KR20050092402A - 기판 위에 구성소자를 배치하는데 적합한 기계 및 방법 - Google Patents

기판 위에 구성소자를 배치하는데 적합한 기계 및 방법 Download PDF

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KR20050092402A
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허버트. 지. 제이. 제이. 에이. 브루멘
피터 에프. 그리브
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코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
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Abstract

기계(1)는 이미지 생성 장치(6)에 연결된 배치 요소(7)를 포함하고, 또한 상기 배치 요소(7)에 상대적인 구성소자(16)의 위치를 상기 이미지 생성 장치(6)로 검출하기 위한 광학 시스템(4)을 포함한다. 상기 광학 시스템(4)은 적어도 하나의 마킹 요소(11)를 포함한다. 상기 마킹 요소(11)와 상기 구성소자(16)는 상기 이미지 생성 장치(6)에 의해 만들어지는 하나의 이미지(17) 내에서 상기 광학 시스템(4)에 의해 동시에 디스플레이 될 수 있다.

Description

기판 위에 구성소자를 배치하는데 적합한 기계 및 방법{MACHINE SUITABLE FOR PLACING A COMPONENT ON A SUBSTRATE, AS WELL AS A METHOD THEREFOR}
본 발명은 기판 위에 구성소자를 배치하는데 적합한 기계에 관한 것으로, 상기 기계는 이미지 생성 장치(imaging device), 상기 이미지 생성 장치에 연결된 배치 요소, 및 상기 이미지 생성 장치를 이용하여 상기 배치요소에 의해 지지되는 상기 구성소자의 위치를 검출하는 광학 시스템을 포함한다.
본 발명은 또한 기계를 이용하여 기판 위에 구성소자를 배치하는 방법에 관한 것으로, 상기 구성소자는 배치 요소에 의해 들어 올려진 다음 상기 배치 요소에 의해 들려 올려진 구성소자의 이미지가 이미지 생성 장치와 광학 시스템에 의해 생성되고, 그 후 구성소자는 기판 위에 배치된다.
국제 특허 출원 WO 97/22237로부터 공지된 이러한 기계 및 방법에 있어서, 구성소자는 배치 요소에 의해 들어 올려진 다음 광학 시스템 위에 있는 위치에 놓여진다. 상기 구성소자는 배치요소에 연결된 이미지 생성 장치에서 광학 시스템에 의해 디스플레이 된다. 상기 배치 요소에 상대적인 상기 구성소자의 위치가 상기 이미지 생성 장치에 의해 만들어진 이미지로부터 결정된 이후에, 상기 구성소자는 기판 상의 원하는 위치에 놓여진다.
상기 공지된 기계의 단점은 배치요소에 상대적인 구성소자의 위치가 정확하게 결정될 수 있도록 하기 위해서는 배치요소와 상기 배치요소에 연결된 이미지 생성 장치가 상기 광학 시스템에 상대적으로 정확하게 위치해 있어야 된다는데 있다.
이 밖에도, 고정된 세계에 연결된 광학 시스템에 상대적인 상기 구성소자의 위치는 이러한 방식으로 정확하게 결정될 수 없다.
도 1은 본 발명에 따른 기계의 투시도.
도 2의 A는 도 1에 도시된 기계의 제 1 실시예의 일부의 개략적인 측면도.
도 2의 B는 도 2의 A에 도시된 장치에 의해 생성되는 이미지를 도시한 도면.
도 4는 도 1에 도시된 기계의 제 2 실시예의 일부의 개략적인 측면도.
도 5는 도 4에 도시된 본 발명에 따른 기계에 의해 생성된 이미지를 도시한 도면.
도 6은 도 1에 도시된 기계의 제 3 실시예의 일부의 개략적인 측면도.
도7은 도 6에 도시된 장치에 의해 생성되는 이미지를 도시한 도면.
도 8은 도 1에 도시된 기계의 제 4 실시예의 일부의 개략적인 측면도.
도 9는 도 8에 도시된 장치에 의해 생성되는 이미지를 도시한 도면.
