KR20060035613A - 개선된 선별 또는 절연을 갖는 ｓａｗ 필터 - Google Patents

개선된 선별 또는 절연을 갖는 ｓａｗ 필터 Download PDF

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에프코스 아게
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Abstract

본 발명은 개선된 선별 또는 절연을 갖는 SAW 필터에 관한 것이다. 상이한 트랙에 배치된 두 개의 변환기를 보호하기 위해, 압전 기판의 표면에 형성되는 SAW 필터의 두 개의 음향 트랙 사이에 금속 보호 구조물이 배치되어, 접지와 연결된다. 그 결과, 필터 내 누화가 방지되고 차단 선별이 개선된다.

Description

개선된 선별 또는 절연을 갖는 ＳＡＷ 필터{SAW FILTER WITH IMPROVED SELECTION OR INSULATION}
SAW 필터는 하나 이상의 음향 트랙(acoustic track)을 포함하며, 상기 음향 트랙 내에 하나 이상의 전기음향 변환기(electroacoustic transducer)가 배치된다. 이러한 전기음향 변환기는 두 개 이상의 도체 레일(conductor rail)을 가지며, 상기 도체 레일은 통상적으로 표면탄성파(Surface Acoustic Wave)의 확산 방향에 대해 평행하게 배치된다. 각각의 도체 레일과 수직으로 전극 핑거(electrode finger)가 배치되어, 발 모양의 전극 구조(inter-digital electrode structure)를 형성한다.
압전 기판상에서 하나의 필터의 다수의 트랙 또는 상이한 필터의 상이한 트랙들이 공간적으로 서로 인접하게 배치되면, 변환기 및 도체 레일과 같은 소자 구조물을 형성하는 금속층들 사이에 그리고 특히 두 개의 상이한 음향 트랙의 도체 레일들(트랙에 대해 평행하게 배열됨) 사이에서 전기 용량성 상호작용이 나타날 수 있다. 두 개의 음향 트랙이 상호 결선(wiring)되고 동일한 필터에 속하면, 통상적으로 차단 선별(blocking selection)이 변동된다. 두 개의 독립적인 필터의 음향 트랙들 간의 전자기적 커플링이 나타나면, 절연(insulation)이 나빠질 수 있다. 그 결과, 필터의 출력에서 하나의 필터 또는 다른 필터의 입력의 원하지 않은 외부 신호 성분들이 수신되는데, 이러한 신호 성분들은 고유의 신호를 변조하고 차단될 수 있다. 매우 일반적으로 이러한 전기 용량성 상호작용을 누화(crosstalk)라고 한다.
DMS 필터에서는 변환기가 상호 결선되는 다수의 트랙 내에 배치될 수 있다. 통상적으로 음향 트랙들은 서로에 대해 평행하게 배열되고 고가의 칩 표면을 절약하기 위해 공간적으로 인접하게 배치된다. 특히 입력 변환기 및 출력 변환기에서는 서로 반대편에 놓인 변환기들 또는 상이한 음향 트랙의 서로 인접하게 나란히 놓인 도체 레일들이 나타나서 큰 누화를 발생시키고, 상기 누화는 필터의 선별을 저하시킨다. 이와 같은 문제는 특히 입력 변환기 또는 출력 변환기의 인접한 트랙을 향한 도체 레일들이 접지와 다른 전위와 연결될 때 발생한다. 특히 변환기의 전기 접속이 음향 트랙의 한 측면에 의해 이루어지는 변환기에서도 강력한 효과들이 나타나는데, 이러한 음향 트랙 상에서 상응하는 도체 트랙이 두 개의 부분 레일들로 분할되고, 상기 부분 레일들은 두 개의 단자들과 연결된다. 서로 반대편에 놓인 도체 레일은 한 부분으로 형성되어 외부로부터 인가되는 전위와 연결되지 않으므로, 부동(floating) 전위(중간 전위)를 취한다. 예컨대 DE 100 13 861 A1호에 공지된 V 스플릿(split) 변환기가 대칭적으로(균형있게) 구동될 경우에는, 부동 도체 레일이 가상 접지가 된다. 즉, 대칭적이 결선 및 나머지 필터의 최적의 대칭 형성시에는, 부동 전위가 정확하게 접지에 놓인다. 이러한 가상 접지의 전위가 0이 아닐 경우에는 대칭 간섭이 존재하며, 상기 대칭 간섭은 필터 기능을 손상시키고 특히 더 낮은 차단 선별을 야기한다. 이러한 이중 트랙 또는 다중 트랙 DMS 필 터의 가상 접지의 "드리프팅(drifting)"은 전자기적 커플링에 의해 야기될 수 있다.
