiles 20,27 of the adjacent wall elements 11 extending vertically along the third edge 16.3 are in each case connected to the third arm 41.2 of the second edge connector 40 shown in Figure 5, And are connected to their second pedestal side 26.2 by a fourth arm 41.3. The angle between the wall elements 11 indirectly connected through the second edge connector 40 is predetermined by the angle between the third arm 41.2 and the fourth arm 41.3. Any desired angle between the wall elements 11 that are indirectly adjacent to one another can be adjusted by the second edge connector 40 by appropriately piercing the angle between the third arm 41.2 and the fourth arm 41.3 It can also be realized. In contrast to the first edge connector 30, in the case of the second edge connector 40, the third arm 41.2 and the fourth arm 41.3 are separated by a web 41.1. This enables not only the angle but also the distance between the two indirectly contacting wall elements 11 to be predetermined. In order to stabilize the angle, stabilizing elements 42 are provided between the third arm 41.2 and the fourth arm 41.3.

클린 가스 챔버(10)의 상부는 뚜껑(미도시)에 의해 닫힌다. 이러한 뚜껑은 마찬가지로 플레이트 요소들로 구성되고, 도시된 전형적인 실시예에서는 구조상 코어 플레이트(11)로 구성된다.The upper portion of the clean gas chamber 10 is closed by a lid (not shown). The lid is likewise comprised of plate elements, which in the exemplary embodiment shown constitutes a core plate 11 in structure.

도 4, 도 5, 도 7, 및 도 8에 도시된 바와 같은 밀봉 요소(18)들은 프레임 프로필(20,27)과, 그것들의 세로 연장부를 따라 인접하는 구조상 요소들 사이에 배치된다. 플레이트 요소들은 프레임 프로필(20,27)에 가스가 새지 않게 연결된다는 사실이 또한 제공된다. 따라서, 플레이트 요소들과 그것에 고정된 프레임 프로필(20,27)로 이루어지는 벽 요소(11)들이 형성되고, 이들은 그것들의 표면에 수직인 방향에서는 가스가 새지 않게 되어 있다. 벽 요소(11)들은 측벽 요소들뿐만 아니라 뚜껑(미도시)을 구성하기 위한 벽 요소(11)들 또는 대안적으로 구성된 베이스(13)로서 구성될 수 있다. 프레임 프로필(20,27)은 밀봉 요소(18)들에 의해 인접하는 구조상 요소들에 가스가 새지 않게 연결될 수 있다. 그러므로 그것들의 세로 연장부를 따라 인접하는 인접한 벽 요소(11)들의 2개의 프레임 프로필(20,27) 사이에는 가스가 새지 않는 연결이 생성될 수 있다. 가스가 새지 않는 연결은 또한 예를 들면 도시된 모서리 연결기(20,27)와 같은 연결 요소들과 프레임 프로필(20,27) 사이에 만들어질 수 있다. 예를 들면 전형적인 도시된 실시예에서 측벽 요소들과 베이스(13) 사이에 제공된 것처럼, 프레임 프로필(20,27)과 인접하는 레벨 표면들 사이에 가스가 새지 않는 연결을 만드는 것이 또한 가능하다.The sealing elements 18 as shown in Figures 4, 5, 7 and 8 are disposed between the frame profiles 20, 27 and the adjacent structural elements along their longitudinal extension. It is also provided that the plate elements are gas-tightly connected to the frame profiles 20,27. Thus, the wall elements 11 consisting of the plate elements and the frame profiles 20, 27 fixed thereto are formed, and they do not leak gas in a direction perpendicular to the surfaces thereof. The wall elements 11 may be constructed as wall elements 11 or an alternatively constructed base 13 for constituting a lid (not shown) as well as side wall elements. The frame profiles 20 and 27 can be gas-tightly connected to adjacent structural elements by the sealing elements 18. Therefore, a gas-tight connection can be created between the two frame profiles 20, 27 of adjacent adjacent wall elements 11 along their longitudinal extension. A gas-tight connection can also be made between the frame profiles 20, 27 and the connecting elements, such as for example the corner connectors 20, 27 shown. It is also possible, for example, to create a gas-tight connection between the level profiles adjacent to the frame profiles 20, 27, as provided between the side wall elements and the base 13 in the exemplary embodiment shown.

프레임 프로필(27)은 클린 가스 챔버(10)의 지지 구조물로서 프레임워크를 형성한다. 프레임워크는 연결 요소들(14.1, 14.2, 14.3, 14.4)과, 프레임 프로필(20,27)에 연결된 플레이트 요소들에 의해 안정화된다.The frame profile (27) forms a framework as a support structure for the clean gas chamber (10). The framework is stabilized by the coupling elements 14.1, 14.2, 14.3, 14.4 and the plate elements connected to the frame profiles 20, 27.

이러한 식으로 구성되어, 클린 가스 챔버(10)는 그것의 주위 환경으로부터 밀봉된 하우징을 구성한다. 제작 시스템 또는 실험실 구조물 등이 클린 가스 챔버(10) 안쪽에 배치될 수 있다. 또한, 클린 가스 챔버(10) 안쪽에 미리 결정된 대기가 확립될 수 있다. 이를 위해, 미리 결정된 조성의 특별한 가스 또는 가스 혼합물이 클린 가스 챔버(10)의 내부에 제공될 수 있다. 그러한 가스 또는 가스 혼합물은 불활성 가스일 수 있다. 또한, 가스 또는 가스 혼합물의 습도가 조정될 수 있다. 클린 가스 챔버(10)용의 요구된 청정실(cleanroom) 등급 매기기는 추가적인 요구 사항으로서 미리 결정될 수 있다. 그러한 요구 사항은 개별적으로 그리고 결합하여 적용할 수 있다. 게다가, 온도와 압력과 같은 추가 대기 파라미터들이 또한 확립될 수 있다. 본 발명에 따르면, 클린 가스는 각각 진술된 요구 사항을 따른 대기를 의미한다.In this way, the clean gas chamber 10 constitutes a sealed housing from its surrounding environment. A fabrication system or a laboratory structure or the like may be disposed inside the clean gas chamber 10. In addition, a predetermined atmosphere can be established inside the clean gas chamber 10. To this end, a special gas or gas mixture of a predetermined composition may be provided inside the clean gas chamber 10. Such gas or gas mixture may be an inert gas. In addition, the humidity of the gas or gas mixture can be adjusted. The required cleanroom rating for the clean gas chamber 10 can be predetermined as an additional requirement. Such requirements may be applied separately and in combination. In addition, additional waiting parameters such as temperature and pressure can also be established. According to the present invention, the clean gas means the atmosphere according to the stated requirements respectively.

클린 가스 챔버(10)는 특별한 대기를 요구하는 제작 공정들 또는 과정들을 실행하는 것을 가능하게 한다. 이와 같은 제작 단계들은 코팅 공정들, 캡슐화 공정들 또는 예를 들면 제약 업계에서와 같은 초순수(ultrapure) 물질들의 처리 또는 생산일 수 있다. 필수적인 재료들과 물질들은 에어로크(airlock)를 통해 공급된다.The clean gas chamber 10 makes it possible to carry out fabrication processes or processes requiring special atmospheres. Such fabrication steps may be coating processes, encapsulation processes or processing or production of ultrapure materials such as, for example, in the pharmaceutical industry. Essential materials and materials are supplied through air locks.

미리 제작된 벽 요소들, 특히 벽 요소(11)들, 베이스 플레이트, 모서리 연결기, 및 뚜껑 요소가 있는 모듈식(modular) 구조물은 클린 가스 챔버가 장소(site)에서 신속하고 용이하게 구성되는 것을 가능하게 한다. 또한 조립 위치에서 벽 요소(11)들을 제작하는 것이 가능하고, 따라서 국부적인 조건 또는 필수적인 변경(alteration)을 고려하는 것이 가능하다.Pre-fabricated wall elements, especially modular structures with wall elements 11, base plate, corner connectors, and lid elements, allow the clean gas chamber to be configured quickly and easily at the site . It is also possible to fabricate the wall elements 11 in the assembled position, so that it is possible to consider local conditions or an essential alteration.