도 10은 도 1에 도시된 기계의 제 5 실시예의 일부의 개략적인 측면도.
도 11은 도 10에 도시된 장치에 의해 만들어지는 이미지를 도시한 도면.
본 발명의 목적은 구성소자의 위치가 정확하고도 비교적 빨리 결정될 수 있는 기계를 제공하는데 있다.
이 목적은 광학 시스템이 적어도 하나의 마킹 요소를 포함하고, 동작 중에 마킹 요소와 구성소자가 이미지 생성 장치에 의해 만들어지는 하나의 이미지 내에 광학 시스템에 의해 동시에 디스플레이 될 수 있는 본 발명에 따른 기계에 의해 달성된다.
구성소자와 광학 시스템에 연결된 마킹 요소 모두가 이미지 내에서 볼 수 있고, 또한 광학 시스템에 상대적인 마킹 요소의 위치가 정확하게 알려지기 때문에, 광학 시스템에 상대적인 구성소자의 위치는 이미지가 만들어지는 시점에 상기 이미지로부터 정확하게 결정될 수 있다. 이 외에도, 만일 이미지가 만들어지는 시점에 배치 요소의 위치가 또한 알려지면, 배치요소에 상대적인 구성소자의 위치가 역시 결정될 수 있다.
이 밖에, 기판 상의 구성소자의 원하는 배치 지점이 결정되도록 하기 위해 기판 일부의 이미지가 이미지 생성 장치에 의해 생성되는 것이 가능하다.
일단 구성소자와 기판의 상대적인 위치들이 두 개의 이미지로부터 알려지면, 구성소자는 기판 위의 원하는 지점에 배치될 수 있다.
본 발명에 따른 기계의 실시예는, 상기 기계가 적어도 하나의 교정 마킹 요소를 포함하고, 상기 교정 마킹 요소가 제 2 초점 평면에 놓여지는데 반해 상기 마킹 요소는 제 1 초점 평면에 놓여지고, 상기 마킹 요소들이 이미지 생성 장치에 의해 만들어지는 하나의 이미지 내에 동작 중에 동시에 디스플레이 될 수 있다는 것을 특징으로 한다.
상기 이미지가 만들어 질 때, 교정 마킹 요소는 광학 시스템에 상대적인 사전에 결정된 위치에 놓여진다. 이것을 기반으로 해서 마킹 요소와 교정 마킹 요소간의 어떤 상호 위치가 이미지 내에서 기대된다. 만일 편차가 발생하면, 광학 시스템과 이미지 생성 장치는 검사되어야 하고, 이미지 내에 있는 교정 마킹 요소가 마킹 요소에 상대적인 기대 위치를 가질 때까지 수정되어야 한다. 구성소자가 기판 위에 배치될 때 설정된 편차를 고려하는 것도 선택적으로 가능하다.
본 발명에 따른 기계의 다른 실시예는, 배치 요소가 상기 배치 요소에 연결된 마킹 요소를 포함하고, 상기 마킹 요소가 이미지 생성 장치에 의해 만들어진 하나의 이미지 내에 구성소자와 함께 동작 중에 동시에 디스플레이 될 수 있다는데 특징이 있다.
상기 구성소자의 이미지가 이미지 생성 장치에 의해 만들어질 때, 배치 요소의 위치는 알려질 필요가 없다. 배치 요소와 연결된 마킹 요소 및 이미지 생성 장치는 상호 연결되어있기 때문에, 상기 배치 요소에 연결된 마킹 요소는 이미지 생성 장치에 상대적인 미리 정의되고 고정된 위치에 놓여지게 된다. 마킹 요소와 구성소자 및 배치요소에 연결된 마킹 요소가 이미지 내에 동시에 디스플레이 될 수 있는 이미지 생성 장치에 의해 만들어진 상기 이미지로부터, 광학 시스템에 상대적인 상기 구성소자의 위치와 배치 요소의 위치는 정확하게 결정될 수 있다. 이와 같은 방법으로 "고정된 세계"에 상대적인 구성소자의 위치와 배치 요소에 상대적인 구성소자의 위치 모두는 그리하여 결정될 수 있다.
