KR20110111334A - 비선형 센서를 선형화하기 위한 장치 - Google Patents

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Abstract

비선형 센서로부터의 신호를 선형화하기 위한 장치가 개시된다. 이 장치는, 현상에서의 선형 변화에 응답하여 지수 곡선을 따르는 특성을 갖는 신호를 제공하는 것을 가능케하는 비선형 센서와; 변환된 신호를 얻기 위해 비선형 센서로부터의 신호를 로그적으로(logarithmically) 변환하는 아날로그 변환 유닛을 포함한다. 이 변환 유닛은 pn 접합을 포함하고, 이 변환 유닛은 비선형 센서를 통해 흐르는 전류를 측정하고 상기 전류를 pn 접합을 통해 흐르는 전류로 변환하도록 배열된다. pn 접합을 통해 흐르는 전류는 비선형 센서를 통해 흐르는 전류와 선형 관계를 가지며, 변환된 신호는 pn 접합 양단의 전압이다. 이런 식으로, 넓은 온도 범위에 걸쳐 온도의 정확한 측정을 가능케하기 위해 저비용의 선형 AD 변환기를 이용하여 저비용에서 고해상도로 NTC 써미스터의 저항값과 같은 비선형 센서로부터의 특성이 넓은 온도 범위에 걸쳐 디지털화될 수 있다.

Description

비선형 센서를 선형화하기 위한 장치{ARRANGEMENT FOR LINEARIZING A NON-LINEAR SENSOR}
본 발명은 비선형 센서를 선형화하기 장치에 관한 것이다. 더 구체적으로는, 출력이 비선형 응답 곡선을 따르는 센서의 출력을 선형화된 판독값의 출력으로 변환하기 위한 장치에 관한 것이다. 더욱 더 구체적으로는, 본 발명은 매우 넓은 온도 범위, 즉 -40℃ 내지 200℃에 걸쳐 NTC 써미스터(thermistor)를 선형화하기 위한 장치에 관한 것이다.
온도, 압력 등과 같은 물리적 파라미터의 값을 디스플레이하기 위해, 전기적으로 검출가능한 특성을 변경함으로써 파라미터에 응답하는 트랜스듀서를 채택하는 것이 필요하다. 이와 같은 특성은 온도-감응 저항 변동 및 열전쌍 전압을 포함한다. 대부분의 센서들은 그들의 출력에서 상당한 비선형성을 나타낸다. 즉, 센서 출력 전압 또는 전류는 모니터링되고 있는 입력 현상과의 선형관계로부터 상당히 이탕된다. 써미스터 및 열전쌍은 선형 온도 증가에 응답하여 비선형 출력 증가를 보인다는 것을 잘 알려져 있다.
비선형 센서 출력을 선형화하기 위한 시스템은 US5274577로부터 알려져 있다. 모니터링된 현상에서의 선형 변화에 응답하여 출력 신호가 비선형 곡선을 따르는 센서를 모니터링하기 위한 프로세서가 기술된다. 이 프로세서는 출력 신호를 모니터링된 현상에 비례하는 선형 출력값으로 변환한다. 비선형 센서 신호는 디지털화후에 선형화된다.
나아가, 입력 범위에 관해 비선형성을 보정하기 위한 다양한 클래스의 아날로그 선형화 장치가 존재한다. 아날로그 선형화 장치는 제약된 입력 범위에 관해 제한된 갯수의 센서 타입에 대해 충분한 정확성을 제공한다. 알려진 아날로그 선형화 장치는 필요한 보정 정보를 레지스터들의 값에 저장한다. 이 레지스터들은 응답 곡선의 다양한 세그먼트들과 응답 곡선의 각각의 세그먼트에 특유한 경사/오프셋 사이에 브레이크 지점을 설정한다. 아날로그 선형화기들은 전형적으로 8개 또는 그 이하의 세그먼트를 가지며, 통상 겪는 입력 범위에 걸쳐 약간의 정도차로 대부분의 온도 감지 소자들을 선형화할 수 있다.
US6099163은 전자 온도 센서의 비선형 출력을 보정하기 위한 회로를 개시하고 있다.
"써미스터-기반의 선형 온도-대-전압 변환기" my Jain L.C., Measurement, Institute of measurement and control. London, GB, vol 7, no.3, 1 July 1989, page 132/133, 및 US-A-5116136호는 로그(logarithmic) 증폭기를 이용하여 비선형 센서를 선형화하기 위한 장치를 개시하고 있다. 이 로그 증폭기는 출력 전압이 입력 전압의 자연 로그의 K배인 증폭을 수행한다.
WO2006/135977호는 센서의 출력을 미리결정된 관계에 맞추기 위한 방법을 개시한다. 마이크로프로세서는 AD 변환기를 이용하여 써미스터 양단의 전압을 판독한다. 바이어스 저항의 수는 써미스터와 직렬 직속된 마이크로프로세서의 제어하에 있다. 유효 바이어스 저항은 매순간 바뀐다. 마이크로프로세서는 바이어스 저항들 중 하나와 연관된 써미스터 양단의 전압을 한번에 하나씩 판독한다. 마이크로프로세서는 판독된 전압의 가중합을 형성한다. 임의의 바이어스 저항을 이용할 때, AD 변환기에 공급되는 써미스터 양단의 전압은, 공개된 온도 범위 내의 온도에서의 선형 변화에 응답하는 곡선을 따르는 특성을 가진다. 여기서, 이 곡선은 비선형이다.
