KR20030008955A - 화염가수분해증착 공정용 버너의 화염 안정화 장치 - Google Patents

화염가수분해증착 공정용 버너의 화염 안정화 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20030008955A
KR20030008955A KR1020010044004A KR20010044004A KR20030008955A KR 20030008955 A KR20030008955 A KR 20030008955A KR 1020010044004 A KR1020010044004 A KR 1020010044004A KR 20010044004 A KR20010044004 A KR 20010044004A KR 20030008955 A KR20030008955 A KR 20030008955A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
flame
burner
stabilizer
flow
gas
Prior art date
Application number
KR1020010044004A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100414668B1 (ko
Inventor
조재걸
Original Assignee
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자 주식회사 filed Critical 삼성전자 주식회사
Priority to KR10-2001-0044004A priority Critical patent/KR100414668B1/ko
Priority to US10/046,798 priority patent/US6682339B2/en
Priority to EP02004951A priority patent/EP1278009A3/en
Priority to JP2002206042A priority patent/JP2003130311A/ja
Publication of KR20030008955A publication Critical patent/KR20030008955A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100414668B1 publication Critical patent/KR100414668B1/ko

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00—Other methods of shaping glass
    • C03B19/14—Other methods of shaping glass by gas- or vapour- phase reaction processes
    • C03B19/1415—Reactant delivery systems
    • C03B19/1423—Reactant deposition burners
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D14/00—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid
    • F23D14/26—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid with provision for a retention flame
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413—Reactant delivery systems
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D14/00—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid
    • F23D14/20—Non-premix gas burners, i.e. in which gaseous fuel is mixed with combustion air on arrival at the combustion zone
    • F23D14/22—Non-premix gas burners, i.e. in which gaseous fuel is mixed with combustion air on arrival at the combustion zone with separate air and gas feed ducts, e.g. with ducts running parallel or crossing each other
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D14/00—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid
    • F23D14/32—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid using a mixture of gaseous fuel and pure oxygen or oxygen-enriched air
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D14/00—Burners for combustion of a gas, e.g. of a gas stored under pressure as a liquid
    • F23D14/46—Details, e.g. noise reduction means
    • F23D14/70—Baffles or like flow-disturbing devices
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D91/00—Burners specially adapted for specific applications, not otherwise provided for
    • F23D91/02—Burners specially adapted for specific applications, not otherwise provided for for use in particular heating operations
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/04—Multi-nested ports
    • C03B2207/06—Concentric circular ports
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/04—Multi-nested ports
    • C03B2207/08—Recessed or protruding ports
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
    • C03B2207/22—Inert gas details
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/46—Comprising performance enhancing means, e.g. electrostatic charge or built-in heater
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23C—METHODS OR APPARATUS FOR COMBUSTION USING FLUID FUEL OR SOLID FUEL SUSPENDED IN  A CARRIER GAS OR AIR 
    • F23C2900/00—Special features of, or arrangements for combustion apparatus using fluid fuels or solid fuels suspended in air; Combustion processes therefor
    • F23C2900/9901—Combustion process using hydrogen, hydrogen peroxide water or brown gas as fuel
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23D—BURNERS
    • F23D2900/00—Special features of, or arrangements for burners using fluid fuels or solid fuels suspended in a carrier gas
    • F23D2900/21—Burners specially adapted for a particular use
    • F23D2900/21005—Burners specially adapted for a particular use for flame deposition, e.g. FHD, flame hydrolysis deposition

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)
  • Pre-Mixing And Non-Premixing Gas Burner (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
  • Gas Burners (AREA)

Abstract

본 발명은 화염가수분해증착용 버너의 화염 안정화 장치가 개시된다. 개시된 화염 안정화 장치는 (a) 기판에 화염을 분사하기 위한 동축류 확산화염용 버너; 및 (b) 상기 동축류 확산화염용 버너와 동축으로 그의 외주를 따라 제공되며, 상기 동축류 확산화염용 버너에서 분사된 화염을 불안정한 주위의 유동과 격리시켜 상기 화염과 입자의 유동을 안정화하는 화염 안정화기로 구성된다.

