KR20090097103A - Excimer lamp and method for manufacturing the excimer lamp - Google Patents

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KR20090097103A
KR20090097103A KR1020090004596A KR20090004596A KR20090097103A KR 20090097103 A KR20090097103 A KR 20090097103A KR 1020090004596 A KR1020090004596 A KR 1020090004596A KR 20090004596 A KR20090004596 A KR 20090004596A KR 20090097103 A KR20090097103 A KR 20090097103A
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excimer lamp
electrode
lead wire
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protective film
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KR1020090004596A
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신이치 엔도
도시유키 오카모토
노리타카 다케조에
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우시오덴키 가부시키가이샤
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Abstract

An excimer lamp is provided to prevent the turning-off of an excimer lamp in a cleaning process of an object using ultraviolet ray. The excimer lamp(100) has the flat discharge vessel(1). The discharge vessel comprises the flat wall(11) located from the ground surface and the flat wall(12) located under the surface. The curvature portion(13) is consecutively formed in the end part of the flat wall. The light projecting surface for emitting the ultraviolet ray to the object is formed on one of the flat walls. The electrodes(3,4) are disposed in the flat walls. The lead lines(15,16) are connected to each electrode through the lead material(17). The protective film(18) is formed in the surrounding of the lead material.

Description

엑시머 램프 및 그 엑시머 램프의 제조 방법{EXCIMER LAMP AND METHOD FOR MANUFACTURING THE EXCIMER LAMP}Excimer lamp and manufacturing method of the excimer lamp {EXCIMER LAMP AND METHOD FOR MANUFACTURING THE EXCIMER LAMP}

본 발명은, 엑시머 램프 및 엑시머 램프의 제조 방법에 관한 것이다. 특히, 반도체 기판이나 액정 기판 등의 제조 공정에서 반도체 기판이나 액정 기판의 세정 등에 이용되는 엑시머 램프 및 당해 엑시머 램프의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an excimer lamp and a manufacturing method of an excimer lamp. In particular, it is related with the excimer lamp used for the washing | cleaning of a semiconductor substrate, a liquid crystal substrate, etc. in manufacturing processes, such as a semiconductor substrate and a liquid crystal substrate, and the manufacturing method of the said excimer lamp.

최근의 반도체 기판이나 액정 기판 등의 제조 공정에서는, 반도체 기판인 실리콘 웨이퍼나 액정 기판인 유리 기판의 표면에 부착된 유기 화합물 등의 더러움을 제거하는 방법으로서, 자외광을 이용한 드라이 세정 방법이 널리 이용되고 있다. 특히, 엑시머 램프로부터 방사되는 진공 자외광을 이용한 오존이나 활성 산소에 의한 세정 방법에서는, 보다 좋은 효율로 단시간에서 세정하는 세정 장치가 여러 가지 제안되고 있고, 예를 들면, 특허 문헌 1(일본국 특허 공개 2000-260396호)가 알려져 있다.In recent manufacturing processes, such as a semiconductor substrate and a liquid crystal substrate, the dry washing method using ultraviolet light is widely used as a method of removing the dirt, such as an organic compound adhering to the surface of the silicon wafer which is a semiconductor substrate, and the glass substrate which is a liquid crystal substrate. It is becoming. In particular, in the cleaning method by ozone or active oxygen using vacuum ultraviolet light radiated from an excimer lamp, various washing | cleaning apparatuses which wash | clean in a short time with more efficient are proposed, for example, patent document 1 (Japanese patent) Publication 2000-260396) is known.

특허 문헌 1에 나타내는 자외선 조사 처리 장치는, 엑시머 램프가 피처리체의 반송 방향으로 복수 연설(連設)되어 엑시머 조사면이 피처리체에 대해 일정 거리가 되도록 구성되어 있고, 피처리체를 소정의 방향으로 반송하면서 각각의 엑시 머 램프를 점등 구동시켜, 각각의 엑시머 램프로부터 방사되는 엑시머광을 피처리체 표면에 조사함으로써, 피처리체의 표면을 드라이 세정하고 있다. 동 문헌에 나타내어지는 자외선 조사 처리 장치에 의하면, 산소에 의해 엑시머광이 흡수되어 엑시머광이 감쇠하는 것을 억제하기 위해, 피처리체를 엑시머 조사면으로부터 8㎜ 이내에 배치한 상태에서 피처리체의 표면에 엑시머광을 조사한다고 되어 있다.The ultraviolet irradiation processing apparatus shown in patent document 1 is comprised so that an excimer lamp may be plurally extended in the conveyance direction of a to-be-processed object, and an excimer irradiation surface will become a fixed distance with respect to a to-be-processed object, and a to-be-processed object may be in a predetermined direction. Each excimer lamp is turned on and driven while conveying, and the surface of a to-be-processed object is dry-cleaned by irradiating the surface of a to-be-processed object with the excimer light radiated | emitted from each excimer lamp. According to the ultraviolet irradiation processing apparatus shown in the same document, in order to suppress excimer light absorbed by oxygen and attenuated excimer light, an excimer is placed on the surface of the to-be-processed object in the state arrange | positioned within 8 mm from an excimer irradiation surface. It is supposed to irradiate light.

그런데, 종래의 엑시머 램프는, 특허 문헌 2 (일본국 특허 공개 2004-342369호)에 나타내어 있는 것 같은 급전 구조를 구비한다. 도 8은, 종래의 엑시머 램프의 급전 구조의 개략을 나타낸다.By the way, the conventional excimer lamp is equipped with the power supply structure as shown by patent document 2 (Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-342369). 8 shows an outline of a power supply structure of a conventional excimer lamp.

동 도면에 나타내는 엑시머 램프 A는, 유전체 재료로 이루어지는 직방체 형상의 방전 용기 B의 내부에 형성된 밀폐 공간 S에 엑시머 분자를 생성하는 가스가 봉입되어 있음과 더불어, 방전 용기 B의 밀폐 공간 S를 끼워 대향하는 위치에 설치된 한 쌍의 전극 C, D를 구비한다. 각각의 전극 C, D는, 니켈 또는 크롬 등의 금속 박막을 진공 증착함으로써 형성되어 있다. 한쪽의 전극D는, 자외선을 꺼내기 위해 리드선을 부설하는 단부를 제외하고 메쉬 형상으로 형성되어 있다. 전극 D의 단부에는, 노출된 복수개의 심선을 풀어진 상태로 한 리드선 E의 심선부 Ea가 납재F를 이용함으로써 납땜되어 있고.In the excimer lamp A shown in the drawing, a gas for generating excimer molecules is enclosed in a sealed space S formed in a rectangular parallelepiped discharge container B made of a dielectric material, and the sealed space S of the discharge container B is opposed. A pair of electrodes C and D provided at a position to be provided is provided. Each electrode C, D is formed by vacuum evaporating a metal thin film such as nickel or chromium. One electrode D is formed in a mesh shape except for the end portion at which the lead wire is laid in order to extract ultraviolet rays. The core portion Ea of the lead wire E in which the plurality of exposed core wires is released to the end of the electrode D is soldered by using a brazing filler material F.