CO2 공조기(A/C) 시스템은 "냉방" 및 "열 펌프" 기능 모두를 지원할 수 있다. 열 펌프 기능은 A/C 시스템이 예를 들어 차량 내부를 냉방만 하는 것 대신에 가열하는 것도 허용한다. "냉방" 모드에서, 라디에이터는 A/C 시스템 내의 CO2를 냉각한다. A/C 시스템은 "냉방" 모드의 CO2의 온도가 약 150℃일 때 가장 효율적일 것이다. "열 펌프" 모드에서, 라디에이터는 A/C 시스템 내의 CO2를 가열해야 한다. 라디에이터 온도가 낮을수록 시스템을 더 효율적이다. 그러나, 라디에이터는 라디에이터 주입구(inlet)에서의 CO2의 온도가 0℃ 위일 때만 적절히 동작할 것이다. 온도가 0℃ 아래로 떨어지면, 라디에이터에 얼음이 형성되고, 그 결과 라디에이터의 가열 기능이 저하된다. 따라서, CO2 A/C 시스템에서, 0℃ 및 150℃ 부근 모두에서 온도를 정확히 측정할 수 있는 온도 센서가 요구된다. 나아가, 양쪽 온도 영역에서 센서의 온도 출력의 온도 감응은 선형이고 동일한 범위 내에 있는 것이 바람직할 것이다.
본 발명의 목적은 비선형 센서 출력을 선형화하기 위한 개선된 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 낮은 온도 및 높은 온도를 정확하게 측정하는 하나의 온도 센서를 갖는 것을 허용하여 CO2 A/C 시스템이 냉방 및 열 펌프 기능 모두를 포함할 수 있도록 허용하는 비선형 센서 출력에 대한 높은 정확도의, 넓은 범위의 선형화 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 역시 또 다른 목적은, 경사가 실질적으로 일정한 응답 곡선을 가지며 현상의 전체 범위를 가로질러 불연속성이 없는 디지털 출력 신호를 제공하는 선형화 장치를 제공하는 것이다.
미리정의된 범위에서 모니터링되고 있는 현상에서의 선형 변화에 응답하여 출력이 비선형 곡선을 따르는 비선형 센서를 선형화하기 위한 장치가 기술된다. 비선형 곡선은 지수 또는 로그(logarithmic) 기능에 의해 근사화될 수 있다. 이 장치는 변환된 신호를 얻기 위해 비선형 센서로부터의 신호를 변환하는 아날로그 변환 유닛을 포함한다. 여기서, 변환은 실질적으로 로그 또는 지수 전달 특성을 가지며, 변환된 신호는 미리정의된 범위에서 현상의 선형 변화에 응답하여 선형화된 곡선을 따르는 특성을 가진다. 선형화된 곡선은 선형 함수에 의해 근사화될 수 있다. 나아가, 변환 유닛은 pn 접합을 포함하며, 변환 유닛은 비선형 센서를 통해 흐르는 전류를 측정하고 상기 전류를 pn 접합을 통해 흐르는 전류로 변환하도록 배열된다. pn 접합을 통해 흐르는 전류는 비선형 센서를 통해 흐르는 전류와 선형 관계를 가지며, 변환된 신호는 pn 접합 양단의 전압이다. 앞서 언급한 종래 기술의 아날로그 선형화 회로에서, 온도를 나타내는 비선형 전압 신호를 선형화하기위해 로그 증폭기가 사용된다. 로그 증폭기는 적어도 연산 증폭기, 저항, 및 트랜지스터를 포함한다. 트랜지스터는 적어도 2개의 pn 접합을 포함한다. 본 발명에 따르면, 비선형 센서 신호의 선형화를 수행하기 위해 변환 유닛에서 최소한 하나의 pn 접합이 필요하다. pn 접합의 전류/전압 특성은 지수 곡선을 따르는 비선형 센서를 통해 흐르는 전류를 pn 접합 양단의 전압으로 변환하기 위해 사용된다. 이 변환은 로그 함수이다. 이런 식으로 비선형 센서를 통해 흐르는 전류의 지수 전달 곡선은 다소 선형적인 전달 함수를 갖는 전압 신호로 변환된다.
한 실시예에 따르면, 이 장치는 변환된 신호를 수신하고 변환된 신호를 디지털화하여 디지털 신호값을 얻는 센서 신호 입력을 갖는 AD 변환기와, 제1 기준 신호를 발생시키도록 배열된 제1 기준 신호 발생기―제1 기준 신호 발생기는 pn 접합 양단의 전압에 대응함―를 더 포함한다. pn 접합은 변환 유닛의 pn 접합과 정합한다. 제1 미리정의된 전류는 상기 pn 접합을 통해 공급된다. 이 장치는 제2 기준 신호를 발생시키도록 배열된 제2 기준 신호 발생기―제2 기준 신호는 pn 접합 양단의 전압에 대응함―를 포함한다. 제2 기준 신호 발생기의 pn 접합은 변환 유닛의 pn 접합과 정합한다. 제2 미리정의된 전류는 상기 pn 접합을 통해 공급된다. AD 변환기는 제1 기준 신호 발생기에 결합된 제1 기준 신호 입력과 제2 기준 신호 발생기에 결합된 제2 기준 신호 입력을 포함한다. AD 변환기는 센서 신호 입력 Vpn_ntc와 제1 기준 신호 입력 Vpn1 간의 전압차와, 제2 기준 신호 입력 Vpn2와 제1 기준 신호 입력 Vpn1 간의 전압차에 대응하는 디지털 신호 값들을 발생시키도록 배열된다. 접합 양단의 전압은 접합의 온도와 포화 전류에 의존한다는 것이 잘 알려져 있다. 나아가, 포화 전류는 온도에 의존한다는 것도 잘 알려져 있다. 통상, 주변 온도는 등락할 수 있다. 이러한 등락은 접합 온도의 등락으로 이어져 변환된 신호가 주변 온도에 의존하게끔 만든다. 이러한 특징들은 2개 신호를 제공한다. 한 신호는 센서에 의해 측정된 현상과 제1 기준 신호 발생기의 pn 접합의 접합 온도에 의존하며, 다른 한 신호는 제1 및 제2 기준 신호 발생기 양자의 pn 접합의 접합 온도에 의존한다. 양 신호에서 포화 전류의 영향은 상당히 저감되어, 신호가 변환 유닛 내의 온도 등락에 덜 민감하게 만든다. 추가의 실시예에서, 변환기의 pn 접합과 제1 및 제2 기준 신호 발생기의 pn 접합은 동일한 다이 위에 있다. 이들 특징들은 변환 유닛의 pn 접합의 포화 전류의 온도 민감도를 디지털 신호 값에서 저감시키기 위해 채용된다. 동일한 다이 상의 접합은 실질적으로 동일한 온도를 가질 것이다. 그 결과, 포화 전류의 의존성과 그 대응하는 온도 의존성은 실질적으로 제거된다.