플레이트 요소들은 바람직하게는 구조상 코어 플레이트(12)로 형성된다. 특히, 알루미늄 허니콤 코어 플레이트가 이러한 목적을 위해 사용될 수 있다. 구조상 코어 플레이트(12)는 다층 구조를 가진다. 적어도 2개의 이격된 커버 플레이트가 하나의 구조상 코어에 넓게 연결된다. 알루미늄 허니콤 코어 플레이트를 가지고, 커버 플레이트와 구조상 코어는 알루미늄으로 제작된다. 구조상 코어는 허니콤 코어로서 구성된다. 상당한 휨 강성과 경량을 동시에 결합하는 플레이트들이 이러한 식으로 생산된다. 따라서, 클린 가스 챔버(10)는 단단한 알루미늄 또는 스테인레스 스틸 벽들로 생산된 클린 가스 챔버(10)보다 무게가 훨씬 더 가볍다. 이는 둘러싸인 시스템 부품들과 클린 가스 챔버(10)의 무게로부터 생기는 플로어 로딩(floor loading)을 상당히 감소시킨다. 따라서, 클린 가스 챔버(10)는 낮은 플로어 로딩 용량(capacity)을 갖는 빌딩들에서 사용될 수 있다. 또한, 가벼운 무게는 사용 위치에서 클린 가스 챔버(10)의 설치를 용이하게 하는데, 이는 들어 올리는 장치가 필수적이지 않거나, 저용량의 들어 올리는 장치들만이 필수적이기 때문이다.The plate elements are preferably formed of a structural core plate 12. In particular, aluminum honeycomb core plates can be used for this purpose. Structurally, the core plate 12 has a multilayer structure. At least two spaced apart cover plates are wider connected to one structural core. Aluminum honeycomb core plates, cover plates and structural cores are made of aluminum. Structurally, the core is configured as a honeycomb core. Plates that simultaneously combine significant flexural stiffness and light weight are produced in this way. Thus, the clean gas chamber 10 is much lighter in weight than the clean gas chamber 10 produced with hard aluminum or stainless steel walls. This significantly reduces the floor loading resulting from the enclosed system components and the weight of the clean gas chamber 10. Thus, the clean gas chamber 10 can be used in buildings with low floor loading capacity. In addition, the light weight facilitates the installation of the clean gas chamber 10 in the use position, since a lifting device is not necessary or only low capacity lifting devices are essential.

제1 모서리(16.1)가 각이 진(angled) 측벽 요소(11)에 의해 형성된다. 이를 위해, 플레이트 요소로서 사용된 구조상 코어 플레이트(12)가 제1 모서리(16.1)의 외부 각도를 따라서 쐐기(wedge) 모양으로 갸름한 구성이 나 있다. 슬롯(slot)은 외부 커버 플레이트를 관통하고, 구조상 코어 플레이트(12)의 구조상 코어를 관통한다. 그러므로 구조상 코어 플레이트(12)는 쐐기 모양의 슬롯이 외부측에서 열리도록 나머지 내부 커버 플레이트 주위에서 휘어질 수 있다. 나머지 커버 플레이트는 구조상 코어 플레이트(12)가 제1 모서리(16.1)의 구역에서 가스가 새지 않게 남아 있는 것을 보장한다. 수직으로 배치된 프레임 프로필(20,27)은 제1 모서리(16.1)의 구역에서 연귀이음이 만들어져 있다.A first edge 16.1 is defined by the angled side wall element 11. To this end, the structural core plate 12 used as a plate element has a wedge-like configuration along the external angle of the first edge 16.1. A slot penetrates the outer cover plate and, structurally, through the core of the core plate 12. Therefore, the structural core plate 12 can be bent around the remaining inner cover plate so that the wedge-shaped slot opens on the outer side. The remaining cover plate ensures that the core plate 12 is structurally free of gas at the area of the first edge 16.1. The vertically disposed frame profiles 20,27 are mitered in the region of the first edge 16.1.

도 3은 프레임 프로필(A20)의 프레임 프로필(A)(20)의 단면적 표현을 보여준다. 프레임 프로필(A)(20)은 바람직하게는 알루미늄으로 만들어진 돌출된 프로필로서 제작된다. 그것은 직사각형의 단면을 가지는데, 본 전형적인 실시예에서는 정사각형 단면을 가진다. 공동(cavity)들이 재료와 무게를 절약하기 위해 돌출된 프로필 안쪽에 형성된다.Figure 3 shows a cross sectional representation of the frame profile (A) 20 of the frame profile A20. The frame profile (A) 20 is preferably made as a protruded profile made of aluminum. It has a rectangular cross section, which in this exemplary embodiment has a square cross section. Cavities are formed inside the projected profile to save material and weight.

이격된 고정 슬롯(21)의 형태를 가지는 2개의 고정 부분들이 3개의 받침대 측(26.1,26.2,26.3) 각각을 따라 성형된다. 고정 슬롯(21)은 프레임 프로필(A)(20)의 세로 연장부의 방향으로 달린다. 그것들은 각각의 받침대 측(26.1,26.2,26.3)에 대해 열려 있고, 프레임 프로필(A)(20) 쪽으로 넓게 되어 있다. 따라서, 도 4, 도 5, 도 7, 및 도 8에 도시된 것들과 같은 슬롯 너트(19)들이 고정 슬롯(21)들을 따라 위치하고 그곳에 보유된 고정 슬롯(21) 내로 도입될 수 있다. 제1 밀봉 용기(22)의 형태를 갖는 밀봉 부분이 고정 슬롯(21)들 사이에서 성형된다. 밀봉 용기(22)는 바람직하게는 직사각형 오목부(recess)로서 구성된다. 하지만, 예를 들면 반원 프로필을 갖는 다른 디자인도 생각할 수 있다. 밀봉 용기(22)는 밀봉 요소(18)를 받아서 그 위치를 정하는 역할을 할 수 있다. 그것들의 단면적과 그것들의 깊이는 바람직하게는 사용된 밀봉 요소(18)의 기하학적 형태에 적합하게 된다.Two fastening portions in the form of spaced apart fastening slots 21 are molded along each of the three pedestal sides 26.1, 26.2, 26.3. The fastening slot 21 runs in the direction of the longitudinal extension of the frame profile (A) They are open to the respective pedestal sides 26.1, 26.2, 26.3 and are wider towards the frame profile (A) 20. Thus, slot nuts 19, such as those shown in Figs. 4, 5, 7, and 8, may be introduced into fixed slots 21 located and held there. A sealing portion in the form of a first sealing container 22 is formed between the securing slots 21. The sealing container 22 is preferably constructed as a rectangular recess. However, another design with a semicircle profile is conceivable, for example. The sealing container 22 may serve to receive the sealing element 18 and determine its position. Their cross-sectional area and their depth are preferably adapted to the geometry of the sealing element 18 used.

