JP2005340264A - 基板収納容器用補助具及び基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】 収納対象の基板の外形寸法が変更となった場合でも、金型の設計変更が不要であり、収納容器本体の使い廻しが可能な基板収納容器用補助具及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】 複数枚の８インチウエハを一定間隔で配列させた状態で収納可能なキャリア本体５０の内側に取り付けられるアダプタ３０であって、８インチウエハとは外形の寸法が異なる６インチウエハをキャリア本体５０内で配列させるウエハ支持板１０等を有する。従来方式と比べて、収納対象である異径ウエハや、異形ウエハの組合せが変更となった場合でも、金型の設計変更が不要であり、キャリア本体５０の使い廻しが可能である。
【選択図】 図１

Description

本発明は、基板収納容器用補助具及び基板収納容器に関し、特に、半導体装置の製造工程で、複数枚のウエハを収納するために用いられるウエハキャリア（ｗａｆｅｒ ｃａｒｒｉｅｒ）に関するものである。

従来から、複数枚のウエハを等間隔に離間した状態で配列し、この配列状態を維持したままウエハを支持して収納する収納容器として、ウエハキャリアが知られている。半導体装置の製造工程や検査工程では、ウエハはウエハキャリアに収納された状態で取り扱われることが多い。
例えば、半導体装置の製造工程において複数枚のウエハに加工処理を施す場合には、上記のウエハキャリアに複数枚のウエハを収納し、このウエハキャリアを製造装置のローダ等にセットする。枚葉処理の場合には、ウエハはローダにセットされたウエハキャリアから一枚ずつ取り出されて、各種の加工処理が施される。

また、半導体装置の検査工程において、複数枚のウエハに電気的、或いは視覚的検査を行う場合には、上記の加工処理の場合と同様に、複数枚のウエハをウエハキャリアに収納した後で、このウエハキャリアを検査装置のローダ等にセットする。さらに、複数枚のウエハを製造工程内又は、製造工程と検査工程間で搬送する場合には、複数枚のウエハをウエハキャリアに収納した状態で搬送する。或いは、複数枚のウエハをクリーンルーム内で一時保管する場合には、複数枚のウエハをウエハキャリアに収納し、ウエハを収納したウエハキャリアをストッカー等に置いて保管する。

特許文献１、２及び３には、このようなウエハキャリアのうち、直径の異なる複数種類のウエハ（以下、「異径ウエハ」という。）又は、形状の異なる複数種類のウエハ（以下、「異形ウエハ」という。）を共に収納可能なタイプのウエハキャリアが記載されている。このような特殊なタイプのウエハキャリアでは、そのキャリア本体の内側に、異径ウエハ又は異形ウエハを等間隔に離間した状態で配列することを可能とした溝部が設けられている。

このような特殊なタイプのウエハキャリアの外形寸法は、汎用（即ち、直径や、形状が一に定まる一種類のウエハのみを収納対象とする）タイプのウエハキャリアと同一寸法に設計されている。これは、ウエハキャリアがセットされる製造装置や検査装置等において、そのローダやハンドリング部分での「ウエハキャリアの外形寸法に応じた様々な調整作業」を不要とするためである。

このような特殊なタイプのウエハキャリアの製作方法としては、下記の（ｉ）と、（ｉｉ）とが考えられる。
（ｉ）外形寸法が汎用タイプと同一であるキャリア本体の内側所定部位を切削し切り込んで、上記の異径ウエハや、異形ウエハに対応した溝部を作り、ウエハキャリアを製作する。

（ｉｉ）外形寸法が汎用タイプと同一で、その内側に上記の異径ウエハや、異形ウエハに対応した溝部を持つキャリア本体を成形するための金型を鋳造により製作する。そして、この製作した金型を用いて、ウエハキャリアを一体成型する。
特開平１１−５９７７７号公報 特開昭５９−２１３１４２号公報 特開昭５７−１６７６２９号公報

［１］第１の問題点
しかしながら、上記（ｉ）では、市販されている汎用タイプのウエハキャリアを購入し、そのキャリア本体の内側に上記溝部を形成することとは不可能である。その理由は、汎用タイプのウエハキャリアには既に、一種類のウエハの外形寸法に対応した溝部が形成されているからである。例えば、８インチのウエハに対応した汎用タイプのウエハキャリアにおいて、その内側の一部分に６インチのウエハに対応した溝部を形成することは不可能である。

