KR20060001260A - 페이스트 도포기의 칼럼 위치 교정방법 - Google Patents

페이스트 도포기의 칼럼 위치 교정방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20060001260A
KR20060001260A KR1020040050340A KR20040050340A KR20060001260A KR 20060001260 A KR20060001260 A KR 20060001260A KR 1020040050340 A KR1020040050340 A KR 1020040050340A KR 20040050340 A KR20040050340 A KR 20040050340A KR 20060001260 A KR20060001260 A KR 20060001260A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
column
paste
columns
substrate
calibration
Prior art date
Application number
KR1020040050340A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100673305B1 (ko
Inventor
김윤회
임영일
방규용
Original Assignee
주식회사 탑 엔지니어링
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 탑 엔지니어링 filed Critical 주식회사 탑 엔지니어링
Priority to KR1020040050340A priority Critical patent/KR100673305B1/ko
Publication of KR20060001260A publication Critical patent/KR20060001260A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100673305B1 publication Critical patent/KR100673305B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2413/00Indexing scheme related to G02F1/13363, i.e. to birefringent elements, e.g. for optical compensation, characterised by the number, position, orientation or value of the compensation plates

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

본 발명은 평판표시장치의 제조과정에서 기판 상에 소정의 패턴으로 페이스트를 도포하는 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 액정표시장치(LCD)와 같은 평판표시장치를 구성하는 유리기판 상에 페이스트를 소정의 패턴으로 도포하는 페이스트 도포기의 칼럼 위치를 정밀 제어하기 위한 교정 방법에 관한 것이다.
이를 위하여, 본 발명은 화상카메라를 칼럼의 길이방향으로 이동시키면서 기판에 표시된 교정마크를 2개 이상 인식하는 인식단계와, 화상카메라에 인식된 각 교정마크를 일직선으로 이은 가상의 축과 칼럼의 길이방향 축이 서로 평행한지를 판단하는 판단단계, 그리고, 화상카메라에 인식된 각 교정마크를 일직선으로 이은 가상의 축과 칼럼의 길이방향 축이 서로 평행하도록 칼럼을 교정하는 위치교정단계:를 포함하여 이루어지는 페이스트 도포기의 칼럼 위치 교정방법을 제공한다.
페이스트, 칼럼, 교정마크, 위치보정

