KR20100021848A - 표시 장치용 노광 장치 및 노광 방법 - Google Patents

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Abstract

복수의 노광용 램프와 상기 램프와 노광 대상물 사이에 배치되어 있고, 상기 램프에서 발생한 노광광의 진행 방향을 변화시켜 상기 노광 대상물에 도달하는 위치를 변화시키는 휘도 변화 기구를 포함하는 노광 장치를 마련한다. 이러한 노광 장치을 이용하면, 휘도의 균일성을 높일 수 있고 휘도의 변경 요구에 대응할 수 있어서, 노광광의 조도를 안정시킬 수 있으므로, 고품질의 기판을 짧은 택 타임으로 제조할 수 있다.
노광, 휘도균일성, 물, 파동, 슬릿마스크

Description

표시 장치용 노광 장치 및 노광 방법 {EXPOSURE APPARATUS FOR DISPLAY AND EXPOSING METHOD USING THE SAME}
본 발명은 액정 표시 장치 등의 표시용 기판의 제조에 있어서, 기판을 노광할 때 사용되는 노광 장치 및 노광 방법에 관한 것이다.
표시용 패널로서 이용되는 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor: TFT) 기판이나 컬러 필터 기판, 플라즈마 표시 패널용 기판, 유기 EL(Electroluminescence) 표시 패널용 기판 등의 제조는, 노광 장치를 이용하여 포토리소그래피 기술에 의해 기판 상에 패턴을 형성함으로써 행해진다. 노광 장치는 감광 수지 재료(포토레지스트)를 도포한 기판으로, 마스크를 통하여 노광광을 조사함으로써, 마스크의 패턴을 기판으로 전사하는 것이다.
노광 장치의 노광광을 발생하는 광원에는, 수은 램프, 할로겐 램프, 키노센 램프 등과 같이, 고압가스를 밸브 내에 봉입한 램프가 사용되고 있다. 이들의 램프는, 발열량이 많고 지나치게 고온이 되면 밸브가 파열할 우려가 있기 때문에, 냉각하면서 사용해야 한다. 또한, 액정 표시용 패널이 큰 경우 다수개의 램프를 사용하게 되면서 램프 간격간에 빛의 휘도차이로 인해 균일성이 떨어지는 문제가 있다.
일반적으로, 노광광의 조도는 램프의 표면 온도에 의해 변화한다. 램프에는 표면 온도의 규정 값이 정해져 있고, 노광 처리를 행할 때에는, 노광광의 조도를 안정시키기 위하여 램프의 표면 온도를 규정 값으로 유지해야 한다.
노광광의 광량은 노광광의 조도와 노광 시간에 비례한다. 최근, 표시용 패널의 대화면화에 동반하여 기판이 대형화될수록, 노광 장치의 광원으로 보다 휘도가 높은 것이 요구되어 왔다. 광원의 휘도가 높을수록, 노광광의 조도가 높아지고, 노광 시간이 짧게 완료되어 택 타임(tack time)이 단축되고, 쓰루풋(throughput)이 향상된다.
또한, 기판의 크기나 포토레지스트의 종류에 따라 노광에 필요한 노광광의 광량이 다른 경우, 종래에는 램프를 교환하여 광원의 휘도를 변경할 필요가 있었다. 램프의 교환에는 시간과 노력이 들기 때문에, 램프를 교환하지 않고 광원의 휘도를 변경하고자 하는 요구가 있었다.
이러한 요구를 만족하기 위하여, 노광광을 발생하는 광원으로서 복수의 램프를 이용하여, 광원의 휘도를 전체적으로 높게 함과 동시에, 램프를 스위칭 하여 광원의 휘도를 변경하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 단지 복수의 램프를 이용하는 것만으로는, 램프의 표면 온도를 균일하게 하는 것이 곤란하고, 노광광의 조도가 안정되지 않는 문제가 있었다. 이것은 각 램프로부터 발생한 노광광의 일부가 직접 또는 각 램프의 주위에 형성된 집광 거울을 투과하여 인접하는 램프에 조사되고, 인접하는 램프의 노광광이 조사되는 부분과 조사되지 않는 부분에서 온도차가 발생하기 때문이다. 또한, 각 램프로부터 발생한 열이, 인접하는 램프로 전달되고, 인접하는 램프에 가까운 곳과 먼 곳에서 온도차가 발생하기 때문이다.