このため、上記（ｉ）では、まず始めに、切削代（即ち、溝部が未形成の部分）を有するキャリア本体を製作しなければならなかった。この切削代を有するキャリア本体を製作するためには、専用の金型を特別に製作する必要がある。しかも、一体成形により製作したキャリア本体の切削代を１個１個精度良く削らなければならないので、高コストであるという問題があった。
また、上記（ｉｉ）についても、異径ウエハや、異形ウエハの組合せに合わせて、専用の金型を製作する必要があり、高コストであるという問題があった。

［２］第２の問題点
また、上記（ｉ）又は（ｉｉ）の方法で製作されたキャリア本体内側の溝部は、切削又は金型による一体成形で作られる。従って、ウエハキャリアを一旦製作した後では、溝部の大きさを任意に変えることはできず、使い勝手が悪いという問題があった。例えば、キャリア本体の外形寸法が８インチのウエハに対応（適合）した寸法であり、その内側には８インチウエハの収納と、６インチウエハの収納とに対応した溝部がそれぞれ設けてある異径ウエハ収納用のキャリアを想定する。この異形ウエハ収納用のキャリアでは、８インチウエハと、６インチウエハの両方が収納可能である。このようなウエハキャリアにおいて、収納対象のウエハを８インチウエハと、４インチウエハとに変更する場合は、上記の６インチウエハの収納に対応した溝部を４インチウエハ用の大きさに変えなければならない。

この大きさの変更は切削では不可能である。従って、８インチウエハの他に、４インチウエハの収納に対応した溝部を有するウエハキャリアを製作しなければならず、新たに専用の金型を製作し直す必要が生じてしまう。従って、収納するウエハの最小直径が異なれば、キャリアの使い廻しは不可能であった。
本発明は、上記第１、第２の問題点を解決するためになされたものであり、収納対象の基板の外形寸法が変更となった場合でも、金型の設計変更が不要であり、収納容器本体の使い廻しが可能な基板収納容器用補助具及び基板収納容器の提供を目的とする。

上述した課題を解決するために、本発明に係る第１の基板収納容器用補助具は、複数枚の第１基板を一定間隔で配列させた状態で収納可能な基板収納容器の内側に取り付けられる補助具であって、前記第１基板とは外形の寸法が異なる第２基板を前記基板収納容器内で配列させる配列手段、を有することを特徴とするものである。ここで、前記補助具は、例えば、スポット溶接により基板収納容器の内側に着脱可能に取り付けられる。

本発明に係る第１の基板収納容器用補助具によれば、当該補助具は基板収納容器とは別に製作されるので、第１基板に対応した基板収納容器（収納容器本体）のみを金型で製作すれば良い。従って、補助具によって並べられる第２基板の外形寸法が変更となる場合には、当該補助具を収納容器本体から外す。そして、補助具を外した収納容器本体に、新たな第２基板に対応した新補助具を付け直すことができる。従来方式と比べて、第２基板の外形寸法が変更となった場合でも、金型の設計変更が不要であり、収納容器本体の使い廻しが可能である。

また、本発明に係る第２の基板収納容器用補助具は、上述した第１の基板収納容器用補助具において、前記配列手段は前記第２基板の配列方向から見てＵ字状の配列板であり、前記第２基板は半導体ウエハであり、前記配列板の内径の寸法は前記第２基板の外径寸法よりも小さいことを特徴とするものである。ここで、Ｕ字状とは、三方が塞がれ、かつ残り一方が開放された形状のことであり、例えばゴシック体のように角張ったＵ字状や、カタカナのコの字状を含むものである。

さらに、本発明に係る第３の基板収納容器用補助具は、上述した第２の基板収納容器用補助具において、前記配列板に対して前記第２基板を位置決めする位置決め手段、を有することを特徴とするものである。本発明に係る第２、第３の基板収納容器用補助具によれば、配列板の表面を基板の縁部に接触させ、基板の中心部には接触させないようにすることができる。従って、例えばウエハ表面の縁部から内側にある回路形成面への配列板の接触を防ぐことができる。

本発明に係る第４の基板収納容器用補助具は、上述した第２、第３の基板収納容器用補助具において、複数枚の前記配列板と、前記配列板同士を連結する連結手段と、前記連結手段によって連結された前記配列板同士を一定の間隔で離間させる離間手段と、を有することを特徴とするものである。
また、本発明に係る第５の基板収納容器用補助具は、上述した第４の基板収納容器用補助具において、前記第２基板の配列方向から見た前記複数枚の前記配列板のそれぞれの中心線は、前記複数枚の前記配列板が前記連結手段によって連結された状態で重なり合っていることを特徴とするものである。ここで、中心線とは、所定の方向から見た平面図で対称軸を表わす線のことである。本発明に係る第４、第５の基板収納容器用補助具によれば、第１基板とは外形の寸法が異なる複数枚の第２基板を収納容器本体の内側で規則正しく配列させることができる。

