JP2001230304A - Apparatus for centering substrate - Google Patents
Apparatus for centering substrateInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属するの技術分野】本発明は、カセット内に収
納された基板、例えば液晶表示器用ガラス基板、半導体
ウエハ等の基板をカセットから１枚ずつロボットのハン
ドで搬出する際に、カセット内に収納されている基板中
央部近傍の撓みを搬出前に予め修正して平らにすると共
に、カセット搬送中、あるいは移動中において位置ずれ
した基板をカセット内の中央に寄せて位置修正する基板
センタリング装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for transferring a substrate, such as a glass substrate for a liquid crystal display or a semiconductor wafer, stored in a cassette one by one from a cassette by a robot hand. The present invention relates to a substrate centering device that corrects a deflection near a central portion of a stored substrate in advance and flattens it before unloading, and corrects a position of a substrate that is displaced during cassette conveyance or movement by moving it to the center of the cassette. .
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、カセット内に液晶表示器用ガラス
基板、半導体ウエハ等の基板をロボットアームのハンド
により搬入する際、基板をカセット内の所定位置に載置
し、搬出時におけるハンドでの基板保持が確実に行われ
るようした装置は公知（特開平１１−３１２７２４号公
報参照。）である。この装置は、基板をカセットに搬入
するときにハンドの進入量を設定することにより、基板
を予め搬出入方向の中央に載置するものであるが、基板
の中央部近傍の撓みを修正したり、収納されている基板
を搬出入方向に対して左右に位置修正する機能を備えて
いないものである。2. Description of the Related Art Conventionally, when a substrate such as a glass substrate for a liquid crystal display or a semiconductor wafer is loaded into a cassette by a hand of a robot arm, the substrate is placed at a predetermined position in the cassette, and the substrate is removed by the hand when unloading. A device that ensures the holding is known (see Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-327724). In this apparatus, the substrate is placed in advance in the center in the carrying-in / out direction by setting the amount of hand entry when carrying the substrate into the cassette, but the bending near the center of the substrate is corrected. In addition, it does not have a function of correcting the position of the accommodated substrate to the left and right with respect to the carry-in / out direction.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】液晶表示器用ガラス基
板、半導体ウエハ等の基板は、カセット内に多段に設け
られた支持アーム上に通常１枚ずつ載せられているが、
基板のサイズが大きいと収納保管されている間に、中央
部近傍が撓むと共に位置がずれて、基板搬出時にロボッ
トアームのハンドが基板間に進入するとき基板に接触し
たり、あるいはカセット移動中に基板の位置がずれて、
そのままハンドで支持して搬出すると、重心がずれてい
るため落下する恐れがあるという問題点があった。ま
た、このようなことを避けるために、基板に撓みが生じ
た場合、基板を１枚ずつ取り出して別のセンタリング装
置に移し替え、撓みを修正し、次いで位置修正してロボ
ットアームのハンドで中央部近傍を支持できるようにす
ることも行われているが、このようにするとカセットか
らの基板搬出サイクル、基板搬送サイクルが長くなると
いう問題点があった。Substrates such as glass substrates for liquid crystal displays and semiconductor wafers are usually placed one by one on support arms provided in multiple stages in a cassette.
If the size of the board is large, the area near the center will bend and the position will shift during storage and storage, and the hand of the robot arm will come into contact with the board when unloading the board, making contact with the board or moving the cassette. The position of the board is shifted
There is a problem in that if it is carried out by supporting it with a hand as it is, the center of gravity is shifted, and it may fall. Also, in order to avoid such a situation, when the substrate is bent, take out the substrates one by one, transfer them to another centering device, correct the deflection, then correct the position, and adjust the position with the hand of the robot arm. Although it is also possible to support the vicinity of the portion, there has been a problem that the substrate unloading cycle from the cassette and the substrate transport cycle become long.
