KR20100136660A - The air bearing for linear stage - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An air bearing for a linear stage is provided to prevent pneumatic pressure from being centered on a porous ceramic part by installing a metal plate in the center of the porous ceramic part. CONSTITUTION: A stepped processed air discharge groove is formed in a body center part where a porous ceramic part is formed. A left side bottom plate(10) and a right side bottom plate(20) are formed in the same shape. A left side plate(30) is composed of a cuboidal type ceramic block. An upper plate(50) is formed in a ceramic plate form. The left/right side plate has an air injection hole in an outer side. A circular porous ceramic part is included in the right side of the left side plate and the left side of the right side plate.

Description

리니어 스테이지용 공기 베어링 { The air bearing for linear stage }The air bearing for linear stage {The air bearing for linear stage}

본 발명은 공기 베어링에 관한 것으로, 더욱 상세히 설명하면, 리니어 스테이지에 사용되는 공기 베어링에 관한 것으로, 세라믹 재질의 몸체에 도넛 형태의 다공질 세라믹체가 다수 개 내재되되, 다공질 세라믹체의 중앙에는 스틸을 설치하여, 공압이 다공질 세라믹체의 중앙으로 집중되는 형상을 방지할 뿐만 아니라, 이로 인해 다공질 세라믹체가 부풀어 오르는 것을 방지할 수 있으며, 가공시 다공질 세라믹체가 마모되는 현상을 방지할 수 있도록 한 공기 베어링에 관한 것이다.The present invention relates to an air bearing, and more particularly, to an air bearing used in a linear stage, a plurality of donut-shaped porous ceramic bodies are embedded in a ceramic body, and steel is installed in the center of the porous ceramic body. Thus, not only the shape in which the pneumatic pressure is concentrated in the center of the porous ceramic body can be prevented, but also the swelling of the porous ceramic body can be prevented, and the air bearing can be prevented from being worn out during processing. will be.

일반적으로 리니어 스테이지(linear stage)라 함은, 리니어 모터의 구동에 의한 반송 방식을 말하는 것으로, 근년에 주로 사용하고 있는 것은 자동차 공장의 세미 어셈블리 라인에서의 각종 부품을 라인에 공급, 가공과 조립 라인 상의 워크를 적재한 팔레트의 고속 이동정지, 전자 OA관계 기기의 생산 공장 안에서 각종 부품의 다른 생산 라인에 사용하고 있으며, 특히, 반도체 제조 공장 내에서 웨이퍼 반송에는 클린도가 높기 때문에 빈번하게 활용되고 있다.In general, the linear stage refers to a conveying method driven by a linear motor. In recent years, the linear stage is mainly used to supply various parts of a semi-assembly line of an automobile factory to a line, a process and an assembly line. It is used for high-speed moving stop of pallets loaded with work on tops and other production lines of various parts in production facilities of electronic OA-related equipment. In particular, it is frequently used for wafer conveyance in semiconductor manufacturing plants because of high cleanness. .

최근에 들어서는 PDP, LCD 조립 검사 장비에 주로 사용되는바, 그 대표적인 형태를 살펴보면, 베어링과 리니어 모터, 리니어 엔코더 및 서보 제어기 등으로 구성되어 있으며, 이러한 슬라이더를 지지하며 안내하는 베어링은 직선 유니트의 정밀도와 연관된 핵심적인 요소기술로서 초정밀 직선 운동 유니트 구성품 중 중요한 역할을 하고 있다.Recently, it is mainly used in PDP and LCD assembly inspection equipment. The representative form is composed of a bearing, a linear motor, a linear encoder, and a servo controller. It is a key element technology associated with and plays an important role among the components of ultra-precision linear motion units.

상기와 같은 일반적인 직선 운동 시스템의 지지 베어링으로는 볼이나 롤러 베어링이 많이 사용되었으나 볼과 롤러의 탄성 변형과 불 균일 등에 기인한 상하방향의 흔들림에 의하여 고정밀 위치 정밀도 구현에 한계가 있을 뿐만 아니라 기계적인 접촉에 의한 마찰력으로 인하여 급속 이송 시에 발생하는 진동 및 발열 등에 의해 시스템 성능이 현저하게 저하되는 문제점을 내포하고 있었다.Ball or roller bearings are widely used as support bearings in the general linear motion system as described above. However, there is a limit to the implementation of high precision position accuracy due to the up and down swing caused by elastic deformation and unevenness of the ball and roller. Due to the frictional force caused by the contact, there is a problem that the system performance is significantly reduced due to vibration and heat generated during rapid transfer.

