KR20060048544A - Spin-cup coating apparatus - Google Patents

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KR20060048544A
KR20060048544A KR1020050055582A KR20050055582A KR20060048544A KR 20060048544 A KR20060048544 A KR 20060048544A KR 1020050055582 A KR1020050055582 A KR 1020050055582A KR 20050055582 A KR20050055582 A KR 20050055582A KR 20060048544 A KR20060048544 A KR 20060048544A
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카즈노부 야마구치
츠토무 사호다
요시아키 마스
유키 야마모토
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도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
다즈모 가부시키가이샤
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Abstract

도포액의 비산을 효율적으로 방지할 수 있는 회전컵식 도포장치를 제공한다. 이너 컵(3) 상에는 트레이(7)를 고정하고, 이 트레이(7)의 각 구석 부분으로부터는 드레인 유도관(10)이 도출되어 있다. 드레인 유도관(10)은 선단부(11)가 상기 드레인 회수 통로(3a)의 바닥부를 향하도록 외측을 향하여 비스듬하게 하방으로 경사져 있다. 그리고, 선단부(11)의 하단(11a)은 이너 컵(3)의 바닥면(3b)보다도 낮게 되어 있다. 따라서, 이너 컵(3)과 트레이(7)를 일체적으로 회전함으로써, 판 형상 피처리물(W)의 표면에 공급된 도포액은 원심력으로, 차양 형상 벽부(9)에 형성한 구멍, 드레인 유도관(10) 내의 유로 및 드레인 유도관(10)의 선단부(11)를 통하여 배출될 때에, 이너 컵(3)의 내주벽에 직접 충돌하는 일이 없다.Provided is a rotary cup type coating apparatus that can effectively prevent the dispersion of a coating liquid. The tray 7 is fixed on the inner cup 3, and the drain induction pipe 10 is led out from each corner portion of the tray 7. The drain induction pipe 10 is inclined downward obliquely toward the outside so that the tip portion 11 faces the bottom of the drain recovery passage 3a. The lower end 11a of the tip portion 11 is lower than the bottom surface 3b of the inner cup 3. Therefore, the coating liquid supplied to the surface of the plate-shaped object W by integrally rotating the inner cup 3 and the tray 7 is centrifugal force, and the hole and drain formed in the sunshade wall part 9 are drained. When it discharges through the front end part 11 of the flow path in the induction pipe 10 and the drain induction pipe 10, it does not directly collide with the inner peripheral wall of the inner cup 3.

Description

회전컵식 도포장치{Spin-cup coating apparatus}Spin-cup coating apparatus

도 1은 본 발명에 관한 회전컵식 도포장치의 대기 상태의 단면도.1 is a cross-sectional view of the standby state of the rotary cup type coating apparatus according to the present invention.

도 2는 상기 회전컵식 도포장치의 이너 컵을 뚜껑체로 덮은 상태의 확대 단면도.Figure 2 is an enlarged cross-sectional view of the inner cup of the rotary cup-type coating device covered with a lid.

도 3은 트레이의 전체 평면도.3 is a full plan view of the tray;

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1 : 회전컵식 도포장치 2 : 아우터 컵1: rotary cup coating device 2: outer cup

3 : 이너 컵 3a : 드레인 회수 통로3: inner cup 3a: drain recovery passage

3b : 이너 컵의 바닥면 4 : 스피너3b: bottom surface of inner cup 4: spinner

5 : 진공 척 7 : 트레이5: vacuum chuck 7: tray

7a : 트레이 의 변(邊) 8 : 개구7a: side of tray 8: opening

9 : 차양 형상 벽부 10, 10a : 드레인 유도관9: Shade-shaped wall portion 10, 10a: drain induction pipe

11 : 드레인 유도관의 선단부 11a : 드레인 유도관의 선단부의 하단11: tip of drain induction pipe 11a: bottom of tip of drain induction pipe