플레이트 용기(23)의 형태를 갖는 플레이트-연결 구역은 플레이트 연결 측(26.4)의 세로 연장부를 따라서 프레임 프로필(A)(20)로 성형된다. 플레이트 용기(23)는 접촉 표면(23.2)들에 의해 옆으로 경계가 정해져 있다. 프레임 프로필(A)(20) 쪽으로 플레이트 용기(23)가 한계 멈춤 표면(23.4)에 의해 닫힌다. 저장 슬롯(23.1,23.3)이 접촉 표면(23.2)의 구역에서 성형된다. 내부 저장 슬롯(23.1)이 접촉 표면(23.2)의 한계 멈춤 표면(23.4)으로의 전이시 제공된다. 외부 저장 슬롯(23.3)은 플레이트 용기(23)의 개구를 따라서 배치된다. 바람직하게 직사각형 슬롯으로서 세로로 이어지는 자국(indentation)(25)들이 플레이트 용기(23)의 옆으로 배치된다.The plate-connecting area in the form of a plate container 23 is formed into a frame profile (A) 20 along the longitudinal extension of the plate connecting side 26.4. The plate vessel 23 is laterally bounded by the contact surfaces 23.2. The plate container 23 is closed by the limiting stop surface 23.4 towards the frame profile (A) 20. The storage slots 23.1, 23.3 are molded in the region of the contact surface 23.2. An internal storage slot 23.1 is provided at the transition of the contact surface 23.2 to the limiting stop surface 23.4. The external storage slot 23.3 is disposed along the opening of the plate container 23. Indentations 25, which are preferably longitudinally extending as rectangular slots, are arranged laterally of the plate vessel 23.

바람직하게는 구조상 코어 플레이트(11)인 플레이트 요소가, 그것의 외부 가장자리가 플레이트 용기(23) 내로 들어가게 삽입될 수 있다. 구조상 코어 플레이트(11)는 2개의 접촉 표면(23.2) 사이에서 가이드된다. 플레이트 요소에서 프레임 프로필(A)(20)의 안전한 보유를 달성하기 위해, 그리고 동시에 프레임 프로필(A)(20)과 플레이트 요소 사이의 밀착(tight) 연결을 달성하기 위해, 프레임 프로필(A)(20)과 플레이트 요소는 플레이트 용기(23)의 구역에서 서로 달라 붙는다. 이 목적을 위해, 접착제가 플레이트 요소의 외부 가장자리 및/또는 플레이트 용기(23) 내로 발라지고, 플레이트 요소가 플레이트 용기(23) 내로 삽입된다. 잔여 접착제는 저장 슬롯(23.1,23.3) 내로 옮겨진다. 이는 플레이트 요소가 한계 멈춤 표면(23.4)까지 플레이트 용기(23) 내로 도입될 수 있는 것을 보장한다.A plate element, which is preferably a structural core plate 11, can be inserted so that its outer edge enters into the plate container 23. [ Structurally, the core plate 11 is guided between two contact surfaces 23.2. To achieve a secure retention of the frame profile (A) 20 in the plate element and simultaneously to achieve a tight connection between the frame profile (A) 20 and the plate element, a frame profile A 20 and the plate elements stick together in the region of the plate container 23. For this purpose, an adhesive is applied to the outer edge of the plate element and / or into the plate container 23, and the plate element is inserted into the plate container 23. The residual adhesive is transferred into the storage slots 23.1, 23.3. This ensures that the plate element can be introduced into the plate container 23 up to the limiting stop surface 23.4.

도 4와 도 5에 도시된 밀봉 요소(18)들은 제1 밀봉 용기(22)에서 위치가 정해지고 보유될 수 있다. 밀봉 요소(18)의 단면은 바람직하게는 밀봉 요소(18)가 밀봉 용기(22) 내로 안전하게 가이드되고, 각각의 받침대 측(26.1,26.2,26.3)을 넘어 돌출하는 방식으로, 제1 밀봉 용기(22)의 단면에 적합하게 된다.The sealing elements 18 shown in Figures 4 and 5 can be positioned and retained in the first sealed container 22. [ The cross section of the sealing element 18 is preferably such that the sealing element 18 is securely guided into the sealing container 22 and the first sealing container 18 22).

도 4는 클린 가스 챔버(10)의 제5 모서리(16.5) 위에서부터 본 절단면 표현을 보여준다. 클린 가스 챔버(10)의 프레임워크는 프레임 프로필(A)(20)로 구성된다. 벽 요소(11)의 프레임 프로필(A)(20)은 그것의 제2 받침대 측(26.2)이 추가 벽 요소(11)의 프레임 프로필(A)(20)의 제1 받침대 측(26.1) 상에 있는 채로 놓여 있다.4 shows a cut-away view from above the fifth edge 16.5 of the clean gas chamber 10. The framework of the clean gas chamber 10 consists of a frame profile (A) The frame profile (A) 20 of the wall element 11 has its second pedestal side 26.2 on the first pedestal side 26.1 of the frame profile (A) 20 of the further wall element 11 It is left standing.

고정 슬롯(21) 내로 슬롯 너트(19)가 도입되고, 이는 인접하는 프레임 프로필(A)(20)의, 클린 가스 챔버(10)에 대해 바깥쪽을 가리킨다. 제2 연결 요소(14.2)는 접시 형(countersunk) 헤드 볼트(17.1)에 의해 2개의 프레임 프로필(A)(20) 상으로 나사 조임이 이루어진다. 이를 위해, 접시 형 헤드 볼트(17.1)가 제1 연결 요소(14.1)에서의 관련된 보어들을 통해 가이드되고, 슬롯 너트(19)와 함께 나사 조임이 이루어진다.A slot nut 19 is introduced into the fixing slot 21, which indicates the outside of the adjacent frame profile (A) 20 with respect to the clean gas chamber 10. The second connecting element 14.2 is screwed onto the two frame profiles (A) 20 by countersunk head bolts 17.1. To this end, the dish head bolt 17.1 is guided through the associated bores in the first connecting element 14.1 and is screwed together with the slot nut 19.

제3 연결 요소(14.3)는 제5 모서리(16.5)의 내측에서 2개의 벽 요소(11)와 접촉한다. 모서리 브래킷으로서 구성되어, 제3 연결 요소(14.3)는 이러한 목적을 위해 벽 요소(11)들의 수평으로 이어지는 프레임 프로필(A)(20) 상으로 나사 조임이 이루어진다.The third connecting element 14.3 makes contact with the two wall elements 11 inside the fifth edge 16.5. The third connecting element 14.3 is screwed onto the horizontally extending frame profile (A) 20 of the wall elements 11 for this purpose.

절단면으로 도시된 수직으로 배치된 프레임워크 요소(A)(20)는 제5 연결 요소(14.5)를 통해 추가로 연결된다. 제5 연결 요소(14.5)는 볼트(17.2)에 의해 수직으로 이어지는 프레임 프로필(20) 중 하나와 함께 나사 조임이 이루어진다. 이를 위해, 이 경우 관련 고정 슬롯(21) 내로 슬롯 너트(19)들이 또한 도입되고, 이러한 관련 고정 슬롯(21) 내로 볼트(17.2)의 나사 조임이 이루어진다. 끝에서는 제5 연결 요소(14.5)가 각을 이루고 있다. 각을 이루고 있는 구역은 제2 수직으로 이어지는 프레임 프로필(A)(20)의 자국과 맞물린다. 이는 또한 제5 모서리(16.5)의 내측에서 2개의 수직으로 이어지는 프레임 프로필(A)(20)을 연결한다.The vertically arranged framework elements (A) 20 shown in cross-section are further connected via a fifth connecting element 14.5. The fifth connecting element 14.5 is threaded together with one of the frame profiles 20 which extend vertically by the bolts 17.2. To this end, in this case slot nuts 19 are also introduced into the associated fixing slot 21 and screwing of the bolt 17.2 into this associated fixing slot 21 is effected. At the end, the fifth connecting element 14.5 is angled. The angled section engages the traces of the second vertically extending frame profile (A) (20). It also connects two vertically extending frame profiles (A) 20 inside the fifth edge 16.5.