Description

화염가수분해증착 공정용 버너의 화염 안정화 장치{FLAME STABILIZER OF BURNER FOR FLAME HYDROLYSIS DEPOSITION PROCESS}
본 발명은 화염가수분해증착(FHD:Flame hydrolysis Deposion)을 이용한 미세입자 제조용 버너에 관한 것으로서, 특히 화염을 이용하여 미세입자를 웨이퍼상에광도파용 박막으로 안정하게 형성하기 위한 버너의 화염 안정화 장치에 관한 것이다.
화염을 이용한 미세입자 제조 공정은 여러 개의 동심원관으로 구성된 동축류 확산화염(co-flow diffusion flame) 버너에서 형성되는 산소-수소 화염을 이용하는 것이 일반적이며, 이 경우 원료 물질이 화염과 같이 분사되어 화염 내에서 가수분해반응(flame hydrolysis) 또는 산화반응(oxidation)을 거쳐, 미세한 입자를 형성하게 된다. 생성된 미세입자들은 화염을 따라 이동하면서, 서로 간의 충돌에 의해 응집(coagulation)되어 성장하며, 열영동(thermophoresis)에 의해 여러 가지 형태의 기판에 부착된다. 부착된 입자들은 용도에 따라 소결, 건조 과정을 거치게 되며, 광섬유를 제조하기 위한 OVD(Outside Vapor Deposition), VAD(Vapor-phase Axial Deposition) 그리고 평면 광도파 박막을 제조하기 위한 화염가수분해증착 공정(FHD)이 그 대표적인 예이다
종래의 화염가수분해증착(FHD) 공정에서 사용되는 여러 개의 동심원관으로 이루어진 버너(1)(burner)의 개략적인 구성이 도 1, 도 2에 도시되었다. 도 1, 도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 실시 예에 따른 동축류 화염확산용 버너(100)는 버너(1)의 중심에서 원료 물질(source material) 및 이송기체(carrier gas)(화살표①방향)가 분사되며, 그 주위에 수소()(화살표②방향)와 산소()(화살표③방향)의 분사로 인하여 발생하는 연소에 의해서 화염(F)이 형성된다. 입자를 생성하기 위한 원료 물질로는 주로,,등이 사용되며, 이들은 상온에서 액체이므로, 이송기체로 버블링(bubbling)하여 사용된다. 상기와의 연소에 의해 생성되는또는와 중심에서 분사되는 원료 물질이 확산으로 인해 만나는 지점에서 가수분해반응이 일어나며, 가수분해 반응에 의해 생성된 입자는 화염(F)을 따라 이동하여 열영동 현상(thermophoresis)에 의해 실리콘 웨이퍼(W)에 부착된다.
이때, 화염(F) 내에서 생성되어 성장하는 입자의 크기는 수 ㎚에서 수십 ㎚정도로 매우 작기 때문에 관성(inertia)의 영향을 무시할 수 있으므로, 화염(F) 내 입자의 속도는 기체의 속도와 온도 구배에 의한 열영동 속도(thermophoretic velocity)의 합으로 생각할 수 있다.
그러므로, 화염(F) 유동이 유선(streamline)을 정의할 수 있는 층류(laminar flow)일 경우, 화염(F) 내 입자도 이와 유사한 속도 분포를 가지게 되나, 화염(F)이 유선을 정의할 수 없는, 즉 속도의 요동(fluctuation)이 있는 난류(turbulent flow)일 경우에는 화염(F) 내 입자도 유체의 흐름에 따라 불안정한 속도를 갖게 되므로, 입자의 부착 효율이 감소하고, 불균일한 입자 부착에 의해 입자 부착의 균일도도 감소하게 된다.
상기 버너(100)에서 분사되는 동축류 확산화염에 있어서, 상기 화염(F)이 불안정하게 되는 이유는 크게 두 가지로 나눌수 있다. 하나의 이유는 동심 원관에서 분사되는 가스의 속도차이에 의한 전단류(shear flow)이며, 이는 공정 조건 즉, 화염(F)의 형성과 원료 물질 및 이송 기체에 사용되는 기체의 유량에 의해 결정된다.또 다른 이유는 생성된 화염(F) 외부의 기체와 화염(F)과의 속도차이 및 압력 차이에 의한 주위기체의 유입(entrainment) 및 전단류이며, 이는 화염(F)이 생성되는 주위의 유동에 의존한다.