따라서 본 발명의 목적은 두 개의 음향 트랙 간의 전자기적 커플링이 억제되어, 필터의 선별 또는 다중 필터의 절연이 개선되는 필터를 제공하는 것이다.
상기 목적은 본 발명에 따라 청구항 1항의 특징들을 갖는 SAW 필터에 의해 달성된다. 추가 청구항에서 본 발명의 바람직한 실시예가 제시될 수 있다.
본 발명은 두 개의 인접한 음향 트랙 사이에 접지와 연결되는 금속 보호 구조물(metal protective structure)이 배치되는 SAW 필터를 제안한다. 이렇게 하여, 누화될 경향이 있으며 상이한 트랙 내에 배치되는 변환기가 서로에 대해 보호될 수 있다. 두 개의 트랙들이 공통 필터에 속하고 전기적으로 상호 결선되면, 차단 선별이 개선된다. 즉, 차단 대역(stopband)에 놓인 신호들이 더 잘 억제된다. 서로에 대해 보호되는 변환기가 상이한 필터에 속하면, 이러한 필터들 간의 절연이 개선된다.
보호 구조물은 누화를 야기하는 전자력선(electromagnetic flux line)이 금속 보호 구조물에 의해 접지 차단을 유도하도록 사용된다. 따라서 본 발명에 따른 금속 보호 구조물은 바람직하게는 고품질 접지로 형성된다. 즉, 하나 이상, 바람직하게는 두 개 이상의 접지 단자들이 제공된다. 접지의 품질은 보호 구조물의 표면의 확장에 의해 개선될 수도 있다. 또한, 보호 구조물의 금속층 두께가 상승할 수도 있다.
서로에 대해 보호되는 변환기가 V 스플릿 변환기로 형성되고, 상기 변환기의 분할된 도체 레일이 단자들과 연결되고, 상기 도체 레일에 대해 연속하는 다른 도체 레일이 부동하도록 구성된 필터 내에서 본 발명에 따른 보호 구조물이 특별한 장점들을 제공한다. 본 발명에 따른 보호 구조물이 없는 필터에서는, 부동 도체 레일 상에 단자가 없어서 인접한 트랙 간의 간격이 축소되기 때문에 누화가 강화될 수 있다.
본 발명에 따른 보호 구조물은 바람직하게는 연속으로 금속화된 표면으로 이루어지고, 상기 표면은 바람직하게는 적어도 서로에 대해 보호되는 변환기 길이에 걸쳐 연장된다. 보호 구조물의 표면에 의해 접지의 품질도 높아지기 때문에, 음향 트랙에 대해 수직으로 측정되는 보호 구조물의 폭은 최대로 선택된다. 이 경우, 음향 트랙의 주어진 간격에서, 트랙들 사이에 존재하는 표면이 보호 구조물에 의해 최적으로 채워진다. 바람직하게는 보호되지 않는 필터에 대하여 트랙들의 간격이 더욱 커져서, 높은 품질의 보호 구조물을 위한 공간이 형성될 수 있다. 이를 통해 증가되는 필터의 표면적 - 원래 단점으로 작용함 - 이 개선된 차단 선별 또는 개선된 절연에 의해 보상된다.
본 발명의 한 실시예에서는 필터가 DMS 필터로 형성되고, 상기 DMS 필터는 제 1 트랙에서는 입력 변환기로 사용되는 제 1 변환기 및 제 1 커플링 변환기를 가지며, 제 2 트랙에서는 제 2 커플링 변환기 및 출력 변환기로 사용되는 제 2 변환기를 갖는다. 또한, 각각의 트랙에서 입력 변환기, 출력 변환기 또는 커플링 변환기로 사용되는 임의의 개수의 추가 변환기가 제공될 수 있다. 두 개의 음향 트랙들이 커플링 라인에 의해 연결되고, 상기 커플링 라인은 제 1 커플링 변환기 및 제 2 커플링 변환기의 도체 레일에 각각 연결된다. 보호 구조물은 제 1 트랙의 입력 변환기와 제 2 트랙의 출력 변환기 사이에, 즉 제 1 변환기와 제 2 변환기 사이에 배치된다.
