KR200493396Y1 - 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 내부에 점성 액체를 수용할 있는 챔버가 구비되는 제1 몸체; 상기 챔버에 수용된 점성 액체를 토출 가능도록 상기 챔버와 연결되는 노즐; 상기 제1 몸체 상부에 구비되는 캡; 및 상기 제1 몸체와 캡 사이에 구비되어 상기 챔버의 용량을 확장하는 챔버 확장부;를 포함하는 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛을 제공한다.
Description
본 고안은 시린지에서 공급받은 점성 액체를 토출대상물을 향하여 토출하는 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이 또는 반도체 패키지 등과 같은 전자 기기의 제조공정에서는 부품의 상호 접착이나 유체 충진 등의 공정이 수행된다.
액정 디스플레이(Liquid Crystal Display : LCD), 유기발광 다이오드(Organic Light Eimitting Diode : OLED) 디스플레이 등과 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display : FPD)는 두 개의 평판을 합착하여 제조한다. 두 개의 평판 합착을 위하여 페이스트(Paste) 또는 실런트(Sealant) 등과 같은 점성 액체를 디스펜서를 이용하여 어느 하나의 평판에 디스펜싱한다.
한편, 반도체 패키지 제조시 다이 본딩 공정에서 에폭시(Epoxy)를 디스펜서를 통해 디스펜싱한다. 디스펜서를 이용하여 점성 액체를 디스펜싱하는 경우, 점성 액체를 보관하는 시린지를 디스펜서에 장착하여 사용한다. 디스펜서에 충전된 점성 액체가 완전히 소모되거나 소모되기 전에 새로운 시린지로 교체하는 것이 요구된다.
점성 액체를 보관하는 시린지의 교체는 작업자에 의한 수동 작업으로 이루어지거나 일부 자동화된 시린지 교체 시스템을 통해 이루어질 수 있다. 점성 액체를 보관하는 시린지의 교체는 작업자에 의한 수동 작업으로 이루어지거나 일부 자동화된 시린지 교체 시스템을 통해 이루어질 수 있다.
일예로서, 본 출원인이 출원한 대한민국 공개특허공보 제10-2011-0066713호(2011.06.17. 공개)는 시린지를 자동으로 교체하는 시린지 교체시스템 및 이를 구비하는 페이스트 디스펜서를 개시한다.
그러나 수동 작업을 통해 시린지를 교체하는 경우에는 작업자가 직접 관여하여야 하므로 불편하고 교체 시간이 많이 소요되는 문제가 있다. 또한, 시린지의 자동 교체의 경우에도 시린지를 인식하고 시린지를 디스펜서의 헤드 유닛으로부터 탈착하고 장착하는 과정이 정확하게 이루어지지 않는 문제점이 있을 수 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위해 본 출원인은 대한민국 공개특허공보 제10-2017-0134088호(2017.12.06. 공개) "시린지 유닛 교체 장치 및 방법과 이를 구비한 점성 액체 디스펜서"를 출원한 바 있다. 상기 공개특허공보에 따르면, 시린지 보관대에 보관된 시린지를 시린지 유닛 교체 장치를 이용하여 교체하는 구성을 개시한다.
그런데 특허문헌 1에서는 시린지가 삽입되는 시린지 고정부가 디스펜서의 헤드유닛에 직접 고정된 상태에서 시린지 자체를 교체하는 구성이므로, 시린지를 토출하는 노즐을 변경해야 하거나 시린지 고정부 등의 세정이 필요한 경우에 작업을 중단하여야 하는 문제점이 있었다.
본 고안은 이러한 문제점을 해결하여 작업 지연 없이 보다 정밀한 토출 제어가 가능한 시린지 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 고안은 시린지 유닛의 챔버 용량을 확장하여 필요에 따라 한번에 토출 가능한 용량을 증가시켜 점성액체를 토출시키는 것이 가능한 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛을 제공하고자 한다.
전술한 목적을 이루기 위해 본 고안은, 내부에 점성 액체를 수용할 있는 챔버가 구비되는 제1 몸체; 상기 챔버에 수용된 점성 액체를 토출 가능도록 상기 챔버와 연결되는 노즐; 상기 제1 몸체 상부에 구비되는 캡; 및 상기 제1 몸체와 캡 사이에 구비되어 상기 챔버의 용량을 확장하는 챔버 확장부; 를 포함하는 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛을 제공한다.
또한, 상기 챔버 확장부는 내부에 상기 챔버에 부합하고 점성 액체를 수용할 수 있는 수용실이 구비될 수 있다.
또한, 상기 수용실은 상기 챔버에 더하여 점성 액체의 수용 용적을 확장하며, 위 아래가 뚫린 관통 구조일 수 있다.
또한, 상기 챔버 확장부의 외측에 시린지 장착부 몸체가 결합되고 상기 시린지 장착부 몸체에는 점성 액체가 충전된 시린지가 결합되는 시린지 장착부가 구비될 수 있다.
또한, 상기 시린지의 점성 액체는 상기 챔버에서 수용실로 채워질 수 있다.
또한, 상기 몸체와 결합되는 제2 몸체를 더 포함하고, 상기 제2 몸체에 상기 제1 몸체보다 작은 면적으로 형성되고 점성 액체를 토출대상물에 토출하는 상기 노즐이 구비될 수 있다.
또한, 상기 캡에 수위감지 윈도우가 구비될 수 있다.
또한, 상기 수위감지 윈도우의 상부에 챔버의 점성 액체 수위를 감지하는 수위감지 센서가 구비될 수 있다.
또한, 상기 캡의 일측 단부에 상기 챔버와 연통되며 상기 챔버로 공압을 공급하는 제1 피팅부가 구비될 수 있다.
또한, 상기 제1 몸체와 제2 몸체에 상기 시린지와 연통되는 제2 피팅부와 상기 챔버와 연통되는 제3 피팅부가 구비되고 상기 제2 피팅부와 제3 피팅부는 피팅배관라인에 의해 연결될 수 있다.