일반적인 화염가수분해증착 공정의 경우, 중력 방향으로 기울어진 화염(F)이 회전 또는 직선이동에 의해 버너(100)와 상대속도(화살표④방향)를 갖는 실리콘 웨이퍼(W)(silicon wafer) 위에 위치되고, 실리콘 웨이퍼(W)에 부착되지 않은 입자들과 화염(F)을 배기하기 위한 배기관(12)에 의해 흡입되는 배기 유동(exhaust flow)(화살표⑤방향)이 화염(F) 근처에 존재한다. 또한, 실리콘 웨이퍼(W)의 가열에 의한 자연 대류(natural convection) 현상이 존재하고, 화염(F) 자체도 부력(buoyancy)(화살표⑥방향)의 영향을 받게 되므로, 화염가수분해증착 공정의 화염(F) 및 화염 주위의 유동은 불안정하기 쉬운 특성을 가지고 있다.
따라서, 가장 외곽에 주위 공기 유입을 방지하여 화염(F)을 안정화시키기 위한 화염차단 원관(10)(flame shied tube)을 설치하는 방법이 화염가수분해증착에서 사용되는 동축류 화염확산용 버너(100)에 일반적으로 사용되고 있다.
그러나, 이 방법 역시 화염차단 원관(10)을 지나서 형성되는 화염(F)의 불안정성을 근본적으로 해결하지 못하므로, 높은 입자 부착효율 및 균일도를 가대할 수 없으며, 또한 유동의 불안정성에 기인한 와류(vortex) 등에 의해 실리콘 웨이퍼(W)에 부착되지 않은 글래스 수트(glass soot) 입자들이 버너(100)의 외부에 부착되거나, 증착 챔버(deposition chamber) 내에 부착, 오염되는 문제점을 해결할 수 없다.
본 발명의 목적은 동축류 확산 화염 주위에 유동을 안정화시키는 부가 장치를 추가함으로써, 주위 유동에 의한 화염 및 화염 내 입자 유동의 교란을 방지하여 입자의 부착 효율을 증가시키고, 보다 안정적으로 균일한 입자 부착이 일어날 수 있는 버너의 화염 안정화 장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 화염 주위의 와류 및 유동 교란으로 인하여 글래스 수트가 버너와 증착 챔버에 부착되는 생기는 오염을 방지할 수 있는 버너의 화염 안정화 장치를 제공함에 있다.
상기한 목적들을 달성하기 위하여 본 발명은 화염가수분해증착 공정에서 사용되는 버너에 있어서, (a) 기판에 화염을 분사하기 위한 동축류 확산화염용 버너; 및
(b) 상기 동축류 확산화염용 버너와 동축으로 그의 외주를 따라 제공되며, 상기 동축류 확산화염용 버너에서 분사된 화염을 불안정한 주위의 유동과 격리시켜 상기 화염과 입자의 유동을 안정화하는 화염 안정화기로 구성된다.
도 1은 종래의 일 실시 예에 따른 화염가수분해증착 공정에서 적용된 버너에서 화염이 분사되어 실리콘 웨이퍼에 박막을 형성하는 상태를 나타내는 구성도.
도 2는 도 1에 도시된 버너의 정면도.
도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 화염 안정화 장치가 적용된 버너의 구성을 나타내는 단면도.
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 화염 안정화 장치가 적용된 버너에서 화염이 분사되어 실리콘 웨이퍼에 박막을 형성하는 상태를 나타내는 구성도.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 화염 안정화 장치가 적용된 버너의 구성을 나타내는 단면도이다. 도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 화염 안정화 장치가 적용된 버너에서 화염이 분사되어 실리콘 웨이퍼에 박막을 형성하는 상태를 나타내는 구성도이다. 도 3, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 화염 안정화 장치는 화염가수분해에서 사용되는 동축류 확산화염용 버너(100)(co-flow diffusion flame burner)와, 상기 동축류 확산화염용 버너(100)에 제공되는 화염 안정화기(30)(flame stabilizer)로 구성된다.
