KR20120105149A - 평판패널 기판의 자동광학검사 방법 및 그 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 평판패널 기판의 자동광학검사 방법은, 상기 기판의 일부 영역을 촬영하고, 각각이 촬영한 영상 내에 주기적으로 반복하여 존재하는 셀 레이아웃 패턴인 단위 영상들에 기초하여 기준 영상을 생성하는 단계, 각 단위 영상들을 상기 기준 영상과 비교하여 결함의 존부를 판정하고 기판에 결함이 존재할 경우 결함의 위치 정보를 획득하는 단계 및 획득한 결함의 위치정보를 출력하는 단계를 포함한다.

Description

평판패널 기판의 자동광학검사 방법 및 그 장치{method and apparatus for automatic optical inspection of flat panel substrate}
본 발명은 평판 패널의 제조 기술에 관련된 것으로, 더욱 상세히 설명하면, 평판패널 기판의 자동광학검사 방법 및 그 장치에 관한 것이다.
평판 패널은 복수의 화소를 포함하고 각 화소에서 빛을 세기를 조절하여 영상을 표현하는 것으로, 액정 표시장치(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이(Plasma Display Panel), 유기발광표시장치(Organic Light Emitting Display) 등을 예로 들을 수 있다.
평판 패널은 하나의 기판 상에 복수의 화소를 형성하고 그 상부를 다른 기판으로 봉지함으로써 형성된다. 특히, 평판 패널 중 액정표시장치 또는 유기발광표시장치는 기판에 복수의 화소를 형성할 때 기판 상에 박막을 증착, 에칭, 세정하는 공정을 반복함으로써 복수의 화소회로가 기판 상에 형성된다. 상기의 증착, 에칭, 세정하는 공정을 진행하는 과정에서 박막으로 형성된 화소회로 등을 형성하는 배선이 쇼트 또는 개방되는 결함이 있게 된다. 하지만, 결함이 있는 기판을 폐기하게 되면 수율이 낮아져 제조원가가 비싸지는 문제점이 있어 평판 패널 기판의 배선을 수리한다. 이때, 평판 패널 기판을 수리하기 위해 결함의 존재 여부와 위치는 검사자가 육안 검사를 통해 파악하는 것이 일반적이다.
하지만, 검사자가 육안으로 검사하면 검사자의 컨디션에 따라 검사 시간이 결정되며 검사자 별로 검사기준이 다르기 때문에 평판 패널의 품질이 균일하게 유지되지 못하는 문제점이 있다. 또한, 육안 검사는 검사 시간이 오래 걸리는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 평판 패널 기판의 결함을 자동으로 파악하는 평판패널 기판의 자동광학검사 방법 및 그 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 제1측면은, 평판패널 기판의 자동광학검사 방법에 있어서, 방법은: 기판의 일부 영역을 촬영하고, 각각 촬영한 영상 내에 주기적으로 반복하여 존재하는 셀 레이아웃 패턴에 대응하는 단위 영상들에 기초하여 기준 영상을 생성하는 단계, 각 단위 영상들을 상기 기준 영상과 비교하여 결함의 존부를 판정하고 기판에 결함이 존재할 경우 결함의 위치 정보를 획득하는 단계 및 획득한 결함의 위치정보를 출력하는 단계를 포함하는 평판패널 기판의 자동광학검사방법을 제공하는 것이다.
부가적으로, 상기 기준 영상을 생성하는 단계는: 단위 영상의 일 지점의 화소값과 그 단위 영상과 인접한 다른 단위 영상들의 지점의 상기 일 지점에 대응하는 화소값들로부터 기준영상의 대응하는 지점의 화소값을 구하여 기준 영상을 생성하는 평판패널 기판의 자동광학검사방법을 제공하는 것이다.