본 발명의 한 바람직한 개선예에서는, 보호 구조물이 관련 커플링 변환기의 도체 레일과 추가로 연결되고, 상기 도체 레일은 커플링 라인과 연결되는 도체 레일의 반대편에 놓인다. 이러한 도체 레일은 - 특히 각각의 다른 트랙을 향하고 있는 - 커플링 변환기의 도체 레일이다. 이와 같은 구조에서는 커플링 라인이 바깥쪽을 향하고 있는 커플링 변환기의 도체 레일과 연결되기 때문에, 상기 커플링 라인은 바람직하게는 음향 트랙의 외부에 또는 관련 트랙 주변으로 가이드된다. DMS 필터의 모든 음향 트랙이 바람직하게는 두 개의 반사기(reflector)에 의해 제한되기 때문에, 본 발명의 한 실시예에서는 커플링 라인이 각 트랙의 반사기 뒤쪽으로 가이드된다.
그러나 반사기가 커플링 라인 내에 형성되어 신호가 반사기를 관통할 수도 있다. 이와 같은 형성시에는, 반사기가 신호 라인 쪽으로 삽입되고 더 이상의 추가 라인을 요구하지 않기 때문에, 특히 공간이 절약될 수 있다.
본 발명의 한 추가 실시예에서는, 보호 구조물이 반사기와 연결된다. 이 경우에는, 보호 구조물의 접지 단자가 반사기를 이용하기 때문에, 반사기가 접지 단자와 별도로 연결될 수 있다. 그러나 단지 보호 구조물만이 접지 단자와 연결되고 반사기가 보호 구조물에 연결될 수도 있다. 그러나 반사기 및 보호 구조물이 접지 단자와 연결될 수도 있다.
바람직하게는 보호 구조물이 다른 금속 증착층과 함께 기판에 형성되고 그럼으로써 바람직하게는 동일한 구조를 갖는다. 다른 이유들로 상이한 금속 증착 단계들이 요구될 경우에는, 보호 구조물이 결합된 다중 금속층을 가질 수도 있으며 특히 변환기, 반사기 또는 도체 레일을 위해 사용되는 금속층 보다 두껍게 형성될 수 있다. 따라서 보호 구조물은 동일한 단계에서 다른 금속층들과 함께 형성될 수 있어서, 제조시 추가 경비는 요구되지 않는다.
변환기를 위해 적합한 금속층 및 보호 구조물을 위한 금속층의 성분은 예컨대 알루미늄, 알루미늄 함유 합금 또는 다층 구조물로 이루어지고, 상기 다층 구조물은 적어도 알루미늄을 포함하는 층을 갖는다. 금속층과 기판 표면 사이에 접착을 개선시키는 추가의 층들이 제공될 수 있다. 금속층 위에 패시베이션(passivation) 층이 배치될 수 있다. 이러한 패시베이션 층은 추가로 제공되는 유전체층, 예컨대 얇은 SiO2 층일 수 있다. 그러나 금속층의 최상부층 그리고 변환기 및 보호 구조물의 최상부층이 산화되어, 예컨대 적합한 산화물로 전환될 수 있다. 따라서 알루미늄을 포함하는 금속층이 알루미늄 산화물로 된 패시베이션 층에 의해 코팅된다. 이러한 알루미늄 산화물은 양극(anodic) 산화에 의해 또는 산소 함유 플라스마(plasma) 내 고유 금속층의 적합한 플라스마 처리에 의해 생성될 수 있다.
또한, 도체 레일 및/또는 납땜가능한 단자 표면 또는 언더범프(underbump) 금속층들이 추가로 강화될 수 있으며, 이 과정에서 보호 구조물도 강화될 수 있다.