밀봉 요소(18)는 2개의 인접하는 프레임 프로필(A)(20)의 제2 받침대 측(26.2)과 제1 받침대 측(26.1) 사이의 접하는 가장자리를 따라서 제1 밀봉 용기(22) 내로 놓인다. 밀봉 요소(18)는 인접하는 벽 요소들의 2개의 수직으로 이어지는 프레임 프로필(A)(20) 사이의 간극을 밀봉한다.The sealing element 18 is placed into the first sealing container 22 along the abutting edge between the second pedestal side 26.2 of the two adjacent frame profiles A and 20 and the first pedestal side 26.1. The sealing element 18 seals the gap between two vertically extending frame profiles (A) 20 of adjacent wall elements.

구조상 코어 플레이트(11)들의 형태를 가지는 플레이트 요소들은 2개의 프레임 요소(A)(20)의 플레이트 용기(23) 내로 삽입되고, 도 3에 도시된 것처럼 그 안에서 달라 붙는다.Plate elements having the form of core plates 11 are inserted into the plate container 23 of the two frame elements (A) 20 and stick together therein as shown in Fig.

도 4에 도시된 구조물은 2개의 바람직하게 제조된 벽 요소(11) 사이에서 조립하기 쉽고 가스가 새지 않는 모서리 연결이 이루어지는 것을 가능하게 한다.The structure shown in Fig. 4 makes it possible to make easy to assemble and leak-free corner connections between two preferably manufactured wall elements 11.

도 5는 클린 가스 챔버(10)의 제3 모서리(16.3) 위에서부터 본 절단면 표현을 보여준다. 2개의 벽 요소(11)가 서로 일정한 각도를 이루어 배치되고, 제2 모서리 연결기(40)를 통해 서로 간접적으로 연결된다. 벽 요소(11)들은 프레임 프로필(A)(20)을 가지고 구성된다. 하지만, 대안적으로 프레임 프로필(B)(27) 또한 사용될 수 있다.Figure 5 shows a cut-away view from above the third edge (16.3) of the clean gas chamber (10). Two wall elements 11 are arranged at an angle to each other and are indirectly connected to each other via the second edge connector 40. [ The wall elements (11) are constructed with a frame profile (A) (20). Alternatively, however, the frame profile (B) 27 may also be used.

제2 모서리 연결기(40)는 서로에 대해 각을 이루고 웹(41.1)을 통해 서로 연결된 2개의 암(41.2,41.3)을 가진다. 암(41.2,41.3)과 웹(41.1) 사이에는 안정화 요소(42)들이 배치된다. 암(41.2,41.3)은 각각 그것들이 맞닿아 놓이는, 프레임 프로필(A)(20)의 제2 받침대 측(26.2)에 연결된다. 이를 위해, 암(41.2,41.3)은 볼트(17.2)가 가이드되는 보어들을 가진다. 볼트(17.2)는 제2 받침대 측(26.2)의 고정 슬롯(21)들에서 보유되는 나사 조임이 이루어진 슬롯 너트(19)들이다. 밀봉 요소(18)는 제2 받침대 측(26.2)의 제1 밀봉 용기(22) 내로 놓인다. 이들은 제2 받침대 측(26.2)과 암(41.2,41.3) 사이에 형성되는 간극을 가스가 새지 않게 밀봉한다.The second edge connector 40 has two arms 41.2, 41.3 which are angled with respect to one another and connected to one another via a web 41.1. Stabilizing elements 42 are disposed between the arms 41.2, 41.3 and the web 41.1. The arms 41.2, 41.3 are connected to the second pedestal side 26.2 of the frame profile (A) 20, respectively, against which they abut. To this end, the arms 41.2, 41.3 have bores in which the bolts 17.2 are guided. The bolt 17.2 is a threaded slot nut 19 retained in the securing slots 21 of the second pedestal side 26.2. The sealing element 18 is placed into the first sealing container 22 of the second pedestal side 26.2. They seal the gaps formed between the second pedestal side 26.2 and the arms 41.2, 41.3 without leaking gas.

제2 모서리 연결기(40)의 2개의 암(41.2,41.3) 사이의 각도를 적절히 고름으로써, 거의 임의의 바라는 각도로 벽 요소(11)들이 서로 연결될 수 있다. 웹(41.1)의 폭은 벽 요소(11)들 사이의 거리가 미리 결정되는 것을 가능하게 한다. 그러므로 각각의 조건과 요구 사항에 적합하게 된 다양한 아우트라인을 갖는 클린 가스 챔버(10)가 생산될 수 있다.By appropriately grasping the angle between the two arms 41.2, 41.3 of the second corner connector 40, the wall elements 11 can be connected to each other at an arbitrary desired angle. The width of the web 41.1 enables the distance between the wall elements 11 to be predetermined. Thus, a clean gas chamber 10 with various outlines adapted to the respective conditions and requirements can be produced.

도 6은 프레임 프로필(B)(27)의 절단면 표현을 보여준다. 도 3에서의 프레임 프로필(A)(20)에 관해 설명된 것과 동일한 프로필 부품들은 동일하게 표시되어 있다.Fig. 6 shows a cut-away representation of the frame profile (B) 27. Fig. The same profile parts as those described for the frame profile (A) 20 in Fig. 3 are designated the same.

프레임 프로필(A)(20)에 관한 것과는 다르게, 프레임 프로필(B)(27)의 경우, 제2 밀봉 용기(24)의 형태를 갖는 밀봉 부분들은 받침대 측(26.1,26.2,26.3)에서의 프레임 프로필(B)(27)의 가장자리들을 따라 배치된다. 제2 밀봉 용기(24)들은 고정 슬롯(21)의 측까지 배치된다. 따라서, 받침대 측(26.1,26.2,26.3)마다 2개의 밀봉 용기(24)가 제공된다.In the case of the frame profile (B) 27, the sealing portions in the form of the second sealed container (24) are different from those in the frame profile (A) (B) < RTI ID = 0.0 > 27 < / RTI > The second sealing containers 24 are disposed to the side of the fixing slot 21. Thus, two sealing containers 24 are provided for each of the pedestal sides 26.1, 26.2, 26.3.

도 7은 클린 가스 챔버(10)의 제2 모서리(16.2)의 위에서부터 본 절단면 표현을 보여준다. 클린 가스 챔버(10)의 프레임워크는 프레임 프로필(B)(27)을 가지고 구성된다.7 shows the cut-away view from the top of the second edge 16.2 of the clean gas chamber 10. The framework of the clean gas chamber 10 is constructed with a frame profile (B) 27.

절단면은 일정한 각도로 서로 만나는 2개의 벽 요소(11)의 상부의 수평으로 이어지는 프레임 프로필(B)(27.1,27.2)의 구역에서 달린다. 프레임 프로필(B)(27)의 연귀이음이 만들어진 모서리 구역들로 인해, 2개의 수직으로 배치된 프레임 프로필(B)(27.3,27.4)의, 크로스-해지된(cross-hatched) 상태로 표현된 절단면 표면들이 각각의 벽 요소(11)의 가장자리 상에서 명백하다.The cutting faces run in the area of the horizontally extending frame profile (B) (27.1, 27.2) on top of the two wall elements (11) meeting at a constant angle. (27.3, 27.4) of the two vertically disposed frame profiles (B) 27, 27 due to the corner areas in which the mitering of the frame profile (B) 27 is made, The cutting surface surfaces are evident on the edge of each wall element 11.

