KR20040076212A - 세라믹 전자 부품의 제조 방법 및 그라비어 인쇄 방법 - Google Patents
세라믹 전자 부품의 제조 방법 및 그라비어 인쇄 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20040076212A KR20040076212A KR1020040011789A KR20040011789A KR20040076212A KR 20040076212 A KR20040076212 A KR 20040076212A KR 1020040011789 A KR1020040011789 A KR 1020040011789A KR 20040011789 A KR20040011789 A KR 20040011789A KR 20040076212 A KR20040076212 A KR 20040076212A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- printing
- mark
- gravure printing
- green sheet
- gravure
- Prior art date
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 139
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 title claims abstract description 137
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 103
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims abstract description 196
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 44
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 17
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 20
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 20
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 9
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 7
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 7
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 230000007847 structural defect Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E02—HYDRAULIC ENGINEERING; FOUNDATIONS; SOIL SHIFTING
- E02B—HYDRAULIC ENGINEERING
- E02B3/00—Engineering works in connection with control or use of streams, rivers, coasts, or other marine sites; Sealings or joints for engineering works in general
- E02B3/04—Structures or apparatus for, or methods of, protecting banks, coasts, or harbours
- E02B3/12—Revetment of banks, dams, watercourses, or the like, e.g. the sea-floor
- E02B3/14—Preformed blocks or slabs for forming essentially continuous surfaces; Arrangements thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/30—Stacked capacitors
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A01—AGRICULTURE; FORESTRY; ANIMAL HUSBANDRY; HUNTING; TRAPPING; FISHING
- A01G—HORTICULTURE; CULTIVATION OF VEGETABLES, FLOWERS, RICE, FRUIT, VINES, HOPS OR SEAWEED; FORESTRY; WATERING
- A01G9/00—Cultivation in receptacles, forcing-frames or greenhouses; Edging for beds, lawn or the like
- A01G9/02—Receptacles, e.g. flower-pots or boxes; Glasses for cultivating flowers
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A01—AGRICULTURE; FORESTRY; ANIMAL HUSBANDRY; HUNTING; TRAPPING; FISHING
- A01K—ANIMAL HUSBANDRY; AVICULTURE; APICULTURE; PISCICULTURE; FISHING; REARING OR BREEDING ANIMALS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; NEW BREEDS OF ANIMALS
- A01K61/00—Culture of aquatic animals
- A01K61/10—Culture of aquatic animals of fish
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41M—PRINTING, DUPLICATING, MARKING, OR COPYING PROCESSES; COLOUR PRINTING
- B41M1/00—Inking and printing with a printer's forme
- B41M1/10—Intaglio printing ; Gravure printing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/4572—Partial coating or impregnation of the surface of the substrate
- C04B41/4574—Coating different parts of the substrate with different materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E02—HYDRAULIC ENGINEERING; FOUNDATIONS; SOIL SHIFTING
- E02D—FOUNDATIONS; EXCAVATIONS; EMBANKMENTS; UNDERGROUND OR UNDERWATER STRUCTURES
- E02D29/00—Independent underground or underwater structures; Retaining walls
- E02D29/02—Retaining or protecting walls
- E02D29/0258—Retaining or protecting walls characterised by constructional features
- E02D29/0266—Retaining or protecting walls characterised by constructional features made up of preformed elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G13/00—Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2111/00—Mortars, concrete or artificial stone or mixtures to prepare them, characterised by specific function, property or use
- C04B2111/00474—Uses not provided for elsewhere in C04B2111/00
- C04B2111/00844—Uses not provided for elsewhere in C04B2111/00 for electronic applications
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E02—HYDRAULIC ENGINEERING; FOUNDATIONS; SOIL SHIFTING
- E02D—FOUNDATIONS; EXCAVATIONS; EMBANKMENTS; UNDERGROUND OR UNDERWATER STRUCTURES
- E02D2600/00—Miscellaneous
- E02D2600/20—Miscellaneous comprising details of connection between elements
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S101/00—Printing
- Y10S101/36—Means for registering or alignment of print plates on print press structure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental Sciences (AREA)
- Civil Engineering (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Animal Husbandry (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Mining & Mineral Resources (AREA)
- Marine Sciences & Fisheries (AREA)
- Zoology (AREA)
- Paleontology (AREA)
- Biodiversity & Conservation Biology (AREA)
- Ocean & Marine Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Printing Methods (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
Abstract
본 발명은 시트형상으로 도전 페이스트 또는 단차 해소용 세라믹 페이스트를 제 1, 제 2 그라비어 인쇄 공정에 의해 인쇄하는 공정을 구비하고, 인쇄 어긋남의 수정을 고정밀도로 행할 수 있으며, 인쇄 일그러짐이 발생하기 어려운 세라믹 전자 부품의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 세라믹 전자 부품의 제조 방법에 따르면, 세라믹 그린시트를 갖는 복합 시트(2)상에 제 1, 제 2 그라비어 인쇄 공정에 의해, 도전 페이스트 및 단차 해소용 세라믹 페이스트를 인쇄할 때, 제 2 그라비어 인쇄 공정에 앞서, 제 1 인쇄 마크(34)를 인쇄하고, 제 2 그라비어 인쇄 공정 전에 제 1 인쇄 마크의 위치를 검출하며, 인쇄된 제 1 인쇄 마크의 위치와, 미리 구해져 있는 제 1 인쇄 마크의 소망으로 하는 위치를 비교하고, 상기 결과에 의거하여, 제 1 인쇄 마크의 인쇄 위치와 제 2 인쇄 마크의 인쇄 위치가 상대적으로 적절한 위치 관계가 되도록 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해진다.
Description
본 발명은 예를 들면 적층 커패시터 등의 세라믹 전자 부품의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 도전 페이스트 및 세라믹 그린시트를 그라비어 인쇄법을 사용하여 인쇄하는 공정이 개량된 세라믹 전자 부품의 제조 방법에 관한 것이다.
예를 들면 적층 세라믹 커패시터의 제조시에, 지지 필름에 지지된 세라믹 그린시트상에 세라믹 페이스트 및 도전 페이스트를 그라비어 인쇄하는 방법이 알려져 있다.
일본국 특허공개 평8-250370호 공보에는, 적층 세라믹 커패시터의 제조 방법에 있어서, 장척(長尺)형상의 지지 필름상에 형성된 유전체 그린시트상에 제 1 그라비어롤(gravure roll)에 의해 복수의 내부 전극용 패턴을 그라비어 인쇄하고, 또한 제 2 그라비어롤에 의해 상기 패턴간에 단차 해소용 유전체 패턴을 그라비어 인쇄한 것이 개시되어 있다.
상기와 같이, 장척형상의 유전체 그린시트에 내부 전극용 패턴 및 단차 해소용 유전체 패턴을 그라비어롤에 의해 그라비어 인쇄를 행할 때에는, 특히 유전체 그린시트의 폭방향(유전체 그린시트의 반송 방향에 직교하는 방향)으로 위치 어긋남이 발생하는 경우가 있다.
이러한 폭방향의 위치 어긋남은, 상기와 같은 유전체 그린시트상에 내부 전극용 패턴과 단차 해소용 유전체 패턴을 인쇄하는 것에 있어서는, 내부 전극용 패턴과 단차 해소용 유전체 패턴이 서로 겹쳐지거나, 양자의 틈이 너무 벌어져서, 양자를 원하는 위치에 형성할 수 없다.
그래서 종래, 폭방향의 어긋남의 수정은 2회째의 그라비어 인쇄 공정 전에, 제 2 그라비어롤을 그 축방향으로, 즉, 장척형상의 유전체 그린시트의 폭방향으로 이동시킴으로써 행해지고 있었다.
그 때문에, 도 17에 나타내는 바와 같이, 그라비어롤의 이동의 타이밍에 따라서는, 일그러짐이 있는 단차 해소용 유전체 패턴(101b)이 발생하지 않을 수 없었다. 도 17에 있어서, 참조부호 102는 장척형상의 유전체 그린시트를 나타내고, 지지 필름 반송 방향은 화살표 A방향, 인쇄 방향은 화살표 B방향, 그라비어롤을 이동시킨 위치는 화살표 C이다. 또한, 인쇄 패턴(101a, 101b, 101c)은 각각 그라비어롤1회전에 의해 인쇄된 것이다.
또한, 그라비어롤의 이동 타이밍에 따라서는, 단차 해소용 유전체 패턴(101b)의 도포 두께가 변동한다고 하는 문제도 있었다.
상기와 같은 단차 해소용 유전체 패턴의 인쇄 일그러짐이나 도포 두께 변동이 발생하면, 단차 해소용 유전체 패턴의 본래의 목적인 내부 전극 패턴과의 단차의 해소가 불가능하게 되어, 디라미네이션(delamination) 등의 적층체의 구조 결함이 발생하는 문제가 있었다.
또한, 상기 적층 세라믹 커패시터의 제조시의 도전 페이스트 및 단차 해소용 세라믹 페이스트를 그라비어 인쇄에 의해 인쇄하는 방법 외에, 다색 인쇄의 그라비어 인쇄법에 있어서도, 마찬가지로, 인쇄 어긋남이 발생하여, 고정밀도로 다색 인쇄의 인쇄를 행하는 것이 곤란하다고 하는 문제가 있었다.
본 발명의 목적은 상술한 종래 기술의 현상을 감안하여, 시트상에 도전 페이스트 또는 단차 해소용 세라믹 페이스트를 그라비어 인쇄하는 공정을 구비한 세라믹 전자 부품의 제조 방법으로서, 인쇄 어긋남의 수정을 고정밀도로 행할 수 있고, 단차 해소용 세라믹 페이스트 또는 도전 페이스트의 인쇄 일그러짐이 발생하기 어려운, 세라믹 전자 부품의 제조 방법을 제공하는 데 있다.