부가적으로, 상기 기준 영상을 생성하는 단계에서 결함의 존재 여부를 판단는 기준 영상은 M x N의 크기를 갖고 일 지점의 화소값 J(i,j)은, J(i,j)=MED{I(i,j), I(i,j-N), I(i,j+N), I(i-M,j), I(i+M,j)}에 의해 결정되는 평판패널 기판의 자동광학검사 방법을 제공하는 것이다.
부가적으로, 영상의 모서리에 위치하는 단위 영상과 비교되는 기준영상의 각 지점의 화소값은 인접한 단위 영상에서 누락된 단위 영상의 화소값을 제외하고 산출하는 평판패널 기판의 자동광학검사 방법을 제공하는 것이다.
부가적으로, 기준 영상은 단위 영상과 동일한 크기의 영상인 평판패널 기판의 자동광학검사 방법을 제공하는 것이다.
부가적으로, 상기 단위 영상을 획득하는 단계에서 상기 카메라가 촬영하는 기판의 영역은 외부에서 입력된 결함의 개략적인 위치정보에 기초하여 결정되는 평판패널 기판의 자동광학검사 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 제2측면은, 상기 평판패널 기판의 자동광학검사 방법이 구현된 프로그램이 기록된 컴퓨터에 의해 판독 가능한 기록매체를 제공하는 것이다.
본 발명의 제3측면은, 평판패널 기판의 자동광학검사장치에 있어서, 상기 장치는: 메모리, 상기의 기판의 일부 영역을 촬영한 영상을 획득하는 영상획득부, 상기 각각의 영상들 내에 주기적으로 반복하여 존재하는 셀 레이아웃 패턴인 단위 영상들을 기초로 기준영상을 생성하고 메모리에 저장하는 기준영상생성부, 기준 영상과 단위영상들을 비교하여 기판의 결함이 존재하면 기판의 결함의 위치 정보를 획득하여 메모리에 저장하는 결함 판정부 및 결함 판정부에서 획득한 기판의 결함의 위치정보를 외부로 출력하는 출력부를 포함하는 평판패널 기판의 자동광학검사장치를 제공하는 것이다.
부가적으로, 기준영상생성부는 하나의 단위영상의 일 지점의 화소값과 그 단위 영상과 인접한 다른 단위 영상들의 상기 일 지점에 대응하는 지점의 화소값들로부터 기준영상의 대응하는 지점의 화소값을 구하여 기준영상을 생성하는 평판패널 기판의 자동광학검사장치를 제공하는 것이다.
부가적으로, 상기 영상획득부는: 외부로부터 결함의 개략적인 위치정보를 입력받는 입력부, 영상을 촬영하여 상기 메모리에 저장하는 카메라모듈 및 입력부에서 입력된 결함의 개략적인 위치정보에 기초하여 상기 카메라모듈을 해당 위치로 이송하는 카메라 이송부를 더 포함하는 평판패널 기판의 자동광학검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 평판패널의 자동광학검사 방법 및 그 장치에 의하면, 자동으로 기판 상에 위치하는 결함을 감지하고 그 위치를 파악할 수 있다. 따라서, 육안으로 기판의 결함을 판단하지 않게 되어 기판의 검사를 빠르게 진행할 수 있으며, 기판을 이용하여 제조한 평판 패널의 품질이 균일하게 유지될 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 평판 패널 기판의 자동광학검사장치의 일실시예를 나타내는 구조도이다.
도 2는 도 1에 도시된 영상획득부의 일실시예를 나타내는 구조도이다.
도 3은 본 발명에 따른 평판 패널 기판의 자동광학검사장치를 이용하여 평판 패널 기판의 결함을 검출하는 방법의 일실시예를 나타내는 순서도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 평판 패널 기판의 자동광학검사장치를 이용하여 평판 패널 기판의 결함을 검출하는 방법의 다른 일실시예를 나타내는 순서도이다.
도 5는 도 1에 도시된 기준영상 생성부에서 기준 영상을 선정하는 방법의 일실시예를 나타내는 개념도이다.
