KR20150142995A - Apparatus and Method for transferring customer tray - Google Patents

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KR20150142995A KR1020140071831A KR20140071831A KR20150142995A KR 20150142995 A KR20150142995 A KR 20150142995A KR 1020140071831 A KR1020140071831 A KR 1020140071831A KR 20140071831 A KR20140071831 A KR 20140071831A KR 20150142995 A KR20150142995 A KR 20150142995A
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Abstract

The present invention relates to an apparatus and a method for transferring a customer tray. The apparatus comprises: a set plate having a loading unit capable of loading a customer tray, and a driving unit which can drive the loading unit up and down; a transfer capable of transferring the customer tray from a multi-stacker which enables to load the customer tray thereon to the loading unit, or from the loading unit to the multi-stacker, wherein the loading unit has a support unit supporting a lateral side of the customer tray when the customer tray is being loaded, and the support unit can be made into a variable structure which varies to the same height of the height of the loaded customer tray to thus load a plurality of the customer plates.

Description

커스터머 트레이 이송 장치 및 이송 방법{Apparatus and Method for transferring customer tray}Technical Field [0001] The present invention relates to an apparatus and a method for transferring a customer tray,

본 발명은 커스터머 트레이 이송 장치 및 이송 방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 멀티 스택커로부터 셋플레이트로 또는 셋플레이트로부터 멀티 스택커로 커스터머 트레이를 이송하기 위한 커스터머 트레이 이송 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a customer tray transfer apparatus and a transfer method, and more particularly, to a customer tray transfer apparatus and method for transferring a customer tray from a multi-stacker to a set plate or from a set plate to a multi-stacker.

반도체 소자 등과 같은 회로 소자의 제조에서는 상기 회로 소자를 패키징한 후 상기 패키징된 회로 소자(이하, '반도체 칩'이라 함)를 대상으로 전기적 성능, 열적 스트레스 등과 같은 검사를 수행한다.In the manufacture of circuit elements such as semiconductor devices, the circuit elements are packaged and then tested for electrical performance, thermal stress, and the like on the packaged circuit elements (hereinafter referred to as "semiconductor chips").

테스트 핸들러(test handler)는 상기 반도체 칩들을 검사하기 위한 것으로써, 커스터머 트레이(customer tray)에 담겨진 반도체 칩들을 자동으로 로딩(loading)하여 테스트 사이트(test site)에서 검사를 수행한 후, 검사 결과에 따라 상기 반도체 칩들을 분류하여 설정된 커스터머 트레이에 언로딩(unloading)하는 과정을 반복 수행한다.The test handler is for testing the semiconductor chips. The test handler automatically loads the semiconductor chips contained in the customer tray and performs inspection on a test site. Then, And unloading the semiconductor chips into the set customer tray.

상기 커스터머 트레이는 멀티 스택커(multi stacker)로부터 셋플레이트(setplate)로 또는 상기 셋플레이트로부터 상기 멀티 스택커로 이송이 이루어진다. 상기 멀티 스택커는 상기 커스터머 트레이를 적재하는 부재이고, 상기 셋플레이트는 상기 커스터머 트레이를 상기 테스트 사이트의 대기 장소로 이송하는 부재이다.The customer tray is transferred from a multi stacker to a set plate or from the set plate to the multi-stacker. The multi-stacker is a member for loading the customer tray, and the set plate is a member for transferring the customer tray to a waiting place of the test site.

상기 멀티 스택커와 상기 셋플레이트 사이에서의 상기 커스터머 트레이의 이송은 트랜스퍼(transfer)를 이용한다. 이때, 상기 셋플레이트는 상기 커스터머 트레이를 한 장만 적재할 수 있는 구조를 갖는다. 이에, 상기 셋플레이트는 상기 멀티 스택커로부터 한 장의 상기 커스터머 트레이를 적재하고, 그리고 업 구동하여 상기 테스트 사이트의 대기 장소로 위치한 다음, 상기 반도체 칩들을 상기 테스트 트레이로 옮긴 후, 다운 구동하여 상기 커스터머 트레이를 상기 멀티 스택커에 반납함과 아울러 다시 상기 멀티 스택커로부터 한 장의 상기 커스터머 트레이를 적재하는 과정을 반복 수행한다. 여기서, 상기 멀티 스택커로부터 상기 셋플레이트로 상기 커스터머 트레이를 이송하는 트랜스퍼와 상기 셋플레이트로부터 상기 멀티 스택커로 상기 커스터머 트레이를 반납하는 트랜스퍼 각각이 구비될 수 있다. 즉, 2개의 트랜스퍼가 구비될 수 있는 것이다.The transfer of the customer tray between the multi-stacker and the set plate uses transfer. At this time, the set plate has a structure capable of loading only one customer tray. The set plate is placed in a standby position of the test site by loading a single customer tray from the multi-stacker, up-driving the semiconductor chips, transferring the semiconductor chips to the test tray, The process of returning the tray to the multi-stacker and loading a single customer tray from the multi-stacker again. Here, the transfer may include a transfer for transferring the customer tray from the multi-stacker to the set plate, and a transfer for returning the customer tray from the set plate to the multi-stacker. That is, two transfers may be provided.

