KR20080004620A - Work receiving device and work receiving method - Google Patents

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야스요시 기타자와
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신꼬오덴끼가부시끼가이샤
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Abstract

A substrate receiving device (1) for receiving substrates (W) as workpieces. The substrate receiving device (1) has a first substrate cassette (10) for receiving substrates (W) from above in the order of loading, an unloading conveyor (3) for sequentially unloading the substrates (W) from the one at the lowermost position, and a second substrate cassette (20) for sequentially receiving from above the substrates (W) conveyed by the unloading conveyor (3). When the substrates (W) are transferred from the first substrate cassette (10) to the second substrate cassette (20), the order of placement is reversed. Consequently, when the substrates (W) are unloaded from the second substrate cassette (20), the substrate (W) having been loaded first is unloaded first.

Description

워크 수납 장치 및 워크 수납 방법{Work receiving device and work receiving method}Work receiving device and work receiving method

본 발명은 복수의 워크(work)를 차례대로 수납하고 찾는 워크 수납 장치 및 워크 수납 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a workpiece storage device and a workpiece storage method for storing and finding a plurality of works in sequence.

본 발명은 2005년6월23일에 일본국 특허청에 출원된 특원2005-183446에 기초한 우선권을 주장하고 그 내용을 여기에 원용한다.This invention claims the priority based on Japanese Patent Application No. 2005-183446 for which it applied to Japan Patent Office on June 23, 2005, and uses the content here.

복수의 워크를 차례대로 수납하고, 반출하는 장치로서는, 예를 들면, FPD(Flat Panel Display)용 기판을 수납하는 기판수납 장치가 알려져 있다(예를 들면, 일본국 특개평11-79388호 공보 참조).As an apparatus which accommodates several workpieces in order and carries them out, the board | substrate storage apparatus which accommodates the board | substrate for FPD (Flat Panel Display), for example is known (for example, refer Unexamined-Japanese-Patent No. 11-79388). ).

이러한 장치에서는, 기판을 수납하는 슬롯을 상하에 배치한 카셋트와, 카셋트를 승강시키는 카셋트 승강 장치와, 카셋트 내에 아래쪽에서 진입해서 기판을 반송하는 롤러를 갖추고 있다. 롤러를 아래쪽으로부터 카셋트 내에 진입시켜, 기판을 반입하면, 기판을 상승시켜 새로운 슬롯에 기판을 반입한다. 그리고, 복수의 카셋트끼리를 이동 가능하게 배치하는 것이 있다(일본국 특개2004-155569호 공보 참조 ). 또한, 카셋트를 롤러가 있는 장소에 설치할 때의 처리를 쉽게 하기 위해서, 카셋트의 반송 수준보다도 낮은 위치에 기판을 반송하는 수준을 설정하거나 한 것이 있다(예를 들면, 일본국 특개2002-167038 참조).In such an apparatus, the cassette which has the slot which accommodates a board | substrate is arrange | positioned up and down, the cassette lifting apparatus which raises and lowers a cassette, and the roller which enters a cassette from below and conveys a board | substrate are provided. When the roller enters the cassette from below and the substrate is loaded, the substrate is raised to bring the substrate into a new slot. Some cassettes can be arranged to be movable (see Japanese Patent Laid-Open No. 2004-155569). In addition, in order to facilitate processing when the cassette is installed in the place where the roller is located, there is one in which a level at which the substrate is transported is set at a position lower than that of the cassette (see, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-167038). .

이러한 장치에서는, 기판 등의 워크는, 카셋트의 승강에 의해 반입된 순서로 상하로 겹쳐 수납되므로, 워크를 카셋트로부터 반출할 경우에는, 최후에 반입한 워크로부터 반출하게 된다. 이러한 경우에는, 먼저 반입한 워크의 체류 시간이 길어져, 워크의 종류나 주위의 환경에 따라서는, 오염이나 열화가 진행해서 품질을 훼손하는 일이 있다.In such an apparatus, workpieces, such as a board | substrate, are piled up and down in the order carried in by the cassette lifting, and when carrying out a workpiece from a cassette, it is carried out from the workpiece last carried in. In such a case, the residence time of the workpiece brought in first becomes long, and depending on the kind of the workpiece and the surrounding environment, contamination or deterioration may progress and the quality may be impaired.

이에 대하여, 워크를 임의의 위치부터 꺼낼 수 있는 로봇을 설치하면, 로봇 암을 삽입하기 위한 공간이 필요하게 되므로, 1 개의 카셋트에 수납할 수 있는 워크의 수가 줄어들어 버려, 수납 효율이 저하한다. 특히, 워크가 대형 디스플레이용의 기판인 경우에는 기판이 휘기 쉬우므로, 슬롯의 간격을 크게 하지 않으면 안 되어 수납 효율이 더욱 저하한다.On the other hand, if the robot which can take out a workpiece from an arbitrary position is provided, the space for inserting a robot arm will be needed, and the number of workpieces which can be accommodated in one cassette will reduce, and storage efficiency will fall. In particular, when a workpiece | work is a board | substrate for large displays, since a board | substrate is easy to bend, the space | interval of a slot must be enlarged and storage efficiency will further fall.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 복수의 워크를 효율적으로 처리하고, 먼저 수납된 워크의 체류 시간을 줄이는 것을 주된 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of such a situation, and makes it the main objective to process a some workpiece efficiently, and to reduce the residence time of the stored workpiece | work first.

본 발명의 워크 수납 장치의 특징은, 반입단에 반입된 워크를 수납하여, 반출단으로부터 반출하는 워크 수납 장치로서, 반입단에 설치되어 복수의 워크를 반입된 순서로 배열하여 수납하는 반입측 버퍼, 상기 반입측 버퍼에 수납한 복수의 상기 워크를 한 개 씩 상기 반입측 버퍼로부터 반출하는 반송부, 반출단에 설치되어 상기 반송부에 의해서 상기 반입측 버퍼로부터 반출된 상기 워크를 수납 가능하고, 수납된 순서로 상기 워크를 배열해 수납하는 반출측 버퍼, 및 상기 반송부가 상기 워크를 반출할 때마다 상기 워크의 배열이 역전하도록 상기 반입측 버퍼 및 상기 반출측 버퍼를 이동시키는 제어장치를 갖는 것이다.A feature of the work storage device of the present invention is a work storage device for storing a work carried in the carry-in end, and carrying it out from the carry-out end, which is provided at the carry-in end and arranges and stores a plurality of work in the order of carrying in. A carrying section for carrying out a plurality of the workpieces stored in the carrying-in buffer one by one from the carrying-in buffer, the carrying unit installed at the carrying end and capable of storing the work carried out from the carrying-in buffer by the carrying unit, An export-side buffer for arranging and storing the workpieces in the stored order, and a control device for moving the import-side buffer and the export-side buffer so that the arrangement of the workpieces is reversed each time the conveying unit unloads the workpiece. .