한 실시예에 따르면, AD 변환기는 또한, 제1 기준 신호 입력 Vpn2와 센서 신호 입력 Vpn_ntc간의 전압차와, 제1 기준 신호 입력 Vpn1과 제2 기준 신호 입력 Vpn2 간의 전압차에 대응하는 디지털 신호 값들을 발생시키도록 배열된다. 이들 특징들은 차분 AD 변환기에서의 드리프트를 제거할 수 있도록 해준다.
한 실시예에 따르면, 이 장치는 현상에 대한 값을 얻기 위해 디지털 신호 값들을 처리하도록 배열된 처리 유닛을 더 포함한다. 한 실시예에서, 이 처리 유닛은 이하의 방정식을 수행하도록 배열된다.
Figure pct00001
비율 = 현상을 나타내는 값,
Vpn_ntc - Vpn1 = 센서 신호 입력 Vpn_ntc와 제1 기준 신호 입력 Vpn1간의 차이에 대응하는 디지털 신호 값이고,
Vpn2 - Vpn1 = 제2 기준 신호 입력 Vpn2와 제1 기준 신호 입력 Vpn1 간의 차이에 대응하는 디지털 신호값이다. 이들 특징들은 pn 접합의 온도 의존성을 제거하고 pn 접합의 온도 변동에 대해 둔감한 디지털 값을 제공하기 위해 채택된다.
한 실시예에 따르면, 처리 유닛은, 미리정의된 범위에서 현상에서의 선형 변화에 응답하여 디지털 출력 신호의 곡선을 더 선형화시키기 위해 디지털 도메인에서 다항식에 비율의 값을 적용시킴으로써 감지된 현상을 나타내는 디지털 출력 신호에 대한 값을 계산하도록 배열된다. 이러한 특징들은 비선형 센서의 지수 곡선과 pn 접합의 로그 I-V 함수 간의 부정합으로 인한 디지털 신호에서의 비선형성을 더욱 저감시키는데 도움을 준다.
한 실시예에 따르면, 비선형 센서는 감지 소자를 포함하고, 감지 소자의 전도성은 현상에 대한 증가하는 값과 함께 상승하는 재료로 만들어진다.
추가의 실시예에서, 비선형 센서는 NTC 써미스터이다. 본 발명은 비선형 응답을 선형화하는 솔루션을 제공함으로써, 표준 컴포넌트로 표준화된 프로세스에 의해 만들어질 수 있는 비싸지 않은 전자 컴포넌트로 ℃ 당 적어도 3 내지 5 비트로 넓은 범위, 즉 -40 내지 200℃에서 온도를 정확히 측정할 수 있도록 해준다.
비선형 센서로부터의 신호를 선형화하기 위한 장치가 제공된다.
본 발명이 첨부된 도면을 참조하여 실시예를 통해 이하에서 더 상세히 논의될 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 비선형 센서를 선형화하기 위한 장치의 회로도이다.
도 2는 NTC의 비선형 특성과 선형화된 Vpn_NTC를 도시한다.
도 3은 선형화된 신호 Vpn_NTC와 PN 접합의 온도간의 관계를 도시한다.
도 1은 비선형 센서 RNTC를 선형화하기 위한 장치의 회로도를 도시한다. 본 발명에 따른 비선형 센서는 현상에서의 선형 변화에 응답하여 비선형 곡선을 따르는 신호를 제공하는 센서이다. 비선형 센서는, 전기적으로 검출가능한 특성을 변경함으로써 온도, 압력, 공기 흐름 등과 같은 현상에 응답하는 임의의 트랜스듀서일 수 있다. 이와 같은 특성은 열전쌍 전압과 온도-감응 저항 변동을 포함한다. 음성 현상 계수를 갖는 비선형 센서들은 현상에 대한 증가하는 값과 함께 그 전도도가 상승하는 재료로 만들어진 감지 소자를 포함한다. 비선형 저항성 센서는 온도 센서, 개스 센서, 및 습도 센서에서 사용될 수 있다. 이하의 설명에서 비선형 센서는 음성 온도 계수(NTC)를 갖는 저항 RNTC이다.
