KR101662000B1 - Telescopic arm robot - Google Patents

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KR101662000B1
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엄재원
오승용
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Abstract

The present invention relates to a telescopic arm robot and, more specifically, to a telescopic arm robot capable of returning multiple wafers or substrates to a second stage from a first stage by using a multi-stage telescopic arm driving method. A subject returning telescopic arm robot according to an embodiment of the present invention includes a telescopic arm device arranged between the first and second stages, returning the multiple wafers or the substrates, transferring the wafers or the substrates in a horizontal axis, and extendable to the horizontal axis or a reverse horizontal axis and a post. The telescopic arm robot is able to move upward or downward along the post. The telescopic arm robot includes multiple extendable arms to move the wafers or the substrates in the horizontal axis and a suction moving unit sucking the wafers or the substrates, mounted in the extendable arms, and movable in the horizontal axis or the reverse horizontal axis.

Description

텔레스코픽 암 로봇{TELESCOPIC ARM ROBOT}[0001] TELESCOPIC ARM ROBOT [0002]

본 발명은 텔레스코픽 암 로봇에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 다수단의 텔레스코픽 암 구동방식을 이용하여 제1 스테이지에서 제2 스테이지로 반송물을 반송할 수 있는 텔레스코픽 암 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a telescopic arm robot, and more particularly, to a telescopic arm robot capable of carrying a transported object from a first stage to a second stage by using a telescopic arm driving method of multiple means.

반도체 장치나 액정표시장치 등의 제조공정에서는, 반도체 웨이퍼나 액정표시장치용 유리 기판 등의 기판에 대하여 인입 및 취출과정이 행하여진다.In a manufacturing process of a semiconductor device or a liquid crystal display device, a lead-in and take-out process is performed on a substrate such as a semiconductor wafer or a glass substrate for a liquid crystal display device.

기판처리장치(반송 로봇)는 더블 암 로봇, 다수개의 암으로 구성된 반송 로봇 등이 개발되고 사용되고 있으며, 복수의 캐리어를 유지하는 캐리어 유지부와, 기판을 처리하는 기판처리부와, 캐리어 유지부와 기판처리부 사이에서 상하에 적층된 반전유닛과, 각 반전유닛과 캐리어 유지부 사이에서 기판을 반송하는 인덱서 로봇과, 각 반전유닛과 기판처리부 사이에서 기판을 반송하는 메인반송로봇을 구비하는 것이 일반적이다.The substrate processing apparatus (carrier robot) is a double-arm robot, a carrier robot composed of a plurality of arms, and the like, and has a carrier holding portion for holding a plurality of carriers, a substrate processing portion for processing the substrate, An indexer robot for carrying a substrate between the inversion unit and the carrier holding unit, and a main transport robot for transporting the substrate between each inversion unit and the substrate processing unit.

이러한 반송 로봇은 근본적으로 웨이퍼, 기판 또는 패널의 이송을 더욱 효율적으로 수행하기 위한 것이며, 이로서 공정 택 타임(Tack Time)을 줄여 공정 효율을 높일 수 있는 데 방향으로 개발이 이루어지게 된다.Such a carrier robot is fundamentally intended to more efficiently transfer wafers, substrates, or panels, thereby reducing the tack time and improving the process efficiency.

하나의 기판을 반송하기 위한 하나의 암을 갖는 반송 로봇에서 더블 암을 구비한 반송 로봇이 개발되었고, 더블 암의 구조를 개선하여 더욱 효율적인 공정을 목적으로 대한민국 공개특허공보 10-2008-0047205호(기판 이재 로봇) 및 대한민국 공개특허공보 10-2012-0007449호(기판처리장치 및 기판반송방법)가 개시되어 있다.A transfer robot having a single arm for transferring a single substrate has been developed. In order to improve the structure of the double arm, a transfer robot having a double arm has been developed. A substrate transfer robot) and Korean Laid-Open Patent Publication No. 10-2012-0007449 (a substrate processing apparatus and a substrate transfer method).

대한민국 공개특허공보 10-2008-0047205호는 독립적 회전축 이동 및 동시적 상하이동이 가능한 다수의 암을 구비하여 효율적인 기판 이송을 달성할 수 있는 기판 이재 로봇이 개시되어 있다. 하지만, 독립적인 회전축 이송 방식은 다수의 패널을 이송 시 다수의 패널의 배열 순서가 변경된다는 단점을 갖는다.Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2008-0047205 discloses a substrate-bearing robot capable of achieving efficient substrate transfer by providing a plurality of arms capable of independently rotating shafts and simultaneously moving up and down. However, the independent rotary axis transfer method has a disadvantage in that the order of arrangement of a plurality of panels is changed when a plurality of panels are transferred.

대한민국 공개특허공보 10-2008-0047205호는 동서남북의 4방향으로 설치되어 위치된 패널을 각각의 방향에서 반송 가능한 구조라는 점에서 이득이 있으나, 동서남북 4방향으로 독립적으로 동작되므로 인라인 공정이나 한 방향으로 진행되는 공정에서는 사용하기에 부적합한 단점을 갖는다.Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2008-0047205 is advantageous in that the panel is installed in four directions in the north, south, east, and west directions so that the panel can be moved in each direction. However, It has disadvantages that it is not suitable for use in an ongoing process.

대한민국 공개특허공보 10-2012-0007449호는 기판처리장치의 스루풋(throughput)(단위시간 당의 기판의 처리 매수)을 증가시켜 인덱서로봇 및 메인반송로봇의 대기시간을 단축하기 위한 반송로봇을 제공한다.Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2012-0007449 provides a carrier robot for increasing the throughput (the number of substrates processed per unit time) of the substrate processing apparatus to shorten the standby time of the indexer robot and the main transport robot.

대한민국 공개특허공보 10-2012-0007449호는 공정 시간을 단축하는 잇점을 가지나, 하나의 암에 다수의 핸드가 부착된 구조이므로 동시 구동을 해야 하는 단점을 가지며 다수의 핸드 구조에 의해 일정 간격으로 위치된 경우에만 다수 패널의 반송이 가능하다는 단점을 갖는다.Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2012-0007449 has an advantage of shortening the processing time, but has a disadvantage in that a plurality of hands are attached to one arm, It is possible to convey a large number of panels only when the number of the panels is small.

대한민국 공개특허공보 제10-2008-0047205호Korean Patent Publication No. 10-2008-0047205 대한민국 공개특허공보 제10-2012-0007449호Korean Patent Publication No. 10-2012-0007449

본 발명이 해결하려는 과제는, 다수단의 텔레스코픽 암 구동방식을 적용하여 별도의 회전동작없이 최소한 일 축 방향으로의 직선 이동만으로 반송물의 이송이 가능한 텔레스코픽 암 로봇을 제공하고자 한다.A problem to be solved by the present invention is to provide a telescopic arm robot capable of transporting a transported object by merely linear movement in at least one direction without a separate rotation operation by applying the telescopic arm driving method of the multiple means.

또한, 다수의 반송물을 동시에 반송할 수 있는 텔레스코픽 암 로봇을 제공하고자 한다.Further, there is a need to provide a telescopic arm robot capable of simultaneously transporting a large number of transported objects.

또한, 다수의 반송물을 이송 시 다수의 반송물의 배열순서 변경되지 않는 텔레스코픽 암 로봇을 제공하고자 한다.Further, it is desirable to provide a telescopic arm robot in which the arrangement order of a plurality of transported articles is not changed when a plurality of transported articles are transported.

또한, 협소한 공간에 설치 가능한 텔레스코픽 암 로봇을 제공하고자 한다.Further, there is a need to provide a telescopic arm robot that can be installed in a narrow space.

또한, 택타임(Tacttime)을 단축하여 공정 효율을 높일 수 있는 텔레스코픽 암 로봇을 제공하고자 한다.Also, there is a need to provide a telescopic arm robot that can shorten the tact time and increase the process efficiency.

