KR20050112623A - 과도 전압 억제 소자 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 판상의 P+ 섭스트레이트;상기 P+ 섭스트레이트의 상면에 일정 두께로 형성된 P- 에피층;상기 P- 에피층의 둘레에 상면에서 상기 P+ 섭스트레이트까지 형성된 P+ 격리층;상기 P- 에피층의 상면으로부터 일정 깊이까지 형성되어 있되, 일측은 상기 P+ 격리층에 접하여 형성된 P+ 둘레 영역;상기 P- 에피층의 상면으로부터 일정 깊이까지 형성되어 있되, 일측은 상기 P+ 둘레 영역에 접하여 형성된 N+ 영역; 및,상기 N+ 영역의 상면으로부터 일정 깊이까지 형성된 P+ 중앙 영역을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 과도 전압 억제 소자.
- 제 1 항에 있어서, 상기 N+ 영역은 깊이가 상기 P+ 둘레 영역보다 깊게 형성된 것을 특징으로 하는 과도 전압 억제 소자.
- 제 1 항에 있어서, 상기 P- 에피층, N+ 영역 및 P+ 중앙 영역의 상대적 농도는 P- 에피층 < N+ 영역 < P+ 중앙 영역인 것을 특징으로 하는 과도 전압 억제 소자.
- 제 1 항에 있어서, 상기 P+ 섭스트레이트에 대하여 P+ 중앙 영역이 +극일 경우, 전류는 P+ 중앙 영역, N+ 영역, P+ 둘레 영역, P+ 격리층 및 P+ 섭스트레이트로 흐르는 것을 특징으로 하는 과도 전압 억제 소자.
- 제 1 항에 있어서, 상기 P+ 섭스트레이트에 대하여 P+ 중앙 영역이 -극일 경우, 전류는 P+ 섭스트레이트, P- 에피층, N+ 영역 및 P+ 중앙 영역으로 흐르는 것을 특징으로 하는 과도 전압 억제 소자.
- 판상의 P+ 섭스트레이트에 일정 두께의 P- 에피층을 형성하는 단계;상기 P- 에피층의 둘레를 제외한 대략 중앙에 마스크를 형성한 후, 이온주입 또는 확산에 의해 상기 P- 에피층의 상면에서 상기 P+ 섭스트레이트까지 P+ 격리층을 형성하는 단계;상기 P+ 격리층을 포함하여 P- 에피층의 일부까지 마스크를 형성한 후, 이온주입 또는 확산에 의해 상기 P- 에피층의 상면에서 일정 깊이까지 N+ 영역을 형성하는 단계; 및,상기 P+ 격리층 및 그 내측으로 일정 거리 떨어진 영역에 중앙이 개방된 마스크를 형성한 후, 이온주입 또는 확산에 의해 상기 P+ 격리층에 일측이 접한채 상기 N+ 영역 및 P- 에피층까지 일정 깊이의 P+ 둘레 영역이 형성되도록 하고, 상기 N+ 영역의 중앙 상면으로부터 일정깊이까지 P+ 중앙 영역이 형성되도록 하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 과도 전압 억제 소자의 제조 방법.
- 제 6 항에 있어서, 상기 N+ 영역은 깊이가 상기 P+ 둘레 영역보다 깊게 형성되도록 함을 특징으로 하는 과도 전압 억제 소자의 제조 방법.
- 제 6 항에 있어서, 상기 P- 에피층, N+ 영역 및 P+ 중앙 영역의 상대적 농도는 P- 에피층 < N+ 영역 < P+ 중앙 영역이 되도록 함을 특징으로 하는 과도 전압 억제 소자의 제조 방법.
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