KR20080061666A - Apparatus and method for depositing organic film on substrate - Google Patents

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Abstract

An apparatus and a method for depositing an organic film on a substrate are provided to increase a usage efficiency of an evaporation organic material by providing the evaporation organic material onto the substrate according to the evaporation quantity of an organic material. An apparatus for depositing an organic film on a substrate includes a process chamber, a substrate supporter, and a source supply member. The substrate supporter is installed in the process chamber and supports the substrate to allow a deposition surface to be directed downward. The source supply member is installed to face the substrate supported by the substrate supporter and supplies an organic material to the deposition surface of the substrate. The source supply member includes a container(310) and a shutter(330). The container contains the organic material and has holes formed on a top surface so that the organic material is evaporated and is supplied to the substrate. The shutter opens and closes the holes of the container.

Description

유기 박막 증착 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR DEPOSITING ORGANIC FILM ON SUBSTRATE}Organic thin film deposition apparatus and method {APPARATUS AND METHOD FOR DEPOSITING ORGANIC FILM ON SUBSTRATE}

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기 박막 증착 장치의 개략적 사시도,1 is a schematic perspective view of an organic thin film deposition apparatus according to an embodiment of the present invention,

도 2는 도 1의 공정 챔버들의 내부를 보여주는 단면도,2 is a cross-sectional view showing the interior of the process chambers of FIG.

도 3은 도 2의 마스크 부착(제거) 챔버의 개략적 단면도,3 is a schematic cross-sectional view of the mask attachment (removal) chamber of FIG. 2;

도 4는 도 2의 증착 챔버의 개략적 단면도,4 is a schematic cross-sectional view of the deposition chamber of FIG. 2;

도 5는 도 4의 A-A' 선에 따른 단면도,5 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 4;

도 6은 소스 공급 부재의 동작 상태를 보여주는 개략적 단면도이다.6 is a schematic cross-sectional view showing an operating state of the source supply member.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

10 : 로딩 챔버 20 : 언로딩 챔버10: loading chamber 20: unloading chamber

30 : 클리닝 챔버 40 : 공정 챔버30: cleaning chamber 40: process chamber

42 : 마스크 부착 챔버 44 : 증착 챔버42: chamber with mask 44: deposition chamber

46 : 마스크 제거 챔버 300 : 소스 공급 부재46 mask removal chamber 300 source supply member

310 : 용기 320 : 가열 부재310 container 320 heating member

330 : 셔터 340 : 구동 부재330: shutter 340: drive member

350 : 온도 감지부350: temperature sensing unit

본 발명은 기판을 처리하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 유기 전계 발광 소자의 제조에 사용되는 기판상에 유기 박막을 증착하는 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for processing a substrate, and more particularly, to an apparatus and method for depositing an organic thin film on a substrate used in the manufacture of an organic electroluminescent device.

정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하는 디스플레이 장치를 가진다. 과거에는 주로 디스플레이 장치로 브라운관(Cathode Ray Tube) 모니터가 사용되었으나, 현재에는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display, LCD)가 주로 사용되고 있다. 그러나 액정 표시 장치는 별도의 광원을 필요로 하는 장치로서 밝기, 시야각 및 대면적화 등에 한계가 있어, 최근에는 저전압 구동, 자기 발광, 경량 박형, 넓은 시야각, 그리고 빠른 응답 속도의 장점을 갖는 유기 전계 발광 소자를 이용한 표시 장치가 각광받고 있다. Information processing devices are rapidly evolving to have various types of functions and faster information processing speeds. This information processing apparatus has a display device for displaying the operated information. In the past, a cathode ray tube monitor was mainly used as a display device, but a liquid crystal display (LCD) is mainly used. However, liquid crystal displays require a separate light source and have limitations in brightness, viewing angle, and large area, and in recent years, organic electroluminescence having advantages of low voltage driving, self-luminous, light weight, wide viewing angle, and fast response speed. Display devices using elements have been in the spotlight.

유기 전계 발광 소자는 유기 박막에 주입되는 전자와 정공이 재결합하고 남은 에너지가 빛으로 발생되는 것으로서, 유기 물질의 도펀트(Dopant)의 양에 따라나오는 빛의 파장을 조절할 수 있고, 풀 칼라(Full Color)의 구현이 가능하다. The organic electroluminescent device is generated by the recombination of the electrons and holes injected into the organic thin film as light, and can control the wavelength of light coming out according to the amount of dopant of the organic material, and full color ) Can be implemented.

