KR20110006788U - 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블 - Google Patents

유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블 Download PDF

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Abstract

본 고안은 유리 기판이 놓여지는 안착 테이블의 양측에 배치되는 유리 기판 상면에 양측 가장자리로 고압에어를 집중적으로 분출되는 에어 공급부를 구비함으로써, 유리 기판의 들림 현상을 방지하여 작업에 멈춤이 없이 연속적으로 유리 기판의 가장자리를 연마 가공할 수 있어 안착 테이블에서 다양한 크기의 유리 기판들을 연마 가공할 수 있도록 한 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블에 관한 것이다.
이를 위한 본 고안의 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블은, 길이방향을 따라 연장되어 이동수단을 제공하는 한 쌍의 고정 리니어 모터를 갖는 메인 프레임과; 상기 리니어 모터를 따라 전후 왕복으로 유리 기판을 이동시키면서 좌우 간격조절이 가능한 한 쌍의 안착 테이블과; 상기 안착 테이블 중간에서 에어흡착으로 유리 기판을 흡착고정하여 회전 모터에 의해 회전 지지대가 회전되어 유리 기판의 배치 방향을 전환하는 회전 테이블과; 상기 안착 테이블에 놓여져 이송되어진 유리 기판의 양측 에지면을 연마하는 한 쌍의 연마 휠;을 포함하되, 상기 안착 테이블의 위에 놓여져 이동하는 유리 기판의 상면 가장자리 양측에 고압에어를 분사하여 압착 고정하는 한 쌍의 에어 공급부; 로 구성된다.
유리기판, 연마, 에지면, 유리 기판, 연마 테이블, 안착, 에어분사

Description

유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블{Grinding table that use top portion air participle way of grinding device for glass board}
본 고안은 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 안착 테이블의 양측에 배치되는 에어 공급부에 의해 고압에어가 유리 기판의 상면 일측부를 집중적으로 분출되도록 하여 안착 테이블에 놓여진 유리 기판을 압착하여 들림 없이 안전하게 연마되도록 하는 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블에 관한 것이다.
종래기술에 따른 유리기판용 연마테이블의 경우 유리기판과 접촉하는 면에 복수의 흡착부가 형성되어 있고, 흡착부는 연마테이블에 결합되어 있는 진공밸브와 기류적으로 연결되어 있다. 따라서, 연마테이블에 유리기판이 놓이게 되면, 진공밸브를 작동시켜 흡착부가 유리기판을 흡착함으로써 유리기판이 연마테이블에 고정된다.
이러한, 종래의 연마 장치(200)는 도 1에 도시되어 있으며, 연마 테이블(210)에 장착된 유리 기판(G)의 모서리를 따라서 연마 석(220)이 이동하여 유리 기판(G)의 상 하부 모서리들을 연마시키도록 되어 있다.
상기 연마 장치(200)에서 연마 석(220)들은 회전 모터(230)에 의해서 고속 회전되며, 상기 회전 모터(230)와 연마 석(220)은 별도의 이동 대(미 도시)에 의해서 상기 유리 기판(G)의 모서리를 따라서 이동하면서 모서리의 연마작업을 이루도록 되어 있다.
상기와 같은 연마장치(200)에서 사용되는 종래의 기술에 따른 유리 기판용 연마 테이블(210)의 경우, 유리 기판(G)과 접촉하는 면에 복수의 흡착 부(미 도시)가 형성되어 있고, 흡착 부는 상기 연마 테이블(210)에 결합되어 있는 진공밸브(미 도시)와 기류적으로 연결되어 있다.
따라서, 상기 연마 테이블(210)에 유리 기판(G)이 놓이게 되면, 진공밸브를 작동시켜 흡착 부가 유리 기판(G)을 흡착함으로써 유리 기판(G)이 상기 연마 테이블(210)에 고정된다.