상기 버너(100)에서는 중심에서 원료 물질(source material)과, 상기 원료 물질을 버블링하기 위하여 사용된 이송기체(carrier gas)가 함께 분사(화살표①방향)되고, 그 외주를 따라서 수소 및 온도를 조절하기 위한 희석 기체의 혼합기체(화살표②방향)와, 그리고 산소의 분사(화살표③방향)로 인하여 발생하는 연소에 의해 화염(F)이 형성되는 구조이다. 추가적으로 상기 버너(100)의 외곽 주위에 존재하는 공기 유입을 방지하여 화염을 안정화시키기 위하여 화염차단원관(10)이 제공된다.
상기 입자를 생성하기 위한 원료 기체로는 주로,,,등이 사용된다.
본 발명의 실시 예에 따른 버너는 상기 동축류 확산화염용 버너(100)와, 상기 버너(100)의 외주면을 따라 제공되어 외부 유동으로부터 화염(F)을 안정화시키기 위한 가스가 분사되는 화염 안정화기(30)로 구성된다. 상기 화염 안정화기(30)는 중공형으로 구성되어, 상기 버너(100)와 동축방향으로 에워싸게 장착된다.
구체적으로, 상기 화염 안정화기(30)는 세라믹(ceramic) 재질의 미세관 다발(32)(honeycomb)로 구성되며, 상기 미세관 다발(32)은 외주방향으로 적층되는 다층구조로 이루어진다. 본 발명에 따른 화염 안정화기(30)는 산소(O2), 질소(N2), 아르곤(Ar), 헬륨(He) 등, 화염가수분해반응에 참여하지 않는 불활성 가스가 세라믹 미세관 다발(32)을 통해서 분사되며, 상기 불활성 가스는 직경이 작은 미세관 다발(32)을 통과하면서 완전 발달된 유동(fully developed flow)이 된다. 이어서, 상기 완전 발달된 불활성 가스는 상기 화염 안정화기(30)의 출구에서 화염(F)의 분사 방향과 동일한 방향의 속도 성분만을 갖게 된다.
상기 화염 안정화기(30)에 주입된 불활성 가스는 작은 직경의 미세관 다발(32)을 통과하면서 속도 분포가 완전 발달 유동으로 변화하여 화염 분사방향과 수직한 방향의 속도분포는 제거되고, 화염 분사방향과 동일한 방향의 속도 성분만 남게 된다. 그러므로, 이러한 속도 분포를 갖는 불활성 가스가 화염 주위에 다층으로 분사(화살표⑦방향)되면, 정지된 공기의 유입에 의해 유발되는 화염 분사방향과 수직한 방향의 유동을 차단 또는 최소화할 수 있으며, 실리콘 웨이퍼(W)와 버너(100)의 상대 속도(화살표④방향) 차이에 따른 전단류(shear flow), 배기 유동(suction flow)의 불안정성이 화염(F)으로 전달되는 현상을 최소화하게 된다.
즉, 상기 동축류 확산화염용 버너(100)에서 불활성 가스를 다층 구조의 세라믹 미세관 다발(32)을 통해 화염(F) 주위에 분사(화살표⑦방향)시킴으로써, 가열되는 실리콘 웨이퍼(W)(silicon wafer)에서의 자연 대류, 배기 유동 등에서 유발되는불안정성이 화염으로 전파되는 것을 차단하게 된다.
이상으로 살펴본 바와 같이, 본 발명은 화염가수분해증착 공정에서 사용하는 동축류 확산화염 버너에 적용함으로써, 화염 분사방향과 동일한 방향의 속도를 갖는 불활성 가스를 화염 주위에 다층으로 분사하는 장치를 추가함으로써, 화염 이외의 원인에 의해 유발되는 불안정성을 제거하여 화염 및 화염 내 입자 유동이 층류를 유지할 수 있게 되었다. 따라서, 상기한 화염 내 입자 유동이 층류를 유지하면, 온도 구배에 의한 열영동 효과가 극대화되었고, 이에 따라 입자의 부착 효율의 증가, 즉 동일한 질량의 원료 물질을 사용할 경우, 실리콘 웨이퍼에 부착되는 입자 질량의 증가 및 입자 부착 균일도의 증과 효과를 달성하게 되었다. 또한, 본 발명은 화염 주위의 유동 교란을 억제함으로써, 화염에서 생성된 글래스 수트가 화염가수분해증착용 버너 및 증착 챔버에 오염되는 것을 방지할 수 있기 때문에 버너의 주기적인 세척 과정(cleaning)이 필요없게 되었고, 이에 따른 버너 파손 및 재현성 저하를 제거할 수 있게 되었다. 한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해서 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도내에서 여러 가지 변형이 가능함은 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명하다 할 것이다.