[특허 문헌 1: 일본국 특허 공개 2000-260396호][Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2000-260396]

[특허 문헌 2: 일본국 특허 공개 2004-342369호][Patent Document 2: Japanese Patent Publication No. 2004-342369]

특허 문헌 1의 자외선 조사 처리 장치에서는, 이하의 이유에 의해, 도 8에 나타내는 엑시머 램프 A의 전극 D와 리드선 E의 심선부 Ea를 고정하는 납재 F가 산화함으로써, 양자의 접속부에서의 기계적 강도를 저하시킬 우려가 있는 것이 판명되었다. 즉, 엑시머 램프 A로부터 방사되는 자외선이 엑시머 램프의 주위에 존재하는 산소에 흡수되어 엑시머 램프의 주위에 오존을 생성하고, 생성한 오존이 납재 F의 표면을 산화시킴으로써 납재 F가 열화되는 것으로 생각된다. 이와 같이, 전극과 리드를 고정하는 납재가 열화되면, 다음의 세정을 행하기 위한 피처리체가 반송될 때까지의 사이에 엑시머 램프를 소등하고 대기할 때 또는 엑시머 램프를 점등 구동하여 피처리체의 세정을 실시하고 있을 때 등에 납재가 파손하여 리드가 전극으로부터 이반함으로써, 피처리체에 대해 자외선을 조사하고 싶을 때에 엑시머 램프를 점등시키는 것이 불가능하게 되거나, 피처리체에 대해 자외선을 조사하고 있을 때 엑시머 램프가 갑자기 의도하지 않게 꺼지게 되는 문제가 생긴다.In the ultraviolet irradiation processing apparatus of patent document 1, the brazing filler metal F which fixes the electrode D of the excimer lamp A and the core wire part Ea of the lead wire E shown in FIG. 8 for the following reasons oxidizes the mechanical strength in both connection parts. It turned out that it might fall. That is, it is thought that the ultraviolet ray emitted from the excimer lamp A is absorbed by the oxygen present around the excimer lamp to generate ozone around the excimer lamp, and the lead material F deteriorates by oxidizing the surface of the lead material F. . Thus, when the brazing material which fixes an electrode and a lead deteriorates, when an excimer lamp turns off and waits, or when an excimer lamp is lighted and driven until the to-be-processed object for next washing | cleaning is conveyed, it wash | cleans a to-be-processed object When the solder is damaged and the lead is separated from the electrode, the excimer lamp becomes impossible to turn on when it is desired to irradiate ultraviolet light to the object, or the excimer lamp is irradiated with ultraviolet light on the object. There is a problem that suddenly turns off unintentionally.

이상으로부터, 본 발명의 목적은, 한 쌍의 전극이 방전 용기의 밀폐 공간을 사이에 두고, 대향하여 형성되어 있음과 더불어, 각각의 전극과 각각의 전극에 전력을 공급하기 위한 각각의 리드선이 납재에 의해 고정된 엑시머 램프에서, 납재의 열화를 억제할 수 있는 엑시머 램프 및 당해 엑시머 램프의 제조 방법을 제공하는 것에 있다.In view of the above, an object of the present invention is that a pair of electrodes are formed to face each other with a sealed space of a discharge vessel interposed therebetween, and each lead wire for supplying electric power to each electrode and each electrode is made of a solder material. In the excimer lamp fixed by this, it is providing the excimer lamp which can suppress deterioration of a brazing material, and the manufacturing method of the said excimer lamp.

본 발명은, 유전체 재료로 구성되는 방전 용기의 내부에 형성된 밀폐 공간에 방전용 가스가 봉입되어, 금속 박막으로 이루어지는 한 쌍의 전극이 상기 밀폐 공간을 사이에 두고, 상기 방전 용기의 외표면에 형성되어, 각각의 전극에 급전하기 위한 각각의 리드선이 각각의 전극에 납재를 통해 전기적으로 접속된 엑시머 램프에서, 상기 납재의 주위에는 보호막이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.According to the present invention, a gas for discharge is enclosed in a sealed space formed inside a discharge vessel made of a dielectric material, and a pair of electrodes made of a metal thin film is formed on the outer surface of the discharge vessel with the sealed space therebetween. In the excimer lamp in which each lead wire for feeding power to each electrode is electrically connected to each electrode through a brazing filler material, a protective film is formed around the brazing filler material.

또한, 상기 리드선에는 판 형상의 급전 단자가 접속되어 있고, 당해 급전 단자와 상기 전극이 상기 납재에 의해 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.A plate-shaped feed terminal is connected to the lead wire, and the feed terminal and the electrode are connected by the brazing material.

또한, 상기 급전 단자의 주위에 상기 보호막이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.The protective film is formed around the power supply terminal.

또한, 상기 보호막이 실리카로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the protective film is characterized by consisting of silica.

또한, 상기 보호막이 폴리시라잔 용액을 도포하여, 실리카로 전화(轉化)시킴으로써 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.Moreover, the said protective film is formed by apply | coating a polysirazane solution and converting into silica. It is characterized by the above-mentioned.

또한, 상기 전극은, 상기 리드선이 접속된 개소와 그 이외의 개소가 이반되어 있음과 더불어 당해 리드선이 접속된 개소와 그 이외의 개소가 도전성 페이스트에 의해 전기적으로 접속되어, 당해 도전성 페이스트의 주위에는 상기 보호막이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In addition, the electrode is connected to the place where the lead wire is connected and other places, and the place to which the lead wire is connected and other places are electrically connected by the conductive paste, The protective film is formed.

또한, 본 발명은, 유전체 재료로 구성되는 방전 용기의 내부에 형성된 밀폐 공간에 방전용 가스가 봉입되고 금속 박막으로 이루어지는 한 쌍의 전극이 상기 밀폐 공간을 사이에 두고, 상기 방전 용기의 외표면에 형성되고, 각각의 전극에 급전하기 위한 각각의 리드선이 각각의 전극에 납재를 통해 전기적으로 접속된 엑시머 램프의 제조 방법에 대해, 이하의 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention is a gas discharge is sealed in a sealed space formed inside the discharge vessel made of a dielectric material, a pair of electrodes made of a metal thin film interposed between the sealed space, the outer surface of the discharge vessel The manufacturing method of the excimer lamp formed, and each lead wire for supplying electric power to each electrode electrically connected to each electrode via the brazing filler material is provided with the following processes.

1, 방전 용기의 외표면에 금속 박막으로 이루어지는 전극을 형성하는 공정1, the step of forming an electrode made of a metal thin film on the outer surface of the discharge vessel

2, 1의 공정 후에 납재를 가열 용융시킴으로써 외부 전극과 리드선을 납재를 통해 전기적으로 접속하는 공정The process of electrically connecting an external electrode and a lead wire through a brazing material by heat-melting a brazing material after the process of 2 and 1

3, 2의 공정 후에 납재의 주위에 폴리시라잔 용액을 도포함과 더불어 건조시켜 납재의 주위에 보호막을 형성하는 공정After the steps 3 and 2, the polysilazane solution is coated and dried around the brazing filler metal to form a protective film around the brazing filler metal.