유기 박막을 증착하기 위해 일반적으로 사용되고 있는 장치는 공정 챔버들간 기판을 이송하는 이송 챔버와, 이송 챔버의 아래에 제공되며 증착 공정이 수행되는 증착 챔버를 가진다. 증착 챔버 내의 기판 아래에는 유기 물질(증착 물질)이 수용되는 증착 원(Depositon Source)이 제공되고, 증착 원에는 가열 증발된 유기 물질 이 기판으로 공급되도록 개구부가 형성되어 있다.Devices commonly used for depositing organic thin films include a transfer chamber for transferring a substrate between process chambers and a deposition chamber provided below the transfer chamber and in which the deposition process is performed. A deposition source for receiving an organic material (deposition material) is provided under the substrate in the deposition chamber, and an opening is formed in the deposition source to supply the heat-evaporated organic material to the substrate.

유기 박막의 증착 공정은 유기 물질의 증발량이 일정 조건에 도달한 후 진행되는 것이 바람직하다. 그런데, 종래의 유기 박막 증착 장치는 증착 원의 개구부가 개방된 상태에서 유기 물질을 가열하기 때문에, 유기 물질의 증발량이 일정 공정 조건에 도달하기 이전에 유기 물질이 기판으로 공급되어 증착 공정이 진행되고, 이로 인해 공정 진행에 사용되는 유기 물질의 소모량이 많아지는 문제점이 있었다.The deposition process of the organic thin film is preferably carried out after the evaporation amount of the organic material reaches a predetermined condition. However, in the conventional organic thin film deposition apparatus, since the organic material is heated while the opening of the deposition source is opened, the organic material is supplied to the substrate before the evaporation amount of the organic material reaches a predetermined process condition, and the deposition process is performed. Due to this, there is a problem in that the consumption of organic materials used in the process proceeds.

따라서, 본 발명은 상술한 바와 같은 종래의 통상적인 유기 박막 증착 장치가 가진 문제점을 감안하여 이를 해소하기 위해 창출된 것으로서, 본 발명의 목적은 유기 물질의 사용 효율을 증대시킬 수 있는 유기 박막 증착 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.Therefore, the present invention was created to solve the problems in view of the conventional organic thin film deposition apparatus as described above, an object of the present invention is an organic thin film deposition apparatus that can increase the use efficiency of organic materials And to provide a method.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 유기 박막 증착 장치는, 기판상에 유기 박막을 증착하는 장치에 있어서, 공정 챔버와; 상기 공정 챔버 내에 설치되며, 증착 면이 아래 방향을 향하도록 기판을 지지하는 기판 지지체와; 상기 기판 지지체에 의해 지지된 상기 기판과 마주보도록 설치되며, 상기 기판의 증착 면으로 유기 물질을 공급하는 소스 공급 부재;를 포함하되, 상기 소스 공급 부재는 유기 물질이 담기고, 상기 유기 물질이 증발하여 상기 기판상으로 공급될 수 있도록 상부 면에 홀이 형성된 용기와; 상기 용기의 홀을 개폐하는 셔터;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the organic thin film deposition apparatus according to the present invention comprises: a process chamber comprising: a process chamber; A substrate support installed in the process chamber and supporting the substrate such that a deposition surface faces downward; A source supply member installed to face the substrate supported by the substrate support and supplying an organic material to the deposition surface of the substrate, wherein the source supply member contains an organic material and the organic material is evaporated. A container having a hole formed in an upper surface thereof to be supplied onto the substrate; And a shutter for opening and closing the hole of the container.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 유기 박막 증착 장치에 있어서, 상기 장치는 상기 용기의 홀이 개폐되도록 상기 셔터를 구동시키는 구동 부재;를 더 포함하는 것이 바람직하다.In the organic thin film deposition apparatus according to the present invention having the configuration as described above, the device preferably further comprises a drive member for driving the shutter to open and close the hole of the container.

