KR20140136441A - 진동식 부품 반송 장치 - Google Patents

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Abstract

복합 진동식 부품 반송 장치에 있어서, 부품 반송 부재가 부품 반송 방향으로 길게 형성되어 있는 경우도 피칭 운동을 억제할 수 있도록 한다. 트로프(부품 반송 부재)(1)가 부착되는 상부 진동체(2)를, 본체부(2a)와 그 반송 방향 양쪽 단부면으로부터 반송 방향으로 연장되는 연장부(2b)를 포함하며, 부품 반송 방향의 전체 치수가 베이스(3)와 중간 진동체(4)보다 크게 형성된 것으로 하여, 트로프(1)가 부품 반송 방향으로 길게 형성되어 있더라도, 그 트로프(1)를 전체 길이에 걸쳐 상부 진동체(2)로 지지하여 트로프(1)의 수직 방향의 강성을 확보할 수 있도록 함으로써, 트로프(1)와 상부 진동체(2) 사이에 보강 부재를 설치할 필요가 없어지고, 상부 진동체(2)를 포함하는 트로프(1)의 무게 중심과 지지점(수직 진동용 판스프링(6))의 수직 방향 거리가 짧아져, 피칭 운동이 억제되도록 한 것이다.

Description

진동식 부품 반송 장치{VIBRATION-TYPE COMPONENT TRANSPORT DEVICE}
본 발명은, 가진 기구의 구동에 의해 부품 반송 부재를 진동시켜 부품을 반송하는 진동식 부품 반송 장치에 관한 것이다.
진동식 부품 반송 장치에는, 부품 반송 부재에 대하여 부품 반송에 최적인 진동을 부여하는 것을 목적으로, 수직 방향을 향한 수평 진동용 판스프링으로 베이스와 중간 진동체를 연결하고, 수평 방향을 향한 수직 진동용 판스프링으로 부품 반송 부재와 중간 진동체를 연결하여, 부품 반송 부재의 수평 방향(부품 반송 방향)의 진동과 수직 방향의 진동을 각각 조정할 수 있는 구성으로 한 복합 진동식의 것이 있다(예컨대 특허문헌 1 참조).
상기 복합 진동식 부품 반송 장치의 일례를 도 12에 나타낸다. 이 부품 반송 장치는, 직선형의 반송로(51a)를 갖는 트로프(부품 반송 부재)(51)가 부착된 상부 진동체(52)와 베이스(53) 사이에 프레임형의 중간 진동체(54)를 설치하고, 중간 진동체(54)와 베이스(53)를 수직 방향을 향한 수평 진동용 판스프링(55)으로 연결하고, 상부 진동체(52)와 중간 진동체(54)를 수평 방향을 향한 수직 진동용 판스프링(56)으로 연결하여, 수평 방향의 진동을 발생시키는 제1 가진 기구(57)와 수직 방향의 진동을 발생시키는 제2 가진 기구(58)를 설치한 것이다.
이러한 복합 진동식의 부품 반송 장치는, 통상 트로프 등의 부품 반송 부재와 이것에 부착되는 상부 진동체 등을 포함하는 부품 반송부의 무게 중심과 지지점의 수직 방향 위치가 상이하기 때문에, 부품 반송부가 수평 방향으로 변위했을 때 무게 중심 주위의 회전 운동(이하 「피칭 운동」이라고 칭함)이 생겨 버린다.
특허문헌 2에서는, 복합 진동식 부품 반송 장치의 수직 진동용 판스프링을 2장 1조로 하여, 부품 반송 부재 및 중간 진동체와 함께 라멘(Rahmen) 구조를 구성하도록 배치함으로써, 피칭 운동의 발생을 방지하는 것이 제안되어 있다.
특허문헌 1 : 일본 특허 공개 소55-84707호 공보 특허문헌 2 : 일본 특허 공개 제2003-40418호 공보
복합 진동식 부품 반송 장치에서는, 특허문헌 2에 제안되어 있는 바와 같이 수직 진동용 판스프링을 배치하더라도, 반송하는 부품의 성상이나 부품 공급 상대의 구조 등에 의해 부품 반송 부재가 길어진 경우에는, 부품 반송부의 무게 중심 주위의 모멘트가 커지기 때문에, 피칭 운동이 발생하는 경우가 있다.
예컨대, 도 12에 나타낸 부품 반송 장치는, 부품의 전달을 위해 트로프(51)가 베이스(53) 및 중간 진동체(54)보다 부품 반송 방향으로 길어져 있고, 그 수직 방향의 강성을 확보하기 위해, 트로프(51)와 상부 진동체(52) 사이에 트로프 보강 부재(트로프 부착대)(59)가 설치되어 있다. 이 때문에, 특허문헌 2의 수직 진동용 판스프링의 배치를 적용하더라도 피칭 운동의 발생을 억제할 수 없고, 게다가 트로프(51), 트로프 보강 부재(59) 및 상부 진동체(52)를 포함하는 부품 반송부의 무게 중심과 지지점(수직 진동용 판스프링(56))의 수직 방향 거리가 길기 때문에, 발생하는 피칭 운동이 커지기 쉽다.
그리고, 피칭 운동이 커지면, 부품 반송 부재의 수평 방향의 진동과 수직 방향의 진동을 원하는 것으로 조정할 수 없게 되어, 부품 반송이 불안정해진다.
본 발명의 과제는, 복합 진동식 부품 반송 장치에 있어서, 부품 반송 부재가 부품 반송 방향으로 길게 형성되어 있는 경우도 피칭 운동을 억제할 수 있도록 하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 부품 반송로가 형성된 부품 반송 부재와, 상기 부품 반송 부재가 부착되는 상부 진동체와, 바닥 위에 설치되는 베이스와, 상기 상부 진동체와 베이스 사이에 설치되는 중간 진동체와, 상기 중간 진동체와 베이스를 연결하는 제1 탄성 부재와, 상기 상부 진동체와 중간 진동체를 연결하는 제2 탄성 부재를 구비하고, 상기 제1 탄성 부재와 제2 탄성 부재 중의 한쪽을 수평 진동용 탄성 부재, 다른쪽을 수직 진동용 탄성 부재로 하여, 상기 수평 진동용 탄성 부재와 제1 가진 기구로 부품 반송 부재에 수평 방향의 진동을 부여하고, 상기 수직 진동용 탄성 부재와 제2 가진 기구로 부품 반송 부재에 수직 방향의 진동을 부여하도록 한 진동식 부품 반송 장치에 있어서, 상기 상부 진동체의 부품 반송 방향의 치수를, 상기 베이스의 부품 반송 방향 치수 이상으로 하거나 혹은 상기 중간 진동체의 부품 반송 방향 치수 이상으로 하는 구성을 채택했다.