이를 개선하기 위해서 대상체의 고속 이송이 가능하고 높은 정밀도의 평면운동을 얻기 위하여 슬라이더와 안내면이 비접촉이 되도록 공기와 같은 윤활 유체를 사용하여 슬라이더를 지지하는 유체베어링의 개발이 진행되어 있으나 대부분의 유체베어링은 취성이 강하여 외력에 의해 쉽게 파손되는 문제점을 내포하고 있었다.In order to improve this, the development of a fluid bearing supporting the slider using a lubricating fluid such as air so that the slider can be moved at high speed and the slider and the guide surface are in contact with each other in order to obtain a high-precision planar motion has been developed. Silver was brittle and had a problem of being easily broken by external force.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해, 본 출원인이 선출하여 등록받은 국내 실용신안등록 제0425185호를 살펴보면, 리니어 스테이지 내부에 공기 베어링이 내설되어 있는바, 공기 베어링의 구조는 카본을 소성 시킨 다음, 이를 원판 또는 직사각 형태로 제작한 후 하우징에 일체로 에폭시 본딩 처리한 것을 리니어 스테이지에 적용하였다.In order to solve the above problems, look at the domestic utility model registration No. 0425185, which was selected and registered by the present applicant, the air bearing is built in the linear stage, the structure of the air bearing after firing carbon, Fabricated in the form of disc or rectangular shape and then integrally epoxy bonded to the housing was applied to the linear stage.

위와 같은 본 출원인이 개선한 종래의 리니어 스테이지용 공기 베어링은 내마모성과 내열성 및 강도 등이 우수하고, 높은 정밀도는 갖고 있지만, 장기간 사용 시 공기 베어링의 중앙으로 공압이 집중되는 현상이 발생하게 되고, 이로 인해 공기 베어링의 중앙이 부풀어오르는 문제점이 있었다.The conventional linear stage air bearing improved by the present applicant as described above has excellent abrasion resistance, heat resistance, strength, and the like, but has a high precision, but a phenomenon in which pneumatic pressure is concentrated in the center of the air bearing occurs for a long time. Due to the problem that the center of the air bearing swells.

또한, 공기 베어링의 중앙이 부풀어오름으로 인해, 가공 시 공기 베어링의 중앙이 닳는 또 다른 문제점을 내포하고 있었다.In addition, due to the swelling of the center of the air bearing, there was another problem that the center of the air bearing is worn during processing.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 발명한 것으로, 크게 다섯 부분으로 구성되는바, 직육면 형태의 세라믹블록으로 구성되되, 상면 일측으로는 금속판(12, 22)이 내재된 원형의 다공질 세라믹체(11, 21)가 내재되고, 다공질 세라믹체(11, 21)가 형성된 측의 몸체 중앙부에는 단차 가공된 에어배출홈(13, 23)이 형성되며, 상면 타측으로는 다공질 세라믹체(11, 21)에 에어가 공급되는 통로인 에 어공급공(14, 24)과, 좌·우측면판(30, 40)과 결합되도록 결합공(15, 25)이 형성된 좌측 및 우측 저면판(10, 20)과; 상기 좌측 및 우측 저면판(10, 20)의 상면에 결합되는 직육면 형태의 세라믹블록 형태로 구성되되, 좌측면판(30)의 우측면과 우측면판(40)의 좌측면으로는 금속판(32, 42)이 내재된 원형의 다공질 세라믹체(31, 41)가 내재되고, 다공질 세라믹체(31, 41)가 형성된 측면의 몸체 중앙부에는 단차 가공된 에어배출홈(33, 43)이 형성되며, 상면과 하면으로는 에어가 이송되는 통로인 에어이송공(34, 44)이 형성되고, 좌측 및 우측 저면판(10, 20)과 상면판(50)을 연결하여 결합되도록 결합공(35, 45)이 형성되며, 외측면으로는 에어주입공(36, 46)이 형성된 좌·우측면판(30, 40)과; 상기 좌·우측면판(30, 40)의 상면에 결합되는 세라믹 플레이트형태로 구성되되, 하면 양측으로는 금속판(52)이 내재된 원형의 다공질 세라믹체(51)가 내재되고, 다공질 세라믹체(51)가 형성된 하면의 몸체 중앙부 양단에는 단차 가공된 에어배출홈(53)이 형성되며, 좌·우측면판(30, 40)의 에어이송공(34, 44)과 연통되도록 에어공급공(54)이 형성되고, 상기 좌·우측면판(30, 40)과 결합되도록 결합공(55)이 형성된 상면판(50)으로 구성된 대략적인 구성을 갖는다.Accordingly, the present invention has been invented in view of the above problems, and is composed of largely five parts, consisting of a ceramic block having a rectangular parallelepiped shape, and having a circular porous ceramic having metal plates 12 and 22 embedded thereon on one side of the upper surface. The bodies 11 and 21 are embedded, and stepped air discharge grooves 13 and 23 are formed in the center of the body on the side where the porous ceramic bodies 11 and 21 are formed, and on the other side of the upper surface of the porous ceramic body 11, 21 and left and right bottom plates 10 and 20 in which coupling holes 15 and 25 are formed so as to be coupled to the air supply holes 14 and 24, which are air passages 21, and the left and right side plates 30 and 40. )and; It consists of a ceramic block shape of the rectangular parallelepiped coupled to the upper surface of the left and right bottom plate (10, 20), the right side of the left side plate 30 and the left side of the right side plate 40 of the metal plate (32, 42) The hollow porous ceramic bodies 31 and 41 are embedded in the center, and the air discharge grooves 33 and 43 which are stepped are formed in the central portion of the body on the side where the porous ceramic bodies 31 and 41 are formed. Air transport holes 34 and 44, which are passages through which air is transported, are formed on the lower surface, and coupling holes 35 and 45 are formed to connect the left and right bottom plates 10 and 20 and the upper surface plate 50 to be coupled. On the outer side, the left and right side plate (30, 40) formed with air injection holes (36, 46); It consists of a ceramic plate shape coupled to the upper surface of the left and right side plates (30, 40), the lower surface is embedded with a porous porous ceramic body 51 in which the metal plate 52 is embedded, the porous ceramic body 51 Stepped air discharge grooves 53 are formed at both ends of the body central portion of the lower surface, and the air supply hole 54 is formed to communicate with the air transfer holes 34 and 44 of the left and right side plates 30 and 40. And, it has a rough configuration consisting of the upper surface plate 50 is formed with a coupling hole 55 to be coupled to the left and right side plates (30, 40).