도 1a는 제 1, 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해진 후의 인쇄 도형 및 제 1, 제 2 인쇄 마크를 설명하기 위한 모식적 평면도, 도 1b는 제 1 인쇄 마크를 설명하기 위한 모식적 평면도, 도 1c는 제 1, 제 2 인쇄 마크의 관계를 설명하기 위한 모식적 평면도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 있어서의 제 1, 제 2 인쇄 마크의 위치를 검출하기 위한 장치의 개략 구성도이다.
도 3a는 제 2 그라비어롤의 축방향 이동량을 설명하기 위한 모식적 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에서 사용되는 제 1, 제 2 그라비어 인쇄 공정을 행하기 위한 장치의 개략 구성도이다.
도 5a 및 도 5b는 각각, 제 1, 제 2 그라비어롤을 설명하기 위한 사시도이다.
도 6은 제 1 실시예에 있어서, 그라비어롤을 그 축방향으로 이동시키는 장치를 설명하기 위한 개략 구성도이다.
도 7은 제 1 실시예에 있어서 지지 필름상의 세라믹 그린시트상에 제 1, 제2 그라비어 인쇄 공정에 의해 그라비어 인쇄를 행한 후의 상태를 나타내는 모식적 평면도이다.
도 8은 제 1 실시예에 있어서 지지 필름상의 세라믹 그린시트상에 제 1, 제 2 그라비어 인쇄 공정을 행하여, 도전 페이스트 및 단차 해소용 세라믹 페이스트를 인쇄한 상태를 나타내는 모식적 정면 단면도이다.
도 9a는 제 1 실시예에 있어서 얻어진 마더(mother)의 적층체를 나타내는 정면 단면도, 도 9b는 제 1 실시예에 있어서 최종적으로 얻어진 적층 세라믹 커패시터를 나타내는 정면 단면도이다.
도 10은 본 발명의 제 1 변형예에 있어서, 제 1 인쇄 마크 및 제 2 인쇄 마크 인쇄부의 위치를 검출하기 위한 구성을 나타내는 개략 구성도이다.
도 11은 제 1 변형예에 있어서 인쇄된 제 1 인쇄 마크를 설명하기 위한 모식적 평면도이다.
도 12는 제 1 변형예에 있어서 인쇄된 제 2 인쇄 마크를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 13은 본 발명의 제 2 변형예에 있어서, 제 1, 제 2 인쇄 마크의 위치를 검출하기 위한 장치의 개략 구성도이다.
도 14는 제 2 변형예에 있어서 제 1, 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해진 후의 인쇄 도형 및 제 1, 제 2 인쇄 마크를 설명하기 위한 모식적 평면도이다.
도 15a는 제 2 변형예에 있어서 제 1 인쇄 마크의 통과 시간을 검출하는 공정을 설명하기 위한 모식도이고, 도 15b는 제 2 인쇄 마크의 통과 기간을 검출하는공정을 설명하기 위한 모식도이다.
도 16은 제 3 변형예에 있어서, 제 2 그라비어롤에 형성된 제 2 인쇄 마크 인쇄부의 통과 기간을 검출하는 공정을 설명하기 위한 모식적 사시도이다.
도 17은 종래의 세라믹 전자 부품의 제조 방법에 있어서 도전 페이스트 및 단차 해소용 세라믹 페이스트를 인쇄하는 공정을 설명하기 위한 모식적 평면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명>
2 : 복합 시트 3, 4 : 제 1, 제 2 그라비어 인쇄부
5 : 제 1 그라비어롤 6 : 제 1 압접롤
7a : 제 1 인쇄부 7b : 오목부
7c : 제 1 인쇄 마크 인쇄부 7d : 제 1 트리거 마크 인쇄부
11 : 제 2 그라비어롤 11a : 외주면
11e : 제 2 트리거 마크 인쇄부 11f : 제 2 인쇄 마크용 인쇄부
20 : 이동 장치 21 : 트리거 센서
22 : 제 1 카메라 23 : 화상 처리 장치
24 : 제어 장치 25 : 트리거 센서
26 : 제 2 카메라 27 : 화상 처리 장치
28 : 컴펜세이터롤 32 : 인쇄 도형
33 : 제 1 트리거 마크 34 : 제 1 인쇄 마크
35 : 제 2 트리거 마크 36 : 제 2 인쇄 마크
41 : 트리거 센서 42 : 카메라
51 : 제 1 인쇄 마크 52 : 제 2 인쇄 마크
53 : 제 1 센서 54 : 제 1 시간 계측 장치
55 : 제 2 센서 56 : 제 2 시간 계측 장치
71 : 지지 필름 72 : 세라믹 그린시트
73 : 내부 전극 74 : 단차 해소용 세라믹
81 : 마더의 적층체 91 : 적층 세라믹 커패시터
92 : 세라믹 소결체 93, 94 : 외부 전극
본원의 제 1 발명은 지지 필름상에 세라믹 그린시트가 형성된 장척형상의 복합 시트를 준비하는 공정과, 상기 세라믹 그린시트상의 인쇄 영역 내의 제 1 영역에 그라비어 인쇄법에 의해 제 1 페이스트를 인쇄하는 제 1 그라비어 인쇄 공정과,상기 세라믹 그린시트상의 인쇄 영역 내의 제 2 영역에 그라비어 인쇄법에 의해 제 2 페이스트를 인쇄하는 제 2 그라비어 인쇄 공정을 구비하고, 상기 제 1 그라비어 인쇄 공정에 있어서, 상기 세라믹 그린시트 또는 지지 필름상에 제 1 인쇄 마크가 형성되며, 미리 구해진 제 1 인쇄 마크의 원하는 위치와 상기 형성된 제 1 인쇄 마크의 위치를 비교하고, 그 결과에 의거하여, 상기 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해지는 것을 특징으로 하는 세라믹 전자 부품의 제조 방법이다.
제 1 발명의 어느 특정한 국면에서는, 상기 제 2 그라비어 인쇄 공정은 상기 제 1 인쇄 마크의 결과에 의거하여, 상기 세라믹 그린시트를 폭방향 및/또는 길이 방향으로 이동시킨 후, 또는 상기 폭방향 및/또는 길이 방향의 이동중에 행해진다.
제 1 발명의 다른 특정한 국면에서는, 상기 제 1 인쇄 마크의 위치를 구하는 수단으로서, 제 1 촬상(撮像) 장치 및 제 1 화상 처리 장치가 사용된다.
제 1 발명의 또 다른 특정한 국면에서는, 상기 제 2 그라비어 인쇄 공정에 있어서, 상기 세라믹 그린시트상에 제 2 인쇄 마크가 형성되고, 미리 구해진 제 1 및 제 2 인쇄 마크의 원하는 위치와 상기 형성된 제 1 및 제 2 인쇄 마크의 위치를 비교하며, 그 결과에 의거하여 이후의 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해진다.
제 1 발명의 또 다른 특정한 국면에서는, 상기 제 2 그라비어 인쇄 공정에서 사용되는 판동(版胴)에 형성된 제 2 인쇄 마크 인쇄부의 위치가 검출됨으로써, 상기 세라믹 그린시트 또는 지지 필름상에 형성되는 제 2 인쇄 마크의 위치가 구해진다.
본원의 제 2 발명은 지지 필름상에 세라믹 그린시트가 형성된 장척형상의 복합 시트를 준비하는 공정과, 상기 세라믹 그린시트상의 인쇄 영역 내의 제 1 영역에 그라비어 인쇄법에 의해 제 1 페이스트를 인쇄하는 제 1 그라비어 인쇄 공정과, 상기 세라믹 그린시트상의 인쇄 영역 내의 제 2 영역에 그라비어 인쇄법에 의해 제 2 페이스트를 인쇄하는 제 2 그라비어 인쇄 공정을 구비하고, 상기 제 1 그라비어 인쇄 공정에 있어서, 상기 세라믹 그린시트 또는 지지 필름상에 제 1 인쇄 마크가 형성되며, 미리 구해진 제 1 인쇄 마크의 원하는 통과 시간과 상기 형성된 제 1 인쇄 마크의 통과 시간을 비교하고, 그 결과에 의거하여, 상기 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해지는 것을 특징으로 하는 세라믹 전자 부품의 제조 방법이다.
제 2 발명의 어느 특정한 국면에서는, 상기 제 2 그라비어 인쇄 공정은 상기 제 1 인쇄 마크의 결과에 의거하여, 상기 세라믹 그린시트를 폭방향 및/또는 길이 방향으로 이동시킨 후, 또는 상기 폭방향 및/또는 길이 방향의 이동중에 행해진다.
제 2 발명의 또 다른 특정한 국면에서는, 상기 제 1 인쇄 마크의 통과 시간을 계측하는 수단으로서, 제 1 센서 및 제 1 계측 장치가 사용된다.
제 2 발명의 또 다른 특정한 국면에서는, 상기 제 2 그라비어 인쇄 공정에 있어서, 상기 세라믹 그린시트 또는 지지 필름상에 제 2 인쇄 마크가 형성되고, 상기 제 1, 제 2 인쇄 마크의 원하는 통과 시간차와, 제 1, 제 2 인쇄 마크의 구해지는 통과 시간차를 비교하며, 그 결과에 의거하여 이후의 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해진다.
제 1, 제 2 발명의 또 다른 특정한 국면에서는, 상기 제 1 및/또는 제 2 인쇄 마크가 세라믹 그린시트의 폭방향을 따라서 상기 세라믹 그린시트의 길이 방향칫수가 변화하는 형상을 갖고 있다.