그러나 상기와 같은 종래기술에 따른 연마 테이블(210)의 경우 다음과 같은 문제점이 존재한다.
상기 종래의 연마 테이블에 형성되어 있는 복수의 흡착 부의 경우 모든 흡착 부가 기류적으로 연결되어 있으므로, 특정 부위에서 접촉이 이루어지지 않았을 경우에는 진공소실 현상이 발생하여, 흡착 부에 의한 유리기판의 고정작업에 불필요한 작업시간이 소요되는 문제가 있다.
또한, 상기 연마 테이블에서 흡입하는 방식은 흡착에 의한 많은 부품이 사용 되며, 연마석에 의해 가공하는 유리기판에서 발생하는 유리가루가 흡착하는 진공밸브 측으로 유입되어 진공밸브가 막히는 현상이 발생되어 소모품을 교체해야하여 장비에 대한 교체 비용이 자주 발생하는 문제점이 있다.
본 고안은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 그 목적은 안착 테이블의 양측에 배치되는 에어 공급부에 의해 고압에어가 연삭하게 되는 부분인 유리 기판의 상면 일측부를 집중적으로 분출되도록 하여 안착 테이블에 놓여진 유리 기판을 압착하여 들림 없이 안전하게 연마되도록 하는 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블을 제공함에 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 고안의 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블은, 길이방향을 따라 연장되어 이동수단을 제공하는 한 쌍의 고정 리니어 모터를 갖는 메인 프레임과; 상기 리니어 모터를 따라 전후 왕복으로 유리 기판을 이동시키면서 좌우 간격조절이 가능한 한 쌍의 안착 테이블과; 상기 안착 테이블 중간에서 에어흡착으로 유리 기판을 흡착고정하여 회전 모터에 의해 회전 지지대가 회전되어 유리 기판의 배치 방향을 전환하는 회전 테이블과; 상기 안착 테이블에 놓여져 이송되어진 유리 기판의 양측 에지면을 연마하는 한 쌍의 연마 휠;을 포함하되, 상기 안착 테이블의 위에 놓여져 이동하는 유리 기판의 상면 가장자리 양측에 고압에어를 분사하여 압착 고정하는 한 쌍의 에어 공급부; 로 구성된 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 에어 공급부는, 연마 휠이 위치한 일측 상부에 존재하여 연삭할 유리기판의 에지면 소정의 영역 상부를 고압에어로 집중분사하는 것을 포함함을 특징으로 한다.
더 바람직하게, 상기 에어 공급부는, 양측에 위치한 연마 휠에 유리 기판의 에지면이 접촉되기 전에 먼저 유리 기판을 안착 테이블에 압착되게 함으로써 압착고정하는 것을 포함함을 특징으로 한다.
더 바람직하게, 상기 에어 공급부는, 양측에 위치한 연마 휠에 유리 기판의 에지면이 접촉되어 연마작업이 종료되기 전에까지 유리 기판을 안착 테이블에 압착되게 함으로써 압착고정하는 것을 포함함을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 에어 공급부는, 유리 기판을 연삭하는 연삭 휠 일칙에 고압에어를 분사하는 에어 공급부를 일체형으로 구성하여 연삭 휠이 유리 기판의 에지면으로 접근과 동시에 에지면을 안착 테이블에 압착하게 되는 것을 더 포함함을 특징으로 한다.
상기와 같은 본 고안에 따르면, 유리 기판용 연마 테이블에 의하면 하나의 테이블로서 다양한 크기의 유리 기판들을 이동시키고 회전시키며, 유리기판 상부에서의 고압에어 분사로 압착 고정하여 연마 가공할 수 있도록 함으로써 하나의 연마 테이블로서 다양한 크기의 유리 기판들을 가공할 수 있고 그에 따라서 경제적인 유리 기판의 연마 가공 작업을 이룰 수 있는 효과가 있다.