본 발명에 따른 기계의 또 다른 실시예는, 상기 배치 요소에 연결된 마킹 요소가 동작 중에 구성소자가 있는 하나의 평면 내에 광학적으로 디스플레이 될 수 있는 것을 특징으로 한다.
이러한 방식에서 배치 요소에 연결된 마킹 요소는 물리적으로 구성소자가 놓여 있는 평면 내에 있지 않아서, 마킹 요소는 상기 구성소자가 기판 위에 배치될 때 기판과 충돌하지 않을 것이다. 마킹 요소가 실제로 이 평면 내에 광학적으로 디스플레이 될 수 있으므로, 구성소자와 마킹 요소 모두는 이미지 내에서 또렷하게 보여질 수 있을 것이다.
본 발명에 따른 기계의 또 다른 실시예는, 상기 이미지 생성 장치가 그 이미지 생성 장치에 연결된 마킹 요소를 포함하고, 상기 마킹 요소가 상기 광학 시스템에 연결된 마킹 요소와 함께 이미지 생성 장치에 의해 만들어지는 이미지 내에 동작 중에 동시에 디스플레이 될 수 있는 것을 특징으로 한다.
이미지 생성 장치에 연결된 마킹 요소는 상기 이미지 내에서 사전에 결정된 위치를 가질 것이다. 그러나 만일 약간의 편차가 발생하면, 이것은 상기 이미지 생성 장치가 적절하게 동작하지 않아 검사되어야 한다는 것을 나타내는 것이다.
본 발명은 또한 상기 기계를 이용하여 기판 위에 구성소자를 배치하는 방법에 관한 것으로, 이 방법으로 배치 요소에 상대적인 구성소자의 위치가 간단하면서도 비교적 빠른 방식으로 결정될 수 있다.
이 목적은 상기 구성소자뿐 아니라 광학 시스템에 연결된 마킹 요소가 상기 이미지 내에 디스플레이 되고, 그 이후에 상기 광학 시스템에 상대적인 구성소자의 위치가 상기 마킹 요소에 의해 결정되는 본 발명에 따른 방법으로 성취된다.
이렇게 하여 마킹 요소에 상대적이고 따라서 광학 시스템에 상대적인 구성소자의 위치는 상기 이미지로부터 정확하고 빠른 방식으로 결정될 수 있다.
본 발명에 따른 상기 방법의 실시예는, 추가적인 이미지가 상기 이미지 생성 장치에 의해 만들어지고, 상기 추가적인 이미지로부터 기판 위에서 구성소자의 원하는 위치가 결정되고, 그 이후에 상기 구성소자가 원하는 위치에 배치된다는 것을 특징으로 한다.
이미지 생성 장치에 상대적인 기판의 위치는 상기 추가적인 이미지로부터 결정된다. 기판에 상대적인 구성소자의 위치는 상기 두 개의 이미지들로부터 결정될 수 있고, 그 이후에 상기 구성소자는 배치 요소에 의해 기판상의 원하는 위치에 배치된다.
본 발명의 이들 관점 및 또 다른 관점은 이후에 기술되는 실시예를 참조함으로서 명백하고 명료해 질 것이다.
상기 도면에서 유사한 구성소자들은 유사한 참조 특성을 갖는다.
도 1은 본 발명에 따른 기계(1)를 도시하는데, 상기 기계는 프레임(2), 상기 프레임(2)에 의해 지지되는 운송 레일(3), 상기 운송 레일(3)의 측면에 위치한 광학 시스템(4) 및 상기 운송 레일(3) 위에서 이동 가능한 유니트(5)를 포함하고, 상기 광학 시스템(4), 이미지 생성 장치(6) 및 배치요소(7)는 이동 가능한 유니트(5)에 함께 연결되어 있다. 유니트(5)는 스라이드부(8)에 대하여 화살표 X로 지시되는 방향으로 및 반대편으로 이동될 수 있다. 스라이드부(8)는 U형 프레임(9)에 대하여 화살표 Y로 지시되는 방향으로 및 반대편으로 이동될 수 있다. U형 프레임(9)은 두 개의 지지대(10)를 통해 프레임(2) 위에 놓인다.
