JP5826989B2

JP5826989B2 - Package of pellicle storage case

Info

Publication number: JP5826989B2
Application number: JP2009235761A
Authority: JP
Inventors: 洋文内村
Original assignee: Asahi Kasei E Materials Corp
Current assignee: Asahi Kasei E Materials Corp
Priority date: 2009-10-09
Filing date: 2009-10-09
Publication date: 2015-12-02
Anticipated expiration: 2029-10-09
Also published as: JP2011079573A

Description

本発明は、ＬＳＩ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を構成する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）やカラーフィルター（ＣＦ）等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルなどの露光用基盤に異物が付着することを防止するために用いられるペリクルの収納ケースを保管・輸送するために用いる、ペリクル収納ケースの梱包体に関する。 In the present invention, foreign matter adheres to an exposure base such as a photomask or a reticle used in a lithography process when manufacturing a thin film transistor (TFT), a color filter (CF), or the like constituting an LSI or a liquid crystal display (LCD). The present invention relates to a package of a pellicle storage case used for storing and transporting a pellicle storage case used to prevent this.

本発明は、ペリクルを収納、保管、輸送する際に用いる梱包体に関するものであるが、先ず、収納すべきペリクルについて説明する。
半導体装置や液晶ディスプレイ等の回路パターン製造時のリソグラフィー工程において、フォトマスク或いはレティクルなどの露光用基盤への異物除けの目的で一般にペリクルと呼ばれる防塵フィルムを貼付する方法が用いられている。このペリクルは露光用基盤の形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース或いはセルロース誘導体或いはフッ素ポリマーなどの透明な高分子膜（以下、「ペリクル膜」という）を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で保護フィルムを粘着させたものである。
前記粘着材は、ペリクルを露光用基盤に固着するためのものであり、露光用基盤にペリクルを固着させた際に微細な空洞が生じることが無いようミクロンオーダーの平坦性などの精度が求められる。また、保護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護するものである。 The present invention relates to a package used for storing, storing and transporting a pellicle. First, the pellicle to be stored will be described.
In a lithography process at the time of manufacturing a circuit pattern such as a semiconductor device or a liquid crystal display, a method of attaching a dust-proof film called a pellicle is generally used for the purpose of removing foreign substances on an exposure substrate such as a photomask or a reticle. This pellicle has a shape matching the shape of the substrate for exposure, and a transparent polymer film (hereinafter referred to as nitrocellulose, cellulose derivative or fluoropolymer) having a thickness of 10 μm or less on the upper edge surface of a frame of about several millimeters in thickness. , "Pellicle film") is spread and bonded, and an adhesive is applied to the lower edge surface of the frame, and a protective film is adhered to the adhesive with a predetermined adhesive force. .
The adhesive material is for fixing the pellicle to the exposure base, and accuracy such as micron-order flatness is required so that a fine cavity does not occur when the pellicle is fixed to the exposure base. . Further, the protective film protects the adhesive surface of the pressure-sensitive adhesive material in order to maintain the adhesive force of the pressure-sensitive adhesive material until the pressure-sensitive adhesive material is used for that purpose.

このようなペリクルは、一般的には、ペリクルを製造するメーカーと最終的にペリクルをマスク等に貼付するマスク等のメーカーとが地理的に離れている場合が多く、ペリクルメーカーからマスク等のメーカーへの運搬作業が必須となっている。そのため、ペリクルの運搬作業では、ペリクル膜等に異物が付着するのを防ぎ、あるいはペリクルが損傷するのを防ぐために該ペリクルを１つずつ、トレイとフタからなる専用のペリクル用ケースに収納し、このペリクル用ケースを複数個重ねた後にエアークッションなどの緩衝材を入れた梱包箱に梱包するのが一般的である。（例えば、特許文献１参照）。 In general, such a pellicle is often geographically separated from the manufacturer that manufactures the pellicle and the manufacturer that finally attaches the pellicle to the mask. Transportation work to is essential. Therefore, in carrying the pellicle, to prevent foreign matter from adhering to the pellicle film, etc., or to prevent the pellicle from being damaged, each pellicle is stored in a dedicated pellicle case consisting of a tray and a lid, In general, a plurality of pellicle cases are stacked and then packed in a packing box containing a cushioning material such as an air cushion. (For example, refer to Patent Document 1).

特開平１０−３０５８１４号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-305814

しかしながら、露光波長が短波長化し、ペリクルの平坦性や異物に対する高い要求が求められる場合、従来のようにクッション材でケースを囲んだとしても輸送中の振動や衝撃によって擦れが生じ、ペリクル膜に異物が付着したり、ペリクルのマスク粘着材の平坦性などの精度が低下したりする恐れがあった。
本発明は前記課題を解決するものであり、その目的とするところは、ペリクルの輸送時に、ペリクル収納ケースに収納されているペリクルに対して塵埃等の異物が付着することを抑制し得る梱包体を提供することである。 However, when the exposure wavelength is shortened and the flatness of the pellicle and high demands on foreign matter are required, even if the case is surrounded by a cushion material as in the past, the pellicle film is rubbed due to vibration or impact during transportation. There is a risk that foreign matter may adhere or the accuracy of the flatness of the mask adhesive material of the pellicle may decrease.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a package capable of suppressing foreign matter such as dust from adhering to the pellicle stored in the pellicle storage case during transportation of the pellicle. Is to provide.