본 발명의 실시 형태에 따른 반송물 반송용 텔레스코픽 암 로봇은, 제1 스테이지와 제2 스테이지 사이에 배치되어 상기 제1 스테이지에 놓인 하나 또는 다수의 반송물을 상기 제2 스테이지로 반송하고, 상기 반송물을 수평축 방향으로 이송시키고, 상기 수평축 방향 또는 역 수평축 방향으로 신축가능한 텔레스코픽 암 장치를 포함하고, 상기 텔레스코픽 암 장치는, 상기 반송물을 상기 수평축 방향으로 이동시키기 위한 다수의 연장 암; 및 상기 반송물을 흡착하고, 상기 연장 암에 장착되어 상기 수평축 방향 또는 상기 역 수평축 방향으로 이동가능한 흡착 이동부;를 포함한다.A telescopic arm robot for transporting a conveyed object according to an embodiment of the present invention transports one or a plurality of transported articles placed between a first stage and a second stage and placed on the first stage to the second stage, And a telescopic arm device retractable in the horizontal axis direction or the reverse horizontal axis direction, wherein the telescopic arm device comprises: a plurality of extension arms for moving the transported object in the horizontal axis direction; And an adsorption moving unit that adsorbs the transported material and is mounted on the elongate arm and movable in the horizontal axis direction or the reverse horizontal axis direction.

여기서, 상기 텔레스코픽 암 장치는 상기 수평축 방향으로 2단 이상 단계적으로 연장될 수 있다.Here, the telescopic arm apparatus may be extended stepwise in two or more stages in the horizontal axis direction.

여기서, 상기 흡착 이동부는 상기 다수의 반송물을 흡착하는 다수의 흡착부를 포함하고, 상기 다수의 흡착부는 상기 다수의 반송물과 일대일 대응할 수 있다.Here, the adsorption moving unit includes a plurality of adsorption units for adsorbing the plurality of transported products, and the plurality of adsorption units can correspond one-to-one to the plurality of transported products.

여기서, 상기 다수의 연장 암은 상기 수평축 방향으로 다단으로 연장될 수 있다.Here, the plurality of extension arms may extend in multiple stages in the horizontal axis direction.

여기서, 상기 다수의 연장 암과 상기 흡착 이동부는, 상기 수평축 방향으로 동시(同時) 또는 이시(異時)로 구동할 수 있다.Here, the plurality of extension arms and the adsorption moving unit may be driven simultaneously or simultaneously in the horizontal axis direction.

여기서, 상기 텔레스코픽 암 장치는, 스크류 봉과 레일이 내부에 장착된 텔레스코픽 암 커버를 더 포함하고, 상기 다수의 연장 암은, 상기 스크류 봉과 레일과 결합하고 상기 스크류 봉의 회전에 의해 상기 레일을 따라 상기 수평축 방향 또는 상기 역 수평축 방향으로 이동가능한 슬라이더를 포함하는 제1 연장 암; 및 상기 제1 연장 암과 결합하고 상기 제1 연장 암으로부터 상기 수평축 방향으로 연장가능한 제2 연장 암;을 포함하고, 상기 흡착 이동부는 상기 제2 연장 암에 장착될 수 있다.Wherein the telescopic arm apparatus further comprises a telescopic arm cover having a screw rod and a rail mounted therein, wherein the plurality of elongate arms engage with the screw rod and the rail, A first extension arm including a slider movable in a direction or in the direction of the reverse horizontal axis; And a second elongated arm coupled to the first elongate arm and extendable in the horizontal axis direction from the first elongate arm, wherein the desorbed transfer portion can be mounted to the second elongate arm.

여기서, 상기 텔레스코픽 암 장치 아래에 배치되어 상기 텔레스코픽 암 장치를 지지하는 이동부재;를 더 포함하고, 상기 텔레스코픽 암 장치는 상기 이동부재 위 또는 아래에서 상기 수평축 방향과 수직한 수직축 방향 또는 역 수직축 방향으로 이동가능할 수 있다.Wherein the telescopic arm device comprises a telescopic arm device disposed under the telescopic arm device and supporting the telescopic arm device, wherein the telescopic arm device comprises a telescopic arm device, It may be movable.

상술한 본 발명의 구성에 따르면, 다수단의 텔레스코픽 암 구동방식을 적용하여 별도의 회전동작없이 최소한 일 축 방향으로의 직선 이동만으로 반송물 이송이 가능한 이점이 있다.According to the structure of the present invention described above, there is an advantage that a transported object can be transported only by linear movement in at least one direction without a separate rotation operation by applying the telescopic arm drive system of multiple means.

또한, 다수의 반송물을 동시에 반송할 수 있는 이점이 있다.Further, there is an advantage that a large number of transported articles can be transported at the same time.

또한, 다수의 반송물을 이송 시 다수의 반송물의 배열순서 변경되지 않는 이점이 있다.Further, there is an advantage that the arrangement order of the plurality of conveyed articles is not changed when a plurality of conveyed articles are conveyed.

또한, 협소한 공간에 설치 가능한 이점이 있다.Further, there is an advantage that it can be installed in a narrow space.

또한, 택타임(Tacttime)을 단축하여 공정 효율을 높일 수 있는 이점이 있다.In addition, there is an advantage that the process efficiency can be improved by shortening the tact time.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 텔레스코픽 암 로봇의 제1 상태에서의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 텔레스코픽 암 로봇의 제2 상태에서의 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 텔레스코픽 암 로봇의 제3 상태에서의 사시도이다.
도 4는 도 1에 도시된 제1 상태에 있는 텔레스코픽 암 로봇의 일 부분을 확대한 사시도이다.
도 5는 도 2에 도시된 제2 상태에 있는 텔레스코픽 암 로봇을 위에서 바라본 평면도이다.
도 6은 도 3에 도시된 제3 상태에 있는 텔레스코픽 암 로봇의 일 부분을 확대한 사시도이다.
도 7은 도 1에 도시된 제1 상태에서의 도 4에 도시된 텔레스코픽 암(143)의 측면도이다.
도 8은 도 7에 도시된 텔레스코픽 암(143)의 저면도이다.
도 9는 도 2에 도시된 제2 상태와 도 3에 도시된 제3 상태 사이의 중간 상태에서의 도 4에 도시된 텔레스코픽 암(143)의 측면도이다.
도 10은 도 9에 도시된 텔레스코픽 암(143)의 저면도이다.
도 11은 도 3에 도시된 제3 상태에서의 도 4에 도시된 텔레스코픽 암(143)의 측면도이다.
도 12는 도 11에 도시된 텔레스코픽 암(143)의 저면도이다.1 is a perspective view of a telescopic arm robot according to an embodiment of the present invention in a first state.
Fig. 2 is a perspective view of the telescopic arm robot shown in Fig. 1 in a second state. Fig.
3 is a perspective view of the telescopic arm robot shown in Fig. 1 in a third state.
Fig. 4 is an enlarged perspective view of a portion of the telescopic arm robot in the first state shown in Fig. 1;
5 is a top plan view of the telescopic arm robot in the second state shown in Fig.
Fig. 6 is an enlarged perspective view of a portion of the telescopic arm robot in the third state shown in Fig. 3;
FIG. 7 is a side view of the telescopic arm 143 shown in FIG. 4 in the first state shown in FIG.
8 is a bottom view of the telescopic arm 143 shown in Fig.
Fig. 9 is a side view of the telescopic arm 143 shown in Fig. 4 in an intermediate state between the second state shown in Fig. 2 and the third state shown in Fig.
10 is a bottom view of the telescopic arm 143 shown in Fig.
11 is a side view of the telescopic arm 143 shown in Fig. 4 in the third state shown in Fig.
12 is a bottom view of the telescopic arm 143 shown in Fig.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 텔레스코픽 암 로봇의 구조 및 작용효과를 설명한다.Hereinafter, the structure and operation effects of the telescopic arm robot according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 텔레스코픽 암 로봇의 제1 상태에서의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 텔레스코픽 암 로봇의 제2 상태에서의 사시도이고, 도 3은 도 1에 도시된 텔레스코픽 암 로봇의 제3 상태에서의 사시도이고, 도 4는 도 1에 도시된 제1 상태에 있는 텔레스코픽 암 로봇의 일 부분을 확대한 사시도이고, 도 5는 도 2에 도시된 제2 상태에 있는 텔레스코픽 암 로봇을 위에서 바라본 평면도이고, 도 6은 도 3에 도시된 제3 상태에 있는 텔레스코픽 암 로봇의 일 부분을 확대한 사시도이다.Fig. 1 is a perspective view of a telescopic arm robot according to an embodiment of the present invention in a first state, Fig. 2 is a perspective view of the telescopic arm robot shown in Fig. 1 in a second state, Fig. 4 is an enlarged perspective view of a portion of the telescopic arm robot in the first state shown in Fig. 1, and Fig. 5 is a perspective view of the telescopic arm robot in the second state shown in Fig. FIG. 6 is a perspective view of an enlarged portion of a telescopic arm robot in a third state shown in FIG. 3; FIG.