Claims (7)

  1. 화염가수분해증착 공정에서 사용되는 버너에 있어서,
    (a) 기판에 화염을 분사하기 위한 동축류 확산화염용 버너; 및
    (b) 상기 동축류 확산화염용 버너와 동축으로 그의 외주를 따라 제공되며, 상기 동축류 확산화염용 버너에서 분사된 화염을 불안정한 주위의 유동과 격리시켜 상기 화염과 입자의 유동을 안정화하는 화염 안정화기로 구성되어짐을 특징으로 하는 버너의 화염 안정화 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 화염 안정기는 미세관 다발로 구성되며, 상기 미세관다발을 통과하는 가스는 완전 발달된 유동으로 상기 화염 외주 주변을 따라서 분사되는 구성임을 특징으로 하는 버너의 화염 안정화 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 미세관 다발은 외주방향을 따라 적어도 1층 이상 적층되는 구조로 이루어짐을 특징으로 하는 버너의 화염 안정화 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 화염 안정기는 세라믹 재질로 구성되어짐을 특징으로 하는 버너의 화염 안정화 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 화염 안정기로는 불활성 가스가 분사되어짐을 특징으로 하는 버너의 화염 안정화 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 불활성 가스는 산소, 질소, 아르곤, 헬륨으로 이루어진 가스로 구성되어짐을 특징으로 하는 버너의 화염 안정화 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 화염 안정기는 상기 버너의 외주를 완전히 둘러쌓게 장착되어 화염 분사방향과 동일한 방향으로 분사되는 구성임을 특징으로 하는 버너의 화염 안정화 장치.
KR10-2001-0044004A 2001-07-21 2001-07-21 화염가수분해증착 공정용 버너의 화염 안정화 장치 KR100414668B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2001-0044004A KR100414668B1 (ko) 2001-07-21 2001-07-21 화염가수분해증착 공정용 버너의 화염 안정화 장치
US10/046,798 US6682339B2 (en) 2001-07-21 2002-01-15 Flame stabilizer for flame hydrolysis deposition
EP02004951A EP1278009A3 (en) 2001-07-21 2002-03-05 Flame stablizer for burner for flame hydrolysis deposition
JP2002206042A JP2003130311A (ja) 2001-07-21 2002-07-15 火炎加水分解蒸着工程用バーナーの火炎安定化装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2001-0044004A KR100414668B1 (ko) 2001-07-21 2001-07-21 화염가수분해증착 공정용 버너의 화염 안정화 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030008955A true KR20030008955A (ko) 2003-01-29
KR100414668B1 KR100414668B1 (ko) 2004-01-07

Family

ID=19712390

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2001-0044004A KR100414668B1 (ko) 2001-07-21 2001-07-21 화염가수분해증착 공정용 버너의 화염 안정화 장치