前記目的を達成するための本発明に係る代表的な構成は、ペリクルを収納する収納ケースを梱包するための梱包体であって、梱包箱と、該梱包箱の中に収納されるペリクル収納ケースを保護する緩衝材とを含み、該緩衝材は、枠体と該枠体に展張した伸縮可能な支持膜、そして、伸縮可能な支持膜に沿うように可動できる羽から構成されていることを特徴とする。 A representative configuration according to the present invention for achieving the above object is a packing body for packing a storage case for storing a pellicle, and a packing box and a pellicle storage case stored in the packing box A cushioning material that protects the frame, the cushioning material comprising a frame, a stretchable support film stretched on the frame, and a wing that is movable along the stretchable support film. Features.

すなわち、本発明は以下の通りである。
第１の構成は、梱包箱と、該梱包箱の中に収納されるペリクル収納ケースを該梱包箱内において保護する緩衝材とを含み、前記緩衝材は、前記ペリクル収納ケースの上面、又は底面を支持する伸縮可能な支持膜と、前記支持膜が貼張される枠体と、前記ペリクル収納ケースの前記支持膜で支持される面に対して水平方向への移動を抑制するための横ズレ抑制機構と、を有し、前記枠体の各辺長さ方向に対して３０％以上、９０％以下の長さで前記支持膜が当該枠体に固定されており、前記横ズレ抑制機構が、前記枠体から当該枠体の開口部中心方向に向けて延設されると共に、前記ペリクル収納ケースの移動に伴って可動しつつ前記ペリクル収納ケースの側面方向への移動を抑制する抑制羽である、ことを特徴とするペリクル収納ケースの梱包体である。
第２の構成は、前記抑制羽は、前記支持膜を介して前記ペリクル収納ケースを支持する第１の構成に記載の梱包体である。
第３の構成は、前記抑制羽が前記枠体上に複数独立して形成される第１又は第２の構成に記載の梱包体である。
第４の構成は、前記枠体の厚み方向の高さが、前記ペリクル収納ケースの高さより大きい第１から第３の構成のいずれかに記載の梱包体である。
第５の構成は、前記枠体に底面があることを特徴とする第１から第４の構成のいずれかに記載の梱包体である。
第６の構成は、前記枠体の辺の長さの方向の少なくとも端部で前記支持膜が実質的に固定されていることを特徴とする第１から第５の構成のいずれかに記載の梱包体である。
第７の構成は、前記支持膜が前記枠体の側面で固定されていることを特徴とする第１から第６の構成のいずれかに記載の梱包体である。
第８の構成は、第１〜７の構成のいずれかに記載の梱包体を用いたペリクル収納ケースの梱包方法であって、一対の前記緩衝材を用いて前記ペリクル収納ケースを上面側及び底面側から支持することを特徴とする梱包方法である。 That is, the present invention is as follows.
The first configuration includes a packing box and a buffer material that protects the pellicle storage case stored in the packing box inside the packing box, and the buffer material is an upper surface or a bottom surface of the pellicle storage case. An elastic support film for supporting the frame, a frame on which the support film is pasted, and a lateral displacement for suppressing horizontal movement with respect to a surface of the pellicle storage case supported by the support film. A support mechanism, and the support film is fixed to the frame body with a length of 30% or more and 90% or less with respect to each side length direction of the frame body. , while being extended toward the aperture center direction of the frame body from the frame, in accordance with the movement of the pellicle storage case suppressing inhibiting blades from moving in the side direction of the pellicle storage case while moving Bundled pellicle storage case characterized by It is a body.
A second configuration is the package according to the first configuration, in which the restraining wing supports the pellicle storage case via the support film.
A third configuration is the package according to the first or second configuration in which a plurality of the suppression wings are independently formed on the frame.
A fourth configuration is the package according to any one of the first to third configurations, wherein a height of the frame body in a thickness direction is larger than a height of the pellicle storage case.
A fifth configuration is the package according to any one of the first to fourth configurations, wherein the frame has a bottom surface.
A sixth configuration is any one of the first to fifth configurations, wherein the support film is substantially fixed at least at an end in a direction of a side of the frame. It is a package.
A seventh configuration is the package according to any one of the first to sixth configurations, wherein the support film is fixed on a side surface of the frame.
An eighth configuration is a method for packing a pellicle storage case using the packing body according to any one of the first to seventh configurations, wherein the pellicle storage case is attached to the upper surface side and the bottom surface using a pair of cushioning materials. It is the packing method characterized by supporting from the side.

本発明によれば、ペリクルの輸送時に、ペリクル収納ケースに収納されているペリクルに対して塵埃等の異物が付着することを抑制し得る梱包体が提供される。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the package which can suppress that foreign materials, such as dust, adhere to the pellicle accommodated in the pellicle storage case at the time of transport of a pellicle is provided.

梱包体の一の実施形態を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows one Embodiment of a package. 梱包体の他の実施形態を示す概略側面図である。It is a schematic side view which shows other embodiment of a package. 梱包体の別の実施形態を示す概略側面図である。It is a schematic side view which shows another embodiment of a package. 緩衝材の一の実施形態を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows one Embodiment of a buffer material. 支持膜の一の貼張例を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows one pasting example of a support film. 支持膜の他の貼張例を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the other pasting example of a support film.

以下、本発明を実施するための最良の形態（以下「本実施形態」と略記する）について詳細に説明する。なお、本発明は、下記本実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。 Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention (hereinafter abbreviated as “this embodiment”) will be described in detail. In addition, this invention is not limited to this following Embodiment, It can implement by changing variously within the range of the summary.

