KR20110138321A - 기판수납용기 - Google Patents

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KR20110138321A
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Abstract

뚜껑(20)이 용기본체(1)의 기판출납개구(2)에 부착됨에 따라 재치편 강제대피수단(22)이, 기판출납개구(2)의 근방 영역에 형성된 기판재치편(4)을 원반 모양 기판(W)과 겹쳐지지 않는 대피위치로 강제적으로 이동시킨다. 이에 따라 원반 모양 기판(W)이 대경화 되더라도 수납되어 있는 원반 모양 기판(W)이 진동이나 충격 등에 의하여 기판재치편(4)에 접촉될 우려가 없어, 원반 모양 기판(W)을 더 안전하게 수납할 수 있다.

Description

기판수납용기{SUBSTRATE STORAGE CONTAINER}
본 발명은, 복수의 반도체 웨이퍼(半導體 wafer) 또는 원형의 석영 글래스 기판(石英 glass 基板) 등과 같은 얇은 원반(圓盤) 모양의 기판을 보관, 수송 등을 할 때에 수납하기 위한 기판수납용기(基板收納容器)에 관한 것이다.
기판수납용기에는 일반적으로, 복수의 반도체 웨이퍼 등과 같은 원반 모양의 기판을 병렬로 나란하게 한 상태에서 수납하기 위한 용기본체(容器本體)가 설치되어 있다. 이 용기본체에는, 원반 모양 기판을 출납하기 위한 기판출납개구(基板出納開口)가 형성되어 있다. 그리고 기판출납개구를 막기 위한 뚜껑이 기판출납개구에 착탈(着脫) 가능하게 외측으로부터 부착되도록 설치되어 있다.
용기본체 내에서 원반 모양 기판을 흔들리지 않는 상태로 지지하기 위하여 용기본체 내에 있어서 기판출납개구로부터 보아서 내측의 영역에 내측 지지부(內側 支持部)가 배치되어 있고, 뚜껑의 내벽부에 뚜껑측 리테이너가 형성되어 있다.
다만 뚜껑측 리테이너는, 뚜껑이 용기본체의 기판출납개구에 부착된 상태가 되지 않으면 원반 모양 기판을 지지하는 상태가 되지 않는다. 여기에서 뚜껑이 부착되어 있지 않은 상태일 때에 기판출납개구의 근방 영역에 원반 모양 기판을 재치(載置)하기 위한 기판재치편(基板載置片)이 형성되어 있다. 원반 모양 기판은 뚜껑측 리테이너에 지지된 상태가 되면, 기판재치편으로부터는 뜬 상태가 된다(예를 들면 특허문헌1).
일본국 공표특허공보 특표2003-522078 도10 등
최근에는 생산성의 향상이나 비용절감 등을 목적으로 하여 반도체 웨이퍼 등의 대경화(大徑化)가 진행되고 있다. 반도체 웨이퍼의 경우에 그 직경은 현재는 300mm가 주류이지만, 가까운 장래에는 450mm가 될 것으로 예상하고 있다.
기판수납용기에 진동이나 충격 등이 가해지면, 그 내부에 수납되어 있는 원반 모양 기판에 휘어짐이 발생한다. 이와 같이 원반 모양 기판이 휘어지는 양은, 원반 모양 기판이 대경화 됨에 따라 현저하게 커지게 된다. 원반 모양 기판의 두께를 직경에 대응하여 두껍게 하는 것으로는 되지 않기 때문이다.
이 때문에 기판수납용기 내에서 기판재치편으로부터 뜬 상태로 지지되고 있는 원반 모양 기판이, 기판수납용기에 진동이나 충격이 가해져서 휘어지게 되면, 기판재치편에 접촉(또는 충돌)되어 기판수납용기 내에서 손상, 오손(汚損)될 가능성이 있다.