本発明に係る第１の基板収納容器は、上述した第１から第５の何れか一つの基板収納容器用補助具と、複数枚の第１基板を一定間隔で配列させた状態で収納可能な収納容器本体とを備え、前記基板収納容器用補助具は前記収納容器本体内に取り付けられていることを特徴とするものである。
本発明に係る第１の基板収納容器によれば、上述した基板収納容器用補助具が収納容器本体に取り付けられている。従って、補助具によって並べられる第２基板の外形寸法が変更となる場合には、当該補助具を収納容器本体から外す。そして、補助具を外した収納容器本体に、新たな第２基板に対応した新補助具を付け直すことができる。従来方式と比べて、第２基板の外形寸法が変更となった場合でも、金型の設計変更が不要であり、収納容器本体の使い廻しが可能である。

本発明に係る第２の基板収納容器は、上述した第１の基板収納容器において、前記収納容器本体の内側に、１個又は２個以上の前記基板収納容器用補助具が取り付けられていることを特徴とするものである。
また、本発明に係る第３の基板収納容器は、上述した第１、第２の基板収納容器において、前記収納容器本体の内側に２個以上の前記基板収納容器用補助具が取り付けられており、一方の前記基板収納容器用補助具は前記第２基板を前記収納容器本体内で配列させ、他方の前記基板収納容器用補助具は、前記第１基板よりも外形寸法が小さく、かつ前記第２基板と外形寸法が異なる第３基板を前記収納容器本体内で配列させることを特徴とするものである。本発明に係る第２、第３の基板収納容器によれば、例えば、８インチウエハに対応したキャリア本体の内側に８インチウエハと、６インチウエハと、４インチウエハとを規則正しく配列させた状態で収納容器本体の内側に収納することが可能である。

本発明によれば、収納対象の基板の外形寸法が変更となった場合でも、金型の設計変更が不要であり、収納容器本体の使い廻しが可能である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る基板収納容器用補助具及び基板収納容器について説明する。
図１は、本発明の実施形態に係るウエハキャリア１００の構成例を示す概念図である。図１に示すように、このウエハキャリア１００は、キャリア本体５０と、アダプタ３０とから構成されている。キャリア本体５０は、ウエハキャリア１００の外枠でもある。このキャリア本体５０は、例えば市販されている汎用タイプのものであり、その内側にはウエハを２５枚収納可能な溝部５５が設けられている。ここで、ウエハとは半導体ウエハや、ＴＦＴ用のガラスウエハ等である。

また、アダプタ３０は、汎用タイプのキャリア本体５０とは別に製作され、その製作後にキャリア本体５０の内側に挿入され取り付けられるものである。図１に示すように、このアダプタ３０は、例えばウエハ支持板１０と、Ｘ方向位置決め板Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３及びＰ４と、Ｙ方向位置決め板Ｑ１及びＱ２と、ウエハ位置決め棒Ｓ１及びＳ２と、間隔保持板Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４と、から構成されている。まず始めに、本発明のアダプタ３０が取り付けられるキャリア本体５０について説明する。

図２（Ａ）及び（Ｂ）は、キャリア本体５０の構成例を示す平面図とＡ−Ａ´矢視断面図である。このキャリア本体５０は、例えば市販されている汎用タイプのウエハキャリアと同一のものである。このキャリア本体５０の外形の寸法（以下、「外形寸法」という。）及び、その内側の溝部の大きさは、例えば８インチウエハに対応（適合）している。このキャリア本体５０の外形寸法を、図２（Ａ）に示すように横寸法（Ｘ方向の寸法）をａ１、縦寸法（Ｚ方向の寸法）をｂ１とし、また図２（Ｂ）に示すように高さ寸法（Ｙ方向の寸法）をｃ１とする。この実施形態では、例えばａ１＝２３３．０［ｍｍ］、ｂ１＝２０２．７［ｍｍ］、ｃ１＝２１８．７［ｍｍ］である。

