JP7231320B2 - Cushioning material for pellicle and package - Google Patents

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Description

本発明は、ペリクル用緩衝材、及び梱包体に関する。 The present invention relates to a pellicle cushioning material and a package.

従来から、ペリクルを収納、保管、輸送する際には、所定の梱包体が用いられている。
半導体装置や液晶ディスプレイ等の回路パターン製造時のリソグラフィー工程においては、フォトマスクあるいはレティクル等の露光用基盤への異物除けの目的で、一般にペリクルと呼ばれる防塵フィルムを貼付する方法が用いられている。
このペリクルは、露光用基盤の形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース、セルロース誘導体、又はフッ素ポリマー等よりなる透明な高分子膜（以下、「ペリクル膜」という）が展張して接着されており、かつ前記枠体の下縁面に粘着剤が塗着されていると共に、この粘着剤上に所定の接着力で、ライナーと呼ばれる保護フィルムが粘着された構成を有している。また、最近は、ライナーを具備しないライナーレスタイプのペリクルも知られている。
前記粘着剤は、ペリクルを露光用基盤に固着するためのものであり、露光用基盤にペリクルを固着させた際に微細な空洞が生じることが無いように、ミクロンオーダーの平坦性の精度が求められる。また、前記ライナーは前記粘着剤がその用に供するまで粘着剤の接着力を維持するために、粘着剤の接着面を保護するものである。 2. Description of the Related Art Conventionally, a predetermined package has been used for storing, storing, and transporting a pellicle.
2. Description of the Related Art In the lithography process during the manufacture of circuit patterns for semiconductor devices, liquid crystal displays, etc., a method of attaching a dust-proof film, generally called a pellicle, is used to prevent foreign matter from entering a substrate for exposure such as a photomask or reticle.
This pellicle has a transparent polymer film made of nitrocellulose, a cellulose derivative, or a fluorine polymer with a thickness of 10 μm or less on the upper edge surface of a frame having a thickness of about several millimeters and having a shape that matches the shape of the substrate for exposure. A film (hereinafter referred to as “pellicle film”) is stretched and adhered, and an adhesive is applied to the lower edge surface of the frame. It has a configuration in which a protective film called is adhered. Also, recently, a linerless type pellicle that does not have a liner is known.
The adhesive is used to fix the pellicle to the substrate for exposure, and is required to have flatness precision on the order of microns so that fine cavities do not occur when the pellicle is fixed to the substrate for exposure. be done. Also, the liner protects the adhesive surface of the adhesive in order to maintain the adhesive strength of the adhesive until the adhesive is ready for use.

上述したようなペリクルは、一般的には、ペリクルを製造するペリクルメーカーと、ペリクルをフォトマスク等に貼付するマスク等のメーカーとが、地理的に離れている場合が多く、ペリクルメーカーからマスク等のメーカーへの運搬作業が必須となっている。そのため、ペリクルの運搬作業においては、ペリクル膜等に異物が付着することを防止したり、ペリクルが損傷したりすることを防止するため、ペリクルを一個ずつ、トレイとフタからなる専用のペリクルケースに収納し、当該ペリクルケースを複数個重ね、その後、エアークッション等の所定の緩衝材を具備する梱包箱に梱包することが一般的に行われている（例えば、特許文献１参照）。
特に、大型ペリクル用のペリクルケースを梱包箱に梱包する際に用いる緩衝材としては、前記ペリクルケースとの接触面積を規定して緩衝能力を高めた緩衝材も提案されている（例えば、特許文献２、３参照）。 As for the pellicle as described above, the pellicle manufacturer that manufactures the pellicle and the mask manufacturer that attaches the pellicle to the photomask are often geographically separated from each other. transportation work to the manufacturer is essential. For this reason, when transporting pellicles, in order to prevent foreign matter from adhering to the pellicle film and prevent damage to the pellicle, each pellicle is placed in a dedicated pellicle case consisting of a tray and a lid. Generally, the pellicle case is stored, a plurality of pellicle cases are stacked, and then packed in a packing box having a predetermined cushioning material such as an air cushion (see, for example, Patent Document 1).
In particular, as a cushioning material used when packing a pellicle case for a large pellicle in a packing box, there has been proposed a cushioning material with a defined contact area with the pellicle case to increase the cushioning capacity (see, for example, Patent Document 2, 3).

特開平１０－３０５８１４号公報JP-A-10-305814 特開２００８－１００７３３号公報JP 2008-100733 A 特開２０１０－６４７８０号公報JP-A-2010-64780

上述したように、従来技術においては、特に大型のペリクルケースは面積も大きく重量が大きいこと、輸送や保管の際に経時でペリクルケースの重量が緩衝材に加わること、さらには、緩衝材を繰り返し使用することは想定されていないことから、もっぱら、新品で緩衝能力が高い緩衝材を求めている。
また、従来においては、輸送中に発生する、悪路や荷運び中での強い衝撃等に起因する、比較的大きな振動を抑制する機能の高い緩衝材を得ることに注力されている。 As described above, in the prior art, especially large pellicle cases are large in area and heavy in weight; Since they are not supposed to be used, they are looking for new cushioning materials with high cushioning capacity.
Further, conventionally, efforts have been made to obtain a cushioning material that has a high function of suppressing relatively large vibrations caused by rough roads or strong impacts during transportation, etc., during transportation.

しかしながら、従来技術においては、繰り返し緩衝材を使用した場合、大きな振動のみならず、比較的小さい振動がペリクルケースに加わった場合にも異物が発生し、これが輸送対象に付着してしまうおそれがあることについては、十分な検討がなされていないという問題を有している。 However, in the conventional technology, when the cushioning material is repeatedly used, not only large vibrations but also relatively small vibrations are applied to the pellicle case, generating foreign matter, which may adhere to the object to be transported. However, there is a problem that sufficient consideration has not been given to this matter.

そこで本発明においては、上述した従来技術の問題点に鑑み、ペリクルを収納したペリクルケースを収納する梱包箱に配置する緩衝材に関して検討を行い、重量の大きい大型のペリクルケースを輸送する際や、長期保管した後に輸送する際にも異物が付着せず、かつ繰り返し使用しても異物の付着が効果的に低減できるペリクル用緩衝材を提供することを目的とする。 Therefore, in the present invention, in view of the above-mentioned problems of the prior art, we have studied the cushioning material to be arranged in the packing box that houses the pellicle case containing the pellicle. To provide a cushioning material for a pellicle, to which foreign matter does not adhere even when transported after long-term storage, and which can effectively reduce the adhesion of foreign matter even after repeated use.

本発明者らは、上述した課題を解決するために鋭意検討した結果、ペリクルとペリクルケースに、ある特定の振動周波数が加わると、外的に加わる振動以上のストレスが発生することを発見した。
すなわち、所定の圧力で所定の期間加圧した時の、所定の振動周波数におけるペリクルケースとペリクルとの加速度差を所定の値以下に制御することにより、ライナーの脱落や、ライナーとトレイとの摩擦、ペリクルフレームとトレイとの摩擦による異物の発生、及び付着を効果的に防止し得ることを見出し、本発明を完成させるに至った。
すなわち、本発明は、下記のとおりである。 As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the inventors of the present invention discovered that when a specific vibration frequency is applied to the pellicle and the pellicle case, stress greater than that of externally applied vibration is generated.
That is, by controlling the difference in acceleration between the pellicle case and the pellicle at a predetermined vibration frequency when a predetermined pressure is applied for a predetermined period of time to a predetermined value or less, it is possible to prevent the liner from falling off and the friction between the liner and the tray. The inventors have also found that it is possible to effectively prevent the generation and adhesion of foreign matter due to friction between the pellicle frame and the tray, and have completed the present invention.
That is, the present invention is as follows.