이와 같이, 종래에는 상기 셋플레이트가 상기 커스터머 트레이를 한 장만 이송하는 구조를 가짐으로써 상기 커스터머 트레이의 신속한 이송을 위해서는 상기 셋플레이트를 다수개로 나열하는 구조로 구비해야 할 뿐만 아니라 트랜스퍼도 2개로 구비해야 하기 때문에 이송 장치의 구조가 복잡해지는 문제점이 있다.In this way, conventionally, the set plate has a structure in which the customer tray is transported only one time, so that the set plates must be arranged in a plurality of arrangements for fast transport of the customer tray, There is a problem that the structure of the transfer device becomes complicated.

본 발명의 목적은 다수개의 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 셋플레이트를 구비할 수 있는 커스터머 트레이 이송 장치 및 방법을 제공하는데 있다.It is an object of the present invention to provide a customer tray transfer apparatus and method capable of having a set plate capable of loading a plurality of customer trays.

언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이 이송 장치는 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 적재부, 및 상기 적재부를 업/다운 구동시킬 수 있는 구동부를 구비하는 셋플레이트; 및 상기 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 멀티 스택커로부터 상기 적재부로 또는 상기 적재부로부터 상기 멀티 스택커로 상기 커스터머 트레이를 이송할 수 있는 트랜스퍼를 포함하고, 상기 적재부는 상기 커스터머 트레이가 적재될 때 상기 커스터머 트레이의 측면을 지지하는 지지부를 구비하되, 상기 지지부는 상기 커스터머 트레이를 다수매로 적재할 수 있도록 상기 다수매로 적재되는 상기 커스터머 트레이의 적재 높이와 동일한 높이로 가변되는 가변 구조로 이루어질 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a customer tray transfer apparatus comprising: a set plate having a loading section capable of loading a customer tray and a driving section capable of up / down driving the loading section; And a transfer capable of transferring the customer tray from the multi-stacker capable of loading the customer tray to the multi-stacker or the multi-stacker from the loading unit, wherein the stacking unit comprises: The supporting portion may have a variable structure that is variable in height to the height of the stacking of the customer tray so that the plurality of customer trays can be stacked in a plurality of sheets, .

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이 이송 장치에서, 상기 셋플레이트의 업 구동에 의해 최상부에 위치할 때 상기 셋플레이트의 적재부에 상기 커스터머 트레이가 적재되어 있는 가를 확인하는 확인부를 더 구비할 수 있다.In the apparatus for transporting a customer tray according to an embodiment of the present invention, a confirming unit may be further provided for confirming whether the customer tray is loaded on the loading unit of the set plate when the set plate is located at the uppermost position by up- can do.

언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이 이송 방법은 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 적재부, 및 상기 적재부를 업/다운 구동시킬 수 있는 구동부를 구비하는 셋플레이트; 및 상기 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 멀티 스택커로부터 상기 적재부로 또는 상기 적재부로부터 상기 멀티 스택커로 상기 커스터머 트레이를 이송할 수 있는 트랜스퍼를 포함하고, 상기 적재부는 상기 커스터머 트레이가 적재될 때 상기 커스터머 트레이의 측면을 지지하는 지지부를 구비하되, 상기 지지부는 상기 커스터머 트레이를 다수매로 적재할 수 있도록 상기 다수매로 적재되는 상기 커스터머 트레이의 적재 높이와 동일한 높이로 가변되는 가변 구조로 이루어질 때, 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 멀티 스택커에 적재된 상기 커스터머 트레이를 상기 셋플레이트의 적재부에 다수매로 적재하는 제1 단계; 상기 커스터머 트레이를 다수매 적재한 상태에서 상기 셋플레이트를 업 구동시켜 상기 셋플레이트의 적재부를 최상부에 위치시키는 제2 단계; 상기 커스터머 트레이를 다수매 적재한 상태에서 상기 셋플레이트를 다운 구동시킴과 아울러 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 셋플레이트의 적재부에 적재된 상기 커스터머 트레이 중 최상부에 적재된 상기 커스터머 트레이를 상기 멀티 스택커로 적재하는 제3 단계; 및 상기 셋플레이트의 적재부에 상기 커스터머 트레이가 적재되어 있지 않을 때까지 상기 제2 단계 및 상기 제3 단계를 반복 수행하는 제4 단계를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of transporting a customer tray, comprising: a set plate having a loading unit capable of loading a customer tray and a driving unit capable of up / down driving the loading unit; And a transfer capable of transferring the customer tray from the multi-stacker capable of loading the customer tray to the multi-stacker or the multi-stacker from the loading unit, wherein the stacking unit comprises: And a support portion for supporting a side surface of the customer tray, wherein when the support portion has a variable structure that is variable in height to the height of the customer tray on which the plurality of customer trays are stacked so that the customer trays can be stacked, A first step of stacking the customer trays loaded on the multi-stacker on the stacking unit of the set plate using the transfer; A second step of raising the set plate in a state where a plurality of the customer trays are stacked to position the stacking portion of the set plate at the uppermost position; The set plate is down-driven while a plurality of the customer trays are loaded, and the customer tray loaded on the top of the customer tray loaded on the loading unit of the set plate is transferred to the multi- A third stage of loading; And a fourth step of repeating the second step and the third step until the customer tray is not loaded in the loading part of the set plate.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이 이송 방법에서, 상기 제1 단계 내지 상기 제4 단계를 반복 수행하는 제5 단계를 더 포함할 수 있다.In the method of transporting a customer tray according to an embodiment of the present invention, the fifth step of repeating the first to fourth steps may be further included.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이 이송 방법에서, 상기 제5 단계는 상기 제1 단계 내지 상기 제4 단계를 반복 수행함에 의해 상기 커스터머 트레이가 상기 셋플레이트의 적재부에 적재되어 있지 않을 때 수행할 수 있다.In the method for transporting a customer tray according to an embodiment of the present invention, in the fifth step, the customer tray is not loaded on the loading portion of the set plate by repeating the first to fourth steps Can be performed.