제 1, 제 2 발명의 또 다른 특정한 국면에서는, 상기 제 1 페이스트와 상기 제 2 페이스트가 도전 페이스트와 단차 해소용 세라믹 페이스트, 단차 해소용 세라믹 페이스트와 도전 페이스트, 도전 페이스트와 도전 페이스트 중의 어느 하나의 조합이다.
<발명의 실시형태>
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 구체적인 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 명확히 한다.
도 4는 본 실시예에 있어서 적층 세라믹 커패시터의 제조에 사용되는 제조 장치의 개략 구성도이다.
적층 세라믹 전자 부품의 제조 장치(1)에서는, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌나프탈레이트 등의 합성 수지로 이루어지는 지지 필름상에 세라믹 그린시트가 형성된 복합 시트(2)가 도시의 화살표 B로 나타내는 바와 같이 공급된다. 적층 세라믹 전자 부품의 제조 장치(1)는 제 1, 제 2 그라비어 인쇄부(3, 4)를 가지며, 각각 복합 시트의 한 방면에 인쇄가 행해지도록 배치되어 있다.
제 1 그라비어 인쇄부(3)는 판동으로서의 제 1 그라비어롤(5)과, 제 1 압접 롤(6)을 갖는다. 도 5a에 사시도로 나타내는 바와 같이, 그라비어롤(5)은 원통 모양의 형상을 가지며, 그 외주면(5a)에는 둘레 방향을 따라서 인쇄부(7a)가 형성됨과 아울러, 축방향으로 연장되는 소정의 틈(5b)을 갖고 있다. 인쇄부(7a)에는, 내부 전극이 되는 도전 페이스트를 세라믹 그린시트에 인쇄하기 위하여, 직사각형 형상의 복수의 오목부(7b)가 그 길이 방향이 그라비어롤(5)의 회전 방향과 평행하게 되도록 매트릭스(matrix) 형상으로 형성되어 있다. 또한, 각 오목부(7b) 내에는 실질적으로 격자형상의 둑으로 둘러싸인 복수의 셀(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 한편, 오목부의 형상은 적층 세라믹 전자 부품에서 필요하게 되는 전극의 형상에 맞춘 것으로, 직사각형 형상에 한정되지 않는다. 또한, 도 5a에서는, 1개의 인쇄부(7a)가 나타나 있으나, 2이상의 복수의 인쇄부가 형성되어 있어도 된다.
또한, 제 1 그라비어롤(5)의 외주면에는, 제 1 인쇄부(7a) 뿐만 아니라, 후술하는 복합 시트의 반송 방향의 위치 어긋남을 보정하기 위한 제 1 인쇄 마크를 인쇄하기 위하여 제 1 인쇄 마크용 인쇄부(7c)가 형성되어 있다. 인쇄 마크용 인쇄부(7c)의 형상은 특별히 한정되지 않는다. 또한, 인쇄 마크용 인쇄부(7c)의 인쇄 방향 전방에는, 제 1 트리거 마크 인쇄부(7d)가 형성되어 있다.
제 1 그라비어 인쇄부(3)의 그라비어롤(5)과 압접롤(6) 사이에, 복합 시트(2)가 사이에 끼워지고, 인쇄부(7a)의 오목부(7b)에, 도시하지 않은 도전 페이스트 부여 수단에 의해 충전된 도전 페이스트(제 1 페이스트)가 복합 시트(2)에 전사(轉寫)되어, 그라비어 인쇄가 행해진다. 한편, 도전 페이스트는 Ag, Ag－Pd, Ni, Cu, Au 등의 도전 분말과 유기 비히클을 혼합한 것이다.
제 1 그라비어 인쇄부(3)에서는, 상기 그라비어롤(5)과 압접롤(6) 사이에 복합 시트(2)를 공급하기 위하여, 롤러(8a∼8e)가 배치되어 있으며, 롤러(8a∼8e)를 통하여, 복합 시트(2)가 그라비어롤(5)과 압접롤(6) 사이에 공급된다. 또한, 그라비어롤(5)의 후단에는, 롤러(8f)가 배치되어 있으며, 롤러(8f)를 통하여, 인쇄된 복합 시트(2)가 제 1 건조 장치(9)에 반송된다. 건조 장치(9)는 적당한 히터를 구비하고 있으며, 인쇄된 도전 페이스트를 건조하기 위하여 형성되어 있다.
건조 장치(9)의 하류측에는, 롤러(10a, 10b)가 배치되어 있으며, 도전 페이스트가 건조된 후, 복합 시트(2)가 제 2 그라비어 인쇄부(4)에 공급된다. 제 2 그라비어 인쇄부(4)에는, 그라비어 인쇄를 행하기 위하여, 제 2 그라비어롤(11)과 제 2 압접롤(12)이 배치되어 있다.
도 5b에 나타내는 바와 같이, 제 2 그라비어롤(11)은 제 1 그라비어롤(5)과 마찬가지로, 원통모양의 형상을 가지며, 그 외주면(11a)에는 둘레 방향을 따라서 제 2 인쇄부(11b)가 형성됨과 아울러, 축방향으로 연장되는 소정의 틈(11g)을 갖고 있다.
인쇄부(11b)에는, 단차 해소용 세라믹 페이스트를 복합 시트(2)상의 도전 페이스트가 인쇄되어 있지 않은 영역에 인쇄하기 위하여, 인쇄된 도전 페이스트와 실질적으로 동일 형상의 볼록부로 이루어지는 복수의 둑(11c)이 도전 페이스트와 대응하는 위치에 형성됨과 아울러, 그 주변에는 단차 해소용 세라믹 페이스트가 충전되는 격자형상의 홈(11d)이 형성되어 있다. 한편, 도 5b에서는, 1개의 인쇄부(11b)가 나타나 있으나, 2이상의 복수의 인쇄부가 형성되어 있어도 된다.
또한, 제 2 그라비어롤(11)의 외주면(11a)에는, 제 2 인쇄부(11b)뿐만 아니라, 제 1 그라비어롤(5)과 마찬가지로, 복합 시트의 반송 방향의 위치 어긋남을 보정하기 위한 제 2 인쇄 마크를 인쇄하기 위하여 인쇄 마크용 인쇄부(11f)가 형성되어 있다. 인쇄 마크용 인쇄부(11f)의 형상은 특별히 한정되지 않는다. 또한, 인쇄 마크용 인쇄부(11f)의 인쇄 방향 전방에는 트리거 마크 인쇄부(11e)가 형성되어 있다.
제 2 그라비어 인쇄부(4)의 그라비어롤(11)과 압접롤(12) 사이에, 도전 페이스트가 인쇄된 복합 시트(2)가 사이에 끼워지며, 인쇄부(11b)의 홈(11d)에, 도시하지 않은 단차 해소용 세라믹 페이스트 부여 수단에 의해 충전되어 있는 단차 해소용 세라믹 페이스트(제 2 페이스트)가 복합 시트(2)에 전사되어, 단차 해소가 되는 그라비어 인쇄가 행해진다. 한편, 단차 해소용 세라믹 페이스트는 유전체 세라믹, 자성체 세라믹, 유리, 유리 세라믹 등의 세라믹 분말과 유기 비히클을 혼합한 것이다.
또한, 복합 시트(2)를 그라비어롤(11)과 압접롤(12) 사이에 공급하기 위하여, 롤러(13a∼13e) 및 컴펜세이터롤(compensator roll)(28)이 배치되어 있다.
컴펜세이터롤(28)은 도 4의 화살표 D방향으로 그 위치가 이동될 수 있도록 구성되어 있으며, 그것에 의해, 세라믹 그린시트의 길이 방향 위치가 제어된다. 또한, 그라비어롤(11)의 후단에는, 롤러(13f)를 개재하여 제 2 건조 장치(14)가 배치되어 있다. 제 2 건조 장치(14)는 제 1 건조 장치(9)와 동일하게 구성되어 있다. 단, 제 2 건조 장치(14)는 제 2 그라비어롤(11)에 의해 부여된 단차 해소용 세라믹 페이스트를 건조하는데 적합한 가열원을 갖도록 구성되어 있다.
제 2 건조 장치(14)의 하류에는, 롤러(15a, 15b)가 배치되어 있으며, 제 1, 제 2 그라비어 인쇄부(3, 4)에 의해 인쇄가 행해진 복합 시트(2)가 화살표 C방향을따라서 배출된다.
도 6에 나타내는 바와 같이, 본 실시예에서는, 제 1 그라비어 인쇄부(3)에 있어서 인쇄된 도전 페이스트와, 제 2 그라비어 인쇄부(4)에서 인쇄되는 단차 해소용 세라믹 페이스트의 폭방향(복합 시트의 반송 방향에 직교하는 방향)의 위치 어긋남을 보정하기 위하여, 제 2 그라비어롤(11)에는 제 2 그라비어롤(11)을 그 축방향으로 이동시키는 이동 장치(20)가 연결되어 있다. 이동 장치(20)는 도 6에서는 약도적으로 나타나고 있으나, 제어 장치(24)로부터의 신호에 의해, 그라비어롤(11)을 그 축방향으로 적당한 거리 이동시킬 수 있는 임의의 왕복 구동원에 의해 구성될 수 있다. 이러한 왕복 구동원으로서는, 에어실린더, 유압실린더 등의 왕복 구동 장치, 또는 모터와 래크(rack) 및 피니언을 조합하여 이루어지는 왕복 구동 장치 등을 들 수 있다.