본 발명의 일 측면에 따르면, 상기 장치는 상기 용기의 일 측에 설치되며, 상기 용기 내의 유기 물질의 온도를 검출하는 온도 감지부;를 더 포함하는 것이 바람직하다.According to an aspect of the invention, the device is installed on one side of the container, it is preferable to further include a temperature sensing unit for detecting the temperature of the organic material in the container.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 용기는 상기 기판의 너비에 대응하도록 연장된 통 형상을 가지며, 그 상부 면에는 증발된 유기 물질이 통과하도록 다수의 홀들이 형성되고, 상기 셔터는 상기 다수의 홀들을 각각 개폐하는 판 형상의 도어들과, 상기 도어들 간을 연결하는 연결 로드를 포함하는 것이 바람직하다.According to another aspect of the invention, the container has a tubular shape extending to correspond to the width of the substrate, the upper surface is formed with a plurality of holes to pass the evaporated organic material, the shutter is the plurality of holes It is preferable to include a plate-shaped doors for opening and closing the respective doors, and a connecting rod for connecting the doors.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 유기 박막 증착 방법은, 기판상에 유기 박막을 증착하는 방법에 있어서, 유기 물질이 담긴 용기를 가열하면서 상기 용기 내의 온도를 검출하고, 검출 온도가 기설정된 온도 이상일 경우 상기 용기의 유기 물질 공급 홀을 밀폐하고 있는 셔터를 개방하여 증발된 유기 물질을 기판의 증착이 이루어지는 면으로 공급하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the organic thin film deposition method according to the present invention, in the method for depositing an organic thin film on a substrate, the temperature in the container is detected while heating the container containing the organic material, the detection temperature is set When the temperature is higher than the temperature, the shutter which seals the organic material supply hole of the container is opened to supply the evaporated organic material to the surface on which the substrate is deposited.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 유기 박막 증착 장치 및 방법을 상세히 설명하기로 한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발 명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, an organic thin film deposition apparatus and method according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals are assigned to the same components as much as possible, even if shown on different drawings. In addition, in describing the present invention, if it is determined that the detailed description of the related well-known configuration or function may obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

( 실시 예 )(Example)

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기 박막 증착 장치(1)의 개략적 사시도이고, 도 2는 도 1의 공정 챔버들의 내부를 보여주는 단면도이다.FIG. 1 is a schematic perspective view of an organic thin film deposition apparatus 1 according to an exemplary embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating the interior of the process chambers of FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 증착 장치(1)는 복수의 챔버들을 포함한다. 챔버들은 로딩 챔버(10), 크리닝 챔버(30), 공정 챔버들(40), 그리고 언로딩 챔버(20)를 포함하고, 각각의 공정 챔버(40)는 마스크 부착 챔버(42), 증착 챔버(44), 그리고 마스크 제거 챔버(46)를 가진다. 각각의 공정 챔버(40)에서 증착 챔버(44)는 하나 또는 복수 개가 제공될 수 있다. 마스크 부착 챔버(42) 또는 마스크 제거 챔버(44)에는 각각 마스크들이 저장되는 마스크 챔버(미도시)가 제공될 수 있다. 또한, 상술한 로딩 챔버(10), 크리닝 챔버(30), 공정 챔버(40), 언로딩 챔버(20) 외에 다른 종류의 챔버들이 더 제공될 수 있다. 1 and 2, the deposition apparatus 1 includes a plurality of chambers. The chambers include a loading chamber 10, a cleaning chamber 30, process chambers 40, and an unloading chamber 20, each process chamber 40 having a masked chamber 42, a deposition chamber ( 44, and a mask removal chamber 46. In each process chamber 40, one or more deposition chambers 44 may be provided. The mask attach chamber 42 or the mask removal chamber 44 may be provided with a mask chamber (not shown) in which masks are stored, respectively. In addition, other types of chambers may be further provided in addition to the above-described loading chamber 10, cleaning chamber 30, process chamber 40, and unloading chamber 20.