본 발명의 엑시머 램프에 의하면, 한 쌍의 전극이 방전 용기의 밀폐 공간을 사이에 두고, 대향하여 형성되어 있음과 더불어, 각각의 전극과 각각의 전극에 전력을 공급하기 위한 각각의 리드선이 납재에 의해 고정된 것에 있어서, 납재의 주위에는 보호막이 형성되어 있으므로, 엑시머 램프의 주위에 발생한 오존에 의해 납재가 산화되어 열화하는 것을 확실히 방지할 수 있다. 그 때문에, 다음의 피처리체가 반송되어 올 때까지의 대기 기간이나 방전 램프의 점등 구동시에서 납재가 파손하는 일이 없고, 리드선이 전극으로부터 이반하는 일이 없다. 따라서, 엑시머 램프를 점등시키고 싶을 때에 확실히 점등시킬 수 있고, 피처리체에 대해 자외선을 조사하여 피처리체를 세정하는 사이에 의도하지 않게 엑시머 램프가 꺼지는 일을 확실히 방지할 수 있다.According to the excimer lamp of the present invention, a pair of electrodes are formed to face each other with the sealed space of the discharge vessel interposed therebetween, and each lead wire for supplying power to each electrode and each electrode is connected to the brazing filler metal. Since the protective film is formed around the brazing filler metal, the brazing filler metal can be reliably prevented from being oxidized and deteriorated by ozone generated around the excimer lamp. Therefore, the brazing filler metal does not break in the standby period until the next to-be-processed object is conveyed or during the lighting drive of the discharge lamp, and the lead wire does not carry over from the electrode. Therefore, it is possible to reliably turn on the excimer lamp when it is desired to be turned on, and it is possible to reliably prevent the excimer lamp from being unintentionally turned off while irradiating an object with ultraviolet rays and cleaning the object.

또한, 상기 리드선에는 급전 단자가 접속되어, 급전 단자와 상기 전극이 상기 납재에 의해 고정되어 있으므로, 급전 단자와 외부 전극의 접속을 더 강고하게 할 수 있다.In addition, a feed terminal is connected to the lead wire, and the feed terminal and the electrode are fixed by the brazing material, so that the connection between the feed terminal and the external electrode can be further strengthened.

또한, 상기 급전 단자의 주위에는 상기 보호막이 형성되어 있으므로, 오존에 의해 급전 단자가 열화되는 일을 확실히 방지할 수 있다.In addition, since the protective film is formed around the feed terminal, it is possible to reliably prevent the feed terminal from being deteriorated by ozone.

또한, 상기 보호막이 실리카로 이루어져 있으므로, 납재의 열화를 더 확실히 방지할 수 있다.In addition, since the protective film is made of silica, it is possible to more reliably prevent deterioration of the brazing material.

또한, 상기 보호막이 폴리시라잔 용액을 도포 건조시킴으로써 형성되어 있으므로, 고온의 가열 처리를 행하지 않고 보호막을 형성할 수 있다. 그 때문에, 납재가 녹지 않는 정도의 온도가 되는 열처리에 의해 보호막을 형성할 수 있기 때문에, 납재가 고정부 이외의 개소에 흘러 버리거나, 금속 전극이 납재 중에 분산되어 벗겨지게 되는 일이 없어지는 이점이 있다.Moreover, since the said protective film is formed by apply | coating and drying a polysirazane solution, a protective film can be formed without performing high temperature heat processing. Therefore, since the protective film can be formed by a heat treatment at a temperature at which the brazing filler material does not melt, the brazing filler material does not flow out of the fixed portion or the metal electrode is dispersed and peeled off in the brazing filler metal. have.

또한, 상기 전극은, 상기 리드선이 접속된 개소와 그 이외의 개소가 이반되어 있음과 더불어 당해 리드선이 접속된 개소와 그 이외의 개소가 도전성 페이스트에 의해 전기적으로 접속되어, 당해 도전성 페이스트의 주위에는 상기 보호막이 형성되어 있다. 따라서, 리드선이 접속된 개소와 그 이외의 개소를 전기적으로 접속하는 도전성 페이스트가 오존에 의해 열화될 우려가 없다.In addition, the electrode is connected to the place where the lead wire is connected and other places, and the place to which the lead wire is connected and other places are electrically connected by the conductive paste, The protective film is formed. Therefore, there is no possibility that the electrically conductive paste which electrically connects the place to which the lead wire was connected, and the other place is deteriorated by ozone.

또한, 상기한 본 발명의 제조 방법에 의하면, 폴리시라잔 용액을 이용함으로써, 납재가 녹지 않는 정도의 온도로 열처리를 행함으로써 납재의 주위에 용이하게 실리카로 이루어지는 보호막을 형성할 수 있으므로, 납땜부의 신뢰성을 해치지 않고 실리카막을 형성하여, 납땜부의 내구성을 향상할 수 있다는 이점이 있다.In addition, according to the above-described manufacturing method of the present invention, by using a polysilazane solution, heat treatment is performed at a temperature at which the braze material does not melt, so that a protective film made of silica can be easily formed around the braze material. There is an advantage that the silica film can be formed without impairing the reliability, thereby improving the durability of the soldered portion.

도 1은, 본 발명의 엑시머 램프의 전체의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 2 는, 본 발명의 엑시머 램프에서의 전극과 리드선의 접속부를 확대하여 나타내는 단면도이다. 도 2에서는, 편의를 의해 한쪽의 전극과 한쪽의 리드선의 접속 부분의 구성만 표시한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The perspective view which shows the structure of the whole excimer lamp of this invention. Fig. 2 is an enlarged cross-sectional view of a connecting portion between an electrode and a lead wire in the excimer lamp of the present invention. In FIG. 2, only the structure of the connection part of one electrode and one lead wire is shown for convenience.

엑시머 램프(100)는, 유전체 재료인 합성 석영 유리로 구성된, 네개 모서리가 동그라미를 가지는 평평한 각통 형상의 방전 용기(1)를 가진다. 방전 용기(1)의 내부에 형성된 밀폐 공간 S에는, 예를 들면 크세논 가스 등의 희가스나, 희가스에 염소 가스 등의 할로겐 가스를 혼합한 것이 방전 가스로서 충전되어 있고, 가스의 종류에 따라 다른 파장의 엑시머광을 발광시킬 수 있다. 방전 가스는, 통상은, 10~100kPa 정도의 압력으로 충전되어 있다.The excimer lamp 100 has a flat rectangular cylindrical discharge vessel 1 having four corners having circles, composed of synthetic quartz glass, which is a dielectric material. In the sealed space S formed inside the discharge vessel 1, a mixture of a rare gas such as xenon gas or a halogen gas such as chlorine gas in the rare gas is filled as the discharge gas, and the wavelength varies depending on the type of gas. Excimer light can be emitted. The discharge gas is usually filled at a pressure of about 10 to 100 kPa.