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6682339B2 (ko)
EP (1) EP1278009A3 (ko)
JP (1) JP2003130311A (ko)
KR (1) KR100414668B1 (ko)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070048679A1 (en) * 2003-01-29 2007-03-01 Joshi Mahendra L Fuel dilution for reducing NOx production
JP2004284886A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Shin Etsu Chem Co Ltd 合成石英ガラス製造用バーナー
EP1496024A1 (en) * 2003-07-07 2005-01-12 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method of producing glass-particle-deposited body and glass-particle-synthesizing burner
TW200508413A (en) * 2003-08-06 2005-03-01 Ulvac Inc Device and method for manufacturing thin films
US20050132749A1 (en) * 2003-12-05 2005-06-23 Shin-Etsu Chmeical Co., Ltd. Burner and method for the manufacture of synthetic quartz glass
GB0613044D0 (en) * 2006-06-30 2006-08-09 Boc Group Plc Gas combustion apparatus
JP2008087993A (ja) * 2006-09-29 2008-04-17 Sumitomo Electric Ind Ltd 光学ガラスの加工方法
DE102006060869A1 (de) * 2006-12-22 2008-06-26 Khd Humboldt Wedag Gmbh Verfahren zur Regelung des Betriebes eines Drehofenbrenners
DE102007024725B4 (de) * 2007-05-25 2011-09-29 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Abscheidebrenner und Verfahren für dessen Herstellung, dessen Verwendung in einer Brenneranordnung sowie Verfahren zur Herstellung eines Rohlings aus synthetischem Quarzglas unter Einsatz der Brenneranordnung
US7775791B2 (en) * 2008-02-25 2010-08-17 General Electric Company Method and apparatus for staged combustion of air and fuel
US8622737B2 (en) 2008-07-16 2014-01-07 Robert S. Babington Perforated flame tube for a liquid fuel burner
WO2013099483A1 (ja) * 2011-12-27 2013-07-04 日本碍子株式会社 燃焼装置およびこれを用いた加熱炉
JP6551375B2 (ja) * 2016-12-07 2019-07-31 トヨタ自動車株式会社 水素ガスバーナ構造およびこれを備えた水素ガスバーナ装置
JP6940338B2 (ja) * 2017-09-04 2021-09-29 トヨタ自動車株式会社 水素ガスバーナー装置用のノズル構造体
JP6863189B2 (ja) * 2017-09-05 2021-04-21 トヨタ自動車株式会社 水素ガスバーナー装置用のノズル構造体
CN109507772A (zh) * 2018-12-04 2019-03-22 浙江富春江光电科技有限公司 光波导火焰水解法用火头组件
KR102325814B1 (ko) * 2019-08-21 2021-11-11 씨에스케이(주) 스크러버용 버너
EP4015468A1 (de) * 2020-12-16 2022-06-22 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Verfahren zur herstellung von synthetischem quarzglas
CN113181856B (zh) * 2021-05-08 2022-04-29 东南大学 磁场辅助模拟零-微重力火焰合成纳米颗粒的装置和方法
CN113551261B (zh) * 2021-07-19 2022-06-14 南昌航空大学 一种波浪形v型火焰稳定器
CN113551262B (zh) * 2021-07-19 2022-06-14 南昌航空大学 一种带新月沙丘型面的支板火焰稳定器
CN115654497B (zh) * 2022-11-01 2023-09-08 中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所 一种超高温稳定层流燃烧环境构建方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61183140A (ja) * 1985-02-12 1986-08-15 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光フアイバ母材の製造方法
JPS5626739A (en) 1979-08-14 1981-03-14 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Manufacture of optical fiber base material
JPS5727935A (en) * 1980-07-25 1982-02-15 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Manufacture of base material for optical fiber
JPS59232934A (ja) 1983-06-17 1984-12-27 Sumitomo Electric Ind Ltd 光フアイバ母材の製造方法
JPS6144728A (ja) 1984-08-10 1986-03-04 Hitachi Cable Ltd 光フアイバ母材製造用バ−ナ
JPH0667764B2 (ja) * 1985-05-27 1994-08-31 古河電気工業株式会社 ガラス微粒子生成用バ−ナ
JPS62187135A (ja) 1986-02-12 1987-08-15 Furukawa Electric Co Ltd:The ガラス微粒子合成用ト−チ
DE3864672D1 (de) * 1988-01-15 1991-10-10 Ws Waermeprozesstechnik Gmbh Industriebrenner mit rekuperativer luftvorwaermung, insbesondere zur beheizung von ofenraeumen von industrieoefen.
JPH02164733A (ja) * 1988-12-16 1990-06-25 Sumitomo Electric Ind Ltd ガラス微粒子堆積体の製造方法
US5202303A (en) * 1989-02-24 1993-04-13 W. R. Grace & Co.-Conn. Combustion apparatus for high-temperature environment
KR0144004B1 (ko) 1989-06-30 1998-08-17 윤종용 디지털 복사기에서의 레이저 다이오드 출력 다치화회로
US5267850A (en) * 1992-06-04 1993-12-07 Praxair Technology, Inc. Fuel jet burner
JPH07149526A (ja) * 1993-11-25 1995-06-13 Furukawa Electric Co Ltd:The 光導波路用多孔質ガラス層の形成方法
FR2730721B1 (fr) * 1995-02-21 1997-03-21 Air Liquide Procede d'oxydation partielle d'un flux de gaz comprenant du sulfure d'hydrogene
US5628181A (en) * 1995-06-07 1997-05-13 Precision Combustion, Inc. Flashback system
KR100211048B1 (ko) * 1996-12-21 1999-07-15 이계철 수직형 자기 정렬 화염가수분해 반응토치
EP0887589B9 (en) * 1996-12-27 2008-11-05 Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Device and method for combustion of fuel
EP1140715A4 (en) 1998-09-22 2005-10-05 Corning Inc BURNER FOR THE PRODUCTION OF BALLS OF MELTED SILICATED GLASS
FR2788110B1 (fr) * 1998-12-30 2001-02-16 Air Liquide Procede de combustion et ses utilisations pour l'elaboration de verre et de metal
US6179608B1 (en) * 1999-05-28 2001-01-30 Precision Combustion, Inc. Swirling flashback arrestor
US6250915B1 (en) * 2000-03-29 2001-06-26 The Boc Group, Inc. Burner and combustion method for heating surfaces susceptible to oxidation or reduction
KR100346220B1 (ko) * 2000-09-05 2002-08-01 삼성전자 주식회사 광도파로 제조용 동축류 확산 화염 버너 장치

