KR20170050494A - 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치 및 측정방법 - Google Patents

소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치 및 측정방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치 및 측정방법에 관한 것으로 상기 측정장치는 소재안착부가 형성된 베이스와 상기 베이스상에 배치되는 이동부재 및 상기 이동부재상에 배치되고, 소재 표면을 청소하고 측정토록 제공되는 측정부재를 포함하여 구성될 수 있으며, 상기 측정방법은 소재 표면의 이물질을 제거하는 소재 표면 청소단계 및 소재 표면 상태를 측정하는 소재 표면 측정단계를 포함하여 구성될 수 있으며, 본 발명에 따르면 측정 대상 소재의 표면뿐만 아니라 촬영장치도 함께 청소하여 보다 정확하고 정밀한 측정을 가능하게 하는 효과가 있다.

Description

소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치 및 측정방법{Measuring apparatus having cleaning function of material's surface and Measuring method using this}
본 발명은 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치 및 측정방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 측정 대상 소재의 표면뿐만 아니라 촬영장치도 함께 청소 가능하여, 보다 정확하고 정밀한 측정을 가능하게 하는 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치 및 측정방법에 관한 것이다.
공작기계의 절삭가공에 사용되거나 또는 작업 후 만들어진 소재의 표면은 이물질, 절삭유, 미세한 절삭칩에 의해 오염되어 있으며, 이러한 소재 표면을 측정하기 위해서는 이물질 등을 제거할 필요가 있다.
만약 제거하지 않은 상태에서 소재 표면을 측정하게 되면, 소재 표면 상태에 대한 정밀하고 정확한 결과를 얻을 수 없다. 따라서 측정 전 소재 표면의 이물질 등을 제거하면서 동시 촬영성능을 향상시킬 수 있는 장치가 당해 기술분야에서 요구된다.
종래 선행문헌으로는 국내특허 공개번호: 제 10-2005-0028353 호가 있다.
본 발명은 상기와 같이 종래기술의 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 측정 대상 소재의 표면뿐만 아니라 촬영장치도 함께 청소하여 보다 정확하고 정밀한 측정을 가능하게 하는 장치를 제공하는데에 있다.
상기와 같은 목적들을 달성하기 위한 본 발명은 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치 및 측정방법에 관한 것으로, 우선 본 발명인 측정장치는 소재안착부가 형성된 베이스와 상기 베이스상에 배치되는 이동부재 및 상기 이동부재상에 배치되고, 소재 표면을 청소하고 측정토록 제공되는 측정부재를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 측정부재는, 상기 이동부재에 지지빔으로 연결되는 바디부와 상기 바디부에 배치된 거치부에 안착되는 촬영유닛 및 상기 바디부상에 배치되고, 소재 표면을 청소토록 분사슬롯이 형성된 제공되는 제1 분사유닛을 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 제1 분사유닛은, 상기 거치부의 하부에 배치되고 소재 표면에 에어를 분사하여 청소하도록 구성될 수 있다.
또한, 상기 제1 분사유닛은 소재 표면의 이물질이 일방향으로 배출되도록, 일측에서 타측으로 테이퍼지도록 구성될 수 있다.
또한, 상기 측정부는 상기 바디부상에서 상기 촬영유닛의 하부에 배치되고, 상기 촬영유닛을 청소토록 상방향으로 분사슬롯이 형성된 제2 분사유닛을 더 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 측정부재는, 상기 바디부상에 배치된 센서장착부에 거치되고 소재 표면과 촬영유닛간의 거리를 측정토록 제공되는 거리측정센서를 더 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 이동부재는, 상기 베이스상에서 소재의 양측에 배치되는 x축 이동수단 및 상기 측정부재를 승강토록, 상기 x축 이동수단상에 배치되는 z축 이동수단을 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 x축 이동수단은, 상기 베이스상에서 소재의 양측에 한 쌍으로 배치되는 제1 LM가이드와 상기 제1 LM가이드상에 배치된 볼스크류부재를 따라 x축을 따라 이동하는 한 쌍의 제1 새들 및 상기 볼스크류부재를 구동하는 제1 구동부를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 z축 이동수단은, 상기 제1 새들상에 수직하게 한 쌍으로 배치되는 제2 LM가이드와 상기 제2 LM가이드상에 배치된 볼스크류부재를 따라 z축을 따라 이동하는 제2 새들 및 상기 볼스크류부재를 구동하는 제2 구동부를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 이동부재는, 상기 z축 이동수단상에 배치되고, 상기 측정부재를 y축 방향으로 이동 가능하도록 제공되는 y축 이동수단을 더 포함하여 구성될수 있다.