방전 용기(1)는, 지면에서 위쪽 측에 위치하는 평탄벽(11)과, 지면에서 아래쪽측에 위치하는 평탄벽(12)이 상하 방향으로 서로 이간하여 평행하게 늘어나 있음과 더불어, 평탄벽(11), 평탄벽(12)의 각각 폭방향(관축에 대해 직교하는 방향)의 단부에는 각각 만곡부(13)가 연속적으로 형성되어 있다. 이러한 방전 용기(1)는, 도 1의 지면에서 상하로 위치하는 평탄벽(11, 12)의 어느 것이 피처리체를 향해 자외선을 출사하기 위한 광출사면을 형성한다. 예를 들면, 방전 용기(1)의 아래쪽으로 피처리체를 배치할 경우에는, 아래쪽측에 위치하는 평탄벽(12)이 광출사면이 된다. 이러한 방전 용기(1)의 수치예를 나타내면, 관축방향의 전체 길이가 904㎜, 발광 길이(전극이 배설되어 있는 영역의 관축방향의 전체 길이)가 790㎜, 좌우의 폭방향의 길이가 43㎜, 상하의 높이 방향의 길이가 15㎜이다.The discharge vessel 1 has a flat wall 11 positioned on the upper side from the ground, and a flat wall 12 positioned on the lower side from the ground, which extends in parallel to each other in the vertical direction, and has a flat wall ( 11) At each end of the flat wall 12 in the width direction (the direction orthogonal to the tube axis), curved portions 13 are formed continuously, respectively. Such a discharge container 1 forms a light exit surface for emitting ultraviolet rays toward one of the flat walls 11 and 12, which are positioned up and down on the surface of FIG. For example, when arranging a workpiece under the discharge vessel 1, the flat wall 12 located on the lower side becomes a light exit surface. In the numerical example of such a discharge vessel 1, the total length in the tube axis direction is 904 mm, the emission length (the total length in the tube axis direction of the region where the electrode is disposed) is 790 mm, and the length in the left and right width directions is 43 mm. The length of the up-down height direction is 15 mm.

평탄벽(11, 12)에는, 각각 전극(3, 4)이 배치되어 있다. 전극(3, 4)은, 예를 들면, 금, 은, 구리, 니켈, 크롬 등의 내식성 금속을 평탄벽(11, 12) 상에 인쇄 또는 증착함으로써, 예를 들면 두께가 0.1㎛~수십㎛가 되도록 형성되어 있다. 예를 들면, 상기한 바와 같이 아래쪽측에 위치하는 평탄벽(12)이 광출사면이 될 경우에는, 전극(4)은 상기의 금속을 격자 형태로 인쇄 또는 증착함으로써 광투과성을 가지도록 형성된다. 전극(3)은 급전 장치(14)의 고압측의 리드선(15)에 접속되고, 아래쪽으로 위치하는 전극(4)는 접지측의 리드선(16)에 접속된다.Electrodes 3 and 4 are arranged on the flat walls 11 and 12, respectively. The electrodes 3 and 4 are formed by printing or depositing corrosion resistant metals such as gold, silver, copper, nickel and chromium on the flat walls 11 and 12, for example, having a thickness of 0.1 μm to several tens of μm. It is formed to be. For example, when the flat wall 12 located on the lower side becomes a light exit surface as described above, the electrode 4 is formed to have light transparency by printing or depositing the metal in the form of a lattice. . The electrode 3 is connected to the lead wire 15 on the high voltage side of the power feeding device 14, and the electrode 4 positioned downward is connected to the lead wire 16 on the ground side.

리드선(15)은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 절연 재료가 제거됨으로써 노출되어 있는 심선부(15a)와 심선의 주위를 절연 재료로 덮인 피복부(15b)로 구성되고, 심선부(15a)가 전극(3)에 납재(17)를 이용하여 납땜됨으로써, 전극(3)에 전기적 및 기계적으로 고정되어 있다. 납재(17)는, 리드선(15)의 심선부(15a)의 주위를 돌려 싸듯이 설치되어 있다. 납재(17)의 주위에는, 납재(17)가 외부에 노출하지 않도록 내오존성 재료로 이루어지는 보호막(18)이 형성되어 있다. 납재(17)는, 예를 들면, Sn-Pb, Sn-In 등이지만, 오존 내성이 낮은 것이 일반적이다. 보호막(18)을 형성하는 내오존성 재료로서는, 예를 들면 실리카, 오키쯔모(상품명), 스미세람(상품명) 등이지만, 후술하는 이유로 특히 실리카인 것이 바람직하다.As shown in FIG. 2, the lead wire 15 is comprised from the core part 15a exposed by the removal of an insulating material, and the coating part 15b which covered the periphery of the core wire with the insulating material, and the core wire part 15a is By soldering to the electrode 3 using the brazing filler material 17, it is electrically and mechanically fixed to the electrode 3. The brazing filler material 17 is provided so as to wrap the periphery of the core part 15a of the lead wire 15. Around the brazing material 17, a protective film 18 made of an ozone resistant material is formed so that the brazing material 17 is not exposed to the outside. Although the brazing filler material 17 is Sn-Pb, Sn-In, etc., it is common that ozone resistance is low. Examples of the ozone resistant material for forming the protective film 18 include silica, Okitsumo (trade name), Sumeram (trade name), and the like, but for example, silica is particularly preferable.

도 3은, 본 발명의 엑시머 램프의 제조 방법을 설명하기 위한 개념도이다.3 is a conceptual diagram for explaining a method for manufacturing an excimer lamp of the present invention.

〈제1 공정〉<The first process>

도 3(가)에 나타내는 바와 같이, 합성 석영 유리로 이루어지는 평평한 통 형상의 방전 용기(1)의 위쪽 측에 위치하는 평탄벽(11) 상에 상기한 금속을 인쇄 또는 증착함으로써 금속 박막으로 이루어지는 전극(3)을 형성한다.As shown in Fig. 3A, an electrode made of a metal thin film by printing or depositing the above metal on the flat wall 11 located above the flat cylindrical discharge vessel 1 made of synthetic quartz glass. (3) is formed.

〈제2 공정〉<The second process>

제1 공정 후에, 도 3(나)에 나타내는 바와 같이, 리드선(15)의 심선부(15a)를 전극(3) 상에 배치한 상태에서 양자의 근방에 납재(17)의 덩어리를 배치하여 300℃ 정도의 온도로 납재를 가열하여 용융시킨다. 용융한 납재를 상온까지 자연 냉각함으로써 심선부(15a)와 전극(3)을 고정한다.After the first step, as shown in FIG. 3 (b), in the state where the core part 15a of the lead wire 15 is disposed on the electrode 3, a mass of the brazing filler material 17 is arranged in the vicinity of both, and is 300. The braze is heated and melted at a temperature of about ° C. The core wire portion 15a and the electrode 3 are fixed by naturally cooling the molten brazing filler metal to room temperature.

〈제3 공정〉<The third process>

제2 공정 후에, 도 3(다)에 나타내는 바와 같이, 납재(17)의 주위에 브러시를 이용해 도포한 폴리시라잔 용액(18')에 대해 대기 중에서 90℃정도의 온도로 1시간의 열처리를 행한다. 폴리시라잔 용액(18')을 상온까지 자연 냉각하여 건조시킴으로써, 도 3(라)에 나타내는 바와 같이 납재(17)의 주위에 실리카로 이루어지는 보호막(18)을 형성한다.After the second step, as shown in FIG. 3 (C), the polysilazane solution 18 'coated with the brush around the brazing material 17 was subjected to heat treatment for 1 hour at a temperature of about 90 ° C in the air. Do it. The polysilazane solution 18 'is naturally cooled to room temperature and dried to form a protective film 18 made of silica around the brazing filler material 17 as shown in FIG.