図１は、梱包体の一の実施形態を示す概略斜視図である。本実施形態にかかる梱包体１は、梱包箱２と、該梱包箱２の中に収納されるペリクル収納ケース３を該梱包箱内において保護する緩衝材４とを含む。
梱包箱２は、平面視略矩形状の底面と、当該底面の周縁から上方に立設される側面と、当該側面上端縁を周縁として形成される略矩形状の開口部を有している。また、開口部を形成する一対の平行辺上には舌片状の蓋部２１が形成され、当該蓋部が折りたたまれることにより前記開口部が閉塞し、ペリクル収納ケース３及び緩衝材４が梱包箱２内部に収納されるようになっている。 Drawing 1 is an outline perspective view showing one embodiment of a packing object. The packing body 1 according to the present embodiment includes a packing box 2 and a cushioning material 4 that protects the pellicle storage case 3 stored in the packing box 2 in the packing box.
The packing box 2 has a substantially rectangular bottom surface in plan view, a side surface standing upward from the periphery of the bottom surface, and a substantially rectangular opening formed with the upper edge of the side surface as the periphery. Further, a tongue-like lid portion 21 is formed on a pair of parallel sides forming the opening portion, and the opening portion is closed by folding the lid portion, and the pellicle storage case 3 and the cushioning material 4 are packed. The box 2 is housed inside.

梱包箱２の材質としては、ダンボールやプラスチックダンボールなどが使用できる。梱包箱２の内寸は緩衝材４の枠体４２が動かないように枠体４２の外寸とほぼ同サイズであることが好ましく、梱包箱２の内寸高さはペリクル収納ケース３を緩衝材４で包装したときの高さに対して１〜０．９倍の高さであることが好ましく、こうすることで伸縮可能な支持膜４１がしっかりと展張されてペリクル収納ケース３への衝撃を吸収することができる。梱包箱２の内寸が過度に大きい場合には、緩衝材４と梱包箱２との隙間にダンボールやエアキャップなどで作成したスペーサーを介在させても良い。 As a material of the packaging box 2, cardboard, plastic cardboard, or the like can be used. The inner dimension of the packing box 2 is preferably approximately the same size as the outer dimension of the frame body 42 so that the frame body 42 of the cushioning material 4 does not move, and the inner dimension height of the packing box 2 buffers the pellicle storage case 3. It is preferable that the height is 1 to 0.9 times the height when wrapped with the material 4, and the support film 41 that can be expanded and contracted in this way is firmly stretched to impact the pellicle storage case 3. Can be absorbed. If the inner size of the packaging box 2 is excessively large, a spacer made of cardboard or an air cap may be interposed in the gap between the cushioning material 4 and the packaging box 2.

ペリクル収納ケース３は、ペリクル（図示しない）を載置するトレイ３１と、当該トレイ上に被せるフタ３２とを有している。トレイ３１は、例えば厚みのある略方盤形状を有し、上面に水平上面としての載置面が形成されている。また、フタ３２は、平面から見て方形状に形成され、フタ３２がトレイ３１に被せられたときに、トレイ３１と周縁部で密着するように形成されている。
なお、トレイ３１やフタ３２の材質は、特に限定するものではないが、エンジニアリングプラスチック、強化プラスチック、金属等が挙げられる。軽量化、成型性の観点から、プラスチック素材が選択される場合が多く、アクリル樹脂、アクリロニトリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂等を用いることができる。更に上記樹脂以外に、ポリエチレンテレフタレート以外のポリエステル樹脂、ポリエチレンやポリプロピレン等のオレフィン系樹脂、ポリスチレンやアクリロニトリル・スチレン樹脂等のポリスチレン系樹脂等を用いることもできる。上記の樹脂には、静電気による異物付着を防止するために制電性を付与しても良い。また、繊維強化プラスチックも用いることが出来る。金属を選択する場合、軽量化の観点から、アルミニウムを用いてもよい。
また、ペリクル収納ケース３のトレイ３１やフタ３２の寸法は、収納されるペリクルの大きさに応じて設定される。 The pellicle storage case 3 includes a tray 31 on which a pellicle (not shown) is placed, and a lid 32 that covers the tray. The tray 31 has, for example, a thick substantially square shape, and a mounting surface as a horizontal upper surface is formed on the upper surface. The lid 32 is formed in a square shape when viewed from above, and is formed so as to be in close contact with the tray 31 when the lid 32 is placed on the tray 31.
The material of the tray 31 and the lid 32 is not particularly limited, and examples thereof include engineering plastic, reinforced plastic, and metal. From the viewpoint of weight reduction and moldability, plastic materials are often selected, and acrylic resin, acrylonitrile resin, polycarbonate resin, polyethylene terephthalate resin, acrylonitrile / butadiene / styrene resin, and the like can be used. In addition to the above resins, polyester resins other than polyethylene terephthalate, olefin resins such as polyethylene and polypropylene, polystyrene resins such as polystyrene, acrylonitrile / styrene resins, and the like can also be used. The above resin may be imparted with antistatic properties in order to prevent foreign matter adhesion due to static electricity. Fiber reinforced plastics can also be used. When selecting a metal, you may use aluminum from a viewpoint of weight reduction.
The dimensions of the tray 31 and the lid 32 of the pellicle storage case 3 are set according to the size of the pellicle to be stored.

本実施形態において、緩衝材４は、ペリクル収納ケース３の上面、及び底面を支持するよう一組として用いられ、梱包箱２内においてペリクル収納ケース３を宙吊りに固定するよう配置されている。なお、緩衝材４は必ずしも一対として用いる必要は無く、ペリクル収納ケース３の上面、又は底面を支持するよう一つだけ使用することも可能である。 In the present embodiment, the cushioning material 4 is used as a set so as to support the upper surface and the bottom surface of the pellicle storage case 3, and is arranged in the packing box 2 so as to fix the pellicle storage case 3 in a suspended manner. Note that it is not always necessary to use the cushioning material 4 as a pair, and only one cushioning material 4 can be used to support the upper surface or the bottom surface of the pellicle storage case 3.

