KR20050105592A - 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법 - Google Patents

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KR20050105592A
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 기존의 유리 기판 대신 플라스틱 기판을 이용한 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법에 관한 것으로서, 모기판으로부터 플라스틱 기판을 용이하고 깨끗하게 탈착시키기 위해 쿨-오프 타입의 점착제를 사용하고 냉각 장치에서 탈착공정을 수행하는 것을 특징으로 한다.
즉, 모기판 전면에 점착제의 일면을 부착하는 단계와, 상기 점착제의 다른 일면에 플라스틱 기판을 부착하는 단계와, 상기 플라스틱 기판 상에 소자를 구동하기 위한 각종 패턴을 형성하는 단계와, 상기 모기판을 냉각 장치에 인입시켜 상기 점착제로부터 상기 플라스틱 기판을 탈착시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

Description

액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법{Method For Fabricating The Array Substrate Of Liquid Crystal Display Device}
본 발명은 액정표시소자에 관한 것으로 특히, 플라스틱을 어레이 기판 재료로 사용한 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법에 관한 것이다.
근래 고품위 TV(high definition TV) 등의 새로운 첨단 영상기기가 개발됨에 따라 브라운관(CRT) 대신에 LCD(Liquid Crystal Display), ELD(electro luminescence display), VFD(vacuum fluorescence display), PDP(plasma display panel)등과 같은 평판표시장치에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.
그 중에서도 LCD는 평판 표시기의 대표적인 기술로써 박형, 저가, 저소비 전력 구동 등의 특징을 가져 랩 톱 컴퓨터(lap top computer)나 포켓 컴퓨터(pocket computer)의 표시 외에 차량 적재용, 칼라 TV의 화상용으로도 그 용도가 급속하게 확대되고 있다.
이러한 특성을 갖는 액정표시소자는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상부기판인 컬러필터(color filter) 어레이 기판(1)과 하부기판인 TFT(Thin Film Transistor) 어레이 기판(2)이 서로 대향되도록 배치되고, 그 사이에 유전 이방성을 갖는 액정(3)이 형성되는 구조를 가져, 화소 선택용 어드레스(address) 배선을 통해 수십 만개의 화소에 부가된 TFT를 스위칭 동작시켜 해당 화소에 전압을 인가해 주는 방식으로 구동된다.
구체적으로, 상기 액정표시소자는 일정한 순서로 배열되어 색상을 구현하는 적색(Red), 녹색(Green), 청색(Blue)의 컬러필터층(12)과 R,G,B 셀 사이의 구분과 광차단 역할을 하는 블랙 매트릭스(11)와, 그리고 액정층(3)에 전압 인가를 위한 공통 전극(13)으로 구성된다.
색상구현을 위한 컬러필터층(12)이 형성된 TFT 어레이 기판(1)과, 즉, 박막트랜지스터(TFT)가 형성된 제 2 기판(2)과, 상기 제 1 ,제 2 기판(1,2) 사이에 형성된 액정층(3)으로 구성된다.
그리고, 상기 TFT 어레이 기판(2)에는, 단위 픽셀(sub-pixel)을 정의하기 위해 게이트 배선(32)과 데이터 배선(35)이 서로 교차하여 배열되고, 상기 게이트 배선(32)과 데이터 배선(35)의 교차 부위에는 액정분자의 배열 방향을 변환시키기 위해 전압의 온/오프를 스위칭하는 박막트랜지스터(TFT)가 형성되며, 각 단위 픽셀에 상기 박막트랜지스터와 전기적으로 연결되어 액정층(3)에 전압을 인가하는 화소전극(22)이 형성되어 있다.
상기 TFT 어레이 기판(2)에는 상기 게이트 배선(32)과 평행한 스토리지 커패시터 전극(36)이 더 형성되어 박막트랜지스터의 턴오프 구간에서 액정층(3)에 충전된 전압을 유지시켜 기생용량에 의한 화질저하를 방지하는 역할을 한다.
이러한 상기 두 기판(1,2) 사이에는 그 간격을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(15)가 삽입되고, 기판의 가장자리에는 액정이 외부로 흐르는 것을 방지하고 두 기판(1,2)을 완전히 점착시키기 위한 씨일제(sealant)(16)가 형성된다.
