KR20080047205A - A robot for transfer of glass - Google Patents

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Abstract

A robot for transferring a substrate is provided to improve the mobility and to increase the productivity by forming plural arms capable of horizontally rotating and vertically moving. A robot for transferring a substrate comprises a main shaft(201), plural arms(202), a hand part(203), and a control part(204). The plural arms connected to the main shaft are vertically moved and horizontally rotated. The hand part formed at the terminal end of the plural arms mounts the substrate. The control part controls the up and down movement and the horizontal rotation of the plural arms. The main shaft has a base part(205) for supporting the main shaft at the lower part. The plural arms are connected the main shaft at the other heights. A first joint part(202c) formed on the connected portion of the arm with the main shaft is horizontally rotated and vertically moved around the main shaft.

Description

기판 이재 로봇{A ROBOT FOR TRANSFER OF GLASS}Substrate transfer robot {A ROBOT FOR TRANSFER OF GLASS}

도 1은 일반적인 기판 이재 로봇을 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing a typical substrate transfer robot.

도 2는 일반적인 기판 이재 로봇이 작업하는 모습을 나타낸 평면도.Figure 2 is a plan view showing a state in which a general substrate transfer robot working.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이재 로봇을 나타낸 사시도.Figure 3 is a perspective view showing a substrate transfer robot in accordance with a preferred embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 기판 이재 로봇이 기판 이재 작업을 하는 모습을 나타낸 평면도.4 is a plan view showing a state of the substrate transfer robot of Figure 3 to perform the substrate transfer operation.

***도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명****** Description of the symbols for the main parts of the drawings ***

201 : 주축201: spindle

202 : 암202: cancer

203 : 핸드부203: hand part

202a, 202b : 제 1, 제 2 부분암202a, 202b: first and second partial arms

202c, 202d, 202e : 제 1, 제 2, 제 3 관절202c, 202d, 202e: first, second, third joint

309, 310 : 제 1, 제 2 공정 장비309, 310: first and second process equipment

311, 312 : 제 1, 제 2 카세트311 and 312: first and second cassettes

본 발명은 기판 이재 로봇에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다수개의 기판을 단시간에 효율적으로 이재할 수 있는 기판 이재 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer robot, and more particularly, to a substrate transfer robot that can efficiently transfer a plurality of substrates in a short time.

일반적으로 액정표시장치(Liquid Crystal Display)는 화면을 표시하는 액정패널과, 상기 액정패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분된다.In general, a liquid crystal display is largely divided into a liquid crystal panel displaying a screen and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel.

상기 액정패널은 상부기판인 컬러필터(color filter)기판과, 하부기판인 박막트랜지스터 어레이(Thin film Transistor Array)기판과, 이들 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.The liquid crystal panel includes a color filter substrate as an upper substrate, a thin film transistor array substrate as a lower substrate, and a liquid crystal layer injected between these substrates.

상기 박막트랜지스터 어레이 기판은 일정하게 이격되어 횡으로 배열되는 게이트라인들과, 일정하게 이격되어 종으로 배열되는 데이터라인들이 서로 교차하고, 게이트 라인들과 데이터라인들이 교차하여 구획되는 영역에 화소들이 형성된다.The thin film transistor array substrate may include gate lines that are spaced apart from each other at regular intervals, and data lines that are vertically spaced apart from each other intersect with each other, and pixels are formed in an area where gate lines and data lines intersect with each other. do.

상기 화소들에는 스위칭소자가 개별적으로 구비되어, 게이트라인 및 데이터라인들과 전기적으로 연결된다.Switching elements are individually provided in the pixels, and are electrically connected to gate lines and data lines.

그리고, 상기 컬러필터 기판에는 컬러 색상을 표형하기 위한 R,G,B 컬러필터층이 형성되며, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판에는 화소전극과 공통전극이 형성된다.In addition, R, G, and B color filter layers for displaying color colors are formed on the color filter substrate, and pixel electrodes and common electrodes are formed on the thin film transistor array substrate and the color filter substrate.

이와 같은 구성으로 이루어진 액정표시장치의 제조공정은 어레이 제조공정, 셀 제조공정 및 모듈공정의 세 가지 공정으로 크게 나뉜다.The manufacturing process of the liquid crystal display device having such a configuration is roughly divided into three processes, an array manufacturing process, a cell manufacturing process, and a module process.

어레이 제조공정은 기판에 박막트랜지스터 어레이를 제조하는 공정과 기판 에 컬러필터를 제조하는 공정으로 나뉜다.The array manufacturing process is divided into a process of manufacturing a thin film transistor array on a substrate and a process of manufacturing a color filter on the substrate.

박막트랜지스터 어레이 기판 제조공정은 모 기판 상에 신호라인과 박막트랜 지스터 및 화소전극을 형성하는 공정이며, 컬러필터 제조공정은 모 기판 상에 컬러필터층과 공통전극을 형성하는 공정이다.The thin film transistor array substrate manufacturing process is a process of forming a signal line, a thin film transistor and a pixel electrode on the mother substrate, and the color filter manufacturing process is a process of forming a color filter layer and a common electrode on the mother substrate.

셀 공정은 박막트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판을 합착하고, 그 사이에 액정을 주입하여 액정표시장치 셀을 제조하는 공정이다.A cell process is a process of manufacturing a liquid crystal display cell by bonding a thin film transistor array substrate to a color filter substrate and injecting liquid crystal therebetween.

또한, 모듈 공정은 액정패널과 신호처리 회로부를 연결하는 공정이다.In addition, the module process is a process of connecting the liquid crystal panel and the signal processing circuit.

상기 단위 공정들은 단위 공정마다 다수 개의 공정 장비를 이용하는데, 각 공정 장비 간의 기판 이재 또는 공정 장비와 카세트 간의 기판 이재에 있어서 기판 이재 로봇을 이용한다.The unit processes use a plurality of process equipment for each unit process, and a substrate transfer robot is used for substrate transfer between each process equipment or substrate transfer between the process equipment and the cassette.