필터의 금속 구조물의 연결 그리고 보호 구조물, 변환기 및 경우에 따라서는 필터의 추가 부분들의 연결이 본드 와이어에 의해 수행될 수 있다. 그러나 특히 소형 소자들의 경우에는 플립칩(Flip Chip) 구조가 바람직한데, 이러한 플립칩 구조에서는 필터 구조물을 지지하는 압전(piezoelectric) 기판이 범프(bump) 연결에 의해 지지 기판과 연결되며, 이때 소자 구조물은 지지 기판 쪽으로 향하고 상호 연결되는 전기 접속 표면들이 서로 바로 맞은편에 놓여서 범프와 연결된다.
실시예 및 관련 도면들을 참고로 본 발명을 더 자세히 살펴보면 아래와 같다. 도면들은 개관을 위한 것이므로 척도에 맞지 않게 개략적으로 도시된다. 도시된 부재들, 특히 전극 핑거들의 개수 및 부재들의 치수는 필터의 실제 형성과는 차이가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 보호 구조물을 갖는 2 트랙 DMS 필터를 도시하고,
도 2는 보호 구조물이 커플링 변환기의 접지 단자들과 연결되는 2 트랙 DMS 필터를 도시하며,
도 3은 스플릿되지 않은 입력 변환기 및 출력 변환기를 갖는 2 트랙 DMS 구조를 도시하며,
도 4는 트랙 당 각 두 개의 변환기 및 스플릿되지 않은 입력 변환기 및 출력 변환기를 갖는 2 트랙 DMS 필터를 도시하며,
도 5는 변형된 결선을 갖는 2 트랙 DMS 필터를 도시하며,
도 6은 추가 결선 가능성을 갖는 2 트랙 DMS 필터를 도시하며,
도 7은 공지된 필터와 비교한 본 발명에 따른 필터의 관통 특성을 도시하며,
도 8은 공지된 필터와 비교한 본 발명에 따른 필터의 더 개선된 관통 특성을 도시한다.
도 1은 2 트랙 3 변환기 DMS 필터로 구현되는 본 발명의 간단한 제 1 실시예를 도시한다. 제 1 트랙(도면의 아래쪽) 내에 제 1 변환기(W1)가 배치되고, 상기 제 1 변환기가 두 개의 단자에 의해 입력(IN)과 연결되어 입력 변환기로 사용된다. 제 1 커플링 변환기(K1) 및 추가 커플링 변환기(K1')는 제 1 변환기(W1)의 양쪽에 배치된다.
제 2 음향 트랙은 제 2 변환기(W2)를 포함하고, 상기 제 2 변환기는 출력(OUT)과 연결되어 출력 변환기로 사용된다. 양측에서 제 2 변환기(W2)는 제 2 트랙 내에서 제 2 커플링 변환기(K2, K2')와 인접하다. 제 1 커플링 변환기 및 제 2 커플링 변환기(K1, K2; K1', K2')는 커플링 라인(KL, KL')에 의해 상호 연결된다. 각각의 트랙은 양측에서 각 하나의 반사기(R1, R1', R2, R2')에 의해 제한된다. 여기서 입력 변환기 및 출력 변환기(제 1 변환기 및 제 2 변환기)(W1, W2)는 V 스플릿 변환기로 형성되고 대칭적으로, 즉 균형있게 작동한다. 그러나 제 1 변환기 및 제 2 변환기로 이루어진 하나 또는 두 개의 변환기가 비대칭적으로 작동하고 이를 위해 하나의 단자가 0 전위 또는 기준 전위(접지)에 놓일 수도 있다. 두 개의 트랙 사이에 보호 구조물(AS)이 평면 금속층으로 형성된다. 이 경우 보호 구조물(AS)은 음향 트랙에 대해 평행하게 정해지는 제 1 변환기 및 제 2 변환기의 길이가 연장되는데, 상기 두 개의 변환기는 서로에 대해 보호될 수 있다. 음향 트랙에 대해 수직으로 정해지는 보호 구조물의 폭은 변환기의 도체 레일의 폭 보다 훨씬 더 크며, 두 트랙 간의 간격으로 최적화되거나 또는 이러한 두 트랙 간의 간격을 최적 으로 채운다. 보호 구조물은 접지 단자와 연결된다. 도 1에서 추가의 형성예로서, 커플링 라인(KL)과 연결되지 않는 커플링 변환기(K1, K2)의 도체 레일이 바로 인접한 반사기(R)와 함께 접지 단자 쪽으로 가이드된다.