본 발명의 과제는, 복수의 램프를 이용하여, 고휘도 및 휘도의 변경 요구에 대응하면서, 램프의 표면 온도를 균일하게 하고, 노광광의 조도를 안정시키는 것이다. 또한, 본 발명의 다른 과제는 고품질의 기판을 짧은 택 타임으로 제조하는 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 노광 장치는 복수의 노광용 램프와 상기 램프와 노광 대상물 사이에 배치되어 있고, 상기 램프에서 발생한 노광광의 진행 방향을 변화시켜 상기 노광 대상물에 도달하는 위치를 변화시키는 휘도 변화 기구를 포함한다.
상기 휘도 변화 기구는 물과 상기 물에 파동을 일으키는 진동자를 포함할 수 있고, 상기 진동자는 상기 물 표면에 대하여 수직 운동을 하거나, 상기 물 표면에 대하여 수평 운동도 가능할 수 있다.
상기 진동자의 진동은 변화시켜 상기 물 표면에 형성되는 파동을 변화시킬 수 있고, 상기 물 표면에 형성되는 파동은 불규칙적일 수 있다.
상기 휘도 변화 기구는 상기 노광 대상물의 평면적과 같거나 조금 더 넓게 형성될 수 있다.
상기 휘도 변화 기구는 격자 모양 쿼츠 (Grating Quarts)이거나, 슬릿 마스 크일 수 있고, 상기 슬릿 마스크는 불투명한 부분과 투명한 부분을 포함할 수 있다.
상기 슬릿 마스크의 슬릿 폭이 상기 램프로부터 멀어질수록 넓어질 수 있고, 상기 슬릿의 폭 중 가장 넓은 것은 상기 슬릿 마스크의 슬릿을 형성하는 불투명층의 두께보다 클 수 있다.
상기 슬릿마스크의 슬릿 간격이 상기 램프로부터 멀어질수록 좁아질 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 노광 방법은 복수의 램프가 노광광을 발생하는 단계, 상기 노광광이 휘도 변화 기구를 통과하는 단계, 상기 휘도 변화 기구를 통과한 상기 노광광이 노광 대상물에 도달하는 단계를 포함하고, 상기 램프의 동일한 위치에서 발생된 상기 노광광이 상기 노광 대상물에 도달하는 위치는 시간에 따라 달라진다.
상기 휘도 변화 기구는 물과 상기 물에 파동을 일으키는 진동자를 포함할 수 있고, 상기 진동자는 상기 물 표면에 대하여 수직 혹은 수평을 포함하는 방향으로 진동하여 상기 물에 파동을 형성할 수 있다.
상기 진동자의 진동폭과 진동수 중 적어도 하나는 계속해서 변화하여 상기 물의 파동을 변화시킬 수 있다.
상기 휘도 변화 기구는 슬릿 마스크일 수 있고, 상기 슬릿 마스크의 슬릿 폭이 상기 램프로부터 멀어질수록 넓어지거나, 상기 슬릿 마스크의 슬릿 간격이 상기 램프로부터 멀어질수록 좁아질 수 있다.
상기 노광 대상물은 액정 표시 패널이고, 상기 노광광은 상기 액정 표시 패널 내의 모노머를 중합하는 것일 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 노광 장치 및 노광 방법에 의하면, 복수의 램프들을 이용하여, 고휘도 및 휘도의 변경 요구에 대응하면서, 램프의 표면의 온도차를 작게 하여, 램프의 표면을 균일하게 냉각할 수 있다. 따라서, 램프의 표면 온도를 균일하게 하고, 노광광의 조도를 안정시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 노광 장치 및 노광 방법에 의하면, 램프와 패널 사이에 진동자를 포함한 물층을 형성하고, 진동자를 앞뒤로 진동시킴으로써 물층에 계속해서 변화하는 파형을 일으킨다. 이렇게 하면, 복수의 램프들에서 발생한 빛의 휘도 프로파일(Profile)이 상기 진동 파형이 있는 물층을 통과한 후 훨씬 변화 폭이 적은 프로파일로 변경되고, 또한 램프의 온도를 냉각할 수 있다. 따라서, 램프의 표면 온도를 더 균일하게 하여, 노광광의 조도를 더 안정시킬 수 있다.