図１においては、ペリクル収納ケース３の一つのみが収納される形態を説明したが、収納形態に制限は無く、複数のペリクル収納ケース３を重ねて収納しても良いし、そのように重ねたペリクル収納ケース３の複数組をまとめて収納しても良い。図２は、梱包体の他の実施形態を示す概略側面図である。本実施形態においては複数のペリクル収納ケース３が重ねて収納されている。なお、重ねた複数のペリクル収納ケース３は、収納袋５内にまとめられている。
例えば、ＬＳＩ用ペリクルのペリクル収納ケースは一般的に、フタとトレイを固定するためのクリップに積層用の足と支持部を設けたものを用いて積層して輸送することが一般的である。このようにペリクル収納ケースを複数個収納する場合は、収納袋に入れたペリクル収納ケースを積層し、それを収納袋で更に収納し、積層したケースがずれないように固定し、その積層体の上面と底面を該緩衝材の支持膜で支持するように挟み込み、梱包箱に収納することも可能である。 In FIG. 1, the form in which only one of the pellicle storage cases 3 is stored has been described. However, the storage form is not limited, and a plurality of pellicle storage cases 3 may be stored in a stacked manner. A plurality of pairs of pellicle storage cases 3 may be stored together. FIG. 2 is a schematic side view showing another embodiment of the package. In the present embodiment, a plurality of pellicle storage cases 3 are stacked and stored. The plurality of stacked pellicle storage cases 3 are collected in a storage bag 5.
For example, a pellicle storage case for an LSI pellicle is generally transported by laminating using a clip for fixing a lid and a tray provided with a foot for stacking and a support portion. When storing a plurality of pellicle storage cases in this way, stack the pellicle storage cases in a storage bag, further store them in the storage bag, and fix the stacked cases so that they do not shift. It is also possible to sandwich the upper surface and the bottom surface so as to be supported by the support film of the cushioning material, and store it in the packing box.

図３は、梱包体の別の実施形態を示す概略側面図である。本実施形態においては複数のペリクル収納ケース３が重ねて収納されるとともに、収納袋５内にまとめられたペリクル収納ケース３の積層体が複数組、並べて収納されている。なお、図３においては、収納袋５内にまとめられたペリクル収納ケース３の上面側を支持する緩衝材４の上面側に天板６が配置され、蓋部２１が折りたたまれてペリクル収納ケース３が梱包箱２”内に収納された際に、蓋部２１と緩衝材４とが隔離されている。天板６の材質は特に限定するものではないが、ダンボールやプラスチック板などが使用でき、梱包箱２”の内寸と一致する寸法であることが好ましい。 FIG. 3 is a schematic side view showing another embodiment of the package. In the present embodiment, a plurality of pellicle storage cases 3 are stored in a stacked manner, and a plurality of sets of stacked pellicle storage cases 3 collected in a storage bag 5 are stored side by side. In FIG. 3, the top plate 6 is disposed on the upper surface side of the cushioning material 4 that supports the upper surface side of the pellicle storage case 3 collected in the storage bag 5, and the lid portion 21 is folded to fold the pellicle storage case 3. Is stored in the packaging box 2 ", the lid 21 and the cushioning material 4 are isolated. The material of the top plate 6 is not particularly limited, but a cardboard or a plastic plate can be used, It is preferable that the dimensions coincide with the inner dimensions of the packaging box 2 ″.

図４は、緩衝材の一の実施形態を示す概略斜視図である。緩衝材４は、ペリクル収納ケース３の上面、又は底面を支持する伸縮可能な支持膜４１と、支持膜４１が貼張される枠体４２と、ペリクル収納ケース３の側面方向への移動を抑制するための横ズレ抑制機構４３とを有する。
本実施形態において、横ズレ抑制機構４３は、枠体４２の開口部中心方向に向けて延設されると共に、ペリクル収納ケース３の移動に伴って可動しつつペリクル収納ケースの側面方向への移動を抑制する抑制羽４３として形成されている。 FIG. 4 is a schematic perspective view showing one embodiment of the cushioning material. The cushioning material 4 suppresses the movement of the pellicle storage case 3 in the lateral direction, the support film 41 that can expand and contract to support the upper surface or the bottom surface of the pellicle storage case 3, the frame body 42 on which the support film 41 is pasted, And a lateral displacement suppressing mechanism 43 for the purpose.
In the present embodiment, the lateral misalignment suppressing mechanism 43 extends toward the center of the opening of the frame body 42 and moves in the lateral direction of the pellicle storage case while moving along with the movement of the pellicle storage case 3. It is formed as a suppression wing 43 that suppresses the above.

支持膜４１の素材は、特に限定するものではないが、ポリウレタンやゴムなどの高分子フィルムやシート、ネット状に織られた織物などが使用できる。また、枠体４２や抑制羽３は、ダンボールや樹脂を用いることが出来、組立式ダンボールや樹脂成型物として一体型であってもかまわない。
枠体４２の各辺の内寸は収納するペリクル収納ケースの辺長より大きいほうが好ましく、１．０５〜３倍の範囲であることが好ましい。更に、該枠体４２各辺の外寸は緩衝材４を収納する梱包箱２の内壁からペリクル収納ケース３までの距離が３ｃｍ以上離れるような長さに設計することが好ましく、より好ましくはペリクル収納ケース３と梱包箱２の内壁までの距離が３ｃｍ以上２０ｃｍ以下になるように長さを設計することが好ましい。 The material of the support film 41 is not particularly limited, and polymer films and sheets such as polyurethane and rubber, and woven fabrics woven in a net shape can be used. The frame body 42 and the restraining wing 3 may be made of cardboard or resin, and may be integrated as an assembly type cardboard or resin molded product.
The inner dimension of each side of the frame body 42 is preferably larger than the side length of the pellicle storage case to be stored, and is preferably in the range of 1.05 to 3 times. Further, the outer dimensions of each side of the frame body 42 are preferably designed such that the distance from the inner wall of the packing box 2 for storing the cushioning material 4 to the pellicle storage case 3 is 3 cm or more, more preferably the pellicle. It is preferable to design the length so that the distance between the storage case 3 and the inner wall of the packaging box 2 is 3 cm or more and 20 cm or less.