그러한 절단면은 그 안에 삽입된 슬롯 너트(19)들이 그러한 절단면에서 보일 수 있도록, 수평으로 이어지는 프레임 프로필(B)(27.1,27.2)의 고정 슬롯(21)들의 구역에 배치된다. 수평으로 이어지는 프레임 프로필(B)(27.1,27.2)은 제2 모서리(16.2)의 안쪽에서 제3 연결 요소(14.3)를 통해 서로 연결된다. 모서리 브래킷으로서 구성된 제3 연결 요소(14.3)는 슬롯 너트들 내로 나사조임이 이루어지는, 접시 형 헤드 볼트(17.1)에 의해 수평 프레임 프로필(B)(27.1,27.2)에 연결된다. 도 2에 도시된 것처럼, 2개의 수직 프레임 프로필(B)(27.3,27.4)은 제2 연결 요소(14.2)에 의해 클린 가스 챔버(10)의 외측 상에서 함께 붙들려 있다.Such a cut surface is disposed in the region of the securing slots 21 of the horizontally extending frame profile (B) 27.1, 27.2 so that the slot nuts 19 inserted therein are visible in such a cut surface. The horizontally extending frame profiles (B) 27.1 and 27.2 are connected to each other through the third connecting element 14.3 from the inside of the second edge 16.2. A third connecting element 14.3 constructed as an edge bracket is connected to the horizontal frame profile B (27.1, 27.2) by means of a dish-shaped head bolt 17.1, which is screwed into the slot nuts. As shown in Figure 2, the two vertical frame profiles (B) 27.3 and 27.4 are held together on the outside of the clean gas chamber 10 by a second connecting element 14.2.

제1 수직 프레임 프로필(B)(27.3)은 제2 수직 프레임 프로필(27.4)의 제2 받침대 측(26.2)에서 그것의 제3 받침대 측(26.3)을 가지고 놓여 있다. 2개의 받침대 측(26.2,26.3) 사이의 제2 밀봉 용기(24)에는 밀봉 요소(18)가 배치된다. 이들은 인접하는 프레임 프로필(27.3,27.4)의 2개의 가장자리를 따라 2개의 받침대 측(26.2,26.3) 사이의 간극을 밀봉한다.The first vertical frame profile (B) 27.3 rests on its second pedestal side 26.2 of its second vertical frame profile 27.4 with its third pedestal side 26.3. A sealing element 18 is disposed in the second sealed vessel 24 between the two pedestal sides 26.2, 26.3. They seal the gaps between the two pedestal sides 26.2, 26.3 along the two edges of the adjacent frame profiles 27.3, 27.4.

프레임 프로필(B)(27)은, 인접하는 접하는 표면들 사이의 간극이 2개의 밀봉 요소(18)에 의해 밀봉된다는 장점을 제공한다. 이는 클린 가스 챔버(10) 안과 밖으로 어떠한 가스도 출입할 수 없다는 점에서 향상된 밀봉 효과와 증가된 안전성을 달성한다.The frame profile (B) 27 provides the advantage that the gap between adjacent abutting surfaces is sealed by two sealing elements 18. This achieves improved sealing effectiveness and increased safety in that no gas can enter and exit the clean gas chamber 10 and out.

도 8은 클린 가스 챔버(10)의 제4 모서리(16.4)의 위에서부터 본 절단면 표면을 보여준다. 제4 모서리(16.4)를 따라서, 도시된 전형적인 실시예에서의 측벽 요소인 2개의 벽 요소(11)가 제1 모서리 연결기(30)를 통해 서로 간접적으로 연결된다. 벽 요소(11)들은 프레임 프로필(B)(27)을 가지고 구성된다. 도 7에 도시된 것처럼, 2개의 수평으로 이어지는, 벽 요소(11)들의 상부 프레임 프로필(B)(27.5,27.6)의 고정 슬롯(21)들을 따라서 표현(representation)의 절단면 가장자리가 달린다. 수직으로 이어지는 프레임 프로필(27.7,27.8)은 벽 요소(11)의 가장자리에서의 크로스-해칭으로서만 보일 수 있는데, 이는 벽 요소(11)들의 모서리 구역들에서의 프레임 프로필(27)들의 연귀이음 절단(mitre cut) 때문에 그러하다.Fig. 8 shows the cut surface viewed from the top of the fourth edge 16.4 of the clean gas chamber 10. Fig. Along the fourth edge 16.4, two wall elements 11, which are sidewall elements in the exemplary embodiment shown, are indirectly connected to each other via the first edge connector 30. The wall elements 11 are constructed with a frame profile (B) 27. As shown in Fig. 7, there is a cut edge of representation along the two fixed slots 21 of the upper frame profile B (27.5, 27.6) of the wall elements 11, which extend horizontally. The vertically extending frame profiles 27.7 and 27.8 can only be seen as cross-hatching at the edges of the wall element 11, which means that the miter cuts of the frame profiles 27 in the edge regions of the wall elements 11 This is because of the mitre cut.

각각의 경우에서의 벽 요소(11)는 제1 모서리 연결기(30)의 암(31.1,31.2)에서의 수직 프레임 프로필(27.7,27.8)의 제2 받침대 측(26.2)을 가지고 놓여 있다. 수직 프레임 프로필(27.7,27.8)의 길이를 따라 분포된 슬롯 너트(19)들이 고정 슬롯(21)들 내로 도입되고, 이들은 제2 받침대 측(26.2)들의 클린 가스 챔버(10)에 대해서 외측에 있다. 암(31.1,31.2)은 볼트(17.2)에 의해 이들 슬롯 너트(19)에서 나사 조임이 이루어진다. 제2 받침대 측(26.2)의 제2 밀봉 용기(24) 내에 밀봉 요소(18)가 놓인다. 이들은 제1 모서리 연결기(30)의 암(31.1,31.2)과 제2 받침대 측(26.2) 사이에서 클램프된다. 그로 인해 제2 받침대 측(26.2)들과 암들(31.1,31.2) 사이의 맞대기 이음(butt joint)이 양측에서 밀봉된다. 암들(31.1,31.2) 자체는 제1 모서리 연결기(30)가 또한 가스가 새지 않게 구성되도록, 굴곡부를 통해 서로 연결된다. 암들(31.1,31.2) 사이의 각도는 굴곡부를 적절하게 구성함으로써 미리 결정될 수 있다. 따라서, 제1 모서리 연결기(30)들을 가지고, 이들 벽 요소들, 특히 측벽 요소들(11)이 거의 임의의 바라는 각도로 가스가 새지 않게 서로 연결될 수 있다. 도 5에 도시된 제2 모서리 연결기(40)처럼, 제1 모서리 연결기(30) 또한 2개의 프레임 프로필(A,B)(20,27)과 결합될 수 있다.The wall element 11 in each case lies on the second pedestal side 26.2 of the vertical frame profile 27.7, 27.8 in the arms 31.1, 31.2 of the first corner connector 30. Slot nuts 19 distributed along the length of the vertical frame profile 27.7,27.8 are introduced into the securing slots 21 and they are external to the clean gas chamber 10 of the second pedestal side 26.2 . The arms 31.1, 31.2 are threaded in these slot nuts 19 by bolts 17.2. The sealing element 18 is placed in the second sealing container 24 of the second pedestal side 26.2. They are clamped between the arms 31.1, 31.2 of the first edge connector 30 and the second pedestal side 26.2. Thereby, a butt joint between the second pedestal side 26.2 and the arms 31.1, 31.2 is sealed at both sides. The arms 31.1, 31.2 themselves are connected to each other through the bend, so that the first corner connector 30 is also configured so as not to leak gas. The angle between the arms 31.1, 31.2 can be predetermined by appropriately configuring the bend. Thus, with the first corner connectors 30, these wall elements, in particular the sidewall elements 11, can be connected to each other in a gas-free manner at almost any desired angle. Like the second edge connector 40 shown in Fig. 5, the first edge connector 30 can also be combined with the two frame profiles A, B (20, 27).