본 발명의 표시용 패널 기판의 제조 방법에 따르면, 고휘도 및 휘도의 변경 요구에 대응하면서, 노광광의 조도를 안정시킬 수 있으므로, 고품질의 기판을 짧은 택 타임으로 제조할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하 며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
도면에서 여러 층 및 각 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 표현하였으며 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭하도록 하였다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 상부에 또는 위에 있다고 표현되는 경우는 각 부분이 다른 부분의 바로 상부 또는 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라 각 부분과 다른 부분의 사이에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
다음은 상기 실시예에 관해 도면을 통하여 구체적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 노광 장치를 설명하기 위한 구성도이다.
도 1은 본 발명의 실시예중 하나인 복수개의 램프와 패널 사이에 물과 진동자를 형성한 노광 장치의 배치도이다.
여기서, 램프(20)들은 패널의 전체 크기에 따라 원하는 빛의 휘도가 나올 수 있도록 복수개로 형성할 수 있다.
이때, 패널(10)은 박막 트랜지스터(TFT)가 제1 기판에 형성되어 있고, 제1 기판과 제2 기판 사이에 모노머를 함유한 액정이 채워져 있는 액정 표시 장치이다.
복수의 램프(20)들과 액정 패널(10) 사이에 적절한 지점에 물층(30)이 형성되어있고, 물층(30)은 액정 패널(10)의 평면적과 거의 유사한 폭과 길이를 가지도록 넓게 형성된다. 그러나 물층(30)은 액정 패널(10)의 평면적과 다른 폭과 길 이를 가지도록 형성될 수도 있다.
또한, 도 2에서 도시된 복수개의 램프에 의한 여과없는 빛의 휘도 프로파일(Profile)을 참고하면, 물층(30)은 단순히 물만 있어서는 램프에서 발생하는 열을 식혀주는 역할이 되고, 그 외에 빛의 휘도 프로파일을 다르게 하는 데는 상기 물층(30) 내에 진동자(40)와 같은 물층(30) 내에 파동을 형성하도록 하는 것이 필요한데 그 형태는 도 3에 도시된 진동자를 통해 설명한다. 도 3에 도시된 진동자(40)는 패널(10) 전체 크기로 형성된 물층(30)의 가장자리부 양쪽에 배치하는 것이 적절하다. 그러나 진동자(40)의 위치는 물층(30)의 중앙 등 다른 곳도 가능하다.
이때 진동자(40)의 이동 방향(50)은 상하 방향이 바람직할 수 있고, 이와 유사한 파형의 파동을 발생할 수 있는 다양한 방향으로 진동할 수 있다.
도 4a 및 도 4b 는 물층(30)에 진동자(40)에 의한 파동이 있을 때와 없을 때, 램프들(20, 21)에서 패널(10)까지 빛이 진행하는 방향과 위치에 관해 빛을 화살표로 표시한 것이다. 이때 빛이 굴절되는 위치마다, 화살표의 방향과 크기를 달리하여 도시(400~450, 500~550)하였다.
우선, 도 4a를 들어 구체적으로 설명한다. 램프들(20, 21)에서 출발한 빛(400,410)은 물층(30)을 만나 굴절되고, 물층(30)을 진행한 빛 (420, 430)은 다시 공기에 도달하여 다른 방향으로 굴절되어 패널(10)을 향하여 진행하는 빛(440, 450)이 된다. 물층(30)에 파동이 없는 상태에서 빛(440, 450) 패널(10)에 도달하면서 만나는 점(460)은 항상 동일하다고 할 수 있다.
