KR20040088467A - 3차원 계측장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 계측 대상물에 대하여 줄무늬 형상의 광 강도 분포를 가짐과 동시에, 서로 다른 파장 성분을 가지고, 서로 상대 위상 관계가 다른 적어도 2개의 광 성분 패턴을 동시에 조사 가능한 조사 수단과,상기 광 성분 패턴이 조사된 계측 대상물로부터의 반사광을 각 광 성분마다 분리하여 촬상 가능한 촬상 수단과,상기 조사 수단이 조사하는 적어도 2개의 광 성분 패턴에 의거하여 정해지는, 상기 적어도 2개의 광 성분 패턴의 서로의 상대 위상 각도와, 상기 촬상 수단으로 상기 계측 대상물로부터의 반사광을 광 성분마다 촬상하여 얻어지는 적어도 2종류의 화상 데이터에 의거하여, 적어도 상기 계측 대상물의 높이를 연산 가능한 연산 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 3차원 계측장치.
- 적어도 계측 대상물 및 대략 평면에 대하여, 줄무늬 형상의 광 강도 분포를 가짐과 동시에, 서로 다른 파장 성분을 가지고, 서로 상대 위상 관계가 다른 적어도 2개의 광 성분 패턴을 동시에 조사 가능한 조사 수단과,적어도 상기 광 성분 패턴이 조사된 계측 대상물 및 대략 평면으로부터의 반사광을 각 광 성분마다 분리하여 촬상 가능한 촬상 수단과,상기 촬상 수단으로 상기 대략 평면으로부터의 반사광을 광 성분마다 촬상하여 얻어진 적어도 2종류의 화상 데이터에 의거하여 정해지는 서로의 상대 위상 각도와, 상기 촬상 수단으로 상기 계측 대상물로부터의 반사광을 광 성분마다 촬상하여 얻어진 적어도 2종류의 화상 데이터에 의거하여, 적어도 상기 계측 대상물의 높이를 연산 가능한 연산 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 3차원 계측장치.
- 적어도 계측 대상물 및 대략 평면에 대하여, 줄무늬 형상의 광 강도 분포를 가짐과 동시에, 서로 다른 파장 성분을 가지고, 서로 상대 위상 관계가 다른 적어도 2개의 광 성분 패턴을 동시에 조사 가능한 조사 수단과,적어도 상기 광 성분 패턴이 조사된 계측 대상물 및 대략 평면으로부터의 반사광을 각 광 성분마다 분리하여 촬상 가능한 촬상 수단과,상기 촬상 수단으로 상기 대략 평면으로부터의 반사광을 광 성분마다 촬상하여 얻어진 적어도 2종류의 화상 데이터에 의거하여, 서로의 상대 위상 각도를 연산 가능하고, 또한,상기 촬상 수단으로 상기 계측 대상물로부터의 반사광을 광 성분마다 촬상하여 얻어진 적어도 2종류의 화상 데이터와, 상기 연산된 상대 위상 각도에 의거하여, 적어도 상기 계측 대상물의 높이를 연산 가능한 연산 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 3차원 계측장치.
- 적어도 계측 대상물 및 대략 평면에 대하여, 대략 정현파의 줄무늬 형상의 광 강도 분포를 가짐과 동시에, 서로 다른 파장 성분을 가지고, 서로 상대 위상 관계가 다른 적어도 3개의 광 성분 패턴을 동시에 조사 가능한 조사 수단과,적어도 상기 광 성분 패턴이 조사된 계측 대상물 및 대략 평면으로부터의 반사광을 각 광 성분마다 분리하여 촬상 가능한 촬상 수단과,상기 촬상 수단으로 상기 대략 평면으로부터의 반사광을 광 성분마다 촬상하여 얻어진 적어도 3종류의 화상 데이터에 의거하여, 서로의 상대 위상 각도를 연산 가능하고, 또한,상기 촬상 수단으로 상기 계측 대상물로부터의 반사광을 광 성분마다 촬상하여 얻어진 적어도 3종류의 화상 데이터와, 상기 연산된 상대 위상 각도에 의거하여, 적어도 상기 계측 대상물의 높이를 위상 시프트법에 의해 연산 가능한 연산 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 3차원 계측장치.
