KR20060057581A - 위치 검출 장치, 위치 검출 방법, 시험 장치 및 카메라모듈 제조 장치 - Google Patents

위치 검출 장치, 위치 검출 방법, 시험 장치 및 카메라모듈 제조 장치 Download PDF

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KR20060057581A
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마사요시 이치카와
타카히로 야마구치
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주식회사 아도반테스토
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Abstract

수취한 빛의 강도에 따른 출력 신호를 출력하는 촬상 디바이스의 위치를 검출하는 위치 검출 장치에 있어서, 빛을 발생시키는 광원과, 광원이 발생시킨 빛을, 촬상 디바이스 위에 조사하는 조사 렌즈와, 조사 렌즈를 거쳐 수광된 빛에 따라 촬상 디바이스가 출력하는 출력 신호에 기초하여, 조사 렌즈에 대한 촬상 디바이스의 상대 위치를 검출하는 위치 검출부와, 위치 검출부가 검출한 상대 위치에 기초하여, 촬상 디바이스 및 조사 렌즈의 적어도 한 쪽을 이동시킴으로써 촬상 디바이스의 상대 위치를 미리 정해진 위치로 변화시키는 이동부를 포함한다.
위치, 검출, 시험

Description

위치 검출 장치, 위치 검출 방법, 시험 장치 및 카메라 모듈 제조 장치{POSITION DETECTION DEVICE, POSITION DETECTION METHOD, TEST DEVICE, AND CAMERA MODULE MANUFACTURING DEVICE}
본 발명은, 위치 검출 장치, 위치 검출 방법, 시험 장치 및 카메라 모듈 제조 장치에 관한 것이다. 특히, 본 발명은, 수취한 광의 강도에 따른 출력 신호를 출력하는 촬상 디바이스의 위치를 검출하는 위치 검출 장치에 관한 것이다.
최근, 카메라의 소형화 및 고정밀도화에 따라, CCD 이미지 센서 등의 촬상 디바이스의 소형화 및 다화소화가 추진되고 있다. 촬상 디바이스의 소형화 및 다화소화는, 수광 소자의 소형화에 따라 실현된다. 수광 소자의 소형화에 따라, 수광 소자의 개구 면적이 작아지고, 개개 수광 소자의 수광량은 감소한다. 그 때문에, 집광용 마이크로 렌즈를 각각의 수광 소자 위에 형성하여, 개구 면적을 크게하는 기술이 개발되어 있다.
또한, 카메라의 소형화에 따라, 촬상 디바이스와, 당해 촬상 디바이스 위에 빛을 조사하는 렌즈와의 거리가 짧아지고 있다. 그 때문에, 카메라 모듈에는 초점 거리가 짧은 단초점거리 렌즈가 사용되고 있다.
현시점에서 선행 기술 문헌의 존재를 인식하고 있지 않으므로, 선행 기술 문헌에 관한 기재를 생략한다.
[발명이 해결하고자 하는 과제]
이러한 촬상 디바이스를 시험하는 경우, 촬상 디바이스에 대하여 단초점거리 렌즈의 위치가 설계상의 위치로부터 어긋나 있으면, 촬상 디바이스 위에 균일한 빛이 조사되지 않는다. 그 때문에, 촬상 디바이스를 정확하게 시험할 수 없는 경우가 있다. 그 때문에, 단초점거리 렌즈와 촬상 디바이스와의 위치를, 높은 정밀도로 검출하고, 설계상의 위치에 맞출 필요가 있다.
여기서 본 발명은, 상기의 과제를 해결할 수 있는 위치 검출 장치, 위치 검출 방법, 시험 장치 및 카메라 모듈 제조 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다. 이 목적은 청구의 범위에 있어서의 독립항에 기재된 특징의 조합에 의하여 달성된다. 또한 종속항은 본 발명의 더욱 유리한 구체예를 규정한다.
[과제를 해결하기 위한 수단]
본 발명의 제1 형태에 의하면, 수취한 빛의 강도에 따른 출력 신호를 출력하는 촬상 디바이스의 위치를 검출하는 위치 검출 장치에 있어서, 빛을 발생시키는 광원과, 광원이 발생시킨 빛을, 촬상 디바이스 위에 조사하는 조사 렌즈와, 조사 렌즈를 거쳐 수광된 빛에 따라 촬상 디바이스가 출력하는 출력 신호에 기초하여, 조사 렌즈에 대한 촬상 디바이스의 상대 위치를 검출하는 위치 검출부를 포함한다.
상기한 촬상 디바이스는, 수취한 빛의 강도에 따른 출력 신호를 출력하는 복수의 수광 소자와, 복수의 수광 소자에 대응하여 설치된 복수의 마이크로 렌즈로서, 복수의 수광 소자의 배열의 중심과 대응하는 수광 소자가 떨어져 있는 만큼, 대응하는 수광 소자의 중심보다 내측으로 어긋난 위치에 광축을 각각 갖는 복수의 마이크로 렌즈를 포함하되, 위치 검출 장치는, 위치 검출부가 검출한 상대 위치에 기초하여, 촬상 디바이스 및 조사 렌즈의 적어도 한쪽을 이동시킴으로써, 촬상 디바이스의 상대 위치를 미리 정해진 위치로 변화시키는 이동부를 더 포함한다.
상기한 이동부는, 각각의 수광 소자가 수취한 빛의 강도가 실질적으로 같아지도록, 촬상 디바이스의 상대 위치를 미리 정해진 위치로 변화시킨다.
상기한 위치 검출장치는 광원이 발생시킨 빛의 일부를 통과시키는 개구부가, 조사 렌즈에 대하여 기지의 위치로 설치된 슬릿을 더욱 포함하며, 조사 렌즈는, 슬릿의 개구부를 거쳐 광원으로부터 수취한 빛을 촬상 디바이스 위에 조사함으로써, 당해 개구부의 상(像)을 촬상 디바이스 위에 투영하고, 촬상 디바이스는, 투영된 개구부의 상을 나타내는 출력 신호를 출력하고, 위치 검출부는, 촬상 디바이스에 대한 개구부의 상대 위치를 촬상 디바이스의 출력 신호에 기초하여 검출함으로써, 조사 렌즈에 대한 촬상 디바이스의 상대 위치를 검출한다.
상기한 개구부의 중심은, 조사 렌즈의 광축과 중첩되는 위치에 설치되며, 위치 검출부는, 복수의 수광 소자의 배열의 중심에 대한, 개구부의 상(像)의 중심의 상대 위치를 산출함으로써, 촬상 디바이스에 대한 슬릿의 상대 위치를 검출한다.
상기한 슬릿은, 서로 평행한 연장 방향으로 각각 연장된 복수의 개구부를 포함하며, 조사 렌즈는, 복수의 개구부의 각각의 상(像)을 촬상 디바이스 위에 투영하고, 위치 검출부는, 각각의 상(像)의 밝기의 차이에 기초하여, 복수의 개구부가 배열된 배열 방향에 있어서의, 조사 렌즈에 대한 촬상 디바이스의 상대 위치를 검출한다.
상기한 슬릿은, 배열 방향으로 각각 연장된 복수의 개구부를 더욱 포함하며, 조사 렌즈는, 배열 방향으로 각각 연장된 복수의 개구부의 각각의 상(像)을 촬상 디바이스 위에 더욱 투영하며, 위치 검출부는, 배열 방향으로 각각 연장된 복수의 개구부의 각각의 상(像)의 밝기의 차이에 기초하여, 연장 방향에 있어서의 조사 렌즈에 대한 촬상 디바이스의 상대 위치를 더욱 검출한다.
본 발명의 제2 형태에 의하면, 수취한 빛의 강도에 따른 출력 신호를 출력하는 촬상 디바이스의 위치를 검출하는 위치 검출 방법에 있어서, 광원에 빛을 발생시키는 빛 발생 단계와, 광원이 발생시킨 빛을, 조사 렌즈에 의하여, 촬상 디바이스 위에 조사하는 조사 단계와, 조사 렌즈를 거쳐 수광된 빛에 따라 촬상 디바이스가 출력하는 출력 신호에 기초하여, 조사 렌즈에 대한 촬상 디바이스의 상대 위치를 검출하는 위치 검출 단계를 포함한다.
본 발명의 제3 형태에 의하면, 수취한 빛의 강도에 따른 출력 신호를 출력하는 촬상 디바이스를 시험하는 시험 장치에 있어서, 빛을 발생시키는 광원과, 광원이 발생시킨 빛을, 촬상 디바이스 위에 조사하는 조사 렌즈와, 조사 렌즈를 거쳐 수광된 빛에 따라 촬상 디바이스가 출력하는 출력 신호에 기초하여, 조사 렌즈에 대한 촬상 디바이스의 상대 위치를 검출하는 위치 검출부와, 위치 검출부가 검출한 상대 위치에 기초하여, 촬상 디바이스 및 조사 렌즈의 적어도 한쪽을 이동시킴으로써, 촬상 디바이스의 상대 위치를 미리 정해진 위치로 변화시키는 이동부와, 촬상 디바이스를 시험하는 경우에, 미리 정해진 위치에 유지시킨 촬상 디바이스가 출력하는 출력 신호에 기초하여, 당해 촬상 디바이스의 양부를 판정하는 판정부를 포함한다.
본 발명의 제4 형태에 의하면, 수취한 빛의 강도에 따른 출력 신호를 출력하는 촬상 디바이스와, 빛을 촬상 디바이스 위에 조사하는 조사 렌즈와, 조사 렌즈를 유지하는 유지 부재를 포함하는 카메라 모듈을 제조하는 카메라 모듈 제조 장치에 있어서, 빛을 발생시키는 광원과, 조사 렌즈를 거쳐 광원으로부터 수광된 빛에 따라 촬상 디바이스가 출력하는 출력 신호에 기초하여, 조사 렌즈에 대한 촬상 디바이스의 상대 위치를 검출하는 위치 검출부와, 위치 검출부가 검출한 상대 위치에 기초하여, 촬상 디바이스 및 조사 렌즈를 유지하고 있는 유지 부재의 적어도 한쪽을 이동시킴으로써, 촬상 디바이스의 상대 위치를 미리 정해진 위치로 변화시키는 이동부와, 촬상 디바이스의 상대 위치를 미리 정해진 위치로 유지하면서, 촬상 디바이스를 유지 부재에 장착시키는 장착부를 포함한다.