枠体４２の開口部の形状としては特に限定されず、平面視形状として、正方形、長方形といった四角形や六角形、八角形等の略多角形状であることが好ましい。当該略多角形状の頂部は図４に示すように、鈍角に形成された頂部４２１のような形状であっても良いし、円弧状で形成されていても良い。また、平面視形状は円形状であっても良い。枠体の外形が平面視略多角形状であると共に、前記枠体の外形頂点を結ぶ対角線上にある開口部の接線が略垂直になるとより好ましい。
なお、図４に示すように、枠体４２の高さＨは、緩衝材４でペリクル収納ケース３を収納した際に、ペリクル収納ケース３が支持膜４１を介して梱包箱２の底部または梱包箱２の天部に接触することなく、宙吊りになる高さであることが好ましい。従って、収納するペリクル収納ケース３の高さより高いほうが好ましく、より好ましくはケース厚みの１．１倍以上が好ましいが、輸送効率を考慮すると１．１倍〜１０倍の範囲にあることが好ましい。
また、枠体４２には図４に示すように、枠体４２の高さ方向下部位置に、辺の長さ方向に沿って一定の領域面積を有する底面４２２を有することが好ましい。 The shape of the opening of the frame body 42 is not particularly limited, and the shape in plan view is preferably a substantially polygonal shape such as a square such as a square or a rectangle, a hexagon, or an octagon. As shown in FIG. 4, the substantially polygonal top portion may have a shape like a top portion 421 formed at an obtuse angle, or may be formed in an arc shape. Further, the planar view shape may be a circular shape. More preferably, the outer shape of the frame is substantially polygonal in plan view, and the tangent of the opening on the diagonal line connecting the outer vertices of the frame is substantially vertical.
As shown in FIG. 4, the height H of the frame body 42 is such that when the pellicle storage case 3 is stored with the cushioning material 4, the pellicle storage case 3 is placed on the bottom of the packing box 2 or the packing through the support film 41. It is preferable that the height be suspended in the air without contacting the top of the box 2. Accordingly, it is preferable that the height of the pellicle storage case 3 to be stored is higher, more preferably 1.1 times or more of the case thickness, but it is preferable to be in the range of 1.1 to 10 times in consideration of transportation efficiency.
Further, as shown in FIG. 4, the frame body 42 preferably has a bottom surface 422 having a certain area area along the length direction of the side at the lower position in the height direction of the frame body 42.

抑制羽４３は、枠体４２の内周中央に向かって延設され、枠体４２の各辺に少なくとも１つ以上の羽を設置することが好ましい。また、抑制羽４３は、支持膜を介してペリクル収納ケースの任意の部分に接触することが好ましい。
個々の抑制羽４３は、枠体４２の各辺のそれぞれに独立し、他の羽と接触しないような構造とすることが好ましい。
なお、横ズレ抑制機構としては抑制羽４３のほか、横方向への移動を抑制するように配置されたダンボールやエアキャップなどのスペーサーであっても良い。 The suppression wings 43 are preferably extended toward the center of the inner periphery of the frame body 42, and at least one wing is preferably installed on each side of the frame body 42. Moreover, it is preferable that the restraining wing 43 contacts an arbitrary part of the pellicle storage case via the support film.
It is preferable that the individual restraining wings 43 have a structure that is independent of each side of the frame body 42 and does not contact other wings.
In addition to the restraining wings 43, the lateral displacement restraining mechanism may be a spacer such as a cardboard or an air cap arranged so as to restrain the lateral movement.

支持膜４１の枠体４２に対する貼張方法としては特に限定されず、支持膜４１は、枠体４２上のいずれかの部位で固定される。図５は、支持膜４１の一の貼張例を示す概略斜視図である。
図５において支持膜４１は、枠体４２の高さ方向上端部から枠体４２の開口部中心方向に形成される抑制羽４３（図示せず）の更に上部側から、抑制羽４３及び開口部の全体を覆うように貼張されている。 The method for sticking the support film 41 to the frame body 42 is not particularly limited, and the support film 41 is fixed at any part on the frame body 42. FIG. 5 is a schematic perspective view showing an example of one sticking of the support film 41.
In FIG. 5, the support film 41 includes the suppression blade 43 and the opening from the upper side of the suppression blade 43 (not shown) formed from the upper end in the height direction of the frame 42 toward the center of the opening of the frame 42. It is pasted to cover the whole.