이제까지 기술된 기계는 본질적으로, 예를 들면 서문에서 언급된 국제 특허 출원 WO 97/22237로부터 공지되어 있다.
본 발명에 따른 상기 기계(1)의 광학 시스템(4)은 마킹 요소(11)를 갖는 마킹 플레이트(12)(도 2의 A, 4, 6, 10 참조)를 포함한다. 상기 마킹 플레이트(12)는 유리로 만들어지는 것이 바람직하며, 그 안에는, 예를 들면, 정방형 마킹 요소(11)가 제공된다.
마킹 플레이트(12)는 X, Y 평면과 평행으로 뻗쳐있다. 수직에 대해 45% 각도로 배열된 제 1 반사 요소(13)는 마킹 플레이트(12) 아래에 위치된다. 광학 시스템(4)은 역시 수직에 대해 45% 각도를 이루고, 제 2 반사 요소(14)를 더 포함한다. 렌즈(15)는 반사 요소(13, 14) 사이에 삽입된다.
도 2의 A에 도시된 바와 같이, 제 1 초점(f1)은 이미지 생성 장치(6)가 광학 시스템(4)에 상대적인, 도 2의 A에 도시된, 위치를 가질 때 마킹 플레이트(12)에 걸쳐 뻗어있는 제 1 초점 평면(V1)에 놓여있다. 렌즈(15)는 제 1 초점 평면(V1)과 평행으로 뻗쳐있는 초점 평면(V2)에 놓여있는 제 2 초점(f2)을 제공한다. 도 2의 A에 도시된 바와 같이, 구성소자(16)를 구비하고, 도시되는 이미지 생성 장치(6)의 위치를 갖는 배치 요소(7)는 제 2 초점 평면(V2)이 구성소자(16)에 걸쳐 뻗쳐있도록 상기 구성소자에 붙어있는 놓여진다.
만일 이미지가 이미지 생성 장치(6)에 의해 만들어지면, 내부에 마킹 요소(11)와 구성소자(16) 모두가 동시에 보여질 수 있는 도 2의 B에 도시된 이미지(17)가 얻어진다. 광학 시스템(4)에 상대적이고, 결과적으로 프레임(2)에 상대적인 마킹 요소(11)의 위치가 알려지기 때문에, 마킹 요소(11)에 상대적이고, 결과적으로 프레임(2)에 상대적인 구성소자(16)의 위치는 도 2의 B에 도시된 이미지로부터 결정될 수 있다. 유니트(5)는 구동 유니트(도시되지 않음)에 의해 구동되는데, 어떤 임의의 순간, 또한 이미지(17)가 만들어지는 순간에 프레임(2)의 실제 위치 및 이에 따라 상기 프레임에 상대적인 배치 요소(7)의 실제 위치는 상기 구동 유니트에 의해 형성된다. 이에 따라, 배치 요소(7)에 상대적인 구성소자(16)의 상관 위치는 프레임(2)에 상대적인 배치 요소(7)의 위치와 프레임(2)에 상대적인 구성소자(16)의 위치로부터 도출될 수 있다.
카메라(6)에 의해 운송 레일(3)에 의해 지지되는 기판(18)(도 1)에 대한 하나의 이미지가 역시 만들어질 수 있다. 그리하여 배치 요소(7)에 지지되는 구성소자(16)가 기판(18)상의 원하는 위치(19)에 배치될 수 있도록 유니트(5)는 어떤 방법으로 구동되어야 하는가가 상기 두 개의 이미지로부터 결정될 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 기계(1)의 두 번째 실시예를 도시하는데, 상기 기계는, 도 2의 A에 도시된 구성소자 부품들 이외에도, 교정 마킹 요소(21)를 갖는 교정 마킹 플레이트(20)를 포함한다. 교정 마킹 플레이트(20)는 유리로 만들어지는 것이 바람직하다. 교정 마킹 플레이트(20)는 지지 블럭(22)에 의해 광학 시스템(4) 위에 분리가 가능하도록 배치되며, 제 2 초점 평면(V2)은 교정 마킹 플레이트(20)에 걸쳐 뻗어 있다. 배치 요소(7)와 교정 마킹 플레이트(20) 간의 충돌을 피하기 위해, 배치 요소(7)는 화살표 Z로 지시되는 위 방향으로 이동된다.