상부 진동체의 부품 반송 방향의 치수를 베이스 또는 중간 진동체의 부품 반송 방향 치수 이상으로 하고, 부품 반송 부재가 부품 반송 방향으로 길게 형성되어 있는 경우라도, 그 부품 반송 부재를 적어도 베이스 또는 중간 진동체의 부품 반송 방향 치수에 걸쳐 상부 진동체로 지지하여, 부품 반송 부재의 수직 방향의 강성을 확보할 수 있도록 함으로써, 부품 반송 부재와 상부 진동체 사이에 보강 부재를 설치할 필요가 없어지고, 부품 반송 부재와 상부 진동체를 포함하는 부품 반송부의 무게 중심과 지지점의 수직 방향 거리가 짧아져, 피칭 운동이 억제되도록 한 것이다.
상기 수평 진동용 탄성 부재는, 상기 중간 진동체에 대한 고정 위치와 상기 베이스 또는 상부 진동체에 대한 고정 위치가 부품 반송 방향과 직교하는 동일 수평선상에 위치하도록 배치하는 것이 좋다. 이와 같이 하면, 수평 진동용 탄성 부재의 수평 방향의 변형이 수직 방향의 변위로 이어지지 않게 되어, 수평 방향의 진동에 기인하는 수직 방향의 진동의 발생이 억제된다.
상기 수평 진동용 탄성 부재를 부품 반송 방향으로 복수 설치하고, 각각의 상기 중간 진동체에 대한 고정 위치와 상기 베이스 또는 상부 진동체에 대한 고정 위치의 위치 관계가 부품 반송 방향에서 교대로 교체되도록 배치하면, 수평면내에서 부품 반송 방향과 직교하는 방향의 진동도 억제할 수 있기 때문에, 반송 거동을 더욱 안정시킬 수 있다.
상기 수평 진동용 탄성 부재를 부품 반송 방향으로 복수 설치하고, 각각의 일단부를 베이스 또는 상부 진동체의 폭방향의 일측에 고정하고, 타단부를 중간 진동체의 폭방향의 타측에 고정하는 것도 생각할 수 있다.
이 경우, 통상은 부품 반송 장치 전체의 안정성을 확보하기 위해, 그 베이스, 중간 진동체, 부품 반송 부재가 부착된 상부 진동체, 제1 가진 기구 및 제2 가진 기구의 무게 중심은, 부품 반송 방향에 평행하고 부품 반송 장치의 폭방향 중앙부를 통과하는 하나의 수직면의 근방에 배치되어 있고, 그 수직면을 사이에 두고 각 수평 진동용 탄성 부재의 양쪽 단부가 고정되어 있기 때문에, 도 13의 간이 모델에 나타낸 바와 같이, 상부 진동체 및 중간 진동체에 X방향의 진동을 인가(가진)하면, 상부 진동체 및 중간 진동체의 무게 중심 G를 통과하는 Z축 둘레에 반시계 방향의 회전 모멘트 ω0가 발생하고, 수평면내(XY 평면내)에서의 회전 운동, 소위 요잉 운동이 발생한다. 또, 이 간이 모델에서는, 상부 진동체와 중간 진동체는, 양 진동체를 연결하는 수직 진동용 탄성 부재의 X방향 및 Y방향의 강성이 높기 때문에, 그 양 방향에 있어서 일체로 간주하고 있다.
각 수평 진동용 탄성 부재는, 그 양끝의 고정 위치가 부품 반송 방향(X방향)과 직교하는 동일 수평선상에 위치하고 있기 때문에, 도 13에 나타낸 바와 같이, 각각의 X방향의 변위에 대한 Y방향의 변위의 방향(도면 중의 파선 화살표)이 동일해진다. 그리고, 각 수평 진동용 탄성 부재의 변형에 의한 중간 진동체의 운동은, 수평면내에서 경사 방향으로 변위할 뿐이며, 상기 회전 모멘트 ω0에 의한 요잉 운동을 억제하는 효과는 적다.
따라서, 부품 반송 속도를 크게 하기 위해 제1 가진 기구에 의해 인가되는 가진력을 크게 하면, 상부 진동체 및 중간 진동체의 요잉 운동도 커지고, 이 요잉 운동이 상부 진동체에 부착된 부품 반송 부재의 부품 반송로 상에서의 부품의 사행을 야기하여, 실질적인 부품 반송 속도의 저하를 초래한다. 또한, 부품 반송 부재에 X방향과 Z방향의 진동 외에 Y방향의 진동이 부여됨으로써, 부품 반송 부재의 진동을 부품 반송에 최적인 것으로 조정하는 것이 어려워진다.
도 14의 간이 모델에 나타낸 바와 같이, 각 수평 진동용 탄성 부재의 양끝의 고정 위치가 부품 반송 방향(X방향)과 비스듬하게 교차하는 동일 수평선상에 위치하고, 양 수평 진동용 탄성 부재가, 그 중간 진동체측의 고정 위치끼리의 간격보다 베이스측의 고정 위치끼리의 간격이 넓어지도록 평면에서 볼 때 ハ자형으로 배치되어 있는 경우는, 각각의 X방향의 변위에 대한 Y방향의 변위의 방향(도면 중의 파선 화살표)이 상이하기 때문에, 각 수평 진동용 탄성 부재의 변형에 의해, 상부 진동체 및 중간 진동체에 무게 중심 G를 통과하는 Z축 둘레의 회전 방향 변위 γ0이 발생한다. 이 회전 방향 변위 γ0은 상기 회전 모멘트 ω0와 동일한 방향(반시계 방향)이 되므로, 요잉 운동은 커진다.
이 요잉 운동에 대해서는, 상기 수평 진동용 탄성 부재는, 부품 반송 방향에 평행하고 상기 부품 반송 부재와 상부 진동체를 포함하는 부품 반송부의 무게 중심을 포함하는 수직면을 사이에 두고 배치된 상기 중간 진동체에 대한 고정 위치와 상기 베이스 또는 상부 진동체에 대한 고정 위치에 양쪽 단부가 고정되고, 또한 상기 제1 가진 기구에 의한 가진력의 작용점은 상기 2개소의 고정 위치의 중간에 배치되고, 상기 수평 진동용 탄성 부재는, 상기 제1 가진 기구에 의한 가진력의 작용점과 수평 진동용 탄성 부재의 고정 위치의 어긋남에 의해 발생하는 힘의 모멘트의 작용을 상쇄하는, 부품 반송 방향에 대하여 각각 상이한 각도를 이루는 방향으로의 안내 기능을 갖도록 하는 것이 좋다.