본 발명의 제5 형태에 의하면, 수광면에 복수의 수광 소자를 배치한 촬상 디바이스의 광학 특성을 시험하는 시험 장치에 있어서, 복수의 수광 소자에 빛을 각각 조사하는 마이크로 렌즈에 대응하는 단초점거리의 광학 특성을 가지며, 광축이 촬상 디바이스의 수광면과 수직이 되는 수직축 방향으로 배치되며, 평행 광선을 받아 평행 광선을 굴절시킨 광선을 촬상 디바이스의 수광면으로 입사시키는 단초점거리 렌즈와, 단초점거리 렌즈를 보유하여 지지한 상태에서 3축 방향으로 이동 가능한 스테이지와, 단초점거리 렌즈로부터 촬상 디바이스의 수광면으로 입사된 광선에 의하여 촬상 디바이스로부터 출력되는 출력 신호를 받아, 복수의 수광 소자의 출력 신호의 레벨로부터 복수의 수광 소자의 중심 위치와 단초점거리 렌즈의 광축과의 상대적인 위치 어긋남을 나타내는 상대 위치를 구하는 위치 검출 장치를 포함하되, 스테이지는, 위치 검출 장치가 구한 상대 위치에 기초하여, 복수의 수광 소자의 중심 위치와 단초점거리 렌즈의 광축과의 상대적인 위치 어긋남이 없어지는 방향으로 단초점거리 렌즈를 이동시킨다.
촬상 디바이스를 적재하는 테스트 헤드와, 촬상 디바이스를 반송하여 테스트 헤드 위에 적재하는 부품 반송 장치와, 테스트 헤드 위에 적재된 촬상 디바이스의 전기 단자와 전기적으로 접속되는 소켓과, 소켓을 거쳐 당해 시험 장치로부터의 제어 신호를 촬상 디바이스로 공급하고, 촬상 디바이스의 출력 신호를 당해 시험 장치로 공급하는 신호 입출력부를 더 포함하여도 좋다.
단초점거리 렌즈로 입사되는 평행 광선의 일부를 차폐하여 통과시키는 개구부를 포함하는 슬릿부를 더 포함하되, 위치 검출 장치는, 개구부에 기초하여, 촬상 디바이스의 수광면 위에 투영된 개구부의 상(像)에 대응하는 촬상 디바이스의 출력 신호를 받아, 복수의 수광 소자의 출력 신호의 레벨로부터 복수의 수광 소자의 중심 위치와 단초점거리 렌즈의 광축과의 상대적인 위치 어긋남을 나타내는 상대 위치를 구하여도 좋다.
또한, 상기의 발명의 개요는, 본 발명의 필요한 특징의 전체를 열거한 것은 아니며, 이들의 특징군의 서브콤비네이션도 또한 발명이 될 수 있다.
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 시험 장치 100의 구성의 일예를 도시한 도면이다.
도 2는, 촬상 디바이스 10의 구성의 일예를 도시한 도면이다.
도 3은, 촬상 디바이스 10의 상세한 구성의 일예를 도시한 단면도이다.
도 4는, 테스트 헤드 120의 상세한 구성의 일예를 도시한 도면이다.
도 5는, 조명 장치 130의 상세한 구성의 일예를 도시한 도면이다.
도 6은, 촬상 디바이스 10의 중심 o와, 단초점거리 렌즈 126의 광축이 일치하고 있는 경우의 촬상 디바이스 10의 수광량 분포를 도시한 개념도이다.
도 7은, 촬상 디바이스 10의 중심 o와, 단초점거리 렌즈 126의 광축이 어긋나 있는 경우의 촬상 디바이스 10의 수광량 분포를 도시한 개념도이다.
도 8은, 촬상 디바이스 10의 시험 수순의 일예를 도시한 흐름도이다.
도 9는, 조명 장치 130의 상세한 구성의 다른 예를 도시한 도면이다.
도 10은, 슬릿부 148의 일예를 도시한 도면이다.
도 11은, 촬상 디바이스 10의 중심 o와, 단초점거리 렌즈 126의 광축이 일치 하고 있는 경우의 촬상 디바이스 10의 수광량 분포를 도시한 개념도이다.
도 12는, 촬상 디바이스 10의 중심 o와, 단초점거리 렌즈 126의 광축이 어긋나 있는 경우의 촬상 디바이스 10의 수광량 분포를 도시한 개념도이다.
도 13은, 촬상 패턴 152 및 그 수광량 분포의 일예를 도시한 도면이다.
도 14는, 촬상 디바이스 10의 중심 o와, 촬상 디바이스 10에 투영된 슬릿 150의 상(像)의 중심과의 위치 관계의 일예를 도시한 도면이다.
도 15는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 카메라 모듈 제조 장치 300의 구성의 일예를 도시한 도면이다.
도 16은, 조립부 320 및 카메라 모듈 40의 상세한 구성의 일예를 도시한 도면이다.
도 17은, 카메라 모듈 40의 제조 수순의 일예를 도시한 흐름도이다.
<부호의 설명>
10 … 촬상 디바이스, 12 … 수광 소자, 14 … 단자, 16 … 커버 글래스, 18 … 마이크로 렌즈, 26 … 수광면, 30 … 유지 부재, 34 … 렌즈 유닛, 40 … 카메라 모듈, 100 … 시험 장치, 102 … 이동부, 104 … 부품 유지부, 106,310 … 트레이, 108,308 … 부품 반송 장치, 120 … 테스트 헤드, 124 … 위치 조정부, 126 … 단초점거리 렌즈, 128 … 소켓, 130 … 조명 장치, 140 … 조리개, 142 … 광원, 148 … 슬릿부, 150 … 슬릿, 152 … 촬상 패턴, 162 … 조명 광학계, 172 … 개구부, 200 … 제어 장치, 202,400 … 제어부, 204 … 화상 처리부, 206 … 위치 검출부, 300 … 카메라 모듈 제조 장치, 304 … 장착부, 320 … 조립부, 402 … 제어 부, 502 … 중심출, 504 … 광축
이하, 발명의 실시 형태를 통하여 본 발명을 설명하지만, 이하의 실시 형태는 청구의 범위에 기재된 발명을 한정하는 것은 아니며, 또 실시 형태 중에서 설명되어 있는 특징의 조합의 전부가 발명의 해결 수단으로 필수적인 것으로 한정되지는 않는다.
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 시험 장치 100의 구성의 일예를 도시한다. 시험 장치 100은, 부품 반송 장치 108, 조명 장치 130, 테스트 헤드 120, 및 제어 장치 200을 포함한다. 시험 장치 100은, 수광면에 복수의 수광 소자가 배치된 촬상 디바이스 10의 위치를 검출하고 맞춤으로서, 높은 정밀도로 촬상 디바이스 10의 광학 특성의 시험을 수행한다. 부품 반송 장치 108은, 트레이 106, 이동부 102, 및 부품 유지부 104를 포함한다. 트레이 106은, 시험되어야 할 복수의 촬상 디바이스 10을 적재한다. 이동부 102는, 부품 유지부 104를, 트레이 106 위와 테스트 헤드 120 위의 사이에서 이동시킨다. 부품 유지부 104는, 트레이 106으로부터 시험 전의 하나의 촬상 디바이스 10을 순차적으로 꺼내고, 당해 촬상 디바이스 10을 테스트 헤드 120 위에 적재한다. 여기서, 테스트 헤드 위에 적재된 촬상 디바이스 10은, 정확하게 소정 위치에 적재된다고 할 수는 없다. 즉, 촬상 디바이스 10의 중심 o(도 2 참조)와 단초점거리 렌즈 126(도 4 참조)의 광축이 약간 어긋나게 촬상 디바이스 10이 적재될 가능성이 있다. 조명 장치 130은, 테스트 헤드 120이 적재하는 촬상 디바이스 10에 대하여 광을 조사한다.
테스트 헤드 120은, 시험되어야 할 촬상 디바이스 10을 적재하고, 당해 촬상 디바이스 10과 전기적으로 접속된다. 또한, 촬상 디바이스 10이 수취한 빛에 기초하여 출력하는 출력 신호를 테스트 헤드 120은 제어 장치 200에 보낸다. 또한, 테스트 헤드 120은, 제어 장치 200으로부터의 제어 신호에 기초하여, 촬상 디바이스 10의 위치를 맞춘다.
제어 장치 200은, 제어부 202, 위치 검출부 206, 및 화상 처리부 204를 포함한다. 제어부 202는, 테스트 헤드 120을 거쳐 촬상 디바이스 10의 출력 신호를 수취하고, 화소값(화상의 각 화소의 값)으로 변환하여, 화상 데이터를 생성한다. 그리고, 제어부 202는, 생성한 화상 데이터를 화상 처리부 204 및 위치 검출부 206에 보낸다. 위치 검출부 206은, 제어부 202로부터 수취한 화상 데이터에 기초하여, 촬상 디바이스 10의 위치를 검출한다. 그리고, 위치 검출부 206은, 검출한 촬상 디바이스 10의 위치에 기초한 제어 신호를 테스트 헤드 120에 공급한다.
화상 처리부 204는, 제어부 202로부터 수취한 화상 데이터에 기초하여, 결함 및 얼룩의 검출 등의 복수의 시험을 수행하며, 시험 결과를 제어부 202에 보낸다. 제어부 202는, 화상 처리부 204로부터 당해 화상 데이터에 기초한 시험 결과를 수취하고, 촬상 디바이스 10의 양부를 판정한다. 또한, 제어부 202는, 테스트 헤드 120을 제어한다 제어 신호를 공급한다. 또한, 제어부 202는, 판정부의 일예이다.