만일 이미지가 이미지 생성 장치(6)에 의해 만들어지면, 마킹 요소(11)와 교정 마킹 요소(21)가 동시에 보여지는, 도 5에 도시된 이미지(23)가 얻어진다. 마킹 요소(11)와 교정 마킹 요소(21) 모두는 광학 시스템(4)과 프레임(2)에 상대적인 미리 결정된 위치를 가지므로, 이미지(23) 내에서 마킹 요소(11)와 교정 마킹 요소(21)의 기대 상관 위치와 실제 상관 위치 사이에 편차가 있을 경우에, 이미지 생성 장치(6) 및/또는 광학 시스템(4)이 최적으로 작동하지 않고, 따라서 체크되어야 한다는 것이 도출될 수 있을 것이다.
구성소자가 기판 위에 놓여질 때 대신에 상기 발견된 차이를 고려하는 것이 선택적으로 가능하다.
이에 따라, 제 1 초점 평면(V1)에 놓여 있는 제 1 초점(f1)과 제 2 초점 평면(V2)에 놓여 있는 제 2 초점(f2)의 상관 위치는 상기 교정 요소에 의해 결정되고 체크된다.
일단 교정 마킹 요소(21)와 마킹 요소(11)가 이미지(23) 내에서 상호 원하는 위치를 갖게되면, 블럭(22)과 상기 블럭(22)에 연결된 교정 마킹 플레이트(20)는 제거될 수 있다. 상기 교정은 사용자가 원하는 임의의 시점에 다시 시행될 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 기계(1)의 세 번째 실시예를 도시하는데, 상기 기계(1)는, 도 2의 A에 도시된 요소들 이외에, 배치 요소(7)에 평행으로 뻗쳐있는 두 개의 핀(24)을 포함하고, 상기 두 핀은 한쪽 끝에 유니트(5)에 연결되고 유니트(5)로부터 떨어져 있 단부는 제 2 초점 평면(V2)에 놓여있다.
이미지가 이미지 생성 장치(6)에 의해 만들어지면, 도 7에 도시된 이미지(25)가 얻어진다. 마킹 요소(11), 구성소자(16) 및 유니트(5)에 연결된 핀(24)은 이미지(25) 내에서 동시에 볼 수 있다. 이에 따라 마킹 요소(11)에 상대적이고 따라서 프레임(2)에 상대적인 구성소자(16)의 위치가 상기 이미지(25)로부터 도출될 수 있을 뿐 아니라, 그밖에 유니트(5) 및 연결된 배치 요소(7)의 위치도 마킹 요소(11)에 상대적인 핀(24)들의 위치로부터 도출될 수 있다. 이러한 방식으로 유니트(5)의 위치는 이미지가 만들어질 때 별도로 측정될 필요 없이, 이미지(25)로부터 직접 도출될 수 있다.
도 8은 본 발명에 따른 기계(1)의 네 번째 실시예를 도시하는데, 상기 기계는 핀(24)을 사용하는 대신에 렌즈(27)를 통해 마킹 요소(26')로 제 2 초점 평면(V2)에 디스플레이 되는 두 개의 마킹(26)으로 이루어진다는 점에서 도 6에 도시된 기계와는 그 자체가 차이가 있다. 이미지가 이미지 생성 장치(6)에 의해 만들어질 때, 도 9에 도시된 이미지(28)가 얻어지는데, 상기 이미지에는 마킹 요소(11), 구성소자(16) 및 가상 마킹 요소(26')들이 동시에 보여진다. 구성소자(16)의 위치와 유니트(5) 및 프레임(2)에 상대적인 연결된 배치 요소(7)의 위치 모두는 이 이미지(28)로부터 다시 도출될 수 있다. 도 8에 도시된 기계는, 구성소자(16)가 기판(18) 위에 배치될 때 마킹 요소(26)는 기판(18) 또는 상기 기판에 이미 배치되는 구성소자들과 충돌할 수 없다는 장점이 있다. 이러한 위험은 도 6에 도시된 핀(24)를 갖는 기계에서 발생한다. 만일 구성소자(16)가 기판 위에 배치될 때 구성소자(16)가 핀(24)에 상대적인 아래 방향으로 이동된다 하더라도 이러한 위험은 역시 피할 수 있을 것이다.