도 1 내지 도 6에 도시된 본 발명의 실시 형태에 따른 텔레스코픽 암 로봇(100)은, 제1 스테이지(10)에 놓여있는 다수의 반송물(30)을 제2 스테이지(20)로 반송하는 로봇이다.The telescopic arm robot 100 according to the embodiment of the present invention shown in Figs. 1 to 6 is a robot that transports a plurality of articles 30 placed on the first stage 10 to the second stage 20 .

도 1 내지 도 6에 도시된 본 발명의 실시 형태에 따른 텔레스코픽 암 로봇(100)을 설명함에 있어서, x축과 y축은 서로 수직하고, y축과 z축은 서로 수직하며, z축과 x축은 서로 수직한다. 그리고, -x축은 x축과 정반대이고, -y축은 y축과 정반대이고, -z축은 z축과 정반대이다. 여기서, x축은 수평축으로 명명될 수 있고, y축은 수평축과 수직인 수직축으로 명명될 수 있으며, z은 수평축 및 수직축 각각과 직교하는 직교축이라 명명될 수 있다. -x축은 역 수평축으로, -y축은 역 수직축으로, -z축은 역 직교축으로 명명될 수 있다.In describing the telescopic arm robot 100 according to the embodiment of the present invention shown in Figs. 1 to 6, the x axis and the y axis are perpendicular to each other, the y axis and the z axis are perpendicular to each other, Vertically. And, the -x axis is the opposite of the x axis, the -y axis is the opposite of the y axis, and the -z axis is the opposite of the z axis. Here, the x-axis may be referred to as a horizontal axis, the y-axis may be referred to as a vertical axis perpendicular to the horizontal axis, and z may be referred to as an orthogonal axis orthogonal to each of the horizontal axis and the vertical axis. The -x axis can be named the reverse horizontal axis, the -y axis the reverse vertical axis, and the -z axis the reverse orthogonal axis.

텔레스코픽 암 로봇(100)은, 제1 스테이지(10)와 제2 스테이지(20) 사이에 배치되어 제1 스테이지(10)에 놓여있는 다수의 반송물(30)을 제2 스테이지(20)로 반송한다.The telescopic arm robot 100 transports a plurality of articles 30 placed between the first stage 10 and the second stage 20 and placed on the first stage 10 to the second stage 20 .

도 5에 도시된 바와 같이, 제1 스테이지(10)와 제2 스테이지(20)는 서로 떨어져 배치된다. 제2 스테이지(20)는 제1 스테이지(10)의 대각선 방향에 배치될 수 있다. 그러나 이에 한정하는 것은 아니며, 제2 스테이지(20)는 제1 스테이지(10)의 일직선 방향에 배치될 수도 있다. 반송물(30)이 놓여진 또는 놓여질 제1 스테이지(10)와 제2 스테이지(20)의 높이는 동일한 것으로 가정하였지만, 이에 한정하는 것은 아니며 제1 스테이지(10)와 제2 스테이지(20)의 높이는 서로 다를 수도 있다.As shown in Fig. 5, the first stage 10 and the second stage 20 are disposed apart from each other. The second stage 20 can be arranged in the diagonal direction of the first stage 10. [ However, the present invention is not limited thereto, and the second stage 20 may be disposed in a straight line direction of the first stage 10. The height of the first stage 10 and the height of the second stage 20 are assumed to be equal to each other and the height of the first stage 10 and the second stage 20 is set to be equal to or higher than the height of the first stage 10 and the second stage 20. [ It is possible.

제1 스테이지(10)로는 하나 또는 다수의 반송물(30)이 계속해서 공급되고, 제2 스테이지(20)는 텔레스코픽 암 로봇(100)에 의해 공급된 하나 또는 다수의 반송물(30)을 다른 공정 장치로 이송시킬 수 있다. 예를 들어, 제1 스테이지(10)와 제2 스테이지(20)는 반송물(30)을 y축 또는 -y축 방향으로 이송시키는 컨베이어 장치의 일 부분일 수 있다. One or a plurality of articles 30 are continuously supplied to the first stage 10 and the second stage 20 is supplied to one or more articles 30 supplied by the telescopic arm robot 100, . For example, the first stage 10 and the second stage 20 may be a part of a conveyor apparatus that transports the transported object 30 in the y-axis direction or the -y-axis direction.

반송물(30)은 패널(panel), 웨이퍼(wafer), 및 기판을 포함한다. 그러나 본 명세서에서 반송물(30)이 패널, 웨이퍼 및 기판 중 어느 하나로 한정되는 것은 아니고, 제1 스테이지(10)에서 제2 스테이지(20)로 반송가능한 모든 작업물(work)을 모두 포함하는 것으로 이해해야 한다.The transport 30 includes a panel, a wafer, and a substrate. It should be understood, however, that the transport 30 is not limited to any one of the panel, the wafer and the substrate, but includes all the work that can be carried from the first stage 10 to the second stage 20 do.

텔레스코픽 암 로봇(100)은, 반송물(30)을 x축(또는 수평축) 방향으로 이송시키고, x축 방향 또는 -x축(또는 역 수평축) 방향으로 신축가능하다. 따라서, 최소한 일 축(x 축) 방향으로의 직선 이동만으로 반송물(30)의 이송이 가능하다.The telescopic arm robot 100 transfers the transported object 30 in the x-axis (or horizontal axis) direction and is expandable in the x-axis direction or the -x-axis (or inverse-horizontal axis) direction. Therefore, the conveyed object 30 can be conveyed only by a linear movement at least in one axis (x-axis) direction.

텔레스코픽 암 로봇(100)은, 베이스 프레임(110), 포스트(120), 이동부재(130) 및 텔레스코픽 암 장치(140)을 포함한다.The telescopic arm robot 100 includes a base frame 110, a post 120, a moving member 130, and a telescopic arm apparatus 140.

베이스 프레임(110)은 텔레스코픽 암 로봇(100)을 지지하고, 4각 프레임 형태로 이루어질 수 있다.The base frame 110 supports the telescopic arm robot 100 and may be formed in a square frame shape.

베이스 프레임(110)은 텔레스코픽 암 로봇(100)의 작동시 유동성을 방지하도록 다수의 고정장치(111)를 포함할 수 있다.The base frame 110 may include a plurality of fastening devices 111 to prevent fluidity during operation of the telescopic arm robot 100.

포스트(120)는 베이스 프레임(110)에 장착된다. 포스트(120)는 베이스 프레임(110)의 특정 부분에 고정 장착될 수도 있다. 그러나 이에 한정하는 것은 아니며, 포스트(120)는 베이스 프레임(110) 상에서 y축(또는 수직축) 또는 -y축(또는 역 수직축) 방향으로 이동할 수 있다. 포스트(120)가 베이스 프레임(110) 상에서 y축 또는 -y축 방향으로 이동하기 위해서, 베이스 프레임(110)에는 소정의 레일(미도시)이 형성될 수 있고, 포스트(120)는 소정의 슬라이더(미도시)를 포함할 수 있다. 포스트(120)의 슬라이더(미도시)는 베이스 프레임(110)에 형성된 레일(미도시)을 따라 y축 또는 -y축 방향으로 이동할 수 있다. 포스트(120)의 y축 또는 -y축 방향으로 이동은, 외부 제어 명령에 의해서 이뤄질 수 있다.The post 120 is mounted to the base frame 110. The post 120 may be fixedly mounted to a specific portion of the base frame 110. However, the present invention is not limited thereto, and the post 120 can move in the y-axis (or vertical axis) or the -y-axis (or reverse vertical axis) direction on the base frame 110. A predetermined rail (not shown) may be formed on the base frame 110 to move the post 120 in the y-axis direction or the -y-axis direction on the base frame 110, (Not shown). The slider (not shown) of the post 120 can move in the y-axis direction or the -y-axis direction along a rail (not shown) formed in the base frame 110. The movement of the post 120 in the y-axis or -y-axis direction can be accomplished by an external control command.