Description

페이스트 도포기의 칼럼 위치 교정방법 {method for controlling position of columm in paste dispenser}
도 1은 본 발명의 페이스트 도포기의 제어방법이 적용되는 페이스트 도포기를 도시한 사시도.
도 2는 기존 방식에 의한 페이스트 도포시의 문제점을 설명하기 위한 요부 평면도.
도 3은 본 발명의 페이스트 도포기의 제어방법의 일 실시예를 도시한 순서도.
도 4는 도 2의 제 1 칼럼과 제 2 칼럼이 서로 수평하지 않은 상태에서 제 2 칼럼의 화상카메라가 교정마크를 인식한 상태를 도시한 참고도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예의 페이스트 도포기에 유리기판이 반입된 상태를 도시한 요부 평면도.
도 6은 도 5의 두 칼럼의 정렬이 이루어진 상태를 도시한 평면도.
도 7은 도 6의 유리기판의 정렬이 이루어진 상태를 도시한 평면도.
도 8은 본 발명의 페이스트 도포기의 제어방법의 다른 실시예를 도시한 순서도.
*도면의 주요한 부위에 대한 부호설명*
50 : 유리기판 55 : 교정마크
10 : 프레임 20 : 테이블
22 : 제 1 리니어 모터 24 : 스테이지
31 : 제 1 칼럼 32 : 제 2 칼럼
33 : 제 2 마그네트 34 : 제 2 가동자
35 : 제 2 LM가이드 41 : 헤드 유니트
42 : 헤드 마운트 43 : 제 3 가동자
44 : 제 3 마그네트 45 : 화상카메라
50 : X1축 60 : X2
S1 : 교정위치이동단계 S2 : 인식단계
S3 : 판단단계 S4 : 위치보정단계
S5 : 확인단계
본 발명은 평판표시장치의 제조과정에서 기판 상에 소정의 패턴으로 페이스트를 도포하는 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 액정표시장치(LCD)와 같은 평판표시장치를 구성하는 유리기판 상에 페이스트를 소정의 패턴으로 도포하는 페이스트 도포기의 칼럼 위치를 보다 정확하게 제어하여 정밀한 페이스트 도포가 가 능하도록 하는 제어방법에 관한 것이다.
주지하는 바와 같이, 평판표시장치의 하나인 액정표시장치(LCD)는 음극선관(CRT)에 비해 시인성이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면크기의 CRT에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 플라즈마 표시장치(PDP: Plasma Display 패널)나 전계방출 표시장치(FED:Field Emission Display)와 함께 최근에 휴대폰이나 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼 등의 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.
이러한 액정표시장치(LCD)는 하나의 유리기판에 복수개의 픽셀 패턴을 형성하고 대향된 다른 하나의 유리기판에 칼라필터층을 형성한 다음, 일측의 유리기판에 액정을 도포한 후, 두 유리기판을 합착하는 방식으로 제조된다.
상술한 액정표시장치의 제조과정에서 유리기판에 소정의 패턴으로 페이스트를 도포하는 작업은 페이스트 도포장치에 의해 이루어지는데, 일반적으로 유리기판을 고정한 상태에서, 페이스트를 도포하는 헤드의 위치를 전·후방향, 또는, 좌·우방향으로 이동시키면서 페이스트를 도포하게 된다.
도 1은 본 발명의 페이스트 도포기의 제어방법이 적용되는 페이스트 도포기를 도시한 사시도이고, 도 2는 기존 방식에 의한 페이스트 도포시의 문제점을 설명하기 위한 요부 평면도로서, 이들 도면을 참조하여 기존의 페이스트 도포기 구조 및 문제점을 설명하면 다음과 같다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 대형 액정판넬 제조용 페이스트 도포기(이하 페이스트 도포기라 함)는 본체를 구성하는 프레임(10)과, 상기 프레임(10)의 상면에 구비되는 테이블(20)과, 상기 테이블(20) 상부에 설치되며 그 상부면에 페이스트(52) 가 도포될 유리기판(50)이 안착되게 되는 스테이지(24)와, 상기 스테이지(24)를 프레임의 전·후 방향으로 구동시키는 제 1 리니어 모터(22)가 구비된다.
또한, 상기 테이블(20) 양측에 프레임(10) 전·후 방향으로 길이를 갖도록 각각 배치되는 LM가이드(35)와, 상기 LM가이드(35)를 따라 이동가능하도록 설치됨과 더불어 양 LM가이드(35) 사이를 가로질러 본체의 좌/우방향과 평행하게 설치되는 칼럼(31, 32)과, 상기 칼럼(31, 32)을 LM가이드(35)를 따라 프레임의 전·후 방향으로 구동시키는 제 2 리니어 모터(33)가 구비된다.
또한, 근래에 들어 페이스트를 도포해야할 유리기판(50)이 점차 대형화 되는 추세이므로, 작업시간을 단축하기 위하여 상기 칼럼이 제 1 칼럼(31)과 제 2 칼럼(32)등 2개 이상 설치되며, 상기 제 2 리니어 모터(33)는 상기 각 칼럼(31, 32)의 양단에 설치되어 칼럼(31, 32)에 구동력을 작용시킨다.