이 워크 수납 장치에서는, 복수의 워크가 반입단의 반입측 버퍼에 차례로 반입되면 반입측 버퍼로부터 반출측 버퍼로 워크를 이동 적재한다. 이때 워크의 배치를 역전시키므로, 워크는 반입시의 순서로 반출된다.In this workpiece storage device, when a plurality of workpieces are sequentially loaded into the carry-in buffer at the carry-in end, the work is moved from the carry-in buffer to the carry-out buffer. At this time, since the arrangement of the work is reversed, the work is carried out in the order of import.

본 발명의 워크 수납 장치에 있어서, 상기 제어장치는, 상기 반송부가 상기 워크를 반출할 때마다 상기 반입측 버퍼 및 상기 반출측 버퍼를 역방향으로 이동시키도록 구성한 것을 특징으로 한다.In the workpiece storage device of the present invention, the control device is configured so that the carry-in buffer and the carry-out buffer are moved in the reverse direction each time the carry section carries out the work.

이 워크 수납 장치에서는, 워크를 이동 적재할 때에, 양 버퍼를 역방향으로 이동시켜, 워크의 수납 순서를 역전시켜, 워크를 반입시의 순서로 반출할 수 있도록 재배치한다.In this workpiece storage device, when the workpiece is moved and stacked, both buffers are moved in the reverse direction, the storage order of the workpiece is reversed, and the workpiece is rearranged so that the workpiece can be taken out in the order of loading.

본 발명의 워크 수납 장치에 있어서, 상기 워크는 박판의 기판으로, 상기 반입측 버퍼와 상기 반출측 버퍼와는, 상기 기판을 상하로 수납 가능하고, 한편 독립적으로 승강이 자유롭게 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.In the workpiece storage device of the present invention, the workpiece is a thin plate, and the carry-in buffer and the carry-out buffer can accommodate the substrate up and down, and are freely provided with lifting up and down independently. .

　이 워크 수납 장치에서는, 기판은 양 버퍼에 상하로 순서대로 수납된다. 기판을 이동 적재할 때는, 양 버퍼를 상하 방향으로, 한편 역방향으로 이동시키면서 기판을 재배치한다.In this workpiece storage device, the substrate is accommodated in both buffers in order up and down. When moving a board | substrate, the board | substrate is rearranged, moving both buffers to an up-down direction and a reverse direction.

본 발명의 워크 수납 장치에 있어서, 상기 반입측 버퍼, 상기 반송부, 상기 반출측 버퍼를 묶어 병렬로 배치한 것을 특징으로 한다.In the workpiece storage device of the present invention, the carry-in buffer, the carry section, and the carry-out buffer are bundled and arranged in parallel.

　이 워크 수납 장치에서는, 반입측 버퍼, 반송부와 반출측 버퍼로 1조의 수납부를 형성하여, 이 수납부를 병렬로 복수 개 설치한 것이므로, 1개의 수납부에서 워크를 이동 적재하는 사이, 다른 수납부에 워크를 반입하거나 워크를 반출하는 것이 가능하게 된다.In this work storage device, since a set of accommodating parts are formed by an import-side buffer, a conveyance part, and an export-side buffer, and a plurality of this accommodating parts are provided in parallel, the other accommodating part is carried out while moving the workpiece from one accommodating part. It is possible to import a workpiece into or out of a workpiece.

본 발명의 워크 수납 방법의 특징은, 반입단에 반입된 워크를 수납해, 반출단으로부터 반출하는 데 있어 복수의 워크가 반입된 순서로 반입측 버퍼에 수납하는 공정, 상기 반입측 버퍼에 수납한 복수의 상기 워크를 반입시에 순서대로 및 역순으로 한 개씩 상기 반입측 버퍼로부터 반출하는 공정, 상기 반입측 버퍼로부터 반출한 상기 워크를 반출측 버퍼로 받아들이는 순서로 수납하는 공정, 및 상기 반출측 버퍼로부터 상기 워크를 받아들이는 순서와는 반대의 순서로 반출하는 공정으로 이루어진다.A feature of the workpiece storage method of the present invention is the step of storing the workpiece carried in the carry-in end, storing the workpiece in the carry-in buffer in the order in which a plurality of workpieces are carried in the carrying-out order, and carrying out in the carry-in buffer. A step of carrying out a plurality of said workpieces one by one in order and in reverse order from said carrying side buffer, a step of storing said workpiece taken out of said carrying side buffer as an carrying side buffer, and said carrying out side It carries out a process of carrying out in a reverse order to the order of taking in the said workpiece from a buffer.

이 워크 수납 방법에서는, 반입측 버퍼에 반입한 순서로 워크를 수납한 후에, 반입측 버퍼로부터 반출측 버퍼로 워크를 이동 적재하고, 이때 워크를 재배치하는 것으로, 워크를 반입한 순서로 반출할 수 있게 된다.In this work storing method, after storing a workpiece in the order which it carried in the import side buffer, it can carry out the workpiece in the order which the workpiece was imported by moving a workpiece from an import side buffer to an export side buffer, and repositioning a workpiece at this time. Will be.

본 발명의 워크 수납 방법에 있어서, 상기 반출측 버퍼로부터 상기 워크를 반출할 때에, 다른 상기 워크를 상기 반입측 버퍼로 반입하는 것을 특징으로 한다.In the work storage method of this invention, when carrying out the said workpiece from the said carrying side buffer, another said workpiece is carried in to the said carrying side buffer, It is characterized by the above-mentioned.

이 워크 수납 방법에서는, 반출측 버퍼로부터 워크를 반출할 때, 반입측 버퍼는 비어 있으므로, 이 비어 있는 반입측 버퍼에 새로운 워크를 순서대로 반입해 수납시켜 워크의 처리 효율을 향상시킨다.In the workpiece storage method, when the workpiece is taken out from the export-side buffer, the import-side buffer is empty. Therefore, new workpieces are sequentially loaded into the empty import-side buffer and stored, thereby improving the processing efficiency of the workpiece.

본 발명에 따르면, 2 개의 버퍼의 사이에 워크를 재배치하도록 한 것으로, 워크를 반입한 순서로 반출할 수 있도록 한다. 따라서, 최초로 반입된 워크의 체류 시간을 단축할 수 있다. 체류 시간의 길이가 워크의 품질에 영향을 주는 경우에는, 최초로 반입된 워크의 체류 시간을 단축하는 것으로 품질의 격차를 방지하는 것이 가능하게 된다.According to the present invention, the work is rearranged between two buffers, so that the work can be taken out in the order in which the work is imported. Therefore, the residence time of the workpiece carried in for the first time can be shortened. When the length of the dwell time affects the quality of the work, it is possible to prevent the quality gap by shortening the dwell time of the first loaded work.

