JPH07218583A - Ic handler - Google Patents
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- JPH07218583A JPH07218583A JP6010794A JP1079494A JPH07218583A JP H07218583 A JPH07218583 A JP H07218583A JP 6010794 A JP6010794 A JP 6010794A JP 1079494 A JP1079494 A JP 1079494A JP H07218583 A JPH07218583 A JP H07218583A
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- tray
- trays
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、多段積みトレイ収納部
からトレイを一枚ずつ搬送する装置において、トレイの
複数枚搬送を検出するＩＣハンドラに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC handler for detecting the conveyance of a plurality of trays in an apparatus for conveying trays one by one from a multi-tiered tray storage section.
【０００２】[0002]
【従来の技術】多段積みトレイ収納部には、最上段トレ
イの有無を検知するセンサが有り、多段積みトレイ収納
部からトレイを搬送する時、このセンサのオン（トレイ
有り）からオフ（トレイ無し）への変化を検知する事で
トレイの搬出を確認している。この種の例として、特開
昭63−63325 号公報がある。2. Description of the Related Art A multi-tiered tray storage section has a sensor for detecting the presence or absence of the uppermost tray. When a tray is conveyed from the multi-tiered tray storage section, this sensor is turned on (with tray) and turned off (without tray). ) Is checked to confirm that the tray has been carried out. An example of this type is JP-A-63-63325.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来のＩＣハンドラの
多段積みトレイ収納部の構成を図１に示す。FIG. 1 shows the structure of a conventional multi-tiered tray accommodating section of an IC handler.
【０００４】基準ベース１に垂直、かつトレイ幅の間隔
をおいて平行な二枚のトレイガイド２を設置し、その間
にモータ３に接続されたエレベータシャフト４により上
下動作するエレベータベース板５が配置されている。ト
レイガイド２には、エレベータベース板５に多段積みさ
れたトレイ６の最上段のトレイを検出するトレイ検出セ
ンサ７が取付けてある。Two tray guides 2 which are perpendicular to the reference base 1 and are spaced apart by the width of the tray are arranged in parallel, and an elevator base plate 5 which moves up and down by an elevator shaft 4 connected to a motor 3 is arranged between them. Has been done. A tray detection sensor 7 for detecting the uppermost tray of the trays 6 stacked in multiple stages on the elevator base plate 5 is attached to the tray guide 2.
【０００５】また、基準ベース１には水平方向にトレイ
搬送ベース８を設置し、その上に水平方向に駆動するア
ーム９が配置されている。アーム９には、真空発生装置
１０，昇降用シリンダ１１，昇降用シリンダ１１により
上下するヘッド１２に取付けられた真空吸着パッド１３
及び真空発生装置１０と真空吸着パッド１３とを連結す
る真空配管１４が取付けられている。Further, a tray transfer base 8 is installed in the horizontal direction on the reference base 1, and an arm 9 for driving in the horizontal direction is arranged on the tray transfer base 8. The arm 9 has a vacuum generator 10, a lifting cylinder 11, and a vacuum suction pad 13 attached to a head 12 that moves up and down by the lifting cylinder 11.
Further, a vacuum pipe 14 that connects the vacuum generator 10 and the vacuum suction pad 13 is attached.
【０００６】真空吸着パッド１３は、真空発生装置１０
により、真空吸着パッド１３内の空気を真空引きし、ト
レイ６を吸着させることができる。アーム９は真空吸着
パッド１３にて吸着したトレイ６をトレイ搬送ベース８
に沿って水平に駆動し、トレイ６をトレイ収納部から運
びだす、あるいはトレイ収納部へトレイを収納する動作
を行う。このような動作は制御装置１５により制御され
る。The vacuum suction pad 13 is a vacuum generator 10.
Thus, the air in the vacuum suction pad 13 can be evacuated to suck the tray 6. The arm 9 attaches the tray 6 sucked by the vacuum suction pad 13 to the tray transfer base 8
The tray 6 is driven horizontally along with to carry out the tray 6 from the tray storage portion or store the tray in the tray storage portion. Such an operation is controlled by the controller 15.
【０００７】次に、トレイ６を搬送する状態を図２に示
す。Next, FIG. 2 shows a state in which the tray 6 is conveyed.