図５において支持膜４１は、枠体４２の側面部において、枠体４２の辺の長さ方向に沿って一定の長さを有する線状の固定部材７によって固定されている。
ここで、枠体４２の辺の長さをＷａ、線状の固定部材７の長さをＷｂ（図５においては固定部材７が２つ配されているが、Ｗｂは各固定部材７の長さの総和である）とした場合、ＷｂのＷａに占める割合は、少なくとも３０％以上であることが好ましく、より好ましくは５０％以上である。一方、上限として好ましくは９０％以下であり、より好ましくは８０％以下である。このように、支持膜４１を枠体４２に完全に固定してしまわないこと（上記割合を１００％未満とすること）は、支持膜４１の遊びを確保し、枠体４２の辺中央に強い応力が加わることを抑制し、枠体４２の変形や支持膜４１の張力の低下を抑制する観点から好ましい。
また、固定部材７の配置としては、実質的に各辺中央部では固定されていないことが好ましい。
なお、固定部材７としては、特に限定するものではないが、接着剤や粘着材を用いることができ、熱接着や、ネジやビス、クリップなどで物理的に固定しても良い。 In FIG. 5, the support film 41 is fixed to the side surface portion of the frame body 42 by a linear fixing member 7 having a certain length along the length direction of the side of the frame body 42.
Here, the length of the side of the frame 42 is Wa, and the length of the linear fixing member 7 is Wb (in FIG. 5, two fixing members 7 are arranged, but Wb is the length of each fixing member 7. The ratio of Wb to Wa is preferably at least 30% or more, more preferably 50% or more. On the other hand, the upper limit is preferably 90% or less, and more preferably 80% or less. Thus, the fact that the support film 41 is not completely fixed to the frame body 42 (the ratio is set to less than 100%) ensures the play of the support film 41 and is strong at the center of the side of the frame body 42. It is preferable from the viewpoint of suppressing the application of stress and suppressing the deformation of the frame body 42 and the decrease in the tension of the support film 41.
Moreover, as arrangement | positioning of the fixing member 7, it is preferable that it is not substantially fixed in each side center part.
The fixing member 7 is not particularly limited, but an adhesive or an adhesive can be used, and it may be physically fixed by thermal bonding, screws, screws, clips, or the like.

図６は、支持膜の他の貼張例を示す概略斜視図である。この例において支持膜４１は、枠体４２の側面部のうち、端部（枠体の４角の位置近傍）において固定されている。 FIG. 6 is a schematic perspective view showing another example of pasting the support film. In this example, the support film 41 is fixed at the end (near the four corner positions of the frame) of the side surface of the frame 42.

本実施形態のペリクル収納ケースの梱包体は、上記のような構成を有するので、緩衝材の支持膜と横ズレ抑制機構を梱包箱内で容易に位置決め・固定することができ、ひいては、梱包箱内におけるペリクル収納ケースの動きを効果的に抑制し得る。その結果、ペリクル収納ケースと他の部位（例えば、梱包箱や緩衝材）との擦れが抑制されて、擦れに基づく塵埃等の異物の発生が抑制されるため、ペリクル収納ケースに収納されているペリクルに対して塵埃等の異物が付着することを抑制することができる。
そして、ペリクルを輸送中、振動や衝撃からペリクルケースを守ることができ、ペリクル収納ケースを多段に重ねて輸送する場合でも、伸縮性素材に沿うように可動する羽により収納ケースが斜めにずれることを防止する事ができ、ペリクルの破損や、ペリクルと収納ケース、または収納ケース同士のこすれ等による発塵を防止することができる。 Since the packing body of the pellicle storage case of the present embodiment has the above-described configuration, the cushioning material support film and the lateral displacement suppression mechanism can be easily positioned and fixed in the packing box, and thus the packing box. The movement of the pellicle storage case inside can be effectively suppressed. As a result, rubbing between the pellicle storage case and other parts (for example, a packing box or a cushioning material) is suppressed, and generation of foreign matters such as dust due to the rubbing is suppressed, so that the pellicle storage case is stored in the pellicle storage case. It is possible to prevent foreign matter such as dust from adhering to the pellicle.
And while transporting the pellicle, the pellicle case can be protected from vibrations and shocks, and even when the pellicle storage case is transported in multiple layers, the storage case is displaced obliquely by the wings that move along the stretchable material. It is possible to prevent dust generation due to damage to the pellicle, rubbing between the pellicle and the storage case, or between the storage cases.

次に、実施例及び比較例を挙げて本実施形態をより具体的に説明するが、本実施形態はその要旨を超えない限り、下記の実施例に限定されるものではない。なお、実施例中の各物性は下記の方法により測定した。 Next, the present embodiment will be described more specifically with reference to examples and comparative examples. However, the present embodiment is not limited to the following examples as long as the gist thereof is not exceeded. In addition, each physical property in an Example was measured with the following method.

（１）衝撃値
梱包箱の内側の底部、ペリクル収納ケース上に富士フィルム社製ショックセンサーＴｙｐｅ−２を設置し、１００ｃｍの高さから落下させて梱包箱とペリクル収納ケースに加わった衝撃値を測定した。
（２）異物付着、側面方向のズレ、ペリクル外観
目視により観察した。 (1) Impact value A shock sensor Type-2 manufactured by Fuji Film Co., Ltd. is installed on the bottom inside the packing box and on the pellicle storage case, and the impact value applied to the packing box and the pellicle storage case by dropping from a height of 100 cm It was measured.
(2) Adherence of foreign matter, lateral displacement, pellicle appearance Visual observation.

[実施例１]
図１に示すようにペリクル収納ケースを梱包体に収納した。
即ち、１辺３５ｃｍの枠体に、当該枠体の開口部中心方向に向けて羽を設け、該枠体の側壁にウレタン製の伸縮膜を固定した緩衝材２個を用い、２つの緩衝材のフィルム側を対になるように並べた。１辺１５ｃｍのペリクル収納ケース１枚を収納袋に入れ、そのペリクル収納ケースを対となった緩衝材のウレタンシート側で挟みこみ、段ボール箱に収納した。各種物性を評価した。結果を表１又は２に示す。 [Example 1]
As shown in FIG. 1, the pellicle storage case was stored in a package.
That is, two cushioning materials are used by using two cushioning materials in which a wing is provided in a frame body with a side of 35 cm toward the center of the opening of the frame body, and a urethane stretch film is fixed to the side wall of the frame body. The film sides were arranged in pairs. One pellicle storage case with a side of 15 cm was put in a storage bag, and the pellicle storage case was sandwiched between the urethane sheet side of a pair of cushioning materials and stored in a cardboard box. Various physical properties were evaluated. The results are shown in Table 1 or 2.