이 때, 상기 컬러필터 어레이 기판 및 TFT 어레이 기판으로 투명하고 높은 온도에 민감하지 않은 유리기판을 많이 사용하고 있는데, 유리 기판은 내구성에 문제가 있고 경량 박형화에 한계가 있다.
따라서 최근에는, 액정표시소자를 가볍고 얇게 만들기 위해 유리기판 대신에, 플렉서블(flexible)한 특성을 가지는 플라스틱 기판으로 대체되고 있다. 참고로, 어레이 기판으로 사용되는 유리기판은 약 0.6㎜의 두께를 가지며, 플라스틱 기판은 약 0.1∼0.2㎜의 두께를 가진다.
그러나, 상기 플라스틱 기판은 너무 얇고 그 형태가 고정되어 있지 않아서 공정상 취급이 용이하지 않으며, 150℃이상의 고온의 공정에서 잘 견디지 못하고 그 형태가 변형된다는 단점이 있다.
이러한 단점을 해결하기 위해 플라스틱 기판을 유리와 같은 모기판에 점착시키고 공정을 수행한 후 모기판을 제거하는 방식이 채택되고 있다.
종래 기술에 의한 어레이 기판의 제작과정을 나타낸 도 2a 내지 도 2c를 참고로 하여 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 도 2a에 도시된 바와 같이, 점착제를 사용하여 플라스틱 기판(52)을 유리재질의 모기판(51)에 부착시킨다.
여기서 사용되는 점착제는 일종의 양면 테이프와 같이, 점착제의 취급을 용이하기 위해서 기재(55)와, 상기 기재(55)의 일면에 부착되는 제 1 점착제(54)와, 상기 기재(55)의 다른 일면에 부착되는 제 2 점착제로 구성된다.
이 때, 상기 제 1 점착제(54)에는 상기 플라스틱 기판(52)이 부착되고, 상기 제 2 점착제(56)에는 상기 모기판(51)이 부착되는데, 모든 공정을 마치고 플라스틱 기판(52)을 용이하게 탈착시키기 위해서, 상기 제 2 점착제(56)는 상기 제 1 점착제(54)보다 점착특성이 강한 것을 사용하는 것이 좋다.
이후, 도 2b에 도시된 바와 같이, 상기 플라스틱 기판(52) 상에 소자를 구동하기 위한 각종 패턴을 형성하여야 한다.
만일, 상기 플라스틱 기판(52)이 TFT 어레이 기판으로 사용될 것이라면, 도면에서와 같이, 서브-픽셀을 정의하기 위한 게이트 배선(도시하지 않음) 및 데이터 배선(도시하지 않음)을 형성하고, 상기 서브-픽셀 내에 박막트랜지스터(TFT) 및 화소전극(22)을 형성한다.
그리고, 도시하지는 않았으나, 상기 플라스틱 기판이 컬러필터 어레이 기판으로 사용될 것이라면 불필요한 광을 차단하는 블랙 매트릭스를 형성하고, 그 위에 R,G,B의 색상을 구현하는 컬러필터층을 형성한 다음, 상기 컬러필터층을 포함한 전면에 공통전극을 형성한다.
마지막으로, 도 2c에 도시된 바와 같이, 플라스틱 기판(52)을 모기판(51)으로 탈착시킨다.
그러나, 플라스틱 기판(52) 탈착시, 그 힘에 의해 모기판(51)도 탈착되려고 하므로 그 과정이 용이하지 않고 또한, 플라스틱 기판(52) 계면에 미처 탈착되지 못한 점착제가 잔류하게 되어 깨끗한 계면을 얻을 수 없다. 이와같이, 플라스틱 기판(52) 계면에 잔류하는 점착제는 소자의 투과도를 방해하는 이물질이 된다.