상기와 같이 구성된 본 발명은, 세라믹 재질의 좌측 및 우측 저면판과 좌·우측판 및 상면판에는 공히 도넛 형태의 다공질 세라믹체가 다수 개 내재되되, 다공질 세라믹체의 중앙에는 금속판을 설치하여, 공압이 다공질 세라믹체의 중앙으로 집중되는 형상을 방지할 뿐만 아니라, 이로 인해 다공질 세라믹체의 중앙부가 공압에 의해 부풀어 오르는 것을 방지할 수 있어 공기 베어링의 작동 및 정밀도가 일층 향상되는 효과가 있다.According to the present invention configured as described above, a plurality of donut-shaped porous ceramic bodies are embedded in the left and right bottom plates, the left and right plates, and the top plate of the ceramic material, and a metal plate is installed in the center of the porous ceramic body, In addition to preventing the shape concentrated in the center of the porous ceramic body, it is possible to prevent the central portion of the porous ceramic body from swelling due to pneumatic pressure, thereby improving the operation and precision of the air bearing.

또한, 공기 베어링의 사용 시 기존의 공기 베어링과는 달리 다공질 세라믹체의 중앙부가 마모되는 현상이 방지되어 공기 베어링을 오랫동안 교체 없이 사용할 수 있어서 교체비용과 시간이 절감되는 또 다른 효과가 있다.In addition, when using the air bearing, unlike the existing air bearing, the central portion of the porous ceramic body is prevented from being worn out, and thus the air bearing can be used without replacement for a long time, thereby reducing the replacement cost and time.

본 발명은 리니어 스테이지에 사용되는 공기 베어링에 관한 것으로, 세라믹 재질의 몸체에 도넛 형태의 다공질 세라믹체가 다수 개 내재되되, 다공질 세라믹체의 중앙에는 원형 금속판을 설치하여, 공압이 다공질 세라믹체의 중앙으로 집중되는 형상을 방지할 뿐만 아니라, 이로 인해 다공질 세라믹체가 부풀어 오르는 것을 방지할 수 있으며, 가공시 다공질 세라믹체의 중앙부가 마모되는 현상을 방지할 수 있도록 한 특징이 있다.The present invention relates to an air bearing used in a linear stage, wherein a plurality of donut-shaped porous ceramic bodies are embedded in a ceramic body, and a circular metal plate is installed at the center of the porous ceramic body, so that pneumatic pressure is applied to the center of the porous ceramic body. In addition to preventing the shape being concentrated, it is possible to prevent the porous ceramic body from swelling, and to prevent the phenomenon that the central portion of the porous ceramic body is worn during processing.