본 발명의 목적은, 수납되어 있는 원반 모양 기판이 진동이나 충격 등에 의하여 휘어지더라도 기판재치편에 접촉될 우려가 없어, 대경화 된 원반 모양 기판이더라도 안전하게 수납할 수 있는 기판수납용기를 제공하는 것에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 기판수납용기는, 복수의 원반 모양 기판을 병렬로 나란하게 한 상태에서 수납하기 위한 용기본체(容器本體)와, 용기본체에 원반 모양 기판을 출납시키기 위하여 용기본체에 형성된 기판출납개구(基板出納開口)와, 기판출납개구를 막기 위하여 기판출납개구에 착탈(着脫)하도록 외측으로부터 부착되는 뚜껑(cap)과, 용기본체 내의 기판출납개구로부터 보아서 내측의 영역에 있어서 각 원반 모양 기판을 위치결정하여 지지하는 내측 지지부(內側 支持部)와, 뚜껑의 내벽부(內壁部)에 형성되어 각 원반 모양 기판을 위치결정하여 지지하는 뚜껑측 리테이너(cap側 retainer)와, 뚜껑이 기판출납개구에 부착되어 있지 않은 상태일 때에 기판출납개구의 근방 영역에 있어서 원반 모양 기판을 재치(載置)하기 위한 기판재치편(基板載置片)을 구비한 기판수납용기(基板收納容器)에 있어서, 기판재치편이, 원반 모양 기판의 면에 대하여 수직의 방향으로부터 보아서 원반 모양 기판과 겹쳐져서 원반 모양 기판을 재치(載置)할 수 있는 재치가능위치(載置可能位置)와, 원반 모양 기판과 겹쳐지지 않는 대피위치(待避位置)와의 사이를 움직일 수 있도록 형성되고, 뚜껑이 기판출납개구에 부착됨에 따라 기판재치편을 대피위치로 강제적으로 이동시키는 재치편 강제대피수단(載置片 强制待避手段)과, 뚜껑이 기판출납개구에 부착되어 있지 않은 상태가 되면, 기판재치편을 재치가능위치로 복귀시키는 재치편 복귀수단(載置片 復歸手段)이 형성되어 있는 것이다.
또 재치편 강제대피수단이 뚜껑에 형성되어 있더라도 좋고, 재치편 강제대피수단이 뚜껑의 내면벽에 형성된 경사면(傾斜面)이고, 뚜껑이 기판출납개구에 부착됨에 따라 경사면이, 기판재치편에 연속하도록 형성된 부재에 접촉되어 기판재치편에 연속하도록 형성된 부재를 이동시키고, 이에 따라 기판재치편이 상기 대피위치로 이동되더라도 좋다.
또한 재치편 복귀수단이 기판재치편을 재치가능위치를 향하여 가압하는 되돌림 스프링이고, 뚜껑이 기판출납개구에 부착되면, 재치편 강제대피수단에 의하여 되돌림 스프링이 탄성변형되고, 뚜껑이 기판출납개구로부터 분리되면, 되돌림 스프링이 탄성변형 전의 상태로 되돌아가서, 기판재치편을 재치가능위치로 복귀시켜도 좋다.
본 발명에 의하면, 뚜껑이 용기본체의 기판출납개구에 부착됨에 따라 재치편 강제대피수단이 기판재치편을 원반 모양 기판과 겹치지 않는 대피위치로 강제적으로 이동시키기 때문에, 원반 모양 기판이 대경화 되더라도 수납되어 있는 원반 모양 기판이 진동이나 충격 등에 의하여 기판재치편에 접촉될 우려가 없어, 반도체 웨이퍼나 석영 글래스 기판 등과 같은 원반 모양 기판을 더 안전하게 수납할 수 있다.
도1은 본 발명의 제1실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑이 벗겨진 상태의 외관 사시도이다.
도2는 본 발명의 제1실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑이 벗겨진 상태의 평면 단면도이다.
도3은 본 발명의 제1실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑을 제거한 상태의 부분 측면 단면도이다.
도4는 본 발명의 제1실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 기판재치편이 재치가능위치에 있을 때의 부분 사시도이다.
도5는 본 발명의 제1실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 기판재치편이 대피위치에 있을 때의 부분 사시도이다.
도6은 본 발명의 제1실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑이 부착되기 직전 상태의 평면 단면도이다.
도7은 본 발명의 제1실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑이 부착되기 직전 상태의 부분 측면 단면도이다.
도8은 본 발명의 제1실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑이 부착된 상태의 평면 단면도이다.
도9는 본 발명의 제1실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑이 부착된 상태의 부분 측면 단면도이다.
도10은 본 발명의 제2실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑이 부착되기 직전 상태의 평면 단면도이다.
도11은 본 발명의 제2실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 뚜껑이 부착된 상태의 평면 단면도이다.
도12는 본 발명의 제2실시예에 관한 기판수납용기에 있어서 기판재치편의 부분 사시도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.