Also Published As

Publication number Publication date
EP1278009A2 (en) 2003-01-22
KR100414668B1 (ko) 2004-01-07
US6682339B2 (en) 2004-01-27
EP1278009A3 (en) 2003-04-02
JP2003130311A (ja) 2003-05-08
US20030017429A1 (en) 2003-01-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100414668B1 (ko) 화염가수분해증착 공정용 버너의 화염 안정화 장치
KR100530477B1 (ko) 고속회전기상박막형성장치및그것을이용한고속회전기상박막형성방법
JP3182730B2 (ja) ハロゲン化物を含有しないケイ素含有化合物を酸化させる精密バーナー
EP0222960B1 (en) Method and apparatus for the on-line coating of silica based fibers with boron-nitride
JPS62171939A (ja) 多孔質光フアイバ母材の製造装置
CA1222660A (en) Method for producing an aerosol stream and its use
JP5589744B2 (ja) 石英ガラス母材の製造方法
JP2006016292A (ja) 石英ガラス合成用バーナ及び石英ガラスの合成方法
JP2803510B2 (ja) 光ファイバ用ガラス母材の製造方法および装置
US4650693A (en) Method for producing an aerosol stream
TW201807266A (zh) 熱屏組件及單晶提拉爐熱場結構
KR20020019301A (ko) 광도파로 제조용 동축류 확산 화염 버너 장치
JP2000327341A (ja) 多孔質ガラス母材製造用多重管バーナおよびこれを用いた多孔質ガラス母材の製造方法並びに製造装置
JP3437109B2 (ja) 光導波路成膜装置および光導波路成膜方法
JP2003508336A (ja) 火炎加水分解によってガラス・プリフォームを製造する装置
KR100446517B1 (ko) 실리콘 웨이퍼 제조용 화염가수분해 증착 장치
JP2003054957A (ja) 多孔質ガラス母材の製造方法
US20060185399A1 (en) Apparatus for fabricating optical fiber preform through external vapor deposition process
JP4857172B2 (ja) 光ファイバ用ガラス母材の製造装置及び製造方法
JP2992013B1 (ja) 光ファイバ母材の製造方法及び製造装置
JPH054828A (ja) 高純度石英ガラス製造用加熱炉
JPS63318734A (ja) 気相成長装置
KR20040013610A (ko) 엠씨브이디 설비용 슈트막힘 방지장치에 있어서 내외부튜브의 회전속도차이를 이용한 슈트막힘 방지장치
JP2002160934A (ja) 光ファイバ母材の製造方法および該製造方法に用いるバーナー
JPH05297235A (ja) 光導波路膜の作製方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121129

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131128

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141127

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151208

Year of fee payment: 13

LAPS Lapse due to unpaid annual fee