구체적으로는, 상기 수평 진동용 탄성 부재는 부품 반송 방향으로 복수 설치되고, 각각의 상기 중간 진동체에 대한 고정 위치와 상기 베이스 또는 상부 진동체에 대한 고정 위치가 부품 반송 방향과 정해진 각도를 이루는 동일 수평선상에 위치하고, 또한, 상기 중간 진동체와 베이스를 연결하는 경우는 중간 진동체측의 고정 위치끼리의 간격보다 베이스측의 고정 위치끼리의 간격이 좁아지도록 배치되고, 상기 상부 진동체와 중간 진동체를 연결하는 경우는 상부 진동체측의 고정 위치끼리의 간격보다 중간 진동체측의 고정 위치끼리의 간격이 좁아지도록 배치되는 것으로 하는 것이 좋다.
상기와 같은 배치로 하면, 도 15(수평 진동용 탄성 부재가 중간 진동체와 베이스를 연결하는 경우의 예)의 간이 모델에 나타낸 바와 같이, 상부 진동체 및 중간 진동체에는, 제1 가진 기구에 의한 가진력의 작용점과 수평 진동용 탄성 부재의 고정 위치의 어긋남에 의해 발생하는 힘의 모멘트 ω0와는 반대 방향의 회전 방향 변위 γ0가 발생하고, 이 회전 방향 변위 γ0가 회전 모멘트 ω0를 상쇄하기 때문에, 상부 진동체에 부착된 부품 반송 부재의 요잉 운동을 확실하게 억제할 수 있다. 또한, 도 16에 나타낸 바와 같이, 수평 진동용 탄성 부재 A의 부품 반송 방향(X방향)의 진동에 기인하는 수직 방향(Z방향)의 진동의 발생이 억제되기 때문에, 부품 반송에 적합한 원하는 진동을 용이하게 부품 반송 부재에 부여할 수 있다.
상기 수직 진동용 탄성 부재는, 부품 반송 방향과 직교하는 동일 수평선상의 2개소의 고정 위치에서 고정하거나, 부품 반송 방향과 평행한 동일 수평선상의 2개소의 고정 위치에서 고정하거나 하면 된다.
상기 수평 진동용 탄성 부재의 고유 진동수를, 수평 방향과 수직 방향에서 상이하게 하거나, 상기 수평 진동용 탄성 부재의 수직 방향의 강성을 수평 방향의 강성보다 높게 하거나 함으로써, 수평 방향의 진동에 기인하는 수직 방향의 진동을 보다 효과적으로 억제할 수 있다.
상기 구성에 있어서, 상기 수평 진동용 탄성 부재로는, 표리면이 부품 반송 방향을 향한 판스프링을 이용할 수 있지만, 바람직하게는, 표리면이 부품 반송 방향을 향한 판스프링을 부품 반송 방향을 따라서 복수 나열하고, 각 판스프링의 고정 개소 사이에 스페이서를 설치한 것을 이용하는 것이 좋다. 이것은, 제1 가진 기구의 설치시의 기울기 등에 의해 중간 진동체에 모멘트가 작용하는 경우, 수평 진동용 탄성 부재가 비틀림 강성이 낮은 1장의 판스프링이면, 도 17에 나타낸 바와 같이 판스프링 B가 비틀어지고, 이 비틀림이 수평 방향의 진동에 따르는 비틀림 진동이 되어 중간 진동체에 부품 반송 방향에 대한 피칭 진동을 발생시켜, 부품 반송에 최적인 원하는 진동을 실현하기 어려워지기 때문이다. 즉, 수평 진동용 탄성 부재로서 복수의 판스프링 사이에 스페이서를 끼운 비틀림 강성이 높은 것을 이용함으로써, 중간 진동체에 모멘트가 작용하는 경우에도, 도 18에 나타낸 바와 같이 수평 진동용 탄성 부재 C의 비틀림이 억제되어, 원하는 진동을 실현하기 쉬워진다.
상기 수직 진동용 탄성 부재로는, 표리면이 수직 방향을 향한 판스프링을 이용할 수 있다.
상기 각 가진 기구를 전자석과 가동 철심으로 구성하고, 그 중의 한쪽의 전자석에 대한 인가 전압 설정 회로에, 인가 전압의 기준 파형을 발생시키는 기준 파형 발생 수단과, 상기 기준 파형에 대하여 진폭을 조정하는 파형 진폭 조정 수단을 설치하고, 다른쪽의 전자석에 대한 인가 전압 설정 회로에는, 상기 기준 파형에 대하여 정해진 위상차를 갖는 파형을 발생시키는 위상차 조정 수단과, 위상차 조정 수단에 의해 발생한 파형에 대하여 진폭을 조정하는 파형 진폭 조정 수단을 설치하여, 각 전자석에 대한 인가 전압의 파형, 주기, 위상차 및 진폭을 자유롭게 제어할 수 있도록 하면, 수평 방향의 진동과 수직 방향의 진동을 용이하게 원하는 진동에 가깝게 할 수 있다.
상기 각 가진 기구의 전자석에 대한 인가 전압 설정 회로에, 각각의 상기 파형 진폭 조정 수단에 의해 진폭이 조정된 파형을 PWM(Pulse Width Modulation) 신호로 변환하는 PWM 신호 발생 수단을 설치하여, PWM 방식으로 각 가진 기구를 구동시킬 수 있다.
본 발명의 진동식 부품 반송 장치는, 전술한 바와 같이, 부품 반송 부재가 부품 반송 방향으로 길게 형성되어 있는 경우에도 피칭 운동을 억제할 수 있도록 한 것이기 때문에, 부품 반송 부재에 원하는 진동을 부여할 수 있고, 안정된 부품 반송을 실현할 수 있다.
또한, 길이가 긴 부품 반송 부재의 수직 방향의 강성을 확보하기 위한 보강 부재를 별도로 설치할 필요가 없기 때문에, 저렴하게 제조할 수 있다는 이점도 있다.
도 1은 제1 실시형태의 부품 반송 장치의 일부 절취 정면도.
도 2는 도 1의 트로프를 제거한 평면도.
도 3은 도 1의 측면도.
도 4는 도 1의 부품 반송 장치의 각 가진 기구의 인가 전압 설정 회로의 개략도.