이렇게, 시험 장치 100은, 시험하여야 할 하나의 촬상 디바이스 10을 트레이 106으로부터 순차적으로 꺼내어 테스트 헤드 120에 적재하고, 조명 장치 130이 조 사하는 빛에 기초하여, 촬상 디바이스 10으로 출력 신호를 출력시킨다. 그리고, 위치 검출부 206은, 제어부 202로부터 수취한 화상 데이터에 기초하여, 촬상 디바이스 10의 위치를 검출한다. 그리고, 테스트 헤드 120은, 촬상 디바이스 10의 위치에 기초한 제어 신호를 수취함으로써, 촬상 디바이스 10의 위치를 맞춘다. 그리고, 제어부 202는, 위치가 맞추어진 촬상 디바이스 10으로부터의 출력 신호를 화상 데이터로 변환하고, 화상 처리부 204로, 촬상 디바이스 10의 결함 및 얼룩 등을 검출시킨다. 이에 의하여, 시험 장치 100은, 촬상 디바이스 10의 양부를 판정한다.
도 2는, 촬상 디바이스 10의 구성의 일예를 도시한다. 촬상 디바이스 10은, 복수의 수광 소자 12, 기판 24, 커버 글래스(cover glass) 16, 및 복수의 단자 14를 포함한다. 복수의 수광 소자 12는, 예를 들면 반도체 프로세스를 이용하여 제조되며, 기판 24의 한쪽 면인 수광면 26 위에 형성된다. 본 실시예에 있어서, 각각의 수광 소자 12는, 수광면 26의 x축 방향 및 y축 방향으로, 예를 들면 격자 형상으로 나란히 형성된다. 각각의 수광 소자 12는, 수취한 빛의 강도에 따른 출력 신호를 각각 출력한다. 또한, 중심 o는, 복수의 수광 소자 12의 배열의 중심을 나타낸다. 또한, 복수의 수광 소자 12의 수광 신호는, 시프트 클록에 기초하여 순차적으로 독출되어 순차적인 수광 신호열로서 출력되지만, 중심 o의 위치에 대응하는 수광 소자 12로부터 출력된 수광 신호를 특정하는 것은 가능하다.
커버 글래스 16은, 복수의 수광 소자 12를 덮도록, 복수의 수광 소자 12를 끼워 수광면 26과 대향하여 설치된다. 복수의 단자 14는, 기판 24의 측면에 설치되며, 수광 소자 12의 출력 신호를 외부로 출력한다. 본 실시예의 촬상 디바이스 10은, 수광면 26 위에 조사된 빛에 기초한 신호를 출력함으로써, 수광면 26에 투영된 상(像)을 나타내는 신호를 출력한다.
도 3은, 촬상 디바이스 10의 상세한 구성의 일예를 도시한 단면도이다. 촬상 디바이스 10은, 복수의 신호 전송 회로 22, 복수의 마이크로 렌즈 18, 및 복수의 컬러 필터 20을 더 포함한다. 신호 전송 회로 22는, 각각의 수광 소자 12의 출력 신호를, 단자 14로 전송한다. 각각의 마이크로 렌즈 18은, 각각의 수광 소자 12에 대응하여각각 설치되며, 커버 글래스 16 내에 입사된 빛을 대응하는 수광 소자 12 위에 집광시킨다.
여기서, 마이크로 렌즈 18a는 수광 소자 12a에, 마이크로 렌즈 18b는 수광 소자 12b에 각각 대응되어 있다. 또한, 수광 소자 12a는, 수광 소자 12b보다도 촬상 디바이스 10의 중심 o로부터 떨어져 있다. 수광 소자 12a의 중심축 502와 마이크로 렌즈 18a의 광축 504와의 거리가, 수광 소자 12b의 중심축 502와 마이크로 렌즈 18b의 광축 504와의 거리보다도 크게 되도록 마이크로 렌즈 18a가 형성되어 있다. 또한, 수광 소자 12의 중심축 502와 중심 o와의 거리에 따라, 수광 소자 12의 중심축 502와 광축 504가 떨어지도록 마이크로 렌즈 18이 형성되어도 좋다. 이 경우, 수광 소자 12에 대응하는 마이크로 렌즈 18의 광축 504가, 수광 소자 12의 중심축 502보다도 중심 o의 방향으로 어긋난 위치가 되도록 마이크로 렌즈 18이 형성되어도 좋다.
이렇게, 각각의 마이크로 렌즈 18은, 복수의 수광 소자 12의 배열의 중심인 중심 o와 대응하는 수광 소자 12가 떨어져 있는 만큼, 대응하는 수광 소자 12의 중 심축 502보다 내측으로 어긋난 위치에 광축 504를 각각 갖는다.
여기서, 최근의 카메라의 소형화에 따라, 종래의 렌즈보다도 초점 거리가 짧은 단초점거리 렌즈가 사용되고 있다. 촬상 디바이스 10의 위에 설치된 렌즈가, 렌즈의 광축 위에서 중심 o를 갖는 촬상 디바이스 10 위에 빛을 투영하는 경우, 렌즈와 촬상 디바이스 10과의 거리가 짧아지면, 촬상 디바이스 10 위에 있어서, 중심 o로부터 떨어짐에 따라, 각각의 수광 소자 12에 입사하는 빛의 렌즈의 광축에 대한 각도는 커진다. 그 때문에, 본 실시예에 있어서의 각각의 마이크로 렌즈 18은, 당해 단초점거리 렌즈를 거쳐 빛을 수취한 경우에, 대응하는 수광 소자 12 위로 빛을 적절히 집광시키도록 설계되어 있다.
컬러 필터 20은, 각각의 수광 소자 12에 대응하여 설치되며, 대응하는 마이크로 렌즈 18과 대응하는 수광 소자 12와의 사이에 배치된다. 또한, 각각의 컬러 필터 20은, 특정의 색을 통과시킨다. 그리고, 서로 다른 색의 컬러 필터 20이, 촬상 디바이스 10 위에서 주기적으로 배치된다. 이에 의하여, 촬상 디바이스 10은, 촬상 대상물의 색을 재현할 수 있다.
도 4는, 테스트 헤드 120의 상세한 구성의 일예를 도시한다. 테스트 헤드 120은, 소켓 128, 신호 입출력부 122, 위치 조정부 124, 및 단초점거리 렌즈 126을 포함한다. 소켓 128은, 촬상 디바이스 10을 적재하고, 촬상 디바이스 10과 전기적으로 접속된다. 또한, 소켓 128은, 신호 입출력부 122와 전기적으로 접속되어 있으며, 신호 입출력부 122로부터 수취한 제어 신호를 촬상 디바이스 10에 보내고, 촬상 디바이스 10으로부터 수취한 출력 신호를 신호 입출력부 122로 보낸다.
신호 입출력부 122는, 소켓 128을 거쳐 촬상 디바이스 10의 출력 신호를 수취하고, 예를 들면 AD(Analog Digital) 컨버터에 의하여 전체의 수광 소자 12의 하나의 프레임 분의 출력 신호를 순차적으로 디지털 신호로 변환하고, 변환한 데이터 신호를 화상 데이터로서 제어부 202로 보낸다. 또한, 촬상 디바이스 10이 AD 컨버터를 내장하고 있는 경우에는, AD 컨버터는 필요하지 않게 된다. 여기서, 측정계의 측정 편차나 노이즈 등의 제거하고자 하는 경우에는, 제어부 202에 전처리를 추가하여 포함시켜도 좋다. 즉, 복수의 프레임 단위의 화상 데이터를 받아 평균화 처리한 결과의 데이터를 화상 데이터로서 이용하도록 하여도 좋다. 또한, 촬상 디바이스 10의 설계 사양에 보다 다르지만, 예를 들면, 화상 데이터의 데이터 계열의 중간 위치가 중심 o의 데이터로서 특정될 수 있다. 또한, 각 위치에 배치되어 있는 수광 소자의 위치와 화상 데이터의 위치는 대응되어 있으므로 특정될 수 있다. 또한, 신호 입출력부 122는, 제어부 202로부터 수취한 제어 신호를, 소켓 128을 거쳐 촬상 디바이스 10으로 보낸다. 또한, 일반적으로는, 촬상 디바이스 10으로부터 제어 신호의 하나인 시프트 클록으로 복수의 수광 소자 12의 수광 신호를 순차적으로 독출하므로, AD 컨버터는 시프트 클록을 정요하면 동기하여 양자화할 수 있다.
단초점거리 렌즈 126은, 복수의 마이크로 렌즈 18에 대응하도록 설계되어 있는 렌즈이며, 복수의 수광 소자 12에 빛을 각각 조사하는 복수의 마이크로 렌즈 18에 대응하는 단초점거리의 광학 특성을 갖는다. 따라서, 촬상 디바이스 10의 품종이 변화할 때마다, 대응하는 초점 거리의 단초점거리 렌즈 126으로 교환된다. 단초점거리 렌즈 126은, 광축이 촬상 디바이스 10의 수광면과 수직이 되는 수직축 방 향으로 배치된다. 단초점거리 렌즈 126은, 조명 장치 130이 조사하는 빛을 촬상 디바이스 10의 위에 조사하는 조사 렌즈의 일예이다. 위치 조정부 124는, 예를 들면 단초점거리 렌즈 126을 보유한 상태에서 3축 방향으로 이동 가능한 X/Y/Z 스테이지이며, 빛을 통과시키는 구멍을 스테이지의 실질적으로 중앙에 구비한다. 또한, 위치 조정부 124는, 이동부의 일예이다.