또한, 상기 y축 이동수단은, 상기 제2 새들상에 수평하게 배치되는 제3 LM가이드와 상기 제3 LM가이드상에 배치된 볼스크류부재를 따라 y축을 따라 이동하고 상기 측정부재가 연결되는 제3 새들 및 상기 볼스크류부재를 구동하는 제3 구동부를 포함하여 구성될 수 있다.
다음 본 발명인 측정방법은 소재 표면의 이물질을 제거하는 소재 표면 청소단계 및 소재 표면 상태를 측정하는 소재 표면 측정단계를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 소재 표면 청소단계는, 소재와의 거리를 측정하며 승강범위를 결정하는 제1 거리측정단계와 소재 표면의 청소위치를 결정하는 청소위치 결정단계 및 소재 표면의 청소위치에 에어를 분사하는 에어분사단계를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 소재 표면 측정단계는, 소재 표면의 측정위치를 결정하는 측정위치 결정단계와 소재와의 거리를 측정하며 승강범위를 결정하는 제2 거리측정단계 및 소재의 표면을 측정하는 촬영모드 변경단계를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 촬영 전 측정 대상 소재의 표면을 청소하여 소재 표면을 정밀하게 측정할 수 있다. 또한 필요시에는 촬영장치도 함께 청소할 수 있어 소재 표면의 상태를 보다 정확하게 분석할 수 있다.
또한 측정 대상 소재까지의 거리를 측정하여 소재 표면의 청소 위치 및 촬영 거리를 조절하므로 소재 표면 접촉에 의해 소재 및 촬영장비 손상을 방지할 수 있다.
그리고 x,y,z축 이동이 가능하여 3차원 영역에서 소재 표면을 검사할 수 있어, 측정작업능력이 향상되고 보다 정확한 실험결과를 얻을 수 있다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명인 측정부재를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명인 측정장치를 나타낸 도면.
도 3은 본 발명인 측정방법을 나타낸 도면.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 따른 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치 및 측정방법의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하도록 한다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명인 측정부재를 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명인 측정장치를 나타낸 도면이다.
도 1a, 도 1b 및 도 2를 참고하면, 본 발명인 측정장치는 베이스(10), 이동부재(40) 및 측정부재(30)를 포함하여 구성될 수 있다. 우선 상기 베이스(10)는 철제구조물로 구현될 수 있으며, 상부에는 소재가 위치하는 소재안착부(11)가 형성될 수 있다.
상기 이동부재(40)는 상기 베이스(10)상에 배치되며 상기 측정부재(30)의 3차원 이동을 가능하도록 제공될 수 있다. 이러한 상기 이동부재(40)는 x축 이동수단(40a), y축 이동수단(40c) 및 z축 이동수단(40b)을 포함하여 구성될 수 있다.
먼저 x축 이동수단(40a)은 도 2를 참고하면, 상기 베이스(10)상에서 상기 소재안착부(11)의 양측에 길이방향으로 배치되며, 상기 측정부재(30)의 x축 방향 이동이 가능하도록 제공될 수 있다. 구체적으로 상기 x축 이동수단(40a)은 제1 LM가이드(42), 제1 새들(43) 및 제1 구동부(41)를 포함하여 구성될 수 있다.
우선 상기 제1 LM가이드(42)는 상기 베이스(10)사에서 상기 소재안착부(11)의 양측에 한 쌍으로 배치될 수 있다. 상기 제1 LM가이드(42) 내부에는 볼스크류부재(미도시)가 배치될 수 있다. 그리고 상기 제1 새들(43)은 상기 제1 LM가이드(42)상에 안착되고, 하부는 볼스크류부재를 통해 상기 제1 구동부(41)와 연결될 수 있다. 상기 제1 구동부(41)은 상기 베이스(10)상에서 상기 제1 LM가이드(42)의 일측에 배치되고 상기 제1 구동부(41)의 구동축은 상기 볼스크류부재와 연결되어 제공될 수 있다.