일 예에 의하면, 로딩 챔버(10), 크리닝 챔버(30), 공정 챔버(40), 그리고 언로딩 챔버(20)는 순차적으로 일렬로 배치되고, 공정 챔버(40) 내에서 마스크 부착 챔버(42), 증착 챔버(44), 그리고 마스크 제거 챔버(46)는 동일 방향으로 순차적으로 일렬로 배치된다. 공정 챔버(40)의 수는 다양하게 변화될 수 있으며, 예컨대 증착 장치(1)가 유기 전계 발광 소자 제조에 사용되는 장치인 경우, 공정 챔버(40)는 약 20개가 제공될 수 있다. 각각의 챔버에는 내부의 유지 보수 등이 용이하도록 도어(52)가 설치되며, 공정 진행시 챔버 내부가 고진공을 유지하도록 진공 펌프(미도시)가 설치된 배기관(54)이 연결되는 진공 포트(미도시)가 제공된다. 상 술한 바와 달리 챔버들의 배열은 다양하게 변화될 수 있다. 예컨대, 장치가 일 방향으로 매우 길어지지 않도록 공정 챔버들(40)은 'ㄷ'자 형상으로 배열되거나 지그재그 형상으로 배열될 수 있다. According to an example, the loading chamber 10, the cleaning chamber 30, the process chamber 40, and the unloading chamber 20 are sequentially arranged in a row, and the masked chamber 42 in the process chamber 40. ), The deposition chamber 44, and the mask removal chamber 46 are sequentially arranged in the same direction. The number of process chambers 40 may vary. For example, when the deposition apparatus 1 is a device used for manufacturing an organic electroluminescent device, about 20 process chambers 40 may be provided. Each chamber is provided with a door 52 to facilitate maintenance, etc., and a vacuum port (not shown) to which an exhaust pipe 54 having a vacuum pump (not shown) is installed to maintain a high vacuum in the chamber during the process. ) Is provided. Unlike the above, the arrangement of the chambers may vary. For example, the process chambers 40 may be arranged in a 'c' shape or arranged in a zigzag fashion so that the device is not very long in one direction.

증착 공정이 수행될 기판(3)은 로딩 챔버(10)를 통해 장치(1) 내로 반입되고, 증착 공정이 완료된 기판(3)은 언로딩 챔버(20)를 통해 장치(1)로부터 반출된다. 로딩 챔버(10)로 반입된 기판(3)은 크리닝 챔버(30)로 이송된다. 크리닝 챔버(30)는 플라즈마 또는 자외선 등을 사용하여 기판(3)을 세정하는 공정을 수행한다. 크리닝이 완료된 기판(3)은 마스크 부착 챔버(42), 증착 챔버(44), 그리고 마스크 제거 챔버(46)로 순차적으로 이동된다. The substrate 3 on which the deposition process is to be carried is loaded into the apparatus 1 through the loading chamber 10, and the substrate 3 on which the deposition process is completed is taken out of the apparatus 1 through the unloading chamber 20. The substrate 3 loaded into the loading chamber 10 is transferred to the cleaning chamber 30. The cleaning chamber 30 performs a process of cleaning the substrate 3 using plasma or ultraviolet rays. After cleaning, the substrate 3 is sequentially moved to the mask attaching chamber 42, the deposition chamber 44, and the mask removing chamber 46.

마스크 부착 챔버(42), 증착 챔버(44), 그리고 마스크 제거 챔버(46)의 양 측벽에는 개구(40a)가 형성된다. 기판(3)은 개구(40a)를 통해 인접하는 챔버들로 이동된다. 마스크 부착 챔버(42)에서 일정 패턴이 형성된 마스크(4)가 기판(3)에 부착되고, 증착 챔버(44)에서 기판(3)상에 박막이 증착되며, 마스크 제거 챔버(46)에서 마스크(4)가 기판(3)으로부터 제거된다. 이후, 기판(3)은 다음 공정 챔버(40)로 이동되며, 상술한 마스크 부착, 증착, 마스크 제거 과정이 계속적으로 반복된다. Openings 40a are formed in both sidewalls of the mask attachment chamber 42, the deposition chamber 44, and the mask removal chamber 46. The substrate 3 is moved to the adjacent chambers through the opening 40a. A mask 4 having a predetermined pattern formed in the mask attaching chamber 42 is attached to the substrate 3, a thin film is deposited on the substrate 3 in the deposition chamber 44, and a mask (in the mask removing chamber 46). 4) is removed from the substrate 3. Subsequently, the substrate 3 is moved to the next process chamber 40, and the above process of attaching, depositing, and removing the mask is continuously repeated.