이하에서는 본 발명을 이러한 실시예들을 통해 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 평판 패널 기판의 자동광학검사장치의 일실시예를 나타내는 구조도이다. 도 1을 참조하면, 평판 패널 기판의 자동광학검사장치는 메모리(110), 영상획득부(120), 기준영상생성부(130), 결함 판정부(140) 및 출력부(150)를 포함한다.
메모리(110)는 하나의 평판 패널의 기판을 촬영하여 획득한 영상을 저장하며, 평판 패널의 기판을 촬영한 영상을 분석하여 획득하는 단위 영상들과 단위 영상들을 기초로 기준영상을 생성하고 저장한다. 또한, 메모리(110)는 영상획득부(120)의 위치정보를 저장하고 위치정보를 결함판정부(140)에 제공함으로써, 단위영상들에 영상획득부(120)의 위치정보를 맵핑할 수 있다.
영상획득부(120)는 평판 패널 기판의 일부 영역을 촬영하여 기판을 촬영한 영상을 획득하고 메모리(110)에 저장한다. 또한, 영상획득부(120)는 평판 패널 기판 상에서 이동하며 촬영을 하는데, 촬영지점에 대한 위치 정보를 메모리(110)에 저장한다. 영상획득부(120)는 CCD(Charge-Coupled Device) 카메라와 같은 고해상도의 카메라를 예로 들을 수 있다.
기준영상 생성부(130)는 메모리(110)에 저장된 촬영된 영상 내에서 표시되는 기판 상에 형성된 레이아웃을 분석하여 단위 영상을 생성한다. 기판의 레이아웃은 박막을 패터닝 하는 과정에서 주기적으로 반복되는 패턴이 형성되며, 이러한 레이아웃을 분석하고 반복되는 패턴 하나를 하나의 단위 영상으로 설정한다. 이때, 영상획득부(120)에서 획득한 하나의 영상에 복수의 단위 영상이 설정된다. 기준영상생성부(130)는 반복되는 패턴의 주기값을 기초로 단위 영상을 인식하는데, 가로/세로방향의 주기값은 조작자가 입력할 수도 있고 자동으로 인식할 수도 있다. 또한, 단위영상의 크기는 패턴의 한 주기에 포함된 영상의 화소의 개수로 표현되는데 카메라가 촬영한 영상이므로 이 주기 값은 반드시 정수값이라고 할 수 없으며 127.5와 같은 소수점을 갖는 수도 가능하다.
또한, 기준영상 생성부(130)는 단위 영상과 비교하여 기판의 결함을 파악하게 하데 사용되는 기준영상을 생성하고 생성된 기준영상을 메모리(110)에 저장한다. 기준 영상은 단위 영상들을 구성하는 화소들에 각각 대응하는 각 지점에 대한 화소값을 기초로하여 생성되는데, 기준영상생성부(130)는 하나의 단위영상과 그 단위영상에 이웃하는 단위 영상들을 선정하고 각 단위 영상들로부터 각 단위 영상들의 각 지점에 대응되는 위치의 화소값들을 읽어들인다. 그리고, 이들 화소값 중에서 중간값을 선정하고 선정된 중간값은 단위 영상의 일 지점에 대응되는 기준영상의 일 지점의 화소값으로 선정한다. 즉, 기준영상의 화소값은 복수의 단위 영상들의 화소값의 중간값으로 선정된다.
결함판정부(140)는 영상획득부(120)에서 평판 패널 기판을 촬영하여 획득한 단위 영상들을 기준영상생성부(130)에서 생성된 기준 영상과 순차적으로 비교하여 기판의 결함의 존재 여부를 파악한다. 또한, 결함판정부(140)는 단위영상에 맵핑된 영상획득부(120)의 위치정보를 이용하여 평판 패널 상에 결함이 존재하는 위치 정보를 획득하고 메모리(110)에 저장한다. 이때, 기준영상이 단위 영상과 동일한 크기를 가지므로 단순한 화소값을 비교하여 결함의 위치를 파악하는 것이 가능하다.