도 5에 도시된 제2 모서리 연결기(40)와는 대조적으로, 제1 모서리 연결기(30)의 경우에, 2개의 수직 프레임 프로필(B)(27.7,27.8)은 거의 제4 모서리(16.4)의 안쪽에서 서로 접한다. 그러므로 2개의 수직 프레임 프로필(B)(27.7,27.8)은 도 2에 도시된 제4 연결 요소(14.4)를 통해 서로 직접적으로 연결될 수 있다. 제4 연결 요소(14.4)는 제4 모서리(16.4)의 각도에 따라서 휘어진다.In contrast to the second edge connector 40 shown in Fig. 5, in the case of the first edge connector 30, the two vertical frame profiles B (27.7, 27.8) . Therefore, the two vertical frame profiles B (27.7, 27.8) can be directly connected to each other through the fourth connecting element 14.4 shown in Fig. The fourth connecting element 14.4 is bent according to the angle of the fourth edge 16.4.

도 9는 하나 위에 다른 하나가 겹치게 배치된 2개의 벽 요소(11)의 연결을 보여준다. 벽 요소(11)는 플레이트 요소들, 바람직하게는 구조상 코어 플레이트(11)로 만들어지고, 도시된 전형적인 실시예에서는 프레임 프로필(B)(27)에 의해 주위에서 경계가 정해진다. 대안적으로, 프레임 프로필(A)(20) 역시 제공될 수 있다. 프레임 프로필(B)(27)의 모서리들은 연귀이음이 만들어지고 서로 만난다. 이를 위해, 측벽 요소(11) 중 하나의 모서리에서는 제1 연결 요소(14.1)들에 의해 접하는 프레임 프로필(B)(27)이 연결된다. 제1 연결 요소(14.1)들은 구멍이 난 평판형(planar plate-shaped) 구성 성분들로서 구성된다. 그것들은 2개의 프레임 프로필(B)(27)에 맞닿아 놓이도록 각이 진(angled) 베이스 영역을 가진다. 그 구멍들은 고정 슬롯(21)을 따라서 배치된다. 구멍들의 반대쪽에 숨겨진 채로 위치한 슬롯 너트(19)들은 고정 슬롯(21)들 내로 도입된다. 제1 연결 요소(14.1)들은 접시 형 헤드 볼트(17.1)에 의해 이들 슬롯 너트(19)에 연결된다. 이는 벽 요소(11)들의 프레임 프로필(B)(27)들 사이의 안정되고 튼튼한 모서리 연결을 달성한다.Fig. 9 shows the connection of two wall elements 11, one on top of the other, overlaid one on top of the other. The wall element 11 is made of plate elements, preferably a structural core plate 11, and is circumferentially bounded by a frame profile (B) 27 in the exemplary embodiment shown. Alternatively, a frame profile (A) 20 may also be provided. The edges of the frame profile (B) 27 are mitered and meet each other. To this end, at one corner of the sidewall element 11, a frame profile (B) 27 tangent by the first connecting elements 14.1 is connected. The first connecting elements 14.1 are composed of planar plate-shaped constituents. They have angled base areas to abut the two frame profiles (B) 27. The holes are arranged along the fixing slot 21. Slot nuts 19, which are hidden on opposite sides of the holes, are introduced into the securing slots 21. The first connecting elements 14.1 are connected to these slot nuts 19 by means of dish-shaped head bolts 17.1. This achieves a stable and robust corner connection between the frame profiles (B) 27 of the wall elements 11.

벽 요소(11)들은 제2 연결 요소(14.2)들에 의해 서로 연결되고, 그 중 하나만이 도시된 부분에 보여진다. 제2 연결 요소(14.2)는 또한 구멍이 뚫린, 플레이트 모양의 구성 성분들로서 구성된다. 그것들은 접시 형 헤드 볼트(17.1)를 통해 2개의 인접하는 프레임 프로필(B)(27)에 연결된다. 연결 요소(14.2)들에서의 구멍들은 접시 형 헤드 볼트(17.1)가 도입된 슬롯 너트(19)들과 함께 나사 조임이 이루어질 수 있게 고정 슬롯(21)들의 반대쪽에 위치하도록 선택된다. 이 경우 안쪽 구멍들 사이의 거리는 인접하는 프레임 프로필(B)(27)가 단단히 함께 당겨지고, 서로에 맞닿아 직접적으로 그것들의 제2 받침대 측(26.2)을 가지고 놓이도록 선택된다.The wall elements 11 are connected to each other by means of the second connecting elements 14.2, only one of which is shown in the figure shown. The second connecting element 14.2 is also composed of perforated, plate-like components. They are connected to two adjacent frame profiles (B) 27 via dish-shaped head bolts 17.1. The holes in the connecting elements 14.2 are selected to be positioned opposite the securing slots 21 so that they can be threaded together with the slotted nuts 19 into which the tabular head bolts 17.1 are introduced. In this case, the distance between the inner holes is chosen such that the adjacent frame profiles (B) 27 are pulled tightly together and abut against each other and directly carry their second pedestal side (26.2).

유리하게, 클린 가스 챔버(10)의 내측과 외측 모두에 제1 연결 요소(14.1)과 제2 연결 요소(14.2)가 배치된다. 이는 프레임 프로필(B)(27)에 안정한 연결을 달성하고, 그로 인해 클린 가스 챔버(10)의 안정되게 구성된 프레임워크를 달성한다. 프레임 프로필(B)(27)로의 플레이트 요소들(구조상 코어 플레이트(11))과 프레임 프로필들(B)(27) 사이에 숨겨지게 배치된 밀봉 요소들의 가스가 새지 않는 접착 결합 덕분에, 클린 가스 챔버(10)의 가스가 새지 않는 외부 벽이 얻어진다.Advantageously, a first connecting element 14.1 and a second connecting element 14.2 are located both inside and outside the clean gas chamber 10. This achieves a stable connection to the frame profile (B) 27, thereby achieving a stabilized framework of the clean gas chamber 10. Thanks to the non-leaking adhesive bonds of the sealing elements hiding between the plate elements (structural core plate 11) and frame profiles (B) 27 to the frame profile (B) 27, An outer wall of the chamber 10 in which gas does not leak is obtained.

도 10은 클린 가스 챔버(10)의 제5 모서리(16.5)의 사시도를 보여준다. 2개의 벽 요소(11)는 제5 모서리(16.5)에서 각도를 이루어 서로 만난다. 벽 요소(11)들은 프레임 프로필(B)(27)을 가지고 구성되지만, 프레임 프로필(A)(20)이 대안적으로 제공될 수 있다. 2개의 수직으로 배치된 프레임 프로필(B)(27)은 그것들의 제1 받침대 측(26.1)과 제2 받침대 측(26.2)이 서로 맞닿아 놓여 있다. 벽 요소(11)들의 상부의 수평으로 이어지는 프레임 프로필(B)(27)은 일정한 각도에서 서로 만난다. 2개의 벽 요소(11)는 모서리 브래킷으로서 구성된 제3 연결 요소(14.3)에 의해 제5 모서리(16.5)의 안쪽에서 서로 연결된다. 이를 위해, 제3 연결 요소(14.3)가 설명된 방식대로, 접시 형 헤드 볼트(17.1)에 의해 수직으로 이어지는, 상부의 프레임 프로필(B)(27) 상으로 나사 조임이 이루어진다.10 shows a perspective view of a fifth corner 16.5 of the clean gas chamber 10. As shown in Fig. The two wall elements 11 meet each other at an angle at the fifth edge 16.5. Although the wall elements 11 are constructed with a frame profile (B) 27, a frame profile (A) 20 may alternatively be provided. The two vertically disposed frame profiles (B) 27 have their first pedestal side 26.1 and second pedestal side 26.2 abutted against each other. The horizontally extending frame profiles (B) (27) on top of the wall elements (11) meet each other at a certain angle. The two wall elements 11 are connected to each other inside the fifth edge 16.5 by a third connecting element 14.3, which is configured as an edge bracket. To this end, the third connecting element 14.3 is screwed onto the upper frame profile (B) 27, which is led vertically by the dish head bolts 17.1 in the manner described.