한편, 도 2는 본 실시예에 있어서, 그라비어롤(11)의 축방향 위치 및 복합 시트의 길이 방향 위치를 제어하기 위한 요부를 나타내는 개략 구성도이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 제 2 그라비어롤(11)의 전단에, 트리거 센서(trigger sensor)(21) 및 제 1 카메라(22)가 배치되어 있다. 트리거 센서(21)는 제 1 트리거 마크를 검출하기 위하여 형성되어 있으며, 카메라(22)는 제 1 인쇄 마크를 검출하기 위하여 형성되어 있다. 트리거 센서(21) 및 제 1 카메라(22)는 제 1 화상 처리 장치(23)에 접속되어 있다. 제 1 화상 처리 장치(23)는 제어 장치(24)에 접속되어 있다.
제어 장치(4)는 트리거 마크가 트리거 센서(21)에 의해 검출되었을 때에, 카메라(22)에 의해 제 1 인쇄 마크를 촬영하는 신호를 카메라(22)에 준다. 그리고, 카메라(22)에 의해 검출된 제 1 인쇄 마크의 화상이 화상 처리 장치(23)에 의해 처리되고, 제 1 인쇄 마크의 위치를 나타내는 신호가 제어 장치(24)에 주어지도록 구성되어 있다.
한편, 제 2 그라비어롤(11)의 하류에는, 트리거 센서(25) 및 제 2 카메라(26) 및 제 2 화상 처리 장치(27)가 배치되어 있다. 트리거 센서(25)는 제 2 그라비어롤(11)에 의해 인쇄된 제 2 트리거 마크를 촬영하기 위하여 형성되어 있으며, 카메라(26)는 제 2 인쇄 마크를 촬영하기 위하여 형성되어 있다. 또한, 화상 처리 장치(27)는 제어 장치(24)에 접속되어 있다. 제어 장치(24)는 제 2 그라비어 인쇄 공정 후에, 제 2 트리거 마크가 트리거 센서(25)에 의해 검출된 것을 나타내는 신호를 받아들이면, 카메라(26)를 구동하여, 제 2 인쇄 마크를 촬영하도록 제 2 카메라(26)를 구동한다. 그리고, 제 2 카메라(26)에 의해 촬영된 화상은 화상 처리 장치(27)에 처리되고, 제 2 인쇄 마크의 위치를 나타내는 신호가 제어 장치(24)에 주어진다.
한편, 제어 장치(24)에는, 미리 정해진 제 1, 제 2 인쇄 마크의 원하는 위치, 즉 제 1, 제 2 인쇄 마크의 세라믹 그린시트의 원하는 길이 방향 및 폭방향 위치가 기억되어 있다.
다음으로, 도 1a∼도 1c, 및 도 3a, 도 3b를 아울러 참조하여, 본 실시예의 적층 세라믹 전자 부품의 제조 방법을 설명한다.
도 1a는 제 1, 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해진 후의 복합 시트의 모식적평면도이다. 한편, 도 1a에서는, 지지 필름의 폭(화살표에 직교하는 방향의 칫수)과 세라믹 그린시트의 폭이 동일하지만, 지지 필름의 폭보다 세라믹 그린시트의 폭이 작아도 된다. 예를 들면, 세라믹 그린시트의 양측에 지지 필름이 노출되게 된다. 또한, 그 경우에, 제 1, 제 2 트리거 마크 및 제 1, 제 2 인쇄 마크를 지지 필름상에 인쇄해도 된다.
제 1 트리거 마크(33) 및 제 1 인쇄 마크(34)는 제 1 그라비어 인쇄 공정에서 인쇄된 것이며, 도 1b에 나타내는 바와 같이, 제 1 인쇄 공정 후에는 인쇄 마크로서 제 1 인쇄 마크(34)만이 인쇄된다. 제 2 트리거 마크(35) 및 제 2 인쇄 마크(36)는 제 2 그라비어 인쇄 공정에서 인쇄된 것이다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 본 실시예에서는, 제 1 그라비어 인쇄 공정 후이며 제 2 그라비어 인쇄 공정 전에, 화상 처리 장치(23)를 사용하여 제 1 인쇄 마크(34)의 위치가 검출된다. 즉, 트리거 센서(21)에 의해 제 1 트리거 마크(33)가 확인되면, 제어 장치(24)에 의해 제 1 카메라로서의 카메라(22)가 구동되어, 제 1 인쇄 마크(34)가 촬영된다. 그리고, 제 1 인쇄 마크(34)의 실제의 위치가 제어 장치(24)에 주어진다.
제어 장치(24)는 상기와 같이 하여 구해진 제 1 인쇄 마크(34)의 실제의 위치와, 제어 장치(24)에 미리 기억되어 있는 제 1 인쇄 마크의 원하는 위치와의 차이를 연산하고, 상기 차이에 의거하여, 도 1c에 나타내는 제 1, 제 2 인쇄 마크(34, 35)간의 폭방향 거리(q) 및 길이 방향 거리(r)가 제 1, 제 2 인쇄 마크의 소정의 위치간의 폭방향 거리(Q) 및 길이 방향 거리(R)에 합치하도록, 복합시트(2)를 이동시킨다. 이 이동은 상술한 이동 장치(20) 및 컴펜세이터롤(28)에 의해 행해진다. 즉, 세라믹 그린시트의 폭방향으로의 이동은 이동 장치(20)에 의해 행해지고, 길이 방향의 이동은 길이 방향의 차이를 없애도록 컴펜세이터롤(28)의 위치가 조정된다.
따라서, 제 2 그라비어 인쇄 공정에 앞서, 제 1, 제 2 인쇄 마크간의 위치 관계가 적절하도록 복합 그린시트가 이동되어, 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해진다. 즉, 제 1 인쇄 마크가 원하는 위치로부터 어긋나 있어도, 제 2 인쇄 마크가 제 1 인쇄 마크와 올바른 위치 관계가 되도록 인쇄된다. 따라서, 이후의 제 2 그라비어 인쇄 공정에 있어서는, 제 1 그라비어 인쇄 공정에서 인쇄된 도형에 대하여, 적절한 위치 관계로 고정밀도로 제 2 그라비어 인쇄 공정에 의한 인쇄 도형을 형성할 수 있다. 즉, 제 1, 제 2 그라비어 인쇄 공정에서 인쇄되는 인쇄 도형간의 상대적인 위치 어긋남을 확실하게 억제할 수 있다.
한편, 본 실시예에서는, 상기 이동 장치(20) 및 컴펜세이터롤(28)에 의한 세라믹 그린시트의 이동은 제 2 그라비어 인쇄 공정에 앞서 행해지지만, 제 2 그라비어 인쇄 공정 동안에 행해져도 된다. 즉, 제 2 그라비어 인쇄를 개시한 도중의 공정에 있어서 상기 세라믹 그린시트를 이동시키고, 이후의 제 2 그라비어 인쇄 공정에 있어서의 인쇄를 고정밀도로 행하도록 구성해도 된다. 특히, 제 2 그라비어 인쇄 공정에 있어서, 복수의 인쇄 도형이 길이 방향을 따라서 인쇄되는 경우에는, 상기 인쇄 도형간의 영역에 있어서 상기 세라믹 그린시트의 이동을 행하면, 제 2 그라비어 인쇄 공정에서 인쇄되는 인쇄 도형의 변형을 억제할 수 있다.
단, 본 실시예에서는, 상기 세라믹 그린시트가 이동된 후에, 그라비어롤(11)을 사용하여 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해진다.
제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해지면, 도 1a에 나타나 있는 제 2 트리거 마크(35) 및 제 2 인쇄 마크(36)가 인쇄된다. 제 2 그라비어롤(11)의 하류에 있어서, 트리거 센서(20)에 의해 제 2 트리거 마크(35)가 검출되면, 제어 장치(24)가 카메라(26)를 구동하여, 제 2 인쇄 마크(36)가 카메라(26)에 의해 촬영되고, 화상 처리 장치(27)에 의해 제 2 인쇄 마크(36)의 위치가 검출되어, 제어 장치(24)에 주어진다.
한편, 제어 장치(24)에는, 미리 정해진 제 2 인쇄 마크의 원하는 위치가 기억되어 있다. 제어 장치(24)는 제 1, 제 2 그라비어 인쇄 공정에 있어서 실제로 인쇄된 제 1, 제 2 인쇄 마크의 위치와, 미리 기억되어 있었던 제 1, 제 2 인쇄 마크의 원하는 위치를 비교하고, 그 차이를 없애도록 세라믹 그린시트를 이동시킨다.
따라서, 제 2 그라비어 인쇄 공정 후에, 제 1, 제 2 인쇄 마크의 실제의 인쇄 위치와, 미리 기억되어 있었던 제 1, 제 2 인쇄 마크의 원하는 위치와의 차이를 없애도록 세라믹 그린시트를 이동시킴으로써, 이후의 인쇄시에, 제 1, 제 2 그라비어 인쇄 공정에 의한 인쇄를, 모두 고정밀도로 행할 수 있다. 단, 본 발명에서는, 제 2 인쇄 마크를 사용한 상기 피드백 제어는 반드시 필요하지 않으며, 상술한 제 1 인쇄 마크를 사용한 피드포워드 제어만을 행해도 된다.
단, 본 실시예에서는, 상기와 같이 이동 장치(20)에 의해 제 2 그라비어롤(11)이 세라믹 그린시트의 폭방향을 따라서 이동되고, 또한 컴펜세이터롤(28)의 위치가 이동된 후에는, 제 1, 제 2 인쇄 마크(34, 36)간의 거리가 목표 거리(Q, R)에 확실하게 합치되게 된다. 따라서, 도 7 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 이후의 제 2 그라비어 인쇄 공정을 실시한 경우, 제 2 그라비어 인쇄 공정에서 인쇄된 도형을 제 1 그라비어 인쇄 공정에서 인쇄된 인쇄 도형에 대하여 정확한 위치에 인쇄할 수 있다. 바꿔 말하면, 도전 페이스트와, 단차 해소용 세라믹 페이스트를, 양자가 겹치지 않도록 정확하게 인쇄할 수 있다.