또한, 상기 칼럼(31, 32)의 일측면에 칼럼(31, 32)의 길이방향을 따라 이동가능하도록 설치되어 스테이지(24)에 안착된 유리기판(50)상에 소정패턴으로 페이스트(52)를 도포하게 되는 복수개의 헤드 유니트(41)와, 상기 헤드 유니트(41)를 칼럼(31, 32)의 길이방향으로 구동시키는 제 3 리니어 모터(44)를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 헤드 유니트(41)는 상기 제 3 리니어 모터의 구동력을 전달받아 칼럼(31, 32)의 길이방향으로 이동하는 헤드 마운트(43)와, 상기 헤드 마운트(43)상에 장착되어 페이스트가 충진되는 시린지(미도시)로 구성된다.
또한, 상기 스테이지(24)에 안착된 유리기판(50)의 정렬을 위하여 상기 테이 블(20)이 평면방향으로 소정각도 움직일 수 있도록 구성된다.
이와 같이 구성된 페이스트 도포장치의 작용은 다음과 같다.
먼저, 페이스트가 도포될 유리기판(50)이 스테이지(24)에 흡착되어 안착된다. 그리고, 유리기판(50)이 안착된 상기 스테이지(24)는 테이블(20)에 고정된다.
상기 유리기판(50)은 일반적으로 사각형의 모양으로써, 회로패턴(53)등이 미리 형성된 상태로 상기 프레임(10)과의 정렬이 이루어지면서 스테이지(24)에 탑재된다.
이 때, 상기 유리기판(50)에 페이스트를 도포하는 방법은 일반적으로 두가지 방법이 널리 적용되고 있다.
먼저 첫번째는 상기 테이블(20)에 유리기판(50)을 탑재하고, 상기 칼럼(31,32)이 프레임(10)이 전/후방향으로 이동하면서 상기 칼럼(31,32)에 장착된 헤드 유니트(41)가 칼럼(31,32)의 좌/우방향으로 이동하여 상기 유리기판(50)에 페이스트를 도포하는 방법이고, 두번째 방법은, 상기 테이블(20)이 프레임(10)의 전/후방향으로 움직이고, 상기 칼럼(31,32)에 장착된 헤드 유니트(41)가 칼럼(31,32)의 좌/우 방향으로 움직여 상기 테이블(20)과 헤드 유니트(41)의 상대운동으로 유리기판(50)에 페이스트를 도포하는 방법이다. 이 방법은 주로 페이스트 도포기에 대형의 유리기판(50)을 적용할 때 적용되는 방법으로써, 대형의 유리기판(50)을 반입할 때, 두 개의 칼럼(31,32)을 프레임(10)의 전/후 방향으로 움직여 유리기판(50)이 반입 또는 반출되는 공간을 확보한 후, 스테이지(24)에 유리기판(50)을 안착시키는 방법이다.
그러나, 상기와 같은 기존의 페이스트 도포기 제어방식에는 다음과 같은 문제점이 있다.
먼저, 상기 스테이지에 안착되는 유리기판에 형성된 회로패턴의 좌/우방향으로 "X"축이라 하면, 상기 LM가이드의 양측을 가로질러 구비되는 제 1 칼럼 또는 제 2 칼럼이 제작시의 오차로 인하여 프레임의 좌우방향과 평행하지 않게되어 상기 "X'축과 평행하지 않게 될 수도 있고, 상기 유리기판이 반입되어 안착될 때에 프레임과의 정렬에 오차가 생기게 되어 상기 칼럼의 길이방향과 상기 X축과 평행이 이루어지지 못하게 될 수도 있다.
이 때, 상기 칼럼의 위치를 보정하지 않고 페이스트를 도포하게 되면, 상기 칼럼을 따라 이동하는 헤드유니트가 X축에 대해 틀어진 상태로 이동하게 됨으로써 도 1에 도시된 페이스트 패턴처럼 페이스트 패턴이 정상적인 형상으로 도포되지 못하여 제품의 불량을 가중시키고, 제조비를 상승시키게 되는 문제점이 있다.
이에, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 액정표시장치(LCD)와 같은 평판표시장치를 구성하는 유리기판 상에 페이스트를 도포하는 페이스트 도포기의 칼럼 위치를 X축에 대해 평행하게 정밀 제어함으로써 원하는 패턴으로 정확하게 페이스트가 도포될 수 있도록 하는 페이스트 도포기의 칼럼 위치 교정 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
특히, 본 발명은 2개 이상의 칼럼을 구비하는 페이스트 도포기의 경우, 각 칼럼간의 틀어진 상태를 교정하여 서로 평행을 이룸과 동시에 각 칼럼이 X축에 대 해서도 평행을 이룰 수 있도록 정밀 제어할 수 있는 칼럼 위치 교정 방법을 제공하는데 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 화상카메라를 칼럼의 길이방향으로 이동시키면서 기판에 표시된 교정마크를 2개 이상 인식하는 인식단계와; 화상카메라에 인식된 각 교정마크를 일직선으로 이은 가상의 축과 칼럼의 길이방향 축이 서로 평행한지를 판단하는 판단단계와; 화상카메라에 인식된 각 교정마크를 일직선으로 이은 가상의 축과 칼럼의 길이방향 축이 서로 평행을 이루도록 칼럼을 교정하는 위치보정단계;를 포함하여 이루어지는 페이스트 도포기의 제어방법을 제공한다.
이하, 본 발명의 페이스트 도포기의 제어방법을 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.
또한, 이하의 설명에서, 본 발명의 페이스트 도포기의 제어방법에 관련된 사항중 종래와 동일한 부분에 대해서는 도 1 과 도 2에 따라 전술한 종래의 기술을 참조하여 동일한 부호를 부여하기로 한다.