증착 공정 진행시 공정 챔버(40) 내부는 고진공으로 유지된다. 종종 챔버들 중 어느 하나에 이상이 발생되는 경우 챔버 내부를 보수하여야 할 필요가 있다. 보수는 챔버 내부가 상압으로 유지된 상태에서 이루어진다. 챔버들 내부가 개구(40a)를 통해 연통되어 있으므로, 어느 하나의 챔버에서 보수가 이루어질 때 모든 챔버 내의 압력이 상압으로 변화된다. 보수가 완료된 이후 공정을 시작하기 전에 모든 챔버 내부를 다시 진공으로 유지하여야 하므로 많은 시간이 소요된다. 이를 방지하기 위해 본 발명의 장치(1)는 도 2에 도시된 바와 같이 각각의 공정 챔버들(40)간 경계벽에 형성된 개구(40a)를 개폐하는 게이트 밸브(41)를 가진다. During the deposition process, the process chamber 40 is maintained at a high vacuum. Often, when an abnormality occurs in any one of the chambers, it is necessary to repair the inside of the chamber. Repair is carried out with the chamber inside at atmospheric pressure. Since the insides of the chambers are communicated through the opening 40a, the pressure in all the chambers is changed to the normal pressure when maintenance is performed in either chamber. After the maintenance is completed, it takes a lot of time because all the chamber interior must be kept in vacuum again before starting the process. To prevent this, the apparatus 1 of the present invention has a gate valve 41 for opening and closing the opening 40a formed in the boundary wall between the respective process chambers 40, as shown in FIG.

도 3은 도 2의 마스크 부착(42) 챔버 및 마스크 제거 챔버(46)의 개략적 단면도이다.3 is a schematic cross-sectional view of the mask attachment 42 chamber and mask removal chamber 46 of FIG. 2.

도 3을 참조하면, 마스크 부착 챔버(42) 및 마스크 제거 챔버(46) 내에는 마스크 이동기(100)가 제공된다. 마스크 이동기(100)는 상하로 이동가능하며, 마스크(4)는 마스크 이동기(100) 상에 놓인다. 마스크 부착 챔버(42)에서 마스크 이동기(100)가 기설정된 높이까지 이동되면, 기판 지지체(200)에 제공된 클램프(도시되지 않음)에 의해 마스크(4)는 기판 지지체(200)에 결합된다. 마스크(4)가 기판 지지체(200)에 결합되기 전, 기판(3)과 마스크(4)의 정렬이 이루어진다. 마스크 제거 챔버(46)에서 마스크 이동기(100)가 기설정된 높이까지 이동되면, 마스크(4)는 기판 지지체(200)로부터 분리되어 마스크 이동기(100) 상에 놓여진다. 상술한 마스크(4)의 결합 및 마스크(4)의 제거를 위한 구조 및 방법은 일 예에 불과한 것으로, 이와는 다른 다양한 구조 및 방법이 사용될 수 있다.Referring to FIG. 3, a mask mover 100 is provided in the mask attach chamber 42 and the mask removal chamber 46. The mask mover 100 is movable up and down, and the mask 4 is placed on the mask mover 100. When the mask mover 100 is moved to a predetermined height in the mask attach chamber 42, the mask 4 is coupled to the substrate support 200 by a clamp (not shown) provided on the substrate support 200. Before the mask 4 is bonded to the substrate support 200, the substrate 3 and the mask 4 are aligned. When the mask mover 100 is moved to a predetermined height in the mask removal chamber 46, the mask 4 is separated from the substrate support 200 and placed on the mask mover 100. The above-described structure and method for combining the mask 4 and removing the mask 4 are just examples, and various other structures and methods may be used.

도 4는 도 2의 증착 챔버의 개략적 단면도이고, 도 5는 도 4의 A-A' 선에 따른 단면도이며, 도 6은 소스 공급 부재의 동작 상태를 보여주는 개략적 단면도이다.4 is a schematic cross-sectional view of the deposition chamber of FIG. 2, FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 4, and FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing an operating state of the source supply member.

도 4 내지 도 6을 참조하면, 증착 챔버(44)의 하부 면에는 유기 물질(증착 물질)을 공급하는 소스 공급 부재(300)가 제공된다. 소스 공급 부재(300)는 기판 지지체(200)에 의해 지지된 기판(3)과 마주보도록 설치되고, 기판(30)의 증착이 이루어지는 면으로 유기 물질을 공급한다. 소스 공급 부재(300)는 용기(310)와 가열 부재(320)를 가진다. 용기(310)는 증착하고자 하는 유기 물질을 수용한다. 가열 부재(320)는 유기 물질로부터 플룸(Flume)이 발생하도록 용기(310)를 가열하여 유기 물질에 열을 제공한다. 가열 부재(320)로는 코일 형상의 열선이 사용될 수 있으며, 가열 부재(320)는 용기(310)의 측벽 내에 배치되거나 용기(310)의 측벽을 감싸도록 배치될 수 있다. 이와 달리 가열 부재(320) 대신 용기(310)로 레이저를 조사하는 레이저 조사 부재(미도시)가 사용될 수도 있다.4 to 6, a lower surface of the deposition chamber 44 is provided with a source supply member 300 for supplying an organic material (deposition material). The source supply member 300 is installed to face the substrate 3 supported by the substrate support 200, and supplies an organic material to a surface on which the substrate 30 is deposited. The source supply member 300 has a vessel 310 and a heating member 320. The vessel 310 contains the organic material to be deposited. The heating member 320 provides heat to the organic material by heating the container 310 to generate a plume from the organic material. As the heating member 320, a coil-shaped heating wire may be used, and the heating member 320 may be disposed in the sidewall of the container 310 or may surround the sidewall of the container 310. Alternatively, a laser irradiation member (not shown) for irradiating a laser to the container 310 may be used instead of the heating member 320.