언급한 본 발명의 커스터머 트레이 이송 장치 및 방법에 따르면, 셋플레이트는 커스터머 트레이를 다수매로 적재할 수 있다. 즉, 2매 이상의 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 것이다. 이에, 다수매의 커스터머 트레이를 대상으로 작업을 수행하기 때문에 작업 시간이 단축되는 효과를 기대할 수 있고, 또한 다른 부재의 추가 구성없이도 작업 시간을 단축시킬 수 있기 때문에 이송 장치의 성능을 향상시킬 수 있는 효과를 기대할 수 있다.According to the above-described customer tray transfer apparatus and method of the present invention, the set plate can load a plurality of customer trays. In other words, more than two customer trays can be loaded. Accordingly, since an operation is performed on a plurality of customer trays, the operation time can be shortened and the operation time can be shortened without additionally configuring other members. Therefore, Effect can be expected.

그리고 다수매의 커스터머 트레이를 적재한 다음 업/다운 구동함과 아울러 최상부에 적재된 커스터머 트레이를 멀티 스택커로 반납하는 구성을 가질 수 있기 때문에 하나의 트랜스퍼만을 사용하여도 무방하다. 이에, 이송 장치의 구조를 간소화할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.In addition, since a plurality of customer trays can be loaded and then up / down driven, and a customer tray loaded at the top can be returned to the multi-stacker, only one transfer can be used. Therefore, the effect of simplifying the structure of the transfer device can be expected.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이의 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이의 이송 방법을 설명하기 위한 공정도이다.FIG. 1 is a schematic view showing a conveying apparatus of a customer tray according to an embodiment of the present invention.
2 is a flowchart illustrating a method of transporting a customer tray according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이의 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.FIG. 1 is a schematic view showing a conveying apparatus of a customer tray according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 장치는 셋플레이트를 구비할 수 있다. 그리고 도시하지는 않았지만, 트랜스퍼를 함께 구비할 수 있다. 여기서, 상기 트랜스퍼는 블레이드(blade) 구조를 갖는 일반적인 이송 부재로 이해할 수 있다.Referring to FIG. 1, the conveying device of the customer tray of the present invention may include a set plate. Although not shown, a transfer can be provided together. Here, the transfer can be understood as a general transfer member having a blade structure.

상기 셋플레이트 및 상기 트랜스퍼로 이루어지는 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 장치를 이용할 경우 멀티 스택커(도시되지 않음)로부터 테스트 사이트의 대기 장소로 또는 상기 테스트 사이트의 대기 장소로부터 상기 멀티 스택커로 커스터머 트레이(11)를 이송할 수 있다. 상기 멀티 스택커는 상기 커스터머 트레이(11)를 적재하는 부재이고, 상기 테스트 사이트의 대기 장소는 검사를 진행하기 위하여 상기 커스터머 트레이(11)에 수납된 반도체 칩들을 테스트 트레이(도시되지 않음)로 옮기거나 또는 검사를 종료하여 분류하기 위하여 상기 테스트 트레이에 수납된 반도체 칩들을 상기 커스터머 트레이(11)로 옮기는 위치로 이해할 수 있다.(Not shown) to the waiting site of the test site or from the waiting place of the test site when the customer tray transfer apparatus of the present invention including the set plate and the transfer is used, the multi- 11). The multi-stacker is a member for loading the customer tray 11, and the waiting place of the test site moves the semiconductor chips accommodated in the customer tray 11 to a test tray (not shown) Or to transfer the semiconductor chips accommodated in the test tray to the customer tray 11 in order to sort and terminate the inspection.