도 10은 본 발명에 따른 기계(1)의 또 다른 실시 예를 도시하는데, 상기 기계는, 도 6 또는 도 8에 나타난 구성소자들 이외에, 이미지 생성 장치(6)에 연결된 마킹 플레이트(29)를 포함하고, 상기 마킹 플레이트는 마킹 요소(30)를 포함한다. 마킹 플레이트(29)는 유리로 만들어지는 게 바람직하다. 이미지 생성 장치(6)에 의해 이미지가 만들어질 때, 도 11에 도시된 이미지(31)가 얻어지는데, 상기 이미지 내에는 마킹 요소(11), 구성소자(16), 마킹 요소(24, 26') 및 마킹 요소(30) 모두를 볼 수 있다. 프레임(2)에 상대적인 구성소자(16)의 위치와 프레임(2)에 상대적인 유니트(5)의 위치 모두는 이 이미지(31)로부터 체크될 수 있으며, 나아가 이미지 생성 장치(6)의 올바른 작동도 마킹 요소(30)와 마킹 요소(11)의 상관 위치로부터 도출될 수 있다. 이들 마킹 요소(11, 30)들은 서로 상대적인 미리 결정된 상관 위치를 가져야 한다. 만약 편차가 발생하면, 상기 편차는 이미지 생성 장치(6)에서의 편차를 가리키고 있어, 이후에 이미지 생성 장치(6)는 체크되어야 하거나 또는 유니트(5)가 구동될 때 고려되어야 한다는 것을 나타낸다.
선택적으로, 마킹 플레이트는 플라스틱 투명 물질로 제조될 수 있다.
하나의 렌즈(15) 대신에 다수의 렌즈들을 사용하는 것이 역시 가능할 것이다. 렌즈는 마킹 플레이트와 반사 요소 사이에 역시 위치될 수 있을 것이다. 반사 요소의 각도는 45% 보다 작거나 클 수 있을 것이다. 상기 각도는 서로 완전히 90%인 것이 바람직하다. 초점 평면(V1, V2)은 기판과 동일한 레벨에 있는 것이 바람직하다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 기판 위에 구성소자를 배치하는데 적합한 기계, 특히 이미지 생성 장치와 배치 요소 및 광학 시스템을 포함하는 기계를 이용하여 기판 위에 구성소자를 정확하고 효율적으로 배치하는데 이용된다.

Claims (10)

  1. 기판 위에 구성소자를 배치하는데 적합한 기계로서, 이미지 생성 장치, 상기 이미지 생성 장치에 연결된 배치 요소, 및 상기 이미지 생성 장치에 의해 상기 배치 요소로 지탱되는 상기 구성소자의 위치를 검출하기 위한 광학 시스템을 포함하는 기판 위에 구성소자를 배치하는데 적합한 기계에 있어서,
    상기 광학 시스템이 적어도 하나의 마킹 요소를 포함하고, 여기에서, 상기 마킹 요소와 상기 구성소자는 상기 이미지 생성 장치에 의해 만들어지는 하나의 이미지 내에서 상기 광학 시스템에 의해 동작 중에 동시에 디스플레이 되는 것을 특징으로 하는, 기판 위에 구성소자를 배치하는데 적합한 기계.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 기계는 적어도 하나의 교정 마킹 요소를 포함하고, 여기에서, 상기 교정 마킹 요소가 제 2 초점 평면에 놓여있는데 반해 상기 마킹 요소는 제 1 초점 평면에 놓여있고, 상기 마킹 요소들이 상기 이미지 생성 장치에 의해 만들어지는 하나의 이미지 내에서 동작 중에 동시에 디스플레이 될 수 있는 것을 특징으로 하는, 기판 위에 구성소자를 배치하는데 적합한 기계.
