KR20180024340A - 평면 연마 장치 - Google Patents

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KR20180024340A
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롱-셩 리
융-칭 린
춘-밍 수
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갈란트 프리시젼 머시닝 캄파니, 리미티드
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Abstract

평면 연마 장치는 베드, 가공테이블, 연마유닛, 접촉날 드레싱유닛 및 자동 측량유닛을 포함한다. 가공테이블은 베드에 설치되며, 연마하고자 하는 기판을 고정시키기 위한 캐리어가 설치되고, 캐리어는 Y축 방향을 따라 이동할 수 있다. 연마유닛은 Z방향 이동 베이스시트, 주축 모터 및 연마휠을 포함하며, 주축 모터는 Z방향 이동 베이스시트에 설치되고, 연마휠은 주축 모터와 연결되며, Z방향 이동 베이스시트는 X축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동할 수 있다. 접촉날 드레싱유닛은 연마휠의 이동 범위 내에 설치되는 드레싱 공구를 포함하며, 드레싱 공구는 연마휠과 접촉됨으로써 연마휠을 수정(truing)한다. 자동 측량유닛은 연마유닛에 설치되고, 구동장치 및 센서를 포함하며, 구동장치는 캐리어 및 기판의 높이를 측량하도록 센서를 Z축 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 이를 통해, 접촉날 드레싱 및 자동 측량 기능을 구비하여 고정밀도의 연마 치수를 획득할 수 있다.

Description

평면 연마 장치{FLAT LAPPING APPARATUS}
본 발명은 평면 연마 장치에 관한 것으로서, 특히 캐리어플레이트 또는 가공물을 연마하기 위한 평면 연마 장치에 관한 것이다.
종래의 평면 연마 장치는 연마휠(예를 들어 세라믹브러쉬휠)을 이용하여 기판 또는 가공물의 연마작업을 수행하나, 이동 제거 능력이 비교적 약할 뿐만 아니라 정밀도가 좋지 않다. 또한 종래의 평면 연마 장치는 자동 측량 기능이 없고, 연마 정밀도를 제어하기 쉽지 않아 정확하게 치수를 제어할 수 없기 때문에, 고정밀도의 연마 치수를 획득할 수 없다. 또한, 종래의 평면 연마 가공테이블은 연마 찌꺼기가 흡입되어 막히는 상황이 쉽게 발생한다.
이를 종합해볼 때, 본 발명자는 상기 결함을 개선할 수 있음을 느꼈으며, 이에 연구에 전념함과 아울러 학리적인 응용을 결합하여, 마침내 설계가 합리적이고 상기 결함을 효과적으로 개선할 수 있는 본 발명을 제시하게 되었다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술문제는 이동 제거 능력이 우수하고, 접촉날 드레싱 및 자동 측량 기능을 구비하여 고정밀도의 연마 치수를 획득할 수 있는 평면 연마 장치를 제공하고자 하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술문제는 또한 연마 찌꺼기가 가공테이블에 흡입되어 막히는 상황을 감소시킬 수 있는 평면 연마 장치를 제공하고자 하는데 있다.
상기 기술문제를 해결하기 위하여, 본 발명은 평면 연마 장치를 제공하며, 이는 베드; 상기 베드에 설치되고, Y축 방향을 따라 이동 가능하면서 연마할 기판을 고정시키기 위한 캐리어가 설치되는 가공테이블; 상기 가공테이블의 상방에 설치되어, Z 방향 이동 베이스시트, 주축 모터 및 연마휠을 포함하며, 상기 주축 모터는 상기 Z 방향 이동 베이스시트에 설치되고, 상기 연마휠은 상기 주축 모터와 동력 연결되어, 상기 주축 모터가 상기 연마휠을 회전시킬 수 있으며, 상기 Z 방향 이동 베이스시트는 X축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동 가능하여, 상기 연마휠이 상기 가공테이블의 캐리어 상의 기판을 연마할 수 있는 연마유닛; 상기 연마휠의 이동 범위 내에 설치되어, 상기 연마휠과 접촉됨으로써 상기 연마휠을 수정하는 드레싱 공구를 포함하는 접촉날 드레싱유닛; 및 상기 연마유닛에 설치되고, 적어도 하나의 구동장치 및 적어도 하나의 센서를 포함하며, 상기 적어도 하나의 센서가 상기 적어도 하나의 구동장치에 연결되어, 상기 적어도 하나의 구동장치가 상기 캐리어 및 상기 기판의 높이를 측량하도록 상기 적어도 하나의 센서를 상기 Z축 방향을 따라 이동시키는 자동 측량유닛을 포함한다.