이러한 일반적인 기판 이재 로봇에 대해 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.This general substrate transfer robot is described with reference to FIG. 1 as follows.

도 1은 일반적인 기판 이재 로봇을 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a general substrate transfer robot.

도 1에 도시한 바와 같이, 일반적인 기판 이재 로봇은 베이스부(105) 및 주축(101), 암(102), 핸드부(103)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, a general substrate transfer robot includes a base portion 105, a main shaft 101, an arm 102, and a hand portion 103.

상기 베이스부(105) 상부에는 기둥형태의 주축(101)이 구비되어 있다.The base portion 105 is provided with a columnar main shaft 101 in the upper portion.

상기 암(102)의 일 끝단은 주축(101)에 연결되고, 타 끝단에는 핸드부(103)가 연결되며, 상기 암(102)은 서로 연결된 복수 개의 부분암(102a, 102b)으로 구성되어 있다.One end of the arm 102 is connected to the main shaft 101, the other end is connected to the hand portion 103, the arm 102 is composed of a plurality of partial arms (102a, 102b) connected to each other .

상기 주축(101)과 암(102)의 일 끝단이 연결된 부분은 제 1 관절부(102c)가 형성되는데, 이는 주축(101)을 중심으로 암(102)의 수평회전 및 상하이동을 가능하도록 한다.The first joint portion 102c is formed at a portion where the main shaft 101 and one end of the arm 102 are connected, which enables horizontal rotation and vertical movement of the arm 102 about the main shaft 101.

또한, 상기 부분암(102a, 102b)들이 서로 연결된 부분에는 제 2 관절부(102d)가 형성되는데, 이는 암(102)의 수평이동이 가능하도록 한다.In addition, a second joint portion 102d is formed at a portion where the partial arms 102a and 102b are connected to each other, which enables horizontal movement of the arm 102.

상기 암(102)의 끝단과 핸드부(103)가 체결된 부분에는 제 3 관절부(102e)가 형성되며, 이는 암(102)의 수평이동이 가능하도록 한다. A third joint portion 102e is formed at a portion where the end of the arm 102 and the hand portion 103 are fastened, which enables horizontal movement of the arm 102.

상기 수평이동은 도 1에 도시된 X축과 Y축이 형성하는 가상 평면상의 이동이며, 상하이동은 도 1에 도시된 양의 Z축과 음의 Z축 방향으로의 이동이다.The horizontal movement is the movement on the imaginary plane formed by the X and Y axes shown in FIG. 1, and the Shanghai movement is the movement in the positive Z axis and negative Z axis directions shown in FIG. 1.

상기 구성으로 이루어진 기판 이재 로봇이 두 공정 장비(109, 110)와 두 카세트(111, 112) 내에서 이루어지는 작업공정에 대해 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.The substrate transfer robot having the above-described configuration will be described with reference to FIG. 2 with reference to FIG. 2 for a working process performed in two process equipments 109 and 110 and two cassettes 111 and 112.

도 2는 일반적인 기판 이재 로봇이 작업하는 모습을 나타낸 평면도로서, 이는 상기 기판 이재 로봇이 복수 개의 공정장비들과 카세트들 사이에서 기판을 이재하는 모습을 도시한 것이며, 상세하게는 두 개의 공정 장비와 두 개의 카세트 사이에서 작업을 수행하고 있는 기판 이재 로봇을 도시한 것이다.FIG. 2 is a plan view showing the operation of a general substrate transfer robot, which illustrates a state in which the substrate transfer robot transfers a substrate between a plurality of process equipments and cassettes. It shows a substrate transfer robot performing work between two cassettes.

제 1 카세트(111)는 제 1 공정 장비(109)와 제 2 공정 장비(110) 내에서의 공정이 이루어지기 전의 기판이 적재되어있으며, 제 2 카세트(112)는 제 1 공정 장비(109)와 제 2 공정 장비(110) 내에서의 공정이 끝난 기판이 적재된다.The first cassette 111 is loaded with a substrate before the process in the first process equipment 109 and the second process equipment 110 is carried out, and the second cassette 112 is the first process equipment 109. And the substrate after the process in the second process equipment 110 is loaded.

도 2를 참조하면, 상기 기판 이재 로봇은 제 1 카세트(111)에 안착 되어있는 기판을 취출하여 제 1 공정 장비(109) 내에 안착한다. 이로써 기판에 대한 제 1 공정이 이루어진다.Referring to FIG. 2, the substrate transfer robot takes out the substrate seated on the first cassette 111 and seats the substrate in the first process equipment 109. This is the first process for the substrate.

이어서, 제 1 공정 후에 기판 이재 로봇은 제 1 공정 장비(109) 내의 기판을 취출하여 제 2 공정 장비(110) 내에 안착하며 이로써 기판에 대한 제 2 공정이 이루어진다.Subsequently, after the first process, the substrate transfer robot takes out the substrate in the first process equipment 109 and seats it in the second process equipment 110, whereby a second process is performed on the substrate.

그 다음, 제 2 공정 이후에 기판 이재 로봇은 제 2 공정 장비(110) 내의 기판을 취출하여 제 2 카세트(112) 내부에 안착한다.Then, after the second process, the substrate transfer robot takes out the substrate in the second process equipment 110 and mounts it inside the second cassette 112.

