JP2014022662A - ウエハ外観検査装置及びウエハ外観検査装置における感度しきい値設定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ディスプレイに表示された画像領域のうち、しきい値を設定する領域を大まかに指定すると、自動的に領域が確定される。確定された領域と、パターンが類似する領域が検索され表示される。類似する領域が選択されると、初期感度しきい値が表示され、変更が必要な場合は変更が行われる。決定されたしきい値に対応する表示色により設定した感度しきい値の領域が表示される。設定されたしきい値に従って、検査が実行される。
【選択図】図3
Description
Claims (9)
- ウエハに光を照射する光照射部と、
上記ウエハから反射した光を検出する検出部と、
上記検出部により検出された光を画像に変換する画像処理部と、
画像表示部と、
操作指令を入力する操作部と、
上記操作部から指令された画像領域を決定し、上記ウエハの他の画像領域のうち、上記決定した画像領域と表面形状パターンが類似する画像領域を検索して上記画像表示部に表示し、上記操作部からの指令に従って選択した画像領域の感度しきい値を設定する動作制御部と、
上記動作制御部により設定された感度しきい値に基づいて、上記ウエハの外観検査を行う検査部と、
を備えることを特徴とするウエハ外観検査装置。 - 請求項1に記載のウエハ外観検査装置において、
上記動作制御部は、上記表面形状パターンが類似する画像領域の領域番号及び座標を類似度が高い順に配列して、上記画像表示部に表示することを特徴とするウエハ外観検査装置。 - 請求項2に記載のウエハ外観検査装置において、
上記動作制御部は、上記表面形状パターンが類似する画像領域を他の画像領域と区別するため、ハイライト表示して上記画像表示部に表示することを特徴とするウエハ外観検査装置。 - 請求項1に記載のウエハ外観検査装置において、
上記動作制御部は、設定された感度しきい値毎に定められた表示色で、画像領域を上記画像表示部に表示することを特徴とするウエハ外観検査装置。 - 請求項1に記載のウエハ外観検査装置において、
上記動作制御部により設定された画像領域毎の感度しきい値を格納するメモリを備え、
上記動作制御部は、上記操作部から指令された画像領域を決定するエリア設定部と、上記決定した画像領域と表面形状パターンが類似する画像領域を検索して設定する類似エリア設定部と、上記操作部からの指令に従って選択した画像領域の感度しきい値を設定するしきい値設定部と、設定された上記画像領域毎の感度しきい値を格納する保存処理部と、を備えることを特徴とするウエハ外観検査装置。 - ウエハに光が照射され、反射された光を検出した光を画像として画像表示部に表示し、操作指令を入力する操作部から指令された画像領域を決定し、
上記ウエハの他の画像領域のうち、上記決定した画像領域と表面形状パターンが類似する画像領域を検索して上記画像表示部に表示し、
上記操作部からの指令に従って選択した画像領域の感度しきい値を設定することを特徴とするウエハ外観検査装置における感度しきい値設定方法。 - 請求項6に記載のウエハ外観検査装置における感度しきい値設定方法において、
上記表面形状パターンが類似する画像領域の領域番号及び座標を類似度が高い順に配列して、上記画像表示部に表示することを特徴とするウエハ外観検査装置における感度しきい値設定方法。 - 請求項7に記載のウエハ外観検査装置における感度しきい値設定方法において、
上記表面形状パターンが類似する画像領域を他の画像領域と区別するため、ハイライト表示して上記画像表示部に表示することを特徴とするウエハ外観検査装置における感度しきい値設定方法。 - 請求項6に記載のウエハ外観検査装置における感度しきい値設定方法において、
設定された感度しきい値毎に定められた表示色で、画像領域を上記画像表示部に表示することを特徴とするウエハ外観検査装置における感度しきい値設定方法。
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