위치 검출부 206은, 촬상 디바이스 10의 출력 신호에 기초한 화상 데이터를, 제어부 202를 거쳐 수취하고, 당해 화상 데이터에 기초하여, 촬상 디바이스 10과 단초점거리 렌즈 126과의 상대 위치를 검출한다. 구체적으로는, 위치 검출부 206은, 단초점거리 렌즈 126으로부터 촬상 디바이스 10의 수광면에 입사된 광선에 의하여 촬상 디바이스 10으로부터 출력된 출력 신호를 받아, 복수의 수광 소자 12의 출력 신호의 레벨로부터 복수의 수광 소자 12의 중심 위치와 단초점거리 렌즈 126의 광축과의 상대적인 위치 어긋남을 가리키는 상대 위치를 구한다. 그리고, 위치 검출부 206은당해 상대 위치에 기초한 제어 신호를 위치 조정부 124에 공급한다. 위치 조정부 124는, 수취한 제어 신호에 따라, 단초점거리 렌즈 126을 이동시킴으로써, 촬상 디바이스 10과 단초점거리 렌즈 126과의 상대 위치와 적절한 위치로 맞춘다. 구체적으로는, 위치 조정부 124는, 위치 검출부 206이 구한, 복수의 수광 소자 12의 중심 위치와 단초점거리 렌즈 126의 광축과의 상대적인 위치 어긋남을 가리키는 상대 위치에 기초하여, 복수의 수광 소자 12의 중심 위치와 단초점거리 렌즈 126의 광축과의 상대적인 위치 어긋남이 없게 되는 방향으로 단초점거리 렌즈 126을 이동시킨다.
도 5는, 조명 장치 130의 상세한 구성의 일예를 도시한다. 조명 장치 130은, 전원 146, 광원 142, 조명 제어부 144, 및 조명 광학계 162를 포함한다. 전원 146은, 조명 제어부 144에 전력을 공급한다. 광원 142는, 예를 들면 할로겐 램프나 LED(Light Emitting Diode)이며, 백색의 빛을 발생시킨다. 조명 제어부 144는, 광원 142에 일정한 전력을 공급한다. 또한, 조명 제어부 144는, 조명 광학계 162의 제어를 수행한다.
조명 광학계 162는, 조리개 140, 확산판 138, 콜리메이터 렌즈 136, ND(Neutral Desity) 필터부 134, 및 컬러 필터부 132를 포함한다. 조리개 140은, 광원 142가 발생시킨 빛을 정형한다. 확산판 138은, 조리개 140에 의하여 정형된 빛의 강도 분포를 균일하게 한다. 콜리메이터 렌즈 136은, 확산판 138을 통과한 빛을 조명 광학계 162의 광축에 대하여 평행한 빛으로 변환한다. 단초점거리 렌즈 126은, 컬러 필터부 132 및 ND 필터부 134를 거쳐 콜리메이터 렌즈 136으로부터 평행 광선을 받아 당해 평행 광선을 굴절시켜 광선을 촬상 디바이스 10의 수광면에 입사시킨다.
ND 필터부 134는, 실질적으로 원반 형상이며, 회전 가능하게 유지된다. ND 필터부 134는, 각각 서로 다른 감쇄량을 갖는 복수의 ND 필터 160을 포함한다. 각각의 ND 필터 160은, 통과하는 빛의 강도를 파장의 전역에 걸쳐 일정하게 감소시킴으로써, 촬상 디바이스 10에 입사하는 빛의 밝기를 조정한다. ND 필터부 134는, 예를 들면 모터에 의하여 구동됨으로써 회전하고, 콜리메이터 렌즈 136을 통과한 빛을 통과시키는 ND 필터 160을 전환시킨다.
컬러 필터부 132는, 실질적으로 원반 형상이며, 회전 가능하게 유지된다. 컬러 필터부 132는, 각각 서로 다른 파장의 빛을 통과시키는 복수의 컬러 필터 158을 포함한다. 컬러 필터 158은, 광원 142가 발생시킨 백색의 빛을, 적색, 녹색 또는 청색 등의 빛으로 변환시켜, 촬상 디바이스 10에 조사한다. 컬러 필터부 132는, 예를 들면 모터에 의하여 구동됨으로써 회전하고, 광원 142가 발생시킨 빛을 통과시키는 컬러 필터 158을 전환시킨다. 또한, 위치 맞춤을 수행하는 경우, 컬러 필터 158을 거치지 않은 빛이 촬상 디바이스 10에 조사된다.
본 실시예의 조명 장치 130에 의하면, 광원 142가 발생시킨 빛을, 강도 분포가 일정하며 광원 142의 광축과 실질적으로 평행한 빛으로 변환하고, 단초점거리 렌즈 126에 적절히 입사시킬 수 있다. 또한, 조명 장치 130이 빛을 통과시키는 컬러 필터 158 및 ND 필터 160을 전환함으로써, 시험 장치 100은, 촬상 디바이스 10에 대하여 여러가지 화질의 시험을 수행할 수 있다. 또한, 위치 검출부 206, 단초점거리 렌즈 126, 및 조명 장치 130은, 촬상 디바이스 10의 위치를 검출하는 위치 검출 장치의 일예이다.
도 6은, 촬상 디바이스 10의 중심 o와, 단초점거리 렌즈 126의 광축이 일치하고 있는 경우의 촬상 디바이스 10의 수광량 분포를 도시한 개념도이다. 단초점거리 렌즈 126은, 콜리메이터 렌즈 136을 통과한 빛을 수취하고, 촬상 디바이스 10 위에 조사한다. 각각의 마이크로 렌즈 18이, 단초점거리 렌즈 126에 대응하여, 촬상 디바이스 10의 중심과 대응하는 수광 소자 12가 떨어져 있는 만큼, 대응하는 수광 소자 12의 중심보다 내측으로 어긋난 위치에서 광축을 각각 가지므로, 촬상 디 바이스 10의 중심 o와, 단초점거리 렌즈 126의 광축이 일치하고 있는 경우, 각각의 수광 소자 12가 수취하는 광량은 실질적으로 균일하다.
도 7은, 촬상 디바이스 10의 중심 o와, 단초점거리 렌즈 126의 광축이 어긋나 있는 경우의 촬상 디바이스 10의 수광량 분포를 도시한 개념도이다. 중심 o와 단초점거리 렌즈 126의 광축이 일치한 경우에, 각각의 수광 소자 12가 수취하는 광량이 실질적으로 균일하게 되도록, 복수의 마이크로 렌즈 18이 설계되어 있다. 이 때문에, 중심 o와 단초점거리 렌즈 126의 광축이 어긋나 있는 경우, 각각의 수광 소자 12가 수취하는 광량은, 각각 불균일하게 된다. 이 경우, 중심 o와, 단초점거리 렌즈 126의 광축의 어긋남의 양이 클수록, 촬상 디바이스 10의 수광량의 분산은 커진다. 또한, 중심 o와 단초점거리 렌즈 126의 광축이 어긋남에 따라, 중심 o로부터 단초점거리 렌즈 126의 광축이 어긋난 방향으로 수광량의 최대치가 이동한다.
여기서 위치 검출부 206은, 촬상 디바이스 10의 출력 신호에 기초하여, 수광량의 분산을 산출한다. 분산이 소정값보다도 큰 경우, 중심 o와, 단초점거리 렌즈 126의 광축이 어긋나 있는 것으로, 위치 검출부 206은 판정한다. 그리고, 위치 검출부 206은, 촬상 디바이스 10 위에 있어서, 수광량이 최대값을 갖는 화소의 좌표를 검출한다. 그리고, 위치 검출부 206은, 당해 좌표로부터 중심 o까지의 거리를 산출함으로써, 중심 o와 단초점거리 렌즈 126과의 상대 위치를 검출한다.
이 경우, 위치 검출부 206은, 당해 상대 위치를, 촬상 디바이스 10의 수광면 26 위의 x축 방향으로의 거리 dx와, y축 방향으로의 거리 dy로 나누어, 각각 산출한다. 그리고, 위치 검출부 206은, 거리 dx 및 dy에 기초한 제어 신호를 위치 조 정부 124에 공급함으로써, 위치 조정부 124에 촬상 디바이스 10에 대하여 단초점거리 렌즈 126을 이동시킨다.
이렇게, 위치 검출부 206은, 단초점거리 렌즈 126을 거쳐 수광된 빛에 따라 촬상 디바이스 10이 출력하는 출력 신호에 기초하여, 단초점거리 렌즈 126에 대한 촬상 디바이스 10의 상대 위치를 검출한다. 위치 조정부 124는, 위치 검출부 206이 검출한 상대 위치에 기초하여, 단초점거리 렌즈 126을, 단초점거리 렌즈 126의 광축과 수직인 평면 내에서 평행 이동시킴으로써, 단초점거리 렌즈 126에 대한 촬상 디바이스 10의 상대 위치를, 미리 정해진 위치로 변화시킨다. 본 실시예에 있어서, 촬상 디바이스 10의 중심 o와, 단초점거리 렌즈 126의 광축이 실질적으로 일치하도록, 위치 조정부 124는, 촬상 디바이스 10에 대하여 단초점거리 렌즈 126을 이동시킨다.
실제로 수광하고 있는 촬상 디바이스 10의 출력 신호에 기초하여, 단초점거리 렌즈 126의 광축을 조정하므로, 단초점거리 렌즈 126의 광축과 촬상 디바이스 10의 중심 o와의 상대 위치를 정밀도 높게 검출하고 맞출 수 있다. 따라서, 촬상 디바이스 10을 정밀도 높게 시험할 수 있다.
또한, 위치 검출부 206은, 화상 데이터에 있어서의 거리 dx 및 dy에 추가하여, 단초점거리 렌즈 126의 배율 m에 기초하여, 단초점거리 렌즈 126의 광축과 촬상 디바이스 10의 중심 o와의 어긋남 양을 산출하여도 좋다. 이 경우, x축과 평행한 방향으로의 어긋남 양은 배율 m과 거리 dx와의 곱, y축과 평행한 방향으로의 어긋남 양은 배율 m과 거리 dy의 곱이 된다. 또한, 화상 데이터에 있어서의 화소의 좌표는, 촬상 디바이스 10의 수광면 26 위에 있어서의 각각의 수광 소자 12의 위치를 나타내는 좌표에 대응한다.