또한, 상기 제2 몸체의 내부에 다이아프램이 구비되며 상기 다이아프램은 상기 챔버와 제3 피팅부를 연결하는 연결 유로를 개폐할 수 있다.
또한, 상기 다이아프램은 밸브 작동핀의 가압에 의해 상기 연결 유로를 차단하고, 상기 밸브 작동핀은 핀 액추에이터의 가압 작동에 의해 다이아프램을 가압할 수 있다.
또한, 상기 제2 몸체에 제1 그립퍼 지지부 및 제2 그립퍼 지지부가 구비될 수 있다.
또한, 상기 시린지 유닛의 교체시 상기 제1 그립퍼 지지부 및 제2 그립퍼 지지부는 시린지 유닛 교체 장치의 제1, 2 그립퍼의 서로 마주보는 면에 구비되는 삽입홈에 삽입된 상태로 상기 제1 그립퍼와 제2 그립퍼에 파지될 수 있다.
또한, 상기 제1 그립퍼 지지부 및 제2 그립퍼 지지부는 상기 제2 몸체의 일측면에서 돌출되는 한 쌍의 봉 형태일 수 있다.
또한, 상기 제1 그립퍼 지지부의 반대편 상기 제1 몸체 부위에 고정장치에 결합되는 돌출 봉 형태의 접속부가 구비될 수 있다.
본 고안에 따르면, 시린지에 저장된 점성 액체를 챔버로 공급하고 챔버에 저장된 점성 액체를 토출함으로써 보다 정밀한 토출 제어가 가능하다는 장점이 있다.
또한, 본 고안에 따르면, 시린지 유닛에 탈착 가능한 챔버 확장부 구비함으로써 시린지 유닛의 챔버 용량을 확장할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 고안은 시린지 유닛의 구조 변경 없이 캡과 제1 몸체 사이에 챔버 확장부를 장착하는 것만으로 챔버의 용량을 확장할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 시린지 유닛과 시린지 유닛 교체 장치를 포함하는 점성 액체 디스펜서를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 챔버 확장부를 포함하는 시린지 유닛 사시도이다.
도 3은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서 챔버 확장부의 장착 과정을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서 챔버 확장부의 장착 전, 후를 나타내는 측면도이다.
도 5는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 토출부를 나타내는 정면 사시도이다.
도 6은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 토출부를 나타내는 배면 사시도이다.
도 7은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 토출부를 나타내는 사시도이다.
도 8은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서, 점성 액체의 공급 경로에 다이아프램 밸브 구조를 장착한 상태를 나타내는 도면이다.
도 9는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서 다이아프램 밸브 구조에 의해 점성 액체의 이동이 차단된 상태를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서 핀 액추에이터의 후퇴 상태를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서 다이아프램을 가압하던 밸브 작동핀이 핀 액추에이터가 후퇴한 만큼 다이아프램에서 떨어짐에 따라 연결 유로가 개방되어 점성 액체가 챔버로 공급되는 과정을 나타내는 도면이다.
도 12는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛 교체 장치에 의한 시린지 유닛의 분리 과정을 나타내는 도면이다.
도 13은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 접속부가 헤드유닛에 결합되기 전 상태를 나타내는 도면이다.
도 14는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 접속부가 헤드유닛의 플레이트에 진입한 상태를 나타내는 도면이다.
도 15는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 접속부가 헤드유닛의 척의 물림부에 위치한 상태를 나타내는 도면이다.
도 16은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 접속부가 헤드유닛의 척의 물림부에 물린 상태를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 챔버 확장부를 포함하는 시린지 유닛 사시도이다.
도 3은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서 챔버 확장부의 장착 과정을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서 챔버 확장부의 장착 전, 후를 나타내는 측면도이다.
도 5는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 토출부를 나타내는 정면 사시도이다.
도 6은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 토출부를 나타내는 배면 사시도이다.
도 7은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 토출부를 나타내는 사시도이다.
도 8은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서, 점성 액체의 공급 경로에 다이아프램 밸브 구조를 장착한 상태를 나타내는 도면이다.
도 9는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서 다이아프램 밸브 구조에 의해 점성 액체의 이동이 차단된 상태를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서 핀 액추에이터의 후퇴 상태를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서 다이아프램을 가압하던 밸브 작동핀이 핀 액추에이터가 후퇴한 만큼 다이아프램에서 떨어짐에 따라 연결 유로가 개방되어 점성 액체가 챔버로 공급되는 과정을 나타내는 도면이다.
도 12는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛 교체 장치에 의한 시린지 유닛의 분리 과정을 나타내는 도면이다.
도 13은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 접속부가 헤드유닛에 결합되기 전 상태를 나타내는 도면이다.
도 14는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 접속부가 헤드유닛의 플레이트에 진입한 상태를 나타내는 도면이다.
도 15는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 접속부가 헤드유닛의 척의 물림부에 위치한 상태를 나타내는 도면이다.
도 16은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 접속부가 헤드유닛의 척의 물림부에 물린 상태를 나타내는 도면이다.
이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 이하에서 본 고안의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 고안의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.
본 고안의 설명에 앞서 기술의 이해를 돕기 위해 종래 시린지 유닛과 시린지 유닛 교체 장치의 메커니즘에 대해 설명한다.
도 1은 시린지 유닛과 시린지 유닛 교체 장치를 포함하는 점성 액체 디스펜서를 나타내는 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이 점성 액체 디스펜서(10)는, 프레임(20)과, 프레임(20) 상에 설치되고 점성 액체가 디스펜싱될 기판 등의 대상체가 탑재되는 스테이지(50)와, 스테이지(50)의 상부를 가로질러 설치되는 헤드 지지대(30)와, 상기 헤드 지지대(30)를 따라 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 헤드유닛(40)과, 상기 헤드유닛(40)에 장착되며 점성 액체를 보관 토출하는 시린지 유닛(300)과, 상기 시린지 유닛(300)의 교체를 수행하는 시린지 유닛 교체 장치(100)를 포함한다. 일예로서 상기 헤드 지지대(30)는 Y축 방향으로 구동될 수 있다.
