JP4167204B2 - 流体継手及び継手一体型集積ユニット - Google Patents
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Description
更に、扱う薬液によって例えば四フッ化エチレン樹脂(PTFE,PFA)を用いる必要があるが、蓋101に対して4箇所もの流体継手201〜204を取り付けようとすると、複雑形状の製作が困難で材質が比較的高価でもある四フッ化エチレン樹脂ではタンク100が高価なものとなってしまっていた。
また、本発明の流体継手は、前記ブロック体に前記タンクの円筒形状の開口部にシール部材を保持して気密に挿入可能な円柱状の挿入部と、その上方に環状に形成された横溝とが形成され、その横溝に引っかけたロックナットを前記タンクの開口部外側に螺設することによってタンクに装着するようにしたものであることを特徴とする。
また、本発明の継手一体型集積ユニットは、前記流体継手には、液体をタンク内に供給する液流路と、タンク外に開口したガス供給流路及びガス排気流路がタンク内に開口したガス給排気流路に接続された流路と、タンク内の液体を外部に吐出すべくタンク内に挿入されたパイプに連結された吐出流路とが形成され、その流体継手の液流路、ガス供給流路及びガス排気流路のタンク外開口部にそれぞれ固定された流体機器が開閉弁であることを特徴とする。
また、本発明の継手一体型集積ユニットは、流体継手に螺合するロックナットと、流体継手の内周面に形成されたテーパに接合する楔部を備えるフェルールとを有し、ロックナットがフェルールを介して流体継手に締め込まれていることを特徴とする。
しかも、本発明は、タンクの筒形状の開口部にブロック体に挿入部を入れ、その横溝に引っかけたロックナットをタンクの開口部外側に螺設してタンクに装着する構成としたので、組み付けが非常に簡単なものとなった。
また、本発明は、ロックナットをフェルールを介して流体継手に締め込むときに、フェルールが流体継手に押し込まれてパイプに食い込むので、パイプの抜けを防止できるとともに、タンク内の気密性を確保することができる。
、底部にはユースポイントへとラインを接続する吐出ポート3が形成されている。そして、その開口部2には、図示するように流体継手11をベースブロックにした継手一体型集積ユニット10が装着されている。流体継手11は、薬液供給、ガス供給及びガス排気を行うための流路が形成されたブロックであり、ロックナット4によって開口部2に固定されている。そして、その流体継手11には流体機器として開閉弁12,13,14が一体に固定され、継手一体型集積ユニット10が構成されている。ここで図4は、タンク1に継手一体型集積ユニット10を介して流体ラインが接続された状態を示したブロック図である。
先ず、タンク1内に充填された薬液をユースポイントへ送る場合、開閉弁12,14が
閉じられて開閉弁13が開けられる。開閉弁12,14,13は、エアポート33へ作動エアが供給されるとスプール34が流体継手11側へ摺動し、先端の弁体36が流路37の開口に形成された弁座に当接して閉弁する。従って、流体継手11の液供給流路15やガス給排気流路16と、液供給ライン110などが接続されるポート31との間が遮断される。一方、エアポート32へ作動エアが供給された場合には、スプール34が流体継手11から離れる方向へ摺動し、先端の弁体36が流路37の開口に形成された弁座から離間して開弁する。従って、流体継手11の液供給流路15やガス給排気流路16とポート31との間が連通する。
一方、流体継手11に開閉弁12,13,14を一体にした継手一体型集積ユニット10では、煩雑だったタンク周りを簡素化することができ、ライン110,120,130によって構成される流体回路のスペースを縮小させることができた。そして、集積化したことによって、一箇所に開閉弁12,13,14が集中して交換などが容易になってメンテナンス性が向上した。
タンク1の開口部2には、前記第1実施形態と同様にして、流体継手51をベースブロックにした継手一体型集積ユニット50が装着されている。そして、本実施形態では、ユースポイントへタンク1内の薬液を供給する吐出ポート52が継手一体型集積ユニット50に形成されている。
一方、流体継手51に開閉弁12,13,14を一体にした継手一体型集積ユニット50では、煩雑だったタンク周りを簡素化することができ、ライン110,120,130によって構成される流体回路のスペースを縮小させることができた。そして、集積化したことによって、一箇所に開閉弁12,13,14が集中して交換などが容易になってメンテナンス性が向上した。
タンク1の開口部2には、前記第1実施形態と同様にして、流体継手61をベースブロックにした継手一体型集積ユニット60が装着されている。そして、本実施形態では、ユースポイントへタンク1内の薬液を供給する吐出ポート62が継手一体型集積ユニット60に形成されている。