도1은 본 발명의 제1실시예에 관한 기판수납용기의 사시도이고, 도2는 그 평면 단면도이다. 다만 도1에는 원반 모양 기판(W)이 실선으로 도면에 표시되어 있고, 도2에는 2점 쇄선으로 도면에 표시되어 있다.
1은, 얇은 원반(圓盤) 모양으로 형성되어 있는 복수의 원반 모양 기판(W)을 병렬로 나란하게 한 상태에서 수납하기 위한 용기본체(容器本體)이다. 용기본체(1)는, 원반 모양 기판(W)이 출납될 때에는 각 원반 모양 기판(W)이 수평(또는 경사)의 방향으로 수납되는 상태로 배치된다. 또 이 실시예에 있어서의 원반 모양 기판(W)은 반도체 웨이퍼(半導體 wafer)이지만, 원형의 석영 글래스 기판(石英 glass 基板) 등이더라도 본 발명이 적용된다.
이러한 상태에 있어서, 용기본체(1)의 4개의 측면 중 일측면(一側面)에는, 원반 모양 기판(W)을 출납하기 위한 기판출납개구(基板出納開口)(2)가 형성되어 있다. 그리고 이 기판출납개구(2)를 막기 위한 뚜껑(20)이, 기판출납개구(2)에 착탈(着脫) 가능하게 외측으로부터 부착되도록 설치되어 있다.
또 기판출납개구(2)와 뚜껑(20)의 가장자리부 사이를 밀봉(密封)하기 위한 탄력성이 있는 밀봉부재(密封部材)나, 뚜껑(20)을 록(lock)하기 위한 록 기구(lock 機構) 등이 설치되어 있지만, 이들을 도면에 나타내는 것은 생략되어 있다.
용기본체(1) 내에 있어서 기판출납개구(2)로부터 보아서 내측의 영역에는, 각 원반 모양 기판(W)의 가장자리부를 위치결정하여 지지하는 공지(公知)의 내측 지지부(內側 支持部)(3)가 배치되어 있다. 내측 지지부(3)는, 도2에 나타나 있는 바와 같이 기판출납개구(2)로부터 보아서 중심선(X)(기판출납개구(2)에 대하여 수직방향의 용기본체(1)의 중심선)의 우측과 좌측에 간격을 두고 1쌍이 형성되어 있다. 내측 지지부(3)에 대해서는 또한 후술한다.
또한 뚜껑(20)의 내벽부(內壁部)에는, 각 원반 모양 기판(W)의 가장자리부를 기판출납개구(2)측으로부터 내측 지지부(3)측으로 각각 탄력적으로 가압함으로써 위치결정하여 지지하기 위한 공지의 뚜껑측 리테이너(cap側 retainer)(21)가 형성되어 있다.
뚜껑측 리테이너(21)는, 뚜껑(20)이 용기본체(1)의 기판출납개구(2)에 부착되었을 때에 각 원반 모양 기판(W)의 외주부에 접촉되는 V홈 모양의 부분이 탄성변형(彈性變形)되기 용이한 지지부재에 의하여 지지된 구성을 구비하고 있고, 중심선(X) 위치의 근방에 형성되어 있다.
용기본체(1) 내에 있어서 기판출납개구(2)의 근방 영역이고 중심선(X)으로부터 떨어진 위치(즉 용기본체(1)에 있어서 좌우 측벽의 근방 위치)에는, 기판출납개구(2)에 뚜껑(20)이 부착되어 있지 않은 상태일 때에 원반 모양 기판(W)의 가장자리부를 재치(載置)하기 위한 기판재치편(基板載置片)(4)이 형성되어 있다.
또한 기판재치편(4)과 내측 지지부(3)의 사이에는, 도2에 나타나 있는 바와 같이 원반 모양 기판(W)을 수동(手動) 등에 의하여 용기본체(1) 내로 출납시킬 때에 원반 모양 기판(W)의 외측 가장자리 부분을 안내하기 위한 널빤지(5)가, 원반 모양 기판(W)에 대하여 약간의 간격을 두고 따르는 상태로 형성되어 있다. 자동제어되는 로봇 핸드(robot hand) 등에 의하여 원반 모양 기판(W)이 출납되는 경우에는 널빤지(5)는 불필요하다.
도3은, 이러한 내측 지지부(3), 기판재치편(4) 및 널빤지(5)와 여기에 재치된 원반 모양 기판(W)의 측면 단면을 부분적으로 대략 나타낸 것이다. 내측 지지부(3)와 기판재치편(4)은, 널빤지(5)보다 높은 위치에 원반 모양 기판(W)을 재치하기 위한 면을 구비하고 있다.