상기와 같은 작업 순서 외에 제 1 공정 장비(109)나 제 2 공정 장비(110) 내에서 공정을 이루고 있어서 기판 이재 로봇의 작업이 이루어지지 않는 공백 시간을 이용하여 기판을 이재하는 방법이 있는데, 예를 들어 제 2 공정이 진행되는 시간 동안에 제 1 카세트(111) 내부에 있는 기판을 취출하여 제 1 공정 장비(109) 내로 안착하여 시간을 절약하는 방법이 있다.In addition to the above work sequence, there is a method of transferring the substrate using a free time in which the process is performed in the first process equipment 109 or the second process equipment 110 and the operation of the substrate transfer robot is not performed. For example, there is a method of saving time by taking a substrate inside the first cassette 111 and placing it in the first process equipment 109 during the time when the second process proceeds.

그러나, 상기의 기판 이재 로봇은 각 공정 장비와 카세트 사이를 이동하는데 있어서 매번 회전해야 하므로 기판 이재에 긴 작업 시간이 요구되며 이에 따라 작업 능률이 낮은 단점이 있다.However, since the substrate transfer robot has to rotate every time in order to move between the process equipment and the cassette, a long work time is required for the substrate transfer and thus the work efficiency is low.

이는 액정표시장치 공정 전반의 작업 시간이 지연되어 액정표시장치의 생산성이 낮아지는 문제점을 야기한다.This causes a problem that the working time of the entire liquid crystal display process is delayed, thereby lowering the productivity of the liquid crystal display.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 고안한 것으로서, 본 발명의 목적은 독립적 회전 이동 및 동시적 상하이동이 가능한 다수의 암을 구비하여 효율적인 기판 이재를 달성할 수 있는 기판 이재 로봇을 제공함에 있다.Therefore, the present invention has been devised to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a substrate transfer robot that can achieve efficient substrate transfer by having a plurality of arms capable of independent rotational movement and simultaneous movement. have.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이재 로봇은 주축; 각기 상기 주축에 연결되어 독립적으로 수평회전과 상하이동을 하는 복수의 암; 상기 복수의 암의 말단에 형성되며 기판을 안착하는 핸드부; 및 상기 복수의 암의 수평회전과 상하이동을 제어하는 제어부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.Substrate transfer robot according to a preferred embodiment of the present invention for achieving the above object is a main shaft; A plurality of arms each connected to the main shaft to independently rotate and rotate horizontally; A hand part formed at an end of the plurality of arms and seating a substrate; And it characterized in that it comprises a control unit for controlling the horizontal rotation and shangdong of the plurality of arms.

또한, 상기 주축의 하부에는 주축을 지지하는 베이스부가 더 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the lower portion of the main shaft is characterized in that the base portion for supporting the main shaft is further formed.

상기 복수의 암은 각기 주축의 다른 높이에 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.The plurality of arms are each connected to different heights of the main shaft.

암과 주축이 연결된 부분에는 제 1 관절부가 형성되어 주축을 중심으로 암의 수평회전 및 상하이동을 제공하는 것을 특징으로 한다.A first joint portion is formed at a portion where the arm and the main shaft are connected to each other to provide horizontal rotation and shankdong of the arm about the main axis.

상기 제 1 관절부는 타 암에 형성된 제 1 관절부와는 독립적으로 수평회전을 하며, 또한 상기 각 암에 형성된 제 1 관절부는 동시에 상하이동하는 것을 특징으로 한다.The first joint portion is horizontally rotated independently of the first joint portion formed on the other arm, and the first joint portion formed on each arm is characterized in that it moves simultaneously.

상기 암들은 서로 연결된 복수 개의 부분암을 포함하는 것을 특징으로 한다.The arms are characterized in that they comprise a plurality of partial arms connected to each other.

상기 부분암들이 서로 연결된 부분에는 제 2 관절부가 형성되어 부분암의 수평회전을 제공하는 것을 특징으로 한다.A second joint part is formed at a portion where the partial arms are connected to each other to provide horizontal rotation of the partial arm.

상기 핸드부와 암이 연결된 부분에는 제 3 관절부가 형성되어 핸드부의 수평회전을 제공하는 것을 특징으로 한다.A third joint portion is formed at a portion where the hand portion and the arm are connected to each other to provide horizontal rotation of the hand portion.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판 이재 로봇의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the substrate transfer robot according to the present invention.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이재 로봇을 나타낸 사시도이다.3 is a perspective view showing a substrate transfer robot according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이재 로봇은 주축(201); 각기 상기 주축(201)에 연결되어 독립적으로 수평회전과 상하이동을 하는 복수의 암(202); 상기 복수의 암(202)의 말단에 형성되며 기판(206)을 안착하는 핸드부(203); 및 상기 복수의 암(202)의 수평회전과 상하이동을 제어하는 제어부(204)를 포함하여 구성된다.As shown in Figure 3, the substrate transfer robot according to the present invention comprises a main shaft 201; A plurality of arms 202 each connected to the main shaft 201 to independently rotate and rotate horizontally; A hand part 203 formed at an end of the plurality of arms 202 and seating the substrate 206; And a control unit 204 for controlling horizontal rotation and vertical movement of the plurality of arms 202.

상기 주축(201)은 베이스부(205)의 상부에 구비되며, 베이스부(205)의 최하단에서 주축(201)의 상부 끝단까지의 높이는 공정 장비 내의 기판 안착 스테이지와 다수의 기판을 적재하는 카세트 내의 기판 적재 공간의 높이와 같거나 상기 높이보다 높은 것이 바람직하다.The main shaft 201 is provided on the upper portion of the base portion 205, the height from the bottom end of the base portion 205 to the upper end of the main shaft 201 in the cassette for loading a substrate mounting stage and a plurality of substrates in the process equipment It is preferable to be equal to or higher than the height of the substrate loading space.

상기 베이스부(205)는 암(202)이 연결된 주축(201)을 지지하는 역할을 한다.The base portion 205 supports the main shaft 201 to which the arm 202 is connected.