61に突設された吐出流路63の開口部に吐出パイプ65,66が継手67,68によって連結されている。そして、この吐出パイプ65はタンク1内で底部にまでのび、吐出パイプ66は流体継手61から横向きに突き出している。
一方、流体継手61に開閉弁12,13,14を一体にした継手一体型集積ユニット60では、煩雑だったタンク周りを簡素化することができ、ライン110,120,130によって構成される流体回路のスペースを縮小させることができた。そして、集積化したことによって、一箇所に開閉弁12,13,14が集中して交換などが容易になってメンテナンス性が向上した。
タンク5の開口部6には、前記第1実施形態と同様にして、流体継手71をベースブロックにした継手一体型集積ユニット70が装着されている。そして、本実施形態では、タンク5内の薬液を継手一体型集積ユニット70からユースポイントへ供給するようにしたものであり、ポンプ72が使用される。
れてユースポイントへと送り出される。このときタンク5内が減圧するため、吸気流路73を通って外気が流入する。
よって、本実施形態でも前記第1乃至第3実施形態と同様に、タンク5の開口部6に装着するブロック体に吸気流路73と吐出流路74とを形成した簡素な構成の流体継手71とすることができ、極めて取り扱いが簡単なものである。そして、簡単な取り付けによって加工費を格段に低減させることができ、タンク5に対して1箇所で装着するため液漏れやガス漏れに対する管理が容易となった。また、流体継手71にポンプ75を一体にした継手一体型集積ユニット70では、煩雑だったタンク周りを簡素化することができ、集積化によってメンテナンス性が向上した。
タンク1の開口部2には、前記第1実施形態と同様にして、流体継手81をベースブロックにした継手一体型集積ユニット80が装着されている。そして、本実施形態では、ユースポイントへタンク1内の薬液が流れる吐出流路89と、タンク1内のN2ガスを給排気するガス給排気流路88とを2重に形成し、ユースポイントへタンク1内の薬液を供給する吐出ポート82が継手一体型集積ユニット80に形成されている。
例えば、前記実施形態では、継手一体型集積ユニット10などの一例として流体継手11に開閉弁12,13,14を一体に固定したものについて説明したが、流体継手11に一体的に取り付けるものは、開閉弁以外の流量調整弁やオリフィスあるいは圧力計などでもよく、特定の流体機器に限定するものではない。
また、例えば、前記第1〜第3実施形態では、ガス供給流路16aとガス排気流路16bとをガス給排気流路16へ連結して一つの流路を分岐させていたが、ガス供給流路とガス排気流路とを別々にして二つの流路としてもよい。
2 開口部
4 ロックナット
10 継手一体型集積ユニット
11 流体継手
12,13,14 開閉弁
15 液供給流路
16 ガス給排気流路
16a ガス供給流路
16b ガス排気流路
Claims (5)
- 複数の流体をタンクの内外において出し入れするためにタンクの開口部に装着され、タンク内とタンク外の複数の流体ラインとをつなぐものであって、
前記タンクの開口部に固定可能なブロック体に、液体をタンク内に供給する液流路と、タンク外に開口したガス供給流路及びガス排気流路がタンク内に開口したガス給排気流路に接続された流路とが形成された流体継手と、
前記流体継手の液流路、ガス供給流路及びガス排気流路のタンク外開口部にそれぞれ固定された流体機器とを有し、
前記流体継手と前記流体機器とが一体に設けられたものであることを特徴とする継手一体型集積ユニット。 - 複数の流体をタンクの内外において出し入れするためにタンクの開口部に装着され、タンク内とタンク外の複数の流体ラインとをつなぐものであって、
前記タンクの開口部に固定可能なブロック体に、液体をタンク内に供給する液流路と、タンク外に開口したガス供給流路及びガス排気流路がタンク内に開口したガス給排気流路に接続された流路と、タンク内の液体を外部に吐出すべくタンク内に挿入されたパイプに連結された吐出流路とが形成された流体継手と、
前記流体継手の液流路、ガス供給流路及びガス排気流路のタンク外開口部にそれぞれ固定された流体機器とを有し、
前記流体継手と前記流体機器とが一体に設けられたものであることを特徴とする継手一体型集積ユニット。 - 請求項2に記載する継手一体型集積ユニットにおいて、
前記吐出流路と前記ガス給排気流路とが2重に形成されていることを特徴とする継手一体型集積ユニット。 - 請求項2又は請求項3に記載する継手一体型集積ユニットにおいて、
前記流体継手に螺合するロックナットと、
前記流体継手の内周面に形成されたテーパに接合する楔部を備えるフェルールとを有し、
前記ロックナットが前記フェルールを介して前記流体継手に締め込まれていることを特徴とする継手一体型集積ユニット。 - 請求項1乃至請求項4の何れか一つに記載する継手一体型集積ユニットにおいて、
前記流体機器が開閉弁であることを特徴とする継手一体型集積ユニット。
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