상기 셋플레이트 및 상기 멀티 스택커 사이에서의 상기 커스터머 트레이(11)는 상기 트랜스퍼를 이용하여 이송할 수 있다. 즉, 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 셋플레이트로부터 상기 멀티 스택커로 상기 커스터머 트레이(11)를 이송하거나 또는 상기 멀티 스택커로부터 상기 셋플레이트로 상기 커스터머 트레이(11)를 이송하는 것이다. 이때, 상기 커스터머 트레이(11)에 수납된 반도체 칩들이 검사 이전일 경우에는 상기 멀티 스택커로부터 상기 셋플레이트로 이송이 이루어지는 상기 커스터머 트레이(11)는 검사를 수행하기 위한 반도체 칩들이 수납된 상태일 수 있고, 상기 셋플레이트로부터 상기 멀티 스택커로 이송이 이루어지는 상기 커스터머 트레이(11)는 상기 반도체 칩들이 상기 테스트 트레이로 옮겨짐에 의해 비어 있는 상태일 수 있다. 또한, 상기 커스터머 트레이(11)에 수납된 반도체 칩들이 검사 이후일 경우에는 상기 멀티 스택커로부터 상기 셋플레이트로 이송이 이루어지는 상기 커스터머 트레이(11)는 상기 반도체 칩들을 상기 테스트 트레이로부터 전달받기 위하여 비어 있는 상태일 수 있고, 상기 셋플레이트로부터 상기 멀티 스택커로 이송이 이루어지는 상기 커스터머 트레이(11)는 상기 반도체 칩들을 상기 테스트 트레이로 옮겨 받음에 의해 상기 반도체 칩들이 수납된 상태일 수 있다.The customer tray 11 between the set plate and the multi-stacker can be transported using the transfer. That is, the user transfers the customer tray 11 from the set plate to the multi-stacker using the transfer, or transfers the customer tray 11 from the multi-stacker to the set plate. At this time, when the semiconductor chips housed in the customer tray 11 are inspected, the customer tray 11, which is transferred from the multi-stacker to the set plate, And the customer tray 11, from which the set plate is transferred to the multi-stacker, may be in an empty state as the semiconductor chips are transferred to the test tray. When the semiconductor chips stored in the customer tray 11 are inspected after the inspection, the customer tray 11, which is transferred from the multi-stacker to the set plate, And the customer tray 11 to which the set plate is transferred from the set plate to the multi-stacker may be in a state in which the semiconductor chips are accommodated by transferring the semiconductor chips to the test tray.

이와 같이, 본 발명에서는 상기 트랜스퍼 및 상기 셋플레이트를 이용하여 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 멀티 스택커로부터 상기 테스트 사이트의 대기 장소로 이송하거나 또는 상기 테스트 사이트의 대기 장소로부터 상기 멀티 스캑커로 이송할 수 있다.As described above, in the present invention, the customer tray 11 is transferred from the multi-stacker to the standby site of the test site using the transfer and the set plate, or from the standby site of the test site to the multi- can do.

특히 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 장치에서 상기 셋플레이트는 상기 커스터머 트레이(11)를 적재할 수 있는 적재부(13) 및 상기 적재부(13)를 업/다운 구동시킬 수 있는 구동부(15)를 구비할 수 있다. 여기서, 상기 구동부(15)는 주로 실린더 구동에 의해 업/다운 구동하는 부재, 선형 구동하는 선형 모터 등으로 이루어질 수 있다.Particularly, in the conveying apparatus of the present invention, the set plate includes a loading unit 13 for loading the customer tray 11 and a driving unit 15 for moving the loading unit 13 up and down . Here, the driving unit 15 may be mainly composed of a member for up / down driving by a cylinder drive, a linear motor for linear driving, or the like.

이에, 언급한 바와 같이 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 멀티 스택커로부터 상기 커스터머 트레이(11)를 적재한 후 업 구동함에 의해 상기 테스트 사이트의 대기 장소로 상기 커스터머 트레이(11)를 이송할 수 있고, 아울러 상기 테스트 사이트의 대기 장소로부터 다운 구동한 후 상기 트랜스퍼를 이용함에 의해 상기 셋플레이트에 적재된 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 멀티 스택커에 이송, 즉 반납할 수 있는 것이다.As described above, by loading the customer tray 11 from the multi-stacker using the transfer and then driving up the customer tray 11, the customer tray 11 can be transferred to the standby site of the test site, The customer tray 11 loaded on the set plate can be transferred to the multi-stacker, that is, returned to the multi-stacker by using the transfer after being driven down from the standby site of the test site.

여기서, 상기 적재부(13)는 상기 커스터머 트레이(11)를 적재할 수 있는 부재로써, 본 발명에서는 상기 커스터머 트레이(11)를 다수매 적재할 수 있도록 구비될 수 있다. 이에, 본 발명에서의 상기 적재부(13)는 상기 커스터머 트레이(11)가 적재될 때 상기 커스터머 트레이(11)를 지지하는 지지부(17)를 구비하는데, 상기 지지부(17)를 다수매로 적재되는 상기 커스터머 트레이(11)의 적재 높이와 동일한 높이를 갖도록 가변되는 가변 구조로 형성할 수 있다. 이에, 상기 지지부(17)는 상기 가변 구조에 적합한 안테나 구조 등으로 이루어질 수 있고, 나아가 실린더 구동에 의해 상기 안테나 구조가 가변되도록 이루어질 수 있다.Here, the loading unit 13 is a member capable of loading the customer tray 11, and in the present invention, a plurality of the customer trays 11 can be loaded. The loading unit 13 of the present invention includes a supporting unit 17 for supporting the customer tray 11 when the customer tray 11 is loaded. The height of the customer tray 11 can be changed to have the same height as the stack height of the customer tray 11. Accordingly, the support portion 17 may be formed of an antenna structure suitable for the variable structure, and further, the antenna structure may be varied by driving a cylinder.