바람직하게는, 상기 캐리어는 베이스시트 및 세라믹 흡착반을 포함하며, 상기 베이스시트는 상기 베드에 설치되고, 상기 세라믹 흡착반은 상기 베이스시트에 설치되며, 상기 베이스시트의 상부는 상기 세라믹 흡착반의 외측에 외곽프레임부가 형성되고, 상기 외곽프레임부는 상기 세라믹 흡착반에 가까운 위치에 적어도 하나의 진공 그루브가 오목하게 설치되며, 상기 적어도 하나의 진공 그루브는 절삭액과 연마찌꺼기를 배출하도록 상기 세라믹 흡착반의 외측을 둘러싼다.
본 발명은 적어도 이하 장점을 지닌다.
본 발명의 캐리어는 Y축 방향을 따라 이동하고, Z 방향 이동 베이스시트는 X축 및 Z축 방향을 따라 이동할 수 있어, 연마휠이 가공테이블의 캐리어 상의 기판을 연마할 수 있게 된다. 본 발명의 평면 연마 장치는 X축, Y축 및 Z축 방향에서 모두 이동을 제어할 수 있어, 이동 제거 능력이 우수할 뿐만 아니라, 양호한 가공 정밀도를 지닌다.
또한, 본 발명은 접촉날 드레싱 기능을 구비하여, 연마 후 연마휠이 직접 드레싱 공구를 이용하여 드레싱됨으로써 정밀도의 오차를 감소시킬 수 있다. 본 발명은 또한 자동 측량 기능을 구비하여, 구동장치로 센서를 승강시킬 수 있으며, 시스템은 예비 가공량을 미리 설정할 수 있어, 미리 설정된 양까지 연마되었을 때, 자동 측량 기능이 가동되어, 먼저 가공테이블의 위치를 측량하여 영점 확인하고, 기판의 높이 위치를 측량하여 실제 높이의 오차를 확인한 후, 최종적인 정밀 수정 동작을 실시하므로, 고정밀도의 연마 치수를 획득할 수 있다.
본 발명의 캐리어는 진공 그루브가 설치될 수 있으며, 진공 그루브는 세라믹 흡착반의 외측을 둘러싸도록 설치되어 절삭액과 연마찌꺼기를 배출함으로써 연마찌꺼기가 세라믹 흡착반에 흡입되어 다공성 재질이 막히는 상황을 감소시킬 수 있다.
본 발명의 특징 및 기술내용을 좀 더 이해할 수 있도록, 이하 본 발명에 관한 상세한 설명과 도면을 참조하며, 단 첨부도면은 단지 참고 및 설명용으로만 제공되는 것일 뿐, 결코 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다.
도 1은 본 발명인 평면 연마 장치의 입체도이다.
도 1A는 도 1의 A부분의 상세도이다.
도 2는 본 발명인 평면 연마 장치의 정면도이다.
도 3은 본 발명인 평면 연마 장치의 측면도이다.
도 4는 본 발명인 평면 연마 장치의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 접촉날 드레싱 유닛의 입체도이다.
도 6은 본 발명의 자동 측량유닛의 입체도이다.
도 7은 본 발명의 캐리어의 입체도이다.
도 7A는 도 7의 B 부분의 상세도이다.
도 8은 본 발명의 캐리어의 평면도이다.