용기(310)는 기판(3)의 너비(기판 이송 방향에 수직한 기판의 일변)에 대응하도록 연장 형성된 통 형상을 가진다. 용기(310)의 상부 면에는 용기(310) 내의 증발된 유기 물질(플룸)이 기판(3)상에 공급될 수 있도록 다수의 홀들(312)이 형성된다. 홀들(312)은 셔터(330)에 의해 개폐된다. 셔터(330)는 용기(310)의 홀들(312)을 열고 닫도록 용기(310)의 상부 면에 배치되는 판 형상의 도어들(332)을 가진다. 도어들(332)은 홀들(312)의 배열 방향을 따라 일렬로 배치되고, 연결 로드(334)에 의해 서로 연결된다. 셔터(330)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 구동 부재(340)에 의해 용기(310)의 상면 길이 방향을 따라 이동하고, 이에 의해 용기(310)의 홀들(312)을 개폐한다. 구동 부재(340)로는 실린더 기구 등과 같은 직선 왕복 운동 기구가 사용될 수 있다.The container 310 has a cylindrical shape extending to correspond to the width of the substrate 3 (one side of the substrate perpendicular to the substrate transfer direction). A plurality of holes 312 are formed in the upper surface of the vessel 310 so that the vaporized organic material (plum) in the vessel 310 can be supplied onto the substrate 3. The holes 312 are opened and closed by the shutter 330. The shutter 330 has plate-shaped doors 332 disposed on the upper surface of the container 310 to open and close the holes 312 of the container 310. The doors 332 are arranged in a line along the arrangement direction of the holes 312, and are connected to each other by the connecting rod 334. As shown in FIG. 6, the shutter 330 is moved along the longitudinal direction of the top surface of the container 310 by the driving member 340, thereby opening and closing the holes 312 of the container 310. As the drive member 340, a linear reciprocating mechanism such as a cylinder mechanism or the like may be used.

상기와 같은 구성을 가지는 소스 공급 부재(300)로부터 기판(3)상으로 유기 물질이 공급되어 유기 박막의 증착이 이루어지는데, 이때 소스 공급 부재(300)로부터 공급되는 유기 물질의 증발량은 일정 공정 조건에 도달하여야 한다. 유기 물질의 증발량이 일정 공정 조건에 도달할 때까지 유기 물질이 용기(310) 내에 유지되도록 소스 공급 부재(300)의 홀들(312)은 닫혀 있어야 하며, 이는 셔터(330)의 개폐 동작에 의해 가능하게 된다. 유기 물질의 증발량이 일정 공정 조건에 도달하였는가의 여부는 용기(310)의 온도를 측정함으로써 판단할 수 있다. 이를 위해 용기(310)의 일 측에는 온도 감지부(350)가 설치된다. 가열 부재(320)에 의해 유기 물질이 담긴 용기(310)가 가열되고, 온도 감지부(350)는 용기(310) 내의 온도를 검출한다. 온도 감지부(350)에 의해 검출된 온도 신호는 제어부(360)로 전달되고, 제어부(360)는 검출 온도를 기설정된 온도와 비교 평가한다. 검출 온도가 기설정된 온도 이상일 경우, 제어부(360)는 구동 부재(340)를 구동시킨다. 구동 부재(340)에 의해 셔터(330)가 개방되면, 용기(310) 내의 증발 유기 물질이 홀들(312)을 통해 기판(3)상으로 공급되어 유기 박막이 증착된다. 이상에서는 용기(310)의 온도를 측정하여 유기 물질의 증발량이 일정 공정 조건에 도달하였는가의 여부를 판단하였으나, 이외에도 용기(310)로부터 공급되는 유기 물질의 증발 속도를 측정함으로써 유기 물질의 증발량이 일정 공정 조건에 도달하였는가의 여부를 판단할 수도 있다. The organic material is supplied from the source supply member 300 having the above configuration onto the substrate 3 to deposit an organic thin film. In this case, the evaporation amount of the organic material supplied from the source supply member 300 is a predetermined process condition. Should be reached. The holes 312 of the source supply member 300 should be closed so that the organic material remains in the container 310 until the evaporation amount of the organic material reaches a certain process condition, which is possible by the opening and closing operation of the shutter 330. Done. Whether the evaporation amount of the organic material has reached a certain process condition can be determined by measuring the temperature of the vessel 310. To this end, the temperature sensing unit 350 is installed at one side of the container 310. The container 310 containing the organic material is heated by the heating member 320, and the temperature detector 350 detects a temperature in the container 310. The temperature signal detected by the temperature detector 350 is transmitted to the controller 360, and the controller 360 compares and evaluates the detected temperature with a preset temperature. If the detected temperature is equal to or greater than the preset temperature, the controller 360 drives the driving member 340. When the shutter 330 is opened by the driving member 340, the evaporated organic material in the container 310 is supplied onto the substrate 3 through the holes 312 to deposit an organic thin film. In the above, the temperature of the container 310 is measured to determine whether the evaporation amount of the organic material reaches a predetermined process condition. In addition, the evaporation amount of the organic material is constant by measuring the evaporation rate of the organic material supplied from the container 310. It may also be determined whether process conditions have been reached.