그러므로 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 장치는 상기 트랜스퍼를 이용하여 한 번에 다수매의 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 적재할 수 있다. 그리고 업 구동을 수행하여 상기 테스트 사이트의 대기 장소에 위치한 후, 최상부에 적재된 상기 커스터머 트레이(11)에 수납된 반도체 칩들이 상기 테스트 트레이로 다 옮겨지면 다운 구동을 수행하고, 이어서 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 최상부에 적재된 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 멀티 스택커로 반납한다. 그리고 상기 업/다운 구동 및 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 멀티 스택커로 반납하는 동작을 반복 수행함에 의해 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 다수매로 적재되는 상기 커스터머 트레이(11)를 다 소진할 수 있다.Therefore, in the transfer apparatus of the customer tray of the present invention, a plurality of the customer trays 11 can be loaded on the loading unit 13 of the set plate at a time by using the transfer. When the semiconductor chips stored in the customer tray 11 loaded at the top of the test site are moved to the test tray after performing the up-driving to be located at a standby position of the test site, the down-driving is performed, And returns the customer tray 11 loaded on the uppermost portion to the multi-stacker. Then, the customer tray 11 is returned to the multi-stacker by using the up / down drive and the transfer, so that the customer tray 11, (11) can be exhausted.

이에, 본 발명에서와 같이 상기 커스터머 트레이(11)를 다수매로 적재하여 이송할 경우에는 하나의 트랜스퍼만으로도 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 멀티 스택커로부터 상기 셋플레이트에 적재하거나 상기 셋플레이트로부터 상기 멀티 스택커로 반납할 수 있다. 따라서 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 장치의 경우에는 이송 장치 자체에 대한 구조적인 단순화를 도모할 수 있다.When the customer trays 11 are stacked and transported as in the present invention, the customer tray 11 may be loaded from the multi-stacker to the set plate by only one transfer, It can be returned to multi-stacker. Therefore, in the case of the transfer device of the customer tray of the present invention, the transfer device itself can be simplified in structure.

또한, 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 멀티 스택커로부터 상기 셋플레이트로 이송하거나 또는 상기 셋플레이트로부터 상기 멀티 스택커로 반납하는 동작을 일대일로 대응되는 반복 동작이 아닌 다수매를 한 장소에서 한 번에 수행할 수 있기 때문에 장치적 효율성을 극대화시킬 수 있다. 특히, 본 발명에서의 커스터머 트레이의 이송 장치는 별도 부재를 더 구비하지 않고, 상기 지지부(17)의 단순 변경만으로도 장치적 효율성을 극대화시킬 수 있기 때문에 커스터머 트레이의 이송 장치가 동일 성능을 요구할 경우에는 종래 대비 구조를 단순화시킬 수도 있다. 아울러, 장치적 효율성을 통하여 반도체 칩들에 대한 검사 시간을 단축시킬 수도 있다.The transfer of the customer tray 11 from the multi-stacker to the set plate using the transfer or returning the customer tray 11 from the set plate to the multi-stacker may be performed by using a plurality of non- This can be done in one place at a time, thus maximizing device efficiency. In particular, in the present invention, the conveying device of the customer tray is not provided with any additional member, and the device efficiency can be maximized only by a simple change of the support part 17. Therefore, when the conveying device of the customer tray requires the same performance The structure can be simplified compared to the conventional one. In addition, the inspection time for semiconductor chips can be shortened through the device efficiency.

그리고 본 발명의 커스터머 트레이 이송 장치는 상기 셋플레이트의 업 구동에 의해 최상부에 위치할 때 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 상기 커스터머 트레이(11)가 적재되어 있는 가를 확인하는 확인부(19)를 더 구비할 수 있다. 이에, 상기 확인부(19)를 통하여 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 상기 커스터머 트레이(11)가 적재되어 있지 않을 경우에는 상기 셋플레이트를 다운 구동시킴과 아울러 다수매의 상기 커스터머 트레이(11)를 적재할 수 있도록 상기 트랜스퍼를 준비시킬 수 있다.The customer tray transfer apparatus according to the present invention includes a confirmation unit 19 for confirming whether the customer tray 11 is loaded on the loading unit 13 of the set plate when the set plate is positioned at the uppermost position by up- As shown in FIG. If the customer tray 11 is not loaded in the loading unit 13 of the set plate through the checking unit 19, the set plate is driven down and a plurality of the customer trays 11 The transfer can be prepared to be loaded.

이에, 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 장치는 상기 확인부(19)를 더 구비함에 의해 보다 정확하고, 신속하게 상기 커스터머 트레이(11)를 이송할 수 있는 것이다.Thus, the conveying apparatus of the present invention can further accurately and promptly convey the customer tray 11 by further including the confirming unit 19.

이하, 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 장치를 사용하여 커스터머 트레이를 이송하는 방법에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a method of transferring a customer tray using the transfer apparatus of the present invention will be described.

그리고 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 방법은 언급한 도 1에서의 커스터머 트레이의 이송 장치를 사용하는 것으로써, 동일 부재에 대해서는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다.The method of conveying a customer tray according to the present invention uses the conveying device of the customer tray shown in FIG. 1, and the detailed description of the same members will be omitted.