아울러, 메인 프레임상에서 유리기판을 압착하기 위한 에어분사하는 에어 공 급부의 설비 및 공정이 매우 간편하다.
그리고, 연삭되는 유리기판의 에지면 측을 고압에어로 집중 분사하여 압착 고정하기 때문에 연마품질을 높일 수 있다.
이에, 유리기판의 품질 및 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있으므로 매우 유용한 고안인 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 고안의 구성은,
길이방향을 따라 연장되어 이동수단을 제공하는 한 쌍의 고정 리니어 모터를 갖는 메인 프레임과;
상기 리니어 모터를 따라 전후 왕복으로 유리 기판을 이동시키면서 좌우 간격조절이 가능한 한 쌍의 안착 테이블과;
상기 안착 테이블 중간에서 에어흡착으로 유리 기판을 흡착고정하여 회전 모터에 의해 회전 지지대가 회전되어 유리 기판의 배치 방향을 전환하는 회전 테이블과;
상기 안착 테이블에 놓여져 이송되어진 유리 기판의 양측 에지면을 연마하는 한 쌍의 연마 휠;을 포함하되,
상기 안착 테이블의 위에 놓여져 이동하는 유리 기판의 상면 가장자리 양측에 고압에어를 분사하여 압착 고정하는 한 쌍의 에어 공급부; 로 구성된 것을 특징으로 하는 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블을 제 공함으로써 달성하였다.
이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의하여 더욱 상세하게 설명한다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 고안자는 그 자신의 고안을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 고안의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 고안의 가장 바람직한 하나의 실시 예에 불과할 뿐이고, 본 고안의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 2는 본 고안에 따른 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블을 나타낸 사시도이며, 도 3은 본 고안에 따른 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블을 나타낸 정면도이고, 도 4는 본 고안에 따른 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블을 나타낸 측면도이다.
도시된 바와 같이, 본 고안의 연마 테이블(100)은 안착 테이블(120)의 양측에 배치되는 에어 공급부(150)에 의해 고압에어가 유리 기판(10)의 상면 일측부를 집중적으로 분출되도록 하여 안착 테이블(120)에 놓여진 유리 기판(10)을 압착하여 들림 없이 안전하게 연마되도록 하는 것이다.
이러한, 상기 연마 테이블(100)은 LCD, PDP 및 유리 기판(10)들을 연마 휠(140)로서 연마하기 위하여 흡착 고정하는 연마 테이블(100)인 것으로 기본 구성은 메인 프레임(110), 안착테이블(120), 회전 테이블(130), 연삭 휠(140), 에어 공급부(150)으로 구성된다.
우선, 상기 메인 프레임(110)은 폭의 길이를 따라 수평하게 연장되는 소정의 공간을 제공하는 것으로 길이방향을 따라 연장되어 이동수단을 제공하는 한 쌍의 고정 리니어 모터(112)를 갖는다.
상기 메인 프레임(110)에 구성된 리니어 모터(112)를 따라 전후 왕복으로 유리 기판(10)을 이동이 가능한 양측으로 한 쌍의 안착 테이블(120)이 구성된다.
상기 메인 프레임(110) 상에 구성된 안착 테이블(120)은 좌우 간격조절이 가능한 것이다.
상기 안착 테이블(120)은 유리 기판(10)이 안착되는 지지면(122)을 제공하며, 좌우 간격조절에 의해 유리 기판(10)의 다양한 크기를 안착시킬 수 있게 된다.
그리고, 상기 안착 테이블(120) 중간에 회전 테이블(130)이 존재하여 에어흡착으로 유리 기판(10)을 흡착고정하여 회전 모터에 의해 회전 지지대(132)가 회전되어 유리 기판(10)의 배치 방향을 전환하는 것이다.
상기 회전 테이블(130)은 전후 왕복하는 안착 테이블(120)과 동일하게 전후 이동하는 것이다.