〔１〕
ペリクルを載置したペリクルケースが１～３枚、鉛直方向に収納された梱包箱の中に、
最下段の前記ペリクルケースが上部に載置された状態で配置されるペリクル用緩衝材を用
いた、ペリクルへの異物の付着防止方法であって、
前記ペリクルケースは、蓋及びトレイからなり、
前記ペリクルケース内には、ペリクルフレームの一端面にペリクル膜が接着されているペリクルが、前記ペリクルフレームを前記トレイに載置した状態で収容されているものとしたとき、
前記ペリクル用緩衝材として、上部構造体及び下部構造体よりなる２重構造体を有し、
前記上部構造体は発泡ポリエチレンよりなり、前記下部構造体は反発弾性が６０％以下のポリウレタンエラストマーよりなるものを用い、
前記ペリクル用緩衝材を複数、前記最下段の前記ペリクルケースの底面積の２．０％～３０．０％となる合計上面面積を有する範囲で対称的に分散配置し、下記の＜条件＞を満たすようにする、
ペリクル用緩衝材を用いたペリクルへの異物の付着防止方法。
＜条件＞
前記ペリクルを載置した前記ペリクルケースの底部に前記ペリクル用緩衝材を配置した
状態で９０日間保管し、前記ペリクル用緩衝材に対して０．０６ｋｇ／ｃｍ2で９０日加圧した後の、振動周波数１０．５Ｈｚにおける、前記ペリクルの加速度Ａと、前記ペリクルケースの加速度Ｂとが、
（（Ａ－Ｂ）／Ａ）×１００（％）≦２５（％）の関係。
〔２〕
前記下部構造体が、前記梱包箱の底面に接している、前記〔１〕に記載のペリクル用緩
衝材を用いたペリクルへの異物の付着防止方法。 [1]
One to three pellicle cases containing pellicles are placed vertically in a packing box.
A method for preventing foreign matter from adhering to a pellicle using a pellicle cushioning material arranged with the lowermost pellicle case placed thereon, comprising:
The pellicle case comprises a lid and a tray,
When a pellicle having a pellicle film adhered to one end face of a pellicle frame is housed in the pellicle case with the pellicle frame placed on the tray,
The pellicle cushioning material has a double structure composed of an upper structure and a lower structure,
The upper structure is made of foamed polyethylene, and the lower structure is made of polyurethane elastomer having rebound resilience of 60% or less,
A plurality of the pellicle cushioning materials are symmetrically distributed within a range having a total top surface area of 2.0% to 30.0% of the bottom area of the bottom pellicle case, and the following <conditions> are satisfied: to satisfy
A method for preventing foreign matter from adhering to a pellicle using a pellicle cushioning material.
<Condition>
The pellicle cushioning material is placed on the bottom of the pellicle case on which the pellicle is placed, and stored for 90 days. The acceleration A of the pellicle and the acceleration B of the pellicle case at a vibration frequency of 10.5 Hz are
((A−B)/A)×100(%)≦25(%) relationship.
[2]
The method for preventing adhesion of foreign matter to a pellicle using the pellicle cushioning material according to [1], wherein the lower structure is in contact with the bottom surface of the packaging box.

本発明によれば、長期保管後にペリクル用緩衝材を使用してペリクルケースを輸送した場合や、繰り返しペリクル用緩衝材を使用してペリクルケースを輸送した場合でも、ペリクルに対する異物の付着を効果的に抑制でき、かつ繰り返し使用できるペリクル用緩衝材を提供できる。 According to the present invention, even when the pellicle case is transported using the pellicle cushioning material after long-term storage, or even when the pellicle case is repeatedly transported using the pellicle cushioning material, adhesion of foreign matter to the pellicle can be effectively prevented. It is possible to provide a pellicle cushioning material that can be suppressed to a minimum and can be used repeatedly.

ペリクルを収納したペリクルケースを梱包箱に収納した状態の概略断面図を示す。FIG. 4 shows a schematic cross-sectional view of a state in which a pellicle case containing a pellicle is housed in a packing box. （ａ）～（ｄ） ペリクル用緩衝材の配置の例を示す、梱包箱内部底部の模式的な平面図を示す。(a) to (d) are schematic plan views of the inner bottom portion of the packing box, showing examples of the arrangement of the pellicle cushioning material. 振動周波数と加速度の測定試験の概略図を示す。1 shows a schematic diagram of a vibration frequency and acceleration measurement test; FIG. ペリクル及びペリクルケースの加速度測定位置を示す。Acceleration measurement positions of the pellicle and pellicle case are shown.

以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明を実施するための形態（以下、単に「本実施形態」と記載する。）について詳細に説明するが、本発明は、下記の実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。 Hereinafter, modes for carrying out the present invention (hereinafter simply referred to as "present embodiments") will be described in detail with reference to the drawings as necessary. It is not limited. The present invention can be carried out with various modifications within the scope of its gist.

〔ペリクル用緩衝材〕
本実施形態のペリクル用緩衝材は、
ペリクルを載置したペリクルケースが収納された梱包箱の中に、前記ペリクルケースが上部に載置された状態で配置されるペリクル用緩衝材であって、
前記ペリクル用緩衝材に対して０．０６ｋｇ／ｃｍ2で９０日加圧した後の、振動周波数１０．５Ｈｚにおける、前記ペリクルの加速度Ａと、前記ペリクルケースの加速度Ｂとが、
（（Ａ－Ｂ）／Ａ）×１００（％）≦２５（％）の関係を満たす、ペリクル用緩衝材である。 [Buffer material for pellicle]
The pellicle cushioning material of this embodiment is
A pellicle cushioning material that is placed in a packing box containing a pellicle case in which a pellicle is placed, with the pellicle case placed thereon,
The acceleration A of the pellicle and the acceleration B of the pellicle case at a vibration frequency of 10.5 Hz after pressurizing the pellicle cushioning material at 0.06 kg/cm 2 for 90 days are:
This cushioning material for a pellicle satisfies the relationship of ((A−B)/A)×100(%)≦25(%).

以下、本実施形態のペリクル用緩衝材について、図面を用いて説明する。
図１は大型のペリクルを収納した梱包体の一例を示す模式的な断面図である。
また、図２（ａ）～（ｄ）は、ペリクル用緩衝材の配置の例を示す梱包箱の内側底面の平面図である。
ここで大型のペリクルとは、ペリクル膜の面積が１０００ｃｍ2以上５００００ｃｍ2以下であるものを言う。 The pellicle cushioning material of this embodiment will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a package containing a large pellicle.
2(a) to 2(d) are plan views of the inner bottom surface of the packing box showing examples of the arrangement of the pellicle cushioning material.
Here, a large pellicle refers to a pellicle having a pellicle film area of 1000 cm 2 or more and 50000 cm 2 or less.

