KR20070028239A - 하전 입자선 묘화 데이터의 작성 방법, 하전 입자선 묘화데이터의 변환 방법 및 하전 입자선 묘화 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 회로의 설계 데이터로부터 하전 입자선을 이용하여 묘화하기 위한 묘화 데이터를 작성하는 하전 입자선 묘화 데이터의 작성 방법으로서,상기 설계 데이터에 기초하여, 묘화하는 영역을 복수의 블록 영역으로 가상 분할하고, 가상 분할된 상기 복수의 블록 영역의 블록 영역마다 복수의 구성 요소패턴 중 어느 하나를 배치하기 위한 배치 정보를 정의하고, 정의된 배치 정보를 포함하는 배치 정보 파일을 상기 묘화 데이터의 일부로서 작성하고,상기 설계 데이터에 기초하여, 상기 복수의 구성 요소 패턴의 각 패턴 정보를 포함하는 패턴 정보 파일을 상기 묘화 데이터의 일부로서 작성하고,상기 설계 데이터에 기초하여, 상기 배치 정보와 상기 패턴 정보를 링크시키는 링크 정보를 포함하는 링크 정보 파일을 상기 묘화 데이터의 일부로서 작성하는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 작성 방법.
- 제1항에 있어서,상기 블록 영역은, 묘화면과 평행한 소정의 방향을 향하여 단책(短冊) 형상으로 가상 분할한 프레임 영역 내의 영역인 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 작성 방법.
- 제2항에 있어서,상기 블록 영역은, 상기 프레임 영역을 소정의 크기의 영역으로 분할한 영역인 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 작성 방법.
- 제1항에 있어서,상기 패턴 정보로서, 셀 패턴 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 작성 방법.
- 제1항에 있어서,상기 배치 정보로서, 상기 구성 요소 패턴의 배치 좌표와 상기 링크 정보의 인덱스 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 작성 방법.
- 제1항에 있어서,상기 배치 정보 파일과 상기 패턴 정보 파일과 상기 링크 정보 파일을 묘화면과 평행한 소정의 방향을 향하여 단책 형상으로 가상 분할한 프레임 영역마다 작성하는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 작성 방법.
- 제1항에 있어서,상기 배치 정보 파일과 상기 링크 정보 파일을 묘화면과 평행한 소정의 방향을 향하여 단책 형상으로 가상 분할한 프레임 영역마다 작성하고, 상기 패턴 정보 파일을 프레임 또는 칩마다 작성하는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 작성 방법.
- 제1항에 있어서,상기 패턴 정보 파일을 작성할 때에, 상기 패턴 정보 파일에 포함되는 상기 복수의 구성 요소 패턴의 각 패턴 정보는, 1회씩 저장되는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 작성 방법.
- 제1항에 있어서,상기 패턴 정보 파일을 작성할 때에, 상기 패턴 정보 파일에 포함되는 상기 복수의 구성 요소 패턴의 각 패턴 정보는, 1회씩 저장되고,상기 하전 입자선 묘화 데이터의 작성 방법은, 또한 작성된 상기 패턴 정보 파일에 포함되는 상기 복수의 구성 요소 패턴의 각 패턴 정보에 기초하여, 상기 블록 영역마다 배치되는 구성 요소 패턴의 패턴 정보를 각각 저장한 패턴 정보 파일에 재작성하는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 작성 방법.
- 제9항에 있어서,상기 패턴 정보 파일을 재작성할 때에, 동일한 구성 요소 패턴이 복수회 배치되는 블록 영역이 존재하는 경우에, 상기 동일한 구성 요소 패턴이 복수회 배치되는 블록 영역에서는, 동일한 구성 요소 패턴의 패턴 정보를 1회 저장하는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 작성 방법.
- 제1항에 있어서,상기 하전 입자선에는, 전자선을 포함하는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 작성 방법.
- 회로의 설계 데이터로부터 하전 입자선을 이용하여 묘화하기 위한 묘화 데이터를 작성하는 하전 입자선 묘화 데이터의 작성 방법으로서,상기 설계 데이터에 기초하여, 묘화하는 영역을 복수의 블록 영역으로 가상 분할하고, 가상 분할된 상기 복수의 블록 영역의 블록 영역마다 복수의 구성 요소패턴 중 어느 하나를 배치하기 위한 배치 정보를 모은 제1 데이터군을 상기 묘화 데이터의 일부로서 작성하고,상기 설계 데이터에 기초하여, 상기 복수의 구성 요소 패턴의 각 패턴 정보를 모은 제2 데이터군을 상기 묘화 데이터의 일부로서 작성하고,상기 설계 데이터에 기초하여, 상기 배치 정보와 상기 패턴 정보를 링크시키는 링크 정보를 모은 제3 데이터군을 상기 묘화 데이터의 일부로서 작성하고,상기 제1 데이터군과 제2 데이터군과 제3 데이터군을 연결시킨 데이터 파일을 작성하는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 작성 방법.