도 8은, 촬상 디바이스 10의 시험 수순의 일예를 도시한 흐름도이다. 최초로, 부품 반송 장치 108은, 트레이 106으로부터 시험되어야 할 하나의 촬상 디바이스 10을 꺼내고, 소켓 128에 적재한다(S100). 다음으로, 광원 142가 발생시킨 빛이 촬상 디바이스 10에 조사된다(S102). 그리고, 제어부 202는, 조사된 빛의 수광량에 따른 촬상 디바이스 10의 출력 신호를 화소값으로 변환하여 화상 데이터를 생성하고, 화상 처리부 204 및 위치 검출부 206으로 보낸다. 위치 검출부 206은, 수취한 화상 데이터에 기초하여, 촬상 디바이스 10의 수광량의 분산을 산출한다(S104).
위치 검출부 206은, 산출한 수광량의 분산과 소정값을 비교한다(S106). 위치 검출부 206은, 제1로, 수광량의 분산이 소정값보다도 작다고 위치 검출부 206이 판정한 경우(S106:Y), 단계 112(S112)로 진행한다. 위치 검출부 206은, 제2로, 수광량의 분산이 소정값보다도 크다고 위치 검출부 206이 판정한 경우(S106:N), 위치 검출부 206은, 수광량의 최대값을 출력하고 있는 수광 소자 12의 위치와, 촬상 디바이스 10의 중심 o와의 위치를 비교함으로써, 촬상 디바이스 10과 단초점거리 렌즈 126의 상대 위치를 산출하고, 당해 상대 위치에 대응하는 제어 신호를 위치 조정부 124로 보낸다(S108). 그리고, 위치 조정부 124는, 수취한 제어 신호에 따라, 단초점거리 렌즈 126을 이동시킨다(S110).
이 결과, 촬상 디바이스 10의 중심 o와 단초점거리 렌즈 126은 최적인 위치 상태로 보정된다. 또한, 촬상 디바이스 10에 무시할 수 없는 정도의 결함이나 얼룩 등의 특성 편차가 존재하고 있는 경우는, 최대값이 적확하게 특정될 수 없는 가능성이 있다. 여기서, 화상 데이터의 데이터 계열로부터 x축 방향 및 y축 방향의 포락선을 각각 구하여, 구해진 포락선군으로부터 최대값을 가리키는 위치를 특정하도록 하여도 좋다.
다음으로, 화상 처리부 204는, 수취한 화상 데이터에 대하여, 결함 및 얼룩 등의 이상을 검출하는 화질 시험을 수행하며, 시험 결과를 제어부 202에 보낸다(S112). 제어부 202는, 수취한 시험 결과에 기초하여, 촬상 디바이스 10의 양부를 판정한다(S114). 그리고, 시험 장치 100은, 시험되어야 할 촬상 디바이스 10이 트레이 106 위에 있는가 아닌가를 판정한다(S116). 시험되어야 할 촬상 디바이스 10이 트레이 106 위에 잔존하는 경우(S116:Y), 부품 반송 장치 108은 다시 트레이 106으로부터 시험되어야 할 하나의 촬상 디바이스 10을 꺼내고, 소켓 128에 적재한다(S100). 시험되어야 할 촬상 디바이스 10이 트레이 106 위에 잔존하지 않는 경우(S116:N), 본 흐름도에 도시된 시험 장치 100의 동작은 종료한다.
또한, 시험 장치 100은, 결함 및 얼룩 등이 없는, 기지의 특성을 갖는 촬상 디바이스 10을 이용하여, 단초점거리 렌즈 126과의 위치 맞춤을 수행하고, 당해 촬상 디바이스 10과 시험되어야 할 촬상 디바이스 10을 교환함으로써, 시험되어야 할 복수의 촬상 디바이스 10을 시험하여도 좋다. 이 경우, 미리 정해진 위치에 유지된 촬상 디바이스 10이 출력하는 출력 신호에 기초하여, 시험 장치 10은 당해 촬상 디바이스 10의 양부를 판정한다. 이에 의하여, 시험되어야 할 복수의 촬상 디바이 스 10마다, 위치 맞춤을 수행할 필요가 없고, 시험을 신속히 진행할 수 있다.
도 9는, 조명 장치 130의 상세한 구성의 다른 예를 도시한다. 또한, 이하에 설명하는 점을 제외하고, 도 9에 있어서, 도 4 및/또는 도 5와 동일한 부호를 붙인 구성은, 도 4 및/또는 도 5에 있어서의 구성과 동일 또는 유사한 기능을 가지므로 설명을 생략한다.
조명 장치 130은, 슬릿부 148을 더욱 포함한다. 슬릿부 148은, 실질적으로 원반 형상이며, 회전 가능하게 유지된다. 슬릿부 148은, 광원 142가 발생시켜 콜리메이터 렌즈 136을 거쳐 단초점거리 렌즈 126으로 입사되는 평행 광선의 일부를 차폐시켜 통과시키는 복수의 슬릿(개부부) 150을 갖는다. 슬릿부 148은, 예를 들면 모터에 의하여 구동됨으로써 회전하며, 광원 142가 발생시킨 빛의 일부를 통과시키는 슬릿 150을 전환한다. 단초점거리 렌즈 126은, 슬릿부 148의 슬릿 150을 거쳐 광원 142로부터 수취한 빛을, 촬상 디바이스 10 위에 조사함으로써, 슬릿 150의 상(像)을 촬상 디바이스 10 위에 투영한다. 그리고, 촬상 디바이스 10은, 투영된 슬릿 150의 상(像)을 나타내는 출력 신호를 위치 검출부 206으로 출력한다. 그리고, 위치 검출부 206은, 슬릿 150에 기초하여 촬상 디바이스 10의 수광면 위에 투영된 슬릿 150의 상에 대응하는, 촬상 디바이스 10의 출력 신호를 받아, 복수의 수광 소자 12의 출력 신호의 레벨로부터 복수의 수광 소자 12의 중심 위치와 단초점거리 렌즈 126의 광축과의 상대적인 위치 어긋남을 가리키는 상대 위치를 구한다.
도 10은, 슬릿부 148의 일예를 도시한다. 슬릿부 148은, 복수의 슬릿 150a~d를 포함한다. 슬릿 150a는, 서로 평행한 복수의 개구부 172a와, 서로 평행한 복수의 개구부 172b를 갖는다. 각각의 개구부 172a는, y축 방향으로 각각 연장되며, y축과 직교하는 x축 방향으로 각각 배열된다. 각각의 개구부 172b는, x축 방향으로 각각 연장되며, y축 방향으로 각각 배열된다. 슬릿 150b는, 원 형상이다. 슬릿 150c는, 서로 평행한 복수의 개구부 172c를 갖는다. 각각의 개구부 172c는 c축 방향으로 각각 연장되며, y축 방향으로 각각 배열된다.
슬릿 150d는, 슬릿 150c와 실질적으로 동일한 형상을 가지지만, 슬릿부 148의 반경 방향에 대하여 서로 직교한다. 이에 의ㅎ여, 촬상 디바이스 10 위에 투영되는 각각의 개구부 172d의 상은, 각각의 개구부 172c가 촬상 디바이스 10 위에 투영된 경우의 상(像)에 대하여, 실질적으로 직교한다. 또한, 각각의 슬릿 150은, 이 밖에, 십자형 및 사각형 등의 형상이어도 좋다.
여기서, 슬릿부 148은, 조명 광학계 162의 광축에 실질적으로 수직인 평면 내에 설치된다. 또한, 슬릿 150이 광원 142로부터의 빛의 일부를 통과시키는 경우, 슬릿부 148이 회전함으로써, 슬릿 150의 중심은, 조명 광학계 162 및 단초점거리 렌즈 126의 광축과 중첩되는 위치에 맞추어진다. 이에 의하여, 촬상 디바이스 10의 중심 o와 단초점거리 렌즈 126의 광축이 일치하는 경우, 단초점거리 렌즈 126은, 촬상 디바이스 10의 수광면 26의 실질적 중앙에 슬릿 150의 상을 투영한다.
도 11은, 촬상 디바이스 10의 중심 o와, 단초점거리 렌즈 126의 광축이 일치하고 있는 경우의 촬상 디바이스 10의 수광량 분포를 도시한 개념도이다. 본 실시예에 있어서, 단초점거리 렌즈 126은, 슬릿 150c에 대응하는 복수의 개구부 172c의 각각의 상을 촬상 디바이스 10 위에 투영하고 있다. 중심 o와 단초점거리 렌즈 126의 광축이 일치하고 있는 경우, 촬상 디바이스 10의 수광면 26 위의 소정의 위치에, 각각의 개구부 172c의 상이 각각 투영된다.
이 경우, 복수의 수광 소자 12의 수광량은, 각각의 슬릿 150의 형상에 대응하는 분포를 갖는다. 또한, 이 경우, 중심 o와 단초점거리 렌즈 126의 광축이 일치하고 있으므로, 투영된 각각의 개구부 172c에 대응하는 각각의 수광 소자 12가 수취하는 광량은, 실질적으로 균일하게 된다.
도 12는, 촬상 디바이스 10의 중심 o와, 단초점거리 렌즈 126의 광축이 어긋나 있는 경우의 촬상 디바이스 10의 수광량 분포를 도시한 개념도이다. 중심 o와, 단초점거리 렌즈 126의 광축이 어긋나 있는 경우, 수광면 26 위의 소정의 위치로부터 어긋난 위치에 각각의 개굽 172의 형상이 투영된다. 복수의 마이크로 렌즈 18은, 중심 o와 단초점거리 렌즈 126의 광축이 일치한 경우에, 각각의 수광 소자 12가 수취하는 광량이 실질적으로 균일하게 되도록 설계되어 있으므로, 중심 o와 단초점거리 렌즈 126의 광축이 어긋나 있으면, 투영된 개구부 172에 대응하는 각각의 수광 소자 12가 수취하는 광량은 불균일하게 된다.