図１に示すように、梱包体Ａは、ペリクルフレーム１０の一端面にペリクル膜が接着されているペリクル９を収納した、蓋４ａ及びトレイ４ｂからなるペリクルケース４と、当該ペリクルケース４を支持する、ペリクル用緩衝材１とを梱包箱６内に収納した構成を有している。
ここで梱包箱６に収納するペリクルケース４は、単数であっても複数であってもよいが、大型のペリクルケースの場合は、大きさと重量の関係から最大３枚までを一つの梱包箱６に収納させることが好ましい。
図１においては、下段保持部材２及び上段保持部材３により、各々ペリクルケース４が収納された２段構成となっており、天板５によって保持された状態で梱包箱６に収納された梱包体Ａが２段積み重ねられ、パレット８に載置され、輸送用天板７によって保持された構成となっている。 As shown in FIG. 1, the package A includes a pellicle case 4 containing a pellicle 9 having a pellicle film adhered to one end surface of a pellicle frame 10, and a pellicle case 4 including a lid 4a and a tray 4b. , and the pellicle cushioning material 1 is housed in the packing box 6 .
Here, the pellicle case 4 to be housed in the packing box 6 may be singular or plural, but in the case of a large pellicle case, up to three pellicle cases can be stored in one packing box 6 due to the size and weight. It is preferable to store it in
In FIG. 1, a lower holding member 2 and an upper holding member 3 form a two-stage structure in which a pellicle case 4 is accommodated, and the package is held in a packaging box 6 while being held by a top plate 5. A is stacked in two stages, placed on a pallet 8, and held by a top plate 7 for transportation.

ペリクル用緩衝材１は、２重以上の構造体からなることが好ましく、図１においては、一例として、上部構造体１ｂと下部構造体１ａからなる２重構造を示しているが、本実施形態は、かかる構成に限定されるものではなく、単層構造であってもよく、また、３重以上の構造であってもよい。 It is preferable that the pellicle cushioning material 1 has a double or more structure. In FIG. 1, as an example, a double structure consisting of an upper structure 1b and a lower structure 1a is shown. is not limited to such a structure, and may be a single layer structure or a structure of three or more layers.

本実施形態のペリクル用緩衝材は、図１に示すような構成で０．０６ｋｇ／ｃｍ2で９０日加圧した後の、振動周波数１０．５Ｈｚにおける、前記ペリクルの加速度Ａと、前記ペリクルケースの加速度Ｂとが、（（Ａ－Ｂ）／Ａ）×１００（％）≦２５（％）である機能を有している。好ましくは２０％以下、より好ましくは１５％以下である。
従来は輸送や保管中の大きな振動だけに注力して、緩衝材の緩衝能力を高めていたが、実際の輸送には、振動は大きくない場合でも、ペリクルとペリクルケースに、ある特定の振動周波数が加わると、ペリクルが激しく動き、外的に加わっている振動以上のストレスが発生する。
特に、長期的に使用された後に輸送を行った場合、特定の振動周波数が加わると、ペリクルが新品のペリクルと比較して激しく動き、大きなストレスがペリクルに加わり、ペリクルとペリクルケースとの間に摩擦が発生し、ライナーの脱落や、ライナーとトレイとの摩擦、ペリクルのフレームとトレイとの摩擦により異物が発生する。
本実施形態においては、ペリクルの加速度Ａと、ペリクルケースの加速度Ｂとを、上記式の関係を満たすように特定し、ストレスが若干かかっても、ペリクルとペリクルケースとの間の摩擦の発生を効果的に抑制し、上述した異物等の発生を防止できる。 The pellicle cushioning material of this embodiment has the configuration shown in FIG . and the acceleration B of ((AB)/A)×100(%)≦25(%). It is preferably 20% or less, more preferably 15% or less.
In the past, we focused only on large vibrations during transportation and storage to increase the cushioning capacity of cushioning materials. When the force is applied, the pellicle moves violently, generating stress greater than the externally applied vibration.
In particular, when transported after long-term use, when certain vibration frequencies are applied, the pellicle moves more violently than a new pellicle. Friction occurs, and foreign matter is generated due to falling off of the liner, friction between the liner and the tray, and friction between the frame of the pellicle and the tray.
In this embodiment, the acceleration A of the pellicle and the acceleration B of the pellicle case are specified so as to satisfy the relationship of the above formula, and even if some stress is applied, the occurrence of friction between the pellicle and the pellicle case is prevented. It is possible to effectively suppress the occurrence of the above-described foreign matter and the like.

上述したように、ペリクルの加速度Ａと、ペリクルケースの加速度Ｂとを、（（Ａ－Ｂ）／Ａ）×１００（％）≦２５（％）に制御するためには、ペリクルケースに対する圧縮率が小さい緩衝材を使用したり、経日的に劣化の少ない緩衝材を使用したり、ペリクルケースを今よりも柔軟な素材にしたり、ペリクルとペリクルケースとの間に隙間を設けるような設計にしたりすることが有効である。 As described above, in order to control the acceleration A of the pellicle and the acceleration B of the pellicle case to ((AB)/A)×100(%)≦25(%), the compression ratio for the pellicle case is The pellicle should be designed to use a cushioning material with a small thickness, a cushioning material that deteriorates less over time, a more flexible material for the pellicle case, and a gap between the pellicle and the pellicle case. It is effective to

図１に示すように、本実施形態のペリクル用緩衝材１は、梱包箱６の中に、ペリクルケース４が上部に載置された状態で配置されるものである。
ペリクル用緩衝材１は、図２（ａ）～（ｄ）に示すように、梱包箱６の内側底面に分散配置することが好ましい。
ここで、分散配置されたペリクル用緩衝材１は、個々に独立したものであることが好ましいが、少なくとも上面が独立していれば、下部において互いに連結していてもよい。独立している場合には、ペリクル用緩衝材１の占有体積を小さくでき、連結している場合には梱包箱６へのペリクル用緩衝材１の配置が容易になる。 As shown in FIG. 1, the pellicle cushioning material 1 of this embodiment is arranged in a packing box 6 with a pellicle case 4 placed thereon.
The pellicle cushioning materials 1 are preferably distributed on the inner bottom surface of the packing box 6 as shown in FIGS. 2(a) to 2(d).
Here, the dispersed pellicle cushioning materials 1 are preferably independent from each other, but may be connected to each other at their lower portions as long as at least their upper surfaces are independent. When they are independent, the occupied volume of the pellicle cushioning material 1 can be reduced, and when they are connected, the arrangement of the pellicle cushioning material 1 in the packing box 6 is facilitated.

ペリクル用緩衝材１の配置数と形状は、外部からの衝撃が無い時は、ペリクルケース４を平坦に保つことが可能な程度に適宜選択する。すなわち、梱包箱６の側面に沿って、ペリクルケース４の底面積の２．０％～３０．０％となる合計上面面積を有する範囲で、複数のペリクル用緩衝材１を対称的に配置することが好ましい。
ペリクル用緩衝材１をこのように配置することにより、特に下方から梱包体Ａに強い衝撃が加わった場合においても、ペリクルケース４に梱包箱６が直接接触することを防止できるため、膜あたりが回避できる。
また、ペリクル用緩衝材１の形状は、荷重によりペリクルケースとの接触面積が大きく変化しない形状が好ましく、例えば直方体が好ましい。 The number and shape of the pellicle cushioning materials 1 are appropriately selected so that the pellicle case 4 can be kept flat when there is no external impact. That is, along the sides of the packing box 6, a plurality of pellicle cushioning materials 1 are symmetrically arranged within a range having a total top surface area of 2.0% to 30.0% of the bottom area of the pellicle case 4. is preferred.
By arranging the pellicle cushioning material 1 in this way, it is possible to prevent the packaging box 6 from coming into direct contact with the pellicle case 4 even when a strong impact is applied to the package A particularly from below. can be avoided.
Moreover, the shape of the pellicle cushioning material 1 is preferably a shape in which the contact area with the pellicle case does not greatly change due to the load, for example, a rectangular parallelepiped.