【０００４】そこで、本発明は、前述したような従来技
術の問題点を解消し、カセット内に収納されている基板
中央部近傍の撓みを修正して平らにすると共に、位置ず
れしている基板を中央に寄せるセンタリングも行うこと
ができるセンタリング装置を提供することを目的とす
る。Accordingly, the present invention solves the above-mentioned problems of the prior art, corrects the bending near the center of the substrate housed in the cassette, flattens it, and displaces the substrate that is displaced. It is an object of the present invention to provide a centering device that can also perform centering for bringing the center to the center.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、多段の支持アーム上に載せられた基板を
収納したカセットが載置される載置台と、該載置台に載
置されたカセット内に進入して基板の中央部近傍を下方
から支える複数のサポートと、カセットの外側から内側
に水平移動して基板を中央側に寄せるセンタリングアー
ムと、サポート及びセンタリングアームが設けられた昇
降フレームを昇降させる昇降装置とからなる基板センタ
リング装置、という構成としたものである。In order to achieve the above object, the present invention provides a mounting table on which a cassette containing substrates mounted on a multi-stage support arm is mounted, and a mounting table mounted on the mounting table. A plurality of supports that enter into the cassette and support the vicinity of the center of the substrate from below, a centering arm that moves horizontally from the outside of the cassette to the inside to move the substrate toward the center, and a support and a centering arm. And a lifting / lowering device for lifting / lowering the lifting frame.
【０００６】[0006]
【作用】上記の構成からなる基板センタリング装置は、
載置台に載置されたカセット内で基板の中央部近傍が撓
み、また、中央より位置がずれている場合、サポート及
びセンタリングアームが設けられた昇降フレームを昇降
装置により上昇させることにより、カセット内に複数の
サポートを下方から進入させて基板の中央部近傍を下方
から支えて撓みを修正して平らにすると共に、フレーム
に設けられたセンタリングアームをカセットの外側から
内側に水平移動して基板を中央に寄せる位置修正を行う
ものである。The substrate centering device having the above structure is
In the cassette mounted on the mounting table, the vicinity of the central portion of the substrate is bent, and when the substrate is displaced from the center, the lifting frame provided with the support and the centering arm is raised by the lifting device, so that the inside of the cassette is lowered. A plurality of supports are inserted from below to correct the bending by supporting the vicinity of the center of the substrate from below and flatten, and the centering arm provided on the frame is moved horizontally from the outside of the cassette to the inside to move the substrate. This is to correct the position of the center.
【０００７】[0007]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、実施例に
基づき図１〜図５を参照して説明する。基板センタリン
グ装置１は、図１〜図３に示されるように、カセット２
が載置される載置台３を備え、この載置台３は、本体フ
レーム４上方に設けられ、また、本体フレーム４には、
載置台３下方に位置して昇降フレーム５が昇降可能に設
けられている。この昇降フレーム５は、ギヤドモータ
６、ボールねじ７、該昇降フレーム５に取り付けられた
ナット部８とで構成される昇降装置により本体フレーム
４に沿って昇降する。この昇降フレーム５には、基板Ｐ
下方に当接するサポートを構成する複数の押上棒１０が
立設されると共に、昇降装置により上昇したときカセッ
ト２が中間に位置するようにセンタリングアーム１１，
１１が対峙して移動可能に設けられる。このセンタリン
グアーム１１，１１は、昇降フレーム５に設けられたリ
ニアガイドレール１２，１２に案内されるリニアガイド
ブロック（ボールベアリング入りガイドブロック）１
３，１３を備えた水平移動フレーム１４，１４に取り付
けられる。そして、この水平移動フレーム１４は、昇降
フレーム５に対峙して設けられているエアシリンダ１５
のピストンロッド１６に連結され、エアシリンダ１５，
１５が作動することにより、図１に示される矢印Ｘ方向
に水平移動するようになっている。また、センタリング
アーム１１の先端には、押上棒１０先端より相対的に上
方に位置して、基板Ｐの側面に当接する当接部１１Ａが
設けられ、その水平移動により基板Ｐを押圧してカセッ
ト２をずらせ、中央側に位置を修正する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described based on an embodiment with reference to FIGS. The substrate centering apparatus 1 includes a cassette 2 as shown in FIGS.
Is mounted on the main body frame 4, and the main body frame 4 is provided with:
An elevating frame 5 is provided below the mounting table 3 so as to be able to elevate and lower. The elevating frame 5 is moved up and down along the main body frame 4 by an elevating device composed of a geared motor 6, a ball screw 7, and a nut 8 attached to the elevating frame 5. The lifting frame 5 includes a substrate P
A plurality of push-up bars 10 constituting a support that comes into contact with the lower side are erected, and the centering arms 11 and 10 are positioned so that the cassette 2 is located at an intermediate position when the cassette 2 is raised by the elevating device.