도 5는 도 1의 수직 진동용 판스프링의 배치의 변형예를 나타내는 일부 절취 정면도.
도 6은 도 5의 트로프를 제거한 평면도.
도 7은 제2 실시형태의 부품 반송 장치의 일부 절취 정면도.
도 8은 도 7의 트로프를 제거한 평면도.
도 9는 도 7의 우측면도.
도 10은 제3 실시형태의 부품 반송 장치의 일부 절취 정면도.
도 11은 도 10의 트로프를 제거한 평면도.
도 12는 종래의 부품 반송 장치의 일부 절취 정면도.
도 13은 부품 반송 장치의 간이 모델에서의 요잉 운동의 설명도(평면도).
도 14는 부품 반송 장치의 간이 모델에서의 요잉 운동 확대예의 설명도(평면도).
도 15는 본 발명의 간이 모델에서의 요잉 운동 억제 작용의 설명도(평면도).
도 16은 본 발명의 수평 진동용 탄성 부재의 통상의 변형 형태의 설명도.
도 17은 본 발명의 수평 진동용 탄성 부재의 비틀림 변형의 설명도.
도 18은 본 발명의 다른 수평 진동용 탄성 부재의 변형 형태의 설명도.
이하, 도면에 기초하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 도 1 내지 도 3은 제1 실시형태의 진동식 부품 반송 장치를 나타낸다. 이 진동식 부품 반송 장치는, 거의 수평인 직선형의 반송로(1a)가 형성된 트로프(부품 반송 부재)(1)를 상부 진동체(2)의 상면에 부착하고, 상부 진동체(2)와 바닥 위에 설치되는 베이스(3) 사이에 중간 진동체(4)를 설치하고, 중간 진동체(4)와 베이스(3)를 2개의 제1 탄성 부재로서의 판스프링(5)으로 연결하고, 상부 진동체(2)와 중간 진동체(4)를 4개의 제2 탄성 부재로서의 판스프링(6)으로 연결하고, 중간 진동체(4)와 베이스(3)의 사이에 수평 방향(부품 반송 방향, 도면 중의 X방향)의 진동을 발생시키는 제1 가진 기구(7)를 설치하고, 상부 진동체(2)와 베이스(3)의 사이에 수직 방향(도면 중의 Z방향)의 진동을 발생시키는 제2 가진 기구(8)를 설치한 것이다. 그 트로프(1)는, 부품의 전달을 위해, 부품 반송 방향의 치수가 베이스(3)와 중간 진동체(4)보다 크게 형성되어 있다.
상부 진동체(2) 및 중간 진동체(4)의 각각에 가진력을 작용시키는 가진력 발생 기능을 갖는 제1, 제2 가진 기구(7, 8)와, 복원력 발생 기능 및 안내 기능을 갖는 제1, 제2 판스프링(5, 6)을 포함하는 진동 발생 기구에 의해, 트로프(1)와 상부 진동체(2)를 포함하는 부품 반송부에, 부품 반송로(1a)를 따르는 부품 반송 방향의 성분 및, 수직 방향의 성분을 포함하는 진동을 발생시킴으로써, 부품 반송로(1a) 상의 부품을 부품 반송 방향으로 반송하도록 되어 있다.
상기 상부 진동체(2)는, 대략 직방체 형상의 본체부(2a)와, 그 본체부(2a)의 반송 방향 양쪽 단부면으로부터 반송 방향으로 연장되는 연장부(2b)를 포함하며, 부품 반송 방향의 전체 치수가 베이스(3)와 중간 진동체(4)보다 크고, 트로프(1)와 동일한 치수로 형성되어 있다. 그리고, 그 본체부(2a)와 양측의 연장부(2b)의 상면으로 트로프(1)를 전체 길이에 걸쳐 지지하여, 트로프(1)의 보강 부재의 역할을 하고 있다.
상기 베이스(3)는 직사각형으로 형성되며, 그 대각의 2개 모서리에 기둥형의 판스프링 부착부(3a)가 세워져 설치되어 있고, 바닥면(F)에 고정된 방진 고무(방진 부재)(18)에 지지되어 있다. 또, 방진 부재에는 코일 스프링 등을 이용해도 좋다.
베이스(3)의 부품 반송 방향의 양끝에는 각각 추(19)가 설치되어 있다. 이들 각 추(19)는 탈착 가능한 복수의 추편(19a)을 포함하며, 그 추편(19a)의 갯수를 증감함으로써 질량 조정이 가능한 것으로 되어 있다. 여기서, 도시는 생략하지만, 추(19)의 베이스(3)에 대한 부착 방법은, 각 추편(19a)에 통과 구멍을 형성하여 볼트 등으로 나사 고정하는 방법으로 할 수 있다. 이 때, 베이스(3)에 형성하는 나사 구멍을 높이 방향으로 복수 배치하여, 추(19)의 베이스(3)에 대한 부착 위치를 수직 방향으로 조정 가능하게 함으로써, 반송 거동의 안정화를 도모하기 위해 베이스(3)의 무게 중심의 위치를 장치 중심 부근으로 이동시키거나, 추(19)와 다른 기기의 간섭을 피하거나 하는 것을 용이하게 할 수 있게 된다. 또, 이 실시형태에서는 추(19)를 복수의 추편(19a)으로 구성했지만, 단체(單體)로 원하는 질량으로 되어 있는 추를 이용해도 좋다.
상기 중간 진동체(4)는 직사각형 프레임 형상으로 형성되며, 그 대각의 2 모서리가 외주측에서 베이스(3)의 판스프링 부착부(3a)의 상단부와 대향하고, 내주면이 상부 진동체(2)의 본체부(2a)의 하부와 대향하도록 배치되어 있다. 또한, 그 외주면에는, 베이스(3)의 판스프링 부착부(3a)와 대향하지 않는 대각의 2 모서리로부터 부품 반송 방향(X방향)으로 돌출된 판스프링 부착부(4a)가 설치되어 있다.
상기 제1 판스프링(5)은, 표리면이 부품 반송 방향을 향하고 양끝의 고정 위치가 부품 반송 방향과 직교하는 동일 수평선상에 위치하도록, 일단부를 베이스(3)의 판스프링 부착부(3a)에, 타단부를 중간 진동체(4)의 판스프링 부착부(4a)에 각각 고정하여, 중간 진동체(4)를 수평 방향으로 진동 가능하게 지지하는 수평 진동용 판스프링(수평 진동용 탄성 부재)으로 되어 있다. 여기서, 베이스(3)의 2개의 판스프링 부착부(3a)와, 중간 진동체(4)의 2개의 판스프링 부착부(4a)는, 동일한 부착부의 설치위치끼리를 연결한 직선이 평면에서 볼 때 교차하도록 설치되어 있기 때문에, 2개의 수평 진동용 판스프링(5)은, 각각의 2개소의 고정 위치의 위치 관계가 부품 반송 방향에서 교체되도록 배치되게 된다.