또한, 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 방법에서는 검사를 수행하기 위한 반도체 칩들이 수납된 커스터머 트레이를 상기 멀티 스택커로부터 상기 테스트 사이트의 대기 장소로 이송하고, 아울러 상기 테스트 트레이에 상기 반도체 칩들이 옮겨짐에 의해 비어 있는 상태의 상기 커스터머 트레이를 상기 테스트 사이트의 대기 장소로부터 상기 멀티 스택커에 반납하는 것에 한정하여 설명하기로 한다. 그러나 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 방법은 언급한 한정에 제한되지 않는다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of transporting a customer tray, the method comprising: transferring a customer tray containing semiconductor chips for inspection to a standby site of the test site from the multi-stacker; And the customer tray in an empty state is returned from the standby site of the test site to the multi-stacker. However, the method of conveying the customer tray of the present invention is not limited to the above-mentioned limitation.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이의 이송 방법을 설명하기 위한 공정도이다.2 is a flowchart illustrating a method of transporting a customer tray according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 멀티 스택커에 적재된 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 다수매로 적재한다.(S20 단계) 여기서, 상기 셋플레이트에 다수매로 적재되는 상기 커스터머 트레이(11)는 3매로써 제1 내지 제3 커스터머 트레이(11a, 11b, 11c)를 포함한다.Referring to FIG. 2, the customer tray 11 loaded on the multi-stacker is loaded on the stacking unit 13 of the set plate in a plurality of sheets using the transfer (S20). Here, The customer tray 11 includes a plurality of first to third customer trays 11a, 11b, and 11c.

그리고 상기 커스터머 트레이(11)를 다수매 적재한 상태에서 상기 셋플레이트를 업 구동시켜 상기 셋플레이트의 적재부(13)를 최상부에 위치시킨다.(S22 단계) 즉, 상기 셋플레이트의 적재부(13)를 상기 테스트 사이트의 대기 장소에 위치시키는 것이다. 이에, 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 적재된 다수매의 상기 커스터머 트레이(11)도 상기 테스트 사이트의 대기 장소에 위치할 수 있다.Then, the set plate is up-driven in a state in which a plurality of the customer trays 11 are loaded, thereby positioning the loading unit 13 of the set plate at the uppermost position (step S22). In other words, ) In the waiting place of the test site. Accordingly, a plurality of the customer trays 11 stacked on the mounting portion 13 of the set plate can also be positioned at the waiting place of the test site.

이어서, 상기 셋플레이트의 적재부(13)의 최상부에 위치한 상기 커스터머 트레이(11)에 수납된 반도체 칩들을 상기 테스트 트레이에 옮기는 공정을 수행한다. 이에, 상기 최상부에 위치한 상기 커스터머 트레이(11)는 비어 있는 상태이다. 여기서, 상기 최상부에 위치한 상기 커스터머 트레이(11)는 제1 커스터머 트레이(11a)이다.Subsequently, a process of transferring the semiconductor chips stored in the customer tray 11 located at the top of the stacking unit 13 of the set plate to the test tray is performed. Thus, the customer tray 11 located at the uppermost position is empty. Here, the customer tray 11 located at the top is the first customer tray 11a.

계속해서, 상기 커스터머 트레이(11)를 다수매 적재한 상태에서 상기 셋플레이트를 다운 구동시킴과 아울러 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 적재된 상기 커스터머 트레이(11) 중 최상부에 적재된 상기 커스터머 트레이(11)를 상기 멀티 스택커로 적재, 즉 반납한다.(S24 단계) 즉, 상기 최상부에 위치하는 비어 있는 상태의 상기 커스터머 트레이(11)인 제1 커스터머 트레이(11a)를 반납하는 것이다.Subsequently, the set plate is down-driven while a plurality of the customer trays 11 are loaded. In addition, the uppermost one of the customer trays 11 loaded on the loading unit 13 of the set plate, (S24). That is, the first customer tray 11a, which is the uppermost customer tray 11 in the empty state, is loaded on the multi-stacker. .

그리고 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 상기 커스터머 트레이(11)가 적재되어 있지 않을 때까지 상기 S22 단계 및 상기 S24 단계를 반복 수행한다.(S26 단계) 이에, 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 적재된 상기 커스터머 트레이(11), 즉 상기 제2 커스터머 트레이(11b) 및 상기 제3 커스터머 트레이(11c)에 대해서도 상기 제2 커스터머 트레이(11b) 및 상기 제3 커스터머 트레이(11c) 각각에 수납된 반도체 칩들을 상기 테스트 트레이에 옮기는 공정을 수행한 후, 상기 제2 커스터머 트레이(11b) 및 상기 제3 커스터머 트레이(11c)를 상기 멀티 스택커로 반납할 수 있다.The step S22 and the step S24 are repeatedly performed until the customer tray 11 is not loaded on the mounting part 13 of the set plate in step S26. The second customer tray 11b and the third customer tray 11c mounted on the second customer tray 11b and the third customer tray 11c The second customer tray 11b and the third customer tray 11c may be returned to the multi-stacker after performing the process of transferring the semiconductor chips stored in the test tray to the test tray.