11 are provided movably facing each other. The centering arms 11 and 11 are linear guide blocks (guide blocks with ball bearings) 1 guided by linear guide rails 12 and 12 provided on the lifting frame 5.
It is attached to a horizontal moving frame 14, 14 provided with 3,13. The horizontal moving frame 14 is provided with an air cylinder 15 provided facing the lifting frame 5.
Of the air cylinder 15,
By actuation of the actuator 15, the actuator 15 moves horizontally in the arrow X direction shown in FIG. At the end of the centering arm 11, a contact portion 11A is provided, which is located relatively higher than the end of the push-up bar 10 and abuts against the side surface of the substrate P. Shift 2 to correct the position toward the center.
【０００８】カセット２は、その内部に多数の基板Ｐが
収納され、基板Ｐは多段に設けられた支持アーム２Ａに
載せられ、図５に示されるように、カセット２の底面は
格子状枠２Ｂで形成され、この格子状枠２Ｂの間を押上
棒１０が進入し、カセット２内の最下方にある基板Ｐの
中央部近傍を下から支えるものである。In the cassette 2, a large number of substrates P are stored, and the substrates P are mounted on the support arms 2A provided in multiple stages. As shown in FIG. The push-up bar 10 enters between the lattice frames 2B, and supports the vicinity of the center of the lowermost substrate P in the cassette 2 from below.
【０００９】次に、基板センタリング装置１の作用につ
いて説明する。基板Ｐが収納されたカセット２は、移載
機（図示略）により載置台３に載置される。ここで、ギ
ヤドモータ６が駆動され、ボールねじ７の回転により昇
降フレーム５が上昇し、それに伴って押上棒１０及びセ
ンタリングアーム１１がカセット２内に収納されている
最下方にある基板Ｐのところまで上昇すると位置検出セ
ンサが検知し停止する。このとき、最下方にある基板Ｐ
の中央部近傍が撓んでいる場合は、押上棒１０でその下
部を支えることにより平らにされる。次いで、エアシリ
ンダ１５，１５が作動し、ピストンロッド１６，１６が
引き込まれ、中央部側にセンタリングアーム１１，１１
が水平移動し、センタリングアーム１１に備えられてい
る当接部１１Ａが、カセット２の外側から内側に水平に
進入して基板Ｐの端部に当接する。それにより、基板Ｐ
が搬出方向に対して左右いずれかにずれている場合は中
央側に寄せられる。中央側に寄せられた最下方の基板Ｐ
は、その下側に差し込まれたロボットアームのハンドＨ
により搬出されることになる。このように、最下方の基
板Ｐを搬出した後、その上段にある基板Ｐを搬出するた
めに、昇降装置により、再び昇降フレーム５、押上棒１
０及びセンタリングアーム１１を上昇させ、撓み修正、
位置修正の作動を行うようにする。Next, the operation of the substrate centering device 1 will be described. The cassette 2 in which the substrates P are stored is mounted on the mounting table 3 by a transfer machine (not shown). Here, the geared motor 6 is driven, and the lifting frame 5 is raised by the rotation of the ball screw 7, whereby the push-up bar 10 and the centering arm 11 are moved to the lowermost substrate P in the cassette 2. When it rises, the position detection sensor detects and stops. At this time, the lowermost substrate P
When the vicinity of the center of the is bent, the lower part is supported by the push-up bar 10 to be flattened. Next, the air cylinders 15, 15 are actuated, the piston rods 16, 16 are retracted, and the centering arms 11, 11 are moved toward the center.
Moves horizontally, and the contact portion 11A provided on the centering arm 11 horizontally enters from the outside of the cassette 2 to the inside, and contacts the end of the substrate P. Thereby, the substrate P
Is shifted to the left or right with respect to the unloading direction, it is moved toward the center. Lowermost substrate P moved to the center side
Is the hand H of the robot arm inserted below
Will be carried out. After the lowermost substrate P is unloaded as described above, the lifting frame 5 and the push-up bar 1 are again moved by the lifting device to unload the upper substrate P.