이 수평 진동용 판스프링(5)은, 수평 방향의 두께 치수가 수직 방향의 폭치수에 비교해서 꽤 작고, 수평 방향의 고유 진동수와 수직 방향의 고유 진동수가 크게 상이하며, 또한 수직 방향의 강성이 수평 방향의 강성보다 충분히 높은 것으로 되어 있다.
상기 제2 판스프링(6)은, 표리면이 수직 방향을 향하고 양끝의 고정 위치가 부품 반송 방향과 직교하는 동일 수평선상에 위치하도록, 일단부를 상부 진동체(2)의 본체부(2a)의 코너부에, 타단부를 중간 진동체(4)의 길이 방향 가장자리에 각각 고정하여, 상부 진동체(2)를 수직 방향으로 진동 가능하게 지지하는 수직 진동용 판스프링(수직 진동용 탄성 부재)으로 되어 있다.
상기 제1 가진 기구(7)는, 베이스(3) 상에 설치되는 교류 전자석(9)과, 이 전자석(9)과 정해진 간격을 두고 대향하도록 중간 진동체(4)에 부착되는 가동 철심(10)으로 구성되어 있다. 또, 가동 철심(10)은, 이 예에서는 중간 진동체(4)에 부착했지만, 상부 진동체(2)에 부착하도록 해도 좋다. 한편, 상기 제2 가진 기구(8)는, 베이스(3) 상에 설치되는 교류 전자석(11)과, 이 전자석(11)과 정해진 간격을 두고 대향하도록 상부 진동체(2)에 부착되는 가동 철심(12)으로 구성되어 있다.
제1 가진 기구(7)의 전자석(9)에 통전하면, 전자석(9)과 가동 철심(10) 사이에 단속적인 전자(電磁) 흡인력이 작용하고, 이 전자 흡인력과 수평 진동용 판스프링(5)의 복원력에 의해, 중간 진동체(4)에 수평 방향의 진동이 발생하고, 이 진동이 수직 진동용 판스프링(6)을 통해 상부 진동체(2) 및 트로프(1)에 전달된다. 또한, 제2 가진 기구(8)의 전자석(11)에 통전하면, 전자석(11)과 가동 철심(12) 사이에 단속적인 전자 흡인력이 작용하고, 이 전자 흡인력과 수직 진동용 판스프링(6)의 복원력에 의해, 상부 진동체(2) 및 트로프(1)에 수직 방향의 진동이 발생한다. 그리고, 이 수평 방향의 진동과 수직 방향의 진동에 의해, 트로프(1)에 공급된 부품이 직선형 반송로(1a)를 따라서 반송된다.
따라서, 각 가진 기구(7, 8)의 전자석(9, 11)에 대한 인가 전압을 따로따로 설정함으로써, 트로프(1)의 수평 방향의 진동과 수직 방향의 진동을 각각 조정할 수 있다.
도 4는 각 가진 기구(7, 8)의 전자석(9, 11)에 대한 인가 전압을 설정하는 회로를 나타낸다. 제1 가진 기구(7)의 회로에는, 인가 전압의 기준 파형을 발생시키는 기준 파형 발생 수단(13)이 설치되어 있다. 기준 파형 발생 수단(13)에서는, 파형의 종류(예컨대 정현파)와 그 파형의 주기(주파수)의 설정치에 따른 기준 파형을 발생시킨다. 한편, 제2 가진 기구(8)의 회로에는, 기준 파형 발생 수단(13)에서 발생한 기준 파형에 대하여 정해진 위상차를 갖는 파형을 발생시키는 위상차 조정 수단(14)이 설치되어 있다.
각 가진 기구(7, 8)의 회로에 있어서, 기준 파형 발생 수단(13) 또는 위상차 조정 수단(14)에서 발생한 파형을, 파형 진폭 조정 수단(15)으로 정해진 진폭으로 조정하고, PWM 신호 발생 수단(16)으로 PWM 신호로 변환한 후, 전압 증폭 수단(17)으로 승압하여, 각각의 전자석(9, 11)에 인가하도록 되어 있다. 이에 따라, 각 전자석(9, 11)에 대한 인가 전압의 파형, 주기, 위상차 및 진폭을 자유롭게 제어하여, 수평 방향의 진동과 수직 방향의 진동을 각각 조정할 수 있다. 또, PWM 방식으로 각 가진 기구를 구동시키지 않는 경우는, PWM 신호 발생 수단(16)은 불필요해진다.
도 5 및 도 6은 수직 진동용 판스프링(6)의 배치의 변형예를 나타낸다. 이 변형예에서는, 수직 진동용 판스프링(6)을, 부품 반송 방향(도면 중의 X방향)과 평행한 동일 수평선상의 2개소의 고정 위치에서, 상부 진동체(2)의 본체부(2a)와 중간 진동체(4)의 짧은 방향 가장자리에 고정하고 있다.
이 실시형태의 진동식 부품 반송 장치는 상기 구성이며, 제1 가진 기구(7)의 구동에 의해 중간 진동체(4)에 진동이 발생할 때, 부품 반송 방향과 직교하는 동일 수평선상의 2개소의 고정 위치에서 고정된 수평 진동용 판스프링(5)은 수평 방향으로만 변형하고 원래의 상태로 되돌아가는 동작을 반복한다(도 16 참조). 이에 따라, 중간 진동체(4)에 발생하는 진동은, 수직 방향의 진동을 거의 포함하지 않고, 거의 수평 방향만의 진동이 된다.
또한, 수평 진동용 판스프링(5)은, 수평 방향의 고유 진동수와 수직 방향의 고유 진동수가 크게 상이하기 때문에, 이것에 의해서도 수평 방향의 진동에 기인하는 수직 방향의 진동의 발생이 억제된다.