상기 베이스부(205) 내부에는 기판 이재 로봇을 작동하기 위하여 구동 모터나 벨트, 기어 등과 같은 구동력 공급을 위한 수단들을 설치할 수도 있다.The base unit 205 may be provided with means for supplying driving force such as a driving motor, a belt, a gear, etc. to operate the substrate transfer robot.

상기 암(202)의 일 끝단은 주축(201)에 연결되며, 각 암(202)은 서로 다른 높이에 위치한다.One end of the arm 202 is connected to the main shaft 201, each arm 202 is located at a different height.

또한, 각 암(202) 간의 충돌을 방지하기 위하여 각 암(202)이 상하로 일정간격 이격되어 형성되는 것이 바람직하다.In addition, each arm 202 is preferably formed spaced apart at regular intervals in order to prevent a collision between each arm 202.

상기 암(202)과 주축(201)이 연결된 부분에는 제 1 관절부(202c)가 형성되며, 제 1 관절부(202c)는 주축(201)을 기준으로 하여 수평회전 및 상하이동이 가능 하다. 제 1 관절부(202c)의 수평회전과 상하이동은 암(202)의 수평이동과 상하이동을 의미한다.A first joint portion 202c is formed at a portion where the arm 202 and the main shaft 201 are connected, and the first joint portion 202c may rotate horizontally and vertically with respect to the main shaft 201. Horizontal rotation and shanghai movement of the first joint part 202c mean horizontal movement and shanghai movement of the arm 202.

여기서, 수평회전은 도 3에 도시된 X축과 Y축이 형성하는 가상 평면상의 회전이며, 상하이동은 Z축의 양의 방향과 Z축의 음의 방향으로의 이동이다.Here, the horizontal rotation is the rotation on the imaginary plane formed by the X and Y axes shown in FIG. 3, and the shanghai is the movement in the positive direction of the Z axis and the negative direction of the Z axis.

상기 제 1 관절부(202c)의 수평회전은 공정장비(도 4의 309, 310 참조) 또는 카세트(도 4의 311, 312 참조)에서의 작업을 마친 후에 팔은 접은 채 회전하여 다른 공정장비나 카세트로 이동하는 작업에 이용된다.The horizontal rotation of the first joint 202c is rotated with arms folded after finishing work in the process equipment (see 309 and 310 of FIG. 4) or the cassette (see 311 and 312 of FIG. 4). It is used to move to.

또한, 상기 제 1 관절부(202c)는 하기의 제 2 관절부(202d)와 동시에 수평이동함으로써, 공정 장비나 카세트 내부로 핸드부(203)를 투입하거나 공정 장비나 카세트 내부로부터 핸드부(203)를 빼내기 위한 작업, 즉 암(202)을 접고 펴는 동작에 사용된다.In addition, the first joint portion 202c moves horizontally simultaneously with the second joint portion 202d described below to inject the hand portion 203 into the process equipment or the cassette or to move the hand portion 203 from the inside of the process equipment or the cassette. It is used for pulling out, ie folding and unfolding the arm 202.

상기 제 1 관절부(202c)의 상하이동은 공정장비 또는 카세트 내부에 기판(206)을 취출할 위치 또는 기판(206)을 안착할 위치에 핸드부(203)의 높이를 맞추기 위해 사용된다. 이때 주축(201)에 연결된 암(202)들은 같이 상하 이동을 한다.Shanghaidong of the first joint portion 202c is used to adjust the height of the hand portion 203 at the position where the substrate 206 is to be taken out or inside the process equipment or the cassette. At this time, the arms 202 connected to the main shaft 201 move up and down together.

상기 암(202)은 서로 연결된 복수 개의 부분암(202a, 202b)을 포함하여 구성된다.The arm 202 includes a plurality of partial arms 202a and 202b connected to each other.

도 3에는 제 1 부분암(202a)과 제 2 부분암(202b)으로 구성된 암(202)을 도시하였다.3 illustrates an arm 202 composed of a first partial arm 202a and a second partial arm 202b.

본 발명의 바람직한 실시예를 설명함에 있어서 각 암(202)이 두 개의 부분암 으로 구성된 것을 그 예로 하였지만, 부분암의 수가 이에 한정되는 것은 아니다.In describing the preferred embodiment of the present invention, the arm 202 is composed of two partial arms, but the number of partial arms is not limited thereto.

상기 부분암(202a, 202b)들이 서로 연결된 부분에는 제 2 관절부(202d)가 형성되며, 제 2 관절부(202d)는 수평회전이 가능하고, 제 2 관절부(202d)의 수평이동은 부분암(202a, 202b)의 수평이동을 의미한다. 여기서, 수평회전은 도 3에 도시된 X축과 Y축이 형성하는 가상 평면상의 회전이다.A second joint portion 202d is formed at a portion where the partial arms 202a and 202b are connected to each other, and the second joint portion 202d may be horizontally rotated, and the horizontal movement of the second joint portion 202d may be a partial arm 202a. , 202b) means horizontal movement. Here, the horizontal rotation is rotation on an imaginary plane formed by the X and Y axes shown in FIG. 3.

상기 제 1 관절부(202c)와 제 2 관절부(202d)의 수평회전은 암(202)의 접고 펴는 동작에 사용된다. 암(202)의 접고 펴는 동작은 핸드부(203)가 공정 장비나 카세트 내부로 용이하게 접근하도록 한다.Horizontal rotation of the first joint part 202c and the second joint part 202d is used for folding and unfolding the arm 202. The folding and unfolding operation of the arm 202 allows the hand portion 203 to have easy access to process equipment or cassettes.

또한, 주축(201)을 중심으로 제 1 관절부(202c)의 수평회전을 통해 암(202)이 회전할 때에는 암(202)을 접어서 주위에 구비된 공정장비 또는 카세트와의 충돌을 방지한다.In addition, when the arm 202 rotates through the horizontal rotation of the first joint portion 202c about the main shaft 201, the arm 202 is folded to prevent a collision with the process equipment or cassettes provided around.