상기의 제3 공정에서 폴리시라잔 용액을 건조시키면, 폴리시라잔은 대기 중의 수분이나 산소와 결합함으로써 실리카로 전화한다. 폴리시라잔 용액을 사용함으로써, 과도하게 고온의 열처리를 실시하지 않아도 보호막(18)을 형성할 수 있다. 또한, 폴리시라잔을 액체 상태로 사용함으로써, 표면 형상이 불안정하게 되기 쉬운 납재(17)의 주위의 구석까지 도포할 수 있기 때문에, 납재(17)의 외표면이 외기와 완전하게 차단되도록 보호막(18)을 형성하는 것이 용이하게 된다.When the polysilazane solution is dried in the third step, the polysilazane is converted into silica by combining with moisture or oxygen in the air. By using the polysilazane solution, the protective film 18 can be formed without performing excessively high temperature heat processing. In addition, since the polysilazane is used in a liquid state, since the surface shape can be applied to the corners around the brazing filler material 17, the outer surface of the brazing filler material 17 is completely shielded from the outside air. 18) it becomes easy to form.

상기의 제3 공정에서 사용하는 폴리시라잔 용액은, 예를 들면 다음과 같이 하여 조합한다. 원료인 퍼하이드로폴리시라잔과 용매인 크실렌을 혼합하여, 10~20% 정도의 퍼하이드로폴리시라잔 용액을 제작한다. 용매로서 디부틸에테르, 솔베소, 타벤 등을 이용해도 좋다. 제작된 퍼하이드로폴리시라잔 용액에 대해 팔라듐계 또는 아민계의 촉매를 첨가한다. 촉매를 첨가함으로써, 보다 저온의 열처리로 실리카로 이루어지는 보호막을 형성할 수 있다.The polysirazane solution used in said 3rd process is combined as follows, for example. Perhydropolysilazane, which is a raw material, and xylene, which is a solvent, are mixed to prepare a perhydropolysilazane solution of about 10 to 20%. As the solvent, dibutyl ether, sorbeth, tabene or the like may be used. A palladium-based or amine-based catalyst is added to the prepared perhydropolysilazane solution. By adding a catalyst, a protective film made of silica can be formed by a lower temperature heat treatment.

또한, 상기의 제3 공정에서 납재의 주위에 도포한 폴리시라잔 용액에 대해 열처리를 행하는 것은, 폴리시라잔을 단시간에 실리카 전화시키기 위함이다. 열처리를 바꾸고 가습 처리를 행함으로써도 단시간으로 실리카 전화시킬 수 있다. 실리카 전화에 필요한 시간을 단축할 필요가 없으면, 열처리 등을 행할 필요는 없다.In addition, the heat treatment is performed on the polysirazan solution coated around the brazing filler material in the third step, in order to convert the polysirazanes into silica in a short time. By changing the heat treatment and performing a humidification treatment, silica can be converted in a short time. If it is not necessary to shorten the time required for silica conversion, it is not necessary to perform heat treatment or the like.

도 4는, 본 발명에 관련되는 엑시머 램프를 구비하는 자외선 조사 처리 장치의 구성의 개략을 나타낸 개념도이다.4 is a conceptual diagram showing an outline of a configuration of an ultraviolet irradiation processing apparatus including an excimer lamp according to the present invention.

자외선 조사 처리 장치는, 질소 등의 불활성 가스가 충전된 케이스(40) 내에 배치된 엑시머 램프(100)로부터 방사되는 자외선을, 복수의 롤러(42)에 의해 케이스(40)의 아래쪽을 수평 방향으로 반송되는 피처리체 W에 대해 조사하여, 그 피처리체 W의 표면의 세정 등의 처리를 행하는 것이다. 피처리체 W는, 실리콘 웨이퍼 기판, 액정 디스플레이 제조용, 플라즈마 디스플레이 패널 제조용 등의 플랫 패널 디스플레이 제조용의 유리기판 등이다. 이러한 기판의 표면은, 각 제조 공정 경과에 의해 상태가 다르게 되어 있어, 레지스트, 투명 도전막, 전기 회로 등을 설치한 상태로 되어 있다.The ultraviolet irradiation processing apparatus radiates ultraviolet rays emitted from the excimer lamp 100 arranged in the case 40 filled with an inert gas such as nitrogen, and the lower portion of the case 40 in the horizontal direction by the plurality of rollers 42. It irradiates about the to-be-processed object W, and wash | cleans the surface of the to-be-processed object W, etc., and performs it. The target object W is a glass substrate for flat panel display manufacture, such as a silicon wafer substrate, a liquid crystal display manufacture, and a plasma display panel manufacture. The surface of such a board | substrate changes with the progress of each manufacturing process, and is in the state which provided the resist, the transparent conductive film, an electric circuit, etc.

엑시머 램프(100)를 수용하는 케이스(40)는, 피처리체 W에 대향하는 아래쪽측이 개방되어 있고, 케이스(40)의 내부에는 피처리체 W로부터 수㎜ 정도 떨어진 위치에 엑시머 램프(100)가 배치됨과 더불어, 그 엑시머 램프(100)의 위쪽 측에는 가 스 분출구(41a)를 가지는 불활성 가스 방출 기구(41)가 배치되어 있다. 케이스(40)의 내부는, 엑시머 램프(100)로부터 방사되는 자외선이 산소에 흡수됨으로써 감쇠하지 않고, 질소 가스 등의 불활성 가스로 치환되고, 특히, 엑시머 램프(100)와 피처리체 W 사이에는 반응에 필요한 최저한의 산소 농도가 되도록 치환되어 있다. 불활성 가스로서는, 질소 외에, 헬륨, 알곤, 네온 등을 사용할 수 있다.As for the case 40 which accommodates the excimer lamp 100, the lower side which opposes the to-be-processed object W is opened, and the excimer lamp 100 is located in the case 40 in the position which is several mm away from the to-be-processed object W. In addition, an inert gas discharge mechanism 41 having a gas blowing port 41a is disposed on the upper side of the excimer lamp 100. The inside of the case 40 is replaced with an inert gas such as nitrogen gas, without being attenuated by the absorption of ultraviolet rays emitted from the excimer lamp 100 into oxygen, and in particular, the reaction between the excimer lamp 100 and the object to be processed W. It is substituted so that it may become the minimum oxygen concentration required for. As inert gas, helium, argon, neon, etc. can be used besides nitrogen.

이러한 자외선 조사 처리 장치는, 반송되어 온 피처리체 W에 의해 케이스(40)의 아래쪽측의 개구가 거의 닫혀진 상태가 되면, 불활성 가스 방출 기구(41)로부터의 불활성 가스가 케이스(40) 내에 충만하여 내부의 산소 농도가 저하한다. 일례를 들면, 피처리체 W의 폭(11)이 1100㎜, 엑시머 램프(100)의 전체 길이가 1300㎜, 케이스(40)의 전체 길이가 1500㎜, 높이가 50㎜, 폭이 150㎜ 불활성 가스 방출 기구(41)로부터 방출되는 불활성 가스의 유량이 300L/분일 경우에서, 피처리체 W가 케이스(40)의 아래쪽측의 통로를 거의 막았을 때에, 케이스(40) 내의 산소 농도는 약 0.5%가 된다.In such an ultraviolet irradiation processing apparatus, when the opening of the lower side of the case 40 is almost closed by the to-be-processed object W, the inert gas from the inert gas discharge mechanism 41 is filled in the case 40, and The oxygen concentration inside falls. For example, the width 11 of the workpiece W is 1100 mm, the total length of the excimer lamp 100 is 1300 mm, the total length of the case 40 is 1500 mm, the height is 50 mm, and the width is 150 mm inert gas. In the case where the flow rate of the inert gas discharged from the discharge mechanism 41 is 300 L / min, when the object W almost closes the passage on the lower side of the case 40, the oxygen concentration in the case 40 is about 0.5%. do.