일반적으로, 복합 진동식의 부품 반송 장치에서 부품 반송 속도를 크게 하고자 할 때에는, 적은 전력으로 효율적으로 수평 방향의 진동의 진폭을 크게 하기 위해, 각 가진 기구를 트로프의 수평 방향의 고유 진동수 부근의 주파수로 구동시키는 경우가 많다. 이 때, 수평 진동용 판스프링의 수평 방향의 고유 진동수와 수직 방향의 고유 진동수가 동일하거나, 혹은 수 Hz 정도만 떨어져 있는 경우에는, 수평 방향의 진동에 의해 생기는 중간 진동체의 수직 방향의 진동이 무시할 수 없는 크기가 된다. 그러나, 이 실시형태의 부품 반송 장치에서는, 수평 진동용 판스프링(5)의 수평 방향의 고유 진동수와 수직 방향의 고유 진동수에 충분한 차가 있기 때문에, 수평 진동에 기인하는 중간 진동체(4)의 수직 방향의 진동을 작게 억제할 수 있다.
수평 진동용 판스프링은, 예컨대, 수평 방향의 두께 치수가 수직 방향의 폭치수보다 큰 형상으로 하더라도, 수평 방향의 고유 진동수와 수직 방향의 고유 진동수에 차를 둘 수 있지만, 후술하는 강성의 관점에서는, 이 실시형태와 같은 형상을 채택하는 것이 바람직하다.
이 실시형태에서는, 수평 진동용 판스프링(5)의 수평 방향 치수가 수직 방향 치수보다 꽤 작게 형성되고, 그 수직 방향의 강성이 수평 방향의 강성보다 충분히 높아졌기 때문에, 중간 진동체(4)의 수직 방향의 진동을 더욱 작게 할 수 있다.
2개의 수평 진동용 판스프링(5)의 고정 위치의 위치 관계가 부품 반송 방향에서 교체되도록 배치되어 있기 때문에, 수평면내에서 부품 반송 방향과 직교하는 방향(도 2, 3에서의 Y방향)의 진동도 억제할 수 있다.
트로프(1)가 부품 반송 방향으로 길게 형성되어 있더라도, 그 트로프(1)를 전체 길이에 걸쳐 상부 진동체(2)로 지지하여 트로프(1)의 수직 방향의 강성을 확보할 수 있도록 했기 때문에, 트로프(1)와 상부 진동체(2) 사이에 보강 부재를 별도로 설치할 필요가 없다. 이 때문에, 트로프(1)의 보강 부재를 설치한 것에 비교해서, 부품 반송부의 무게 중심과 지지점(수직 진동용 판스프링(6))의 수직 방향 거리가 짧아, 피칭 운동이 억제된다.
상부 진동체의 부품 반송 방향의 치수는, 반드시 베이스와 중간 진동체보다 크게 할 필요는 없고, 트로프의 수직 방향의 강성을 확보할 수 있도록, 베이스와 중간 진동체의 적어도 하나의 부품 반송 방향 치수 이상이면 된다.
전술한 실시형태에서는, 중간 진동체와 베이스를 연결하는 제1 판스프링을 수평 진동용 판스프링으로 하고, 상부 진동체와 중간 진동체를 연결하는 제2 판스프링을 수직 진동용 판스프링으로 했지만, 이것과는 반대로, 제1 판스프링이 수직 진동용 판스프링, 제2 판스프링이 수평 진동용 판스프링이 되도록 구성해도 좋다. 또한, 판스프링은 각 개소에 1장씩 배치했지만, 2장 이상 겹친 것을 하나로 하여 사용해도 좋다.
또한, 수평 진동용 판스프링은 2개소에 배치했지만, 3개소 이상으로 구성해도 좋고, 그 경우도 각각의 중간 진동체에 대한 고정 위치와 베이스에 대한 고정 위치의 위치 관계가 부품 반송 방향에서 교대로 교체되도록 배치하는 것이 좋다. 한편, 수직 진동용 판스프링은 4개소에 배치했지만, 2개소 이상으로 구성해도 좋다.
도 7 내지 도 9는 제2 실시형태를 나타낸다. 이 실시형태의 기본적인 구성은 제1 실시형태와 동일하기 때문에, 제1 실시형태와 동일한 부분에 관해서는 설명을 생략하고, 제1 실시형태와 상이한 점을 이하에 설명한다.
이 제2 실시형태의 베이스(3)는 그 폭방향의 일측(도 8의 하측, 도 9의 좌측)의 2개의 모서리에 판스프링 부착부(3a)가 세워져 설치되어 있고, 제1 실시형태의 추(19)는 설치되어 있지 않다. 또한, 중간 진동체(4)는 그 폭방향의 일측의 2개의 모서리가 외주측에서 베이스(3)의 판스프링 부착부(3a)의 상단부와 대향하고, 베이스(3)의 판스프링 부착부(3a)와 대향하지 않는 2개의 모서리로부터 부품 반송 방향(X방향)으로 돌출된 판스프링 부착부(4a)가 설치되어 있다.
수평 진동용 판스프링(5)은, 양끝의 고정 위치가 부품 반송 방향과 정해진 각도를 이루는 동일 수평선상에 위치하도록, 일단부를 베이스(3)의 판스프링 부착부(3a)에, 타단부를 중간 진동체(4)의 판스프링 부착부(4a)에 각각 고정하고 있다. 여기서, 각 수평 진동용 판스프링(5)의 양쪽 단부는, 부품 반송 방향에 평행하고 부품 반송부의 무게 중심을 포함하는 수직면을 사이에 두고 배치된 베이스(3)의 고정 위치와 중간 진동체(4)의 고정 위치에서 고정되게 된다. 그리고, 베이스(3)의 2개의 판스프링 부착부(3a)와 중간 진동체(4)의 2개의 판스프링 부착부(4a)는, 베이스(3)측의 고정 위치끼리의 간격이 중간 진동체(4)측의 고정 위치끼리의 간격보다 좁아지도록 설치되어 있기 때문에, 도 8에서 보면, 2개의 수평 진동용 판스프링(5)은, 평면에서 볼 때 역ハ자형이 되도록 배치된다.
이 제2 실시형태에서는, 제1 실시형태와 마찬가지로, 수평 진동용 판스프링(5)이 수평 방향으로만 변형하고 원래의 상태로 되돌아가는 동작을 반복하기 때문에, 중간 진동체(4)에 발생하는 진동은, 수직 방향의 진동을 거의 포함하지 않고, 거의 수평 방향만의 진동이 된다.