또한, 상기 프레임(20)의 일측에는 로봇 가이드 레일(60)이 구비되고, 상기 시린지 유닛 교체 장치(100)는 로봇 가이드 레일(60)을 따라 이동 가능하게 설치될 수 있다. 또한, 교체 전후의 시린지 유닛(300)을 보관하는 시린지 유닛 보관대(200)가 시린지 유닛 교체 장치(100)의 접근 가능한 위치에 구비될 수 있다.
시린지 유닛(300)의 교체는 특정 헤드유닛(40)에 장착된 시린지 유닛(300)에 저장된 점성 액체의 양, 구체적으로는 후술하는 시린지 유닛(300)의 시린지(310)에 저장된 점성 액체의 양이 소정값 이하로 감소한 경우에 이루어질 수 있다. 또는, 토출할 점성 액체의 종류가 변경되는 경우에 시린지 유닛(300)의 교체가 이루어질 수 있다.
일 실시예에 있어서, 시린지 유닛(300)의 교체가 필요한 헤드유닛(40)은 헤드 지지대(30)의 일측으로 이동되고, 시린지 유닛 교체 장치(100)로 시린지 유닛(300)의 교체를 수행할 수 있다. 한편, 교체되지 않는 다른 헤드유닛(40)은 계속하여 스테이지(50)에 로딩된 기판에 점성 액체를 토출하는 것도 가능할 수 있다. 도 1에서는 헤드 지지대(30)의 좌측에 위치한 2개의 헤드유닛(40)에 대하여 시린지 유닛(300)의 교체를 수행하고, 나머지 헤드유닛(40)을 이용하여 점성 액체를 토출하는 것을 예시적으로 나타내었다.
본 고안에 따른 시린지 유닛의 상세한 구성을 설명하기 전에 도 5를 참조하여 본 고안에 따른 시린지 유닛의 기본적인 구성과 작동을 설명하면, 시린지(310)에 저장된 점성 액체는 토출부(320) 내부에 형성되는 챔버(340)로 전달되어 일시 저장되고, 챔버(340)에 일시 저장된 점성 액체는 노즐(344)을 통해 토출된다.
본 고안에 따른 시린지 유닛은 도 5에 도시된 구성을 기본으로 하여 시린지(310)에 저장된 점성 액체를 토출부(320)의 챔버(340)를 거쳐 노즐(344)을 통해 토출하도록 구성되되, 챔버 확장부(360)를 추가로 구비하여 챔버(340)의 수용 공간을 증가시킬 수 있는 것을 일 특징으로 한다.
도 2는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 챔버 확장부를 포함하는 시린지 유닛의 사시도이고, 도 3은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서 챔버 확장부의 장착 과정을 나타내는 도면이다. 또한, 도 4는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서 챔버 확장부의 장착 전, 후를 나타내는 측면도이다.
도 2를 참조하면, 본 고안에 있어서, 시린지 유닛(300)은 시린지(310) 및 토출부(320)를 포함한다. 시린지 유닛(300)은 시린지 유닛 교체 장치(100)에 의해 교체될 수 있다.
토출부(320)는 노즐홀더(321) 및 캡(322)을 포함한다. 노즐홀더(321)는 제1 몸체(321a) 및 제2 몸체(321b)를 포함한다.
본 고안에서 챔버 확장부(360)는 캡(322)과 제1 몸체(321a) 사이에 결합된다. 캡(322)과 제1 몸체(321a) 사이에 챔버 확장부(360)를 결합함으로써 챔버(340, 도 4 참조)의 제1 몸체(321a) 사이에 챔버 확장부(360)가 위치하도록 결합한다. 일 실시예에 있어서, 챔버 확장부(360)가 다른 부재와 결합하는 결합 부위에는 밀봉을 위해 오링(O-ring) 등과 같은 씰링(Sealing)부재가 구비될 수 있다.
챔버 확장부(360) 내부에는 수용실(361)이 마련된다. 수용실(361)은 챔버 확장부(360)를 캡(322)과 제1 몸체(321a) 사이에 결합시 챔버(340)와 연결되어 점성 액체를 수용할 수 있는 확장된 수용공간을 제공할 수 있다. 일예로서 수용실(361)은 상하가 챔버(340)에 부합하도록 상하가 관통된 공간일 수 있다.
챔버 확장부(360)를 캡(322)과 제1 몸체(321a) 사이에 결합시, 제1 몸체(321a)에 결합되어 있던 시린지 장착부(321c)를 포함하는 시린지 장착부 몸체(321g)는 제1 몸체(321a)에서 분리된 후 챔버 확장부(360)에 결합될 수 있다.
시린지(310)가 시린지 장착부(321c)에 결합된 상태에서 시린지(310)의 점성 액체는 피팅배관라인(334)에 의해 챔버(340)로 공급된다. 이후 점성 액체는 챔버(340)와 챔버 상부의 수용실(361)에 채워진다.
이와 같이 본 고안의 시린지 유닛(300)은 챔버(340)의 공간 확장된 수용실(361)의 공간만큼 더 많은 양의 점성 액체를 더 수용할 수 있다.
일 실시예에서, 수용실(361)은 챔버(340)보다 더 큰 공간으로 형성되는 것이 바람직하다. 이를 위해 챔버 확장부(360)의 높이는 제1 몸체(321a)의 높이보다 크게 형성될 수 있다.
챔버 확장부(360)의 외형에는 제한이 없으나 챔버 확장부(360)의 외형은 제1 몸체(321a)에 부합하는 외형으로 형성하는 것이 바람직하다. 예컨대 챔버 확장부(360)는 중공형의 기둥 형태로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 챔버 확장부(360) 내부에 구비되는 수용실(361)은 상하가 모두 뚫려 있는 관로(duct) 형태일 수 있다.