12 : 커버 13 : 암(arm)12: cover 13: arm

14 : 축 15 : 보스부14: axis 15: boss

16 : 이너 컵용 뚜껑체 17 : 정류판16: Inner Cup Lid 17: Rectifying Plate

18 : 클로(claw) 부재 19 : 클로받이 부재18: claw member 19: claw receiving member

20 : 지지 블록 21 : 가이드 로드(guide rod)20: support block 21: guide rod

22 : 아우터 컵용 뚜껑체 23 : 흡인 파이프22: lid body for the outer cup 23: suction pipe

본 발명은 SOG(Spin-On-Glass : 규소 화합물을 유기 용매에 용해한 용액, 및 이 용액을 도포, 소성함으로써 형성되는 산화규소막)나 레지스트액 등의 도포액으로 이루어지는 막을 유리 기판 등의 판 형상 피처리물의 표면에 형성하는 회전컵식 도포장치에 관한 것이다. The present invention is a plate-like film, such as a glass substrate, comprising a film made of SOG (Spin-On-Glass: a solution in which a silicon compound is dissolved in an organic solvent and a silicon oxide film formed by applying and firing the solution) or a resist solution. The present invention relates to a rotary cup type coating device formed on the surface of a workpiece.

아우터 컵 내에 스피너에 의해 회전시킬 수 있는 이너 컵을 배치한 회전컵식 도포장치는 종래부터 알려져 있고, 이 회전컵식 도포장치에서는 판 형상 피처리물(유리 기판이나 반도체 웨이퍼)과 이너 컵 내주면(內周面)과의 간격이 너무 크고, 난류가 밸생하기 쉬우며, 또한 압력 변동도 일어나기 때문에 도포액의 비산을 충분히 방지할 수 없다. Rotating cup type coating apparatus which arrange | positioned the inner cup which can be rotated by a spinner in an outer cup is known conventionally, In this rotary cup type coating apparatus, plate-shaped object (glass substrate or semiconductor wafer) and inner cup inner peripheral surface (內 周) Since the distance from the surface is too large, turbulence tends to be prominent, and pressure fluctuations occur, the scattering of the coating liquid cannot be sufficiently prevented.

따라서, 본 출원인은 일본국 공개특허공고 평09-122561호 공보에서 이너 컵 내에 판 형상 피처리물의 형상에 맞춘 형상의 트레이를 설치하고, 이 트레이 내에 판 형상 피처리물을 세트하고 회전시켜 도포함과 동시에, 트레이의 네 구석으로부터 드레인 유도관을 도출하고, 이 드레인 유도관을 통하여 이너 컵의 내저부(內底部) 주변에 형성한 저류부(貯留部)에 판 형상 피처리물로부터 비산한 도포액을 배출하는 것을 제안하고 있다. Therefore, the present applicant in Japanese Patent Application Laid-Open No. 09-122561 discloses a tray having a shape adapted to the shape of the plate-shaped object in the inner cup, and sets and rotates the plate-shaped object in the tray. At the same time, the drain guide pipe is led out from the four corners of the tray, and the coating is scattered from the plate-like object on the reservoir formed around the inner bottom of the inner cup through the drain guide pipe. It is suggested to drain the liquid.

일본국 공개특허공고 평09-122561호 공보에서는, 드레인 유도관이 수평으로 도출되어 있기 때문에, 드레인 유도관으로부터 배출되는 도포액은 이너 컵의 내주벽에 수직으로 충돌하고, 그 일부는 비스듬하게 상방으로 튀어올라 다시 이너 컵의 내측으로 복귀되는 일이 있다. 복귀된 도포액은 미세한 파티클이 되어 판 형상 피처리물의 표면에 부착되어, 수율 저하의 원인이 된다. In Japanese Patent Laid-Open No. 09-122561, since the drain induction pipe is drawn horizontally, the coating liquid discharged from the drain induction pipe collides perpendicularly to the inner circumferential wall of the inner cup, and a part thereof is obliquely upward. It may jump out and return to inner side of inner cup again. The returned coating liquid becomes fine particles and adheres to the surface of the plate-like object, which causes a decrease in yield.

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은 아우터 컵 내에 스피너에 의해 회전시킬 수 있는 이너 컵이 마련되고, 상기 이너 컵 내에는 이너 컵과 일체적으로 회전하는 트레이가 마련되고, 이 트레이의 중앙부에는 판 형상 피처리물을 보유하는 수단이 배치되고, 트레이로부터는 드레인 유도관이 도출된 회전컵식 도포장치에 있어서, 상기 드레인 유도관의 선단부를 이너 컵의 내저부 주변에 형성한 저류부로 향하도록 함과 동시에, 이 선단부는 외측을 향하여 비스듬하게 하방으로 경사진 형상으로 하였다. In order to solve the above problems, the present invention is provided with an inner cup that can be rotated by a spinner in the outer cup, a tray that is integrally rotated with the inner cup is provided in the inner cup, the central portion of the tray is plate-shaped In the rotary cup type coating device in which a means for holding a workpiece is disposed and a drain induction pipe is drawn from the tray, the tip of the drain induction pipe is directed to a reservoir formed around the inner bottom of the inner cup. The tip was inclined downward obliquely toward the outside.