도 2는 본 발명의 추가 실시예이며, 여기서는 커플링 라인(KL, KL')이 각각의 다른 트랙으로부터 멀리 떨어지거나 가장 멀리 떨어진 커플링 변환기(K)의 도체 레일에 연결된다. 이러한 방식으로, 트랙들 사이에 배치되는 보호 구조물(AS)이 실제로 또는 가상으로 접지에 놓인 도체 레일 또는 구조물에만 인접하다. 또한, 접지와 연결되는 커플링 변환기(K)의 도체 레일들이 보호 구조물(AS)과 연결된다. 제 1 커플링 변환기 및 제 2 커플링 변환기(K1 및 K2)가 커플링 라인(KL)에 의해 연결되고, 상기 커플링 라인(KL)은 반사기(R1, R2) 주변으로 가이드된다. 이는 반사기(R1', R2') 주변으로 가이드되는 커플링 라인(KL')에도 똑같이 적용된다. 이 실시예에서는, 반사기가 각각의 인접한 커플링 라인과 연결된다. 그러나 반사기가 접지에 연결되거나 부동으로 형성될 수도 있다.
도 3은 본 발명의 추가 실시예이며, 여기서는 도 2에 따른 실시예와 달리 제 1 변환기(W1) 및 제 2 변환기(W2)가 음향 트랙의 양측에서 연속 도체 레일을 갖는 일반 변환기로 형성되고, 제 1 변환기 및 제 2 변환기의 단자들은 음향 트랙의 양측에서 두 개의 도체 레일 상에 제공된다. 이 실시예에서는, 입력 변환기 및 출력 변환기(W1, W2)가 대칭 변환기로 형성되고, 상기 대칭 변환기는 균형있게 작동된다. 그 외 필터의 형성은 도 2에 따른 실시예와 동일하다. 이 실시예에서는, 보호 구조물(AS)이 각 변환기(W1 및 W2)의 부동 도체 레일을 분리하는 것이 아니라, 제 1 변환기 및 제 2 변환기(W1, W2)의 내부에 놓인 대칭 단자들을 분리한다.
도 4는 2 트랙 DMS 변환기를 도시하며, 여기서는 각각의 트랙이 두 개의 변환기를 가지는데, 즉 제 1 변환기 및 제 1 커플링 변환기는 제 1 트랙에 배치되고 제 2 변환기 또는 제 2 커플링 변환기는 제 2 트랙에 배치된다. 제 1 변환기 및 제 2 변환기는 변환기 양측에서 단자들을 갖는다. 커플링 변환기(K1, K2)는 커플링 라인(KL)에 의해 연결되며, 상기 커플링 라인(KL)은 바깥쪽을 향한 커플링 변환기의 도체 레일에 각각 연결되어, 바로 인접한 두 개의 반사기 주변으로 가이드된다. 커플링 변환기(K1, K2)의 내부에 놓인 도체 레일들은 보호 구조물과 연결되며, 또한 제 1 변환기 및 제 2 변환기(W1, W2) 바로 옆에 배치되는 반사기(R1', R2')도 보호 구조물과 연결된다.
도 5는 도 4에 도시된 실시예의 또 다른 변형예이다. 이 실시예에서는, 커플링 라인이 바로 인접한 두 개의 반사기(R1, R2)를 관통한다. 이 경우에는 도 4의 실시예에 비해 커플링 라인의 도체 섹션이 절약되며, 여기서는 도체 섹션의 기능이 두 개의 반사기에 의해 대신 수행된다.
도 6은 도 4에 도시된 실시예의 추가 변형예이며, 여기서는 커플링 라인(KL)이 두 개의 반사기(R1, R2) 주변으로 가이드된다. 그러나 여기서는 도 4와는 달리 반사기(R1, R2)가 커플링 라인(KL)과 연결되는 것이 아니라, 보호 구조물(AS)과 연결된다. 이를 위해, 보호 구조물이 연장되어 전체 변환기 및 두 개의 트랙의 반사기를 서로 분리한다.