- 복수의 구성 요소 패턴의 각 패턴 정보가 1회씩 저장된 패턴 정보 파일을 포 함하는 전자선 묘화 데이터를 입력하고,상기 패턴 정보 파일에 포함되는 상기 복수의 구성 요소 패턴의 각 패턴 정보에 기초하여, 묘화하는 영역을 복수의 블록 영역으로 가상 분할하고, 가상 분할된 상기 복수의 블록 영역의 블록 영역마다 배치되는 구성 요소 패턴의 패턴 정보를 각각 저장한 패턴 정보 파일을 재작성하는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 변환 방법.
- 제13항에 있어서,상기 패턴 정보 파일을 재작성할 때에, 동일한 구성 요소 패턴이 복수회 배치되는 블록 영역이 존재하는 경우에, 상기 동일한 구성 요소 패턴이 복수회 배치되는 블록 영역에서는, 동일한 구성 요소 패턴의 패턴 정보를 1회 저장하는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 변환 방법.
- 제13항에 있어서,상기 하전 입자선 묘화 데이터의 변환 방법은, 또한, 상기 복수의 블록 영역의 블록 영역마다 각 블록 영역에 배치되는 구성 요소 패턴의 패턴 정보를 묘화 장치 내에서 이용하기 위한 장치 내 포맷의 데이터로 변환하는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 변환 방법.
- 제13항에 있어서,상기 하전 입자선에는, 전자선을 포함하는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 변환 방법.
- 하전 입자선을 이용하여 묘화하기 위한 묘화 데이터를 입력하고,상기 묘화 데이터에 포함되는 복수의 구성 요소 패턴의 패턴 정보 중, 묘화하는 영역 내에서 복수회 이용되는 구성 요소 패턴의 패턴 정보를 묘화 장치 내에서 이용하기 위한 장치 내 포맷의 데이터로 변환하고,변환된 상기 묘화 장치 내 포맷 데이터를 기억 장치에 기억하고,묘화하는 영역을 복수의 블록 영역으로 가상 분할하고, 가상 분할된 상기 복수의 블록 영역의 블록 영역마다 각 블록 영역에 배치되는 구성 요소 패턴의 패턴 정보에 대해, 이미 상기 장치 내 포맷의 데이터로 변환된 패턴 정보가 포함되는 경우에는 상기 기억 장치로부터 상기 이미 변환된 패턴 정보를 판독하고, 그 이외의 패턴 정보를 상기 장치 내 포맷의 데이터로 변환하는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 변환 방법.
- 제17항에 있어서,상기 하전 입자선 묘화 데이터의 변환 방법은, 또한, 상기 묘화 데이터에 포함되는 복수의 구성 요소 패턴과, 각 구성 요소 패턴이 묘화하는 영역 내에서 이용되는 횟수를 대응시킨 대응 테이블을 작성하고,묘화하는 상기 영역 내에서 복수회 이용되는 상기 패턴 정보를 변환할 때에, 변환하기 위한 상기 구성 요소 패턴의 패턴 정보를 상기 대응 테이블에 기초하여 식별하는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 변환 방법.
- 제17항에 있어서,상기 하전 입자선에는, 전자선을 포함하는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 데이터의 변환 방법.
- 복수의 구성 요소 패턴 중 어느 하나를 배치하기 위한 배치 정보를 모은 제1 데이터군과, 상기 복수의 구성 요소 패턴의 각 패턴 정보를 모은 제2 데이터군과, 상기 배치 정보와 상기 패턴 정보를 링크시키는 링크 정보를 모은 제3 데이터군을 포함하는 묘화 데이터를 입력하고,제1과 제2와 제3 데이터군에 기초하여 상기 묘화 데이터를 묘화 장치 내에서 이용하기 위한 장치 내 포맷의 데이터로 변환하고,상기 장치 내 포맷의 데이터에 기초하여, 시료에 소정의 패턴을 묘화하는 것을 특징으로 하는 하전 입자선 묘화 방법.
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