아울러, 상기 확인부(19)를 사용하여 상기 셋플레이트의 업 구동에 의해 최상부에 위치할 때 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 상기 커스터머 트레이(11)가 적재되어 있는 가를 확인하고, 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 상기 커스터머 트레이(11)가 적재되어 있지 않을 경우 다수매의 상기 커스터머 트레이(11)를 적재시키도록 상기 트랜스퍼를 준비시킨다.In addition, it is confirmed whether the customer tray 11 is loaded on the stacking unit 13 of the set plate when the set plate is at the uppermost position by the up-driving of the set plate using the check unit 19, If the customer tray 11 is not loaded in the loading section 13 of the plate, the transfer is prepared so as to load a plurality of the customer trays 11.

그리고 상기 커스터머 트레이(11)가 상기 셋플레이트의 적재부(19)에 적재되어 있지 않을 때까지 상기 S20 단계 내지 상기 S26 단계를 계속적으로 반복 수행한다.The above steps S20 to S26 are repeatedly performed until the customer tray 11 is not stacked on the stacking unit 19 of the set plate.

일예로써 도 2에서와 같이 3매의 상기 커스터머 트레이(11)를 대상으로 공정을 수행할 경우, 상기 제3 커스터머 트레이(11c), 상기 제2 커스터머 트레이(11b) 및 상기 제1 커스터머 트레이(11a)를 상기 셋플레이트의 적재부(13)에 순차적으로 적재시키고, 업 구동하여 상기 제1 커스터머 트레이(11a)에 수납되는 반도체 칩들을 상기 테스트 트레이에 옮기고, 다운 구동하여 상기 제1 커스터머 트레이(11a)를 반납하고, 다시 업 구동하여 상기 제2 커스터머 트레이(11b)에 수납되는 반도체 칩들을 상기 테스트 트레이에 옮기고, 다운 구동하여 상기 제2 커스터머 트레이(11b)를 반납하고, 또 다시 업 구동하여 상기 제3 커스터머 트레이(11c)에 수납되는 반도체 칩들을 상기 테스트 트레이에 옮기고, 다운 구동하여 상기 제3 커스터머 트레이(11c)를 반납하는 구성을 가질 수 있는 것이다.For example, as shown in FIG. 2, when the process is performed on three pieces of the customer tray 11, the third customer tray 11c, the second customer tray 11b, and the first customer tray 11a Are sequentially stacked on the stacking portion 13 of the set plate and the semiconductor chips stored in the first customer tray 11a are transferred to the test tray and driven down by the up-driving of the first customer tray 11a The second customer tray 11b is brought back up, and the semiconductor chips stored in the second customer tray 11b are transferred to the test tray, The semiconductor chips stored in the third customer tray 11c may be transferred to the test tray and the third customer tray 11c may be returned Will.

여기서, 상기 제3 커스터머 트레이(11c), 상기 제2 커스터머 트레이(11b) 및 상기 제1 커스터머 트레이(11a)의 적재 및 반납을 동일한 상기 트랜스퍼를 사용할 수 있다. 즉, 다수매의 상기 커스터머 트레이(11)를 대상으로 공정을 수행할 경우에는 하나의 상기 트랜스퍼만을 사용하여도 되는 것이다.Here, the same transfer can be used for loading and returning the third customer tray 11c, the second customer tray 11b, and the first customer tray 11a. That is, when a plurality of customer trays 11 are processed, only one transfer may be used.

이에, 본 발명의 커스터머 트레이의 이송 장치는 상기 트랜스퍼를 하나만 구비하여도 되기 때문에 장치적 구조의 간소화를 도모할 수 있다. 아울러, 다수매의 상기 커스터머 트레이(11)를 동일 공간에서 한 번에 적재하는 구성을 가지기 때문에 종래 대비 공정 시간을 단축시킬 수 있다.Therefore, the transfer device of the customer tray of the present invention can be equipped with only one transfer, so that the device structure can be simplified. In addition, since the plurality of customer trays 11 are stacked in the same space at one time, the process time can be shortened compared with the conventional one.

언급한 본 발명의 커스터머 트레이 이송 장치 및 방법에서는 작업 시간이 단축되는 효과를 기대할 수 있고, 아울러 다른 부재의 추가 구성없이도 작업 시간을 단축시킬 수 있기 때문에 이송 장치의 성능을 향상시킬 수 있기 때문에 반도체 칩의 제조에 따른 생산성의 향상을 꾀할 수 있다.In the above-mentioned customer tray transfer apparatus and method of the present invention, since the operation time can be shortened and the operation time can be shortened without additionally configuring other members, the performance of the transfer apparatus can be improved, It is possible to improve the productivity according to the manufacture of the semiconductor device.