이와 같은 구성으로 함으로써, 드레인 유도관으로부터 배출되는 도포액은 이너 컵 내주벽에 대하여 비스듬하게 하향이 되어, 이너 컵의 내측으로 복귀되는 도포액이 거의 없어진다. With such a configuration, the coating liquid discharged from the drain induction pipe becomes obliquely downward with respect to the inner cup inner circumferential wall, and almost no coating liquid is returned to the inner cup.

또한, 드레인 유도관의 선단부의 최외측 부분의 하단을 이너 컵의 바닥면보다도 낮게 설정함으로써, 드레인 유도관의 선단부로부터 수평 방향으로 튀어나오는 도포액이 없어지고, 확실하게 저류부로 배출할 수 있게 된다. In addition, by setting the lower end of the outermost part of the tip of the drain induction pipe lower than the bottom surface of the inner cup, the coating liquid protruding from the tip of the drain induction pipe in the horizontal direction can be eliminated, and it can be reliably discharged to the reservoir. .

본 발명에 관한 회전컵식 도포장치에 의하면, 회전 중의 난류 및 압력 변동에 의한 도포액의 비산은 물론, 트레이의 드레인 유도관으로부터 배출되는 도포액의 거의 전량(全量)을 비산시키는 일 없이, 이너 컵의 내저부 주변에 형성한 저류부로 회수할 수 있다. According to the rotary cup type coating apparatus according to the present invention, the inner cup is not scattered by the turbulence and pressure fluctuations during rotation, and the inner cup is not scattered almost entirely of the coating liquid discharged from the drain induction pipe of the tray. It can collect | recover into the storage part formed around the inner bottom part of this.

[실시형태]Embodiment

아래에 본 발명의 실시형태를 첨부 도면에 따라 설명한다. 도 1은 본 발명에 관한 회전컵식 도포장치의 대기 상태의 도면, 도 2는 상기 회전컵식 도포장치의 이너컵을 뚜껑체로 닫은 상태의 확대 단면도, 도 3은 트레이의 전체 평면도이다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, embodiment of this invention is described according to an accompanying drawing. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The figure of the standby state of the rotary cup type | mold coating apparatus which concerns on this invention, FIG. 2 is the expanded sectional view of the inner cup of the said rotary cup type | mold application apparatus closed with the lid body, and FIG.

회전컵식 도포장치(1)는 베이스 등으로 고정된 아우터 컵(2) 내에 이너 컵(3)을 배치하고, 이 이너 컵(3)을 아우터 컵(2)을 관통하는 스피너(4)로 회전시키도록 하고 있다. The rotary cup application device 1 arranges the inner cup 3 in the outer cup 2 fixed with a base or the like, and rotates the inner cup 3 with the spinner 4 passing through the outer cup 2. I'm trying to.

이너 컵(3)에는 내저부 주변에 환상(環狀)의 드레인 회수 통로(3a)가 형성되고, 중앙부에는 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 판 형상 피처리물(W)을 보유하는 보유 수단으로서 진공 척(5)을 배치하고 있다. 또한, 그 보유 수단은 이것에 한정되는 것은 아니고, 메커니컬 척이나 정전(靜電) 척 등 판 형상 피처리물(W)을 고정할 수 있는 보유 수단이라면 어떠한 것이라도 사용할 수 있다. The inner cup 3 has an annular drain recovery passage 3a formed around the inner bottom portion, and a vacuum means as a holding means for holding a plate-like workpiece W such as a glass substrate or a semiconductor wafer in the center portion. The chuck 5 is disposed. The holding means is not limited to this, and any holding means can be used as long as the holding means can fix the plate-shaped object W such as a mechanical chuck or an electrostatic chuck.

또한, 이너 컵(3) 상에는 트레이(7)를 고정하고 있다. 이 트레이(7)는 외형이 평면으로 보았을 때 대략 사각형상을 이루고, 중앙에는 상기 진공 척(5)이 면하는 개구(8)가 형성되고, 주변부에는 내측으로 접혀 구부러진 차양 형상 벽부(9)가 마련되고, 또한 트레이(7)의 각 구석 부분으로부터는 드레인 유도관(10)이 도출되 어 있다. In addition, the tray 7 is fixed on the inner cup 3. The tray 7 has an approximately rectangular shape when its outer shape is viewed in a plan view, and an opening 8 facing the vacuum chuck 5 is formed at the center thereof, and a sunshade-shaped wall portion 9 bent inwardly is formed at the periphery thereof. In addition, the drain induction pipe 10 is led out from each corner part of the tray 7.