2개의 수평 진동용 판스프링(5)의 각각의 양쪽 단부는, 부품 반송 방향에 평행하고 부품 반송부의 무게 중심을 포함하는 수직면을 사이에 두고 배치된 베이스(3)의 고정 위치와 중간 진동체(4)의 고정 위치에서 고정되고, 제1 가진 기구(7)에 의한 가진력의 작용점은 수평 진동용 판스프링(5)의 2개소의 고정 위치의 중간에 배치되어 있고, 그 2개의 수평 진동용 판스프링(5)은, 베이스(3)측의 고정 위치끼리의 간격이 중간 진동체(4)측의 고정 위치끼리의 간격보다 좁아지도록 배치되어, 부품 반송 방향에 대하여 서로 상이한 각도를 이루는 방향으로의 안내 기능을 갖고 있기 때문에, 제1 가진 기구(7)에 의한 가진력의 작용점과 수평 진동용 판스프링(5)의 고정 위치(복원력의 작용점)의 어긋남(비대칭성)에 의해 발생하는 힘의 모멘트의 작용을, 이것과 반대 방향으로 발생하는 회전 방향 변위로 상쇄할 수 있어, 트로프(1)의 요잉 운동을 억제할 수 있다(도 15 참조).
도 10 및 도 11은 제3 실시형태를 나타낸다. 이 실시형태에서는, 제2 실시형태의 수평 진동용 판스프링(5) 대신에 수평 진동용 탄성 부재(20)로 중간 진동체(4)와 베이스(3)를 연결하고 있다. 이 수평 진동용 탄성 부재(20)는, 표리면이 부품 반송 방향(도면 중의 X방향)을 향한 2장의 판스프링(21)을 부품 반송 방향을 따라서 나열하고, 각 판스프링(21)의 고정 개소 사이에 스페이서(22)를 설치한 것으로, 제2 실시형태의 수평 진동용 판스프링(5)과 마찬가지로, 부품 반송 방향과 정해진 각도를 이루는 동일 수평선상의 2개소의 고정 위치에서 고정되고, 그 베이스(3)측의 고정 위치끼리의 간격이 중간 진동체(4)측의 고정 위치끼리의 간격보다 좁아지도록 배치되어 있다. 또한, 수직 진동용 판스프링(6)은, 도 5 및 도 6에 나타낸 예와 같이, 부품 반송 방향과 평행한 동일 수평선상의 2개소의 고정 위치에서, 상부 진동체(2)와 중간 진동체(4)의 짧은 방향 가장자리에 고정되어 있다. 그 밖의 부분의 구성은, 각 가진 기구(7, 8)의 전자석(9, 11)에 대한 인가 전압 설정 회로를 포함하여, 제2 실시형태와 동일하다.
이 제3 실시형태의 부품 반송 장치는, 수평 진동용 탄성 부재(20)의 비틀림 강성이 제2 실시형태의 수평 진동용 판스프링(5)보다 높기 때문에, 제1 가진 기구(7)의 설치시의 기울기 등에 의해 중간 진동체(4)에 모멘트가 작용하는 경우에도, 수평 진동용 탄성 부재(20)는 비틀어지지 않고, 거의 수평 방향으로만 변형된다(도 18 참조). 따라서, 제2 실시형태의 장치에서는, 수평 진동용 판스프링(5)의 비틀림이 발생할 우려가 있는(도 17 참조) 데 비해, 부품 반송에 적합한 원하는 진동을 실현하기 쉽다.
이 제3 실시형태에 관해서도, 도 7 내지 도 9에 나타낸 예와 같이, 수직 진동용 판스프링(6)을, 부품 반송 방향과 직교하는 동일 수평선상의 2개소의 고정 위치에서, 상부 진동체(2)와 중간 진동체(4)의 길이 방향 가장자리에 고정하도록 해도 좋다.
전술한 제2, 제3 실시형태에서는, 중간 진동체와 베이스를 연결하는 제1 판스프링을 수평 진동용 판스프링으로 하고, 상부 진동체와 중간 진동체를 연결하는 제2 판스프링을 수직 진동용 판스프링으로 했지만, 이것과는 반대로, 제1 판스프링이 수직 진동용 판스프링, 제2 판스프링이 수평 진동용 판스프링이 되도록 구성해도 좋으며, 그 경우는, 수평 진동용 판스프링의 상부 진동체측의 고정 위치끼리의 간격보다 중간 진동체측의 고정 위치끼리의 간격이 좁아지도록 배치하면 된다. 또한, 판스프링은 각 개소에 1장씩 배치했지만, 2장 이상 겹친 것을 하나로 하여 사용해도 좋다.
또한, 수평 진동용 판스프링은 2개소에 배치했지만, 3개소 이상으로 구성해도 좋다. 그 때에도, 수평 진동용 판스프링이 중간 진동체와 베이스를 연결하는 경우는, 중간 진동체측의 고정 위치끼리의 간격보다 베이스측의 고정 위치끼리의 간격이 좁아지도록 배치하고, 상부 진동체와 중간 진동체를 연결하는 경우는, 상부 진동체측의 고정 위치끼리의 간격보다 중간 진동체측의 고정 위치끼리의 간격이 좁아지도록 배치하면 된다. 한편, 수직 진동용 판스프링은 4개소에 배치했지만, 2개소 이상으로 구성해도 좋다.
또한, 제1 내지 제3 실시형태에서는, 수평 진동용 탄성 부재 및 수직 진동용 탄성 부재에 판스프링을 사용하고 있지만, 판스프링 이외의 탄성 부재도 물론 이용할 수 있다. 또한, 각 가진 기구는, 전자석과 가동 철심을 포함하는 것을 사용하고 있지만, 이것에 한정되지 않고, 동일한 가진력을 발생시킬 수 있는 액츄에이터이면 된다.
1 : 트로프(부품 반송 부재) 2 : 상부 진동체
2a : 본체부 2b : 연장부
3 : 베이스 4 : 중간 진동체
5 : 제1 판스프링(수평 진동용 판스프링)
6 : 제2 판스프링(수직 진동용 판스프링)
7 : 제1 가진 기구 8 : 제2 가진 기구
9, 11 : 전자석 10, 12 : 가동 철심
18 : 방진 고무(방진 부재) 19 : 추
20 : 수평 진동용 탄성 부재 21 : 판스프링
22 : 스페이서

Claims (15)

  1. 부품 반송로가 형성된 부품 반송 부재와, 상기 부품 반송 부재가 부착되는 상부 진동체와, 바닥 위에 설치되는 베이스와, 상기 상부 진동체와 베이스 사이에 설치되는 중간 진동체와, 상기 중간 진동체와 베이스를 연결하는 제1 탄성 부재와, 상기 상부 진동체와 중간 진동체를 연결하는 제2 탄성 부재를 구비하고, 상기 제1 탄성 부재와 제2 탄성 부재 중의 한쪽을 수평 진동용 탄성 부재, 다른쪽을 수직 진동용 탄성 부재로 하여, 상기 수평 진동용 탄성 부재와 제1 가진 기구로 부품 반송 부재에 수평 방향의 진동을 부여하고, 상기 수직 진동용 탄성 부재와 제2 가진 기구로 부품 반송 부재에 수직 방향의 진동을 부여하도록 한 진동식 부품 반송 장치에 있어서,
    상기 상부 진동체의 부품 반송 방향의 치수를 상기 베이스의 부품 반송 방향 치수 이상으로 한 것을 특징으로 하는 진동식 부품 반송 장치.