작업자가 상기 제1 구동부(41)를 구동하면 볼스크류부재가 회전하고, 볼스크류부재와 연결된 상기 제1 새들(43)이 상기 제1 LM가이드(42)에 의해 x축 방향으로 안내되며 이동하게 된다. 이에 따라 상기 x축 이동수단(40a)에 연계된 상기 z축 이동수단(40b), y축 이동수단(40c) 및 측정부재(30)의 x축 방향이동이 가능하게 된다.
다음 z축 이동수단(40b)은 도 2를 참고하면 상기 측정부재(30)가 승강하며 z축 방향으로 이동 가능하도록 상기 x축 이동수단(40a)상에 배치될 수 있다. 구체적으로 상기 z축 이동수단(40b)은 제2 LM가이드(45), 제2 새들(46) 및 제2 구동부(44)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 제2 LM가이드(45)는 상기 제1 새들(43)상에 수직하게 한 쌍으로 배치될 수 있다. 상기 제2 LM가이드(45) 내부에는 볼스크류부재가 배치될 수 있다. 상기 제2 새들(46)은 상기 제2 LM가이드(45)상에 배치된 볼스크류부재를 따라 z축 방향으로 이동 가능하도록 상기 제2 LM가이드(45)상에 배치될 수 있다.
그리고 상기 볼스크류부재는 상기 제2 구동부(44)의 구동축과 연결되어 상기 제2 구동부(44)가 작동시 상기 제2 새들(46)은 볼스크류부재의 회전에 따라 z 방향으로 승강할 수 있게 된다. 상기 제2 구동부(44)는 상기 제2 새들(46)의 일측에 장착될 수 있으며, 상기 볼스크류부재와는 직선 베벨 기어방식으로 연결되어 있어 동력을 직각방향으로 전달할 수 있다.
작업자가 상기 제2 구동부(44)를 구동하면 볼스크류부재가 회전하면서 상기 제2 새들(46)이 상기 제2 LM가이드(45)상을 이동하게 된다. 이에 따라 상기 제2 새들(46)상에 장착된 상기 y축 이동수단(40c) 및 측정부재(30)의 z축 이동이 가능하게 된다.
다음 상기 y축 이동수단(40c)은 도 2를 참고하면 상기 z축 이동수단(40b)상에 배치되고, 상기 측정부재(30)를 y축 방향으로 이동 가능하도록 제공될 수 있다. 구체적으로 상기 y축 이동수단(40c)은 제3 LM가이드(48), 제3 새들(49) 및 제3 구동부(47)를 포함하여 구성될 수 있다.
우선 상기 제3 LM가이드(48)는 상기 제2 새들(46)상에 수평하게 배치될 수 있다. 상기 제3 LM가이드(48) 내부에는 볼스크류부재가 배치될 수 있으며, 볼스크류부재는 상기 제3 구동부(47)의 구동축에 연결될 수 있다. 그리고 상기 제3 새들(49)은 상기 제3 LM가이드(48)상에 배치되고, 상기 제3 새들(49)의 상부는 볼스크류부재와 연결되어 있어 상기 제3 LM가이드(48)상을 이동 가능하게 구현될 수 있다.
작업자가 상기 제3 구동부(47)를 구동하면 볼스크류부재가 회전하면서 연계되어 있는 상기 제3 새들(49)이 상기 제3 LM가이드(48)상을 이동하게 된다. 이에 따라 상기 제3 새들(49)상에 장착된 상기 측정부재(30)의 y축 이동이 가능하게 된다.
다음으로 상기 측정부재(30)는 상기 이동부재(40)상에 배치되고 소재 표면을 청소하고 측정토록 제공될 수 있다. 도 2를 참고하면, 구체적으로 상기 측정부재(30)는 상기 제3 새들(49)상에 장착될 수 있다. 이러한 상기 측정부재(30)는 바디부(37), 촬영유닛(32), 제1 분사유닛(34a), 제2 분사유닛(34b) 및 거리측정센서(36)를 포함하여 구성될 수 있다.
먼저 상기 바디부(37)는 사각 기둥 형태의 하우징 형태로 제공될 수 있으며, 상기 바디부(37)의 상단은 상기 제3 새들(49)과 지지빔(31)으로 연결될 수 있다. 이때 상기 지지빔(31)상에는 구동모터(미도시)에 의해 각도가 조절되는 샤프트부재(31a)가 배치될 수 있다. 샤프트부재(31a)의 회동에 의해 상기 촬영유닛(32)가 소재 방향을 바라보도록 배치될 수 있다. 그리고 상기 바디부(37)의 측면 일측에는 상기 촬영유닛(32)이 장착되는 거치부(33)가 형성될 수 있다.