[実施例２]
図２に示すようにペリクル収納ケースを梱包体に収納した。
即ち、１辺３５ｃｍの枠体に、当該枠体の開口部中心方向に向けて羽を設け、該枠体の側壁にウレタン製の伸縮膜を固定した緩衝材２個を用い、２つの緩衝材のフィルム側を対になるように並べた。１辺１５ｃｍのペリクル収納ケース１０枚を収納袋に入れて固定し、束ねたペリクル収納ケースを対となった緩衝材のウレタンシート側で挟みこみ、段ボール箱に収納した。各種物性を評価した。結果を表１又は２に示す。 [Example 2]
As shown in FIG. 2, the pellicle storage case was stored in the package.
That is, two cushioning materials are used by using two cushioning materials in which a wing is provided in a frame body with a side of 35 cm toward the center of the opening of the frame body, and a urethane stretch film is fixed to the side wall of the frame body. The film sides were arranged in pairs. Ten pellicle storage cases each having a side of 15 cm were placed in a storage bag and fixed, and the bundled pellicle storage cases were sandwiched between the urethane sheet side of a pair of cushioning materials and stored in a cardboard box. Various physical properties were evaluated. The results are shown in Table 1 or 2.

[実施例３]
図３に示すようにペリクル収納ケースを梱包体に収納した。
即ち、１辺３５ｃｍの枠体に、当該枠体の開口部中心方向に向けて羽を設け、該枠体の側壁にウレタン製の伸縮膜を固定した緩衝材４個を用い、２つの緩衝材のフィルム側を対になるように並べて２セット用意した。１辺１５ｃｍのペリクル収納ケース１０枚を収納袋に入れて固定したものを２セット用意し、束ねたペリクル収納ケースを対となった緩衝材のウレタンシート側で挟みこみ、２セットを同じ段ボール箱に入れ、該ダンボールの内寸と同じ寸法の抑え用ダンボールで該緩衝材を抑えて収納した。各種物性を評価した。結果を表１又は２に示す。 [Example 3]
As shown in FIG. 3, the pellicle storage case was stored in the package.
That is, two cushioning materials are used using four cushioning materials in which a wing is provided in a frame body with a side of 35 cm toward the center of the opening of the frame body and urethane stretch films are fixed to the side walls of the frame body. Two sets were prepared, side by side, in pairs. Two sets of 10 pellicle storage cases with a side of 15 cm are fixed in a storage bag, and the bundled pellicle storage cases are sandwiched between the pair of cushioning urethane sheets and the two sets are the same cardboard box. The cushioning material was restrained and stored with restraining corrugated cardboard having the same dimensions as the inner dimensions of the corrugated cardboard. Various physical properties were evaluated. The results are shown in Table 1 or 2.

[比較例１]
１辺１５ｃｍのペリクル収納ケース１枚を収納袋に入れ、そのペリクル収納ケースを厚み１０ｃｍに重ねたエアキャップで覆い、段ボール箱に収納した。各種物性を評価した。結果を表１又は２に示す。 [Comparative Example 1]
One pellicle storage case with a side of 15 cm was put in a storage bag, and the pellicle storage case was covered with an air cap having a thickness of 10 cm and stored in a cardboard box. Various physical properties were evaluated. The results are shown in Table 1 or 2.

[比較例２]
１辺１５ｃｍのペリクル収納ケース１０枚を収納袋に入れて固定し、束ねたペリクル収納ケースを厚み１０ｃｍに重ねたエアキャップで覆い、段ボール箱に収納した。各種物性を評価した。結果を表１又は２に示す。 [Comparative Example 2]
Ten pellicle storage cases each having a side of 15 cm were put in a storage bag and fixed. The bundled pellicle storage cases were covered with an air cap layered to a thickness of 10 cm and stored in a cardboard box. Various physical properties were evaluated. The results are shown in Table 1 or 2.

[比較例３]
１辺１５ｃｍのペリクル収納ケース１０枚を収納袋に入れて固定したものを２セット用意し、厚み１０ｃｍに重ねたエアキャップで覆い、２セットを同じ段ボール箱に収納した。各種物性を評価した。結果を表１又は２に示す。 [Comparative Example 3]
Two sets of 10 pellicle storage cases each having a side of 15 cm were put in a storage bag and fixed, covered with an air cap stacked in a thickness of 10 cm, and the two sets were stored in the same cardboard box. Various physical properties were evaluated. The results are shown in Table 1 or 2.

[比較例４]
１辺３５ｃｍの枠体にウレタン製の伸縮膜を固定した緩衝材（羽を有さない）４個を用い、２つの緩衝材のフィルム側を対になるように並べて２セット用意した。その１辺１５ｃｍのペリクル収納ケース１０枚を収納袋に入れて固定したものを２セット用意し、束ねたペリクル収納ケースを対となった緩衝材のウレタンシート側で挟みこみ、２セットを同じ段ボール箱に入れ、該ダンボールの内寸と同じ寸法の抑え用ダンボールで該緩衝材を抑えて収納した。各種物性を評価した。結果を表１又は２に示す。 [Comparative Example 4]
Two sets of cushioning materials (not having wings) each having a urethane stretch film fixed to a frame having a side of 35 cm were arranged in two pairs so that the film sides of the two cushioning materials were paired. Two sets of 10 pellicle storage cases with a side of 15 cm are fixed in a storage bag, and the bundled pellicle storage cases are sandwiched between the cushioned urethane sheets of the cushioning material, and the two sets are the same cardboard. The box was placed in a box, and the cushioning material was restrained and stored with restraining corrugated cardboard having the same dimensions as the inner dimensions of the corrugated board. Various physical properties were evaluated. The results are shown in Table 1 or 2.