이하 특정한 구체적인 실시에를 통해 본 발명인 평면 연마 장치의 실시방식을 설명하며, 상기 기술을 숙지하는 자라면 본 명세서에 게시된 내용에 따라 본 발명의 기타 장점과 효과를 용이하게 이해할 수 있을 것이다. 본 발명은 또한 기타 상이한 구체적인 실시예를 통해 시행 또는 응용될 수 있으며, 본 명세서 중의 각 세부 내용은 상이한 관점 및 응용을 기반으로 할 수도 있고, 본 발명의 정신에 위배되지 않는 한 각종 수식과 변경을 실시할 수 있다. 또한 본 발명의 도면은 결코 실제 크기에 따라 묘사한 것이 아니라 단지 간단한 설명에 불과하며, 관련 구성의 실제 치수를 반영한 것이 아님을 먼저 밝혀둔다. 이하 실시예는 본 발명의 관점을 더욱 상세히 설명하나, 단 임의의 관점으로 본 발명의 범주를 제한하는 것은 아니다.
[제 1 실시예]
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명은 기판 또는 기타 가공물을 연마하기 위한 평면 연마 장치를 제공하며, 상기 평면 연마 장치는 베드(1), 가공테이블(2), 연마유닛(3), 접촉날 드레싱 유닛(4) 및 자동 측량유닛(5)(도 6 참조)을 포함한다.
상기 베드(1)는 안정적인 구조로 가공테이블(2), 연마유닛(3), 접촉날 드레싱 유닛(4) 및 자동 측량유닛(5) 등 장치를 지지 및 연결하기 위해 지면에 설치될 수 있다.
상기 가공테이블(2)은 베드(1)에 설치되며, 가공테이블(2)에 연마하고자 하는 기판(6)을 고정시키기 위한 캐리어(21)가 설치된다. 기판(6)은 유리기판, IC 기판 등 박형 기판 또는 기타 가공물일 수 있다. 상기 캐리어(21)는 세라믹 흡착반을 포함하고, 또한, 상기 캐리어(21)는 영구자석반 등을 포함하되, 그 구조에는 제한이 없으며, 기판(6)을 가공테이블(2)로 운반한 후, 예를 들어 진공 흡착 또는 자기흡착 방식으로 캐리어(21)에 고정시킬 수 있다.
상기 캐리어(21)는 Y축 방향을 따라 이동 가능하며, 다시 말해 캐리어(21)는 도 1에 도시된 전, 후 방향을 따라 이동할 수 있다. 구체적으로, 상기 캐리어(21)는 제1 모터(22)로 구동되며, 제1 모터(22)는 스크류 등 전동기구를 이용하여 캐리어(21)에 연결되고, 또한 캐리어(21)는 제1 가이드레일(23)에 슬라이딩 결합된다. 따라서 제1 모터(22)를 이용하여 캐리어(21)를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있으며, 가공테이블(2)상의 기판(6)을 연마 시, 캐리어(21)는 Y축 방향을 따라 왕복 운동할 수 있다. 다만, 상기 캐리어(21)의 전동기구 및 가이드레일의 구조에는 제한이 없으며, 종래의 각종 동력전달 및 가이드 구조로 대체할 수 있다.
상기 연마유닛(3)은 가공테이블(2)의 상방에 설치되며, 상기 연마유닛(3)은 Z 방향 이동 베이스시트(31), 주축 모터(32) 및 연마휠(33)을 포함한다. 주축 모터(32)는 Z 방향 이동 베이스시트(31)에 설치되고, 연마휠(33)은 주축 모터(32)와 연결되며, 또한 연마휠(33)은 풀리 어셈블리(38) 등 전동기구를 통해 주축 모터(32)와 연결될 수 있다. 연마휠(33)의 중심축은 X축 방향과 평행하며, 연마휠(33)은 Z 방향 이동 베이스시트(31)를 따라 이동할 수 있고, 또한 주축 모터(32)는 연마휠(33)을 회전시킬 수 있다. 주축 모터(32) 및 풀리 어셈블리(38)의 외측은 주축 모터(32) 및 풀리 어셈블리(38) 등 구성부재를 보호하기 위한 하우징(도면 생략)이 피복될 수도 있다.