도 1은 본 발명의 제1의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치의 구성을 나타내는 측면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a side view which shows the structure of the board | substrate accommodation apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention.

도 2는 본 발명의 제1의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치의 평면도이다.2 is a plan view of a substrate storage device according to the first embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 제1의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치에 있어서, 기판을 반입할 때의 초기상태의 배치를 나타내는 도면이다.It is a figure which shows the arrangement | positioning of the initial state at the time of carrying in a board | substrate in the board | substrate accommodation apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention.

도 4는 본 발명의 제1의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치를 사용한, 기판의 수납 방법을 나타내는 타임차트이다.4 is a time chart showing a substrate storage method using the substrate storage device according to the first embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 제2의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치의 구성을 나타내는 측면도이다.It is a side view which shows the structure of the board | substrate accommodation apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention.

도 6은 본 발명의 제2의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치를 사용한, 기판의 수납 방법을 나타내는 타임차트이다.It is a time chart which shows the board | substrate storing method using the board | substrate accommodation apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention.

(부호의 설명)(Explanation of the sign)

1,51 : 기판 수납 장치(워크 수납 장치) 3 : 반송컨베이어(반송부)1,51: substrate storage device (work storage device) 3: conveying conveyor (conveying part)

10 : 제1 기판 카셋트(반입측 버퍼)10: first substrate cassette (load-in buffer)

20 : 제2 기판 카셋트(반출측 버퍼) 25 : 제어장치20: second substrate cassette (carrying side buffer) 25: controller

52 : 제1 수납부 53 : 제2 수납부52: first accommodating part 53: second accommodating part

본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태에 대해 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Best Mode for Carrying Out the Invention The best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

또한, 이하의 각 실시의 형태에 있어서, 수납 대상이 되는 워크는 유리 등으로 된 박판 상의 기판(W)으로 설명하지만, 워크는 기판(W)에 한정되지 않고 조립 도중의 부품 등이어도 좋다.In addition, in each following embodiment, although the workpiece | work which becomes a storage object is demonstrated with the thin board | substrate W made of glass etc., the workpiece | work is not limited to the board | substrate W, The components etc. during assembly may be sufficient.

(제1의 실시 형태)(1st embodiment)

　도 1 및 도 2는, 본 발명의 제1의 실시의 형태에 있어서의 워크 수납 장치로서의 기판 수납 장치의 개략 구성을 나타낸다. 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 기판 수납 장치(1)는, 마루 면 등에 설치되는 베이스부(2)를 갖고, 베이스부(2)상에는 반송부인 반송 컨베이어(3)가 설치되어 있다. 1 and 2 show a schematic configuration of a substrate storage device as a work storage device in the first embodiment of the present invention. As shown to FIG. 1 and FIG. 2, the board | substrate accommodation apparatus 1 has the base part 2 provided in a floor surface etc., and the conveyance conveyor 3 which is a conveyance part is provided on the base part 2. As shown in FIG.

반송 컨베이어(3)는, 연직 방향으로 상향으로 늘어나는 여러 개의 반송대(4)가 평행으로 배치되고 있고, 각 반송대(4)의 상부에는, 롤러(5)가 회전이 자유롭게 장착되어 있다. 반송대(4)는 평면에서 보아 가늘고 긴 형상을 갖고, 롤러(5)의 회 전축과 반송대(4)의 길이 방향과는 일치하고 있어, 롤러(5)의 축선 방향과 직교하는 방향으로 동일 간격으로 반송대(4)가 줄지어 있다. 각 롤러(5)는 도시하지 않은 구동장치에 연결되고 있어 각각이 회전 구동할 수 있게 되어 있다.In the conveyance conveyor 3, several conveyance bases 4 extending upwards in the vertical direction are arranged in parallel, and the roller 5 is rotatably attached to the upper part of each conveyance base 4. The conveyance stand 4 has an elongate shape in plan view, coincides with the rotational axis of the roller 5 and the longitudinal direction of the conveyance stand 4, and at equal intervals in a direction orthogonal to the axial direction of the roller 5. Carrier 4 is lined up. Each roller 5 is connected to the drive device which is not shown in figure, and each roller 5 can drive rotationally.

이 기판 수납 장치(1)에서는, 반송대(4)의 배열 방향의 일단 측의 3개의 반송대(4) 및 롤러(5)가 기판(W)의 반입단을 형성하고, 이들 반송대(4) 및 롤러(5)를 평면에서 보아 둘러싸도록 제1 기판 카셋트(10)가 배치되어 있다. In this board | substrate storage apparatus 1, the three conveyance stands 4 and the roller 5 of the end side of the carrier table 4 in the arrangement direction form the carry-in end of the board | substrate W, These conveyance stands 4 and the rollers The first substrate cassette 10 is disposed so as to surround (5) in plan view.

제1 기판 카셋트(10)는, 외형이 직육면체 형상으로 되어 있어, 직사각형 프레임으로 된 천정부(10A)와 저부(10B)를 복수의 지주(10C)로 연결한 구성을 갖고, 반입측 버퍼로서 기능 한다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 제1 기판 카셋트(10)의 저부(10B)는, 반입단의 3개의 반송대(4)의 외연을 맞댄 형상보다 크고, 롤러(5)와 평행인 대들보(11)가 2개 걸쳐져 있다. 대들보(11)는 저부(10B)의 일그러짐을 방지하는 것으로, 반송대(4)의 틈새로 진입 가능한 배치 및 크기로 되어 있다. The first substrate cassette 10 has a rectangular parallelepiped shape, has a configuration in which a ceiling portion 10A and a bottom portion 10B each having a rectangular frame are connected by a plurality of posts 10C, and function as an carry-in buffer. . As shown in FIG. 2, the bottom part 10B of the 1st board | substrate cassette 10 is larger than the shape which met the outer periphery of the three conveyance stands 4 of a carry-in end, and the girder 11 parallel to the roller 5 is There are two. Girder 11 prevents distortion of bottom part 10B, and is the arrangement | positioning and the magnitude | size which can enter into the clearance gap of conveyance stand 4. As shown in FIG.

지주(10C)에는, 복수의 기판(W)을 연직 방향으로 등 간격으로 여러 개 설치하기 위한 막대 부재(棧部材, 도시 생략)가 등 간격으로 고정되어 있다. 이 막대 부재에 의해서, 기판(W)을 한 장 수납 가능한 슬롯이 연직 방향으로 여러 개 형성된다. 제1 기판 카셋트(10)의 일 단부측 및 타 단부측은 기판(W)이 출납 가능하게 열려 있다.To the support 10C, rod members (not shown) for installing a plurality of substrates W at regular intervals in the vertical direction are fixed at equal intervals. By this bar member, several slots which can accommodate one board | substrate W are formed in a perpendicular direction. One end side and the other end side of the first substrate cassette 10 are open to the substrate W in a retractable manner.