상기 핸드부(203)는 암(202)의 말단에 형성되며, 기판(206)의 이재 작업시에 핸드부(203)의 상부에 기판(206)을 안착하는 역할을 한다.The hand part 203 is formed at the distal end of the arm 202 and serves to seat the substrate 206 on the upper part of the hand part 203 during the transfer operation of the substrate 206.

상기 핸드부(203)는 기판(206)과의 접촉을 최대한 줄이면서 기판(206)을 안정적으로 안착하여 이재할 수 있는 형태라면 어느 형태든 가능하다. The hand part 203 may have any shape as long as it can reduce the contact with the substrate 206 and stably seat the substrate 206.

도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에서는 상기 핸드부(203)가 제 2 부분암(202b)의 말단에 연결되며, 기판(206)을 안착하기 위한 막대 형상의 받침이 두 개 형성된 것을 그 예로 한다.Referring to FIG. 3, in the preferred embodiment of the present invention, the hand part 203 is connected to the end of the second partial arm 202b, and two rod-shaped supports for seating the substrate 206 are formed. For example.

핸드부(203)와 암(202)이 연결되는 부분에는 제 3 관절(202e)이 형성되며, 제 3 관절(202e)은 수평회전이 가능하며 이는 핸드부(203)가 수평회전하도록 한다. 여기서, 수평회전은 도 3의 X축과 Y축이 형성하는 가상 평면상의 회전이다.A third joint 202e is formed at a portion where the hand part 203 and the arm 202 are connected, and the third joint 202e is capable of horizontal rotation, which allows the hand part 203 to rotate horizontally. Here, horizontal rotation is rotation on the virtual plane which the X-axis and Y-axis of FIG. 3 form.

상기 제 3 관절(202e)은 수평회전을 통해 핸드부(203)의 미세한 이동을 제공한다.The third joint 202e provides fine movement of the hand part 203 through horizontal rotation.

또한, 상기 암(202)이 공정 장비 또는 카세트에서의 작업 후 다른 공정 장비 또는 카세트로 이동하기 위하여 회전할 때 핸드부(203)를 주축(201) 방향으로 접어서 공정 장비 또는 카세트와의 충돌을 방지하는 역할을 한다.In addition, when the arm 202 rotates to move to another process equipment or cassette after working in the process equipment or cassette, the hand part 203 is folded in the direction of the main shaft 201 to prevent collision with the process equipment or cassette. It plays a role.

상기 제어부(204)는 상기 암(202)의 수평회전과 상하이동을 제어하며, 더욱 상세하게는 제 1 관절(202c) 내지 제 3 관절(202e)의 동작을 제어한다. 즉, 상기 제어부(204)는 해당 공정에 사용되는 공정 장비와 카세트의 내부 형태 또는 상기 공정 장비와 카세트가 기판 이재 로봇을 중심으로 하여 배치된 형태에 따라 달라지는 제 1 관절(202c) 내지 제 3 관절(202e)의 이동을 제어한다.The controller 204 controls horizontal rotation and vertical movement of the arm 202, and more specifically, controls the operations of the first joint 202c to the third joint 202e. That is, the controller 204 may include the first joints 202c to the third joints depending on the internal shape of the process equipment and the cassette used in the corresponding process or the shape of the process equipment and the cassette arranged around the substrate transfer robot. The movement of 202e is controlled.

상기 제어부(204)는 베이스부(205) 내부 또는 베이스부(205) 외부에 설치될 수 있다.The control unit 204 may be installed inside the base unit 205 or outside the base unit 205.

본 발명의 바람직한 실시예에서는 제어부(204)를 베이스부(205)의 내부에 설치한 것을 그 예로 하였지만, 상기 제어부(204)의 설치 위치는 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 적절히 변경 가능하다.In the preferred embodiment of the present invention, the control unit 204 is installed inside the base unit 205 as an example. However, the installation position of the control unit 204 can be appropriately changed within the scope of the present invention. .

상기 구성으로 이루어지는 기판 이재 로봇이 공정장비와 카세트 사이에서 이루어지는 작업 공정에 대해 도 4를 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to FIG. 4, the substrate transfer robot having the above-described configuration is a working process performed between the process equipment and the cassette.

도 4는 도 3의 기판 이재 로봇이 기판 이재 작업을 하는 모습을 나타낸 평면도로서, 이는 상기 기판 이재 로봇이 복수 개의 공정장비들(309, 310)과 카세트 들(311, 312) 사이에서 기판(206)을 이재하는 모습을 도시한 것이다.FIG. 4 is a plan view illustrating a substrate transfer robot of FIG. 3 performing a substrate transfer operation, which is performed by the substrate transfer robot between the plurality of process equipments 309 and 310 and the cassettes 311 and 312. Shows the transfer of).

상세하게는, 두 개의 공정 장비(309, 310)와 두 개의 카세트(311, 312) 사이에서 작업을 수행하고 있는 기판 이재 로봇을 도시한 것이다.In detail, the substrate transfer robot performing the operation between the two process equipment (309, 310) and two cassettes (311, 312).

도 4를 참조하면, 제 1 카세트(311)는 제 1 공정 장비(309)와 제 2 공정 장비(310) 내에서의 공정이 이루어지기 전의 기판이 적재되어 있으며, 제 2 카세트(312)는 제 1 공정 장비(309)와 제 2 공정 장비(310) 내에서의 공정이 완료된 기판이 적재된다.Referring to FIG. 4, the first cassette 311 is loaded with a substrate before the process in the first process equipment 309 and the second process equipment 310 is carried out, and the second cassette 312 is provided with a second cassette 312. The board | substrate with which the process in the 1st process equipment 309 and the 2nd process equipment 310 is completed is loaded.