도 1에 도시된 실시예에서, RNTC 양단의 전압은 연산 증폭기 OPA에 의해 안정적으로 유지된다. 기준 전압 Vref은 연산 증폭기 OPA의 비반전 입력에 공급된다. 연산 증폭기의 출력 신호는, 연산 증폭기의 반전 입력에서의 전압이 연산 증폭기 OPA의 비반전 입력에서의 기준 전압 Vref와 유사하게 되도록 하는 방식으로, FET(12)를 제어할 것이다. 이런 식으로, NTC 양단의 전압은 안정적으로 유지될 것이다.
RNTC를 통해 흐르는 전류는 다이오드 DNTC를 통해 공급된다. 도 2는, RNTC를 통해 흐르는 전류가 다이오드 DNTC를 통해 공급될 때 RNTC를 통해 흐르는 전류와 온도와 다이오드 DNTC 양단의 전압의 관계를 도시한다. X축은 온도를 나타내고, 좌측 Y축은 전류값을 나타내며, 우측 Y축은 다이오드 DNTC 양단의 전압을 나타낸다. 전류는 낮은 온도에서 민감하지 않으며 높은 온도에서 매우 민감하다는 것을 알 수 있다.
다이오드 양단의 전압은 이하의 pn 접합 방정식에 의해 근사화될 수 있다.
Figure pct00002
(1)
여기서,
Vpn = pn 접합 양단의 전압
k = 볼쯔만 상수
q = 기본 충전
T = 켈빈 단위의 pn 접합의 절대 온도
I = pn 접합 전류
Is = 포화 전류
연산 증폭기 OPA, FET(12) 및 다이오드 DNTC는 아날로그 변환 유닛(101)을 형성한다. 변환 유닛(101)은, NTC로의 접속에 의해 형성된 입력에 의해 비선형 센서를 통해 흐르는 전류를 측정하고, 상기 입력에서 수신된 상기 전류를 다이오드 DNTC의 pn 접합을 통해 흐르는 전류로 변환하도록 배열된다. 도 1에 도시된 실시예에서, pn 접합을 통해 흐르는 전류는 비선형 센서 RNTC를 통해 흐르는 전류와 유사하다. 도시되지 않았지만 당업계에 공지된 전류 미러에 의해, 센서를 통해 흐르는 전류는 미리정의된 계수에 의해 곱해져 센서를 통해 흐르는 전류와 선형 관계를 갖는 또 다른 전류를 얻는다. 이런 식으로, 다이오드 DNTC를 통해 공급될 전류는 적절한 전류값으로 적합화될 수 있다.
다이오드 DNTC는 아날로그 신호 영역에서 RNTC를 통해 흐르는 전류의 온도 특성을 다이오드의 pn 접합 양단의 전압 Vpn_ntc에 대응하는 변환된 신호로 변환할 것이다. 방정식 (1)에 의해, NTC를 통해 흐르는 전류에 로그 변환이 적용된다. 도 2는, 비선형 센서를 통해 흐르는 전류의 방정식 (1)에 의한 pn 접합 양단의 전압으로의 로그 변환의 결과를 도시한다. DNTC 양단의 전압의 온도 특성은 RNTC를 통해 흐르는 전류의 비선형 특성에 관해 선형화된다.
DNTC 양단의 전압은, 온도를 나타내는 디지털 신호값을 얻기 위해 AD 변환기에 의해 변환될 수 있다. 이 전압은 단순 11 또는 12비트 AD 변환기에 의해 용이하게 디지털화될 수 있으면서 전체 온도 범위를 따라 ℃ 당 3-5 비트의 필요한 해상도를 여전히 만족시킨다. 디지털 샘플들은 선형화를 개선시키기 위해 추가로 처리될 수 있다.
변환 유닛(101)에 의해, NTC 전류는 아날로그 영역에서의 그 자신의 비선형 곡선과는 상반되게 로그적으로 증폭된다. 이것은 결과적으로, NTC 전류와 선형 관계를 갖는 원래의 비선형 신호보다 훨씬 높은 ℃당 해상도를 갖는 선형 AD 변환기에 의해 디지털화될 수 있으며 선형에 가까운 아날로그 신호로 이어진다. 전압 Vpn_ntc로부터 얻어진 디지털화된 신호는, 만일 pn 접합의 온도가 일정하게 유지될 수 있다면, 큰 온도 범위에서 충분한 정확성으로 온도를 측정하기 위해 사용될 수 있다.
그러나, 방정식(1)에 의한 로그 변환은 2개의 온도 의존 파라미터, 즉, 켈빈 T 단위의 pn 접합의 절대 온도와, 포화 전류 Is를 포함한다. 이들 2개의 파라미터의 값들은 다이오드가 존재하는 다이의 온도에 의존한다. 동작 조건에서, 다이의 온도는 환경 온도와 관계를 가진다. 차량에서, 센서의 환경 온도는 엔진 시동시 -20 내지 30℃의 범위에 있다가 엔진이 워밍-업될 때 100 내지 160℃의 범위에까지 상승할 수 있다. 도 3은 다이의 온도에 관하여 도 2에 도시된 Vpn_ntc 곡선의 관계를 도시한다. X축은 온도를 나타내고, Y축은 다이오드 DNTC 양단의 전압을 나타낸다. 다이, 즉 다이오드의 접합의 온도 Tdie가 정의된 온도에 유지될 때 얻어질 수 있는 곡선들이 도시되어 있다. 곡선의 진폭은 다이 온도 Tdie에 의존하여 전체 온도 범위에 걸쳐 쉬프트된다.