이러한 제1 기판 카셋트(10)는, 제1 승강기구(13)에 의해서 연직 방향으로 이동이 자유롭게 지지 되고 있다.The first substrate cassette 10 is freely supported in the vertical direction by the first elevating mechanism 13.

이 기판 수납 장치(1)에서는, 타단측의 3개의 반송대(4) 및 롤러(5)가 기 판(W)의 반출단을 형성하고 있고, 이들 반송대(4) 및 롤러(5)를 평면으로 보아 둘러 싸도록 제2 기판 카셋트(20)가 배치되어 있다. In this board | substrate storage apparatus 1, the three conveyance bases 4 and the roller 5 of the other end side form the carrying-out end of the board | substrate W, and these conveyance bases 4 and the roller 5 were made to the plane The second substrate cassette 20 is disposed so as to surround it.

제2 기판 카셋트(20)는 상기 제1 기판 카셋트(10)과 동일한 구성을 갖고, 반출측 버퍼로서 기능한다. 즉, 제2 기판 카셋트(20)는, 반송대(4)를 삽입 가능한 저부(10B)를 갖고, 반송대(4) 사이에 진입 가능한 대들보(11)가 2개 걸쳐져 복수의 기판(W)을 연직 방향으로 등 간격으로 여러 개 설치 가능하게 되어 있다. 제2 기판 카셋트(20)의 일 단부측 및 타 단부측은, 기판(W)을 출납 가능하도록 열려 있다.The second substrate cassette 20 has the same configuration as the first substrate cassette 10 and functions as a carry-out buffer. That is, the 2nd board | substrate cassette 20 has the bottom part 10B which can insert the carrier stand 4, and two girder 11 which can enter between the carrier stands 4 spreads, and the several board | substrate W is perpendicular to a direction. It is possible to install several at equal intervals. One end side and the other end side of the second substrate cassette 20 are open to allow the substrate W to be taken in and out.

이 제2 기판 카셋트(20)는, 제2 승강기구(14)에 의해서 연직 방향으로 이동이 자유롭게 지지되어 있다.The second substrate cassette 20 is freely supported in the vertical direction by the second lifting mechanism 14.

각 승강기구(13),(14) 및 롤러(5)의 구동장치는, 제어장치(25)에 접속되어 있다. 제어장치(25)는, CPU(중앙연산유닛)등을 갖추고, 후술하는 기판(W)의 반입 반출 동작을 제어하도록 구성되어 있다.The drive device of each lifting mechanism 13, 14 and the roller 5 is connected to the control device 25. The control apparatus 25 is equipped with a CPU (central operation unit), etc., and is comprised so that the carrying-in / out operation | movement of the board | substrate W mentioned later may be controlled.

그　다음, 상기 실시의 형태의 작용에 대해 설명한다. Next, the operation of the above embodiment will be described.

도 3은 본 발명의 제1의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치에 있어서, 기판을 반입할 때의 초기상태의 배치를 나타내는 도면이다. 초기상태로서 도 3에 나타내는 바와 같이, 제1 기판 카셋트(10)는, 가장 하부에서 대기하고 있고, 맨 위의 막대 부재보다 근소하게 롤러(5)가 위쪽으로 돌출되어 있다. 한편, 제2 기판 카셋트(20)는, 가장 위쪽에서 대기하고 있어, 맨 밑의 막대 부재보다 근소하게 롤러(5)가 위쪽으로 돌출되어 있다.It is a figure which shows the arrangement | positioning of the initial state at the time of carrying in a board | substrate in the board | substrate accommodation apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. As an initial state, as shown in FIG. 3, the 1st board | substrate cassette 10 waits in the lowest part, and the roller 5 protrudes upward slightly rather than the top bar member. On the other hand, the 2nd board | substrate cassette 20 is waiting in the uppermost part, and the roller 5 protrudes upwards slightly rather than the bottom bar member.

도 4는 본 발명의 제1의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치를 사용한, 기판의 수납 방법을 나타내는 타임차트이다.4 is a time chart showing a substrate storage method using the substrate storage device according to the first embodiment of the present invention.

도4의 타임 차트에 나타내는 스텝 S101과 같이, 최초로 제1 기판 카셋트(10)에 기판(W)를 반입한다. 구체적으로는, 한 장의 기판(W)이 도시를 생략한 반송 장치에 의해서 제1 기판 카셋트(10)의 일 단부측의 통로로부터 삽입된다. 제어장치(25)는, 반입단의 3개의 롤러(5)를 회전시켜, 이들 롤러(5)에 반송되도록 하여 기판(W)이 제1 기판 카셋트(10) 내로 진입한다. As in step S101 shown in the time chart of FIG. 4, the substrate W is first loaded into the first substrate cassette 10. Specifically, one board | substrate W is inserted from the channel | path by the one end side of the 1st board | substrate cassette 10 with the conveyance apparatus not shown in figure. The controller 25 rotates the three rollers 5 at the carry-in end to be transported to these rollers 5 so that the substrate W enters into the first substrate cassette 10.

한 장의 기판(W)의 반입이 종료하면, 제1 승강기구(13)가 구동해, 2번째의 막대 부재가 롤러(5)보다 약간 아래 쪽에 오도록 1 슬롯핏치 분 만큼 제1 기판 카셋트(10)를 상승시킨다. 이때 먼저 반입된 기판(W)은, 맨 위의 막대 부재에 주연부가 지지되도록 하여 상승한다. 그리고, 그 기판(W)의 아래 쪽에 2매째의 기판(W)이 상기와 같이 하여 반입된다.When carrying in of one board | substrate W is complete | finished, the 1st lifting mechanism 13 drives and the 1st board | substrate cassette 10 by 1 slot pitches so that a 2nd rod member may be slightly below the roller 5. To increase. At this time, the board | substrate W carried in first rises so that a periphery may be supported by the top bar member. And the 2nd board | substrate W is carried in under the board | substrate W as mentioned above.

이후는, 필요한 모든 기판(W)이 반입될 때까지, 같은 동작을 반복한다. 그 결과, 제1 기판 카셋트(10)에는, 복수의 기판(W)이 먼저 반입된 순서로 위로부터 수납된다.Thereafter, the same operation is repeated until all necessary substrates W are loaded. As a result, the several board | substrate W is accommodated in the 1st board | substrate cassette 10 from the top in the order which it carried in first.