설명의 편의상 도 4의 상부에 위치한 암을 제 1 암(306)이라 정의하고, 시계 방향으로 제 2 암(307) 그리고 제 3 암(308)으로 정의한다.For convenience of description, the upper arm of FIG. 4 is defined as a first arm 306 and is defined as a second arm 307 and a third arm 308 in a clockwise direction.

도 4를 참조하면, 공정의 시작 시점에는 제 1 공정 장비(309)와 제 2 공정 장비(310) 내부에서 이루어지는 제 1 및 제 2 공정을 거치기 전의 기판이 제 1 카세트(311) 내부에 적재되어 있으며, 제 2 카세트(312)의 내부는 비어 있다.Referring to FIG. 4, at the start of the process, the substrate before the first and second processes, which are performed in the first process equipment 309 and the second process equipment 310, is loaded into the first cassette 311. The inside of the second cassette 312 is empty.

제 1 암(306)이 제 1 카세트(311)로 수평회전한 후에, 제 1 암(306)을 기준으로 제 1 카세트(311) 내부에 취출할 기판이 있는 높이에 맞도록 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)이 동시에 같이 상하이동한 뒤 제 1 암(306)을 뻗어 기판을 취출한 후 제 1 암(306)을 접는다.After the first arm 306 rotates horizontally to the first cassette 311, the first arm 306 is adapted to the height of the substrate to be taken out inside the first cassette 311 based on the first arm 306. ) To the third arm 308 simultaneously move together, extend the first arm 306 to take out the substrate, and then fold the first arm 306.

이 후 제 1 암(306)과 제 2 암(307)이 회전하여 각각 제 1 공정 장비(309)와 제 1 카세트(311)로 이동한다.Thereafter, the first arm 306 and the second arm 307 rotate to move to the first process equipment 309 and the first cassette 311, respectively.

이 다음, 제 1 암(306)을 기준으로 제 1 공정 장비(309) 내에 기판을 안착해야하는 높이에 맞도록 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)이 한번에 같이 상하 이동을 한 뒤 제 1 암(306)을 뻗어 제 1 공정 장비(309) 내에 기판을 안착하고 암을 다시 접는다.Next, the first arm 306 to the third arm 308 move up and down together at a time to fit the height at which the substrate must be seated in the first process equipment 309 based on the first arm 306. The first arm 306 extends to seat the substrate within the first process equipment 309 and to fold the arm again.

그 다음, 제 2 암(307)을 기준으로 제 1 카세트(311) 내부에 취출할 기판이 있는 높이로 제 1 암(306)내지 제 3 암(308)이 동시에 같이 상하 이동을 한 뒤 제 2 암(307)을 뻗어 제 1 카세트(311) 내부의 기판을 취출한 뒤 암을 접는다.Next, the first arm 306 to the third arm 308 simultaneously move up and down at a height with a substrate to be taken out of the first cassette 311 based on the second arm 307, and then the second The arm 307 is extended to take out the substrate inside the first cassette 311 and then fold the arm.

일정시간 후 제 1 공정이 끝나면, 제 1 암(306)을 기준으로 제 1 공정 장비(309) 내에서의 공정이 끝난 기판을 취출해야하는 높이에 맞도록 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)이 한번에 같이 상하 이동을 한 뒤 제 1 암(306)을 뻗어 제 1 공정 장비(309) 내의 기판을 취출하고 암을 다시 접는다.After a certain period of time, when the first process is finished, the first arm 306 to the third arm (fit to a height at which the processed substrate in the first process equipment 309 should be taken out based on the first arm 306). After 308 moves up and down together at once, the first arm 306 extends to take out the substrate in the first process equipment 309 and refold the arm.

여기서, 각 암이 동시에 상하 이동을 하는 기준이 되는 암은 제 1 암(306), 제 2 암(307)의 순서이며, 이 후에 공정이 끝난 기판을 취출할 때에는 제 1 암(306)을 기준으로 한다.Here, the arm, which is the reference for each arm to move up and down at the same time, is the order of the first arm 306 and the second arm 307, and the first arm 306 is referred to when taking out the substrate after the process is completed. It is done.

따라서, 각 암(306, 307, 308)이 동시에 한번 회전하여 각자의 작업 위치로 이동한 뒤에 기준 암의 작업 높이에 맞추어 상하이동하여 기판을 취출 또는 안착함으로써 작업 시간이 단축되는 효과가 있음을 알 수 있다.Therefore, the arm 306, 307, 308 is rotated once at the same time to move to their respective working position, and then moved to the working height of the reference arm to move out or settle the substrate to reduce the work time is known that there is an effect Can be.

이 후, 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)은 회전하여 제 2 공정 장비(310) 및 제 1 공정 장비(309), 제 1 카세트(311)로 이동한다.Thereafter, the first arm 306 to the third arm 308 rotate to move to the second process equipment 310, the first process equipment 309, and the first cassette 311.

이 다음, 제 1 암(306)을 기준으로 제 2 공정 장비(310) 내에 기판을 안착해야 할 높이에 맞도록 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)이 동시에 같이 상하 이동을 한 뒤 제 1 암(306)을 뻗어 제 2 공정 장비(310) 내에 기판을 안착하고 암을 다시 접는다.Next, the first arm 306 to the third arm 308 simultaneously move up and down to fit the height at which the substrate is to be seated in the second process equipment 310 based on the first arm 306. The first arm 306 extends to seat the substrate in the second process equipment 310 and to fold the arm again.

그 다음, 제 2 암(307)을 기준으로 제 1 공정 장비(309) 내에 기판을 안착해야 할 높이에 맞도록 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)이 동시에 같이 상하 이동을 한 뒤 제 2 암(307)을 뻗어 제 1 공정 장비(309) 내에 기판을 안착하고 제 2 암(307)을 다시 접는다.Then, the first arm 306 to the third arm 308 simultaneously move up and down to fit the height at which the substrate should be seated in the first process equipment 309 based on the second arm 307. The second arm 307 extends to seat the substrate in the first process equipment 309 and to fold the second arm 307 again.