포화 전류 Is로 인한 온도 의존성을 제거하기 위해, 제1 기준 신호 발생기(105)가 제공된다. 도 1에서, 제1 기준 신호 발생기(105)는 미리정의된 전류 Iref1를 제공하는 전류 소스와 다이오드 D1의 직렬 접속을 포함한다. 전류 소스에 의해 제공되는 미리정의된 전류 Iref1은 온도 변동과는 독립적이며, 예를 들어 -40 내지 200℃의 미리정의된 범위 내의 각 온도에서 실질적으로 동일한 전류를 제공한다. 미리정의된 전류 Iref1은 다이오드 D1을 통해 공급된다.
다이오드 D1의 애노드는, 애노드에서의 전위를 측정하기 위해 차동 AD 변환기(104)의 입력에 결합된다. 도 1에서, 다이오드 DNTC의 애노드는 차동 AD 변환기(104)의 다른 입력에 결합된다. 나아가, 다이오드 DNTC와 D1의 캐소드는 접지에 결합된다. 차동 AD 변환기(104)는, 센서 신호 입력 Vpn_ntc가 되는 다이오드 DNTC 양단의 전압과, 제1 기준 신호 입력 Vpn1이 되는 다이오드 D1 양단의 전압 사이의 전압차를 측정한다.
다이오드 D1은 다이오드 DNTC의 pn 접합과 정합하는 pn 접합을 가져, 양쪽 pn 접합의 포화 전류가 동일한 온도 의존성을 갖도록 한다.
정합된 다이오드들 DNTC와 D1 양간의 Vpn 전압들을 감산함으로써, 포화 전류에 기인한 온도 의존성이 제거된다. 이것은 이하의 방정식에 의해 증명될 수 있다:
Figure pct00003
(2)
여기서,
Vpn_ntc = pn 접합 Dntc 양단의 전압
Vpn1 = pn 접합 D1 양단의 전압
Intc = pn 접합 Dntc를 통해 흐르는 전류
Iref1 = pn 접합 D1을 통해 흐르는 전류
방정식 (2)로부터, 포화 전류 Is에 기인한 온도 의존성이 제거되고 온도 의존 파라미터 T가 여전히 존재한다는 것을 알 수 있다. 다이의 온도를 정확히 측정함으로써, 파라미터 T에 기인한 다이오드들 양단의 전압이 변동이 보상될 수 있다. 본 발명에 따르면, 온도 의존 파라미터 T는 제2 기준 신호 발생기(103)를 제공함으로써 제거될 수 있다. 도 1에서, 제2 기준 신호 발생기(103)는 제2 미리정의된 전류 IRef2를 제공하는 전류 소스와 다이오드 D2의 직렬 접속을 포함한다. 전류 소스에 의해 제공되는 제2 미리정의된 전류 IRef2는 온도 변동으로부터 독립적이어야 하며, 예를 들어 -40 내지 200℃의 미리정의된 범위 내의 각 온도에서 실질적으로 동일한 전류를 제공한다. 미리정의된 전류 Iref2는 다이오드 D2를 통해 공급된다.
다이오드 D2의 애노드는 애노드에서의 전위를 측정하기 위해 차동 AD 변환기(104)의 입력에 결합된다. 나아가, 다이오드 D2의 캐소드는 접지에 결합된다. 차동 AD 변환기(104)의 다른 입력은 다이오드 D1의 애노드에 결합된다. 차동 AD 변환기(104)는 제2 기준 신호 입력 Vpn2가 되는 다이오드 D2 양단의 전압과, 제1 기준 신호 입력 Vpn1이 되는 다이오드 D1 양단의 전압 사이의 전압차를 측정한다.
다이오드 D2는 다이오드 DNTC 및 D1의 pn 접합들과 정합하는 pn 접합을 가져, pn 접합들의 포화 전류가 동일한 온도 의존성을 갖도록 한다. 변환기(101)의 pn 접합, 즉, 다이오드 DNTC의 pn 접합, 제1 및 제2 기준 신호 발생기(105, 103)의 pn 접합은 양호하게는 동일한 다이 상에 있다. 그 경우, pn 접합들의 온도는 상당히 유사할 것이다.
정합된 다이오드들 D2 및 D1 양단의 Vpn 전압들을 감산함으로써, 방정식 (3)에 의해 증명되는 바와 같이, 포화 전류에 기인한 온도 의존성이 차이 신호로부터 제거된다.
Figure pct00004
(3)
여기서,
Vpn2 = pn 접합 D2 양단의 전압
Vpn1 = pn 접합 D1 양단의 전압
Iref2 = pn 접합 D2를 통해 흐르는 전류
Iref1 = pn 접합 D1을 통해 흐르는 전류
다이 온도 Tdie는 방정식 (4)에 도시된 바와 같이 전압차 (Vpn2 - Vpn1)으로부터 용이하게 결정될 수 있다.
Figure pct00005
(4)
여기서,
Vpn2 = pn 접합 D2 양단의 전압
Vpn1 = pn 접합 D1 양단의 전압
Iref2 = pn 접합 D2를 통해 흐르는 전류
Iref1 = pn 접합 D1을 통해 흐르는 전류
결과적으로, 다이 온도는 측정된 전압차를 상수로 나눔으로써 결정될 수 있다.
2개 전압차 (Vpn_ntc - Vpn1)과 (Vpn2 - Vpn1)은 AD 변환기(104)에 의해 디지털화되어 추가 처리를 위해 처리 유닛(110)에 공급된다. AD 변환기(104)는 14개 유효 비트를 갖는 16 비트 AD 변환기일 수 있다. 16비트 AD 변환기(104)는 전체 온도를 따라 온도차를 디지털화하고 온도에 관해 충분한 해상도를 제공하기에 충분한다. 처리 유닛(110)은 AD 변환기(104)로부터 공급된 디지털 신호값을 처리하고 비선형 센서 RNTC에 의해 측정된 온도를 나타내는 디지털 출력 신호에 대한 값을 계산하도록 배열된다. 처리 유닛(110)은 이하의 방정식을 수행한다.