드레인 유도관(10)의 도출 방향은 트레이의 회전 방향을 기준으로 하여 선행하는 변과 평행하게 되어 있다. 일례로서, 드레인 유도관(10a)의 도출 방향과, 트레이(7)의 변(邊)(7a)이 평행하게 되어 있다. The derivation direction of the drain induction pipe 10 is parallel to the preceding side with respect to the rotation direction of the tray. As an example, the derivation direction of the drain induction pipe 10a and the side 7a of the tray 7 are parallel.

드레인 유도관(10)은 선단부(11)가 상기 드레인 회수 통로(3a)의 바닥부로 향하도록 외측을 향하여 비스듬하게 하방으로 경사져 있다. 그리고, 선단부(11)의 하단(11a)은 이너 컵(3)의 바닥면(3b)보다도 낮게 되어 있다. 따라서, 이너 컵(3)과 트레이(7)를 일체적으로 회전함으로써, 판 형상 피처리물(W)의 표면에 공급된 도포액은 원심력으로 차양 형상 벽부(9)에 형성한 구멍, 드레인 유도관(10) 내의 유로 및 드레인 유도관(10)의 선단부(11)를 통하여 배출될 때에, 이너 컵(3)의 내주벽에 직접 충돌하는 일이 없다. The drain induction pipe 10 is inclined downward obliquely toward the outside so that the tip portion 11 faces the bottom of the drain recovery passage 3a. The lower end 11a of the tip portion 11 is lower than the bottom surface 3b of the inner cup 3. Therefore, by integrally rotating the inner cup 3 and the tray 7, the coating liquid supplied to the surface of the plate-like object W is formed in the sunshade wall portion 9 by centrifugal force, drain induction. When it discharges through the front end part 11 of the flow path in the pipe 10 and the drain guide pipe 10, it does not collide directly with the inner peripheral wall of the inner cup 3. As shown in FIG.

또한 상기 트레이(7)의 상면에는 커버(12)가 착탈할 수 있도록 되어 있다. 이 커버(12)는 나사나 다른 고정구로 트레이(7)에 고정되고, 중앙부에는 판 형상 피처리물(W)보다도 약간 큰 개구가 형성되어 있다. 이 커버(12)는 드레인 유도관(10)의 회전에 의해 발생하는 난류를 저감하는 효과가 있다. The cover 12 is detachably attached to the upper surface of the tray 7. The cover 12 is fixed to the tray 7 with screws or other fasteners, and an opening slightly larger than the plate-shaped object W is formed in the center portion. This cover 12 has the effect of reducing turbulence generated by the rotation of the drain induction pipe 10.

한편, 이너 컵(3) 및 아우터 컵(2)의 상방에는 직선 운동, 회전 운동, 상하 운동 혹은 이들을 조합한 운동이 가능한 암(13)이 마련되고, 이 암(13)의 선단(先端)에는 하방으로 연장하는 축(14)이 부착되어 있다. 이 축(14)을 통하여 질소 가스 등을 공급하는 구성으로 할 수도 있다. 예를 들면, 도포 후 이너 컵 내는 감압 상태에 있으므로, 갑자기 뚜껑체를 제거하면 외부의 먼지 등을 끌어올 우려가 있 다. 따라서, 질소 가스 등을 공급하여 이너 컵 내의 감압을 해소하는 것이 바람직하다. On the other hand, the upper side of the inner cup 3 and the outer cup 2 is provided with an arm 13 capable of linear motion, rotational motion, vertical motion, or a combination thereof, and is provided at the tip of the arm 13. A shaft 14 extending downward is attached. Nitrogen gas or the like may be supplied through the shaft 14. For example, since the inner cup is in a depressurized state after application, there is a fear that external dust or the like may be attracted if the lid is suddenly removed. Therefore, it is preferable to supply nitrogen gas or the like to eliminate the pressure reduction in the inner cup.