그 다음, 제 3 암(308)을 기준으로 제 1 카세트(311) 내부에 취출해야 할 기판이 있는 높이에 맞도록 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)이 동시에 같이 상하 이동을 한 뒤 제 3 암(308)을 뻗어 제 1 카세트(311) 내의 기판을 취출한 뒤 제 3 암(308)을 접는다.Next, the first arm 306 to the third arm 308 simultaneously move up and down to match the height of the substrate to be taken out of the first cassette 311 based on the third arm 308. The third arm 308 is extended to take out the substrate in the first cassette 311 and then the third arm 308 is folded.

일정 시간 후 제 1 공정 및 제 2 공정이 끝나면, 제 1 암(306)을 기준으로 제 2 공정 장비(310) 내에서의 공정이 끝난 기판을 취출해야하는 높이에 맞도록 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)이 한번에 같이 상하 이동을 한 뒤 제 1 암(306)을 뻗어 제 2 공정 장비(310) 내의 기판을 취출하고 암을 다시 접는다.After the first process and the second process are finished after a certain time, the first arm 306 to the height at which the processed substrate in the second process equipment 310 should be taken out based on the first arm 306. After the third arm 308 moves up and down together at once, the first arm 306 extends to take out the substrate in the second process equipment 310 and refold the arm.

그 다음, 제 2 암(307)을 기준으로 제 1 공정 장비(309) 내에서의 공정이 끝난 기판을 취출해야하는 높이에 맞도록 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)이 한번에 같이 상하 이동을 한 뒤 제 2 암(307)을 뻗어 제 1 공정 장비(309) 내의 기판을 취출하고 암을 다시 접는다.Then, the first arm 306 to the third arm 308 are simultaneously moved up and down at a time so as to match the height at which the processed substrate in the first process equipment 309 should be taken out based on the second arm 307. After the movement, the second arm 307 is extended to take out the substrate in the first process equipment 309 and refold the arm.

여기서, 각 암이 동시에 상하 이동을 하는 기준이 되는 암은 제 1 암(306), 제 2 암(307), 제 3 암(308)이며, 공정이 끝난 기판을 취출하는 순서는 제 1 암(306), 제 2 암(307)의 순서이다. Here, the arms used as the reference for each arm to move up and down at the same time are the first arm 306, the second arm 307, and the third arm 308, and the order of taking out the finished substrate is the first arm ( 306, the second arm 307.

따라서, 각 암(306, 307, 308)이 동시에 한번 회전하여 각자의 작업 위치로 이동한 뒤에 기준 암의 작업 높이에 맞추어 상하이동하여 기판을 취출 또는 안착함으로써 작업 시간이 단축되는 효과가 있음을 알 수 있다.Therefore, the arm 306, 307, 308 is rotated once at the same time to move to their respective working position, and then moved to the working height of the reference arm to move out or settle the substrate to reduce the work time is known that there is an effect Can be.

이 후, 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)은 회전하여 제 2 카세트(312) 및 제 2 공정 장비(310), 제 1 공정 장비(309)로 이동하여 기판을 취출 또는 안착하는 과정을 상기와 같이 반복한다.Thereafter, the first arm 306 to the third arm 308 rotate to move to the second cassette 312 and the second process equipment 310 and the first process equipment 309 to take out or seat the substrate. Repeat the process as above.

상기와 같이 모든 암(306, 307, 308)이 동시에 한 번 회전한 후 기준암에 대하여 높이를 순차적으로 조절하면서 기판을 취출 또는 안착하는 작업을 하나의 사이클로 봤을 때, 하나의 사이클마다 암의 개수와 같은 수에 해당하는 기판을 취출 또는 안착할 수 있다.As described above, when all the arms 306, 307, and 308 rotate once at the same time and then take out or seat the substrate while adjusting the height with respect to the reference arm in one cycle, the number of arms per one cycle. Substrate corresponding to the same number can be taken out or seated.

따라서, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이재 로봇을 이용하여 기판 이재 작업을 하면 단시간 내에 많은 기판을 이재 할 수 있다.Therefore, when the substrate transfer operation using the substrate transfer robot according to an embodiment of the present invention can transfer many substrates in a short time.

상기 기판 이재 로봇은 상기와 같은 사이클을 계속 반복하며 기판을 취출하고 안착하며, 제 1 카세트(311)의 모든 기판이 제 1 공정 및 제 2 공정을 거친 후 제 2 카세트(312)로 이동되었을 때, 제 1 카세트(311)와 제 2 카세트(312)를 다른 것으로 교환하여 다시 기판 이재 작업을 수행한다.The substrate transfer robot continuously repeats the above cycle and takes out and mounts the substrate, and when all the substrates of the first cassette 311 are moved to the second cassette 312 after the first and second processes, Subsequently, the first cassette 311 and the second cassette 312 are exchanged with each other to perform substrate transfer again.

상기에서와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이재 로봇을 이용한 기판 이재 작업은 각 암(306, 307, 308)이 동시에 한 번 회전함으로써 각 암(306, 307, 308)이 각자가 작업을 수행해야 하는 작업 공정 장비(309, 310)나 카세트(311, 312)로 이동하게 된다.As described above, in the substrate transfer operation using the substrate transfer robot according to the preferred embodiment of the present invention, each arm 306, 307, 308 rotates once at the same time, so that each arm 306, 307, 308 works on its own. Work process equipment (309, 310) or cassettes (311, 312) to be performed is moved.