0 and the centering arm 11 are raised to correct the bending,
Activate the position correction.
【００１０】上記のように構成されている基板センタリ
ング装置１は、載置台３に載置されたカセット２内に下
方から進入して基板Ｐの中央部近傍を下方から支える複
数の押上棒（サポート）１０、及びカセット２の外側か
ら内側に水平に進入して基板Ｐを中央側に水平移動させ
るセンタリングアーム１１が、昇降フレーム５に設けら
れているので、基板Ｐの中央部近傍が撓んでいる場合、
カセット２内に押上棒１０を下方から進入させて基板Ｐ
を支えることにより、撓みを修正して平らにすることが
できると共に、カセット内２で基板Ｐが中央より位置が
ずれている場合、昇降フレーム５に設けられたセンタリ
ングアーム１１をカセット２の外側から内側に水平移動
して基板Ｐを中央に寄せる位置修正（センタリング）を
行うことができる。The substrate centering apparatus 1 having the above-described configuration includes a plurality of push-up rods (supports) that enter the cassette 2 mounted on the mounting table 3 from below and support the vicinity of the center of the substrate P from below. 10) and the centering arm 11 that horizontally moves from the outside to the inside of the cassette 2 and moves the substrate P to the center side is provided in the elevating frame 5, so that the vicinity of the center of the substrate P is bent. If
The push-up bar 10 is inserted into the cassette 2 from below, and the substrate P
, The deflection can be corrected and flattened, and when the substrate P is displaced from the center in the cassette 2, the centering arm 11 provided on the elevating frame 5 is moved from the outside of the cassette 2. A position correction (centering) in which the substrate P is horizontally moved inward to bring the substrate P to the center can be performed.
【００１１】以上、実施例において、カセット内に収納
されている基板が撓み、中央からずれている場合、これ
を修正する手段として、昇降装置に昇降されるフレーム
に、押上棒（サポート）及びセンタリングアームが設け
られたものについて説明したが、押上棒を設けないで、
センタリングアームにカセット内側方向に延出する水平
アーム（サポート）を縦方向に多段に設けてもよい。こ
の場合、各水平アームは、ロボットアームのハンドと接
触しない程度の長さのものである。このようにした場
合、カセットの外側から内側方向にセンタリングアーム
を水平移動させてカセット内の各基板間に水平アームを
差し入れ、次いで上昇させることにより、カセット内の
支持アーム上に載せられている複数の基板を一度に下側
から支えると同時に中央に寄せることができる。As described above, in the embodiment, when the substrate accommodated in the cassette is deflected and deviated from the center, as means for correcting this, a push-up bar (support) and a centering ring are provided on the frame which is raised and lowered by the lifting device. I explained about the arm provided, but without the push-up bar,
Horizontal arms (supports) extending inward of the cassette may be provided on the centering arm in multiple stages in the vertical direction. In this case, each horizontal arm is long enough not to contact the hand of the robot arm. In such a case, the centering arm is horizontally moved from the outside of the cassette to the inside to insert the horizontal arm between the substrates in the cassette, and then raised, so that the plurality of substrates mounted on the support arm in the cassette are moved. The substrate can be supported from below at a time and at the same time it can be centered.
【００１２】[0012]
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、載置台
に載置されたカセット内に下方から進入して基板の中央
部近傍を下方から支える複数のサポート、及び該サポー
トが設けられたフレームを昇降させる昇降装置を備えて
いるので、カセット内で基板の中央部近傍が撓んでいる
場合、カセット内に複数のサポートが下方から進入させ
て基板の内側平面部を支えて撓みを修正して平らにする
ことができる。それと同時に、カセットの外側から内側
に移動して基板を中央側に寄せるセンタリングアーム、
及びセンタリングアームが設けられたフレームを昇降さ
せる昇降装置を備えているので、カセット内で基板が中
央より位置がずれている場合、昇降装置により上昇した
位置で、フレームに設けられたセンタリングアームをカ
セットの外側から内側に水平移動して基板を中央に寄せ
る位置修正（センタリング）を行うことができる。さら
に、以上のように、基板の撓みを修正して平らにすると
同時にセンタリングを行うことができるので、搬送サイ
クルの大幅な短縮を行うことができる。As described above, according to the present invention, there are provided a plurality of supports which enter the cassette placed on the mounting table from below and support the vicinity of the central portion of the substrate from below, and the supports are provided. Since there is a lifting device that raises and lowers the frame, if the vicinity of the center of the substrate is bent in the cassette, a plurality of supports enter the cassette from below and support the inner flat surface of the substrate to correct the bending. Can be flattened. At the same time, a centering arm that moves inward from the outside of the cassette and moves the substrate toward the center,
And a lifting / lowering device for lifting / lowering the frame provided with the centering arm. When the substrate is displaced from the center in the cassette, the centering arm provided on the frame is moved to the cassette at the position raised by the lifting / lowering device. (Centering) in which the substrate is moved horizontally from outside to inside to bring the substrate to the center. Further, as described above, since the centering can be performed at the same time as correcting and flattening the deflection of the substrate, the transfer cycle can be significantly shortened.