출력부(150)는 결함 판정부(140)에서 획득한 평판 패널 기판의 결함의 위치정보를 외부로 출력하여 평판 패널의 결함이 존재하는 위치에 대한 정보를 인식할 수 있도록 한다.
도 2는 도 1에 도시된 영상획득부의 일실시예를 나타내는 구조도이다.
도 2를 참조하면, 영상획득부(120)는 입력부(121), 카메라 이송부(122) 및 카메라 모듈(123)을 포함한다.
입력부(121)는 외부로부터 기판 결함의 개략적인 위치정보를 입력받는다.
카메라 이송부(122)는 입력부(121)에서 입력받은 기판 결함의 개략적인 위치로 카메라 모듈(123)이 이동할 수 있도록 한다. 예를 들어, 카메라 이송부(122)는 X-Y 축 상에서 카메라 모듈(123)을 X 축 또는 Y 축 방향으로 이동하는 X-Y 축 로봇일 수도 있다. 카메라 이송부(122)는 카메라 모듈(123)이 기판 상의 평면 위에서 가로 세로 방향으로 이동될 수 있도록 하여 카메라 모듈(123)이 기판의 전 영역을 촬영할 수 있도록 한다. 그리고, 카메라 이송부(122)는 기판 상에 카메라 모듈(130)이 위치하는 위치정보를 메모리(110)로 전송하여 카메라 모듈(123)의 위치정보와 단위 영상이 맵핑될 수 있도록 한다.
카메라 모듈(123)은 기판을 촬영하여 기판에 대한 고해상도의 영상을 획득할 수 있도록 한다. 그리고, 카메라 모듈(123)은 획득한 영상을 메모리(110)에 저장할 수 있도록 한다.
도 3은 본 발명에 따른 평판 패널 기판의 자동광학검사장치를 이용하여 평판 패널 기판의 결함을 검출하는 방법의 일실시예를 나타내는 순서도이다.
도 3을 참조하면, 평판 패널의 기판 상에 박막을 증착, 에칭 및 세정하는 패터닝 공정 등을 수행한 후 영상획득부(120)를 이용하여 기판을 촬영한 영상을 획득한다.(200) 이때, 기판의 크기에 따라 기판을 복수의 영역으로 구분한 후 하나 또는 복수의 영상획득부(120)가 각 영역을 이동하면서 기판을 촬영한 영상을 획득한다. 박막은 실리콘층, 금속층, 절연층 등으로 형성될 수 있다.
그리고, 기판을 촬영한 영상을 분석함으로써, 촬영된 영상에 표시되는 기판에 형성된 박막 대한 레이아웃을 분석하고 기판 상에 반복되는 패턴을 파악한다. 그리고, 하나의 패턴에 대응되는 단위 영상을 생성하여 촬영된 영상에 복수의 단위 영상이 포함되도록 한다.(210) 기판에 반복되는 패턴은 화소회로를 예로 들을 수 있으며, 하나의 단위 영상에 하나의 화소회로가 대응될 수 있고 적색, 녹색 청색의 부화소로 이루어진 화소회로가 대응될 수도 있다.
다음으로, 복수의 단위 영상들을 분석하여 기준영상을 생성한다. (220) 보다 구체적으로 설명하면, 각각의 단위 영상들간에 대응되는 지점에 대한 화소값을 측정하고 측정된 화소값들의 중간값을 기준영상의 화소값으로 설정하여 기준영상을 생성한다.