本実施形態のペリクル用緩衝材１の形状、及び梱包箱６中における配置の具体例としては、図２（ａ）に示すように直方体形状のペリクル用緩衝材を梱包箱の内側底面の６カ所に配置する形態、図２（ｂ）に示すように直方体形状のペリクル用緩衝材を梱包梱の内側底面の６か所に配置する形態、図２（ｃ）に示すように、矩形断面のペリクル用緩衝材１を梱包箱内側底面の４か所に配置する形態、図２（ｄ）に示すように梱包箱の内側底面の短辺両側に、ペリクル用緩衝材１を各々平行２列に配置する形態が挙げられる。 As a specific example of the shape of the pellicle cushioning material 1 of the present embodiment and its arrangement in the packaging box 6, as shown in FIG. 2(b), rectangular parallelepiped pellicle cushioning materials are arranged at six locations on the inner bottom surface of the packing case; and, as shown in FIG. 2. As shown in FIG. 2(d), pellicle cushioning materials 1 are arranged in two parallel rows on both short sides of the inner bottom surface of the packaging box. The form to do is mentioned.

ペリクルケース４を支持するペリクル用緩衝材１の上面の面積の合計は、梱包箱６内で、最も下に位置するペリクルケース４の底面積の２．０％以上３０．０％未満であることが好ましい。さらには、２．５％以上２５．０％未満であることがより好ましく、３．０％以上２０．０％未満がさらに好ましい。
また、本実施形態のペリクル用緩衝材１は、直接ペリクルケース４に接していてもよいし、後述する保持部材のようにペリクルケース４を固定するために使用する所定の部材を、ペリクルケース４とペリクル用緩衝材１の間に配置してもよい。
また、梱包箱６底面とペリクル用緩衝材１との間に、ペリクル用緩衝材１と接着力が良好な部材や底面を平行にするような部材を配置してもよい。 The total area of the upper surface of the pellicle cushioning material 1 that supports the pellicle case 4 should be 2.0% or more and less than 30.0% of the bottom area of the pellicle case 4 located at the bottom in the packing box 6. is preferred. Furthermore, it is more preferably 2.5% or more and less than 25.0%, and even more preferably 3.0% or more and less than 20.0%.
Further, the pellicle cushioning material 1 of the present embodiment may be in direct contact with the pellicle case 4, or a predetermined member used for fixing the pellicle case 4, such as a holding member to be described later, may be attached to the pellicle case 4. and the pellicle cushioning material 1.
Also, between the bottom surface of the packing box 6 and the pellicle cushioning material 1, a member having good adhesion to the pellicle cushioning material 1 or a member having a parallel bottom surface may be arranged.

ペリクルケース４を支持するペリクル用緩衝材１の上面の面積の合計が、梱包箱６内で、最も下に位置するペリクルケース４の底面積に対して２．０％よりも少ない場合は、静置時に収納容器を十分に支持できないため平坦性が悪くなり、発塵のおそれがある。
一方において、３０．０％以上である場合は、逆に緩衝能力が悪くなり、外側からの衝撃を受けやすくなるため好ましくない。また、梱包箱６は段ボールのような素材で作られていることが一般的なため、フォークリフトの刺し傷や輸送中の強い衝撃に対して変形しやすいという問題がある。そのため、梱包箱６が変形した場合に、ペリクル用緩衝材１が衝撃を伝える媒体となってペリクルケース４に衝撃が伝わり、結果的に汚染や膜あたり等が生じるおそれがある。 If the total area of the top surface of the pellicle cushioning material 1 that supports the pellicle case 4 is less than 2.0% of the bottom area of the pellicle case 4 located at the bottom in the packing box 6, static Since the storage container cannot be sufficiently supported when placed, the flatness is deteriorated, and there is a risk of dust generation.
On the other hand, if it is 30.0% or more, the cushioning capacity will be deteriorated, and it will be susceptible to external impacts, which is not preferable. In addition, since the packing box 6 is generally made of a material such as cardboard, there is a problem that the packing box 6 is easily deformed by a forklift stab wound or a strong impact during transportation. Therefore, when the packing box 6 is deformed, the pellicle cushioning material 1 serves as a medium for transmitting the impact, and the impact is transmitted to the pellicle case 4, which may result in contamination, film contact, and the like.

本実施形態のペリクル用緩衝材１は、高さが５０～５００ｍｍであることが好ましく、８０～４００ｍｍがより好ましく、１００～２５０ｍｍがさらに好ましい。
本実施形態のペリクル用緩衝材１の高さが５００ｍｍ以下であれば、無駄なスペースが少なく、５０ｍｍ以上であれば落下衝撃によって梱包体Ａの底面が衝撃を受けても、ペリクルケース４内のペリクル９が受ける影響を効果的に少なくできる。
従って、梱包体Ａの質量増に応じて、ペリクル用緩衝材１の高さを適宜設計することが好ましい。
上述したように、合計上面面積以外のペリクル用緩衝材１の形状、配置については、収納するペリクルケース４の質量に対して、上述した点を考慮して、所望の緩衝効果が得られるように適宜決定する。 The pellicle cushioning material 1 of the present embodiment preferably has a height of 50 to 500 mm, more preferably 80 to 400 mm, even more preferably 100 to 250 mm.
If the height of the pellicle cushioning material 1 of this embodiment is 500 mm or less, there is little wasted space. The influence of the pellicle 9 can be effectively reduced.
Therefore, it is preferable to appropriately design the height of the pellicle cushioning material 1 according to the increase in the mass of the package A.
As described above, the shape and arrangement of the pellicle cushioning material 1 other than the total top surface area are determined so as to obtain the desired cushioning effect with respect to the mass of the pellicle case 4 to be accommodated, taking into account the above points. Decide accordingly.

本実施形態のペリクル用緩衝材１は、少なくとも２重の構造体を含むことが好ましい。
ペリクル用緩衝材１が、２重の構造体を含む場合、そのうちの少なくとも１つの構造体が、反発弾性が６０％以下の構造体であることが好ましい。
前記反発弾性は５８％以下であることがより好ましく、５５％以下であることがさらに好ましい。
反発弾性が前記数値範囲内にあることにより、長期間保管、使用しても、輸送中の特定の振動周波数によるそれぞれの振動を抑える効果を発揮できる。
また、長期保管後の輸送中でも、劣化なく振動を抑える効果を発揮でき、好ましい。 The pellicle cushioning material 1 of this embodiment preferably includes at least a double structure.
When the pellicle cushioning material 1 includes a double structure, at least one of the structures preferably has a rebound resilience of 60% or less.
More preferably, the impact resilience is 58% or less, and even more preferably 55% or less.
When the impact resilience is within the above numerical range, the effect of suppressing each vibration caused by a specific vibration frequency during transportation can be exhibited even after long-term storage and use.
Moreover, even during transportation after long-term storage, the effect of suppressing vibration can be exhibited without deterioration, which is preferable.