【０００８】多段積みトレイ収納部の最上段のトレイ６
を真空吸着の手段により一枚上方に持ち上げると、トレ
イ検出センサ７が「トレイ無し」を検出し、トレイが搬
送されたことを認識している。しかし、図３に示す様に
積み重ねられたトレイ６が固渋等により互いにはまりこ
んでいると最上段の一枚だけでなく、複数枚のトレイが
同時に搬送されることがあり、上記のトレイ検出センサ
７のみでは複数枚搬送の状況が検出できない欠点があっ
た。The uppermost tray 6 of the multi-tiered tray storage section
When one is lifted up by the vacuum suction means, the tray detection sensor 7 detects “no tray” and recognizes that the tray has been conveyed. However, as shown in FIG. 3, if the stacked trays 6 are stuck in each other due to tightness or the like, not only the topmost tray but also a plurality of trays may be conveyed at the same time. There is a drawback that the situation of plural sheets cannot be detected only with No. 7.
【０００９】本発明の目的は、多段積みトレイ収納部か
ら複数枚のトレイが同時に搬送されることを検出し、こ
れに付随するＩＣハンドラのトラブルを未然に防止する
機能を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a function of detecting that a plurality of trays are simultaneously conveyed from a multi-tiered tray accommodating section and preventing the trouble of an IC handler associated therewith.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】多段積みトレイ収納部か
ら、複数枚のトレイが同時に搬送される事を検出するた
めに、多段積みトレイ収納部に、最上段から二枚目のト
レイの有無を検知するセンサを新たに設置し、このセン
サの状態をトレイ搬送時に監視する事によって、トレイ
の複数枚の同時搬送を検出する事が可能となる。[Means for Solving the Problems] In order to detect that a plurality of trays are simultaneously conveyed from a multi-tiered tray storage unit, the presence or absence of a second tray from the top is checked in the multi-tiered tray storage unit. By newly installing a sensor for detecting and monitoring the state of this sensor during tray transport, it is possible to detect the simultaneous transport of a plurality of trays.
【００１１】[0011]
【作用】多段積みトレイ収納部からトレイを搬送する
時、最上段の一枚だけを搬出した場合には、最上段から
二枚目のトレイの有無を検知するセンサは、「トレイ有
り」の状態となる。しかし、積み重ねられたトレイが固
渋等により、互いにはまりこんでいて、複数枚のトレイ
が同時に搬出された場合には、「トレイ無し」の状態に
なる。この様に、上記センサの状態の違いを認識する事
によって、複数枚トレイの同時搬出を検出し、トレイ搬
送のトラブルを防止する事ができる。[Function] When the trays are conveyed from the multi-tiered tray accommodating section and only one of the uppermost trays is carried out, the sensor for detecting the presence or absence of the second tray from the uppermost tray is in the "tray present" Becomes However, when the stacked trays are stuck together due to astringency and the like, and a plurality of trays are simultaneously carried out, a “no tray” state is set. In this way, by recognizing the difference in the state of the sensor, it is possible to detect the simultaneous unloading of a plurality of trays and prevent the tray transport trouble.
【００１２】[0012]
【実施例】以下、本発明の実施例を図４ないし図１２に
従って説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS.
【００１３】本発明は、図４に示すように、多段積みト
レイ収納部において、最上段から二枚目のトレイの有無
を検出するセンサ１６を新たに設置するものである。According to the present invention, as shown in FIG. 4, a sensor 16 for detecting the presence / absence of the second tray from the top is newly installed in the multi-tiered tray storage section.
【００１４】以下、作用について説明する。The operation will be described below.
【００１５】トレイを搬送する前はトレイ検出センサ
７，１６の二つとも「トレイ有り」の状態となっている
（図４）。次に、トレイ６が真空吸着で一枚上方に持ち
上げられた時は、トレイ検出センサ７は「トレイ無
し」、センサ１６は「トレイ有り」の状態となる（図
５）。Before the tray is conveyed, both of the tray detection sensors 7 and 16 are in the "with tray" state (FIG. 4). Next, when the tray 6 is lifted up by one sheet by vacuum suction, the tray detection sensor 7 is in the “no tray” state and the sensor 16 is in the “with tray” state (FIG. 5).