이상의 도 4에 나타내는 자외선 조사 처리 장치에서는, 케이스(40)의 내부는 완전하게 밀폐되어 있지 않기 때문에 케이스(40)의 내부에 산소가 잔존하기 쉬운 환경에 있다. 그런데, 본 발명의 엑시머 램프는, 이와 같이 산소가 잔존하므로 오존이 발생하기 쉬운 환경화에서 점등 구동시켰다고 해도, 전극(3)과 리드선(15)의 심선부(15a)를 고정하는 납재(17)의 주위에 내오존성 재료로 이루어지는 보호막(18)이 형성되어 있으므로, 엑시머 램프(100)의 주위에 발생한 오존에 의해 납재(17)가 산화되어 열화하지 않는다. 그 때문에, 다음에 세정하기 위한 피처리체가 반송되어 올 때까지의 대기 기간 또는 피처리체에 대해 자외선을 조사하여 피처리체를 세정하는 사이에 리드선(15)의 심선부(15a)가 전극(3)으로부터 이반하는 것이 확실히 방지된다. 따라서, 엑시머 램프를 점등시키고 싶을 때에 점등시킬 수 없게 되거나 피처리체에 대해 자외선을 조사하는 사이에 의도하지 않게 엑시머 램프가 꺼져버린다고 하는 문제가 생기지 않는다.In the ultraviolet irradiation processing apparatus shown in FIG. 4 above, since the inside of the case 40 is not completely sealed, it exists in the environment where oxygen tends to remain in the inside of the case 40. By the way, the excimer lamp of the present invention is a brazing filler material 17 for fixing the core portion 15a of the electrode 3 and the lead wire 15, even if the excimer lamp of the present invention is driven and turned on in an environment where ozone is likely to be generated because oxygen remains. Since the protective film 18 which consists of ozone-resistant materials is formed around, the brazing filler metal 17 is not oxidized by ozone generated around the excimer lamp 100 and does not deteriorate. Therefore, the core wire portion 15a of the lead wire 15 is connected to the electrode 3 between the waiting period until the object to be cleaned next is conveyed or the object is irradiated with ultraviolet rays to be cleaned. The separation from is certainly prevented. Accordingly, there is no problem that the excimer lamp cannot be turned on when the excimer lamp is desired to be turned on or that the excimer lamp is unintentionally turned off while irradiating ultraviolet rays to the target object.

또한, 본 발명의 엑시머 램프의 제조 방법에 의하면, 상기한 제3 공정에 나타내는 바와 같이 보호막(18)을 형성하기 위해 폴리시라잔 용액을 이용하므로, 과도하게 고온의 열처리를 행하지 않고 보호막(18)을 형성할 수 있다. 그 때문에, 제3 공정에서의 열처리에 의해 납재(17)가 과도하게 고온 상태가 되는 것을 회피할 수 있고, 납재(17)가 재차 용융하는 것을 확실히 회피할 수 있다. 제3 공정에서, 납재가 재차 용융하면 납재가 고정부 이외의 개소에 흘러 버리거나 금속 전극이 납재 중에 분산되어 벗겨지게 되는 문제가 생길 우려가 있다. 또, 액체의 폴리시라잔이 납재(17)의 외표면의 구석까지 도포되므로 납재(17)의 외표면이 완전하게 외기로부터 차단되도록 보호막(18)을 형성하는 것이 용이하게 된다.Moreover, according to the manufacturing method of the excimer lamp of this invention, since the polysilazane solution is used in order to form the protective film 18 as shown to said 3rd process, the protective film 18 is not performed without excessively high temperature heat processing. Can be formed. Therefore, the brazing filler metal 17 can be avoided from becoming excessively high temperature by the heat treatment in the third step, and the brazing filler metal 17 can be reliably avoided again. In the third step, when the brazing filler material is melted again, there is a fear that the brazing filler material will flow to a portion other than the fixed portion, or the metal electrode will be dispersed and peeled off in the brazing filler material. In addition, since the liquid polysilazane is applied to the corner of the outer surface of the brazing filler material 17, it is easy to form the protective film 18 so that the outer surface of the brazing filler material 17 is completely blocked from the outside air.

도 5 내지 도 7은, 본 발명의 엑시머 램프에 관련되는 다른 실시 형태를 설명하기 위한 주요부 확대도이다. 도 5 내지 도 7에서는, 도 1, 2에서 공통되는 개소에 대해서는 도 1, 2에서 부여한 부호와 동일한 부호를 부여하고 설명은 생략한다.5-7 is an enlarged view of a principal part for demonstrating another embodiment which concerns on the excimer lamp of this invention. 5-7, the code | symbol same as the code | symbol provided in FIG. 1, 2 is attached | subjected about the location common in FIG. 1, 2, and description is abbreviate | omitted.

도 5에 나타내는 형태에 의하면, 리드선(15)은, 심선부(15a), 피복부(15b) 이외에, 심선부(15a)를 묶는 니켈제의 슬리브(19)와 당해 슬리브(19)에 용접된 판 형상의 급전 단자(20)를 구비한다. 리드선(15)은, 판 형상의 접속 단자(20)가 납재(17)에 의해 전극(3)에 고정됨으로써, 급전 단자(20)를 통해 전극(3)에 전기적으로 접속되어 있다. 슬리브(19) 및 급전 단자(20)는, 엑시머 램프의 주위에 발생한 오존에 의해 산화하는 것에 따라 열화되는 것을 방지하기 때문에, 각각 내오존성 재료에 의해 구성되어 있다. 예를 들면, 슬리브(19)는 니켈, 급전 단자(20)는 니켈에 의해 구성되어 있다.According to the form shown in FIG. 5, the lead wire 15 was welded to the sleeve 19 made of nickel and the said sleeve 19 which tie the core wire part 15a other than the core wire part 15a and the coating part 15b. The plate-shaped feed terminal 20 is provided. The lead wire 15 is electrically connected to the electrode 3 via the feed terminal 20 by fixing the plate-shaped connecting terminal 20 to the electrode 3 by the brazing filler material 17. The sleeve 19 and the power supply terminal 20 are each made of an ozone resistant material because they prevent deterioration due to oxidation by ozone generated around the excimer lamp. For example, the sleeve 19 is made of nickel, and the power supply terminal 20 is made of nickel.