ところで、図２（Ｂ）から分かるように、この８インチウエハに対応した外形寸法及び内形の寸法（以下、「内形寸法」という。）を有した汎用タイプのキャリア本体５０の内側に、８インチウエハと６インチウエハとをそのまま収納する。そして、このキャリア本体５０の内側で８インチウエハと６インチウエハとの中心線を重ね合わせようとすると、８インチウエハの周縁部はキャリア本体５０の溝部に挟まれて支持されるのに対し、６インチウエハの周縁部は溝部まで届かない。ここでは、中心線とは、図２（Ｂ）においてＺ方向から見た対称軸を表わす線のことである。

このため、８インチウエハに対応した外形寸法及び内形寸法を有するキャリア本体５０だけでは、６インチウエハを正しく配列支持することは不可能である。これを可能にするために、本発明では、例えば６インチウエハを支持することが可能なアダプタがキャリア本体５０とは別に製作され、その製作後にアダプタはキャリア本体５０の内側に挿入され取り付けられる。

図３（Ａ）及び（Ｂ）は、アダプタ３０を取り付けた状態のキャリア本体５０、即ち、ウエハキャリア１００の構成例を示す平面図とＡ−Ａ´矢視断面図である。図３（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、アダプタ３０の外形寸法はキャリア本体５０の内形寸法に対応しており、アダプタ３０の外形寸法はキャリア本体５０の内側に完全に収容される程度の大きさとなっている。

また、図３（Ｂ）に示すように、アダプタ３０を有するウエハキャリアに６インチウエハを収納すると、６インチウエハは、Ｘ方向位置決め板Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３及びＰ４によってＸ方向に位置決めされ、かつ、Ｙ方向位置決め板Ｑ１及びＱ２によってＹ方向に位置決めされる。この位置決めされた状態で、６インチウエハの中心線は、キャリア本体５０の溝部によって支持された状態の８インチウエハの中心線と重なり合うようになっている。ここでは、中心線とは、図３（Ｂ）においてＺ方向から見た対称軸を表わす線のことである。このような構成により、アダプタ３０は、６インチウエハを規則正しく配列させることができる。

なお、位置決め棒Ｓ１は、Ｘ方向位置決め板Ｐ１、Ｐ３の間に取り付けられている。Ｘ方向位置決め板Ｐ１、Ｐ３相互間の取り付け間隔が大きく、この間ではＸ方向に対する位置決めが不可能なため、位置決め棒Ｓ１は、この間においてウエハのＸ方向位置決めを補助的に行う役目をしている。同様に位置決め棒Ｓ２は、Ｘ方向位置決め板Ｐ２、Ｐ４の間に取り付けてある。Ｘ方向位置決め板Ｐ２、Ｐ４相互間の取り付け間隔が大きく、この間ではＸ方向に対する位置決めが不可能なため、位置決め棒Ｓ２は、この間においてウエハのＸ方向位置決めを補助的に行う役目をしている。

図７（Ａ）〜（Ｃ）はウエハ支持板１０を構成する部材Ａ、部材Ｂ及び部材Ｃの形状の一例を示す平面図である。図７（Ａ）に示すように、Ｚ方向から見た部材Ａの平面視での形状はＵ字状であり、その内周側に近い部位には、部材Ａを貫く開口部１〜８が設けられている。この部材Ａの外周側の縁部には、図７（Ｂ）に示す部材Ｂが取り付けられている。部材Ｃの部材Ａに対する取付位置についは、後述する。部材Ａ、部材Ｂ及び部材Ｃの各材質は、例えば耐熱性の塩化ビニルである。このウエハ支持板１０では、生産装置によるウエハ処理後のウエハ表面余熱を考慮して、部材Ａ、部材Ｂ及び部材Ｃの材質が選ばれている。

図８（Ａ）及び（Ｂ）は間隔保持板Ｒ１の構成例を示す平面図と、Ｃ−Ｃ´矢視断面図である。間隔保持板Ｒ１は例えば櫛状であり、その櫛の歯（切り欠き）が隣接し合うウエハ支持板１０間の隙間に差し込まれる。Ｒ１とＲ２（図１参照）の外形寸法は同じである。図１に示したように、このような間隙保持板Ｒ１〜Ｒ４の嵌め込みによって、ウエハ支持板１０は等間隔に保持される。

なお、このような間隔保持板Ｒ１〜Ｒ４の、キャリア本体の２５番目の溝部に対応した切り欠きの寸法幅は、他の溝部の番号（以下、「溝番号」という。）に対応した切り欠きの寸法幅よりも大きくなっている。これは、部材Ｃの上面に部材Ａを接着して張り合わせたウエハ支持板を嵌め込むためである。図８（Ａ）において、１〜２５の数字はキャリア本体の溝番号であり、この溝番号に対応したウエハ支持板がその溝番号の直下に示されている切り欠きに嵌め込まれる。