  2. 부품 반송로가 형성된 부품 반송 부재와, 상기 부품 반송 부재가 부착되는 상부 진동체와, 바닥 위에 설치되는 베이스와, 상기 상부 진동체와 베이스 사이에 설치되는 중간 진동체와, 상기 중간 진동체와 베이스를 연결하는 제1 탄성 부재와, 상기 상부 진동체와 중간 진동체를 연결하는 제2 탄성 부재를 구비하고, 상기 제1 탄성 부재와 제2 탄성 부재 중의 한쪽을 수평 진동용 탄성 부재, 다른쪽을 수직 진동용 탄성 부재로 하여, 상기 수평 진동용 탄성 부재와 제1 가진 기구로 부품 반송 부재에 수평 방향의 진동을 부여하고, 상기 수직 진동용 탄성 부재와 제2 가진 기구로 부품 반송 부재에 수직 방향의 진동을 부여하도록 한 진동식 부품 반송 장치에 있어서,
    상기 상부 진동체의 부품 반송 방향의 치수를 상기 중간 진동체의 부품 반송 방향 치수 이상으로 한 것을 특징으로 하는 진동식 부품 반송 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 수평 진동용 탄성 부재는 상기 중간 진동체에 대한 고정 위치와 상기 베이스 또는 상부 진동체에 대한 고정 위치가 부품 반송 방향과 직교하는 동일 수평선상에 위치하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 진동식 부품 반송 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 수평 진동용 탄성 부재는 부품 반송 방향으로 복수 설치되고, 각각의 상기 중간 진동체에 대한 고정 위치와 상기 베이스 또는 상부 진동체에 대한 고정 위치의 위치 관계가 부품 반송 방향에서 교대로 교체되도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 진동식 부품 반송 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 수평 진동용 탄성 부재는, 부품 반송 방향에 평행하고 상기 부품 반송 부재와 상부 진동체를 포함하는 부품 반송부의 무게 중심을 포함하는 수직면을 사이에 두고 배치된 상기 중간 진동체에 대한 고정 위치와 상기 베이스 또는 상부 진동체에 대한 고정 위치에 양쪽 단부가 고정되고, 또한 상기 제1 가진 기구에 의한 가진력의 작용점은 상기 2개소의 고정 위치의 중간에 배치되고, 상기 수평 진동용 탄성 부재는, 상기 제1 가진 기구에 의한 가진력의 작용점과 수평 진동용 탄성 부재의 고정 위치의 어긋남에 의해 발생하는 힘의 모멘트의 작용을 상쇄하는, 부품 반송 방향에 대하여 각각 상이한 각도를 이루는 방향으로의 안내 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 진동식 부품 반송 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 수평 진동용 탄성 부재는, 부품 반송 방향으로 복수 설치되고, 각각의 상기 중간 진동체에 대한 고정 위치와 상기 베이스 또는 상부 진동체에 대한 고정 위치가 부품 반송 방향과 정해진 각도를 이루는 동일 수평선상에 위치하고, 또한, 상기 중간 진동체와 베이스를 연결하는 경우는 중간 진동체측의 고정 위치끼리의 간격보다 베이스측의 고정 위치끼리의 간격이 좁아지도록 배치되고, 상기 상부 진동체와 중간 진동체를 연결하는 경우는 상부 진동체측의 고정 위치끼리의 간격보다 중간 진동체측의 고정 위치끼리의 간격이 좁아지도록 배치되는 것으로 한 것을 특징으로 하는 진동식 부품 반송 장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수직 진동용 탄성 부재의 양끝을, 부품 반송 방향과 직교하는 동일 수평선상의 2개소의 고정 위치에서 고정한 것을 특징으로 하는 진동식 부품 반송 장치.
  8. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수직 진동용 탄성 부재의 양끝을, 부품 반송 방향과 평행한 동일 수평선상의 2개소의 고정 위치에서 고정한 것을 특징으로 하는 진동식 부품 반송 장치.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수평 진동용 탄성 부재의 고유 진동수를, 수평 방향과 수직 방향에서 상이하게 한 것을 특징으로 하는 진동식 부품 반송 장치.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수평 진동용 탄성 부재의 수직 방향의 강성을 수평 방향의 강성보다 높게 한 것을 특징으로 하는 진동식 부품 반송 장치.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수평 진동용 탄성 부재로서, 표리면이 부품 반송 방향을 향한 판스프링을 이용한 것을 특징으로 하는 진동식 부품 반송 장치.
  12. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수평 진동용 탄성 부재로서, 표리면이 부품 반송 방향을 향한 판스프링을 부품 반송 방향을 따라서 복수 나열하고, 각 판스프링의 고정 개소 사이에 스페이서를 설치한 것을 이용한 것을 특징으로 하는 진동식 부품 반송 장치.
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수직 진동용 탄성 부재로서, 표리면이 수직 방향을 향한 판스프링을 이용한 것을 특징으로 하는 진동식 부품 반송 장치.
  14. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 각 가진 기구를 전자석과 가동 철심으로 구성하고, 그 중의 한쪽의 전자석에 대한 인가 전압 설정 회로에, 인가 전압의 기준 파형을 발생시키는 기준 파형 발생 수단과, 상기 기준 파형에 대하여 진폭을 조정하는 파형 진폭 조정 수단을 설치하고, 다른쪽의 전자석에 대한 인가 전압 설정 회로에는, 상기 기준 파형에 대하여 정해진 위상차를 갖는 파형을 발생시키는 위상차 조정 수단과, 위상차 조정 수단에 의해 발생한 파형에 대하여 진폭을 조정하는 파형 진폭 조정 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 진동식 부품 반송 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 각 가진 기구의 전자석에 대한 인가 전압 설정 회로에, 각각의 상기 파형 진폭 조정 수단에 의해 진폭이 조정된 파형을 PWM 신호로 변환하는 PWM 신호 발생 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 진동식 부품 반송 장치.
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