이와 같이 용기본체(1)의 기판출납개구(2)에 뚜껑(20)이 부착되어 있지 않은 상태에 있어서는, 각 원반 모양 기판(W)의 가장자리부가 내측 지지부(3)와 기판재치편(4)에 재치된 상태로 지지된다.
내측 지지부(3)의 외주 부분은, 원반 모양 기판(W)의 중심으로부터 먼 측을 밑바닥으로 하는 V자 모양의 홈으로 되어 있다. 따라서 각 원반 모양 기판(W)은 기판출납개구(2)측으로부터 내측 지지부(3)측으로 압입(壓入)되면, 외주의 능선 부분이 내측 지지부(3)의 V자 모양 홈부에 가압된 상태가 되어, 재치되어 있던 내측 지지부(3)의 하면으로부터 부상한 상태가 된다(도9 참조).
이렇게 형성된 내측 지지부(3)와 기판재치편(4)과 널빤지(5)는, 도4에 외관이 나타나 있는 바와 같이 원반 모양 기판(W)의 수납 매수에 따라 세로로 겹쳐서 쌓인 상태에서 플라스틱 재(plastic 材)에 의하여 일체(一體)로 연결되어 형성되어 있다. 또 도4에는 용기본체(1) 내에 있어서 반쪽 부분측에 배치된 내측 지지부(3)와 기판재치편(4)과 널빤지(5)가 도면에 나타나 있지만, 이것과 대칭형의 것(도면에는 나타내지 않는다)이 다른 반쪽 부분측에도 배치되어 있다.
기판재치편(4)과 널빤지(5)를 연결하는 부분의 벽부(壁部)에는, 도2 등에 나타나 있는 바와 같이 국부적(局部的)으로 두께가 얇고 잘록한 절곡 용이부(折曲 容易部)(6)가 형성되어 있다. 다만 절곡 용이부(6)의 구성은, 예를 들면 2개의 부품을 회전하도록 연결하는 등 각종 태양으로 할 수 있다.
기판재치편(4)은, 절곡 용이부(6)를 중심으로 하여 회전함으로써 원반 모양 기판(W)의 면에 대하여 수직의 방향으로부터 보아서 원반 모양 기판(W)과 겹쳐져서 원반 모양 기판(W)을 재치할 수 있는 재치가능위치(載置可能位置)(도2 등 참조)와, 후술하는 도8에 나타나 있는 바와 같이 원반 모양 기판(W)과 겹쳐지지 않는(따라서 원반 모양 기판(W)을 재치할 수 없다) 대피위치(待避位置)와의 사이에서 움직일 수 있다.
또 도4에는 기판재치편(4)이 재치가능위치에 있는 상태가 도면에 나타나 있고, 도5에는 절곡 용이부(6)를 중심으로 하여 화살표(A) 방향으로 회전시킴으로써 기판재치편(4)이 대피위치로 이동한 상태가 도면에 나타나 있다.
기판재치편(4)을 측방으로부터 원반 모양 기판(W)측으로 가압하는 되돌림 스프링(7)(재치편 복귀수단(載置片 復歸手段))이, 기판재치편(4)에 일체로 연결되는 부재와 용기본체(1)의 측벽 사이에 삽입되어 설치되어 있다. 이 실시예에서는 되돌림 스프링(7)은 독립된 부품이며, 비스(vis)로 고정하여 부착되어 있다.
그리고 되돌림 스프링(7)에 의하여 가압된 기판재치편(4)이 일정 이상 용기본체(1)의 내측으로 이동하지 않도록 하기 위한 스토퍼 핀(stopper pin)(8)이, 용기본체(1)의 바닥면으로부터 돌출하도록 형성되어 있다. 그 결과 기판출납개구(2)로부터 용기본체(1) 내로 원반 모양 기판(W)을 출납하는 동작이 기판재치편(4)에 의하여 저지되는 경우는 없다.
도3을 제외한 도1∼도5의 각 도면에 나타나 있는 부호 9는, 절곡 용이부(6)를 중심으로 하여 기판재치편(4)을 동작시키기 위한 작용점(作用點)이 되도록 기판재치편(4)과 일체로 연속하도록 형성된 작용편(作用片)(9)이며, 용기본체(1)의 내부측으로부터 기판출납개구(2)의 위치를 향하여 판자 모양으로 돌출하도록 형성되어 있다.