포스트(120)는 이동부재(130)를 z축(또는 직교축) 또는 -z축(또는 역 직교축) 방향으로 이동시키기 위한 레일(121)을 포함할 수 있다. 레일(121)은 포스트(120)의 길이 방향을 따라 형성된다. 포스트(120)의 레일(121)에 이동부재(130)의 슬라이더(133)가 삽입되어 이동부재(130)는 z축 또는 -z축 방향으로 이동할 수 있다.The post 120 may include a rail 121 for moving the moving member 130 in the z-axis (or orthogonal axis) or -z axis (or inverse orthogonal axis) direction. The rail 121 is formed along the longitudinal direction of the post 120. The slider 133 of the movable member 130 is inserted into the rail 121 of the post 120 so that the movable member 130 can move in the z-axis direction or the -z-axis direction.

이동부재(130)의 일 측은 포스트(120)와 연결된다. 이동부재(130)의 일 측은 슬라이더(133)을 포함할 수 있다. 슬라이더(133)가 포스트(120)와 결합되고, 포스트(120)의 레일(121)을 따라 z축 또는 -z축 방향으로 상하 운동한다. 따라서, 이동부재(130)는 외부 제어 명령에 따라 텔레스코픽 암 장치(140)를 z축 또는 -z축 방향으로 이동시킬 수 있다.One side of the shifting member 130 is connected to the post 120. One side of the movable member 130 may include a slider 133. The slider 133 is engaged with the post 120 and moves up and down along the rail 121 of the post 120 in the z axis or the -z axis direction. Accordingly, the movable member 130 can move the telescopic arm apparatus 140 in the z-axis direction or the -z axis direction according to an external control command.

이동부재(130)는 텔레스코픽 암 장치(140)를 지지한다.Movable member 130 supports telescopic arm device 140.

이동부재(130)는 텔레스코픽 암 장치(140)의 y축 또는 -y축 방향으로 이동을 위한 레일(131)을 포함할 수 있다. 레일(131)은 이동부재(130)의 일 측면에 형성될 수도 있고, 양 측면에 형성될 수도 있다. 레일(131)에는 텔레스코픽 암 장치(140)의 슬라이더(미도시)가 결합되고, 텔레스코픽 암 장치(140)의 슬라이더(미도시)는 외부 제어 명령에 의해 레일(131)을 따라 y축 또는 -y축 방향으로 이동할 수 있다.The shifting member 130 may include a rail 131 for movement in the y-axis or -y-axis direction of the telescopic arm apparatus 140. The rail 131 may be formed on one side of the moving member 130 or on both sides thereof. A slider (not shown) of the telescopic arm apparatus 140 is coupled to the rail 131 and a slider (not shown) of the telescopic arm apparatus 140 is coupled to the y- It is possible to move in the axial direction.

텔레스코픽 암 장치(140)는 제1 스테이지(10)에 놓여진 하나 또는 다수의 반송물(30)을 제2 스테이지(20)에 반송한다. 텔레스코픽 암 장치(140)는 x축 방향으로 적어도 2단 이상 단계적으로 연장되는 구조를 갖는다. 이러한 텔레스코픽 암 장치(140)는 제1 스테이지(10)에 놓여진 하나 또는 다수의 반송물(30)을 단 한 번의 회전없이 일 방향(x축)으로의 이동만으로 제2 스테이지(20)로 반송할 수 있다.The telescopic arm apparatus 140 conveys one or a plurality of articles 30 placed on the first stage 10 to the second stage 20. The telescopic arm apparatus 140 has a structure that is extended stepwise in at least two stages in the x-axis direction. This telescopic arm device 140 can transport one or a plurality of articles 30 placed on the first stage 10 to the second stage 20 only by moving in one direction (x-axis) have.

텔레스코픽 암 장치(140)는 텔레스코픽 암 커버(141)와 텔레스코픽 암(143)을 포함할 수 있다.The telescopic arm apparatus 140 may include a telescopic arm cover 141 and a telescopic arm 143.

텔레스코픽 암 커버(141)는 텔레스코픽 암(143)을 커버하고, 이동부재(130) 상에 배치되고, 이동부재(130) 상에서 y축 또는 -y축 방향으로 이동가능하다. 따라서, 텔레스코픽 암 커버(141)는 텔레스코픽 암(143)을 외부 제어 명령에 따라 y축 또는 -y축 방향으로 이동시킬 수 있다.The telescopic arm cover 141 covers the telescopic arm 143 and is disposed on the movable member 130 and movable in the y-axis direction or the -y-axis direction on the movable member 130. Accordingly, the telescopic arm cover 141 can move the telescopic arm 143 in the y-axis direction or the -y-axis direction according to an external control command.

텔레스코픽 암 커버(141)는 이동부재(130)의 레일(131)에 결합되는 슬라이더(미도시)를 포함할 수 있다. 슬라이더(미도시)는 이동부재(130)의 레일(131)을 따라 y축 또는 -y축 방향으로 이동할 수 있다.The telescopic arm cover 141 may include a slider (not shown) coupled to the rail 131 of the movable member 130. The slider (not shown) may move along the rail 131 of the movable member 130 in the y-axis direction or the -y-axis direction.

텔레스코픽 암(143)은 텔레스코픽 암 커버(141)에 의해 커버되고, 텔레스코픽 암 커버(141)와 함께 연동한다. 따라서;, 텔레스코픽 암(143)은 텔레스코픽 암 커버(141)에 의해 y축 또는 -y축 방향으로 이동가능하다.The telescopic arm 143 is covered by a telescopic arm cover 141 and is interlocked with the telescopic arm cover 141. Therefore, the telescopic arm 143 is movable in the y-axis direction or the -y-axis direction by the telescopic arm cover 141. [

텔레스코픽 암(143)은 제1 스테이지(10)에 놓여진 하나 또는 다수의 반송물(30)을 로딩하고, x축(또는 수평축) 방향으로 직진 운동하여 로딩된 하나 또는 다수의 반송물(30)을 제2 스테이지(20)에 언로딩할 수 있다. 여기서, 텔레스코픽 암(143)은 적어도 2단 이상으로 연장되는 구조를 갖는다. 또한, 텔레스코픽 암(143)은 -x축(또는 역 수평축) 방향으로 직진 운동하여 제1 스테이지(10)에 새롭게 놓여진 하나 또는 다수의 반송물(30)을 로딩할 수 있다. 이러한 텔레스코픽 암 장치(140)는 하나 또는 다수의 반송물(30)의 로딩 및 언로딩 동작을 반복적으로 수행할 수 있다.The telescopic arm 143 loads one or a plurality of articles 30 placed in the first stage 10 and linearly moves in the x-axis (or horizontal axis) And can be unloaded to the stage 20. Here, the telescopic arm 143 has a structure extending at least two or more stages. In addition, the telescopic arm 143 can linearly move in the -x axis (or inverse horizontal axis) direction to load one or a plurality of transported articles 30 newly placed in the first stage 10. This telescopic arm apparatus 140 can repeatedly perform loading and unloading operations of one or a plurality of articles 30.

텔레스코픽 암(143)의 구체적인 구조와 이를 포함하는 텔레스코픽 암 로봇(100)의 구체적인 동작을 도 7 내지 도 12를 참조하여 구체적으로 설명한다.The specific structure of the telescopic arm 143 and the specific operation of the telescopic arm robot 100 including the telescopic arm 143 will be described in detail with reference to FIGS. 7 to 12. FIG.