이러한, 상기 회전 테이블(130)은 구동부(도면 미 도시)에 결합되며 구동부 에 의해 회전하도록 구성되는데, 구동부에는 모터, 기어, 유압잭 등의 회전수단 및/또는 승강수단이 설치되어 회전 테이블(130)이 유리기판(10)을 지지한 상태에서 회전 및 승강이 가능하도록 한다.
또한, 상기 회전 테이블(130)의 표면에는 공기를 흡입하는 흡착부(134)가 하나 또는 복수로 형성되어 유리 기판(10)이 회전 테이블(130)에 흡착, 고정되도록 한다.
이와 같이 회전 테이블(130)에 형성되는 흡착부(134)는 유리 기판(10)을 회전, 승강시킬 때 유리 기판(10)이 회전 테이블(10)에 고정된 채로 회전, 승강하도록 하는 역할을 하며, 에지 연마과정에서 유리 기판(10)이 상기 안착 테이블(120)에 놓여져 이송되어진 유리 기판(10)의 양측 에지면을 연마하는 한 쌍의 연마 휠(140)에 의해 밀리지 않도록 지탱하는 역할을 한다.
상기 회전 테이블(130)이 유리 기판(10)을 흡착하여 유리 기판(10)을 회전시킴으로써 연마 휠(140)이 유리 기판(10)의 장변과 단변을 각각 연마할 수 있게 된다. 연마 휠(140)을 에지에 접촉시켜 유리 기판(10)의 장변(또는 단변)을 연마한 후, 회전 테이블(130)이 유리 기판(10)을 90도 회전시킨 후 다시 연마 휠(140)을 에지에 접촉시켜 유리 기판(10)의 단변(또는 장변)을 연마하게 된다.
이러한, 구성을 가진 연마 테이블(100)에서 안착 테이블(120)의 위에 놓여져 이동하는 유리 기판(10)의 상면 가장자리 양측을 에어 공급부(150)에서 고압에어를 분사하여 압착 고정하게 된다.
여기서, 상기 에어 공급부(150)는 안착 테이블(120)이 한 쌍으로 이루어진 동일한 위치로 상단에 구성되면서 안착 테이블(120)이 놓여진 유리 기판(10)의 상면을 고압에어 분사로 안착 테이블(120)에 완전 밀착시키는 것이다.
이와 같이, 상기 유리 기판(10)을 연마 가공하는 방법으로는 통상적으로, 연마 테이블(100)에 유리 기판(10)을 올려놓은 후, 유리 기판(10)을 연마 휠(140)이 위치한 공간으로 이동시켜 연마 휠(140) 사이를 통과시키면서 유리 기판(10)의 에지면을 가공하게 된다.
이때, 상기 유리 기판(10)이 연마 휠(140) 사이를 통과시 안착 테이블(120) 위에 놓인 유리 기판(10)의 전측 소정 영역을 도 6에 도시한 바와 같이 에어 공급부(150)에서 고압에어를 유리기판 상면에 직접분사하여 밀착하게 압착 고정시켜 이동하면서 연삭이 이루어지게 된다.
즉, 상기 에어 공급부(150)는 도 5에 도시한 바와 같이 연마 휠(140)이 위치한 일측 상부에 존재하여 연삭할 유리 기판(10)의 에지면 소정의 영역 상부를 고압에어로 집중분사하는 것이다.
이같은 상기 에어 공급부(150)는 양측에 위치한 연마 휠(140)에 유리 기판(10)의 에지면이 접촉되기 전에 먼저 유리 기판(10)을 안착 테이블(120)에 압착되게 함으로써 압착고정으로 안정된 에지면 연삭이 이루어진다.
또한, 상기 에어 공급부(150)는 양측에 위치한 연마 휠(140)에 유리 기판(10)의 에지면이 접촉되어 연마작업이 종료되기 전에까지 유리 기판(10)을 안착 테이블(120)에 압착되게 함으로써 압착고정하는 것 유리 기판910)의 에지면 연삭 작업이 종료되기 전까지 압착 고정하게 된다.
