JP4808072B2 - フィルタ格子縞板、三次元計測装置及び照明手段 - Google Patents
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Description
このとき、光パターンを移動させて、位相を4段階(φ+0、φ+π/2、φ+π、φ+3π/2)に変化させ、これらに対応する強度分布I0、I1、I2、I3をもつ画像を取り込み、下記式に基づいて位置情報θを求める。
この位置情報θを用いて、プリント基板(クリームハンダ)上の点Pの3次元座標(X,Y,Z)が求められ、もってクリームハンダの三次元形状、特に高さが計測される。
前記フィルタ格子縞板は、1枚の板によって構成され、光源からの光をそれぞれ所定の波長成分のみについて透光する領域が縞状に配列され、互いに相対位相関係の異なる各光成分パターンを同時に透光可能であることを特徴とする手段1乃至9のいずれかに記載の三次元計測装置。
V1=Asinθ+B ・・・(2b)
V2=Asin(θ+β)+B ・・・(2c)
但し、θ:高さを導出するための位置情報、A:振幅、B:オフセット成分。
かかる式(2e)より、下記式(2g)が導き出される。
このように演算された位置情報θを用いて、下記式に基づいてハンダ領域内の点Pの高さZを求める。
そして、高さZは、下記式(4)に従って導き出される。
(但し、Lp:照明装置3の基準面からの高さ、Lpc:CCDカメラ4と照明装置3とのX軸方向の距離、Xp:点PのX座標。)
このようにして得られた点Pの高さデータは、撮像画面の画素P単位に演算され、制御装置7のメモリに格納される。また、当該各部のデータに基づいて、ハンダ領域内での各部の高さを積分することにより、印刷されたクリームハンダHの量が算出される。そして、このようにして求めたクリームハンダHの位置、面積、高さ又は量等のデータが予め記憶されている基準データと比較判定され、この比較結果が許容範囲内にあるか否かによって、その検査エリアにおけるクリームハンダHの印刷状態の良否が判定されるのである。
Claims (6)
- 三次元計測装置に用いられるフィルタ格子縞板であって、1枚の板状体からなり、光源からの光を、所定の波長成分について縞状に遮光するとともに残りの波長成分について透光を許容し、互いに相対位相関係の異なる少なくとも3つの光成分パターンを同時に透光可能であって、
互いに波長成分の異なる第1、第2、第3の波長成分について、第1の波長成分のみを透光する第1の領域と、第1及び第2の波長成分のみを透光する第2の領域と、第2及び第3の波長成分のみを透光する第3の領域と、第3の波長成分のみを透光する第4の領域とを順に縞状に配列した構成であることを特徴とするフィルタ格子縞板。 - 前記第1の領域は赤、前記第2の領域は黄、前記第3の領域はシアン、前記第4の領域は青に色分けされていることを特徴とする請求項1に記載のフィルタ格子縞板。
- 請求項1又は2に記載のフィルタ格子縞板を備えることを特徴とする三次元計測装置。
- 請求項1又は2に記載のフィルタ格子縞板を備え、プリント基板上に印刷されたクリームハンダの領域、高さから印刷状態の良否を判定する判定手段を設けたことを特徴とする三次元計測装置。
- 請求項1又は2に記載のフィルタ格子縞板を備え、プリント基板上に設けられたハンダバンプの領域、高さからハンダバンプの形状の良否を判定する判定手段を設けたことを特徴とする三次元計測装置。
- 請求項1又は2に記載のフィルタ格子縞板を備えることを特徴とする照明手段。
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