상술과 같은 제 1, 제 2 그라비어 인쇄 공정을 행한 복합 시트(2)에서는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 지지 필름(71)상에 세라믹 그린시트(72)가 형성되고, 세라믹 그린시트(72)상에, 제 1 그라비어 인쇄 공정에 있어서 내부 전극(73)이 형성되며, 제 2 그라비어 인쇄 공정에 있어서 단차 해소용 세라믹(74)이 형성된다. 한편, 도 8에 있어서는, 내부 전극(73)과 단차 해소용 세라믹(74)은 간극없이 형성되어 있으나, 소정의 간극을 갖도록 형성해도 되고, 내부 전극의 바깥 가장자리부의 원하는 폭만큼 단차 해소용 세라믹이 겹치도록 형성해도 된다.
이러한 장척형상의 복합 시트(2)를 도시하지 않은 절단 헤드에 의해, 세라믹 그린시트(72), 내부 전극(73) 및 단차 해소용 세라믹(74)을 컷트하고, 이들을 지지 필름(71)으로부터 박리하여, 적층 스테이지상 또는 절단 헤드 내에 있어서 적층하는 공정을 반복함으로써, 도 9a에 나타내는 마더 적층체(81)가 얻어진다. 한편, 적층되는 복합 시트의 하층에는, 무지(無地)의 세라믹 그린시트가 적층되어 있다. 상층에 있어서도 필요에 따라서 무지의 세라믹 그린시트가 적층되어도 된다.
또한, 장척형상의 복합 시트를 인쇄부를 둘러싸도록 카드형상으로 절단하고,지지 필름을 위로 한 상태에서, 적층 스테이지상에 탑재된 하층의 무지의 세라믹 그린시트의 위에 압착하며, 지지 필름(71)을 박리하여 적층하는 공정을 반복함으로써, 마더 적층체(81)를 형성해도 된다.
다음으로, 마더 적층체(81)를 두께 방향으로 절단함으로써, 개개의 적층 세라믹 커패시터 단위의 적층체가 얻어진다. 그리고, 상기와 같이 하여 얻어진 개개의 적층 세라믹 커패시터 단위의 적층체가 소성되어, 도 8b에 나타내는 세라믹 소결체(92)가 얻어진다. 세라믹 소결체(92)의 양 단면에 외부 전극(93, 94)을 형성함으로써, 적층 세라믹 커패시터(91)가 얻어진다. 적층체와 외부 전극은 동시에 소성해도 된다.
적층 세라믹 커패시터(91)의 제조 방법에서는, 상기 도전 페이스트 및 단차 해소용 세라믹 페이스트의 인쇄가 상기 실시예에 따라서 행해지기 때문에, 도전 페이스트 및 단차 해소용 세라믹 페이스트의 인쇄의 위치맞춤에 의한 어긋남이 저감되어, 도전 페이스트에 의한 단차를 보다 확실하게 해소할 수 있다.
따라서, 얻어진 소결체에 있어서의 디라미네이션 등의 구조 결함이 발생하기 어렵고, 양품률을 효과적으로 높일 수 있다.
본 발명에 있어서는, 상술한 적층 세라믹 커패시터 이외에도, 예를 들면, 적층 인덕터, 적층 노이즈 필터, 적층 LC 필터, 적층 복합 모듈과 같은 적층 세라믹 전자 부품에 적용할 수 있다. 이 경우에는, 예를 들면 세라믹 그린시트에 비아홀을 형성함으로써, 평면형상의 내부 전극 패턴과 접속해서 회로 소자를 구성하면 된다.
(제 1 변형예)
도 10∼도 12를 참조하여, 제 1 실시예의 제 1 변형예의 적층 세라믹 전자 부품의 제조 방법을 설명한다. 제 1 변형예 및 후술하는 제 2, 제 3 변형예에서는, 제 2 그라비어 인쇄 공정 후에 제 2 인쇄 마크의 위치를 검출하는 구성이 다른 것을 제외하고는, 제 1 실시예와 동일하므로, 다른 부분만을 설명하고, 동일 부분에 대해서는 제 1 실시예의 설명을 원용함으로써 생략한다.
도 10에 나타내는 바와 같이, 트리거 센서(41) 및 카메라(42)가 화상 처리 장치(27)에 접속되어 있다. 트리거 센서(41)는 제 2 그라비어롤(11)상의 트리거 마크 인쇄부(11e)를 검출하기 위하여 형성되어 있다. 카메라(42)는 제 2 그라비어롤(11)에 형성된 제 2 인쇄 마크 인쇄부(11f)를 촬영하기 위하여 형성되어 있다. 즉, 본 변형예에서는, 복합 시트에 인쇄된 제 2 트리거 마크 및 제 2 인쇄 마크가 아니라, 제 2 그라비어롤(11)에 형성된 트리거 마크 인쇄부(11e) 및 제 2 인쇄 마크 인쇄부(11f) 자체를 사용하여, 제 2 인쇄 마크 인쇄부의 위치가 구해지고, 제어 장치(24)에 주어진다.
본 변형예에 있어서도, 제어 장치(24)에는, 미리 제 1 인쇄 마크의 원하는 위치 및 제 2 인쇄 마크의 원하는 위치가 기억되어 있다.
본 변형예에서는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 복합 시트에 제 1 인쇄 마크(34)가 인쇄되고, 이 제 1 인쇄 마크(34)의 위치가 제 1 실시예의 경우와 마찬가지로 제어 장치(24)에 주어진다.
제어 장치(24)는 실제로 인쇄된 제 1 인쇄 마크(34)의 위치에 의거하여, 미리 기억되어 있는 제 1, 제 2 인쇄 마크간의 폭방향 거리(Q) 및 길이 방향 거리(R)떨어진 위치에 제 2 인쇄 마크가 인쇄되도록, 제 1 실시예와 동일하게 하여, 세라믹 그린시트를 이동한다. 따라서, 제 2 그라비어 인쇄 공정에 앞서, 세라믹 그린시트가 적절한 위치로 이동된다. 따라서, 제 2 실시예에 있어서도, 제 1 그라비어 공정에서 인쇄된 인쇄 도형이 어긋나 있었다고 하더라도, 제 1 그라비어 인쇄 공정에서 인쇄된 인쇄 도형에 대하여 적절한 위치 관계로 제 2 그라비어 인쇄 공정의 인쇄 도형을 형성할 수 있다.
다음으로, 제 2 그라비어 인쇄 공정에 있어서, 제 2 트리거 마크 인쇄부(11e)를 트리거 센서(41)가 검출하면, 도 12에 나타내는 제 2 인쇄 마크 인쇄부(11f)가 카메라(42)에 의해 촬영되고, 그 위치 정보가 제어 장치(24)에 주어진다. 또한, 촬영한 타이밍도 제어 장치(24)에 주어진다. 상기 위치 정보와 타이밍에 의해 제어 장치(24)는 제 2 인쇄 마크의 인쇄 위치를 연산한다.
본 변형예에서는, 제어 장치(24)에 미리 기억되어 있는 제 1, 제 2 인쇄 마크의 원하는 위치와, 상술한 제 1 인쇄 마크의 인쇄 위치와, 제어 장치(24)에서 연산된 제 2 인쇄 마크의 인쇄 위치의 차이를 해소하도록, 세라믹 그린시트를 제 1 실시예의 경우와 동일하게 하여 이동시키고, 다음회 이후의 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해진다.
따라서, 다음회 이후의 제 2 그라비어 인쇄 공정을 실시한 경우, 제 1, 제 2 그라비어 인쇄 공정에서 인쇄되는 인쇄 도형이 올바른 위치에 인쇄된다.
또한, 복합 시트에 인쇄된 제 2 트리거 마크 및 제 2 인쇄 마크의 위치를 직접 구하는 것이 아니라, 제 2 그라비어롤(11)에 형성된 트리거 마크 인쇄부(11e)및 제 2 인쇄 마크 인쇄부(11f) 자체를 사용하여, 제 2 트리거 마크 및 제 2 인쇄 마크의 위치를 구하기 때문에, 제 2 트리거 마크 및 제 2 인쇄 마크의 재질에 관계없이 화상 처리가 가능하다.
예를 들면, 제 2 트리거 마크 및 제 2 인쇄 마크에 복합 시트의 세라믹 그린시트와 동일한 세라믹 재료를 사용한 경우에는, 복합 시트상에서는 제 2 트리거 마크 및 제 2 인쇄 마크의 화상 처리가 어려울 때가 있으나, 트리거 마크 인쇄부(11e) 및 제 2 인쇄 마크 인쇄부(11f) 자체를 화상 처리하면, 제 2 그라비어롤(11)과 트리거 마크 인쇄부(11e) 및 제 2 인쇄 마크 인쇄부(11f)의 비교는 트리거 마크 및 인쇄 마크의 재질에 관계없이 가능하다.
한편, 트리거 마크 인쇄부(11e) 및 제 2 인쇄 마크 인쇄부의 위치와, 복합 시트에 인쇄된 제 2 트리거 마크 및 제 2 인쇄 마크의 위치는, 제 2 그라비어롤(11)과 복합 시트 사이의 미끄러짐 등에 의한 어긋남이 없는 한 일치하기 때문에 실용상 가능하다.
(제 2 변형예)
도 13∼도 17을 참조하여 제 1 실시예의 제 2 변형예를 설명한다.
제 2 변형예에서는, 도 14에 제 2 그라비어 인쇄 공정 후의 복합 시트를 평면도로 나타내는 바와 같이, 제 1, 제 2 그라비어 인쇄 공정 후에는, 인쇄 영역의 외측에, 제 1 인쇄 마크(51) 및 제 2 인쇄 마크(52)가 인쇄되어 있다.