그런 다음, 도 4의 스텝 S102 로서, 기판(W)을 제1 기판 카셋트(10)로부터 제2 기판 카셋트(20)로 이동 적재한다. 구체적으로는, 제어장치(25)가 모든 롤러(5)를 회전 구동시켜, 제1 기판 카셋트(10)의 맨 밑의 기판(W)을 반출해, 제2 기판 카셋트(20)에 배달한다.Then, as step S102 of FIG. 4, the substrate W is moved and loaded from the first substrate cassette 10 to the second substrate cassette 20. Specifically, the control apparatus 25 drives all the rollers 5 to rotate, and carries out the bottom board | substrate W of the 1st board | substrate cassette 10, and delivers it to the 2nd board | substrate cassette 20. As shown in FIG.

기판(W)이 제2 기판 카셋트(20) 내에 수납되면, 제어장치(25)는, 제1 승강기구(13)를 구동시켜 제1 기판 카셋트(10)를 1 슬롯핏치 분 만큼 하강시키는 한편, 제2 승강 기구(14)를 구동시켜 제2 기판 카셋트(20)를 1 슬롯핏치 분 만큼 상승시킨다. 그 결과, 제2 기판 카셋트(20) 내의 기판(W)은, 맨 위의 막대 부재에 지지되도록 하여 상승한다.When the board | substrate W is accommodated in the 2nd board | substrate cassette 20, the control apparatus 25 drives the 1st lifting mechanism 13 to lower the 1st board | substrate cassette 10 by 1 slot pitch, The second lifting mechanism 14 is driven to raise the second substrate cassette 20 by one slot pitch. As a result, the board | substrate W in the 2nd board | substrate cassette 20 raises so that it may be supported by the uppermost rod member.

또한, 제1 기판 카셋트(10) 아래로부터 2번째의 기판(W)이 롤러(5)에 의해서 제1 기판 카셋트(10)로부터 반출되어 제2 기판 카셋트(20)의 위로부터 2번째의 슬롯에 반입된다.In addition, the second substrate W from below the first substrate cassette 10 is carried out from the first substrate cassette 10 by the roller 5 to the second slot from above the second substrate cassette 20. It is brought in.

이후는, 제1 기판 카셋트(10)의 모든 기판(W)이 제2 기판 카셋트(20)로 이동 적재되기까지의 같은 동작을 반복하고, 그 후, 롤러(5) 및 승강기구(13),(14)를 정지시킨다. 이렇게 하여, 제1 기판 카셋트(10)는 비게 되고, 제2 기판 카셋트(20)에는 복수의 기판(W)이 먼저 반입된 순서로 아래로부터 수납된다.Subsequently, the same operation is repeated until all the substrates W of the first substrate cassette 10 are moved and stacked on the second substrate cassette 20, and thereafter, the roller 5 and the elevating mechanism 13, (14) is stopped. In this way, the first substrate cassette 10 is emptied and the second substrate cassette 20 is stored from below in the order in which the plurality of substrates W are first loaded.

이 기판 수납 장치(1)로부터 기판(W)을 반출할 때는, 스텝 S103 으로서, 제2 기판 카셋트(20)로부터 기판(W)을 한 장씩 반출한다. 제어장치(25)는, 반출단의 3개의 롤러(5)를 회전시켜, 맨 밑, 즉 반입단에 최초로 반입된 기판(W)을 제2 기판 카셋트(20)의 타 단부로부터 반출하여, 도시 않은 다른 장치로 전달한다. 다른 장치는, 반송 장치라도 좋고 공지의 생산 장치여도 좋다. 기판(W)을 한 장 반출하면, 제2 승강기구(14)를 구동시켜, 제2 기판 카셋트(20)를 슬롯핏치 분 만큼 하강시킨다. 그 결과, 아래로부터 2번째, 즉 반입단에 2번째로 반입된 기판(W)이 기판 수납 장치(1)로부터 반출된다. 이후는, 필요한 기판(W)을 모두 반출할 때까지 같은 동작을 반복한다.When carrying out the board | substrate W from this board | substrate accommodation apparatus 1, it carries out the board | substrate W one by one from the 2nd board | substrate cassette 20 as step S103. The control apparatus 25 rotates the three rollers 5 of a carry-out end, and carries out the board | substrate W carried in the bottom, ie, the carry-in end from the other end of the 2nd board | substrate cassette 20, and is shown in figure, Pass it to another device. The other apparatus may be a conveying apparatus or a known production apparatus. When the substrate W is taken out one by one, the second lifting mechanism 14 is driven to lower the second substrate cassette 20 by the slot pitch. As a result, the board | substrate W carried in 2nd from the bottom, ie, the 2nd at the carrying-in end, is carried out from the board | substrate accommodation apparatus 1. Thereafter, the same operation is repeated until all the necessary substrates W are carried out.

이 사이, 제1 기판 카셋트(10)는 비어 있으므로, 새로운 기판(W)을 반입할 수 있다. 이로 인해, 제2 기판 카셋트(20)로부터 기판(W)을 반출하는 동안에, 제1 기판 카셋트(10)에는 새로운 기판(W)이 수납된다. 따라서, 이후는, 스텝 S102 와 스템 S103 을 반복하여 복수의 기판(W)을 반입하고, 반입한 순서대로 반출할 수 있게 된다.In the meantime, since the 1st board | substrate cassette 10 is empty, a new board | substrate W can be carried in. For this reason, the new board | substrate W is accommodated in the 1st board | substrate cassette 10 while carrying out the board | substrate W from the 2nd board | substrate cassette 20. As shown in FIG. Therefore, after that, several board | substrate W can be carried in by repeating step S102 and stem S103, and it can carry out in the order which carried in.

이 실시의 형태에 의하면, 복수의 기판(W)을 차례로 수납하여, 제1, 제2 기판 카셋트(10),(20) 간에 기판(W)의 이동 적재를 실시하여 기판(W)을 재배치하도록 한 것으로, 먼저 반입한 기판(W)으로부터 반출하는 것이 가능하게 된다. 이 때문에, 먼저 반입한 기판(W)의 체류 시간이 증대하는데 기인하는 품질의 격차를 방지할 수 있다. 또한, 먼저 반입된 기판(W)의 체류시간이 짧아지므로, 먼지가 쌓이는 것 등을 최소한으로 줄일 수 있다.According to this embodiment, the plurality of substrates W are stored in order, and the substrates W are repositioned by moving the substrates W between the first and second substrate cassettes 10 and 20. As a result, it is possible to carry out from the board | substrate W carried in previously. For this reason, the quality difference resulting from the increase in the residence time of the board | substrate W carried in previously can be prevented. In addition, since the residence time of the first loaded substrate W is shortened, dust accumulation and the like can be minimized.