이렇게, 상기 연마 휠(140) 사이를 통과하면서 에지면 양측이 연삭된 유리 기판(10)은 또 다른 양측으로 가공하기 위해서 회전 테이블(120)에 의해 유리 기판(10)을 90도 회전시키고, 다시 양측의 에지면을 에어 공급부(150)에서 고압에어를 분사하는 상태로 연마 휠(140)에 의해 연삭 가공하게 된다.
또한, 본 발명의 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블(100)에서 에어분사 방식의 다른 실시예로 도 7에 도시한 바와 같이 상기 에어 공급부(150)는 유리 기판(10)을 연삭하는 연삭 휠(140) 일측에 고압에어를 분사하는 에어 공급부(150)를 일체형으로 구성하여 연삭 휠(140)이 유리 기판(10)의 에지면으로 접근과 동시에 에지면을 안착 테이블(120)에 압착하게 구성할 수 있다.
이는 상기 안착 테이블(120)에 이동하는 유리 기판(10)을 연마 휠(140) 측으로 이동해오는 안착 테이블(120)에 놓여진 유리 기판(10)을 집중 에어 분사함으로써 에지면에 연삭이 이루어지는 동안 연마 휠(140)과 함께 일체형으로 이동하면서 유리 기판(10)을 압착하여 유동을 방지하게 된다.
이같이, 본 발명의 연마 테이블(100)은 유리 기판(10)을 수평선상으로 안내하면서 유리 기판(10)의 단폭 및 장폭을 연삭함으로써, 작업에 멈춤이 없이 연속적으로 유리 기판(10)의 가장자리를 연삭 가공할 수 있을 뿐만 아니라 유리 기판(10)이 안내되는 동안 에어 공급부(150)에서 상부에서 하방을 향하는 고압에어 분사로 유리 기판(10)을 압착고정하여 유리 기판(10)을 용이하게 연삭작업이 이루어지게 된다.
상기 연마 테이블(100)의 양측에 배치되는 안착 테이블(120)에 압축공기가 집중적으로 분출되는 에어 공급부(150)를 구비함으로써, 유리기판에 대한 연삭이 안전하게 이루어진다.
상술한 바와 같이 본 고안에 따른 바람직한 특정 실시 예를 설명하였지만, 본 고안은 상기한 실시 예에 한정되지 않으며 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양하게 변형되는 실시 예들은 이하에 청구하는 본 고안의 특허 청구범위 안에 속한다고 해야 할 것이다.
도 1은 종래의 기술에 따라서 유리 기판의 하면 흡착으로 모서리를 연마 휠이 가공하는 상태를 도시한 도면.
도 2는 본 고안에 따른 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블을 나타낸 사시도.
도 3은 본 고안에 따른 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블을 나타낸 정면도.
도 4는 본 고안에 따른 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블을 나타낸 측면도.
도 5는 본 고안에 따른 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블의 에어 공급부로 유리 기판의 에어 접촉면을 나타낸 도면.