Figure pct00006
(5)
여기서,
비율 = 온도를 나타내는 값,
Vpn_ntc - Vpn1 = 센서 신호 입력 Vpn_ntc와 제1 기준 신호 입력 Vpn2간의 차이에 대응하는 디지털 신호값이고, Vpn2-Vpn1 = 제2 기준 신호 입력 Vpn2와 제1 기준 신호 입력 Vpn1간의 차이에 대응하는 디지털 신호값이다.
방정식(5)에서 방정식(2)와 (3)을 적용시킴으로써 방정식(6)에 도달한다.
Figure pct00007
(6)
비율의 값은, 온도에 의존적인 변수인 센서를 통해 흐르는 전류 INTC와, 나아가 온도에 독립적인 고정된 전류 Iref1 및 Iref2에 의존한다는 것을 알 수 있다. 비율의 값은 NTC 전류를 포착하는 무차원 수이며, 여기서 다이 온도 의존 파라미터들은 완전히 제거된다. 비율의 값은 측정된 온도를 나타내며, 도 2에 도시된 Vpn_ntc의 곡선과 유사한 곡선을 따른다. 그러나, Vpn_ntc의 곡선과는 상반되게, 비율의 곡선은 회로의 pn접합의 온도에 독립적이다. 비율의 곡선은, 도 2에 도시된 바와 같이, 10 - 15%의 비선형성을 가지며, 이것은 어떤 애플리케이션들에 대해서는 충분할 수 있다.
비율의 곡선은 비율의 계산된 값에 다항식을 적용시킴으로써 더욱 선형화될 수 있다. 다항식을 적용시킴으로써, 디지털 출력 신호는 측정 전체 범위를 따른 선형 온도 변화에 대한 감도가 실질적으로 일정한 디지털 출력 신호가 계산될 수 있다. 4계 다항식 temp = ax4 + bx3 + cx2 + dx1 + e, 여기서, temp는 온도를 나타내는 값이고, a, b, c, d, 및 e는 미리결정된 상수값이며, x는 비율의 값에 대응하며, temp에 대한 값은 -40℃로부터 200℃에 이르는 전체 온도 범위에 걸쳐 1℃보다 작은 정확성으로 계산될 수 있다. 양호하게는, temp에 대한 계산된 값은 측정된 온도에 대응하는 디지털 포멧이다. 만일 그렇다면, 본 발명에 따른 비선형 센서를 선형화하기 위한 장치는, 출력된 데이터를 추가로 처리하지 않고 실제 온도나 다른 현상을 보여주기 위해 디스플레이 유닛에 용이하게 접속될 수 있다.
다이오드 DNTC, D1 및 D2 양단의 전압은 3개의 상이한 AD 변환기에 의해 디지털화될 수 있다. 도 1에서, 전압차(Vpn_ntc - Vpn1)과 (Vpn2 - Vpn1)를 디지털화하기 위해 단 하나의 차동 AD 변환기(104)가 제공된다. 이를 가능케하기 위해, 다이오드 DNTC 및 다이오드 D2 양단의 전압 사이에서 제어 신호 발생 유닛(108)에 의해 발생된 제어 신호의 제어하에 스위칭하는 선택기(106)가 제공된다. 나아가, 쵸퍼(102)는 AD 변환기(104)의 입력에 제공된다. 쵸퍼는, 제어 신호 발생 유닛에 의해 발생된 제어 신호의 제어하에 AD 변환기(104)에 공급되는 입력 신호를 교환한다. 이런 식으로, (Vpn_ntc - Vpn1) 및 (Vpn1 - Vpn_ntc)에 대한 디지털 값이 AD 변환기(104)의 출력에서 이용가능하게 만들어진다. 처리 유닛(110)에서 (Vpn_ntc - Vpn1) 및 -(Vpn1 - Vpn_ntc)의 평균값을 결정함으로써, AD 변환기의 출력에서의 디지털 신호값에서의 바이어스 드리프트가 처리 유닛(110)에서 제거될 수 있다. (Vpn2 - Vpn1)에 대한 디지털 값을 결정하기 위해 동일한 방법이 적용될 것이다. 제어 신호 발생 유닛(108)은, 선택기(106), 쵸퍼(102), AD 변환기(104) 및 처리 유닛(110)에, 각각의 컴포넌트들을 동기화시키기 위해 적절한 제어 신호를 발생시키도록 배열된다.
방정식(5)은, 전압차 (Vpn_ntc - Vpn1) 및 (Vpn2 - Vpn1)의 아날로그 값들이 충분한 정확도로 샘플링될 수 있고 (Vpn2 - Vpn1)에 대한 디지털화된 값이 처리 유닛(110)이 정확한 나눗셈을 수행하도록 허용하는 값에 대응할 때, 충분한 정확도로 실행될 수 있다. 표준 써미스터 RNTC를 통해 흐르는 전류는 써미스터 양단에 1V가 인가될 때 500nA 내지 3.2mA의 범위에 있다는 것이 발견되었다. 제1 미리정의된 전류 Iref1는 양호하게는 상기 범위의 하위측에 있고 제2 미리정의된 전류 Iref2는 상기 범위의 상위측에 있다. 한 실시예에서, 제1 기준 전류 Iref1은 50μA이고 제2 기준 전류 Iref2는 0.5 mA이다.