뚜껑(20)의 내면벽에는, 뚜껑(20)이 용기본체(1)의 기판출납개구(2)를 막은 상태로 부착되었을 때에 작용편(9)에 접촉되어 이동시키고, 이에 따라 기판재치편(4)을 대피위치로 강제적으로 이동시키는 경사면(傾斜面)(22)(재치편 강제대피수단(載置片 强制待避手段))이 좌우 양측에 각각 형성되어 있다.
도6은 뚜껑(20)이 용기본체(1)의 기판출납개구(2)를 막은 상태로 부착되기 직전의 상태를 나타내는 평면 단면도이고, 도7은 이 상태의 측면 단면을 부분적으로 대략 나타낸 것이다. 이 상태에서는, 원반 모양 기판(W)이 아직 뚜껑(20)측으로부터 용기본체(1) 내로 가압되고 있지 않기 때문에, 원반 모양 기판(W)은 뚜껑(20)이 제거되어 있을 때와 마찬가지로 내측 지지부(3)와 기판재치편(4)에 가장자리부 부근이 재치된 상태로 되어 있다.
도8은 뚜껑(20)이 용기본체(1)의 기판출납개구(2)에 완전하게 부착된 상태를 나타내는 평면 단면도이고, 도9는 이 상태의 측면 단면을 부분적으로 대략 나타낸 것이다. 이 상태에서는, 원반 모양 기판(W)에 뚜껑측 리테이너(21)가 탄력적으로 가압되고 있다.
이 결과 도9에 나타나 있는 바와 같이 각 원반 모양 기판(W)의 외주부가 뚜껑측 리테이너(21)와 내측 지지부(3)의 각 V홈 모양 부분의 계곡부로 인도되어, 용기본체(1) 내에 수납되어 있는 원반 모양 기판(W)이 기판재치편(4)으로부터 부상한 상태에서 흔들리지 않도록 위치결정되어 지지된 상태가 된다.
이와 동시에 도8에 나타나 있는 바와 같이 작용편(9)이 뚜껑(20)의 경사면(22)에 의하여 가압되어 되돌림 스프링(7)을 그 탄성력에 저항하여 탄성변형시켜서, 절곡 용이부(6)를 중심으로 하여 기판재치편(4)을 회전시킴으로써(화살표(A)), 원반 모양 기판(W)의 면에 대하여 수직의 방향으로부터 보아서 원반 모양 기판(W)과 겹치지 않는 대피위치로 기판재치편(4)을 강제적으로 이동시킨다.
따라서 원반 모양 기판(W)이 대경화(大徑化) 되어 진동이나 충격을 받았을 때의 휘어지는 양이 커지더라도, 기판수납용기 내에 수납되어 있는 원반 모양 기판(W)이 기판재치편(4)에 접촉될 우려가 없어 원반 모양 기판(W)을 안전하게 수납할 수 있다.
그리고 뚜껑(20)이 용기본체(1)의 기판출납개구(2)로부터 분리된 상태가 되면, 재치편 복귀수단인 되돌림 스프링(7)이 탄성변형 전의 상태로 되돌아가서, 기판재치편(4)이 도2에 나타나 있는 바와 같이 스토퍼 핀(8)에 의하여 위치결정된 재치가능위치로 되돌려진다.
또 되돌림 스프링(7)이 기판재치편(4)이나 작용편(9) 등과 일체로 성형되어 있어도 좋고, 작용편(9)이 되돌림 스프링(7)을 겸하는 구조로 되어 있어도 좋다.
도10과 도11은 본 발명의 제2실시예에 관한 기판수납용기를 나타내고 있다. 도10은 뚜껑(20)이 용기본체(1)의 기판출납개구(2)에 부착되기 직전의 상태이고, 도11은 뚜껑(20)이 기판출납개구(2)에 완전하게 부착된 상태이다.
이 실시예에 있어서는, 상기의 제1실시예에 형성되어 있는 널빤지(5)가 형성되어 있지 않고, 기판재치편(4)은 도12에 그 일부가 나타나 있는 바와 같이 콘(cone) 모양의 핀이 빗살 모양으로 나란하게 형성된 구성으로 되어 있다.