또한, 상기 축(14)에는 베어링 및 자기(磁氣) 시일을 통하여 보스부(15)를 회전할 수 있도록 끼워 맞추고, 이 보스부(15)에 이너 컵(3)의 상면 개구를 개폐하기 위한 원판 형상의 뚜껑체(16)를 부착하고, 이 뚜껑체(16)의 하면에 이너 컵(3) 내의 난류를 방지하는 정류판(17)을 부착하고 있다. 이 정류판(17)은 유리 기판(W)보다 약간 큰 치수이고 유리 기판과 상사(相似)형 혹은 원형을 하고 있다. The shaft 14 is fitted with a bearing and a magnetic seal so as to be rotatable, and for opening and closing the upper opening of the inner cup 3 to the boss 15. The disk-shaped lid 16 is attached, and a rectifying plate 17 is attached to the lower surface of the lid 16 to prevent turbulence in the inner cup 3. The rectifying plate 17 has a size slightly larger than that of the glass substrate W and has a shape similar or similar to that of the glass substrate.

또한, 이너 컵용의 뚜껑체(16)의 상면에는 앵글 형상을 이루는 클로(claw) 부재(18)가 고착되고, 한편, 이너 컵의 외주면에서 상기 클로 부재(18)에 대응하는 개소에는 클로 받이 부재(19)가 부착되어, 뚜껑체(16)로 이너 컵을 닫을 때에 정해진 위치에 고정할 수 있도록 하고 있다. 또한, 본 실시예에서는 클로 받이 부재(19)의 부착 위치를 조정함으로써, 뚜껑체(16)로 이너 컵(3)의 상면 개구를 닫은 상태로, 이너 컵의 상면 개구와 이너 컵용 뚜껑체와의 사이에, 10mm 이하, 바람직하게는 0.5 ∼ 2 mm의 간격을 형성하도록 하고 있다. 이와 같이 약간의 간격을 형성함으로써, 압력 변동을 억제하면서 외부로부터의 미스트(mist)의 유입을 방지하여, 양호한 막을 형성할 수 있다. In addition, an claw member 18 having an angle shape is fixed to the upper surface of the lid 16 for inner cups, while a claw receiving member is provided at a position corresponding to the claw member 18 on the outer circumferential surface of the inner cup. (19) is attached, and when the inner cup is closed with the lid body 16, it can be fixed to a fixed position. In addition, in this embodiment, by adjusting the attachment position of the claw receiving member 19, the upper surface opening of the inner cup 3 is closed with the lid body 16 and the lid body for the inner cup is closed with the lid 16 closed. In between, 10 mm or less, Preferably it is made the gap of 0.5-2 mm. By forming a slight gap in this manner, it is possible to prevent the inflow of mist from the outside while suppressing the pressure fluctuation, thereby forming a good film.

또한, 암(13)의 선단에는 지지 블록(20)을 마련하고, 이 지지 블록(20)에는 상하 방향의 가이드 로드(21)를 부착하고, 이 가이드 로드(21)에 아우터 컵(2)의 상면 개구를 폐쇄하는 뚜껑체(22)를 상하 방향으로 자유로운 상태로 지지하고 있다. 이와 같이, 아우터 컵용의 뚜껑체(22)를 상하 방향으로 자유로운 상태로 함으 로써, 이너 컵용의 뚜껑체(16)로 이너 컵(3) 상면을 닫았을 때에, 아우터 컵용의 뚜껑체(22)로 아우터 컵(2) 상면을 간격 없이 확실하게 닫을 수 있다. In addition, a support block 20 is provided at the tip of the arm 13, and a guide rod 21 in an up and down direction is attached to the support block 20, and the outer rod 2 is attached to the guide rod 21. The lid body 22 closing the upper surface opening is supported in a free state in the vertical direction. In this way, the lid body 22 for the outer cup is made free in the up and down direction, and when the upper surface of the inner cup 3 is closed with the lid body 16 for the inner cup, the lid body 22 for the outer cup is used. The upper surface of the outer cup 2 can be reliably closed without a gap.

