JP4428112B2 - 外観検査方法及び外観検査装置 - Google Patents
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Description
このとき、母画像は、位置をずらして撮像した複数の画像を繋ぎ合わせた合成画像と、この合成画像と同じ繰り返しパターンを有する他の場所で撮影した画像との差異を基に検査を行い、予め欠陥がないことが確認された画像のみを用いて作成されることが好適である。
また、複数の母画像から各母画像を構成する単位画像の特徴的な部分を特徴画像として抽出し、被検査画像と各特徴画像とを比較し、被検査画像が備える特徴画像を判別し、それぞれの特徴画像より構成された複数の母画像から使用する母画像を選択し、選択された母画像の所定の場所を含む領域を子画像として抽出することが好適である。
Claims (4)
- 被検査画像と参照画像の差異を基に被検査物の検査を行う外観検査方法であって、
予め前記被検査画像の最小繰り返しパターンを全て網羅した母画像を生成し、
前記被検査画像が前記母画像のどの場所であるかを検索し、
検索された前記母画像の所定の場所を含む領域を子画像として抽出し、
前記子画像を前記被検査画像に対する前記参照画像として前記被検査画像との差異を検出し、
前記母画像は、位置をずらして撮像した複数の画像を繋ぎ合わせた合成画像と、前記合成画像と同じ繰り返しパターンを有する他の場所で撮影した画像との差異を基に検査を行い、予め欠陥がないことが確認された画像のみを用いて作成される
外観検査方法。 - 被検査画像と参照画像の差異を基に被検査物の検査を行う外観検査方法であって、
予め前記被検査画像の最小繰り返しパターンを全て網羅した複数の母画像を生成し、
前記複数の母画像から各母画像を構成する単位画像の特徴的な部分を特徴画像として抽出し、
前記被検査画像と各特徴画像とを比較し、
前記被検査画像が備える特徴画像を判別し、
それぞれの前記特徴画像より構成された複数の母画像から検査に使用する母画像を選択し、
前記被検査画像が選択された母画像のどの場所であるかを検索し、
選択された母画像の所定の場所を含む領域を子画像として抽出し、
前記子画像を前記被検査画像に対する前記参照画像として前記被検査画像との差異を検出する
外観検査方法。 - 被検査画像と参照画像の差異を基に被検査物の検査を行う外観検査装置であって、
予め前記被検査画像の最小繰り返しパターンを全て網羅した母画像を記憶する母画像記憶手段と、
前記被検査画像が前記母画像記憶手段に記憶された母画像のどの場所であるかを検索する検索手段と、
検索された前記母画像の所定の場所を含む領域を子画像として抽出する画像抽出手段と、
前記子画像を前記参照画像として記憶する参照画像記憶手段と、
前記参照画像記憶手段に記憶された前記参照画像と前記被検査画像との差異を検出する画像相違点検出手段と、を備え、
前記母画像は、位置をずらして撮像した複数の画像を繋ぎ合わせた合成画像と、前記合成画像と同じ繰り返しパターンを有する他の場所で撮影した画像との差異を基に検査を行い、予め欠陥がないことが確認された画像のみを用いて作成される
外観検査装置。 - 被検査画像と参照画像の差異を基に被検査物の検査を行う外観検査装置であって、
予め前記被検査画像の最小繰り返しパターンを全て網羅した母画像を記憶する複数の母画像記憶手段と、
前記被検査画像が前記母画像記憶手段に記憶された母画像のどの場所であるかを検索する検索手段と、
検索された前記母画像の所定の場所を含む領域を子画像として抽出する画像抽出手段と、
前記子画像を前記参照画像として記憶する参照画像記憶手段と、
前記参照画像記憶手段に記憶された前記参照画像と前記被検査画像との差異を検出する画像相違点検出手段と、
前記複数の母画像記憶手段に記憶された各母画像を構成する単位画像の特徴的な部分を抽出した特徴画像を記憶する特徴画像記憶手段と、
前記被検査画像と前記特徴画像記憶手段に記憶された各特徴画像とを比較し、前記被検査画像に含まれる特徴画像を判別する判別手段と、
前記判別手段の判別結果に基づき前記複数の母画像から検査に使用する母画像を選択し、前記検索手段に出力する画像選択手段と、を備える
外観検査装置。
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