図４（Ａ）及び（Ｂ）は、キャリア本体５０の内側の溝部５５で８インチウエハを支持した場合と、ウエハ支持板１０で８インチウエハを支持した場合との違いを示す部分拡大断面図である。この断面図では、図４（Ａ）は図２（Ｂ）のＤ−Ｄ´断面に対応し、図４（Ｂ）は図３（Ｂ）のＤ−Ｄ´断面に対応している。図４（Ａ）に示すように、キャリア本体５０の外形寸法及び内形寸法は８インチウエハに対応しているので、８インチウエハの周縁部をキャリア本体５０の溝部５５に挿入してキャリア本体５０に収納することが可能である。

また、図４（Ｂ）に示すように、ウエハ支持板１０は部材Ａ及び部材Ｂとから構成されている。部材Ａは、ウエハの裏面の周縁部に接触してウエハを配列支持する部分である。また、部材Ｂは、キャリア本体５０の溝部５５内へ挿入される部分である。図４（Ｂ）に示すように、溝部から露出する部材Ｂの端部の裏面は、部材Ａの表面（即ち、ウエハを支持する面）の周縁部に接合されている。このような構成により、部材Ａの表面を６インチウエハの裏面縁部に接触させ、この６インチウエハの中心部にはウエハ支持板１０を接触させないようにすることができる。従って、６インチウエハの表面にある回路形成面へのウエハ支持板１０の接触を防ぐことができる。

図５（Ａ）及び（Ｂ）は、ウエハ支持板１０によるウエハの位置調整機能を示す部分拡大断面図である。図５（Ａ）は、図２（Ｂ）のＤ−Ｄ´断面に対応している。また、図５（Ｂ）は、図３（Ｂ）のＤ−Ｄ´断面に対応している。図５（Ａ）では、例えば、キャリア本体５０の２０番目の溝部５５と、１９番目の溝部５５とに８インチウエハを挿入した状態を示している。このとき、１９番目の溝部５５に挿入された８インチウエハの裏面からキャリア本体５０の底面までの離隔距離をｄ１とする。

これに対して、図５（Ｂ）では、少なくともキャリア本体５０の２０番目の溝部５５と、１９番目の溝部５５とにウエハ支持板１０を挿入し、このウエハ支持板１０で６インチウエハを支持した状態を示している。このとき、１９番目の溝部５５に挿入されたウエハ支持板１０によって支持された６インチウエハの裏面からキャリア本体５０の底面までの離隔距離をｄ２とする。

図５（Ｂ）に示すように、６インチウエハの裏面が部材Ａの表面と接している状態では、部材Ｂの裏面と６インチウエハの裏面とが面一となる。このため、部材Ｂの厚みｔを大きくし、その部材Ｂに部材Ａを接着して張り合わせれば、部材Ａで６インチウエハを支持した場合の離隔距離ｄ２は小さくなる。また、逆に部材Ｂの厚みｔを小さくし、その部材Ｂに部材Ａを接着して張り合わせれば、部材Ａで６インチウエハを支持した場合の離隔距離ｄ２は大きくなる。本発明では、部材Ｂの厚みｔを調整することで、キャリア本体５０の底面からの６インチウエハの裏面までの離隔距離ｄ２を、８インチウエハを配列支持した場合の離隔距離ｄ１に合わせる（ｄ２＝ｄ１）ことが可能である。

図６（Ａ）及び（Ｂ）は、ストッパーによるウエハの配列支持機能を示す部分拡大断面図である。図６（Ａ）は、図２（Ｂ）のＤ−Ｄ´断面に対応している。また、図６（Ｂ）は、図３（Ｂ）のＤ−Ｄ´断面に対応している。
図６（Ａ）に示すように、キャリア本体５０の底面に対してその最上部に位置する２５番目の溝部５５で８インチウエハを支持した場合には、ウエハの表面側にある溝山が、ウエハに対して上方向へのストッパーとして機能する。これに対して、本発明のアダプタ３０は、上述の最上部におけるストッパー機能を獲得するために、キャリア本体５０の底面に対して最上部に位置するウエハ支持板１０の構造に工夫がなされている。