챔버 확장부(360)를 제1 몸체(321a)에 결합하였을 때 챔버(340)와 더불어 수용실(361)만큼 점성 액체의 수용 용량이 배가되어 종래보다 더 많은 양의 점성 액체를 수용할 수 있다.
점성 액체를 기판 등의 상부에 토출할 때, 한번의 토출 세션에서는 시린지(310)로부터 챔버(340)로 점성 액체를 공급한 후 추가 공급없이 토출이 마무리되는 것이 바람직할 수 있다. 그런데, 한번의 토출 세션을 위한 점성 액체의 총량이 챔버(340)에 저장할 수 있는 양을 초과하는 경우에는 사전에 챔버 확장부(360)를 시린지 유닛(300)에 장착하여 점성 액체의 저장 용량을 크게 하는 것이 필요하다.
즉, 본 고안에 따르면 시린지(310)로부터 공급되는 점성 액체를 일시 저장하는 챔버(340)의 부피를 가변시킬 수 있음에 따라 보다 효율적으로 점성 액체의 토출 작업을 조절할 수 있는 장점이 있다.
다음으로 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 챔버 확장부의 장착 과정을 도 3을 참조하여 설명한다.
도 3의 (a)는 챔버 확장부(360)를 결합하기 전 상태로 캡(322)이 제1 몸체(321a)의 상부에 결합된 상태이다. 일예로서 캡(322)과 제1 몸체(321a)는 볼트에 의해 결합될 수 있다.
캡(322)이 제1 몸체(321a)에 결합된 상태에서 챔버(340)의 용량을 확장하고자 할 경우 도 3의 (b)와 같이 챔버(340)의 제1 몸체(321a)에 결합되어 있던 캡(322)을 분리한다.
도 3의 (c)와 같이 제1 몸체(321a)에 결합되어 있던 시린지 장착부 몸체(321g)도 분리한다. 일예로서 시린지 장착부 몸체(321g)와 제1 몸체(321a)는 볼트에 의해 결합될 수 있다.
도 3의 (d)와 같이 제1 몸체(321a)에서 캡(322)과 시린지 장착부 몸체(321g)를 분리한 다음 캡(322)과 제1 몸체(321a) 사이에 챔버 확장부(360)를 위치시킨다.
도 3의 (e)와 같이 챔버 확장부(360)의 상면은 캡(322) 저면과 밀착되도록 결합하고, 챔버 확장부(360)의 저면은 제1 몸체(321a)의 상면에 밀착되도록 결합한다. 일예로서 챔버 확장부(360)와 캡(322) 및 제1 몸체(321a)의 결합은 볼트 등과 같은 결합부재에 의해 이루어질 수 있다.
제1 몸체(321a) 결합되어 있던 시린지 장착부 몸체(321g)는 챔버 확장부(360)에 결합한다. 일예로서 제1 몸체(321a)와 챔버 확장부(360)의 결합은 볼트 등과 같은 결합부재에 의해 이루어질 수 있다.
도면에는 상세히 도시하지 않았으나 시린지(310) 내부의 점성 액체가 챔버(340)로 이동할 수 있도록 시린지 장착부 몸체(321g)와 챔버(340)는 별도의 유로에 의해 연결될 수 있다.
본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 챔버 확장부의 장착 전, 후를 도 4를 참조하여 설명한다.
도 4의 (a)는 챔버 확장부(360)를 결합하기 전 상태로서 제1 몸체(321a) 상면에 캡(322)이 결합된 상태이다. 시린지 장착부 몸체(321g)는 제1 몸체(321a) 외측에 결합되어 있다.
도 4의 (b)는 챔버 확장부(360)를 캡(322)과 제1 몸체(321a) 사이에 결합된 상태이다. 챔버 확장부(360)를 캡(322)과 제1 몸체(321a) 사이에 결합된 상태에서 챔버 확장부(360) 내부의 수용실(361)과 제1 몸체(321a) 내부의 챔버(340)는 일치한다.
도 4의 (b)를 통해 점성 액체의 수용 용량이 챔버(340)에 더하여 수용실(361) 만큼 증가된 것을 확인할 수 있다.
도 5는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 토출부를 나타내는 정면 사시도이고, 도 6은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 토출부를 나타내는 배면 사시도이다. 도 7은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 토출부를 나타내는 사시도이다.
도 5와 도 6에서는 챔버 확장부(360)를 추가 장착하지 않은 상태를 나타내고 도 7은 챔버 확장부(360)를 추가 장착한 상태를 나타낸다. 도 5와 도 6의 실시예와, 도 7의 실시예는 챔버 확장부(360)의 구비 여부에 있어서만 차이가 있고 점성 액체의 충전 및 토출 제어는 동일하게 이루어진다.
토출부(320)는 노즐홀더(321) 및 캡(322)을 포함한다. 노즐홀더(321)는 제1 몸체(321a) 및 제2 몸체(321b)를 포함한다. 챔버 확장부(360)를 토출부(320)에 장착하는 경우에는, 캡(322)과 제1 몸체(321a) 사이에 챔버 확장부(360)를 결합시키고 챔버 확장부(360)의 외측에 시린지 장착부 몸체(321g)가 결합된다.
시린지 장착부 몸체(321g)에 시린지 장착부(321c)가 구비된다. 시린지 장착부(321c)에 시린지(310) 하부가 대응 결합된다.
제1 몸체(321a)의 내부에는 시린지(310)에서 공급되는 점성 액체가 저장되는 챔버(340)가 구비된다.