이상에서, 유리 기판 등의 판 형상 피처리물(W) 표면에 레지스트액 등을 균일하게 도포하기 위해서는 아우터 컵(2) 및 이너 컵(3)의 상면을 개방하여 진공 척(5) 상에 판 형상 피처리물(W)을 놓고, 흡인 고착하고, 이어서 판 형상 피처리물(W)의 표면에 노즐로부터 레지스트액 등의 도포액을 적하하고, 이후, 아우터 컵(2) 및 이너 컵(3) 상으로 암(13)을 회동시켜 뚜껑체(16, 22)가 향하게 한다. In the above, in order to uniformly apply the resist liquid to the surface of the plate-like object W such as a glass substrate, the upper surfaces of the outer cup 2 and the inner cup 3 are opened to form a plate on the vacuum chuck 5. The shape-treated object W is placed, suction-fixed, and then a coating liquid such as a resist liquid is dropped from the nozzle onto the surface of the plate-shaped object W, and then the outer cup 2 and the inner cup 3 The arm 13 is rotated on the side so that the cap bodies 16 and 22 face.

그리고, 암(13)을 하강시킴으로써, 뚜껑체(16)에 의해 이너 컵(3)의 상면을 폐쇄하고, 뚜껑체(22)에 의해 아우터 컵(2)의 상면 개구를 폐쇄한 후, 스피너에 의해 척(5)과 이너 컵(3)을 일체적으로 회전시켜, 원심력에 의해 도포액을 판 형상 피처리물(W)의 표면에 균일하게 확산 도포한다. Then, by lowering the arm 13, the upper surface of the inner cup 3 is closed by the lid body 16, and the upper surface opening of the outer cup 2 is closed by the lid body 22. By this, the chuck 5 and the inner cup 3 are rotated integrally, and the coating liquid is uniformly diffused and applied to the surface of the plate-shaped object W by centrifugal force.

판 형상 피처리물(W)의 표면으로부터 비산한 레지스트액 등은 원심력으로 트레이(7)의 벽부 내측에 모여, 벽부 내측에서 회전 방향을 따라 이동하여, 유도관(10)으로부터 이너컵의 드레인 회수 통로(3a)로 배출된다. 그리고, 이 배출된 드레인은 뚜껑을 연 후에, 흡인 파이프(23)에 의해 회수된다. The resist liquid and the like scattered from the surface of the plate-shaped object W are collected inside the wall portion of the tray 7 by centrifugal force, move in the rotational direction from the inside of the wall portion, and recover the drain of the inner cup from the induction pipe 10. It is discharged to the passage 3a. And this discharged drain is collect | recovered by the suction pipe 23 after opening a lid.

본 발명에 관한 회전컵식 도포장치에 의하면, 회전 중의 난류 및 압력 변동에 의한 도포액의 비산은 물론, 트레이의 드레인 유도관으로부터 배출되는 도포액의 거의 전량(全量)을 비산시키는 일 없이, 이너 컵의 내저부 주변에 형성한 저류부로 회수할 수 있다.According to the rotary cup type coating apparatus according to the present invention, the inner cup is not scattered by the turbulence and pressure fluctuations during rotation, and the inner cup is not scattered almost entirely of the coating liquid discharged from the drain induction pipe of the tray. It can collect | recover into the storage part formed around the inner bottom part of this.

본 발명에 관한 회전컵식 도포장치는 반도체칩이나 액정 표시 장치의 제조 공정에 이용할 수 있다. The rotary cup type coating apparatus which concerns on this invention can be used for the manufacturing process of a semiconductor chip or a liquid crystal display device.

Claims (2)

아우터 컵 내에 스피너에 의해 회전시킬 수 있는 이너 컵이 마련되고, 이 이너 컵 내에는 이너 컵과 일체적으로 회전하는 트레이가 마련되고, 이 트레이의 중앙부에는 판 형상 피처리물을 보유하는 수단이 배치되고, 트레이로부터 드레인 유도관이 도출되고, 이너 컵의 내저부(內底部) 주변에 형성한 저류부(貯留部)로 향하는, 상기 드레인 유도관의 선단부는 외측을 향하여 비스듬하게 하방으로 경사져 있는 것을 특징으로 하는 회전컵식 도포장치.An inner cup which is rotatable by a spinner is provided in the outer cup, and an inner cup is provided with a tray that rotates integrally with the inner cup, and a means for retaining a plate-like object is disposed at the center of the tray. The tip of the drain induction pipe, which is led out of the tray to the reservoir formed around the inner bottom of the inner cup, is inclined downward obliquely toward the outside. Rotating cup coating device characterized in that. 제 1 항에 있어서, 상기 드레인 유도관의 선부의 최외측 부분의 하단은 이너 컵의 바닥면보다도 낮게 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 회전컵식 도포장치.The rotary cup type coating device according to claim 1, wherein the lower end of the outermost part of the front portion of the drain induction pipe is set lower than the bottom surface of the inner cup.
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