텔레스코픽 암(143)과 이를 포함하는 텔레스코픽 암 로봇(100)은 미리 셋팅된 소정의 조건하에서 외부 제어 명령에 의해 구동한다.The telescopic arm 143 and the telescopic arm robot 100 including the telescopic arm 143 are driven by an external control command under a preset predetermined condition.

도 7은 도 1에 도시된 제1 상태에서의 도 4에 도시된 텔레스코픽 암(143)의 측면도이고, 도 8은 도 7에 도시된 텔레스코픽 암(143)의 저면도이다. 여기서, 도 7 및 도 8은, 텔레스코픽 암(143)이 하나 또는 다수의 반송물(30)을 로딩한 상태이다. Fig. 7 is a side view of the telescopic arm 143 shown in Fig. 4 in the first state shown in Fig. 1, and Fig. 8 is a bottom view of the telescopic arm 143 shown in Fig. Here, FIGS. 7 and 8 show a state in which the telescopic arm 143 has loaded one or more transported objects 30.

텔레스코픽 암(143)은 반송물(30)을 흡착하고 흡착된 반송물(30)을 x축(또는 수평축) 방향으로 이동시키는 흡착 이동부(143a)를 포함한다. 도 6에 도시된 바와 같이, 흡착 이동부(143a)는 다수의 흡착부(143a-1)와 슬라이더(143a-3)를 포함할 수 있다. 다수의 흡착부(143a-1)는 진공흡착 방식으로 다수의 반송물(30)을 흡착할 수 있다. 다수의 흡착부(143a-1)는 다수의 반송물(30)과 일대일로 대응할 수 있다.The telescopic arm 143 includes an adsorption moving part 143a for adsorbing the transported product 30 and moving the adsorbed transported product 30 in the x-axis (or horizontal axis) direction. As shown in FIG. 6, the adsorption moving unit 143a may include a plurality of adsorption units 143a-1 and a slider 143a-3. The plurality of adsorption portions 143a-1 can adsorb a large number of the transported products 30 by a vacuum adsorption method. The plurality of adsorption portions 143a-1 can correspond one-to-one with a large number of transported products 30.

도 4에 도시된 이동부재(130)의 z축 또는 -z축 방향으로의 이동과 텔레스코픽 암 커버(141)의 y축 또는 -y축 방향으로의 이동에 의해서, 다수의 흡착부(143a-1)가 제1 스테이지(10)에 놓여진 하나 또는 다수의 반송물(30)에 접하거나, 반송물(30)이 다수의 흡착부(143a-1)에 흡착될 수 있는 거리 내로 근접하면, 다수의 흡착부(143a-1)는 제1 스테이지(10)에 놓여진 하나 또는 다수의 반송물(30)을 진공흡착 방식으로 흡착할 수 있다.Movement of the moving member 130 shown in Fig. 4 in the z-axis or the -z axis direction and the movement of the telescopic arm cover 141 in the y axis or -y axis direction causes the plurality of adsorption units 143a-1 Is in contact with one or a plurality of transported products 30 placed on the first stage 10 or within a distance such that the transported products 30 can be adsorbed to the plurality of adsorption portions 143a-1, (143a-1) can adsorb one or a plurality of articles (30) placed on the first stage (10) by a vacuum adsorption method.

다수의 흡착부(143a-1)가 하나 또는 다수의 반송물(30)을 흡착하면, 도 2에 도시된 제2 상태와 같이, 텔레스코픽 암 장치(140)가 -y축 방향으로의 이동할 수 있다. 이는 도 2에 도시된 제2 스테이지(20)가 제1 스테이지(10)을 기준으로 대각선 방향에 위치하기 때문이다. When the plurality of adsorption portions 143a-1 adsorb one or a plurality of articles 30, the telescopic arm apparatus 140 can move in the -y axis direction, as in the second state shown in Fig. This is because the second stage 20 shown in Fig. 2 is positioned in the diagonal direction with respect to the first stage 10.

하지만, 제2 스테이지(20)가 제1 스테이지(10)을 기준으로 일직선 방향에 위치하는 경우, 텔레스코픽 암 장치(140)는 -y축 방향으로 이동되지 않는다. 도 2에 도시된 제2 상태는 생략되고, 도 1에 도시된 제1 상태에서 도 3에 도시된 제3 상태로 상태 전환될 수 있다.However, when the second stage 20 is positioned in the straight direction with respect to the first stage 10, the telescopic arm apparatus 140 is not moved in the -y axis direction. The second state shown in Fig. 2 is omitted, and can be switched from the first state shown in Fig. 1 to the third state shown in Fig.

도 9는 도 2에 도시된 제2 상태와 도 3에 도시된 제3 상태 사이의 중간 상태에서의 도 4에 도시된 텔레스코픽 암(143)의 측면도이고, 도 10은 도 9에 도시된 텔레스코픽 암(143)의 저면도이고, 도 11은 도 3에 도시된 제3 상태에서의 도 4에 도시된 텔레스코픽 암(143)의 측면도이고, 도 12는 도 11에 도시된 텔레스코픽 암(143)의 저면도이다.Fig. 9 is a side view of the telescopic arm 143 shown in Fig. 4 in an intermediate state between the second state shown in Fig. 2 and the third state shown in Fig. 3, and Fig. 10 is a cross- Fig. 11 is a side view of the telescopic arm 143 shown in Fig. 4 in the third state shown in Fig. 3, and Fig. 12 is a side view of the bottom surface of the telescopic arm 143 shown in Fig. .

여기서, 도 9와 도 10이 도 2에 도시된 제2 상태와 도 3에 도시된 제3 상태 사이의 중간 상태에서의 텔레스코픽 암(143)의 구동 상태를 보여주는 도면이지만, 도 1에 도시된 제1 스테이지(10)와 제2 스테이지(20)가 도 1에 도시된 것과는 달리 일직선 상에 배치되는 경우에는, 도 9와 도 10은 도 1에 도시된 제1 상태와 도 3에 도시된 제3 상태 사이의 어느 일 시점에서의 텔레스코픽 암(143)의 구동 상태를 보여주는 도면으로 이해해야 한다.Here, FIGS. 9 and 10 are views showing the driving state of the telescopic arm 143 in the intermediate state between the second state shown in FIG. 2 and the third state shown in FIG. 3, 1 and Fig. 10, when the first stage 10 and the second stage 20 are arranged on a straight line, unlike the one shown in Fig. 1, the first state shown in Fig. 1 and the third state shown in Fig. 3 State of the telescopic arm 143 at any point in time between the two states.

도 9 내지 도 12를 참조하면, 텔레스코픽 암(143)은 하나 또는 다수의 반송물(30)이 흡착된 흡착 이동부(143a)를 x축 방향으로 이동시켜 도 3에 도시된 제2 스테이지(20) 상에 흡착 이동부(143a)를 위치시키고, 흡착 이동부(143a)의 진공흡착을 정지하거나 진공흡착의 세기를 반송물(30)이 중력에 의해 떨어질 정도로 낮춰 하나 또는 다수의 반송물(30)을 제2 스테이지(20) 위에 놓는다. 9 to 12, the telescopic arm 143 moves the adsorption moving part 143a on which the one or more articles 30 are adsorbed in the x-axis direction to form the second stage 20 shown in FIG. 3, The adsorption moving unit 143a is placed on the adsorption moving unit 143a and the vacuum adsorption of the adsorption transfer unit 143a is stopped or the intensity of the vacuum adsorption is lowered to such an extent that the transported article 30 is dropped by gravity, 2 stage (20).

이러한 동작을 수행하기 위해, 텔레스코픽 암(143)은 흡착 이동부(143a), 제1 연장 암(143e) 및 제2 연장 암(143f)을 포함한다.To perform this operation, the telescopic arm 143 includes an adsorption moving section 143a, a first elongated arm 143e, and a second elongated arm 143f.

제1 연장 암(143e)은 소정의 길이를 가지며, 텔레스코픽 암 커버(141) 내에서 x축(또는 수평축) 방향으로 이동가능하다. 또한, 제1 연장 암(143e)의 일 단(143e-5)이 텔레스코픽 암 커버(141) 밖에 위치한 경우, 제1 연장 암(143e)은 -x축(또는 역 수평축) 방향으로 이동가능하다.The first extension arm 143e has a predetermined length and is movable in the x-axis (or horizontal axis) direction within the telescopic arm cover 141. [ In addition, when one end 143e-5 of the first extension arm 143e is located outside the telescopic arm cover 141, the first extension arm 143e is movable in the -x axis (or reverse horizontal axis) direction.