도 6은 본 고안에 따른 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블의 다른 실시예를 나타낸 도면.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
10:유리 기판 100:연마 테이블
110:메인 프레임 112:리니어 모터
120:안착 테이블 122:지지면
130:회전 테이블 132:회전 지지대
134:흡착부 140:연마 휠
150:에어 공급부

Claims (5)

  1. LCD, PDP 및 유리 기판들을 연마하기 위하여 흡착 고정하는 연마 테이블에 있어서,
    길이방향을 따라 연장되어 이동수단을 제공하는 한 쌍의 고정 리니어 모터(112)를 갖는 메인 프레임(110)과;
    상기 리니어 모터(112)를 따라 전후 왕복으로 유리 기판(10)을 이동시키면서 좌우 간격조절이 가능한 한 쌍의 안착 테이블(120)과;
    상기 안착 테이블(120) 중간에서 에어흡착으로 유리 기판(10)을 흡착고정하여 회전 모터에 의해 회전 지지대(132)가 회전되어 유리 기판(10)의 배치 방향을 전환하는 회전 테이블(130)과;
    상기 안착 테이블(120)에 놓여져 이송 되어진 유리 기판(10)의 양측 에지면을 연마하는 한 쌍의 연마 휠(140);을 포함하되,
    상기 안착 테이블(120)의 위에 놓여져 이동하는 유리 기판(10)의 상면 가장자리 양측에 고압에어를 분사하여 압착 고정하는 한 쌍의 에어 공급부(150); 로 구성된 것을 특징으로 하는 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 에어 공급부(150)는,
    연마 휠(140)이 위치한 일측 상부에 존재하여 연삭할 유리기판(10)의 에지면 소정의 영역 상부를 고압에어로 집중분사하는 것을 포함함을 특징으로 하는 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 에어 공급부(150)는,
    양측에 위치한 연마 휠(140)에 유리 기판(10)의 에지면이 접촉되기 전에 먼저 유리 기판(10)을 안착 테이블(120)에 압착되게 함으로써 압착고정하는 것을 포함함을 특징으로 하는 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 에어 공급부(150)는,
    양측에 위치한 연마 휠(140)에 유리 기판(10)의 에지면이 접촉되어 연마작업이 종료되기 전에까지 유리 기판(10)을 안착 테이블(120)에 압착되게 함으로써 압착고정하는 것을 포함함을 특징으로 하는 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 에어 공급부(150)는,
    유리 기판(10)을 연삭하는 연삭 휠(140) 일칙에 고압에어를 분사하는 에어 공급부(150)를 일체형으로 구성하여 연삭 휠(140)이 유리 기판(10)의 에지면으로 접근과 동시에 에지면을 안착 테이블(120)에 압착하게 되는 것을 더 포함함을 특징으로 하는 유리 기판용 연마장치의 상단 에어분사 방식을 사용한 연마테이블.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101380230B1 (ko) * 2014-01-06 2014-04-01 네오트랜스 주식회사 팬터그래프 습판체 연마장치
CN108177091A (zh) * 2017-12-28 2018-06-19 宁波高新区神台德机械设备有限公司 一种金属氧化层去除设备
CN110549228A (zh) * 2018-05-15 2019-12-10 蓝思科技（长沙）有限公司 修复玻璃丝印后正面划伤的返抛光组合板、其制备方法、返抛光装置、返工工艺及玻璃
WO2020076072A1 (ko) * 2018-10-08 2020-04-16 주식회사 이티에스 글래스 가공장치 및 글래스 가공방법
CN115091358A (zh) * 2022-06-23 2022-09-23 彩虹（合肥）液晶玻璃有限公司 一种玻璃基板研磨加工用支撑调节装置
CN116276480A (zh) * 2023-04-28 2023-06-23 浙江台佳电子信息科技有限公司 一种光学玻璃基板的加工装置及其加工方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101380230B1 (ko) * 2014-01-06 2014-04-01 네오트랜스 주식회사 팬터그래프 습판체 연마장치
CN108177091A (zh) * 2017-12-28 2018-06-19 宁波高新区神台德机械设备有限公司 一种金属氧化层去除设备
CN110549228A (zh) * 2018-05-15 2019-12-10 蓝思科技（长沙）有限公司 修复玻璃丝印后正面划伤的返抛光组合板、其制备方法、返抛光装置、返工工艺及玻璃
WO2020076072A1 (ko) * 2018-10-08 2020-04-16 주식회사 이티에스 글래스 가공장치 및 글래스 가공방법
CN115091358A (zh) * 2022-06-23 2022-09-23 彩虹（合肥）液晶玻璃有限公司 一种玻璃基板研磨加工用支撑调节装置
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