도 7에는 본 발명에 따른 필터의 주파수 응답(frequency response)이 도시되 고 보호 구조물이 없는 공지된 필터의 주파수 응답과 대조된다. 도 1에 따라 형성되는 3 변환기 2 트랙 DMS 필터의 주파수 경로(A)가 보호 구조물(AS)이 없는 상응하는 필터의 주파수 응답(B)과 비교된다. 이 경우, 필터(전달 함수(transfer function)(S21)에서 측정됨)가 개선된 차단 선별을 갖는다(차단 영역에서 화살표로 표시된 지점에서 측정되는 두 개의 전달 함수의 차를 참조할 것).
도 8은 도 2에 따라 형성되는 본 발명에 따른 필터의 주파수 응답(C)과 보호 구조물이 없는 상응하는 필터의 주파수 응답(D)을 대조한 것이다. 이 경우, 도 1에 따른 필터와 비교해 볼 때 확대된 보호 구조물 및 바깥쪽으로 가이드되는 커플링 라인에 의해 차단 선별이 더욱 개선될 수 있으며, 통과 대역, 즉 필터의 관통 영역은 거의 변동 없다. 특히 삽입 손실(insertion loss) 및 대역폭이 거의 동일하다.
본 발명은 단지 소수의 실시예에 의해서만 도시되긴 하지만, 이 실시예에만 제한되지 않는다. 본 발명의 범주에 있는 추가의 변형예들이 구조의 변형, 특히 트랙 당 변환기 개수의 변화로 나타난다. 본 발명은 DMS 필터에만 제한되지 않는다. 또한, 리액턴스 필터(reactance filter)의 트랙에서의 변환기 보호도 가능하다. 추가의 변형예들은 변환기 및 커플링 변환기의 결선 그리고 결선의 생략으로 나타나기 때문에, 본 발명은 전기적으로 상호 절연된 트랙에 의해서 구현된다.
실시예들에서 도시되는 일반 핑거 변환기 이외에, 변환기는 스플릿 핑거 변환기, 가중 변환기, 여기 분포를 갖는 변환기 그리고 특히 SPUDT 변환기로 형성될 수 있다. 또한, 전극 핑거들의 간격 및/또는 폭이 축을 따라 표면파의 확산 방향 에 대해 수직으로 변동될 수 있어서, 이에 상응하는 변환기는 팬(fan) 변환기로 형성된다. 또한, 본 발명에 따른 필터는 확산 방향으로 변동되는 전극 핑거의 간격 및/또는 폭을 갖는 변환기를 가질 수 있다.
본 발명에 따른 필터는 제 1 트랙 및 제 2 트랙을 포함할 수도 있으며, 상기 제 1 트랙 및 제 2 트랙은 하우징 내에 배치되는 이중 필터 중 각 하나에 형성된다. 두 개의 트랙들은 듀플렉서의 두 개의 부분 필터에 할당될 수도 있어서, 하나의 트랙은 RX 필터에 할당되고 다른 트랙은 TX 필터에 할당된다. 리액턴스 필터의 경우에는, 두 개의 음향 트랙들 또는 공명기가 서로에 대해 보호되며, 바람직하게는 상이한 분기들로 이루어진 공명기가 보호 구조물에 의해 서로에 대해 보호된다. 예컨대 본 발명에 따르면 직렬 분기 상의 공명기가 그 다음 음향 트랙에 바로 인접한 병렬 분기 상의 공명기에 대해 보호될 수 있다. 이러한 방식으로 절연이 개선되고, 상기 절연은 이 경우 전체 필터 내에서 개선된 차단 선별로 나타날 수 있다.

Claims (13)

  1. 압전 기판(piezoelectric substrate)의 표면에 형성되는 SAW 필터로서,
    상기 SAW 필터가 서로 인접하게 배치되고 전기적으로 상호 결선(wiring)되는 두 개의 음향 트랙(acoustic track)을 포함하며, 상기 음향 트랙 내에 입력 변환기 및 출력 변환기로 사용되는 전기음향 변환기(electroacoustic transducer)(W1, W2)가 각각 배치되고,
    상기 두 개의 트랙 사이에 접지와 연결되는 금속 보호 구조물(metal protective structure)(AS)이 배치되고, 상기 보호 구조물(AS)은 상이한 트랙 내에 배치되는 두 개 이상의 변환기를 서로에 대해 보호하는, SAW 필터.