이를 위해, 텔레스코픽 암 커버(141) 내에는 레일(143c) 및 스크류 봉(143d)이 배치된다. 레일(143c)과 스크류 봉(143d)은 텔레스코픽 암 커버(141) 내에서 x축(또는 수평축) 방향으로 설치되고, 서로 평행하게 배치된다. 그리고, 제1 연장 암(143e)은 슬라이더(143b)를 포함할 수 있다. 슬라이더(143b)는 레일(143c)와 스크류 봉(143d)에 함께 결합되고, 스크류 봉(143d)의 회전(또는 역회전)에 의해서 레일(143c)을 따라 x축(또는 수평축) 방향 또는 -x축(또는 역 수평축) 방향으로 이동한다.To this end, a rail 143c and a screw rod 143d are disposed in the telescopic arm cover 141. [ The rails 143c and the screw rods 143d are installed in the telescopic arm cover 141 in the x-axis (or horizontal axis) direction and are arranged in parallel with each other. And, the first extension arm 143e may include a slider 143b. The slider 143b is coupled to the rail 143c and the screw rod 143d and rotates in the x-axis (or horizontal axis) direction along the rail 143c by rotation (or reverse rotation) of the screw rod 143d, (Or reverse horizontal axis) direction.

슬라이더(143b)는 텔레스코픽 암 커버(141)에 의해 x축(또는 수평축) 방향 또는 -x축(또는 역 수평축) 방향으로의 이동이 제한된다.The slider 143b is restricted from moving in the x-axis (or horizontal axis) direction or the -x-axis (or inverse horizontal axis) direction by the telescopic arm cover 141. [

제2 연장 암(143f)은 소정의 길이를 가지며, 제1 연장 암(143e)에 결합되어 제1 연장 암(143e)으로부터 x축(또는 수평축) 방향으로 연장가능하다. 또한, 제2 연장 암(143f)의 일 단(143f-5)이 제1 연장 암(143e)의 일 단(143e-5)보다 x축 방향으로 더 멀리 위치한 경우, 제2 연장 암(143f)은 -x축(또는 역 수평축) 방향으로 이동가능하다.The second extension arm 143f has a predetermined length and is coupled to the first extension arm 143e and is extendable in the x-axis (or horizontal axis) direction from the first extension arm 143e. Further, when one end 143f-5 of the second extension arm 143f is located farther in the x-axis direction than one end 143e-5 of the first extension arm 143e, the second extension arm 143f, Is movable in the -x axis (or inverse horizontal axis) direction.

이를 위해, 제2 연장 암(143f)은 슬라이더(143f-3)을 포함하고, 제1 연장 암(143e)은 슬라이더(143f-3)와 결합하는 레일(143e-1)을 가질 수 있다. 제1 연장 암(143e)의 레일(143e-1)은 제1 연장 암(143e)의 일 측면에 형성될 수 있다. 제1 연장 암(143e)의 슬라이더(143f-3)는 제1 연장 암(143e)의 레일(143e-1)을 따라 x축(또는 수평축) 또는 -x축(또는 역 수평축) 방향으로 이동할 수 있다.To this end, the second extension arm 143f includes a slider 143f-3, and the first extension arm 143e may have a rail 143e-1 that engages the slider 143f-3. The rail 143e-1 of the first extension arm 143e may be formed on one side of the first extension arm 143e. The slider 143f-3 of the first extension arm 143e can move along the rail 143e-1 of the first extension arm 143e in the x-axis (or the horizontal axis) or the -x-axis have.

제1 연장 암(143e)은 스토퍼(143e-3)을 포함한다. 제1 연장 암(143e)의 스토퍼(143e-3)는 제1 연장 암(143e)의 일 단(143e-5)에 인접한 곳에 결합되고, 제2 연장 암(143f)의 슬라이더(143f-3)의 이동을 제한된다.The first extension arm 143e includes a stopper 143e-3. The stopper 143e-3 of the first extension arm 143e is engaged adjacent to one end 143e-5 of the first extension arm 143e and the stopper 143e-3 of the second extension arm 143f is engaged with the slider 143f- Is limited.

흡착 이동부(143a)는 제2 연장 암(143f)과 결합되어 제2 연장 암(143f)의 양단 사이를 왕복 운동할 수 있다. 즉, 흡착 이동부(143a)는 제2 연장 암(143f)과 결합된 상태에서 x축(또는 수평축) 방향 또는 -x축(또는 역 수평축) 방향으로 이동가능하다. The adsorption moving part 143a can be coupled with the second extension arm 143f and reciprocate between both ends of the second extension arm 143f. That is, the suction moving part 143a is movable in the x-axis (or horizontal axis) direction or the -x-axis (or inverse-horizontal axis) direction in a state of being coupled with the second extension arm 143f.

이를 위해, 흡착 이동부(143a)는 슬라이더(143a-3)을 포함하고, 제2 연장 암(143f)은 슬라이더(143a-3)와 결합하는 레일(143f-1)을 가질 수 있다. 제2 연장 암(143f)의 레일(143f-1)은 제2 연장 암(143f)의 일 측면에 형성될 수 있다. 흡착 이동부(143a)의 슬라이더(143a-3)는 제2 연장 암(143f)의 레일(143f-1)을 따라 x축(또는 수평축) 또는 -x축(또는 역 수평축) 방향으로 이동할 수 있다.To this end, the suction moving part 143a includes a slider 143a-3, and the second extending arm 143f may have a rail 143f-1 that engages with the slider 143a-3. The rail 143f-1 of the second extension arm 143f may be formed on one side of the second extension arm 143f. The slider 143a-3 of the attraction moving part 143a can move along the rail 143f-1 of the second extension arm 143f in the x-axis (or the horizontal axis) or the -x-axis (or the inverse-horizontal axis) .

흡착 이동부(143a)는 제2 연장 암(143f)의 레일(143f-1)의 형상에 의해 x축(또는 수평축) 또는 -x축(또는 역 수평축) 방향으로의 이동이 제한된다.The attraction moving part 143a is restricted from moving in the x-axis (or horizontal axis) or -x-axis (or inverse horizontal axis) direction due to the shape of the rail 143f-1 of the second extending arm 143f.

흡착 이동부(143a), 제1 연장 암(143e) 및 제2 연장 암(143f)은 동시(同時)에 구동할 수도 있고, 이시(異時)에 구동할 수도 있다. The adsorption moving section 143a, the first extension arm 143e and the second extension arm 143f may be driven simultaneously or simultaneously.

먼저, 흡착 이동부(143a), 제1 연장 암(143e) 및 제2 연장 암(143f)이 함께 구동하는 경우를 설명하면, 제1 연장 암(143e)이 x축(또는 수평축) 방향으로 이동하는 순간 제2 연장 암(143f)도 x축(또는 수평축) 방향으로 이동하고, 흡착 이동부(143a)도 x축(또는 수평축) 방향으로 이동할 수 있다. 반대로, 제1 연장 암(143e)이 -x축(또는 역 수평축) 방향으로 이동하는 순간 제2 연장 암(143f)도 -x축(또는 역 수평축) 방향으로 이동하고, 흡착 이동부(143a)도 -x축(또는 수평축) 방향으로 이동할 수 있다. First, the case where the adsorption moving unit 143a, the first extension arm 143e and the second extension arm 143f are driven together will be described. When the first extension arm 143e moves in the x-axis (or the horizontal axis) The second extension arm 143f also moves in the x-axis (or horizontal axis) direction, and the adsorption mover 143a can also move in the x-axis (or the horizontal axis) direction. Conversely, as soon as the first extension arm 143e moves in the -x axis (or reverse horizontal axis) direction, the second extension arm 143f also moves in the -x axis (or reverse horizontal axis) direction, X-axis (or horizontal axis) direction.