본 발명의 페이스트 도포기의 제어방법이 적용되는 페이스트 도포기는 전술한 도 1에 도시된 것처럼 본체를 구성하는 프레임(10)과, 프레임(10)의 상면에 설치되는 테이블(20)과, 상면에 페이스트가 도포 될 유리기판(50 : 도 2참조, 이하, "기판"이라 함)이 안착되는 스테이지(24)와, 상기 스테이지(24)를 프레임(10)의 전·후 방향으로 구동시키는 제 1 리니어 모터(22)가 구비된다.
또한, 상기 테이블(20) 양측에 프레임(10)의 전·후방향으로 각각 배치되는 제 2 LM가이드(35)와, 상기 제 2 LM가이드(35)를 따라 이동가능하도록 설치됨과 더불어 상기 양 제 2 LM가이드(35)의 사이를 가로질러 설치되는 제 1 칼럼(31) 및 제 2 칼럼(32)과, 상기 각 칼럼(31, 32)을 제 2 LM가이드(35)를 따라 전·후 방향으로 구동시키는 제 2 리니어 모터가 구비된다.
여기서, 상기 전·후 방향을 "Y축"으로 정의하기로 한다.
그리고, 상기 제 2 리니어 모터는 상기 제 2 LM가이드(35) 상면에 프레임의 Y축 방향으로 배치되는 제 2 마그네트(33)와, 상기 제 2 마그네트(33)에 대응하여 각 칼럼의 양측 하단부에 구비되는 제 2 가동자(34)로 구성된다.
여기서, 상기 칼럼(31, 32)이 제 1 칼럼(31)과 제 2 칼럼(32)으로 2개가 구비되는 것은 페이스트를 도포해야할 기판(50)이 대형이므로 작업시간을 단축하기 위함이며, 필요에 따라 그 이상의 개수의 칼럼을 설치할 수도 있다. 또한, 상기 제 2 리니어 모터의 제 2 가동자(34)는 상기 각 칼럼(31, 32)의 양단에 설치되어 칼럼(31, 32)의 양단에 구동력을 작용시킨다.
또한, 상기 각 칼럼(31, 32)의 일측면에 칼럼(31, 32)의 길이방향을 따라 이동가능하도록 설치되어 스테이지(24)에 안착된 기판(50)상에 소정패턴으로 페이스트를 도포하게 되는 복수개의 헤드 유니트(41)와, 상기 헤드 유니트(41)를 칼럼(31, 32)의 길이방향으로 구동시키는 제 3 리니어모터가 구비된다.
여기서, 상기 칼럼의 길이방향을 "S축"이라 정의하기로 한다.
또한, 상기 헤드 유니트(41)는 상기 제 3 리니어 모터의 구동력을 전달받아 S축을 따라 이동하는 헤드 마운트(42)와, 상기 헤드 마운트(42)상에 장착되어 페이 스트가 충진되는 시린지(미도시)와, 상기 시린지의 페이스트가 토출되는 노즐(미도시)로 구성된다.
그리고, 상기 제 3 리니어 모터는 각 칼럼(31, 32)의 일측면상에 S축으로 배치되는 제 3 마그네트(44)와, 상기 제 3 마그네트(44)에 대응하여 각 헤드 마운트(42) 상에 내장되는 제 3 가동자(43)로 이루어진다.
또한, 상기 S축을 따라 이동하면서 기판(50)에 미리 형성된 교정마크(55)를 인식하는 화상카메라(45)가 구비되는데, 상기 화상카메라(45)는 상기 제 3 마그네트(44)와, 제 3 가동자(43)에 의해 S축을 따라 움직이는 헤드 유니트(41)에 구비되는 것이 바람직하다.
여기서, 교정마크(55)란 칼럼(31, 32)이 기판(50)과 정렬을 할 때 기준이 될 수 있도록 기판에 형성된 각 회로패턴(53)의 모서리 부근에 형성된 것으로, 각 교정마크(55)를 이은 선은 서로 평행하거나 수직을 이루게 된다.
따라서, 상기 화상카메라(45)는 상기 헤드 유니트(41)가 제 3 가동자(43)와 제 3 마그네트(44)에 의해 S축을 따라 움직임으로써 이동되어, 기판(50)에 인쇄된 교정마크(55)들을 차례로 인식한다.
이러한 페이스트 도포기의 제어방법은 다음과 같다.
도 3은 본 발명의 페이스트 도포기의 제어방법의 순서를 도시한 순서도이고, 도 4는 도 2에 도시된 바와같이 페이스트 도포기의 제 1 칼럼과 제 2 칼럼이 서로 수평하지 않은 상태에서 제 2 칼럼의 화상카메라가 제 2 칼럼의 S축을 따라 이동하면서 교정마크를 인식하는 상태를 도시한 도면이다.
먼저, 스테이지(24)에 기판(50)이 안착된다.
상기와 같이 스테이지(24)에 기판(50)이 안착되면 칼럼(31, 32)이 기판(50)의 교정마크(55)가 인쇄된 부분으로 이동하는 위치이동단계(S1)가 시행되어 상기 제 2 칼럼(32)이 교정위치로 이동된다.
상기 제 2 칼럼(32)이 교정위치에 위치되면, 상기 제 2 칼럼(32)에 장착된 헤드 유니트(41)가 제 3 리니어 모터에 의하여 움직이면서, 상기 헤드 유니트(141)에 장착된 화상카메라(45)가 기판(50)에 표시된 교정마크(55)를 인식하는 인식단계(S2)가 시행된다.
여기서, 상기 화상카메라(45)는 S축과 평행하게 이동되면서 기판(50)에 인쇄된 교정마크(55)를 2개 이상 인식하게 된다.
인식단계(S2)에서 화상카메라(45)가 기판(50)에 표시된 교정마크(55)를 인식한 후에, 화상카메라(45)에 인식된 각 교정마크(55)를 일직선으로 이은 가상의 축과 화상카메라(45)의 이동경로가 서로 평행하는지를 판단하는 판단단계(S3)가 시행된다.
여기서, 화상카메라(45)에 인식된 각 교정마크(55)를 일직선으로 이은 가상의 축을 "X1축(150)"이라 정의한다. 상기 X1축(150)은 회로패턴의 좌/우방향과 수평하다.
또한, 상기 화상카메라(45)가 칼럼(31, 32)을 따라 이동하는 이동경로를 "X2축(160)"이라 정의한다. 따라서 상기 X2축(160)은 상기 S축과 평행하다.