유기 박막이 증착되는 기판(3)이 소형 기판인 경우, 기판 지지체(200)가 소스 공급 부재(300)와 대향되는 위치에 고정된 상태에서 증착 공정이 이루어진다. 그러나 공정이 수행되는 기판(3)이 대형 기판인 경우, 기판 지지체(200)가 이송 가이드(210)를 따라 이동하면서 소정 영역씩 증착 공정이 수행된다. 기판 지지 체(200)가 계속적으로 일정 속도로 이동되면서 증착 공정을 수행할 수 있으며, 기판 지지체(200)가 일정 시간씩 정지하면서 이동되어 증착 공정을 수행할 수 있다. 증착 공정이 수행되는 동안, 기판 지지체(200)는 증착 챔버(44) 내에서 왕복 이동될 수 있다. 이와 달리 용기(310)가 이동되면서 증착이 이루어질 수 있다. 그러나 이 경우 설비의 구성이 복잡해지므로, 기판 지지체(200)가 이송 가이드(210)를 따라 이동되면서 증착 공정이 수행되는 것이 바람직하다. When the substrate 3 on which the organic thin film is deposited is a small substrate, a deposition process is performed while the substrate support 200 is fixed at a position opposite to the source supply member 300. However, when the substrate 3 on which the process is performed is a large substrate, a deposition process is performed by predetermined regions while the substrate support 200 moves along the transfer guide 210. The substrate support 200 may continuously perform the deposition process while moving at a constant speed, and the substrate support 200 may be moved while stopping for a predetermined time to perform the deposition process. During the deposition process, the substrate support 200 can be reciprocated within the deposition chamber 44. Unlike this, deposition may be performed while the container 310 is moved. However, in this case, since the configuration of the equipment is complicated, it is preferable that the deposition process is performed while the substrate support 200 is moved along the transfer guide 210.