이하 본 발명의 실시 예를 예시도면을 통해 살펴보면 다음과 같다.An embodiment of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 사시도를 나타낸 것이고, 도 2는 본 발명의 분해 사시도를 나타낸 것이며, 도 3은 본 발명의 단면도를 나타낸 것이고, 도 4는 본 발명 상면판의 사시도를 나타낸 것으로, 도시한 바와 같이, 본 발명은 크게 좌측 저면판(10)과 우측 저면판(20), 좌측면판(30), 우측면판(40) 및 상면판(50)으로 구성되며, 좌측 및 우측 저면판(10, 20)의 상부로 좌·우측면판(30, 40)이 결합되고, 좌·우측면판(30, 40)의 상부로 상면판(50)이 결합되는 대략적인 구성을 갖는다.Figure 1 shows a perspective view of the present invention, Figure 2 shows an exploded perspective view of the present invention, Figure 3 shows a cross-sectional view of the present invention, Figure 4 shows a perspective view of the top plate of the present invention, Similarly, the present invention is largely composed of the left bottom plate 10 and the right bottom plate 20, the left bottom plate 30, the right side plate 40 and the top plate 50, the left and right bottom plate 10, 20 Left and right side plates (30, 40) are coupled to the upper portion of), and the upper surface plate 50 is coupled to the upper portion of the left and right side plates (30, 40) has a rough configuration.

우선, 본 발명의 좌측 및 우측 저면판(10, 20)의 구성을 살펴보면, 좌측 저면판(10)과 우측 저면판(20)은 그 형태가 동일한 형태로 형성되는바, 본 발명의 최저부에 서로 마주 대응하는 형태로 설치된다.First, looking at the configuration of the left and right bottom plate 10, 20 of the present invention, the left bottom plate 10 and the right bottom plate 20 is formed in the same shape, bar at the bottom of the present invention It is installed in the form corresponding to each other.

좌측 및 우측 저면판(10, 20)은 높이보다 넓이가 넓은 직육면체 형태의 세라믹블록으로 구성되되, 상면 일측으로는 원형의 금속판(12, 22)이 내재된 다공질 세라믹체(11, 21)가 다수 개 삽설되는바, 다공질 세라믹체(11, 21)는 원형의 다공질 세라믹 재질로 구성되어 세라믹 블록과 동일한 높이가 되도록 내재된다.The left and right bottom plates 10 and 20 are composed of ceramic blocks having a rectangular parallelepiped shape, which is wider than the height, and on one side of the upper surface, a plurality of porous ceramic bodies 11 and 21 in which circular metal plates 12 and 22 are embedded. As the dog is inserted, the porous ceramic bodies 11 and 21 are made of a circular porous ceramic material and are embedded to have the same height as the ceramic block.

한편, 다수개의 다공질 세라믹체(11, 21)가 형성된 쪽의 몸체 중앙부에는 단차 가공된 에어배출홈(13, 23)이 형성되어 있는바 이는 다공질 세라믹체(11, 21)로부터 배출된 에어가 몸체의 중앙에 머물지 않고 신속하게 배출되도록 하는 것으로, 이로 인해 더욱 원활하게 공기 베어링이 작동할 수 있도록 구성된다. On the other hand, the air discharge grooves 13 and 23 which are stepped are formed in the center of the body on which the plurality of porous ceramic bodies 11 and 21 are formed, which is the air discharged from the porous ceramic bodies 11 and 21. It does not stay in the center of the air to be discharged quickly, which is configured to allow the air bearing to operate more smoothly.

또한, 좌측 및 우측 저면판(10, 20)의 상면 타측으로는 다공질 세라믹체(11, 21)에 에어가 공급되는 통로인 에어공급공(14, 24)이 형성되어 있는바, 이는 후술하는 좌·우측면판(30, 40)의 에어이송공(34)과 연통되어 공급된 에어가 다공질 세라믹체(11, 21)로 공급되도록 하는 구성을 갖는다.In addition, air supply holes 14 and 24 which are passages through which air is supplied to the porous ceramic bodies 11 and 21 are formed on the other side of the upper surface of the left and right bottom plates 10 and 20, which are described later. The air communicated with the air transfer holes 34 of the right side plates 30 and 40 has a configuration such that the supplied air is supplied to the porous ceramic bodies 11 and 21.