상기 촬영유닛(32)은 상기 거치부(33)에 장착되고, 소재 표면을 측정하도록 제공될 수 있다. 이때 상기 거치부(33)의 상단과 측면에는 각각 조절바(33b, 33f) 및 고정판(33c,33d)이 배치되어 있어, 작업자는 상기 촬영유닛(32)을 상기 거치부(33)에 안착시킨 후 상기 거치부(33)의 상단과 측면의 조절바(33b, 33f)를 돌려 고정판(33c,33d)이 상기 촬영유닛(32)의 상단 및 측면을 각각 가압하여 고정시키게 된다.
다음 상기 제1 분사유닛(34a)은 상기 바디부(37)상에서 상기 거치부(33)의 하부에 배치되고 소재 표면에 에어를 분사하여 청소토록, 분사슬롯이 형성되어 제공될 수 있다. 도 1a를 참고하면 상기 제1 분사유닛(34a)이 배치된 위치를 확인할 수 있으며, 이때 상기 제1 분사유닛(34a)은 에어를 분사하였을 때, 소재 표면의 이물질이 일방향으로 배출되도록, 일측에서 타측으로 갈수록 테이퍼진 형태로 구현될 수 있다.
그리고 상기 제2 분사유닛(34b)은 상기 바디부(37)에서 상기 촬영유닛(32)의 하부에 배치될 수 있으며, 상기 촬영유닛(32)을 청소하도록 상방향으로 분사슬롯이 형성될 수 있다. 만약 상기 촬영유닛(32)의 렌즈부분에 이물질이 묻어 있는 경우 작업자는 상기 제2 분사유닛(34b)을 작동시키고 상방향을 에어를 분사하여 이물질을 제거하게 된다.
상기 제1 분사유닛(34a)과 상기 제2 분사유닛(34b)은 도면으로 도시하지는 않았으나, 각각 에어공급부와 호스로 연결될 수 있다.
다음으로 상기 거리측정센서(36)는 상기 바디부(37)상에 배치된 센서장착부(35)에 거치될 수 있다. 도 1a를 참고하면 상기 바디부(37)의 일측 외면에 상하 한 쌍의 고정브라켓이 형성되어 있으며, 상기 거리측정센서(36)는 상기 센서장착부(35)에 끼워져 고정되게 된다.
상기 거리측정센서(36)는 소재 표면과 상기 촬영유닛(32)간의 거리를 측정하고, 기 설정된 적정 이격거리 즉 초점거리에 도달했을 때 신호를 작업자에게 송달하게 된다. 작업자는 상기 거리측정센서(36)에서 보내온 신호를 통해 상기 이동부재(40)의 작동을 멈추고 상기 측정부재(30)의 소재 표면 측정 위치를 결정하게 된다.
이렇듯 본 발명인 측정장치는 3차원 이동이 가능하여 측정을 원하는 소재 표면의 위치로 원활히 이동할 수 있으며, 거리측정을 통해 적정 이격거리를 판단함으로써, 소재 표면 측정의 정밀도를 높일 수 있다. 그리고 소재 표면 또는 상기 촬영유닛(32) 표면에 존재하는 이물질을 에어 분사를 통해 제거함으로써, 보다 정확한 측정을 가능하게 한다.
한편, 도 3은 본 발명인 측정방법을 나타낸 도면이다. 도 3를 참고하면, 본 발명인 측정방법은 소재 표면 청소단계와 소재 표면 측정단계를 포함하여 구성될 수 있다.
먼저 상기 소재 표면 청소단계는 소재와의 거리를 측정하며 승강범위를 결정하는 제1 거리측정단계와 소재 표면의 청소위치를 결정하는 청소위치 결정단계 및 소재 표면의 청소위치에 에어를 분사하는 에어분사단계를 포함하여 구성될 수 있다.
구체적으로는 도 3를 참고하면, 상기 제1 거리측정단계에서는 우선 작업자는 소재 표면 측정에 앞서서 소재 표면을 청소하기 위해 상기 제1 분사유닛(34a)을 작동시킨다. 이때 상기 촬영유닛(32)의 렌즈 표면의 이물질 제거도 하기 위해 상기 제2 분사유닛(34b)도 함께 작동시킨다(S1).