또한, 제1, 제2 기판 카셋트(10),(20)는, 역방향으로 승강 동작을 실시하는 것만으로 끝나므로, 장치 구성을 간략화할 수 있다. 따라서, 기판 카셋트(10),(20)의 대형화가 용이하게 되어, 대형 기판으로의 대응이 용이하게 된다. 제1, 제2 기판 카셋트(10),(20)에는, 로봇의 암을 삽입하기 위한 공간을 마련할 필요가 없기 때문에, 수납 효율을 높일 수 있다.In addition, since the 1st, 2nd board | substrate cassette 10 and 20 end only by performing a lifting operation in a reverse direction, an apparatus structure can be simplified. As a result, the substrate cassettes 10 and 20 can be easily enlarged, thereby facilitating a large substrate. Since the space for inserting the arm of a robot does not need to be provided in the 1st, 2nd board | substrate cassette 10 and 20, storage efficiency can be improved.

또한, 제2 기판 카셋트(20)로부터 기판(W)을 반출하는 동안에, 제1 기판 카셋트(10)에 새로운 기판(W)을 반입하도록 하여, 다수의 기판(W)을 효율 좋게 반입 및 반출할 수 있다.In addition, while the substrate W is taken out from the second substrate cassette 20, the new substrate W is loaded into the first substrate cassette 10 so that a plurality of substrates W can be efficiently loaded and taken out. Can be.

(제2의 실시의 형태)(Second embodiment)

본 발명의 제2의 실시의 형태에 대해 도면을 참조해 상세하게 설명한다. 또한, 제1의 실시의 형태와 같은 구성요소에는, 동일한 부호를 첨부한다. 또한, 중복되는 설명은 생략한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION The 2nd Embodiment of this invention is described in detail with reference to drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same component as 1st Embodiment. In addition, redundant description is abbreviate | omitted.

도 5는 본 발명의 제2의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치의 구성을 나타내는 측면도이다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 기판 수납 장치(51)는, 제1 수납부(52), 제2 수납부(53)가 병렬로 배치되고, 제1 수납부(52) 또는 제2 수납부(53)의 한편에 기판(W)을 반입하는 반입측 롤러 컨베이어(54), 제1 수납부(52) 또는 제2 수납부(53)의 한편으로부터의 기판(W)을 반출하는 반출측 롤러 컨베이어(54)와 제어장치(25)를 갖추고 있다.It is a side view which shows the structure of the board | substrate accommodation apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention. As shown in FIG. 5, in the substrate storage device 51, the first storage unit 52 and the second storage unit 53 are arranged in parallel, and the first storage unit 52 or the second storage unit 53 is disposed. On the one side of the carrying-in roller conveyor 54 which carries in the board | substrate W, the carrying-out roller conveyor which carries out the board | substrate W from one of the 1st accommodating part 52 or the 2nd accommodating part 53 ( 54) and a control unit 25.

제1 수납부(52) 및 제2 수납부(53)는, 각각이 제1의 실시의 형태의 기판 수납 장치(1)와 같은 구성으로 되어 있다. 즉, 베이스부(2)상에 반송 컨베이어(3)가 설치되고 있고, 반송 컨베이어(3)의 길이 방향으로 제1 기판 카셋트(10)와 제2 기판 카셋트(20)가 배치되어 각각이 제1, 제2 승강기구(13),(14)에 의해서 독립적으로 승강이 자유롭게 지지되어 있다.The 1st accommodating part 52 and the 2nd accommodating part 53 have the structure similar to the board | substrate accommodating apparatus 1 of 1st Embodiment, respectively. That is, the conveyance conveyor 3 is provided on the base part 2, and the 1st board | substrate cassette 10 and the 2nd board | substrate cassette 20 are arrange | positioned in the longitudinal direction of the conveyance conveyor 3, respectively, and each is a 1st The lifting and lowering is independently supported by the second lifting mechanisms 13 and 14.

반입측 롤러 컨베이어(54)는, 제1, 제2 수납부(52),(53)의 반송 방향으로 기판(W)을 이동시키는 롤러(60)가 다수 설치되어 있고 그 단부(54A),(54B)는 제1, 제2 수납부(52),(53)의 각각의 반입단에 대응해서 설치되어 있다. 또한, 반출단(54A),(54B)에는, 롤러(61)가 롤러(60)의 회전 방향과 직교하는 방향으로 회전 가능하게 여러 개 설치되어 있다. 마찬가지로, 반출측 롤러 컨베이어(55)는, 기판(W)을 반송 방향으로 이동시키는 롤러(60)가 다수 설치되어 있다.The carrying-in side roller conveyor 54 has many rollers 60 which move the board | substrate W in the conveyance direction of the 1st, 2nd accommodating part 52, 53, and are provided with the edge part 54A, (( 54B is provided corresponding to each carrying-in end of the 1st, 2nd accommodating part 52 and 53, respectively. Moreover, several roller 61 is rotatably provided in the carrying out edge 54A, 54B in the direction orthogonal to the rotation direction of the roller 60. As shown in FIG. Similarly, the carrying-out roller conveyor 55 is provided with many rollers 60 which move the board | substrate W to a conveyance direction.

제1, 제2 수납부(52),(53)의 반출단에 대응하는 단부(55A),(55B)에는, 롤러(60)에 더하여, 롤러(61)가 기판(W)의 반출 방향과 직교하는 방향으로 기판(W)을 반송 가능하게 다수 설치되어 있다. 또한, 롤러(61)는, 승강이 자유롭게 설치되는 것이 바람직하다.In addition to the roller 60, the roller 61 is connected to the carrying out direction of the board | substrate W at the edge part 55A, 55B corresponding to the carrying-out end of the 1st, 2nd accommodating part 52, 53. Many board | substrates W are provided in the orthogonal direction so that conveyance is possible. Moreover, it is preferable that the lifting and lowering of the roller 61 is provided freely.

그 다음, 이 실시의 형태의 작용에 대해 설명한다.Next, the operation of this embodiment will be described.

도 6은 본 발명의 제2의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치를 사용한, 기판의 수납 방법을 나타내는 타임차트이다. 이하에서는, 도 6의 타임차트에 나타내는 바와 같이, 제1 수납부(52)에 먼저 기판(W)을 반입하는 경우에 대해 설명하지만, 제2 수납부(53)로부터 먼저 기판(W)을 반입해도 좋다.It is a time chart which shows the board | substrate storing method using the board | substrate accommodation apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention. Hereinafter, although the case where the board | substrate W is carried in to the 1st accommodating part 52 first is demonstrated as shown to the time chart of FIG. 6, the board | substrate W is carried in from the 2nd accommodating part 53 first. You may also

우선, 스텝 S201 에 나타내는 바와 같이, 제1 수납부(52)에 기판(W)을 반입한다. 기판(W)은, 반입측 롤러 컨베이어(54)로부터 제1 수납부(52)의 제1 기판 카셋트(10)에, 위로부터 차례대로 반입된다. 제1 기판 카셋트(10)의 모든 슬롯에 기판(W)을 수납하면, 스텝 S202 로 진행된다.First, as shown in step S201, the board | substrate W is carried in to the 1st accommodating part 52. FIG. The board | substrate W is carried in from the carry-in side roller conveyor 54 to the 1st board | substrate cassette 10 of the 1st accommodating part 52 in order from the top. When the board | substrate W is accommodated in all the slots of the 1st board | substrate cassette 10, it progresses to step S202.