【００１６】さらに、トレイ６が真空吸着で複数枚上方
に持ち上げられた時は、トレイ検出センサ７，１６とも
に「トレイ無し」の状態となる（図６）。Further, when a plurality of trays 6 are lifted up by vacuum suction, both tray detection sensors 7 and 16 are in the "no tray" state (FIG. 6).
【００１７】すなわち、二つのトレイ検出センサ７，１
６の検出状態を判定することでトレイ６が一枚搬送され
たか、あるいは複数枚搬送されたかが区別できることに
なる。この判定のフローチャートを図７に示す。エラー
処理１は本発明とは、直接関係のないトレイ未吸着に対
する処理である。本発明の動作は、トレイ検出センサ
７，１６の二つともオフ（トレイ無し）の時であり、そ
の場合は、エラー処理２を起動して、トレイ搬送のトラ
ブルを防止するものである。制御装置１５はマイクロコ
ンピュータ等を使用しているので実際はトレイ検出セン
サ７，１６の検出状態をソフトウエア的に処理し、この
ような複数枚トレイの搬送をする恐れの有る時は（エラ
ー処理２に対応）、ＩＣハンドラの動作を停止し（トレ
イ６を元に戻す等）、警報を発生させて被害の拡大を防
ぐ方法を採用することも有る。That is, the two tray detection sensors 7, 1
By determining the detection state of 6, it is possible to distinguish whether one tray 6 is transported or a plurality of trays are transported. A flowchart of this determination is shown in FIG. Error processing 1 is processing for tray non-adsorption that is not directly related to the present invention. The operation of the present invention is when both of the tray detection sensors 7 and 16 are off (no tray), and in that case, the error processing 2 is started to prevent the trouble of tray transportation. Since the control device 15 uses a microcomputer or the like, the detection states of the tray detection sensors 7 and 16 are actually processed by software. There is also a method of stopping the operation of the IC handler (for example, returning the tray 6 to the original state) and issuing an alarm to prevent the damage from spreading.
【００１８】次に、本発明の他の効果について説明す
る。Next, another effect of the present invention will be described.
【００１９】上記の動作の逆、すなわち、トレイをトレ
イ収納部へ収納する時の作用について説明する。The reverse operation of the above, that is, the operation when the tray is stored in the tray storage portion will be described.
【００２０】上記と同様に真空吸着されたトレイ６を一
枚、トレイ収納部へ収納する時もトレイ検出センサ７で
トレイ６の有無を検出し、トレイ収納を確認している。
この場合、従来のトレイ検出センサ７が最上段の一つの
みの時は、トレイ６が何らかの原因で傾いて、あるいは
複数枚または厚さの異なるトレイが収納されてもトレイ
検出センサの状態は「トレイ有り」で、正常に水平にセ
ットされたか、傾いてセットされたかの区別ができない
欠点があった。図８は上記の状態を示すものである。In the same manner as described above, even when one vacuum-tucked tray 6 is stored in the tray storage portion, the tray detection sensor 7 detects the presence or absence of the tray 6 to confirm the tray storage.
In this case, when the conventional tray detection sensor 7 is only the uppermost one, even if the tray 6 is inclined for some reason or a plurality of trays or trays having different thicknesses are stored, the state of the tray detection sensor is " With "with tray", there was a drawback that it was not possible to distinguish whether it was set horizontally normally or tilted. FIG. 8 shows the above state.
【００２１】本発明のように二つのトレイ検出センサを
設置し、真空吸着パッド１３が吸着しているトレイ６を
収納する前に、エレベータベース板５を上下駆動して多
段積みしたトレイ６の最上段の高さをトレイ検出センサ
１６がオン（トレイ有り）からオフ（トレイ無し）とな
る高さに調整し、トレイ検出センサ７，１６とも「トレ
イ無し」の状態にしておく（図９）。この後トレイ６を
収納した場合、水平にセットされた時は、トレイ検出セ
ンサ７は「トレイ無し」、トレイ検出センサ１６は「ト
レイ有り」の状態となる（図１０）。しかし、トレイが
傾いてセットされた時は、トレイ検出センサ７，１６の
二つとも「トレイ有り」の状態となる（図１１）。The two tray detection sensors are installed as in the present invention, and the elevator base plate 5 is vertically driven before the tray 6 adsorbed by the vacuum adsorption pad 13 is housed. The height of the upper stage is adjusted to a height at which the tray detection sensor 16 is turned on (with tray) to turned off (without tray), and both tray detection sensors 7 and 16 are set to the “no tray” state (FIG. 9). After that, when the tray 6 is housed and set horizontally, the tray detection sensor 7 is in the “no tray” state and the tray detection sensor 16 is in the “tray present” state (FIG. 10). However, when the tray is tilted and set, both of the tray detection sensors 7 and 16 are in the "tray present" state (FIG. 11).