챔버(340)는 시린지(310)의 용적보다 작은 용적으로 형성되는 것이 바람직하다. 일예로서, 챔버(340)의 용적은 시린지(310) 용적의 1/5 ~ 1/20일 수 있다. 챔버(340) 내부의 점성 액체 충전량이 설정 수위보다 떨어지면 시린지(310)에 저장되어 있던 점성 액체가 챔버(340)로 공급될 수 있다.
챔버(340)는 시린지(310)보다 작은 용적을 갖기 때문에 점성 액체의 토출을 미세하고 정밀하게 제어할 수 있다. 즉, 챔버(340)에 공압이 공급되어 챔버(340)로부터 노즐(344)로의 점성 액체 공급이 제어되는데, 챔버(340)의 용적이 작기 때문에 공압 제어를 보다 미세하게 할 수 있는 장점이 있다.
제2 몸체(321b)는 제1 몸체(321a)의 하방으로 연장 형성될 수 있다. 제1 몸체(321a)는 제1 몸체(321a)의 단면적보다 작은 단면적을 갖도록 형성될 수 있다.
제2 몸체(321b)의 저면 단부에는 노즐(344)이 구비된다. 노즐(344)은 챔버(340) 하단에 위치하여 챔버(340)로부터 점성 액체를 전달받거나, 또는 별도 유로를 통해 챔버(340)로부터 점성 액체를 전달받을 수 있다.
제1 몸체(321a)의 정면에는 제1 그립퍼 지지부(324) 및 제2 그립퍼 지지부(326)가 구비된다. 제1 그립퍼 지지부(324) 및 제2 그립퍼 지지부(326)는 쌍을 이루도록 배치될 수 있다. 제1 그립퍼 지지부(324) 및 제2 그립퍼 지지부(326)는 제1 몸체(321a)의 일면에서 시린지 유닛 교체 장치(100)를 향하여 돌출되도록 형성될 수 있다.
도 5와 도 6에서는 제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)가 상하로 배치되는 것으로 도시되었으나, 본 고안의 실시에 있어서 제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)는 좌우로 배치될 수 있다. 제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)가 좌우로 배치되는 경우, 제1 몸체(321a)의 좌우 폭은 도 5와 도 6에 도시된 것보다 더 크게 형성될 수 있다.
캡(322)에는 챔버(340)에 충전된 점성 액체 수위를 감지하는 수위감지 윈도우(342)가 구비될 수 있다. 수위감지 윈도우(342)는 투명한 창으로 구비되고, 수위감지 윈도우(342)의 상부에 광을 이용한 수위감지 센서(미도시)가 구비될 수 있다.
상기 수위감지 센서는 레이저 거리 센서일 수 있으며, 상기 수위감지 윈도우(342)를 통해 광을 조사하고 수신함으로써 챔버(340)의 점성 액체 수위를 센싱할 수 있다.
캡(322)의 일측 단부에는 챔버(340)와 연통되는 제1 피팅부(331)가 구비될 수 있다. 제1 피팅부(331)를 통해 챔버(340) 내부로 공압을 공급할 수 있다. 시린지(310)의 점성 액체는 챔버(340) 내부로 전달되는데, 제1 피팅부(331)를 통해 챔버 내부로 공압을 공급함으로써 챔버(340) 내부에 저장된 점성 액체를 노즐(344)로 토출하거나 토출을 중지할 수 있다. 즉, 챔버(340) 내부에 양압이 공급되면 챔버(340)의 점성 액체는 노즐(344)을 통해 토출되고, 챔버(340) 내부에 음압이 공급되면 노즐(344)로의 점성 액체 공급이 중단된다.
제1 몸체(321a)의 일면에는 제2 피팅부(332)가 구비될 수 있다. 제2 피팅부(332)는 제1 몸체(321a)의 시린지 장착부(321c)에 결합되는 시린지(310)와 연통된다.
제2 몸체(321b)의 일면에는 제3 피팅부(333)가 구비될 수 있다. 제2 피팅부(332)와 제3 피팅부(333)는 피팅배관라인(334)에 의해 연결된다. 피팅배관라인(334)은 점성 액체가 흐르는 유로를 제공한다. 시린지(310) 내부의 점성 액체는 피팅배관라인(334)을 따라 챔버(340)로 공급될 수 있다. 챔버(340)에 공급된 점성 액체는 챔버(340)에 가득 채워진 다음 수용실(361)에 채워진다.
제3 피팅부(333)는 제1 몸체(321a) 내부에 구비되는 챔버(340)와 연통된다. 제3 피팅부(333)는 제2 피팅부(332)와 제1 그립퍼 지지부(324) 사이에 위치할 수 있다.
시린지(310)의 내부의 점성 액체는 도 7에 도시된 화살표와 같은 점성 액체 이동경로(f)를 따라 이동한다. 구체적으로 시린지(310)의 내부의 점성 액체는 제2 피팅부(332), 피팅배관라인(334) 및 제3 피팅부(333)를 거쳐 챔버(340)로 이동한다. 점성 액체가 챔버(340)에 가득 채워지면 점성 액체는 수용실(361)로 이동한다.
제1 몸체(321a)의 배면에는 접속부(328)가 구비된다. 접속부(328)는 봉 형태로 구성될 수 있다.
접속부(328)의 외주면에는 홈(328a)이 형성될 수 있다. 접속부(328)는 고정장치(500)와 결합시 고정장치(500)의 척(510)에 구비되는 복수의 조오(jaw) 등과 같은 물림부가 홈(328a)에 삽입되어 견고한 결합 상태가 이루어질 수 있다.
접속부(328)가 구비되는 제1 몸체(321a)의 배면에는 고정홀(321e)과 핀홀(321f)이 구비된다. 일예로서, 고정홀(321e)과 핀홀(321f)은 접속부(328) 위쪽에 위치하고, 핀홀(321f)은 고정홀(321e) 아래에 위치할 수 있다. 핀홀(321f)은 복수로 구성될 수 있다.
다음은 점성 액체가 챔버 및 수용실에 충전되는 과정에 대해 간략하게 설명한다.