그러나, 도 4b에서는 램프들(20, 21)에서 출발한 빛(500, 510)은 물층(30)을 만나게 되는데 이때, 빛(500, 510)이 만나는 물층(30)은 진동자(40)로 인해 발생한 파동에 의해 위 표면(310)의 모양이 변화하게 되고, 이로 인해 빛(500, 510)과 물층(30)의 위 표면(310)이 만나는 각도가 시시각각 변화하여, 빛(540, 550)이 패널(10)에 도달하는 위치가 달라진다. 즉, 파동으로 인해 물층(30)의 위 표면(310)이 마루와 골을 가지며, 진동자(40)자가 파동의 진폭과 진동수를 다르게 하면 램프들(20, 21)에서 출발하여 물층(30)의 위 표면(310)으로 입사하여 굴절되는 빛(520, 530)은 물층(10)의 위 표면(310)이 가지는 마루와 골 중에 어느 부분으로 입사하는지에 따라 빛(520, 530)의 진행 방향이 다르게 되는 것이다.
따라서 도 4a의 경우에는 물층(30)을 통과한 빛이 굴절되어 공기 밖으로 빠져 나올 때의 위치인 B와 C가 항상 거의 동일하여 램프들(20, 21)의 빛이 패널(10)에 도달하여 보강 또는 상쇄 간섭을 일으키는 지점(460)은 거의 항상 동일하다. 따라서, 도 2에서 도시한 바와 같이, 빛의 휘도 프로파일(300)은 그 높고 낮음의 차이가 패널(10) 표면의 위치에 따라 크게 달라진다.
반면, 도 4b의 경우에는 물층(30)에 형성된 파동으로 인해 물층(30)을 통과한 빛이 공기와 만나는 점인 B'과 C'은 파동으로 인해 물층(10)의 위 표면(310)의 모양이 변함에 따라 계속 변하게 되어, 결과적으로 B'과 C'을 통과하여 패널(10)에 도달하는 빛(540, 550)이 보강 또는 상쇄 간섭을 일으키는 점(560)의 위치는 진동자(40)가 물층(30)에 계속 파동을 일으키는 한 계속해서 달라지게 된다. 이와 같이 보강 또는 상쇄 간섭을 일으키는 위치가 시간에 따라서 달라지면, 패널(10) 전 체적으로 보강 간섭과 상쇄 간섭이 혼재하게 되어 일정한 시간동안 패널(10)에 조사된 빛의 휘도를 평균하면 패널(10) 전체에서 균일한 휘도 프로파일을 얻게 된다. 이러한 휘도 프로파일은 도 5에 도시한 슬릿 마스크를 통과한 후의 빛의 휘도 프로파일(330)처럼 위치에 따른 휘도 차이가 감소하게 된다. 또한 진동자(40)의 진동폭과 진동수를 조절함으로써 빛의 휘도 프로파일을 좀더 균일하게 만들 수 있다.
또한, 앞에 언급한 도 5는 본 발명의 또 다른 실시예이다.
도 5의 실시예에서는 물의 파동을 이용하는 이전 실시예와 달리, 슬릿 마스크를 이용하여 램프에서 나온 빛의 세기를 조절하는 것으로, 도 5에 도시한 바와 같이, 램프(20)들 아래에 슬릿 마스크(200)를 위치시켜 빛을 통과 시킨다.
도 6a에는 일반적인 슬릿마스크가 기판 위의포토레지스트(Potoresist)에 미치는 영향을 도시하였다. 도 6a를 살펴보면, 슬릿 마스크(200)는 투명한 영역(220)과 불투명한 층(222)에 빛이 통과할 수 있는 복수의 슬릿이 형성되어 있는 슬릿 영역(210)을 포함한다. 이때 슬릿 마스크(200) 위에서 UV(Ultraviolet)를 조사하면, 슬릿 마스크(200)의 투명한 영역(220)을 통과한 UV양(230)은 슬릿 영역(210)을 통과한 UV양(240)보다 상대적으로 많다. 따라서 기판(100) 위에 미리 형성한 포토레지스트(Photoresist)에 조사되는 UV의 양도 슬릿 마스크(200)와 대응하는 위치에 비하여 투명한 영역(220)과 대응하는 위치에서 더 많다.