　스텝 S202 에서는, 제1 수납부(52)에 있어서 제1 기판 카셋트(10)로부터 제2 기판 카셋트(20)에 기판(W)을 한 장씩 이동 적재한다. 이때, 제어장치(25)는, 제1, 제2 기판 카셋트(10),(20)를 역방향으로 1 슬롯핏치 분 씩 이동시켜, 먼저 반입된 기판(W)을 제2 기판 카셋트(20)의 아래로부터 차례로 수납시킨다. In step S202, the board | substrate W is moved and mounted one by one from the 1st board | substrate cassette 10 to the 2nd board | substrate cassette 20 in the 1st accommodating part 52. FIG. At this time, the control apparatus 25 moves the 1st, 2nd board | substrate cassette 10, and 20 by 1 slot pitches in the reverse direction, and moves the board | substrate W carried in previously, of the 2nd board | substrate cassette 20. As shown in FIG. It is stored in order from the bottom.

이 스텝 S202 에서는, 반입측 롤러 컨베이어(54)로부터 기판(W)이 제2 수납부(53)의 제1 기판 카셋트(10)로 반입된다. 기판(W)은, 반입측 롤러 컨베이어(54)의 단부로부터 롤러(61)의 회전에 의해서 단부(54B)로 반송되고, 여기로부터 제2 수납부(53)의 제1 기판 카셋트(10)에 위로부터 차례로 반입된다.In this step S202, the board | substrate W is carried in from the carrying-in side roller conveyor 54 to the 1st board | substrate cassette 10 of the 2nd accommodating part 53. As shown in FIG. The board | substrate W is conveyed to the edge part 54B by the rotation of the roller 61 from the edge part of the carrying-in side roller conveyor 54, and from this to the 1st board | substrate cassette 10 of the 2nd accommodating part 53. Imported in order from the top.

제1, 제2 수납부(52),(53)의 각 제1 기판 카셋트(10)에는, 같은 매수의 기판(W)이 수납되므로, 제1 수납부(52)에서의 기판(W)의 이동 적재가 종료함과 거의 동시에, 제2 수납부(53)로의 기판(W)의 반입이 종료한다.Since the same number of board | substrates W is accommodated in each 1st board | substrate cassette 10 of the 1st, 2nd accommodating part 52 and 53, the board | substrate W of the 1st accommodating part 52 Almost simultaneously with the end of the transfer stacking, the carrying in of the substrate W to the second storage part 53 ends.

스텝 S203 에서, 제1 수납부(52)로부터 반출측 롤러 컨베이어(55)에 기판(W)을 한 장씩 반출한다. 이때의 제2 기판 카셋트(20)는 1 슬롯핏치 분 씩 차례로 하강시키고, 기판(W)은 먼저 반입된 것으로부터 차례로 반출된다. 이와 동시에, 제1 수납부(52)가 비어 있는 제1 기판 카셋트(10)에 반출측 롤러 컨베이어(55)로부터 기판(W)이 한 장씩 반입되어 제1 기판 카셋트(10) 위로부터 차례로 수납된다. In step S203, the board | substrate W is carried out one by one from the 1st accommodating part 52 to the carrying-out roller conveyor 55. FIG. At this time, the second substrate cassette 20 is lowered in order by one slot pitch, and the substrate W is carried out in sequence from the one loaded first. At the same time, the board | substrate W is carried one by one from the carrying-out roller conveyor 55 to the 1st board | substrate cassette 10 with which the 1st accommodating part 52 is empty, and is received in order from the top of the 1st board | substrate cassette 10 in order. .

이 스텝 S203 에 있어서는, 제2 수납부(53)의 제1 기판 카셋트(10)에 수납한 기판(W)을 제2 기판 카셋트(20)로 이동 적재한다. 제1, 제2 기판 카셋트(10),(20)는 역방향으로 승강하여, 제2 기판 카셋트(20)에는, 먼저 반입된 기판(W)이 아래로부터 차례로 수납된다.In this step S203, the board | substrate W accommodated in the 1st board | substrate cassette 10 of the 2nd accommodating part 53 is moved to the 2nd board | substrate cassette 20, and is loaded. The 1st, 2nd board | substrate cassette 10 and 20 raise and lower in the reverse direction, and the board | substrate W carried in previously is accommodated in the 2nd board | substrate cassette 20 in order from the bottom.

계속 되는 스텝 S204 에서는, 제1 수납부(52)에서 기판(W)의 이동 적재를 실시함과 동시에, 제2 수납부(53)의 제2 기판 카셋트(20)로부터 기판(W)을 차례로 반출한다. 제2 수납부(53)에 있어서, 기판(W)은, 먼저 반입된 것으로부터 차례로 반출측 롤러 컨베이어(55)로 반출된다. 또한, 제2 수납부(53)에서는, 비어 있는 제1 기판 카셋트(10)에 기판(W)이 위로부터 차례로 반입된다.In the subsequent step S204, the substrate W is moved and stacked in the first storage unit 52 and the substrate W is carried out from the second substrate cassette 20 of the second storage unit 53 in sequence. do. In the 2nd accommodating part 53, the board | substrate W is carried out to the carrying-out roller conveyor 55 one by one from what was carried in first. Moreover, in the 2nd accommodating part 53, the board | substrate W is carried in from the top to the empty 1st board | substrate cassette 10 in order.

이후는, 스텝 S203 과 스텝 S204 를 교대로 실시해 기판(W)을 수납된 순서로 반출한다.Subsequently, step S203 and step S204 are performed alternately, and the board | substrate W is carried out in the order accommodated.

제2의 실시의 형태에 의하면, 제1 수납부(52), 제2 수납부(53)를 병렬로 설치하는 것으로 다수의 기판(W)을, 수납한 순서로 반출하는 것이 가능하게 되어, 작업 효율이 향상된다. 그 외의 효과는, 제1의 실시의 형태와 같다.According to the second embodiment, the plurality of substrates W can be taken out in the order in which the first storage part 52 and the second storage part 53 are provided in parallel, thereby enabling the operation. The efficiency is improved. Other effects are the same as in the first embodiment.