제 1, 제 2 인쇄 마크(51, 52)의 복합 시트(2)의 길이 방향을 따르는 칫수는 복합 시트의 폭방향 위치에 따라 변화하고 있다. 구체적으로는, 제 1, 제 2 인쇄마크(51, 52)는 복합 시트의 폭방향을 따라서 복합 시트 길이 방향을 따르는 칫수가 내측으로 갈수록 커지는 형상으로 되어 있다. 보다 구체적으로는, 제 1, 제 2 인쇄 마크(51, 52)는 내측에 밑변을 갖는 삼각형의 형상으로 되어 있다.
한편, 도 13에 나타내는 바와 같이, 제 2 그라비어롤(11)의 전단에는, 제 1 센서(53) 및 제 1 시간 계측 장치(54)가 배치되어 있다. 제 1 센서(53)는 제 1 인쇄 마크(51)가 통과했을 때에, 즉 통과하고 있는 동안 온상태로 되도록 구성되어 있다. 제 1 시간 계측 장치(54)는 제 1 센서(53)가 온상태로 되어 있는 시간을 계측한다. 바꿔 말하면, 제 1 시간 계측 장치(54)는 제 1 인쇄 마크(51)가 통과하고 있는 시간 기간을 계측하여, 제어 장치(24)에 준다. 또한, 제 1 센서(53)로부터 온상태로 되는 타이밍도 제어 장치(24)에 주어진다.
한편, 제 2 그라비어롤(11)의 후단에도, 동일하게 하여, 제 2 센서(55) 및 제 2 시간 계측 장치(56)가 배치되어 있다. 제 2 센서(55)는 제 1 센서(53)와 동일하게 구성되어 있으며, 단, 제 2 인쇄 마크(52)가 통과하는 동안 온상태로 되도록 구성되어 있다. 따라서, 제어 장치(24)에는, 제 2 인쇄 마크(52)가 통과하는 시간 기간이 제 2 시간 계측 장치(56)로부터 주어진다. 또한, 제 2 센서(55)가 온상태가 되는 타이밍도 제어 장치(24)에 주어진다.
그런데, 제 1, 제 2 인쇄 마크(51, 52)는 상술한 바와 같이, 그 복합 시트의 길이 방향을 따르는 칫수가 폭방향 위치에 따라 변화하도록 구성되어 있다. 따라서, 제 1, 제 2 인쇄 마크(51, 52)가 통과하는 시간 기간을 측정함으로써, 제 1, 제 2 인쇄 마크(51, 52)의 폭방향 위치를 검출할 수 있다. 이것을, 도 15 및 도 16을 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.
제 1 인쇄 마크(51)가 통과했을 때에, 도 15a에 나타내는 바와 같이, 제 1 인쇄 마크(51)가 통과하는 시간 기간(i)이 얻어진다. 한편, 제 2 인쇄 마크(52)가 통과할 때에는, 제어 장치(24)에, 도 15b에 나타내는 시간 기간(u)이 주어진다. 시간 기간(i) 및 시간 기간(u)이 주어지면, 제 1, 제 2 인쇄 마크(51, 52)가 상기와 같은 형상을 갖기 때문에, 제어 장치(24)에 있어서, 제 1, 제 2 인쇄 마크(51, 52)의 상기 폭방향 위치를 연산할 수 있다. 이 연산 결과에 의거하여, 제 1, 제 2 인쇄 마크(51, 52)간의 시트 폭방향 거리(w)가 구해진다. 한편, 제어 장치(24)에서는, 미리, 제 1, 제 2 그라비어 인쇄 공정에 있어서 정확하게 인쇄가 행해졌을 때의 제 1, 제 2 인쇄 마크(51, 52)간의 상기 폭방향 거리가 기억되어 있다. 따라서, 제어 장치(24)에 있어서, 실제로 구해진 제 1, 제 2 인쇄 마크(51, 52)간의 거리와, 상기 목표 거리와의 차이를 없애도록 제 2 그라비어롤(11)을 이동 장치에 의해 이동시키면, 폭방향의 인쇄 어긋남을 확실하게 해소할 수 있다.
덧붙여, 상기 폭방향뿐만 아니라, 세라믹 그린시트의 길이 방향에 있어서의 인쇄 어긋남도 해소할 수 있다.
즉, 센서(53, 55)에 의해 상기 시간 기간(i) 및 시간 기간(u)이 측정될 때의 측정 개시의 타이밍이 동시에 검출되기 때문에, 인쇄 마크(51, 52)의 길이 방향의 거리(v)도 구해진다. 제어 장치(24)에, 미리, 제 1, 제 2 그라비어 인쇄 공정에 의해 인쇄된 제 1, 제 2 인쇄 마크(51, 52)간의 상기 길이 방향의 목표 거리를 기억해 두면, 상기 길이 방향의 목표 거리와, 상기와 같이 하여 구해진 제 1, 제 2 인쇄 마크(51, 52)간의 길이 방향 거리와의 차이만큼, 컴펜세이터롤(28)을 이동시켜서, 제 2 그라비어 인쇄 공정에 있어서의 세라믹 그린시트의 길이 방향 위치를 보정하면 된다.
(제 3 변형예)
제 2 변형예에서는, 제 2 센서(55)는 제 2 그라비어롤(11)에 의해 인쇄된 제 2 인쇄 마크(52)가 통과하는 기간을 측정하고 있었으나, 도 16에 나타내는 바와 같이, 제 2 센서는 제 2 그라비어롤(11)에 형성된 제 2 인쇄 마크 인쇄부(11h)가 통과하는 시간 기간(Ua)을 계측하도록 배치해도 된다. 이 경우에는, 그라비어롤(11)의 표면의 제 2 인쇄 마크 인쇄부의 상기 통과 시간 기간(Ua)과 실제로 인쇄되는 제 2 인쇄 마크의 위치 관계를 구해 두면, 상기 시간 기간(Ua)으로부터 제 2 인쇄 마크가 인쇄되는 위치를 구할 수 있다. 그 밖의 점에 대해서는, 제 2 변형예와 동일하다.
(다른 변형예)
한편, 제 1 실시예에서는, 그라비어롤(11)의 하류에 배치된 1대의 카메라에 의해, 제 1, 제 2 인쇄 마크가 촬영되고 있었으나, 제 1, 제 2 인쇄 마크를 각각 다른 카메라로 인쇄하도록 구성해도 된다. 즉, 제 2 그라비어롤(11)의 후단에, 트리거 마크를 촬영하는 카메라 이외에, 2대의 카메라를 더 배치해도 된다.
또한, 제 2 변형예에 있어서도, 제 2 그라비어롤(11)의 후단에, 제 1, 제 2 인쇄 마크의 각각의 통과 시간을 측정하기 위하여, 2대의 센서를 배치해도 된다.
또한, 본 발명에서는, 시트의 폭방향을 따르는 제어만을, 제 2 그라비어롤의축방향 위치를 이동시킴으로써 행해도 된다.
상술해 온 실시예 및 변형예에서는, 제 1 페이스트가 도전 페이스트이고, 제 2 페이스트가 단차 해소용 세라믹 페이스트였으나, 제 1 페이스트가 단차 해소용 세라믹 페이스트이고, 제 2 페이스트가 도전 페이스트여도 된다. 또한, 제 1, 제 2 페이스트가 모두 도전 페이스트여도 된다. 제 1, 제 2 페이스트가 모두 도전 페이스트인 예로서는, 예를 들면 다른 형상의 전극 패턴을 제 1, 제 2 페이스트로 구성하는 경우, 다른 재료의 도전 페이스트를 사용하는 구조를 얻는 경우, 또는 덧칠이 필요한 경우 등을 들 수 있다.
또한, 적층 세라믹 전자 부품에 한하지 않고, 다른 세라믹 전자 부품의 제조에도 본 발명을 적용할 수 있다.
제 1 발명에 따른 세라믹 전자 부품의 제조 방법에서는, 제 1 그라비어 인쇄 공정 후에, 미리 구해진 제 1 인쇄 마크의 원하는 위치와, 실제로 인쇄된 제 1 인쇄 마크의 위치가 비교되고, 그 결과에 의거하여 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해진다. 따라서, 세라믹 그린시트 또는 지지 필름상에 제 1, 제 2 페이스트를 제 1, 제 2 그라비어 인쇄 공정에 있어서 인쇄한 경우, 제 1 그라비어 인쇄 공정에서 인쇄된 도형에 대하여 고정밀도로 제 2 그라비어 인쇄 공정에 의한 인쇄 도형을 인쇄할 수 있다.
또한, 제 1 인쇄 마크의 인쇄 위치와, 제 1 인쇄 마크의 원하는 위치와의 차이에 의거하여, 세라믹 그린시트를 폭방향 및/또는 길이 방향으로 이동시킨 후, 또는 폭방향 및/또는 길이 방향의 이동중에 제 2 그라비어 인쇄 공정을 행한 경우에는, 이동 후에 행해지는 제 2 그라비어 인쇄 공정에 있어서, 제 2 그라비어 인쇄 공정에서 인쇄되는 도형을 제 1 그라비어 인쇄 공정에서 인쇄된 도형에 대하여 고정밀도의 위치 관계로 인쇄할 수 있다.
제 1 인쇄 마크의 인쇄 위치가 제 1 촬상 장치 및 제 1 화상 처리 장치를 사용하여 행해지는 경우에는, 인쇄된 제 1 인쇄 마크의 위치를 고정밀도로 검출할 수 있다.