도 5에 도시된 바와같이, X2축(160)과 X1축(150)이 서로 평행하지 않을 경우에는, 상기 X2축(160)과 X1축(150)이 평행하도록 상기 X2축(160)의 위치를 교정하는 위치보정단계(S4)를 시행한다.
상기 위치보정단계(S4)에서는 제어부에서 상기 X2축(160)이 X1축(150)에 대하여 얼마만큼 기울어져 있는지를 계산하여, 상기 X2축(160)이 X1축(150)에 평행하기 위한 데이타를 계산한 뒤, 계산한 데이타를 근거로 상기 칼럼(32)에 구비된 제 2 가동자(34)를 조정하여 상기 X2축(160)의 위치를 변화시킴으로써 상기 X2축(160)과 X1축(150)을 평행하게 한다.
이 때, 상기 칼럼(32)의 양단에 구비된 제 2 가동자(34) 중에 일단의 제 2 가동자(34)는 고정시키고, 타단의 제 2 가동자(34)를 제 2 LM가이드(35)를 따라 Y축 방향으로 움직여 상기 칼럼(32)의 수평을 조절하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 판단단계(S3)에서 X2축(160)과 X1축(150)이 평행하다고 판단되면 상기 위치보정단게를 거치지 않고 바로 본 발명의 페이스트 도포기의 칼럼 위치 교정 방법을 종료해도 무방하다.
상기한 교정의 과정이 수행되면 상기 제 2 칼럼(32)은 X1축(150)에 대해 평행하게 되어 기판에 형성된 회로패턴(53)과의 정렬이 이루어지게 된다.
한편, 상기한 교정의 과정은 칼럼이 1개가 구비된 페이스트 도포기에도 적용될 수 있고, 도 1 또는 도 2에 도시된 바와같이, 칼럼이 2개 이상 구비된 페이스트 도포기에도 적용될 수 있다.
상기한 바와 같이 칼럼이 2개 이상 구비된 페이스트 도포기의 칼럼 위치 교정방법은 상기한 위치이동단계(S1)부터 위치보정단계(S4)로 이루어진 교정의 과정에 덧붙여 각 칼럼이 교정되었는지를 확인하는 확인단계(S5)가 더 포함됨이 바람직하다.
즉, 상기 확인단계(S5)는 상기 위치보정단계(S4)가 끝난 후에 상기 위치이동단계(S1)부터 위치보정단계(S4)로 이루어진 교정의 과정이 각 칼럼(31, 32)에 대하여 수행되었는지를 판단하고, 모든 칼럼(31, 32)에 대하여 상기 교정의 과정이 수행되었으면 본 발명의 페이스트 도포기의 칼럼 위치 교정방법을 종료하고, 어느 한 칼럼이라도 상기의 과정이 수행되지 않았으면 해당칼럼에 대하여 상기한 위치이동단계(S1)부터 위치보정단계(S4)를 수행한다.
상기와 같이 칼럼이 2개 이상 구비된 페이스트 도포기는 하나의 칼럼에 대한 교정을 상기한 과정을 거쳐 완료한 후, 다른 칼럼에 대한 교정을 순차적으로 수행할 수도 있고, 각각의 칼럼에 대한 교정을 동시에 수행해도 무방하다.
전술한 실시예에서는 유리기판에 표시된 교정마크를 기준으로 칼럼을 정렬하는 방식이었으나, 복수개의 칼럼이 서로 평행하게 교정되고, 스테이지에 안착된 기판이 소정각도 회전되어 교정되는 방법을 적용할 수도 있다.
상기와 같은 경우, 본체를 구성하는 프레임과; 상기 프레임의 상면에, 지면에 대하여 평행한 방향으로 소정각도 회전 가능하게 설치되는 테이블과; 상기 테이블의 상부에 설치되며 그 상부면에 페이스트가 도포될 모(母)기판이 안착되는 스테 이지와; 상기 테이블의 양측에 상기 프레임의 전/후방향으로 길이를 갖도록 배치되는 LM가이드와; 상기 LM가이드를 따라 이동가능하도록 설치됨가 더불어 상기 양 LM가이드의 사이를 가로질러 설치되는 적어도 2개 이상의 칼럼; 그리고, 마주보는 두 칼럼의 적어도 두 곳 이상의 지점 사이의 거리를 측정하는 거리측정수단;을 포함하여 이루어지는 페이스트 도포기가 제공된다.
또한, 두개의 칼럼 사이의 거리를 측정하되, 적어도 두 지점 이상 측정하는 측정단계와; 상기 측정단계에서 측정된 각 거리의 차이값을 구하는 판단단계와; 상기 측정단계에서 측정되는 각 거리가 서로 같도록 상기 판단단계에서 구한 차이값을 근거로 하여 상기 칼럼을 교정하는 칼럼 정렬단계; 그리고, 모(母)기판을 회전시켜 두 칼럼과 모기판을 정렬시키는 기판 정렬단계;를 포함하여 이루어지는 페이스트 도포기의 제어방법이 제공된다.
이하, 본 발명의 바람직한 일 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 또한, 본 실시예와 관련된 구성요소중 전술한 실시예와 동일한 부분에 대해서는 전술한 실시예에 기술된 내용을 참고로 하며,그 상세한 설명을 생략하기로 한다.
도 5는 본 발명의 페이스트 도포기에 유리기판이 반입된 상태를 도시한 도면이고, 도 6은 도 5의 페이스트 도포기의 두 칼럼의 정렬이 이루어진 상태를 도시한 도면이며, 도 7은 도 6의 페이스트 도포기의 유리기판의 정렬이 이루어진 상태를 도시한 도면이다. 또한, 도 8은 본 발명의 페이스트 도포기의 제어방법을 도시한 순서도이다.
먼저, 상기 페이스트 도포기는 프레임(10 : 도 1참조)과, 테이블(20 : 도 1참조)과, 스테이지(24 : 도 1참조) 및 LM가이드(35)를 따라 움직이는 적어도 2개 이상의 칼럼(31, 32)을 포함하여 구성된다.
이 때, 상기 테이블(20)은 칼럼(31, 32)과 스테이지(24)에 안착된 유리기판(50)과의 정렬을 맞추기 위해 지면에 대하여 평행한 방향으로 수 도 범위내에서 좌측 또는 우측으로 회전이 가능하게 설치된다.