前記反発弾性が６０％以下の構造体は、例えば、防振ゴム系、樹脂発泡体系、金属バネ系、空気バネ系の緩衝材であることが好ましいが、より好ましくは、防振性のゴムスポンジやポリウレタン発泡体である。特に繰り返し使用する耐久性に優れるポリウレタン発泡体がさらに好ましい。 The structure having a rebound resilience of 60% or less is preferably, for example, a vibration-isolating rubber-based, resin foam-based, metal spring-based, or air spring-based cushioning material, and more preferably a vibration-isolating rubber sponge. and polyurethane foam. Polyurethane foam, which is particularly durable for repeated use, is more preferable.

また、梱包箱６の底面に接する面には、前記反発弾性が６０％以下の構造体が接していることが好ましい。これによりペリクルケース４全体の振動を抑制することができる。
また、本実施形態のペリクル用緩衝材が２重の構造体を含む場合、当該２重構造の比率は、ペリクルケースの重量と面積の観点、及び、ペリクルケースと梱包箱底面に空間を設けて膜あたりを抑制したいという観点から、ペリクル用緩衝材１の高さ全体に対して、前記反発弾性が６０％以下の構造体が、２５％以下であることが好ましい。より好ましくは２０％以下、さらに好ましくは１５％以下である。 In addition, it is preferable that the surface of the packaging box 6 that is in contact with the bottom surface is in contact with the structure having the impact resilience of 60% or less. As a result, vibration of the pellicle case 4 as a whole can be suppressed.
In addition, when the pellicle cushioning material of the present embodiment includes a double structure, the ratio of the double structure is determined from the viewpoint of the weight and area of the pellicle case and the space provided between the pellicle case and the bottom surface of the packaging box. From the viewpoint of suppressing film contact, it is preferable that the structure having the impact resilience of 60% or less is 25% or less of the entire height of the pellicle cushioning material 1 . More preferably 20% or less, still more preferably 15% or less.

２重の構造体のうちの反発弾性が６０％以下の構造体以外の、他の構造体は、強い衝撃から抑制できる材料により形成されていることが好ましい。さらに、長期間保管を行った場合に、重量が大きいペリクルケースを保持した場合であっても、高さの変位を抑制することもでき、好ましい。
また、フォークリフト等で底面が突き上げられたときに、フォークリフトの爪がペリクルケース４に当たる確率が低くし、かつ輸送中のトラブルを少なくする観点から、ペリクルケース４と梱包箱６の底面との間に空間が設け、ペリクルケース４と梱包箱６の底面からの距離を保つことが好ましい。
２重の構造体のうちの反発弾性が６０％以下の構造体以外の他の構造体としては、以下に限定されるものではないが、例えば、フロー成形品の中空構造体、発泡ポリエチレン、発泡スチロール、段ボール、紙類で作製した構成体等を挙げられ、特に、適度な剛性と軽量性の観点から、発泡ポリエチレン、発泡スチロール、中空構造体が好ましい。 It is preferable that the structure other than the structure having impact resilience of 60% or less among the double structures be made of a material capable of suppressing a strong impact. Furthermore, even when a heavy pellicle case is held during long-term storage, it is possible to suppress height displacement, which is preferable.
In addition, from the viewpoint of reducing the probability that the claws of the forklift will hit the pellicle case 4 when the bottom surface is pushed up by a forklift or the like and to reduce troubles during transportation, a gap between the pellicle case 4 and the bottom surface of the packing box 6 is provided. It is preferable to provide a space and keep a distance from the bottom surfaces of the pellicle case 4 and the packing box 6 .
Structures other than structures having impact resilience of 60% or less among double structures are not limited to the following. , corrugated cardboard, structures made of paper, etc., and from the viewpoint of appropriate rigidity and light weight, foamed polyethylene, expanded styrene, and hollow structures are particularly preferred.

〔梱包体〕
本実施形態の梱包体は、上述した本実施形態のペリクル用緩衝材により、ペリクルを収納したペリクルケースを梱包箱内に水平に保持して収納してなるものであり、前記梱包箱の内側底面には、前記ペリクル用緩衝材が分散配置されており、単数又は複数の前記ペリクルケースが、梱包箱の最も下に位置するペリクルケースの底面積の２．０％以上３０．０％未満に該当する合計上面面積を有するペリクル用緩衝材の上面で支えられている構成を有している。
図１を用いて、本実施形態の梱包体Ａについて説明する。
図１に示す態様においては、梱包体Ａは、ペリクルケース４を１つずつ保持する下段保持部材２及び上段保持部材３と、上段保持部材３の上部に蓋をする天板５と、前記ペリクル用緩衝材１とを梱包箱６に収納してなるものである。
梱包体Ａにおいては、前記保持部材２、３を利用してペリクルケース４を複数重ねることができるが、重ねる段数は１段又は２段とすることが好ましい。
前記保持部材２、３は、ペリクルケース４の上下のスペースを調整する役割に加えて、ペリクルケース４の水平方向の位置を規制する役割も有している。さらに、梱包体Ａを複数本の結束バンド（図示しない）で強固に締結してもよい。 [Package]
The package of the present embodiment comprises a pellicle case containing a pellicle, which is horizontally held in a packing box by the pellicle cushioning material of the present embodiment described above. , the pellicle cushioning material is distributed, and one or more of the pellicle cases occupy 2.0% or more and less than 30.0% of the bottom area of the pellicle case located at the bottom of the packing box. It has a structure supported by the upper surface of a pellicle cushioning material having a total upper surface area of .
The package A of this embodiment will be described with reference to FIG.
In the embodiment shown in FIG. 1, the package A includes a lower holding member 2 and an upper holding member 3 each holding a pellicle case 4, a top plate 5 covering the upper portion of the upper holding member 3, and the pellicle. The cushioning material 1 is housed in a packing box 6.
In the package A, a plurality of pellicle cases 4 can be stacked using the holding members 2 and 3, and it is preferable to stack the pellicle cases 4 in one or two stages.
The holding members 2 and 3 have the role of adjusting the vertical space of the pellicle case 4 and also the role of regulating the horizontal position of the pellicle case 4 . Furthermore, the package A may be firmly fastened with a plurality of binding bands (not shown).

また、梱包体Ａは複数重ねて運送できるが、持ち運び易さや安定性から１箱又は２箱とすることが好ましい。
梱包体Ａを輸送する際には、その上部には輸送用天板７、その下部にはパレット８を配置した梱包パレットとすることが好ましい。そして、輸送用天板７、梱包体Ａ、パレット８の三つは、複数本の結束バンド（図示せず）で強固に締結されることが好ましい。
梱包体Ａはそのまま輸送することもできるが、輸送用天板７とパレット８を兼ね備えたほうがより好ましい。その場合、角あてを利用すると梱包パレットがより強固になる。 In addition, although a plurality of packages A can be stacked and transported, one or two packages are preferable from the viewpoint of portability and stability.
When transporting the package A, it is preferable to use a packing pallet having a transportation top plate 7 above it and a pallet 8 below it. It is preferable that the transportation top plate 7, the package A, and the pallet 8 are firmly fastened with a plurality of binding bands (not shown).
Although the package A can be transported as it is, it is more preferable to have the transportation top plate 7 and the pallet 8 together. In that case, using the corner pads will make the packing pallet stronger.