도 13은, 촬상 패턴 152 및 그 수광량 분포의 일예를 도시한 도면이다. 본 실시예에 있어서, 단초점거리 렌즈 126은, 슬릿 150a의 상을 수광면 26 위에 투영하고 있다. 상 164는, 촬상 디바이스 10 위에 투영된 슬릿 150a의 상이며, 복수의 밝은 부분 166a 및 b를 갖는다. 위치 검출부 206은, 각각의 수광 소자 12로부터 수취한 출력 신호와 소정값을 비교하고, 소정값 이하의 출력 신호의 화소값을 0으 로 함으로써, 밝은 부분 166a 및 b 이외의 어두운 부분의 무용한 데이터를 제거한 명료한 촬상 패턴 152를 검출한다. 여기서, 소정값은, 예를 들면 밝은 부분 166a 및 b의 데이터 값의 1/10 정도의 값을 적용한다. 또한, 단초점거리 렌즈 126의 초점을 촬상 디바이스 10에 정확하게 맞추고자 하는 경우에는, Z 스테이지를 주사(서치, search) 제어하여, 밝은 부분 166a 및 b의 윤곽이 가장 예리하게 되는 단초점거리 렌즈 126의 Z축 위치를 미리 구하여, 당해 Z축 위치에 단초점거리 렌즈 126을 설정하는 전처리를 하여 둔다.
본 실시예에 있어서, 위치 검출부 206은, 촬상 패턴 152의 화소값을, 복수의 수광 소자 12의 배열 방향인 x축 방향 및 y축 방향으로, 각각 가산한 가산 신호(가산된 데이터 계열)을 작성한다. 작성된 가산 신호에 있어서, 각각의 밝은 부분 166a 및 b에 대응하는 위치의 가산 신호는 커진다. 또한, 수광 소자 12 개개의 특성 편차를 평균화할 수 있으므로 적확하게 판정 가능하게 된다.
여기서, 위치 검출부 206은, 작성한 가산 신호를 소정값과 비교함으로써, 각각의 밝은 부분 166a 및 b에 대응하는 가산 신호 168 및 가산 신호 170을 검출한다. 그리고, 위치 검출부 206은, 각각의 가산 신호 168 및 가산 신호 170 내의 화소값을 각각 평균한다. 그리고, 위치 검출부 206은, 각각의 가산 신호 168의 평균값을 각각 비교함으로써, x축 방향에 있어서의 수광량이 균일한가 아닌가를 판정한다. 또한, 위치 검출부 206은, 각각의 가산 신호 170의 평균값을 각각 비교함으로써, y축 방향에 있어서의 수광량이 균일한가 아닌가를 판정한다.
x축 방향의 광량이 균일하지 않은 경우, 촬상 디바이스 10의 중심 o와 단초 점거리 렌즈 126의 광축이, x축 방향으로 어긋나 있다고, 위치 검출부 206은 판정한다. y축 방향의 광량이 균일하지 않은 경우에도, 유사하게, 중심 o와 단초점거리 렌즈 126의 광축이 y축 방향으로 어긋나 있다고, 위치 검출부 206은 판정한다. 여기서, 각각의 가산 신호 168의 화소값의 분포와, 중심 o와 단초점거리 렌즈 126의 광축과의 상대 위치와의 관계가 미리 측정된 테이블을, 위치 검출부 206은 격납하고 있다. 그리고, 위치 검출부 206은, 당해 테이블을 참조함으로써, 검출된 각각의 가산 신호 168의 화소값의 분포에 기초하여, 중심 o와 단초점거리 렌즈 126의 광축과의, x축 방향 및 y축 방향에 있어서의 상대 위치를 검출한다. 그리고, 위치 검출부 206은, 당해 상대 위치에 기초한 제어 신호를 위치 조정부 124에 보낸다.
이렇게, 위치 검출부 206은, 각각의 밝은 부분 166a 및 b의 밝기의 차이에 기초하여, 복수의 슬릿 150이 배열된 배열 방향에 있어서의, 단초점거리 렌즈 126에 대한 촬상 디바이스 10의 상대 위치를 검출한다. 또한, 위치 검출부 206은, 밝은 부분 166a의 배열 방향으로 각각 연장되는 각각의 발은 부분 166b의 밝기의 차이에 기초하여, 밝은 부분 166a의 연장 방향에 있어서의 단초점거리 렌즈 126에 대한 촬상 디바이스 10의 상대 위치를 검출한다.
그리고, 위치 조정부 124는, 위치 검출부 206으로부터 수취한 제어 신호에 따라, 촬상 디바이스 10의 중심 o와, 단초점거리 렌즈 126의 광축과의 위치를 검출한다. 따라서, 본 실시예에 있어서도, 단초점거리 렌즈 126의 광축과, 촬상 디바이스 10의 중심과의 상대 위치를 정밀도 높게 검출할 수 있는 결과, x축 방향과 y축 방향의 광축의 어긋남을 적확하게 맞출 수 있다. 또한, 상술한 설명에서는, 마 이크로 렌즈를 포함한 촬상 디바이스 10으로서의 구체예로 설명하였으나, 마이크로 렌즈를 포함하지 않은 다른 촬상 디바이스의 경우에 있어서도, 단초점거리 렌즈 126의 광축과, 촬상 디바이스의 중심 또는 중심 이외의 소망 위치를 정확하게 위치 결정하는 것이 요구되는 경우에는, 유사하게 적용될 수 있다.
또한, 슬릿 150의 중심이 단초점거리 렌즈 126의 광축과 중첩되는 위치에서 단초점거리 렌즈 126와 슬릿부 148이 고정되고, 위치 조정부 124는, 위치 검출부 206으로부터의 제어 신호에 기초하여, 단초점거리 렌즈 126과 슬릿부 148을 일체로 이동시켜도 좋다. 이 경우, 위치 조정부 124가 단초점거리 렌즈 126을 이동시킨 후에, 수광면 26에 투영된 슬릿 150의 상(像)의 중심과 촬상 디바이스 10의 중심 o와의 위치를 비교하고, 비교 결과에 기초하여, 더욱 단초점거리 렌즈 126과 슬릿부 148을 이동시킴으로써, 보다 정밀도 높게 촬상 디바이스 10의 중심 o와 단초점거리 렌즈 126의 광축을 맞출 수 있다.
도 14는, 촬상 디바이스 10의 중심 o와, 촬상 디바이스 10에 투영된 슬릿 150의 상(像)의 중심과의 위치 관계의 일예를 도시한다. 본 실시예 있어서, 단초점거리 렌즈 126은, 슬릿 150a의 상을 수광면 26 위에 투영하고 있다. 상의 중심 154는, 촬상 디바이스 10에 투영된 슬릿 150a의 상의 중심을 가리킨다. 위치 검출부 206은, 슬릿 150a의 상의 중심 154의, 촬상 디바이스 10의 중심 o에 대한 상대 위치를 산출함으로써, 촬상 디바이스 10에 대한 단초점거리 렌즈 126의 상대 위치를 검출하여도 좋다. 이 경우, 위치 검출부 206은, 촬상 디바이스 10의 중심 o로부터 상의 중심 154까지의 거리를, 촬상 디바이스 10의 수광면 26 위의 x축 방향으 로의 거리 dx와, y축 방향으로의 거리 dy로 나누어 각각 산출한다. 그리고, 위치 검출부 206은, 단초점거리 렌즈 126의 배율 m에 기초하여, x축 방향으로의 거리를 배율 m과 거리 dx와의 곱, y축 방향으로의 거리를 배율 m과 거리 dy와의 곱으로 하여 각각 산출한다.
여기서, 단초점거리 렌즈 126의 초점 거리 및 각 장치의 척도에 기초하여, 단초점거리 렌즈 126의 초점이 촬상 디바이스 10 위에 맞도록, 촬상 디바이스 10과 단초점거리 렌즈 126의 사이의 거리는 기계적으로 조정되어 있다. 그러나, 각 장치의 척도는 공차를 가지므로, 단초점거리 렌즈 126의 초점이 촬상 디바이스 10 위에서 맞지 않는 경우가 있다. 이 경우, 촬상 디바이스 10 위에 투영된 슬릿 150의 상이 흐릿해진다. 이 때문에, 수광면 26에 투영된 슬릿 150의 상의 중심 154를 정확히 산출할 수 없는 경우가 있다.
본 실시예에 있어서, Z축 방향의 이동 제어에 관하여 설명한다. 각각의 밝은 부분 166a 및 b의 명암의 경계와 교차하는 선분 위에 있어서, 화소값의 상승 또는 하강의 폭을 산출하고, 소정의 값과 비교함으로써, 단초점거리 렌즈 126의 초점이 촬상 디바이스 10에 맞추어져 있는가 아닌가를 위치 검출부 206은 판정한다. 단초점거리 렌즈 126의 초점이 촬상 디바이스 10에 맞추어져 있지 않는다고 판정된 경우, 위치 검출부 206은, 위치 조정부 124에 단초점거리 렌즈 126을 단초점거리 렌즈 126의 광축에 대하여 평행으로 소정 거리 이동시킨다. 그리고, 위치 검출부 206은 다시 화소값의 상승 또는 하강의 폭을 산출한다. 또한, Z 스테이지를 주사(서치) 제어하여, 단초점거리 렌즈 126의 초점이 가장 좋아지는 Z축 방향의 위치를 구하는 방법이어도 좋다.