또한, 마주보는 두 칼럼(31, 32)간의 거리를 측정하는 거리측정수단(140)이 구비되는데, 상기 거리측정수단(140)은 양 칼럼(31, 32)의 적어도 두 곳 이상의 지점 사이의 거리(d1, d2)를 측정하는 것이 바람직하다.
이를 위하여, 상기 양 컬럼(31, 32)중 일측 칼럼(31)에 비 접촉 방식의 레이저 변위센서(140)가 2 개소 설치되는 것이 바람직하다. 또한, 측정의 정밀성을 위하여 상기 레이저 변위센서(140)는 칼럼(31)의 양측 끝단 인근에 설치되는 것이 바람직하다.
상기와 같이 설치된 레이저 변위센서(140)는 마주보는 칼럼(32)과의 직선거리(d1, d2)를 측정한다.
상기와 같은 페이스트 도포기의 제어방법을 도 5 내지 도 8을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
이하의 설명에서, 상기 두개의 칼럼(31, 32)은 서로 수평하지 않으며, 스테이지(24)에 반입된 유리기판(50) 또한 칼럼(31, 32) 또는 프레임(10)과의 정렬이 틀어진 상태인 것이 초기상태임을 가정하여 설명하기로 한다.
먼저, 스테이지(24)에 유리기판(50)이 반입된다. 상기 스테이지(24)에 유리기판(50)이 반입되면, 측정단계(S′1)가 시행된다. 상기 측정단계(S′1)는 상기 칼럼(31)에 설치된 레이저 변위센서(140)에서 마주보는 칼럼(32)과의 거리(d1, d2)를 측정하는 단계이다.
상기 칼럼(31, 32)간의 거리의 측정이 완료되었으면 판단단계(S′2)가 시행된다. 판단단계(S′2)는 상기 측정단계(S′1)에서 측정된 두 칼럼(31, 32)간의 두 지점 사이의 거리(d1, d2)의 차이값을 구한다. 판단결과 상기 d1과 d2가 같은 값이서 상기 d1과 d2의 차이값이 0 이면, 상기 두 칼럼(31, 32)은 서로 평행한 상태이므로 다음단계인 기판 정렬단계(S′4)를 시행하고, 판단한 결과 상기 d1과 d2가 같은 값이 아니어서 상기 차이값이 발생하게 되면, 상기 두 칼럼(31, 32)은 서로 평행하지 않은 상태이므로 칼럼 정렬단계(S′3)를 시행한다.
상기 칼럼 정렬단계(S′3)는 상기 측정단계(S′1)에서 구한 d1과 d2의 차이값을 바탕으로, 도 6에서와 같이, 상기 d1과 d2가 같은 값을 가지도록 상기 칼럼(31, 32)을 교정하여 상기 두 칼럼(31, 32)이 서로 평행하도록 한다.
그리고, 상기 칼럼(31, 32)의 정렬이 완료되면 다시금 상기 측정단계(S′1)로 회귀하여 d1과 d2를 측정하고, 측정된 d1과 d2가 같은 값인지를 판단하는 판단단계(S′2)를 거치는 것이 바람직하다.
또한, 상기 두 칼럼(31, 32)의 평행을 조절할 때, 일측 칼럼(32)은 고정시키고, 타측 칼럼(31)을 움직여 평행을 조절함이 바람직하다.
또한, 상기 타측 칼럼(31)을 교정할 때에는 교정 시키는 칼럼(31)의 일단은 상기 LM가이드(35)에 고정시킨 체로 타단을 상기 LM가이드(35)를 따라 움직이게 하여 조절하는 것이 바람직하다.
상기한 예에 대하여 좀 더 자세히 설명하면, 먼저, 두 개의 칼럼(31, 32) 중에 어느 일측 칼럼(32)을 고정시키고, 타측 칼럼(31)을 움직이는데, 이 때, 상기 측정단계(S′1)에서 구한 d1과 d2중 작은값을 가지는 쪽의 끝단을 상기 판단단계(S′2)에서 구한 차이값에 근거하여 두 칼럼(31, 32)이 평행이 이루어지도록 상기 두 칼럼(31, 32)의 바깥쪽으로 이동시키거나, 상기 d1과 d2중 큰 값을 가지는 쪽의 끝단을 상기 차이값에 근거하여 안쪽으로 이동시켜 상기 두 칼럼(31, 32)의 평행을 이루게 하는 것이 바람직하다.
또한, 상기한 방법과는 다르게, 상기 칼럼의 일단과 타단을 서로 반대방향으로 움직여 두 칼럼(31, 32)간의 평행을 조절할 수도 있고, 상기 양측 칼럼(31, 32)을 모두 움직여서 조절할 수도 있다.
또한, 상기 기판 정렬단계(S′4)에서는 상기 유리기판(50)의 회로패턴(53)과 칼럼(31, 32)의 길이방향 축이 평행을 이루도록 상기 유리기판(50)을 소정각도(α°) 회전시킨다. 이 때, 상기 테이블(20)이 소정각도 회전이 가능하므로, 상기 테이블(20)을 회전시켜 스테이지(24)에 안착된 유리기판(50)을 회전시키는 것이 바람직하다.
이 때, 상기 두 개의 칼럼(31, 32)은 서로 수평한 상태이므로, 상기 유리기판(50)이 칼럼(31, 32)에 수평하도록 회전되면, 상기 두개의 칼럼(31, 32)과 유리기판(50)의 정렬이, 도 7에 도시된 바와 같이, 완료되어 유리기판(50)에 페이스트(52)를 정확게 도포할 수 있게 된다.
한편, 본 발명은 상기한 실시예로 한정되지 않으며, 본 발명의 기술사상의 범주를 벗어나지 않는 한, 여러가지 다양한 형태로의 변형 및 변경, 수정이 가능하다.
이상에서 설명한 바와같이, 본 발명의 페이스트 도포기의 제어방법에 의하면, 페이스트 도포기에 설치된 칼럼과 기판에 형성된 회로패턴과 서로 수평을 이루도록 칼럼 및 유리기판의 위치를 교정함으로써, 페이스트 패턴을 형성할 때 유리기판상의 소망하는 위치에 정밀하게 페이스트를 도포할 수 있어 페이스트 도포 위치의 정밀도를 높임으로써 불량을 줄일 수 있는 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 화상카메라를 칼럼의 길이방향으로 이동시키면서 기판에 표시된 교정마크를 2개 이상 인식하는 인식단계;