그리고 상기 에어공급공(14, 24)과 인접한 위치에는 후술하는 좌·우측면 판(30, 40)과 상면판(50)에 형성된 결합공(35, 45, 55)과 연통되도록 결합공(15, 25)이 다수 개 형성되어 있어서 별도의 결합부재(미도시)를 통해 일체로 결합된다.In addition, the coupling holes 15, in communication with the coupling holes 35, 45, 55 formed in the left and right side plates 30 and 40 and the upper plate 50, which are adjacent to the air supply holes 14 and 24, will be described later. A plurality of 25 is formed to be integrally coupled through a separate coupling member (not shown).

한편, 상기 좌측 및 우측 저면판(10, 20)의 상면에 결합되는 좌·우측면판(30, 40)의 구성을 살펴보면, 좌측면판(30)과 우측면판(40)은 그 형태가 동일한 형태로 형성되는바, 본 발명의 양측에 서로 마주 대응하는 형태로 설치된다.Meanwhile, looking at the configuration of the left and right side plates 30 and 40 coupled to the upper surfaces of the left and right bottom plates 10 and 20, the left side plate 30 and the right side plate 40 have the same shape. Bars are formed on both sides of the present invention so as to face each other.

좌·우측면판(30, 40)은 넓이보다 높이가 높은 직육면체 형태의 세라믹블록으로 구성되되, 좌측면판(30)의 우측면과 우측면판(40)의 좌측면으로는 금속판(32, 42)이 내재된 다공질 세라믹체(31, 41)가 다수 개 삽설되는바, 다공질 세라믹체(31, 41)는 상기 좌측 및 우측 저면판(10, 20)에 형성된 다공질 세라믹체(11, 21)와 동일한 재질과 형태인 원형의 다공질 세라믹 재질로 구성되어 세라믹 블록과 동일한 높이가 되도록 내재된다.The left and right side plates 30 and 40 are made of ceramic blocks having a rectangular parallelepiped shape having a height higher than the width thereof, and the metal plates 32 and 42 are embedded in the right side of the left side plate 30 and the left side of the right side plate 40. Since a plurality of porous ceramic bodies 31 and 41 are inserted, the porous ceramic bodies 31 and 41 may be formed of the same material as the porous ceramic bodies 11 and 21 formed on the left and right bottom plates 10 and 20. It is made of a circular porous ceramic material in the form and is embedded to be the same height as the ceramic block.

그리고 다수개의 다공질 세라믹체(31, 41)가 형성된 쪽의 몸체 중앙부에는 단차 가공된 에어배출홈(33, 43)이 형성되어 있는바 이는 다공질 세라믹체(31, 41)로부터 배출된 에어가 몸체의 중앙에 머물지 않고 신속하게 배출되도록 하는 것으로, 이로 인해 더욱 원활하게 공기 베어링이 작동할 수 있도록 구성된다. In addition, air discharge grooves 33 and 43 having a step difference are formed in a central portion of the body on which the plurality of porous ceramic bodies 31 and 41 are formed, and the air discharged from the porous ceramic bodies 31 and 41 is formed in the body. It is designed to be discharged quickly without staying in the center, which allows the air bearing to operate more smoothly.

또한, 좌·우측면판(30, 40)의 상면으로는 다공질 세라믹체(31, 41)에 에어가 공급되는 통로인 에어공급공(34, 44)이 형성되어 있는바, 이는 상기 좌측 및 우측 저면판(10, 20)의 에어공급공(14, 24)과 후술하는 상면판(50)의 에어공급공(54)과 연통되어 에어공급노즐(60)을 통해 공급된 에어가 다공질 세라믹체(31, 41)로 공급될 뿐만 아니라 좌측 및 우측 저면판(10, 20)과 상면판(50)으로 에어가 공급되도록 하는 구성을 갖는다.In addition, air supply holes 34 and 44 which are passages through which air is supplied to the porous ceramic bodies 31 and 41 are formed on the upper surfaces of the left and right side plates 30 and 40, which are the left and right bottom surfaces. The air supplied through the air supply nozzle 60 in communication with the air supply holes 14 and 24 of the plates 10 and 20 and the air supply hole 54 of the upper surface plate 50 to be described later is a porous ceramic body 31. , 41, as well as the left and right bottom plate 10, 20 and the top plate 50 has a configuration such that the air is supplied.