- 제 3항 또는 제 4항에 있어서,상기 촬상 수단으로 상기 대략 평면을 촬상하고, 상기 연산 수단으로 상기 서로의 상대 위상 각도를 연산한 후에, 상기 촬상 수단으로 상기 계측 대상물을 촬상하고, 상기 연산 수단으로 상기 계측 대상물의 높이를 연산하는 것을 특징으로 하는 3차원 계측장치.
- 제 3항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 연산 수단은, 상기 화상 데이터마다 상기 대략 평면에 조사된 줄무늬와 교차하는 방향의 라인 상의 위치와 휘도의 관계를 차트화하고, 해당 차트화된 데이터에 의거하여 상기 상대 위상 각도를 연산하는 것을 특징으로 하는 3차원 계측장치.
- 제 3항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 연산 수단은, 상기 화상 데이터마다 상기 대략 평면에 조사된 줄무늬와 교차하는 방향의 라인 상의 휘도의 변화에 의거하여, 상기 상대 위상 각도를 연산하는 것을 특징으로 하는 3차원 계측장치.
- 제 6항 또는 제 7항에 있어서,상기 줄무늬와 교차하는 방향은 줄무늬에 직교하는 방향인 것을 특징으로 하는 3차원 계측장치.
- 제 6항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 연산 수단은 복수의 상기 라인에 대하여 각각 상대 위상 각도를 연산하고, 최적인 상대 위상 각도를 결정하는 것을 특징으로 하는 3차원 계측장치.
- 제 2항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 계측 대상물은, 대략 평면 형상의 부분을 구비하고, 상기 대략 평면은 상기 계측 대상물의 대략 평면 형상의 부분인 것을 특징으로 하는 3차원 계측장치.
- 제 2항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 대략 평면은, 상기 계측 대상물 이외에 설치된 대략 평면 형상의 부분인 것을 특징으로 하는 3차원 계측장치.
- 제 2항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 촬상 수단은, 상기 계측 대상물과 상기 대략 평면의 화상 데이터를 1회의 촬상으로 동시에 얻는 것을 특징으로 하는 3차원 계측장치.
- 제 1항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 계측 대상물이 프린트 기판 위에 인쇄된 크림 솔더이고, 이 크림 솔더의 높이로부터 인쇄 상태의 양부(良否)를 판정하는 판정 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 3차원 계측장치.
- 제 1항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 계측 대상물이 프린트 기판 위에 설치된 솔더 범프이고, 이 솔더 범프의 높이로부터 솔더 범프의 형상의 양부를 판정하는 판정수단을 설치한 것을 특징으로 하는 3차원 계측장치.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2002-00053144 | 2002-02-28 | ||
JP2002053144A JP3878033B2 (ja) | 2002-02-28 | 2002-02-28 | 三次元計測装置 |
PCT/JP2003/001407 WO2003073044A1 (fr) | 2002-02-28 | 2003-02-10 | Instrument de mesure tridimensionnelle |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20040088467A true KR20040088467A (ko) | 2004-10-16 |
KR100686244B1 KR100686244B1 (ko) | 2007-02-23 |
Family
ID=27764349
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020047007700A KR100686244B1 (ko) | 2002-02-28 | 2003-02-10 | 3차원 계측장치 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7245387B2 (ko) |
JP (1) | JP3878033B2 (ko) |
KR (1) | KR100686244B1 (ko) |
CN (1) | CN100491909C (ko) |
AU (1) | AU2003207052A1 (ko) |
WO (1) | WO2003073044A1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101147183B1 (ko) * | 2010-04-13 | 2012-05-25 | 시케이디 가부시키가이샤 | 삼차원 계측 장치 및 기판 검사 장치 |
Families Citing this family (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DK1969307T3 (da) * | 2005-11-28 | 2010-10-25 | 3Shape As | Kodet struktureret lys |
JP4793187B2 (ja) * | 2006-09-11 | 2011-10-12 | パナソニック株式会社 | 電子部品実装システムおよび電子部品実装方法 |
JP2008209298A (ja) | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Fujifilm Corp | 測距装置及び測距方法 |
JP2008241695A (ja) | 2007-02-27 | 2008-10-09 | Fujifilm Corp | 測距装置及び測距方法 |
TWI345053B (en) * | 2007-03-16 | 2011-07-11 | Ind Tech Res Inst | Image-acquiring system with high-spectrum resolution and method for the same |
JP5180502B2 (ja) * | 2007-03-23 | 2013-04-10 | 富士フイルム株式会社 | 測距装置及び測距方法 |