    화상카메라에 인식된 각 교정마크를 일직선으로 이은 가상의 축과 칼럼의 길이방향 축이 서로 평행한지를 판단하는 판단단계; 그리고,
    화상카메라에 인식된 각 교정마크를 일직선으로 이은 가상의 축과 칼럼의 길이방향 축이 서로 평행하도록 칼럼을 교정하는 위치교정단계:를 포함하여 이루어지는 페이스트 도포기의 제어방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 위치보정단계는 상기 칼럼의 일단은 고정한 체로, 타단을 움직여 칼럼의 수평을 조정하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기의 제어방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    칼럼이 2개 이상 설치된 경우, 상기 인식단계부터 위치보정단계로 이루어진 교정의 과정이 각 칼럼에 대하여 수행되었는지를 판단하는 확인단계가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기의 제어방법.
  4. 본체를 구성하는 프레임;
    상기 프레임의 상면에 구비되는 테이블;
    상기 테이블의 상부에 설치되며 그 상부면에 페이스트가 도포될 모(母)기판이 안착되는 스테이지;
    상기 테이블의 양측에 상기 프레임의 전·후 방향으로 길이를 갖도록 각각 배치되는 LM가이드;
    상기 LM가이드를 따라 이동가능하도록 설치됨과 더불어 상기 양 LM가이드의 사이를 가로질러 설치되는 적어도 1개 이상의 칼럼;
    상기 칼럼의 길이방향을 따라 이동가능하도록 설치되어 상기 스테이지에 안착된 유리기판상에 형성된 교정마크를 인식하는 컬럼교정용 화상카메라; 그리고,
    상기 화상카메라를 상기 칼럼의 길이방향으로 구동시키는 구동수단;을 포함하여 이루어지는 페이스트 도포기.
  5. 두개의 칼럼 사이의 거리를 측정하되, 적어도 두 지점 이상 측정하는 측정단계;
    상기 측정단계에서 측정된 각 거리의 차이값을 구하는 판단단계;
    상기 측정단계에서 측정되는 각 거리가 서로 같도록 상기 판단단계에서 구한 차이값을 근거로 하여 상기 칼럼을 교정하는 칼럼 정렬단계; 그리고,
    모(母)기판을 회전시켜 두 칼럼과 모기판을 정렬시키는 기판 정렬단계;를 포함하여 이루어지는 페이스트 도포기의 제어방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 기판 정렬단계는,
    상기 칼럼의 길이방향축과 기판 회로패턴과 칼럼의 길이방향 축이 서로 평행하도록 교정하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기의 제어방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 기판 정렬단계는,
    두 개의 칼럼 중 일측 칼럼을 고정시키고 타측 칼럼을 이동시키거나, 또는, 상기 두 개의 칼럼 모두를 이동시켜 교정하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기의 제어방법.
  8. 본체를 구성하는 프레임;
    상기 프레임의 상면에, 지면에 대하여 평행한 방향으로 소정각도 회전 가능하게 설치되는 테이블;
    상기 테이블의 상부에 설치되며 그 상부면에 페이스트가 도포될 모(母)기판이 안착되는 스테이지;
    상기 테이블의 양측에 상기 프레임의 전/후방향으로 길이를 갖도록 배치되는 LM가이드;
    상기 LM가이드를 따라 이동가능하도록 설치됨가 더불어 상기 양 LM가이드의 사이를 가로질러 설치되는 적어도 2개 이상의 칼럼; 그리고,
    마주보는 두 칼럼의 적어도 두 곳 이상의 지점 사이의 거리를 측정하는 거리측정수단;을 포함하여 이루어지는 페이스트 도포기.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 거리측정수단은, 레이저 변위센서인 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
KR1020040050340A 2004-06-30 2004-06-30 페이스트 도포기의 칼럼 위치 교정방법 KR100673305B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040050340A KR100673305B1 (ko) 2004-06-30 2004-06-30 페이스트 도포기의 칼럼 위치 교정방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040050340A KR100673305B1 (ko) 2004-06-30 2004-06-30 페이스트 도포기의 칼럼 위치 교정방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060001260A true KR20060001260A (ko) 2006-01-06
KR100673305B1 KR100673305B1 (ko) 2007-01-24