상기 에어공급공(34, 44)과 인접한 위치에는 상기 좌측 및 우측 저면판(10, 20)의 결합공(15, 25)과 상면판(50)의 결합공(55)과 연통되도록 결합공(35, 45)이 다수 개 형성되어 있어서 별도의 결합부재(미도시)를 통해 일체로 결합된다.In the adjacent position to the air supply hole (34, 44) coupling hole (15, 25) of the left and right bottom plate (10, 20) and the coupling hole so as to communicate with the coupling hole (55) of the top plate 50 ( A plurality of 35, 45 is formed to be integrally coupled through a separate coupling member (not shown).

한편, 상기 좌·우측면판(30, 40)의 상면에 결합되는 상면판(50)의 구성을 살펴보면, 상면판(50)은 세라믹 플레이트 형태로 구성되되, 하면 양측으로는 금속판(52)이 내재된 다공질 세라믹체(51)가 다수 개 삽설되는바, 다공질 세라믹체(51)는 상기 좌측 및 우측 저면판(10, 20)에 형성된 다공질 세라믹체(11, 21)와 동일한 재질과 형태인 원형의 다공질 세라믹 재질로 구성되어 세라믹 블록과 동일한 높이가 되도록 내재된다.On the other hand, looking at the configuration of the upper surface plate 50 coupled to the upper surface of the left and right side plate 30, 40, the upper plate 50 is configured in the form of a ceramic plate, the lower surface of the metal plate 52 is embedded Since a plurality of porous ceramic bodies 51 are inserted, the porous ceramic bodies 51 have the same material and shape as those of the porous ceramic bodies 11 and 21 formed on the left and right bottom plates 10 and 20. It is made of a porous ceramic material so that it is embedded in the same height as the ceramic block.

그리고 다수개의 다공질 세라믹체(51)가 형성된 중앙부 사이에는 단차 가공된 에어배출홈(53)이 형성되어 있는바 이는 다공질 세라믹체(51)로부터 배출된 에어가 몸체의 중앙에 머물지 않고 신속하게 배출되도록 하는 것으로, 이로 인해 더욱 원활하게 공기 베어링이 작동할 수 있도록 구성된다. In addition, a stepped air discharge groove 53 is formed between the central portions in which the plurality of porous ceramic bodies 51 are formed so that the air discharged from the porous ceramic bodies 51 is quickly discharged without remaining in the center of the body. In this way, the air bearing is configured to operate more smoothly.

또한, 상면판(50)의 저면 양측으로는 다공질 세라믹체(51)에 에어가 공급되는 통로인 에어공급공(54)이 형성되어 있는바, 이는 후술하는 좌·우측면판(30, 40)의 에어이송공(34)과 연통되어 공급된 에어가 다공질 세라믹체(51)로 공급되도록 하는 구성을 갖는다.In addition, an air supply hole 54, which is a passage through which air is supplied to the porous ceramic body 51, is formed at both sides of the bottom surface of the upper surface plate 50, which is described later with the left and right side plates 30 and 40. It has a configuration such that the air supplied in communication with the air transfer hole 34 is supplied to the porous ceramic body 51.

상기 에어공급공(54)과 인접한 위치에는 상기 좌·우측면판(30, 40)에 형성된 결합공(35, 45)과 연통되도록 결합공(55)이 다수 개 형성되어 있어서 별도의 결합부재(미도시)를 통해 일체로 결합된다.A plurality of coupling holes 55 are formed at a position adjacent to the air supply hole 54 so as to communicate with coupling holes 35 and 45 formed in the left and right side plates 30 and 40. Through).

상기와 같이 구성된 본 발명의 조립과정을 살펴보면, 좌측 저면판(10)의 결합공(15)과 좌측면판(30)의 결합공(35)이 연통되도록 맞추고, 우측 저면판(20)의 결합공(25)과 우측면판(40)의 결합공(45)이 연통되도록 맞춘 다음, 좌·우측면판(30, 40)의 결합공(35, 45)과 상면판(50)의 결합공(55)이 연통되도록 맞춘 후 결합부재로 결합하며, 좌측면판(30)과 우측면판(40)의 측면으로 에어공급노즐(60)을 결합함으로써 본 발명의 조립을 완료한다.Looking at the assembly process of the present invention configured as described above, the coupling hole 15 of the left bottom plate 10 and the coupling hole 35 of the left side plate 30 are aligned so as to communicate, the coupling hole of the right bottom plate 20 (25) and the coupling holes 45 of the right side plate 40 are in communication with each other, and then the coupling holes 55 of the coupling holes 35 and 45 of the left and right side plates 30 and 40 and the top plate 50. After fitting so as to communicate with each other, the coupling member is coupled, and the air supply nozzle 60 is coupled to the side of the left side plate 30 and the right side plate 40 to complete the assembly of the present invention.