기준영상이 생성되면 하나의 단위 영상의 일 지점에 대한 화소값과 기준 영상의 대응되는 지점에 대한 화소값을 비교한다. 비교결과 기준치 이상의 차이가 있는 지점들이 일정 영역 안에 일정 수 이상 존재하면, 그 단위 영상과 대응되는 기판 영역에 결함이 존재하는 것으로 판단한다.(230)
그리고, 단위 영상에 맵핑된 영상획득부(120)의 위치정보를 이용하여 기판 상에 존재하는 결함의 위치를 확정하고 결함이 위치하는 영역의 위치정보를 외부로 출력한다.(240)
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 평판 패널의 자동광학검사장치를 이용하여 평판 패널의 결함을 검출하는 방법의 다른 일실시예를 나타내는 순서도이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 평판 패널의 기판 상에 박막을 증착, 에칭 및 세정을 하여 패터닝하는 공정을 수행한 후 영상획득부(120)를 이용하여 기판을 촬영한 영상을 획득한다.(300) 이때, 기판의 크기에 따라 기판 전체를 촬영하거나 기판을 복수의 영역으로 구분한 후 하나 또는 복수의 영상획득부(120)가 각 영역을 이동하면서 촬영하여 기판에 대한 영상을 획득한다.
그리고, 영상을 분석하고 기판 상에 결함이 존재하는지의 여부를 개략적으로 판단한다.(310) 이때, 개략적으로 판단하는 방법은 영상을 관찰하여 영상에 휘도가 특별히 높거나 낮은 부분이 존재하는 지의 여부를 판단하는 것을 예로 들을 수 있다. 그리고, 기판 상에 기판의 결함이 존재하는 것으로 판단되면, 기판의 결함이 위치하는 것으로 판단된 영역을 영상획득부(120)를 이용하여 촬영함으로써 기판을 촬영한 영상을 획득한다.(320) 이때, 결함이 존재하는 위치는 영상획득부(120)의 위치정보를 통해 파악하는 것이 가능하다.
그리고, 기판을 촬영한 영상을 분석함으로써, 촬영된 영상에 표시되는 기판에 형성된 박막 대한 레이아웃을 분석하고 기판 상에 반복되는 패턴을 파악한다. 그리고, 하나의 패턴에 대응되는 단위 영상을 생성하여 촬영된 영상에 복수의 단위 영상이 포함되도록 한다.(330) 기판에 반복되는 패턴은 화소회로를 예로 들을 수 있으며, 하나의 단위 영상에 하나의 화소회로를 갖는 화소가 대응될 수 있고 적색, 녹색 청색의 부화소의 화소회로를 갖는 화소가 대응될 수도 있다.
다음으로, 복수의 단위 영상을 분석하여 복수의 단위 영상들의 화소값을 측정하고 측정된 화소값들의 중간값을 기준영상의 화소값으로 설정하여 기준영상을 생성한다.(340)
기준영상이 생성되면 하나의 단위 영상과 기준단위 영상의 대응되는 지점의 화소값을 비교한다. 비교결과 기준치 이상의 차이가 있는 화소들이 일정 영역안에 일정 개수 이상 존재하면 그 단위 영상과 대응되는 기판 영역에 결함이 존재하는 것으로 판단한다.(350)
그리고, 단위 영상에 맵핑된 영상획득부(120)의 위치정보를 이용하여 기판 상에 존재하는 결함의 위치를 확정하고 결함이 존재하는 영역의 위치정보를 외부로 출력한다.(360)
도 5는 도 1에 도시된 기준영상 생성부에서 기준 영상을 선정하는 방법의 일실시예를 나타내는 개념도이다. 영상획득부(120)에서 촬영된 영상에는 기판의 레이아웃의 패턴을 분석하여 영상에 4 x 4 개의 단위 영상이 포함된 것으로 가정한다.