한편, 흡착 이동부(143a), 제1 연장 암(143e) 및 제2 연장 암(143f)이 서로 다른 시간에 구동하는 경우를 설명하면, 제1 연장 암(143e)이 x축(또는 수평축) 방향으로 완전히 이동하여 멈춘 이후에, 제2 연장 암(143f)가 x축(또는 수평축) 방향으로 이동하고, 제2 연장 암(143f)이 이동을 멈춘 이후에, 흡착 이동부(143a)가 x축(또는 수평축) 방향으로 이동할 수 있다. 여기서, 흡착 이동부(143a), 제2 연장 암(143f) 및 제1 연장 암(143e) 순서로 x축(또는 수평축) 방향으로 이동할 수도 있다. 반대로, 제1 연장 암(143e)이 -x축(또는 역 수평축) 방향으로 완전히 이동하여 멈춘 이후에, 제2 연장 암(143f)가 -x축(또는 역 수평축) 방향으로 이동하고, 제2 연장 암(143f)이 이동을 멈춘 이후에, 흡착 이동부(143a)가 -x축(또는 역 수평축) 방향으로 이동할 수 있다. 여기서, 흡착 이동부(143a), 제2 연장 암(143f) 및 제1 연장 암(143e) 순서로 -x축(또는 역 수평축) 방향으로 이동할 수도 있다.The first extension arm 143e is connected to the x-axis (or the horizontal axis), and the second extension arm 143f is connected to the first extension arm 143e. The first extension arm 143e, the first extension arm 143e, After the second extending arm 143f moves in the x-axis (or the horizontal axis) direction after the complete extension of the first extending arm 143f and the second extending arm 143f stops moving, Axis (or horizontal axis) direction. Here, the adsorption moving unit 143a, the second extension arm 143f, and the first extension arm 143e may move in the x-axis (or horizontal axis) direction in this order. Conversely, after the first extension arm 143e completely moves and stops in the -x axis (or inverse horizontal axis) direction, the second extension arm 143f moves in the -x axis (or inverse horizontal axis) direction, After the extension arm 143f stops moving, the attraction moving part 143a can move in the -x axis (or inverse horizontal axis) direction. Here, the suction moving part 143a, the second extension arm 143f, and the first extension arm 143e may move in the -x axis (or inverse horizontal axis) direction in this order.

흡착 이동부(143a), 제1 연장 암(143e) 및 제2 연장 암(143f)이 함께 구동하는 경우가 흡착 이동부(143a), 제1 연장 암(143e) 및 제2 연장 암(143f)이 서로 다른 시간에 구동하는 경우보다 택타임(tact time)을 줄일 수 있는 이점이 있다.The first extended arm 143e and the second extended arm 143f are driven together by the suction moving section 143a, There is an advantage that the tact time can be reduced compared with the case where the driving is performed at different times.

텔레스코픽 암(143)은 x축(수평축) 방향으로 3단 이상 단계적으로 연장이 가능하다. 구체적으로, 텔레스코픽 암(143)은 제1 연장 암(143e)의 x축(수평축) 방향으로의 이동에 의한 1단의 길이 연장과, 제2 연장 암(143f)의 x축(수평축) 방향으로의 이동에 의한 2단의 길이 연장 및 흡착 이동부(143a)의 x축(수평축) 방향으로의 이동에 의한 3단의 길이 연장이 가능하다. 이러한 텔레스코픽 암(143)을 포함하는 텔레스코픽 암 장치(140)는 별도의 회전동작없이, 일 축(x축) 방향으로의 이동만으로도 하나 또는 다수의 반송물(30)을 제1 스테이지(10)에서 제2 스테이지(20)로 이송시킬 수 있다. The telescopic arm 143 can be extended stepwise in three or more stages in the x-axis (horizontal axis) direction. Specifically, the telescopic arm 143 is extended in the x-axis (horizontal axis) direction of the first extension arm 143e and in the x-axis (horizontal axis) direction of the second extension arm 143f It is possible to extend the lengths of the three stages by extending the lengths of the two stages by the movement of the adsorption unit 143a and moving the adsorption unit 143a in the x-axis (horizontal axis) direction. The telescopic arm device 140 including the telescopic arm 143 is capable of moving one or a plurality of the transported objects 30 in the first stage 10 only by moving in the direction of one axis 2 stage 20 as shown in FIG.

도면에 도시하지 않았지만, 제1 스테이지(10)와 제2 스테이지(20)가 일 직선 상에 배치된 경우, 본 발명의 실시 형태에 따른 텔레스코픽 암 로봇(100)은, 텔레스코픽 암(143)을 일 축(x축) 방향으로 이동시켜 제1 스테이지(10)에서 흡착된 반송물(30)을 제2 스테이지(20)로 옮길 수 있다. The telescopic arm robot 100 according to the embodiment of the present invention may be configured such that the telescopic arm 143 is connected to the first stage 10 and the second stage 20 in a straight line, (X-axis) direction so that the transported matter 30 adsorbed by the first stage 10 can be transferred to the second stage 20.

한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 제1 스테이지(10)와 제2 스테이지(20)가 대각 방향으로 배치된 경우에는, 본 발명의 실시 형태에 따른 텔레스코픽 암 로봇(100)은, 텔레스코픽 암 장치(140)를 일 축(-y축) 방향으로 이동시킨 후, 텔레스코픽 암(143)을 다른 일 축(x축) 방향으로 이동시켜 제1 스테이지(10)에서 흡착된 반송물(30)을 제2 스테이지(20)로 옮길 수 있다. 여기서, 텔레스코픽 암 로봇(100)은, 텔레스코픽 암 장치(140)를 일 축(-y축) 방향으로 이동시키는 것과 텔레스코픽 암(143)을 다른 일 축(x축) 방향으로 이동시키는 것을 함께 이뤄질 수도 있다.1, when the first stage 10 and the second stage 20 are arranged in the diagonal direction, the telescopic arm robot 100 according to the embodiment of the present invention is configured such that the telescopic arm apparatus The transported object 30 adsorbed by the first stage 10 is transported to the second stage by moving the telescopic arm 143 in the direction of another axis (x-axis) And transferred to the stage 20. Here, the telescopic arm robot 100 may be configured to move the telescopic arm device 140 in one direction (-y axis) and move the telescopic arm 143 in another direction (x axis direction) have.

한편, 도면에 도시하지 않았지만, 제1 스테이지(10)와 제2 스테이지(20)가 대각 방향으로 배치되고, 반송물(30)이 놓여지는 면의 높이가 서로 다른 경우에는, 본 발명의 실시 형태에 따른 텔레스코픽 암 로봇(100)은, 이동부재(130)를 일 축(z축 또는 -z축) 방향으로 이동시키고, 텔레스코픽 암 장치(140)를 다른 일 축(-y축) 방향으로 이동시킨 후, 텔레스코픽 암(143)을 또 다른 일 축(x축) 방향으로 이동시켜 제1 스테이지(10)에서 흡착된 반송물(30)을 제2 스테이지(20)로 옮길 수 있다. 여기서, 텔레스코픽 암 로봇(100)은, 이동부재(130)를 일 축(z축 또는 -z축) 방향으로 이동시키는 것, 텔레스코픽 암 장치(140)를 다른 일 축(-y축) 방향으로 이동시키는 것 및 텔레스코픽 암(143)을 또 다른 일 축(x축) 방향으로 이동시키는 것이 함께 이뤄질 수도 있다.Although not shown in the drawings, when the first stage 10 and the second stage 20 are arranged in a diagonal direction and the heights of the surfaces on which the articles 30 are placed are different from each other, The telescopic arm robot 100 moves the moving member 130 in one direction (z axis or -z axis direction) and moves the telescopic arm device 140 in the other axis direction (-y axis direction) , The telescopic arm 143 may be moved in the direction of another axis (x-axis) so that the transported article 30 adsorbed in the first stage 10 can be transferred to the second stage 20. Here, the telescopic arm robot 100 moves the moving member 130 in one direction (z axis or -z axis), moves the telescopic arm device 140 in the other axis direction (-y axis) And moving the telescopic arm 143 in another direction (x-axis) may be done together.