  3. 제 1항과 제 2항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 배치 요소는 자체에 연결된 마킹 요소를 포함하고, 상기 마킹 요소는 상기 이미지 생성 장치에 의해 만들어지는 하나의 이미지 내에서 상기 구성소자와 함께 동작 중에 동시에 디스플레이 될 수 있는 것을 특징으로 하는, 기판 위에 구성소자를 배치하는데 적합한 기계.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 배치 요소에 연결된 상기 마킹 요소는 동작 중에 내부에 구성소자가 있는 하나의 플레인 내에서 광학적으로 디스플레이 될 수 있는 것을 특징으로 하는, 기판 위에 구성소자를 배치하는데 적합한 기계.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 이미지 생성 장치는 자체에 연결된 마킹 요소를 포함하고, 상기 마킹 요소는 상기 이미지 생성 장치에 의해 만들어지는 하나의 이미지 내에서 상기 광학 시스템에 연결된 상기 마킹 요소와 함께 동작 중에 동시에 디스플레이 될 수 있는 것을 특징으로 하는, 기판 위에 구성소자를 배치하는데 적합한 기계.
  6. 기계에 의해 기판 위에 구성소자를 배치하는 방법으로서, 상기 구성소자는 상기 배치 요소에 의해 들여 올려진 다음에, 상기 배치 요소에 의해 들여 올려진 상기 구성소자에 대한 하나의 이미지가 이미지 생성 장치와 광학 시스템에 의해 만들어지고, 그 후 상기 구성소자가 기판에 배치되는, 기계에 의해 기판 위에 구성소자를 배치하는 방법에 있어서,
    상기 구성소자뿐 아니라 상기 광학 시스템에 연결된 마킹 요소가 상기 이미지 내에 디스플레이 된 다음에, 상기 광학 시스템에 상대적인 상기 구성소자의 위치가 상기 마킹 요소에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는, 기계에 의해 기판 위에 구성소자를 배치하는 방법.
  7. 제 6항에 있어서, 추가적인 이미지가 상기 이미지 생성 장치에 의해 만들어지고, 상기 기판 위에 상기 구성소자의 원하는 위치가 상기 추가적인 이미지로부터 결정되고, 그 다음에 상기 구성소자가 상기 원하는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는, 기계에 의해 기판 위에 구성소자를 배치하는 방법.
  8. 제 6항 또는 제 7항에 있어서, 상기 기계는 하나의 교정 마킹 요소를 포함하고, 상기 교정 마킹 요소가 제 2 초점 평면에 위치하는 반면에, 상기 마킹 요소는 제 1 초점 평면에 위치하고, 상기 마킹 요소들은 상기 이미지 생성 장치에 의해 만들어지는 하나의 이미지 내에 동작 중에 동시에 디스플레이 될 수 있는 것을 특징으로 하는, 기계에 의해 기판 위에 구성소자를 배치하는 방법.
  9. 제 6항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 배치 요소가 상기 배치 요소에 견고하게 연결된 마킹 요소를 포함하고, 상기 마킹 요소는 상기 이미지 생성 장치에 의해 만들어진 이미지 내에 상기 구성소자와 함께 동작 중에 동시에 디스플레이 될 수 있는 것을 특징으로 하는, 기계에 의해 기판 위에 구성소자를 배치하는 방법.
  10. 제 6항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 이미지 생성 장치는 자체에 연결된 마킹 요소를 포함하고, 상기 마킹 요소는 상기 이미지 생성 장치에 의해 만들어진 이미지 내에 상기 광학 시스템에 연결된 상기 마킹 요소와 함께 동작 중에 동시에 디스플레이 되는 것을 특징으로 하는, 기계에 의해 기판 위에 구성소자를 배치하는 방법.
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