도 5를 참조하면, 기준영상은 4 x 4 개의 단위 영상 중 제1단위 영상(M,N)의 기판의 결함 존재 여부를 판단하는 제1단위 영상(410)을 선정하고 제1단위 영상(410)과 제1단위 영상(410)에 인접한 단위 영상을 이용하여 선정한다. 여기서, 각 단위 영상들의 해상도는 M x N 으로 가정한다. 또한, 제1단위 영상(410)에 인접한 단위 영상들은 제1단위 영상(410)의 상측에 위치하는 단위 영상(410a), 하측에 위치하는 단위 영상(410b), 좌측에 위치하는 단위 영상(410c), 우측에 존재하는 단위 영상(410d)으로 선정할 수 있다. 그리고, 각 단위 영상들의 해상도가 M x N 이면 각 단위 영상들의 일 지점의 수는 M x N 개가 된다.
그리고, 제1단위 영상(410)의 일 지점의 좌표를 (i,j)로 가정을 하면, 제1단위 영상(M,N)의 일 지점의 좌표에 대응되는 이웃한 단위 영상들(410a,410b,410c,410d)의 일 지점들은 각각 (i-M,j), (i+M,j), (i,j-N), (i,j+N)으로 설정할 수 있다. 그리고, 제1단위 영상(410)의 일 지점의 화소값과 이웃한 단위 영상들(410a,410b,410c,410d)의 일 지점들의 화소값을 측정하고 측정된 화소값들 중 중간값을 선택하여 기준영상의 일 지점의 화소값으로 설정하도록 한다. 그리고, 제1단위 영상(410)의 모든 지점에 대응되는 화소값의 중간값을 파악할 수 있도록 반복한다. 이때, 기준 영상의 해상도를 단위 영상의 해상도와 동일하게 설정하면 기준영상의 모든 지점의 화소값이 중간값을 단위 영상들의 화소값의 중간값들을 이용하여 설정될 수 있다. 따라서, 기준영상의 모든 지점의 화소값 설정은 하기의 수학식 1과 같이 표현될 수 있다.
Figure pat00001
여기서, J(i,j)는 기준영상의 화소값, MED{}는 복수의 인수 중 중간값을 출력하는 함수, I는 단위 영상의 화소값, i,j는 단위 영상 내의 일 지점의 좌표, M은 단위 영상의 가로방향 해상도, N은 단위 영상의 세로방향 해상도를 의미한다.
기준 영상을 생성할 때, 단위 영상들의 각 지점의 화소값의 중간값을 이용하는 이유는, 일반적으로 기판 상에 결함의 수는 매우 적어 하나의 단위 영상과 그 단위 영상에 이웃하는 단위 영상의 일 지점에 결함이 존재할 확률이 매우 적다. 또한, 기판의 결함은 박막으로 인해 생성된 배선이 공정 중 쇼트 또는 오픈되어 발생된다. 따라서, 영상의 결함이 촬영된 영상에는 불필요한 배선이 촬영되어 있거나 필요한 배선이 촬영되어 있지 않기 때문에 단위 영상에서 결함이 존재하는 지점은 정상적인 지점과 다른 화소값을 갖게 된다. 따라서, 기준 영상을 생성할 때 화소값을 중간값으로 선정하게 되면 결함이 촬영된 영상의 화소값이 제거될 수 있다.