기판재치편(4)은 용기본체(1) 내에 세워서 설치된 지축(支軸)(11)을 중심으로 하여 회전하도록 형성되어 있고, 되돌림 스프링(7)은 플라스틱 재에 의하여 기판재치편(4)과 일체로 형성되어 있다. 12는 스토퍼 핀(8)이 느슨하게 결합되는 구멍이다.
이와 같이 구성된 실시예의 기판수납용기도, 제1실시예와 마찬가지로 뚜껑(20)이 용기본체(1)의 기판출납개구(2)에 부착됨에 따라 뚜껑(20)에 형성된 경사면(22)이 작용편(9)에 접촉되어 지축(11)을 중심으로 하여 회전시킴으로써 기판재치편(4)이 대피위치로 강제적으로 이동될 수 있다. 그리고 뚜껑(20)이 기판출납개구(2)로부터 분리된 상태가 되면, 되돌림 스프링(7)에 의하여 기판재치편(4)이 재치가능위치로 되돌려진다.
1 : 용기본체
2 : 기판출납개구
3 : 내측 지지부
4 : 기판재치편
6 : 절곡 용이부
7 : 되돌림 스프링(재치편 복귀수단)
8 : 스토퍼 핀
9 : 작용편
11 : 지축
20 : 뚜껑
21 : 뚜껑측 리테이너
22 : 경사면(재치편 강제대피수단)
W : 원반 모양 기판

Claims (4)

  1. 복수의 원반 모양 기판을 병렬로 나란하게 한 상태에서 수납하기 위한 용기본체(容器本體)와, 상기 용기본체에 상기 원반 모양 기판을 출납시키기 위하여 상기 용기본체에 형성된 기판출납개구(基板出納開口)와, 상기 기판출납개구를 막기 위하여 상기 기판출납개구에 착탈(着脫)하도록 외측으로부터 부착되는 뚜껑(cap)과, 상기 용기본체 내의 상기 기판출납개구로부터 보아서 내측의 영역에 있어서 상기 각 원반 모양 기판을 위치결정하여 지지하는 내측 지지부(內側 支持部)와, 상기 뚜껑의 내벽부(內壁部)에 형성되어 상기 각 원반 모양 기판을 위치결정하여 지지하는 뚜껑측 리테이너(cap側 retainer)와, 상기 뚜껑이 상기 기판출납개구에 부착되어 있지 않은 상태일 때에 상기 기판출납개구의 근방 영역에 있어서 상기 원반 모양 기판을 재치(載置)하기 위한 기판재치편(基板載置片)을 구비한 기판수납용기(基板收納容器)에 있어서,
    상기 기판재치편이, 상기 원반 모양 기판의 면에 대하여 수직의 방향으로부터 보아서 상기 원반 모양 기판과 겹쳐져서 상기 원반 모양 기판을 재치(載置)할 수 있는 재치가능위치(載置可能位置)와, 상기 원반 모양 기판과 겹쳐지지 않는 대피위치(待避位置)와의 사이를 움직일 수 있도록 형성되고,
    상기 뚜껑이 상기 기판출납개구에 부착됨에 따라 상기 기판재치편을 상기 대피위치로 강제적으로 이동시키는 재치편 강제대피수단(載置片 强制待避手段)과,
    상기 뚜껑이 상기 기판출납개구에 부착되어 있지 않은 상태가 되면, 상기 기판재치편을 상기 재치가능위치로 복귀시키는 재치편 복귀수단(載置片 復歸手段)이
    형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 재치편 강제대피수단이 상기 뚜껑에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 재치편 강제대피수단이 상기 뚜껑의 내면벽에 형성된 경사면(傾斜面)이고, 상기 뚜껑이 상기 기판출납개구에 부착됨에 따라 상기 경사면이, 상기 기판재치편에 연속하도록 형성된 부재에 접촉되어 상기 기판재치편에 연속하도록 형성된 부재를 이동시키고, 이에 따라 상기 기판재치편이 상기 대피위치로 이동되는 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 재치편 복귀수단이 상기 기판재치편을 상기 재치가능위치를 향하여 가압하는 되돌림 스프링이고, 상기 뚜껑이 상기 기판출납개구에 부착되면, 상기 재치편 강제대피수단에 의하여 상기 되돌림 스프링이 탄성변형되고, 상기 뚜껑이 상기 기판출납개구로부터 분리되면, 상기 되돌림 스프링이 상기 탄성변형 전의 상태로 되돌아가서, 상기 기판재치편을 상기 재치가능위치로 복귀시키는 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
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