輸送用天板７、梱包体Ａ、パレット８（支持脚は除く）は、十分な強度を持つ材質で構成されることが好ましく、プラスチック段ボール、紙段ボール、強化段ボール、多層段ボール、ハニカム構造を有する板状材料、合成樹脂、合成樹脂の発泡体、金属類等から適宜選択できるが、これに限定されるものではない。また、角あてを利用する場合の材質は特に限定されず、適宜選択することができる。 The top plate 7 for transportation, the package A, and the pallet 8 (excluding the support legs) are preferably made of a material with sufficient strength, and have a plastic cardboard, paper cardboard, reinforced cardboard, multi-layer cardboard, or honeycomb structure. The material can be appropriately selected from plate materials, synthetic resins, synthetic resin foams, metals, and the like, but is not limited to these. In addition, the material when using the corner pad is not particularly limited, and can be selected as appropriate.

パレット８の支持脚は、重量を支持できる強度を備え、特に上下の衝撃に対して緩衝効果が高い材質で構成されることが好ましく、発泡性樹脂（例えば、発泡性ポリエチレン、発泡性スチロール等）、プラスチック段ボール、紙段ボール、強化段ボール、多層段ボール、エアークッション、液体ゲル等から適宜選択できるが、これらに限定されるものではない。
形状としては、衝撃に対して潰れやすい方向に穴が貫通していることが好ましく、丸形状、楕円状、三角形状等が好ましいが、穴が貫通していなくても緩衝材となるような構成にしてもよい。
また、支持脚は、パレット８を利用しない場合は、梱包箱６の外側下部面に直接設置してもよい。 The supporting legs of the pallet 8 are preferably made of a material that is strong enough to support the weight and particularly has a high cushioning effect against vertical impacts, and is made of a foaming resin (eg, foaming polyethylene, foaming styrol, etc.). , plastic corrugated board, paper corrugated board, reinforced corrugated board, multilayer corrugated board, air cushion, liquid gel, etc., but not limited to these.
As for the shape, it is preferable that the hole penetrates in the direction in which it is easily crushed by impact, and a round shape, an elliptical shape, a triangular shape, etc. can be
Also, the support legs may be directly installed on the outer lower surface of the packing box 6 when the pallet 8 is not used.

輸送用天板７、梱包体Ａ、パレット８を結束する結束バンドは、ポリプロピレン製のものが一般的であるが、各構成部材の重量に応じて適宜選択することが好ましい。 The binding band for binding the transportation top plate 7, the package A, and the pallet 8 is generally made of polypropylene, but it is preferable to appropriately select the binding band according to the weight of each component.

梱包体Ａ内で利用される保持部材２、３について説明する。
保持部材２、３の材質は、発泡性ポリエチレン、発泡性スチロール、発泡性ポリウレタン等、衝撃を吸収する緩衝材で、ペリクルケース４を平坦に保持できる程度の強度を持つ材質であればよい。
また、保持部材２、３は、ペリクルケース４を平坦に保持できる構造であることが好ましいが、ペリクルケース４の側面と底面を覆う凹形状より、ペリクルケースの側面と底面の一部を覆う形状であることが好ましい。より好ましくは、断面がＬ字形状のものである。 The holding members 2 and 3 used in the package A will be explained.
The material of the holding members 2 and 3 may be a cushioning material such as foamed polyethylene, foamed styrol, foamed polyurethane, or the like that absorbs impact and has sufficient strength to hold the pellicle case 4 flat.
It is preferable that the holding members 2 and 3 have a structure capable of holding the pellicle case 4 flat. is preferably More preferably, the cross section is L-shaped.

また、最下段の下段保持部材２は、ペリクル用緩衝材１の上面、当該ペリクル用緩衝材１が複数の構造体、例えば上部構造体１ｂ及び下部構造体１ａよりなる場合には、上部構造体１ｂに接して載置されていることが好ましい。 In addition, the bottom holding member 2 is the upper surface of the pellicle cushioning material 1, and when the pellicle cushioning material 1 is composed of a plurality of structures, for example, an upper structure 1b and a lower structure 1a, the upper structure It is preferably placed in contact with 1b.

最上部の上部保持部材３の蓋となる天板５の材質について説明する。
天板５は、発泡性ポリエチレン、発泡性スチロール、発泡性ポリウレタン等、衝撃を吸収する緩衝材で構成されることが好ましく、上部保持部材３の周縁部に載置することができるように、少なくとも下面がフラットに形成されているものとする。また、天板５とペリクルケース４との間に、発泡性ウレタンやエアークッションのような柔らかい所定の緩衝材を配置して、さらにペリクルケース４に対しする衝撃を抑制する構成としてもよい。このような構成とすることで、梱包体Ａの天面を効果的に保護することができる。 The material of the top plate 5 serving as the lid of the top holding member 3 will be described.
The top plate 5 is preferably made of a shock-absorbing cushioning material such as foamed polyethylene, foamed styrol, or foamed polyurethane. It is assumed that the lower surface is formed flat. Further, a predetermined soft cushioning material such as foamed urethane or an air cushion may be arranged between the top plate 5 and the pellicle case 4 to suppress the impact on the pellicle case 4 . With such a configuration, the top surface of the package A can be effectively protected.

本実施形態の梱包体Ａにおいては、ペリクル用緩衝材１によってペリクルケース９が梱包箱６内に水平に保持されて収納されている。
前記梱包箱６の内側底面には、前記ペリクル用緩衝材が分散配置されている。例えば、図２（ａ）～（ｄ）に示した配置形態が挙げられる。
また、単数又は複数の前記ペリクルケース４が、梱包箱６の最も下に位置するペリクルケース４の底面積の２．０％以上３０．０％未満に該当する合計上面面積を有するペリクル用緩衝材１の上面で支えられている。
ペリクルケース４を支持するペリクル用緩衝材１の上面の面積の合計が、梱包箱６内で、最も下に位置するペリクルケース４の底面積に対して２．０％以上とすることにより、静置時に収納容器を十分に支持でき、良好な平坦性が得られ、発塵を効果的に防止できる。
また、３０．０％未満とすることにより、優れた緩衝能力を発揮でき、外側からの衝撃を抑制できる。 In the package A of the present embodiment, the pellicle case 9 is horizontally held in the packaging box 6 by the pellicle cushioning material 1 and accommodated.
The pellicle cushioning material is distributed on the inner bottom surface of the packing box 6 . For example, the arrangement forms shown in FIGS.
In addition, a pellicle cushioning material in which one or more of the pellicle cases 4 have a total top surface area corresponding to 2.0% or more and less than 30.0% of the bottom area of the pellicle case 4 positioned at the bottom of the packing box 6. It is supported by the upper surface of 1.
A static The storage container can be sufficiently supported when placed, good flatness can be obtained, and dust generation can be effectively prevented.
Moreover, by making it less than 30.0%, it is possible to exhibit excellent cushioning ability and suppress impact from the outside.