제 2 그라비어 인쇄 공정에 있어서, 세라믹 그린시트상에 제 2 인쇄 마크가 인쇄되고, 미리 구해진 제 1, 제 2 인쇄 마크의 원하는 위치와, 실제로 인쇄된 제 1, 제 2 인쇄 마크의 위치가 비교되며, 그 결과에 의거하여 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해지는 경우에는, 제 1 그라비어 인쇄 공정 후에, 세라믹 그린시트가 피드포워드 제어에 의해 그 위치가 제어된 후, 또한 제 2 그라비어 인쇄 공정에 있어서 제 1, 제 2 인쇄 마크의 실제의 인쇄 위치에 의거하여 피드백 제어에 의해, 제 1, 제 2 인쇄 마크의 인쇄 위치가 고정밀도로 제어된다. 따라서, 보다 한층 고정밀도로 제 1, 제 2 그라비어 인쇄 공정을 행할 수 있다.
제 2 그라비어 인쇄 공정에서 사용되는 판동(版胴)에 형성된 제 2 인쇄 마크 인쇄부의 위치가 검출됨으로써, 상기 세라믹 그린시트 또는 지지 필름상에 형성되는 제 2 인쇄 마크의 위치가 구해지고, 미리 구해진 제 1, 제 2 인쇄 마크의 원하는 위치와 실제로 인쇄된 제 1, 제 2 인쇄 마크의 위치를 비교하며, 그 결과에 의거하여 제 1 또는 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해지는 경우에는, 판동에 형성된제 2 인쇄 마크의 인쇄부의 위치의 검출에 의해 제 2 인쇄 마크의 인쇄 위치를 구하기 때문에, 보다 신속하게 제 1, 제 2 인쇄 마크의 인쇄 위치와, 제 1, 제 2 인쇄 마크의 원하는 위치를 비교할 수 있고, 따라서 보다 신속하게 고정밀도로 제 2 그라비어 인쇄 공정시의 세라믹 그린시트의 위치의 제어를 행할 수 있다.
제 2 발명에 따른 세라믹 전자 부품의 제조 방법에서는, 미리 구해진 제 1 인쇄 마크의 소망으로 하는 통과 시간과, 실제로 인쇄된 제 1 인쇄 마크의 통과 시간을 비교하고, 그 결과에 의거하여 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해지기 때문에, 제 1 발명과 마찬가지로, 제 1 그라비어 인쇄 공정에서 인쇄된 도형에 대하여 고정밀도의 위치 관계로 제 2 그라비어 인쇄 공정에서 인쇄되는 도형을 인쇄할 수 있다.
제 1 인쇄 마크의 원하는 통과 시간과 실제로 인쇄된 제 1 인쇄 마크의 통과시간의 차이에 의거하여, 소망으로 하는 제 1 인쇄 마크의 통과 시간과 제 2 인쇄 마크의 원하는 통과 시간의 시간차로 제 1 인쇄 마크를 인쇄 후에 제 2 인쇄 마크가 인쇄되도록 세라믹 그린시트를 폭방향 및/또는 길이 방향으로 이동시킨 후, 또는 폭방향 및/또는 길이 방향의 이동중에 제 2 그라비어 인쇄 공정을 행하는 경우에는, 세라믹 그린시트의 이동에 의해, 제 2 그라비어 인쇄 공정에서 인쇄되는 인쇄 도형을, 제 1 그라비어 인쇄 공정에서 인쇄된 도형에 대하여 고정밀도의 위치 관계로 인쇄하는 것이 가능해진다.
제 1 인쇄 마크의 통과 시간을 계측하는 수단으로서, 제 1 센서 및 제 1 계측 장치가 사용되는 경우에는, 제 1 인쇄 마크의 통과 시간을 신속히 또한 고정밀도로 계측할 수 있다.
제 1 및/또는 제 2 인쇄 마크가 세라믹 그린시트의 폭방향을 따라서 세라믹 그린시트의 길이 방향 칫수가 변화하는 형상을 갖고 있는 경우에는, 간단한 센서를 사용하여 제 1, 제 2 인쇄 마크의 통과 시간을 용이하게 검출할 수 있다.
Claims (11)
- 지지 필름상에 세라믹 그린시트가 형성된 장척(長尺)형상의 복합 시트를 준비하는 공정과,상기 세라믹 그린시트상의 인쇄 영역 내의 제 1 영역에 그라비어 인쇄법에 의해 제 1 페이스트를 인쇄하는 제 1 그라비어 인쇄 공정과,상기 세라믹 그린시트상의 인쇄 영역 내의 제 2 영역에 그라비어 인쇄법에 의해 제 2 페이스트를 인쇄하는 제 2 그라비어 인쇄 공정을 구비하고,상기 제 1 그라비어 인쇄 공정에 있어서, 상기 세라믹 그린시트 또는 지지 필름상에 제 1 인쇄 마크가 형성되며,미리 구해진 제 1 인쇄 마크의 원하는 위치와 상기 형성된 제 1 인쇄 마크의 위치를 비교하고,그 결과에 의거하여, 상기 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해지는 것을 특징으로 하는 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 그라비어 인쇄 공정은 상기 제 1 인쇄 마크의 결과에 의거하여, 상기 세라믹 그린시트를 폭방향 및/또는 길이 방향으로 이동시킨 후, 또는 상기 폭방향 및/또는 길이 방향의 이동중에 행해지는 것을 특징으로 하는 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 인쇄 마크의 위치를 구하는 수단으로서, 제 1 촬상(撮像) 장치 및 제 1 화상 처리 장치가 사용되는 것을 특징으로 하는 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 그라비어 인쇄 공정에 있어서, 상기 세라믹 그린시트 또는 지지 필름상에 제 2 인쇄 마크가 형성되고, 미리 구해진 제 1 및 제 2 인쇄 마크의 원하는 위치와 상기 형성된 제 1 및 제 2 인쇄 마크의 위치를 비교하며, 그 결과에 의거하여 이후의 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해지는 것을 특징으로 하는 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 그라비어 인쇄 공정에서 사용되는 판동(版胴)에 형성된 제 2 인쇄 마크 인쇄부의 위치가 검출됨으로써, 상기 세라믹 그린시트상에 형성되는 제 2 인쇄 마크의 위치가 구해지는 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
- 지지 필름상에 세라믹 그린시트가 형성된 장척형상의 복합 시트를 준비하는 공정과,상기 세라믹 그린시트상의 인쇄 영역 내의 제 1 영역에 그라비어 인쇄법에 의해 제 1 페이스트를 인쇄하는 제 1 그라비어 인쇄 공정과,상기 세라믹 그린시트상의 인쇄 영역 내의 제 2 영역에 그라비어 인쇄법에 의해 제 2 페이스트를 인쇄하는 제 2 그라비어 인쇄 공정을 구비하고,상기 제 1 그라비어 인쇄 공정에 있어서, 상기 세라믹 그린시트 또는 지지 필름상에 제 1 인쇄 마크가 형성되며,미리 구해진 제 1 인쇄 마크의 원하는 통과 시간과 상기 형성된 제 1 인쇄 마크의 통과 시간을 비교하고,그 결과에 의거하여, 상기 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해지는 것을 특징으로 하는 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
- 제 6 항에 있어서, 상기 제 2 그라비어 인쇄 공정은 상기 제 1 인쇄 마크의 결과에 의거하여, 상기 세라믹 그린시트를 폭방향 및/또는 길이 방향으로 이동시킨 후, 또는 상기 폭방향 및/또는 길이 방향의 이동중에 행해지는 것을 특징으로 하는 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
- 제 6 항에 있어서, 상기 제 1 인쇄 마크의 통과 시간을 계측하는 수단으로서, 제 1 센서 및 제 1 계측 장치가 사용되는 것을 특징으로 하는 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
- 제 6 항에 있어서, 상기 제 2 그라비어 인쇄 공정에 있어서, 상기 세라믹 그린시트 또는 지지 필름상에 제 2 인쇄 마크가 형성되고,상기 제 1, 제 2 인쇄 마크의 원하는 통과 시간차와, 제 1, 제 2 인쇄 마크의 구해지는 통과 시간차를 비교하며,그 결과에 의거하여 이후의 제 2 그라비어 인쇄 공정이 행해지는 것을 특징으로 하는 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
- 제 1 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 제 1 및/또는 제 2 인쇄 마크가 세라믹 그린시트의 폭방향을 따라서 상기 세라믹 그린시트의 길이 방향 칫수가 변화하는 형상을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
- 제 1 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 제 1 페이스트와 상기 제 2 페이스트가 도전 페이스트와 단차 해소용 세라믹 페이스트, 단차 해소용 세라믹 페이스트와 도전 페이스트, 도전 페이스트와 도전 페이스트 중의 어느 하나의 조합인 것을 특징으로 하는 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003046068 | 2003-02-24 | ||
| JPJP-P-2003-00046068 | 2003-02-24 | ||
| JPJP-P-2003-00135656 | 2003-05-14 | ||
| JP2003135656A JP4789400B2 (ja) | 2003-02-24 | 2003-05-14 | セラミック電子部品の製造方法及びグラビア印刷方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20040076212A true KR20040076212A (ko) | 2004-08-31 |
| KR100630563B1 KR100630563B1 (ko) | 2006-09-29 |
Family
ID=32871217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020040011789A KR100630563B1 (ko) | 2003-02-24 | 2004-02-23 | 세라믹 전자 부품의 제조 방법 및 그라비어 인쇄 방법 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US7047880B2 (ko) |
| JP (1) | JP4789400B2 (ko) |
| KR (1) | KR100630563B1 (ko) |
| CN (1) | CN100392780C (ko) |
| TW (1) | TWI229877B (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101674040B1 (ko) | 2016-02-26 | 2016-11-08 | 방재승 | 다수의 기준마크를 이용하여 다색의 인쇄 패턴을 정렬하는 그라비아 인쇄장치 |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20030111158A1 (en) * | 2001-12-14 | 2003-06-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for manufacturing multilayer ceramic electronic element |
| JP4789400B2 (ja) * | 2003-02-24 | 2011-10-12 | 株式会社村田製作所 | セラミック電子部品の製造方法及びグラビア印刷方法 |
| JP4543636B2 (ja) * | 2003-08-21 | 2010-09-15 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
| JP4483508B2 (ja) * | 2004-07-27 | 2010-06-16 | Ｔｄｋ株式会社 | 積層型電子部品の製造方法 |
| KR100721163B1 (ko) * | 2005-09-27 | 2007-05-23 | 삼성전기주식회사 | 이미지 센서 모듈과 이를 이용한 카메라 모듈 및 카메라모듈의 제조방법 |
| KR20070062106A (ko) * | 2005-12-12 | 2007-06-15 | 삼성전자주식회사 | 인쇄판, 이의 제조 방법과 이를 포함하는 롤 프린트 장치및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 |
| KR100918814B1 (ko) * | 2007-10-04 | 2009-09-25 | 건국대학교 산학협력단 | 인쇄방법을 이용한 세라믹 전자부품 고속제조방법 |
| US9174428B2 (en) * | 2009-08-10 | 2015-11-03 | Corning Incorporated | Roll mechanics for enabling printed electronics |
| KR101332145B1 (ko) * | 2011-12-14 | 2013-11-21 | 삼성전기주식회사 | 그라비어 인쇄장치 |
| JP6149813B2 (ja) * | 2013-10-28 | 2017-06-21 | 株式会社村田製作所 | グラビア版の製造方法、グラビア印刷方法及び電子部品の製造方法 |
| CN103730542B (zh) * | 2014-01-17 | 2016-01-13 | 常州天合光能有限公司 | 电池片正面金属电极印刷方法及其印刷装置 |