이렇게, 각각의 밝은 부분 166a 및 b의 명암의 경계에 있어서의 화소값의 상승 및 하강의 폭이 소정의 값 이하로 될 때까지, 시험 장치 100은, 화소값의 상승 또는 하강의 폭을 산출 및 단초점거리 렌즈 126의 이동을 반복한다. 이에 의하여, 촬상 디바이스 10 위에 슬릿 150의 상이 명료하게 투영되며, 위치 검출부 206은, 투영 된 슬릿 150의 상의 중심 위치를 정밀도 높게 산출할 수 있다. 따라서, 촬상 디바이스 10의 중심 o와 단초점거리 렌즈 126의 광축과의 위치를 정밀도 높게 맞출 수 있다.
도 15는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 카메라 모듈 제조 장치 300의 구성의 일예를 도시한다. 또한, 이하에 설명하는 점을 제외하고, 도 15에 있어서, 도 1과 같은 부호를 붙인 구성은, 도 1에 있어서의 구성과 동일 또는 유사한 기능을 가지므로 설명을 생략한다.
카메라 모듈 제조 장치 300은, 부품 반송 장치 308, 조립부 320, 제어 장치 400, 및 조명 장치 130을 포함한다. 부품 반송 장치 308은, 복수의 트레이 106, 트레이 310, 이동부 102, 및 장착부 304를 포함한다. 트레이 106은, 제조용인 복수의 촬상 디바이스 10, 및 미리 특성이 측정된 조정용 촬상 디바이스 10을 적재한다. 트레이 310은, 제조용인 복수의 렌즈 유닛 34, 및 미리 특성이 측정된 조정용 렌즈 유닛 34를 적재한다. 또한, 트레이 310은, 제조된 카메라 모듈 40을 적재한다.
이동부 102는, 장착부 304를, 트레이 106 위, 조립부 320 위, 및 트레이 310 위로 이동시킨다. 장착부 304는, 트레이 310으로부터 하나의 렌즈 유닛 34를 꺼내고, 조립부 320 위에 적재한다. 그리고, 장착부 304는, 트레이 106으로부터 하나의 촬상 디바이스 10을 꺼내고, 조립부 320 위의 렌즈 유닛 34 위에 적재한다. 또한, 장착부 304는, 제조 후에 있어서, 촬상 디바이스 10 및 렌즈 유닛 34를 조립부 320으로부터 꺼내고, 트레이 310 위에 적재한다.
조립부 320은, 렌즈 유닛 34를 적재하고, 렌즈 유닛 34와 전기적으로 접속된다. 촬상 디바이스 10이 조립부 320 위의 렌즈 유닛 34에 적재된 경우, 조립부 320은, 촬상 디바이스 10으로부터의 출력 신호를, 렌즈 유닛 34를거쳐 수취하고, 제어 장치 400으로 보낸다. 또한, 조립부 320은, 제어 장치 400으로부터 수취한 제어 신호를 렌즈 유닛 34를 거쳐 촬상 디바이스 10에 공급한다. 제어 장치 400은, 제어부 402, 화상 처리부 204, 및 위치 검출부 206을 포함한다. 제어부 202는, 조립부 320 및 부품 반송 장치 308에 제어 신호를 공급한다.
도 16은, 조립부 320 및 카메라 모듈 40의 상세한 구성의 일예를 도시한다. 카메라 모듈 40은, 렌즈 유닛 34 및 촬상 디바이스 10을 포함한다. 카메라 모듈 40은, 렌즈 유닛 34에 촬상 디바이스 10을 장착함으로써 제조된다. 촬상 디바이스 10은, 장착부 304에 의하여, 예를 들면 플립칩 실장을 이용하여, 렌즈 유닛 34에 장착된다. 렌즈 유닛 34는, 유지 부재 30 및 단초점거리 렌즈 126을 포함한다. 유지 부재 30은, 단초점거리 렌즈 126을 보유하여 지지한다. 또한, 유지 부재 30은, 촬상 디바이스 10을 적재한 경우, 촬상 디바이스 10과 전기적으로 접속된다. 조립부 320은, 신호 입출력부 122 및 위치 조정부 124를 포함한다.
도 17은, 카메라 모듈 40의 제조 수순의 일예를 도시한 흐름도이다. 최초에, 부품 반송 장치 308은, 조정용 렌즈 유닛 34를 트레이 310으로부터 꺼내고, 조립부 320 위에 적재한다(S200). 다음으로, 조정용 촬상 디바이스 10을 트레이 106으로부터 꺼내고, 조립부 320 위에 적재된 렌즈 유닛 34 위에 적재하다(S202). 다음으로, 광원 142가 점등되고, 조명 광학계 162 및 렌즈 유닛 34의 단초점거리 렌즈 126을 거쳐, 광원 142가 발생시킨 빛이 촬상 디바이스 10에 조사된다(S204).
제어부 202는, 조사된 빛의 수광량에 따른 촬상 디바이스 10의 출력 신호를 화소값으로 변환하여 화상 데이터를 생성하고, 위치 검출부 206으로 보낸다. 위치 검출부 206은, 수취한 화상 데이터에 기초하여, 촬상 디바이스 10의 수광량의 분산을 산출한다(S206). 그리고, 위치 검출부 206은, 산출한 수광량의 분산과 소정값을 비교한다(S208).
수광량의 분산이 소정값보다도 작다고 위치 검출부 206이 판정한 경우(S208:Y), 부품 반송 장치 308은, 조정용 촬상 디바이스 10 및 렌즈 유닛 34를 조립부 320으로부터 꺼내고, 트레이 106 및 트레이 310에 돌려 놓는다(S214). 수광량의 분산이 소정값보다도 크다고 위치 검출부 206이 판정한 경우(S208:N), 위치 검출부 206은, 수광량의 최대값을 출력하고 있는 수광 소자 12의 위치와, 촬상 디바이스 10의 중심 o와의 위치를 비교함으로써, 촬상 디바이스 10과 렌즈 유닛 3의 단초점거리 렌즈 126과의 상대 위치를 산출하고, 당해 상대 위치에 기초한 제어 신호를 위치 조정부 124로 보낸다(S210). 그리고, 위치 조정부 124는, 수취한 제어 신호에 따라, 렌즈 유닛 34를 이동시킨다(S212). 또한, 촬상 디바이스 10과 렌즈 유닛 34와의 양자가 위치 결정된 상태에서, 양자를 접착제, 기타 고정 수단 등으로 고정 처리하여 두는 것이 바람직하다.
다음으로, 부품 반송 장치 308은, 조정용 촬상 디바이스 10 및 렌즈 유닛 34를 조립부 320으로부터 꺼내고, 트레이 106 및 트레이 310으로 돌려 놓는다(S214). 그리고, 부품 반송 장치 308은, 하나의 제조용 렌즈 유닛 34를 트레이 310으로부터 꺼내고, 조립부 320 위에 적재한다(S216). 다음으로, 하나의 제조용 촬상 디바이스 10을 트레이 106으로부터 꺼내고, 조립부 320 위의 렌즈 유닛 34 위에 적재하고, 촬상 디바이스 10을 렌즈 유닛 34에 장착함으로써, 카메라 모듈 40을 제조한다(S218). 단계 218에 있어서, 장착부 304는, 촬상 디바이스 10과 단초점거리 렌즈 126의 상대 위치를, 이동후의 위치로 유지하면서, 촬상 디바이스 10을 렌즈 유닛 34에 장착한다.
다음으로, 부품 반송 장치 308은, 제조된 카메라 모듈 40을 조립부 320으로부터 꺼내고, 트레이 310에 적재한다(S220). 그리고, 제조용 촬상 디바이스 10 및 렌즈 유닛 34가, 트레이 106 및 트레이 310 위에 각각 있는가 아닌가를, 부품 반송 장치 308은 판정한다(S222). 그리고, 제조용 촬상 디바이스 10 및 렌즈 유닛 34가 트레이 106 및 트레이 310 위에 각각 있는 경우(S222:Y), 부품 반송 장치 308은, 다시, 하나의 제조용 렌즈 유닛 34를 트레이 310으로부터 꺼내고, 조립부 320 위에 적재한다(S216). 제조용 촬상 디바이스 10 또는 렌즈 유닛 34의 어느 것인가가 트레이 106 또는 트레이 310 위에 없는 경우(S222:N), 본 흐름도에 도시된 카메라 모듈 제조 장치 300의 동작은 종료된다.
이렇게 카메라 모듈 제조 장치 300은, 촬상 디바이스 10의 출력에 기초하여, 단초점거리 렌즈 126에 대한 촬상 디바이스 10의 위치를 조정하고, 조정된 위치에서 카메라 모듈 40을 제조하므로, 단초점거리 렌즈 126의 광축과 촬상 디바이스 10의 중심 o가 정밀도 높게 그 위치가 맞추어진 카메라 모듈 40을 제조할 수 있다.
또한, 카메라 모듈 제조 장치 300은, 조정용 촬상 디바이스 10 및 렌즈 유닛 34를 이용하지 않고, 단계 200으로부터 212, 및 단계 218로부터 222를 수행하여도 좋다. 이 경우, 단계 222에 있어서, 제조용 촬상 디바이스 10 및 렌즈 유닛 34가, 트레이 106 및 트레이 310 위에 각각 있는 경우(S222:Y), 카메라 모듈 제조 장치 300은 단계 200을 수행한다.
이상 본 발명의 실시 형태를 이용하여 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시의 형태에 기재된 범위로는 한정되지 않는다. 상기 실시의 형태에, 다양한 변경 또는 개량을 가할 수 있다. 그러한 변경 또는 개량을 가한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있다는 것이, 청구의 범위의 개재로부터 명백하다.
상기 설명으로부터 명백한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 단초점거리 렌즈와 촬상 디바이스와의 위치를, 높은 정밀도로 검출하고, 설계상의 위치에 맞출 수 있다.