本実施形態の梱包体によれば、ペリクルの保管、輸送時の振動、衝撃から、ペリクルを効果的に保護でき、膜あたりを生じず、また、ペリクルに異物が付着することがなく、清浄な状態を保って輸送することができる。
また、緩衝材の占有体積を小さくして緩衝効果を発現することができる。 According to the package of the present embodiment, the pellicle can be effectively protected from vibration and impact during storage and transportation of the pellicle, and the pellicle can be kept clean without causing film contact or adhering foreign matter to the pellicle. It can be transported in good condition.
In addition, the volume occupied by the cushioning material can be reduced to exhibit the cushioning effect.

以下、具体的な実施例及び比較例を挙げて本実施形態をより具体的に説明するが、本実施形態はその要旨を超えない限り、下記の実施例に限定されるものではない。
なお、実施例及び比較例中の各物性は下記の方法により測定した。 Hereinafter, the present embodiment will be described in more detail with reference to specific examples and comparative examples, but the present embodiment is not limited to the following examples as long as the gist thereof is not exceeded.
In addition, each physical property in Examples and Comparative Examples was measured by the following methods.

（（１）振動周波数と加速度の測定試験）
ペリクルケース、及びペリクルにかかる振動周波数と加速度を測定した。
図３に示すように、図１の梱包体Ａを一箱利用して測定を実施した。
図３に示すように、ペリクルケース４を上段保持部材３、下段保持部材２のそれぞれに、合計２個収納した。
下段保持部材２によって保持されている下段側のペリクルケース４に、ペリクル膜とペリクルフレーム１０を具備するペリクル９を載置し、上段保持部材３によって保持されている上段側のペリクルケース４にはペリクルフレーム１０のみを載置した。
上段のペリクルケース４の、ペリクルの短辺側の中央部に対応する位置に、図４のように粘着テープにより加速度計を取付け、かかる位置をペリクルケース４の加速度測定位置としてペリクルケースの加速度（Ｂ）を測定した。
ペリクルの加速度（Ａ）は、図４のように上記ペリクルケース４の加速度測定位置とほぼ同じ位置になるようにペリクルフレーム１０の短辺中央部における当該ペリクルフレーム上に同様に加速度計を取付け測定した。
ペリクルケース４を梱包箱に収納し、ペリクル用緩衝材１を配置した。
図３に示すように、ペリクルケース４を収納した梱包箱６を振動試験機ステージ上に載置し、振動駆動部により振動させる振動試験を行った。データ処理は、輸送振動記録計（Ｔｏｕｇｈ Ｌｏｇｇｅｒ ｍｏｄｅｌ ＴＲ－１０００ ＩＭＶ社製）を使用して、振動周波数、加速度を求めた。
振動試験機は、ＩＭＶ製 Ｋ１２５ＬＳ／ＳＡ１８Ｍを使用した。
試験条件は、加速度８Ｇ、振動周波数０～２００Ｈｚとした。 ((1) Vibration frequency and acceleration measurement test)
The vibration frequency and acceleration applied to the pellicle case and pellicle were measured.
As shown in FIG. 3, the measurement was performed using one package A of FIG.
As shown in FIG. 3, a total of two pellicle cases 4 were housed in each of the upper holding member 3 and the lower holding member 2 .
A pellicle 9 having a pellicle film and a pellicle frame 10 is mounted on the lower pellicle case 4 held by the lower holding member 2, and the upper pellicle case 4 held by the upper holding member 3 has a Only the pellicle frame 10 was placed.
An accelerometer is attached to the upper pellicle case 4 at a position corresponding to the center of the short side of the pellicle as shown in FIG. B) was measured.
The acceleration (A) of the pellicle is measured by similarly attaching an accelerometer on the pellicle frame at the center of the short side of the pellicle frame 10 so that the acceleration measurement position of the pellicle case 4 is approximately the same as that of the pellicle case 4 as shown in FIG. bottom.
The pellicle case 4 was housed in a packing box, and the pellicle cushioning material 1 was arranged.
As shown in FIG. 3, the packing box 6 containing the pellicle case 4 was placed on the stage of the vibration tester, and a vibration test was performed by vibrating it with the vibration driving unit. For data processing, a transport vibration recorder (Tough Logger model TR-1000, manufactured by IMV) was used to determine vibration frequency and acceleration.
As a vibration tester, K125LS/SA18M manufactured by IMV was used.
The test conditions were an acceleration of 8 G and a vibration frequency of 0 to 200 Hz.

（（２）異物検査）
前記と同様なサンプルを作製し、輸送試験を行った。
輸送試験は、宮崎から羽田を往復することにより行った。
宮崎－福岡往復はトラックで、福岡－羽田往復は空輸で輸送し、上下方向の衝撃を測定し、異物付着状態を評価した。 ((2) foreign matter inspection)
A sample similar to that described above was prepared and a transportation test was conducted.
A transportation test was conducted by making a round trip from Miyazaki to Haneda.
The Miyazaki-Fukuoka round trip was transported by truck, and the Fukuoka-Haneda round trip was transported by air.

〔実施例１〕
図１に示すように、ペリクル９をペリクルケース４に載置した。
その際、ライナーをトレイ４ｂにとめるために粘着テープを使用した。
当該ペリクルケース４を梱包箱６に収納した。
ペリクル用緩衝材１としては、２重構造体１ａ、１ｂを有するものを用いた。
２重構造体のペリクル用緩衝材１は、上部構造体１ｂとして、１６０ｍｍ×５０ｍｍ、高さ１４０ｍｍの発泡ポリエチレン製の緩衝材を使用し、下部構造体１ａとして、１６０ｍｍ×５０ｍｍ、高さ２０ｍｍの、反発弾性が５０％のポリウレタンエラストマー製の緩衝材を用いた。これら上部及び下部構造体を接着剤にて貼り合わせ、ペリクル用緩衝材１とした。
ペリクルケース４としては、外寸が９５０ｍｍ×１３００ｍｍで、蓋４ａも合わせたペリクルケース４の高さが１００ｍｍであるものを用いた。
ペリクルケース４を、保持部材（発泡ポリエチレン製）２、３にて保持し、下段のペリクルケース４の底部に、ペリクル用緩衝材１を図２（ａ）のように６カ所に配置し、梱包体Ａとした。このとき、梱包箱６の底面にペリクル用緩衝材１を固定しやすいように、底面に発泡ポリエチレン製の板状物、外寸が１０５０ｍｍ×１４００ｍｍ、高さ４ｍｍを敷いてその上にペリクル用緩衝材１を接着剤にて貼り付けた。
このとき、ペリクル用緩衝材１に対して０．０６ｋｇ／ｃｍ2の圧力がかかっていた。
上述のようにして得た梱包体において、倉庫にて梱包体を９０日間保管し、前記（（１）振動周波数と加速度試験）を実施した。
振動周波数が１０．５Ｈｚとし、ペリクルケースの加速度（Ｂ）と、ペリクルの加速度（Ａ）をそれぞれ測定した。
加速度差を（（Ａ）－（Ｂ）／（Ａ））×１００により算出したところ、３％であった。
また、（（２）異物検査）を実施したところ、異物付着が無いことが確認された。 [Example 1]
As shown in FIG. 1, the pellicle 9 was placed in the pellicle case 4 .
At that time, an adhesive tape was used to fix the liner to the tray 4b.
The pellicle case 4 is stored in the packing box 6 .
As the pellicle cushioning material 1, one having double structures 1a and 1b was used.
The double structure pellicle cushioning material 1 uses a cushioning material made of polyethylene foam measuring 160 mm×50 mm and 140 mm in height as the upper structure 1b, and uses a cushioning material made of polyethylene foam measuring 160 mm×50 mm and 20 mm in height as the lower structure 1a. , a cushioning material made of polyurethane elastomer having an impact resilience of 50% was used. These upper and lower structures were attached together with an adhesive to form a pellicle cushioning material 1 .
As the pellicle case 4, the outer dimensions are 950 mm×1300 mm, and the height of the pellicle case 4 including the lid 4a is 100 mm.
The pellicle case 4 is held by holding members (made of foamed polyethylene) 2 and 3, and pellicle cushioning materials 1 are arranged at six locations on the bottom of the lower pellicle case 4 as shown in FIG. Called Body A. At this time, in order to facilitate the fixing of the pellicle cushioning material 1 to the bottom surface of the packaging box 6, a foamed polyethylene plate having an outer dimension of 1050 mm x 1400 mm and a height of 4 mm was placed on the bottom surface, and the pellicle cushioning material was placed on the plate. Material 1 was attached with an adhesive.
At this time, a pressure of 0.06 kg/cm 2 was applied to the pellicle cushioning material 1 .
The packages obtained as described above were stored in a warehouse for 90 days and subjected to the above ((1) vibration frequency and acceleration test).
The vibration frequency was set to 10.5 Hz, and the acceleration (B) of the pellicle case and the acceleration (A) of the pellicle were measured.
When the acceleration difference was calculated by ((A)-(B)/(A))×100, it was 3%.
In addition, when (2) foreign matter inspection was carried out, it was confirmed that no foreign matter adhered.