即ち、図６（Ｂ）に示すように、このウエハ支持板１０については、部材Ｂの端部の上面に部材Ｃを接着し張り合わせ、さらに部材Ｃの上面に部材Ａを接着し張り合わせている。このような構造によれば、部材Ａに上方向へのストッパー機能を持たせることが可能である。図６（Ｂ）に示すように、この例では、このストッパー機能を持ったウエハ支持板１０をキャリア本体５０の２５番目の溝部に挿入している。

このように、本発明の実施形態に係るアダプタ３０及びウエハキャリア１００によれば、アダプタ３０はキャリア本体５０とは別に製作されるので、例えば８インチウエハに対応したキャリア本体５０のみを金型で製作すれば良い。また、アダプタ３０は、スポット溶接によりキャリア本体５０の内側に固定される。従って、アダプタ３０によって並べられるウエハの外形寸法が６インチから４インチ等に変更となる場合には、スポット溶接されたアダプタ３０の溶接部を切削することで、当該アダプタ３０をキャリア本体５０から比較的容易に取り外すことができる。そして、アダプタ３０を取り外した後のキャリア本体５０に、４インチウエハに対応したアダプタ３０を付け直すことができる。従来方式と比べて、収納対象である異径ウエハや、異形ウエハの組合せが変更となった場合でも、金型の設計変更が不要であり、キャリア本体５０の使い廻しが可能である。

次に、上述したアダプタ３０と、このアダプタ３０を有するウエハキャリア１００の製造方法について説明する。ここでは、例えば、８インチウエハに対応した１つのキャリア本体５０内に６インチウエハを一定間隔で配列支持可能なアダプタ３０を製作する場合を想定する。外形が８インチウエハに対応した汎用タイプのウエハキャリアを本発明のキャリア本体５０として用意すると共に、アダプタ３０を別に製作する。

まず始めに、６インチウエハを支持可能なウエハ支持板１０を例えば２５枚用意し、これらのウエハ支持板１０をＺ方向に配列する。そして、図１に示すように、この配列したウエハ支持板１０の開口部１にＸ方向位置決め板Ｐ１を、開口部２にＸ方向位置決め板Ｐ３を、開口部５にＸ方向位置決め板Ｐ４を、開口部６にＸ方向位置決め板Ｐ２をそれぞれ通す。また、ウエハ支持板１０の開口部７にウエハ位置決め棒Ｓ１を、開口部８にウエハ位置決め棒Ｓ２をそれぞれ通す。さらに、ウエハ支持板１０の開口部３にＹ方向位置決め板Ｑ１を、開口部４にＹ方向位置決め板Ｑ２をそれぞれ通す。このようにして、ウエハ支持板１０を一体化する。

ここで、Ｘ方向位置決め板Ｐ１〜Ｐ４及びＹ方向位置決め板Ｑ１、Ｑ２、並びに、ウエハ位置決め棒Ｓ１、Ｓ２と、部材Ａに設けられた各開口部とのクリアランスを予め狭くしておく。このように、クリアランスを狭くしておくことで、部材Ａは、Ｘ方向位置決め板Ｐ１〜Ｐ４及びＹ方向位置決め板Ｑ１、Ｑ２、並びに、ウエハ位置決め棒Ｓ１、Ｓ２に対して容易に動かず、ズレを防止することができる。ズレを防止できるので、部材Ａには、Ｘ方向位置決め板Ｐ１〜Ｐ４及びＹ方向位置決め板Ｑ１、Ｑ２、並びに、ウエハ位置決め棒Ｓ１、Ｓ２を通すだけでよく、これらを部材Ａに溶接する必要がない。次に、ウエハ支持板１０の各板間に、間隔保持板Ｒ１〜Ｒ４の櫛の歯をそれぞれ嵌め込む。このようにして、アダプタ３０を完成させる。

次に、完成させたアダプタ３０をキャリア本体５０の内側に挿入する。挿入する際は、ウエハ支持板１０の１枚目から２５枚目の縁部をキャリア本体５０の１番目から２５番目の溝部５５にそれぞれ合わせ、この溝部５５内にウエハ支持板１０の縁部を挿入する。ウエハ支持板１０の縁部をキャリア本体５０の溝部５５に挿入した後、アダプタ３０をキャリア本体５０にスポット溶接して固定する。