도 7을 참조하면, 대용량의 시린지(310) 내의 점성 유체를 챔버(340) 내부로 옮겨 소량 토출 제어가 가능하도록 한다. 시린지(310)에 저장되는 점성 액체는 두 장의 기판이 합착되어 형성된 평판 디스플레이 패널을 합착하기 위한 페이스트(실런트) 또는 다이본딩 공정을 위한 에폭시 등일 수 있다.
챔버(340)에 점성 액체를 충전하기 위해서 시린지(310) 내부로 공압을 공급한다. 시린지(310) 내부로 공압이 공급됨에 따라 시린지(310) 내부의 점성 액체는 시린지(310)와 챔버(340)를 연결하는 제2 피팅부(332), 피팅배관라인(334), 제3 피팅부(333) 등과 같은 유로를 거쳐 챔버(340)로 충전된다. 점성 액체는 챔버(340)에서 수용실(361)로 채워진다.
일예로서, 점성 액체 이동경로(f)에 점성 액체의 흐름을 제어할 수 있는 밸브가 구비될 수 있다.
다음은 점성 액체 토출 과정에 대해 간략하게 설명한다.
챔버(340) 및 수용실(361)에 점성 액체가 충전된 상태에서 제1 피팅부(331)에 공압을 공급한다. 수용실(361)과 연통하는 제1 피팅부(331) 내부로 공압이 공급됨에 따라 수용실(361) 및 챔버(340)에 충전된 점성 액체는 챔버(340)와 노즐(344)을 연결하는 유로(357)를 거쳐 노즐(344)을 통해 토출대상물(400)에 토출된다.
다음은 시린지의 점성 액체가 챔버로 공급되는 과정을 설명한다. 다음의 설명에서는 점성 액체 이동경로(f)에 점성 액체의 흐름을 제어하기 위하여 다이아프램 밸브 구조를 적용한 실시예를 설명한다. 다만, 본 발명의 실시에 있어서 점성 액체 이동경로(f)의 점성 액체의 흐름을 제어하기 위한 밸브 구조는 다이아프램 밸브 구조 이외의 다른 구성도 사용할 수 있음은 물론이다.
도 8은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서, 점성 액체의 공급 경로에 다이아프램 밸브 구조를 장착한 상태를 나타내는 도면이다.
도 8(a)는 핀 액추에이터(352)가 밸브 작동핀(351)을 가압하고 있는 상태를 나타낸다. 도 8(b)는 다이아프램(354)이 밸브 작동핀(351)과 함께 제2 몸체(321b) 내부에 장착된 상태를 나타내는 도면이다.
도 9는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서 다이아프램 밸브 구조에 의해 점성 액체의 이동이 차단된 상태를 나타내는 도면이다.
도 9에 도시된 바와 같이, 핀 액추에이터(352)가 밸브 작동핀(351)을 가압하고, 밸브 작동핀(351)은 다이아프램(354)을 가압하여 챔버(340)와 연결되는 연결 유로(355)를 차단한다. 이로 인해 시린지(310)의 점성 액체를 챔버(340)로 공급할 수 없다.
도 10은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서 다이아프램 밸브 구조의 핀 액추에이터가 후퇴한 상태를 나타내는 도면이다.
도 10에 도시된 바와 같이, 연결 유로(355)의 개방을 위해 밸브 작동핀(351)을 가압하고 있던 핀 액추에이터(352)를 후퇴시켜 밸브 작동핀(351)의 가압 상태를 해제한다. 밸브 작동핀(351)의 가압 해제 상태에서 핀 액추에이터(352)는 밸브 작동핀(351)으로부터 일정 간격 떨어진다.
도 11은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛에 있어서 다이아프램을 가압하던 밸브 작동핀이 핀 액추에이터가 후퇴한 만큼 다이아프램에서 떨어짐에 따라 연결 유로가 개방되어 점성 액체가 챔버로 공급되는 과정을 나타내는 도면이다.
도 11에 도시된 바와 같이 챔버(340)에 점성 액체를 충진하기 위해서 시린지(310) 내부로 공압을 공급한다. 시린지(310) 내부로 공압이 공급됨에 따라 시린지(310) 내부의 점성 액체는 시린지(310)와 챔버(340)를 연결하는 제2 피팅부(332), 피팅배관라인(334), 제3 피팅부(333) 등과 같은 유로를 따라 이동한다.
핀 액추에이터(352)의 후퇴에 따라 밸브 작동핀(351)의 다이아프램(354) 가압 상태가 해제된다. 이 상태에서 도 11의 화살표와 같이 연결 유로(355)를 막고 있던 다이아프램(354)은 제3 피팅부(333)를 통해 공급된 점성 액체에 의해 밀리면서 연결 유로(355)의 차단 상태가 자연스럽게 해제된다. 이로 인해 점성 액체는 연결 유로(355)를 따라 연결 유로(355)와 연결된 챔버(340)로 공급된다.
한편, 시린지(310)의 점성 액체를 챔버(340)로 공급하기 위해 시린지(310)에 공압을 가한다. 시린지(310)에 공압을 가하면 시린지(310)의 점성 액체가 제2 피팅부(332)와 피팅배관라인(334), 제3 피팅부(333)를 통해 제3 피팅부(333)와 챔버(340)를 연결하는 연결 유로(355)를 따라 챔버(340)로 공급된다.
다음은 시린지 유닛 교체 장치에 의한 시린지 유닛의 분리 과정을 설명한다.
도 12는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛 교체 장치에 의한 시린지 유닛의 분리 과정을 나타내는 도면이다.
도 12와 같이 점성 액체 디스펜서(10)에 있어서 헤드유닛(40)에 결합되는 시린지 유닛(300)의 교체는 시린지 교체장치(100)에 의해 이루어질 수 있다.
도 12 (a)와 같이 시린지 유닛 교체 장치(100)의 제1, 2 그립퍼(101, 102)로 시린지 유닛(300)의 제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)를 동시에 파지한다.