도 1과 도 2에 도시된 것과 같은 클린 가스 챔버(10)를 만들기 위해서는, 플레이트 요소들, 프레임 프로필(20,27), 및 모서리 연결기(30,40)가 먼저 크기에 맞춰 잘라진다. 프레임 프로필(20,27)에는 연귀이음이 만들어진다. 그런 다음 플레이트 용기(23)에 또는 각각의 플레이트 요소의 가장자리 상에 접착제가 발라진다. 프레임 프로필(20,27)은 그것들의 플레이트 용기가 각각의 플레이트 요소의 가장자리들 상에 꼭 맞게 되어진다. 그러므로 연귀이음이 만들어진 프레임 프로필(20,27)은 둥근 플레이트 요소 주위에서 이어지고 플레이트 요소에 가스가 새지 않게 연결되는 프레임을 형성한다. 이러한 식으로 제조된 벽 요소(11)들은 클린 가스 챔버의 설치 위치에서 연결 요소들(14.1,14.2,14.3,14.4,14.5)에 의해 연결된다. 이를 위해, 첫 번째로는 베이스(13), 그 다음 측벽들, 및 마지막으로 뚜껑이 조립된다. 벽 요소(11)가 조립되기 전에, 밀봉 요소(들)(18)가 받침대 측들(26.1,26.2,26.3) 상의 밀봉 용기(22,24)에서 놓이고, 이러한 받침대 측들(26.1,26.2,26.3)은 클린 가스 챔버(10)의 추가 구성 요소에 맞닿아 놓여 있다.In order to make the clean gas chamber 10 as shown in Figures 1 and 2, the plate elements, frame profiles 20, 27, and corner connectors 30, 40 are first cut to size. In the frame profiles 20 and 27, miter joints are created. Adhesive is then applied to the plate vessel 23 or to the edge of each plate element. The frame profiles 20,27 are such that their plate containers fit onto the edges of each plate element. Thus, the frame profiles 20,27, in which the miter joints are made, form a frame which runs around the rounded plate elements and is connected to the plate elements in a gas-tight manner. The wall elements 11 produced in this way are connected by the connecting elements 14.1, 14.2, 14.3, 14.4, 14.5 in the installed position of the clean gas chamber. To this end, firstly the base 13, then the side walls, and finally the lid are assembled. Before the wall element 11 is assembled, the sealing element (s) 18 are placed in the sealing containers 22 and 24 on the pedestal sides 26.1, 26.2 and 26.3, and these pedestal sides 26.1, 26.2, Is in contact with an additional component of the clean gas chamber (10).

프레임 프로필(20,27)에 의해 경계가 정해지고, 자체가 가스가 새지 않게 되어 있는 도시된 벽 요소(11)들 덕분에, 클린 가스 챔버(10)는 장소에서 신속하게 그리고 수고와 비용을 거의 들이지 않고 구성될 수 있다. 연결 요소들(14.1,14.2,14.3,14.4,14.5)은 클린 가스 챔버(10)의 튼튼한 프레임워크가 얻어지도록, 프레임 프로필(20,27) 사이의 안전한 접합(bond)을 가능하게 한다. 밀봉 요소(18)들은 서로에 맞닿아 또는 추가적인 인접한 구조상 요소들에 대해 벽 요소(11)들을 밀봉한다. 모서리 연결기(30,40)의 사용은 클린 가스 챔버(10)의 아우트라인이 각각의 사용 상황에 최적으로 적합하게 될 수 있도록, 상이한 각도에서 벽 요소(11)들이 서로 만나는 것을 가능하게 한다. 구조상 코어 플레이트(12), 특히 알루미늄 허니콤 코어 플레이드를 플레이트 요소로서 사용하는 것은, 클린 가스 챔버의 가볍지만 튼튼하고, 가스가 새지 않는 구조물이 달성되는 것을 가능하게 한다.Thanks to the illustrated wall elements 11 which are delimited by the frame profiles 20,27 and which are themselves free of gas leakage, the clean gas chamber 10 can be quickly, Without any limitation. The connection elements 14.1, 14.2, 14.3, 14.4 and 14.5 enable a secure bond between the frame profiles 20, 27 so that a robust framework of the clean gas chamber 10 is obtained. The sealing elements 18 seal the wall elements 11 against each other or with additional adjacent structural elements. The use of the corner connectors 30, 40 enables the wall elements 11 to meet with each other at different angles such that the outline of the clean gas chamber 10 can be optimally adapted for each use situation. The use of structural core plates 12, particularly aluminum honeycomb core plates, as plate elements allows a lightweight but robust, gas-tight structure of the clean gas chamber to be achieved.

Claims (15)

