KR20100086242A - 보호필름 자동 부착장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 파티클 발생을 제어하는 클린 부스(10);상기 클린 부스(10) 일 측에 설치되어 기판(G)의 일 측면에 보호필름(F1)을 부착하는 제1 보호필름 부착 유닛(100);상기 클린 부스(10) 타 측에 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)과 나란히 설치되며, 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)에서 상기 기판(G)을 이송받아 상기 기판(G)의 타 측면에 보호필름(F2)을 부착하는 제2 보호필름 부착 유닛(200);을 포함하여 이루어지는 보호필름 자동 부착장치.
- 제1항에 있어서,상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)은상기 기판(G)을 흡착 고정하고 90°씩 회전시키는 제1 턴테이블(110);상기 제1 턴테이블(110)의 전방에 위치하여 상기 제1 턴테이블(110)에 상기 기판(G)을 로딩하는 기판 로딩기(120);상기 제1 턴테이블(110)의 좌측 방향에 위치하여 상기 제1 턴테이블(110)에 로딩된 상기 기판(G)의 일측면을 세정하는 제1 기판 세정기(130); 및상기 제1 턴테이블(110)의 후방에 위치하여 세정된 상기 기판(G)의 일측면에 보호필름(F1)을 부착하는 제1 보호필름 부착기(140);를 포함하여 이루어지는 보호 필름 자동 부착장치.
- 제2항에 있어서,상기 제1 턴테이블(110)은회전 가능하게 설치되는 회전 플레이트(111);상기 회전 플레이트(111)의 상부에 네 방향을 향하여 각각 수직으로 설치되며, 상기 기판(G)을 흡착 고정하기 위해 다수의 진공 흡착홀(H)이 형성된 로딩 플레이트(113); 및상기 회전 플레이트(111)를 회전시키기 위해 상기 회전 플레이트(111) 하부에 설치되는 회전 모터(115)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착장치.
- 제2항에 있어서,상기 기판 로딩기(120)는가이드레일(126)상에 실린더(125)에 의하여 이동 가능하게 설치되는 이동 플레이트(121); 및상기 이동 플레이트(121)의 상부에 회동 가능하게 설치되며, 상면에 기판(G)을 흡착 고정하기 위해서 다수의 진공 흡착홀(H)이 형성되는 회동 아암(123)을 포 함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는보호필름 자동 부착장치.
- 제2항에 있어서,상기 제1 기판 세정기(130)는베이스(131);상기 베이스(131)와 수직으로 설치되는 가이드(132);상기 가이드(132)와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보모터(133)에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류(134);상기 가이드(132)를 따라 승하강 가능하도록 상기 이송 스크류(134)에 결합되는 승강 플레이트(135);상기 승강 플레이트(135)의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판(G)의 일측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러(R1)가 설치되는 전후진 플레이트(136);상기 전후진 플레이트(136)를 전후진시키기 위하여 상기 승강 플레이트(135) 상에 설치되는 전후진 실린더(137);상기 베이스(131)에 설치되며, 상기 점착 롤러(R1)에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러(R2); 및상기 전이 테이프 롤러(R2)를 회전시키는 전이 테이프 회전모터(138);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착장치.
- 제2항에 있어서,상기 제1 보호필름 부착기(140)는리니어 모터(LM)에 의해서 상기 제1 턴테이블(110) 방향으로 이동 가능하게 설치되는 이동 플레이트(141);상기 이동 플레이트(141) 상면에 설치되는 보호필름 권취롤러(142);상기 보호필름(F1)의 텐션을 유지하는 다수의 텐션롤러(143);상기 보호필름(F1)의 좌우 측에 위치하여 상기 보호필름(F1)의 이동을 가이드 하는 좌우 가이드(144);상기 보호필름(F1)을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프(145);상기 보호필름(F1)을 상기 기판(G)의 일 측면에 밀착시키는 밀착롤러(148); 및상기 보호필름(F1)을 커팅하는 커터(146);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착장치.
- 제1항에 있어서,상기 제2 보호필름 부착 유닛(200)은상기 제1 턴테이블(110)과 나란히 위치하며, 상기 제1 턴테이블(110)로부터 보호필름(F1)이 부착된 기판을 전달받고, 상기 기판(G)을 로딩한 후 90°씩 회전시키는 제2 턴테이블(210);상기 제2 턴테이블(210)의 후방에 위치하여 상기 제2 턴테이블(210)에 로딩된 상기 기판(G)의 타측면을 세정하는 제2 기판 세정기(230); 및상기 제2 턴테이블(210)의 우측 방향에 위치하여 세정된 상기 기판(G)의 타측면에 보호필름(F2)을 부착하는 제2 보호필름 부착기(240);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착장치.
- 제7항에 있어서,상기 제2 턴테이블(210)은회전 가능하게 설치되는 회전 플레이트(211);상기 회전 플레이트(211)의 상부에 네 방향을 향하여 각각 수직으로 설치되고, 전후진 실린더(213a)에 의해 이동 가능하게 설치되며, 상기 기판(G)을 흡착 고정하기 위해 다수의 진공 흡착홀(H)이 형성된 로딩 플레이트(213); 및상기 회전 플레이트(211)를 회전시키기 위해 상기 회전 플레이트(211) 하부에 설치되는 회전 모터(215)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착장치.