도 12 (b)와 같이 제1, 2 그립퍼(101, 102)를 당겨 헤드유닛(40)의 결합영역에서 시린지 유닛(300)을 분리한다. 척(510)의 물림부(510a)에 결합되어 있던 접속부(328)가 물림부(510a)에서 분리되면서 시린지 유닛(300)의 고정 상태가 해제된다.
시린지 유닛(300)은 분리 과정에서 다른 구조물에 부딪히지 않아야 한다. 제1, 2 그립퍼(101, 102)에 파지된 상태의 시린지 유닛(300)은 제1, 2 그립퍼(101, 102)의 후진 작동에 의해 수평으로 이동하면서 분리가 이루어진다.
제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)의 일단이 제1 그립퍼(101)와 제2 그립퍼(102)의 삽입홈(103)에 삽입되어 견고한 파지 상태가 이루어지기 때문에 시린지 유닛(300)을 안전하게 분리할 수 있다.
시린지 유닛 교체 장치(100)는 분리된 구 시린지 유닛(300)을 지정 장소에 놓고 로봇 가이드 레일(60)을 따라 시린지 유닛 보관대(200)로 이동한다. 경우에 따라서는, 시린지 유닛 보관대(200)에 분리된 구 시린지 유닛(300)을 보관하는 것도 가능할 수 있다. 시린지 유닛 보관대(200)로 이동한 시린지 유닛 교체 장치(100)는 시린지 유닛 보관대(200)에 구비되어 있는 새로운 시린지 유닛(300)을 파지한다(도 1 참조).
구체적으로 시린지 유닛 교체 장치(100)는 새로운 시린지 유닛(300)의 제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)를 제1 그립퍼(101)와 제2 그립퍼(102)로 파지한다.
시린지 유닛 교체 장치(100)는 로봇 가이드 레일(60)을 따라 헤드유닛(40)으로 이동한다. 시린지 유닛 교체 장치(100)는 구 시린지 유닛(300)의 제거로 비어 있는 헤드유닛(40)의 결합영역에 새로운 시린지 유닛(300)을 결합한다.
새로운 시린지 유닛(300)을 헤드유닛(40)의 결합영역에 결합시 새로운 시린지 유닛(300)의 접속부(328)가 헤드유닛(40)의 척(510)의 물림부(510a)에 대응 결합되면서 시린지 유닛(300)의 견고한 결합이 이루어진다.
다음 척에 접속부가 결합되는 과정에 대해 구체적으로 설명한다.
도 13은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 접속부가 헤드유닛에 결합되기 전 상태를 나타내는 도면이다.
도 13에 도시된 바와 같이 접속부(328)는 척(510)에 결합되기 전 플레이트(520)에 위치한다. 이때 접속부(328)는 플레이트(520)의 관통공(524)과 정확히 일치한다.
도 14는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 접속부가 헤드유닛의 플레이트에 진입한 상태를 나타내는 도면이다.
도 14에 도시된 바와 같이 접속부(328)는 플레이트(520)의 관통공(524)에 정확히 일치된 상태에서 관통공(524)으로 삽입된다. 관통공(524)의 내경은 접속부(328)의 원활한 삽입을 위해 접속부(328)의 외경보다 큰 것이 바람직하다.
도 15는 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 접속부가 헤드유닛의 척의 물림부에 위치한 상태를 나타내는 도면이다.
도 15에 도시된 바와 같이 접속부(328)는 플레이트(520)의 관통공(524)에 삽입 상태에서 척(510) 방향으로 계속 이동하여 척(510)의 물림부(510a)에 접속부(328)의 홈(328a)이 위치하였을 때 정지한다.
도 16은 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛의 접속부가 헤드유닛의 척의 물림부에 물린 상태를 나타내는 도면이다.
도 16에 도시된 바와 같이 척(510)의 물림부(510a)에 접속부(328)의 홈(328a)이 위치한 상태에서 물림부(510a)의 물림 작동에 의해 물림부(510a)의 끝단이 홈(328a)에 정확히 끼워진 상태로 접속부(328)가 척(510)에 물림된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 따른 시린지 유닛으로부터 챔버로 점성 액체를 전달하고, 챔버 내의 압력을 제어함으로써 점성 액체의 토출을 정밀하게 제어할 수 있도록 한다. 또한, 시린지 유닛의 점성 액체를 수용하는 챔버 용량은 저단면적 점성 액체 도포에는 충분한 용량일 수 있으나, 대단면적 도포의 경우 실런트 등과 같은 점성 액체의 양이 많아 점성 액체를 수용하는 챔버의 용량 확장이 필요하다. 본 고안에 따르면, 시린지 유닛의 기본적인 구조를 변경하지 않고 챔버 확장부의 장착만으로 챔버의 용량을 확장할 수 있다.
본 고안은 챔버 확장부의 탈착이 가능하므로 저단면적 점성 액체 도포시에는 챔버 확장부를 장착하지 않고 제1 몸체에 캡을 바로 결합하여 제1 몸체의 챔버 용량만으로 점성 액체를 덜어서 사용할 수 있다.