〔比較例１〕
前記〔実施例１〕の上部構造体１ｂと下部構造体１ａを一体物として、反発弾性が７２％の発泡性ウレタンに替えた。
また、ペリクル用緩衝材１の配置を、図２（ｃ）のように４隅の４か所に変更した。
その他の条件は、〔実施例１〕と同様の条件とし、前記（１）及び（２）の評価を実施した。
（１）の加速度差は、振動周波数が１０．５Ｈｚの時に５８％であった。
また、（２）の異物検査の結果、異物付着が確認された。 [Comparative Example 1]
The upper structure 1b and the lower structure 1a of [Example 1] were made into an integrated body, and the foamed urethane having a rebound resilience of 72% was used.
Also, the arrangement of the pellicle cushioning material 1 was changed to four locations at the four corners as shown in FIG. 2(c).
Other conditions were the same as those in [Example 1], and the above evaluations (1) and (2) were carried out.
The acceleration difference in (1) was 58% when the vibration frequency was 10.5 Hz.
As a result of the foreign matter inspection (2), adhesion of foreign matter was confirmed.

本発明のペリクル用緩衝材は、ＬＳＩ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を構成する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）やカラーフィルター（ＣＦ）等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルなどの露光用基盤に異物が付着することを防止するために用いられるペリクルの緩衝材として産業上の利用可能性を有している。 The pellicle cushioning material of the present invention is used as a substrate for exposure such as photomasks and reticles used in the lithography process for manufacturing thin film transistors (TFTs) and color filters (CFs) that constitute LSIs and liquid crystal displays (LCDs). It has industrial applicability as a pellicle cushioning material used to prevent foreign matter from adhering to the pellicle.

１ ペリクル用緩衝材
１ａ 下部構造体
１ｂ 上部構造体
２ 下段保持部材
３ 上段保持部材
４ ペリクルケース
４ａ 蓋
４ｂ トレイ
５ 天板
６ 梱包箱
７ 輸送用天板
８ パレット
９ ペリクル
１０ ペリクルフレーム
Ａ 梱包体 1 Pellicle cushioning material 1a Lower structure 1b Upper structure 2 Lower holding member 3 Upper holding member 4 Pellicle case 4a Lid 4b Tray 5 Top plate 6 Packaging box 7 Top plate for transportation 8 Pallet 9 Pellicle 10 Pellicle frame A Package

Claims (2)

ペリクルを載置したペリクルケースが１～３枚、鉛直方向に収納された梱包箱の中に、
最下段の前記ペリクルケースが上部に載置された状態で配置されるペリクル用緩衝材を用いた、ペリクルへの異物の付着防止方法であって、
前記ペリクルケースは、蓋及びトレイからなり、
前記ペリクルケース内には、ペリクルフレームの一端面にペリクル膜が接着されているペリクルが、前記ペリクルフレームを前記トレイに載置した状態で収容されているものとしたとき、
前記ペリクル用緩衝材として、上部構造体及び下部構造体よりなる２重構造体を有し、前記上部構造体は発泡ポリエチレンよりなり、前記下部構造体は反発弾性が６０％以下のポリウレタンエラストマーよりなるものを用い、
前記ペリクル用緩衝材を複数、前記最下段の前記ペリクルケースの底面積の２．０％～３０．０％となる合計上面面積を有する範囲で対称的に分散配置し、下記の＜条件＞を満たすようにする、
ペリクル用緩衝材を用いたペリクルへの異物の付着防止方法。
＜条件＞
前記ペリクルを載置した前記ペリクルケースの底部に前記ペリクル用緩衝材を配置した状態で９０日間保管し、前記ペリクル用緩衝材に対して０．０６ｋｇ／ｃｍ2で９０日加圧した後の、振動周波数１０．５Ｈｚにおける、前記ペリクルの加速度Ａと、前記ペリクルケースの加速度Ｂとが、
（（Ａ－Ｂ）／Ａ）×１００（％）≦２５（％）の関係。 One to three pellicle cases containing pellicles are placed vertically in a packing box.
A method for preventing foreign matter from adhering to a pellicle using a pellicle cushioning material arranged with the lowermost pellicle case placed thereon, comprising:
The pellicle case comprises a lid and a tray,
When a pellicle having a pellicle film adhered to one end surface of a pellicle frame is housed in the pellicle case with the pellicle frame placed on the tray,
The pellicle cushioning material has a double structure consisting of an upper structure and a lower structure, the upper structure is made of foamed polyethylene, and the lower structure is made of a polyurethane elastomer having a rebound resilience of 60% or less. using things
A plurality of the pellicle cushioning materials are symmetrically distributed within a range having a total top surface area of 2.0% to 30.0% of the bottom area of the bottom pellicle case, and the following <conditions> are satisfied: to satisfy
A method for preventing foreign matter from adhering to a pellicle using a pellicle cushioning material.
<Condition>
The pellicle cushioning material is placed on the bottom of the pellicle case on which the pellicle is placed, and stored for 90 days. The acceleration A of the pellicle and the acceleration B of the pellicle case at a vibration frequency of 10.5 Hz are
((A−B)/A)×100(%)≦25(%) relationship. 前記下部構造体が、前記梱包箱の底面に接している、請求項１に記載のペリクル用緩衝材を用いたペリクルへの異物の付着防止方法。 2. The method of preventing adhesion of foreign matter to a pellicle using a pellicle cushioning material according to claim 1, wherein said lower structure is in contact with the bottom surface of said packaging box.
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