- 제7항에 있어서,상기 제2 기판 세정기(230)는베이스(231)상기 베이스(231)와 수직으로 설치되는 가이드(232);상기 가이드(232)와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보모터(233)에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류(234);상기 가이드(232)를 따라 승하강 가능하도록 상기 이송 스크류(234)에 결합되는 승강 플레이트(235);상기 승강 플레이트(235)의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판의 타측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러(R1)가 설치되는 전후진 플레이트(236);상기 전후진 플레이트(236)를 전후진시키기 위하여 상기 승강 플레이트(235) 상에 설치되는 전후진 실린더(237);상기 베이스(231)에 설치되며, 상기 점착 롤러(R1)에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러(R2); 및상기 전이 테이프 롤러(R2)를 회전시키는 전이 테이프 회전모터(238);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착장치.
- 제7항에 있어서,상기 제2 보호필름 부착기(240)는리니어 모터(LM)에 의해서 상기 제2 턴테이블(210) 방향으로 이동 가능하게 설치되는 이동 플레이트(241);상기 이동 플레이트(241) 상면에 설치되는 보호필름 권취롤러(242);상기 보호필름(F2)의 텐션을 유지하는 다수의 텐션롤러(243);상기 보호필름(F2)의 좌우측에 위치하여 상기 보호필름(F2)의 이송을 가이드 하는 좌우측 가이드(244);상기 보호필름(F2)을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프(245);상기 보호필름(F2)을 상기 기판(G)의 타 측면에 밀착시키는 밀착롤러(248); 및상기 보호필름(F2)을 커팅하는 커터(246);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착장치.
- 제7항에 있어서,상기 제2 턴테이블(210)의 전방에는 양면에 보호필름(F1)(F2)이 부착된 상기 기판G을 언 로딩하는 언로딩기(220)가 설치되는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착장치.
- 파티클 발생을 제어하는 클린 부스(10'); 및상기 클린 부스(10') 내부에 설치되어 기판(G)의 양쪽면에 보호필름(F1)(F2)을 부착하는 보호필름 부착 유닛(400)을 포함하며,상기 보호필름 부착 유닛(400)은,상기 기판(G)을 흡착 고정하고 90°씩 회전시키는 턴테이블(410);상기 턴테이블(410)의 전방에 위치하여 상기 턴테이블(410)에 상기 기판(G)을 로딩/언로딩하는 기판 로딩/언로딩 기(420)(420');상기 턴테이블(410)의 좌측 방향에 위치하여 상기 턴테이블(410)에 로딩된 상기 기판(G)을 세정하는 기판 세정기(430); 및상기 턴테이블(410)의 후방에 위치하여 세정된 상기 기판(G)에 보호필름(F1)(F2)을 부착하는 보호필름 부착기(440);를 포함하여 이루어지는 보호필름 자동 부착장치.
- 기판 로딩기가 기판을 제1 턴테이블에 로딩하는 단계(S10);상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계(S20);제1 세정기가 상기 제1 턴테이블에 로딩된 기판의 일측면을 세정하는 단계(S30);상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계(S40);제1 보호필름 부착기가 세정된 상기 기판의 일측면에 보호필름을 부착하는 단계(S50);상기 제1 턴테이블이 90° 회전하는 단계(S60);제2 턴테이블이 상기 제1 턴테이블로부터 상기 기판을 전달 받는 단계(S70);상기 제2 턴테이블이 90° 회전하는 단계(S80);제2 세정기가 상기 제2 턴테이블에 로딩된 기판의 타측면을 세정하는 단계(S90);상기 제2 턴테이블이 90°회전하는 단계(S100); 및제2 보호필름 부착기가 세정된 상기 기판의 타측면에 보호필름을 부착하는 단계(S110);를 포함하여 이루어지는 보호필름 자동 부착방법.
- 제13항에 있어서,상기 제1 세정기/제2 세정기가 상기 제1 턴테이블/제2 턴테이블에 로딩된 기판의 일측면/타측면을 세정하는 단계(S30)(S90)는 각각,이송 스크류를 정회전시켜서 승강 플레이트의 점착 롤러를 상승시키는 단계(S31)(S91);전후진 실린더를 구동하여 상기 점착 롤러를 상기 기판의 일측면에 밀착시키는 단계(S32)(S92); 및상기 이송 스크류를 역회전시켜서 상기 점착 롤러를 상기 기판의 상부에서 하부로 이동시키면서 상기 기판의 일측면에서 파티클을 제거하는 단계(S33)(S93); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착방법.
- 제13항에 있어서,상기 제1 보호필름 부착기/제2 보호필름 부착기가 세정된 상기 기판의 일측면/타측면에 보호필름을 부착하는 단계(S50)(S110)는 각각,Z 축 클램프가 보호필름을 적당한 위치로 당기는 단계(S51)(S111);이동 플레이트를 이동시켜서 상기 기판에 보호필름을 밀착시키고, 밀착롤러에 의하여 보호필름을 기판에 부착시키는 단계(S52)(S112);커터가 보호필름을 커팅하는 단계(S53)(S113); 및상기 이동 플레이트를 원 위치시키는 단계(S54)(S114);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착방법.
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