이상의 설명은 본 고안의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 고안의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 고안에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 고안의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 고안의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 고안의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 고안의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10 : 점성 액체 디스펜서
20 : 프레임
30 : 헤드 지지대
40 : 헤드유닛
50 : 스테이지
60 : 로봇 가이드 레일
100 : 시린지 유닛 교체 장치
101 : 제1 그립퍼
102 : 제2 그립퍼
200 : 시린지 유닛 보관대
300 : 시린지 유닛
310 : 시린지
320 : 토출부
321 : 노즐홀더
321a : 제1 몸체
321b : 제2 몸체
321c : 시린지 장착부
321e : 고정홀
321f : 핀홀
321g : 시린지 장착부 몸체
322 : 캡
324 : 제1 그립퍼 지지부
326 : 제2 그립퍼 지지부
328 : 접속부
328a : 홈
331 : 제1 피팅부
332 : 제2 피팅부
333 : 제3 피팅부
334 : 피팅배관라인
340 : 챔버
342 : 수위감지 윈도우
344 : 노즐
351 : 밸브 작동핀
352 : 핀 액추에이터
354 : 다이아프램
355 : 연결 유로
357 : 유로
360 : 챔버 확장부
361 : 수용실
400 : 토출대상물
510 : 척
510a : 물림부
520 : 플레이트
524 : 관통공
f : 점성 액체 이동경로
20 : 프레임
30 : 헤드 지지대
40 : 헤드유닛
50 : 스테이지
60 : 로봇 가이드 레일
100 : 시린지 유닛 교체 장치
101 : 제1 그립퍼
102 : 제2 그립퍼
200 : 시린지 유닛 보관대
300 : 시린지 유닛
310 : 시린지
320 : 토출부
321 : 노즐홀더
321a : 제1 몸체
321b : 제2 몸체
321c : 시린지 장착부
321e : 고정홀
321f : 핀홀
321g : 시린지 장착부 몸체
322 : 캡
324 : 제1 그립퍼 지지부
326 : 제2 그립퍼 지지부
328 : 접속부
328a : 홈
331 : 제1 피팅부
332 : 제2 피팅부
333 : 제3 피팅부
334 : 피팅배관라인
340 : 챔버
342 : 수위감지 윈도우
344 : 노즐
351 : 밸브 작동핀
352 : 핀 액추에이터
354 : 다이아프램
355 : 연결 유로
357 : 유로
360 : 챔버 확장부
361 : 수용실
400 : 토출대상물
510 : 척
510a : 물림부
520 : 플레이트
524 : 관통공
f : 점성 액체 이동경로
Claims (16)
- 내부에 점성 액체를 수용할 있는 챔버가 구비되는 제1 몸체;
상기 챔버에 수용된 점성 액체를 토출 가능도록 상기 챔버와 연결되는 노즐;
상기 제1 몸체 상부에 구비되는 캡; 및
상기 제1 몸체와 캡 사이에 탈착 가능하게 결합되어 상기 챔버의 용량을 확장하는 챔버 확장부;를 포함하고,
시린지에서 공급되는 상기 점성 액체는 상기 챔버로 이동하고, 상기 챔버에 상기 점성 액체가 채워진 후 상기 챔버 확장부의 수용실로 이동하고, 상기 챔버와 상기 챔버 확장부에 수용된 상기 점성 액체가 상기 노즐을 통해 토출되는 것을 특징으로 하는 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛. - 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 수용실은, 상기 챔버에 더하여 점성 액체의 수용 용적을 확장하며, 위 아래가 뚫린 관통 구조인 것을 특징으로 하는 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛. - 제 1 항에 있어서,
상기 챔버 확장부의 외측에 시린지 장착부 몸체가 결합되고,
상기 시린지 장착부 몸체에는 상기 시린지가 결합되는 시린지 장착부가 구비되는 것을 특징으로 하는 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛. - 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 몸체와 결합되는 제2 몸체를 더 포함하고,
상기 제2 몸체에 상기 제1 몸체보다 작은 면적으로 형성되고 점성 액체를 토출대상물에 토출하는 상기 노즐이 구비되는 것을 특징으로 하는 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛. - 제 6 항에 있어서,
상기 캡에,
수위감지 윈도우가 구비되는 것을 특징으로 하는 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛. - 제 7 항에 있어서,
상기 수위감지 윈도우의 상부에 챔버의 점성 액체 수위를 감지하는 수위감지 센서가 구비되는 것을 특징으로 하는 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛. - 제 7 항에 있어서,
상기 캡의 일측 단부에는,
상기 챔버와 연통되며 상기 챔버로 공압을 공급하는 제1 피팅부가 구비되는 것을 특징으로 하는 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛. - 제 7 항에 있어서,
상기 제1 몸체와 제2 몸체에 상기 시린지와 연통되는 제2 피팅부와 상기 챔버와 연통되는 제3 피팅부가 구비되고 상기 제2 피팅부와 제3 피팅부는 피팅배관라인에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛. - 제 7 항에 있어서,
상기 제2 몸체의 내부에 다이아프램이 구비되며 상기 다이아프램은 상기 챔버와 제3 피팅부를 연결하는 연결 유로를 개폐하는 것을 특징으로 하는 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛. - 제 11 항에 있어서,
상기 다이아프램은 밸브 작동핀의 가압에 의해 상기 연결 유로를 차단하고, 상기 밸브 작동핀은 핀 액추에이터의 가압 작동에 의해 다이아프램을 가압하는 것을 특징으로 하는 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛. - 제 7 항에 있어서,
상기 제2 몸체에 제1 그립퍼 지지부 및 제2 그립퍼 지지부가 구비되는 것을 특징으로 하는 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛. - 제 13 항에 있어서,
상기 시린지 유닛의 교체시 상기 제1 그립퍼 지지부 및 제2 그립퍼 지지부는 시린지 유닛 교체 장치의 제1, 2 그립퍼의 서로 마주보는 면에 구비되는 삽입홈에 삽입된 상태로 상기 제1 그립퍼와 제2 그립퍼에 파지되는 것을 특징으로 하는 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛. - 제 13 항에 있어서,
상기 제1 그립퍼 지지부 및 제2 그립퍼 지지부는,
상기 제2 몸체의 일측면에서 돌출되는 한 쌍의 봉 형태인 것을 특징으로 하는 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛. - 제 13 항에 있어서,
상기 제1 그립퍼 지지부의 반대편 상기 제1 몸체 부위에 고정장치에 결합되는 돌출 봉 형태의 접속부가 구비되는 것을 특징으로 챔버 확장부가 구비된 시린지 유닛.
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