클린 가스 챔버(10)의 프레임워크(framework)의 프레임 프로필(70,27)로서,
상기 프레임 프로필(70,27)의 받침대 측(26.1, 26.2, 26.3)에는 고정(fastening) 부분들이 배치되고, 각 경우에 상기 받침대 측(26.1, 26.2, 26.3) 중 적어도 하나에는 요소(18)들을 담기 위해 적어도 하나의 세로로 배향된 밀봉 부분이 배치되며, 플레이트(plate) 요소의 기밀 수용(reception)을 위해, 하나의 플레이트 연결측(26.4)에 세로로 배향된 플레이트 연결 구역(23)이 배치되는 것을 특징으로 하는 프레임 프로필.As the frame profiles (70, 27) of the framework of the clean gas chamber (10)
Fastening portions are disposed on the pedestal sides 26.1, 26.2 and 26.3 of the frame profiles 70 and 27 and in each case at least one of the pedestal sides 26.1, 26.2 and 26.3 is provided with elements 18 At least one vertically oriented sealing portion is arranged for receiving the plate element and a vertically oriented plate connection section 23 is arranged at one plate connection side 26.4 for the airtight reception of the plate element Wherein the frame profile is formed of a metal. 제1 항에 있어서,
상기 받침대 측(26.1, 26.2, 26.3)에 배치된 2개의 고정 부분들 사이에 적어도 하나의 밀봉 부분이 배치되는 것을 특징으로 하는 프레임 프로필.The method according to claim 1,
Characterized in that at least one sealing portion is arranged between two fixing portions arranged on the pedestal side (26.1, 26.2, 26.3). 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 밀봉 부분은 고정 부분의 측에, 그리고 상기 받침대 측(26.1, 26.2, 26.3)의 가장자리를 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 프레임 프로필.3. The method according to claim 1 or 2,
Characterized in that the at least one sealing portion is arranged on the side of the fixing portion and along the edge of the pedestal side (26.1, 26.2, 26.3). 제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 고정 부분은 상기 프레임 프로필(20,27)까지 또는 고정 요소들의 열(raw)들에 의해 세로로 배향된 고정 슬롯(21)에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 프레임 프로필.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Characterized in that the fixed portion is formed by a fixed slot (21) oriented vertically to the frame profile (20, 27) or by the rows of fixed elements. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 플레이트 연결 구역은 플레이트 용기(23)의 형태를 취하고, 상기 플레이트 용기(23)에는 마주보는 접촉 표면(23.2)들이 배치되며, 접착제를 수용하기 위한 저장 슬롯(23.1, 23.3)은 상기 접촉 표면(23.2) 중 적어도 하나의 구역에 배치되는 것을 특징으로 하는 프레임 프로필.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The plate connection area takes the form of a plate container 23 and opposing contact surfaces 23.2 are arranged in the plate container 23 and storage slots 23.1, 23.2). ≪ / RTI > 제1 항 내지 제5 항 중 어느 한 항에 있어서,
적어도 하나의 밀봉 부분이 밀봉 용기(22, 24, 25)로서 구성되고/되거나 상기 밀봉 용기(22, 24, 25)가 반원 또는 직사각형 단면을 가지는 것을 특징으로 하는 프레임 프로필.6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Characterized in that at least one sealing portion is constructed as a sealing container (22, 24, 25) and / or the sealing container (22, 24, 25) has a semicircular or rectangular cross section. 클린 가스 챔버(10)의 벽 요소(11)로서,
상기 벽 요소(11)는 가스가 새지 않게 주위에서 연결된 프레임 프로필(20, 27)을 갖는 적어도 하나의 플레이트 요소로 형성되고, 상기 프레임 프로필(20, 27)의 받침대 측(26.1, 26.2, 26.3)에는 고정 부분들이 배치되며, 각 경우에 상기 받침대 측(26.1, 26.2, 26.3) 중 적어도 하나에는 요소(18)들을 수용하기 위해 세로로 배향된 밀봉 부분이 배치되고, 플레이트 요소의 기밀 수용을 위해, 하나의 플레이트 연결측(26.4)에 세로로 배향된 플레이트 연결 구역이 배치되는 것을 특징으로 하는 벽 요소.As the wall element 11 of the clean gas chamber 10,
The wall element 11 is formed of at least one plate element having a frame profile 20, 27 connected in a gas-tight manner and the base part 26.1, 26.2, 26.3 of the frame profile 20, Wherein at least one of the pedestal sides (26.1, 26.2, 26.3) in each case is provided with a vertically oriented sealing portion for receiving the elements (18), and for the airtight accommodation of the plate elements, Characterized in that a vertically oriented plate connection section is arranged on one plate connection side (26.4). 제7 항에 있어서,
상기 플레이트 요소는 구조상 코어(core) 플레이트(12)의 형태를 취하고, 특히 알루미늄 허니콤(honeycomb) 코어 플레이트의 형태를 취하는 것을 특징으로 하는 벽 요소.8. The method of claim 7,
Characterized in that the plate element takes the form of a structural core plate (12), in particular in the form of an aluminum honeycomb core plate. 제7 항 또는 제8 항에 있어서,
상기 플레이트 요소는, 외부 가장자리들이 플레이트 용기(23)로서 구성된 주위에 배치된 프레임 프로필(20, 27)의 플레이트 연결 구역들 내에 있고 그것에 부착되게 삽입되는 것을 특징으로 하는 벽 요소.9. The method according to claim 7 or 8,
Characterized in that the plate element is in the plate connection areas of the frame profiles (20, 27) whose circumferential edges are arranged as a plate container (23) and are inserted to be attached thereto. 제7 항 내지 제9 항 중 어느 한 항에 있어서,
제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 따른 프레임 프로필(20,27)을 갖는 벽 요소.10. The method according to any one of claims 7 to 9,
A wall element having a frame profile (20, 27) according to any one of the preceding claims. 프레임 프로필(20,27)을 갖는 클린 가스 챔버(10)용 프레임워크로서,
플레이트 요소로의 기밀 연결을 위한 플레이트 연결 구역을 갖는 플레이트 연결측(26.4)이 각각의 프레임 프로필(20, 27)에 배치되고, 각 경우에 밀봉 요소(18)를 수용하기 위해 적어도 하나의 세로로 배향된 밀봉 부분(22, 24, 25)을 갖는 적어도 하나의 받침대 측(26.1,26.2,26.3)이 상기 프레임 프로필(20, 27)에 배치되며, 복수의 프레임 프로필(20, 27)이 상기 플레이트 연결측(26.4)에서의 상기 플레이트 요소들에 대해 주위에 배치되고 가스가 새지 않게 연결되며, 상기 프레임 프로필(20, 27) 중 적어도 하나는 추가 프레임 프로필(20, 27)의 받침대 측(26.1, 26.2, 26.3)까지 가스가 새지 않게 받침대 측(26.1, 26.2, 26.3)과 연결되어 있고/있으며, 상기 프레임 프로필(20,27) 중 적어도 하나는 연결 프로필, 특히 모서리 연결기(30, 40) 및/또는 추가 플레이트 요소의 표면까지 가스가 새지 않게 받침대 측(26.1, 26.2, 26.3)과 연결되는 것을 특징으로 하는 프레임워크.A framework for a clean gas chamber (10) having a frame profile (20, 27)
A plate connecting side 26.4 with a plate connecting area for the hermetic connection to the plate element is disposed in each frame profile 20, 27 and is in each case at least one longitudinal Wherein at least one pedestal side (26.1, 26.2, 26.3) with oriented sealing portions (22, 24, 25) is disposed in the frame profile (20, 27) and a plurality of frame profiles Wherein at least one of the frame profiles (20, 27) is arranged on the pedestal side (26.1, 27) of the additional frame profile (20, 27) And at least one of the frame profiles 20,27 is connected to the connection profiles, in particular the corner connectors 30,40 and / or 26,23, 26.2, 26.3, Or the surface of the additional plate element (26.1, 26.2, 26.3). 제11 항에 있어서,
상기 프레임 프로필(20, 27)의 적어도 하나의 받침대 측(26.1, 26.2, 26.3)에서 고정 부분들이 배치되고, 인접하는 프레임 프로필(20, 27)이 연결 요소들(14.1, 14.2, 14.3, 14.4, 14.5)을 통해 서로 연결되어 있으며, 고정 요소들에 의해 상기 프레임 프로필(20, 27)의 고정 부분들에 상기 연결 요소들(14.1, 14.2, 14.3, 14.4, 14.5)이 고정되는 것을 특징으로 하는 프레임워크.12. The method of claim 11,
Wherein the fixing portions are arranged on at least one pedestal side (26.1, 26.2, 26.3) of the frame profile (20, 27) and adjacent frame profiles (20, 27) are connected to the connecting elements (14.1, 14.2, 14.3, 14.4, 14.5, 14.2, 14.3, 14.4, 14.5) are fixed to the fixed parts of the frame profile (20, 27) by means of fastening elements work. 제11 항 또는 제12 항에 있어서,
모서리 연결기(30, 40)가 서로 각을 이루어 배치된 적어도 2개의 암(arm)(31.1, 31.2, 41.2, 41.3)을 가지고, 암(31.1, 31.2, 41.2, 41.3) 각각은 프레임 프로필(20, 27)의 받침대 측(26.1, 26.2, 26.3)과 인접해 있으며, 고정 수단, 특히 나사(17.2)를 통해 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 프레임워크.13. The method according to claim 11 or 12,
Each of the arms 31.1, 31.2, 41.2 and 41.3 has at least two arms 31.1, 31.2, 41.2 and 41.3 at which the corner connectors 30, 26.2, 26.3) of the frame (27, 27) and are connected via fastening means, in particular by means of screws (17.2). 제13 항에 있어서,
모서리 연결기(30)의 암(31.1, 31.2, 41.2, 41.3)은 굴곡부(bend)에 의해 서로 직접 합쳐지거나, 암(31.1, 31.2, 41.2, 41.3)이 웹(web)(41.1)에 의해 연결되고/되거나 암(31.1, 31.2, 41.2, 41.3)이 적어도 하나의 안정화 요소(42)에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 프레임워크.14. The method of claim 13,
The arms 31.1, 31.2, 41.2 and 41.3 of the edge connector 30 are directly joined to each other by the bend or the arms 31.1, 31.2, 41.2 and 41.3 are connected by the web 41.1 And / or the arms (31.1, 31.2, 41.2, 41.3) are connected by at least one stabilizing element (42). 제11 항 내지 제14 항 중 어느 한 항에 있어서,
제1 항 내지 제5 항 중 어느 한 항에 따른 프레임 프로필(20, 27)을 갖는 프레임워크.15. The method according to any one of claims 11 to 14,
A framework having a frame profile (20, 27) according to any one of claims 1 to 5.
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