상기와 같이 조립된 본 발명의 에어공급노즐(60)로 에어를 공급하게 되면, 좌·우측면판(30, 40)의 내부에 형성된 에어이송공(34, 44)을 통해 다공질 세라믹체(31, 41)로 에어가 공급되며, 이와 동시에 에어이송공(34, 44)과 연통된 좌측 및 우측저면판(10, 20)의 에어이송홈(12, 24)으로 공급되어 좌측 및 우측저면판(10, 20)의 다공질 세라믹체(11, 21)로 공급되고, 또한, 에어이송공(34, 44)과 연통된 상면판(50)의 에어이송홈(54)으로 공급되어 상면판(50)의 다공질 세라믹체(11, 21)로 에어가 공급되도록 하는 구성을 갖는다.When the air is supplied to the air supply nozzle 60 of the present invention assembled as described above, the porous ceramic body 31, 41 through the air transfer hole (34, 44) formed in the left and right side plates (30, 40) ) Is supplied to the air, and at the same time it is supplied to the air transfer grooves (12, 24) of the left and right bottom plate (10, 20) in communication with the air transfer hole (34, 44) to the left and right bottom plate (10, 20) Is supplied to the porous ceramic bodies 11 and 21 of the top plate, and is also supplied to the air transfer grooves 54 of the upper plate 50 in communication with the air transfer holes 34 and 44, thereby providing a porous ceramic body of the upper plate 50. It has a configuration to allow air to be supplied to (11, 21).

도 1은 본 발명의 사시도1 is a perspective view of the present invention

도 2는 본 발명의 분해 사시도2 is an exploded perspective view of the present invention

도 3은 본 발명의 단면도3 is a cross-sectional view of the present invention

도 4는 본 발명 상면판의 사시도Figure 4 is a perspective view of the present invention top plate

[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명][Explanation of symbols on the main parts of the drawings]

10: 좌측 저면판 20: 우측 저면판10: left bottom plate 20: right bottom plate

30: 좌측면판 40: 우측면판30: left side plate 40: right side plate

50: 상면판 60: 에어주입노즐50: top plate 60: air injection nozzle

11, 21, 31, 41, 51: 다공질 세라믹체 12, 22, 32, 42, 52: 금속판11, 21, 31, 41, 51: porous ceramic body 12, 22, 32, 42, 52: metal plate

13, 23, 33, 43, 53: 에어배출홈 14, 24, 54: 에어공급공13, 23, 33, 43, 53: air discharge groove 14, 24, 54: air supply hole

34, 44: 에어이송공34, 44: Air feeder

Claims (2)