나아가, 변환 유닛(101)과 제 및 제2 기준 신호 발생기(105, 103)에 존재하는 pn 접합들은 표준 CMOS 혼합된 모드 프로세스에 의해 만들어질 수 있다.
본 발명에 따른 장치는 한 현상을 측정하기 위한 센서들에 적용될 수 있다. 이 장치는 2개 이상의 현상을 측정하기 위한 센서들에도 적용될 수 있다. 이와 같은 센서의 예는 결합된 온도 압력 센서이다.
나아가, 전술된 본 발명의 실시예에서, 온도 범위 -40 내지 200℃에 관한 NTC의 지수 함수는 pn접합에 의해 제공되고 방정식(1)에 의해 설명되는 로그 변환에 의해 선형화된다. 당업자라면, 미리정의된 범위에서 현상에서의 선형 변화에 응답하는 곡선을 따르는 특성을 갖는 신호를 변환하기 위해 장치의 변환 유닛을 채택하는 방법을 알 것이다. 여기서, 충분한 해상도로 선형 AD 변환기에 의해 디지털화될 수 있는 선형화된 변환된 신호를 얻기 위해 비선형 센서로부터의 로그 신호를 지수적으로 변환하는 변환 유닛에 의해 로그 함수로 근사화될 수 있다.
본 발명의 몇가지 실시예들이 예로서 기술되었다. 이들 실시예들에 관하여 설명된 다양한 수정 및 변형들이 첨부된 특허청구범위에 의해 정의된 본 발명의 범위로부터 벗어나지 않고 당업자에 의해 이루어질 수 있다.
101: 아날로그 변환 유닛
103: 제2 기준 신호 발생기
105: 제1 기준 신호 발생기
106: 선택기
108: 제어 신호 발생 유닛

Claims (11)

  1. 비선형 센서를 선형화하기 위한 장치에 있어서,
    - 미리정의된 범위에서 현상에서의 선형 변화에 응답하는 곡선을 따르는 특성을 갖는 신호를 제공할 수 있도록 해주는 비선형 센서로서, 상기 곡선은 지수 또는 로그 함수에 의해 근사화될 수 있는 것인, 상기 비선형 센서; 및
    - 변환된 신호를 얻기 위해 상기 비선형 센서로부터의 신호를 변환하는 아날로그 변환 유닛으로서, 상기 변환은 실질적으로 지수 또는 로그 전달 특성을 가지며 변환된 신호는 상기 미리정의된 범위에서 상기 현상에서의 선형 변화에 응답하는 선형화된 곡선을 따르는 특성을 가지며, 상기 선형화된 곡선은 선형 함수에 의해 근사화될 수 있는 것인, 상기 아날로그 변환 유닛
    를 포함하며,
    상기 변환 유닛은 pn 접합을 포함하고, 상기 변환 유닛은 상기 비선형 센서를 통해 흐르는 전류를 측정하고 상기 전류를 상기 pn 접합을 통해 흐르는 전류로 변환하도록 배열되며, 상기 pn 접합을 통해 흐르는 전류는 상기 비선형 센서를 통해 흐르는 전류와 선형 관계를 가지며, 변환된 신호는 상기 pn 접합 양단의 전압인 것을 특징으로 하는, 비선형 센서를 선형화하기 위한 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 장치는,
    상기 변환된 신호를 수신하고 변화된 신호를 디지털화하여 디지털 신호값을 얻기 위한 입력을 갖는 AD 변환기;
    제1 기준 신호를 발생하도록 배열된 제1 기준 신호 발생기로서, 상기 제1 기준 신호는 pn 접합 양단의 전압에 대응하고, 상기 pn 접합은 상기 변환 유닛의 pn 접합과 정합하며, 제1 미리정의된 전류는 상기 pn 접합을 통해 공급되는 것인, 상기 기준 신호 발생기;
    제2 기준 신호를 발생하도록 배열된 제2 기준 신호 발생기로서, 상기 제2 기준 신호는 pn 접합 양단의 전압에 대응하고, 상기 pn 접합은 상기 변환 유닛의 pn 접합과 정합하며, 제2 미리정의된 전류는 상기 pn 접합을 통해 공급되고, 상기 AD 변환기는 상기 제1 기준 신호 발생기에 결합된 제1 기준 신호 입력과, 상기 제2 기준 신호 발생기에 결합된 제2 기준 신호 입력을 포함하며, 상기 AD 변환기는 센서 입력 Vpn_ntc와 상기 제1 기준 신호 입력 Vpn1(Vpn_ntc - Vpn1)간의 전압차와, 상기 제2 기준 신호 입력 Vpn2와 상기 제1 기준 신호 입력 Vpn1 (Vpn2 - Vpn1)간의 전압차에 대응하는 디지털 신호값들을 발생시키도록 배열된 것인, 상기 제2 기준 신호 발생기
    를 포함하는, 비선형 센서를 선형화하기 위한 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 변환기의 pn 접합과 상기 제1 및 제2 기준 신호 발생기의 pn 접합은 동일한 다이 상에 있는 것인, 비선형 센서를 선형화하기 위한 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 AD 변환기는 또한, 상기 제1 기준 신호 입력 Vpn1과 상기 센서 신호 입력 Vpn_ntc(Vpn1 - Vpn_ntc)간의 전압차와, 상기 제1 기준 신호 입력 Vpn1과 상기 제2 기준 신호 입력 Vpn2(Vpn1 - Vpn2)간의 전압차에 대응하는 디지털 신호값들을 발생시키도록 배열된 것인, 비선형 센서를 선형화하기 위한 장치.