도 6b는 도 6a에서 슬릿 마스크(200)를 통과한 UV에 노광된 포토레지스트(120)를 현상한 상태를 보여준다. 도 6b에 도시된 바와 같이, 포토레지스트(120)의 슬릿 마스크(200)의 투명한 영역(220)을 통과한UV(230)에 노광된 부 분(150)은 기판(100)에서 위에서 남겨짐 없이 사라지고, 슬릿 마스크(200)의 불투명한 층(222)으로 인해 UV에 노광되지 않은 포토레지스트(120)의 부분(130)은 그대로 남겨져 있으며, 슬릿 마스크(200)의 슬릿 영역(210)을 통과한 UV(240)에 노광된 포토레지스트(120) 부분(140)은 원래에 비하여 두께가 얇아진다. 이때 슬릿 영역(210)을 통해 노광되어 형성되는 포토레지스트(120)의 부분(140)의 두께는 UV 노광 시간과 세기에 밀접한 관련이 있어 이를 적절하게 조절함에 따라 원하는 두께를 자유롭게 형성할 수 있다.
도 6a와 도 6b를 참고하여 설명한 바와 유사하게, 슬릿 마스크(200)를 이용하여 UV 광원의 빛의 세기를 조절할 수 있다. 또한 슬릿의 폭과 간격을 조절함으로써 빛의 세기를 연속적으로 달라지게 조절할 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 노광 장치에서 사용하는 슬릿 마스크(200)의 배치도이다.
본 실시예에 따른 노광 장치의 슬릿 마스크(200)를 자세히 설명하자면, 슬릿 마스크(200)의 전체적인 크기는 패널(10)의 크기와 거의 동일할 수 있다. 이는 상단에 복수개 램프(20)들을 통해 액정 패널 곳곳에 균일하게 광원의 휘도가 도달하게 하기 위해서는 슬릿 마스크(200)의 슬릿이 패널(10) 전체에 영향을 미칠 수 있는 크기가 되어야 하기 때문이다.
도 7의 슬릿 마스크(200)에서 슬릿은 불투명한 선들이 소정의 간격으로 배치되어 형성되어 있고, 불투명한 선이 촘촘하게 형성된 영역(210)과 불투명한 선이 드물게 형성된 영역(220)을 가진다. 즉, 슬릿 마스크(200)는 불투명한 선 사이의 간격이 좁아서 슬릿의 폭이 좁은 부분과 불투명한 선 사이의 간격이 넓어서 슬릿의 폭이 넓은 부분을 가진다. 슬릿의 폭이 점차 좁아졌다가 점차 넓어지는 것이 반복된다. 이와 달리 슬릿의 폭은 일정하고, 슬릿 사이의 간격을 다르게 할 수도 있다. 슬릿 사이의 간격이 점차 넓어졌다가 점차 좁아지는 것이 반복되도록 슬릿을 형성할 수 있다.
도 8은 도 5에 도시한 램프(20)들이 도 7에 도시한 슬릿 마스크(200)를 통과하기 전과 통과한 후의 빛의 프로파일(300, 330) 도시한 도면이다.
도 9에서 d는 슬릿을 형성하는 불투명한 선의 두께(260)이며, x는 불투명한 선 사이의 간격 중 가장 큰 간격(250)이고, 이들 사이에는 x>d의 관계가 있으며, x>>d일 때 UV의 손실이 없게 된다.
또한, 인접한 램프들간에 평균거리는 약 10cm이고, 슬릿의 높이 d는 약 수mm 즉, 1.0mm정도면 적절하다. 단 UV의 종류와 세기에 따라 슬릿의 높이와 간격은 이상적인 범위내에서 조절 할 수 있다.
이상에서는 노광량을 조절하기 위하여 슬릿을 사용하는 경우를 예시하였으나, 슬릿을 대신하여 격자 모양 쿼츠 등을 사용할 수도 있다.
본 발명의 노광 장치 또는 노광 방법을 이용하면, 휘도의 균일성을 높일 수 있고 휘도의 변경 요구에 대응할 수 있어서, 노광광의 조도를 안정시킬 수 있으므로, 고품질의 기판을 짧은 택 타임으로 제조할 수 있다.
본 발명을 첨부 도면과 전술된 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 그에 한정되지 않으며, 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라 서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변형 및 수정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예로 램프와 패널 사이에 물과 진동자를 배치한 노광 장치를 설명하기 위한 배치도도이다.
도 2는 복수개 램프를 가지는 기존의 노광 장치가 발하는 휘도 프로파일을 보여주는 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 복수개 램프의 노광장치를 A-A' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 4a는 램프와 패널 사이에 파동이 없는 물층을 가지는 노광 장치에서 빛의 이동선을 나타낸 단면도이다.