  2. 제 1항에 있어서,
    서로에 대해 보호되는 상기 두 개의 변환기(W1, W2)가 상기 보호 구조물(AS) 쪽으로 향한 도체 레일(conductor rail)을 각각 가지며, 이러한 도체 레일 중 적어도 하나가 부동(floating)하거나 접지와 다른 전위와 연결되는, SAW 필터.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    DMS 필터로 형성되고,
    제 1 트랙에서 입력 변환기(W1)로 사용되는 제 1 변환기 및 제 1 커플링 변환기(K1)를 포함하고,
    제 2 트랙에서 제 2 커플링 변환기(K2) 및 출력 변환기로 사용되는 제 2 변환기(W2)를 포함하며,
    제 1 커플링 변환기 및 제 2 커플링 변환기의 도체 레일을 전기적으로 연결하는 각 하나의 커플링 라인을 포함하고,
    상기 보호 구조물(AS)이 상기 제 1 변환기와 상기 제 2 변환기 사이에 배치되는, SAW 필터.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 커플링 라인(KL)이 각각의 트랙에서, 관련 커플링 변환기(K1, K2)의 도체 레일 중에서 다른 트랙으로부터 더 멀리 떨어진 도체 레일에 각각 연결되는, SAW 필터.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 음향 트랙이 두 개의 반사기(R, R')에 의해 각각 제한되고,
    상기 커플링 라인(KL)이 상기 음향 트랙 외부에서 상기 반사기 주변으로 가이드되는, SAW 필터.
  6. 제 3항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 보호 구조물(AS)이 외부 접지 단자 및 상기 커플링 변환기(K1, K2) 중에서 상기 커플링 라인(KL)과 연결되지 않는 커플링 라인의 도체 레일과 연결되는, SAW 필터.
  7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 음향 트랙이 두 개의 반사기(R)에 의해 각각 제한되고,
    상기 보호 구조물(AS)이 외부 접지 단자 및 상기 반사기와 연결되는, SAW 필터.
  8. 제 3항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 변환기 및 상기 제 2 변환기(W1, W2)에서 인접한 트랙으로부터 더 멀리 떨어진 각각의 도체 레일들이 두 개의 부분 레일로 분할되고, 상기 제 1 변환기(W1)의 각각의 부분 레일이 입력(IN)의 외부 단자들 중 하나의 외부 단자와 연결되고, 상기 제 2 변환기(W2)의 각각의 부분 레일이 출력(OUT)의 외부 단자들 중 하나의 외부 단자와 연결되고,
    입력 변환기 및 출력 변환기로 사용되는 제 1 변환기 및 제 2 변환기(W1, W2)가 대칭적인 입력 또는 출력(IN, OUT)에 각각 할당되는, SAW 필터.
  9. 제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 변환기(W1, W2) 및 상기 보호 구조물(AS)이 동일한 금속층으로 형성되는, SAW 필터.
  10. 제 1항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 변환기(W1, W2) 및 상기 보호 구조물(AS)의 금속층이 알루미늄 또는 알루미늄을 포함하는 합금으로 된 층 또는 이러한 층을 포함하는 다층 구조를 갖는, SAW 필터.
  11. 제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판이 플립칩 구조로 지지부 상에 장착되고, 상기 지지부 상에 배치되는 접속 표면과 상기 보호 구조물(AS) 간의 전도성 연결이 하나 또는 다수의 범프(bump)에 의해 수행되는, SAW 필터.
  12. 제 1항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 보호 구조물(AS)이 적어도 서로에 대해 보호되는 두 개의 변환기(W1, W2)의 전체 길이에 걸쳐 연장되는, SAW 필터.
  13. 제 1항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 보호 구조물(AS)이 상기 제 1 변환기 및 상기 제 2 변환기(W1, W2)의 서로를 향한 도체 레일의 폭 보다 큰 폭을 갖는, SAW 필터.
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