다만, 플라스틱 기판(52) 계면에 남아있는 이물질을 제거하는 클리닝 공정을 추가로 수행하고 있으나, 점착제가 쉽게 제거되지 않을 뿐더러 점착제를 제거하기 위해 사용되는 용제에 의해 기판에 데미지(damage)가 발생할 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 모기판으로부터 플라스틱 기판을 용이하고 깨끗하게 탈착시키기 위해 쿨-오프 타입의 점착제를 사용하고 냉각 장치에서 탈착공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법은 모기판 전면에 점착제의 일면을 부착하는 단계와, 상기 점착제의 다른 일면에 플라스틱 기판을 부착하는 단계와, 상기 플라스틱 기판 상에 소자를 구동하기 위한 각종 패턴을 형성하는 단계와, 상기 모기판을 냉각 장치에 인입시켜 상기 점착제로부터 상기 플라스틱 기판을 탈착시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 점착제는 기재의 양면에 각각 형성되는 제 1 점착제 및 제 2 점착제로 구성되는바, 상기 제 1 점착제에는 상기 플라스틱 기판이 부착되고, 상기 제 2 점착제에는 상기 모기판이 부착된다.
이 때, 상기 제 1 점착제는 쿨-오프(cool-off) 타입의 점착제로서 10℃ 이하의 냉각장치에서 점착력이 상실되어 플라스틱 기판이 용이하게 탈착된다.
다만, 유리 재질의 모기판은 점착제에서 탈착되지 않도록 하기 위해 30℃ 이상의 온도를 유지시켜주어야 하는데, 냉각장치에 열판을 구비하여 상기 모기판을 그 위에 로딩시킨다.
이 때, 상기 제 2 점착제는 쿨-오프(cool-off) 타입의 점착제이거나 또는 워엄-오프(warm-off) 타입이거나 불문한다.
다만, 상기 제 2 점착제가 워엄-오프 타입일 경우에는 고온에서 점착력을 상실하므로 냉각장치에 열판을 별도로 구비하지 않고도 플라스틱 기판을 탈착시킬 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3a 내지 도 3e는 모기판에 플라스틱 기판을 부착하기 위한 공정 단면도이고, 도 4a 내지 도 4c는 본 발명에 의한 TFT 어레이 기판의 제조 공정 단면도이며, 도 5는 온도에 따른 점착제의 점착 특성을 나타낸 그래프이다.
본 발명에 의한 어레이 기판의 제작과정을 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 도 4a에 도시된 바와 같이, 유리 또는 금속을 재료로 하는 모기판(151)(mother substrate)과 플라스틱 기판(152)을 준비하여 세정을 실시한 후, 점착제를 사용하여 두 기판을 서로 부착시킨다.
이 때, 상기 점착제는, 도 3a에 도시된 바와 같이, 약한 점착 특성을 가지는 제 1 점착제(154)와, 상기 제 1 점착제(154)보다 강한 점착 특성을 가지는 제 2 점착제(156)와, 상기 제 1 ,제 2 점착제를 지지하기 위한 PET 재질의 기재(155)로 구성되며, 취급을 용이하게 하고 보호필름의 역할을 하는 제 1 ,제 2 이형지를 상기 제 1 ,제 2 점착제(154,156) 외주면에 각각 부착시킨다.
이러한 점착제를 기판에 부착하는 과정을 살펴보면, 도 3b 및 도 3c에 도시된 바와 같이, 제 2 이형지(159)를 떼어낸 후 제 2 점착제(156)에 모기판(151)을 부착한다. 다음, 제 1 이형지(158)를 떼어낸 후 제 1 점착제(154)에 플라스틱 기판(152)을 부착한다.
이 때, 상기 제 1 점착제(154)는 점착 특성이 약하므로 플라스틱 기판(152)에 부착되어 탈부착이 보다 자유롭도록 하고, 상기 제 2 점착제(156)는 점착 특성이 강하므로 모기판(151)에 부착되도록 하여 플라스틱 기판(152)의 탈착시 고정되어있게 한다.
여기서, 상기 제 1 점착제는 쿨-오프(cool-off) 타입의 점착제를 사용하는 것을 특징으로 하는데, 쿨-오프 타입의 점착제는 도 5에 도시된 바와 같이, 저온에서 점착특성이 약해져 점착력을 상실하게 된다.
한편, 상기 제 2 점착제는 쿨-오프(cool-off) 타입의 점착제이거나 또는 워엄-오프(warm-off) 타입이거나 불문한다.