図９（Ａ）及び（Ｂ）は、アダプタ３０とキャリア本体５０との溶接箇所を示す図である。詳しくは、図９（Ａ）はＺ方向から見たウエハキャリアの平面図であり、図９（Ｂ）は図９（Ａ）のＡ−Ａ´矢視断面図である。また、図１０は図９（Ａ）のＢ−Ｂ´矢視断面図であり、図１１は図９（Ａ）のＣ−Ｃ´矢視断面図である。図９（Ａ）及び（Ｂ）、並びに図１１に示すように、アダプタ３０をキャリア本体５０内側の所定位置に挿入配置した状態で、間隔保持板Ｒ２の長手方向の両端部付近と、キャリア本体５０の開口側に近い部位１０１、１０７とを溶接する。また、間隔保持板Ｒ３と、キャリア本体５０内側の脚部に近い部位１１３、１１４とを溶接する。また、これと前後して、図９（Ａ）及び（Ｂ）、並びに図１０に示すように、アダプタ３０をキャリア本体５０内側の所定位置に挿入配置した状態で、間隔保持板Ｒ１の長手方向の両端部付近と、キャリア本体５０の開口側に近い部位１０４、１１０とを溶接する。また、間隔保持板Ｒ４と、キャリア本体５０内側の脚部に近い部位１１５、１１６とを溶接する。

次に、図９（Ａ）及び図１１に示すように、Ｘ方向位置決め板Ｐ２の長手方向の両端部付近と、キャリア本体５０のＸＹ平面に面した内側部位１０２、１０８とを溶接する。また、Ｘ方向位置決め板Ｐ４の長手方向の両端部付近と、キャリア本体５０のＸＹ平面に面した内側部位１１９、１２０とを溶接する。さらに、図９（Ａ）及び図１０に示すように、Ｘ方向位置決め板Ｐ１の長手方向の両端部付近と、キャリア本体５０のＸＹ平面に面した内側部位１０５、１１１とを溶接する。Ｘ方向位置決め板Ｐ３の長手方向の両端部付近と、キャリア本体５０のＸＹ平面に面した内側部位１１７、１１８とを溶接する。

次に、図９（Ａ）及び図１１に示すように、Ｙ方向位置決め板Ｑ２の長手方向の両端部付近と、キャリア本体５０のＸＹ平面に面した内側部位１０３、１０９とを溶接する。また、次に、図９（Ａ）及び図１０に示すように、Ｙ方向位置決め板Ｑ１と、キャリア本体５０のＸＹ平面に面した内側部位１０６、１１２とを溶接する。このようにして、本発明の実施形態に係るウエハキャリア１００を完成させる。

なお、キャリア本体５０と、アダプタ３０の溶接部位とが異種材質である場合には、これらを溶接できないおそれがある。そのため、キャリア本体５０と、間隔保持板Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４と、Ｘ方向位置決め板Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３及びＰ４と、Ｙ方向位置決め板Ｑ１及びＱ２とを同一の材質とすることが好ましい。例えばキャリア本体５０の材質がＰＰ（ポリプロピレン）である場合には、間隔保持板Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４と、Ｘ方向位置決め板Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３及びＰ４と、Ｙ方向位置決め板Ｑ１及びＱ２の材質もそれぞれＰＰにする。

この実施形態では、８インチウエハが本発明の第１基板に対応し、６インチウエハが本発明の第２基板に対応している。また、キャリア本体５０が本発明の基板収納容器に対応し、アダプタ３０が本発明の補助具に対応している。さらに、ウエハ支持板１０が本発明の配列手段（配列板）に対応し、Ｘ方向位置決め板Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３及びＰ４と、Ｙ方向位置決め板Ｑ１及びＱ２と、ウエハ位置決め棒Ｓ１及びＳ２とが本発明の連結手段に対応している。また、間隔保持板Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４が本発明の離間手段に対応し、Ｘ方向位置決め板Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３及びＰ４と、Ｙ方向位置決め板Ｑ１及びＱ２と、ウエハ位置決め棒Ｓ１及びＳ２とが本発明の位置決め手段に対応している。

なお、この実施形態では、６インチウエハを２５枚収納可能なアダプタ３０（即ち、ウエハ支持板１０の枚数が２５枚）について説明したが、本発明に係るアダプタ３０の収納可能枚数は２５枚に限られることはない。例えば、８インチウエハの収納可能枚数が２５枚のキャリア本体５０に対して、６インチウエハを１２枚収納可能なアダプタ３０（即ち、ウエハ支持板１０の枚数が１２枚）を挿入配置しても良い。この場合には、６インチウエハ１２枚と８インチウエハ１３枚とを１個のウエハキャリアに収納することができる。