| JP6131228B2 (ja) * | 2014-09-30 | 2017-05-17 | 株式会社フジクラ | 回路基板の製造方法及び回路基板製造装置 |
| JP6408901B2 (ja) * | 2014-12-24 | 2018-10-17 | 株式会社小森コーポレーション | 電子回路の印刷方法および装置 |
| JP6595763B2 (ja) * | 2014-12-24 | 2019-10-23 | 株式会社小森コーポレーション | 電子回路の印刷方法および装置 |
| JP6499859B2 (ja) * | 2014-12-24 | 2019-04-10 | 株式会社小森コーポレーション | 電子回路の印刷方法および装置 |
| JP6408900B2 (ja) * | 2014-12-24 | 2018-10-17 | 株式会社小森コーポレーション | 電子回路の印刷方法および装置 |
| JP6595764B2 (ja) * | 2014-12-24 | 2019-10-23 | 株式会社小森コーポレーション | 電子回路の印刷方法および装置 |
| JP6408902B2 (ja) * | 2014-12-24 | 2018-10-17 | 株式会社小森コーポレーション | 電子回路の印刷方法および装置 |
| CN107041061A (zh) | 2015-12-22 | 2017-08-11 | 德国贺利氏公司 | 通过厚膜浆料增强的直接覆铜基板 |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5555870A (en) * | 1978-10-19 | 1980-04-24 | Ono Sokki Co Ltd | Method and apparatus for coordination of double prints medium |
| JPS58135692A (ja) * | 1982-02-06 | 1983-08-12 | 松下電器産業株式会社 | 印刷の位置決め方法 |
| JPS6054492A (ja) * | 1983-09-02 | 1985-03-28 | 株式会社桜井製作所 | プリント配線印刷機等における被印刷板の位置決め方法 |
| US4757759A (en) * | 1986-03-05 | 1988-07-19 | Tam Ceramics, Inc. | Multilayer ceramic bar printing and assembling apparatus |
| US5287162A (en) * | 1992-06-16 | 1994-02-15 | Xerox Corporation | Method and apparatus for correction of color registration errors |
| US5384592A (en) * | 1992-11-16 | 1995-01-24 | Xerox Corporation | Method and apparatus for tandem color registration control |
| JPH08130154A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-05-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
| JP3358763B2 (ja) * | 1994-10-31 | 2002-12-24 | ティーディーケイ株式会社 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
| JP3358765B2 (ja) * | 1994-12-09 | 2002-12-24 | ティーディーケイ株式会社 | 積層セラミック電子部品製造装置 |
| DE69530651T2 (de) * | 1994-10-31 | 2004-03-25 | Tdk Corp. | Herstellungsverfahren von keramischen elektronischen Komponenten und Vorrichtung zur Herstellung |
| JPH08250370A (ja) * | 1995-03-14 | 1996-09-27 | Toshiba Corp | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
| JPH10217432A (ja) * | 1997-02-06 | 1998-08-18 | Dainippon Printing Co Ltd | 見当制御装置 |
| JP3180720B2 (ja) * | 1997-06-16 | 2001-06-25 | 松下電器産業株式会社 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
| JP2001085271A (ja) * | 1999-09-16 | 2001-03-30 | Tdk Corp | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
| JP2002118038A (ja) * | 2000-10-06 | 2002-04-19 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミックコンデンサの製造設備 |
| JP3680989B2 (ja) * | 2000-12-22 | 2005-08-10 | リコープリンティングシステムズ株式会社 | 印刷システム |
| KR100411253B1 (ko) | 2001-05-07 | 2003-12-18 | 삼성전기주식회사 | 다층 세라믹 소자의 제조방법 |
| DE10131957A1 (de) * | 2001-07-02 | 2003-01-16 | Nexpress Solutions Llc | Verfahren und Vorrichtung zum Erfassen und Korrigieren von Farbabweichungen beim Mehrfarbdruck |
| JP4348035B2 (ja) * | 2001-10-25 | 2009-10-21 | 株式会社村田製作所 | 積層電子部品の製造方法 |
| JP4419370B2 (ja) * | 2002-07-29 | 2010-02-24 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック電子部品の製造方法及びグラビア印刷方法 |
| JP4789400B2 (ja) * | 2003-02-24 | 2011-10-12 | 株式会社村田製作所 | セラミック電子部品の製造方法及びグラビア印刷方法 |
-
2003
- 2003-05-14 JP JP2003135656A patent/JP4789400B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-01-20 US US10/759,111 patent/US7047880B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2004-02-02 TW TW093102301A patent/TWI229877B/zh not_active IP Right Cessation
- 2004-02-23 CN CNB2004100070208A patent/CN100392780C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2004-02-23 KR KR1020040011789A patent/KR100630563B1/ko active IP Right Grant
-
2006
- 2006-01-19 US US11/335,055 patent/US7739950B2/en active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101674040B1 (ko) | 2016-02-26 | 2016-11-08 | 방재승 | 다수의 기준마크를 이용하여 다색의 인쇄 패턴을 정렬하는 그라비아 인쇄장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US7739950B2 (en) | 2010-06-22 |
| CN1525504A (zh) | 2004-09-01 |
| US20060117970A1 (en) | 2006-06-08 |
| TWI229877B (en) | 2005-03-21 |
| US20040163555A1 (en) | 2004-08-26 |
| US7047880B2 (en) | 2006-05-23 |
| JP4789400B2 (ja) | 2011-10-12 |
| CN100392780C (zh) | 2008-06-04 |
| JP2004319941A (ja) | 2004-11-11 |
| KR100630563B1 (ko) | 2006-09-29 |
| TW200425183A (en) | 2004-11-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7739950B2 (en) | Method for manufacturing ceramic electronic component and gravure printing method | |
| KR101332145B1 (ko) | 그라비어 인쇄장치 | |
| JP4419370B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法及びグラビア印刷方法 | |
| KR100918814B1 (ko) | 인쇄방법을 이용한 세라믹 전자부품 고속제조방법 | |
| JP2003191432A (ja) | 連続体シートの印刷方法および印刷装置 | |
| JP4675038B2 (ja) | 電子部品の製造方法及び電子部品製造装置 | |
| JP4348035B2 (ja) | 積層電子部品の製造方法 | |
| GB2293791A (en) | Preparing a multilayer ceramic component including capacitor | |
| JP4556999B2 (ja) | セラミック電子部品の製造方法及びグラビア印刷方法 | |
| JP4461761B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
| JP4078853B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法及び製造装置及びペースト印刷方法 | |
| JP4508235B2 (ja) | セラミック電子部品の製造方法及びグラビア印刷方法 | |
| JP2014003145A (ja) | 電子部品の製造方法および製造装置 | |
| CN104576054A (zh) | 电子元器件的制造方法 | |
| JP4543636B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
| JP2006237458A (ja) | 積層型電子部品の製造方法およびその装置 | |
| JP2008135761A (ja) | セラミック電子部品の製造方法及びグラビア印刷方法 | |
| JPH03108307A (ja) | セラミック電子部品の製造方法 | |
| JPH09162066A (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法及びその製造装置 | |
| JP2008238587A (ja) | スクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置 | |
| JP2005197331A (ja) | 積層型電子部品の積層体製造方法およびその装置 | |
| JP4639707B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
| CN101271783A (zh) | 陶瓷电子元件制造方法与凹版印刷法 | |
| JP2003068567A (ja) | 積層セラミックコンデンサの製造方法 | |
| CN114789597A (zh) | 丝网印刷版和丝网印刷方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| AMND | Amendment | ||
| E601 | Decision to refuse application | ||
| AMND | Amendment | ||
| J201 | Request for trial against refusal decision | ||
| B701 | Decision to grant | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120821 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130902 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140902 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150918 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160919 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190916 Year of fee payment: 14 |