表１、表２に示す結果から明らかなように、本実施形態の梱包体は優れた衝撃緩衝能力を有しており、輸送や強い衝撃に対して強いペリクル収納ケースの保護機能を示す。 As is apparent from the results shown in Tables 1 and 2, the package of the present embodiment has an excellent shock buffering capacity, and exhibits a pellicle storage case protection function that is strong against transportation and strong shocks.

本発明の構成物は、ＬＳＩ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を構成する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）やカラーフィルター（ＣＦ）等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルなどの露光用基盤に異物が付着することを防止するために用いられるペリクルの収納ケースを保管・輸送に好適に利用できる。 The composition of the present invention is a foreign substance on an exposure substrate such as a photomask or a reticle used in a lithography process when manufacturing a thin film transistor (TFT) or a color filter (CF) constituting an LSI or a liquid crystal display (LCD). A pellicle storage case used for preventing the adhesion of the pellicle can be suitably used for storage and transportation.

１、１’、１’’：梱包体
２、２’、２’’：梱包箱
２１：フタ部
３：ペリクル収納ケース
３１：トレイ
３２：フタ
４：緩衝材
４１：支持膜
４２：枠体
４２１：頂部
４２２：底面
４３：横ズレ抑制機構（抑制羽）
５：収納袋
６：天板
７、７’：固定部材 1, 1 ′, 1 ″: Packing body 2, 2 ′, 2 ″: Packing box 21: Cover part 3: Pellicle storage case 31: Tray 32: Cover 4: Buffer material 41: Support film 42: Frame body 421 : Top portion 422: Bottom surface 43: Lateral displacement suppression mechanism (suppression blade)
5: Storage bag 6: Top plate 7, 7 ': Fixing member

Claims

梱包箱と、該梱包箱の中に収納されるペリクル収納ケースを該梱包箱内において保護する緩衝材とを含み、
前記緩衝材は、前記ペリクル収納ケースの上面、又は底面を支持する伸縮可能な支持膜と、
前記支持膜が貼張される枠体と、
前記ペリクル収納ケースの前記支持膜で支持される面に対して水平方向への移動を抑制するための横ズレ抑制機構と、
を有し、
前記枠体の各辺長さ方向に対して３０％以上、９０％以下の長さで前記支持膜が当該枠体に固定されており、
前記横ズレ抑制機構が、前記枠体から当該枠体の開口部中心方向に向けて延設されると共に、前記ペリクル収納ケースの移動に伴って可動しつつ前記ペリクル収納ケースの側面方向への移動を抑制する抑制羽である、ことを特徴とするペリクル収納ケースの梱包体。 A packing box, and a cushioning material that protects the pellicle storage case stored in the packing box within the packing box,
The cushioning material is a stretchable support film that supports an upper surface or a bottom surface of the pellicle storage case,
A frame on which the support film is pasted;
A lateral displacement suppressing mechanism for suppressing movement in a horizontal direction with respect to a surface supported by the support film of the pellicle storage case;
Have
The support film is fixed to the frame at a length of 30% or more and 90% or less with respect to each side length direction of the frame,
Moving the lateral displacement suppressing mechanism, while being extended from the frame toward the aperture center direction of the frame, the in accordance with the movement of the pellicle storage case to a side direction of the pellicle storage case while moving A pellicle storage case packaging body, characterized in that the pellicle storage case is a restraining wing.

前記抑制羽は、前記支持膜を介して前記ペリクル収納ケースを支持する請求項１に記載の梱包体。 The package according to claim 1, wherein the restraining wing supports the pellicle storage case via the support film.

前記抑制羽が前記枠体上に複数独立して形成される請求項１又は２に記載の梱包体。 The package according to claim 1 or 2, wherein a plurality of the suppression wings are independently formed on the frame.

前記枠体の厚み方向の高さが、前記ペリクル収納ケースの高さより大きい請求項１〜３のいずれか一項に記載の梱包体。 The packaging body according to any one of claims 1 to 3, wherein a height of the frame body in a thickness direction is larger than a height of the pellicle storage case.

前記枠体に底面があることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の梱包体。 The package according to any one of claims 1 to 4, wherein the frame has a bottom surface.

前記枠体の辺の長さ方向の少なくとも端部で前記支持膜が実質的に固定されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の梱包体。 The packaging body according to any one of claims 1 to 5, wherein the support film is substantially fixed at least at an end portion in a length direction of the side of the frame body.

前記支持膜が前記枠体の側面で固定されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の梱包体。 The packaging body according to claim 1, wherein the support film is fixed on a side surface of the frame body.

請求項１〜７のいずれか一項に記載の梱包体を用いたペリクル収納ケースの梱包方法であって、一対の前記緩衝材を用いて前記ペリクル収納ケースを上面側及び底面側から支持することを特徴とする梱包方法。 A method for packing a pellicle storage case using the packing body according to any one of claims 1 to 7, wherein the pellicle storage case is supported from a top surface side and a bottom surface side using a pair of cushioning materials. Packing method characterized by.