【００２２】すなわち、二つのトレイ検出センサ７，１
６の検出状態を判定することでトレイが正常にセットさ
れたかを認識できる事になる。この判定のフローチャー
トを図１２に示す。トレイ検出センサ７，１６の二つと
も「トレイ有り」の状態では、トレイが正しくセットさ
れていないので、エラー処理３を実行するものである。
この判定も上記の搬送時の判定と同様にソフトウエア的
に処理することができる。That is, the two tray detection sensors 7, 1
By judging the detection state of 6, it can be recognized whether the tray is set normally. A flowchart of this determination is shown in FIG. When both of the tray detection sensors 7 and 16 are in the "tray present" state, the tray is not set correctly, so the error process 3 is executed.
This judgment can also be processed by software as in the case of the above-mentioned judgment at the time of conveyance.
【００２３】さらに本発明の他の効果について説明す
る。トレイエレベータが上下動作する時、トレイ検出セ
ンサ７，１６の状態を監視する事により、トレイエレベ
ータの診断を行う事ができる。これは、トレイエレベー
タを上昇させる時は、トレイ検出センサ１６が先にオフ
からオン状態となり、その後トレイ検出センサ７がオフ
からオンとなる。この状態変化の順番と、トレイ検出セ
ンサ１６がオンしてから、トレイ検出センサ７がオンす
るまでの時間を計測する事によりトレイエレベータの診
断を行う事ができる。同様にトレイエレベータが下降す
る場合は、トレイ検出センサ７，１６の順番にオンから
オフに状態が変化する。この様な状態変化を監視して、
上記の様な状態変化がない時は、トレイエレベータおよ
びトレイ検出センサ７，１６に異常が発生しているとし
て、警報等を発生して、操作者に知らせる事ができる。Further, another effect of the present invention will be described. The tray elevator can be diagnosed by monitoring the states of the tray detection sensors 7 and 16 when the tray elevator moves up and down. This is because when the tray elevator is raised, the tray detection sensor 16 first goes from the off state to the on state, and then the tray detection sensor 7 goes from the off state to the on state. The tray elevator can be diagnosed by measuring the order of this state change and the time from when the tray detection sensor 16 is turned on to when the tray detection sensor 7 is turned on. Similarly, when the tray elevator descends, the state of the tray detection sensors 7, 16 changes from on to off in order. By monitoring such state changes,
When there is no change in the state as described above, it is possible to notify the operator by issuing an alarm or the like, indicating that an abnormality has occurred in the tray elevator and the tray detection sensors 7 and 16.
【００２４】[0024]
【発明の効果】本発明により、多段積みトレイ収納部か
らトレイを搬送する時、複数枚トレイの搬送と、トレイ
収納時の異常収納の検出ができる。As described above, according to the present invention, when a tray is conveyed from the multi-tiered tray accommodating section, it is possible to convey a plurality of trays and to detect an abnormal accommodation when the tray is accommodated.
【図１】従来のＩＣハンドラにおける多段積みトレイ収
納部の斜視図。FIG. 1 is a perspective view of a multi-tiered tray storage unit in a conventional IC handler.
【図２】従来のトレイ収納部において、トレイを搬送す
る際に最上段から一枚のトレイを持ち上げた時のトレイ
検出センサの状態を表わす説明図。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a state of a tray detection sensor when one tray is lifted from the uppermost stage in transporting the tray in the conventional tray storage unit.