본 발명은, 상기한 각 실시의 형태에 한정되지 않고 넓게 응용할 수 있다.This invention is not limited to each embodiment mentioned above, It can apply widely.

예를 들면, 기판(W)의 반송은, 롤러에 한정되지 않고 에어 부상을 이용해도 좋다.For example, conveyance of the board | substrate W is not limited to a roller, You may use air flotation.

기판(W)을 대략 수평으로 반송해, 상하로 줄지어 수납하는 대신에, 기판(W)을 대략 수직으로 세운 상태로 반송 및 수납해도 좋다. 이 경우에, 제1, 제2 기판 카셋트(10),(20)는, 기판(W)을 세운 채로 평행으로 수납하도록 구성되어 제어장치(25)는, 제1, 제2 기판 카셋트(10),(20)를 1 슬롯핏치 분 씩 좌우 방향, 또한 역방향으로 이동시킨다. 이러한 구성에서도 상기와 같은 효과를 얻을 수 있다. 이 경우에, 기판(W)은, 수직에 가깝게 경사시킨 자세로 롤러 반송해도 좋고, 기판(W)의 하단에 맞닿도록 아래쪽으로 롤러를 설치하거나 해도 좋다.Instead of transporting the substrate W substantially horizontally and storing it vertically, the substrate W may be transported and stored in a state in which the substrate W is placed upright. In this case, the 1st, 2nd board | substrate cassette 10, 20 is comprised so that it may be stored in parallel, with the board | substrate W upright, and the control apparatus 25 is the 1st, 2nd board | substrate cassette 10. FIG. (20) is moved in the left and right directions and in the reverse directions by one slot pitch. In such a configuration, the same effects as described above can be obtained. In this case, the board | substrate W may be roller conveyed in the attitude | position which inclined to near perpendicular | vertical, and a roller may be provided downward so that the board | substrate W may contact the lower end of the board | substrate W. As shown in FIG.

　제2의 실시의 형태에 있어서, 수납부{제1 수납부(52), 제2 수납부(53)}의 수를 3개 이상으로 하면, 한층 더 다수의 기판(W)을 효율 좋게 처리할 수 있다.In the second embodiment, when the number of the storage portions (the first storage portion 52 and the second storage portion 53) is three or more, more substrates W can be efficiently processed. Can be.

본 발명은 기판 등의 워크를 수납하는 장치로서, 반입한 순서로 반출시킬 수 있는 장치에 적용할 수 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is an apparatus for storing a work such as a substrate, and can be applied to an apparatus that can be carried out in the order in which it is carried.

Claims (6)

반입단에 반입된 워크를 수납하여, 반출단으로부터 반출하는 워크 수납 장치로서,A work storage device for storing a work carried in a carrying in end and carrying it out from the carrying out end, 반입단에 설치되어, 복수의 워크가 반입된 순서로 배열하여 수납하는 반입측 버퍼, An import-side buffer provided at the import end and arranged to accommodate a plurality of workpieces in an imported order; 상기 반입측 버퍼에 수납한 복수의 상기 워크를 한 개씩 상기 반입측 버퍼로부터 반출하는 반송부,A conveying unit for carrying out a plurality of the workpieces stored in the carry-in buffer one by one from the carry-in buffer; 반출단에 설치되어, 상기 반송부에 의해서 상기 반입측 버퍼로부터 반출된 상기 워크를 수납 가능하고, 수납순서로 상기 워크를 배열해 수납하는 반출측 퍼버, 및An export-side perforator provided at the carrying-out end, capable of storing the work carried out from the carrying-in buffer by the carrying unit, arranging the work in a storage order, and storing the work; 상기 반송부가 상기 워크를 반출할 때 상기 워크가 반입된 순서와 역순으로 배열되도록 상기 반입측 버퍼 및 상기 반출측 버퍼를 이동시키는 제어장치,A control device for moving the carry-in buffer and the carry-out buffer so that the conveying unit is arranged in a reverse order to the order in which the work was carried in when the carry-out carried out the work; 를 갖춘 것을 특징으로 하는 워크 수납 장치.Work storage device characterized in that provided with. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제어장치는, 상기 반송부가 상기 워크를 반출할 때 상기 반입측 버퍼 및 상기 반출측 버퍼를 역방향으로 이동시키도록 구성한 것을 특징으로 하는 워크 수납 장치.And the control device is configured to move the carry-in buffer and the carry-out buffer in the reverse direction when the conveying unit carries out the work. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 워크는, 박판의 기판으로, 상기 반입측 버퍼와 상기 반출측 버퍼와는, 상기 기판을 상하로 수납 가능하고, 또한 독립적으로 승강이 자유롭게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 워크 수납 장치.The said workpiece | work is a thin board | substrate, The said board | substrate side buffer and the said carrying-out buffer can accommodate the said board | substrate up and down, and the workpiece storage apparatus characterized by the above-mentioned being freely provided. 제1항 내지 제3항의 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 반입측 버퍼, 상기 반송부 및 상기 반출측 버퍼를 여러 개 묶어 병렬로 배치한 것을 특징으로 하는 워크 수납 장치.And a plurality of the carry-in buffer, the carry section and the carry-out buffer, which are arranged in parallel and arranged in parallel. 반입단에 반입된 워크를 수납하고, 반출단으로부터 반출하는 데 있어, 복수의 워크를 반입된 순서로 반입측 버퍼에 수납하는 공정,Storing the workpieces carried in the carry-in end and carrying them out from the carry-out end, the process of storing a plurality of workpieces in the carry-in buffer in the order of carrying in, 상기 반입측 버퍼에 수납된 복수의 상기 워크를 반입시에 순서대로 및 역순으로 한 개씩 상기 반입측 버퍼로부터 반출하는 공정,Carrying out a plurality of said workpieces stored in said carrying side buffer from said carrying side buffer one by one in order and in reverse order at the time of entry; 상기 반입측 버퍼로부터 반출한 상기 워크를 반출측 버퍼로 받아들이는 순서로 수납하는 공정, 및Storing the work carried out from the import-side buffer in an order of receiving as the export-side buffer; and 상기 반출측 버퍼로부터 상기 워크를 받아들이는 순서와는 반대의 순서로 반출하는 공정,Exporting the workpiece from the export-side buffer in a reverse order to receiving the workpiece; 을 갖춘 것을 특징으로 하는 워크 수납 방법.The work storage method characterized by the above-mentioned. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 반출측 버퍼로부터 상기 워크를 반출할 때, 다른 상기 워크를 상기 반입측 버퍼로 반입하는 것을 특징으로 하는 워크 수납 방법.And carrying out the other work into the carrying-in buffer when the work is taken out from the carrying-out buffer.
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