JP5180501B2 (ja) * | 2007-03-23 | 2013-04-10 | 富士フイルム株式会社 | 測距装置及び測距方法 |
CN101349551B (zh) * | 2007-07-20 | 2012-08-29 | 通用电气公司 | 轮廓测定设备及操作方法 |
JP5280030B2 (ja) * | 2007-09-26 | 2013-09-04 | 富士フイルム株式会社 | 測距方法および装置 |
JP4895304B2 (ja) * | 2007-09-26 | 2012-03-14 | 富士フイルム株式会社 | 測距方法および装置 |
JP5021410B2 (ja) * | 2007-09-28 | 2012-09-05 | 富士フイルム株式会社 | 測距装置および測距方法並びにプログラム |
JP2009085705A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Fujifilm Corp | 測距装置および測距方法並びにプログラム |
DE102007054907A1 (de) * | 2007-11-15 | 2009-05-28 | Sirona Dental Systems Gmbh | Verfahren zur optischen Vermessung von Objekten unter Verwendung eines Triangulationsverfahrens |
KR101190122B1 (ko) * | 2008-10-13 | 2012-10-11 | 주식회사 고영테크놀러지 | 다중파장을 이용한 3차원형상 측정장치 및 측정방법 |
CA2754812A1 (en) * | 2009-03-19 | 2010-09-23 | General Electric Company | Optical gage and three-dimensional surface profile measurement method |
KR101097716B1 (ko) * | 2009-05-20 | 2011-12-22 | 에스엔유 프리시젼 주식회사 | 3차원 형상 측정방법 |
DE102010064593A1 (de) * | 2009-05-21 | 2015-07-30 | Koh Young Technology Inc. | Formmessgerät und -verfahren |
DE102010030883B4 (de) * | 2009-07-03 | 2018-11-08 | Koh Young Technology Inc. | Vorrichtung zur Prüfung einer Platte und Verfahren dazu |
EP2508871A4 (en) * | 2009-11-30 | 2017-05-10 | Nikon Corporation | Inspection apparatus, measurement method for three-dimensional shape, and production method for structure |
US9179106B2 (en) * | 2009-12-28 | 2015-11-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Measurement system, image correction method, and computer program |
JP2011252864A (ja) * | 2010-06-03 | 2011-12-15 | Sony Corp | 検査装置及び検査方法 |
JP5430612B2 (ja) * | 2011-05-31 | 2014-03-05 | Ckd株式会社 | 三次元計測装置 |
KR101642897B1 (ko) * | 2011-07-13 | 2016-07-26 | 주식회사 고영테크놀러지 | 검사방법 |
JP2013124938A (ja) * | 2011-12-15 | 2013-06-24 | Ckd Corp | 三次元計測装置 |
JP5847568B2 (ja) * | 2011-12-15 | 2016-01-27 | Ckd株式会社 | 三次元計測装置 |
JP5643241B2 (ja) * | 2012-02-14 | 2014-12-17 | Ckd株式会社 | 三次元計測装置 |
JP6112769B2 (ja) * | 2012-03-05 | 2017-04-12 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置、情報処理方法 |
WO2013133286A1 (ja) * | 2012-03-06 | 2013-09-12 | 株式会社ニコン | 形状測定装置、構造物製造システム、走査装置、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラム |
JP5820424B2 (ja) * | 2013-04-16 | 2015-11-24 | Ckd株式会社 | 半田印刷検査装置 |
JP6126640B2 (ja) * | 2015-05-11 | 2017-05-10 | Ckd株式会社 | 三次元計測装置及び三次元計測方法 |
KR101602377B1 (ko) * | 2015-08-13 | 2016-03-15 | 주식회사 이오비스 | 3차원 형상 측정 방법 |
JP6262378B1 (ja) * | 2017-02-09 | 2018-01-17 | Ckd株式会社 | 基板検査装置、基板検査方法、及び、基板の製造方法 |
JP7156794B2 (ja) * | 2018-01-16 | 2022-10-19 | 株式会社サキコーポレーション | 検査装置の高さ情報の取得方法及び検査装置 |
JP2019159872A (ja) | 2018-03-14 | 2019-09-19 | セイコーエプソン株式会社 | 演算装置、演算装置の制御方法、および、コンピュータープログラム |
JP7030079B2 (ja) * | 2019-06-12 | 2022-03-04 | Ckd株式会社 | 三次元計測装置及び三次元計測方法 |
JP7424074B2 (ja) * | 2020-01-28 | 2024-01-30 | オムロン株式会社 | 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法及びプログラム |
US20230152598A1 (en) * | 2021-11-15 | 2023-05-18 | Umajin Inc. | Systems and methods for photometrically extracting 3-dimensional depth |