【図３】従来のトレイ収納部において、トレイを搬送す
る際に最上段から複数枚のトレイを持ち上げた時のトレ
イ検出センサの状態を表わす説明図。FIG. 3 is an explanatory view showing a state of a tray detection sensor when a plurality of trays are lifted from the uppermost stage in transporting the trays in a conventional tray storage section.
【図４】本発明のトレイ収納部において、トレイを搬送
する際の搬送前のトレイ検出センサの状態を表わす説明
図。FIG. 4 is an explanatory view showing a state of a tray detection sensor before carrying a tray when carrying the tray in the tray housing of the present invention.
【図５】本発明のトレイ収納部において、トレイを搬送
する際に最上段の一枚のトレイを持ち上げた時のトレイ
検出センサの状態を表わす説明図。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a state of a tray detection sensor when the uppermost one tray is lifted when the tray is conveyed in the tray storage unit of the present invention.
【図６】本発明のトレイ収納部において、トレイを搬送
する際に最上段から複数枚のトレイを持ち上げた時のト
レイ検出センサの状態を表わす説明図。FIG. 6 is an explanatory view showing a state of a tray detection sensor when a plurality of trays are lifted from the uppermost stage in transporting the trays in the tray storage unit of the present invention.
【図７】本発明のトレイ搬送判定のフローチャート。FIG. 7 is a flowchart of tray conveyance determination according to the present invention.
【図８】従来のトレイ収納部において、トレイを収納す
る際にトレイが傾いてセットされた時のトレイ検出セン
サの状態を表わす説明図。FIG. 8 is an explanatory view showing a state of the tray detection sensor when the tray is tilted and set when the tray is stored in the conventional tray storage portion.
【図９】本発明のトレイ収納部において、トレイを収納
する前のトレイ検出センサの状態を表わす説明図。FIG. 9 is an explanatory diagram showing a state of the tray detection sensor before the tray is stored in the tray storage portion of the present invention.
【図１０】本発明のトレイ収納部において、トレイを収
納する際にトレイが水平にセットされた時のトレイ検出
センサの状態を表わす説明図。FIG. 10 is an explanatory view showing the state of the tray detection sensor when the tray is set horizontally when the tray is stored in the tray storage portion of the present invention.
【図１１】本発明のトレイ収納部において、トレイを収
納する際にトレイが傾いてセットされた時のトレイ検出
センサの状態を表わす説明図。FIG. 11 is an explanatory view showing a state of the tray detection sensor when the tray is set to be tilted when the tray is stored in the tray storage portion of the present invention.
【図１２】本発明のトレイ収納判定のフローチャート。FIG. 12 is a flowchart of tray storage determination according to the present invention.
２…トレイガイド、５…エレベータベース板、６…トレ
イ、７…トレイ検出センサ、１２…ヘッド、１３…真空
吸着パッド、１５…制御装置、１６…トレイ検出セン
サ。2 ... Tray guide, 5 ... Elevator base plate, 6 ... Tray, 7 ... Tray detection sensor, 12 ... Head, 13 ... Vacuum suction pad, 15 ... Control device, 16 ... Tray detection sensor.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 尾川 健男 静岡県清水市村松390番地 株式会社日立 製作所空調システム事業部内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Takeo Ogawa 390 Muramatsu, Shimizu City, Shizuoka Prefecture Hitachi Ltd. Air Conditioning Systems Division
Claims (1)
トレイの最上段トレイを検出するセンサと、最上段から
二枚目のトレイを検出するセンサを設置して、トレイの
複数枚の搬送を検出することを特徴とするＩＣハンド
ラ。1. A sensor for detecting the uppermost tray of trays stacked in a multi-tiered tray storage unit and a sensor for detecting the second tray from the uppermost tray are installed to convey a plurality of trays. An IC handler characterized by detecting.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6010794A JPH07218583A (en) | 1994-02-02 | 1994-02-02 | Ic handler |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6010794A JPH07218583A (en) | 1994-02-02 | 1994-02-02 | Ic handler |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07218583A true JPH07218583A (en) | 1995-08-18 |
Family
ID=11760259
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6010794A Pending JPH07218583A (en) | 1994-02-02 | 1994-02-02 | Ic handler |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07218583A (en) |
Cited By (5)
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-
1994
- 1994-02-02 JP JP6010794A patent/JPH07218583A/en active Pending
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