상기 Z 방향 이동 베이스시트(31)는 X축 방향을 따라 이동 가능하며, 다시 말해 Z 방향 이동 베이스시트(31)는 도 1에 도시된 좌, 우 방향을 따라 이동할 수 있다. 구체적으로, 상기 연마 유닛(3)은 X 방향 베이스시트(39)를 더 포함하며, 상기 Z 방향 이동 베이스시트(31)는 제2 모터(34)로 구동될 수 있다. 제2 모터(34)는 스크류 등 전동기구를 이용하여 상기 X 방향 베이스시트(39)와 연결되고, X 방향 베이스시트(39)는 제2 가이드레일(35)에 슬라이딩 가능하게 결합된다(도 1 참조). 따라서 제2 모터(34)를 이용하여 X 방향 베이스시트(39)가 X축 방향을 따라 이동하도록 구동할 수 있다. 가공테이블(2) 상의 기판(6)을 연마 시, X 방향 베이스시트(39)는 Z 방향 이동 베이스시트(31), 주축 모터(32) 및 연마휠(33)이 X 축 방향을 따라 왕복 운동을 하도록 구동함으로써, 연마휠(33)을 X축 방향을 따라 기판(6)으로 급송하여 연마를 수행한다. 다만, 상기 X 방향 베이스시트(39)의 전동기구 및 가이드레일의 구조에는 제한이 없으며, 종래의 각종 동력전달 및 가이드 구조로 대체할 수 있다.
주축 모터(32)는 도 1에 도시된 상, 하 방향을 따라 이동 가능하다. 구체적으로, Z 방향 이동 베이스시트(31)는 X 방향 베이스시트(39)에 슬라이딩 가능하게 결합되고, Z 방향 이동 베이스시트(31)는 X 방향 베이스시트(39)에서 Z축 방향을 따라 슬라이딩할 수 있다. 따라서 제3 모터(도면 생략)를 이용하여 Z 방향 이동 베이스시트(31)가 Z축 방향을 따라 이동하도록 구동할 수 있으며, 제3 모터는 스크류 등 전동기구를 이용하여 Z 방향 이동 베이스시트(31)에 연결되고, Z 방향 이동 베이스시트(31)는 X방향 베이스시트(39)에 슬라이딩 가능하게 결합된다. 따라서 제3 모터를 이용하여 Z 방향 이동 베이스시트(31) 및 주축 모터(32)가 Z축 방향을 따라 이동하도록 구동할 수 있다. 가공테이블(2) 상의 기판(6)을 연마 시, 주축 모터(32) 및 연마휠(33)은 Z축 방향을 따라 왕복 운동함으로써, 연마휠(33)을 Z축 방향을 따라 기판(6)으로 급송하여 연마를 수행할 수 있다. 다만, 상기 Z 방향 베이스시트(31)의 전동기구 및 가이드레일의 구조에는 제한이 없으며, 종래의 각종 동력전달 및 가이드 구조로 대체할 수 있다.