그리고 하나의 트랜스퍼만을 사용함으로써 이송 장치의 구조를 간소화시킬 수 있기 때문에 반도체 칩의 제조 장치에 대한 가격을 인하할 수 있고, 그 결과 반도체 칩이 제조에 따른 가격 경쟁력의 확보를 꾀할 수 있다.Since the structure of the transfer device can be simplified by using only one transfer, it is possible to reduce the price of the semiconductor chip manufacturing apparatus, and as a result, it is possible to secure the price competitiveness according to the manufacture of the semiconductor chip.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

11 : 커스터머 트레이 13 : 적재부
15 : 구동부 17 : 지지부
19 : 확인부11: Customer tray 13:
15: driving part 17:
19:

Claims (5)

커스터머 트레이(customer tray)를 적재할 수 있는 적재부, 및 상기 적재부를 업/다운(up/down) 구동시킬 수 있는 구동부를 구비하는 셋플레이트(setplate); 및
상기 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 멀티 스택커(multi stacker)로부터 상기 적재부로 또는 상기 적재부로부터 상기 멀티 스택커로 상기 커스터머 트레이를 이송할 수 있는 트랜스퍼(transfer)를 포함하고,
상기 적재부는 상기 커스터머 트레이가 적재될 때 상기 커스터머 트레이의 측면을 지지하는 지지부를 구비하되, 상기 지지부는 상기 커스터머 트레이를 다수매로 적재할 수 있도록 상기 다수매로 적재되는 상기 커스터머 트레이의 적재 높이와 동일한 높이로 가변되는 가변 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 이송 장치.A set plate having a loading part capable of loading a customer tray and a driving part capable of driving up and down the loading part; And
And a transfer capable of transferring the customer tray from the multi stacker capable of loading the customer tray to the stacking unit or the stacking unit to the multi-stacker,
Wherein the stacking portion includes a support portion for supporting a side surface of the customer tray when the customer tray is stacked, wherein the support portion includes a stacking height of the customer tray stacked in the plurality of sheets so that the plurality of customer trays can be stacked, And a variable structure that is variable in height at the same height. 제1 항에 있어서, 상기 셋플레이트의 업 구동에 의해 최상부에 위치할 때 상기 셋플레이트의 적재부에 상기 커스터머 트레이가 적재되어 있는 가를 확인하는 확인부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 이송 장치.The apparatus according to claim 1, further comprising a confirmation unit for confirming whether the customer tray is loaded in the loading unit of the set plate when the set plate is located at the uppermost position by the up-driving of the set plate. 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 적재부, 및 상기 적재부를 업/다운 구동시킬 수 있는 구동부를 구비하는 셋플레이트; 및 상기 커스터머 트레이를 적재할 수 있는 멀티 스택커로부터 상기 적재부로 또는 상기 적재부로부터 상기 멀티 스택커로 상기 커스터머 트레이를 이송할 수 있는 트랜스퍼를 포함하고, 상기 적재부는 상기 커스터머 트레이가 적재될 때 상기 커스터머 트레이의 측면을 지지하는 지지부를 구비하되, 상기 지지부는 상기 커스터머 트레이를 다수매로 적재할 수 있도록 상기 다수매로 적재되는 상기 커스터머 트레이의 적재 높이와 동일한 높이로 가변되는 가변 구조로 이루어질 때,
상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 멀티 스택커에 적재된 상기 커스터머 트레이를 상기 셋플레이트의 적재부에 다수매로 적재하는 제1 단계;
상기 커스터머 트레이를 다수매 적재한 상태에서 상기 셋플레이트를 업 구동시켜 상기 셋플레이트의 적재부를 최상부에 위치시키는 제2 단계;
상기 커스터머 트레이를 다수매 적재한 상태에서 상기 셋플레이트를 다운 구동시킴과 아울러 상기 트랜스퍼를 이용하여 상기 셋플레이트의 적재부에 적재된 상기 커스터머 트레이 중 최상부에 적재된 상기 커스터머 트레이를 상기 멀티 스택커로 적재하는 제3 단계; 및
상기 셋플레이트의 적재부에 상기 커스터머 트레이가 적재되어 있지 않을 때까지 상기 제2 단계 및 상기 제3 단계를 반복 수행하는 제4 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 이송 방법.A set plate having a loading section capable of loading a customer tray and a driving section capable of up / down driving the loading section; And a transfer capable of transferring the customer tray from the multi-stacker capable of loading the customer tray to the multi-stacker or the multi-stacker from the loading unit, wherein the loading unit comprises: And a support portion for supporting a side surface of the customer tray, wherein when the support portion has a variable structure that is variable in height to the height of the customer tray on which the plurality of customer trays are stacked,
A first step of stacking the customer trays loaded on the multi-stacker on the stacking unit of the set plate using the transfer;
A second step of raising the set plate in a state where a plurality of the customer trays are stacked to position the stacking portion of the set plate at the uppermost position;
The set plate is down-driven while a plurality of the customer trays are loaded, and the customer tray loaded on the top of the customer tray loaded on the loading unit of the set plate is transferred to the multi- A third stage of loading; And
And a fourth step of repeating the second step and the third step until the customer tray is not loaded in the loading part of the set plate. 제3 항에 있어서, 상기 제1 단계 내지 상기 제4 단계를 반복 수행하는 제5 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 이송 방법.4. The method of claim 3, further comprising a fifth step of repeating the first step to the fourth step. 제3 항에 있어서, 상기 제5 단계는 상기 제1 단계 내지 상기 제4 단계를 반복 수행함에 의해 상기 커스터머 트레이가 상기 셋플레이트의 적재부에 적재되어 있지 않을 때 수행하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 이송 방법.4. The method according to claim 3, wherein the fifth step is performed when the customer tray is not stacked on the stacking portion of the set plate by repeating the first step to the fourth step. Way.
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