그리고, 단위 영상의 모서리 부분에 존재하는 제2 단위 영상(420)의 경우 상측에 위치하는 단위 영상(420a)과 우측에 위치하는 단위 영상(420b)만이 인접한 단위 영상으로 설정될 수 있다. 따라서, 기준영상의 생성은 기준영상의 각 지점의 화소값을 인접한 단위 영상에서 누락된 단위 영상의 화소값을 제외하고 산출한다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주지하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
110: 메모리 120: 영상획득부
130: 기준영상생성부 140: 결함판정부
150: 출력부

Claims (11)

  1. 평판패널 기판의 자동광학검사 방법에 있어서, 상기 방법은:
    상기 기판의 일부 영역을 촬영하고, 각각 촬영한 영상 내에 주기적으로 반복하여 존재하는 셀 레이아웃 패턴에 대응하는 단위 영상들에 기초하여 기준 영상을 생성하는 단계;
    각 단위 영상들을 상기 기준 영상과 비교하여 결함의 존부를 판정하고 기판에 결함이 존재할 경우 결함의 위치 정보를 획득하는 단계; 및
    획득한 결함의 위치정보를 출력하는 단계를 포함하는 평판패널 기판의 자동광학검사방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기준 영상을 생성하는 단계는:
    단위 영상의 일 지점의 화소값과 그 단위 영상과 인접한 다른 단위 영상들의 지점의 상기 일 지점에 대응하는 화소값들로부터 기준영상의 대응하는 지점의 화소값을 구하여 기준 영상을 생성하는 평판패널 기판의 자동광학검사방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 기준 영상을 생성하는 단계에서 결함의 존재 여부를 판단는 기준 영상은 M x N의 크기를 갖고 일 지점의 화소값 J(i,j)은,
    J(i,j)=MED{I(i,j), I(i,j-N), I(i,j+N), I(i-M,j), I(i+M,j)}
    (MED{}는 복수의 인수 중 중간값을 출력하는 함수, I는 단위영상의 화소값, i,j는 단위 영상 내의 일 지점의 좌표를 의미한다.)
    에 의해 결정되는 평판패널 기판의 자동광학검사 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 영상의 모서리에 위치하는 단위 영상과 비교되는 기준영상의 각 지점의 화소값은 인접한 단위 영상에서 누락된 단위 영상의 화소값을 제외하고 산출하는 평판패널 기판의 자동광학검사 방법.
  5. 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 기준 영상은 단위 영상과 동일한 크기의 영상인 평판패널 기판의 자동광학검사 방법.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 단위 영상을 획득하는 단계에서 상기 카메라가 촬영하는 기판의 영역은 외부에서 입력된 결함의 개략적인 위치정보에 기초하여 결정되는 평판패널 기판의 자동광학검사 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 평판패널 기판의 자동광학검사 방법이 구현된 프로그램이 기록된 컴퓨터에 의해 판독 가능한 기록매체.
  8. 제7항에 있어서, 상기 평판패널 기판의 자동광학검사 방법이 구현된 프로그램이 기록된 컴퓨터에 의해 판독 가능한 기록매체.
  9. 평판패널 기판의 자동광학검사장치에 있어서, 상기 장치는:
    메모리;
    상기의 기판의 일부 영역을 촬영한 영상을 획득하는 영상획득부;
    상기 각각의 영상들 내에 주기적으로 반복하여 존재하는 셀 레이아웃 패턴인 단위 영상들을 기초로 기준영상을 생성하고 메모리에 저장하는 기준영상생성부;
    상기 기준 영상과 단위영상들을 비교하여 상기 기판의 결함이 존재하면 상기 기판의 결함의 위치 정보를 획득하여 메모리에 저장하는 결함 판정부; 및
    상기 결함 판정부에서 획득한 상기 기판의 결함의 위치정보를 외부로 출력하는 출력부를 포함하는 평판패널 기판의 자동광학검사장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 기준영상생성부는 하나의 단위영상의 일 지점의 화소값과 그 단위 영상과 인접한 다른 단위 영상들의 상기 일 지점에 대응하는 지점의 화소값들로부터 기준영상의 대응하는 지점의 화소값을 구하여 기준영상을 생성하는 평판패널 기판의 자동광학검사장치.
  11. 제9항에 있어서, 상기 영상획득부는:
    외부로부터 결함의 개략적인 위치정보를 입력받는 입력부;
    영상을 촬영하여 상기 메모리에 저장하는 카메라모듈; 및
    상기 입력부에서 입력된 결함의 개략적인 위치정보에 기초하여 상기 카메라모듈을 해당 위치로 이송하는 카메라 이송부를 더 포함하는 평판패널 기판의 자동광학검사장치.
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