증착 공정 수행시 증착 물질로부터 발생된 플룸이 기판(3)으로부터 벗어나 기판(3) 상부로 이동되면 플룸이 기판 지지체(200) 또는 다른 구조물에 증착된다. 또한, 플룸이 증착 챔버(44) 내 넓은 영역으로 퍼지면 증착 챔버(44)의 측벽에 형성된 개구(40a)를 통해 이와 인접한 마스크 부착 챔버(42) 또는 마스크 제거 챔버(46) 내로 유입되어 그 챔버들(42, 46)을 오염시킨다. 이를 방지하기 위해 증착 챔버(44) 내에서 기판 지지체(200)에 부착된 기판(3)보다 낮은 위치에 차단판(400)이 제공된다. 차단판(400)은 소스 공급 부재(300)와 대향되는 위치에 일정 크기의 개구(410)를 가진다. 플룸은 개구(410)를 통해서 증착 챔버(44) 내 상부로 공급되므로, 유기 물질로부터 발생된 플룸이 도달되는 영역은 기판(3) 상의 일정영역으로만 제한된다. When the plume generated from the deposition material is moved out of the substrate 3 and moved over the substrate 3 during the deposition process, the plum is deposited on the substrate support 200 or another structure. In addition, when the plume spreads to a large area in the deposition chamber 44, the plume flows into the mask attaching chamber 42 or the mask removing chamber 46 adjacent thereto through the opening 40a formed in the sidewall of the deposition chamber 44. (42, 46). To prevent this, the blocking plate 400 is provided at a position lower than the substrate 3 attached to the substrate support 200 in the deposition chamber 44. The blocking plate 400 has an opening 410 of a predetermined size at a position opposite to the source supply member 300. Since the plume is supplied to the upper portion of the deposition chamber 44 through the opening 410, the region where the plume generated from the organic material is reached is limited to only a predetermined region on the substrate 3.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains may make various modifications and changes without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 소스 공급 부재 내의 유기 물질의 증발량이 일정 공정 조건에 도달하였는가의 여부를 판단하고, 이에 따라 증발 유기 물질을 기판상에 공급함으로써, 유기 물질의 사용 효율을 증대시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, it is determined whether or not the amount of evaporation of the organic material in the source supply member reaches a certain process condition, and accordingly, the evaporation organic material is supplied onto the substrate, thereby increasing the use efficiency of the organic material. You can.

Claims (5)

기판상에 유기 박막을 증착하는 장치에 있어서,An apparatus for depositing an organic thin film on a substrate, 공정 챔버와;A process chamber; 상기 공정 챔버 내에 설치되며, 증착 면이 아래 방향을 향하도록 기판을 지지하는 기판 지지체와;A substrate support installed in the process chamber and supporting the substrate such that a deposition surface faces downward; 상기 기판 지지체에 의해 지지된 상기 기판과 마주보도록 설치되며, 상기 기판의 증착 면으로 유기 물질을 공급하는 소스 공급 부재;를 포함하되,And a source supply member installed to face the substrate supported by the substrate support and supplying an organic material to the deposition surface of the substrate. 상기 소스 공급 부재는,The source supply member, 유기 물질이 담기고, 상기 유기 물질이 증발하여 상기 기판상으로 공급될 수 있도록 상부 면에 홀이 형성된 용기와;A container in which an organic material is contained and a hole is formed in an upper surface thereof so that the organic material can be evaporated and supplied onto the substrate; 상기 용기의 홀을 개폐하는 셔터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 장치.And a shutter for opening and closing the hole of the container. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 장치는,The device, 상기 용기의 홀이 개폐되도록 상기 셔터를 구동시키는 구동 부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 장치.And a driving member for driving the shutter to open and close the hole of the container. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 장치는,The device, 상기 용기의 일 측에 설치되며, 상기 용기 내의 유기 물질의 온도를 검출하는 온도 감지부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 장치.And a temperature sensing unit installed at one side of the container and detecting a temperature of the organic material in the container. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 용기는 상기 기판의 너비에 대응하도록 연장된 통 형상을 가지며, 그 상부 면에는 증발된 유기 물질이 통과하도록 다수의 홀들이 형성되고,The container has a tubular shape extending to correspond to the width of the substrate, the upper surface is formed with a plurality of holes to pass the evaporated organic material, 상기 셔터는 상기 다수의 홀들을 각각 개폐하는 판 형상의 도어들과, 상기 도어들 간을 연결하는 연결 로드를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 장치.The shutter is an organic thin film deposition apparatus comprising a plate-shaped door for opening and closing the plurality of holes, respectively, and a connecting rod connecting the doors. 기판상에 유기 박막을 증착하는 방법에 있어서,In the method of depositing an organic thin film on a substrate, 유기 물질이 담긴 용기를 가열하면서 상기 용기 내의 온도를 검출하고, Detecting the temperature in the vessel while heating the vessel containing the organic material, 검출 온도가 기설정된 온도 이상일 경우 상기 용기의 유기 물질 공급 홀을 밀폐하고 있는 셔터를 개방하여 증발된 유기 물질을 기판의 증착이 이루어지는 면으로 공급하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 방법.And when the detection temperature is higher than or equal to a predetermined temperature, opening the shutter closing the organic material supply hole of the container to supply the evaporated organic material to a surface on which the substrate is deposited.
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