  5. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 장치는 상기 현상을 나타내는 디지털 신호값을 얻기 위해 상기 디지털 신호값들을 처리하도록 배열된 처리 유닛을 더 포함하는 것인, 비선형 센서를 선형화하기 위한 장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 처리 유닛은 이하의 방정식
    Figure pct00008

    을 수행하도록 배열되고,
    비율 = 상기 현상을 나타내는 값이며,
    Vpn_ntc - Vpn1 = 상기 센서 신호 입력 Vpn_ntc와 상기 제1 기준 신호 입력 Vpn1간의 차이에 대응하는 디지털 신호 값이고,
    Vpn2 - Vpn1 = 상기 제2 기준 신호 입력 Vpn2과 상기 제1 기준 신호 입력 Vpn1간의 차이에 대응하는 디지털 신호값인 것인, 비선형 센서를 선형화하기 위한 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 처리 유닛은 상기 미리정의된 범위에서 상기 현상에서의 선형 변화에 응답하여 상기 디지탈 출력 신호의 곡률을 추가로 선형화하기 위해 상기 디지털 영역에서의 다항식에 상기 비율의 값을 적용시킴으로써 감지된 현상을 나타내는 디지털 출력 신호에 대한 값을 계산하도록 배열된 것인, 비선형 센서를 선형화하기 위한 장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 비선형 센서는 상기 현상에 대한 증가하는 값과 더불어 전도성이 상승하는 재료로 만들어진 감지 소자를 포함하는 것인, 비선형 센서를 선형화하기 위한 장치.
  9. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 비선형 센서는 NTC 써미스터(thermistor)인 것인, 비선형 센서를 선형화하기 위한 장치.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 현상은 온도인 것인, 비선형 센서를 선형화하기 위한 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 장치는 -40℃ 내지 200℃ 범위의 온도에서의 선형 변화에 응답하여 선형 곡선을 따르는 디지털 출력 신호를 발생시키도록 배열된 것인, 비선형 센서를 선형화하기 위한 장치.
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1404585B1 (it) * 2010-11-11 2013-11-22 St Microelectronics Srl Trasduttore temperatura-corrente
CN103092809B (zh) * 2011-11-02 2015-09-09 宏达国际电子股份有限公司 电子装置与其处理器内部功能方块的线性区操作方法
CN102589734B (zh) * 2012-01-31 2013-10-23 钜泉光电科技(上海)股份有限公司 温度传感器
CN103900619B (zh) * 2012-12-26 2017-11-24 厦门雅迅网络股份有限公司 一种非线性电阻式传感器的线性化方法及电路
US9429605B2 (en) 2013-05-14 2016-08-30 Infineon Technologies Ag Techniques for determining a resistance value
KR20150026292A (ko) * 2013-09-02 2015-03-11 엘에스산전 주식회사 네거티브 온도 계수 서미스터를 이용한 온도 측정 장치
SG2013084009A (en) 2013-11-12 2015-06-29 Rockwell Automation Asia Pacific Business Ctr Pte Ltd Multiple alternative automation input system and method
CN105352623B (zh) * 2015-12-14 2018-06-29 重庆川仪自动化股份有限公司 提高热电阻温度变送器精度的方法
US20180045584A1 (en) * 2016-08-12 2018-02-15 Google Inc. Systems and Methods of Sensor Linearization
TR201614439A1 (en) 2016-10-13 2018-04-24 Univ Yeditepe SMART OPTIMAL ANALOG CIRCUIT FOR SENSOR LINEARIZATION IN A WIDE RANGE
CN108007594B (zh) * 2016-10-31 2020-05-19 深圳市中兴微电子技术有限公司 一种温度检测电路和方法
CN106482850B (zh) * 2016-11-25 2019-09-17 北京兆芯电子科技有限公司 温度检测装置以及温度检测方法
DE102016225044A1 (de) * 2016-12-14 2018-06-14 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Linearisierungsschaltung und Verfahren zum Linearisieren eines Messsignals
CN108334048A (zh) * 2018-05-07 2018-07-27 珠海格力电器股份有限公司 一种数据采集***
CN109100042A (zh) * 2018-09-28 2018-12-28 珠海格力电器股份有限公司 一种温度检测电路和检测igbt元件温度的电路
CN110568891B (zh) * 2019-09-24 2021-07-09 上海艾为电子技术股份有限公司 一种电流dac电路和输出电流的方法
JP7089203B1 (ja) 2021-01-07 2022-06-22 ミツミ電機株式会社 温度測定回路及び温度測定装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4106341A (en) * 1977-01-03 1978-08-15 General Electric Company Linearized thermistor temperature measuring circuit
US5116136A (en) * 1989-06-01 1992-05-26 Massachusetts Institute Of Technology Temperature measurements using thermistor elements
US5274577A (en) 1990-10-09 1993-12-28 Newport Electronics, Inc. System for linearizing a non-linear sensor output
CN1041234C (zh) * 1994-10-13 1998-12-16 林文 电压线性化电路
US6099163A (en) 1998-07-16 2000-08-08 Airpax Corporation, Llc Correction circuit for linearizing output of temperature sensor and method of construction
WO2006135977A1 (en) * 2005-06-24 2006-12-28 Carl Peter Renneberg A circuit and method for fitting the output of a sensor to a predetermined linear relationship

Also Published As

Publication number Publication date
CN102099662A (zh) 2011-06-15
WO2009145629A1 (en) 2009-12-03
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JP5414788B2 (ja) 2014-02-12
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EP2128579B1 (en) 2012-08-01
CN102099662B (zh) 2013-12-18
JP2011524006A (ja) 2011-08-25

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