また、本発明に係るアダプタ３０の収納可能なウエハサイズは６インチに限られることはなく、例えば４インチでも良い。さらに、１個のキャリア本体５０に２個以上のアダプタ３０を挿入配置しても良い。例えば、８インチウエハの収納可能枚数が２５枚のキャリア本体５０に対して、６インチウエハを１２枚収納可能なアダプタ（即ち、６インチ用のウエハ支持板１０が１２枚）と、４インチウエハを６枚収納可能なアダプタ（即ち、４インチ用のウエハ支持板１０が６枚）とを１個のキャリア本体５０に挿入配置しても良い。この場合には、６インチウエハ１２枚と、４インチウエハ６枚と、８インチウエハ７枚とを１個のウエハキャリア内に規則正しく配列させた状態で収納することができる。この場合には、４インチウエハが本発明の第３基板に対応する。

半導体ウエハに限定されることなく、ウエハ以外の板状の被収納物を等間隔で配列して支持可能な収納容器にも利用できる。

実施形態に係るウエハキャリア１００の構成例を示す概念図。 キャリア本体５０の構成例を示す平面図とＡ−Ａ´矢視断面図。 ウエハキャリア１００の構成例を示す平面図とＡ−Ａ´矢視断面図。 キャリア本体５０の内側の溝部５５で８インチウエハを支持した場合と、ウエハ支持板１０で８インチウエハを支持した場合との違いを示す部分拡大断面図。 部材Ｂによるウエハの位置調整機能を示す部分拡大断面図。 ストッパー（部材Ａ）によるウエハの配列支持機能を示す部分拡大断面図。 ウエハ支持板１０を構成する部材Ａ、部材Ｂ及び部材Ｃの形状の一例を示す平面図。 間隔保持板Ｒ１の構成例を示す平面図と、Ｃ−Ｃ´矢視断面図。 アダプタ３０とキャリア本体５０との溶接箇所を示す図。 図９（Ａ）のＢ−Ｂ´矢視断面図。 図９（Ａ）のＣ−Ｃ´矢視断面図。

符号の説明

１〜７ 開口部
１０ ウエハ支持板
３０ アダプタ
５０ キャリア本体
５５ 溝部
１００ ウエハキャリア
１０１〜１２０ キャリア本体５０の溶接部位
Ｐ１〜Ｐ４ Ｘ方向位置決め板
Ｑ１、Ｑ２ Ｙ方向位置決め板
Ｓ１、Ｓ２ ウエハ位置決め棒
Ｒ１〜Ｒ４ 間隔保持板

Claims (8)

1. 複数枚の第１基板を一定間隔で配列させた状態で収納可能な基板収納容器の内側に取り付けられる補助具であって、
   前記第１基板とは外形の寸法が異なる第２基板を前記基板収納容器内で配列させる配列手段、を有することを特徴とする基板収納容器用補助具。
2. 前記配列手段は前記第２基板の配列方向から見てＵ字状の配列板であり、
   前記第２基板は半導体ウエハであり、
   前記配列板の内径の寸法は前記第２基板の外径寸法よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器用補助具。
3. 前記配列板に対して前記第２基板を位置決めする位置決め手段、を有することを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器用補助具。
4. 複数枚の前記配列板と、
   前記配列板同士を連結する連結手段と、
   前記連結手段によって連結された前記配列板同士を一定の間隔で離間させる離間手段と、を有することを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の基板収納容器用補助具。
5. 前記第２基板の配列方向から見た前記複数枚の前記配列板のそれぞれの中心線は、
   前記複数枚の前記配列板が前記連結手段によって連結された状態で重なり合っていることを特徴とする請求項４に記載の基板収納容器用補助具。
6. 請求項１から請求項５の何れか一項に記載の基板収納容器用補助具と、
   複数枚の第１基板を一定間隔で配列させた状態で収納可能な収納容器本体とを備え、
   前記基板収納容器用補助具は前記収納容器本体内に取り付けられていることを特徴とする基板収納容器。
7. 前記収納容器本体の内側に、１個又は２個以上の前記基板収納容器用補助具が取り付けられていることを特徴とする請求項６に記載の基板収納容器。
8. 前記収納容器本体の内側に２個以上の前記基板収納容器用補助具が取り付けられており、
   一方の前記基板収納容器用補助具は前記第２基板を前記収納容器本体内で配列させ、
   他方の前記基板収納容器用補助具は、前記第１基板よりも外形寸法が小さく、かつ前記第２基板と外形寸法が異なる第３基板を前記収納容器本体内で配列させることを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の基板収納容器。

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