다음 작업자는 상기 이동부재(40) 중 z축 이동수단(40b)을 작동시켜 상기 촬영유닛(32)(카메라) 하강시킨다(S2). 이때 상기 거리측정센서(36)가 작동 중인지 여부를 확인하고 만약 미작동 중이라면 상기 촬영유닛(32)을 다시 상승시키고 상기 거리측정센서(36)를 작동시킨 후 다시 하강 작업을 수행한다(S3).
만약 상기 거리측정센서(36)가 작동 중이라면, 상기 거리측정센서(36)가 기 설정된 적정 이격거리에 도달했음을 신호로 송출할 때까지 상기 촬영유닛(32)을 계속 하강시킨다. 이제 적정 이격거리에 도달하면, 상기 청소위치 결정단계와 관련하여 작업자는 상기 이동부재(40) 중 x축 이동수단(40a)과 y축 이동수단(40c)을 작동하여 소재 표면 중 청소위치를 설정하게 된다. 상기 촬영유닛(32)은 작업자가 설정한 청소범위에 대응하여 x, y축 평면상을 이동하게 된다.
다음 상기 에어분사단계에서는 작업자가 설정한 소재 표면 청소범위에 대응하여 상기 제1 분사유닛(34a)이 x, y축 평면상을 수평이동하며 소재 표면의 이물질을 제거하게 된다(S4).
이제 청소가 완료되면, 작업자는 상기 제1 분사유닛(34a)의 작동을 중지시키고(S5) 상기 촬영유닛(32)을 다시 상승시킨다(S6). 이로써 상기 소재 표면 청소단계를 마치게 된다.
다음으로 상기 소재 표면 측정단계는 소재 표면의 측정위치를 결정하는 측정위치 결정단계와 소재와의 거리를 측정하며 승강범위를 결정하는 제2 거리측정단계 및 소재의 표면을 측정하는 촬영모드 변경단계를 포함하여 구성될 수 있다.
구체적으로는 도 3를 참고하면, 우선 상기 측정위치 결정단계에서는 작업자가 상기 이동부재(40)에 측정하고자 하는 소재 표면의 위치 값을 입력하면, 상기 촬영유닛(32)(카메라)이 상기 이동부재(40)에 의해 x,y,z축 상을 3차원 이동하며 측정위치 소재 표면으로 이동하게 된다(S7).
다음 상기 제2 거리측정단계와 관련하여 상기 촬영유닛(32)은 상기 z축 이동수단(40b)에 의해 하강하게 되고(S8), 이때 상기 거리측정센서(36)가 미작동 상태이면 다시 상승하여 상기 거리측정센서(36) 작동 후 다시 하강하게 된다(S9).
상기 거리측정센서(36)가 작동 중이면 상기 거리측정센서(36)가 기 설정된 적정 이격거리 즉 초점거리에 도달했음을 신호로 송출할 때까지 상기 촬영유닛(32)을 계속 하강시킨다.
이제 적정 이격거리에 도달하면, 상기 촬영모드 변경단계에서는 상기 촬영모드가 모니터링 모드인지 여부를 판단한다(S10). 만약 모니터링 모드가 아니라면, 상기 촬영유닛(32)의 모드를 변경하여 모니터링이 가능하게 한다(S11).
이후 상기 촬영유닛(32)이 소재 표면을 촬영하고 작업자가 원하는 이미지를 획득하면(S12), 작업자는 상기 제2 분사유닛(34b)의 작동을 중지시키고(S13) 작업을 완료하게 된다.
본 발명은 상기와 같은 구조 및 작동방법을 통해 보다 정확하고 정밀한 측정을 가능하게 할 수 있다. 이상의 사항은 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치 및 측정방법의 특정한 실시예를 나타낸 것에 불과하다.
따라서 이하의 청구범위에 기재된 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 본 발명이 다양한 형태로 치환, 변형될 수 있음을 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 용이하게 파악할 수 있다는 점을 밝혀 두고자 한다.