CN114234847B (zh) * | 2021-12-08 | 2024-01-30 | 苏州恒视智能科技有限公司 | 一种光栅投影***及光栅相移高度测量自动校正补偿方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4657394A (en) * | 1984-09-14 | 1987-04-14 | New York Institute Of Technology | Apparatus and method for obtaining three dimensional surface contours |
US5118192A (en) * | 1990-07-11 | 1992-06-02 | Robotic Vision Systems, Inc. | System for 3-D inspection of objects |
JP2711042B2 (ja) * | 1992-03-30 | 1998-02-10 | シャープ株式会社 | クリーム半田の印刷状態検査装置 |
US5418371A (en) * | 1993-02-01 | 1995-05-23 | Aslund; Nils R. D. | Apparatus for quantitative imaging of multiple fluorophores using dual detectors |
JP3357739B2 (ja) | 1994-02-24 | 2002-12-16 | マツダ株式会社 | 形状検出方法 |
US5848188A (en) * | 1994-09-08 | 1998-12-08 | Ckd Corporation | Shape measure device |
US5581352A (en) * | 1994-09-22 | 1996-12-03 | Zeien; Robert | Phase shifting device with selectively activated grating generator |
US6002423A (en) * | 1996-01-16 | 1999-12-14 | Visidyne, Inc. | Three-dimensional imaging system |
JP3914638B2 (ja) * | 1997-09-09 | 2007-05-16 | シーケーディ株式会社 | 形状計測装置 |
US6040910A (en) * | 1998-05-20 | 2000-03-21 | The Penn State Research Foundation | Optical phase-shift triangulation technique (PST) for non-contact surface profiling |
US6956963B2 (en) * | 1998-07-08 | 2005-10-18 | Ismeca Europe Semiconductor Sa | Imaging for a machine-vision system |
JP2001012917A (ja) | 1999-07-01 | 2001-01-19 | Nkk Corp | コイル位置検出装置 |
JP3723057B2 (ja) | 2000-08-02 | 2005-12-07 | シーケーディ株式会社 | 三次元計測装置 |
JP3878023B2 (ja) * | 2002-02-01 | 2007-02-07 | シーケーディ株式会社 | 三次元計測装置 |
-
2002
- 2002-02-28 JP JP2002053144A patent/JP3878033B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-02-10 WO PCT/JP2003/001407 patent/WO2003073044A1/ja active Application Filing
- 2003-02-10 CN CNB038011530A patent/CN100491909C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-02-10 KR KR1020047007700A patent/KR100686244B1/ko active IP Right Grant
- 2003-02-10 AU AU2003207052A patent/AU2003207052A1/en not_active Abandoned
- 2003-02-10 US US10/505,648 patent/US7245387B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101147183B1 (ko) * | 2010-04-13 | 2012-05-25 | 시케이디 가부시키가이샤 | 삼차원 계측 장치 및 기판 검사 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050254066A1 (en) | 2005-11-17 |
CN1564930A (zh) | 2005-01-12 |
CN100491909C (zh) | 2009-05-27 |
US7245387B2 (en) | 2007-07-17 |
AU2003207052A1 (en) | 2003-09-09 |
WO2003073044A1 (fr) | 2003-09-04 |
JP2003279329A (ja) | 2003-10-02 |
KR100686244B1 (ko) | 2007-02-23 |
JP3878033B2 (ja) | 2007-02-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130118 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140117 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150119 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160119 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170119 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180118 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190116 Year of fee payment: 13 |