연마 조작 과정에서, 로봇팔 등 운반장치를 이용하여 기판(6)을 가공테이블(2)의 캐리어(21)로 운반할 수 있으며, 상기 기판(6)이 고정된 후, 제3 모터를 이용하여 연마유닛(3)을 하향 이동시켜(Z축 방향을 따라), 연마휠(33)을 기설정 높이에 이르도록 한 후, 기판(6) 표면에 대한 연마를 시작하며, 캐리어(21)는 왕복운동(Y축 방향을 따라)을 하면서 기판(6)을 종방향(Y축 방향을 따라)으로 연마한다. 또한 Z방향 이동 베이스시트(31)는 연마휠(33)을 X축 방향을 따라 이동시켜 기판(6)을 횡방향(X축 방향을 따라)으로 연마한다. 상기 기판(6)의 연마가 완료된 후에는 제3 모터를 이용하여 연마휠(33)을 상승시킬 수 있으며, 로봇팔 등의 운반장치를 이용하여 연마가 완료된 기판(6)을 가공테이블(2)로부터 이동시키고, 연마하고자 하는 다음 기판(6)을 이동시켜 정위시킨 후, 상기 연마 조작을 반복한다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 접촉날 드레싱 유닛(4)은 드레싱 공구(41) 및 위치센서(42)를 포함할 수 있으며, 상기 드레싱 공구(41)는 다이아몬드 펜슬인 것이 바람직하나 단 이에 국한되지 않는다. 드레싱 공구(41)는 연마휠(33)의 이동 범위 내에 설치되며, 상기 드레싱 공구(41)는 연마휠(33)과 접촉하여 상기 연마휠(33)을 수정(Truing)할 수 있다. 상기 위치센서(42)는 접촉형 센서로서, 위치센서(42)는 드레싱 공구(41)의 측면에 설치됨과 아울러 연마휠(33)의 이동범위 내에 위치하며, 상기 위치센서(42)는 연마휠(33)을 드레싱하기 전, 후 상기 연마휠(33)의 휠면의 위치를 감지하여, 상기 연마휠(33)의 직경을 감지한 후, 그 감지값을 제어유닛(미도시)으로 전송하며, 제어유닛을 통해 상기 연마휠(33)의 드레싱량을 계산한다. 상기 위치센서(42)는 미사용 시 보호커버(43)로 피복할 수 있다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 자동 측량유닛(5)은 연마유닛(3)에 설치되며, 예를 들어 주축 모터(32) 외측에 피복되는 하우징에 설치될 수 있다. 상기 자동 측량 유닛(5)은 적어도 하나의 구동장치(51) 및 적어도 하나의 센서(52)를 포함하며, 구동장치(51)는 에어실린더 또는 모터 등 장치일 수 있고, 구동장치(51)는 연마유닛(3)의 외측에 고정될 수 있다. 센서(52)는 필러게이지(feeler gauge) 등 장치일 수 있으며, 센서(52)는 구동장치(51)에 연결된다. 구동장치(51)는 캐리어(21) 및 기판(6)의 높이를 측정하도록 센서(52)를 Z축 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 각 기판(6)을 연마하기 전 먼저 가공테이블(2)의 높이를 측량하여 확인할 수 있으며, 예비량만큼 연마한 후 다시 기판(6)의 높이를 측량하고, 이어서 연마의 최종적인 정밀도를 제어한다. 상기 자동 측량유닛(5)은 연마유닛(3)의 외측에 설치되며, 자동 측량유닛(5)이 측량을 수행 시, 구동장치(51)가 작동하여 신장됨으로써, 센서(52)의 Z축 방향의 위치가 변경되어, 연마유닛(3)이 Z축 방향에서 하향 이동 시, 센서(52)가 연마휠(33)보다 먼저 측정할 물체에 접촉될 수 있다. 상기 측정할 물체는 캐리어(21) 상의 기판, 또는 캐리어(21)의 외곽프레임부(214)일 수 있다.
본 실시예에서, 상기 연마유닛(3) 및 그와 대응되는 자동 측량유닛(5)의 센서(52) 사이에 각각 가이드부재(53)가 설치되며, 상기 가이드 부재(53)는 고정시트(531) 및 승강시트(532)를 포함한다. 고정시트(531)는 연마유닛(3)의 일측에 고정되고, 승강시트(532)는 고정시트(531)에 슬라이딩 가능하게 설치되며, 센서(52)는 승강시트(532)에 고정된다. 승강시트(532)는 센서(52)가 Z축 방향을 따라 안정적으로 승강 이동하도록 고정시트(531)에서 Z축 방향을 따라 이동할 수 있다.