10:베이스 11:소재안착부
30:측정부재 31:지지빔
32:촬영유닛 33:거치부
33c,33d:고정판 33b,33f:조절바
34a:제1 분사유닛 34b:제2 분사유닛
35:센서장착부 36:거리측정센서
37:바디부 40:이동부재
40a:x축 이동수단 40b:z축 이동수단
40c:y축 이동수단 41:제1 구동부
42:제1 LM가이드 43:제1 새들
44:제2 구동부 45:제2 LM가이드
46:제2 새들 47:제3 구동부
48:제3 LM가이드 49:제3 새들

Claims (14)

  1. 소재안착부가 형성된 베이스;
    상기 베이스상에 배치되는 이동부재; 및
    상기 이동부재상에 배치되고, 소재 표면을 청소하고 측정토록 제공되는 측정부재;
    를 포함하는 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 측정부재는,
    상기 이동부재에 지지빔으로 연결되는 바디부;
    상기 바디부에 배치된 거치부에 안착되는 촬영유닛; 및
    상기 바디부상에 배치되고, 소재 표면을 청소토록 분사슬롯이 형성된 제공되는 제1 분사유닛;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 분사유닛은, 상기 거치부의 하부에 배치되고 소재 표면에 에어를 분사하여 청소하는 것을 특징으로 하는 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 분사유닛은 소재 표면의 이물질이 일방향으로 배출되도록, 일측에서 타측으로 테이퍼진 것을 특징으로 하는 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 측정부는 상기 바디부상에서 상기 촬영유닛의 하부에 배치되고, 상기 촬영유닛을 청소토록 상방향으로 분사슬롯이 형성된 제2 분사유닛;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 측정부재는, 상기 바디부상에 배치된 센서장착부에 거치되고 소재 표면과 촬영유닛간의 거리를 측정토록 제공되는 거리측정센서;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 이동부재는,
    상기 베이스상에서 소재의 양측에 배치되는 x축 이동수단; 및
    상기 측정부재를 승강토록, 상기 x축 이동수단상에 배치되는 z축 이동수단;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 x축 이동수단은,
    상기 베이스상에서 소재의 양측에 한 쌍으로 배치되는 제1 LM가이드;
    상기 제1 LM가이드상에 배치된 볼스크류부재를 따라 x축을 따라 이동하는 한 쌍의 제1 새들; 및
    상기 볼스크류부재를 구동하는 제1 구동부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 z축 이동수단은,
    상기 제1 새들상에 수직하게 한 쌍으로 배치되는 제2 LM가이드;
    상기 제2 LM가이드상에 배치된 볼스크류부재를 따라 z축을 따라 이동하는 제2 새들; 및
    상기 볼스크류부재를 구동하는 제2 구동부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치.
  10. 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이동부재는,
    상기 z축 이동수단상에 배치되고, 상기 측정부재를 y축 방향으로 이동 가능하도록 제공되는 y축 이동수단;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 y축 이동수단은,
    상기 제2 새들상에 수평하게 배치되는 제3 LM가이드;
    상기 제3 LM가이드상에 배치된 볼스크류부재를 따라 y축을 따라 이동하고 상기 측정부재가 연결되는 제3 새들; 및
    상기 볼스크류부재를 구동하는 제3 구동부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 소재 표면 청소 기능을 가진 측정장치.
  12. 소재 표면 측정방법에 있어서,
    소재 표면의 이물질을 제거하는 소재 표면 청소단계; 및
    소재 표면 상태를 측정하는 소재 표면 측정단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 소재 표면 측정방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 소재 표면 청소단계는,
    소재와의 거리를 측정하며 승강범위를 결정하는 제1 거리측정단계;
    소재 표면의 청소위치를 결정하는 청소위치 결정단계; 및
    소재 표면의 청소위치에 에어를 분사하는 에어분사단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 소재 표면 측정방법.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 소재 표면 측정단계는,
    소재 표면의 측정위치를 결정하는 측정위치 결정단계;
    소재와의 거리를 측정하며 승강범위를 결정하는 제2 거리측정단계; 및
    소재의 표면을 측정하는 촬영모드 변경단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 소재 표면 측정방법.




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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102222655B1 (ko) * 2019-09-10 2021-03-03 주식회사 포스코아이씨티 코일 표면결함 자동검사 시스템
KR102308875B1 (ko) * 2021-06-02 2021-10-01 선계은 파티클 측정용 프로브
KR102310630B1 (ko) * 2020-12-08 2021-10-08 주식회사 엔시스 이차전지용 극판 코팅층 거리 측정장치

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