리니어 스테이지용 공기 베어링에 있어서,In the air bearing for the linear stage, 직육면 형태의 세라믹블록으로 구성되되, 상면 일측으로는 금속판(12, 22)이 내재된 원형의 다공질 세라믹체(11, 21)가 내재되며, 상면 타측으로는 다공질 세라믹체(11, 21)에 에어가 공급되는 통로인 에어공급공(14, 24)과, 좌·우측면판(30, 40)과 결합되도록 결합공(15, 25)이 형성된 좌측 및 우측 저면판(10, 20)과;It consists of a ceramic block in the form of a rectangular shape, the upper one side is embedded with the porous porous ceramic body 11, 21 embedded in the metal plate (12, 22), the other side of the porous ceramic body (11, 21) Air supply holes 14 and 24 which are passages through which air is supplied, and left and right bottom plates 10 and 20 in which coupling holes 15 and 25 are formed to be engaged with the left and right side plates 30 and 40; 상기 좌측 및 우측 저면판(10, 20)의 상면에 결합되는 직육면 형태의 세라믹블록 형태로 구성되되, 좌측면판(30)의 우측면과 우측면판(40)의 좌측면으로는 금속판(32, 42)이 내재된 원형의 다공질 세라믹체(31, 41)가 내재되며, 상면과 하면으로는 에어가 이송되는 통로인 에어이송공(34, 44)이 형성되고, 좌측 및 우측 저면판(10, 20)과 상면판(50)을 연결하여 결합되도록 결합공(35, 45)이 형성되며, 외측면으로는 에어주입공(36, 46)이 형성된 좌·우측면판(30, 40)과;It consists of a ceramic block shape of the rectangular parallelepiped coupled to the upper surface of the left and right bottom plate (10, 20), the right side of the left side plate 30 and the left side of the right side plate 40 of the metal plate (32, 42) ) Is embedded therein is a circular porous ceramic body (31, 41), the upper and lower air transport holes (34, 44) which is a passage for transferring air is formed, the left and right bottom plate (10, 20) Coupling holes (35, 45) are formed so as to connect to the upper surface plate 50 and the outer surface, the left and right side plates (30, 40) formed with air injection holes (36, 46); 상기 좌·우측면판(30, 40)의 상면에 결합되는 세라믹 플레이트형태로 구성되되, 하면 양측으로는 금속판(52)이 내재된 원형의 다공질 세라믹체(51)가 내재되며, 좌·우측면판(30, 40)의 에어이송공(34, 44)과 연통되도록 에어공급공(54)이 형성되고, 상기 좌·우측면판(30, 40)과 결합되도록 결합공(55)이 형성된 상면판(50)으로 구성됨을 특징으로 하는 리니어 스테이지용 공기 베어링.It consists of a ceramic plate shape coupled to the upper surface of the left and right side plates 30 and 40, the lower side is embedded in the round porous ceramic body 51 in which the metal plate 52 is embedded, the left and right side plate ( An upper surface plate 50 in which an air supply hole 54 is formed to communicate with the air transfer holes 34 and 44 of the 30 and 40, and the coupling hole 55 is formed to be coupled to the left and right side plates 30 and 40. An air bearing for a linear stage, characterized in that consisting of. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 좌측 및 우측 저면판(10, 20)의 다공질 세라믹체(11, 21)가 형성된 측의 몸체 중앙부에는 단차 가공된 에어배출홈(13, 23)이 형성되고,Stepped air discharge grooves 13 and 23 are formed in the center of the body of the left and right bottom plates 10 and 20 on the side where the porous ceramic bodies 11 and 21 are formed. 좌·우측면판(30, 40)의 다공질 세라믹체(31, 41)가 형성된 측면의 몸체 중앙부에는 단차 가공된 에어배출홈(33, 43)이 형성되며,Stepped air discharge grooves 33 and 43 are formed in the central portion of the body of the side of the left and right side plates 30 and 40 where the porous ceramic bodies 31 and 41 are formed. 상면판(50)의 다공질 세라믹체(51)가 형성된 하면의 몸체 중앙부 양단에는 단차 가공된 에어배출홈(53)이 형성되어, 다공질 세라믹체(11, 21, 31, 41, 51)로부터 배출된 에어가 몸체의 중앙에 머물지 않고 신속하게 배출되도록 함을 특징으로 하는 리니어 스테이지용 공기 베어링.Stepped air discharge grooves 53 are formed at both ends of the central portion of the lower surface of the upper surface plate 50 where the porous ceramic body 51 is formed, and discharged from the porous ceramic body 11, 21, 31, 41, 51. An air bearing for a linear stage, characterized in that the air is discharged quickly without remaining in the center of the body.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101471101B1 (en) * 2013-12-16 2014-12-09 엘엔케이 주식회사 Equipped with a cradle for stage of the porous plate
CN108591261A (en) * 2018-06-28 2018-09-28 深圳市金园智能科技有限公司 A kind of air-float guide rail applied to ultraprecise planer-type detection platform

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4508585B2 (en) 2003-09-09 2010-07-21 キヤノン株式会社 Air bearing device
KR200384368Y1 (en) 2005-02-22 2005-05-13 (주)트리엔 The casing construction of the air bearing
KR200425185Y1 (en) 2006-05-04 2006-09-01 이춘무 The linear stage using of a porous air bearing

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101471101B1 (en) * 2013-12-16 2014-12-09 엘엔케이 주식회사 Equipped with a cradle for stage of the porous plate
CN108591261A (en) * 2018-06-28 2018-09-28 深圳市金园智能科技有限公司 A kind of air-float guide rail applied to ultraprecise planer-type detection platform
CN108591261B (en) * 2018-06-28 2024-04-26 深圳市金园智能科技有限公司 Air floatation guide rail applied to ultra-precise gantry type detection platform

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