이와 같은 도 5에 나타내는 실시 형태에 의하면, 이하에 설명하는 바와 같이 실용상의 효과를 기대할 수 있다. 리드선(15)의 심선부(15a)는, 유연성을 가지기 위해 복수의 가는 선으로 나누어져 있으므로, 급전 단자(20)의 표면에 용접하는 것이 어렵고, 또, 복수의 가는 선이 수염 형상으로 뛰쳐나오기 쉽기 때문에 다른 주변 기기 등에 접촉하여 오작동하는 원인이 될 우려가 있다. 따라서, 복수의 가는 선으로 이루어지는 심선부(15a)에 슬리브(19)를 설치함으로써 슬리브(19)를 급전 단자(20)에 용이하게 용접할 수 있음과 더불어, 가는 선이 수염 형상으로 뛰쳐나오는 것을 회피할 수 있으므로 엑시머 램프의 주변 기기에의 악영향을 저감할 수 있다.According to such embodiment shown in FIG. 5, a practical effect can be expected as demonstrated below. Since the core part 15a of the lead wire 15 is divided into a plurality of fine wires for flexibility, it is difficult to weld to the surface of the power supply terminal 20, and the plurality of fine wires jump out in a beard shape. It is easy to come in contact with other peripherals and cause a malfunction. Therefore, the sleeve 19 can be easily welded to the power supply terminal 20 by providing the sleeve 19 in the core wire portion 15a formed of a plurality of thin wires, and the thin wires protrude in the beard shape. Since it can avoid, the bad influence to the peripheral apparatus of an excimer lamp can be reduced.

또, 박판 형상의 급전 단자(20)를 설치함으로서, 심선부(15a) 혹은 심선부(15a)를 묶는 슬리브(19)를 전극(3)에 대해 직접적으로 납땜할 경우에 비하면, 전극(3)과의 접촉 면적을 확보할 수 있음과 더불어 열용량을 전극(3)에 근사시킬 수 있으므로 납재(17)에 의한 고정을 용이하게 행할 수 있다. 그 때문에, 급전 단자(20)와 전극(3)의 기계적인 접속 강도가 높아지고, 리드선(15)과 전극(3)의 전기 적인 접속의 신뢰성을 높은 것으로 할 수 있다. 판 형상의 급전 단자(20)는, 그 열용량이 전극(3)의 열용량에 가까운 것이 바람직하다.Moreover, by providing the thin plate-shaped feed terminal 20, the electrode 3 is compared with the case where the core portion 15a or the sleeve 19 for binding the core portion 15a is directly soldered to the electrode 3. It is possible to secure the contact area with and to approximate the heat capacity to the electrode 3, so that the fixing by the brazing filler material 17 can be easily performed. Therefore, the mechanical connection strength of the power supply terminal 20 and the electrode 3 becomes high, and the reliability of the electrical connection of the lead wire 15 and the electrode 3 can be made high. It is preferable that the heat capacity of the plate-shaped feed terminal 20 is close to the heat capacity of the electrode 3.

또한, 슬리브(19), 급전 단자(20)는, 반드시 내오존성 재료로 구성되지 않아도 된다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 납재(17), 도전성의 슬리브(19) 및 판 형상의 급전 단자(20)의 주위에, 이들의 외표면이 외기에 접하지 않도록 실리카로 이루어지는 보호막(18)이 형성할 수 있다. 도 6에 나타내는 실시 형태에 의하면, 슬리브(19), 급전 단자(20)가 내오존성이 낮은 재료이라고 해도, 이들이 오존에 의해 산화될 우려가 없다.In addition, the sleeve 19 and the power supply terminal 20 do not necessarily need to be comprised with an ozone resistant material. As shown in FIG. 6, around the brazing material 17, the electroconductive sleeve 19, and the plate-shaped feed terminal 20, the protective film 18 which consists of silica is formed so that these outer surfaces may not contact external air. can do. According to the embodiment shown in FIG. 6, even if the sleeve 19 and the power supply terminal 20 are materials with low ozone resistance, they do not have to be oxidized by ozone.

도 7에 나타내는 실시 형태에 의하면, 전극(3)은, 납재(17)에 의해 리드선(15)의 심선부(15a)가 고정되어 있는 리드선 고정부(3a)와, 리드선 고정부(3a) 이외의 방전 형성부(3b)로 분리되어 있고, 리드선 고정부(3a)와 방전 형성부(3b)가 별체의 도전성 페이스트(21)에 의해 도통이 확보되어 있다. 도전성 페이스트(21)는, 예를 들면 에폭시 수지에 은이나 니켈 필러를 혼합한 것이 이용되어 있고, 통상은 오존 내성이 낮은 재료로 구성되어 있다. 그리고, 납재(17) 및 도전성 페이스트(21)의 주위에는 실리카로 이루어지는 보호막(18)이 형성되어 있고, 보호막(18)에 의해 납재(17) 및 도전성 페이스트(21)의 외표면이 외기로부터 차단되어 있다.According to the embodiment shown in FIG. 7, the electrode 3 is other than the lead wire fixing part 3a to which the core wire part 15a of the lead wire 15 is fixed by the brazing filler material 17, and the lead wire fixing part 3a. It is separated by the discharge formation part 3b of the, and conduction is ensured by the electrically conductive paste 21 of the lead wire fixing part 3a and the discharge formation part 3b separately. The electrically conductive paste 21 which mixed silver and nickel filler with the epoxy resin is used, for example, and is comprised from the material with low ozone tolerance normally. A protective film 18 made of silica is formed around the brazing filler metal 17 and the conductive paste 21, and the outer surfaces of the brazing filler material 17 and the conductive paste 21 are blocked from the outside air by the protective film 18. It is.

이러한 도 7에 나타내는 실시 형태에 의하면, 다음과 같은 실용적 효과를 기대할 수 있다. 상술한 본 발명의 엑시머 램프의 제조 방법에서의 제2 제조 공정에서는, 납재(17)를 단시간에 용융시키기 때문에 과도하게 고온으로 납재(17)를 가열하면, 전극(3)이 고온 상태가 됨으로써 전극(3)을 구성하는 금속이 용융한 납재에 녹아 들어가는 경우가 있을 수 있다. 이 경우에는, 전극(3)은, 도 7에 나타내는 바와 같이, 리드선 고정부(3a)와 그 이외의 방전 형성부(3b)로 분리하게 되어, 방전 형성부(3b)에의 급전이 불가능하게 된다는 문제가 생길 우려가 있다. 따라서, 제2 공정에서 리드선 고정부(3a)와 방전 형성부(3b)가 분리된 경우에도, 도전성 페이스트(21)에 의해 리드선 고정부(3a)와 방전 형성부(3b)가 도통하므로 엑시머 램프를 확실히 점등시키는 것이 가능하게 된다.According to such embodiment shown in FIG. 7, the following practical effects can be expected. In the second manufacturing process in the manufacturing method of the excimer lamp of the present invention mentioned above, when the brazing filler metal 17 is melted in a short time, when the brazing filler metal 17 is heated to an excessively high temperature, the electrode 3 becomes a high temperature state and thus the electrode The metal constituting (3) may melt in the molten brazing filler metal. In this case, as shown in FIG. 7, the electrode 3 is separated into the lead wire fixing portion 3a and the other discharge forming portions 3b, so that power supply to the discharge forming portions 3b becomes impossible. There may be a problem. Therefore, even when the lead wire fixing portion 3a and the discharge forming portion 3b are separated in the second step, the excimer lamp is conducted since the lead wire fixing portion 3a and the discharge forming portion 3b are conducted by the conductive paste 21. It is possible to reliably turn on.

또, 납재(17)의 주위 이외에, 도전성 페이스트(21)의 주위에도 보호막(18)이 형성되어 있으므로, 내오존성이 낮은 재료로 구성되는 도전성 페이스트(21)가 엑시머 램프의 주위에 발생한 오존에 의해 산화되어 열화될 우려가 없다.In addition, since the protective film 18 is formed around the conductive paste 21 in addition to the surroundings of the brazing filler material 17, the conductive paste 21 made of a material having low ozone resistance is caused by ozone generated around the excimer lamp. There is no fear of oxidation and deterioration.