이와 같이, 본 발명의 실시 형태에 따른 텔레스코픽 암 로봇은, 다수단의 텔레스코픽 암 구동방식을 적용하여 별도의 회전동작없이 최소한 일 축(x축)으로의 이동만으로 반송물의 반송이 가능하고, 또한 다수의 반송물을 동시에 반송할 수 있으며, 다수의 반송물을 반송 시 다수의 반송물의 배열순서가 변경되지 않는다. 또한 협소한 공간에 설치 가능하며, 택타임(Tacttime)을 단축하여 공정 효율을 높일 수 있다. As described above, the telescopic arm robot according to the embodiment of the present invention is capable of transporting the transported goods by moving only at least one axis (x-axis) without performing any rotation operation by applying the telescopic arm driving system of multiple means, Can be carried at the same time, and the arrangement order of the plurality of transported articles is not changed when a plurality of transported articles are transported. Also, it can be installed in a narrow space, and the process efficiency can be improved by shortening the tact time.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태를 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시 형태의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시 형태에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of limitation, It will be understood that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that all changes and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are therefore intended to be embraced therein.

10: 제1 스테이지
20: 제2 스테이지
30: 반송물
100: 텔레스코픽 암 로봇
110: 베이스 프레임
120: 포스트
130: 이동부재
140: 텔레스코픽 암 장치10: First stage
20: second stage
30: Return Material
100: Telescopic arm robots
110: base frame
120: Post
130: moving member
140: telescopic arm device

Claims (7)

제1 스테이지와 제2 스테이지 사이에 배치되어 다수의 웨이퍼들 또는 기판들을 반송하고,
상기 웨이퍼들 또는 기판들을 수평축 방향으로 이송시키고 상기 수평축 방향 또는 역 수평축 방향으로 신축가능한 텔레스코픽 암 장치; 및 포스트;를 포함하고,
상기 텔레스코픽 암 장치는, 상기 포스트를 따라 위 또는 아래로 이동가능하고,
상기 텔레스코픽 암 장치는,
상기 웨이퍼들 또는 기판들을 상기 수평축 방향으로 이동시키기 위한 다수의 연장 암; 및
상기 웨이퍼들 또는 기판들을 흡착하고, 상기 연장 암에 장착되어 상기 수평축 방향 또는 상기 역 수평축 방향으로 이동가능한 흡착 이동부;를 포함하는, 텔레스코픽 암 로봇.A plurality of wafers or substrates disposed between the first stage and the second stage,
A telescopic arm device capable of transporting the wafers or substrates in the horizontal axis direction and expanding in the horizontal axis direction or the reverse horizontal axis direction; And a post,
Wherein the telescopic arm device is movable up or down along the post,
The telescopic arm apparatus includes:
A plurality of extension arms for moving the wafers or substrates in the horizontal axis direction; And
And an adsorption moving unit that adsorbs the wafers or substrates and is mounted on the extension arm and movable in the horizontal axis direction or the reverse horizontal axis direction. 제 1 항에 있어서,
상기 텔레스코픽 암 장치는 상기 수평축 방향으로 2단 이상 단계적으로 연장되는, 텔레스코픽 암 로봇.The method according to claim 1,
Wherein the telescopic arm apparatus extends stepwise in two or more stages in the horizontal axis direction. 제 1 항에 있어서,
상기 흡착 이동부는 상기 웨이퍼들 또는 기판들을 흡착하는 다수의 흡착부를 포함하고,
상기 다수의 흡착부는 상기 웨이퍼들 또는 기판들과 일대일 대응하는, 텔레스코픽 암 로봇.The method according to claim 1,
Wherein the adsorption moving unit includes a plurality of adsorption units for adsorbing the wafers or substrates,
Wherein the plurality of adsorbers correspond one-to-one with the wafers or substrates. 제 1 항에 있어서,
상기 다수의 연장 암은 상기 수평축 방향으로 다단으로 연장되는, 텔레스코픽 암 로봇.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of extension arms extend in multiple stages in the horizontal axis direction. 제 1 항에 있어서,
상기 다수의 연장 암과 상기 흡착 이동부는, 상기 수평축 방향으로 동시(同時) 또는 이시(異時)로 구동하는, 텔레스코픽 암 로봇.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of extension arms and the attraction moving part are driven simultaneously or simultaneously in the horizontal axis direction. 제 1 항에 있어서,
상기 텔레스코픽 암 장치는, 스크류 봉과 레일이 내부에 장착된 텔레스코픽 암 커버를 더 포함하고,
상기 다수의 연장 암은, 상기 스크류 봉과 레일과 결합하고 상기 스크류 봉의 회전에 의해 상기 레일을 따라 상기 수평축 방향 또는 상기 역 수평축 방향으로 이동가능한 슬라이더를 포함하는 제1 연장 암; 및
상기 제1 연장 암과 결합하고 상기 제1 연장 암으로부터 상기 수평축 방향으로 연장가능한 제2 연장 암;을 포함하고,
상기 흡착 이동부는 상기 제2 연장 암에 장착되는, 텔레스코픽 암 로봇.The method according to claim 1,
The telescopic arm device further includes a telescopic arm cover having a screw rod and a rail mounted therein,
Wherein the plurality of extension arms include a first extension arm including a slider engaged with the screw rod and the rail and movable along the rail in the horizontal axis direction or the reverse horizontal axis direction by rotation of the screw rod; And
And a second extension arm coupled to the first extension arm and extendable in the horizontal axis direction from the first extension arm,
And the suction moving section is mounted on the second extension arm. 제 1 항에 있어서,
상기 텔레스코픽 암 장치 아래에 배치되어 상기 텔레스코픽 암 장치를 지지하고, 일측이 상기 포스트에 연결되어 상기 포스트를 따라 위 또는 아래로 이동가능한 이동부재;를 더 포함하고,
상기 텔레스코픽 암 장치는 상기 이동부재 위에서 상기 수평축 방향과 수직한 수직축 방향 또는 역 수직축 방향으로 이동가능한, 텔레스코픽 암 로봇.The method according to claim 1,
Further comprising a moving member disposed below said telescopic arm device for supporting said telescopic arm device and having one side connected to said post and movable up or down along said post,
Wherein the telescopic arm apparatus is movable on the moving member in a direction perpendicular to the horizontal axis direction or in a direction perpendicular to the vertical axis.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110834894A (en) * 2019-11-21 2020-02-25 南京有多利科技发展有限公司 Carrying device and carrying method for high-efficiency cargo transfer
CN113548420A (en) * 2021-07-02 2021-10-26 东莞市亮成电子有限公司 Full-automatic frame dish changes material equipment

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08294890A (en) * 1995-04-25 1996-11-12 Hitachi Ltd Suction attachment type carrying device for component parts
KR20080047205A (en) 2006-11-24 2008-05-28 엘지디스플레이 주식회사 A robot for transfer of glass
KR20110004865A (en) * 2008-04-18 2011-01-14 루카 톤셀리 Displaceable lift truck equipped with releasable engaging means for making up a mixed pack of slab material and method associated therewith
KR20120007449A (en) 2010-07-14 2012-01-20 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 Substrate processing apparatus, and substrate transport method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08294890A (en) * 1995-04-25 1996-11-12 Hitachi Ltd Suction attachment type carrying device for component parts
KR20080047205A (en) 2006-11-24 2008-05-28 엘지디스플레이 주식회사 A robot for transfer of glass
KR20110004865A (en) * 2008-04-18 2011-01-14 루카 톤셀리 Displaceable lift truck equipped with releasable engaging means for making up a mixed pack of slab material and method associated therewith
KR20120007449A (en) 2010-07-14 2012-01-20 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 Substrate processing apparatus, and substrate transport method

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110834894A (en) * 2019-11-21 2020-02-25 南京有多利科技发展有限公司 Carrying device and carrying method for high-efficiency cargo transfer
CN110834894B (en) * 2019-11-21 2020-07-03 南京有多利科技发展有限公司 Carrying device and carrying method for high-efficiency cargo transfer
CN113548420A (en) * 2021-07-02 2021-10-26 东莞市亮成电子有限公司 Full-automatic frame dish changes material equipment

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