Family

ID=37104436

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040050340A KR100673305B1 (ko) 2004-06-30 2004-06-30 페이스트 도포기의 칼럼 위치 교정방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100673305B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100890757B1 (ko) * 2007-12-05 2009-03-26 주식회사 나래나노텍 노즐 디스펜서의 노즐 오프셋 보정 장치 및 방법

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3789163B2 (ja) * 1996-05-13 2006-06-21 Ntn株式会社 連続パターンの欠陥修正方法および欠陥修正装置
JPH10221698A (ja) 1997-02-04 1998-08-21 Seiko Epson Corp ペーストパターン形成装置および液晶パネル製造装置
JP3732659B2 (ja) 1998-08-03 2006-01-05 Ntn株式会社 パターンの修正装置および修正方法
JP2003031642A (ja) 2001-07-16 2003-01-31 Shibaura Mechatronics Corp 基板搬送装置、それを用いたペースト塗布装置、及びペースト塗布方法
JP2003234598A (ja) * 2002-02-07 2003-08-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 部品実装方法及び部品実装装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100890757B1 (ko) * 2007-12-05 2009-03-26 주식회사 나래나노텍 노즐 디스펜서의 노즐 오프셋 보정 장치 및 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR100673305B1 (ko) 2007-01-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1671525B1 (en) Component mounting method and apparatus
KR101560322B1 (ko) 기판 상에 물질을 분배하는 방법 및 장치
US20080296315A1 (en) Method and apparatus for dispensing a viscous material on a substrate
JP4841459B2 (ja) ペーストパターン検査方法
JP4335757B2 (ja) ペースト塗布器及びその制御方法
JP2006245174A (ja) 位置決めステージ、パターン形成装置、検査装置、位置補正方法、基板支持部
KR100696932B1 (ko) 페이스트 도포기 및 그 제어방법
JPH0994500A (ja) ペースト塗布機
TW201413047A (zh) 依據邊緣偵測而分配材料之方法
TWI252134B (en) Fabrication method and device of liquid crystal panel, and solder paste coating device
KR102169438B1 (ko) 합착 장치 및 합착 방법
KR100899146B1 (ko) 페이스트 도포기의 기판 정렬 방법
KR100673305B1 (ko) 페이스트 도포기의 칼럼 위치 교정방법
TWI397755B (zh) 用於滴落液晶的設備和方法
CN100454115C (zh) 用于调节密封剂分配器中支撑框架的对准的方法
JP4866715B2 (ja) ペースト塗布装置
JP3912635B2 (ja) 凹凸基材への塗液の塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイの製造装置および方法
KR101346782B1 (ko) 실런트 도포 상태에 근거한 액정 적하량 결정 방법
JP4675505B2 (ja) 塗布装置、塗布方法及び表示装置の製造方法
KR100822894B1 (ko) 페이스트 도포장치의 단면적 측정 위치 보정방법
JP2007178964A (ja) シーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法及び装置
KR100825990B1 (ko) 페이스트 디스펜서의 높이측정용 변위센서
KR100867109B1 (ko) 페이스트 도포장치의 단면적 측정 위치 보정방법
JP4532512B2 (ja) シーラント塗布状態に基づいた液晶滴下量決定方法
JP2000055615A (ja) パターン修正装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121220

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140404

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141215

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151125

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161122

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171120

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181120

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191118

Year of fee payment: 14