[제2 실시예]
도 7 및 도 8을 참조하면, 본 실시예에서, 상기 캐리어(21)는 베이스시트(211) 및 세라믹 흡착반(212)을 포함하며, 베이스시트(211)는 베드(1)에 설치되고, 세라믹 흡착반(212)은 베이스시트(211)에 설치되며, 세라믹 흡착반(212)은 일체형으로 성형된 다공성 세라믹일 수 있다. 세라믹 흡착반(212)은 진공 흡착면(213)을 구비하고, 베이스시트(211)의 상부는 세라믹 흡착반(212)의 외측에 외곽프레임부(214)가 형성되며, 진공 흡착면(213)과 베이스시트(211)의 외곽프레임부(214)는 동일한 수평면에 위치할 수 있다. 외곽프레임부(214)는 세라믹 흡착반(212)과 가까운 위치에 적어도 하나의 진공 그루브(215)가 오목하게 설치되며(도 7A 참조), 본 실시예는 진공 그루브(215)가 2개 설치된 것을 공개하였다. 상기 2개의 진공 그루브(215)는 세라믹 흡착반(212)의 외측을 간격을 두고 둘러싼다. 진공 그루브(215)는 적당한 진공장치(공기추출장치)에 연결될 수 있으며, 세라믹 흡착반(212) 및 진공 그루브(215)는 각자 독립적으로 제어되는 진공회로를 구비한다. 진공 그루브(215)는 세라믹 흡착반(212)의 외측을 둘러싸도록 설치되어 절삭액과 연마찌꺼기를 배출함으로써 연마찌꺼기가 세라믹 흡착반(212)에 흡입되어 다공성 재질이 막히는 상황을 감소시킬 수 있다.
본 발명의 캐리어는 Y축 방향을 따라 이동하고, Z 방향 이동 베이스시트는 X축 및 Z축 방향을 따라 이동함으로써, 연마휠이 가공테이블의 캐리어 상의 기판을 연마할 수 있게 된다. 본 발명의 평면 연마 장치는 X축, Y축 및 Z축 방향에서 모두 이동을 제어할 수 있으며, 이동 제거 능력이 우수할 뿐만 아니라, 양호한 가공 정밀도를 지닌다.
또한, 본 발명은 접촉날 드레싱 기능을 구비하여, 연마 후 연마휠이 직접 드레싱 공구를 이용하여 드레싱하고, 드레싱 후 연마휠이 위치센서와 접촉하여 Z축의 정확한 위치를 확인하고, 가공 작업을 직접 재수행할 수 있어, 정밀도의 오차를 감소시킬 수 있다.
본 발명은 또한 자동 측량 기능을 구비하여, 구동장치로 센서를 승강시킬 수 있으며, 시스템은 예비 가공량을 미리 설정할 수 있어, 미리 설정된 양까지 연마되었을 때, 자동 측량 기능이 가동되어, 먼저 가공테이블의 위치를 측량하여 영점 확인하고, 기판의 높이 위치를 측량하여 실제 높이의 오차를 확인한 후, 최종적인 정밀 수정 동작을 실시하므로, 고정밀도의 연마 치수를 획득할 수 있다.
이상은 단지 본 발명의 바람직한 실시예일 뿐, 본 발명의 특허 보호범위를 제한하고자 하는 것은 아니며, 따라서 본 발명의 명세서 및 첨부도면의 내용을 운용하여 실시되는 등가의 변화는 모두 같은 이치로 본 발명의 특허 보호 범위 내에 포함된다.