이 후에는 모든 암(306, 307, 308)이 동시에 같이 상하 이동하는 동작을 수 번 실행함으로써 기판을 하나씩 취출 또는 안착 작업을 수행하게 되는데, 모든 암(306, 307, 308)이 기판 취출 또는 안착 작업을 차례로 수행할 수 있도록 높이 이동의 기준이 되는 암은 하나씩 순차적으로 변경된다.After this, all the arms 306, 307, and 308 simultaneously move up and down together several times to take out or mount the substrates one by one. All the arms 306, 307, and 308 take out or seat the substrate. The arms, which are the basis for the height movement, are sequentially changed one by one so that the work can be performed in sequence.

즉, 기준이 되는 암이 기판을 취출 또는 안착을 해야하는 높이로 이동할 수 있도록 모든 암(306, 307, 308)이 같이 상하이동을 한 후에 기준이 되는 암이 기판 취출 또는 안착을 수행하는 이 작업을, 기준 암을 순차적으로 변경하면서 한 사이클마다 반복적으로 수행한다.That is, after all the arms 306, 307, and 308 move together so that the reference arm can be moved to the height at which the substrate should be taken out or seated, this operation is performed when the reference arm performs the substrate takeout or mounting. In addition, the reference arm is repeatedly performed every cycle while changing the reference arm sequentially.

상기 암들(306, 307, 308)이 동시에 높이를 변경하는 기준이 되는 암의 순서는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함에 있어서는 제 1 암(306)에서 제 2 암(307), 제 3 암(308)의 순서로 하였으며, 일정 시간 후 공정이 끝난 기판을 취출하는 작업에서 기준이 되는 암의 순서도 제 1 암(306)에서 제 2 암(307), 제 3 암(308)의 순서로 하였다.The order in which the arms 306, 307, and 308 change the height at the same time is the order of the preferred embodiment of the present invention. 308), and the order of the reference arm in the operation of taking out the substrate after a predetermined time is the order from the first arm 306 to the second arm 307 and the third arm 308.

하지만, 암들이 동시에 높이를 변경하는 기준이 되는 암의 순서는 공정 장비 내에서 이루어지는 작업의 종류나 공정 장비 내에서의 공정 작업 시간, 그리고 공정 장비의 개수 또는 카세트의 개수, 공정 장비와 카세트의 배치에 따라 적절히 설계하여 적용하는 것이 바람직하다.However, the order of arms on which the arms change height at the same time is the type of work performed in the process equipment or the process working time in the process equipment, the number of the process equipment or the number of cassettes, the arrangement of the process equipment and the cassette. It is preferable to design and apply accordingly.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 기판 이재 로봇은 수평회전 및 상하이동이 가능한 다수의 팔을 구비하여 다수의 기판을 단시간에 효율적으 로 이재함으로써 기판 이재 작업의 능률을 올리는 효과가 있으며, 액정표시장치 공정 전반의 작업 시간을 단축함으로써 액정표시장치의 생산성을 향상시키는 장점이 있다.As described in detail above, the substrate transfer robot according to the present invention is provided with a plurality of arms capable of horizontal rotation and shanghai movement to efficiently transfer the substrate transfer in a short time, thereby increasing the efficiency of substrate transfer operation, and the liquid crystal display. There is an advantage of improving the productivity of the liquid crystal display by shortening the working time of the overall device process.

Claims (9)

주축;principal axis; 각기 상기 주축에 연결되어 독립적으로 수평회전과 상하이동을 하는 복수의 암;A plurality of arms each connected to the main shaft to independently rotate and rotate horizontally; 상기 복수의 암의 말단에 형성되며 기판을 안착하는 핸드부; 및A hand part formed at an end of the plurality of arms and seating a substrate; And 상기 복수의 암의 수평회전과 상하이동을 제어하는 제어부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이재 로봇.Substrate transfer robot, characterized in that it comprises a control unit for controlling the horizontal rotation and shangdong of the plurality of arms. 제 1항에 있어서, 상기 주축의 하부에는 주축을 지지하는 베이스부가 더 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이재 로봇.The substrate transfer robot of claim 1, wherein a base portion supporting the main shaft is further formed below the main shaft. 제 1항에 있어서, 상기 복수의 암은 각기 주축의 다른 높이에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 이재 로봇.The substrate transfer robot of claim 1, wherein the plurality of arms are connected to different heights of the main shaft, respectively. 제 1항에 있어서, 상기 암과 주축이 연결된 부분에는 제 1 관절부가 형성되어 주축을 중심으로 암의 수평회전 및 상하이동을 제공하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 로봇.The substrate transfer robot of claim 1, wherein a first joint part is formed at a portion where the arm and the main shaft are connected to each other to provide horizontal rotation and swing movement of the arm about the main axis. 제 4항에 있어서, 상기 제 1 관절부는 타 암에 형성된 제 1 관절부와는 독립 적으로 수평회전을 하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 로봇.The substrate transfer robot of claim 4, wherein the first joint part rotates horizontally independently of the first joint part formed on the other arm. 제 4항에 있어서, 상기 각 암에 형성된 제 1 관절부는 동시에 상하이동하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 로봇.5. The substrate transfer robot of claim 4, wherein the first joints formed on the arms move simultaneously. 제 1항에 있어서, 상기 암들은 서로 연결된 복수 개의 부분암을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 로봇.The substrate transfer robot of claim 1, wherein the arms comprise a plurality of partial arms connected to each other. 제 7항에 있어서, 상기 부분암들이 서로 연결된 부분에는 제 2 관절부가 형성되어 부분암의 수평회전을 제공하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 로봇.The substrate transfer robot of claim 7, wherein a second joint part is formed at a portion where the partial arms are connected to each other to provide horizontal rotation of the partial arm. 제 1항에 있어서, 상기 핸드부와 암이 연결된 부분에는 제 3 관절부가 형성되어 핸드부의 수평회전을 제공하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 로봇.The substrate transfer robot of claim 1, wherein a third joint part is formed at a portion where the hand part and the arm are connected to each other to provide horizontal rotation of the hand part.
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