이상, 본 발명의 엑시머 램프에 관련되는 여러 가지의 실시 형태에 대해 설명했지만, 본 발명은 상기한 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 방전 용기의 형상은, 편평한 각통 형상의 것으로 한정되지 않고, 예를 들면 원통형의 것에 적용할 수 있고, 또, 서로 내경이 다른 2개의 직관을 동축으로 배치함과 더불어 각각의 직관의 단부를 기밀하게 봉지함으로써 내부에 기밀 공간이 형성되는 이중 원통관 구조의 것에도 적용할 수 있다.As mentioned above, although various embodiment which concerns on the excimer lamp of this invention was described, this invention is not limited to said embodiment. The shape of the discharge vessel is not limited to a flat rectangular cylinder, but can be applied to, for example, a cylindrical one. In addition, two straight pipes having different inner diameters are coaxially arranged, and the ends of the straight pipes are hermetically sealed. It can also apply to the thing of the double cylinder tube structure in which the airtight space is formed by sealing.

도 1은 본 발명의 엑시머 램프의 전체의 구성을 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing the entire structure of an excimer lamp of the present invention.

도 2는 본 발명의 엑시머 램프의 주요부 확대 단면도이다.2 is an enlarged cross-sectional view of an essential part of the excimer lamp of the present invention.

도 3은 본 발명의 엑시머 램프의 제조 방법을 설명하는 개념도이다.3 is a conceptual diagram illustrating a method for manufacturing the excimer lamp of the present invention.

도 4는 본 발명에 관련되는 엑시머 램프를 구비하는 자외선 조사 장치의 구성의 개략을 나타내는 개념도이다.It is a conceptual diagram which shows the outline of the structure of the ultraviolet irradiation device provided with the excimer lamp which concerns on this invention.

도 5는 본 발명의 엑시머 램프에 관련되는 다른 실시 형태를 설명하는 주요부 확대 단면도이다.Fig. 5 is an enlarged cross-sectional view of the main portion, illustrating another embodiment according to the excimer lamp of the present invention.

도 6은 본 발명의 엑시머 램프에 관련되는 다른 실시 형태를 설명하는 주요부 확대 단면도이다.FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a main part illustrating another embodiment according to the excimer lamp of the present invention. FIG.

도 7은본 발명의 엑시머 램프에 관련되는 다른 실시 형태를 설명하는 주요부 확대 단면도이다.Fig. 7 is an enlarged cross-sectional view of the main portion, illustrating another embodiment according to the excimer lamp of the present invention.

도 8은종래의 엑시머 램프의 구성의 개략을 나타내는 단면도이다.8 is a cross-sectional view illustrating an outline of a configuration of a conventional excimer lamp.

[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명][Description of Symbols for Main Parts of Drawing]

100 엑시머 램프 1 방전 용기100 excimer lamp 1 discharge vessel

3 전극 3a 리드선 고정부3 electrode 3a lead wire fixing part

3b 방전 형성부 4 전극3b discharge formation part 4 electrode

11 평탄벽 12 평탄벽11 Flat Wall 12 Flat Wall

13 만곡부 14 급전 장치13 curves 14 feeder

15 리드선 15a 심선15 lead wire 15a core wire

15b 피복부 16 리드선15b sheath 16 lead wire

17 납재 18 보호막17 Lead 18 Shield

19 슬리브 20 급전 단자19 Sleeve 20 Feed Terminal

21 도전성 페이스트21 conductive paste

Claims (7)

유전체 재료로 구성되는 방전 용기의 내부에 형성된 밀폐 공간에 방전용 가스가 봉입되고, 금속 박막으로 이루어지는 한 쌍의 전극이 상기 밀폐 공간을 사이에 두고, 상기 방전 용기의 외표면에 형성되고, 각각의 전극에 급전하기 위한 각각의 리드선이 각각의 전극에 납재를 통해 전기적으로 접속된 엑시머 램프에 있어서, A gas for discharge is enclosed in a sealed space formed inside a discharge vessel made of a dielectric material, and a pair of electrodes made of a metal thin film is formed on the outer surface of the discharge vessel with the sealed space therebetween, An excimer lamp in which each lead wire for feeding an electrode is electrically connected to each electrode through a brazing filler material, 상기 납재의 주위에는 보호막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.An excimer lamp, characterized in that a protective film is formed around the brazing filler metal. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 리드선에는 판 형상의 급전 단자가 접속되어 있고, 당해 급전 단자와 상기 전극이 상기 납재에 의해 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.A plate-shaped feed terminal is connected to the lead wire, and the feed terminal and the electrode are connected by the brazing filler material. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 급전 단자의 주위에 상기 보호막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.The excimer lamp, characterized in that the protective film is formed around the feed terminal. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 보호막이 실리카로 이루어지는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.The excimer lamp, characterized in that the protective film is made of silica. 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 보호막이 폴리시라잔 용액을 도포 건조시킴으로써 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.The said protective film is formed by apply | coating and drying polysilazane solution, The excimer lamp characterized by the above-mentioned. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 전극은, 상기 리드선이 접속된 개소와 그 이외의 개소가 이반되어 있음과 더불어 당해 리드선이 접속된 개소와 그 이외의 개소가 도전성 페이스트에 의해 전기적으로 접속되고, 당해 도전성 페이스트의 주위에는 상기 보호막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.The electrode is connected to a place where the lead wire is connected to another place, and a place to which the lead wire is connected to another place is electrically connected by a conductive paste, and around the conductive paste The excimer lamp which is formed. 유전체 재료로 구성되는 방전 용기의 내부에 형성된 밀폐 공간에 방전용 가스가 봉입되고, 금속 박막으로 이루어지는 한 쌍의 전극이 상기 밀폐 공간을 사이에 두고, 상기 방전 용기의 외표면에 형성되고, 각각의 전극에 급전하기 위한 각각의 리드선이 각각의 전극에 납재를 통해 전기적으로 접속된 엑시머 램프의 제조 방법에 있어서, 이하의 공정;A gas for discharge is enclosed in a sealed space formed inside a discharge vessel made of a dielectric material, and a pair of electrodes made of a metal thin film is formed on the outer surface of the discharge vessel with the sealed space therebetween, A manufacturing method of an excimer lamp in which each lead wire for feeding an electrode is electrically connected to each electrode through a brazing filler, the method comprising: the following steps; 1. 방전 용기의 외표면에 금속 박막으로 이루어지는 전극을 형성하는 공정1. Process of forming an electrode made of a metal thin film on the outer surface of the discharge vessel 2. 1의 공정 후에 납재를 가열 용융시킴으로써 외부 전극과 리드선을 납재를 통해 전기적으로 접속하는 공정2. A process of electrically connecting the external electrode and the lead wire through the brazing material by heating and melting the brazing material after step 1. 3. 2의 공정 후에 납재의 주위에 폴리시라잔 용액을 도포하고, 실리카로 전화(轉化)시켜 납재의 주위에 보호막을 형성하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하 는, 엑시머 램프의 제조 방법.3. A method of manufacturing an excimer lamp, comprising: applying a polysirazane solution around a brazing filler material after step 2, converting it into silica, and forming a protective film around the brazing filler material.
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