구체적으로, 상기 쿨-오프 타입의 점착제는 C1-8인 아크릴레이트(acrylate)와 C14-22인 아크릴레이트의 공중합(copolymerization)을 통해 녹는점이 20℃인 수지를 이용하는 것으로 녹는점보다 낮은 온도에서 측쇄 결정성의 고분자가 딱딱해지면서 점착력을 상실하는 것이다.(일본특허공개번호 특개 2001-290138참고)
반면, 워엄-오프(warm-off) 타입의 점착제는 고온에서 점착특성이 약해져 점착력을 상실하는 타입이다. 이는 고분자 점착제 성분에 저분자량의 측쇄 결정성 고분자 첨가제를 블렌드하여 제조하는데, 일정온도 이상의 고온에서 첨가제가 이동하는 것에 의해 점착력이 상실되는 것이다.(일본특허공개번호 특개2003-129029참고)
이후, 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 플라스틱 기판(152) 상에 소자를 구동하기 위한 각종 패턴을 형성하여야 한다.
만일, 플라스틱 기판(152)이 TFT 어레이 기판으로 사용될 것이라면, 도면에서와 같이, 상기 플라스틱 기판(152) 상에 게이트 배선(도시되지 않음), 게이트 전극(112), 스토리지 전극(129), 게이트 패드(122)를 형성하고, 상기 게이트 전극(112) 상에 게이트 절연막(113)에 절연되는 반도체층(114)을 형성한 뒤, 상기 게이트 배선에 수직교차하는 데이터 배선(도시되지 않음), 소스/드레인 전극(115a,115b) 및 데이터 패드(도시되지 않음)를 형성한 다음, 보호막(116)을 관통하여 상기 드레인 전극(115b)에 접속되고 상기 스토리지 전극(129)에 오버랩되는 화소전극(117) 및 상기 게이트 패드(122)를 커버하는 투명도전막(132)을 차례대로 형성한다.
도시하지는 않았으나, 상기 플라스틱 기판이 컬러필터 어레이 기판으로 사용될 것이라면, 상기 플라스틱 기판 상에 광차단 역할을 하는 블랙 매트릭스를 형성하고, 상기 블랙 매트릭스 사이에 일정한 순서로 배열되어 색상을 구현하는 적색(Red), 녹색(Green), 청색(Blue)의 컬러필터층을 형성한 다음, TFT 어레이 기판의 화소전극과 더불어 액정층에 일정한 전압을 인가하는 공통 전극을 형성한다.
마지막으로, 도 4c에 도시된 바와 같이, 모기판이 부착된 TFT 어레이 기판 또는 컬러필터 어레이 기판을 냉각장치(180)에 인입시키고, 냉각장치 내부온도를 10℃ 이하의 온도를 유지시켜 제 1 점착제의 점착력을 상실시킨다. 이로써, 플라스틱 기판(152)이 점착제로부터 용이하고 깨끗하게 탈착가능하게 된다. 따라서, 플라스틱 기판(152) 계면에 묻어있는 점착제를 제거하기 위한 클리닝 추가 작업을 수행하지 않아도 되므로 공정이 간소화된다.
이 때, 모기판(151)이 점착제로부터 탈착되지 않도록 하기 위해 30℃ 이상의 고온을 유지시켜 주어야 한다. 따라서, 냉각장치(180) 내부에 열선이 삽입된 열판(181)을 별도로 장착하여 그 위에 모기판(151)이 로딩되도록 한다.
즉, 모기판(151) 측은 30℃ 이상의 고온을 유지하여 제 2 점착제(156)가 점착력을 상실하지 않도록 하고, 플라스틱 기판(152) 측은 10℃ 이하의 저온을 유지하여 제 1 점착제(154)가 점착력을 상실하도록 하는 것이다.
한편, 냉각장치에 열판을 장착하지 않고 플라스틱 기판을 용이하고 깨끗하게 탈착시킬 수 있을 것인데, 플라스틱 기판을 부착하는 제 1 점착제로 쿨-오프 점착제를 사용하고, 모기판을 부착하는 제 2 점착제로 워엄-오프 점착제를 사용하면 된다.
즉, 워엄-오프 점착제는 저온에서 점착력을 상실하지 않으므로 제 2 점착제를 워엄-오프 타입의 점착제를 사용하였을 경우, 냉각장치 내에서 모기판은 탈착되지 않고 플라스틱 기판만 탈착되는 것이다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
한편, 본 발명의 기술적 사상은 액정표시소자용 어레이 기판의 제조에만 한정하여 적용되는 것이 아니라, ELD, VFD, PDP 등과 같은 평판표시장치용 어레이기판의 제작 과정에도 적용될 수 있을 것이다.