【００１３】以上のように、基板の撓み修正と中央への
位置修正ができるので、カセットから基板を１枚ずつ搬
出する場合、ロボットアームのハンドが基板に接触しな
いようにすることができ、ハンドにより基板の重心を中
心にして支持することができ、搬出中あるいは搬送中に
基板がハンドから落下するのを防止することができる。As described above, the deflection of the substrate can be corrected and the position to the center can be corrected. Therefore, when the substrates are unloaded one by one from the cassette, the hand of the robot arm can be prevented from contacting the substrate. Accordingly, the substrate can be supported around the center of gravity of the substrate, and the substrate can be prevented from dropping from the hand during unloading or transporting.
【図１】 本発明実施例の基板センタリング装置の要部
正面図である。FIG. 1 is a front view of a main part of a substrate centering apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】 同上基板センタリング装置の要部内側面図で
ある。FIG. 2 is an inner side view of a main part of the substrate centering apparatus.
【図３】 同上基板センタリング装置の要部外側面図で
ある。FIG. 3 is an external side view of a main part of the substrate centering apparatus.
【図４】 図３を上方からみた平面図である。FIG. 4 is a plan view of FIG. 3 as viewed from above.
【図５】 カセットから基板を搬出する説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of unloading a substrate from a cassette.
１ 基板センタリング装置 ２ カセット ２Ａ 支持アーム ２Ｂ 格子状枠 ３ 載置台 ４ 本体フレーム ５ 昇降フレーム ６ ギヤドモータ ７ ボールねじ ８ ナット部 ９ ピロー型ユニット １０ 押上棒 １１ センタリングアーム １１Ａ 当接部 １２ リニアガイドレール １３ リニアガイドブロック １４ 水平移動フレーム １５ エアシリンダ １６ ピストンロッド １７ 天板 １８ 貫通孔 Ｐ 基板 Ｈ ハンド DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate centering apparatus 2 Cassette 2A Support arm 2B Lattice frame 3 Mounting table 4 Main body frame 5 Elevating frame 6 Geared motor 7 Ball screw 8 Nut part 9 Pillow type unit 10 Push-up rod 11 Centering arm 11A Contact part 12 Linear guide rail 13 Linear Guide block 14 Horizontal moving frame 15 Air cylinder 16 Piston rod 17 Top plate 18 Through hole P board H Hand
Claims (1)
収納したカセットが載置される載置台と、該載置台に載
置されたカセット内に進入して基板の中央部近傍を下方
から支える複数のサポートと、カセットの外側から内側
に水平移動して基板を中央側に寄せるセンタリングアー
ムと、サポート及びセンタリングアームが設けられた昇
降フレームを昇降させる昇降装置とからなることを特徴
とする基板センタリング装置。1. A mounting table on which a cassette accommodating substrates mounted on a multi-stage support arm is mounted. A substrate, comprising: a plurality of supports for supporting; a centering arm that horizontally moves from the outside of the cassette to the inside to move the substrate toward the center; and a lifting device that lifts and lowers a lifting frame provided with the support and the centering arm. Centering device.
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
| JP2000039652A JP2001230304A (en) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | Apparatus for centering substrate |
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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|---|---|
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| Country | Link |
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-
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- 2000-02-17 JP JP2000039652A patent/JP2001230304A/en active Pending
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