1: 베드 2: 가공테이블
3: 연마유닛 4: 접촉날 드레싱유닛
5: 자동 측량유닛 6: 기판
21: 캐리어 22: 제1 모터
23: 제1 가이드레일 31: Z방향 이동 베이스시트
32: 주축 모터 33: 연마휠
34: 제2 모터 35: 제2 가이드레일
38: 풀리 어셈블리 39: X방향 베이스시트
41: 드레싱 공구 42: 위치센서
43: 보호커버 51: 구동장치
52: 센서 53: 가이드 기구
211: 베이스시트 212: 세라믹 흡착반
213: 진공 흡착면 214: 외측 프레임부
215: 진공 그루브 531: 고정시트
532: 승강시트

Claims (9)

  1. 베드(bed);
    상기 베드에 설치되고, Y축 방향을 따라 이동 가능하면서 연마할 기판을 고정시키기 위한 캐리어가 설치되는 가공테이블;
    상기 가공테이블의 상방에 설치되어, Z 방향 이동 베이스시트(base seat), 주축 모터 및 연마휠을 포함하며, 상기 주축 모터는 상기 Z 방향 이동 베이스시트에 설치되고, 상기 연마휠은 상기 주축 모터와 동력 연결되어, 상기 주축 모터가 상기 연마휠을 회전시킬 수 있으며, 상기 Z 방향 이동 베이스시트는 X축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동 가능하여, 상기 연마휠이 상기 가공테이블의 캐리어(carrier) 상의 기판을 연마할 수 있는 연마유닛;
    상기 연마휠의 이동 범위 내에 설치되어, 상기 연마휠과 접촉됨으로써 상기 연마휠을 수정하는 드레싱 공구(dressing tool)를 포함하는 접촉날 드레싱유닛; 및
    상기 연마유닛에 설치되고, 적어도 하나의 구동장치 및 적어도 하나의 센서를 포함하며, 상기 적어도 하나의 센서가 상기 적어도 하나의 구동장치에 연결되어, 상기 적어도 하나의 구동장치가 상기 캐리어 및 상기 기판의 높이를 측량하도록 상기 적어도 하나의 센서를 상기 Z축 방향을 따라 이동시키는 자동 측량유닛을 포함하는 평면 연마 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 캐리어는 베이스시트 및 세라믹 흡착반을 포함하며, 상기 베이스시트는 상기 베드에 설치되고, 상기 세라믹 흡착반은 상기 베이스시트에 설치되며, 상기 베이스시트의 상부는 상기 세라믹 흡착반의 외측에 외곽프레임부가 형성되고, 상기 외곽프레임부는 상기 세라믹 흡착반에 가까운 위치에 적어도 하나의 진공 그루브가 오목하게 설치되며, 상기 적어도 하나의 진공 그루브(vacuum groove)는 절삭액과 연마찌꺼기를 배출하도록 상기 세라믹 흡착반의 외측을 둘러싸는 평면 연마 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 진공 그루브는 2개가 설치되며, 상기 2개의 진공 그루브가 상기 세라믹 흡착반의 외측을 간격을 두고 둘러싸는 평면 연마 장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 세라믹 흡착반은 일체형으로 성형되는 다공성 세라믹으로서, 상기 흡착반은 진공 흡착면을 구비하며, 상기 진공 흡착면과 상기 베이스시트의 외곽프레임부는 동일한 수평면에 위치하는 평면 연마 장치.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 세라믹 흡착반 및 상기 적어도 하나의 진공 그루브는 각자 독립적으로 제어되는 진공회로를 구비하는 평면 연마 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 캐리어는 영구 자석반(磁石盤)을 포함하는 평면 연마 장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 접촉날 드레싱 유닛은 위치센서를 포함하며, 상기 위치센서는 상기 드레싱 공구의 측면에 설치됨과 아울러, 상기 연마휠의 이동 범위 내에 위치하며, 상기 위치센서는 상기 연마휠을 드레싱하기 전, 후 상기 연마휠의 휠면의 위치를 감지하여, 상기 연마휠의 직경과 연마량을 검출하는 평면 연마 장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 연마유닛과 상기 자동 측량유닛의 센서 사이에 가이드 기구가 설치되고, 상기 가이드 기구는 고정시트 및 승강시트를 포함하며, 상기 고정시트는 연마유닛의 일측에 고정되고, 상기 승강시트는 고정시트에 슬라이딩 가능하게 설치되며, 상기 센서는 상기 승강시트에 고정되고, 상기 승강시트는 상기 고정시트에서 Z축 방향을 따라 이동할 수 있는 평면 연마 장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 연마유닛은 X 방향 베이스시트를 더 포함하며, 또한 상기 캐리어는 제1 모터로 구동되고, 상기 캐리어는 제1 가이드레일에 슬라이딩 가능하게 결합되어, 상기 Y축 방향을 따라 이동 가능하며; 상기 X 방향 베이스시트는 제2 모터와 연결되고, 상기 X 방향 베이스시트는 제2 가이드레일에 슬라이딩 가능하게 결합되며, 상기 Z 방향 이동 베이스시트는 상기 X 방향 베이스시트에 슬라이딩 가능하게 결합되어, 상기 Z 방향 이동 베이스시트가 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 하는 평면 연마 장치.
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