상기와 같은 본 발명의 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 쿨-오프 타입의 점착제를 사용하여 플라스틱 기판과 모기판을 부착한 후 냉각장치에서 플라스틱 기판을 탈착시킴으로써, 플라스틱 기판이 모기판으로부터 용이하고 깨끗하게 탈착된다.
둘째, 플라스틱 기판 계면에 묻어있는 점착제를 제거하기 위한 클리닝 추가 작업을 수행하지 않아도 되므로 공정이 간소화된다.
셋째, 냉각장치 내부에 열판을 구비하고 그 위에 모기판을 로딩하여 냉각장치 내에서 모기판이 탈착되지 않도록 함으로써 플라스틱의 탈착 공정을 용이하게 한다.
넷째, 플라스틱 기판을 부착하는 제 1 점착제로 쿨-오프 점착제를 사용하고, 모기판을 부착하는 제 2 점착제로 워엄-오프 점착제를 사용함으로써 냉각장치에 열판을 장착하지 않고도 플라스틱 기판을 용이하고 깨끗하게 탈착시킬 수 있게 된다.
도 1은 종래 기술에 의한 액정표시소자의 단면도.
도 2a 내지 도 2c는 종래 기술에 의한 TFT 어레이 기판의 제조 공정 단면도.
도 3a 내지 도 3e는 모기판에 플라스틱 기판을 부착하기 위한 공정 단면도.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명에 의한 TFT 어레이 기판의 제조 공정 단면도.
도 5는 온도에 따른 점착제의 점착 특성을 나타낸 그래프.
*도면의 주요 부분에 대한 부호설명
151 : 모기판 152 : 플라스틱 기판
154 : 제 1 점착제 155 : 기재
156 : 제 2 점착제 180 : 냉각장치
182 : 열판 158 : 제 1 이형지
159 : 제 2 이형지

Claims (11)

  1. 모기판 전면에 점착제의 일면을 부착하는 단계;
    상기 점착제의 다른 일면에 플라스틱 기판을 부착하는 단계;
    상기 플라스틱 기판 상에 소자를 구동하기 위한 각종 패턴을 형성하는 단계;
    상기 모기판을 냉각 장치에 인입시켜 상기 점착제로부터 상기 플라스틱 기판을 탈착시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 점착제는,
    기재 일면에 부착되어 있는 제 1 점착제와,
    상기 기재의 다른 일면에 부착되어 상기 제 1 점착제보다 점착특성이 강한 제 2 점착제로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 점착제에 상기 플라스틱 기판이 부착되고,
    상기 제 2 점착제에 상기 모기판이 부착되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 점착제는 쿨-오프(cool-off) 타입의 점착제인 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 점착제는 쿨-오프(cool-off) 타입의 점착제이고,
    상기 제 2 점착제는 워엄-오프(warm-off) 타입의 점착제인 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 냉각장치는 10℃ 이하의 온도를 유지하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 냉각장치 내에는 상기 모기판이 로딩되는 열판이 구비되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 열판은 30℃ 이상의 온도를 유지하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 모기판은 유리기판인 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 플라스틱 기판 상에 소자를 구동하기 위한 각종 패턴을 형성하는 단계는,
    상기 플라스틱 기판 상에 게이트 배선 및 데이터 배선을 교차 형성하여 서브-화소를 정의하는 단계와,
    상기 서브-화소 내에 박막트랜지스터 및 화소전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 플라스틱 기판 상에 소자를 구동하기 위한 각종 패턴을 형성하는 단계는,
    상기 플라스틱 기판 상에 블랙 매트릭스 패턴을 형성하는 단계와,
    상기 블랙 매트릭스 패턴 사이에 컬러필터층을 형성하는 단계와,
    상기 컬러필터층을 포함한 전면에 공통전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이 기판의 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US9256326B2 (en) 2010-09-29 2016-02-09 Samsung Display Co., Ltd. Method of fabricating touch screen panel

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101286551B1 (ko) * 2009-09-16 2013-07-17 엘지디스플레이 주식회사 플렉서블 기판 및 이를 가지는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법
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