Claims (13)

  1. 수취한 빛의 강도에 따른 출력 신호를 출력하는 촬상 디바이스의 위치를 검출하는 위치 검출 장치에 있어서,
    빛을 발생시키는 광원과,
    상기 광원이 발생시킨 빛을, 상기 촬상 디바이스 위에 조사하는 조사 렌즈와,
    상기 조사 렌즈를 거쳐 수광된 빛에 따라 상기 촬상 디바이스가 출력하는 출력 신호에 기초하여, 상기 조사 렌즈에 대한 상기 촬상 디바이스의 상대 위치를 검출하는 위치 검출부
    를 포함하는 위치 검출 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 촬상 디바이스는,
    수취한 빛의 강도에 따른 출력 신호를 출력하는 복수의 수광 소자와,
    상기 복수의 수광 소자에 대응하여 설치된 복수의 마이크로 렌즈로서, 상기 복수의 수광 소자의 배열의 중심과 대응하는 상기 수광 소자가 떨어져 있는 만큼, 대응하는 상기 수광 소자의 중심보다 내측으로 어긋난 위치에 광축을 각각 갖는 복수의 마이크로 렌즈를 포함하되,
    상기 위치 검출 장치는,
    상기 위치 검출부가 검출한 상기 상대 위치에 기초하여, 상기 촬상 디바이스 및 상기 조사 렌즈의 적어도 한쪽을 이동시킴으로써, 상기 촬상 디바이스의 상기 상대 위치를 미리 정해진 위치로 변화시키는 이동부를 더 포함하는 위치 검출 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 이동부는, 각각의 상기 수광 소자가 수취한 빛의 강도가 실질적으로 같아지도록, 상기 촬상 디바이스의 상기 상대 위치를 상기 미리 정해진 위치로 변화시키는 위치 검출 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 광원이 발생시킨 빛의 일부를 통과시키는 개구부가, 상기 조사 렌즈에 대하여 기지의 위치로 설치된 슬릿을 더욱 포함하며,
    상기 조사 렌즈는, 상기 슬릿의 상기 개구부를 거쳐 상기 광원으로부터 수취한 빛을 상기 촬상 디바이스 위에 조사함으로써, 당해 개구부의 상(像)을 상기 촬상 디바이스 위에 투영하고,
    상기 촬상 디바이스는, 투영된 상기 개구부의 상을 나타내는 상기 출력 신호 를 출력하고,
    상기 위치 검출부는, 상기 촬상 디바이스에 대한 상기 개구부의 상대 위치를 상기 촬상 디바이스의 상기 출력 신호에 기초하여 검출함으로써, 상기 조사 렌즈에 대한 상기 촬상 디바이스의 상대 위치를 검출하는 위치 검출 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 개구부의 중심은, 상기 조사 렌즈의 광축과 중첩되는 위치에 설치되며,
    상기 위치 검출부는, 상기 복수의 수광 소자의 배열의 중심에 대한, 상기 개구부의 상(像)의 중심의 상대 위치를 산출함으로써, 상기 촬상 디바이스에 대한 상기 슬릿의 상대 위치를 검출하는 위치 검출 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 슬릿은, 서로 평행한 연장 방향으로 각각 연장된 복수의 상기 개구부를 포함하며,
    상기 조사 렌즈는, 상기 복수의 상기 개구부의 각각의 상(像)을 상기 촬상 디바이스 위에 투영하고,
    상기 위치 검출부는, 상기 각각의 상(像)의 밝기의 차이에 기초하여, 상기 복수의 개구부가 배열된 배열 방향에 있어서의, 상기 조사 렌즈에 대한 상기 촬상 디바이스의 상대 위치를 검출하는 위치 검출 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 슬릿은, 상기 배열 방향으로 각각 연장된 복수의 개구부를 더욱 포함하며,
    상기 조사 렌즈는, 상기 배열 방향으로 각각 연장된 복수의 개구부의 각각의 상(像)을 상기 촬상 디바이스 위에 더욱 투영하며,
    상기 위치 검출부는, 상기 배열 방향으로 각각 연장된 복수의 상기 개구부의 각각의 상(像)의 밝기의 차이에 기초하여, 상기 연장 방향에 있어서의 상기 조사 렌즈에 대한 상기 촬상 디바이스의 상대 위치를 더욱 검출하는 위치 검출 장치.
  8. 수취한 빛의 강도에 따른 출력 신호를 출력하는 촬상 디바이스의 위치를 검출하는 위치 검출 방법에 있어서,
    광원에 빛을 발생시키는 빛 발생 단계와,
    상기 광원이 발생시킨 빛을, 조사 렌즈에 의하여, 상기 촬상 디바이스 위에 조사하는 조사 단계와,
    상기 조사 렌즈를 거쳐 수광된 빛에 따라 상기 촬상 디바이스가 출력하는 출력 신호에 기초하여, 상기 조사 렌즈에 대한 상기 촬상 디바이스의 상대 위치를 검 출하는 위치 검출 단계
    를 포함하는 위치 검출 방법.
  9. 수취한 빛의 강도에 따른 출력 신호를 출력하는 촬상 디바이스를 시험하는 시험 장치에 있어서,
    빛을 발생시키는 광원과,
    상기 광원이 발생시킨 빛을, 상기 촬상 디바이스 위에 조사하는 조사 렌즈와,
    상기 조사 렌즈를 거쳐 수광된 빛에 따라 상기 촬상 디바이스가 출력하는 출력 신호에 기초하여, 상기 조사 렌즈에 대한 상기 촬상 디바이스의 상대 위치를 검출하는 위치 검출부와,
    상기 위치 검출부가 검출한 상기 상대 위치에 기초하여, 상기 촬상 디바이스 및 상기 조사 렌즈의 적어도 한쪽을 이동시킴으로써, 상기 촬상 디바이스의 상기 상대 위치를 미리 정해진 위치로 변화시키는 이동부와,
    상기 촬상 디바이스를 시험하는 경우에, 상기 미리 정해진 위치에 유지시킨 상기 촬상 디바이스가 출력하는 상기 출력 신호에 기초하여, 당해 촬상 디바이스의 양부를 판정하는 판정부
    를 포함하는 시험 장치.
  10. 수취한 빛의 강도에 따른 출력 신호를 출력하는 촬상 디바이스와, 빛을 상기 촬상 디바이스 위에 조사하는 조사 렌즈와, 상기 조사 렌즈를 유지하는 유지 부재를 포함하는 카메라 모듈을 제조하는 카메라 모듈 제조 장치에 있어서,
    빛을 발생시키는 광원과,
    상기 조사 렌즈를 거쳐 상기 광원으로부터 수광된 빛에 따라 상기 촬상 디바이스가 출력하는 출력 신호에 기초하여, 상기 조사 렌즈에 대한 상기 촬상 디바이스의 상대 위치를 검출하는 위치 검출부와,
    상기 위치 검출부가 검출한 상기 상대 위치에 기초하여, 상기 촬상 디바이스 및 상기 조사 렌즈를 유지하고 있는 상기 유지 부재의 적어도 한쪽을 이동시킴으로써, 상기 촬상 디바이스의 상기 상대 위치를 미리 정해진 위치로 변화시키는 이동부와,
    상기 촬상 디바이스의 상기 상대 위치를 상기 미리 정해진 위치로 유지하면서, 상기 촬상 디바이스를 상기 유지 부재에 장착시키는 장착부
    를 포함하는 카메라 모듈 제조 장치.
  11. 수광면에 복수의 수광 소자를 배치한 촬상 디바이스의 광학 특성을 시험하는 시험 장치에 있어서,
    상기 복수의 수광 소자에 빛을 각각 조사하는 마이크로 렌즈에 대응하는 단 초점거리의 광학 특성을 가지며, 광축이 상기 촬상 디바이스의 수광면과 수직이 되는 수직축 방향으로 배치되며, 평행 광선을 받아 상기 평행 광선을 굴절시킨 광선을 상기 촬상 디바이스의 수광면으로 입사시키는 단초점거리 렌즈와,
    상기 단초점거리 렌즈를 보유하여 지지한 상태에서 3축 방향으로 이동 가능한 스테이지와,
    상기 단초점거리 렌즈로부터 상기 촬상 디바이스의 수광면으로 입사된 광선에 의하여 상기 촬상 디바이스로부터 출력되는 출력 신호를 받아, 상기 복수의 수광 소자의 출력 신호의 레벨로부터 상기 복수의 수광 소자의 중심 위치와 상기 단초점거리 렌즈의 광축과의 상대적인 위치 어긋남을 나타내는 상대 위치를 구하는 위치 검출 장치를 포함하되,
    상기 스테이지는,
    상기 위치 검출 장치가 구한 상기 상대 위치에 기초하여, 상기 복수의 수광 소자의 중심 위치와 상기 단초점거리 렌즈의 광축과의 상대적인 위치 어긋남이 없어지는 방향으로 상기 단초점거리 렌즈를 이동시키는 시험 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 촬상 디바이스를 적재하는 테스트 헤드와,
    상기 촬상 디바이스를 반송하여 상기 테스트 헤드 위에 적재하는 부품 반송 장치와,
    상기 테스트 헤드 위에 적재된 상기 촬상 디바이스의 전기 단자와 전기적으로 접속되는 소켓과,
    상기 소켓을 거쳐 당해 시험 장치로부터의 제어 신호를 상기 촬상 디바이스로 공급하고, 상기 촬상 디바이스의 출력 신호를 당해 시험 장치로 공급하는 신호 입출력부
    를 더 포함하는 시험 장치.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 단초점거리 렌즈로 입사되는 상기 평행 광선의 일부를 차폐하여 통과시키는 개구부를 포함하는 슬릿부를 더 포함하되,
    상기 위치 검출 장치는, 상기 개구부에 기초하여, 상기 촬상 디바이스의 수광면 위에 투영된 상기 개구부의 상(像)에 대응하는 상기 촬상 디바이스의 출력 신호를 받아, 상기 복수의 수광 소자의 출력 신호의 레벨로부터 상기 복수의 수광 소자의 중심 위치와 상기 단초점거리 렌즈의 광축과의 상대적인 위치 어긋남을 나타내는 상대 위치를 구하는 시험 장치.
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