도 4b는 램프와 패널 사이에 물층을 배치한 노광 장치에서, 물층에 파동을 일으킨 상태에서 빛의 이동선을 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 노광 장치로 슬릿 마스크를 사용하는 노광 장치를 설명하기 위한 개념도이다.
도 6a는 슬릿마스크를 이용한 기존의 노광법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 6b는 도 6a에서 슬릿 마스크의 역할이 부분 노광임을 설명하기 위한 단면도이다.
도 7은 도 5에서 이용된 슬릿 마스크의 배치도이다.
도 8은 도 5에 도시된 램프의 빛이 슬릿 마스크를 통과하기 전과 후의 휘도 프로파일을 도시한 도면이다.
도 9는 도 7에 도시된 슬릿 마스크의 C-C'선을 따라 절단한 단면도로이다.<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 패널 20,21 : 램프
30 : 물 40 : 진동자
50 : 진동자의 이동방향
100 : 기판, 110 :PR
200 : 슬릿마스크

Claims (21)

  1. 복수의 노광용 램프 및
    상기 램프와 노광 대상물 사이에 배치되어 있고, 상기 램프에서 발생한 노광광의 진행 방향을 변화시켜 상기 노광 대상물에 도달하는 위치를 변화시키는 휘도 변화 기구를 포함하는 노광 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 휘도 변화 기구는 물과 상기 물에 파동을 일으키는 진동자를 포함하는 노광장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 진동자는 상기 물 표면에 대하여 수직 운동을 하도록 형성되어 있는 노광 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 진동자는 상기 물 표면에 대하여 수평 운동도 가능하게 형성되어 있는 노광 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 진동자의 진동은 변화하여 상기 물 표면에 형성되는 파동을 변화시키는 노광 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 물 표면에 형성되는 파동은 불규칙적인 노광 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 휘도 변화 기구는 상기 노광 대상물의 평면적과 같거나 조금 더 넓게 형성되어 있는 노광 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 휘도 변화 기구는 격자 모양 쿼츠 (Grating Quarts)인 노광 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 휘도 변화 기구는 슬릿 마스크인 노광 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 슬릿 마스크는 불투명한 부분과 투명한 부분을 포함하는 노광 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 슬릿 마스크의 슬릿 폭이 상기 램프로부터 멀어질수록 넓어지는 노광 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 슬릿의 폭 중 가장 넓은 것은 상기 슬릿 마스크의 슬릿을 형성하는 불투명층의 두께보다 큰 노광 장치.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 슬릿 마스크의 슬릿 간격이 상기 램프로부터 멀어질수록 좁아지는 노광 장치.
  14. 복수의 램프가 노광광을 발생하는 단계,
    상기 노광광이 휘도 변화 기구를 통과하는 단계,
    상기 휘도 변화 기구를 통과한 상기 노광광이 노광 대상물에 도달하는 단계를 포함하고,
    상기 램프의 동일한 위치에서 발생된 상기 노광광이 상기 노광 대상물에 도달하는 위치는 시간에 따라 달라지는 노광 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 휘도 변화 기구는 물과 상기 물에 파동을 일으키는 진동자를 포함하는 노광방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 진동자는 상기 물 표면에 대하여 수직 혹은 수평을 포함하는 방향으로 진동하여 상기 물에 파동을 형성하는 노광 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 진동자의 진동폭과 진동수 중 적어도 하나는 계속해서 변화하여 상기 물의 파동을 변화시키는 노광 방법.
  18. 제14항에 있어서,
    상기 휘도 변화 기구는 슬릿 마스크인 노광 방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 슬릿 마스크의 슬릿 폭이 상기 램프로부터 멀어질수록 넓어지는 노광 방법.
  20. 제18항에 있어서,
    상기 슬릿 마스크의 슬릿 간격이 상기 램프로부터 멀어질수록 좁아지는 노광 방법.
  21. 제18항에 있어서,
    상기 노광 대상물은 액정 표시 패널이고, 상기 노광광은 상기 액정 표시 패널 내의 모노머를 중합하는 노광 방법.
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